AT263082B - Verfahren zum epitaktischen Abscheiden einer kristallinen Schicht, insbesondere aus Halbleitermaterial, auf als Substrat dienende, erhitzte Halbleiterkristalle, insbesondere Halbleiterscheiben - Google Patents

Verfahren zum epitaktischen Abscheiden einer kristallinen Schicht, insbesondere aus Halbleitermaterial, auf als Substrat dienende, erhitzte Halbleiterkristalle, insbesondere Halbleiterscheiben

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AT1150065A 1964-12-23 1965-12-21 Verfahren zum epitaktischen Abscheiden einer kristallinen Schicht, insbesondere aus Halbleitermaterial, auf als Substrat dienende, erhitzte Halbleiterkristalle, insbesondere Halbleiterscheiben AT263082B (de)

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