WO2004071941A3 - Verfahren zur herstellung einer mikromechanischen vorrichtung und vorrichtung - Google Patents

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Abstract

Es wird ein Verfahren zur Herstellung einer mikromechanischen Vorrichtung und eine mikromechanische Vorrichtung vorgeschlagen, wobei die Vorrichtung ein Substratmaterial (10), eine Membran (20) und einen in einem Membranbereich (21) dazwischenligenden Hohlraum (30) aufweist und wobei in einem ersten Ätzschritt zunächst Löcher (40) in der Membran (20) erzeugt werden und wobei anschliessend der Hohlraum (30) mittels eines zweiten Ätzschrittes hergestellt wird.
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