WO2024014771A1 - 전기 전도성 접촉핀 - Google Patents

전기 전도성 접촉핀 Download PDF

Info

Publication number
WO2024014771A1
WO2024014771A1 PCT/KR2023/009450 KR2023009450W WO2024014771A1 WO 2024014771 A1 WO2024014771 A1 WO 2024014771A1 KR 2023009450 W KR2023009450 W KR 2023009450W WO 2024014771 A1 WO2024014771 A1 WO 2024014771A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
elastic
curved
straight
split beam
slit
Prior art date
Application number
PCT/KR2023/009450
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
안범모
박승호
홍창희
Original Assignee
(주)포인트엔지니어링
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by (주)포인트엔지니어링 filed Critical (주)포인트엔지니어링
Publication of WO2024014771A1 publication Critical patent/WO2024014771A1/ko

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R1/00Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
    • G01R1/02General constructional details
    • G01R1/06Measuring leads; Measuring probes
    • G01R1/067Measuring probes
    • G01R1/06711Probe needles; Cantilever beams; "Bump" contacts; Replaceable probe pins
    • G01R1/06716Elastic
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R1/00Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
    • G01R1/02General constructional details
    • G01R1/06Measuring leads; Measuring probes
    • G01R1/067Measuring probes
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R1/00Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
    • G01R1/02General constructional details
    • G01R1/06Measuring leads; Measuring probes
    • G01R1/067Measuring probes
    • G01R1/06711Probe needles; Cantilever beams; "Bump" contacts; Replaceable probe pins
    • G01R1/06733Geometry aspects
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R1/00Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
    • G01R1/02General constructional details
    • G01R1/06Measuring leads; Measuring probes
    • G01R1/067Measuring probes
    • G01R1/06711Probe needles; Cantilever beams; "Bump" contacts; Replaceable probe pins
    • G01R1/06755Material aspects
    • G01R1/06761Material aspects related to layers

Definitions

  • the present invention relates to electrically conductive contact pins.
  • Testing the electrical properties of semiconductor devices involves approaching an inspection object (semiconductor wafer or semiconductor package) to an inspection device equipped with a plurality of electrically conductive contact pins and connecting the electrically conductive contact pins to corresponding external terminals (solder balls or bumps, etc.) on the inspection object. It is carried out by contact.
  • inspection objects semiconductor wafer or semiconductor package
  • inspection device equipped with a plurality of electrically conductive contact pins and connecting the electrically conductive contact pins to corresponding external terminals (solder balls or bumps, etc.) on the inspection object. It is carried out by contact.
  • testing devices include, but are not limited to, probe cards or test sockets.
  • test sockets include pogo type test sockets and rubber type test sockets.
  • the electrically conductive contact pin (hereinafter referred to as 'pogo type socket pin') used in a pogo type test socket includes a pin portion and a barrel that accommodates it.
  • the pin portion provides necessary contact pressure and absorbs shock at the contact position by installing a spring member between the plungers at both ends.
  • a gap In order for the pin portion to slide within the barrel, a gap must exist between the outer surface of the pin portion and the inner surface of the barrel.
  • these pogo-type socket pins are used by separately manufacturing the barrel and pin portion and then combining them, gap management cannot be performed precisely, such as the outer surface of the pin portion being spaced from the inner surface of the barrel more than necessary.
  • the pin portion has a sharp tip portion to increase the contact effect with the external terminal of the inspection object.
  • the pointed tip portion creates traces or grooves of press fit on the external terminal of the inspection object after inspection. Due to the loss of the contact shape of the external terminal, problems occur that cause errors in vision inspection and reduce the reliability of the external terminal in subsequent processes such as soldering.
  • the electrically conductive contact pin (hereinafter referred to as 'rubber type socket pin') used in a rubber type test socket is a structure in which conductive microballs are placed inside silicone rubber, which is a rubber material, and is used to connect the test object (e.g., When stress is applied by raising the semiconductor package and closing the socket, the conductive microballs made of gold press each other strongly, increasing the conductivity and making them electrically connected.
  • these rubber-type socket pins have a problem in that contact stability is ensured only when pressed with excessive pressure.
  • the existing rubber type socket pin prepares a molding material in which conductive particles are distributed in a fluid elastic material, inserts the molding material into a predetermined mold, and then applies a magnetic field in the thickness direction to move the conductive particles in the thickness direction. Since they are manufactured by arranging them, when the gap between magnetic fields narrows, the conductive particles are oriented irregularly and the signal flows in the plane direction. Therefore, there are limitations in responding to the narrow pitch technology trend with existing rubber type socket pins.
  • pogo type socket pin is manufactured separately from the barrel and the pin portion and then used by combining them, it is difficult to manufacture it in a small size. Therefore, existing pogo type socket pins also have limitations in responding to the narrow pitch technology trend.
  • Patent Document 1 Republic of Korea Registration No. 10-0659944 Registered Patent Gazette
  • Patent Document 2 Republic of Korea Registration No. 10-0952712 Registered Patent Gazette
  • the present invention was made to solve the problems of the prior art described above, and its purpose is to provide an electrically conductive contact pin that improves inspection reliability for inspection objects.
  • the purpose of the present invention is to prevent damage to the inspection object by facilitating elastic deformation of the elastic portion during the overdrive process of applying pressing force to the electrically conductive contact pin.
  • an electrically conductive contact pin is an electrically conductive contact pin provided with an elastic portion, wherein the elastic portion includes a plurality of straight portions; a plurality of curved portions connecting the straight portions adjacent above and below; and a slit portion penetrating one surface and the other surface of the curved portion, wherein the curved portion includes a plurality of split beam portions formed by the slit portion.
  • the beam width of the split beam unit is the same.
  • the beam width of the split beam portion increases from the inner direction of the curved portion to the outer direction.
  • a plurality of the slit portions are provided, and among the slit portions, the slit portion provided in the inner direction of the curved portion has a larger spatial margin than the slit portion provided in the outer direction of the curved portion.
  • the radius of curvature of the split beam portion increases from the inner direction of the curved portion to the outer direction.
  • the sum of the beam widths of the split beam portion is equal to the beam width of the straight portion.
  • the split beam unit includes a bent portion having a curvature, and the beam width of the bent portion is smaller than the beam width of the peripheral portion.
  • the beam width of the straight portion is smaller than that of the curved portion.
  • an electrically conductive contact pin is an electrically conductive contact pin provided with an elastic portion, wherein the elastic portion includes a plurality of straight portions; a curved portion connecting the straight portions adjacent above and below; and a stopper provided on at least one of the straight portion and the curved portion to limit the elastic deformation position of the elastic portion.
  • an electrically conductive contact pin is an electrically conductive contact pin provided with an elastic portion, wherein the elastic portion includes a plurality of straight portions; a plurality of curved portions connecting the straight portions adjacent above and below; and a groove portion that forms an incision on the inner surface of the curved portion and penetrates one surface and the other surface of the curved portion.
  • the electrically conductive contact pin according to the present invention has a slit portion in the elastic portion to facilitate elastic deformation of the elastic portion, thereby preventing damage to the inspection object.
  • stoppers are provided on straight or curved parts to prevent excessive elastic deformation, thereby preventing damage to the elastic part.
  • providing a groove in the curved portion facilitates elastic deformation and prevents damage to the elastic portion.
  • FIG. 1 is a perspective view of an electrically conductive contact pin according to a preferred embodiment of the present invention having an elastic portion according to a preferred embodiment 1-1 of the present invention.
  • Figure 2 is a front view of an electrically conductive contact pin according to a preferred embodiment of the present invention having an elastic portion according to a preferred embodiment 1-1 of the present invention, installed on an installation member.
  • Figure 3 is an enlarged view showing a portion of the elastic portion according to the preferred 1-1 embodiment of the present invention.
  • Figure 4 is an enlarged view showing a portion of the elastic portion according to the first and second preferred embodiments of the present invention.
  • Figure 5 is an enlarged view showing a portion of the elastic portion according to the first to third preferred embodiments of the present invention.
  • Figure 6 is an enlarged view showing a portion of the elastic portion according to the first to fourth preferred embodiments of the present invention.
  • Figure 7 is an enlarged view showing a portion of the elastic portion according to the first to fifth preferred embodiments of the present invention.
  • Figure 8 is an enlarged view of a portion of the elastic portion according to the first to sixth preferred embodiments of the present invention.
  • Figure 9 is an enlarged view of a portion of the elastic portion according to the first to seventh preferred embodiments of the present invention.
  • Figure 10 is an enlarged view showing a portion of the elastic portion according to the first to eighth preferred embodiments of the present invention.
  • Figure 11 is an enlarged view showing a portion of the elastic portion according to the first to ninth preferred embodiments of the present invention.
  • Figure 12 is an enlarged view of a part of the elastic portion according to the first to tenth preferred embodiments of the present invention.
  • Figure 13 is an enlarged view of a portion of the elastic portion according to the second preferred embodiment of the present invention.
  • Figure 14 is an enlarged view showing a portion of the elastic portion according to the preferred 3-1 embodiment of the present invention.
  • Figure 15 is an enlarged view showing a portion of the elastic portion according to the preferred 3-2 embodiment of the present invention.
  • Figure 16 is an enlarged view showing a portion of the elastic portion according to the third preferred embodiment of the present invention.
  • Figure 17 is an enlarged view showing a portion of the elastic portion according to the preferred 4-1 embodiment of the present invention.
  • Figure 18 is an enlarged view showing a portion of the elastic portion according to the preferred 4-2 embodiment of the present invention.
  • the electrically conductive contact pin (hereinafter referred to as the 'electrically conductive contact pin 100 of the present invention') according to a preferred embodiment of the present invention is provided in an inspection device and makes electrical and physical contact with the inspection object to transmit an electrical signal. It is used to
  • the inspection device may be an inspection device used in a semiconductor manufacturing process, and for example, may be a probe card or a test socket.
  • the installation member 1 has a through hole 2 for receiving the electrically conductive contact pin 100 of the present invention.
  • the installation member 1 may be, as an example, a guide plate (GP) having a guide hole (GH).
  • the electrically conductive contact pin 100 of the present invention may be a probe pin provided in a probe card or a socket pin provided in a test socket.
  • a socket pin will be described as an example of the electrically conductive contact pin 100 of the present invention, but the electrically conductive contact pin 100 of the present invention is not limited thereto, and can be used to determine whether an object to be inspected to which electricity is applied is defective. All pins for verification are included.
  • the width direction of the electrically conductive contact pin 100 of the present invention described below is the ⁇ x direction shown in the drawings
  • the longitudinal direction of the electrically conductive contact pin 100 of the present invention is the ⁇ y direction shown in the drawings
  • the present invention The thickness direction of the electrically conductive contact pin 100 is the ⁇ z direction indicated in the drawing.
  • the electrically conductive contact pin 100 of the present invention has an overall length dimension (L) in the longitudinal direction and an overall width dimension (W) in the width direction ( ⁇ x direction) perpendicular to the longitudinal direction ( ⁇ y direction). It has an overall width dimension (W) in the width direction ( ⁇ x direction) perpendicular to the longitudinal direction ( ⁇ y direction).
  • Figure 1 is a perspective view of the electrically conductive contact pin 100 according to a preferred embodiment of the present invention
  • Figure 2 is a front view of the electrically conductive contact pin 100 according to a preferred embodiment of the present invention.
  • the 'elastic portion (S)' refers to the elastic portion (S1-1, S1-2, S1-3, S1-4, S1-5, S1-6, S1-7, S1-8, S1-9, S1-10, S2, S3-1, S3-2, S3-3, S4-1, S4-2).
  • the electrically conductive contact pin 100 of the present invention includes a first connection portion 110 including a flange portion 140 extending downwardly (-y direction) in the longitudinal direction ( ⁇ y direction). ), a second connection part 120, a support part 130 extending in the longitudinal direction ( ⁇ y direction), one end connected to the first connection part and the other end connected to the second connection part 120, and a plurality of straight parts ( Between the elastic part (S) that is elastically deformable along the longitudinal direction ( ⁇ y direction) including a plurality of curved parts (CV) connecting L) and the straight part (L), and the support part 130 and the elastic part (S) It includes a flange portion 140 extending in the longitudinal direction ( ⁇ y direction).
  • the first connection part 110, the second connection part 120, the support part 130, the elastic part S, and the flange part 140 are provided as one piece.
  • the first connection part 110, the second connection part 120, the support part 130, the elastic part S, and the flange part 140 are manufactured all at once using a plating process.
  • the electrically conductive contact pin 100 of the present invention is formed by filling the inner space with a metal material through electroplating using an anodic oxide film mold having an inner space. Accordingly, the first connection part 110, the second connection part 120, the support part 130, the elastic part S, and the flange part 140 are manufactured as an integrated piece connected to each other.
  • the electrically conductive contact pin 100 of the present invention includes the first connection part 110 and the second connection part 120. , there is a difference in composition in that the support portion 130, the elastic portion (S), and the flange portion 140 are manufactured all at once using a plating process, so that they are provided as one piece.
  • the overall thickness dimension (H) can be in the range of 80 ⁇ m or more and 160 ⁇ m or less.
  • the highly rigid anodic oxide film remains as a wall, so it can be manufactured to have a high aspect ratio line width (t).
  • the anodic oxide film mold used to manufacture the electrically conductive contact pin 100 of the present invention forms an internal space by etching an anodized film that is already in a solid state. Therefore, precise patterning is possible and a mold can be formed without layers while having a height of 80 ⁇ m or more and 160 ⁇ m or less.
  • the electrically conductive contact pin 100 of the present invention has a line width (t), and the overall thickness dimension (H) and the aspect ratio (H:t) to the line width (t) are based on the smallest line width among the line widths (t). It ranges from 13:1 to 80:1.
  • the smallest line width (t) among the line widths (t) may be 2 ⁇ m or more and 6 ⁇ m or less.
  • the electrically conductive contact pin 100 of the present invention is formed so that the line width (t) of the plate-shaped plate constituting the electrically conductive contact pin 100 is small while the overall thickness dimension (H) of the plate-shaped plate is large. That is, the overall thickness dimension (H) is formed to be large compared to the line width (t) of the plate-like plate.
  • the line width (t) of the plate-shaped plate is in the range of 2 ⁇ m to 15 ⁇ m, and the total thickness dimension (H) is provided in the range of 80 ⁇ m to 160 ⁇ m, and the line width (t) of the plate-shaped plate is The overall thickness dimension (H) is provided in the range of 1:13 to 1:80.
  • the line width (t) of the plate-shaped plate is formed to be substantially 4 ⁇ m, and the overall thickness dimension (H) is formed to be 100 ⁇ m, so that the line width (t) and overall thickness dimension (H) of the plate-shaped plate are 1:25. It can be formed at a ratio of .
  • each cross section in the thickness direction ( ⁇ z direction) of the electrically conductive contact pin 100 of the present invention is the same.
  • the same shape on the x-y plane is formed by extending in the thickness direction ( ⁇ z direction).
  • the electrically conductive contact pin 100 of the present invention is provided with a plurality of metal layers stacked in the thickness direction ( ⁇ z direction).
  • the plurality of metal layers include a first metal layer 101 and a second metal layer 102.
  • the first metal layer 101 is a metal with relatively high wear resistance compared to the second metal layer 102, and is preferably made of rhodium (Rd), platinum (Pt), iridium (Ir), palladium (Pd), and nickel (Ni). , manganese (Mn), tungsten (W), phosphorus (Ph) or their alloys, or palladium-cobalt (PdCo) alloy, palladium-nickel (PdNi) alloy or nickel-phosphorus (NiPh) alloy, nickel-manganese (NiMn) ), nickel-cobalt (NiCo), or nickel-tungsten (NiW) alloy.
  • the second metal layer 102 is a metal with relatively high electrical conductivity compared to the first metal layer 101, and is preferably formed of a metal selected from copper (Cu), silver (Ag), gold (Au), or alloys thereof. It can be. However, it is not limited to this.
  • the first metal layer 101 is provided on the lower and upper surfaces of the electrically conductive contact pin 100a in the thickness direction ( ⁇ z direction), and the second metal layer 102 is provided between the first metal layers 101.
  • the electrically conductive contact pin 100a is provided by alternately stacking the first metal layer 101, the second metal layer 102, and the first metal layer 101 in the thickness direction ( ⁇ z direction),
  • the number of stacked layers may be three or more.
  • the first connection part 110 includes a contact part 111 in contact with the inspection object and a contact cavity 112 formed in the contact part 111.
  • the contact portion 111 is a portion that is in contact with the connection terminal of the inspection object.
  • the contact portion 111 is formed extending in the width direction ( ⁇ x direction).
  • the lower surface of the contact portion 111 in the longitudinal direction ( ⁇ y direction) is connected to the elastic portion (S).
  • the contact portion 111 includes a contact cavity 112 that penetrates one surface and the other surface of the contact portion 111 in the thickness direction ( ⁇ z direction).
  • the contact cavity 112 is provided in the central portion of the contact portion 111.
  • the upper surface of the contact portion 111 becomes a portion that contacts the connection terminal of the inspection object.
  • the contact cavity 112 is formed as an empty space whose left and right sides are curved relative to the width direction ( ⁇ x direction) so that the upper surface of the contact portion 111 can be more easily deformed.
  • the first connection part 110 is connected to the elastic part S and can elastically move vertically ( ⁇ y direction) based on the longitudinal direction ( ⁇ y direction) by contact pressure.
  • the connection terminal of the inspection object is in contact with the upper surface of the first connection part 110 and gradually compresses and deforms the elastic part S connected to the first connection part 110 side (-y direction). ) Go to
  • the flange portion 140 is provided to extend downward (-y direction) from the bottom surface of the first connection portion 110 in the longitudinal direction ( ⁇ y direction).
  • the flange portion 140 includes a first flange portion 141 extending downward in the longitudinal direction ( ⁇ y direction) from one end of the contact portion 111 in the width direction ( ⁇ x direction), and a contact portion 111. It includes a second flange portion 142 extending downward from the other end of and a deformation prevention portion 150 formed at an end of the flange portion 140.
  • the flange portion 140 is formed such that the width direction ( ⁇ x direction) dimension of the free end portion is larger than that of the peripheral portion. Accordingly, the outer surface of the end of the flange portion 140 has a shape that protrudes convexly outward based on the width direction ( ⁇ x direction).
  • the flange portion 140 has a convex end and is provided with a deformation prevention portion 150 at the end of the flange portion 140. Specifically, the first deformation prevention part 151 is provided at the end of the first flange part 141, and the second deformation prevention part 152 is provided at the end of the second flange part 142.
  • the flange portion 140 is provided between the support portion 130 and the elastic portion (S) based on the width direction ( ⁇ x direction).
  • the support portion 130 is provided on the outside of the flange portion 140 and the elastic portion S is provided on the inside of the flange portion 140.
  • the flange portion 140 and the support portion 130 are spaced apart from each other.
  • the flange portion 140 corresponds to the middle portion of the support portion 130 with the deformation prevention portion 150 inserted at a predetermined length inside the support portion 130 based on the longitudinal direction ( ⁇ y direction) of the support portion 130. It is located as much as possible.
  • the support portion 130 has a concave portion on its inner surface to correspond to the convex outer surface of the flange portion 140 at a position corresponding to the deformation prevention portion 150.
  • At least one of the first and second deformation prevention parts 151 and 152 is attached to the inner surface of the support part 130 when an eccentric pressing force of the connection terminal is applied to the first connection part 110 due to an alignment error or manufacturing error of the connection terminal. It contacts the concave part of the and prevents excessive overflexion of the elastic part (S).
  • the electrically conductive contact pin 100 of the present invention is capable of forming a current path because at least one of the first and second deformation prevention parts 151 and 152 is in contact with the support part 130 even when an eccentric pressing force is applied.
  • each of the first and second deformation prevention portions 151 and 152 is a concave portion of the inner surface of the support portion 130 at the corresponding position. is contacted. Accordingly, a current path leading to the first connection part 110 and the support part 130 is formed.
  • the support portion 130 is formed to extend in the longitudinal direction ( ⁇ y direction) and is provided outside the flange portion 140 of the first connection portion 110 in the width direction ( ⁇ x direction). When the elastic portion S is not compressed, the support portion 130 and the flange portion 140 are spaced apart from each other.
  • the support part 130 includes a first support part 134 located on one side of the first connection part 110 and a second support part 135 located on the other side of the first connection part 110.
  • the first and second support parts 134 and 135 have concave portions corresponding to the first and second deformation prevention parts 151 and 152, respectively, in the middle portion of the inner surface.
  • the support portion 130 has a protruding portion extending a predetermined length inward in the width direction ( ⁇ x direction) at the top of the concave portion. As a result, the concave portion is provided in the form of a groove.
  • the bottom surface in the width direction ( ⁇ x direction) of the groove-shaped concave portion and the deformation prevention portion 150 are positioned spaced apart from each other. In other words, when the elastic portion S is not compressed, the deformation prevention portion 150 is received without contacting the bottom surface in the width direction ( ⁇ x direction) of the groove-shaped concave portion.
  • the support portion 130 is provided with a support extension portion 131 at the lower portion of the concave portion corresponding to the deformation prevention portion 150.
  • the support extension 131 includes a first support extension 131a extending inward in the width direction ( ⁇ x direction) from the inner surface of the first support part 134 and a width direction from the inner surface of the second support part 135 ( ⁇ x direction) and includes a second support extension portion 131b connected to the inside.
  • first support extension (131a) is connected to one side of the elastic part (S), and one end of the second support extension (131b) is connected to the other side of the elastic part (S).
  • first support extension 131a is connected to a curved portion CV provided on one side of the straight portion L in the width direction ( ⁇ x direction).
  • One end of the second support extension portion 131b is connected to the curved portion CV provided on the other side of the straight portion L.
  • the first and second support extension parts 131a and 131b are connected to the first and second deformation prevention parts 151 and 152 through the upper surface.
  • a function may be provided to limit further descent of .
  • the support part 130 has a first locking part 161 at one end (-y direction) in the longitudinal direction ( ⁇ y direction).
  • the first locking portion 161 is provided at one end of the support portion 130 close to the second connecting portion 120 side. In other words, the first locking portion 161 is provided at the lower end of the support portion 130.
  • the first locking portion 161 is provided in a form that protrudes outward in the width direction ( ⁇ x direction).
  • the support portion 130 is provided with a second locking portion 162 at the other end (+y direction) in the longitudinal direction ( ⁇ y direction).
  • the second locking portion 162 has an inclined portion 162a and a protruding protrusion 162b on its outer surface.
  • the electrically conductive contact pin 100 of the present invention When the electrically conductive contact pin 100 of the present invention is inserted into the guide hole GH, the upper end of the support portion 130 is compressed and deformed inward in the width direction ( ⁇ x direction) and inserted into the lower opening of the guide hole GH. do. Then, the electrically conductive contact pin 100 of the present invention is pressed from the bottom (-y direction) to the top (+y direction) based on the longitudinal direction ( ⁇ y direction) and is forced into the guide hole (GH). It is put in. When the second locking portion 162 passes through the upper opening of the guide hole GH, the upper end of the support portion 130 including the second locking portion 162 is formed in the width direction ( It is restored by spreading outward ( ⁇ x direction). At this time, the upper surface of the first locking portion 161 is supported by contacting the lower surface of the guide plate GP existing around the lower opening of the guide hole GH.
  • the support part 130 also has a concave portion on the inner surface of the lower end in the longitudinal direction ( ⁇ y direction) having the first locking part 161.
  • the concave portion corresponding to the first and second deformation prevention portions 151 and 152 is provided close to the upper end portion including the second locking portion 162.
  • the support portion 130 has a concave portion on the inner surface of the lower end side, and the concave portion on the lower end side corresponds to an end composed of the free end of the second connection portion 120.
  • the second connection portion 120 is in contact with the pad of the circuit board.
  • the second connection portion 120 includes a connection body portion 121, a connection extension portion 122 extending upward in the longitudinal direction ( ⁇ y direction) from both sides of the connection body portion 121 in the width direction ( ⁇ x direction), and a connection portion 122. It includes a connection cavity 123 formed in the center of the body portion 121.
  • the second connection part 120 has the bottom surface of the connection body part 121 convex to have a predetermined curvature. The second connection part 120 is pressed into contact with a pad on the circuit board through the bottom surface of the connection body part 121.
  • connection extension part 120 is provided with connection extension parts 122 extending upward in the longitudinal direction ( ⁇ y direction) at both ends of the connection body part 121 in the width direction ( ⁇ x direction).
  • the connection extension portion 122 includes a first connection extension portion 122a extending upward (+y direction) in the longitudinal direction ( ⁇ y direction) to one end of the connection body portion 121 in the width direction ( ⁇ x direction), and A second connection extension portion 122b extending upwardly (+y direction) in the longitudinal direction ( ⁇ y direction) is included at the other end of the connection body portion 121 in the width direction ( ⁇ x direction).
  • connection extension portions 122a and 122b are formed in a convex outer surface in the width direction ( ⁇ x direction). Accordingly, the outer surface of the connection extension part 122 protrudes outward in the width direction ( ⁇ x direction) than the outer surface of the connection body part 121.
  • the first and second connection extension parts 122a and 122b are inserted for a predetermined length in the longitudinal direction ( ⁇ y direction) so as to be located inside the support part 130.
  • the first and second connection extension parts 122a and 122b are located in the width direction ( ⁇ x direction) to correspond to the concave portion at the lower end of the support part 130.
  • the elastic part S connected to the second connection part 120 is compressed and deformed in the longitudinal direction ( ⁇ y direction). Accordingly, the first and second connection extension parts 122a and 122b come into contact with the inner surface of the support part 130. Specifically, the first and second connection extension parts 122a and 122b contact the concave portion on the lower end side of the support part 130.
  • the elastic portion (S) connected to the first connection portion 110 is compressively deformed, and the second connection portion 120 contacts the pad to form a second
  • the elastic part (S) connected to the connection part 120 is compressed and deformed.
  • the first and second deformation prevention parts 151 and 152 contact the concave portion on the upper end side of the support part 130.
  • the first and second connection extension parts 122a and 122b are in contact with the concave portion on the lower end side of the support part 130. . Accordingly, the electrically conductive contact pin 100 of the present invention forms a current path leading to the first connection part 110, the support part 130, and the second connection part 120.
  • the elastic portion S is provided between the first connection portion 110 and the second connection portion 120 in the longitudinal direction ( ⁇ y direction) and is provided inside the first and second connection portions 110 and 120.
  • One end of the elastic part (S) is connected to the first connection part 110, and the other end is connected to the second connection part 120, so that the first and second connection parts 110 and 120 are integrally connected through the elastic part (S). do.
  • the elastic portion 150 has a shape in which a plate-shaped plate having a substantial width t is repeatedly bent in an S shape, and the substantial width t of the plate-shaped plate is constant overall.
  • the elastic portion (S) includes a plurality of straight portions (L) and a curved portion (CV) connecting the straight portions (L) adjacent to each other above and below.
  • the elastic portion (S) is formed by alternately contacting a plurality of straight portions (L) and a plurality of curved portions (CV).
  • the straight portion (L) connects adjacent curved portions (CV) to the left and right in the width direction ( ⁇ x direction).
  • the curved portion (CV) connects the straight portions (L) that are adjacent above and below.
  • the curved portion CV is provided in an arc shape.
  • a straight portion (L) is disposed at the center of the elastic portion (S), and a curved portion (CV) is disposed at an outer portion of the elastic portion (S).
  • the straight portion (L) is provided parallel to the width direction ( ⁇ x direction) to make it easier to deform the curved portion (CV) according to contact pressure.
  • Figure 2 is a front view of the electrically conductive contact pin 100 provided with the elastic part (hereinafter referred to as the elastic part (S1-1) of the 1-1 embodiment) of the preferred embodiment 1-1 of the present invention
  • Figure 3 is an enlarged view of a portion of the elastic portion (S1-1) of the 1-1 embodiment.
  • the electrically conductive contact pin 100 of the present invention includes the elastic portion S1-1 of the 1-1 embodiment.
  • the elastic portion (S1-1) of the 1-1 embodiment includes a plurality of straight portions (L), a plurality of curved portions (CV), and a plurality of curved portions (CV) that penetrate one surface and the other surface of the curved portion (CV). Includes a slit portion (SL).
  • the elastic portion S1-1 of the 1-1 embodiment includes one slit portion SL in the curved portion CV.
  • the slit portion SL is formed to penetrate one side and the other side of the curved portion CV in the thickness direction ( ⁇ z direction).
  • the slit portion SL is formed in a shape having a curvature corresponding to the curved portion CV having a circular arc shape.
  • the slit portion SL is provided at the center of the curved portion CV in the width direction ( ⁇ x direction). Accordingly, the curved portion CV has a portion divided by a slit portion SL formed in the central portion.
  • the curved portion CV has a plurality of split beam portions PB through portions divided by the slit portion SL.
  • the split beam unit PB includes a first split beam unit PB1 provided inside the slit unit SL in the width direction ( ⁇ x direction) and a second split beam unit provided outside the slit unit SL ( Includes PB2).
  • the plurality of split beam units (PB) may have the same or different beam width (or beam dimension, PW) in the width direction ( ⁇ x direction).
  • the beam width (PW, beam dimension) of the split beam unit (PB) refers to the width direction ( ⁇ x direction) dimension of the split beam unit (PB).
  • the beam widths (PW1, PW2) of the first and second split beam units (PB1, PB2) are the same, the beam widths (PW1, PW2) of the first and second split beam units (PB1, PB2) and the width of the slit portion (SL)
  • the direction ( ⁇ x direction) beam width (SW) may be the same.
  • the beam widths (PW1, PW2) of the first and second split beam units (PB1, PB2) are different from each other, they are preferably provided in the inner direction of the slit unit (SL) and extend in the width direction ( ⁇ x direction) of the curved part (CV).
  • the beam width PW1 of the first split beam unit PB1 provided in the inner direction may be smaller than the beam width PW2 of the second split beam unit PB2.
  • the elastic portion S1-1 of the 1-1 embodiment does not have a slit portion SL at the center of the curved portion CV, but is biased toward the inside of the curved portion CV in the width direction ( ⁇ x direction).
  • the beam widths (PW1 and PW2) may be different from each other. In this case, the separation distance between the inner surface of the curved portion CV and the slit portion SL is smaller than the separation distance between the outer surface of the curved portion CV and the slit portion SL.
  • the separation distance between the inner surface of the curved portion (CV) and the slit portion (SL) forms the beam width (PW1) of the first split beam portion (PB1), and the separation distance between the outer surface of the curved portion (CV) and the slit portion (SL) is
  • the beam width (PW2) of the two-split beam unit (PB2) is formed. Accordingly, the beam width PW1 of the first split beam unit PB1 is smaller than the beam width PW2 of the second split beam unit PB2. Accordingly, the elastic part S1-1 of the 1-1 embodiment may be provided with a relatively small beam width PW1 of the split beam part (first split beam part PB1) in the inner direction of the curved part CV.
  • the elastic portion (S1-1) of the 1-1 embodiment is an elastic deformation form of the first split beam portion (PB1) through the slit portion (SL) when elastic deformation of the split beam portion (PB) occurs due to the pressing force of the connection terminal. accept.
  • the elastic part (S1-1) of the 1-1 embodiment when the elastic part (S1-1) of the 1-1 embodiment is elastically deformed, the first and second split beam parts (PB1, PB2) are elastically deformed while being pressed in the longitudinal direction ( ⁇ y direction) by a pressing force, thereby changing the width. ( ⁇ x direction) It is elastically deformed in a way that one side protrudes outward.
  • the elastic portion (S1-1) of the 1-1 embodiment is first divided through a slit portion (SL) formed with a predetermined beam width (SW) between the first and second split beam portions (PB1 and PB2). It accommodates elastic deformation in the width direction ( ⁇ x direction) of the beam portion PB1.
  • the elastic part S1-1 of the 1-1 embodiment when the elastic part S1-1 of the 1-1 embodiment is elastically deformed, there is no contact interference between the first split beam part PB1 and the second split beam part PB2 according to the elastic deformation in the width direction ( ⁇ x direction).
  • the elastic portion (S1-1) of the 1-1 embodiment may be elastically deformed.
  • the elastic part (S1-1) of the 1-1 embodiment is provided with a slit part (SL) to form a split beam part (PB) in the curved part (CV), so that the curved part (CV) does not have a slit part (SL).
  • ) is provided with a curved portion (CV) whose width direction ( ⁇ x direction) dimension is relatively small compared to the width direction ( ⁇ x direction) dimension.
  • the width direction ( ⁇ x direction) dimension of the curved portion CV is the sum of the beam widths PW1 and PW2 of the plurality of split beam portions (first and second split beam portions PB1 and PB2).
  • the curved part CV is formed entirely in the shape of an arc. In this case, when the elastic portion is elastically deformed, it may be difficult to elastically deform the elastic portion due to the curved portion (CV) having a relatively large width.
  • the curved portion (CV) may be considered to have a small width direction ( ⁇ x-direction) dimension of the curved portion (CV), but in this case, the curved portion (CV) is formed in the shape of an arc with a small width direction ( ⁇ x-direction) dimension, thereby reducing the rigidity. This may be weak. Accordingly, when the elastic part is deformed, the curved part (CV) may be damaged.
  • the elastic portion (S1-1) of the 1-1 embodiment has a slit portion (SL) in the center of the curved portion (CV) and is not too small or large relative to the beam width (H) of the straight portion (L). It is provided with a curved portion (CV) composed of split beam portions (first and second split beam portions (PB1, PB2)) having beam widths (PW1, PW2). Accordingly, the elastic portion (S1-1) of the 1-1 embodiment can secure rigidity compared to the curved portion (CV), which is formed in the shape of an arc and has a relatively small width direction ( ⁇ x direction) dimension, and has a relatively small width direction ( ⁇ x direction) dimension. It is easily elastically deformed compared to a curved portion (CV) with a large width direction ( ⁇ x direction) dimension.
  • the elastic part S1-1 of the 1-1 embodiment has a relatively large size when the split beam part PB having different beam widths PW1 and PW2 is provided in the curved part CV through the slit part SL. Rigidity is secured by providing a split beam unit (second split beam unit (PB2)) with a beam width (PW2), and elastic deformation is achieved through a split beam unit (first split beam unit (PB1)) with a relatively small beam width (PW1). You can do it easily. As a result, the elastic portion (S1-1) of the 1-1 embodiment can be easily deformed by pressing force and prevent damage.
  • PB2 split beam unit
  • PW2 beam width
  • PW1 beam width
  • the electrically conductive contact pin 100 of the present invention has a line width (t) of a high aspect ratio, and the overall thickness dimension (H) is increased compared to the line width (t).
  • the overall thickness dimension (H) is increased compared to the line width (t) of the plate-shaped plate constituting the elastic portion (S). Because of this, rigidity can be secured even if the slit portion (SL) is formed to penetrate one side and the other side of the curved portion (CV) of the elastic portion (S).
  • the elastic portion (S) has a line width (t) of a high aspect ratio, and the overall thickness dimension (H) is increased compared to the line width (t). Therefore, even if the slit portion (SL) is formed in the elastic portion (S1-1) of the 1-1 embodiment, the elastic portion (S1-1) of the 1-1 embodiment has a beam width (PW) of a high aspect ratio, It is possible to increase the overall thickness dimension (H) compared to the beam width (PW).
  • the elastic part (S1-1) of the 1-1 embodiment has a beam width (PW) of a high aspect ratio and is provided with a slit part (SL) to facilitate elastic deformation and secure rigidity to prevent breakage.
  • the elastic portion (hereinafter referred to as the elastic portion (S1-2) of the 1-2 embodiment) according to the preferred 1-2 embodiment of the present invention will be described.
  • the elastic portion (S1-2) of the 1-2 embodiment described below will be described focusing on characteristic components compared to the elastic portion (S1-1) of the 1-1 embodiment. Descriptions of components that are the same or similar to are omitted if possible.
  • Figure 4 is an enlarged view of a portion of the elastic portion (S1-2) of the first-second embodiment.
  • the elastic portion (S1-2) of the first-second embodiment includes a plurality of slit portions (SL) including first to third slit portions (SL1, SL2, and SL3), and first to third slit portions (SL1, SL2). , SL3) and includes a plurality of split beam units (PB).
  • the split beam unit (PB) includes first to fourth split beam units (PB1, PB2, PB3, and PB4).
  • the first to third slit portions (SL1, SL2, and SL3) have the same beam width (SW1, SW2, and SW3) in the width direction ( ⁇ x direction).
  • the beam width SW of the slit portion SL refers to the dimension in the width direction ( ⁇ x direction) of the slit portion SL.
  • Each slit portion SL has the same curvature.
  • the first to third slit portions SL1, SL2, and SL3 are formed at a predetermined distance in the width direction ( ⁇ x direction).
  • the first to fourth split beam portions (PB1, PB2, PB3, and PB4) are formed by first to third slit portions (SL1, SL2, and SL3) formed at a distance from each other.
  • the first split beam portion PB1 is provided at the innermost side of the curved portion CV in the width direction ( ⁇ x direction) and includes the inner surface of the curved portion CV.
  • the first split beam portion PB1 is provided by a first slit portion SL1 formed at the smallest distance from the inner surface of the curved portion CV to the outer side in the width direction ( ⁇ x direction).
  • the first split beam unit (PB1) has a relatively smallest beam width (PW1).
  • the second split beam portion PB2 is formed by the first slit portion SL1 and the second slit portion SL2 provided at a predetermined distance outward in the width direction ( ⁇ x direction).
  • the separation distance between the second slit portion SL2 and the first slit portion SL1 is greater than the separation distance between the inner surface of the curved portion CV and the first slit portion SL1. Accordingly, the beam width (PW2) of the second split beam unit (PB2) is larger than the beam width (PW1) of the first split beam unit (PB1).
  • the third split beam portion PB3 is formed by the second slit portion SL2 and the third slit portion SL3 provided at a predetermined distance outward in the width direction ( ⁇ x direction).
  • the separation distance between the third slit portion SL3 and the second slit portion SL2 is greater than the separation distance between the second slit portion SL2 and the first slit portion SL1. Accordingly, the beam width PW3 of the third split beam unit PB3 is larger than the beam width PW2 of the second split beam unit PB2.
  • the fourth split beam portion PB4 is formed by the separation distance between the third slit portion SL3 and the outer surface of the curved portion CV.
  • the separation distance between the third slit portion SL3 and the outer surface of the curved portion CV is greater than the separation distance between the third slit portion SL3 and the second slit portion SL2. Accordingly, the beam width PW4 of the fourth split beam unit PB4 is larger than the beam width PW3 of the third split beam unit PB3.
  • the elastic portion (S1-2) of the first and second embodiments is formed in the first to second embodiments so that a greater separation distance is provided from the inner direction of the curved portion (CV) to the outer direction of the curved portion (CV) based on the width direction ( ⁇ x direction).
  • Form three slit portions (SL1, SL2, SL3) are formed in the width direction ( ⁇ x direction) between the inner surface of the curved portion (CV) and the outer surface of the curved portion (CV).
  • the first to third slit portions (SL1, SL2, and SL3) are formed with a greater separation distance from the inner surface to the outer surface of the curved portion (CV).
  • the elastic portion (S1-2) of the first-second embodiment has beam widths (PW1, PW2, PW3) from the inner direction of the curved portion (CV) to the outer direction of the curved portion (CV) based on the width direction ( ⁇ x direction).
  • PW4 forms a plurality of split beam units (specifically, first to fourth split beam units (PB1, PB2, PB3, PB4)) of which size is increased.
  • the elastic part (S1-2) of the 1-2 embodiment is located in the inner direction of the curved part (CV), and has the beam width (PW1) of the first split beam part (PB1) provided including the inner surface of the curved part (CV). It is provided small, and the beam widths (PW2, PW3) of the second to fourth split beam units (PB2, PB3, PB4) move from the inner direction of the curved portion (CV) to the outer direction of the curved portion (CV) based on the width direction ( ⁇ x direction). , PW4) are provided sequentially.
  • the elastic part (S1-2) of the first and second embodiments is a split beam part (first and second split beam parts (PB1)) having a relatively small beam width (PW1, P2 or PW1, PW2, PW3) on the inner part of the curved part (CV). , PB2) or first to third split beam units (PB1, PB2, PB3).
  • the elastic part (S1-2) of the first and second embodiments is a split beam part (third, fourth split beam part (PB) or fourth split beam part (PB)) having a relatively large beam width (PW3, PW4 or PW4) on the outer part of the curved part (CV). It is provided with a split beam unit (PB4).
  • PB4 split beam unit
  • the elastic portion (S1-2) of the first and second embodiments is divided with a relatively small beam width (PW1, PW2 or PW1, PW2, PW3) at the inner portion of the curved portion (CV) where ease of elastic deformation is required. It is provided with a beam unit (first and second split beam units (PB1, PB2) or first and third split beam units (PB1, PB2, PB3)), and a relatively large beam width (PW3, PW4 or PW4) on the outer part of the curved section (CV). ) and a split beam unit (third, fourth split beam unit (PB) or fourth split beam unit (PB4)).
  • the elastic portion (S1-2) of the first-second embodiment can facilitate elastic deformation of the curved portion (CV) during elastic deformation and simultaneously prevent breakage.
  • the elastic portion (hereinafter referred to as the elastic portion (S1-3) of the 1-3 embodiment) according to the preferred 1-3 embodiment of the present invention will be described.
  • the elastic portion (S1-3) of the 1-3 embodiment described below will be described focusing on characteristic components compared to the elastic portion (S1-1, S1-2) of the 1-1 and 1-2 embodiments. However, descriptions of identical or similar components will be omitted whenever possible.
  • Figure 5 is an enlarged view of a portion of the elastic portion (S1-3) of the first-3 embodiment.
  • the elastic portion S1-3 of the first-third embodiment includes first and second slit portions SL1 and SL2 and first to third split beam portions PB1, PB2, and PB3.
  • the elastic portion (S1-3) of the first-third embodiment has first and second slit portions (SL1, It has a large beam width (SW1, SW2) of SL2).
  • the first slit portion SL1 is located in the inner direction of the curved portion CV but is closest to the inner surface of the curved portion CV, and the beam width SW1 of the first slit portion SL1 is equal to that of the second slit portion. It is larger than the beam width (SW2) of the sub (SL2).
  • the second slit portion SL2 is formed to be spaced apart from the first slit portion SL1 on the outside in the width direction ( ⁇ x direction). At this time, the beam width SW2 of the second slit part SL2 is smaller than the beam width SW1 of the first slit part SL1.
  • the elastic part (S1-3) of the first-3 embodiment includes first and second slit parts (SL1, SL2), and the beam width (SW1) of the first slit part (SL1) is adjusted to that of the second slit part (SL2). It is provided larger than the beam width (SW2).
  • the elastic portion S1-3 of the first-third embodiment has the largest beam width SW1 of the slit portion (first slit portion SL1) provided in the inner direction of the curved portion CV.
  • the beam width PW2 of the slit portion (second slit portion SL2) provided in the outer direction of the curved portion CV is smaller than the beam width SW1 of the first slit portion SL1. Accordingly, among the plurality of slits SL1 and SL2 of the elastic part S1-3 of the first-3 embodiment, the beam width SW2 of the second slit part SL2 is the smallest.
  • the elastic portion (S1-3) of the first-third embodiment has a slit portion (the first and second slit portions (SL1, SL2)) as it moves from the inner direction of the curved portion (CV) to the outer direction of the curved portion (CV).
  • the beam width (SW1, SW2) is provided to be small.
  • the spatial margin of the first slit part SL1 formed by the beam width SW1 of the first slit part SL1 is the second slit part ( It is larger than the spatial margin width of the second slit portion SL2 formed by the beam width SW2 of SL2).
  • the first split beam unit (PB1) is formed by the first slit unit (SL1) and has a beam width (SW1) smaller than the beam width (SW2) of the second split beam unit (PB2). This is implemented by making the separation distance between the second slit portion SL2 and the first slit portion SL1 larger than the distance between the first slit portion SL1 and the inner surface of the curved portion CV.
  • the beam width (PW1) of the first split beam unit (PB1) is smaller than the beam width (PW2) of the second split beam unit (PB2)
  • the beam width (PW2) of the second split beam unit (PB2) is smaller than the beam width (PW2) of the second split beam unit (PB2). is larger than the beam width (PW1) of
  • the third split beam portion (PB3) is formed by the separation distance between the outer surface of the curved portion (CV) and the second slit portion (SL2), and is formed by the separation distance between the outer surface of the curved portion (CV) and the second slit portion (SL2).
  • the beam width (PW3) of the third split beam unit (PB3) is formed by the width.
  • the elastic portion (S1-3) of the first-third embodiment has the largest beam width (PW3) of the third split beam portion (PB3) provided in the outermost direction of the curved portion (CV). Accordingly, the elastic portion (S1-3) of the first-third embodiment has a beam width (PW1, PW2) of the split beam portion (first to third split beam portions (PB1, PB2, PB3)) from the inner direction to the outer direction of the curved portion (CV). , PW3) is largely provided.
  • the elastic unit (S1-3) of the 1-3 embodiment adjusts the beam width (PW1) of the first split beam unit (PB1) located in the innermost direction of the curved portion (CV) to the beam width (PW1) located in the outermost direction of the curved portion (CV). It is provided smaller than the beam width (PW3) of the third split beam unit (PB3). Accordingly, the elastic portion S1-3 of the first-third embodiment can be more easily elastically deformed in the inner direction of the curved portion CV. Meanwhile, the elastic portion (S1-3) of the first-third embodiment is provided with a third split beam portion (PB3) having a relatively largest beam width (PW3) in the outer direction of the curved portion (CV), thereby preventing elastic deformation that may occur during elastic deformation. Prevent breakage problems.
  • the elastic part (S1-3) of the first-3 embodiment has the smallest beam width (PW1) of the first split beam part (PB1), and the first slit part (SL1) provided around the first split beam part (PB1). ) has the largest space margin.
  • the elastic part S1-3 of the first-3 embodiment is elastically deformed, the first split beam part PB1 is pressed in the longitudinal direction ( ⁇ y direction) and elastically deformed while one side is turned outward in the width direction ( ⁇ x direction). It protrudes.
  • the first slit portion SL1 accommodates the width direction ( ⁇ x direction) deformation of the first split beam portion PB1.
  • the elastic part S1-3 of the 1-3 embodiment has a spatial margin of the first slit portion SL1 larger than that of the second slit portion SL2, so that the elastic portion S1-3 of the 1-3 embodiment
  • the problem of interference between the first split beam portion (PB1) and the second split beam portion (PB2) as it contacts the inner surface of the second split beam portion (PB2) can be prevented.
  • the elastic portion (S1-4) of the 1-4 embodiment described below has characteristic components compared to the elastic portion (S1-1, S1-2, and S1-3) of the 1-1 to 1-3 embodiments. The description will focus on these elements, and descriptions of components that are the same or similar to the elastic parts (S1-1, S1-2, and S1-3) of the 1-1 to 1-3 embodiments will be omitted if possible.
  • Figure 6 is an enlarged view of a portion of the elastic portion (S1-4) of the first-fourth embodiment.
  • the elastic portion (S1-4) of the first to fourth embodiments includes the first and second slit portions (SL1 and SL2) and the first to third split beam portions formed by the first and second slit portions (SL1 and SL2). PB1, PB2, PB3).
  • the first and second slit portions SL1 and SL2 have the same beam widths SW1 and SW2 and are formed to be spaced apart from each other.
  • the beam widths (PW1, PW2, PW3) of the first to third split beam units (PB1, PB2, and PB3) are the same.
  • the straight portion L has a beam width H in the longitudinal direction ( ⁇ y direction).
  • the beam width H of the straight portion L refers to the longitudinal direction ( ⁇ y direction) dimension of the straight portion L.
  • the elastic portion (S1-4) of the first to fourth embodiments includes the sum of the beam widths (PW1, PW2, PW3) of the plurality of split beam portions (first to third split beam portions (PB1, PB2, PB3)) and the straight portion ( It has the same beam width (H) as L).
  • 'the beam width (H) of the straight part (L) the sum of the beam widths (PW1, PW2, PW3) of the first to third split beam parts (PB1, PB2, PB3)'.
  • the current flowing through the electrically conductive contact pin 100 of the present invention may flow along the elastic portion S1-4 of the first-fourth embodiment.
  • the elastic part (S1-4) of the first to fourth embodiment has the beam width (H) of the straight part (L) and the beam width (PW1, PW2, PW3) of the first to third split beam parts (PB1, PB2, PB3).
  • the elastic portion S1-4 of the first to fourth embodiments has different radii of curvature of the first to third split beam portions PB1, PB2, and PB3.
  • the elastic portion (S1-4) of the first to fourth embodiments has a radius of curvature that increases from the inner direction of the curved portion (CV) to the outer direction of the curved portion (CV).
  • the first to third split beam portions (PB1, PB2) , PB3) is provided.
  • the radius of curvature increases in the order of the first split beam portion (PB1), the second split beam portion (PB2), and the third split beam portion (PB3) as it moves from the inner direction of the curved portion (CV) to the outer direction of the curved portion (CV).
  • the first split beam portion PB1 provided in the innermost direction of the curved portion CV has the smallest radius of curvature among the first to third split beam portions PB1, PB2, and PB3.
  • the third split beam portion (PB3) provided on the outermost side of the curved portion (CV) has the largest radius of curvature among the first to third split beam portions (PB1, PB2, and PB3).
  • the elastic portion (S1-4) of the first-fourth embodiment is elastically deformed.
  • the elastic portion (S1-4) of the first to fourth embodiments has different radii of curvature of the first to third split beam portions (PB1, PB2, and PB3), and the first elastic portion (S1-4) is provided in the innermost direction of the curved portion (CV).
  • the split beam portion (PB1) has the smallest radius of curvature.
  • elastic deformation is achieved by the curved part, and if elastic deformation in the inner direction of the curved part is not easily achieved, the elastic part may be damaged and damage to the connection terminal may occur.
  • the elastic portion (S1-4) of the first-4 embodiment has a radius of curvature of the first split beam portion (PB1) in the inner direction of the curved portion (CV) that substantially implements elastic deformation of the elastic portion (S1-4). It is equipped with the smallest size compared to the second and third split beam units (PB). Accordingly, the elastic portion S1-4 of the first-fourth embodiment is easily deformed without causing damage to the elastic portion S1-4 or the connection terminal when elastically deformed, and can be easily restored when the pressing force is released. As a result, the inspection efficiency of the electrically conductive contact pin 100 of the present invention for inspection objects can be further improved.
  • the elastic portion (hereinafter referred to as the elastic portion (S1-5) of the 1-5 embodiment) according to the preferred 1-5 embodiment of the present invention will be described.
  • the elastic portion (S1-5) of the 1-5 embodiment described below is compared with the elastic portion (S1-1, S1-2, S1-3, and S1-4) of the 1-1 to 1-4 embodiments.
  • the explanation will focus on the characteristic components, and descriptions of identical or similar components will be omitted if possible.
  • Figure 7 is an enlarged view of a portion of the elastic portion (S1-5) of the first-fifth embodiment.
  • the elastic portion (S1-5) of the 1-5 embodiment includes the first and second slit portions (SL1 and SL2) and the first to third split beam portions formed by the first and second slit portions (SL1 and SL2).
  • PB1, PB2, PB3 are provided.
  • the elastic portion (S1-5) of the first-fifth embodiment reduces the radius of curvature of the first to third split beam portions (PB1, PB2, and PB3) from the inner direction of the curved portion (CV) to the outer direction of the curved portion (CV). Equipped with In other words, the radius of curvature of the first split beam portion (PB1), the second split beam portion (PB2), and the third split beam portion (PB3) becomes smaller as you go from the inner direction of the curved portion (CV) to the outer reflection of the curved portion (CV). Lose.
  • the beam widths (SW1, SW) of the first slit portion (SL1) and the second slit portion (SL2) that is, the space margin width, increase as it moves from the inner direction of the curved portion (CV) to the outer direction of the curved portion (CV). A shape is formed.
  • the beam widths (PW1, PW2, and PW3) of the first to third split beam units (PB1, PB2, and PB3) may be provided to be the same.
  • the elastic portion (S1-5) of the 1-5 embodiment preferably has a beam width (H) of the straight portion (L) and a beam width (PW1, PW2, It is provided with a straight part (L) and first to third split beam parts (PB1, PB2, PB3) so that the sum of PW3) is the same.
  • the sum of the beam width (H) of the straight portion (L) and the beam width (PW1, PW2, PW3) at the center portion in the longitudinal direction ( ⁇ y direction) of the first to third split beam portions (PB1, PB2, PB3) is same.
  • the elastic portion (S1-5) of the first-fifth embodiment has a beam width (SW1, SW2) and a space margin width of the plurality of slits (SL) from the inner direction of the curved portion (CV) to the outer direction of the curved portion (CV).
  • the first slit portion SL1 provided around the first split beam portion PB1 has a relatively large spatial margin due to the relatively large radius of curvature of the first split beam portion PB1. Therefore, when the first split beam portion PB1 is elastically deformed in the longitudinal direction ( ⁇ y direction) and one side of the first split beam portion PB1 protrudes in the width direction ( ⁇ x direction) due to a pressing force, the first split beam portion PB1 One protruding side of (PB1) is comfortably accommodated in the first slit portion (SL1).
  • the second split beam portion PB2 exists around the outside of the first slit portion SL1 in the width direction ( ⁇ x direction), and the first split beam portion protrudes due to elastic deformation and is accommodated in the first slit portion SL1.
  • the problem of interference between the protruding sides of (PB1) due to contact is prevented.
  • the elastic portion (S1-6) of the 1-6 embodiment is the elastic portion (S1-1, S1-2, S1-3, S1-4, S1-5) of the 1-1 to 1-5 embodiments. ), the explanation will focus on the characteristic components, and descriptions of the same or similar components will be omitted if possible.
  • Figure 8 is an enlarged view of a portion of the elastic portion (S1-6) of the 1-6 embodiment.
  • the elastic portion (S1-6) of the first to sixth embodiments includes the first and second slit portions (SL1 and SL2) and the first to third split beam portions formed by the first and second slit portions (SL1 and SL2).
  • PB1, PB2, PB3 are provided.
  • the elastic portion (S1-6) of the first to sixth embodiments has the same radius of curvature as the first to third split beam portions (PB1, PB2, and PB3).
  • the beam widths (PW1, PW2, and PW3) of each of the first to third split beam units (PB1, PB2, and PB3) are provided to be the same.
  • the elastic part (S1-6) of the 1-6 embodiment has the beam width (H) of the straight part (L) and the individual beam widths (PW1, PW2, PW3) is equally equipped.
  • the beam width (PW1) at the center of the first split beam portion (PB1) in the longitudinal direction ( ⁇ y direction) is the same as the beam width (H) of the straight portion (L), and the beam width (H) of the straight portion (L) is the same in the longitudinal direction ( ⁇ y direction).
  • the beam width (PW2) at the center of the second split beam portion (PB2) and the beam width (H) of the straight portion (L) are the same, and the beam width (PW2) at the center of the third split beam portion (PB3) in the longitudinal direction ( ⁇ y direction) is The beam width (H) of PW3) and the straight portion (L) are the same.
  • the elastic part (S1-6) of the 1-6 embodiment has the beam width (H) of the straight part (L) equal to the beam width (PW1, PW2, PW3) of the split beam parts (PB1, PB2, PB3),
  • the beam width (H) of the straight part (L) is relatively greater than the overall beam width of the curved part (CV) (specifically, the sum of the beam widths (PW1, PW2, PW3) of the first to third split beam parts (PB1, PB2, PB3)).
  • the elastic portion (S1-6) of the 1-6 embodiment induces the straight portion (L) to be more easily deformed during elastic deformation, thereby improving the elastic deformation efficiency of the elastic portion (S1-6) of the 1-6 embodiment. It can be advantageous.
  • the elastic portion (S1-7) of the 1-7 embodiment is the elastic portion (S1-1, S1-2, S1-3, S1-4, S1-5) of the 1-1 to 1-6 embodiments. , S1-6), the description will focus on the characteristic components, and descriptions of the same or similar components will be omitted if possible.
  • Figure 9 is an enlarged view of a portion of the elastic portion (S1-7) of the 1-7 embodiment.
  • the elastic portion (S1-7) of the 1-7th embodiment includes the first and second slit portions (SL1 and SL2) and the first to third split beam portions formed by the first and second slit portions (SL1 and SL2).
  • PB1, PB2, PB3 are provided.
  • the elastic portion (S1-7) of the first to seventh embodiments is formed in the first to third split beam portions (PB1, PB2, and PB3) to have a smaller radius of curvature as it goes from the inner direction of the curved portion (CV) to the outer direction of the curved portion (CV). is provided. Specifically, as you go from the inner direction of the curved portion (CV) to the outer direction of the curved portion (CV), the radius of curvature of the first split beam portion (PB1), the second split beam portion (PB2), and the third split beam portion (PB3) becomes smaller in that order. Lose.
  • the elastic portion (S1-7) of the 1-7 embodiment has the first and second slit portions (SL1, SL2) so as to have a larger spatial margin from the inner direction of the curved portion (CV) to the outer direction of the curved portion (CV). ) is provided.
  • the elastic portion (S1-7) of the 1-7 embodiment is advantageous in preventing contact interference between the first and second split beam portions (PB1 and PB2) in elastic deformation.
  • the elastic portion (S1-7) of the first to seventh embodiments includes the central beam width (PW1, PW2, PW3) and the straight portion in the longitudinal direction ( ⁇ y direction) of each of the first to third split beam portions (PB1, PB2, and PB3).
  • (L) has the same beam width (H). For this reason, the elastic portion (S1-7) of the 1-7th embodiment can induce the straight portion (L) to undergo a predetermined elastic deformation when elastically deformed.
  • the elastic portion (S1-8) of the 1-8 embodiment is the elastic portion (S1-1, S1-2, S1-3, S1-4, S1-5) of the 1-1 to 1-7 embodiments. , S1-6, S1-7), the description will focus on the characteristic components, and descriptions of the same or similar components will be omitted if possible.
  • Figure 10 is an enlarged view of a part of the elastic portion (S1-8) of the 1-8 embodiment.
  • the elastic portion (S1-8) of the 1-8 embodiment includes the first and second slit portions (SL1 and SL2) and the first to third split beam portions formed by the first and second slit portions (SL1 and SL2).
  • PB1, PB2, PB3 are provided.
  • the elastic portion (S1-8) of the 1-8 embodiment includes the first and second slit portions (SL1 and SL2) and the first to third split beam portions formed by the first and second slit portions (SL1 and SL2).
  • PB1, PB2, PB3 are provided.
  • the elastic portion (S1-8) of the first to eighth embodiments includes the first to third split beam portions (PB1, PB2, and PB3) to have a larger radius of curvature from the inner direction of the curved portion (CV) to the outer direction of the curved portion (CV). is provided. Specifically, the radius of curvature increases in the order of the first split beam portion (PB1), the second split beam portion (PB2), and the third split beam portion (PB3) as it moves from the inner direction of the curved portion (CV) to the outer direction of the curved portion (CV). .
  • the elastic portion S1-8 of the first-8 embodiment can more easily undergo elastic deformation in the inner direction of the curved portion CV.
  • the elastic part (S1-8) of the first to eighth embodiments has the same beam width (PW1, PW2, PW3) of each of the first to third split beam parts (PB1, PB2, PB3) and the beam width (H) of the straight part (L). Be well-equipped. Because of this, the elastic portion (S1-8) of the first-8 embodiment can induce the straight portion (L) to undergo a predetermined elastic deformation when elastically deformed.
  • the elastic portion (S1-9) of the 1-9 embodiment is the elastic portion (S1-1, S1-2, S1-3, S1-4, S1-5) of the 1-1 to 1-8 embodiments. , S1-6, S1-7, S1-8), the description will focus on the characteristic components, and descriptions of the same or similar components will be omitted if possible.
  • Figure 11 is an enlarged view of a part of the elastic part (S1-9) of the 1-9 embodiment.
  • the elastic portion (S1-9) of the 1-9 embodiment includes the first and second slit portions (SL1 and SL2) and the first to third split beam portions formed by the first and second slit portions (SL1 and SL2). It is provided with a plurality of split beam units (PB) including PB1, PB2, and PB3).
  • PB split beam units
  • the split beam portion (PB) is provided with a bent portion 170 that has a curvature to form a radius of curvature of the split beam portion (PB).
  • the bent portion 170 is provided at the center of the split beam portion (PB) based on the longitudinal direction ( ⁇ y direction) so that its horizontal center line coincides with the horizontal center line of the split beam portion (PB).
  • the beam width (PW) of the bent portion 170 constitutes the beam width (PW) in the width direction ( ⁇ x direction) of the central portion of the split beam portion (PB) in the longitudinal direction ( ⁇ y direction).
  • the split beam portion (PB) is provided at the upper part of the bent portion 170 based on the width direction ( ⁇ x direction) of the bent portion 170 to the peripheral portion (specifically, the longitudinal direction ( ⁇ y direction)) and moves up and down.
  • the portion connected to one end of the straight portion (L) located at the upper portion and the portion connected to one end of the straight portion (L) located at the lower portion are provided smaller than the portion connected to one end of the straight portion (L) located at the lower portion.
  • the split beam unit (PB) is provided with the smallest beam width (PW) at the center based on the longitudinal direction ( ⁇ y direction).
  • each of the first to third split beam units (PB1, PB2, PB3) has a central beam width (PW1, PW2, PW3) greater than the upper and lower beam widths (PW) in the longitudinal direction ( ⁇ y direction). It is provided in the smallest size.
  • the upper peripheral portion of the bent portion 170 of the first split beam portion PB1 is a portion connected to one end of the straight portion L located at the upper portion among the straight portions L adjacent above and below. Accordingly, the beam width PW1 at the upper peripheral portion can be measured in the longitudinal direction ( ⁇ y direction) and compared with the beam width PW1 at the central portion of the split beam portion PB where the bent portion 170 is provided.
  • the lower peripheral portion of the bent portion 170 is a portion connected to one end of the straight portion L located at the upper portion among the straight portions L adjacent above and below.
  • the beam width PW1 at the lower peripheral portion can be measured in the longitudinal direction ( ⁇ y direction) and compared with the beam width PW1 at the center of the split beam portion PB where the bent portion 170 is provided. Since the beam widths (PW2, PW3) of the central portions of the second and third split beam units (PB) are also the same, detailed description will be omitted.
  • the beam width (PW) of the central portion of the elastic portion (S1-9) and the split beam portion (PB) of the first-9 embodiment is provided to be smaller than that of the peripheral portion to facilitate elastic deformation.
  • the elastic portion (S1-10) of the 1-10 embodiment is the elastic part (S1-1, S1-2, S1-3, S1-4, S1-5) of the 1-1 to 1-9 embodiments. , S1-6, S1-7, S1-8, and S1-9), the description will focus on the characteristic components, and descriptions of the same or similar components will be omitted if possible.
  • Figure 12 is an enlarged view of a part of the elastic portion (S1-10) of the 1-10 embodiment.
  • the elastic portion (S1-10) of the 1-10th embodiment has an oval cross-section in which the dimension in the width direction ( ⁇ x direction) is larger than the dimension in the longitudinal direction ( ⁇ y direction) and has curvature on both sides in the width direction ( ⁇ x direction). It is provided with a slit portion (SL') having a shape.
  • the oval-shaped slit portion SL' is provided in the center of the curved portion CV and penetrates one surface and the other surface of the curved portion CV.
  • the elastic portion (S1-10) of the 1-10th embodiment is provided with a first split beam portion ( PB1) is provided, and a second split beam unit (PB2) is provided on the other side.
  • the elastic part (S1-10) of the 1-10th embodiment is provided with an oval-shaped slit part (SL') having a relatively large dimension in the width direction ( ⁇ x direction), thereby reducing the beam width of the first split beam part (PB1).
  • the beam width (PW2) of (PW1) and the second split beam unit (PB2) is formed to be relatively small. Accordingly, in the elastic part (S1-10) of the 1-10 embodiment, elastic deformation of the first and second split beam parts (PB1, PB2) can be more easily achieved, so that the overall elastic deformation of the elastic part (S1-10) can be easily achieved. there is.
  • the elastic part S2 of the second embodiment according to the second preferred embodiment of the present invention will be described.
  • the elastic portion (S2) of the second embodiment described below is similar to that of the 1-1 to 1-10 embodiments (S1-1, S1-2, S1-3, S1-4, S1-5, S1-6, S1 -7, S1-8, S1-9, S1-10), the explanation will focus on the characteristic components, and descriptions of the same or similar components will be omitted if possible.
  • Figure 13 is an enlarged view of a portion of the elastic portion (S2) of the second embodiment.
  • the elastic portion S2 of the second embodiment includes a plurality of straight portions L and a curved portion CV connecting the straight portions L adjacent above and below.
  • the elastic portion S2 of the second embodiment is shown without a slit portion SL, but may be provided with a slit portion SL and a split beam portion PB in the curved portion CV.
  • the straight portion L is formed as a curved surface with upper and lower surfaces curvature based on the longitudinal direction ( ⁇ y direction). Accordingly, the straight portion (L) of the elastic portion (S2) of the second embodiment has a flat upper and lower surfaces, and the longitudinal direction ( ⁇ y direction) increases from the outer portion to the center based on the width direction ( ⁇ x direction). The beam width (H) becomes smaller.
  • the beam width H of the straight portion L of the elastic portion S2 of the second embodiment is smaller than the beam width H of the outer portion of the straight portion L.
  • the elastic portion S2 of the second embodiment has a small beam width H in the longitudinal direction ( ⁇ y direction) of the central portion of the straight portion L, so that when the elastic portion S2 of the second embodiment is elastically deformed, the straight portion L (L) can induce elastic deformation.
  • the elastic portion S2 of the second embodiment has a beam width (PW) based on the width direction ( ⁇ x direction) of the curved portion CV and a longitudinal direction ( ⁇ y direction) of the straight portion L.
  • PW beam width
  • the beam width (H) of the straight part (L) is smaller than the beam width (PW) of the curved part (CV).
  • Elastic deformation of the straight part (L) can be induced along with elastic deformation of the curved part (CV).
  • the elastic portion (S3-1) of the 3-1 embodiment described below is similar to the elastic portion (S3-1) of the 1-1 to 2 embodiments (S1-1, S1-2, S1-3, S1-4, S1-5, S1-6 , S1-7, S1-8, S1-9, S1-10, S2), the description will focus on the characteristic components, and descriptions of the same or similar components will be omitted if possible.
  • Figure 14 is an enlarged view of a part of the elastic portion (S3-1) of the 3-1 embodiment.
  • the elastic portion (S3-1) of the 3-1 embodiment includes the first and second slit portions (SL1 and SL2) and the first to third split beam portions (PB1) formed by the first and second slit portions (SL1 and SL2). , PB2, PB3) and a stopper (ST) provided on the straight portion (L) adjacent to the top and bottom.
  • the elastic part (S3-1) of the 3-1st embodiment has the same shape as the elastic part (S1-4) of the 1-4th embodiment and is additionally provided with a stopper (ST). Therefore, the straight portion (L) provided in the elastic portion (S3-1) of the 3-1 embodiment, the first and second slit portions (SL1, SL2), and the first to third split beam portions (PB1, PB2, PB3) Detailed description is omitted.
  • At least one stopper (ST) is provided.
  • the stopper (ST) is provided on one side of the straight portion (L).
  • the elastic portion (S3-1) of the 3-1 embodiment includes a plurality of stoppers (ST).
  • the elastic portion (S3-1) of the 3-1 embodiment includes first to eighth stoppers (ST1, ST2, ST3, ST4, ST5, ST6, ST7, and ST8).
  • the first and second straight parts (L1, L2) adjacent to each other in the upper and lower directions ( ⁇ y direction) are provided with a stopper (ST) on one side of each. do.
  • the stoppers ST are provided on opposite sides of the straight portions L adjacent to each other above and below.
  • a first stopper (ST1) is provided on the lower surface of the first straight portion (L1) provided at the uppermost part based on the longitudinal direction ( ⁇ y direction).
  • a second stopper (ST2) is provided on the second straight part (L2), which faces the first straight part (L1) upward and downward and is adjacent to the first straight part (L1).
  • the lower surface of the first straight portion (L1) and the upper surface of the second straight portion (L2) are opposite surfaces to each other.
  • the elastic part (S3-1) of the 3-1 embodiment is provided with a stopper (ST) on opposing surfaces of the first and second straight parts (L1, L2) adjacent to each other in the upper and lower directions ( ⁇ y direction). .
  • the stoppers (ST) are provided at positions corresponding to each other in the longitudinal direction ( ⁇ x direction) and can be contacted when the elastic portion (S3-1) of the 3-1 embodiment is elastically deformed.
  • the elastic portion (S3-1) of the 3-1 embodiment includes a first stopper portion (SP1) composed of first and second stoppers (ST1, ST2) between the first and second straight portions (L1, L2). do.
  • the elastic part (S3-1) of the 3-1 embodiment is provided with a stopper (ST) on each side of the second and third straight parts (L2, L3) adjacent to each other in the upper and lower directions ( ⁇ y direction). do.
  • a second stopper (ST2) is provided on one surface (upper surface) opposite to the lower surface of the first straight part (L1).
  • the second straight portion (L2) has a second stopper (ST2) on its upper surface opposite to the lower surface of the first straight portion (L1), and has a lower surface (other surface) opposite to the upper surface of the third straight portion (L3).
  • a third stopper (ST3) is provided.
  • the second and third stoppers (ST2, ST3) do not overlap each other when projected in opposite directions based on the longitudinal direction ( ⁇ y direction) and are provided facing each other at opposite positions in the width direction ( ⁇ x direction). do.
  • the fourth stopper (ST4) is provided on the upper surface of the third straight part (L3) opposite to the lower surface of the second straight part (L2).
  • the third and fourth stoppers (ST3, ST4) are provided at corresponding positions and can contact each other during elastic deformation in the 3-1 embodiment.
  • the elastic portion (S3-1) of the 3-1 embodiment includes a second stopper portion (SP2) between the second and third stoppers (ST2, ST3).
  • the first stopper part SP1 and the second stopper part SP2 are provided at positions that do not correspond to each other based on the longitudinal direction ( ⁇ y direction). Specifically, the first stopper part (SP1) is provided at a position close to one side of the curved part (CV) connecting the first and second straight parts (L1 and L2), and the second stopper part (SP2) is provided at a position close to one side of the curved part (CV) connecting the first and second straight parts (L1 and L2). It is provided at a position close to the other side of the curved portion (CV) connecting the straight portions (L2, L3). Accordingly, the first and second stopper parts SP1 and SP2 are provided in opposite directions based on the width direction ( ⁇ x direction). Accordingly, the first and second stopper parts SP1 and SP2 do not overlap when projected in opposite directions based on the longitudinal direction ( ⁇ y direction).
  • the fifth stopper part SP5 is provided on the other surface (lower surface) of the third straight part L3 having the fourth stopper ST4 on the upper surface. Accordingly, the third straight portion (L3) has a fourth stopper (ST4) on its upper surface and a fifth stopper (ST5) on its lower surface.
  • the fourth and fifth stoppers (ST4, ST5) do not overlap each other when projected in opposite directions based on the longitudinal direction ( ⁇ y direction), but are provided to face each other in opposite positions in the width direction ( ⁇ x direction). .
  • the sixth stopper (ST6) is provided on the upper surface of the fourth straight part (L4) opposite to the lower surface of the third straight part (L3).
  • the fifth and sixth stoppers (ST5, ST6) are provided at corresponding positions and can contact each other during elastic deformation in the 3-1 embodiment.
  • the elastic part (S3-1) of the 3-1 embodiment is provided with a third stopper part (SP3) consisting of the 5th and 6th stoppers (ST5 and ST6) between the 3rd and 4th straight parts (L3 and L4). do.
  • the second stopper part SP2 and the third stopper part SP3 are provided at positions that do not correspond to each other based on the longitudinal direction ( ⁇ y direction). Specifically, the second stopper part SP2 is provided at a position close to the other side of the curved part CV connecting the first and second straight parts L1 and L2, and the third stopper part SP3 is located at the third and fourth straight parts L1 and L2. It is provided at a position close to one side of the curved portion (CV) connecting the straight portions (L3, L4). Accordingly, the second and third stopper parts SP2 and SP3 are provided in opposite directions based on the width direction ( ⁇ x direction). Accordingly, the second and third stopper parts SP2 and SP3 do not overlap when projected in opposite directions based on the longitudinal direction ( ⁇ y direction).
  • the third stopper part SP3 and the first stopper part SP1 overlap each other when projected in opposite directions based on the longitudinal direction ( ⁇ y direction). Accordingly, the first and third stopper parts SP1 and SP3 are provided in the same direction based on the width direction ( ⁇ x direction).
  • the seventh stopper (ST7) is provided on the lower surface of the fourth straight portion (L4).
  • a sixth stopper (ST6) is provided on the upper surface of the fourth straight portion (L4), and a seventh stopper (ST7) is provided on the lower surface.
  • the sixth and seventh stoppers (ST6, ST7) are provided in opposite directions based on the width direction ( ⁇ x direction). Accordingly, the sixth and seventh stopper parts SP6 and SP7 do not overlap when projected in opposite directions based on the longitudinal direction ( ⁇ y direction).
  • the eighth stopper (ST8) is provided on the upper surface of the fifth straight portion (L5).
  • the eighth stopper (ST8) is provided at a position corresponding to the seventh stopper (ST7) based on the longitudinal direction ( ⁇ y direction) and can contact the seventh stopper (ST7).
  • the elastic part (S3-1) of the 3-1 embodiment is provided with a fourth stopper part (SP4) consisting of the 7th and 8th stoppers (ST7 and ST8) between the 4th and 5th straight parts (L4 and L5). do.
  • the fourth stopper part SP4 and the third stopper part SP3 are provided at positions that do not correspond to each other based on the longitudinal direction ( ⁇ y direction).
  • the third stopper part (SP3) is provided at a position close to one side of the curved part (CV) connecting the third and fourth straight parts (L3 and L4)
  • the fourth stopper part (SP4) is provided at a position close to one side of the curved part (CV) connecting the third and fourth straight parts (L3 and L4). It is provided at a position close to the other side of the curved portion (CV) connecting the straight portions (L4, L5).
  • the third and fourth stopper parts SP3 and SP4 are provided in opposite directions based on the width direction ( ⁇ x direction). Accordingly, the third and fourth stopper parts SP3 and SP4 do not overlap when projected in opposite directions based on the longitudinal direction ( ⁇ y direction).
  • the fourth stopper part SP4 and the second stopper part SP2 overlap each other when projected in opposite directions based on the longitudinal direction ( ⁇ y direction). Accordingly, the second and fourth stopper parts SP2 and SP4 are provided in the same direction based on the width direction ( ⁇ x direction).
  • the elastic portion (S3-1) of the 3-1 embodiment is elastic through a plurality of stopper portions (SP1, SP2, SP3, and SP4) provided between each straight portion (L1, L2, L3, L4, and L5). When deformed, the elastic deformation location is limited.
  • the elastic portion S3-1 of the 3-1 embodiment is compressively deformed in the longitudinal direction ( ⁇ y direction) by elastic deformation of the curved portion CV during elastic deformation.
  • the first and second stoppers (ST1, ST2) are in contact, and the first stopper part (SP1) provides a function of limiting the elastic deformation position of the curved portion (CV).
  • the first and second stoppers (ST1, ST2) are contacted, the curved portion (CV) connecting the first and second straight portions (L1, L2) is no longer compressed in the longitudinal direction ( ⁇ y direction) and is not elastically deformed. As a result, the elastic deformation location is limited.
  • the third and fourth stoppers (ST3, ST4) are in contact, the second stopper part (SP2) provides an elastic deformation position limiting function, and the fifth and sixth stoppers (ST5) correspond to each other in the longitudinal direction ( ⁇ y direction).
  • ST6 and the 7th and 8th stoppers (ST7 and ST8) are in contact, respectively, and the 3rd and 4th stopper parts (SP3 and SP4) provide a function of limiting the elastic deformation position of the curved portion (CV).
  • the curved portion (CV) connecting the second and third straight portions (L2, L3) is no longer compressed in the longitudinal direction ( ⁇ y direction) and is not elastically deformed.
  • the curved portion (CV) connecting the 3rd and 4th straight portions (L3, L4) is no longer compressed in the longitudinal direction ( ⁇ y direction) and is elastically deformed.
  • the 7th and 8th stoppers (ST7, ST8) are contacted, the curved portion (CV) connecting the 4th and 5th straight portions (L4, L5) is no longer compressed in the longitudinal direction ( ⁇ y direction) and is elastically deformed. No.
  • the elastic portion (S3-1) of the 3-1 embodiment is provided with stoppers (ST) on opposing surfaces of the straight portions (L) adjacent to each other above and below. Accordingly, the elastic portion S3-1 of the 3-1 embodiment undergoes compression deformation in the longitudinal direction ( ⁇ y direction) due to elastic deformation of the curved portion CV connecting adjacent straight portions L. When this happens, the opposing stoppers (ST) come into contact with each other, thereby limiting the elastic deformation position of the curved portion (CV).
  • the elastic portion (S3-1) of the 3-1 embodiment is provided with a stopper (ST), thereby preventing excessive compression (elastic) deformation and thereby preventing damage.
  • the elastic portion (S3-2) of the 3-2 embodiment described below is similar to the elastic portion (S3-2) of the 1-1 to 3-1 embodiments (S1-1, S1-2, S1-3, S1-4, S1-5, S1 -6, S1-7, S1-8, S1-9, S1-10, S2, S3-1), the explanation will focus on the characteristic components, and descriptions of the same or similar components will be provided whenever possible. Omit it.
  • Figure 15 is an enlarged view of a part of the elastic portion (S3-2) of the 3-2 embodiment.
  • the elastic portion (S3-2) of the 3-2 embodiment includes a plurality of straight portions (L) and a plurality of curved portions (CV) connecting the straight portions (L) adjacent above and below. and a slit portion (SL") formed continuously on the straight portion (L) and the curved portion (CV) according to the shape of the curved portion (CV) connecting the straight portion (L) and the straight portion (L) adjacent above and below. and a stopper (ST) provided on the straight portion (L).
  • the slit portion (SL") penetrates one side and the other side of the straight portion (L) and the curved portion (CV) and is continuously formed along the integral connection form of the straight portion (L) and the curved portion (CV). Accordingly, the third The elastic part (S3-2) of the -2 embodiment consists of a straight part (L) and a curved part (CV) as a split beam part (PB).
  • each of the plurality of straight portions L includes a first straight split beam portion LB1, a second straight split beam portion LB2, and a slit portion provided between the first and second straight split beam portions LB1 and LB2.
  • SL ).
  • the curved portion CV includes a first split beam portion (PB1), a second split beam portion (PB2), and a slit portion (SL") provided between the first and second split beam portions (PB1 and PB2). Includes.
  • the slit portion (SL") of the straight portion (L) and the slit portion (SL") of the curved portion (CV) are one slit portion (SL") formed continuously.
  • the elastic part (S3-2) of the 3-2 embodiment includes a stopper (ST) between the first and second straight split beam parts (LB1 and LB2).
  • the elastic portion (S3-2) of the 3-2 embodiment is provided with a plurality of stoppers (ST) according to a structure including a plurality of straight portions (L).
  • the stopper (ST) is provided in the slit portion (SL") by being provided between the first and second straight split beam portions (LB1 and LB2).
  • the stopper (ST) is provided between the first and second straight split beam portions (LB1 and LB2).
  • a stopper (ST) having a longitudinal ( ⁇ y-direction) dimension equal to the longitudinal ( ⁇ y-direction) dimension of the slit portion (SL") present in is provided. Accordingly, one surface (lower surface) of the first straight split beam part LB1 is in contact with the upper surface of the stopper ST, and one surface (upper surface) of the second straight split beam part LB2 is in contact with the lower surface of the stopper ST.
  • the stopper ST is provided between the first and second straight split beam parts LB1 and LB2 in a form that contacts one surface of the first and second straight split beam parts PB.
  • the elastic portion (S3-2) of the 3-2 embodiment has a slit portion (SL) continuous to the straight portion (L) and the curved portion (CV) in the same form as the integrated connection form of the straight portion (L) and the curved portion (CV). ").
  • the stopper (ST) is provided in the slit portion (SL") provided between the first and second straight split beam portions (LB1, LB2) and is provided with the first split beam portion (PB1) and the curved portion (CV).
  • the elastic deformation position of the second split beam portion PB2 in the longitudinal direction ( ⁇ y direction) is limited.
  • the first split beam portion (PB1) is integrally connected to the first straight split beam portion (LB1) and the elastic deformation position is limited by the upper surface of the stopper (ST).
  • the second split beam portion (PB2) is integrally connected to the second straight split beam portion (LB2), and the elastic deformation position is limited by the lower surface of the stopper (ST).
  • the elastic portion S3-2 of the 3-2 embodiment is prevented from being damaged due to excessive compression deformation.
  • the elastic portion (S3-3) of the 3-3 embodiment described below is similar to the elastic portion (S3-3) of the 1-1 to 3-2 embodiments (S1-1, S1-2, S1-3, S1-4, S1-5, S1 -6, S1-7, S1-8, S1-9, S1-10, S2, S3-1, S3-2) and will focus on the characteristic components. If possible, explanations are omitted.
  • Figure 16 is an enlarged view of a part of the elastic portion (S3-3) of the 3-3 embodiment.
  • the elastic part (S3-3) of the third-3 embodiment includes a plurality of straight parts (L), a curved part (CV) connecting the straight parts (L) adjacent above and below, and a stopper provided at the curved part (CV). Includes (ST).
  • the elastic portion (S3-3) of the 3-3 embodiment is located inward in the width direction ( ⁇ x direction) on one side of the curved portion (CV) connected to one end of the straight portion (L) located at the top.
  • a first curved extension (CE1) extending with a curvature
  • a first curved extension (CE1) extending with a curvature inward in the width direction ( ⁇ x direction) on the other side of the curved portion (CV) connected to one end of the straight portion (L) located at the lower portion. It is provided with a second curvature extension (CE2).
  • the elastic portion (S3-3) of the 3-3 embodiment includes the first and second curved extension portions (CE1, CE2) and a curved portion (CV) with a cut portion formed on the inside of the width direction ( ⁇ x direction). do.
  • the longitudinal ( ⁇ y-direction) dimension of the cut portion of the curved portion CV is the same as the separation distance between the first and second curved extension portions CE1 and CE2.
  • the elastic portion (S3-3) of the 3-3 embodiment forms a stopper (ST) through the first and second curvature extension portions (CE1 and CE2).
  • the elastic portion (S3-3) of the 3-3 embodiment is provided with a curved portion (CV) including the first and second curved extension portions (CE1, CE2) and is located on the inside in the width direction ( ⁇ x direction). 1, 2 It is provided with a curved portion (CV) including a cut portion having a longitudinal direction ( ⁇ y direction) dimension equal to the separation distance between the curved extension portions (CE1 and CE2).
  • the elastic part (S3-3) of the 3-3 embodiment attaches a stopper (ST) to the curved part (CV) through the first and second curved extension parts (CE1, CE2) having a separation distance in the longitudinal direction ( ⁇ y direction).
  • the stopper ST is provided in the curved portion CV by the first and second curved extension portions CE1 and CE2 that are spaced apart in the longitudinal direction ( ⁇ y direction).
  • the curved portion CV is elastically deformed while being compressed in the longitudinal direction ( ⁇ y direction). Accordingly, the separation distance between the first and second curved extensions CE1 and CE2 gradually decreases, and the first and second curved extensions CE1 and CE2 come into contact. Accordingly, the elastic deformation position in the longitudinal direction ( ⁇ y direction) of the curved portion CV is limited.
  • the elastic part (S3-3) of the 3-3 embodiment is provided with first and second curved extension parts (CE1, CE2) having a separation distance in the longitudinal direction ( ⁇ y direction) at the curved part (CV), so that the first and second curved extension parts (CE1, CE2)
  • the elastic deformation length of the curved portion (CV) is limited by the separation distance between the curved extension portions (CE1 and CE2).
  • the curved portion CV is elastically deformed until the first and second curved extensions CE1 and CE2 come into contact, and as the first and second curved extensions CE1 and CE2 come into contact, the elastically deformed position is limited. Through this, excessive elastic deformation of the elastic portion (S3-3) of the third-3 embodiment can be prevented, thereby preventing damage.
  • the elastic portion (S4-1) of the 4-1 embodiment described below is similar to the elastic portion (S4-1) of the 1-1 to 3-3 embodiments (S1-1, S1-2, S1-3, S1-4, S1-5, S1 -6, S1-7, S1-8, S1-9, S1-10, S2, S3-1, S3-2, S3-3), and will focus on the characteristic components, and have the same or similar configuration. Descriptions of elements are omitted if possible.
  • Figure 17 is an enlarged view of a part of the elastic portion (S4-1) of the 4-1 embodiment.
  • the elastic portion (S4-1) of the 4-1 embodiment is formed on a plurality of straight portions (L), a plurality of curved portions (CV) connecting the straight portions (L) adjacent above and below, and the curved portion (CV). Includes the groove (HP).
  • the groove (HP) forms a cut portion on the inner surface of the curved portion (CV) based on the width direction ( ⁇ x direction) and is formed to penetrate one side and the other surface of the curved portion (CV).
  • the groove (HP) is provided in the center of the curved portion (CV) based on the longitudinal direction ( ⁇ y direction), and is provided to form an incision on the inner surface of the curved portion (CV) based on the width direction ( ⁇ x direction). .
  • the groove portion HP has a curvature on the outside based on the width direction ( ⁇ x direction) and is open on the inside.
  • the elastic portion (S4-1) of the 4-1 embodiment forms a groove (HP) on the inner surface of the curved portion (CV), so that a cut portion is formed on at least a portion of the inner surface of the curved portion (CV) by the groove portion (HP). is provided.
  • the elastic part S4-1 of the 4-1 embodiment has a groove part HP on the inner surface of the curved part CV, thereby increasing the beam width PW in the width direction ( ⁇ x direction) at the center of the curved part CV. form small. Additionally, the elastic portion S4-1 of the 4-1 embodiment forms a space that accommodates elastic deformation in the longitudinal direction ( ⁇ y direction) of the curved portion CV through the groove portion HP. Accordingly, the elastic portion S4-1 of the 4-1 embodiment can be more easily elastically deformed by pressing force.
  • the elastic portion (S4-2) of the 4-2 embodiment according to the preferred 4-2 embodiment of the present invention will be described.
  • the elastic portion (S) of the 4-2 embodiment described below is similar to that of the 1-1 to 4-1 embodiments (S1-1, S1-2, S1-3, S1-4, S1-5, S1-6 , S1-7, S1-8, S1-9, S1-10, S2, S3-1, S3-2, S3-3, s4-1). Descriptions of similar components are omitted if possible.
  • Figure 18 is an enlarged view of a part of the elastic portion (S) of the 4-2 embodiment.
  • the elastic portion (S) of the 4-2 embodiment includes a plurality of straight portions (L), a plurality of curved portions (CV) connecting the straight portions (L) adjacent above and below, and a groove formed in the curved portion (CV). Includes (HP).
  • the elastic portion (S) of the 4-2 embodiment is different in that the shape of the groove portion (HP) is different from that of the elastic portion (S4-1) of the 4-1 embodiment. .
  • the groove portion (HP) forms a cut portion on the inner surface of the curved portion (CV) and has a concave portion (hereinafter referred to as a concave portion in the width direction) outward in the width direction ( ⁇ x direction). It communicates with the concave portion and is formed through a concave portion in the longitudinal direction ( ⁇ y direction) (hereinafter referred to as a longitudinal concave portion) formed at a position close to the inner surface of the curved portion (CV).
  • ⁇ y direction hereinafter referred to as a longitudinal concave portion
  • the elastic portion (S) of the 4-2 embodiment is concave in the width direction ( ⁇ x direction) and has a groove portion (HP) that is concave in the longitudinal direction ( ⁇ y direction) in a direction perpendicular to the width direction concave portion. Equipped with The curved portion (CV) can be formed to have relatively small longitudinal ( ⁇ y-direction) and widthwise ( ⁇ x-direction) dimensions at the inner portion of the curved portion (CV) through the groove (HP). Accordingly, the elastic portion S of the 4-2 embodiment can more easily undergo elastic deformation at the inner portion of the curved portion CV during elastic deformation, thereby preventing damage.

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Geometry (AREA)
  • Coupling Device And Connection With Printed Circuit (AREA)
  • Measuring Leads Or Probes (AREA)

Abstract

본 발명은 탄성부가 구비된 전기 전도성 접촉핀에 관한 것으로, 상기 탄성부는 복수개의 직선부; 및 상, 하로 인접하는 상기 직선부를 연결하는 복수개의 만곡부를 포함하고, 만곡부를 분할빔부로 분할하는 슬릿부, 탄성변형 위치를 제한하는 스토퍼 또는 만곡부의 내측면에 절개부위를 형성하는 홈부를 더 포함하며, 검사 대상물에 대한 검사 신뢰성을 향상시키고 탄성 변형을 쉽게 하여 검사 대상물의 파손을 방지하는 것을 목적으로 한다.

Description

전기 전도성 접촉핀
본 발명은 전기 전도성 접촉핀에 관한 것이다.
반도체 소자의 전기적 특성 시험은 다수의 전기 전도성 접촉핀을 구비한 검사장치에 검사 대상물(반도체 웨이퍼 또는 반도체 패키지)을 접근시켜 전기 전도성 접촉핀을 검사 대상물상의 대응하는 외부 단자(솔더볼 또는 범프 등)에 접촉시킴으로써 수행된다. 검사장치의 일례로는 프로브 카드 또는 테스트 소켓이 포함되나 이에 한정되는 것은 아니다.
종래 테스트 소켓에는 포고 타입 테스트 소켓과 러버 타입 테스트 소켓이 있다.
포고 타입 테스트 소켓에 사용되는 전기 전도성 접0촉핀(이하, '포고 타입 소켓핀'이라 함)은 핀부와 이를 수용하는 배럴을 포함하여 구성된다. 핀부는 그 양단의 플런저 사이에 스프링 부재를 설치함으로써 필요한 접촉압 부여 및 접촉 위치의 충격 흡수가 가능하게 한다. 핀부가 배럴 내에서 슬라이드 이동하기 위해서는 핀부의 외면과 배럴 내면 사이에 틈새가 존재해야 한다. 하지만 이러한 포고 타입 소켓핀은 배럴과 핀부를 별도로 제작한 후 이들을 결합하여 사용하기 때문에, 필요 이상으로 핀부의 외면이 배럴의 내면과 이격되는 등 틈새 관리를 정밀하게 수행할 수 없다. 따라서 전기 신호가 양단의 플런저를 경유하여 배럴로 전달되는 과정에서 전기 신호의 손실 및 왜곡이 발생되므로 접촉 안정성이 일정하지 않다는 문제가 발생하게 된다. 또한 핀부는 검사 대상물의 외부 단자와의 접촉 효과를 높이기 위해 뾰족한 팁부를 구비한다. 뾰족한 형상의 팁부는 검사 후 검사 대상물의 외부 단자에 압입의 흔적 또는 홈을 발생시킨다. 외부 단자의 접촉 형상의 손실로 인하여, 비전 검사의 오류를 발생시키고 솔더링 등의 이후 공정에서의 외부 단자의 신뢰성을 저하시키는 문제가 발생하게 된다.
한편, 러버 타입 테스트 소켓에 사용되는 전기 전도성 접촉핀(이하, '러버 타입 소켓 핀'이라 함)은, 고무 소재인 실리콘 러버 내부에 전도성 마이크로볼을 배치한 구조로, 검사 대상물(예를 들어, 반도체 패키지)을 올리고 소켓을 닫아 응력이 가해지면 금 성분의 전도성 마이크로 볼이 서로를 강하게 누르면서 전도도가 높아져 전기적으로 연결되는 구조이다. 하지만 이러한 러버 타입 소켓핀은 과도한 가압력으로 눌러줘야만 접촉 안정성이 확보된다는 점에서 문제가 있다.
한편, 최근에는 반도체 기술의 고도화 및 고집적화에 따라 검사 대상물의 외부 단자들의 피치가 더욱 협피치화되고 있는 추세이다. 그런데 기존 러버 타입 소켓핀은, 유동성의 탄성 물질 내에 도전성 입자가 분포되어 있는 성형용 재료를 준비하고, 그 성형용 재료를 소정의 금형 내에 삽입한 후, 두께 방향으로 자기장을 가하여 도전성 입자들을 두께 방향으로 배열하여 제작되기 때문에 자기장의 사이 간격이 좁아지면 도전성 입자들이 불규칙하게 배향되어 면방향으로 신호가 흐르게 된다. 따라서 기존 러버 타입 소켓핀으로는 협피치 기술 트렌드에 대응하는데 한계가 있다.
또한, 포고 타입 소켓핀은, 배럴과 핀부를 별도로 제작한 후 이들을 결합하여 사용하기 때문에, 작은 크기로 제작하는데 어려움이 있다. 따라서, 기존 포고 타입 소켓핀 역시 협피치 기술 트렌드에 대응하는데 한계가 있다.
따라서 최근의 기술 트렌드에 부합하여 검사 대상물에 대한 검사 신뢰성을 향상시킬 수 있는 새로운 유형의 전기 전도성 접촉핀의 개발이 필요한 상황이다.
[선행기술문헌]
[특허문헌]
(특허문헌 1) 대한민국 등록번호 제10-0659944호 등록특허공보
(특허문헌 2) 대한민국 등록번호 제10-0952712호 등록특허공보
본 발명은 상술한 종래기술의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 본 발명은 검사 대상물에 대한 검사 신뢰성을 향상시킨 전기 전도성 접촉핀을 제공하는 것을 그 목적으로 한다.
또한, 본 발명은 전기 전도성 접촉핀에 가압력을 가하는 오버드라이브 과정에서 탄성부의 탄성 변형을 쉽게 하여 검사 대상물의 파손을 방지하는 것을 그 목적으로 한다.
상술한 과제를 해결하고 그 목적을 달성하기 위해, 본 발명에 따른 전기 전도성 접촉핀은, 탄성부가 구비된 전기 전도성 접촉핀에 있어서, 상기 탄성부는, 복수개의 직선부; 상, 하로 인접하는 상기 직선부를 연결하는 복수개의 만곡부; 및 상기 만곡부의 일면과 타면을 관통하는 슬릿부;를 포함하고, 상기 만곡부는, 상기 슬릿부에 의해 형성된 복수개의 분할빔부를 포함한다.
또한, 상기 분할빔부의 빔폭은 동일하다.
또한, 상기 분할빔부의 빔폭은, 상기 만곡부의 내측 방향에서 외측 방향으로 갈수록 커진다.
또한, 복수개의 상기 슬릿부가 구비되고, 상기 슬릿부 중 상기 만곡부의 내측 방향에 구비되는 슬릿부는, 상기 만곡부의 외측 방향에 구비되는 슬릿부보다 공간여유폭이 크다.
또한, 상기 분할빔부는, 상기 만곡부의 내측 방향에서 외측 방향으로 갈수록 곡률 반경이 커진다.
또한, 상기 분할빔부의 빔폭의 합은 상기 직선부의 빔폭과 동일하다.
또한, 상기 분할빔부는, 곡률을 갖는 절곡부를 포함하고, 상기 절곡부의 빔폭은, 주변부의 빔폭보다 작다.
또한, 상기 직선부의 빔폭은, 상기 만곡부의 빔폭보다 작다.
한편, 본 발명의 다른 특징에 따른 전기 전도성 접촉핀은, 탄성부가 구비된 전기 전도성 접촉핀에 있어서, 상기 탄성부는, 복수개의 직선부; 상, 하로 인접하는 상기 직선부를 연결하는 만곡부; 및 상기 직선부 및 상기 만곡부 중 적어도 하나에 구비되어 상기 탄성부의 탄성 변형 위치를 제한하는 스토퍼;를 포함한다.
한편, 본 발명의 다른 특징에 따른 전기 전도성 접촉핀은, 탄성부가 구비된 전기 전도성 접촉핀에 있어서, 상기 탄성부는, 복수개의 직선부; 상, 하로 인접하는 상기 직선부를 연결하는 복수개의 만곡부; 및 상기 만곡부의 내측면에 절개 부위를 형성하며 상기 만곡부의 일면과 타면을 관통하는 홈부;를 포함한다.
본 발명에 따른 전기 전도성 접촉핀은, 탄성부에 슬릿부를 구비하여 탄성부의 탄성 변형이 보다 쉽게 이루어지게 하여 검사 대상물의 파손을 방지한다.
또한, 직선부 또는 만곡부에 스토퍼를 구비하여 과도한 탄성 변형을 방지함으로써 탄성부의 파손을 방지한다.
또한, 만곡부에 홈부를 구비함으로써 탄성 변형을 용이하게 함으로써 탄성부의 파손을 방지한다.
도 1은 본 발명의 바람직한 제1-1실시 예에 따른 탄성부를 구비하는 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 전기 전도성 접촉핀의 사시도.
도 2는 본 발명의 바람직한 제1-1실시 예에 따른 탄성부를 구비하는 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 전기 전도성 접촉핀을 설치 부재에 설치한 상태의 정면도.
도 3은 본 발명의 바람직한 제1-1실시 예에 따른 탄성부의 일부를 확대하여 도시한 도.
도 4는 본 발명의 바람직한 제1-2실시 예에 따른 탄성부의 일부를 확대하여 도시한 도.
도 5는 본 발명의 바람직한 제1-3실시 예에 따른 탄성부의 일부를 확대하여 도시한 도.
도 6은 본 발명의 바람직한 제1-4실시 예에 따른 탄성부의 일부를 확대하여 도시한 도.
도 7은 본 발명의 바람직한 제1-5실시 예에 따른 탄성부의 일부를 확대하여 도시한 도.
도 8은 본 발명의 바람직한 제1-6실시 예에 따른 탄성부의 일부를 확대하여 도시한 도.
도 9는 본 발명의 바람직한 제1-7실시 예에 따른 탄성부의 일부를 확대하여 도시한 도.
도 10은 본 발명의 바람직한 제1-8실시 예에 따른 탄성부의 일부를 확대하여 도시한 도.
도 11은 본 발명의 바람직한 제1-9실시 예에 따른 탄성부의 일부를 확대하여 도시한 도.
도 12는 본 발명의 바람직한 제1-10실시 예에 따른 탄성부의 일부를 확대하여 도시한 도.
도 13은 본 발명의 바람직한 제2실시 예에 따른 탄성부의 일부를 확대하여 도시한 도.
도 14는 본 발명의 바람직한 제3-1실시 예에 따른 탄성부의 일부를 확대하여 도시한 도.
도 15는 본 발명의 바람직한 제3-2실시 예에 따른 탄성부의 일부를 확대하여 도시한 도.
도 16은 본 발명의 바람직한 제3-3실시 예에 따른 탄성부의 일부를 확대하여 도시한 도.
도 17은 본 발명의 바람직한 제4-1실시 예에 따른 탄성부의 일부를 확대하여 도시한 도.
도 18은 본 발명의 바람직한 제4-2실시 예에 따른 탄성부의 일부를 확대하여 도시한 도.
이하의 내용은 단지 발명의 원리를 예시한다. 그러므로 당업자는 비록 본 명세서에 명확히 설명되거나 도시되지 않았지만 발명의 원리를 구현하고 발명의 개념과 범위에 포함된 다양한 장치를 발명할 수 있는 것이다. 또한, 본 명세서에 열거된 모든 조건부 용어 및 실시 예들은 원칙적으로, 발명의 원리를 구현하고 발명의 개념과 범위에 포함된 다양한 장치를 발명할 수 있는 것이다. 또한, 본 명세서에 열거된 모든 조건부 용어 및 실시 예들은 원칙적으로, 발명의 개념이 이해되도록 하기 위한 목적으로만 명백히 의도되고, 이와 같이 특별히 열거된 실시 예들 및 상태들에 제한적이지 않는 것으로 이해되어야 한다.
상술한 목적, 특징 및 장점은 첨부된 도면과 관련한 다음의 상세한 설명을 통하여 보다 분명해질 것이며, 그에 따라 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 발명의 기술적 사상을 용이하게 실시할 수 있을 것이다.
본 명세서에서 기술하는 실시 예들은 본 발명의 이상적인 예시 도인 단면도 및/또는 사시도들을 참고하여 설명될 것이다. 이러한 도면들에 도시된 막 및 영역들의 두께 등은 기술적 내용의 효과적인 설명을 위해 과장된 것이다. 제조 기술 및/또는 허용 오차 등에 의해 예시도의 형태가 변형될 수 있다. 따라서, 본 발명의 실시 예들은 도시된 특정 형태로 제한되는 것이 아니라 제조 공정에 따라 생성되는 형태의 변화도 포함하는 것이다. 본 명세서에서 사용한 기술적 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로서, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 명세서에서 "포함하다" 또는 "구비하다"등의 용어는 본 명세서에 기재된 특정, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예들에 대해 구체적으로 설명한다. 이하에서 다양한 실시 예들을 설명함에 있어서, 동일한 기능을 수행하는 구성 요소에 대해서는 실시 예가 다르더라도 편의상 동일한 명칭 및 동일한 참조 번호를 부여하기로 한다. 또한, 이미 다른 실시 예에서 설명된 구성 및 작동에 대해서는 편의상 생략하기로 한다.
본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 전기 전도성 접촉핀(이하, '본 발명의 전기 전도성 접촉핀(100)'이라 함)은, 검사장치에 구비되어 검사 대상물과 전기적, 물리적으로 접촉하여 전기적 신호를 전달하는데 사용된다. 검사 장치는 반도체 제조 공정에 사용되는 검사 장치일 수 있으며, 그 일례로 프로브 카드일 수 있고, 테스트 소켓일 수 있다.
설치부재(1)는, 본 발명의 전기 전도성 접촉핀(100)을 수용하는 관통홀(2)을 구비한다. 이하에서 설치부재(1)는, 일 예로서 가이드 구멍(GH)을 구비하는 가이드 플레이트(GP)일 수 있다.
본 발명의 전기 전도성 접촉핀(100)은, 프로브 카드에 구비되는 프로브 핀일 수 있고, 테스트 소켓에 구비되는 소켓 핀일 수 있다. 이하에서는 본 발명의 전기 전도성 접촉핀(100)의 일례로서 소켓핀을 예시하여 설명하지만, 본 발명의 전기 전도성 접촉핀(100)은 이에 한정되는 것은 아니며, 전기를 인가하는 검사 대상물의 불량 여부를 확인하기 위한 핀이라면 모두 포함된다.
이하에서 설명하는 본 발명의 전기 전도성 접촉핀(100)의 폭방향은 도면에 표기된 ±x방향이고, 본 발명의 전기 전도성 접촉핀(100)의 길이 방향은 도면에 표기된 ±y방향이고, 본 발명의 전기 전도성 접촉핀(100)의 두께 방향은 도면에 표기된 ±z방향이다.
본 발명의 전기 전도성 접촉핀(100)은, 길이 방향으로 전체 길이 치수(L)를 가지고, 상기 길이 방향(±y 방향)의 수직한 폭 방향(±x 방향)으로 전체 폭 치수(W)를 가지며, 상기 길이 방향(±y 방향)의 수직한 폭 방향(±x 방향)으로 전체 폭 치수(W)를 가진다.
도 1은 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 전기 전도성 접촉핀(100)의 사시도이고, 도 2는 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 전기 전도성 접촉핀(100)의 정면도이다. 도 1 및 도 2를 참조하는 설명에서 '탄성부(S)'는, 제1-1실시 예 내지 4-2실시 예의 탄성부(S1-1, S1-2, S1-3, S1-4, S1-5, S1-6, S1-7, S1-8, S1-9, S1-10, S2, S3-1, S3-2, S3-3, S4-1, S4-2)를 포함한다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 전기 전도성 접촉핀(100)은, 길이 방향(±y방향)으로 하부(-y방향) 연장되는 플랜지부(140)를 포함하는 제1접속부(110)와, 제2접속부(120), 길이 방향(±y방향)으로 연장되는 지지부(130)와, 일단이 제1접속부에 연결되고 타단이 제2접속부(120)에 연결되며 복수개의 직선부(L) 및 직선부(L)를 연결하는 복수개의 만곡부(CV)를 포함하여 길이 방향(±y방향)을 따라 탄성 변형 가능한 탄성부(S)와, 지지부(130)와 탄성부(S) 사이에서 길이 방향(±y방향)으로 연장되어 구비되는 플랜지부(140)를 포함한다.
제1접속부(110), 제2접속부(120), 지지부(130), 탄성부(S) 및 플랜지부(140)는 일체형으로 구비된다. 제1접속부(110), 제2접속부(120), 지지부(130)와, 탄성부(S) 및 플랜지부(140)는 도금 공정을 이용하여 한꺼번에 제작된다. 본 발명의 전기 전도성 접촉핀(100)은, 내부 공간을 구비하는 양극산화막 몰드를 이용하여 전기 도금으로 내부 공간에 금속 물질을 충진하여 형성된다. 이에 따라 제1접속부(110), 제2접속부(120), 지지부(130)와, 탄성부(S) 및 플랜지부(140)는 서로 연결되는 일체형으로 제작된다. 종래 전기 전도성 접촉핀은 배럴과 핀부를 별도로 제작한 후 이들을 조립 또는 결합하여 구비되는 것인 반면에, 본 발명의 전기 전도성 접촉핀(100)은 제1접속부(110), 제2접속부(120), 지지부(130), 탄성부(S) 및 플랜지부(140)를 도금 공정을 이용하여 한꺼번에 제작함으로써 일체형으로 구비된다는 점에서 구성상의 차이가 있다.
본 발명의 전기 전도성 접촉핀(100)은, 양극산화막 몰드를 이용하기 때문에 전체 두께 치수(H)를 80㎛ 이상 160㎛이하의 범위를 가질 수 있게 된다. 또한 양극산화막 몰드에 내부 공간을 형성함에 있어서도 강성이 높은 양극산화막이 벽체로서 남아 있기 때문에 고종횡비의 선폭(t)을 갖도록 제작이 가능하다.
본 발명의 전기 전도성 접촉핀(100)의 제작에 이용되는 양극산화막 몰드는, 이미 고체 상태인 양극산화막을 에칭하여 내부 공간을 형성한다. 따라서, 정밀한 패터닝이 가능하여 80㎛ 이상 160㎛이하의 높이를 가지면서도 층이 없이 몰드를 형성할 수 있다.
본 발명의 전기 전도성 접촉핀(100)은, 선폭(t)을 가지며, 선폭(t) 중에서도 가장 작은 선폭을 기준으로 전체 두께 치수(H)와 선폭(t)에 대한 종횡비(H:t)는 13:1 이상 80:1 이하의 범위를 가진다. 여기서 선폭(t) 중에서 가장 작은 선폭(t)은 2㎛이상 6㎛이하일 수 있다.
본 발명의 전기 전도성 접촉핀(100)은, 전기 전도성 접촉핀(100)을 구성하는 판상 플레이트의 선폭(t)은 작게 하면서도 판상 플레이트의 전체 두께 치수(H)는 크도록 형성된다. 즉, 판상 플레이트의 선폭(t) 대비 전체 두께 치수(H)가 크게 형성된다. 바람직하게는 판상 플레이트의 선폭(t)이 2㎛ 이상 15㎛이하의 범위로 구비되고, 전체 두께 치수(H)는 80㎛ 이상 160㎛이하의 범위로 구비되되, 판상 플레이트의 선폭(t)과 전체 두께 치수(H)는 1:13 내지 1:80의 범위로 구비된다. 예를 들어, 판상 플레이트의 선폭(t)은 실질적으로 4㎛로 형성되고, 전체 두께 치수(H)는 100㎛로 형성되어 판상 플레이트의 선폭 (t)과 전체 두께 치수(H)는 1:25의 비율로 형성될 수 있다.
본 발명의 전기 전도성 접촉핀(100)의 두께 방향(±z 방향)으로의 각 단면에서의 형상은 동일하다. 다시 말해 x-y 평면상의 동일한 형상이 두께 방향(±z 방향)으로 연장되어 형성된다.
본 발명의 전기 전도성 접촉핀(100)은 그 두께 방향(±z 방향)으로 복수 개의 금속층이 적층되어 구비된다. 복수개의 금속층은, 제1금속층(101)과 제2금속층(102)을 포함한다.
제1금속층(101)은 제2금속층(102)에 비해 상대적으로 내마모성이 높은 금속으로서 바람직하게는, 로듐(Rd), 백금 (Pt), 이리듐(Ir), 팔라듐(Pd), 니켈(Ni), 망간(Mn), 텅스텐(W), 인(Ph) 이나 이들의 합금, 또는 팔라듐-코발트(PdCo) 합금, 팔라듐-니켈(PdNi) 합금 또는 니켈-인(NiPh) 합금, 니켈-망간(NiMn), 니켈-코발트(NiCo) 또는 니켈-텅스텐(NiW) 합금 중에서 선택된 금속으로 형성될 수 있다. 제2금속층(102)은 제1금속층(101)에 비해 상대적으로 전기 전도도가 높은 금속으로서 바람직하게는, 구리(Cu), 은(Ag), 금(Au) 또는 이들의 합금 중에서 선택된 금속으로 형성될 수 있다. 다만 이에 한정되는 것은 아니다.
제1금속층(101)은 전기 전도성 접촉핀(100a)의 두께 방향(±z 방향)으로 하면과 상면에 구비되고 제2금속층(102)은 제1금속층(101) 사이에 구비된다. 예를 들어, 전기 전도성 접촉핀(100a)은 그 두께 방향(±z 방향)으로 제1금속층(101), 제2금속층(102), 제1금속층(101) 순으로 교대로 적층되어 구비되며, 적층되는 층수는 3층 이상으로 구성될 수 있다.
도 2를 참조하면, 제1접속부(110)는 검사 대상물과 접촉되는 접촉부(111) 및 접촉부(111)에 형성되는 접촉 공동부(112)를 포함한다.
접촉부(111)는 검사 대상물의 접속 단자와 접촉되는 부분이다. 접촉부(111)는 폭 방향(±x방향)으로 연장되어 형성된다. 길이 방향(±y방향)으로 접촉부(111)의 하부면은 탄성부(S)에 연결된다.
접촉부(111)는, 두께 방향(±z방향)으로 접촉부(111)의 일면 및 타면을 관통하는 접촉 공동부(112)를 구비한다. 접촉 공동부(112)는 접촉부(111)의 중앙부에 구비된다. 검사 대상물의 검사 시, 접촉부(111)의 상부면이 검사 대상물의 접속 단자에 접촉하는 부위가 된다. 이 때, 접촉 공동부(112)는 폭 방향(±x방향)을 기준으로 좌, 우가 만곡된 빈 공간으로 형성되어 접촉부(111)의 상부면이 보다 쉽게 변형되도록 한다.
제1접속부(110)는 탄성부(S)에 연결되어 접촉 압력에 의해 길이 방향(±y방향)을 기준으로 수직(±y방향)으로 탄력적으로 이동 가능하다. 검사 대상물을 검사할 경우, 검사 대상물의 접속 단자는, 제1접속부(110)의 상면에 접촉되어 제1접속부(110)측에 연결된 탄성부(S)를 점차적으로 압축 변형시키면서 하향(-y방향)으로 이동한다.
플랜지부(140)는 제1접속부(110)의 하단면으로부터 길이 방향(±y방향)을 기준으로 하부(-y방향) 연장되도록 구비된다. 플랜지부(140)는 폭 방향(±x방향)을 기준으로 접촉부(111)의 일단부로부터 길이 방향(±y방향)을 기준으로 하부 연장되는 제1플랜지부(141)와, 접촉부(111)의 타단부로부터 하부 연장되는 제2플랜지부(142) 및 플랜지부(140)의 단부에 형성되는 변형 방지부(150)를 포함한다.
플랜지부(140)는 자유단으로 구성되는 단부의 폭 방향(±x방향) 치수가 주변부보다 큰 치수로 형성된다. 이에 따라 플랜지부(140)의 단부의 외측면은 폭 방향(±x방향)을 기준으로 외측으로 볼록하게 돌출된 형태를 갖는다. 플랜지부(140)는 단부의 볼록한 형태를 형성하여 플랜지부(140)의 단부에 변형 방지부(150)를 구비한다. 구체적으로, 제1플랜지부(141)의 단부에 제1변형 방지부(151)를 구비하고, 제2플랜지부(142)의 단부에 제2변형 방지부(152)를 구비한다.
플랜지부(140)는 폭 방향(±x방향)을 기준으로 지지부(130)와 탄성부(S) 사이에 구비된다. 다시 말해, 플랜지부(140)의 외측에 지지부(130)가 구비되고 플랜지부(140)의 내측에 탄성부(S)가 구비된다.
탄성부(S)가 압축되지 않은 상태에서, 플랜지부(140)는 지지부(130)와 서로 이격된다.
플랜지부(140)는 변형 방지부(150)가 지지부(130)의 길이 방향(±y방향)을 기준으로 지지부(130)의 내측에 소정 길이 삽입된 상태로 지지부(130)의 중간부측과 대응되도록 위치한다. 이 때, 지지부(130)는 변형 방지부(150)와 대응되는 위치에 플랜지부(140)의 볼록한 외측면과 대응되도록 그 내측면에 오목한 부위를 구비한다. 제1, 2변형 방지부(151, 152) 중 적어도 하나는, 접속 단자의 정렬 오차 또는 제조 오차로 인해 제1접속부(110)에 접속 단자의 편심 가압력이 가해질 경우, 지지부(130)의 내측면의 오목한 부위에 접촉되어 탄성부(S)의 과도한 과굴을 방지한다. 본 발명의 전기 전도성 접촉핀(100)은, 편심 가압력이 작용하더라도 제1, 2변형 방지부(151, 152) 중 적어도 하나가 지지부(130)에 접촉되므로 전류 패스를 형성하는 것이 가능하다.
한편, 제1접속부(110)에 접속 단자의 편심되지 않은 균일 가압력이 가해질 경우, 제1, 2변형 방지부(151, 152) 각각은, 대응되는 위치의 지지부(130)의 내측면의 오목한 부위에 접촉된다. 이에 따라 제1접속부(110) 및 지지부(130)로 이어지는 전류 패스가 형성된다.
지지부(130)는 길이 방향(±y방향)으로 연장되어 형성되고 제1접속부(110)의 플랜지부(140)의 폭 방향(±x방향) 외측에 구비된다. 탄성부(S)가 압축되지 않은 상태에서는 지지부(130)와 플랜지부(140)는 서로 이격된다.
지지부(130)는 제1접속부(110)의 일측에 위치하는 제1지지부(134)와, 제1접속부(110)의 타측에 위치하는 제2지지부(135)를 포함한다. 이 때, 제1, 2지지부(134, 135)는, 내측면 중간부에 제1, 2변형 방지부(151, 152) 각각과 대응하는 오목한 부위를 구비한다. 지지부(130)는 오목한 부위의 상부에 폭 방향(±x방향) 내측으로 소정 길이 연장되는 돌출 부위를 구비한다. 이로 인해 오목한 부위는, 홈의 형태로 구비된다. 탄성부(S)가 압축되지 않은 상태에서 홈 형태의 오목한 부위의 폭 방향(±x방향) 바닥면과 변형 방지부(150)는 서로 이격되게 위치한다. 다시 말해, 탄성부(S)가 압축되지 않은 상태에서 변형 방지부(150)는 홈 형태의 오목한 부위의 폭 방향(±x방향) 바닥면에 접촉되지 않은 상태로 수용된다.
지지부(130)는 변형 방지부(150)와 대응되는 오목한 부위의 하부에 지지 연장부(131)를 구비한다.
지지 연장부(131)는 제1지지부(134)의 내측면으로부터 폭 방향(±x방향) 내측으로 연장되는 제1지지 연장부(131a) 및 제2지지부(135)의 내측면으로부터 폭 방향(±x방향) 내측으로 연결되는 제2지지 연장부(131b)를 포함한다.
제1지지 연장부(131a)의 일단은 탄성부(S)의 일측에 연결되고 제2지지 연장부(131b)의 일단은 탄성부(S)의 타측에 연결된다. 구체적으로, 제1지지 연장부(131a)의 일단은 폭 방향(±x방향)으로 직선부(L)의 일측에 구비되는 만곡부(CV)에 연결된다. 제2지지 연장부(131b)의 일단은 직선부(L)의 타측에 구비되는 만곡부(CV)에 연결된다. 이를 통해 지지부(130) 및 탄성부(S)가 일체 형태로 형성된다. 제1, 2지지 연장부(131a, 131b)는 오목한 부위의 하부에 구비되어 길이 방향(±y방향)으로 동일한 높이에 위치한다.
접속 단자의 가압력에 의한 제1접속부(110)의 하향(-y방향) 이동 시, 제1, 2지지 연장부(131a, 131b)는 상면을 통해 제1, 2변형 방지부(151, 152)의 추가 하강을 제한하는 기능을 제공할 수 있다.
지지부(130)는 길이 방향(±y방향) 일단부(-y방향)에 제1걸림부(161)를 구비한다. 제1걸림부(161)는 제2접속부(120)측과 가까운 지지부(130)의 일단부에 구비된다. 다시 말해, 제1걸림부(161)는 지지부(130)의 하단부에 구비된다. 제1걸림부(161)는 폭 방향(±x방향) 외측으로 돌출되는 형태로 구비된다.
지지부(130)는 길이 방향(±y방향) 타단부(+y방향)에 제2걸림부(162)를 구비한다. 제2걸림부(162)는 외측면에 경사부(162a) 및 돌출턱(162b)를 구비한다.
본 발명의 전기 전도성 접촉핀(100)은 가이드 구멍(GH)에 삽입될 때, 지지부(130)의 상단부가 폭 방향(±x방향) 내측으로 압축 변형되어 가이드 구멍(GH)의 하측 개구로 삽입된다. 그런 다음, 본 발명의 전기 전도성 접촉핀(100)은 길이 방향(±y방향)을 기준으로 하부(-y방향)에서 상부(+y방향)로 가압되어 가이드 구멍(GH) 내부로 강제로 밀어 넣어진다. 제2걸림부(162)가 가이드 구멍(GH)의 상측 개구를 통과하게 되면, 지지부(130)의 탄성 복원력에 의해 제2걸림부(162)를 포함하는 지지부(130)의 상단부가 폭 방향(±x방향) 외측으로 벌어지면서 복원된다. 이 때, 제1걸림부(161)의 상면은 가이드 구멍(GH)의 하측 개구 주변에 존재하는 가이드 플레이트(GP)의 하면에 접촉되어 지지된다.
지지부(130)는 제1걸림부(161)를 구비하는 길이 방향(±y방향) 하단부측 내측면에도 오목한 부위를 구비한다. 앞서 제1, 2변형 방지부(151, 152)와 대응되는 오목한 부위는 제2걸림부(162)를 구비하는 상단부측에 가깝게 구비된다. 지지부(130)는 하단부측의 내측면에 오목한 부위를 구비하고, 하단부측이 오목한 부위는, 제2접속부(120)의 자유단으로 구성되는 단부와 대응된다.
제2접속부(120)는, 회로 기판의 패드와 접촉된다.
제2접속부(120)는 접속 바디부(121)와, 접속 바디부(121)의 폭 방향(±x방향) 양측에서 길이 방향(±y방향) 상부로 연장되는 접속 연장부(122) 및 접속 바디부(121)의 중앙부에 형성되는 접속 공동부(123)를 포함한다.
제2접속부(120)는 접속 바디부(121)의 하단면을 소정 곡률을 갖도록 볼록하게 구비한다. 제2접속부(120)는 접속 바디부(121)의 하단면을 통해 회로 기판에 패드에 접촉된 상태로 가압된다.
제2접속부(120)는 접속 바디부(121)의 폭 방향(±x방향) 양단부에 길이 방향(±y방향)으로 상부 연장되는 접속 연장부(122)를 구비한다. 접속 연장부(122)는, 접속 바디부(121)의 폭 방향(±x방향) 일단부에 길이 방향(±y방향)으로 상부(+y방향) 연장되는 제1접속 연장부(122a) 및 접속 바디부(121)의 폭 방향(±x방향) 타단부에 길이 방향(±y방향)으로 상부(+y방향) 연장되는 제2접속 연장부(122b)를 포함한다.
제1, 2접속 연장부(122a, 122b)는, 폭 방향(±x방향) 외측면이 볼록한 형태로 형성된다. 이에 따라 접속 연장부(122)의 외측면은 접속 바디부(121)의 외측면보다 폭 방향(±x방향) 외측으로 돌출된다.
제1, 2접속 연장부(122a, 122b)는, 지지부(130)의 내측에 위치하도록 길이 방향(±y방향)으로 소정길이 삽입된다. 제1, 2접속 연장부(122a, 122b)는 폭 방향(±x방향)으로 지지부(130)의 하단부측 오목한 부위와 대응되게 위치한다. 탄성부(S)가 압축 변형되지 않은 상태에서는, 제1, 2접속 연장부(122a, 122b)와 지지부(130)의 하단부측 오목한 부위는 서로 이격된다.
한편, 접속 단자의 가압력에 의해 제2접속부(120)가 패드에 접촉되면, 제2접속부(120)에 연결된 탄성부(S)가 길이 방향(±y방향)으로 압축 변형한다. 이에 따라 제1, 2접속 연장부(122a, 122b)가 지지부(130)의 내측면에 접촉된다. 구체적으로, 제1, 2접속 연장부(122a, 122b)가 지지부(130)의 하단부측의 오목한 부위에 접촉된다.
본 발명의 전기 전도성 접촉핀(100)에 접속 단자의 가압력이 가해질 경우, 제1접속부(110)와 연결된 탄성부(S)가 압축 변형되고, 제2접속부(120)가 패드에 접촉되면서 제2접속부(120)에 연결된 탄성부(S)가 압축 변형된다. 이 때, 제1접속부(110)가 구비되는 본 발명의 전기 전도성 접촉핀(100)의 상단부측에서는 제1, 2변형 방지부(151, 152)가 지지부(130)의 상단부측의 오목한 부위에 접촉되고, 제2접속부(120)가 구비되는 본 발명의 전기 전도성 접촉핀(100)의 하단부측에서는 제1, 2접속 연장부(122a, 122b)가 지지부(130)의 하단부측의 오목한 부위에 접촉된다. 이에 따라, 본 발명의 전기 전도성 접촉핀(100)은 제1접속부(110), 지지부(130) 및 제2접속부(120)로 이어지는 전류 패스가 형성된다.
탄성부(S)는, 길이 방향(±y방향)을 기준으로 제1접속부(110)와 제2접속부(120) 사이에 구비되어 제1, 2접속부(110, 120)의 내측에 구비된다.
탄성부(S)의 일단은 제1접속부(110)에 연결되고, 타단은 제2접속부(120)에 연결되어 탄성부(S)를 통해 제1, 2접속부(110, 120)가 일체로 연결된다.
탄성부(150)는 실질 폭(t)을 갖는 판상 플레이트가 S자 모양으로 반복적으로 절곡된 형태를 가지며, 판상 플레이트의 실질 폭(t)은 전체적으로 일정하다.
탄성부(S)는 복수개의 직선부(L)와, 상, 하로 인접하는 직선부(L)를 연결하는 만곡부(CV)를 포함한다. 탄성부(S)는 복수개의 직선부(L)와 복수개의 만곡부(CV)가 교대로 접촉되어 형성된다. 직선부(L)는 폭 방향(±x방향) 좌, 우로 인접하는 만곡부(CV)를 연결한다. 만곡부(CV)는 상, 하로 인접하는 직선부(L)를 연결한다. 만곡부(CV)는 원호 형상으로 구비된다.
탄성부(S)의 중앙 부위에는 직선부(L)가 배치되고, 탄성부(S)의 외측 부위에는 만곡부(CV)가 배치된다. 직선부(L)는 폭 방향(±x방향)으로 평행하게 구비되어 접촉압에 따른 만곡부(CV)의 변형이 보다 쉽게 이루어지도록 한다.
이하, 본 발명의 전기 전도성 접촉핀(100)에 구비되는 탄성부(S)의 다양한 실시 예에 대해 설명한다.
제1-1실시 예의 탄성부(S1-1)
도 2는 본 발명의 바람직한 제1-1실시 예의 탄성부(이하, 제1-1실시 예의 탄성부(S1-1)라 함)를 구비하는 전기 전도성 접촉핀(100)의 정면도이고, 도 3은 제1-1실시 예의 탄성부(S1-1)의 일부를 확대하여 도시한 도이다.
본 발명의 전기 전도성 접촉핀(100)은, 제1-1실시 예의 탄성부(S1-1)를 구비한다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 제1-1실시 예의 탄성부(S1-1)는, 복수개의 직선부(L), 복수개의 만곡부(CV) 및 만곡부(CV)의 일면과 타면을 관통하는 슬릿부(SL)를 포함한다.
제1-1실시 예의 탄성부(S1-1)는, 만곡부(CV)에 1개의 슬릿부(SL)를 구비한다. 슬릿부(SL)는 두께 방향(±z방향)으로 만곡부(CV)의 일면과 타면을 관통하도록 형성된다.
슬릿부(SL)는 곡률을 갖는 원호 형상의 만곡부(CV)에 대응하여 곡률을 갖는 형태로 형성된다. 슬릿부(SL)는 폭 방향(±x방향)으로 만곡부(CV)의 중앙부에 구비된다. 이에 따라 만곡부(CV)는 중앙부에 형성된 슬릿부(SL)에 의해 분할된 부위를 갖는다.
만곡부(CV)는 슬릿부(SL)에 의해 분할된 부위를 통해 복수개의 분할빔부(PB)를 구비한다.
분할빔부(PB)는, 폭 방향(±x방향)으로 슬릿부(SL)의 내측 방향에 구비되는 제1분할빔부(PB1) 및 슬릿부(SL)의 외측 방향에 구비되는 제2분할빔부(PB2)를 포함한다. 복수개의 분할빔부(PB)는 폭 방향(±x방향) 빔폭(또는 빔치수, PW)이 동일하거나, 다를 수 있다. 이하에서 분할빔부(PB)의 빔폭(PW, 빔치수)은, 분할빔부(PB)의 폭 방향(±x방향) 치수를 말한다.
제1, 2분할빔부(PB1, PB2)의 빔폭(PW1, PW2)이 서로 동일할 때, 제1, 2분할빔부(PB1, PB2)의 빔폭(PW1, PW2)과 슬릿부(SL)의 폭 방향(±x방향) 빔폭(SW)이 동일할 수 있다.
제1, 2분할빔부(PB1, PB2)의 빔폭(PW1, PW2)이 서로 다를 경우, 바람직하게는, 슬릿부(SL)의 내측 방향에 구비되어 만곡부(CV)의 폭 방향(±x방향) 내측 방향에 구비되는 제1분할빔부(PB1)의 빔폭(PW1)이 제2분할빔부(PB2)의 빔폭(PW2)보다 작게 형성될 수 있다. 이는 접속 단자의 가압력에 의해 제1-1실시 예의 탄성부(S1-1)가 탄성 변형할 때, 폭 방향(±x방향)으로 만곡부(CV)의 내측 부위가 만곡부(CV)의 외측 부위보다 쉽게 변형되어야 제1-1실시 예의 탄성부(S1-1)의 전체적인 탄성 변형이 쉽게 이루어지기 때문이다.
제1-1실시 예의 탄성부(S1-1)는, 슬릿부(SL)를 만곡부(CV)의 중앙부에 구비하지 않고, 폭 방향(±x방향)으로 만곡부(CV)의 내측 방향으로 치우치도록 구비함으로써 제1, 2분할빔부(PB1, PB2)의 빔폭(PW1, PW2)을 서로 다르게 구비할 수도 있다. 이 경우, 만곡부(CV)의 내측면과 슬릿부(SL)간의 이격 거리는, 만곡부(CV)의 외측면과 슬릿부(SL)간의 이격 거리보다 작다. 만곡부(CV)의 내측면과 슬릿부(SL)간의 이격 거리는, 제1분할빔부(PB1)의 빔폭(PW1)을 형성하고, 만곡부(CV)의 외측면과 슬릿부(SL)간의 이격 거리는 제2분할빔부(PB2)의 빔폭(PW2)을 형성한다. 따라서, 제1분할빔부(PB1)의 빔폭(PW1)은 제2분할빔부(PB2)의 빔폭(PW2)보다 작게 구비된다. 이에 따라 제1-1실시 예의 탄성부(S1-1)는, 만곡부(CV)의 내측 방향의 분할빔부(제1분할빔부(PB1))의 빔폭(PW1)이 상대적으로 작게 구비될 수 있다.
제1-1실시 예의 탄성부(S1-1)는 접속 단자의 가압력에 의해 분할빔부(PB)의 탄성 변형이 일어날 때, 슬릿부(SL)를 통해 제1분할빔부(PB1)의 탄성 변형 형태를 수용한다.
구체적으로, 제1-1실시 예의 탄성부(S1-1)의 탄성 변형 시, 제1, 2분할빔부(PB1, PB2)는 가압력에 의해 길이 방향(±y방향)으로 눌리면서 탄성 변형되어 폭 방항(±x방향) 외측으로 일측이 돌출되는 형태로 탄성 변형된다. 이 때, 제1-1실시 예의 탄성부(S1-1)는 제1, 2분할빔부(PB1, PB2)사이에 소정의 빔폭(SW)을 갖고 형성되는 슬릿부(SL)를 통해 제1분할빔부(PB1)의 폭 방향(±x방향) 탄성 변형을 수용한다.
이에 따라 제1-1실시 예의 탄성부(S1-1)의 탄성 변형 시, 폭 방향(±x방향) 탄성 변형에 따라 제1분할빔부(PB1)와 제2분할빔부(PB2)간의 접촉 간섭없이 제1-1실시 예의 탄성부(S1-1)가 탄성 변형될 수 있다.
제1-1실시 예의 탄성부(S1-1)는 슬릿부(SL)를 구비하여 만곡부(CV)에 분할빔부(PB)를 형성함으로써, 슬릿부(SL)를 구비하지 않는 형태의 만곡부(CV)의 폭 방향(±x방향) 치수 대비 상대적으로 폭 방향(±x방향) 치수가 작은 만곡부(CV)를 구비한다. 만곡부(CV)의 폭 방향(±x방향) 치수는 복수개의 분할빔부(제1, 2분할빔부(PB1, PB2))의 빔폭(PW1, PW2)의 합이다.
슬릿부(SL)를 구비하지 않는 탄성부의 경우, 만곡부(CV)가 전체적으로 하나의 원호 형태로 형성된다. 이 경우, 탄성부의 탄성 변형 시, 상대적으로 큰 폭을 갖는 만곡부(CV)에 의해 탄성부가 쉽게 탄성 변형되기 어려울 수 있다.
만곡부(CV)의 폭 방향(±x방향) 치수를 작게 구비하는 것을 고려해볼 수 있으나, 이 경우, 만곡부(CV)가 작은 폭 방향(±x방향) 치수를 갖는 하나의 원호 형상으로 이루어지므로 강성이 약할 수 있다. 이에 따라 탄성부의 탄성 변형 시 만곡부(CV)가 파손되는 문제를 초래할 수 있다.
하지만, 제1-1실시 예의 탄성부(S1-1)는, 만곡부(CV)의 중앙부에 슬릿부(SL)를 구비하여 직선부(L)의 빔폭(H) 대비 상대적으로 너무 작거나 크지 않은 빔폭(PW1, PW2)을 갖는 분할빔부(제1, 2분할빔부(PB1, PB2))로 구성된 만곡부(CV)를 구비한다. 이에 따라 제1-1실시 예의 탄성부(S1-1)는, 하나의 원호 형상으로 형성되되 상대적으로 작은 폭 방향(±x방향) 치수를 갖는 만곡부(CV) 대비 강성을 확보할 수 있고, 상대적으로 큰 폭 방향(±x방향) 치수를 갖는 만곡부(CV) 대비 쉽게 탄성 변형된다.
제1-1실시 예의 탄성부(S1-1)는, 슬릿부(SL)를 통해 서로 다른 빔폭(PW1, PW2)을 갖는 분할빔부(PB)를 만곡부(CV)에 구비할 경우, 상대적으로 큰 빔폭(PW2)을 갖는 분할빔부(제2분할빔부(PB2))를 구비하여 강성을 확보하면서도, 상대적으로 작은 빔폭(PW1)을 갖는 분할빔부(제1분할빔부(PB1))를 통해 탄성 변형을 쉽게 할 수 있다. 이로 인해 제1-1실시 예의 탄성부(S1-1)는 가압력에 의해 쉽게 변형되면서 파손 문제가 방지될 수 있다.
본 발명의 전기 전도성 접촉핀(100)은, 고종횡비의 선폭(t)을 갖고, 선폭(t) 대비 전체 두께 치수(H)를 크게 한다. 다시 말해, 탄성부(S)를 구성하는 판상 플레이트의 선폭(t) 대비 전체 두께 치수(H)를 크게 하는 것이 가능하다. 이로 인해 탄성부(S)의 만곡부(CV)의 일면 및 타면을 관통하도록 슬릿부(SL)를 형성하더라도 강성을 확보할 수 있다.
구체적으로, 탄성부(S)는 고종횡비의 선폭(t)을 갖고, 선폭(t) 대비 전체 두께 치수(H)를 크게 한다. 따라서, 제1-1실시 예의 탄성부(S1-1)에 슬릿부(SL)를 형성하여도 제1-1실시 예의 탄성부(S1-1)는, 고종횡비의 빔폭(PW)을 갖고, 빔폭(PW) 대비 전체 두께 치수(H)를 크게 하는 것이 가능하다. 제1-1실시 예의 탄성부(S1-1)는 고종횡비의 빔폭(PW)을 가짐으로써 슬릿부(SL)를 구비하여 탄성 변형을 쉽게 하면서도 강성을 확보하여 파손이 방지될 수 있다.
제1-2실시 예의 탄성부(S1-2)
다음으로, 본 발명의 바람직한 제1-2실시 예에 따른 탄성부(이하, 제1-2실시 예의 탄성부(S1-2)라 함)에 대해 설명한다. 이하 설명되는 제1-2실시 예의 탄성부(S1-2)는, 제1-1실시 예의 탄성부(S1-1)와 비교하여 특징적인 구성요소들을 중심으로 설명하겠으며, 제1-1실시 예와 동일하거나 유사한 구성요소들에 대한 설명은 되도록이면 생략한다.
도 4는 제1-2실시 예의 탄성부(S1-2)의 일부를 확대하여 도시한 도이다.
제1-2실시 예의 탄성부(S1-2)는, 제1 내지 3슬릿부(SL1, SL2, SL3)를 포함하는 복수개의 슬릿부(SL)와, 제1 내지 3슬릿부(SL1, SL2, SL3)에 의해 형성되는 복수개의 분할빔부(PB)를 포함한다. 분할빔부(PB)는, 제1 내지 4분할빔부(PB1, PB2, PB3, PB4)를 포함한다.
제1 내지 3슬릿부(SL1, SL2, SL3)는 폭 방향(±x방향)으로 동일한 빔폭(SW1, SW2, SW3)을 갖는다. 이하에서 슬릿부(SL)의 빔폭(SW)은, 슬릿부(SL)의 폭 방향(±x방향) 치수를 말한다. 각각의 슬릿부(SL)는 동일한 곡률을 갖는다.
제1 내지 3슬릿부(SL1, SL2, SL3)는 폭 방향(±x방향)으로 소정의 이격 거리를 두고 형성된다.
제1 내지 4분할빔부(PB1, PB2, PB3, PB4)는, 서로 이격 거리를 두고 형성되는 제1 내지 3슬릿부(SL1, SL2, SL3)에 의해 형성된다.
구체적으로, 제1분할빔부(PB1)는 폭 방향(±x방향)으로 만곡부(CV)의 가장 내측에 구비되어 만곡부(CV)의 내측면을 포함한다. 제1분할빔부(PB1)는, 만곡부(CV)의 내측면으로부터 폭 방향(±x방향) 외측으로 가장 작은 이격 거리를 두고 형성되는 제1슬릿부(SL1)에 의해 구비된다. 제1분할빔부(PB1)는 상대적으로 가장 작은 빔폭(PW1)을 갖는다.
제2분할빔부(PB2)는, 제1슬릿부(SL1)와 폭 방향(±x방향) 외측으로 소정만큼 이격 거리를 두고 구비되는 제2슬릿부(SL2)에 의해 형성된다. 제2슬릿부(SL2)와 제1슬릿부(SL1)간의 이격 거리는, 만곡부(CV)의 내측면과 제1슬릿부(SL1)간의 이격 거리보다 크다. 따라서, 제2분할빔부(PB2)의 빔폭(PW2)은 제1분할빔부(PB1)의 빔폭(PW1)보다 크다.
제3분할빔부(PB3)는 제2슬릿부(SL2)와 폭 방향(±x방향) 외측으로 소정만큼 이격 거리를 두고 구비되는 제3슬릿부(SL3)에 의해 형성된다. 제3슬릿부(SL3)와 제2슬릿부(SL2)간의 이격 거리는, 제2슬릿부(SL2)와 제1슬릿부(SL1)간의 이격 거리보다 크다. 따라서, 제3분할빔부(PB3)의 빔폭(PW3)은 제2분할빔부(PB2)의 빔폭(PW2)보다 크다.
제4분할빔부(PB4)는 제3슬릿부(SL3)와 만곡부(CV)의 외측면과의 이격 거리에 의해 형성된다. 제3슬릿부(SL3)와 만곡부(CV)의 외측면과의 이격 거리는, 제3슬릿부(SL3)와 제2슬릿부(SL2)간의 이격 거리보다 크다. 따라서, 제4분할빔부(PB4)의 빔폭(PW4)은 제3분할빔부(PB3)의 빔폭(PW3)보다 크다.
제1-2실시 예의 탄성부(S1-2)는, 폭 방향(±x방향)을 기준으로 만곡부(CV)의 내측 방향으로부터 만곡부(CV)의 외측 방향으로 갈수록 큰 이격 거리를 두도록 제1 내지 3슬릿부(SL1, SL2, SL3)를 형성한다. 다시 말해, 만곡부(CV)의 내측면과 만곡부(CV)의 외측면 사이에 폭 방향(±x방향)으로 제1 내지 3슬릿부(SL1, SL2, SL3)를 형성하되, 만곡부(CV)의 내측면으로부터 만곡부(CV)의 외측면으로 갈수록 큰 이격 거리를 두면서 제1 내지 3슬릿부(SL1, SL2, SL3)를 형성한다.
이에 따라 제1-2실시 예의 탄성부(S1-2)는 폭 방향(±x방향)을 기준으로 만곡부(CV)의 내측 방향으로부터 만곡부(CV)의 외측 방향으로 갈수록 빔폭(PW1, PW2, PW3, PW4)이 커지는 복수개의 분할빔부(구체적으로, 제1 내지 4분할빔부(PB1, PB2, PB3, PB4))를 형성한다.
제1-2실시 예의 탄성부(S1-2)는 만곡부(CV)의 내측 방향에 위치하되 만곡부(CV)의 내측면을 포함하여 구비되는 제1분할빔부(PB1)의 빔폭(PW1)을 가장 작게 구비하고, 폭 방향(±x방향)을 기준으로 만곡부(CV)의 내측 방향에서 만곡부(CV)의 외측 방향으로 갈수록 제2 내지 4분할빔부(PB2, PB3, PB4)의 빔폭(PW2, PW3, PW4)을 순차적으로 크게 구비한다.
제1-2실시 예의 탄성부(S1-2)는 만곡부(CV)의 내측 부위에 상대적으로 작은 빔폭(PW1, P2 또는 PW1, PW2, PW3)을 갖는 분할빔부(제1, 2분할빔부(PB1, PB2) 또는 제1 내지 3분할빔부(PB1, PB2, PB3))를 구비한다. 이를 통해 제1-2실시 예의 탄성부(S1-2)는, 탄성 변형 시 만곡부(CV)의 내측 부위의 변형이 보다 쉽게 이루어진다.
제1-2실시 예의 탄성부(S1-2)는 만곡부(CV)의 외측 부위에 상대적으로 큰 빔폭(PW3, PW4 또는 PW4)을 갖는 분할빔부(제3, 4분할빔부(PB) 또는 제4분할빔부(PB4))를 구비한다. 이를 통해 제1-2실시 예의 탄성부(S1-2)는 탄성 변형 시 만곡부(CV)의 강성을 확보할 수 있다.
다시 말해, 제1-2실시 예의 탄성부(S1-2)는 탄성 변형의 용이성이 요구되는 만곡부(CV)의 내측 부위에 상대적으로 작은 빔폭(PW1, PW2 또는 PW1, PW2, PW3)을 갖는 분할빔부(제1, 2분할빔부(PB1, PB2) 또는 제1 내지 3분할빔부(PB1, PB2, PB3))를 구비하고, 만곡부(CV)의 외측 부위에는 상대적으로 큰 빔폭(PW3, PW4 또는 PW4)을 갖는 분할빔부(제3, 4분할빔부(PB) 또는 제4분할빔부(PB4))를 구비한다.
이를 통해 제1-2실시 예의 탄성부(S1-2)는 탄성 변형 시 만곡부(CV)의 탄성 변형을 쉽게 함과 동시에 동시에 파손을 방지할 수 있다.
제1-3실시 예의 탄성부(S1-3)
다음으로, 본 발명의 바람직한 제1-3실시 예에 따른 탄성부(이하, 제1-3실시 예의 탄성부(S1-3)라 함)에 대해 설명한다. 이하 설명되는 제1-3실시 예의 탄성부(S1-3)는, 제1-1, 1-2실시 예의 탄성부(S1-1, S1-2)와 비교하여 특징적인 구성요소들을 중심으로 설명하겠으며, 동일하거나 유사한 구성요소들에 대한 설명은 되도록이면 생략한다.
도 5는 제1-3실시 예의 탄성부(S1-3)의 일부를 확대하여 도시한 도이다.
제1-3실시 예의 탄성부(S1-3)는, 제1, 2슬릿부(SL1, SL2) 및 제1 내지 3분할빔부(PB1, PB2, PB3)를 포함한다.
제1-3실시 예의 탄성부(S1-3)는 폭 방향(±x방향)을 기준으로 만곡부(CV)의 내측 방향에서 만곡부(CV)의 외측 방향으로 갈수록 제1, 2슬릿부(SL1, SL2)의 빔폭(SW1, SW2)을 크게 구비한다.
구체적으로, 제1슬릿부(SL1)는, 만곡부(CV)의 내측 방향에 위치하되 만곡부(CV)의 내측면과 가장 가깝게 위치하고, 제1슬릿부(SL1)의 빔폭(SW1)은 제2슬릿부(SL2)의 빔폭(SW2)보다 크다.
제2슬릿부(SL2)는 폭 방향(±x방향) 외측으로 제1슬릿부(SL1)와 이격 거리를 두고 형성된다. 이 때, 제2슬릿부(SL2)의 빔폭(SW2)은 제1슬릿부(SL1)의 빔폭(SW1)보다 작다. 제1-3실시 예의 탄성부(S1-3)는 제1, 2슬릿부(SL1, SL2)를 구비하되, 제1슬릿부(SL1)의 빔폭(SW1)을 제2슬릿부(SL2)의 빔폭(SW2)보다 크게 구비한다.
제1-3실시 예의 탄성부(S1-3)는 만곡부(CV)의 내측 방향에 구비되는 슬릿부(제1슬릿부(SL1))의 빔폭(SW1)을 가장 크게 구비한다. 만곡부(CV)의 외측 방향에 구비되는 슬릿부(제2슬릿부(SL2))의 빔폭(PW2)은 제1슬릿부(SL1)의 빔폭(SW1)보다 작게 구비된다. 따라서, 제1-3실시 예의 탄성부(S1-3)의 복수개의 슬릿부(SL1, SL2) 중 제2슬릿부(SL2)의 빔폭(SW2)이 가장 작다.
다시 말해, 제1-3실시 예의 탄성부(S1-3)는 만곡부(CV)의 내측 방향에서 만곡부(CV)의 외측 방향으로 갈수록 슬릿부(제1, 2슬릿부(SL1, SL2))의 빔폭(SW1, SW2)을 작게 구비한다.
따라서, 제1-3실시 예의 탄성부(S1-3)는, 제1슬릿부(SL1)의 빔폭(SW1)에 의해 형성되는 제1슬릿부(SL1)의 공간 여유폭이 제2슬릿부(SL2)의 빔폭(SW2)에 의해 형성되는 제2슬릿부(SL2)의 공간 여유폭보다 크다.
제1분할빔부(PB1)는 제1슬릿부(SL1)에 의해 형성되어 제2분할빔부(PB2)의 빔폭(SW2)보다 작은 빔폭(SW1)을 갖는다. 이는 제1슬릿부(SL1)와 만곡부(CV)의 내측면과의 이격 거리보다 제2슬릿부(SL2)와 제1슬릿부(SL1)와의 이격 거리를 크게함으로써 구현된다.
따라서, 제1분할빔부(PB1)의 빔폭(PW1)은 제2분할빔부(PB2)의 빔폭(PW2)보다 작고, 제2분할빔부(PB2)의 빔폭(PW2)은 제1분할빔부(PB1)의 빔폭(PW1)보다 크다.
제3분할빔부(PB3)는 만곡부(CV)의 외측면과 제2슬릿부(SL2)와의 이격 거리에 의해 형성되고, 만곡부(CV)의 외측면과 제2슬릿부(SL2)의 이격 거리의 폭만큼 제3분할빔부(PB3)의 빔폭(PW3)이 형성된다.
제1-3실시 예의 탄성부(S1-3)는 만곡부(CV)의 가장 외측 방향에 구비되는 제3분할빔부(PB3)의 빔폭(PW3)을 가장 크게 구비한다. 이에 따라 제1-3실시 예의 탄성부(S1-3)는 만곡부(CV)의 내측 방향에서 외측 방향으로 갈수록 분할빔부(제1 내지 3분할빔부(PB1, PB2, PB3)의 빔폭(PW1, PW2, PW3)이 크게 구비된다.
제1-3실시 예의 탄성부(S1-3)는, 만곡부(CV)의 가장 내측 방향에 위치하는 제1분할빔부(PB1)의 빔폭(PW1)을 만곡부(CV)의 가장 외측 방향에 위치하는 제3분할빔부(PB3)의 빔폭(PW3)보다 작게 구비한다. 따라서, 제1-3실시 예의 탄성부(S1-3)는 만곡부(CV)의 내측 방향에서의 탄성 변형이 보다 쉽게 이루어질 수 있다. 한편, 제1-3실시 예의 탄성부(S1-3)는 만곡부(CV)의 외측 방향에 상대적으로 가장 큰 빔폭(PW3)을 갖는 제3분할빔부(PB3)를 구비함으로써 탄성 변형시 발생할 수 있는 파손 문제를 방지한다.
제1-3실시 예의 탄성부(S1-3)는, 제1분할빔부(PB1)의 빔폭(PW1)을 가장 작게 구비하되, 제1분할빔부(PB1) 주변에 구비된 제1슬릿부(SL1)의 공간 여유폭을 가장 크게 구비한다. 제1-3실시 예의 탄성부(S1-3)의 탄성 변형 시, 제1분할빔부(PB1)는 길이 방향(±y방향)으로 가압되며 탄성 변형하면서 폭 방향(±x방향) 외측으로 일측이 돌출된다. 이 때, 제1슬릿부(SL1)는 제1분할빔부(PB1)의 폭 방향(±x방향) 변형을 수용한다.
제1-3실시 예의 탄성부(S1-3)는 제1슬릿부(SL1)의 공간 여유폭을 제2슬릿부(SL2)의 공간 여유폭보다 크게 구비함으로써, 제1-3실시 예의 탄성부(S1-3)의 탄성 변형 시, 제1분할빔부(PB1)가 제2분할빔부(PB2)의 내측면에 접촉되면서 서로 간섭되는 문제를 방지할 수 있다.
제1-4실시 예의 탄성부(S1-4)
다음으로, 본 발명의 바람직한 제1-4실시 예의 탄성부(이하, '제1-4실시 예의 탄성부(S1-4)라 함)에 대해 설명한다. 이하 설명되는 제1-4실시 예의 탄성부(S1-4)는, 제1-1 내지 1-3실시 예의 탄성부(S1-1, S1-2, S1-3)와 비교하여 특징적인 구성요소들을 중심으로 설명하겠으며, 제1-1 내지 1-3실시 예의 탄성부(S1-1, S1-2, S1-3)와 동일하거나 유사한 구성요소들에 대한 설명은 되도록이면 생략한다.
도 6은 제1-4실시 예의 탄성부(S1-4)의 일부를 확대하여 도시한 도이다.
제1-4실시 예의 탄성부(S1-4)는, 제1, 2슬릿부(SL1, SL2)와, 제1, 2슬릿부(SL1, SL2)에 의해 형성되는 제1 내지 3분할빔부(PB1, PB2, PB3)를 포함한다.
제1, 2슬릿부(SL1, SL2)는 동일한 빔폭(SW1, SW2)을 갖고 서로 이격되게 형성된다. 이 경우, 바람직하게는, 제1 내지 3분할빔부(PB1, PB2, PB3)의 빔폭(PW1, PW2, PW3)이 동일하다.
직선부(L)는 길이 방향(±y방향)으로 빔폭(H)을 갖는다. 이하에서, 직선부(L)의 빔폭(H)은, 직선부(L)의 길이 방향(±y방향) 치수를 말한다.
제1-4실시 예의 탄성부(S1-4)는, 복수개의 분할빔부(제1 내지 3분할빔부(PB1, PB2, PB3))의 빔폭(PW1, PW2, PW3)의 합과, 직선부(L)의 빔폭(H)을 동일하게 구비한다. 다시 말해, '직선부(L)의 빔폭(H) = 제1 내지 3분할빔부(PB1, PB2, PB3)의 빔폭(PW1, PW2, PW3)의 합'이다.
본 발명의 전기 전도성 접촉핀(100)를 흐르는 전류는, 제1-4실시 예의 탄성부(S1-4)를 따라 흐를 수도 있다. 이 때, 제1-4실시 예의 탄성부(S1-4)는 직선부(L)의 빔폭(H)과 제1 내지 3분할빔부(PB1, PB2, PB3)의 빔폭(PW1, PW2, PW3)의 합을 동일하게 구비함으로써 병목 현상없이 전류의 흐름을 형성할 수 있다.
제1-4실시 예의 탄성부(S1-4)는, 제1 내지 3분할빔부(PB1, PB2, PB3)의 곡률 반경을 서로 다르게 구비한다.
구체적으로, 제1-4실시 예의 탄성부(S1-4)는, 만곡부(CV)의 내측 방향에서 만곡부(CV)의 외측 방향으로 갈수록 큰 곡률 반경을 갖도록 제1 내지 3분할빔부(PB1, PB2, PB3)를 구비한다. 만곡부(CV)의 내측 방향에서 만곡부(CV)의 외측 방향으로 갈수록 제1분할빔부(PB1), 제2분할빔부(PB2) 및 제3분할빔부(PB3)의 순으로 곡률 반경이 커진다.
이에 따라 만곡부(CV)의 가장 내측 방향에 구비되는 제1분할빔부(PB1)는, 제1 내지 3분할빔부(PB1, PB2, PB3) 중 가장 작은 곡률 반경을 갖는다. 만곡부(CV)의 가장 외측에 구비되는 제3분할빔부(PB3)는 제1 내지 3분할빔부(PB1, PB2, PB3)중 가장 큰 곡률 반경을 갖는다.
본 발명의 전기 전도성 접촉핀(100)에 접속 단자의 가압력이 가해지면, 제1-4실시 예의 탄성부(S1-4)가 탄성 변형된다. 제1-4실시 예의 탄성부(S1-4)는, 제1 내지 3분할빔부(PB1, PB2, PB3)의 곡률 반경을 서로 다르게 구비하되, 만곡부(CV)의 가장 내측 방향에 구비되는 제1분할빔부(PB1)의 곡률 반경을 가장 작게 구비한다. 탄성부의 경우, 탄성 변형은, 만곡부에 의해 이루어지는데, 만곡부의 내측 방향의 탄성 변형이 쉽게 이루어지지 않을 경우, 탄성부가 파손되고 접속 단자의 손상 문제가 야기될 수 있다. 하지만, 제1-4실시 예의 탄성부(S1-4)는 실질적으로 탄성부(S1-4)의 탄성 변형을 구현하는 만곡부(CV)의 내측 방향의 제1분할빔부(PB1)의 곡률 반경을 제2, 3분할빔부(PB) 대비 가장 작게 구비한다. 이에 따라, 제1-4실시 예의 탄성부(S1-4)는, 탄성 변형 시 탄성부(S1-4)나 접속 단자의 손상을 야기하지 않고 쉽게 변형되고, 가압력의 해제 시 쉽게 복원 가능하다. 이로 인해 본 발명의 전기 전도성 접촉핀(100)의 검사 대상물에 대한 검사 효율이 보다 향상될 수 있다.
제1-5실시 예의 탄성부(S1-5)
다음으로, 본 발명의 바람직한 제1-5실시 예에 따른 탄성부(이하, 제1-5실시 예의 탄성부(S1-5)라 함)에 대해 설명한다. 이하 설명되는 제1-5실시 예의 탄성부(S1-5)는, 제1-1 내지 제1-4실시 예의 탄성부(S1-1, S1-2, S1-3, S1-4)와 비교하여 특징적인 구성요소들을 중심으로 설명하겠으며, 동일하거나 유사한 구성요소들에 대한 설명은 되도록이면 생략한다.
도 7은 제1-5실시 예의 탄성부(S1-5)의 일부를 확대하여 도시한 도이다.
제1-5실시 예의 탄성부(S1-5)는, 제1, 2슬릿부(SL1, SL2)와, 제1, 2슬릿부(SL1, SL2)에 의해 형성되는 제1 내지 3분할빔부(PB1, PB2, PB3)를 구비한다.
제1-5실시 예의 탄성부(S1-5)는, 만곡부(CV)의 내측 방향에서 만곡부(CV)의 외측 방향으로 갈수록 제1 내지 3분할빔부(PB1, PB2, PB3)의 곡률 반경을 작게 구비한다. 다시 말해, 만곡부(CV)의 내측 방향에서 만곡부(CV)의 외측 반향으로 갈수록 제1분할빔부(PB1), 제2분할빔부(PB2) 및 제3분할빔부(PB3)의 순으로 곡률 반경이 작아진다.
이에 따라, 만곡부(CV)의 내측 방향에서 만곡부(CV)의 외측 방향으로 갈수록 제1슬릿부(SL1) 및 제2슬릿부(SL2)의 빔폭(SW1, SW), 즉, 공간 여유폭이 커지는 형태가 형성된다.
제1 내지 3분할빔부(PB1, PB2, PB3)의 빔폭(PW1, PW2, PW3)은 동일하게 구비될 수 있다. 제1-5실시 예의 탄성부(S1-5)는, 바람직하게는, 직선부(L)의 빔폭(H)과 제1 내지 3분할빔부(PB1, PB2, PB3)의 빔폭(PW1, PW2, PW3)의 합이 동일하도록 직선부(L)와 제1 내지 3분할빔부(PB1, PB2, PB3)를 구비한다.
보다 구체적으로, 직선부(L)의 빔폭(H)과 제1 내지 3분할빔부(PB1, PB2, PB3)의 길이 방향(±y방향) 중앙부에서의 빔폭(PW1, PW2, PW3)의 합이 동일하다.
이로 인해 전류가 제1-5실시 예의 탄성부(S1-5)를 따라 흐를 때, 병목 현상을 방지하는 전류의 흐름을 형성할 수 있다.
제1-5실시 예의 탄성부(S1-5)는, 만곡부(CV)의 내측 방향에서 만곡부(CV)의 외측 방향으로 갈수록 복수개의 슬릿부(SL)의 빔폭(SW1, SW2) 및 공간 여유폭을 크게 구비함에 따라 탄성 변형 시 제1, 2분할빔부(PB1, PB2) 간의 간섭 방지를 유리하게 할 수 있다.
구체적으로, 제1분할빔부(PB1)의 주변에 구비된 제1슬릿부(SL1)는 제1분할빔부(PB1)의 상대적으로 큰 곡률 반경에 의해 상대적으로 큰 공간여유폭을 갖는다. 따라서, 가압력에 의해 제1분할빔부(PB1)가 길이 방향(±y방향)으로 탄성 변형하면서 제1분할빔부(PB1)의 일측이 폭 방향(±x방향)으로 돌출될 때, 제1분할빔부(PB1)의 돌출된 일측이 제1슬릿부(SL1)에 여유롭게 수용된다. 이에 따라 제1슬릿부(SL1)의 폭 방향(±x방향) 외측 주변에 존재하는 제2분할빔부(PB2)와, 탄성 변형에 의해 돌출되어 제1슬릿부(SL1)에 수용된 제1분할빔부(PB1)의 돌출된 일측간이 접촉되어 간섭되는 문제가 방지된다.
제1-6실시 예의 탄성부(S1-6)
다음으로, 본 발명의 바람직한 제1-6실시 예에 따른 탄성부(이하, 제1-6실시 예의 탄성부(S1-6)라 함)에 대해 설명한다. 이하 설명되는 제1-6실시 예의 탄성부(S1-6)는, 제1-1 내지 1-5실시 예의 탄성부(S1-1, S1-2, S1-3, S1-4, S1-5)와 비교하여 특징적인 구성요소들을 중심으로 설명하겠으며, 동일하거나 유사한 구성요소들에 대한 설명은 되도록이면 생략한다.
도 8은 제1-6실시 예의 탄성부(S1-6)의 일부를 확대하여 도시한 도이다.
제1-6실시 예의 탄성부(S1-6)는, 제1, 2슬릿부(SL1, SL2)와, 제1, 2슬릿부(SL1, SL2)에 의해 형성되는 제1 내지 3분할빔부(PB1, PB2, PB3)를 구비한다.
제1-6실시 예의 탄성부(S1-6)는, 제1 내지 3분할빔부(PB1, PB2, PB3)의 곡률 반경을 동일하게 구비한다.
제1 내지 3분할빔부(PB1, PB2, PB3) 각각의 빔폭(PW1, PW2, PW3)은 동일하게 구비된다. 이 때, 제1-6실시 예의 탄성부(S1-6)는 직선부(L)의 빔폭(H)와 제1 내지 3분할빔부(PB1, PB2, PB3) 각각의 개별적인 빔폭(PW1, PW2, PW3)을 동일하게 구비한다.
구체적으로, 길이 방향(±y방향)으로 제1분할빔부(PB1)의 중앙부에서의 빔폭(PW1)과 직선부(L)의 빔폭(H)이 동일하고, 길이 방향(±y방향)으로 제2분할빔부(PB2)의 중앙부에서의 빔폭(PW2)과 직선부(L)의 빔폭(H)이 동일하고, 길이 방향(±y방향)으로 제3분할빔부(PB3)의 중앙부에서의 빔폭(PW3)과 직선부(L)의 빔폭(H)이 동일하다.
제1-6실시 예의 탄성부(S1-6)는 직선부(L)의 빔폭(H)을 분할빔부(PB1, PB2, PB3) 개별의 빔폭(PW1, PW2, PW3)과 동일하게 구비함으로써, 만곡부(CV)의 전체적인 빔폭(구체적으로, 제1 내지 3분할빔부(PB1, PB2, PB3)의 빔폭(PW1, PW2, PW3)의 합)보다 직선부(L)의 빔폭(H)을 상대적으로 작게 구비한다. 이를 통해 제1-6실시 예의 탄성부(S1-6)는 탄성 변형 시 직선부(L)가 보다 쉽게 변형하도록 유도하여 제1-6실시 예의 탄성부(S1-6)의 탄성 변형 효율 측면에서 유리할 수 있다.
제1-7실시 예의 탄성부(S1-7)
다음으로, 본 발명의 바람직한 제1-7실시 예에 따른 탄성부(이하, 제1-7실시 예의 탄성부(S1-7)라 함)에 대해 설명한다. 이하 설명되는 제1-7실시 예의 탄성부(S1-7)는, 제1-1 내지 1-6실시 예의 탄성부(S1-1, S1-2, S1-3, S1-4, S1-5, S1-6)와 비교하여 특징적인 구성요소들을 중심으로 설명하겠으며, 동일하거나 유사한 구성요소들에 대한 설명은 되도록이면 생략한다.
도 9는 제1-7실시 예의 탄성부(S1-7)의 일부를 확대하여 도시한 도이다.
제1-7실시 예의 탄성부(S1-7)는, 제1, 2슬릿부(SL1, SL2)와, 제1, 2슬릿부(SL1, SL2)에 의해 형성되는 제1 내지 3분할빔부(PB1, PB2, PB3)를 구비한다.
제1-7실시 예의 탄성부(S1-7)는, 만곡부(CV)의 내측 방향에서 만곡부(CV)의 외측 방향으로 갈수록 작은 곡률 반경을 갖도록 제1 내지 3분할빔부(PB1, PB2, PB3)를 구비한다. 구체적으로, 만곡부(CV)의 내측 방향에서 만곡부(CV)의 외측 방향으로 갈수록 제1분할빔부(PB1), 제2분할빔부(PB2) 및 제3분할빔부(PB3)의 순으로 곡률 반경이 작아진다. 이에 따라 제1-7실시 예의 탄성부(S1-7)는 만곡부(CV)의 내측 방향에서 만곡부(CV)의 외측 방향으로 갈수록 공간 여유폭을 크게 구비하도록 제1, 2슬릿부(SL1, SL2)를 구비한다. 이를 통해 제1-7실시 예의 탄성부(S1-7)는 탄성 변형에 있어서 제1, 2분할빔부(PB1, PB2)간의 접촉 간섭을 방지하기에 유리하다.
제1-7실시 예의 탄성부(S1-7)는 제1 내지 3분할빔부(PB1, PB2, PB3) 각각의 길이 방향(±y방향)으로 중앙부의 빔폭(PW1, PW2, PW3)과 직선부(L)의 빔폭(H)을 동일하게 구비한다. 이로 인해 제1-7실시 예의 탄성부(S1-7)는 탄성 변형 시 직선부(L)가 소정 탄성 변형하도록 유도할 수 있다.
제1-8실시 예의 탄성부(S1-8)
다음으로, 본 발명의 바람직한 제1-8실시 예에 따른 탄성부(이하, 제1-8실시 예의 탄성부(S1-8)라 함)에 대해 설명한다. 이하 설명되는 제1-8실시 예의 탄성부(S1-8)는, 제1-1 내지 1-7실시 예의 탄성부(S1-1, S1-2, S1-3, S1-4, S1-5, S1-6, S1-7)와 비교하여 특징적인 구성요소들을 중심으로 설명하겠으며, 동일하거나 유사한 구성요소들에 대한 설명은 되도록이면 생략한다.
도 10은 제1-8실시 예의 탄성부(S1-8)의 일부를 확대하여 도시한 도이다.
제1-8실시 예의 탄성부(S1-8)는, 제1, 2슬릿부(SL1, SL2)와, 제1, 2슬릿부(SL1, SL2)에 의해 형성되는 제1 내지 3분할빔부(PB1, PB2, PB3)를 구비한다.
제1-8실시 예의 탄성부(S1-8)는, 제1, 2슬릿부(SL1, SL2)와, 제1, 2슬릿부(SL1, SL2)에 의해 형성되는 제1 내지 3분할빔부(PB1, PB2, PB3)를 구비한다.
제1-8실시 예의 탄성부(S1-8)는, 만곡부(CV)의 내측 방향에서 만곡부(CV)의 외측 방향으로 갈수록 큰 곡률 반경을 갖도록 제1 내지 3분할빔부(PB1, PB2, PB3)를 구비한다. 구체적으로, 만곡부(CV)의 내측 방향에서 만곡부(CV)의 외측 방향으로 갈수록 제1분할빔부(PB1), 제2분할빔부(PB2) 및 제3분할빔부(PB3)의 순으로 곡률 반경이 커진다.
이에 따라 제1-8실시 예의 탄성부(S1-8)는 만곡부(CV)의 내측 방향의 탄성 변형이 보다 쉽게 이루어질 수 있다.
제1-8실시 예의 탄성부(S1-8)는 제1 내지 3분할빔부(PB1, PB2, PB3) 각각의 빔폭(PW1, PW2, PW3)과 직선부(L)의 빔폭(H)을 동일하게 구비한다. 이로 인해 제1-8실시 예의 탄성부(S1-8)는 탄성 변형 시 직선부(L)가 소정 탄성 변형하도록 유도할 수 있다.
제1-9실시 예의 탄성부(S1-9)
다음으로, 본 발명의 바람직한 제1-9실시 예에 따른 탄성부(이하, 제1-9실시 예의 탄성부(S1-9)라 함)에 대해 설명한다. 이하 설명되는 제1-9실시 예의 탄성부(S1-9)는, 제1-1 내지 1-8실시 예의 탄성부(S1-1, S1-2, S1-3, S1-4, S1-5, S1-6, S1-7, S1-8)와 비교하여 특징적인 구성요소들을 중심으로 설명하겠으며, 동일하거나 유사한 구성요소들에 대한 설명은 되도록이면 생략한다.
도 11은 제1-9실시 예의 탄성부(S1-9)의 일부를 확대하여 도시한 도이다.
제1-9실시 예의 탄성부(S1-9)는, 제1, 2슬릿부(SL1, SL2)와, 제1, 2슬릿부(SL1, SL2)에 의해 형성되는 제1 내지 3분할빔부(PB1, PB2, PB3)를 포함하는 복수개의 분할빔부(PB)를 구비한다.
분할빔부(PB)는, 분할빔부(PB)의 곡률 반경을 형성하도록 곡률을 갖는 절곡부(170)를 구비한다. 절곡부(170)는, 길이 방향(±y방향)을 기준으로 분할빔부(PB)의 중앙부에 구비되어 그 수평 중심선이 분할빔부(PB)의 수평 중심선과 일치하도록 구비된다. 절곡부(170)의 빔폭(PW)은, 길이 방향(±y방향)으로 분할빔부(PB)의 중앙부의 폭 방향(±x방향) 빔폭(PW)을 구성한다.
분할빔부(PB)는, 절곡부(170)의 폭 방향(±x방향) 치수를 주변부(구체적으로, 길이 방향(±y방향)을 기준으로 절곡부(170)의 상부에 구비되어 상, 하로 인접하는 직선부(L) 중 상부에 위치하는 직선부(L)의 일단에 연결되는 부위와, 하부에 위치하는 직선부(L)의 일단에 연결되는 부위)보다 작게 구비한다.
따라서, 분할빔부(PB)는 길이 방향(±y방향)을 기준으로 중앙부의 빔폭(PW)이 가장 작게 구비된다.
보다 구체적으로, 제1 내지 3분할빔부(PB1, PB2, PB3) 각각은, 길이 방향(±y방향)을 기준으로 상부 및 하부의 빔폭(PW)보다 중앙부의 빔폭(PW1, PW2, PW3)이 가장 작게 구비된다.
제1분할빔부(PB1)의 절곡부(170)의 상부 주변부는, 상, 하로 인접하는 직선부(L) 중 상부에 위치하는 직선부(L)의 일단에 연결되는 부위이다. 따라서, 상부 주변부에서의 빔폭(PW1)은, 길이 방향(±y방향)의 치수로 측정되어 절곡부(170)가 구비되는 분할빔부(PB)의 중앙부의 빔폭(PW1)과 비교될 수 있다. 또한, 절곡부(170)의 하부 주변부는, 상, 하로 인접하는 직선부(L) 중 상부에 위치하는 직선부(L)의 일단에 연결되는 부위이다. 따라서, 하부 주변부에서의 빔폭(PW1)은, 길이 방향(±y방향)의 치수로 측정되어 절곡부(170)가 구비되는 분할빔부(PB)의 중앙부의 빔폭(PW1)과 비교될 수 있다. 제2, 3분할빔부(PB)의 중앙부의 빔폭(PW2, PW3)도 동일하므로 자세한 설명은 생략한다.
제1-9실시 예의 탄성부(S1-9), 분할빔부(PB)의 중앙부의 빔폭(PW)을 주변부보다 작게 구비함으로써 탄성 변형이 쉽게 이루어지도록 한다.
제1-10실시 예의 탄성부(S1-10)
다음으로, 본 발명의 바람직한 제1-10실시 예에 따른 탄성부(이하, 제1-10실시 예의 탄성부(S1-10)라 함)에 대해 설명한다. 이하 설명되는 제1-10실시 예의 탄성부(S1-10)는, 제1-1 내지 1-9실시 예의 탄성부(S1-1, S1-2, S1-3, S1-4, S1-5, S1-6, S1-7, S1-8, S1-9)와 비교하여 특징적인 구성요소들을 중심으로 설명하겠으며, 동일하거나 유사한 구성요소들에 대한 설명은 되도록이면 생략한다.
도 12는 제1-10실시 예의 탄성부(S1-10)의 일부를 확대하여 도시한 도이다.
제1-10실시 예의 탄성부(S1-10)는, 폭 방향(±x방향)의 치수가 길이 방향(±y방향)의 치수보다 크고 폭 방향(±x방향) 양측이 곡률을 갖는 타원형 단면 형상을 갖는 슬릿부(SL')를 구비한다. 타원형 형상의 슬릿부(SL')는, 만곡부(CV)의 중앙부에 구비되고 만곡부(CV)의 일면 및 타면을 관통하여 구비된다.
제1-10실시 예의 탄성부(S1-10)는, 타원형 형상의 슬릿부(SL')를 통해 타원형 형상의 슬릿부(SL')의 폭 방향(±x방향) 일측에 제1분할빔부(PB1)를 구비하고, 타측에 제2분할빔부(PB2)를 구비한다.
제1-10실시 예의 탄성부(S1-10)는, 폭 방향(±x방향)으로 상대적으로 큰 치수를 갖는 타원형 형상의 슬릿부(SL')를 구비함으로써 제1분할빔부(PB1)의 빔폭(PW1) 및 제2분할빔부(PB2)의 빔폭(PW2)을 상대적으로 작게 형성한다. 이에 따라 제1-10실시 예의 탄성부(S1-10)는 제1, 2분할빔부(PB1, PB2)의 탄성 변형이 보다 쉽게 이루어짐으로써 탄성부(S1-10)의 전체적인 탄성 변형이 쉽게 이루어질 수 있다.
제2실시 예의 탄성부(S2)
다음으로, 본 발명의 바람직한 제2실시 예에 따른 탄성부(이하, 제2실시 예의 탄성부(S2)라 함)에 대해 설명한다. 이하 설명되는 제2실시 예의 탄성부(S2)는, 제1-1 내지 1-10실시 예(S1-1, S1-2, S1-3, S1-4, S1-5, S1-6, S1-7, S1-8, S1-9, S1-10)와 비교하여 특징적인 구성요소들을 중심으로 설명하겠으며, 동일하거나 유사한 구성요소들에 대한 설명은 되도록이면 생략한다.
도 13은 제2실시 예의 탄성부(S2)의 일부를 확대하여 도시한 도이다.
제2실시 예의 탄성부(S2)는, 복수개의 직선부(L)와, 상, 하로 인접하는 직선부(L)를 연결하는 만곡부(CV)를 포함한다. 도 13에서, 제2실시 예의 탄성부(S2)는 슬릿부(SL)를 구비하지 않는 형태로 도시되나, 만곡부(CV)에 슬릿부(SL) 및 분할빔부(PB)를 구비할 수도 있다.
직선부(L)는 길이 방향(±y방향)을 기준으로 상면 및 하면이 곡률을 갖는 곡선면으로 형성된다. 이에 따라 제2실시 예의 탄성부(S2)의 직선부(L)는, 상면 및 하면이 평평한 면 대비 폭 방향(±x방향)을 기준으로 외곽부에서 중앙부로 갈수록 길이 방향(±y방향)의 빔폭(H)이 작아진다. 제2실시 예의 탄성부(S2)의 직선부(L)는, 직선부(L)의 외곽부측의 빔폭(H)보다 직선부(L)의 중앙부측의 빔폭(H)이 작다.
제2실시 예의 탄성부(S2)는, 직선부(L)의 중앙부의 길이 방향(±y방향) 빔폭(H)을 작게 형성함으로써 제2실시 예의 탄성부(S2)의 탄성 변형 시, 직선부(L)의 탄성 변형을 유도할 수 있다.
제2실시 예의 탄성부(S2)는, 만곡부(CV)의 폭 방향(±x방향)을 기준으로 하는 빔폭(PW)과, 직선부(L)의 길이 방향(±y방향)을 기준으로 하는 빔폭(H)을 비교하여 만곡부(CV)의 빔폭(PW)보다 직선부(L)의 빔폭(H)을 작게 구비한다. 만곡부(CV)의 탄성 변형과 함께 직선부(L)의 탄성 변형을 유도할 수 있다.
제3-1실시 예의 탄성부(S3-1)
다음으로, 본 발명의 바람직한 제3-1실시 예에 따른 탄성부(이하, 제3-1실시 예의 탄성부(S3-1)라 함)에 대해 설명한다. 이하 설명되는 제3-1실시 예의 탄성부(S3-1)는, 제1-1 내지 2실시 예(S1-1, S1-2, S1-3, S1-4, S1-5, S1-6, S1-7, S1-8, S1-9, S1-10, S2)와 비교하여 특징적인 구성요소들을 중심으로 설명하겠으며, 동일하거나 유사한 구성요소들에 대한 설명은 되도록이면 생략한다.
도 14는 제3-1실시 예의 탄성부(S3-1)의 일부를 확대하여 도시한 도이다.
제3-1실시 예의 탄성부(S3-1)는, 제1, 2슬릿부(SL1, SL2)와 제1, 2슬릿부(SL1, SL2)에 의해 형성되는 제1 내지 3분할빔부(PB1, PB2, PB3) 및 상, 하로 인접하는 직선부(L)에 구비되는 스토퍼(ST)를 포함한다.
제3-1실시 예의 탄성부(S3-1)는, 제1-4실시 예의 탄성부(S1-4)와 동일한 형태에 스토퍼(ST)를 추가로 구비한다. 따라서, 제3-1실시 예의 탄성부(S3-1)에 구비되는 직선부(L)와, 제1, 2슬릿부(SL1, SL2) 및 제1 내지 3분할빔부(PB1, PB2, PB3)에 대한 자세한 설명은 생략한다.
스토퍼(ST)는 적어도 한 개 이상 구비된다. 스토퍼(ST)는 직선부(L)의 일면에 구비된다.
제3-1실시 예의 탄성부(S3-1)는 복수개의 스토퍼(ST)를 구비한다. 제3-1실시 예의 탄성부(S3-1)는 제1 내지 8스토퍼(ST1, ST2, ST3, ST4, ST5, ST6, ST7, ST8)를 포함한다.
제3-1실시 예의 탄성부(S3-1)는, 상, 하방향(±y방향)으로 인접하는 제1, 2직선부(L1, L2)는, 각각의 일면에 스토퍼(ST)를 구비한다. 구체적으로, 스토퍼(ST)는, 상, 하로 인접되는 직선부(L)의 서로 대향하는 면에 각각 구비된다. 도 14에서 길이 방향(±y방향)을 기준으로 가장 상부에 구비되는 제1직선부(L1)의 하면에 제1스토퍼(ST1)가 구비된다. 제1직선부(L1)와 상, 하 대향되어 제1직선부(L1)와 인접하는 제2직선부(L2)에 제2스토퍼(ST2)가 구비된다.
제1직선부(L1)의 하면과 제2직선부(L2)의 상면은 서로 대향되는 면이다. 제3-1실시 예의 탄성부(S3-1)는 상, 하방향(±y방향)으로 인접하는 제1, 2직선부(L1, L2)의 서로 대향되는 면에 스토퍼(ST)를 구비한다. 이 때, 스토퍼(ST)는 길이 방향(±x방향)으로 서로 대응되는 위치에 구비되어 제3-1실시 예의 탄성부(S3-1)의 탄성 변형 시 접촉 가능하다.
제3-1실시 예의 탄성부(S3-1)는, 제1, 2직선부(L1, L2) 사이에 제1, 2스토퍼(ST1, ST2)로 구성되는 제1스토퍼부(SP1)를 구비한다.
또한, 제3-1실시 예의 탄성부(S3-1)는 상, 하방향(±y방향)으로 인접하는 제2, 3직선부(L2, L3)의 각각의 일면에 스토퍼(ST)를 구비한다. 제2직선부(L2)의 경우, 제1직선부(L1)의 하면과 대향되는 일면(상면)에 제2스토퍼(ST2)를 구비한다. 따라서, 제2직선부(L2)는 제1직선부(L1)의 하면과 대향되는 상면에 제2스토퍼(ST2)를 구비하고, 제3직선부(L3)의 상면과 대향되는 하면(타면)에 제3스토퍼(ST3)를 구비한다. 제2, 3스토퍼(ST2, ST3)는, 길이 방향(±y방향)을 기준으로 서로 반대되는 방향으로 투영했을 때, 서로 중첩되지 않고 폭 방향(±x방향)으로 반대되는 위치에서 마주보게 구비된다.
제4스토퍼(ST4)는 제2직선부(L2)의 하면과 대향되는 제3직선부(L3)의 상면에 구비된다.
제3, 4스토퍼(ST3, ST4)는 서로 대응되는 위치에 구비되어 제3-1실시 예의 탄성 변형 시 접촉 가능하다. 제3-1실시 예의 탄성부(S3-1)는, 제2, 3스토퍼(ST2, ST3) 사이에 제2스토퍼부(SP2)를 구비한다.
제1스토퍼부(SP1)와 제2스토퍼부(SP2)는 길이 방향(±y방향)을 기준으로 서로 대응되는 않는 위치에 구비된다. 구체적으로, 제1스토퍼부(SP1)는 제1, 2직선부(L1, L2)를 연결하는 만곡부(CV)의 일측과 가까운 위치에 구비되고, 제2스토퍼부(SP2)는 제2, 3직선부(L2, L3)를 연결하는 만곡부(CV)의 타측과 가까운 위치에 구비된다. 이에 따라 제1, 2스토퍼부(SP1, SP2)는 폭 방향(±x방향)을 기준으로 서로 반대되는 방향에 구비된다. 따라서, 제1, 2스토퍼부(SP1, SP2)는, 길이 방향(±y방향)을 기준으로 서로 반대되는 방향으로 투영했을 때, 중첩되지 않는다.
제5스토퍼부(SP5)는, 상면에 제4스토퍼(ST4)를 구비하는 제3직선부(L3)의 타면(하면)에 구비된다. 따라서, 제3직선부(L3)는 상면에 제4스토퍼(ST4)를 구비하고 하면에 제5스토퍼(ST5)를 구비한다. 제4, 5스토퍼(ST4, ST5)는 길이 방향(±y방향)을 기준으로 서로 반대되는 방향으로 투영했을 때, 서로 중첩되지 않고 폭 방향(±x방향)으로 반대되는 위치에 마주보게 구비된다.
제6스토퍼(ST6)는 제3직선부(L3)의 하면과 대향되는 제4직선부(L4)의 상면에 구비된다.
제5, 6스토퍼(ST5, ST6)는 서로 대응되는 위치에 구비되어 제3-1실시 예의 탄성 변형 시 접촉 가능하다. 제3-1실시 예의 탄성부(S3-1)는, 제3, 4직선부(L3, L4) 사이에 제5, 6스토퍼(ST5, ST6)로 구성되는 제3스토퍼부(SP3)를 구비한다.
제2스토퍼부(SP2)와 제3스토퍼부(SP3)는 길이 방향(±y방향)을 기준으로 서로 대응되는 않는 위치에 구비된다. 구체적으로, 제2스토퍼부(SP2)는 제1, 2직선부(L1, L2)를 연결하는 만곡부(CV)의 타측과 가까운 위치에 구비되고, 제3스토퍼부(SP3)는 제3, 4직선부(L3, L4)를 연결하는 만곡부(CV)의 일측과 가까운 위치에 구비된다. 이에 따라 제2, 3스토퍼부(SP2, SP3)는 폭 방향(±x방향)을 기준으로 서로 반대되는 방향에 구비된다. 따라서, 제2, 3스토퍼부(SP2, SP3)는, 길이 방향(±y방향)을 기준으로 서로 반대되는 방향으로 투영했을 때, 중첩되지 않는다.
한편, 제3스토퍼부(SP3)와 제1스토퍼부(SP1)는 길이 방향(±y방향)을 기준으로 서로 반대되는 방향으로 투영했을 때, 서로 중첩된다. 따라서, 제1, 3스토퍼부(SP1, SP3)는 폭 방향(±x방향)을 기준으로 서로 동일한 방향에 구비된다.
제7스토퍼(ST7)는 제4직선부(L4)의 하면에 구비된다. 제4직선부(L4)의 상면에 제6스토퍼(ST6)가 구비되고, 하면에 제7스토퍼(ST7)가 구비된다. 제6, 7스토퍼(ST6, ST7)는, 폭 방향(±x방향)을 기준으로 서로 반대는 방향에 구비된다. 따라서, 제6, 7스토퍼부(SP6, SP7)는 길이 방향(±y방향)을 기준으로 서로 반대되는 방향으로 투영했을 때, 중첩되지 않는다.
제8스토퍼(ST8)는 제5직선부(L5)의 상면에 구비된다. 제8스토퍼(ST8)는 길이 방향(±y방향)을 기준으로 제7스토퍼(ST7)와 대응되는 위치에 구비되어 제7스토퍼(ST7)와 접촉 가능하다. 제3-1실시 예의 탄성부(S3-1)는, 제4, 5직선부(L4, L5) 사이에 제7, 8스토퍼(ST7, ST8)로 구성되는 제4스토퍼부(SP4)를 구비한다.
제4스토퍼부(SP4)와 제3스토퍼부(SP3)는 길이 방향(±y방향)을 기준으로 서로 대응되는 않는 위치에 구비된다. 구체적으로, 제3스토퍼부(SP3)는 제3, 4직선부(L3, L4)를 연결하는 만곡부(CV)의 일측과 가까운 위치에 구비되고, 제4스토퍼부(SP4)는 제4, 5직선부(L4, L5)를 연결하는 만곡부(CV)의 타측과 가까운 위치에 구비된다. 이에 따라 제3, 4스토퍼부(SP3, SP4)는 폭 방향(±x방향)을 기준으로 서로 반대되는 방향에 구비된다. 따라서, 제3, 4스토퍼부(SP3, SP4)는, 길이 방향(±y방향)을 기준으로 서로 반대되는 방향으로 투영했을 때, 중첩되지 않는다.
한편, 제4스토퍼부(SP4)와 제2스토퍼부(SP2)는 길이 방향(±y방향)을 기준으로 서로 반대되는 방향으로 투영했을 때, 서로 중첩된다. 따라서, 제2, 4스토퍼부(SP2, SP4)는 폭 방향(±x방향)을 기준으로 서로 동일한 방향에 구비된다.
제3-1실시 예의 탄성부(S3-1)는, 각각의 직선부(L1, L2, L3, L4, L5) 사이에 구비되는 복수개의 스토퍼부(SP1, SP2, SP3, SP4)를 통해 탄성 변형 시 탄성 변형 위치가 제한된다.
보다 구체적으로, 제3-1실시 예의 탄성부(S3-1)는, 탄성 변형 시 만곡부(CV)의 탄성 변형에 의해 길이 방향(±y방향)으로 압축 변형된다. 이에 따라 제1, 2스토퍼(ST1, ST2)가 접촉되며 제1스토퍼부(SP1)가 만곡부(CV)의 탄성 변형 위치 제한 기능을 제공한다. 제1, 2스토퍼(ST1, ST2)가 접촉되면, 제1, 2직선부(L1, L2) 간을 연결하는 만곡부(CV)는 더 이상 길이 방향(±y방향)으로 압축되면서 탄성 변형되지 않음으로써, 탄성 변형 위치가 제한된다.
또한, 제3, 4스토퍼(ST3, ST4)가 접촉되며 제2스토퍼부(SP2)가 탄성 변형 위치 제한 기능을 제공하고, 길이 방향(±y방향)으로 서로 대응되는 제5, 6스토퍼(ST5, ST6) 및 제7, 8스토퍼(ST7, ST8)가 각각 접촉되며 제3, 4스토퍼부(SP3, SP4)가 만곡부(CV)의 탄성 변형 위치 제한 기능을 제공한다.
제3, 4스토퍼(ST3, ST4)가 접촉되면 제2, 3직선부(L2, L3)간을 연결하는 만곡부(CV)는 더 이상 길이 방향(±y방향)으로 압축되면서 탄성 변형되지 않는다. 또한, 제5, 6스토퍼(ST5, ST6)가 접촉되면 제3, 4직선부(L3, L4)간을 연결하는 만곡부(CV)는 더 이상 길이 방향(±y방향)으로 압축되면서 탄성 변형되지 않는다. 또한, 제7, 8스토퍼(ST7, ST8)가 접촉되면 제4, 5직선부(L4, L5)간을 연결하는 만곡부(CV)는 더 이상 길이 방향(±y방향)으로 압축되면서 탄성 변형되지 않는다.
제3-1실시 예의 탄성부(S3-1)는, 상, 하로 인접하는 직선부(L)의 서로 대향되는 면에 각각 스토퍼(ST)를 구비한다. 이에 따라 제3-1실시 예의 탄성부(S3-1)는, 인접하는 직선부(L)간을 연결하는 만곡부(CV)의 탄성 변형에 의해 길이 방향(±y방향)으로의 압축 변형이 발생하면, 서로 대향되는 스토퍼(ST)가 접촉되면서 만곡부(CV)의 탄성 변형 위치가 제한된다. 제3-1실시 예의 탄성부(S3-1)는 스토퍼(ST)를 구비함으로써 과도한 압축(탄성) 변형이 방지되고, 이에 따른 파손 문제가 방지될 수 있다.
제3-2실시 예의 탄성부(S3-2)
다음으로, 본 발명의 바람직한 제3-2실시 예에 따른 탄성부(이하, 제3-2실시 예의 탄성부(S3-2)라 함)에 대해 설명한다. 이하 설명되는 제3-2실시 예의 탄성부(S3-2)는, 제1-1 내지 3-1실시 예(S1-1, S1-2, S1-3, S1-4, S1-5, S1-6, S1-7, S1-8, S1-9, S1-10, S2, S3-1)와 비교하여 특징적인 구성요소들을 중심으로 설명하겠으며, 동일하거나 유사한 구성요소들에 대한 설명은 되도록이면 생략한다.
도 15는 제3-2실시 예의 탄성부(S3-2)의 일부를 확대하여 도시한 도이다.
도 15를 참조하면, 제3-2실시 예의 탄성부(S3-2)는, 복수개의 직선부(L) 및 상, 하로 인접하는 직선부(L)를 연결하는 복수개의 만곡부(CV)를 포함하고, 상, 하로 인접하는 직선부(L) 및 직선부(L)를 연결하는 만곡부(CV)의 형태를 따라 직선부(L) 및 만곡부(CV)에 연속적으로 형성되는 슬릿부(SL")와, 직선부(L)에 구비되는 스토퍼(ST)를 포함한다.
슬릿부(SL")는, 직선부(L) 및 만곡부(CV)의 일면과 타면을 관통하며 직선부(L) 및 만곡부(CV)의 일체 연결 형태를 따라 연속적으로 형성된다. 이에 따라 제3-2실시 예의 탄성부(S3-2)는 직선부(L) 및 만곡부(CV)를 분할빔부(PB)로 구성한다.
구체적으로, 복수개의 직선부(L) 각각은, 제1직선분할빔부(LB1), 제2직선분할빔부(LB2) 및 제1, 2직선분할빔부(LB1, LB2) 사이에 구비되는 슬릿부(SL")를 포함한다. 만곡부(CV)는 제1분할빔부(PB1), 제2분할빔부(PB2) 및 제1, 2분할빔부(PB1, PB2) 사이에 구비되는 슬릿부(SL")를 포함한다. 직선부(L)의 슬릿부(SL") 및 만곡부(CV)의 슬릿부(SL")는 연속적으로 형성되는 하나의 슬릿부(SL")이다.
제3-2실시 예의 탄성부(S3-2)는 제1, 2직선분할빔부(LB1, LB2) 사이에 스토퍼(ST)를 구비한다. 제3-2실시 예의 탄성부(S3-2)는 복수개의 직선부(L)를 구비하는 구조에 따라 복수개의 스토퍼(ST)를 구비한다.
스토퍼(ST)는 제1, 2직선분할빔부(LB1, LB2) 사이에 구비됨으로써 슬릿부(SL")에 구비된다. 스토퍼(ST)는, 제1, 2직선분할빔부(LB1, LB2) 사이에 존재하는 슬릿부(SL")의 길이 방향(±y방향) 치수와 동일한 길이 방향(±y방향) 치수를 갖는 스토퍼(ST)를 구비한다. 이에 따라 제1직선분할빔부(LB1)의 일면(하면)이 스토퍼(ST)의 상면에 접촉되고, 제2직선분할빔부(LB2)의 일면(상면)이 스토퍼(ST)의 하면에 접촉된다. 다시 말해, 스토퍼(ST)는 제1,2직선분할빔부(PB)의 일면에 접촉되는 형태로 제1, 2직선분할빔부(LB1, LB2) 사이에 구비된다.
제3-2실시 예의 탄성부(S3-2)는, 직선부(L) 및 만곡부(CV)의 일체 연결 형태와 동일한 형태로 직선부(L) 및 만곡부(CV)에 연속적인 슬릿부(SL")를 구비한다. 스토퍼(ST)는, 제1, 2직선분할빔부(LB1, LB2) 사이에 구비되는 슬릿부(SL")에 구비되어 만곡부(CV)의 제1분할빔부(PB1) 및 제2분할빔부(PB2)의 길이 방향(±y방향)으로의 탄성 변형 위치를 제한한다.
제1분할빔부(PB1)는, 제1직선분할빔부(LB1)와 일체로 연결되어 스토퍼(ST)의 상면에 의해 탄성 변형 위치가 제한된다. 제2분할빔부(PB2)는 제2직선분할빔부(LB2)와 일체로 연결되어 스토퍼(ST)의 하면에 의해 탄성 변형 위치가 제한된다.
이에 따라 제3-2실시 예의 탄성부(S3-2)는 과도한 압축 변형에 따른 파손이 방지된다.
제3-3실시 예의 탄성부(S3-3)
다음으로, 본 발명의 바람직한 제3-3실시 예에 따른 탄성부(이하, 제3-3실시 예의 탄성부(S3-3)라 함)에 대해 설명한다. 이하 설명되는 제3-3실시 예의 탄성부(S3-3)는, 제1-1 내지 3-2실시 예(S1-1, S1-2, S1-3, S1-4, S1-5, S1-6, S1-7, S1-8, S1-9, S1-10, S2, S3-1, S3-2)와 비교하여 특징적인 구성요소들을 중심으로 설명하겠으며, 동일하거나 유사한 구성요소들에 대한 설명은 되도록이면 생략한다.
도 16은 제3-3실시 예의 탄성부(S3-3)의 일부를 확대하여 도시한 도이다.
제3-3실시 예의 탄성부(S3-3)는, 복수개의 직선부(L)와, 상, 하로 인접하는 직선부(L)를 연결하는 만곡부(CV) 및 만곡부(CV)에 구비되는 스토퍼(ST)를 포함한다.
도 16을 참조하면, 제3-3실시 예의 탄성부(S3-3)는 상부에 위치하는 직선부(L)의 일단과 연결되는 만곡부(CV)의 일측에 폭 방향(±x방향) 내측으로 곡률을 갖고 연장되는 제1곡률 연장부(CE1)와, 하부에 위치하는 직선부(L)의 일단과 연결되는 만곡부(CV)의 타측에 폭 방향(±x방향) 내측으로 곡률을 갖고 연장되는 제2곡률 연장부(CE2)를 구비한다.
제1, 2곡률 연장부(CE1, CE2) 사이에는 이격 거리가 존재한다. 제3-3실시 예의 탄성부(S3-3)는, 제1, 2곡률 연장부(CE1, CE2)를 구비함에 따라 폭 방향(±x방향) 내측에 절개 부위가 형성된 만곡부(CV)를 구비한다. 만곡부(CV)의 절개 부위의 길이 방향(±y방향) 치수는, 제1, 2곡률 연장부(CE1, CE2)의 이격 거리와 동일하다.
제3-3실시 예의 탄성부(S3-3)는, 제1, 2곡률 연장부(CE1, CE2)를 통해 스토퍼(ST)를 형성한다. 다시 말해, 제3-3실시 예의 탄성부(S3-3)는, 제1, 2곡률 연장부(CE1, CE2)를 포함하는 만곡부(CV)를 구비하여 폭 방향(±x방향) 내측에 제1, 2곡률 연장부(CE1, CE2)의 이격 거리만큼의 길이 방향(±y방향) 치수를 갖는 절개 부위를 포함하는 만곡부(CV)를 구비한다. 제3-3실시 예의 탄성부(S3-3)는 길이 방향(±y방향)으로 이격 거리를 갖는 제1, 2곡률 연장부(CE1, CE2)를 통해 만곡부(CV)에 스토퍼(ST)를 형성한다. 따라서, 스토퍼(ST)는 길이 방향(±y방향)으로 이격 거리를 갖는 제1, 2곡률 연장부(CE1, CE2)에 의해 만곡부(CV)에 구비된다.
제3-3실시 예의 탄성부(S3-3)에 가압력이 가해지면, 만곡부(CV)는 길이 방향(±y방향)으로 압축되면서 탄성 변형한다. 이에 따라 제1, 2곡률 연장부(CE1, CE2) 사이의 이격 거리가 점차 작아지면서 제1, 2곡률 연장부(CE1, CE2)가 접촉된다. 이에 따라 만곡부(CV)의 길이 방향(±y방향)으로의 탄성 변형 위치가 제한된다.
제3-3실시 예의 탄성부(S3-3)는 만곡부(CV)에 길이 방향(±y방향)으로 이격 거리를 갖는 제1, 2곡률 연장부(CE1, CE2)를 구비하여 제1, 2곡률 연장부(CE1, CE2)의 이격 거리만큼 만곡부(CV)의 탄성 변형 길이를 제한한다. 만곡부(CV)는 제1, 2곡률 연장부(CE1, CE2)가 접촉될 때까지 탄성 변형되고, 제1, 2곡률 연장부(CE1, CE2)가 접촉됨에 따라 탄성 변형 위치가 제한된다. 이를 통해 제3-3실시 예의 탄성부(S3-3)는 과도한 탄성 변형이 방지되어 파손 문제를 방지할 수 있다.
제4-1실시 예의 탄성부(S4-1)
다음으로, 본 발명의 바람직한 제4-1실시 예에 따른 탄성부(이하, 제4-1실시 예의 탄성부(S4-1)라 함)에 대해 설명한다. 이하 설명되는 제4-1실시 예의 탄성부(S4-1)는, 제1-1 내지 3-3실시 예(S1-1, S1-2, S1-3, S1-4, S1-5, S1-6, S1-7, S1-8, S1-9, S1-10, S2, S3-1, S3-2, S3-3)와 비교하여 특징적인 구성요소들을 중심으로 설명하겠으며, 동일하거나 유사한 구성요소들에 대한 설명은 되도록이면 생략한다.
도 17은 제4-1실시 예의 탄성부(S4-1)의 일부를 확대하여 도시한 도이다.
제4-1실시 예의 탄성부(S4-1)는, 복수개의 직선부(L)와, 상, 하로 인접하는 직선부(L)를 연결하는 복수개의 만곡부(CV) 및 만곡부(CV)에 형성되는 홈부(HP)를 포함한다.
홈부(HP)는, 폭 방향(±x방향)을 기준으로 만곡부(CV)의 내측면에 절개 부위를 형성하며 만곡부(CV)의 일면과 타면을 관통하도록 형성된다. 홈부(HP)는 길이 방향(±y방향)을 기준으로 만곡부(CV)의 중앙부에 구비되고, 폭 방향(±x방향)을 기준으로 만곡부(CV)의 내측면에 절개 부위를 형성하며 구비된다.
홈부(HP)는 폭 방향(±x방향)을 기준으로 외측에 곡률을 갖고, 내측이 개구된다. 제4-1실시 예의 탄성부(S4-1)는, 만곡부(CV)의 내측면에 홈부(HP)를 형성함에 따라 홈부(HP)에 의해 만곡부(CV)의 내측면의 적어도 일부에 절개 부위가 구비된다.
제4-1실시 예의 탄성부(S4-1)는 만곡부(CV)의 내측면에 홈부(HP)를 구비함으로써, 만곡부(CV)의 중앙부에서의 폭 방향(±x방향) 빔폭(PW)을 작게 형성한다. 또한, 제4-1실시 예의 탄성부(S4-1)는 홈부(HP)을 통해 만곡부(CV)의 길이 방향(±y방향)으로의 탄성 변형을 수용하는 공간을 형성한다. 이에 따라 제4-1실시 예의 탄성부(S4-1)는, 가압력에 의한 탄성 변형이 보다 쉽게 이루어질 수 있다.
제4-2실시 예의 탄성부(S)
다음으로, 본 발명의 바람직한 제4-2실시 예에 따른 탄성부(이하, 제4-2실시 예의 탄성부(S4-2)라 함)에 대해 설명한다. 이하 설명되는 제4-2실시 예의 탄성부(S)는, 제1-1 내지 4-1실시 예(S1-1, S1-2, S1-3, S1-4, S1-5, S1-6, S1-7, S1-8, S1-9, S1-10, S2, S3-1, S3-2, S3-3, s4-1)와 비교하여 특징적인 구성요소들을 중심으로 설명하겠으며, 동일하거나 유사한 구성요소들에 대한 설명은 되도록이면 생략한다.
도 18은 제4-2실시 예의 탄성부(S)의 일부를 확대하여 도시한 도이다.
제4-2실시 예의 탄성부(S)는, 복수개의 직선부(L)와, 상, 하로 인접하는 직선부(L)를 연결하는 복수개의 만곡부(CV) 및 만곡부(CV)에 형성되는 홈부(HP)를 포함한다. 제4-2실시 예의 탄성부(S)는, 홈부(HP)의 형태를 제4-1실시 예의 탄성부(S4-1)에서의 홈부(HP)의 형태와 다르게 구비한다는 점에서 차이가 있다.
도 18을 참조하면, 홈부(HP)는 만곡부(CV)의 내측면에 절개 부위를 형성하며 폭 방향(±x방향) 외측으로 오목한 부위(이하, 폭방향 오목 부위라 함)를 갖고, 폭방향 오목 부위와 연통되며 만곡부(CV)의 내측면과 가까운 위치에 형성되는 길이 방향(±y방향)으로 오목한 부위(이하, 길이방향 오목 부위라 함)를 통해 형성된다.
따라서, 제4-2실시 예의 탄성부(S)는 폭 방향(±x방향)으로 오목하되, 폭방향 오목 부위와 수직한 방향으로 길이 방향(±y방향)으로 오목한 형태의 홈부(HP)를 구비한다. 만곡부(CV)는 홈부(HP)를 통해 만곡부(CV)의 내측 부위에서의 길이 방향(±y방향) 치수 및 폭 방향(±x방향) 치수를 상대적으로 작게 형성할 수 있다. 이에 따라 제4-2실시 예의 탄성부(S)는, 탄성 변형 시 만곡부(CV)의 내측 부위에서의 탄성 변형이 보다 쉽게 이루어지면서 파손 문제가 방지될 수 있다.
전술한 바와 같이, 본 발명의 바람직한 실시 예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술분야의 통상의 기술자는 하기의 특허 청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 또는 변형하여 실시할 수 있다.
[부호의 설명]
100: 전기 전도성 접촉핀
110: 제1접속부
120: 제2접속부
130: 지지부
S: 탄성부
SL: 슬릿부
ST: 스토퍼
HP: 홈부

Claims (10)

  1. 탄성부가 구비된 전기 전도성 접촉핀에 있어서,
    상기 탄성부는,
    복수개의 직선부;
    상, 하로 인접하는 상기 직선부를 연결하는 복수개의 만곡부; 및
    상기 만곡부의 일면과 타면을 관통하는 슬릿부;를 포함하고,
    상기 만곡부는, 상기 슬릿부에 의해 형성된 복수개의 분할빔부를 포함하는, 전기 전도성 접촉핀.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 분할빔부의 빔폭은 동일한, 전기 전도성 접촉핀.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 분할빔부의 빔폭은, 상기 만곡부의 내측 방향에서 외측 방향으로 갈수록 커지는, 전기 전도성 접촉핀.
  4. 제1항에 있어서,
    복수개의 상기 슬릿부가 구비되고,
    상기 슬릿부 중 상기 만곡부의 내측 방향에 구비되는 슬릿부는, 상기 만곡부의 외측 방향에 구비되는 슬릿부보다 공간여유폭이 큰, 전기 전도성 접촉핀.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 분할빔부는, 상기 만곡부의 내측 방향에서 외측 방향으로 갈수록 곡률 반경이 커지는, 전기 전도성 접촉핀.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 분할빔부의 빔폭의 합은 상기 직선부의 빔폭과 동일한, 전기 전도성 접촉핀.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 분할빔부는, 곡률을 갖는 절곡부를 포함하고, 상기 절곡부의 빔폭은, 주변부의 빔폭보다 작은, 전기 전도성 접촉핀.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 직선부의 빔폭은, 상기 만곡부의 빔폭보다 작은, 전기 전도성 접촉핀.
  9. 탄성부가 구비된 전기 전도성 접촉핀에 있어서,
    상기 탄성부는,
    복수개의 직선부;
    상, 하로 인접하는 상기 직선부를 연결하는 복수개의 만곡부; 및
    상기 직선부 및 상기 만곡부 중 적어도 하나에 구비되어 상기 탄성부의 탄성 변형 위치를 제한하는 스토퍼;를 포함하는, 전기 전도성 접촉핀.
  10. 탄성부가 구비된 전기 전도성 접촉핀에 있어서,
    상기 탄성부는,
    복수개의 직선부;
    상, 하로 인접하는 상기 직선부를 연결하는 복수개의 만곡부; 및
    상기 만곡부의 내측면에 절개 부위를 형성하며 상기 만곡부의 일면과 타면을 관통하는 홈부;를 포함하는, 전기 전도성 접촉핀.
PCT/KR2023/009450 2022-07-12 2023-07-05 전기 전도성 접촉핀 WO2024014771A1 (ko)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020220085867A KR20240008695A (ko) 2022-07-12 2022-07-12 전기 전도성 접촉핀
KR10-2022-0085867 2022-07-12

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2024014771A1 true WO2024014771A1 (ko) 2024-01-18

Family

ID=89537014

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/KR2023/009450 WO2024014771A1 (ko) 2022-07-12 2023-07-05 전기 전도성 접촉핀

Country Status (2)

Country Link
KR (1) KR20240008695A (ko)
WO (1) WO2024014771A1 (ko)

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20080035468A (ko) * 2006-10-18 2008-04-23 군세이 기모토 프로브
KR20100045899A (ko) * 2008-10-24 2010-05-04 (주)리뉴젠 반도체 테스트 소켓
KR20110025007A (ko) * 2009-09-02 2011-03-09 김순희 반도체 디바이스 테스트용 프로브 카드
KR20190014863A (ko) * 2017-08-04 2019-02-13 리노공업주식회사 검사프로브 및 이를 사용한 검사장치
CN213903610U (zh) * 2020-10-09 2021-08-06 镇安芯木田科技有限公司 一种连接器测试探针模组用弹片

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100659944B1 (ko) 2005-12-23 2006-12-21 리노공업주식회사 플런저 및 이를 장착한 검사용 탐침장치
KR100952712B1 (ko) 2007-12-27 2010-04-13 주식회사 아이에스시테크놀러지 판형 도전입자를 포함한 실리콘 콘택터

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20080035468A (ko) * 2006-10-18 2008-04-23 군세이 기모토 프로브
KR20100045899A (ko) * 2008-10-24 2010-05-04 (주)리뉴젠 반도체 테스트 소켓
KR20110025007A (ko) * 2009-09-02 2011-03-09 김순희 반도체 디바이스 테스트용 프로브 카드
KR20190014863A (ko) * 2017-08-04 2019-02-13 리노공업주식회사 검사프로브 및 이를 사용한 검사장치
CN213903610U (zh) * 2020-10-09 2021-08-06 镇安芯木田科技有限公司 一种连接器测试探针模组用弹片

Also Published As

Publication number Publication date
KR20240008695A (ko) 2024-01-19

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO2017007200A2 (ko) 테스트 소켓, 테스트 소켓 제조 방법, 및 테스트 소켓용 지그 어셈블리
WO2021201485A1 (ko) 프로브 카드 제조용 지그, 이를 포함하는 프로브 정렬 시스템 및 이를 이용하여 제조된 프로브 카드
WO2017171388A1 (ko) 카메라 모듈 및 이를 포함하는 광학 기기
WO2020185016A1 (ko) 패키징 기판 및 이를 포함하는 반도체 장치
WO2010095810A2 (ko) 엘이디 칩 분류장치
WO2019164106A1 (ko) 손 착용형 장치 및 이의 제조 방법
WO2021194213A1 (ko) 프로브 헤드 및 이를 구비하는 프로브 카드
WO2021071303A1 (ko) 이미지 센서용 기판
WO2018212498A1 (ko) 올인원 칩 온 필름용 연성 회로기판 및 이를 포함하는 칩 패키지, 및 이를 포함하는 전자 디바이스
WO2020204245A1 (ko) 반도체 소자 테스트용 리드리스 bga 소켓장치
WO2024014771A1 (ko) 전기 전도성 접촉핀
WO2022211345A1 (ko) 전기 전도성 접촉핀
WO2024034908A1 (ko) 전기 전도성 접촉핀 및 이를 구비하는 검사 장치
WO2022211343A1 (ko) 전기 전도성 접촉핀 및 이의 제조방법
WO2023033433A1 (en) Electro-conductive contact pin and vertical probe card having same
WO2023163513A1 (ko) 전기 전도성 접촉핀
WO2022260371A1 (ko) 전기 전도성 접촉핀
WO2023163493A1 (ko) 전기 전도성 접촉핀
WO2024085537A1 (ko) 프로브 핀, 프로브 핀을 포함하는 프로브 카드 및 이들의 제조방법
WO2023204545A1 (ko) 커넥터
WO2018190633A1 (ko) 저삽입력 커넥터 어셈블리 및 반도체 부품 시험 장치
WO2024085538A1 (ko) 프로브 카드 제작 방법
AU2019337291B2 (en) Rotary switch
WO2023140655A1 (ko) 전기 전도성 접촉핀
WO2023153703A1 (ko) 전기 전도성 접촉핀

Legal Events

Date Code Title Description
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 23839864

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1