ATE528256T1 - Verfahren zur gemeinsamen herstellung von membranen und hohlräumen mit kleinem volumen und grosser masshaltigkeit - Google Patents

Verfahren zur gemeinsamen herstellung von membranen und hohlräumen mit kleinem volumen und grosser masshaltigkeit

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ATE528256T1
ATE528256T1 AT07728561T AT07728561T ATE528256T1 AT E528256 T1 ATE528256 T1 AT E528256T1 AT 07728561 T AT07728561 T AT 07728561T AT 07728561 T AT07728561 T AT 07728561T AT E528256 T1 ATE528256 T1 AT E528256T1
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membranes
cavities
small volume
high dimensional
joint production
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AT07728561T
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Joel Collet
Stephane Nicolas
Christian Pisella
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Tronic S Microsystems
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