KR100952712B1 - 판형 도전입자를 포함한 실리콘 콘택터 - Google Patents
판형 도전입자를 포함한 실리콘 콘택터 Download PDFInfo
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Abstract
Description
Claims (8)
- 일측은 반도체 테스트장비의 테스트단자와 접촉되고, 타측은 반도체소자의 리드단자와 접촉되어 반도체 테스트장비에 이용되는 실리콘 콘택터에 있어서,상기 리드단자 및 상기 테스트단자와 대응되는 영역에 형성되고, 실리콘 고무 및 도전입자를 포함하며, 상기 도전입자가 상기 실리콘 고무에 촘촘히 충전됨으로써 전기적으로 도전되는 도전성 실리콘부; 및상기 도전성 실리콘부 사이에서 상기 리드단자와 접촉되지 않는 영역에 실리콘 고무를 충전시켜 형성되고, 상기 도전성 실리콘부를 지지하는 절연성 실리콘부를 포함하며,상기 도전입자는 넓적하고 두께가 얇은 판상 형태의 판형입자를 포함하되,상기 판형입자는 상기 리드단자나 상기 테스트단자에 접촉하는 경우 그 둘레 면이 접촉되도록 배치되는 것을 특징으로 하는, 실리콘 콘택터.
- 제1항에 있어서, 상기 도전입자는 구 형태의 구형입자를 더 포함하며,상기 도전성 실리콘부는, 상기 리드단자와 접촉되는 부분에는 상기 판형입자가 배치되고, 상기 리드단자와 접촉되는 부분 외의 영역에는 상기 구형입자가 배치되는 것을 특징으로 하는, 실리콘 콘택터.
- 제1항에 있어서, 상기 도전입자는 구 형태의 구형입자를 더 포함하며,상기 도전성 실리콘부는, 상기 리드단자 및 상기 테스트단자와 접촉되는 부분에는 상기 판형입자가 배치되고, 상기 리드단자 및 상기 테스트단자와 접촉되는 부분 외의 영역에는 상기 구형입자가 배치되는 것을 특징으로 하는, 실리콘 콘택터.
- 제1항에 있어서, 상기 도전입자는 구 형태의 구형입자를 더 포함하며,상기 도전성 실리콘부는 상기 판형입자와 상기 구형입자가 혼합되어 배치되는 것을 특징으로 하는, 실리콘 콘택터.
- 제1항에 있어서, 상기 도전입자는 구 형태의 구형입자를 더 포함하며,상기 도전성 실리콘부는, 상기 리드단자와 접촉되는 부분에는 상기 판형입자와 상기 구형입자가 혼합되어 배치되고, 상기 리드단자와 접촉되는 부분 외의 영역에는 상기 구형입자가 배치되는 것을 특징으로 하는, 실리콘 콘택터.
- 제1항 내지 제5항 중의 어느 한 항에 있어서, 상기 판형입자의 넓은 면의 형상은원형, 다각형, 및 불규칙한 형상 중의 적어도 하나인 것을 특징으로 하는, 실리콘 콘택터.
- 제6항에 있어서,상기 도전성 실리콘부는 상기 절연성 실리콘부보다 돌출되도록 형성되는 것을 특징으로 하는, 실리콘 콘택터.
- 제6항에 있어서, 상기 리드단자 및 상기 테스트단자와 접촉하는 부분의 도전입자는그 몸체의 일부가 실리콘 고무 밖으로 노출되어 배치되는 것을 특징으로 하는, 실리콘 콘택터.
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