WO2023199862A1 - 高周波モジュール、及び、通信装置 - Google Patents

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WO2023199862A1
WO2023199862A1 PCT/JP2023/014388 JP2023014388W WO2023199862A1 WO 2023199862 A1 WO2023199862 A1 WO 2023199862A1 JP 2023014388 W JP2023014388 W JP 2023014388W WO 2023199862 A1 WO2023199862 A1 WO 2023199862A1
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WO
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filter
high frequency
frequency module
wave filter
electrode
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PCT/JP2023/014388
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秀享 高橋
貴紀 伊藤
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株式会社村田製作所
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    • H04B1/00Details of transmission systems, not covered by a single one of groups H04B3/00 - H04B13/00; Details of transmission systems not characterised by the medium used for transmission
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    • H04B1/00Details of transmission systems, not covered by a single one of groups H04B3/00 - H04B13/00; Details of transmission systems not characterised by the medium used for transmission
    • H04B1/38Transceivers, i.e. devices in which transmitter and receiver form a structural unit and in which at least one part is used for functions of transmitting and receiving
    • H04B1/40Circuits
    • H04B1/54Circuits using the same frequency for two directions of communication

Definitions

  • the present invention generally relates to a high frequency module and a communication device, and more particularly relates to a high frequency module including a plurality of filters and a communication device including the high frequency module.
  • Patent Document 1 discloses a structure including two elastic wave devices. In the structure described in Patent Document 1, each IDT electrode in two acoustic wave devices faces each other.
  • the first signal passing through the first elastic wave filter Interference may occur between the signal and the second signal passing through the second elastic wave filter.
  • the first signal is a transmitted signal and the second signal is a received signal, or when the first signal is a received signal and the second signal is a transmitted signal, there is a difference in signal strength between the transmitted signal and the received signal. Because it is large, the influence of interference is large. Therefore, it may be difficult to improve the isolation between the first elastic wave filter and the second elastic wave filter.
  • An object of the present invention is to provide a high frequency module and a communication device that can improve isolation between a first elastic wave filter and a second elastic wave filter when performing asynchronous communication in TDD. .
  • a high frequency module includes a mounting board, a first acoustic wave filter, a second acoustic wave filter, and a first shield electrode.
  • the mounting board has a first main surface and a second main surface facing each other.
  • the first acoustic wave filter is arranged on the first main surface of the mounting board.
  • the second elastic wave filter is arranged on the first elastic wave filter.
  • the first elastic wave filter supports transmission or reception of a first communication band for TDD.
  • the second elastic wave filter supports transmission or reception of a second communication band for TDD.
  • the combination of the first elastic wave filter and the second elastic wave filter is a combination of a filter compatible with transmission and a filter compatible with reception. Asynchronous communication is possible between the first communication band and the second communication band.
  • the first elastic wave filter includes a first support member and a first functional electrode.
  • the first support member has a third main surface.
  • the first functional electrode is provided on the third main surface of the first support member.
  • the second elastic wave filter includes a second support member and a second functional electrode.
  • the second support member has a fourth main surface.
  • the second functional electrode is provided on the fourth main surface of the second support member.
  • the first functional electrode and the second functional electrode are located in a hollow space and face each other.
  • the hollow space is formed between the first support member and the second support member in the thickness direction of the mounting board.
  • the first shield electrode is located in the hollow space and covers at least one of the first functional electrode and the second functional electrode.
  • a communication device includes the high frequency module and a signal processing circuit.
  • the signal processing circuit is connected to the high frequency module.
  • the high frequency module and communication device when performing asynchronous communication in TDD, isolation between the first elastic wave filter and the second elastic wave filter can be improved.
  • FIG. 1 is a plan view of a high frequency module according to a first embodiment.
  • FIG. 2 is a cross-sectional view taken along the line X1-X1 in FIG. 1 regarding the same high-frequency module as above.
  • FIG. 3 is a circuit configuration diagram of a communication device including the high frequency module same as the above.
  • FIG. 4 is a sectional view of the high frequency module according to the second embodiment.
  • FIG. 5 is a cross-sectional view of the high frequency module according to the third embodiment.
  • FIG. 6 is a circuit configuration diagram of the high frequency module same as above.
  • Embodiments 1 to 3 will be described with reference to the drawings.
  • the drawings referred to in Embodiments 1 to 3 below are all schematic drawings, and the ratios of the sizes and thicknesses of each component in the drawings do not necessarily reflect the actual dimensional ratios. is not limited.
  • the high frequency module 1 is used, for example, in a communication device 10, as shown in FIG.
  • the communication device 10 is, for example, a mobile phone such as a smartphone.
  • the communication device 10 is not limited to a mobile phone, and may be, for example, a wearable terminal such as a smart watch.
  • the high frequency module 1 is a module that is compatible with, for example, the 4G (fourth generation mobile communication) standard, the 5G (fifth generation communication) standard, and the like.
  • the 4G standard is, for example, the 3GPP (registered trademark, Third Generation Partnership Project) LTE (registered trademark, Long Term Evolution) standard.
  • the 5G standard is, for example, 5G NR (New Radio).
  • the high frequency module 1 is, for example, a module that can support carrier aggregation and dual connectivity.
  • Carrier aggregation and dual connectivity refer to technologies used for communication that use radio waves in multiple frequency bands simultaneously.
  • the communication device 10 performs communication using multiple communication bands. More specifically, the communication device 10 transmits transmission signals of each of a plurality of communication bands and receives reception signals of each of a plurality of communication bands. Specifically, the high frequency module 1 receives a received signal in the first communication band and a received signal in the second communication band. Furthermore, the high frequency module 1 transmits a transmission signal in a first communication band and a transmission signal in a second communication band.
  • the transmission signal and reception signal of the first communication band are TDD (Time Division Duplex) signals.
  • the transmission signal and reception signal of the second communication band are TDD signals.
  • TDD is a wireless communication technology that allocates the same frequency band for transmission and reception in wireless communication, and switches between transmission and reception on a time-by-time basis.
  • the communication in the first communication band and the communication in the second band are asynchronous communication. More specifically, the transmittable period of the first communication band and the transmittable period of the second communication band do not necessarily match. Further, the receivable period of the first communication band and the receivable period of the second communication band do not necessarily match. That is, the transmission signal of the second communication band may be transmitted simultaneously with the transmission of the transmission signal of the first communication band, and the reception signal of the second communication band may be received simultaneously with the transmission of the transmission signal of the first communication band. may be done. Similarly, the reception signal of the second communication band may be received simultaneously with the reception of the reception signal of the first communication band, and the transmission signal of the second communication band may be received simultaneously with the reception of the reception signal of the first communication band. may be sent.
  • the first communication band is, for example, Band 39 of the 3GPP LTE standard.
  • the second communication band is, for example, Band 41 of the 3GPP LTE standard.
  • the transmission signal of Band 39 is a power class 3 signal
  • the transmission signal of Band 41 is a power class 2 signal.
  • a power class 2 signal has a higher signal strength than a power class 3 signal. That is, the signal strength of the transmission signal in the second communication band is greater than the communication strength of the transmission signal in the first communication band.
  • the high frequency module 1 according to the first embodiment includes a first filter 11 and a second filter 12, as shown in FIG. Furthermore, the high frequency module 1 according to the first embodiment further includes a first switch 13 and a second switch 14. Further, the high frequency module according to the first embodiment further includes a power amplifier 151, a power amplifier 152, a low noise amplifier 161, and a low noise amplifier 162. Moreover, the high frequency module 1 according to the first embodiment further includes a plurality of (five in the illustrated example) external connection terminals 17. The plurality of external connection terminals 17 include an antenna terminal 171, a first input terminal 172, a second input terminal 173, a first output terminal 174, and a second output terminal 175.
  • the first filter 11 and the second filter 12 are filters that pass signals in different frequency bands. More specifically, the first filter 11 is a filter that passes the transmitted signal and received signal of the first communication band. The second filter 12 is a filter that passes the transmitted signal and received signal of the second communication band.
  • Each of the first filter 11 and the second filter 12 is an elastic wave filter having one or more elastic wave resonators, as described later. That is, in this embodiment, the first filter 11 is a first elastic wave filter. Furthermore, in this embodiment, the second filter 12 is a second elastic wave filter. The first filter 11 and the second filter 12 are included in a single electronic component, as described later.
  • the first switch 13 is a switch for switching the path connected to the first filter 11 from among the power amplifier 151 and the low noise amplifier 161, as shown in FIG. That is, the first switch 13 is a switch for switching the path connected to the first filter 11.
  • the first switch 13 has a common terminal 130 and a plurality of (two in the illustrated example) selection terminals 131 and 132.
  • the common terminal 130 is connected to the first filter 11.
  • Selection terminal 131 is connected to power amplifier 151. Further, the selection terminal 132 is connected to a low noise amplifier 161.
  • the first switch 13 switches the connection between the common terminal 130 and the plurality of selection terminals 131 and 132.
  • the first switch 13 is controlled by the signal processing circuit 2, for example.
  • the first switch 13 electrically connects the common terminal 130 and one of the plurality of selection terminals 131 and 132 according to a control signal from the RF signal processing circuit 21 of the signal processing circuit 2 .
  • the second switch 14 is a switch for switching the path connected to the second filter 12 from among the power amplifier 152 and the low noise amplifier 162, as shown in FIG. That is, the second switch 14 is a switch for switching the path connected to the second filter 12.
  • the second switch 14 has a common terminal 140 and a plurality of (two in the illustrated example) selection terminals 141 and 142.
  • the common terminal 140 is connected to the second filter 12.
  • the selection terminal 141 is connected to a power amplifier 152. Further, the selection terminal 142 is connected to a low noise amplifier 162.
  • the second switch 14 switches the connection between the common terminal 140 and the plurality of selection terminals 141 and 142.
  • the second switch 14 is controlled by the signal processing circuit 2, for example.
  • the second switch 14 electrically connects the common terminal 140 and one of the plurality of selection terminals 141 and 142 according to a control signal from the RF signal processing circuit 21 of the signal processing circuit 2 .
  • the power amplifier 151 is an amplifier that amplifies a transmission signal. More specifically, power amplifier 151 amplifies the transmission signal of the first communication band.
  • the power amplifier 151 is provided between the selection terminal 131 of the first switch 13 and the first input terminal 172.
  • Power amplifier 151 has an input terminal (not shown) and an output terminal (not shown).
  • An input terminal of the power amplifier 151 is connected to an external circuit (for example, the signal processing circuit 2) via a first input terminal 172.
  • the output terminal of the power amplifier 151 is connected to the selection terminal 131 of the first switch 13.
  • Power amplifier 151 is controlled by, for example, a controller (not shown).
  • the power amplifier 152 is an amplifier that amplifies the transmission signal. More specifically, power amplifier 152 amplifies the transmission signal of the second communication band.
  • the power amplifier 152 is provided between the selection terminal 142 of the second switch 14 and the second input terminal 173.
  • Power amplifier 152 has an input terminal (not shown) and an output terminal (not shown).
  • An input terminal of the power amplifier 152 is connected to an external circuit (for example, the signal processing circuit 2) via a second input terminal 173.
  • the output terminal of the power amplifier 152 is connected to the selection terminal 142 of the second switch 14.
  • Power amplifier 152 is controlled by, for example, a controller (not shown).
  • the low noise amplifier 161 is an amplifier that amplifies the received signal with low noise. More specifically, low noise amplifier 161 amplifies the received signal of the first communication band.
  • the low noise amplifier 161 is provided between the selection terminal 132 of the first switch 13 and the first output terminal 174.
  • Low noise amplifier 161 has an input terminal (not shown) and an output terminal (not shown).
  • the input terminal of the low noise amplifier 161 is connected to the selection terminal 132 of the first switch 13.
  • the output terminal of the low noise amplifier 161 is connected to an external circuit (for example, the signal processing circuit 2) via a first output terminal 174.
  • the low noise amplifier 162 is an amplifier that amplifies the received signal with low noise. More specifically, low noise amplifier 162 amplifies the received signal of the second communication band.
  • the low noise amplifier 162 is provided between the selection terminal 142 of the second switch 14 and the second output terminal 175.
  • Low noise amplifier 162 has an input terminal (not shown) and an output terminal (not shown).
  • the input terminal of the low noise amplifier 162 is connected to the selection terminal 142 of the second switch 14.
  • the output terminal of the low noise amplifier 162 is connected to an external circuit (for example, the signal processing circuit 2) via a second output terminal 175.
  • the plurality of external connection terminals 17 are terminals for electrically connecting to an external circuit (for example, the signal processing circuit 2).
  • the plurality of external connection terminals 17 include an antenna terminal 171, a first input terminal 172, a second input terminal 173, a first output terminal 174, a second output terminal 175, and a plurality of control terminals (not shown). and a plurality of ground terminals (not shown).
  • the antenna 3 is connected to the antenna terminal 171. Inside the high frequency module 1, the antenna terminal 171 is connected to the first filter 11 and the second filter 12.
  • the first input terminal 172 is a terminal for inputting a transmission signal from an external circuit (for example, the signal processing circuit 2) to the high frequency module 1. More specifically, the first input terminal 172 inputs the transmission signal of the first communication band. Inside the high frequency module 1, the first input terminal 172 is connected to the input terminal of the power amplifier 151.
  • the second input terminal 173 is a terminal for inputting a transmission signal from an external circuit (for example, the signal processing circuit 2) to the high frequency module 1. More specifically, the second input terminal 173 inputs the transmission signal of the second communication band. Inside the high frequency module 1, the second input terminal 173 is connected to the input terminal of the power amplifier 152.
  • the first output terminal 174 is a terminal for outputting the received signal from the high frequency module 1 to an external circuit (for example, the signal processing circuit 2). More specifically, the first output terminal 174 outputs the received signal of the first communication band. Inside the high frequency module 1, the first output terminal 174 is connected to the output terminal of the low noise amplifier 161.
  • the second output terminal 175 is a terminal for outputting the received signal from the high frequency module 1 to an external circuit (for example, the signal processing circuit 2). More specifically, the second output terminal 175 outputs the received signal of the second communication band. Inside the high frequency module 1, the second output terminal 175 is connected to the output terminal of the low noise amplifier 162.
  • the plurality of ground terminals are terminals that are electrically connected to a ground electrode of an external board (not shown) included in the communication device 10 and are supplied with a ground potential.
  • a plurality of ground terminals are connected to a ground layer (not shown) of a mounting board 4 (see FIG. 1).
  • the ground layer is the circuit ground of the high frequency module 1.
  • the high-frequency module 1 includes a mounting board 4, a first electronic component 51, a plurality (two in the illustrated example) of second electronic components 52, and a plurality (two in the illustrated example) of second electronic components 52. ), a third electronic component 53, a fourth electronic component 54, a fifth electronic component 55, and a sixth electronic component 56.
  • the high frequency module 1 further includes a resin layer 68 and a second shield electrode 69, as shown in FIG.
  • the high frequency module 1 is electrically connected to an external board (not shown).
  • the external board is, for example, a mother board of the communication device 10 (see FIG. 3), which is a mobile phone, communication equipment, or the like.
  • the mounting board 4 has a first main surface 41 and a second main surface 42, as shown in FIGS. 1 and 2.
  • the first main surface 41 and the second main surface 42 face each other in the thickness direction D1 (see FIG. 2) of the mounting board 4 (hereinafter also referred to as "first direction D1").
  • the second main surface 42 faces the main surface of the external board on the mounting board 4 side when the high frequency module 1 is provided on the external board.
  • the mounting board 4 has a first electronic component 51, a second electronic component 52, a third electronic component 53, and a fourth electronic component 54 mounted on the first main surface 41, and a fifth electronic component 55 on the second main surface 42. and a double-sided mounting board on which the sixth electronic component 56 is mounted.
  • the mounting board 4 is a multilayer board in which a plurality of dielectric layers are stacked.
  • the mounting board 4 includes a plurality of conductive layers and a plurality of via conductors (including through electrodes).
  • the plurality of conductive layers include a ground layer at ground potential.
  • the plurality of via conductors are connected to the elements (the above-mentioned first electronic component 51, second electronic component 52, third electronic component 53, and fourth electronic component) mounted on each of the first main surface 41 and the second main surface 42. 54, the fifth electronic component 55, and the sixth electronic component 56) and the conductive layer of the mounting board 4.
  • the first electronic component 51 is arranged on the first main surface 41 of the mounting board 4, as shown in FIGS. 1 and 2.
  • the first electronic component 51 includes a first filter 11 and a second filter 12.
  • Each of the first filter 11 and the second filter 12 is, for example, an elastic wave filter including a plurality of series arm resonators and a plurality of parallel arm resonators.
  • the elastic wave filter is, for example, a SAW (Surface Acoustic Wave) filter that uses surface acoustic waves.
  • each of the first filter 11 and the second filter 12 may include at least one of an inductor and a capacitor connected in series with any one of the plurality of series arm resonators.
  • each of the first filter 11 and the second filter 12 may include an inductor or a capacitor connected in series with any one of the plurality of parallel arm resonators.
  • each of the plurality of second electronic components 52 is arranged on the first main surface 41 of the mounting board 4, as shown in FIG. In the example of FIG. 1, each of the plurality of second electronic components 52 is mounted on the first main surface 41 of the mounting board 4. Note that some or all of the plurality of second electronic components 52 may be mounted on the second main surface 42 of the mounting board 4.
  • the plurality of second electronic components 52 include, for example, a power amplifier 151 and a power amplifier 152.
  • the third electronic components 53 is arranged on the first main surface 41 of the mounting board 4, as shown in FIG.
  • the third electronic component 53 is mounted on the first main surface 41 of the mounting board 4.
  • the third electronic component 53 is, for example, an inductor that constitutes a matching circuit (not shown) provided in a path between the selection terminal 131 of the first switch 13 and the power amplifier 151.
  • the matching circuit is a circuit for impedance matching between the first filter 11 and the power amplifier 151.
  • the third electronic component 53 is, for example, an inductor that constitutes a matching circuit (not shown) provided in a path between the selection terminal 141 of the second switch 14 and the power amplifier 152.
  • the matching circuit is a circuit for impedance matching between the second filter 12 and the power amplifier 152.
  • the inductor is, for example, a chip inductor.
  • the fourth electronic component 54 is arranged on the first main surface 41 of the mounting board 4, as shown in FIG.
  • the fourth electronic component 54 is mounted on the first main surface 41 of the mounting board 4.
  • the fourth electronic component 54 is, for example, a capacitor that constitutes a matching circuit (not shown) provided in a path between the first filter 11 and the second filter 12 and the antenna terminal 171.
  • the matching circuit is a circuit for impedance matching between the first filter 11 and the second filter 12 and the antenna 3.
  • the fifth electronic component 55 is arranged on the second main surface 42 of the mounting board 4, as shown in FIG.
  • the fifth electronic component 55 is mounted on the second main surface 42 of the mounting board 4.
  • the fifth electronic component 55 includes a low noise amplifier 161 and a low noise amplifier 162.
  • the sixth electronic component 56 is arranged on the second main surface 42 of the mounting board 4, as shown in FIG. More specifically, the sixth electronic component 56 is mounted on the second main surface 42 of the mounting board 4.
  • the sixth electronic component 56 is an IC including the first switch 13 and the second switch 14. That is, in the present embodiment, the sixth electronic component 56 corresponds to an electronic component that is an IC including at least one of the first switch 13 and the second switch 14.
  • the sixth electronic component 56 overlaps with the first electronic component 51 in a plan view from the first direction D1, which is the thickness direction of the mounting board 4.
  • the resin layer 68 covers the side surfaces of the first electronic component 51 and the like. More specifically, the resin layer 68 covers at least a portion of the first filter 11 and the second filter 12 in the first electronic component 51 .
  • the second shield electrode 69 covers a part of the resin layer 68. More specifically, the second shield electrode 69 is in contact with the main surface 121 (see FIG. 2) of the second filter 12 on the opposite side to the first filter 11 side in the first electronic component 51.
  • the mounting board 4 shown in FIGS. 1 and 2 is, for example, a multilayer board including a plurality of dielectric layers and a plurality of conductive layers.
  • the plurality of dielectric layers and the plurality of conductive layers are laminated in the thickness direction D1 of the mounting board 4.
  • the plurality of conductive layers are formed in a predetermined pattern for each layer.
  • Each of the plurality of conductive layers includes one or more conductor portions within one plane perpendicular to the thickness direction D1 of the mounting board 4.
  • the material of each conductive layer is, for example, copper.
  • the plurality of conductive layers include a ground layer.
  • the mounting board 4 is, for example, an LTCC (Low Temperature Co-fired Ceramics) board.
  • the mounting board 4 is not limited to an LTCC board, and may be, for example, a printed wiring board, an HTCC (High Temperature Co-fired Ceramics) board, or a resin multilayer board.
  • the mounting board 4 is not limited to an LTCC board, and may be, for example, a wiring structure.
  • the wiring structure is, for example, a multilayer structure.
  • the multilayer structure includes at least one insulating layer and at least one conductive layer.
  • the insulating layer is formed in a predetermined pattern. When there are a plurality of insulating layers, the plurality of insulating layers are formed in a predetermined pattern determined for each layer.
  • the conductive layer is formed in a predetermined pattern different from the predetermined pattern of the insulating layer. When there are a plurality of conductive layers, the plurality of conductive layers are formed in a predetermined pattern determined for each layer.
  • the conductive layer may include one or more redistributions.
  • the first surface of two surfaces facing each other in the thickness direction of the multilayer structure is the first main surface 41 of the mounting board 4, and the second surface is the second main surface 42 of the mounting board 4. It is.
  • the wiring structure may be, for example, an interposer.
  • the interposer may be an interposer using a silicon substrate, or may be a multilayer substrate.
  • the first main surface 41 and the second main surface 42 of the mounting board 4 are separated in the thickness direction D1 of the mounting board 4, and intersect with the thickness direction D1 of the mounting board 4.
  • the first main surface 41 of the mounting board 4 is, for example, orthogonal to the thickness direction D1 of the mounting board 4, but includes, for example, the side surface of the conductor part, etc. It's okay to stay.
  • the second main surface 42 of the mounting board 4 is, for example, orthogonal to the thickness direction D1 of the mounting board 4, but for example, as a surface not orthogonal to the thickness direction D1 of the mounting board 4, etc. may be included.
  • the first main surface 41 and the second main surface 42 of the mounting board 4 may have minute irregularities, recesses, or projections formed therein.
  • the first electronic component 51 includes a first filter 11 that is an elastic wave filter, and a second filter 12 that is an elastic wave filter. As shown in FIG. 2, the first electronic component 51 includes a first substrate 61A, a first low sound velocity film 62A, a first piezoelectric layer 63A, and a first circuit section 642A.
  • the first substrate 61A has a main surface 611A and a main surface 612A that face each other in the thickness direction of the first substrate 61A.
  • the first circuit section 642A includes a plurality of first IDT (Interdigital Transducer) electrodes 641A. In this embodiment, the plurality of first IDT electrodes 641A are the first functional electrodes.
  • the first low sound velocity film 62A is provided on the main surface 611A of the first substrate 61A. That is, in this embodiment, the first substrate 61A is the first support member. Further, in this embodiment, the main surface 611A of the first substrate 61A is the third main surface.
  • the plurality of first IDT electrodes 641A are provided on the first piezoelectric layer 63A.
  • the first filter 11 includes a first substrate 61A, a first low sound velocity film 62A, a first piezoelectric layer 63A, a plurality of first IDT electrodes 641A, and a first circuit section 642A.
  • the first electronic component 51 further includes a second substrate 61B, a second low sound velocity film 62B, a second piezoelectric layer 63B, and a second circuit section 642B.
  • the second substrate 61B has a main surface 611B and a main surface 612B that face each other in the thickness direction of the second substrate 61B.
  • the second circuit section 642B includes a plurality of second IDT electrodes 641B. In this embodiment, the plurality of second IDT electrodes 641B are second functional electrodes.
  • the second low sound velocity film 62B is provided on the main surface 611B of the second substrate 61B. That is, in this embodiment, the second substrate 61B is the second support member.
  • the main surface 611B of the second substrate 61B is the fourth main surface.
  • the plurality of second IDT electrodes 641B are provided on the second piezoelectric layer 63B.
  • the second filter 12 includes a second substrate 61B, a second low sound velocity film 62B, a second piezoelectric layer 63B, a plurality of second IDT electrodes 641B, and a second circuit section 642B.
  • the main surface 121 on the opposite side to the first filter 11 side is the main surface 612B of the second substrate 61B.
  • the main surface 121 is the fifth main surface.
  • the material of the first piezoelectric layer 63A and the second piezoelectric layer 63B is, for example, lithium niobate or lithium tantalate.
  • the material of the first low sonic velocity film 62A and the second low sonic velocity film 62B is, for example, silicon oxide.
  • the sound speed of the bulk wave propagating through the first low sound speed film 62A is lower than the sound speed of the bulk wave propagating through the first piezoelectric layer 63A.
  • the sound velocity of the bulk wave propagating through the second low sound velocity film 62B is lower than the sound velocity of the bulk wave propagating through the second piezoelectric layer 63B.
  • the material of the first low sonic velocity film 62A and the second low sonic velocity film 62B is not limited to silicon oxide, but includes, for example, silicon oxide, glass, silicon oxynitride, tantalum oxide, and silicon oxide to which fluorine, carbon, or boron is added. It may be a compound or a material whose main component is each of the above materials.
  • the material of the first substrate 61A and the second substrate 61B is, for example, silicon.
  • the sound speed of the bulk wave propagating through the first substrate 61A is faster than the sound speed of the bulk wave propagating through the first piezoelectric layer 63A.
  • the bulk wave propagating through the first substrate 61A is the bulk wave having the lowest sonic speed among the plurality of bulk waves propagating through the first substrate 61A.
  • a high sonic velocity member is comprised of the first substrate 61A and the first low sonic velocity film 62A provided on the first substrate 61A.
  • the first substrate 61A is a first support substrate made of a silicon substrate.
  • the sound speed of the bulk wave propagating through the second substrate 61B is faster than the sound speed of the bulk wave propagating through the second piezoelectric layer 63B.
  • the bulk wave propagating through the second substrate 61B is the bulk wave having the lowest sonic speed among the plurality of bulk waves propagating through the second substrate 61B.
  • a high sonic velocity member is composed of the second substrate 61B and the second low sonic velocity film 62B provided on the second substrate 61B.
  • the second substrate 61B is a second support substrate made of a silicon substrate.
  • the material of the first substrate 61A and the second substrate 61B is not limited to silicon, but includes, for example, aluminum nitride, aluminum oxide, silicon carbide, silicon nitride, sapphire, lithium tantalate, lithium niobate, crystal, alumina, zirconia, It may be a material containing any one of cordierite, mullite, steatite, forsterite, magnesia, and diamond as a main component.
  • the first electronic component 51 further includes a plurality of conductors 661 extending in a direction intersecting the first direction D1 and a frame 662.
  • the plurality of conductors 661 and the frame body 662 are electrodes for electrically connecting the second filter 12 and the mounting board 4.
  • the plurality of conductors 661 include, for example, columnar (eg, prismatic) electrodes.
  • the frame body 662 is a frame-shaped electrode.
  • the material of the plurality of conductors 661 and the frame body 662 is, for example, metal (for example, copper, copper alloy, etc.).
  • the plurality of conductors 661 and frame body 662 are located between the first substrate 61A and the second substrate 61B.
  • a hollow space SP0 is formed inside the frame 662 between the first substrate 61A and the second substrate 61B.
  • the plurality of first IDT electrodes 641A and the plurality of second IDT electrodes 641B are arranged in the hollow space SP0.
  • at least a portion of the plurality of conductors 661 or the frame 662 is connected to the ground electrode of the mounting board 4 via a via conductor 671 and a bump 672 that penetrate the first board 61A.
  • the frame body 662 does not need to be an electrode.
  • the material of the frame 662 may be an insulator such as resin.
  • the first electronic component 51 further includes a first shield electrode 65, as shown in FIG.
  • the first shield electrode 65 is, for example, a shield electrode provided for the purpose of electromagnetic shielding between the first IDT electrode 641A and the second IDT electrode 641B.
  • the first shield electrode 65 is one metal layer, it is not limited to one metal layer, and may have a multilayer structure in which a plurality of metal layers are laminated.
  • the first shield electrode 65 is located in the hollow space SP0, and covers at least one of the first IDT electrode 641A and the second IDT electrode 641B.
  • the first shield electrode 65 in the first embodiment covers the second IDT electrode 641B.
  • the first shield electrode 65 overlaps with the first IDT electrode 641A and also overlaps with the second IDT electrode 641B.
  • the fact that the first shield electrode 65 overlaps the first IDT electrode 641A in a plan view from the first direction D1 means that at least a portion of the first IDT electrode 641A overlaps with the first IDT electrode 641A in a plan view from the first direction D1.
  • 1 shield electrode 65 exists.
  • the fact that the first shield electrode 65 overlaps the second IDT electrode 641B in a plan view from the first direction D1 means that at least a portion of the second IDT electrode 641B overlaps with the second IDT electrode 641B in a plan view from the first direction D1.
  • the first shield electrode 65 divides the hollow space SP0 into a first space SP1 and a second space SP2.
  • the first IDT electrode 641A is located in the first space SP1
  • the second IDT electrode 641B is located in the second space SP2. Note that the first space SP1 and the second space SP2 do not need to be completely separated by the first shield electrode 65.
  • the first space SP1 and the second space SP2 are separated from each other on the surface of the second piezoelectric layer 63B. may be in communication.
  • the resin layer 68 covers at least a portion of the first filter 11 and the second filter 12 in the first electronic component 51.
  • the resin layer 68 includes the first substrate 61A, the first low sonic film 62A, the first piezoelectric layer 63A, the conductor 661, the frame 662, the second piezoelectric layer 63B, the second low sonic film 62B, and the first piezoelectric layer 63A. It covers the outer peripheral surface of each of the two substrates 61B.
  • the resin layer 68 may cover at least a portion of the main surface 612B of the second substrate 61B.
  • the resin layer 68 includes resin (eg, epoxy resin).
  • the resin layer may contain filler in addition to resin.
  • the second shield electrode 69 covers at least a portion of the resin layer 68.
  • the second shield electrode 69 covers at least a portion of the resin layer 68.
  • the second shield electrode 69 directly or indirectly covers the main surface 121 of the second filter 12 in the first electronic component 51 .
  • the second shield electrode 69 indirectly covering the main surface 612B of the second substrate 61B means that at least a part of the resin layer 68 covers the main surface 121 of the second filter 12. This means that the second shield electrode 69 covers the portion that covers the main surface 121 of the second filter 12 .
  • the second shield electrode 69 is in contact with the main surface 121 of the second filter 12.
  • the second shield electrode 69 may be connected to the ground electrode of the communication device 10.
  • the second shield electrode 69 has a multilayer structure in which a plurality of metal layers are laminated, the second shield electrode 69 is not limited to the multilayer structure and may be a single metal layer. One metal layer includes one or more metals.
  • the communication device 10 includes a high frequency module 1, an antenna 3, and a signal processing circuit 2.
  • the antenna 3 is connected to the antenna terminal 171 of the high frequency module 1.
  • the antenna 3 has a transmitting function of radiating the transmission signal output from the high frequency module 1 as a radio wave, and a receiving function of receiving a received signal as a radio wave from the outside and outputting it to the high frequency module 1.
  • the signal processing circuit 2 includes an RF signal processing circuit 21 and a baseband signal processing circuit 22.
  • the signal processing circuit 2 processes the signal passing through the high frequency module 1. More specifically, the signal processing circuit 2 processes transmitted signals and received signals.
  • the RF signal processing circuit 21 is, for example, an RFIC (Radio Frequency Integrated Circuit).
  • the RF signal processing circuit 21 performs signal processing on high frequency signals.
  • the RF signal processing circuit 21 performs signal processing such as up-conversion on the high frequency signal output from the baseband signal processing circuit 22 and outputs the high frequency signal subjected to signal processing to the high frequency module 1. Specifically, the RF signal processing circuit 21 performs signal processing such as up-conversion on the transmission signal output from the baseband signal processing circuit 22 and transmits the signal-processed transmission signal to the high-frequency module 1. It is output to the first input terminal 172 or the second input terminal 173.
  • the RF signal processing circuit 21 performs signal processing such as down-conversion on the high frequency signal output from the high frequency module 1, and outputs the high frequency signal subjected to signal processing to the baseband signal processing circuit 22. Specifically, the RF signal processing circuit 21 performs signal processing on the received signal output from the first output terminal 174 or the second output terminal 175 of the high frequency module 1, and processes the received signal after the signal processing. It is output to the baseband signal processing circuit 22.
  • the baseband signal processing circuit 22 is, for example, a BBIC (Baseband Integrated Circuit).
  • the baseband signal processing circuit 22 performs predetermined signal processing on a transmission signal from outside the signal processing circuit 2 .
  • the received signal processed by the baseband signal processing circuit 22 is used, for example, as an image signal for displaying an image, or as an audio signal for a phone call.
  • the RF signal processing circuit 21 also has a function as a control unit that controls each of the first switch 13 and the second switch 14 included in the high frequency module 1 based on the transmission and reception of high frequency signals (transmission signals, reception signals). . Specifically, the RF signal processing circuit 21 switches the connection of each of the first switch 13 and the second switch 14 of the high frequency module 1 using a control signal (not shown). Note that the control section may be provided outside the RF signal processing circuit 21, and may be provided in the high frequency module 1 or the baseband signal processing circuit 22, for example.
  • the first shield electrode 65 covers the second IDT electrode 641B.
  • the first shield electrode 65 functions as an electromagnetic shield between the first space SP1 where the first IDT electrode 641A is located and the second space SP2 where the second IDT electrode 641B is located. Therefore, it is possible to improve the isolation between the first filter 11 and the second filter 12.
  • the high frequency module 1 may simultaneously transmit a transmission signal in the first communication band and receive a reception signal in the second communication band. Furthermore, the high frequency module 1 may simultaneously receive a reception signal in the first communication band and transmit a transmission signal in the second communication band.
  • the signal strength of the transmitted signal passing through the high frequency module 1 is greater than the signal strength of the received signal passing through the high frequency module 1.
  • the first shield electrode 65 is an electromagnetic shield between the first IDT electrode 641A and the second IDT electrode 641B. It becomes possible to improve the isolation between the two.
  • the conductor 661 or the frame 662 located between the second substrate 61B and the first substrate 61A penetrates the first substrate 61A in the first direction D1.
  • a via conductor 671 is connected to the ground electrode of the mounting board 4. Therefore, the conductor 661 or the frame 662 and the via conductor 671 function as an electromagnetic shield between the first IDT electrode 641A and the outside of the first filter 11. Therefore, the signal quality of the signal passing through the first filter 11 is improved. That is, in the high frequency module 1, the noise resistance of the first filter 11 is improved.
  • the second IDT electrode 641B is surrounded by the first shield electrode 65 and the second shield electrode 69. Therefore, the first shield electrode 65 and the second shield electrode 69 function as an electromagnetic shield between the second IDT electrode 641B and the outside of the second filter 12. Therefore, the signal quality of the signal passing through the second filter 12 is improved. That is, in the high frequency module 1, the noise resistance of the second filter 12 is improved.
  • the first shield electrode 65 is located in the hollow space SP0, and the first IDT electrode 641A is the first functional electrode, and the second IDT electrode is the second functional electrode. It covers at least one of the electrodes 641B. Therefore, even when a transmitted signal passes through the first filter 11 and a received signal passes through the second filter 12, the isolation between the first filter 11 and the second filter 12 can be improved. Similarly, when a received signal passes through the first filter 11 and a transmitted signal passes through the second filter 12, the isolation between the first filter 11 and the second filter 12 can be improved. Therefore, it is possible to perform asynchronous communication between TDD communication using the first communication band using the first filter 11 and TDD communication using the second communication band using the second filter 12.
  • the resin layer 68 covers at least a portion of the first filter 11 and the second filter 12
  • the second shield electrode 69 covers at least a portion of the resin layer 68.
  • the second shield electrode 69 functions as an electromagnetic shield between the first filter 11 and the second filter 12 and the outside of the first filter 11 and the outside of the second filter 12. This improves the signal quality of the signal passing through the high frequency module 1. That is, in the high frequency module 1, the noise resistance of the first filter 11 and the second filter 12 is improved.
  • the second shield electrode 69 is in contact with the main surface 121 of the second filter 12. Therefore, the second IDT electrode 641B is surrounded by the first shield electrode 65 and the second shield electrode 69. Thereby, the first shield electrode 65 and the second shield electrode 69 function as an electromagnetic shield between the second IDT electrode 641B and the outside of the second filter 12. Therefore, the signal quality of the signal passing through the second filter 12 is improved. That is, in the high frequency module 1, the noise resistance of the second filter 12 is improved.
  • the sixth electronic component 56 overlaps with the first electronic component 51 in a plan view from the first direction D1, which is the thickness direction of the mounting board 4. That is, in a plan view from the first direction D1, which is the thickness direction of the mounting board 4, the first filter 11 and the second filter 12, and the first switch 13 and the second switch 14 overlap. Therefore, the wiring between the first filter 11 and the common terminal 130 of the first switch 13 is short. Further, the wiring between the second filter 12 and the common terminal 140 of the second switch 14 is short. Therefore, the signal quality of each of the signal passing through the first filter 11 and the signal passing through the second filter 12 is improved. That is, in the high frequency module 1, the noise resistance of the first filter 11 and the second filter 12 is improved.
  • the conductor 661 or the frame 662 located between the second substrate 61B and the first substrate 61A penetrates the first substrate 61A in the first direction D1.
  • a via conductor 671 is connected to the ground electrode of the mounting board 4. Therefore, the conductor 661 or the frame 662 and the via conductor 671 function as an electromagnetic shield between the first IDT electrode 641A and the outside of the first filter 11. Therefore, the signal quality of the signal passing through the first filter 11 is improved. That is, in the high frequency module 1, the noise resistance of the first filter 11 is improved.
  • the power class of the signal passing through the second filter 12 has a higher maximum output power than the power class of the signal passing through the first filter 11. Therefore, the heat generated by the second filter 12 is larger than the heat generated by the first filter 11.
  • the heat generated in the second filter 12 is transmitted to the first filter 11 and the second filter. 12 can be reduced.
  • the high frequency module 1 includes a first electronic component 51a instead of the first electronic component 51.
  • the first electronic component 51a includes a BAW (Bulk Acoustic Wave) filter as each of the first filter 11 and the second filter 12.
  • the first electronic component 51a includes a first substrate 61A, a first upper electrode 643A, a first piezoelectric film 644A, and a first lower electrode 645A.
  • the first upper electrode 643A is the first functional electrode.
  • the material of the first piezoelectric film 644A is, for example, AlN, ScAlN, or PZT (lead zirconate titanate).
  • the first lower electrode 645A has a cavity 646A between it and the first substrate 61A.
  • the BAW resonator included in the first filter 11 is an FBAR (Film Bulk Acoustic Resonator), but is not limited to this, and may be an SMR (Solidly Mounted Resonator).
  • the first filter 11 includes a first substrate 61A, a first upper electrode 643A, a first piezoelectric film 644A, and a first lower electrode 645A.
  • the first upper electrode 643A, the first piezoelectric film 644A, and the first lower electrode 645A are located in the hollow space SP0 formed between the main surface 611A of the first substrate 61A and the main surface 611B of the second substrate 61B. are doing.
  • the first electronic component 51a includes a second substrate 61B, a second upper electrode 643B, a second piezoelectric film 644B, and a second lower electrode 645B.
  • the second upper electrode 643B is the second functional electrode.
  • the material of the second piezoelectric film 644B is, for example, AlN, ScAlN, or PZT.
  • the second lower electrode 645B has a cavity 646B between it and the second substrate 61B.
  • the BAW resonator included in the second filter 12 is an FBAR, but is not limited to this, and may be an SMR.
  • the second filter 12 includes a second substrate 61B, a second upper electrode 643B, a second piezoelectric film 644B, and a second lower electrode 645B.
  • the second upper electrode 643B, the second piezoelectric film 644B, and the second lower electrode 645B are located in the hollow space SP0.
  • the first shield electrode 65 covers one of the first upper electrode 643A and the second upper electrode 643B. In this embodiment, the first shield electrode 65 covers the second upper electrode 643B. More specifically, the first shield electrode 65 divides the hollow space SP0 into a first space SP1 where the first upper electrode 643A is located and a second space SP2 where the second upper electrode 643B is located. compartmentalize. Furthermore, in a plan view from the first direction D1, the first shield electrode 65 overlaps with the first upper electrode 643A and also overlaps with the second upper electrode 643B.
  • the first shield electrode 65 is located in the first space SP1 where the first upper electrode 643A is located and the second space SP2 where the second upper electrode 643B is located. It functions as an electromagnetic shield between the Therefore, it is possible to improve the isolation between the first filter 11 and the second filter 12.
  • the resin layer 68 covers at least a portion of the first filter 11 and the second filter 12
  • the second shield electrode 69 covers at least a portion of the resin layer 68.
  • the second shield electrode 69 functions as an electromagnetic shield between the first filter 11 and the second filter 12 and the outside of the first filter 11 and the outside of the second filter 12. This improves the signal quality of the signal passing through the high frequency module 1. That is, in the high frequency module 1, the noise resistance of the first filter 11 and the second filter 12 is improved.
  • the second upper electrode 643B is surrounded by the first shield electrode 65 and the second shield electrode 69.
  • the first shield electrode 65 and the second shield electrode 69 function as an electromagnetic shield between the second upper electrode 643B and the outside of the second filter 12. Therefore, the signal quality of the signal passing through the second filter 12 is improved. That is, in the high frequency module 1, the noise resistance of the second filter 12 is improved.
  • the high-frequency module 1 when viewed in plan from the first direction D1, which is the thickness direction of the mounting board 4, the first electronic component 51a including the first filter 11 and the second filter 12; The sixth electronic component 56 including the first switch 13 and the second switch 14 overlaps. Therefore, the wiring between the first filter 11 and the common terminal 130 of the first switch 13 is short. Further, the wiring between the second filter 12 and the common terminal 140 of the second switch 14 is short. Therefore, the signal quality of each of the signal flowing through the first filter 11 and the signal passing through the second filter 12 is improved. That is, in the high frequency module 1, the noise resistance of the first filter 11 and the second filter 12 is improved.
  • the conductor 661 or the frame 662 located between the second substrate 61B and the first substrate 61A penetrates the first substrate 61A in the first direction D1.
  • a via conductor 671 is connected to the ground electrode of the mounting board 4. Therefore, the conductor 661 and the via conductor 671 are connected to the first upper electrode 643A, the first piezoelectric film 644A, the first lower electrode 645A and the second upper electrode 643B, the second piezoelectric film 644B, the second lower electrode 645B, It functions as an electromagnetic shield between the first electronic component 51a and the outside. Therefore, the signal quality of the signal passing through the high frequency module 1 is improved. That is, in the high frequency module 1, the noise resistance of the first filter 11 and the second filter 12 is improved.
  • FIGS. 5 and 6 A high frequency module 1b according to the third embodiment will be described with reference to FIGS. 5 and 6.
  • the same components as the high frequency module 1 according to the first embodiment are designated by the same reference numerals, and the description thereof will be omitted.
  • the high frequency module 1b according to the third embodiment includes a second transmission filter 12a and a second reception filter 12b instead of the second filter 12. Furthermore, as shown in FIG. 6, the high frequency module 1b according to the third embodiment does not include the second switch 14 but includes a third switch 18.
  • the high frequency module 1b according to the third embodiment includes a first filter 11, a second transmitting filter 12a, and a second receiving filter 12b. Moreover, the high frequency module 1b according to the third embodiment further includes a first switch 13 and a third switch 18. Moreover, the high frequency module 1b according to the third embodiment further includes a power amplifier 151, a power amplifier 152, a low noise amplifier 161, and a low noise amplifier 162. Moreover, the high frequency module 1 according to the first embodiment further includes a plurality of (five in the illustrated example) external connection terminals 17. The plurality of external connection terminals 17 include an antenna terminal 171, a first input terminal 172, a second input terminal 173, a first output terminal 174, and a second output terminal 175.
  • the second transmission filter 12a and the second reception filter 12b are filters that pass signals in a frequency band different from that of the first filter 11. More specifically, the second transmission filter 12a is a filter that passes the transmission signal of the second communication band. The second reception filter 12b is a filter that allows the reception signal of the second communication band to pass.
  • Each of the second transmission filter 12a and the second reception filter 12b is an elastic wave filter having one or more elastic wave resonators.
  • the first filter 11, the second transmission filter 12a, and the second reception filter 12b are included in a single electronic component.
  • the second transmission filter 12a has an input terminal (not shown) and an output terminal (not shown).
  • the input terminal of the second transmission filter 12a is connected to the output terminal of the power amplifier 152. Further, the output terminal of the second transmission filter 12a is connected to the selection terminal 182 of the third switch 18.
  • the second reception filter 12b has an input terminal (not shown) and an output terminal (not shown).
  • the input terminal of the second reception filter 12b is connected to the selection terminal 183 of the third switch 18. Further, the output terminal of the second reception filter 12b is connected to the input terminal of the low noise amplifier 162.
  • the third switch 18 selects a path connected to the antenna terminal 171 from among the first filter 11, the second transmission filter 12a, and the second reception filter 12b. This is a switch for switching. That is, the third switch 18 is a switch for switching the route connected to the antenna terminal 171.
  • the third switch 18 has a common terminal 180 and a plurality of (three in the illustrated example) selection terminals 181, 182, and 183.
  • the common terminal 180 is connected to the antenna terminal 171.
  • the selection terminal 181 is connected to the first filter 11 . Further, the selection terminal 182 is connected to the second transmission filter 12a. Further, the selection terminal 183 is connected to the second reception filter 12b.
  • the third switch 18 switches the connection between the common terminal 180 and the plurality of selection terminals 181, 182, 183. More specifically, the third switch 18 connects one of the selection terminals 182 and 183 to the common terminal 180, or does not connect the common terminal 180 to either of the selection terminals 182 and 183. Further, the third switch 18 connects the selection terminal 181 to the common terminal 180 or does not connect it.
  • the high frequency module 1b includes a first electronic component 51b instead of the first electronic component 51.
  • the first electronic component 51b includes a first filter 11, a second transmission filter 12a, and a second reception filter 12b.
  • Each of the first filter 11, the second transmission filter 12a, and the second reception filter 12b is an elastic wave filter including, for example, a plurality of series arm resonators and a plurality of parallel arm resonators.
  • the first electronic component 51b includes a first substrate 61A, a first low sound velocity film 62A, a first piezoelectric layer 63A, and a first circuit portion 642A.
  • the first substrate 61A has a main surface 611A and a main surface 612A that face each other in the thickness direction of the first substrate 61A.
  • the first circuit section 642A includes a plurality of first IDT electrodes 641A. In this embodiment, the plurality of first IDT electrodes 641A are the first functional electrodes.
  • the first low sound velocity film 62A is provided on the main surface 611A of the first substrate 61A.
  • the plurality of first IDT electrodes 641A are provided on the first piezoelectric layer 63A.
  • the first filter 11 includes a first substrate 61A, a first low sound velocity film 62A, a first piezoelectric layer 63A, a plurality of first IDT electrodes 641A, and a first circuit section 642A.
  • the plurality of first IDT electrodes 641A are located in a hollow space SP0 formed between the main surface 611A of the first substrate 61A and the main surface 611B of the second substrate 61B.
  • the first electronic component 51b further includes a second substrate 61B, a second low sound velocity film 62B, a second piezoelectric layer 63B, and a second circuit section 642B.
  • the second substrate 61B has a main surface 611B and a main surface 612B that face each other in the thickness direction of the second substrate 61B.
  • the second circuit section 642B includes a plurality of second IDT electrodes 641B and a plurality of third IDT electrodes 641C. In this embodiment, the plurality of second IDT electrodes 641B and third IDT electrodes 641C are second functional electrodes.
  • the second low sound velocity film 62B is provided on the main surface 611B of the second substrate 61B.
  • the second transmission filter 12a includes a second substrate 61B, a second low sound velocity film 62B, a second piezoelectric layer 63B, and a plurality of second IDT electrodes 641B.
  • the second reception filter 12b includes a second substrate 61B, a second low sound velocity film 62B, a second piezoelectric layer 63B, and a third IDT electrode 641C. That is, the second transmission filter 12a and the second reception filter 12b are arranged on the first filter 11.
  • the second transmission filter 12a and the second reception filter 12b are second elastic wave filters.
  • the second IDT electrode 641B and the third IDT electrode 641C are located in the hollow space SP0. Further, in the second transmission filter 12a and the second reception filter 12b, the main surface 121 on the opposite side to the first filter 11 side is the main surface 612B of the second substrate 61B.
  • the first shield electrode 65 is a shield electrode provided for the purpose of electromagnetic shielding between the first IDT electrode 641A, the second IDT electrode 641B, and the third IDT electrode 641C.
  • the first shield electrode 65 covers at least one of the first IDT electrode 641A, the second IDT electrode 641B, and the third IDT electrode 641C.
  • the first shield electrode 65 covers the second IDT electrode 641B and the third IDT electrode 641C. More specifically, the first shield electrode 65 divides the hollow space SP0 into a first space SP1 where the first IDT electrode 641A is located, and a second space SP2 where the second IDT electrode 641B and the third IDT electrode 641C are located. and partition into. Furthermore, in a plan view from the first direction D1, the first shield electrode 65 overlaps with the first IDT electrode 641A, and also overlaps with the second IDT electrode 641B and the third IDT electrode 641C.
  • the first shield electrode 65 is located in the hollow space SP0, and the first IDT electrode 641A is the first functional electrode, and the second IDT electrode is the second functional electrode. It covers at least one of the electrode 641B and the third IDT electrode 641C. Therefore, isolation between the first filter 11 and the second transmission filter 12a and second reception filter 12b can be improved. In particular, when a transmission signal passes through the first filter 11 and a reception signal passes through the second reception filter 12b, the isolation between the first filter 11 and the second reception filter 12b can be improved.
  • TDD communication using the first communication band using the first filter 11 and TDD communication using the second communication band using the second filter 12 can be performed simultaneously and asynchronously.
  • the resin layer 68 covers at least a portion of the first filter 11, the second transmission filter 12a, and the second reception filter 12b
  • the second shield electrode 69 covers the resin layer 68. 68. Therefore, the second shield electrode 69 connects the first filter 11, the second transmission filter 12a, and the second reception filter 12b with the outside of the first filter 11, the outside of the second transmission filter 12a, and the outside of the second reception filter 12b. It functions as an electromagnetic shield between This improves the signal quality of the signal passing through the high frequency module 1. That is, in the high frequency module 1b, the noise resistance of the first filter 11, the second transmission filter 12a, and the second reception filter 12b is improved.
  • the second shield electrode 69 is in contact with the main surface 121 of the second transmission filter 12a and the second reception filter 12b on the opposite side to the first filter 11 side. Therefore, the second IDT electrode 641B and the third IDT electrode 641C are surrounded by the first shield electrode 65 and the second shield electrode 69. Thereby, the first shield electrode 65 and the second shield electrode 69 function as an electromagnetic shield between the second IDT electrode 641B and the third IDT electrode 641C and the outside of the second transmission filter 12a and the second reception filter 12b. Therefore, the signal quality of the signal passing through the second transmission filter 12a and the second reception filter 12b is improved. That is, in the high frequency module 1b, the noise resistance of the second transmission filter 12a and the second reception filter 12b is improved.
  • the high frequency module 1b includes the first electronic component 51b including the first filter 11 and the first switch 13 in a plan view from the first direction D1, which is the thickness direction of the mounting board 4.
  • the sixth electronic component 56 overlaps with the sixth electronic component 56 . Therefore, the wiring between the first filter 11 and the common terminal 130 of the first switch 13 is short. Therefore, the signal quality of the signal passing through the first filter 11 is improved. That is, in the high frequency module 1b, the noise resistance of the first filter 11 is improved.
  • a conductor 661 located between the second substrate 61B and the first substrate 61A, and a via conductor 671 penetrating the first substrate 61A in the first direction D1. is connected to the ground electrode of the mounting board 4. Therefore, the conductor 661 and the via conductor 671 function as an electromagnetic shield between the first IDT electrode 641A and the outside of the first electronic component 51b. Therefore, the signal quality of the signal passing through the first filter 11 is improved. That is, in the high frequency module 1b, the noise resistance of the first filter 11 is improved.
  • the power class of the signal passing through the second transmission filter 12a and the second reception filter 12b has a higher maximum output power than the power class of the signal passing through the first filter 11. Therefore, the heat generated by the second transmit filter 12a and the second receive filter 12b is larger than the heat generated by the first filter 11.
  • Each of the first filter 11, second filter 12, second transmission filter 12a, and second reception filter 12b according to Embodiments 1 and 3 is not limited to a ladder type filter, but may be a longitudinally coupled vibrator type elastic wave filter, for example. There may be.
  • each of the first filter 11, second filter 12, second transmission filter 12a, and second reception filter 12b according to Embodiments 1 and 3 is a surface acoustic wave filter.
  • each of the first filter 11 and the second filter 12 according to the second embodiment is a bulk acoustic wave filter.
  • These elastic wave filters are not limited to this, and for example, the first filter 11 may be a surface acoustic wave filter, and the second filter 12 may be a bulk acoustic wave filter. Further, these elastic wave filters may be, for example, elastic wave filters that utilize boundary acoustic waves, plate waves, or the like.
  • the first filter 11 according to the third embodiment is a transmitting/receiving filter that passes both the transmitting signal and the receiving signal, but is not limited to this.
  • the first filter 11 may be a combination of one transmission filter and a first reception filter.
  • at least one of the first filter 11 and the second filter 12 according to the second embodiment may be a combination of a transmission filter and a reception filter.
  • the first filter 11 and the second filter 12 according to Embodiments 1 and 2 are transmitting/receiving filters that pass both the transmitted signal and the received signal, but the present invention is not limited to this.
  • the first filter 11 may be a transmission filter
  • the second filter 12 may be a reception filter.
  • the first filter 11 may be a reception filter
  • the second filter 12 may be a transmission filter. In these cases, either the first filter 11 or the second filter 12 may be a transmitting/receiving filter.
  • the first shield electrode 65 covers the second IDT electrode 641B, the third IDT electrode 641C, or the second upper electrode 643B, but the present invention is not limited thereto.
  • the first shield electrode 65 may be configured to cover the first IDT electrode 641A.
  • the high frequency module 1 may include two first shield electrodes 65, and each of the first IDT electrode 641A and the second IDT electrode 641B may be covered with a different first shield electrode 65.
  • the first communication band is Band 39 of the 3GPP LTE standard
  • the second communication band is Band 41 of the 3GPP LTE standard
  • the present invention is not limited thereto.
  • the combination of the first communication band and the second communication band are both TDD bands, and the combination is free as long as asynchronous communication is possible.
  • the combination of the first communication band and the second communication band may be a combination of Band 39 and Band 40 of the 3GPP LTE standard.
  • the combination of the first communication band and the second communication band may be a combination of Band 40 and Band 41 of the 3GPP LTE standard.
  • the heat generated in the second filter 12 is radiated from the second shield electrode 69, as described above. , the heat dissipation of the high frequency module 1 is improved.
  • the power class of the signal in the first communication band may be larger than the power class of the signal in the second communication band.
  • the first communication band is Band 41 of the 3GPP LTE standard
  • the second communication band is Band 39 of the 3GPP LTE standard.
  • the heat generated by the first filter 11 is radiated from the mounting board 4, thereby improving the heat radiation performance of the high frequency module 1.
  • the sixth electronic component 56 includes the first switch 13 and the second switch 14, and overlaps the first electronic component 51 when viewed from the first direction D1. It is not limited to this.
  • the sixth electronic component 56 includes the first switch 13, the high frequency module 1 includes a seventh electronic component including the second switch 14, the seventh electronic component is arranged on the second main surface 42 of the mounting board 4, The seventh electronic component may overlap the first electronic component 51 in a plan view from the first direction D1.
  • the high frequency modules 1 and 1b according to Embodiments 1 to 3 have an antenna terminal 171, and the antenna 3 of the communication device 10 is connected to the antenna terminal 171 of the high frequency modules 1 and 1b, but the present invention is not limited thereto.
  • the high frequency modules 1 and 1b may include a plurality of antenna terminals, and the communication device 10 may include an antenna connected to each of the plurality of antenna terminals.
  • the high frequency modules 1 and 1b include an antenna switch that selects whether each of the plurality of antenna terminals is connected to a transmission path, a reception path, or a transmission/reception path.
  • the antenna switch may be integrated with the third switch 18 according to the third embodiment.
  • the element is arranged on the first main surface of the substrate refers not only to the case where the element is directly mounted on the first main surface of the substrate, but also to the case where the element is mounted directly on the first main surface of the substrate. This includes a case where an element is arranged in the space on the first main surface side of the space on the main surface side and the space on the second main surface side.
  • the element is arranged on the first main surface of the substrate includes a case where the element is mounted on the first main surface of the substrate via another circuit element, an electrode, or the like.
  • the element is, for example, the first electronic component 51, but is not limited to the first electronic component 51.
  • the board is, for example, the mounting board 4. When the board is the mounting board 4, the first main surface is the first main surface 41, and the second main surface is the second main surface 42.
  • the high frequency module (1; 1b) includes a mounting board (4), a first acoustic wave filter (11), a second acoustic wave filter (12; 12a, 12b), and a first shield electrode. (65).
  • the mounting board (4) has a first main surface (41) and a second main surface (42) facing each other.
  • the first acoustic wave filter (11) is arranged on the first main surface (41) of the mounting board (4).
  • the second elastic wave filter (12; 12a, 12b) is arranged on the first elastic wave filter (11).
  • the first elastic wave filter (11) corresponds to transmission or reception of the first communication band for TDD.
  • the second elastic wave filter (12; 12a, 12b) corresponds to transmission or reception of the second communication band for TDD.
  • the combination of the first elastic wave filter (11) and the second elastic wave filter (12; 12a, 12b) is a combination of a filter compatible with transmission and a filter compatible with reception. Asynchronous communication is possible between the first communication band and the second communication band.
  • the first elastic wave filter (11) includes a first support member (61A) and a first functional electrode (641A; 643A).
  • the first support member (61A) has a third main surface (611A).
  • the first functional electrode (641A; 643A) is provided on the third main surface (611A) of the first support member (61A).
  • the second elastic wave filter (12; 12a, 12b) includes a second support member (61B) and a second functional electrode (641B, 641C; 643B).
  • the second support member (61B) has a fourth main surface (611B).
  • the second functional electrodes (641B, 641C; 643B) are provided on the fourth main surface (611B) of the second support member (61B).
  • the first functional electrode (641A; 643A) and the second functional electrode (641B, 641C; 643B) are located in the hollow space (SP0) and face each other.
  • the hollow space (SP0) is formed between the first support member (61A) and the second support member (61B) in the thickness direction (D1) of the mounting board (4).
  • the first shield electrode (65) is located in the hollow space (SP0) and covers at least one of the first functional electrode (641A; 643A) and the second functional electrode (641B, 641C; 643B).
  • the first shield electrode (65) is an electromagnetic shield between the first functional electrode (641A; 643A) and the second functional electrode (641B, 641C; 643B). functions as Therefore, during asynchronous communication by TDD, it is possible to improve the isolation between the first elastic wave filter (11) and the second elastic wave filter (12; 12a, 12b).
  • the high frequency module (1) according to the second aspect further includes a first switch (13) and a second switch (14) in the first aspect.
  • the first switch (13) is connected to the first elastic wave filter (11).
  • the second switch (14) is connected to the second acoustic wave filter (12).
  • the first elastic wave filter (11) and the second elastic wave filter (12) can be used as transmitting and receiving filters. Further, according to the high frequency module (1) according to the above aspect, the first elastic wave filter (11) and the second elastic wave filter (12) can be shared by a plurality of external circuits that use the same communication band. . Therefore, it is possible to downsize the high frequency module (1).
  • the high frequency module (1) further includes an electronic component (56) disposed on the second main surface (42) of the mounting board (4) in the second aspect.
  • the electronic component (56) is an IC that includes at least one of a first switch (13) and a second switch (14).
  • the first switch (13) or the second switch (14), the first elastic wave filter (11) and the second elastic wave filter (12) are mounted on the mounting board ( 4) on different main surfaces. Therefore, isolation between the first elastic wave filter (11) and the second elastic wave filter (12) can be improved.
  • the electronic component (56) includes the first acoustic wave filter ( 11) overlaps.
  • the wiring between the first switch (13) and the first elastic wave filter (11), and the wiring between the second switch (14) and the second elastic wave filter (12) At least one of the wiring between and can be shortened. Therefore, it is possible to improve the signal quality of the first communication band signal passing through the first elastic wave filter (11) and the second communication band signal passing through the second elastic wave filter (12). . That is, in the high frequency module (1), the noise resistance of the first elastic wave filter (11) and the second elastic wave filter (12) is improved.
  • the high frequency module (1; 1b) further includes a resin layer (68) and a second shield electrode (69) in any one of the first to fourth aspects.
  • the resin layer (68) covers at least a portion of the first acoustic wave filter (11) and the second acoustic wave filter (12; 12a, 12b).
  • the second shield electrode (69) covers at least a portion of the resin layer (68).
  • the second shield electrode (69) connects the first functional electrode (641A; 643A) and the second functional electrode (641B, 641C; 643B) with the first elastic wave. It functions as an electromagnetic shield between the outside of the filter (11) and the outside of the second acoustic wave filter (12; 12a, 12b). Therefore, it is possible to improve the signal quality of the first communication band signal and the second communication band signal passing through the high frequency module (1; 1b). That is, in the high frequency module (1; 1b), the noise resistance of the first elastic wave filter (11) and the second elastic wave filter (12; 12a, 12b) is improved.
  • the fifth The main surface (121) is in contact with the second shield electrode (69).
  • the first shield electrode (65) and the second shield electrode (69) are connected to the second functional electrode (641B, 641C; 643B) and the second acoustic wave filter. It functions as an electromagnetic shield between (12; 12a, 12b) and the outside. Therefore, it is possible to improve the signal quality of the second communication band signal passing through the second elastic wave filter (12; 12a, 12b). That is, in the high frequency module (1; 1b), the noise resistance of the second elastic wave filter (12; 12a, 12b) is improved.
  • the high frequency module (1; 1b) further includes a conductor (661, 662) in any one of the first to sixth aspects.
  • the conductors (661, 662) connect the first elastic wave filter (11) and the second elastic wave filter (12; 12a, 12b).
  • the conductors (661, 662) are located between the third main surface (611A) of the first support member (61A) and the fourth main surface (611B) of the second support member (61B).
  • the first support member (61A) further includes a via conductor (671) that penetrates in the thickness direction of the first support member (61A).
  • the mounting board (4) has a ground electrode. The conductors (661, 662) and the via conductor (671) are connected to the ground electrode of the mounting board (4).
  • the conductors (661, 662) and the via conductor (671) are connected to the first functional electrode (641A; 643A) and the first acoustic wave filter (11 ) acts as an electromagnetic shield between the outside. Therefore, it is possible to suppress deterioration of the signal quality of the first communication band signal passing through the high frequency module (1).
  • the first elastic wave filter (11) is a filter for signals of the first power class.
  • the second elastic wave filter (12; 12a, 12b) is a filter for signals of a second power class whose maximum output power is higher than that of the first power class.
  • the heat generation of the second acoustic wave filter (12) is greater than the heat generation of the first acoustic wave filter (11).
  • the heat generated from the second acoustic wave filter (12; 12a, 12b) is prevented from propagating toward the first acoustic wave filter (11) by the first shield electrode (65), and is not transmitted to the mounting board (4). heat is radiated to the opposite side. Therefore, it is possible to improve the heat dissipation properties of the first elastic wave filter (11) and the second elastic wave filter (12; 12a, 12b).
  • the first elastic wave filter (11) is a filter of Band 39 of the 3GPP LTE standard
  • the second elastic wave filter (11) is a filter of Band 39 of the 3GPP LTE standard
  • the wave filters (12; 12a, 12b) are filters of Band 41 of the 3GPP LTE standard.
  • TDD asynchronous communication using Band 39 and Band 41 of the 3GPP LTE standard is possible.
  • a communication device (10) includes the high frequency module (1; 1b) according to any one of the first to ninth aspects and a signal processing circuit (2).
  • the signal processing circuit (2) is connected to the high frequency module (1; 1b).
  • the first shield electrode (65) is the first functional electrode (641A; 643A) and the second functional electrode (641B, 641C; 643B). ) functions as an electromagnetic shield between the Therefore, during asynchronous communication by TDD, isolation between the first elastic wave filter (11) and the second elastic wave filter (12; 12a, 12b) can be improved.

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Abstract

TDDで非同期通信を行う場合に、信号間のアイソレーションを向上させる。高周波モジュール(1)は、実装基板(4)と、第1弾性波フィルタと、第2弾性波フィルタと、シールド電極と、を備える。第2弾性波フィルタは、第1弾性波フィルタ上に配置されている。第1弾性波フィルタは第1通信バンドに、第2弾性波フィルタは第2通信バンドに、対応する。第1通信バンドと第2通信バンドとは、TDD用かつ非同期通信が可能である。第1弾性波フィルタは、第1支持部材と第1機能電極とを有する。第2弾性波フィルタは、第2支持部材と第2機能電極とを有する。第1機能電極及び第2機能電極は、実装基板(4)の厚さ方向において第1支持部材と第2支持部材との間に形成された中空空間に位置し、互いに対向している。シールド電極は、中空空間に位置し、第1機能電極と第2機能電極との少なくとも一方を覆う。

Description

高周波モジュール、及び、通信装置
 本発明は、一般に高周波モジュール、及び通信装置に関し、より詳細には、複数のフィルタを備える高周波モジュール、及び、高周波モジュールを備える通信装置に関する。
 特許文献1には、2つの弾性波装置を備える構造が開示されている。特許文献1に記載されている構造では、2つの弾性波装置における各々のIDT電極が対向している。
特開2019-114985号公報
 しかしながら、特許文献1に記載された構造では、2つの弾性波装置を弾性波フィルタ(第1弾性波フィルタ、第2弾性波フィルタ)として用いた場合、第1弾性波フィルタを通過する第1信号と、第2弾性波フィルタを通過する第2信号との間で干渉が発生する場合がある。特に、第1信号が送信信号で第2信号が受信信号である場合、又は、第1信号が受信信号で第2信号が送信信号である場合、送信信号と受信信号とでは信号強度の差が大きいため、干渉の影響が大きい。したがって、第1弾性波フィルタと第2弾性波フィルタとの間のアイソレーションを向上させることが難しい場合がある。
 本発明の目的は、TDDで非同期通信を行う場合に、第1弾性波フィルタと第2弾性波フィルタとの間のアイソレーションを向上させることが可能な高周波モジュール及び通信装置を提供することにある。
 本発明の一態様に係る高周波モジュールは、実装基板と、第1弾性波フィルタと、第2弾性波フィルタと、第1シールド電極と、を備える。前記実装基板は、互いに対向する第1主面及び第2主面を有する。前記第1弾性波フィルタは、前記実装基板の前記第1主面に配置されている。前記第2弾性波フィルタは、前記第1弾性波フィルタ上に配置されている。前記第1弾性波フィルタは、TDD用の第1通信バンドの送信又は受信に対応する。前記第2弾性波フィルタは、TDD用の第2通信バンドの送信又は受信に対応する。前記第1弾性波フィルタと前記第2弾性波フィルタの組合せは、送信に対応したフィルタと受信に対応したフィルタとの組合せである。前記第1通信バンドと前記第2通信バンドとは、非同期通信が可能である。前記第1弾性波フィルタは、第1支持部材と、第1機能電極と、を有する。前記第1支持部材は、第3主面を有する。前記第1機能電極は、前記第1支持部材の前記第3主面に設けられている。前記第2弾性波フィルタは、第2支持部材と、第2機能電極と、を有する。前記第2支持部材は、第4主面を有する。前記第2機能電極は、前記第2支持部材の前記第4主面に設けられている。前記第1機能電極及び前記第2機能電極は、中空空間に位置し、かつ、互いに対向している。前記中空空間は、前記実装基板の厚さ方向において前記第1支持部材と前記第2支持部材との間に形成されている。前記第1シールド電極は、前記中空空間に位置し、かつ、前記第1機能電極と前記第2機能電極との少なくとも一方を覆う。
 本発明の一態様に係る通信装置は、前記高周波モジュールと、信号処理回路と、を備える。前記信号処理回路は、前記高周波モジュールに接続されている。
 本発明の一態様に係る高周波モジュール及び通信装置によれば、TDDで非同期通信を行う場合に、第1弾性波フィルタと第2弾性波フィルタとの間のアイソレーションを向上させることができる。
図1は、実施形態1に係る高周波モジュールの平面図である。 図2は、同上の高周波モジュールに関し、図1のX1-X1線断面図である。 図3は、同上の高周波モジュールを備える通信装置の回路構成図である。 図4は、実施形態2に係る高周波モジュールの断面図である。 図5は、実施形態3に係る高周波モジュールの断面図である。 図6は、同上の高周波モジュールの回路構成図である。
 以下、実施形態1~3に係る高周波モジュール及び通信装置について、図面を参照して説明する。以下の実施形態1~3において参照する各図は、いずれも模式的な図であり、図中の各構成要素の大きさや厚さそれぞれの比が、必ずしも実際の寸法比を反映しているとは限らない。
 (実施形態1)
 まず、実施形態1に係る高周波モジュール1の構成について、図面を参照して説明する。
 (1)高周波モジュール
 高周波モジュール1は、図3に示すように、例えば、通信装置10に用いられる。通信装置10は、例えば、スマートフォンのような携帯電話である。なお、通信装置10は、携帯電話であることに限定されず、例えば、スマートウォッチのようなウェアラブル端末等であってもよい。高周波モジュール1は、例えば、4G(第4世代移動通信)規格、5G(第5世代通信)規格等に対応可能なモジュールである。4G規格は、例えば、3GPP(登録商標、Third Generation Partnership Project) LTE(登録商標、Long Term Evolution)規格である。5G規格は、例えば、5G NR(New Radio)である。
 高周波モジュール1は、例えば、キャリアアグリゲーション及びデュアルコネクティビティに対応可能なモジュールである。キャリアアグリゲーション及びデュアルコネクティビティとは、複数の周波数帯域の電波を同時に使用する通信に用いられる技術を言う。
 通信装置10は、複数の通信バンドの通信を行う。より詳細には、通信装置10は、複数の通信バンドの各々の送信信号を送信し、複数の通信バンドの各々の受信信号を受信する。具体的には、高周波モジュール1は、第1通信バンドの受信信号、及び、第2通信バンドの受信信号を受信する。また、高周波モジュール1は、第1通信バンドの送信信号、及び、第2通信バンドの送信信号を送信する。
 第1通信バンドの送信信号及び受信信号は、TDD(Time Division Duplex)の信号である。また、第2通信バンドの送信信号及び受信信号は、TDDの信号である。TDDは、無線通信における送信と受信とに同一の周波数帯域を割り当てて、送信と受信とを時間ごとに切り替えて行う無線通信技術である。
 また、第1通信バンドの通信と、第2バンドの通信とは、非同期通信である。より詳細には、第1通信バンドの送信可能期間と、第2通信バンドの送信可能期間とは、必ずしも一致しない。また、第1通信バンドの受信可能期間と、第2通信バンドの受信可能期間とは、必ずしも一致しない。すなわち、第1通信バンドの送信信号の送信と同時に第2通信バンドの送信信号が送信される場合があり、また、第1通信バンドの送信信号の送信と同時に第2通信バンドの受信信号が受信される場合がある。同様に、第1通信バンドの受信信号の受信と同時に第2通信バンドの受信信号が受信される場合があり、また、第1通信バンドの受信信号の受信と同時に第2通信バンドの送信信号が送信される場合がある。
 第1通信バンドは、例えば、3GPP LTE規格のBand39である。また、第2通信バンドは、例えば、3GPP LTE規格のBand41である。Band39の送信信号はパワークラス3の信号であり、Band41の送信信号はパワークラス2の信号である。パワークラス2の信号はパワークラス3の信号よりも信号強度が大きい。すなわち、第2通信バンドの送信信号の信号強度は、第1通信バンドの送信信号の通信強度よりも大きい。
 (2)高周波モジュールの回路構成
 次に、実施形態1に係る高周波モジュール1の回路構成について、図3を参照して説明する。
 実施形態1に係る高周波モジュール1は、図3に示すように、第1フィルタ11と、第2フィルタ12と、を備える。また、実施形態1に係る高周波モジュール1は、第1スイッチ13と、第2スイッチ14と、を更に備える。また、実施形態1に係る高周波モジュールは、パワーアンプ151と、パワーアンプ152と、ローノイズアンプ161と、ローノイズアンプ162と、を更に備える。また、実施形態1に係る高周波モジュール1は、複数(図示例では5つ)の外部接続端子17を更に備える。複数の外部接続端子17は、アンテナ端子171と、第1入力端子172と、第2入力端子173と、第1出力端子174と、第2出力端子175と、を含む。
 (2.1)第1フィルタ、第2フィルタ
 第1フィルタ11及び第2フィルタ12は、互いに異なる周波数帯域の信号を通過させるフィルタである。より詳細には、第1フィルタ11は、第1通信バンドの送信信号及び受信信号を通過させるフィルタである。第2フィルタ12は、第2通信バンドの送信信号及び受信信号を通過させるフィルタである。
 第1フィルタ11及び第2フィルタ12の各々は、後述するように、1以上の弾性波共振子を有する弾性波フィルタである。すなわち、本実施形態では、第1フィルタ11が、第1弾性波フィルタである。また、本実施形態では、第2フィルタ12が、第2弾性波フィルタである。第1フィルタ11及び第2フィルタ12は、後述するように、単一の電子部品に含まれる。
 (2.2)第1スイッチ
 第1スイッチ13は、図3に示すように、パワーアンプ151及びローノイズアンプ161の中から第1フィルタ11に接続される経路を切り替えるためのスイッチである。つまり、第1スイッチ13は、第1フィルタ11に接続させる経路を切り替えるためのスイッチである。第1スイッチ13は、共通端子130と、複数(図示例では2つ)の選択端子131,132と、を有する。
 共通端子130は、第1フィルタ11に接続されている。選択端子131は、パワーアンプ151に接続されている。また、選択端子132は、ローノイズアンプ161に接続されている。
 第1スイッチ13は、共通端子130と複数の選択端子131,132との接続を切り替える。第1スイッチ13は、例えば、信号処理回路2によって制御される。第1スイッチ13は、信号処理回路2のRF信号処理回路21からの制御信号に従って、共通端子130と複数の選択端子131,132のいずれか一方とを電気的に接続させる。
 (2.3)第2スイッチ
 第2スイッチ14は、図3に示すように、パワーアンプ152及びローノイズアンプ162の中から第2フィルタ12に接続される経路を切り替えるためのスイッチである。つまり、第2スイッチ14は、第2フィルタ12に接続させる経路を切り替えるためのスイッチである。第2スイッチ14は、共通端子140と、複数(図示例では2つ)の選択端子141,142と、を有する。
 共通端子140は、第2フィルタ12に接続されている。選択端子141は、パワーアンプ152に接続されている。また、選択端子142は、ローノイズアンプ162に接続されている。
 第2スイッチ14は、共通端子140と複数の選択端子141,142との接続を切り替える。第2スイッチ14は、例えば、信号処理回路2によって制御される。第2スイッチ14は、信号処理回路2のRF信号処理回路21からの制御信号に従って、共通端子140と複数の選択端子141,142のいずれか一方とを電気的に接続させる。
 (2.4)パワーアンプ
 パワーアンプ151は、送信信号を増幅する増幅器である。より詳細には、パワーアンプ151は、第1通信バンドの送信信号を増幅する。パワーアンプ151は、第1スイッチ13の選択端子131と第1入力端子172との間に設けられている。パワーアンプ151は、入力端子(図示せず)及び出力端子(図示せず)を有する。パワーアンプ151の入力端子は、第1入力端子172を介して外部回路(例えば、信号処理回路2)に接続される。パワーアンプ151の出力端子は、第1スイッチ13の選択端子131に接続されている。パワーアンプ151は、例えば、コントローラ(図示せず)によって制御される。
 パワーアンプ152は、送信信号を増幅する増幅器である。より詳細には、パワーアンプ152は、第2通信バンドの送信信号を増幅する。パワーアンプ152は、第2スイッチ14の選択端子142と第2入力端子173との間に設けられている。パワーアンプ152は、入力端子(図示せず)及び出力端子(図示せず)を有する。パワーアンプ152の入力端子は、第2入力端子173を介して外部回路(例えば、信号処理回路2)に接続されている。パワーアンプ152の出力端子は、第2スイッチ14の選択端子142に接続されている。パワーアンプ152は、例えば、コントローラ(図示せず)によって制御される。
 (2.5)ローノイズアンプ
 ローノイズアンプ161は、受信信号を低雑音で増幅する増幅器である。より詳細には、ローノイズアンプ161は、第1通信バンドの受信信号を増幅する。ローノイズアンプ161は、第1スイッチ13の選択端子132と第1出力端子174との間に設けられている。ローノイズアンプ161は、入力端子(図示せず)及び出力端子(図示せず)を有する。ローノイズアンプ161の入力端子は、第1スイッチ13の選択端子132に接続されている。ローノイズアンプ161の出力端子は、第1出力端子174を介して外部回路(例えば、信号処理回路2)に接続される。
 ローノイズアンプ162は、受信信号を低雑音で増幅する増幅器である。より詳細には、ローノイズアンプ162は、第2通信バンドの受信信号を増幅する。ローノイズアンプ162は、第2スイッチ14の選択端子142と第2出力端子175との間に設けられている。ローノイズアンプ162は、入力端子(図示せず)及び出力端子(図示せず)を有する。ローノイズアンプ162の入力端子は、第2スイッチ14の選択端子142に接続されている。ローノイズアンプ162の出力端子は、第2出力端子175を介して外部回路(例えば、信号処理回路2)に接続される。
 (2.6)外部接続端子
 複数の外部接続端子17は、外部回路(例えば、信号処理回路2)と電気的に接続するための端子である。複数の外部接続端子17は、アンテナ端子171と、第1入力端子172と、第2入力端子173と、第1出力端子174と、第2出力端子175と、複数の制御端子(図示せず)と、複数のグランド端子(図示せず)と、を含む。
 アンテナ端子171には、アンテナ3が接続されている。高周波モジュール1内において、アンテナ端子171は、第1フィルタ11及び第2フィルタ12に接続されている。
 第1入力端子172は、外部回路(例えば、信号処理回路2)からの送信信号を高周波モジュール1に入力するための端子である。より詳細には、第1入力端子172は、第1通信バンドの送信信号を入力する。高周波モジュール1内において、第1入力端子172は、パワーアンプ151の入力端子に接続されている。
 第2入力端子173は、外部回路(例えば、信号処理回路2)からの送信信号を高周波モジュール1に入力するための端子である。より詳細には、第2入力端子173は、第2通信バンドの送信信号を入力する。高周波モジュール1内において、第2入力端子173は、パワーアンプ152の入力端子に接続されている。
 第1出力端子174は、高周波モジュール1からの受信信号を外部回路(例えば、信号処理回路2)へ出力するための端子である。より詳細には、第1出力端子174は、第1通信バンドの受信信号を出力する。高周波モジュール1内において、第1出力端子174は、ローノイズアンプ161の出力端子に接続されている。
 第2出力端子175は、高周波モジュール1からの受信信号を外部回路(例えば、信号処理回路2)へ出力するための端子である。より詳細には、第2出力端子175は、第2通信バンドの受信信号を出力する。高周波モジュール1内において、第2出力端子175は、ローノイズアンプ162の出力端子に接続されている。
 複数のグランド端子は、通信装置10が備える外部基板(図示せず)のグランド電極と電気的に接続されてグランド電位が与えられる端子である。高周波モジュール1内において、複数のグランド端子は、実装基板4(図1参照)のグランド層(図示せず)に接続されている。グランド層は、高周波モジュール1の回路グランドである。
 (3)高周波モジュールの構造
 次に、実施形態1に係る高周波モジュール1の構造について、図1及び図2を参照して説明する。
 高周波モジュール1は、図1及び図2に示すように、実装基板4と、第1電子部品51と、複数(図示例では2つ)の第2電子部品52と、複数(図示例では2つ)の第3電子部品53と、第4電子部品54と、第5電子部品55と、第6電子部品56と、を備える。また、高周波モジュール1は、図2に示すように、樹脂層68と第2シールド電極69と、を更に備える。
 高周波モジュール1は、外部基板(図示せず)に電気的に接続されている。外部基板は、例えば、携帯電話及び通信機器等である通信装置10(図3参照)のマザー基板である。
 (3.1)実装基板
 実装基板4は、図1及び図2に示すように、第1主面41及び第2主面42を有する。第1主面41及び第2主面42は、実装基板4の厚さ方向D1(図2参照)(以下、「第1方向D1」ともいう)において互いに対向する。第2主面42は、高周波モジュール1が外部基板に設けられたときに、外部基板における実装基板4側の主面と対向する。実装基板4は、第1主面41に第1電子部品51、第2電子部品52、第3電子部品53、及び第4電子部品54が実装され、第2主面42に第5電子部品55及び第6電子部品56が実装される両面実装基板である。
 実装基板4は、複数の誘電体層が積層された多層基板である。実装基板4は、複数の導電層と、複数のビア導体(貫通電極を含む)と、を有する。複数の導電層は、グランド電位のグランド層を含む。複数のビア導体は、第1主面41及び第2主面42のそれぞれに実装されている素子(上述の第1電子部品51、第2電子部品52、第3電子部品53、第4電子部品54、第5電子部品55、及び第6電子部品56を含む)と実装基板4の導電層との電気的接続に用いられる。
 (3.2)第1電子部品
 第1電子部品51は、図1及び図2に示すように、実装基板4の第1主面41に配置されている。第1電子部品51は、第1フィルタ11と第2フィルタ12と、を含む。
 第1フィルタ11と第2フィルタ12の各々は、例えば、複数の直列腕共振子及び複数の並列腕共振子を含む弾性波フィルタである。弾性波フィルタは、例えば、弾性表面波を利用するSAW(Surface Acoustic Wave)フィルタである。さらに、第1フィルタ11と第2フィルタ12の各々は、複数の直列腕共振子のいずれかと直列に接続されるインダクタ及びキャパシタの少なくとも一方を含んでもよい。また、第1フィルタ11と第2フィルタ12の各々は、複数の並列腕共振子のいずれかと直列に接続されるインダクタ又はキャパシタを含んでもよい。
 (3.3)第2電子部品
 複数の第2電子部品52の各々は、図1に示すように、実装基板4の第1主面41に配置されている。図1の例では、複数の第2電子部品52の各々は、実装基板4の第1主面41に実装されている。なお、複数の第2電子部品52のうち一部又は全部が、実装基板4の第2主面42に実装されていてもよい。複数の第2電子部品52は、例えば、パワーアンプ151とパワーアンプ152とを含む。
 (3.4)第3電子部品
 第3電子部品53の各々は、図1に示すように、実装基板4の第1主面41に配置されている。第3電子部品53は、実装基板4の第1主面41に実装されている。第3電子部品53は、例えば、第1スイッチ13の選択端子131とパワーアンプ151との間の経路に設けられた整合回路(図示せず)を構成するインダクタである。整合回路は、第1フィルタ11とパワーアンプ151とのインピーダンス整合をとるための回路である。また、第3電子部品53は、例えば、第2スイッチ14の選択端子141とパワーアンプ152との間の経路に設けられた整合回路(図示せず)を構成するインダクタである。整合回路は、第2フィルタ12とパワーアンプ152とのインピーダンス整合をとるための回路である。インダクタは、例えば、チップインダクタである。
 (3.5)第4電子部品
 第4電子部品54は、図1に示すように、実装基板4の第1主面41に配置されている。第4電子部品54は、実装基板4の第1主面41に実装されている。第4電子部品54は、例えば、第1フィルタ11及び第2フィルタ12とアンテナ端子171との間の経路に設けられた整合回路(図示せず)を構成するキャパシタである。整合回路は、第1フィルタ11及び第2フィルタ12とアンテナ3とのインピーダンス整合をとるための回路である。
 (3.6)第5電子部品
 第5電子部品55は、図1に示すように、実装基板4の第2主面42に配置されている。第5電子部品55は、実装基板4の第2主面42に実装されている。第5電子部品55は、ローノイズアンプ161とローノイズアンプ162とを含む。
 (3.7)第6電子部品
 第6電子部品56は、図1に示すように、実装基板4の第2主面42に配置されている。より詳細には、第6電子部品56は、実装基板4の第2主面42に実装されている。第6電子部品56は、第1スイッチ13と、第2スイッチ14とを含むICである。すなわち、本実施形態において、第6電子部品56は、第1スイッチ13と第2スイッチ14とのうち少なくとも1つを含むICである電子部品に相当する。
 第6電子部品56は、実装基板4の厚さ方向である第1方向D1からの平面視において、第1電子部品51と重なる。
 (3.8)樹脂層及び第2シールド電極
 樹脂層68(図2参照)は、第1電子部品51等の側面を覆っている。より詳細には、樹脂層68は、第1電子部品51において、第1フィルタ11及び第2フィルタ12の少なくとも一部を覆う。
 第2シールド電極69(図2参照)は、樹脂層68の一部を覆っている。より詳細には、第2シールド電極69は、第1電子部品51において、第2フィルタ12の第1フィルタ11側とは反対側の主面121(図2参照)と接触している。
 (4)高周波モジュールの各構成要素の詳細構造
 (4.1)実装基板
 図1及び図2に示す実装基板4は、例えば、複数の誘電体層及び複数の導電層を含む多層基板である。複数の誘電体層及び複数の導電層は、実装基板4の厚さ方向D1において積層されている。複数の導電層は、層ごとに定められた所定パターンに形成されている。複数の導電層の各々は、実装基板4の厚さ方向D1に直交する一平面内において1つ又は複数の導体部を含む。各導電層の材料は、例えば、銅である。複数の導電層は、グランド層を含む。高周波モジュール1では、複数のグランド端子とグランド層とが、実装基板4のビア導体等を介して電気的に接続されている。実装基板4は、例えば、LTCC(Low Temperature Co-fired Ceramics)基板である。実装基板4は、LTCC基板に限らず、例えば、プリント配線板、HTCC(High Temperature Co-fired Ceramics)基板、樹脂多層基板であってもよい。
 また、実装基板4は、LTCC基板に限らず、例えば、配線構造体であってもよい。配線構造体は、例えば、多層構造体である。多層構造体は、少なくとも1つの絶縁層と、少なくとも1つの導電層とを含む。絶縁層は、所定パターンに形成されている。絶縁層が複数の場合は、複数の絶縁層は、層ごとに定められた所定パターンに形成されている。導電層は、絶縁層の所定パターンとは異なる所定パターンに形成されている。導電層が複数の場合は、複数の導電層は、層ごとに定められた所定パターンに形成されている。導電層は、1つ又は複数の再配線部を含んでもよい。配線構造体では、多層構造体の厚さ方向において互いに対向する2つの面のうち第1面が実装基板4の第1主面41であり、第2面が実装基板4の第2主面42である。配線構造体は、例えば、インタポーザであってもよい。インタポーザは、シリコン基板を用いたインタポーザであってもよいし、多層で構成された基板であってもよい。
 実装基板4の第1主面41及び第2主面42は、実装基板4の厚さ方向D1において離れており、実装基板4の厚さ方向D1に交差する。実装基板4における第1主面41は、例えば、実装基板4の厚さ方向D1に直交しているが、例えば、実装基板4の厚さ方向D1に直交しない面として導体部の側面等を含んでいてもよい。また、実装基板4における第2主面42は、例えば、実装基板4の厚さ方向D1に直交しているが、例えば、実装基板4の厚さ方向D1に直交しない面として、導体部の側面等を含んでいてもよい。また、実装基板4の第1主面41及び第2主面42は、微細な凹凸又は凹部又は凸部が形成されていてもよい。
 (4.2)第1電子部品
 図2に示す第1電子部品51の詳細な構造について説明する。
 第1電子部品51は、弾性波フィルタである第1フィルタ11と、弾性波フィルタである第2フィルタ12と、を含む。第1電子部品51は、図2に示すように、第1基板61Aと、第1低音速膜62Aと、第1圧電体層63Aと、第1回路部642Aと、を有する。第1基板61Aは、第1基板61Aの厚さ方向において互いに対向する主面611A及び主面612Aを有する。第1回路部642Aは、複数の第1IDT(Interdigital Transducer)電極641Aを含む。本実施形態では、複数の第1IDT電極641Aが、第1機能電極である。第1低音速膜62Aは、第1基板61Aの主面611A上に設けられている。すなわち、本実施形態では、第1基板61Aが第1支持部材である。また、本実施形態では、第1基板61Aの主面611Aが第3主面である。複数の第1IDT電極641Aは、第1圧電体層63A上に設けられている。第1フィルタ11は、第1基板61Aと、第1低音速膜62Aと、第1圧電体層63Aと、複数の第1IDT電極641Aと、第1回路部642Aとを含む。
 第1電子部品51は、図2に示すように、第2基板61Bと、第2低音速膜62Bと、第2圧電体層63Bと、第2回路部642Bと、を更に有する。第2基板61Bは、第2基板61Bの厚さ方向において互いに対向する主面611B及び主面612Bを有する。第2回路部642Bは、複数の第2IDT電極641Bを含む。本実施形態では、複数の第2IDT電極641Bが、第2機能電極である。第2低音速膜62Bは、第2基板61Bの主面611B上に設けられている。すなわち、本実施形態では、第2基板61Bが第2支持部材である。また、本実施形態では、第2基板61Bの主面611Bが第4主面である。複数の第2IDT電極641Bは、第2圧電体層63B上に設けられている。第2フィルタ12は、第2基板61Bと、第2低音速膜62Bと、第2圧電体層63Bと、複数の第2IDT電極641Bと、第2回路部642Bとを含む。また、第2フィルタ12において、第1フィルタ11側とは反対側の主面121は、第2基板61Bの主面612Bである。本実施形態において、主面121は、第5主面である。
 第1圧電体層63A及び第2圧電体層63Bの材料は、例えば、リチウムニオベイト又はリチウムタンタレートである。第1低音速膜62A及び第2低音速膜62Bの材料は、例えば、酸化ケイ素である。第1低音速膜62Aでは、第1圧電体層63Aを伝搬するバルク波の音速よりも、第1低音速膜62Aを伝搬するバルク波の音速が低速である。また、第2低音速膜62Bでは、第2圧電体層63Bを伝搬するバルク波の音速よりも、第2低音速膜62Bを伝搬するバルク波の音速が低速である。第1低音速膜62A及び第2低音速膜62Bの材料は、酸化ケイ素に限定されず、例えば、酸化ケイ素、ガラス、酸窒化ケイ素、酸化タンタル、酸化ケイ素にフッ素、炭素、若しくはホウ素を加えた化合物、又は、上記各材料を主成分とする材料であってもよい。
 第1基板61A及び第2基板61Bの材料は、例えば、シリコンである。第1基板61Aでは、第1圧電体層63Aを伝搬するバルク波の音速よりも、第1基板61Aを伝搬するバルク波の音速が高速である。ここにおいて、第1基板61Aを伝搬するバルク波は、第1基板61Aを伝搬する複数のバルク波のうち最も低音速なバルク波である。本実施形態では、第1基板61Aと、第1基板61A上に設けられている第1低音速膜62Aと、で高音速部材が構成されている。また、本実施形態では、第1基板61Aが、シリコン基板からなる第1支持基板である。同様に、第2基板61Bでは、第2圧電体層63Bを伝搬するバルク波の音速よりも、第2基板61Bを伝搬するバルク波の音速が高速である。ここにおいて、第2基板61Bを伝搬するバルク波は、第2基板61Bを伝搬する複数のバルク波のうち最も低音速なバルク波である。本実施形態では、第2基板61Bと、第2基板61B上に設けられている第2低音速膜62Bと、で高音速部材が構成されている。また、本実施形態では、第2基板61Bが、シリコン基板からなる第2支持基板である。なお、第1基板61A及び第2基板61Bの材料は、シリコンに限らず、例えば、窒化アルミニウム、酸化アルミニウム、炭化ケイ素、窒化ケイ素、サファイア、リチウムタンタレート、リチウムニオベイト、水晶、アルミナ、ジルコニア、コージライト、ムライト、ステアタイト、フォルステライト、マグネシア、及びダイヤモンドのいずれかを主成分として含む材料であってもよい。
 第1基板61Aの主面611Aと、第2基板61Bの主面611Bとは、第1方向D1に対向する。すなわち、第2フィルタ12は、第1フィルタ11上に配置されている。また、第1電子部品51は、図2に示すように、第1方向D1と交差する方向に延伸する複数の導電体661と、枠体662とを更に備える。複数の導電体661及び枠体662は、第2フィルタ12と実装基板4とを電気的に接続させるための電極である。複数の導電体661は、例えば、柱状(例えば、角柱状)の電極を含む。また、枠体662は、枠状の電極である。複数の導電体661及び枠体662の材料は、例えば、金属(例えば、銅、銅合金等)である。複数の導電体661及び枠体662は、第1基板61Aと第2基板61Bとの間に位置している。第1基板61Aと第2基板61Bとの間のうち、枠体662の内側に中空空間SP0が形成されている。複数の第1IDT電極641A及び複数の第2IDT電極641Bは、中空空間SP0に配置されている。なお、複数の導電体661の少なくとも一部、又は、枠体662は、第1基板61Aを貫通するビア導体671とバンプ672とを介して、実装基板4のグランド電極に接続されている。なお、枠体662は、電極でなくてもよい。枠体662が電極でない場合、枠体662の材料は樹脂等の絶縁体であってもよい。
 また、第1電子部品51は、図2に示すように、第1シールド電極65を更に有する。第1シールド電極65は、例えば、第1IDT電極641Aと第2IDT電極641Bとの間の電磁シールドを目的として設けられているシールド電極である。第1シールド電極65は、1つの金属層であるが、1つの金属層に限らず、複数の金属層を積層した多層構造であってもよい。第1シールド電極65は、中空空間SP0に位置しており、かつ、第1IDT電極641Aと、第2IDT電極641Bとのうち少なくとも一方を覆っている。実施形態1における第1シールド電極65は、第2IDT電極641Bを覆っている。より詳細には、第1方向D1からの平面視において、第1シールド電極65は、第1IDT電極641Aと重なり、かつ、第2IDT電極641Bと重なっている。ここで、第1方向D1からの平面視において第1シールド電極65が第1IDT電極641Aと重なっているとは、第1方向D1からの平面視において、第1IDT電極641Aの少なくとも一部と、第1シールド電極65の少なくとも一部とを含む領域が存在することをいう。同様に、第1方向D1からの平面視において第1シールド電極65が第2IDT電極641Bと重なっているとは、第1方向D1からの平面視において、第2IDT電極641Bの少なくとも一部と、第1シールド電極65の少なくとも一部とを含む領域が存在することをいう。第1シールド電極65は中空空間SP0を第1空間SP1と第2空間SP2とに区画する。第1IDT電極641Aは第1空間SP1に位置しており、第2IDT電極641Bは第2空間SP2に位置している。なお、第1空間SP1と第2空間SP2とは第1シールド電極65によって完全に隔絶されている必要はなく、例えば、第2圧電体層63Bの表面において第1空間SP1と第2空間SP2とが連通していてもよい。
 (4.3)樹脂層
 以下、樹脂層68と第1電子部品51との関係について詳細に説明する。
 樹脂層68は、第1電子部品51において、第1フィルタ11と、第2フィルタ12との少なくとも一部を覆う。ここで、樹脂層68は、第1基板61A、第1低音速膜62A、第1圧電体層63A、導電体661、枠体662、第2圧電体層63B、第2低音速膜62B、第2基板61Bの各々の外周面を覆っている。樹脂層68は、第2基板61Bの主面612Bの少なくとも一部を覆ってもよい。樹脂層68は、樹脂(例えば、エポキシ樹脂)を含む。樹脂層は、樹脂のほかにフィラーを含んでもよい。
 (4.4)第2シールド電極
 以下、第2シールド電極69と第1電子部品51との関係について詳細に説明する。
 第2シールド電極69は、樹脂層68の少なくとも一部を覆う。第2シールド電極69は、樹脂層68の少なくとも一部を覆う。ここで、第2シールド電極69は、第1電子部品51において、第2フィルタ12の主面121を直接、又は、間接的に覆っている。第2シールド電極69が第2基板61Bの主面612Bを間接的に覆っているとは、第2フィルタ12の主面121を樹脂層68の少なくとも一部が覆っており、樹脂層68のうち第2フィルタ12の主面121を覆っている部分を第2シールド電極69が覆っていることをいう。本実施形態では、第2シールド電極69は、第2フィルタ12の主面121と接触している。なお、第2シールド電極69は、通信装置10のグランド電極に接続されていてもよい。第2シールド電極69は、複数の金属層を積層した多層構造を有しているが、多層構造に限らず、1つの金属層であってもよい。1つの金属層は、1又は複数種の金属を含む。
 (5)通信装置
 通信装置10は、図3に示すように、高周波モジュール1と、アンテナ3と、信号処理回路2と、を備える。
 (5.1)アンテナ
 アンテナ3は、高周波モジュール1のアンテナ端子171に接続されている。アンテナ3は、高周波モジュール1から出力された送信信号を電波にて放射する送信機能と、受信信号を電波として外部から受信して高周波モジュール1に出力する受信機能と、を有する。
 (5.2)信号処理回路
 信号処理回路2は、RF信号処理回路21と、ベースバンド信号処理回路22と、を含む。信号処理回路2は、高周波モジュール1を通る信号を処理する。より詳細には、信号処理回路2は、送信信号及び受信信号を処理する。
 RF信号処理回路21は、例えば、RFIC(Radio Frequency Integrated Circuit)である。RF信号処理回路21は、高周波信号に対する信号処理を行う。
 RF信号処理回路21は、ベースバンド信号処理回路22から出力された高周波信号に対してアップコンバート等の信号処理を行い、信号処理が行われた高周波信号を高周波モジュール1に出力する。具体的には、RF信号処理回路21は、ベースバンド信号処理回路22から出力された送信信号に対してアップコンバート等の信号処理を行い、信号処理が行われた送信信号を高周波モジュール1の第1入力端子172又は第2入力端子173に出力する。
 RF信号処理回路21は、高周波モジュール1から出力された高周波信号に対してダウンコンバート等の信号処理を行い、信号処理が行われた高周波信号をベースバンド信号処理回路22に出力する。具体的には、RF信号処理回路21は、高周波モジュール1の第1出力端子174又は第2出力端子175から出力された受信信号に対して信号処理を行い、信号処理が行われた受信信号をベースバンド信号処理回路22に出力する。
 ベースバンド信号処理回路22は、例えば、BBIC(Baseband Integrated Circuit)である。ベースバンド信号処理回路22は、信号処理回路2の外部からの送信信号に対する所定の信号処理を行う。ベースバンド信号処理回路22で処理された受信信号は、例えば、画像信号として画像表示のための画像信号として使用され、又は、通話のための音声信号として使用される。
 また、RF信号処理回路21は、高周波信号(送信信号、受信信号)の送受に基づいて、高周波モジュール1が有する第1スイッチ13及び第2スイッチ14の各々を制御する制御部としての機能も有する。具体的には、RF信号処理回路21は、制御信号(図示せず)によって高周波モジュール1の第1スイッチ13及び第2スイッチ14の各々の接続を切り替える。なお、制御部は、RF信号処理回路21の外部に設けられていてもよく、例えば、高周波モジュール1又はベースバンド信号処理回路22に設けられていてもよい。
 (6)第1シールド電極の詳細
 以下、第1シールド電極65の詳細について、図面を参照して説明する。
 図2に示すように、第1シールド電極65は、第2IDT電極641Bを覆っている。これにより、第1シールド電極65は、第1IDT電極641Aが位置している第1空間SP1と、第2IDT電極641Bが位置している第2空間SP2との間の電磁シールドとして機能する。したがって、第1フィルタ11と、第2フィルタ12との間のアイソレーションを向上させることが可能となる。
 上述したように、高周波モジュール1では、第1通信バンドの送信信号の送信と第2通信バンドの受信信号の受信とを同時に行う場合がある。また、高周波モジュール1では、第1通信バンドの受信信号の受信と第2通信バンドの送信信号の送信とを同時に行う場合がある。高周波モジュール1を通過する送信信号の信号強度は高周波モジュール1を通過する受信信号の信号強度より大きい。これに対し、実施形態1に係る高周波モジュール1では、第1シールド電極65が第1IDT電極641Aと第2IDT電極641Bとの間の電磁シールドであるため、第1フィルタ11と、第2フィルタ12との間のアイソレーションを向上させることが可能となる。
 また、実施形態1に係る高周波モジュール1では、第2基板61Bと第1基板61Aとの間に位置する導電体661又は枠体662と、第1基板61Aを第1方向D1に貫通しているビア導体671とが、実装基板4のグランド電極に接続されている。したがって、導電体661又は枠体662、及びビア導体671が、第1IDT電極641Aと、第1フィルタ11の外部との間の電磁シールドとして機能する。そのため、第1フィルタ11を通過する信号の信号品質が向上する。すなわち、高周波モジュール1では、第1フィルタ11のノイズ耐性が向上する。
 また、実施形態1に係る高周波モジュール1では、第2IDT電極641Bが、第1シールド電極65と第2シールド電極69とによって囲まれている。したがって、第1シールド電極65及び第2シールド電極69が、第2IDT電極641Bと、第2フィルタ12の外部との間の電磁シールドとして機能する。そのため、第2フィルタ12を通過する信号の信号品質が向上する。すなわち、高周波モジュール1では、第2フィルタ12のノイズ耐性が向上する。
 (7)効果
 実施形態1に係る高周波モジュール1では、第1シールド電極65が、中空空間SP0に位置し、かつ、第1機能電極である第1IDT電極641Aと、第2機能電極である第2IDT電極641Bと、のうち少なくとも一方を覆っている。したがって、第1フィルタ11を送信信号が通過し、第2フィルタ12を受信信号が通過する場合にも、第1フィルタ11と第2フィルタ12との間のアイソレーションを向上させることができる。同様に、第1フィルタ11を受信信号が通過し、第2フィルタ12を送信信号が通過する場合にも、第1フィルタ11と第2フィルタ12との間のアイソレーションを向上させることができる。したがって、第1フィルタ11を用いた第1通信バンドによるTDD通信と、第2フィルタ12を用いた第2通信バンドによるTDD通信とで非同期通信することが可能となる。
 また、実施形態1に係る高周波モジュール1では、樹脂層68が第1フィルタ11及び第2フィルタ12の少なくとも一部を覆っており、第2シールド電極69が樹脂層68の少なくとも一部を覆っている。したがって、第2シールド電極69が第1フィルタ11及び第2フィルタ12と、第1フィルタ11の外部及び第2フィルタ12の外部との間の電磁シールドとして機能する。これにより、高周波モジュール1を通過する信号の信号品質が向上する。すなわち、高周波モジュール1では、第1フィルタ11及び第2フィルタ12のノイズ耐性が向上する。
 また、実施形態1に係る高周波モジュール1では、第2シールド電極69が第2フィルタ12の主面121と接触している。したがって、第2IDT電極641Bが、第1シールド電極65と第2シールド電極69とによって囲まれている。これにより、第1シールド電極65及び第2シールド電極69が、第2IDT電極641Bと、第2フィルタ12の外部との間の電磁シールドとして機能する。そのため、第2フィルタ12を通過する信号の信号品質が向上する。すなわち、高周波モジュール1では、第2フィルタ12のノイズ耐性が向上する。
 また、実施形態1に係る高周波モジュール1では、第6電子部品56は、実装基板4の厚さ方向である第1方向D1からの平面視において、第1電子部品51と重なる。すなわち、実装基板4の厚さ方向である第1方向D1からの平面視において、第1フィルタ11及び第2フィルタ12と、第1スイッチ13及び第2スイッチ14とが重なっている。したがって、第1フィルタ11と第1スイッチ13の共通端子130との間の配線が短い。また、第2フィルタ12と第2スイッチ14の共通端子140との間の配線が短い。そのため、第1フィルタ11を通過する信号と、第2フィルタ12を通過する信号との各々の信号品質が向上する。すなわち、高周波モジュール1では、第1フィルタ11及び第2フィルタ12のノイズ耐性が向上する。
 また、実施形態1に係る高周波モジュール1では、第2基板61Bと第1基板61Aとの間に位置する導電体661又は枠体662と、第1基板61Aを第1方向D1に貫通しているビア導体671とが、実装基板4のグランド電極に接続されている。したがって、導電体661又は枠体662、及びビア導体671が、第1IDT電極641Aと、第1フィルタ11の外部との間の電磁シールドとして機能する。したがって、第1フィルタ11を通過する信号の信号品質が向上する。すなわち、高周波モジュール1では、第1フィルタ11のノイズ耐性が向上する。
 また、実施形態1に係る高周波モジュール1では、第2フィルタ12を通過する信号のパワークラスが、第1フィルタ11を通過する信号のパワークラスよりも最大出力パワーが高い。したがって、第2フィルタ12による発熱が、第1フィルタ11による発熱よりも大きい。実施形態1に係る高周波モジュール1では、第2フィルタ12で生じた熱を第2シールド電極69から放熱する放熱経路が存在するため、第2フィルタ12で生じる熱が第1フィルタ11及び第2フィルタ12に与える影響を小さくすることができる。
 (実施形態2)
 実施形態2に係る高周波モジュール1について説明する。実施形態2に係る高周波モジュール1に関し、実施形態1に係る高周波モジュール1と同様の構成については、同一の符号を付して説明を省略する。
 実施形態2に係る高周波モジュール1は、第1電子部品51に替えて第1電子部品51aを備える。第1電子部品51aは、図4に示すように、第1フィルタ11及び第2フィルタ12の各々として、BAW(Bulk Acoustic Wave)フィルタを含む。
 第1電子部品51aの詳細な構造について説明する。第1電子部品51aは、図4に示すように、第1基板61Aと、第1上部電極643Aと、第1圧電体膜644Aと、第1下部電極645Aと、を有する。本実施形態では、第1上部電極643Aが第1機能電極である。第1圧電体膜644Aの材料は、例えば、AlN、ScAlN又はPZT(チタン酸ジルコン酸鉛)である。第1下部電極645Aは、第1基板61Aとの間に空洞646Aを有する。第1フィルタ11に含まれるBAW共振子は、FBAR(Film Bulk Acoustic Resonator)であるが、これに限られず、SMR(Solidly Mounted Resonator)であってもよい。第1フィルタ11は、第1基板61Aと、第1上部電極643Aと、第1圧電体膜644Aと、第1下部電極645Aと、を含む。第1上部電極643A、第1圧電体膜644A、及び第1下部電極645Aは、第1基板61Aの主面611Aと第2基板61Bの主面611Bとの間に形成される中空空間SP0に位置している。
 また、第1電子部品51aは、図4に示すように、第2基板61Bと、第2上部電極643Bと、第2圧電体膜644Bと、第2下部電極645Bと、を有する。本実施形態では、第2上部電極643Bが第2機能電極である。第2圧電体膜644Bの材料は、例えば、AlN、ScAlN又はPZTである。第2下部電極645Bは、第2基板61Bとの間に空洞646Bを有する。第2フィルタ12に含まれるBAW共振子は、FBARであるが、これに限られず、SMRであってもよい。第2フィルタ12は、第2基板61Bと、第2上部電極643Bと、第2圧電体膜644Bと、第2下部電極645Bと、を含む。第2上部電極643B、第2圧電体膜644B、及び第2下部電極645Bは、中空空間SP0に位置している。
 実施形態2に係る高周波モジュール1において、第1シールド電極65は、第1上部電極643Aと、第2上部電極643Bとのうち一方を覆っている。本実施形態では、第1シールド電極65は、第2上部電極643Bを覆っている。より詳細には、第1シールド電極65は、中空空間SP0を、第1上部電極643Aが位置している第1空間SP1と、第2上部電極643Bが位置している第2空間SP2と、に区画する。また、第1方向D1からの平面視において、第1シールド電極65は、第1上部電極643Aと重なり、かつ、第2上部電極643Bと重なっている。
 したがって、実施形態2に係る高周波モジュール1においても、第1シールド電極65は、第1上部電極643Aが位置している第1空間SP1と、第2上部電極643Bが位置している第2空間SP2との間の電磁シールドとして機能する。したがって、第1フィルタ11と、第2フィルタ12との間のアイソレーションを向上させることが可能となる。
 また、実施形態2に係る高周波モジュール1では、樹脂層68が第1フィルタ11及び第2フィルタ12の少なくとも一部を覆っており、第2シールド電極69が樹脂層68の少なくとも一部を覆っている。したがって、第2シールド電極69が第1フィルタ11及び第2フィルタ12と、第1フィルタ11の外部及び第2フィルタ12の外部との間の電磁シールドとして機能する。これにより、高周波モジュール1を通過する信号の信号品質が向上する。すなわち、高周波モジュール1では、第1フィルタ11及び第2フィルタ12のノイズ耐性が向上する。
 また、実施形態2に係る高周波モジュール1では、第2上部電極643Bが、第1シールド電極65と第2シールド電極69とによって囲まれている。これにより、第1シールド電極65及び第2シールド電極69が、第2上部電極643Bと、第2フィルタ12の外部との間の電磁シールドとして機能する。そのため、第2フィルタ12を通過する信号の信号品質が向上する。すなわち、高周波モジュール1では、第2フィルタ12のノイズ耐性が向上する。
 また、実施形態2に係る高周波モジュール1では、実装基板4の厚さ方向である第1方向D1からの平面視において、第1フィルタ11及び第2フィルタ12を含む第1電子部品51aと、第1スイッチ13及び第2スイッチ14を含む第6電子部品56とが重なっている。したがって、第1フィルタ11と第1スイッチ13の共通端子130との間の配線が短い。また、第2フィルタ12と第2スイッチ14の共通端子140との間の配線が短い。そのため、第1フィルタ11を流れる信号及び第2フィルタ12を通過する信号の各々の信号品質が向上する。すなわち、高周波モジュール1では、第1フィルタ11及び第2フィルタ12のノイズ耐性が向上する。
 また、実施形態2に係る高周波モジュール1では、第2基板61Bと第1基板61Aとの間に位置する導電体661又は枠体662と、第1基板61Aを第1方向D1に貫通しているビア導体671とが、実装基板4のグランド電極に接続されている。したがって、導電体661及びビア導体671が、第1上部電極643A、第1圧電体膜644A、第1下部電極645A及び第2上部電極643B、第2圧電体膜644B、第2下部電極645Bと、第1電子部品51aの外部との間の電磁シールドとして機能する。したがって、高周波モジュール1を通過する信号の信号品質が向上する。すなわち、高周波モジュール1では、第1フィルタ11及び第2フィルタ12のノイズ耐性が向上する。
 (実施形態3)
 実施形態3に係る高周波モジュール1bについて、図5及び図6を参照して説明する。実施形態3に係る高周波モジュール1bに関し、実施形態1に係る高周波モジュール1と同様の構成については、同一の符号を付して説明を省略する。
 実施形態3に係る高周波モジュール1bは、図6に示すように、第2フィルタ12に替えて、第2送信フィルタ12aと第2受信フィルタ12bとを備える。また、実施形態3に係る高周波モジュール1bは、図6に示すように、第2スイッチ14を有さず、第3スイッチ18を備える。
 (1)高周波モジュールの回路構成
 実施形態3に係る高周波モジュール1bは、図6に示すように、第1フィルタ11と、第2送信フィルタ12aと、第2受信フィルタ12bと、を備える。また、実施形態3に係る高周波モジュール1bは、第1スイッチ13と、第3スイッチ18と、を更に備える。また、実施形態3に係る高周波モジュール1bは、パワーアンプ151と、パワーアンプ152と、ローノイズアンプ161と、ローノイズアンプ162と、を更に備える。また、実施形態1に係る高周波モジュール1は、複数(図示例では5つ)の外部接続端子17を更に備える。複数の外部接続端子17は、アンテナ端子171と、第1入力端子172と、第2入力端子173と、第1出力端子174と、第2出力端子175と、を含む。
 (1.1)第2送信フィルタ、第2受信フィルタ
 第2送信フィルタ12a及び第2受信フィルタ12bは、第1フィルタ11とは異なる周波数帯域の信号を通過させるフィルタである。より詳細には、第2送信フィルタ12aは、第2通信バンドの送信信号を通過させるフィルタである。第2受信フィルタ12bは、第2通信バンドの受信信号を通過させるフィルタである。
 第2送信フィルタ12a及び第2受信フィルタ12bの各々は、1以上の弾性波共振子を有する弾性波フィルタである。第1フィルタ11、第2送信フィルタ12a及び第2受信フィルタ12bは、単一の電子部品に含まれる。
 第2送信フィルタ12aは、入力端子(図示しない)及び出力端子(図示しない)を有する。第2送信フィルタ12aの入力端子は、パワーアンプ152の出力端子に接続されている。また、第2送信フィルタ12aの出力端子は、第3スイッチ18の選択端子182に接続されている。
 第2受信フィルタ12bは、入力端子(図示しない)及び出力端子(図示しない)を有する。第2受信フィルタ12bの入力端子は、第3スイッチ18の選択端子183に接続されている。また、第2受信フィルタ12bの出力端子は、ローノイズアンプ162の入力端子に接続されている。
 (1.2)第3スイッチ
 第3スイッチ18は、図6に示すように、第1フィルタ11、第2送信フィルタ12a、及び第2受信フィルタ12bの中からアンテナ端子171に接続される経路を切り替えるためのスイッチである。つまり、第3スイッチ18は、アンテナ端子171に接続させる経路を切り替えるためのスイッチである。第3スイッチ18は、共通端子180と、複数(図示例では3つ)の選択端子181,182,183と、を有する。
 共通端子180は、アンテナ端子171に接続されている。選択端子181は、第1フィルタ11に接続されている。また、選択端子182は、第2送信フィルタ12aに接続されている。また、選択端子183は、第2受信フィルタ12bに接続されている。
 第3スイッチ18は、共通端子180と複数の選択端子181,182,183との接続を切り替える。より詳細には、第3スイッチ18は、選択端子182,183のいずれか一方を共通端子180と接続するか、又は、共通端子180を選択端子182,183のいずれとも接続しない。また、第3スイッチ18は、選択端子181を共通端子180と接続するか、又は、接続しない。
 (2)高周波モジュールの構造
 次に、実施形態3に係る高周波モジュール1bの構造について説明する。
 実施形態3に係る高周波モジュール1bは、第1電子部品51に替えて第1電子部品51bを備えている。第1電子部品51bは、第1フィルタ11と、第2送信フィルタ12aと、第2受信フィルタ12bと、を含む。
 第1フィルタ11と、第2送信フィルタ12aと、第2受信フィルタ12bとの各々は、例えば、複数の直列腕共振子及び複数の並列腕共振子を含む弾性波フィルタである。
 第1電子部品51bは、図5に示すように、第1基板61Aと、第1低音速膜62Aと、第1圧電体層63Aと、第1回路部642Aと、を有する。第1基板61Aは、第1基板61Aの厚さ方向において互いに対向する主面611A及び主面612Aを有する。第1回路部642Aは、複数の第1IDT電極641Aを含む。本実施形態では、複数の第1IDT電極641Aが、第1機能電極である。第1低音速膜62Aは、第1基板61Aの主面611A上に設けられている。複数の第1IDT電極641Aは、第1圧電体層63A上に設けられている。第1フィルタ11は、第1基板61Aと、第1低音速膜62Aと、第1圧電体層63Aと、複数の第1IDT電極641Aと、第1回路部642Aとを含む。複数の第1IDT電極641Aは、第1基板61Aの主面611Aと第2基板61Bの主面611Bとの間に形成される中空空間SP0に位置している。
 第1電子部品51bは、図5に示すように、第2基板61Bと、第2低音速膜62Bと、第2圧電体層63Bと、第2回路部642Bと、を更に有する。第2基板61Bは、第2基板61Bの厚さ方向において互いに対向する主面611B及び主面612Bを有する。第2回路部642Bは、複数の第2IDT電極641Bと、複数の第3IDT電極641Cと、を含む。本実施形態では、複数の第2IDT電極641B及び第3IDT電極641Cが、第2機能電極である。第2低音速膜62Bは、第2基板61Bの主面611B上に設けられている。第2送信フィルタ12aは、第2基板61Bと、第2低音速膜62Bと、第2圧電体層63Bと、複数の第2IDT電極641Bと、を含む。また、第2受信フィルタ12bは、第2基板61Bと、第2低音速膜62Bと、第2圧電体層63Bと、第3IDT電極641Cと、を含む。すなわち、第2送信フィルタ12a及び第2受信フィルタ12bは、第1フィルタ11上に配置されている。本実施形態では、第2送信フィルタ12a及び第2受信フィルタ12bが、第2弾性波フィルタである。第2IDT電極641B及び第3IDT電極641Cは、中空空間SP0に位置している。また、第2送信フィルタ12a及び第2受信フィルタ12bにおいて第1フィルタ11側とは反対側の主面121は、第2基板61Bの主面612Bである。
 第1シールド電極65は、第1IDT電極641Aと、第2IDT電極641B及び第3IDT電極641Cとの間の電磁シールドを目的として設けられているシールド電極である。第1シールド電極65は、第1IDT電極641Aと、第2IDT電極641B及び第3IDT電極641Cとのうち少なくとも一方を覆っている。本実施形態では、第1シールド電極65は、第2IDT電極641B及び第3IDT電極641Cを覆っている。より詳細には、第1シールド電極65は、中空空間SP0を、第1IDT電極641Aが位置している第1空間SP1と、第2IDT電極641B及び第3IDT電極641Cが位置している第2空間SP2と、に区画する。また、第1方向D1からの平面視において、第1シールド電極65は、第1IDT電極641Aと重なり、かつ、第2IDT電極641B及び第3IDT電極641Cと重なっている。
 (3)効果
 実施形態3に係る高周波モジュール1bでは、第1シールド電極65が、中空空間SP0に位置し、かつ、第1機能電極である第1IDT電極641Aと、第2機能電極である第2IDT電極641B及び第3IDT電極641Cと、のうち少なくとも一方を覆っている。したがって、第1フィルタ11と、第2送信フィルタ12a及び第2受信フィルタ12bと、の間のアイソレーションを向上させることができる。特に、第1フィルタ11を送信信号が通過し、第2受信フィルタ12bを受信信号が通過する場合に、第1フィルタ11と第2受信フィルタ12bとの間のアイソレーションを向上させることができる。同様に、第1フィルタ11を受信信号が通過し、第2送信フィルタ12aを送信信号が通過する場合にも、第1フィルタ11と第2送信フィルタ12aとの間のアイソレーションを向上させることができる。したがって、第1フィルタ11を用いた第1通信バンドによるTDD通信と、第2フィルタ12を用いた第2通信バンドによるTDD通信とを非同期で同時通信することが可能となる。
 また、実施形態3に係る高周波モジュール1bでは、樹脂層68が第1フィルタ11、第2送信フィルタ12a、及び第2受信フィルタ12bの少なくとも一部を覆っており、第2シールド電極69が樹脂層68の少なくとも一部を覆っている。したがって、第2シールド電極69が第1フィルタ11、第2送信フィルタ12a及び第2受信フィルタ12bと、第1フィルタ11の外部、第2送信フィルタ12aの外部及び第2受信フィルタ12bの外部との間の電磁シールドとして機能する。これにより、高周波モジュール1を通過する信号の信号品質が向上する。すなわち、高周波モジュール1bでは、第1フィルタ11、第2送信フィルタ12a及び第2受信フィルタ12bのノイズ耐性が向上する。
 また、実施形態3に係る高周波モジュール1bでは、第2シールド電極69が、第2送信フィルタ12a及び第2受信フィルタ12bにおける第1フィルタ11側とは反対側の主面121と接触している。したがって、第2IDT電極641B及び第3IDT電極641Cが、第1シールド電極65と第2シールド電極69とによって囲まれている。これにより、第1シールド電極65及び第2シールド電極69が、第2IDT電極641B及び第3IDT電極641Cと、第2送信フィルタ12a及び第2受信フィルタ12bの外部との間の電磁シールドとして機能する。そのため、第2送信フィルタ12a及び第2受信フィルタ12bを通過する信号の信号品質が向上する。すなわち、高周波モジュール1bでは、第2送信フィルタ12a及び第2受信フィルタ12bのノイズ耐性が向上する。
 また、実施形態3に係る高周波モジュール1bでは、実装基板4の厚さ方向である第1方向D1からの平面視において、第1フィルタ11を含む第1電子部品51bと、第1スイッチ13を含む第6電子部品56とが重なっている。したがって、第1フィルタ11と第1スイッチ13の共通端子130との間の配線が短い。そのため、第1フィルタ11を通過する信号の信号品質が向上する。すなわち、高周波モジュール1bでは、第1フィルタ11のノイズ耐性が向上する。
 また、実施形態3に係る高周波モジュール1bでは、第2基板61Bと第1基板61Aとの間に位置する導電体661と、第1基板61Aを第1方向D1に貫通しているビア導体671とが、実装基板4のグランド電極に接続されている。したがって、導電体661及びビア導体671が、第1IDT電極641Aと、第1電子部品51bの外部との間の電磁シールドとして機能する。したがって、第1フィルタ11を通過する信号の信号品質が向上する。すなわち、高周波モジュール1bでは、第1フィルタ11のノイズ耐性が向上する。
 また、実施形態3に係る高周波モジュール1bでは、第2送信フィルタ12a及び第2受信フィルタ12bを通過する信号のパワークラスは、第1フィルタ11を通過する信号のパワークラスよりも最大出力パワーが高い。したがって、第2送信フィルタ12a及び第2受信フィルタ12bによる発熱が、第1フィルタ11による発熱よりも大きい。実施形態1に係る高周波モジュール1では、第2送信フィルタ12a及び第2受信フィルタ12bで生じた熱を第2シールド電極69から放熱する放熱経路が存在する。そのため、第2送信フィルタ12a及び第2受信フィルタ12bで生じる熱が第1フィルタ11、第2送信フィルタ12a及び第2受信フィルタ12bに与える影響を小さくすることができる。
 (変形例)
 以下、実施形態1~3の変形例について説明する。
 実施形態1及び3に係る第1フィルタ11、第2フィルタ12、第2送信フィルタ12a、第2受信フィルタ12bの各々は、ラダー型フィルタに限らず、例えば、縦結合振動子型弾性波フィルタであってもよい。
 また、実施形態1及び3に係る第1フィルタ11、第2フィルタ12、第2送信フィルタ12a、第2受信フィルタ12bの各々は、表面弾性波フィルタである。また、実施形態2に係る第1フィルタ11及び第2フィルタ12の各々は、バルク弾性波フィルタである。これらの弾性波フィルタは、これに限られず、例えば、第1フィルタ11が表面弾性波フィルタであり、第2フィルタ12がバルク弾性波フィルタであってもよい。また、これらの弾性波フィルタは、例えば、弾性境界波、板波等を利用する弾性波フィルタであってもよい。
 実施形態3に係る第1フィルタ11は、送信信号と受信信号のいずれも通過する送受信フィルタであるが、これに限られず、例えば、第2送信フィルタ12a及び第2受信フィルタ12bと同様に、第1送信フィルタと第1受信フィルタとの組合せであってもよい。同様に、実施形態2に係る第1フィルタ11及び第2フィルタ12は、少なくとも一方が、送信フィルタと受信フィルタとの組合せであってよい。
 また、実施形態1及び2に係る第1フィルタ11及び第2フィルタ12は、送信信号と受信信号のいずれも通過する送受信フィルタであるが、これに限られない。例えば、第1フィルタ11が送信フィルタであり、第2フィルタ12が受信フィルタであってもよい。また、例えば、第1フィルタ11が受信フィルタであり、第2フィルタ12が送信フィルタであってもよい。これらの場合において、第1フィルタ11と第2フィルタ12のいずれか一方が、送受信フィルタであってもよい。
 実施形態1~3に係る高周波モジュール1,1bにおいて、第1シールド電極65は第2IDT電極641B、第3IDT電極641C、又は第2上部電極643Bを覆っているとしたが、これに限られない。例えば、第1シールド電極65は、第1IDT電極641Aを覆っている構成としてもよい。また、例えば、高周波モジュール1は2つの第1シールド電極65を備え、第1IDT電極641Aと第2IDT電極641Bの各々が異なる第1シールド電極65に覆われている構成としてもよい。
 実施形態1~3に係る高周波モジュール1,1bにおいて、第1通信バンドは3GPP LTE規格のBand39であり、第2通信バンドは3GPP LTE規格のBand41であるが、これに限られない。第1通信バンド及び第2通信バンドの組合せは、いずれもTDD用バンドであり、非同期通信が可能であれば、その組合せは自由である。例えば、第1通信バンド及び第2通信バンドの組合せは、3GPP LTE規格のBand39とBand40との組合せであってもよい。また、例えば、第1通信バンド及び第2通信バンドの組合せは、3GPP LTE規格のBand40とBand41との組合せであってもよい。この場合において、第2通信バンドの信号のパワークラスが第1通信バンドの信号のパワークラスより大きい場合、上述したように、第2フィルタ12で生じた熱が第2シールド電極69から放熱されることにより、高周波モジュール1の放熱性が向上する。
 なお、第1通信バンドの信号のパワークラスが第2通信バンドの信号のパワークラスより大きくてもよい。例えば、第1通信バンドは3GPP LTE規格のBand41であり、第2通信バンドは3GPP LTE規格のBand39である。この場合、第1フィルタ11で生じた熱が実装基板4から放熱されることにより、高周波モジュール1の放熱性が向上する。
 実施形態1~3に係る高周波モジュール1,1bにおいて、第6電子部品56が第1スイッチ13及び第2スイッチ14を含み、第1方向D1からの平面視において第1電子部品51と重なるが、これに限られない。例えば、第6電子部品56が第1スイッチ13を含み、高周波モジュール1は第2スイッチ14を含む第7電子部品を含み、第7電子部品は実装基板4の第2主面42に配置され、第1方向D1からの平面視において第7電子部品が第1電子部品51と重なってもよい。
 実施形態1~3に係る高周波モジュール1,1bはアンテナ端子171を有し、通信装置10のアンテナ3は高周波モジュール1,1bのアンテナ端子171に接続されるが、これに限られない。例えば、高周波モジュール1,1bは、複数のアンテナ端子を備え、通信装置10は、複数のアンテナ端子の各々に接続されるアンテナを有していてもよい。この場合、高周波モジュール1,1bは、複数のアンテナ端子の各々について、送信経路、受信経路、又は送受信経路のいずれかに接続するかを選択するアンテナスイッチを有している。なお、アンテナスイッチは、実施形態3に係る第3スイッチ18と一体であってもよい。
 本明細書において、「要素は、基板の第1主面に配置されている」は、要素が基板の第1主面上に直接実装されている場合だけでなく、基板で隔された第1主面側の空間及び第2主面側の空間のうち、第1主面側の空間に要素が配置されている場合を含む。つまり、「要素は、基板の第1主面に配置されている」は、要素が基板の第1主面上に、他の回路素子又は電極等を介して実装されている場合を含む。要素は、例えば、第1電子部品51であるが、第1電子部品51に限定されない。基板は、例えば、実装基板4である。基板が実装基板4である場合、第1主面は第1主面41であり、第2主面は第2主面42である。
 (態様)
 本明細書には、以下の態様が開示されている。
 第1の態様に係る高周波モジュール(1;1b)は、実装基板(4)と、第1弾性波フィルタ(11)と、第2弾性波フィルタ(12;12a,12b)と、第1シールド電極(65)と、を備える。実装基板(4)は、互いに対向する第1主面(41)及び第2主面(42)を有する。第1弾性波フィルタ(11)は、実装基板(4)の第1主面(41)に配置されている。第2弾性波フィルタ(12;12a,12b)は、第1弾性波フィルタ(11)上に配置されている。第1弾性波フィルタ(11)は、TDD用の第1通信バンドの送信又は受信に対応する。第2弾性波フィルタ(12;12a,12b)は、TDD用の第2通信バンドの送信又は受信に対応する。第1弾性波フィルタ(11)と第2弾性波フィルタ(12;12a,12b)の組合せは、送信に対応したフィルタと受信に対応したフィルタとの組合せである。第1通信バンドと第2通信バンドとは、非同期通信が可能である。第1弾性波フィルタ(11)は、第1支持部材(61A)と、第1機能電極(641A;643A)と、を有する。第1支持部材(61A)は、第3主面(611A)を有する。第1機能電極(641A;643A)は、第1支持部材(61A)の第3主面(611A)に設けられている。第2弾性波フィルタ(12;12a,12b)は、第2支持部材(61B)と、第2機能電極(641B,641C;643B)と、を有する。第2支持部材(61B)は、第4主面(611B)を有する。第2機能電極(641B,641C;643B)は、第2支持部材(61B)の第4主面(611B)に設けられている。第1機能電極(641A;643A)及び第2機能電極(641B,641C;643B)は、中空空間(SP0)に位置し、かつ、互いに対向している。中空空間(SP0)は、実装基板(4)の厚さ方向(D1)において第1支持部材(61A)と第2支持部材(61B)との間に形成されている。第1シールド電極(65)は、中空空間(SP0)に位置し、かつ、第1機能電極(641A;643A)と第2機能電極(641B,641C;643B)との少なくとも一方を覆う。
 上記態様に係る高周波モジュール(1;1b)によれば、第1シールド電極(65)が第1機能電極(641A;643A)と第2機能電極(641B,641C;643B)との間の電磁シールドとして機能する。したがって、TDDによる非同期通信時に、第1弾性波フィルタ(11)と第2弾性波フィルタ(12;12a,12b)との間のアイソレーションを向上させることが可能となる。
 第2の態様に係る高周波モジュール(1)では、第1の態様において、第1スイッチ(13)と、第2スイッチ(14)と、を更に備える。第1スイッチ(13)は、第1弾性波フィルタ(11)に接続されている。第2スイッチ(14)は、第2弾性波フィルタ(12)に接続されている。
 上記態様に係る高周波モジュール(1)によれば、第1弾性波フィルタ(11)及び第2弾性波フィルタ(12)を、送受信フィルタとして用いることができる。また、上記態様に係る高周波モジュール(1)によれば、第1弾性波フィルタ(11)及び第2弾性波フィルタ(12)を、同一の通信バンドを用いる複数の外部回路で共有することができる。したがって、高周波モジュール(1)の小型化が可能となる。
 第3の態様に係る高周波モジュール(1)は、第2の態様において、実装基板(4)の第2主面(42)上に配置されている電子部品(56)を更に備える。電子部品(56)は、第1スイッチ(13)と第2スイッチ(14)とのうち少なくとも1つを含むICである。
 上記態様に係る高周波モジュール(1)によれば、第1スイッチ(13)又は第2スイッチ(14)と、第1弾性波フィルタ(11)及び第2弾性波フィルタ(12)とを実装基板(4)の異なる主面に配置する。したがって、第1弾性波フィルタ(11)と、第2弾性波フィルタ(12)との間のアイソレーションを向上させることができる。
 第4の態様に係る高周波モジュール(1)では、第3の態様において、電子部品(56)は、実装基板(4)の厚さ方向(D1)からの平面視において、第1弾性波フィルタ(11)と重なる。
 上記態様に係る高周波モジュール(1)によれば、第1スイッチ(13)と第1弾性波フィルタ(11)との間の配線と、第2スイッチ(14)と第2弾性波フィルタ(12)との間の配線と、の少なくとも一方を短くすることができる。したがって、第1弾性波フィルタ(11)を通過する第1通信バンドの信号、及び、第2弾性波フィルタ(12)を通過する第2通信バンドの信号の信号品質を向上させることが可能となる。すなわち、高周波モジュール(1)では、第1弾性波フィルタ(11)及び第2弾性波フィルタ(12)のノイズ耐性が向上する。
 第5の態様に係る高周波モジュール(1;1b)は、第1から第4の態様のいずれかにおいて、樹脂層(68)と、第2シールド電極(69)と、を更に備える。樹脂層(68)は、第1弾性波フィルタ(11)及び第2弾性波フィルタ(12;12a,12b)の少なくとも一部を覆う。第2シールド電極(69)は、樹脂層(68)の少なくとも一部を覆う。
 上記態様に係る高周波モジュール(1;1b)によれば、第2シールド電極(69)が、第1機能電極(641A;643A)及び第2機能電極(641B,641C;643B)と第1弾性波フィルタ(11)の外及び第2弾性波フィルタ(12;12a,12b)の外との間の電磁シールドとして機能する。したがって、高周波モジュール(1;1b)を通過する第1通信バンドの信号及び第2通信バンドの信号の信号品質を向上させることが可能となる。すなわち、高周波モジュール(1;1b)では、第1弾性波フィルタ(11)及び第2弾性波フィルタ(12;12a,12b)のノイズ耐性が向上する。
 第6の態様に係る高周波モジュール(1;1b)では、第5の態様において、第2弾性波フィルタ(12;12a,12b)における第1弾性波フィルタ(11)側とは反対側の第5主面(121)は、第2シールド電極(69)と接触している。
 上記態様に係る高周波モジュール(1;1b)によれば、第1シールド電極(65)と第2シールド電極(69)とが、第2機能電極(641B,641C;643B)と第2弾性波フィルタ(12;12a,12b)の外との間の電磁シールドとして機能する。したがって、第2弾性波フィルタ(12;12a,12b)を通過する第2通信バンドの信号の信号品質を向上させることが可能となる。すなわち、高周波モジュール(1;1b)では、第2弾性波フィルタ(12;12a,12b)のノイズ耐性が向上する。
 第7の態様に係る高周波モジュール(1;1b)は、第1から第6の態様のいずれかにおいて、導電体(661、662)を更に備える。導電体(661、662)は、第1弾性波フィルタ(11)と第2弾性波フィルタ(12;12a,12b)とを接続する。導電体(661、662)は、第1支持部材(61A)の第3主面(611A)と第2支持部材(61B)の第4主面(611B)との間に位置する。第1支持部材(61A)は、第1支持部材(61A)の厚さ方向に貫通しているビア導体(671)を更に有する。実装基板(4)は、グランド電極を有する。導電体(661、662)及びビア導体(671)は、実装基板(4)のグランド電極に接続される。
 上記態様に係る高周波モジュール(1;1b)によれば、導電体(661、662)と、ビア導体(671)とが、第1機能電極(641A;643A)と、第1弾性波フィルタ(11)の外との間の電磁シールドとして機能する。したがって、高周波モジュール(1を)通過する第1通信バンドの信号の信号品質の劣化を抑止することが可能となる。
 第8の態様に係る高周波モジュール(1;1b)では、第1から第7の態様のいずれかにおいて、第1弾性波フィルタ(11)は、第1パワークラスの信号のフィルタである。第2弾性波フィルタ(12;12a,12b)は、第1パワークラスよりも最大出力パワーが高い第2パワークラスの信号のフィルタである。
 上記態様に係る高周波モジュール(1;1b)によれば、第1弾性波フィルタ(11)の発熱よりも第2弾性波フィルタ(12)の発熱の方が大きい。一方で、第2弾性波フィルタ(12;12a,12b)からの発熱は、第1シールド電極(65)によって第1弾性波フィルタ(11)側への伝搬が妨げられ、実装基板(4)とは反対側に放熱される。したがって、第1弾性波フィルタ(11)及び第2弾性波フィルタ(12;12a,12b)の放熱性を向上させることが可能となる。
 第9の態様に係る高周波モジュール(1;1b)では、第1から第8の態様のいずれかにおいて、第1弾性波フィルタ(11)は、3GPP LTE規格のBand39のフィルタであり、第2弾性波フィルタ(12;12a,12b)は、3GPP LTE規格のBand41のフィルタである。
 上記態様に係る高周波モジュール(1;1b)によれば、3GPP LTE規格のBand39とBand41とを用いたTDD非同期通信が可能となる。
 第10の態様に係る通信装置(10)は、第1から第9の態様のいずれかにおける高周波モジュール(1;1b)と、信号処理回路(2)と、を備える。信号処理回路(2)は、高周波モジュール(1;1b)に接続されている。
 上記態様に係る通信装置(10)によれば、高周波モジュール(1;1b)において、第1シールド電極(65)が第1機能電極(641A;643A)と第2機能電極(641B,641C;643B)との間の電磁シールドとして機能する。したがって、TDDによる非同期通信時に、第1弾性波フィルタ(11)と、第2弾性波フィルタ(12;12a,12b)との間のアイソレーションを向上させることができる。
 1、1b 高周波モジュール
 10 通信装置
 11 第1フィルタ(第1弾性波フィルタ)
 12 第2フィルタ(第2弾性波フィルタ)
 12a 第2送信フィルタ(第2弾性波フィルタ)
 12b 第2受信フィルタ(第2弾性波フィルタ)
 121 主面(第5主面)
 13 第1スイッチ
 130 共通端子
 131 選択端子
 132 選択端子
 14 第2スイッチ
 140 共通端子
 141 選択端子
 142 選択端子
 151 パワーアンプ
 152 パワーアンプ
 161 ローノイズアンプ
 162 ローノイズアンプ
 17 外部接続端子
 171 アンテナ端子
 172 第1入力端子
 173 第2入力端子
 174 第1出力端子
 175 第2出力端子
 18 第3スイッチ
 180 共通端子
 181 選択端子
 182 選択端子
 183 選択端子
 2 信号処理回路
 21 RF信号処理回路
 22 ベースバンド信号処理回路
 3 アンテナ
 4 実装基板
 41 第1主面
 42 第2主面
 51、51a、51b 第1電子部品
 52 第2電子部品
 53 第3電子部品
 54 第4電子部品
 55 第5電子部品
 56 第6電子部品(電子部品)
 61A 第1基板(第1支持部材)
 611A 主面(第3主面)
 612A 主面
 61B 第2基板(第2支持部材)
 611B 主面(第4主面)
 612B 主面
 62A 第1低音速膜
 62B 第2低音速膜
 63A 第1圧電体層
 63B 第2圧電体層
 641A 第1IDT電極(第1機能電極)
 641B 第2IDT電極(第2機能電極)
 641C 第3IDT電極(第2機能電極)
 642A 第1回路部
 642B 第2回路部
 643A 第1上部電極(第1機能電極)
 643B 第2上部電極(第2機能電極)
 644A 第1圧電体膜
 644B 第2圧電体膜
 645A 第1下部電極
 645B 第2下部電極
 646A 空洞
 646B 空洞
 65 第1シールド電極
 661 導電体
 662 枠体(導電体)
 671 ビア導体
 672 バンプ
 68 樹脂層
 69 第2シールド電極
 D1 第1方向
 SP0 中空空間
 SP1 第1空間
 SP2 第2空間

Claims (10)

  1.  互いに対向する第1主面及び第2主面を有する実装基板と、
     前記実装基板の前記第1主面に配置されている第1弾性波フィルタと、
     前記第1弾性波フィルタ上に配置されている第2弾性波フィルタと、
     第1シールド電極と、を備え、
     前記第1弾性波フィルタは、TDD用の第1通信バンドの送信又は受信に対応し、
     前記第2弾性波フィルタは、TDD用の第2通信バンドの送信又は受信に対応し、
     前記第1弾性波フィルタと前記第2弾性波フィルタの組合せは、送信に対応したフィルタと受信に対応したフィルタとの組合せであり、
     前記第1通信バンドと前記第2通信バンドとは、非同期通信が可能であり、
     前記第1弾性波フィルタは、
      第3主面を有する第1支持部材と、
      前記第1支持部材の前記第3主面に設けられている第1機能電極と、を有し、
     前記第2弾性波フィルタは、
      第4主面を有する第2支持部材と、
      前記第2支持部材の前記第4主面に設けられている第2機能電極と、を有し、
     前記第1機能電極及び前記第2機能電極は、前記実装基板の厚さ方向において前記第1支持部材と前記第2支持部材との間に形成された中空空間に位置し、かつ、互いに対向しており、
     前記第1シールド電極は、前記中空空間に位置し、かつ、前記第1機能電極と前記第2機能電極との少なくとも一方を覆う、
     高周波モジュール。
  2.  前記第1弾性波フィルタに接続されている第1スイッチと、
     前記第2弾性波フィルタに接続されている第2スイッチと、
     を更に備える、
     請求項1に記載の高周波モジュール。
  3.  前記実装基板の前記第2主面に配置されている電子部品を更に備え、
     前記電子部品は、前記第1スイッチと前記第2スイッチとのうち少なくとも1つを含むICである、
     請求項2に記載の高周波モジュール。
  4.  前記電子部品は、前記実装基板の厚さ方向からの平面視において、前記第1弾性波フィルタと重なる、
     請求項3に記載の高周波モジュール。
  5.  前記第1弾性波フィルタ及び前記第2弾性波フィルタの少なくとも一部を覆う樹脂層と、
     前記樹脂層の少なくとも一部を覆う第2シールド電極と、
     を更に備える、
     請求項1から4のいずれか1項に記載の高周波モジュール。
  6.  前記第2弾性波フィルタにおける前記第1弾性波フィルタ側とは反対側の第5主面は、前記第2シールド電極と接触している、
     請求項5に記載の高周波モジュール。
  7.  前記第1弾性波フィルタと前記第2弾性波フィルタとを接続する導電体を更に備え、
     前記導電体は、前記第1支持部材の前記第3主面と前記第2支持部材の前記第4主面との間に位置し、
     前記第1支持部材は、前記第1支持部材の厚さ方向に貫通しているビア導体を更に有し、
     前記実装基板は、グランド電極を有し、
     前記導電体及び前記ビア導体は、前記実装基板のグランド電極に接続される、
     請求項1から6のいずれか1項に記載の高周波モジュール。
  8.  前記第1弾性波フィルタは、第1パワークラスの信号のフィルタであり、
     前記第2弾性波フィルタは、前記第1パワークラスよりも最大出力パワーが高い第2パワークラスの信号のフィルタである、
     請求項1から7のいずれか1項に記載の高周波モジュール。
  9.  前記第1弾性波フィルタは、3GPP LTE規格のBand39のフィルタであり、前記第2弾性波フィルタは、3GPP LTE規格のBand41のフィルタである、
     請求項1から8のいずれか1項に記載の高周波モジュール。
  10.  請求項1から9のいずれか1項に記載の高周波モジュールと、
     前記高周波モジュールに接続されている信号処理回路と、
     を備える、
     通信装置。
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