WO2024005189A1 - 硬化性樹脂組成物、当該組成物を硬化させた絶縁性硬化膜及びタッチパネル用絶縁性硬化膜、並びに、タッチパネル - Google Patents

Abstract

酸価が５５～１００ｍｇＫＯＨの熱硬化性アルカリ可溶性樹脂（Ａ１）と、　酸価が２０～１００ｍｇＫＯＨ／ｇの光硬化性アルカリ可溶性樹脂（Ａ２）と、　２つの重合性官能基と、前記２つの重合性官能基の間に含まれる環構造とを有する（メタ）アクリル系モノマー（Ｂ１）と、　下記式（１）または（２）で表されるシラン化合物（Ｃ）と、　を含む、硬化性樹脂組成物。 （式中、Ｒ¹～Ｒ³は、同一または異なっていてもよく、全部または少なくとも１つは炭素数１～５のアルコキシ基であり、他は炭素数１～５のアルキル基である。Ｒ⁴～Ｒ⁶は、同一または異なっていてもよく、炭素数１～５のアルコキシ基または炭素数１～５のアルキル基である。Ａは、置換または非置換の炭素数２～１８の直鎖または分岐鎖のアルキレン基であり、２価または３価の連結基を含んでいてもよい。Ｂは、置換または非置換の炭素数２～１５の直鎖または分岐鎖のアルキレン基であり、２価の連結基を含んでいてもよい。Ｘは、Ｏ、ＮＨ、ＮＨ－ＣＯ－ＮＨまたはＳである。ｐは、０または１の整数である。ｑは、１～３の整数である。ｒは、１～３の整数である。ｓは、１～３の整数である。ｔは、１～３の整数である。）

Description

硬化性樹脂組成物、当該組成物を硬化させた絶縁性硬化膜及びタッチパネル用絶縁性硬化膜、並びに、タッチパネル

　本発明は、硬化性樹脂組成物、並びに、当該組成物を硬化させた絶縁性硬化膜に関し、例えば、タッチパネルなどに用いられる絶縁性硬化膜用途（例えば、絶縁膜用途、保護膜用途、平坦膜用途など）に有用な硬化性樹脂組成物、並びに、当該組成物を硬化させたタッチパネル用絶縁性硬化膜及び当該硬化膜を備えたタッチパネルに関する。

　近年、電子機器の高機能化や多様化や小型軽量化が進むに伴い、液晶等の表示素子の前面に透明タッチパネルを装着し、この透明タッチパネルを通して表示素子に表示された文字や記号、絵柄などの視認、選択をおこない、透明タッチパネルの操作によって機器の各機能の切り替えをおこなうものが増えている。

　タッチパネルの検出方式には、抵抗膜方式、静電容量方式、超音波方式、光学方式などがあり、近年では、抵抗膜方式及び静電容量方式が普及している。例えば、抵抗膜方式は、上部電極フィルムと下部電極ガラスとの２面構成からなり上部電極フィルムの上からペン先などで圧力をかけることで、スイッチが押され反応する方式である。また、静電容量方式は、表面の保護ガラスとセンサーガラスとからなり、表面のガラスに指が触れることで静電結合が起こり、奥のガラスとの静電容量に差が生じ、その差から触れた箇所を割りだす方式である。

　静電容量式タッチパネルは、例えば、ＩＴＯ膜付きガラスを基板に用い、接触した位置の誤認識を防ぐため、積層構造中に絶縁膜や保護膜を設けている。このような保護膜としては、高硬度な無機系のＳｉＯ₂、ＳｉＮｘや透明樹脂等で形成された保護膜や、有機系の保護膜が用いられている。また、タッチパネルは液晶表示装置と組み合わされる際、その設置部位に応じて、アウトセル構造、オンセル構造、インセル構造に区別することができる。近年では視認性に優れるオンセル構造やインセル構造が主流になりつつある。これらオンセル構造及びインセル構造では、タッチパネルが液晶パネル内に組み込まれている。さらに、タッチパネルの構造としては、絶縁膜の一面にＸ電極が、他面にＹ電極が配置された２面型と、同一平面上にＸ電極及びＹ電極が形成されている１面型とが知られている。

　このようなタッチパネルに適用可能な技術としては、例えば、特定のアルカリ可溶性樹脂と光反応性単量体とを用い、耐薬品性、現像性、及び、耐しわ性に優れる硬化膜に関する技術が提案されている（例えば、特許文献１参照）。

国際公開ＷＯ２０２０／２５１００４号

　上述のように、タッチパネルや液晶表示装置等に用いられている絶縁膜を形成するために硬化性樹脂組成物が多く用いられている。このような絶縁膜には、電極間を導通する等の目的で貫通孔（いわゆるスルーホール）や溝などのパターンが形成されることがある。

　比較的小さなスルーホールや幅細の溝を形成可能なパターニング精度を有する硬化性樹脂組成物を調製するためには、ポジ型が有利とされている。しかし、ポジ型の硬化性樹脂組成物を用いた場合硬化物に着色が生じるなどの問題がある。

　一方、硬化物の着色を回避すべくネガ型の硬化性樹脂組成物を用いることも考えられる。しかし、従来のネガ型の硬化性組成物に対して高いパターニング精度を求めることは容易でない場合があり、また、パターニング精度と、（エレクトロ）マイグレーション耐性とは、一般的にトレードオフの関係にある場合が多い。そのため、所定のパターニング精度及びマイグレーション耐性を有するネガ型の硬化性樹脂組成物に関する技術の開発が強く望まれていた。

　本発明は、上述の課題を解決すべく、パターニング精度及びマイグレーション耐性に優れる硬化性樹脂組成物、当該組成物を硬化させた絶縁性硬化膜及びタッチパネル用絶縁性硬化膜、並びに、当該硬化膜を備えたタッチパネルを提供することを目的とする。

　本発明者らは、前記課題を解決するために鋭意検討した。その結果、特定の酸価を有する熱硬化性アルカリ可溶性樹脂と、特定の酸価を有する光硬化性アルカリ可溶性樹脂と、特定の構造を有するモノマーとを含み、さらに特定の構造のシラン化合物を含む組成物を用いることで、上述の課題を達成できることを見出し、本発明を完成するに至った。
＜１＞
　酸価が５５～１００ｍｇＫＯＨ／ｇの熱硬化性アルカリ可溶性樹脂（Ａ１）と、
　酸価が２０～１００ｍｇＫＯＨ／ｇの光硬化性アルカリ可溶性樹脂（Ａ２）と、
　２つの重合性官能基と、前記２つの重合性官能基の間に含まれる環構造とを有する（メタ）アクリル系モノマー（Ｂ１）と、
　下記式（１）または（２）で表されるシラン化合物（Ｃ）と、
　を含む、硬化性樹脂組成物。

（式中、Ｒ¹～Ｒ³は、同一または異なっていてもよく、全部または少なくとも１つは炭素数１～５のアルコキシ基であり、他は炭素数１～５のアルキル基である。Ｒ⁴～Ｒ⁶は、同一または異なっていてもよく、炭素数１～５のアルコキシ基または炭素数１～５のアルキル基である。Ａは、置換または非置換の炭素数２～１８の直鎖または分岐鎖のアルキレン基であり、２価または３価の連結基を含んでいてもよい。Ｂは、置換または非置換の炭素数２～１５の直鎖または分岐鎖のアルキレン基であり、２価の連結基を含んでいてもよい。Ｘは、Ｏ、ＮＨ、ＮＨ－ＣＯ－ＮＨまたはＳである。ｐは、０または１の整数である。ｑは、１～３の整数である。ｒは、１～３の整数である。ｓは、１～３の整数である。ｔは、１～３の整数である。）
＜２＞
　前記熱硬化性アルカリ可溶性樹脂（Ａ１）が酸基、及び、環状エーテル基を有する、前記＜１＞に記載の硬化性樹脂組成物。
＜３＞
　前記熱硬化性アルカリ可溶性樹脂（Ａ１）が、少なくとも、下記単位（ａ１－１）及び（ａ１－２）を含む、前記＜１＞又は前記＜２＞に記載の硬化性樹脂組成物。

（式（ａ１－１）中、Ｒ¹は、水素原子、又は、メチル基を示し；Ｘ¹は、単結合又は酸素原子を含んでいてもよい炭素数１～１５の直鎖又は環状の脂肪族炭化水素基を示す。式（ａ１－２）中、Ｒ¹は、水素原子、又は、メチル基を示し；Ｒ³は、環状エーテル構造を有し、且つ、酸素原子を含んでいてよい炭素数３～１５の直鎖、分岐鎖脂肪族炭化水素基を示す。）
＜４＞
　前記熱硬化性アルカリ可溶性樹脂（Ａ１）が、さらに、下記単位（ａ１－３）を含む、前記＜３＞に記載の硬化性樹脂組成物。

（式中、Ｒ¹は、水素原子、又は、メチル基を示し；Ｒ⁴は、酸素原子を含んでいてもよい直鎖、分岐鎖又は環状の炭素数１～２０の脂肪族炭化水素基、芳香族基、及び、これらの組み合わせから選ばれる少なくとも１種を示す。）
＜５＞
　前記熱硬化性アルカリ可溶性樹脂（Ａ１）及び前記光硬化性アルカリ可溶性樹脂（Ａ２）の少なくとも一方が、環状の基を有する、前記＜１＞から前記＜４＞のいずれか一つに記載の硬化性樹脂組成物。
＜６＞
　前記熱硬化性アルカリ可溶性樹脂（Ａ１）及び前記光硬化性アルカリ可溶性樹脂（Ａ２）の少なくとも一方の重量平均分子量が３０，０００以下である、前記＜１＞から前記＜５＞のいずれか一つに記載の硬化性樹脂組成物。
＜７＞
　前記光硬化性アルカリ可溶性樹脂（Ａ２）が、少なくとも、下記単位（ａ２－１）及び（ａ２－２）を含む、前記＜１＞から前記＜６＞のいずれか一つに記載の硬化性樹脂組成物。

（単位（ａ２－１）中、Ｒ¹は、それぞれ独立して、水素原子、又は、メチル基を示し；Ｒ⁵は、ヘテロ原子を含んでいてよい、鎖状、分岐、又は環状の、炭素数２～１５の脂肪族炭化水素基を示す。単位（ａ２－２）中、Ｒ¹は、水素原子、又は、メチル基を示し；Ｘ¹は、単結合、又は、酸素原子を含んでいてもよい炭素数１～１５の直鎖若しくは環状の脂肪族炭化水素基を示す。）
＜８＞
　前記光硬化性アルカリ可溶性樹脂（Ａ２）が、さらに、下記単位（ａ２－３）を含む、前記＜７＞に記載の硬化性樹脂組成物。

（式中、Ｒ¹は、水素原子、又は、メチル基を示し；Ｒ⁴は、酸素原子を含んでいてもよい直鎖、分岐鎖又は環状の炭素数１～２０の脂肪族炭化水素基、芳香族基、これらの組み合わせから選ばれる少なくとも１種を示す。）
＜９＞
　前記（メタ）アクリル系モノマー（Ｂ１）における前記環構造が、酸素原子を含んでいてよい炭素数６～２６の脂肪族炭化水素基、酸素原子を含んでいてよい炭素数６～２６の芳香族炭化水素、及び、これらの組み合わせ、を含む群から選択されるいずれか一つを含む、前記＜１＞から前記＜９＞のいずれか一つに記載の硬化性樹脂組成物。
＜１０＞
　前記熱硬化性アルカリ可溶性樹脂（Ａ１）及び前記光硬化性アルカリ可溶性樹脂（Ａ２）の総量〔Ａ〕と、前記（メタ）アクリル系モノマー（Ｂ１）を含む多官能（メタ）アクリル系モノマー（Ｂ）の総量〔Ｂ〕との質量比〔Ａ：Ｂ〕が１００：４０～８０である、前記＜１＞から前記＜９＞のいずれか一つに記載の硬化性樹脂組成物。
＜１１＞
　絶縁膜形成用途に用いられる前記＜１＞～前記＜１０＞のいずれか一つに記載の硬化性樹脂組成物。
＜１２＞
　前記＜１＞～前記＜１０＞のいずれか一つに記載の硬化性樹脂組成物を硬化させた絶縁性硬化膜。
＜１３＞
　前記＜１＞～前記＜１０＞のいずれか一つに記載の硬化性樹脂組成物を硬化させたタッチパネル用絶縁性硬化膜。
＜１４＞
　前記＜１３＞に記載のタッチパネル用絶縁性硬化膜を備えたタッチパネル。

　本発明によれば、パターニング精度及びマイグレーション耐性に優れる硬化性樹脂組成物、当該組成物を硬化させた絶縁性硬化膜及びタッチパネル用絶縁性硬化膜、並びに、当該硬化膜を備えたタッチパネルを提供することができる。

本実施形態のタッチパネルの一態様の構成を示す平面図である。 図１におけるＡＡ断面図である。 スルーホールの断面形状を示す模式図である。

　以下、本発明を実施するための形態（以下、「本実施形態」という。）について詳細に説明する。しかし、本発明はこれに限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で様々な変形が可能である。

《硬化性樹脂組成物》
　本実施形態の硬化性樹脂組成物は、酸価が５５～１００ｍｇＫＯＨ／ｇの熱硬化性アルカリ可溶性樹脂（Ａ１）と、酸価が２０～１００ｍｇＫＯＨ／ｇの光硬化性アルカリ可溶性樹脂（Ａ２）と、２つの重合性官能基と、前記２つの重合性官能基の間に含まれる環構造とを有する（メタ）アクリル系モノマー（Ｂ１）と、下記式（１）または（２）で表されるシラン化合物（Ｃ）と、を含む。

（式中、Ｒ¹～Ｒ³は、同一または異なっていてもよく、全部または少なくとも１つは炭素数１～５のアルコキシ基であり、他は炭素数１～５のアルキル基である。Ｒ⁴～Ｒ⁶は、同一または異なっていてもよく、炭素数１～５のアルコキシ基または炭素数１～５のアルキル基である。Ａは、置換または非置換の炭素数２～１８の直鎖または分岐鎖のアルキレン基であり、２価または３価の連結基を含んでいてもよい。Ｂは、置換または非置換の炭素数２～１５の直鎖または分岐鎖のアルキレン基であり、２価の連結基を含んでいてもよい。Ｘは、Ｏ、ＮＨ、ＮＨ－ＣＯ－ＮＨまたはＳである。ｐは、０または１の整数である。ｑは、１～３の整数である。ｒは、１～３の整数である。ｓは、１～３の整数である。ｔは、１～３の整数である。）

　本実施形態の硬化性樹脂組成物は、ネガ型でありながら、パターニング精度及びマイグレーション耐性に優れている。すなわち、本発明は現像の際に露光部（硬化部）が耐水や耐現像液性に優れる一方、非露光部（未硬化部）が現像液に溶解しやすいため、高いパターニング精度を実現できる。本実施形態の硬化性樹脂組成物がパターニング精度及びマイグレーション耐性に優れる理由は定かではないが、硬化性樹脂組成物に含まれるシラン化合物（Ｃ）がパターニング精度及びマイグレーション耐性の両立に作用していると推測される。理論に拘束されるわけではないが、シラン化合物（Ｃ）が有するＮＨ部分が、配線中から溶出する金属イオンをトラップすることで、硬化部において金属イオンが導電パスを形成することを防止しているため、マイグレーション耐性に優れると考えられる。また、本実施形態の硬化性樹脂組成物は、各構成要素を含むことで、非潜像部（非露光部）の現像性に優れると共に、潜像部（露光部）においては現像液に対する耐性が高いため、高いパターニング精度を達成できると考えられる。本実施形態の説明において、マイグレーションとは、エレクトロマイグレーションを意味する。

＜アルカリ可溶性樹脂（Ａ）＞
　本実施形態の硬化性樹脂組成物は、熱硬化性アルカリ可溶性樹脂（Ａ１）と、光硬化性アルカリ可溶性樹脂（Ａ２）とを含む。熱硬化性アルカリ可溶性樹脂（Ａ１）と、光硬化性アルカリ可溶性樹脂（Ａ２）とは異なる化合物である。“アルカリ可溶性樹脂”は、非硬化部が現像液に対して溶解性を示し、硬化部が現像液に対して不溶性又は難溶性を示す。また、硬化物の水の浸透に対する耐性（以下、単に耐水性という）の観点から、熱硬化性アルカリ可溶性樹脂（Ａ１）及び前記光硬化性アルカリ可溶性樹脂（Ａ２）の少なくとも一方は、環状の基を有することが好ましい。
　以下、熱硬化性アルカリ可溶性樹脂（Ａ１）及び光硬化性アルカリ可溶性樹脂（Ａ２）を各々“アルカリ可溶性樹脂（Ａ１）”又は“アルカリ可溶性樹脂（Ａ２）”と称することがある。また、アルカリ可溶性樹脂（Ａ１）及び（Ａ２）を総じて“アルカリ可溶性樹脂（Ａ）”と称することがある。本実施形態の硬化性樹脂組成物は、複数のアルカリ可溶性樹脂（Ａ１）及び（Ａ２）を含むことができる。

（熱硬化性アルカリ可溶性樹脂（Ａ１））
　アルカリ可溶性樹脂（Ａ１）は、酸価が５５～１００ｍｇＫＯＨ／ｇの熱硬化性アルカリ可溶性樹脂である。アルカリ可溶性樹脂（Ａ１）は、熱反応性基を有しており７０℃以上で硬化が進行する樹脂である。前記熱反応性基としては、特に限定はないが、低温硬化性の点で、例えば、酸基（例えば、カルボキシル基、酸無水物基、スルホン基、リン酸基）、環状エーテル基、ヒドロキシ基、アミノ基、チオール基、イソアネート基、シラノール基が挙げられる。アルカリ可溶性樹脂（Ａ１）は、熱反応性基として酸基及び環状エーテル基（例えば、エポキシ基、オキセタニル基など）を有することが好ましい。熱硬化性アルカリ可溶性樹脂（Ａ１）の硬化が進行する温度は熱反応性基の種類及び数によって変動するが、低温硬化性と未露光部の現像性（未露光部の現像液への溶解性）の観点から、７０℃以上であることが好ましく、８０℃～２３０℃がさらに好ましく、９０℃～１５０℃が特に好ましい。

　アルカリ可溶性樹脂（Ａ１）の酸価は、５５～１００ｍｇＫＯＨ／ｇであり、６０～９５ｍｇＫＯＨ／ｇが好ましく、７０～９０ｍｇＫＯＨ／ｇがさらに好ましい。アルカリ可溶性樹脂（Ａ１）の酸価が５５～１００ｍｇＫＯＨ／ｇの範囲内にあると、現像不良の発生を抑制でき、且つ、現像液（例えば、テトラメチルアンモニウム－ヒドロキシド）に対する耐性が高く、過現像を抑制することができる。また、５５ｍｇＫＯＨ／ｇ未満であると現像性が低下する恐れがある。アルカリ可溶性樹脂の酸価としては理論固形分酸価値を用いることができ、下記のようにして算出することができる。
　理論固形分酸価値（ｍｇＫＯＨ／ｇ）＝［５６．１（水酸化カリウムの分子量）×（アルカリ可溶性樹脂（Ａ１）における酸基含有単位の全量［ｇ］）×１０００］／［（アルカリ可溶性樹脂（Ａ１）の固形分の全量［ｇ］）×（酸基含有単位の分子量）］

　熱硬化性アルカリ可溶性樹脂（Ａ１）としては、少なくとも、下記単位（ａ１－１）及び（ａ１－２）を含む樹脂を用いることができる。熱硬化性アルカリ可溶性樹脂（Ａ１）は、下記の同一の構成単位を２種以上（例えば、２種の単位（ａ１－２）を含むもの）であってもよい。

（単位（ａ１－１）中、Ｒ¹は、水素原子、又は、メチル基を示し；Ｘ¹は、単結合、又は、酸素原子を含んでいてもよい炭素数１～１５の直鎖若しくは環状の脂肪族炭化水素基を示す。単位（ａ１－２）中、Ｒ¹は、水素原子、又は、メチル基を示し；Ｒ³は、環状エーテル構造を有し、且つ、酸素原子を含んでいてよい炭素数３～１５の直鎖若しくは分岐鎖脂肪族炭化水素基を示す。）

－単位（ａ１－１）－
　単位（ａ１―１）は不飽和カルボン酸に由来する単位である。
　単位（ａ１－１）中、Ｒ¹は、水素原子、又は、メチル基を示し、得られる硬化物の耐水性の点からメチル基が好ましい。
　また、Ｘ¹は、単結合又は酸素原子を含んでいてもよい炭素数１～１５の直鎖若しくは環状の脂肪族炭化水素基（二価の結合基）を示す。耐水性の観点から、酸素原子を含んでいてもよい脂肪族炭化水素基の炭素数としては１～９が好ましい。これら脂肪族炭化水素基は、構造中に－Ｏ－構造（酸素原子を含む構造：例えば、エーテル基（－Ｏ－）、エステル基（－ＣＯ－Ｏ－）、酸無水物基（－ＣＯ－Ｏ－ＣＯ－））を有していてもよい。直鎖の脂肪族炭化水素基としては、炭素数１～１５のアルキレン基、複数のエステル基や酸無水物基（－ＣＯ－Ｏ－ＣＯ－）を含んでいてもよい炭素数３～１５の脂肪族炭化水素基等が挙げられる。また、環状の脂肪族炭化水素基としては、炭素数３～１５のシクロアルキレン基、複数のエステル基や酸無水物基を含んでいてもよい炭素数３～１５のシクロアルキレン基等が挙げられる。また、Ｘ¹は、直鎖部分と環状部分との両方を含む脂肪族炭化水素基であってもよい。複数のエステル基や酸無水物基を有するＸ¹の例としては、－ＣＯ－Ｏ－ＣＨ₂－ＣＨ₂－Ｏ－ＣＯ－ＣＨ₂－ＣＨ₂－、－ＣＯ－Ｏ－ＣＨ₂－ＣＨ₂－Ｏ－ＣＯ－シクロへキシル－などが挙げられる。

　単位（ａ１－１）としては、例えば、メタクリル酸（以下「ＭＡＡ」と称することがある）、アクリル酸、クロトン酸（ｔｒａｎｓ）、マレイン酸（ｃｉｓ）、フマル酸（ｔｒａｎｓ）、シトラコン酸（ｃｉｓ）、メサコン酸（ｔｒａｎｓ）、イタコン酸、無水マレイン酸、無水シトラコン酸、無水イタコン酸、ヘキサヒドロフタル酸－２－メタクリロイルオキシエチルなどが挙げられる。単位（ａ１－１）の好ましい構造としては以下の化合物に由来する単位が例示される。

－単位（ａ１－２）－
　単位（ａ１－２）は環状エーテル構造を有する不飽和カルボン酸に由来する単位である。
　下記単位（ａ１－２）中、Ｒ¹は、水素原子、又は、メチル基を示し；Ｒ³は、環状エーテル構造を有し、且つ、酸素原子を含んでいてよい炭素数３～１５の直鎖若しくは分岐鎖脂肪族炭化水素基を示す。

　単位（ａ１－２）中、Ｒ¹は、水素原子、又は、メチル基を示し、耐水性の点からメチル基が好ましい。
　また、Ｒ³は、環状エーテル構造を有し、且つ、酸素原子を含んでいてよい炭素数３～１５の直鎖若しくは分岐鎖脂肪族炭化水素基を示す。ここで、環状エーテル構造を有する直鎖若しくは分岐鎖脂肪族炭化水素基の炭素数は、現像性の観点から、３～７が好ましい。これら脂肪族炭化水素基は、構造中に－Ｏ－構造（酸素原子を含む構造：例えば、エーテル基（－Ｏ－）、エステル基（－ＣＯ－Ｏ－）、酸無水物基（－ＣＯ－Ｏ－ＣＯ－））を有していてもよい。環状エーテル構造を有する直鎖若しくは分岐鎖脂肪族炭化水素基は、アルキレン基（例えば、メチレン基）の末端に環状エーテル構造が結合した基などが挙げられる。単位（ａ１－２）の好ましい構造としては以下の化合物に由来する単位が例示される。

－単位（ａ１－３）－
　熱硬化性アルカリ可溶性樹脂（Ａ１）としては、現像液に対する耐性の観点で、上述の単位（ａ１－１）及び（ａ１－２）に加えて、下記単位（ａ１－３）を含む樹脂を用いることができる。単位（ａ１－３）は、不飽和化合物に由来する単位である。

（式中、Ｒ¹は、水素原子、又は、メチル基を示し；Ｒ⁴は、酸素原子を含んでいてもよい直鎖、分岐鎖又は環状の炭素数１～２０の脂肪族炭化水素基、芳香族基、及び、これらの組み合わせから選ばれる少なくとも１種を示す。）

　単位（ａ１－３）中、Ｒ¹は、水素原子、又は、メチル基を示し、耐水性の点からメチル基が好ましい。
　また、Ｒ⁴は、直鎖、分岐鎖又は環状の炭素数１～２０の脂肪族炭化水素基、芳香族基、或いは前記脂肪族炭化水素と芳香族基との組み合わせである。ここで、前記脂肪族炭化水素基の炭素数は、現像液に対する耐性と、現像性の観点から、１～１０が好ましい。これら脂肪族炭化水素基は、構造中に－Ｏ－構造（酸素原子を含む構造：例えば、エーテル基（－Ｏ－）、エステル基（－ＣＯ－Ｏ－）、酸無水物基（－ＣＯ－Ｏ－ＣＯ－））を有していてもよい。前記直鎖、分岐鎖又は環状の脂肪族炭化水素基としては、炭素数１～２０の直鎖、分岐鎖又は環状のアルキル基が挙げられ、現像液に対する耐性の点からメチル基、ノルマルプロピル基、ノルマルブチル基、ノルマルヘキシル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、イソボルニル基、トリシクロデカニル基、アダマンチル基が好ましい。また、前記芳香族基としては、フェニル基、ビフェニル基、ナフチル基、アントラセニル基等が挙げられ、硬化物の透明性の点からフェニル基が好ましい。また、炭素数１～２０の脂肪族炭化水素基と芳香族基との組み合わせとしては、アルコキシフェニル基、アルキルフェニル基、アルコキシナフチル基、アルキルナフチル基、アルコキシアントラセニル基、アルキルアントラセニル基等が挙げられ、硬化物の透明性の点からアルコキシフェニル基、アルキルフェニル基が好ましい。単位（ａ１－３）の好ましい構造としては以下の化合物に由来する単位が例示される。

－構成比－
　アルカリ可溶性樹脂（Ａ）における、単位（ａ１－１）、単位（ａ１－２）及び単位（ａ１－３）の含有率（モル％）は、現像液に対する耐性と、現像性の観点から、（ａ１－１）／（ａ１－２）／（ａ１－３）＝１０～５０／１０～７０／０～７０であることが好ましく、１５～４０／１５～６０／１５～６５がさらに好ましく、１５～３０／２０～５０／３０～６０が特に好ましい。

－他の構成単位－
　アルカリ可溶性樹脂（Ａ１）は、上述の単位（ａ１－１）～（ａ１－３）のいずれにも該当しない他の構成単位を含むものであってもよい。他の構成単位としては、例えば、ベンジルメタクリレート、１，３－ビス（メタクリロイルオキシ）－２－プロパノール、２－メタクリロイルオキシエチルイソシアネート、２－ヒドロキシエチルメタクリレート、Ｎ－シクロへキシルスクシンイミド等が挙げられる。
　前記アルカリ可溶性樹脂（Ａ１）における、他の構成単位の含有率（モル％）は、現像液に対する耐性と、現像性の両立の観点から、０～３５モル％が好ましく、０～２０モル％がさらに好ましい。

（分子量）
　アルカリ可溶性樹脂（Ａ１）の重量平均分子量は、現像性の観点から３０００～３００００であることが好ましく、４０００～２５０００がさらに好ましく、５５００～１３０００が特に好ましい。アルカリ可溶性樹脂（Ａ）の分子量測定は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー（東ソー（株）製、品番：ＨＬＣ－８１２０、カラム：Ｇ－５０００ＨＸＬ及びＧ－３０００ＨＸＬの２連結、検出器：ＲＩ、移動相：テトラヒドロフラン）で行なうことができる。

（ガラス転移温度）
　アルカリ可溶性樹脂（Ａ１）のガラス転移温度は、耐熱性、現像性、及び低温硬化性の観点から、０～３００℃であることが好ましく、３０～２５０℃であることがさらに好ましく、５０～２００℃であることが特に好ましい。当該ガラス転移温度は、示差走査熱量計（ＤＳＣ）で測定することができる。

（エポキシ当量）
　アルカリ可溶性樹脂（Ａ１）のエポキシ当量は、現像液に対する耐性と、現像性の両立の観点から、２００～１，０００であることが好ましく、２５０～８００であることがさらに好ましく、３００～６００であることが特に好ましい。当該エポキシ当量は、例えば、ＪＩＳ　Ｋ７２３６（２００１）に従って求めることができる。

（二重結合当量）
　アルカリ可溶性樹脂（Ａ１）の二重結合当量は、反応性の観点から、１５０～２０００であることが好ましく、１５０～１５００であることがさらに好ましく、２００～１０００であることが特に好ましい。当該二重結合当量は、例えば、“（１ｍｏｌ当たりのポリマーの質量）／（１ｍｏｌ当たりのエチレン性不飽和基の数）”により求めることができる。

（具体例）
　アルカリ可溶性樹脂（Ａ１）の具体例としては、例えば、以下のポリマーが挙げられる。

（光硬化性アルカリ可溶性樹脂（Ａ２））
　アルカリ可溶性樹脂（Ａ２）は、光重合開始剤からのラジカルで硬化する樹脂である。アルカリ可溶性樹脂（Ａ２）は、ラジカルと反応する官能基としてエチレン性不飽和二重結合を有することが好ましい。エチレン性不飽和二重結合としては、特に限定はないが、得られる硬化物の耐薬品性の点で、例えば、（メタ）アクリル基、ビニル基、アリル基が挙げられ、（メタ）アクリル基が特に好ましい。

　光硬化性アルカリ可溶性樹脂（Ａ２）としては、少なくとも、下記単位（ａ２－１）及び（ａ２－２）を含む樹脂を用いることができる。光硬化性アルカリ可溶性樹脂（Ａ２）は、下記の同一の構成単位を２種以上（例えば、２種の単位（ａ２－２）を含むもの）であってもよい。

（単位（ａ２－１）中、Ｒ¹は、それぞれ独立して、水素原子、又は、メチル基を示し；Ｒ⁵は、ヘテロ原子を含んでいてよい、鎖状、分岐、又は環状の、炭素数２～１５の脂肪族炭化水素基を示す。単位（ａ２－２）中、Ｒ¹は、水素原子、又は、メチル基を示し；Ｘ¹は、単結合、又は、酸素原子を含んでいてもよい炭素数１～１５の直鎖若しくは環状の脂肪族炭化水素基を示す。）

－単位（ａ２－１）－
　単位（ａ２―１）は（メタ）アクリロイル基を有する不飽和化合物に由来する単位である。
　単位（ａ２－１）中、Ｒ¹は、それぞれ独立して、水素原子、又は、メチル基を示し、耐水性の点からメチル基が好ましい。
　また、Ｒ⁵は、ヘテロ原子を含んでいてよい、鎖状、分岐、又は環状の、脂肪族炭素数２～１５の炭化水素基を示す（二価の結合基）。組成物の反応性の観点から、ヘテロ原子を含んでいてよい脂肪族炭化水素基の炭素数としては３～１０が好ましい。これら脂肪族炭化水素基は、構造中に－Ｏ－構造（酸素原子を含む構造：例えば、－ＯＨ（水酸基）、エーテル基（－Ｏ－）、エステル基（－ＣＯ－Ｏ－）、酸無水物基（－ＣＯ－Ｏ－ＣＯ－））や、－Ｓ－構造等の硫黄原子を含む構造，－ＮＨ－構造などの窒素原子を含む構造を有していてもよい。直鎖又は分岐の脂肪族炭化水素基としては、炭素数２～１５のアルキレン基、複数のエステル基や酸無水物基（－ＣＯ－Ｏ－ＣＯ－）を含んでいてもよい炭素数２～１５の脂肪族炭化水素基等が挙げられる。また、環状の脂肪族炭化水素基としては、炭素数３～１５のシクロアルキレン基、複数のエステル基や酸無水物基を含んでいてもよい炭素数３～１５のシクロアルキレン基等が挙げられる。また、Ｒ⁵は、直鎖部分と環状部分との両方を含む脂肪族炭化水素基であってもよい。ヘテロ原子を有するＲ⁵の例としては、－ＣＨ₂－ＣＨ（ＯＨ）－ＣＨ₂－、－ＣＨ₂－ＣＨ₂－Ｏ－ＣＯ－ＮＨ－ＣＨ₂－ＣＨ₂－Ｏ－、－ＣＯ－Ｏ－ＣＨ₂－ＣＨ（ＯＨ）－ＣＨ₂－Ｏ－、－ＣＯ－Ｏ－ＣＨ₂－ＣＨ₂－Ｏ－ＣＯ－ＮＨ－ＣＨ₂－ＣＨ₂－Ｏ－、－ＣＯ－Ｏ－ＣＨ₂－ＣＨ₂－ＣＨ₂－ＣＨ₂－Ｏ－ＣＯ－ＮＨ－ＣＨ₂－ＣＨ₂－Ｏ－などが挙げられる。

　単位（ａ２－１）の好ましい構造としては以下の化合物に由来する単位が例示される。

－単位（ａ２－２）－
　単位（ａ２－２）は不飽和カルボン酸に由来する単位であり、上述の単位（ａ１－１）と同様の構成を示す。
　単位（ａ２－２）中、Ｒ¹、Ｘ¹は、単位（ａ１－１）中のものと同義であり、好ましい具体例も同様である。

－単位（ａ２－３）－
　光硬化性アルカリ可溶性樹脂（Ａ２）としては、現像液に対する耐性の観点で、上述の単位（ａ２－１）及び（ａ２－２）に加えて、下記単位（ａ２－３）を含む樹脂を用いることができる。

（式中、Ｒ¹は、水素原子、又は、メチル基を示し；Ｒ⁴は、酸素原子を含んでいてもよい直鎖、分岐鎖又は環状の炭素数１～２０の脂肪族炭化水素基、芳香族基、及び、これらの組み合わせから選ばれる少なくとも１種を示す。）

　単位（ａ２－３）は不飽和化合物に由来する単位であり、上述の単位（ａ１－３）と同様の構成を示す。
　単位（ａ２－３）中、Ｒ¹、Ｒ⁴は、単位（ａ１－１）中のものと同義であり、好ましい具体例も同様である。

－構成比－
　アルカリ可溶性樹脂（Ａ）における、単位（ａ２－１）、単位（ａ２－２）及び単位（ａ２－３）の含有率（モル％）は、現像液に対する耐性と、現像性の両立の観点から、（ａ２－１）／（ａ２－２）／（ａ２－３）＝１０～７０／１～５０／０～７０であることが好ましく、１５～６０／５～４０／０～６０がさらに好ましく、２０～５０／１０～３０／０～５０が特に好ましい。

－他の構成単位－
　アルカリ可溶性樹脂（Ａ２）は、上述の単位（ａ２－１）～（ａ２－３）のいずれにも該当しない他の構成単位を含むものであってもよい。他の構成単位としては、例えば、ベンジルメタクリレート、２－メタクリロイルオキシエチルイソシアネート、２－ヒドロキシエチルメタクリレート、Ｎ－シクロへキシルスクシンイミド等が挙げられる。
　前記アルカリ可溶性樹脂（Ａ２）における、他の構成単位の含有率（モル％）は、現像液に対する耐性と、現像性の両立の観点から、０～３０モル％が好ましく、０～１５モル％がさらに好ましい。

（分子量）
　アルカリ可溶性樹脂（Ａ１）及びアルカリ可溶性樹脂（Ａ２）の少なくとも一方の重量平均分子量は、現像性の観点から３００００以下であることが好ましく、５００以上３００００以下であることが好ましく、１０００以上２００００以下がさらに好ましく、２０００以上１５０００以下がより好ましく、３０００以上１００００以下が特に好ましい。アルカリ可溶性樹脂（Ａ）の分子量測定は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー（東ソー（株）製、品番：ＨＬＣ－８１２０、カラム：Ｇ－５０００ＨＸＬ及びＧ－３０００ＨＸＬの２連結、検出器：ＲＩ、移動相：テトラヒドロフラン）で行なうことができる。

（酸価）
　アルカリ可溶性樹脂（Ａ２）の酸価は、現像液に対する耐性と、現像性の両立の観点から２０～１００ｍｇＫＯＨ／ｇ以下であり、２５～９０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下がより好ましく、３０～８０ｍｇＫＯＨ／ｇがさらに好ましく、３０～７０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下が特に好ましい。アルカリ可溶性樹脂の酸価としては理論酸価値を用いることができる。

（ガラス転移温度）
　アルカリ可溶性樹脂（Ａ２）のガラス転移温度は、耐熱性と現像性の観点から、０～３００℃であることが好ましく、３０～２５０℃であることが特に好ましい。当該ガラス転移温度は、示差走査熱量計（ＤＳＣ）で測定することができる。

（二重結合当量）
　アルカリ可溶性樹脂（Ａ２）の二重結合当量は、反応性と現像性の観点から、１５０～２０００であることが好ましく、１５０～１５００あることがさらに好ましく、２００～１０００であることが特に好ましい。当該二重結合当量は、アルカリ可溶性樹脂（Ａ１）と同様にして求めることができる。

（具体例）
　アルカリ可溶性樹脂（Ａ２）の具体例としては、例えば、以下のポリマーが挙げられる。

（含有量）
　本実施形態の硬化性樹脂組成物中におけるアルカリ可溶性樹脂（Ａ）の含有量（アルカリ可溶性樹脂（Ａ１）とアルカリ可溶性樹脂（Ａ２）との総量）は特に限定はないが、例えば、現像性の観点から、組成物中の全固形分に対して、３０～８０質量％が好ましく、４０～７０質量％がさらに好ましく、４５～６５質量％が特に好ましい。本明細書を通じて「全固形分」とは、樹脂組成物における溶媒以外の全成分を意味する。

（アルカリ可溶性樹脂（Ａ１）とアルカリ可溶性樹脂（Ａ２）との組み合わせ）
　本実施形態の硬化性樹脂組成物中におけるアルカリ可溶性樹脂（Ａ１）とアルカリ可溶性樹脂（Ａ２）との質量比は、特に限定はないが、例えば、硬化性の観点から、質量比（Ａ１）：（Ａ２）が１００：５～１００が好ましく、１００：５～６０％がさらに好ましく、１００：１０～５０が特に好ましい。

＜他のポリマー＞
　本実施形態の硬化性樹脂組成物は、アルカリ可溶性樹脂（Ａ）以外の他のポリマーを含んでいてもよい。本実施形態の硬化性樹脂組成物中における他のポリマーの含有量は特に限定はないが、例えば、硬化膜の耐薬品性等を大きく阻害せず、他のポリマーを含むことによる効果を得るとの観点から、アルカリ可溶性樹脂（Ａ）１００質量部に対して、５～３０質量部が好ましく、１０～２０質量部がさらに好ましい。

＜多官能（メタ）アクリル系モノマー（Ｂ）＞
　多官能（メタ）アクリル系モノマーＢは、２以上の重合性官能基を有する化合物であり、少なくとも１つの（メタ）アクリル基を有する。本実施形態の多官能（メタ）アクリル系モノマーＢは、後述する（メタ）アクリル系モノマー（Ｂ１）と（メタ）アクリル系モノマー（Ｂ２）とを含む。また、本実施形態の硬化性樹脂組成物は（メタ）アクリル系モノマー（Ｂ１）を含み、必要に応じて（メタ）アクリル系モノマー（Ｂ２）をさらに含む。

　本実施形態の硬化性樹脂組成物中における多官能（メタ）アクリル系モノマー（Ｂ）の含有量は、パターンの形成時における現像性の観点から、熱硬化性アルカリ可溶性樹脂（Ａ１）及び光硬化性アルカリ可溶性樹脂（Ａ２）の総量〔Ａ〕と多官能（メタ）アクリル系モノマー（Ｂ）の総量〔Ｂ〕との質量比〔Ａ：Ｂ〕が１００：４０～８０となるように設定される。熱硬化性アルカリ可溶性樹脂（Ａ１）及び光硬化性アルカリ可溶性樹脂（Ａ２）の総量〔Ａ〕１００質量部に対して、多官能（メタ）アクリル系モノマー（Ｂ）の総量〔Ｂ〕が４０未満であると、パターンの形成時における現像性が低下することがある。総量〔Ａ〕１００質量部に対して、総量〔Ｂ〕が８０超であると、硬化性樹脂組成物のマイグレーション耐性が悪化することがある。パターンの加工性、及びマイグレーション耐性の観点から、質量比〔Ａ：Ｂ〕は、１００：４０～７５が好ましく、１００：４５～７０がさらに好ましく、１００：４５～６０が特に好ましい。

　また、特に限定はないが、アルカリ可溶性樹脂（Ａ１）及びアルカリ可溶性樹脂（Ａ２）と多官能（メタ）アクリル系モノマー（Ｂ）との組み合わせは特に限定はないが、現像液に対する耐性と、現像性の両立の観点から、例えば、Ａ１：Ａ２：Ｂ＝１００：５～４０：３５～１１０とすることができる。

　さらに、特に限定はないが、多官能（メタ）アクリル系モノマーＢにおけるメタ）アクリル系モノマー（Ｂ１）と（メタ）アクリル系モノマー（Ｂ２）との質量比〔Ｂ１：Ｂ２〕が１００：０～１００となるように設定される。

＜（メタ）アクリル系モノマー（Ｂ１）＞
　（メタ）アクリル系モノマー（Ｂ１）は、２つの重合性官能基、及び、前記２つの重合性官能基の間に含まれる環構造を有する化合物であり、少なくとも１つの（メタ）アクリル基を有する。本実施形態の硬化性樹脂組成物は、（メタ）アクリル系モノマー（Ｂ１）を用いることで、パターンの加工性を向上させることができる。

　ここで、“環構造”とは少なくとも一つの環状骨格を有する構造をいい、環状骨格のみで構成される構造と、環状骨格と環状骨格に結合した直鎖状の構造等とから構成される構造のいずれも含む。また、“２つの重合性官能基の間に含まれる環構造”とは、２つの重合性官能基が環構造を介して結合していることを意味し、重合性官能基は、環状骨格に直接結合してもよく、環状骨格に間接的に結合しても良い。（メタ）アクリル系モノマー（Ｂ１）の環構造は、現像液に対する耐性の観点から、酸素原子を含んでいてよい炭素数６～２６の脂肪族炭化水素基、酸素原子を含んでいてよい炭素数６～２６の芳香族炭化水素、及び、これらの組み合わせ（例えば、脂肪族炭化水素と芳香族炭化水素との組み合わせの他、異なる脂肪族炭化水素同士の組み合わせ、異なる芳香族炭化水素化合物等）、を含む群から選択されるいずれか一つとすることができる。環状骨格の具体例としては、例えば、フルオレン骨格、シクロヘキサン骨格、ビスフェノールＡ骨格、ジシクロペンタン骨格、及び、これらの組み合わせなどが挙げられる。

　“重合性官能基”は、（メタ）アクリル基自体、（メタ）アクリル基を１つ含む基、又は、（メタ）アクリル基以外の重合性基を１つ含む官能基である。（メタ）アクリル基以外の重合性官能基としては、ビニル基、アリル基、（メタ）アクリルアミド基等が挙げられる。以下、“（メタ）アクリル基を含む基”と称した場合、（メタ）アクリル基自体又は（メタ）アクリル基を１つ含む基を意味する。（メタ）アクリル系モノマー（Ｂ１）中、重合性官能基の数は２つである。重合性官能基の数が２を超えるとパターンの加工性が低下することがある。また、２つの重合性官能基は同一でもよいし互いに異なっていてもよい。

　（メタ）アクリル系モノマー（Ｂ１）としては、下記式（ｂ１）で示される化合物を用いることができる。

　　　　　　　　　　　　
（式中、Ｒ¹¹及びＲ¹²は、各々独立して、水素原子、又は、メチル基を示し；Ｙ¹及びＹ²は、各々独立して、単結合、又は、酸素原子を含んでいてもよい、直鎖若しくは分岐鎖の炭素数１～２６の脂肪族炭化水素基を示し；Ｘ¹¹は、環状骨格を有する炭素数６～２６の脂肪族炭化水素基又は芳香族基を示し；Ｗ₁及びＷ₂は、各々独立して、Ｏ，Ｎ又はＳを示す。）

　式（ｂ１）中、Ｒ¹¹及びＲ¹²は、各々独立して、水素原子又はメチル基を示し、露光の際に組成物が良好な硬化性を示す（以下、単に“硬化性”という）観点から、水素原子が好ましい。
　Ｙ¹及びＹ²は、各々独立して、単結合、又は、酸素原子を含んでいてもよい、直鎖若しくは分岐鎖の炭素数１～２６の脂肪族炭化水素基（二価の結合基）を示す。硬化性の観点から、脂肪族炭化水素基の炭素数としては１～２０が好ましく、１～１２がさらに好ましい。直鎖若しくは分岐鎖の脂肪族炭化水素基としては、炭素数１～２６のアルキレン基が挙げられ、メチレン基、エチレン基、１－メチルエチレン基、１－メチルプロレン基、２－メチルプロレン基、１，１－ジメチルエチレン基等が挙げられる。また、酸素原子を含むＹ¹及びＹ²としては、例えば、－Ｏ（Ｃ₂Ｈ₄Ｏ_)m－で示される基（ｍは１～１３）などが挙げられる。Ｙ¹及びＹ²としては、例えば、メチレン基が好ましい。

　Ｘ¹¹は、環状骨格を有する炭素数６～２６の脂肪族炭化水素基又は芳香族基（二価の結合基）を示す。現像液への耐性の観点から、Ｘ¹¹の炭素数としては、６～２６が好ましい。
　前記環状骨格を有する炭素数６～２６の脂肪族炭化水素としては、シクロヘキサン環、シクロデカン環、トリシクロデカン環、アダマンタン環、ノルボルナン環又はデカリン環からなる２価の結合基が挙げられ、前記芳香族基としては、ベンゼン環、ナフタレン環からなる２価の結合基等が挙げられる。Ｘ¹¹としては、上述のフルオレン骨格、シクロヘキサン骨格、ビスフェノールＡ骨格、ジシクロペンタン骨格、及び、これらの組み合わせ、から選ばれる少なくとも１種を含む２価の結合基が好ましい。

　（メタ）アクリル系モノマー（Ｂ１）としては、特に限定されるものではないが、以下の化合物を挙げることができる。

　本実施形態の硬化性樹脂組成物中における（メタ）アクリル系モノマー（Ｂ）の含有量は、スルーホール形成時における現像性の観点から、熱硬化性アルカリ可溶性樹脂（Ａ１）及び光硬化性アルカリ可溶性樹脂（Ａ２）の総量〔Ａ〕と（メタ）アクリル系モノマー（Ｂ）の総量〔Ｂ〕との質量比〔Ａ：Ｂ〕が１００：３５～８０となるように設定される。熱硬化性アルカリ可溶性樹脂（Ａ１）及び光硬化性アルカリ可溶性樹脂（Ａ２）の総量〔Ａ〕１００質量部に対して、（メタ）アクリル系モノマー（Ｂ）の総量〔Ｂ〕が３５未満であると、スルーホール形成時における現像性が低下することがある。スルーホール加工性の観点から、質量比〔Ａ：Ｂ〕は、１００：４０～７５が好ましく、１００：４５～７０がさらに好ましい。
　また、特に限定はないが、アルカリ可溶性樹脂（Ａ１）及びアルカリ可溶性樹脂（Ａ２）と（メタ）アクリル系モノマー（Ｂ）との組み合わせは現像液に対する耐性と現像性との両立の観点から、例えば、Ａ１：Ａ２：Ｂ＝１００：５～４０：３５～１１０とすることができ、１００：１０～３０：５０～１００とすることができる。

　また、本実施形態の硬化性樹脂組成物は、（メタ）アクリル系モノマー（Ｂ）以外の光反応性単量体を含んでいてもよい。他の光反応性単量体としては特に限定はないが、例えば、エチレン性不飽和基を分子内に３つ以上有する化合物が挙げられる。このような化合物の例としては、例えば、トリメチロールプロパントリアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート等が挙げられる。

（二重結合当量）
　（メタ）アクリル系モノマー（Ｂ１）の二重結合当量は、反応性と現像性の観点から、１２０～１０００であることが好ましく、１２０～８００であることがさらに好ましく、１２０～６００であることが特に好ましい。当該二重結合当量は、（メタ）アクリル系モノマー（Ｂ）の分子量）／（（メタ）アクリル系モノマー（Ｂ）が有するエチレン性不飽和基の数）に従って求めることができる。

（ＬｏｇＰ）
　（メタ）アクリル系モノマー（Ｂ）のＬｏｇＰは、現像液に対する耐性と、現像性の観点から、１～８であることが好ましく、１．５～７であることがより好ましく、２～６であることがさらに好ましく、２．５～６であることが特に好ましく、３～５であることが最も好ましい。
　当該ＬｏｇＰは、ＯＥＣＤ　ＧＵＩＤＥＬＩＮＥＳ　ＦＯＲ　ＴＨＥ　ＴＥＳＴＩＮＧ　ＣＨＥＭＩＣＡＬＳ　Ｐａｒｔｉｔｉｏｎ　Ｃｏｅｆｆｉｃｉｅｎｔ　（ｎ－ｏｃｔａｎｏｌ／ｗａｔｅｒ），　Ｈｉｇｈ　Ｐｅｒｆｏｍａｎｃｅ　Ｌｉｑｕｉｄ　Ｃｈｒｏｍａｔｏｇｒａｐｈｙ　（ＨＰＬＣ）　Ｍｅｔｈｏｄ　１１７（Ａｄｏｐｔｅｄ　１３　Ａｐｒｉｌ　２００４）に従い、逆相カラム（Ｃ１８）を用いてＨＰＬＣ（高性能液体クロマトグラフィー）にて測定を行い、決定することができる。ＬｏｇＰ既知の標準物質はベンジルアルコール、アニソール、トルエン、ブチルベンゼンを用いる。

　ＬｏｇＰの測定条件の例は以下のとおりである。
・装置：Ａｇｉｌｅｎｔ　Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ社製の１２００Ｓｅｒｉｅｓ　ＨＰＬＣ
・カラム：　ＤｉＫＭＡ社製　Ｉｎｓｐｉｒｅ　Ｃ１８　５μｍ　１５０×４．６ｍｍ　（粒径５μｍ、内径４．６ｍｍ、長さ１５０ｍｍ）
・移動相：アセトニトリルと０．５ｗｔ％リン酸水溶液の混合液｛混合比率５５：４５（体積比）｝
・オーブン温度：４０℃
・流速：１ｍＬ／ｍｉｎ
・ＵＶ検出波長：２１０ｎｍ

＜（メタ）アクリル系モノマー（Ｂ２）＞
　（メタ）アクリル系モノマー（Ｂ２）は、３つ以上の重合性官能基を有する化合物であり、少なくとも１つの（メタ）アクリル基を有する。本実施形態の硬化性樹脂組成物は、（メタ）アクリル系モノマー（Ｂ１）に加え、（メタ）アクリル系モノマー（Ｂ２）を含んでもよい。

　（メタ）アクリル系モノマー（Ｂ２）としては、特に限定されるものではないが、トリメチロールプロパントリアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート（ＤＰＨＡ）、ペンタエリスリトールトリアクリレート（ＰＥＴ－３Ａ）、またはトリペンタエリスリトールオクタアクリレートを用いることができる。

（（メタ）アクリル系モノマー（Ｂ１）と（メタ）アクリル系モノマー（Ｂ２）との組み合わせ）
　本実施形態の硬化性樹脂組成物中における（メタ）アクリル系モノマー（Ｂ１）と（メタ）アクリル系モノマー（Ｂ２）との質量比は、特に限定はないが、例えば、反応性の観点から、質量比（Ｂ１）：（Ｂ２）が１００：０～５０が好ましく、１００：０～４０％がさらに好ましく、１００：０～３０が特に好ましい。
　また、（メタ）アクリル系モノマー（Ｂ１）と（メタ）アクリル系モノマー（Ｂ２）との組み合わせは特に限定はないが、耐水性と反応性の観点から、例えば、ジメチロール－トリシクロデカンジアクリレートとジペンタエリスリトールヘキサアクリレート（ＤＰＨＡ）の組み合わせとすることができる。

　また、本実施形態の硬化性樹脂組成物は、多官能（メタ）アクリル系モノマー（Ｂ）以外の光反応性モノマー（特には単官能（メタ）アクリル系モノマー）を含んでいてもよい。

＜シラン化合物（Ｃ）＞
　シラン化合物（Ｃ）は、いわゆるシランカップリング剤である。シラン化合物（Ｃ）は、下記式（１）または（２）で表される。

（式中、Ｒ¹～Ｒ³は、同一または異なっていてもよく、全部または少なくとも１つは炭素数１～５のアルコキシ基であり、他は炭素数１～５のアルキル基である。Ｒ⁴～Ｒ⁶は、同一または異なっていてもよく、炭素数１～５のアルコキシ基または炭素数１～５のアルキル基である。Ａは、置換または非置換の炭素数２～１８の直鎖または分岐鎖のアルキレン基であり、２価または３価の連結基を含んでいてもよい。Ｂは、置換または非置換の炭素数２～１５の直鎖または分岐鎖のアルキレン基であり、２価の連結基を含んでいてもよい。Ｘは、Ｏ、ＮＨ、ＮＨ－ＣＯ－ＮＨまたはＳである。ｐは、０または１の整数である。ｑは、１～３の整数である。ｒは、１～３の整数である。ｓは、１～３の整数である。ｔは、１～３の整数である。）

　本実施形態の硬化性樹脂組成物中のシラン化合物（Ｃ）の量は、限定はしないが、硬化性樹脂組成物のパターニング精度及びマイグレーション耐性の両立の観点から、アルカリ可溶性樹脂（Ａ）の総量１００質量部に対し、１～４０質量部であることが好ましく、５～３０質量部であることがさらに好ましい。

　上記式（１）または（２）中、Ｒ¹～Ｒ³は、同一または異なっていてもよく、全部または少なくとも１つは炭素数１～５のアルコキシ基であり、他は炭素数１～５のアルキル基である。

　炭素数１～５のアルコキシ基としては、例えば、メトキシ基、エトキシ基、１－プロポキシ基、２－プロポキシ基、１－ブトキシ基、２－メチルプロポキシ基、２－ブトキシ基、１，１－ジメチルエトキシ基、１－ペントキシ基、３－メチルブトキシ基、２，２－ジメチルプロポキシ基、１，１－ジメチルプロポキシ基などが挙げられ、好ましくはメトキシ基、エトキシ基であってもよい。

　炭素数１～５のアルキル基としては、例えば、メチル基、エチル基、１－プロピル基、２－プロピル基、１－ブチル基、２－メチルプロピル基、２－ブチル基、１，１－ジメチルエチル基、１－ペンチル基、３－メチルブチル基、２，２－ジメチルプロピル基、１，１－ジメチルプロピル基などが挙げられ、好ましくはメチル基、エチル基であってもよい。

　Ａは、置換または非置換の炭素数２～１８の直鎖または分岐鎖のアルキレン基である。直鎖または分岐鎖のアルキレン基の炭素数は、好ましくは２～１２、さらに好ましくは２～６である。炭素数２～１８の直鎖または分岐鎖のアルキレン基の置換基としては、炭素数１～５のアルキル基が結合したエステル基などが挙げられる。Ａは、２価または３価の連結基を少なくとも１個含んでいてもよい。２価または３価の連結基としては、下記式［Ａ１］に示すものが挙げられる。置換または非置換の炭素数２～１８の直鎖または分岐鎖のアルキレン基が３価の連結基を含むことで、（１）式中で、ｑ、ｒが１より大きい整数である化合物が得られる。

［Ｒ⁷、Ｒ⁸は、同一または異なっていてもよい、水素原子、炭素数１～５のアルキル基、炭素数６～１２のアリール基、－ＣＨ＝、

（Ｒ⁹、Ｒ¹⁰は、炭素数１～５のアルキル基、ｍ３は、１～５の整数）、

（ｍ４は、１～５の整数）、

（Ｒ¹¹は、炭素数１～５のアルキル基）、または、置換基を有していてもよい炭素数３～６のシクロアルカンで表される、１価または２価の基である。Ｒ⁷またはＲ⁸のいずれか一方が２価の基である場合、他方は、水素原子または１価の基である。］、

結合手を少なくとも２ヶ所有する、置換または非置換の炭素数３～６のシクロアルカン、

　上記［Ａ１］において、炭素数１～５のアルキル基は、上記一般式（１）で例示したものと同様である。また、炭素数６～１２のアリール基としては、フェニル基、ベンジル基、トリル基などが挙げられる。炭素数３～６のシクロアルカンとしては、シクロプロパン、シクロブタン、シクロペンタン、シクロヘキサンが挙げられる。

　イソシアネート基またはケイ素原子は、Ａに結合している。Ａが、３価の連結基［Ａ１］を１以上含むことにより、分子内にイソシアネート基を複数個有する化合物や分子内にケイ素原子を複数個含む化合物とすることができる。また、３価の連結基が含まれる場合であっても、その一つの結合基の末端に、メチル基、シアノ基などの反応に関与しない基が結合することで、２価の連結基となる場合もある。

　ｑは、１～３の整数であり、好ましくは１である。ｒは、１～３の整数であり、好ましくは１である。

　Ｒ⁴～Ｒ⁶は、同一または異なっていてもよく、炭素数１～５のアルコキシ基または炭素数１～５のアルキル基である。炭素数１～５のアルコキシ基または炭素数１～５のアルキル基は、上記Ｒ¹～Ｒ³で例示したものと同様のものが例示できる。

　Ｂは、置換または非置換の炭素数２～１５の直鎖または分岐鎖のアルキレン基である。直鎖または分岐鎖のアルキレン基の炭素数は、好ましくは２～１０、さらに好ましくは２～６である。Ｂは、２価の連結基を少なくとも１個含んでいてもよい。２価の連結基としては、例えば、エーテル結合（－Ｏ－）、カルボニル基（－Ｃ（＝Ｏ）－、下記式［Ｂ１］に示すものが挙げられる。

　Ｘは、Ｏ、ＮＨ、ＮＨ－ＣＯ－ＮＨ、Ｓである。

　Ｘ基またはケイ素原子は、Ｂに結合しているか、Ｘ基とケイ素原子とが直接結合している。分子内にＸ基を複数個有するものは、２個目以上のＸ基は、上記［Ｂ１］に結合している、あるいは置換基［Ｂ１］自体がＮＨ－ＣＯ－ＮＨ基である。また、分子内にケイ素原子を複数個有するものは、２個目以上のケイ素原子は、上記［Ｂ１］に結合しているか、直鎖または分岐鎖のアルキレン基の置換基である。

　ｐは、０または１の整数である。ｓは、１～３の整数であり、好ましくは１である。ｔは、１～３の整数であり、好ましくは１である。

　本実施形態の硬化性樹脂組成物に含まれるシラン化合物（Ｃ）は、硬化膜の基板への密着性にさらに優れる観点から下記式（３）～（６）のいずれかの式で表されるシラン化合物であると好ましい。

（式中、Ｒ¹～Ｒ³は、同一または異なっていてもよく、全部または少なくとも１つは炭素数１～５のアルコキシ基であり、他は炭素数１～５のアルキル基である。Ｒ⁴～Ｒ⁶は、同一または異なっていてもよく、１～５のアルキル基である。ｍは２～１８の整数である。）

（式中、Ｒ¹～Ｒ³は、同一または異なっていてもよく、全部または少なくとも１つは炭素数１～５のアルコキシ基であり、他は炭素数１～５のアルキル基である。Ｒ⁴～Ｒ⁶は、同一または異なっていてもよく、炭素数１～５のアルコキシ基または炭素数１～５のアルキル基である。ｍは、２～１８の整数であり、ｎは、２～１５の整数である。）

（式中、Ｒ¹～Ｒ³は、同一または異なっていてもよく、全部または少なくとも１つは炭素数１～５のアルコキシ基であり、他は炭素数１～５のアルキル基である。Ｒ⁴～Ｒ⁶は、同一または異なっていてもよく、炭素数１～５のアルコキシ基または炭素数１～５のアルキル基である。ｍは、２～１８の整数であり、ｎは、２～１５の整数である。）

（式中、Ｒ¹～Ｒ³は、同一または異なっていてもよく、全部または少なくとも１つは炭素数１～５のアルコキシ基であり、他は炭素数１～５のアルキル基である。Ｒ⁴～Ｒ⁶は、同一または異なっていてもよく、炭素数１～５のアルコキシ基または炭素数１～５のアルキル基である。ｍは、２～１８の整数であり、ｎは、２～１５の整数である。）

　シラン化合物（Ｃ）としては、限定されるものではないが、以下の化合物を挙げることができる。

（光重合開始剤）
　本実施形態の硬化性樹脂組成物は光重合開始剤を含むネガ型の硬化性樹脂組成物である。光重合開始剤は、各種の活性光線、例えば紫外線等により活性化され、重合を開始する化合物である。光重合開始剤としては、例えば、ラジカル光重合開始剤、カチオン光重合開始剤、アニオン光重合開始剤が挙げられる。光重合開始剤は、特に限定されるものではないが、例えば、紫外線から可視光線によってエチレン性不飽和基を重合させるラジカルを発生させる光重合開始剤を好適に用いることができる。

　光重合開始剤としては、特に限定されるものではないが、例えば、アセトフェノン、２，２’－ジエトキシアセトフェノン、ｐ－ジメチルアセトフェノン、ｐ－ジメチルアミノプロピオフェノン、ジクロロアセトフェノン、トリクロロアセトフェノン、ｐ－ｔｅｒｔ－ブチルアセトフェノン等のアセトフェノン類、２－ベンジル－２－ジメチルアミノ－１－（４－モルホリノフェニル）－ブタン－１－オン、２－ジメチルアミノ－２－（４－メチルベンジル）－１－（４－モルフォリン－４－イル－フェニル）－ブタン－１－オン、２－メチル－１－（４－メチルチオフェニル）－２－モルフォリノプロパン－１－オン等のα－アミノケトン系光重合開始剤や、１－［４－（フェニルチオ）フェニル］オクタンー１，２－ジオン＝２－（Ｏ－ベンゾイルオキシム）、エタノン－１－〔９－エチル－６－（２－メチルベンゾイル）－９Ｈ－カルバゾール－３－イル〕－１－（Ｏ－アセチルオキシム）、１－〔９－エチル－６－ベンゾイル－９．Ｈ．－カルバゾール－３－イル〕－オクタン－１－オンオキシム－Ｏ－アセテート、１－〔９－エチル－６－（２－メチルベンゾイル）－９．Ｈ．－カルバゾール－３－イル〕－エタン－１－オンオキシム－Ｏ－ベンゾエート、１－〔９－ｎ－ブチル－６－（２－エチルベンゾイル）－９．Ｈ．－カルバゾール－３－イル〕－エタン－１－オンオキシム－Ｏ－ベンゾエート、エタノン－１－［９－エチル－６－（２－メチル－４－テトラヒドロフラニルベンゾイル）－９．Ｈ．－カルバゾール－３－イル］－１－（Ｏ－アセチルオキシム）、エタノン－１－〔９－エチル－６－（２－メチル－４－テトラヒドロピラニルベンゾイル）－９．Ｈ．－カルバゾール－３－イル〕－１－（Ｏ－アセチルオキシム）、エタノン－１－〔９－エチル－６－（２－メチル－５－テトラヒドロフラニルベンゾイル）－９．Ｈ．－カルバゾール－３－イル〕－１－（Ｏ－アセチルオキシム）、エタノン－１－〔９－エチル－６－｛２－メチル－４－（２，２－ジメチル－１，３－ジオキソラニル）メトキシベンゾイル｝－９．Ｈ．－カルバゾール－３－イル〕－１－（Ｏ－アセチルオキシム）等のオキシムエステル系光重合開始剤や、ベンゾフェノン、２－クロロベンゾフェノン、ｐ，ｐ’－ビスジメチルアミノベンゾフェノン等のベンゾフェノン類；ベンジル、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル等のベンゾインエーテル類；ベンジルジメチルケタール、チオキサンソン、２－クロロチオキサンソン、２，４－ジエチルチオキサンソン、２－メチルチオキサンソン、２－イソプロピルチオキサンソン等の硫黄化合物、２－エチルアントラキノン、オクタメチルアントラキノン、１，２－ベンズアントラキノン、２，３－ジフェニルアントラキノン等のアントラキノン類；２，４－トリクロロメチル－（４’－メトキシフェニル）－６－トリアジン、２，４－トリクロロメチル－（４’－メトキシナフチル）－６－トリアジン、２，４－トリクロロメチル－（ピペロニル）－６－トリアジン、２，４－トリクロロメチル－（４’－メトキシスチリル）－６－トリアジン等のトリアジン類；アゾビスイソブチロニトリル、ベンゾイルパーオキサイド、クメンパーオキシド等の有機過酸化物、２－メルカプトベンゾイミダゾール、２－メルカプトベンゾオキサゾール、２－メルカプトベンゾチアゾール等のチオール化合物等が挙げられる。反応性の観点から、光重合開始剤としては、オキシムエステル系光重合開始剤が好ましい。これらの光重合開始剤は、その１種を単独で用いてもよいが、２種以上を併用することもできる。

　本実施形態の硬化性樹脂組成物中における光重合開始剤の含有量は特に限定はないが、例えば、光反応性と保存安定性との観点から、多官能（メタ）アクリル系モノマー（Ｂ）と、光反応性モノマーと、光硬化性アルカリ可溶性樹脂（Ａ）の合計を１００質量部としたときに、０．１～３０質量部が好ましく、１～２０質量部がさらに好ましく、２～１５質量部が特に好ましい。

＜硬化性樹脂組成物の製法＞
　本実施形態の硬化性樹脂組成物は、アルカリ可溶性樹脂（Ａ）、（メタ）アクリル系モノマー（Ｂ）、及びシラン化合物（Ｃ）を含むネガ型の硬化性樹脂であり、その他、溶剤、重合防止剤、光重合開始剤、などを加え、攪拌・混合して調製することができる。

（溶剤）
　本実施形態において、溶剤は、所望の目的に応じて公知のものを適宜選定して用いることができる。
　前記溶剤としては、例えば、シクロヘキサノン（アノン）、シクロペンタノン、ジエチレングリコールエチルメチルエーテル、アセチルアセトン、メタノール、エタノール、エチルセロソルブ、エチルセロソルブアセテート、メチルセロソルブ、メチルセロソルブアセテート、ジグライム、シクロヘキサノン、エチルベンゼン、キシレン、酢酸イソアミル、酢酸ｎ－アミル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（ＰＧＭＡＣ）、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコール、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールエチルメチルエーテル（ＥＤＭ）、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、トリエチレングリコール、トリエチリングリコールモノメチルエーテル、トリエチリングリコールモノメチルエーテルアセテート、トリエチレングリコールモノエチルエーテル、トリエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、液体ポリエチレングリコール、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジプロピレングリコールモノエチルエーテル、ジプロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、乳酸エステル、メチルメトキシプロピオネート、エチルエトキシプロピオネートなどが挙げられる。

　前記溶剤は、１種のみを用いてもよく、２種以上を併用してもよい。
　また、本実施形態の硬化性樹脂組成物中における溶剤の含有量は特に限定はないが、例えば、保存安定性と塗工性との観点から、全固形分（組成物中、溶媒以外の成分の全質量）濃度が、好ましくは１～４０質量％、さらに好ましくは５～４０質量％、特に好ましくは１０～３０質量％となるように、溶媒を用いることが好ましい。固形分割合を上述の範囲内とすることにより、硬化性樹脂組成物の粘度を適度なものとすることができ、基材などに塗布して膜を形成する際の塗工性が特に向上する。

（重合防止剤）
　本実施形態の硬化性樹脂組成物は、光硬化性アルカリ可溶性樹脂（Ａ２）、（メタ）アクリル系モノマー（Ｂ）等が重合することを抑制する観点から、重合防止剤を含むことができる。また、重合防止剤として、公知の紫外線吸収剤を用いてもよい。

　重合防止剤としては、例えば、４－メトキシフェノール、２，２’－メチレンビス（４－エチル－６－ｔｅｒｔ－ブチルフェノール）、２，６－ジ－ｔｅｒｔ－ブチル－４－メチルフェノール、２，６－ジ－ｔｅｒｔ－ブチル－Ｎ，Ｎ－ジメチルアミノ－ｐ－クレゾール、２，４－ジメチル－６－ｔｅｒｔ－ブチルフェノール、４－ｔｅｒｔ－ブチルカテコール、４，４’－チオ－ビス（３－メチル－６－ｔｅｒｔ－ブチルフェノール）、４，４’－ブチリデン－ビス（３－メチル－６－ｔｅｒｔ－ブチルフェノール）などのフェノール系化合物；４－ヒドロキシ－２，２，６，６－テトラメチルピペリジン－Ｎ－オキシル、４－アセトアミノ－２，２，６，６－テトラメチルピペリジン－Ｎ－オキシル、４－ベンゾイルオキシ－２，２，６，６－テトラメチルピペリジン－Ｎ－オキシル、４－オキソ－２，２，６，６－テトラメチルピペリジン－Ｎ－オキシル、２，２，６，６－テトラメチルピペリジン－Ｎ－オキシルなどのＮ－オキシラジカル系化合物；メトキノン（ＭＥＨＱ）、ハイドロキノン、２，５－ジ－ｔｅｒｔ－ブチルハイドロキノン、２，６－ジ－ｔｅｒｔ－ブチルハイドロキノン、ベンゾキノンなどのキノン系化合物；塩化第一銅；ジメチルジチオカルバミン酸銅などのジアルキルジチオカルバミン酸銅；フェノチアジン、Ｎ，Ｎ’－ジフェニル－ｐ－フェニレンジアミン、フェニル－β－ナフチルアミン，Ｎ，Ｎ’－ジ－β－ナフチル－ｐ－フェニレンジアミン、Ｎ－フェニル－Ｎ’－イソプロピル－ｐ－フェニレンジアミンなどのアミノ化合物；１，４－ジヒドロキシ－２，２，６，６－テトラメチルピペリジン、１－ヒドロキシ－２，２，６，６－テトラメチルピペリジン、４－ヒドロキシ－２，２，６，６－テトラメチルピペリジンなどのヒドロキシアミン系化合物などが挙げられる。重合防止剤としては、例えば、前記メトキノンを好適に用いることができる。重合防止剤としては、これらは、単独で用いてもよく２種類以上を併用してもよい。

　本実施形態の硬化性樹脂組成物中重合防止剤の量は、特に限定はないが、スルーホールや溝などのパターンの加工性の観点から、全固形分（組成物中、溶媒以外の成分の全質量）に対し、０．１～０．６質量％が好ましく、０．１～０．４質量％がさらに好ましい。

　本実施形態の硬化性樹脂組成物は、その他必要に応じて無機微粒子、密着促進添加剤、界面活性剤、貯蔵安定剤、レベリング剤、光安定剤、酸化防止剤などの各種添加剤を使用することもできる。これら添加剤の例としては、例えば、特開２０１２－２１５８３３号に記載のものが挙げられる。

≪絶縁性硬化膜≫
　本実施形態の硬化性樹脂組成物の用途は特に限定されるものではないが、絶縁膜形成用途に用いることができ、例えば、絶縁性硬化膜、特にタッチパネル用絶縁性硬化膜として用いることができる。タッチパネル用絶縁性硬化膜は、硬化性樹脂組成物を、ガラス基材、ＩＴＯ、金属膜、有機膜等の基材上に、スピンコートなどの回転塗布、ダイコートなどの流延塗布、ロールコートによる塗布、ロール転写法による塗布など各種付与方法を用いて塗膜を形成し、当該塗膜を硬化させることで形成することができる。

　具体的には、硬化性樹脂組成物をガラス基板などの基材上に塗布し、光を照射して硬化させることで、本実施形態の硬化膜を形成することができる。また、マスクを介して光を照射し、現像した後、必要に応じて加熱処理することにより、本実施形態の硬化膜をパターン加工することも可能である。

　絶縁性硬化膜は、絶縁膜用途、保護膜用途、平坦膜用途などのいずれの用途にも使用できる。本実施形態の硬化性樹脂組成物を用いた絶縁性硬化膜は、特に、タッチパネル用保護膜や、タッチパネル用絶縁膜として好適に用いることができる。

　また、本実施形態の絶縁性硬化膜は、タッチパネルなどの装置内に維持される、所謂永久膜としての用途のみならず、ガラス基板上にＩＴＯ膜をパターニングする際に用いられるレジスト膜として用いてもよい。

（パターン）
　タッチパネルの絶縁性硬化膜等に用いられる硬化膜には電極間の通電等を目的として所望のサイズを有するスルーホールや溝などのパターンを設けることができる。上述のように本実施形態の硬化性樹脂組成物はネガ型の組成物でありながらもパターンの加工性に優れており、ホール側面や溝の底面まで十分に開口され且つホールや溝の断面形状が露光方向から逆台形状のパターンを形成することができる。そのため、スルーホール又は溝などのパターンが形成された硬化膜形成用組成物（以下、「パターン付硬化膜形成用組成物」とも称する。）として好適に用いることができる。

　本実施形態の硬化性樹脂組成物を用いたパターンが形成された硬化膜（以下、パターン付硬化膜」とも称する。）の作製方法については特に限定されず、公知のパターンの形成方法及び硬化膜の作製方法を適宜選定することができる。本実施形態の硬化性樹脂組成物を用いたパターン付硬化膜の作製方法の一例としては、基板上に本実施形態の硬化性樹脂組成物を付与して塗膜を形成する工程（塗膜形成工程）と、前記塗膜をスルーホール又は溝などのパターンの形成用マスクを介して露光する工程（露光工程）と、露光後の前記塗膜の非露光部を現像液で除去する工程（現像工程）と、非露光部が除去された前記塗膜を加熱（例えば、９０～２３０℃、１０～６０分）する工程（ポストベーク工程）と、を含む方法が挙げられる。塗膜形成工程と露光工程との間などには、塗膜を加熱（例えば、８０～１００℃、６０～１８０秒）する工程（プリベーク工程）を施してもよい。
　本実施形態の硬化性樹脂組成物は、非露光部（非硬化部）の現像性に優れるとともに、露光部（硬化部）の耐現像液性能が高い。このため、過現像を抑制しつつ所望の微細なパターンを形成することができる。また、光硬化性樹脂（アルカリ可溶性樹脂（Ａ２））に加えて、熱硬化性樹脂（アルカリ可溶性樹脂（Ａ１））を含むため、ポストベーク工程においてパターンの壁面がだれることなくホール又は溝断面形状のテーパー角を維持することができる。このように、本実施形態の硬化性樹脂組成物を用いると、小さい孔径（例えば、直径５μｍ以下の孔径）を有するパターンであっても、パターンの側面まで十分に開口され且つパターンの断面形状が露光方向から逆台形状のパターンを形成することができる。

　パターン付硬化膜の厚さは、目的に応じて適宜設定可能であるが、例えば、マイグレーション耐性と現像性の観点から、０．２μｍ～２０μｍとすることができ、さらに０．５μｍ～１０μｍとすることができる。
　また、パターン付硬化膜に形成されるスルーホールの孔径は、目的に応じて適宜設定可能であるが、例えば、反応性と現像性の観点から、３０μｍ～２００μｍとすることができ、さらに４０μｍ～１００μｍとすることができる。なお、パターン付硬化膜に形成されるスルーホールの“孔径”は、図３に示すように、スルーホール底面から１０％の高さに相当する高さの孔径（図３における１０％Ｂｏｔｔｏｍ　ＣＤ；“Ｒ₁₀”と称することもある。）と定義することができる。

　パターン付硬化膜の溝の幅は、目的に応じて適宜設定可能であるが、例えば、反応性と現像性の観点から、３０μｍ～１０００μｍとすることができ、さらに５０μｍ～５００μｍとすることができる。

≪タッチパネル≫
　上述のように、本実施形態の硬化性樹脂組成物及びこれを用いた絶縁性硬化膜は、タッチパネル用絶縁膜として好適に用いることができる。以下、本実施形態の絶縁性硬化膜及びタッチパネル用絶縁膜を総称して単に「本実施形態の硬化膜」と称することがある。

　本実施形態のタッチパネルは、抵抗膜方式、静電容量方式、超音波方式、光学方式のいずれであってもよいが、静電容量方式のタッチパネルであることが好ましい。
　静電容量式タッチパネルは、例えば、ＩＴＯ膜付きガラスを基板に用い、接触した位置の誤認識を防ぐため、積層構造中（例えば電極間）に絶縁膜や保護膜を設けている。本実施形態のタッチパネルが静電容量式タッチパネルの場合、本実施形態のタッチパネルは、本実施形態の硬化膜を、例えば、積層構造中の絶縁膜、保護膜、又はその両方に用いることができる。

　また、タッチパネルは、絶縁膜の一面にＸ電極が、他面にＹ電極が配置された２面型構造、及び、同一平面上にＸ電極とＹ電極とが形成されている１面型構造に分けることができる。本実施形態のタッチパネルは２面型又は１面型のいずれの構造であってもよいが、特に１面型構造のタッチパネルであることが好ましい。
　１面型のタッチパネル構造においては、Ｘ電極とＹ電極とが電気的に分離されている。この際、電極のパターンによって、例えば、アイランド型パターン、スルーホール型パターンなどに区別できる。例えば、アイランド型パターンの場合、また、１面のタッチパネル構造においては、分離された電極同士が、例えばジャンパ部といわれる部材にて電気的に接続されている。また、電極ジャンパ部にはＩＴＯ膜など透明電極が用いられているが、例えば、ジャンパ部が分離されたＹ電極同士を結合している場合、Ｘ電極との絶縁性を保つためにジャンパ部の下部に絶縁層が設けられる。また、通常、１面型に配置された各電極上には一様に絶縁膜（保護膜）が形成される。
　このため、本実施形態のタッチパネルが１面型のタッチパネル構造の場合、本実施形態のタッチパネルは、例えば、本実施形態の硬化膜を、電極上に形成される絶縁膜、ジャンパ部下部に形成される絶縁層、又は、その両方に用いることができる。

　さらに、タッチパネルは液晶表示装置に組み込まれる際に、その設置部位に応じて、アウトセル構造、オンセル構造、インセル構造に区別することができる。オンセル構造及びインセル構造では、タッチパネルが液晶パネル内に組み込まれており、アウトセル構造ではタッチパネルが液晶パネルの外側に組み込まれる。オンセル構造では、観察方向側の偏光板と液晶積層体（一対の基盤ガラスとこれに介在する液晶層とで構成される積層体）との間にタッチパネルが設置される。また、インセル構造では、液晶積層体の液晶層がタッチパネル機能を有する。本実施形態のタッチパネルは、いずれの構造にも適用可能だが、例えば、オンセル構造に用いられることが好ましい。

　以下、図を用いて本実施形態のタッチパネルの一態様について説明する。図１は、本実施形態のタッチパネルの一態様の構成を示す平面図である。図１に示すように本実施形態のタッチパネルが１面型タッチパネルの場合、ガラス基板１０上にＩＴＯ（酸化インジウムスズ）電極（Ｘ１～Ｘ３，Ｙ１～Ｙ３）が形成される。

　ガラス基板１０の素材としては、例えば、特に限定されるものではないが、例えば、ソーダ石灰ガラス、低アルカリ硼珪酸ガラス、無アルカリアルミノ硼珪酸ガラスなどのガラス板を用いることができる。また、ガラス基板の代わりに、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、トリアセチルセルロース（ＴＡＣ）、ポリメチルメタクリレート（ＰＭＭＡ）、ポリカーボネート（ＰＣ）などからなるプラスチック板、プラスチックフィルムを用いてもよい。

　ＩＴＯ電極（Ｘ１～Ｘ３，Ｙ１～Ｙ３）は、透明電極である。本実施形態においては透明電極の材料としてＩＴＯを用いているが、基板表面に配設することができるものであれば特に限定されるものではなく、ＩＴＯの他、例えば、ＺｎＯ（酸化亜鉛）などの無機導電材料、ＰＥＤＯＴ／ＰＳＳ（ポリエチレンジオキシチオフェン／ポリスチレンスルホン酸）、ポリアニリン、ポリピロールなどの有機導電材料も用いることができる。これら材料は１種のみで用いてもよく、２種以上を併用してもよい。
　なお、図１及び２においては記載を省略しているが、各電極及びジャンパ部Ｘ１２において、その下層に、又は透明電極に変えて、金属配線としての機能を有する金属薄膜を用いてもよい。金属薄膜には、Ｍｏ（モリブデン）、Ａｌ（アルミニウム）、Ａｇ（銀）、Ｐｄ（パラジウム）などの金属材料を用いることができ、Ｍｏ及びＡｌのいずれか一方以上を用いることが好ましい。

　図１に示すように、ＩＴＯ電極Ｘ１～Ｘ３は、図１における矢印Ｐ方向に配列された電極であり、ＩＴＯ電極Ｘ１～Ｘ３は隣接する電極と分離されているが、Ｐ方向に隣接する電極とジャンパ部Ｘ１２を介して電気的に接続されている。ジャンパ部Ｘ１２はＩＴＯ等、透明電極と同様の材料で形成することができる。また、ジャンパ部Ｘ１２の厚み方向下部には、ＩＴＯ電極Ｙの接続部との間に、図２に示される絶縁膜１４が介在している。さらに、各ジャンパ部Ｘ１２の両端には、Ｐ方向に隣接する電極電気的に接続するためにスルーホール２０が設けられている。
　また、ＩＴＯ電極Ｙ１～Ｙ３は、図１における矢印Ｑ方向に配列された電極である。ＩＴＯ電極Ｙ１～Ｙ３は、Ｑ方向に隣接する電極とＩＴＯ膜で形成された接続部を介して連続的に結合されており、Ｑ方向に電気的に接続されている。なお、通常ＩＴＯ電極Ｙ１～Ｙ３は、各接続部と、電極成形時に一体として連続的に形成される。
　以下、Ｐ方向に電気的に接続された電極群を“Ｘ電極”、Ｑ方向に電気的に接続された電極群を“Ｙ電極”と称する。図１に示すように、１面型タッチパネルでは、Ｐ方向に沿ってＸ電極が配列され、Ｑ方向に沿ってＹ電極が配列されている。

　つぎに、図２を用いて、本実施形態におけるタッチパネルの断面構造について説明する。図２は、図１におけるＡＡ断面図である。図２に示すように、ＩＴＯ電極Ｘ２及びＸ３の間には、絶縁膜１４と、ＩＴＯ電極Ｙ１及びＹ２の接続部Ｙ１２と、が介在している。ＩＴＯ電極Ｘ２及びＸ３は、上述のようにジャンパ部Ｘ１２によって電気的に接続されている。また、ジャンパ部Ｘ１２の厚み方向下部においては、接続部Ｙ１２との間に、絶縁膜１４の一部が延在しており、ジャンパ部Ｘ１２と接続部Ｙ１２との絶縁性が保たれている。また、絶縁膜１４、並びに、ジャンパ部Ｘ１２の厚み方向上側には絶縁性保護層１６が設けられている。

　本実施形態において、絶縁膜１４又は絶縁性保護層１６の少なくともいずれか一方は、本実施形態の硬化膜が用いられる。しかし、いずれか他方を、従来、絶縁膜や保護膜に用いられていた公知の材料を用いて形成してもよいが、絶縁膜１４及び絶縁性保護層１６の両方が本実施形態の硬化膜であることが好ましい。

　上述のタッチパネルにおいて、本実施形態の硬化膜を形成する方法は特に限定されるものではないが、例えば、下層（例えば、絶縁膜１４に対する、ガラス基板１０及びＩＴＯ電極であり、又は、絶縁性保護層１６に対する、ＩＴＯ電極等）上にスプレーコートやスピンコート、スリットダイコート、ロールコート、バーコート等の塗布方法によって塗膜形成することができる。この際、塗膜の乾燥膜厚は、特に限定はないが、例えば、絶縁性保護層１６の場合は、０．５～２０μｍが好ましく、１．０～１０μｍがさらに好ましい。同様に、絶縁膜１４の場合には、乾燥膜厚が０．２～１０μｍが好ましく、０．５～５μｍがさらに好ましい。また、必要によって塗膜は、塗膜と接触または非接触状態で設けられた所定のパターンを有するマスクを通して露光をおこなうことができる。露光の際の光線の種類は特に限定されるものではなく、可視光線、紫外線、遠赤外線、電子線、Ｘ線等が挙げられ、中でも紫外線が好ましい。光線の照度は特に限定されるものではないが、３６５ｎｍにおいて５～１５０ｍＷ／ｃｍ²であることが好ましく、５～３５ｍＷ／ｃｍ²であることが特に好ましい。
　その後、必要に応じて炭酸ナトリウムや水酸化ナトリウム、水酸化カリウム等の水性アルカリ現像液、或いは水酸化テトラメチルアンモニウム（ＴＭＡＨ）に浸漬するか、もしくはスプレーなどにより現像液を噴霧して非硬化部を除去し所望のパターンを形成する。さらに、感光性組成物の重合を促進して硬膜するため、それぞれ必要に応じて加熱（ポストベーキング）を施すことができる。なお、当該硬化膜の形成の際には、上述のパターンの形成方法を適用することができる。

　さらに、例えば、ジャンパ部Ｘ１２を形成する場合には、まず、ガラス基板１０上にパターニングされたＸ電極、Ｙ電極を形成し、その後、ガラス基板１０及びＸ電極表面に硬化性樹脂組成物を塗布し、絶縁膜１４、スルーホール２０を形成可能なマスクを用いて硬化性樹脂組成物を露光・現像する。ついで、絶縁膜１４及びスルーホール２０上にＰＶＤ等によってジャンパ部Ｘ１２となる材料（ＩＴＯ等）を堆積させ導電層を形成する。その後、ジャンパ部Ｘ１２を形成する箇所（例えば図２における接続部Ｙ１２上の絶縁膜１４）の導電層表面にのみ保護層を設け、エッチング処理を施すことで、接続部Ｙ１２上の絶縁膜１４上にジャンパ部Ｘ１２が形成することができる。

　以下、本発明を実施例及び比較例を用いてより具体的に説明する。本発明は、以下の実施例によって何ら限定されるものではない。

［実施例及び比較例］
　下記表に示す配合にて各成分を混合し、硬化性樹脂組成物を調製した。混合は室温でおこない、重合反応が開始しないように紫外線を遮断しておこなった。

※　表中、「ＯＸＥ０１」は、Ｉｒｇａｃｕｒｅ　ＯＸＥ０１（ＢＡＳＦジャパン（株））を示す。
　　また、表中各成分に対する数値は組成物全体（但し溶媒を除く）に対する質量％を意味する。

　前記表において各成分は下記表に示すものを用いた。

≪評価≫
　上述より得られた実施例及び比較例の硬化性組成物について、各評価をおこなった。結果を下記表に示す。

（スルーホールの形成）
　得られた硬化性樹脂組成物を、スピンコート法により、ＩＴＯ膜を有した基板上に塗布し、９０℃のホットプレート上で１２０秒間プリベークして塗膜を形成した。ついで、ネガ用の矩形のコンタクトホールパターン（ホールピッチ２００μｍ／サイズ５０μｍ×５０μｍ）を用い、超高圧水銀灯の光を１５０ｍＪ／ｃｍ²照射した（３６５ｎｍにおける照度：２０ｍＷ／ｃｍ²）。ついで、２．３８％水酸化テトラメチルアンモニウム（ＴＭＡＨ）を用いて３０秒間現像し、１２０℃で３０分間加熱することにより、膜厚２．０μｍの硬化膜付き基板を作製した。

　得られた硬化膜付き基板の断面をレーザー顕微鏡（ＬＡＳＥＲＴＥＣ社製　製品名：ＯＰＴＥＬＩＣＳＨＹＢＲＩＤ）で観察し、以下の基準に従って各評価を行った。

〔スルーホールの開口〕
Ａ：スルーホールが下地まで貫通していた。
Ｃ：ホール底部に膜が確認され、未開口であった

〔マイグレーション評価〕
　銅配線が櫛形状にパターニングされた基板を用いて、スルーホールを設けないこと以外は上記硬化膜付き基板と同様の方法で硬化膜付き基板を作製し、得られた硬化膜付き基板を絶縁劣化特性評価テスタ（楠本化成株式会社製　製品名　ＳＩＲ１３）で、８５℃、８５％ＲＨ条件下で、３００時間加熱後の抵抗値を観察し、以下の基準に従って各評価を行った。
Ａ：１．０Ｅ＋１０（１．０×１０¹⁰）Ω以上
Ｂ：５．０Ｅ＋９（５．０×１０⁹）Ω以上
Ｃ：５．０Ｅ＋９（５．０×１０⁹）Ω未満

　得られた結果から、本実施形態における熱硬化性アルカリ可溶性樹脂（Ａ１）を用いなかった比較例１と、（メタ）アクリル系モノマー（Ｂ１）を用いず、（メタ）アクリル系モノマー（Ｂ２）を用いた比較例３では、マイグレーション耐性が高い一方で、スルーホールが貫通していないことが確認された。また、シラン化合物（Ｃ）を用いなかった比較例２では、スルーホールが貫通した一方で、マイグレーション耐性が低いことが確認された。
　これに対し、本実施形態の硬化性組成物を用いた実施例は、スルーホールが貫通しており、高いマイグレーション耐性が確認された。このため、実施例の硬化性組成物は、高いパターニング精度と、高いマイグレーション耐性とが両立することが分かる。

１０：ガラス基板、Ｘ１２：ジャンパ部、Ｙ１２：接続部、１４：絶縁膜、１６：絶縁性保護層、Ｘ１～Ｘ３，Ｙ１～Ｙ４：ＩＴＯ電極、Ｘ３４：接続部、Ｋ１，Ｋ５：ＩＴＯ膜／絶縁膜界面、Ｋ２：ＩＴＯ膜／保護膜界面、Ｋ３，Ｋ４：ガラス基板／ＩＴＯ膜界面

　２０２２年７月１日に出願された日本国特許出願２０２２－１０６８８５号の開示は、その全体が参照により本明細書に取り込まれる。
　また、明細書に記載された全ての文献、特許出願、及び技術規格は、個々の文献、特許出願、及び技術規格が参照により取り込まれることが具体的かつ個々に記された場合と同程度に、本明細書中に参照により取り込まれる。

Claims (14)

1. 　酸価が５５～１００ｍｇＫＯＨ／ｇの熱硬化性アルカリ可溶性樹脂（Ａ１）と、
   　酸価が２０～１００ｍｇＫＯＨ／ｇの光硬化性アルカリ可溶性樹脂（Ａ２）と、
   　２つの重合性官能基と、前記２つの重合性官能基の間に含まれる環構造とを有する（メタ）アクリル系モノマー（Ｂ１）と、
   　下記式（１）または（２）で表されるシラン化合物（Ｃ）と、
   　を含む、硬化性樹脂組成物。
   

   

   （式中、Ｒ¹～Ｒ³は、同一または異なっていてもよく、全部または少なくとも１つは炭素数１～５のアルコキシ基であり、他は炭素数１～５のアルキル基である。Ｒ⁴～Ｒ⁶は、同一または異なっていてもよく、炭素数１～５のアルコキシ基または炭素数１～５のアルキル基である。Ａは、置換または非置換の炭素数２～１８の直鎖または分岐鎖のアルキレン基であり、２価または３価の連結基を含んでいてもよい。Ｂは、置換または非置換の炭素数２～１５の直鎖または分岐鎖のアルキレン基であり、２価の連結基を含んでいてもよい。Ｘは、Ｏ、ＮＨ、ＮＨ－ＣＯ－ＮＨまたはＳである。ｐは、０または１の整数である。ｑは、１～３の整数である。ｒは、１～３の整数である。ｓは、１～３の整数である。ｔは、１～３の整数である。）
2. 　前記熱硬化性アルカリ可溶性樹脂（Ａ１）が酸基、及び、環状エーテル基を有する、請求項１に記載の硬化性樹脂組成物。
3. 　前記熱硬化性アルカリ可溶性樹脂（Ａ１）が、少なくとも、下記単位（ａ１－１）及び（ａ１－２）を含む、請求項１に記載の硬化性樹脂組成物。
   

   

   （式（ａ１－１）中、Ｒ¹は、水素原子、又は、メチル基を示し；Ｘ¹は、単結合又は酸素原子を含んでいてもよい炭素数１～１５の直鎖又は環状の脂肪族炭化水素基を示す。式（ａ１－２）中、Ｒ¹は、水素原子、又は、メチル基を示し；Ｒ³は、環状エーテル構造を有し、且つ、酸素原子を含んでいてよい炭素数３～１５の直鎖、分岐鎖脂肪族炭化水素基を示す。）
4. 　前記熱硬化性アルカリ可溶性樹脂（Ａ１）が、さらに、下記単位（ａ１－３）を含む、請求項３に記載の硬化性樹脂組成物。
   

   

   （式中、Ｒ¹は、水素原子、又は、メチル基を示し；Ｒ⁴は、酸素原子を含んでいてもよい直鎖、分岐鎖又は環状の炭素数１～２０の脂肪族炭化水素基、芳香族基、及び、これらの組み合わせから選ばれる少なくとも１種を示す。）
5. 　前記熱硬化性アルカリ可溶性樹脂（Ａ１）及び前記光硬化性アルカリ可溶性樹脂（Ａ２）の少なくとも一方が、環状の基を有する、請求項１に記載の硬化性樹脂組成物。
6. 　前記熱硬化性アルカリ可溶性樹脂（Ａ１）及び前記光硬化性アルカリ可溶性樹脂（Ａ２）の少なくとも一方の重量平均分子量が３０，０００以下である、請求項１に記載の硬化性樹脂組成物。
7. 　前記光硬化性アルカリ可溶性樹脂（Ａ２）が、少なくとも、下記単位（ａ２－１）及び（ａ２－２）を含む、請求項１に記載の硬化性樹脂組成物。
   

   

   
   （単位（ａ２－１）中、Ｒ¹は、それぞれ独立して、水素原子、又は、メチル基を示し；Ｒ⁵は、ヘテロ原子を含んでいてよい、鎖状、分岐、又は環状の、炭素数２～１５の脂肪族炭化水素基を示す。単位（ａ２－２）中、Ｒ¹は、水素原子、又は、メチル基を示し；Ｘ¹は、単結合、又は、酸素原子を含んでいてもよい炭素数１～１５の直鎖若しくは環状の脂肪族炭化水素基を示す。）
8. 　前記光硬化性アルカリ可溶性樹脂（Ａ２）が、さらに、下記単位（ａ２－３）を含む、請求項７に記載の硬化性樹脂組成物。
   

   

   （式中、Ｒ¹は、水素原子、又は、メチル基を示し；Ｒ⁴は、酸素原子を含んでいてもよい直鎖、分岐鎖又は環状の炭素数１～２０の脂肪族炭化水素基、芳香族基、これらの組み合わせから選ばれる少なくとも１種を示す。）
9. 　前記（メタ）アクリル系モノマー（Ｂ１）における前記環構造が、酸素原子を含んでいてよい炭素数６～２６の脂肪族炭化水素基、酸素原子を含んでいてよい炭素数６～２６の芳香族炭化水素、及び、これらの組み合わせ、を含む群から選択されるいずれか一つを含む、請求項１に記載の硬化性樹脂組成物。
10. 　前記熱硬化性アルカリ可溶性樹脂（Ａ１）及び前記光硬化性アルカリ可溶性樹脂（Ａ２）の総量〔Ａ〕と、前記（メタ）アクリル系モノマー（Ｂ１）を含む多官能（メタ）アクリル系モノマー（Ｂ）の総量〔Ｂ〕との質量比〔Ａ：Ｂ〕が１００：４０～８０である、請求項１に記載の硬化性樹脂組成物。
11. 　絶縁膜形成用途に用いられる請求項１～請求項１０のいずれか一項に記載の硬化性樹脂組成物。
12. 　請求項１～請求項１０のいずれか一項に記載の硬化性樹脂組成物を硬化させた絶縁性硬化膜。
13. 　請求項１～請求項１０のいずれか一項に記載の硬化性樹脂組成物を硬化させたタッチパネル用絶縁性硬化膜。
14. 　請求項１３に記載のタッチパネル用絶縁性硬化膜を備えたタッチパネル。

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