AT307505B - Verfahren zum Herstellen epitaktischer Schichten aus elektrisch isolierendem Material unter Verwendung eines aus Halbleitermaterial bestehenden Trägerkörpers - Google Patents

Verfahren zum Herstellen epitaktischer Schichten aus elektrisch isolierendem Material unter Verwendung eines aus Halbleitermaterial bestehenden Trägerkörpers

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