WO2023182538A1 - 반도체 발광소자 디스플레이 장치의 조립기판 구조 및 이를 포함하는 디스플레이 장치 - Google Patents

반도체 발광소자 디스플레이 장치의 조립기판 구조 및 이를 포함하는 디스플레이 장치 Download PDF

Info

Publication number
WO2023182538A1
WO2023182538A1 PCT/KR2022/003902 KR2022003902W WO2023182538A1 WO 2023182538 A1 WO2023182538 A1 WO 2023182538A1 KR 2022003902 W KR2022003902 W KR 2022003902W WO 2023182538 A1 WO2023182538 A1 WO 2023182538A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
electrode
assembly
assembled
emitting device
semiconductor light
Prior art date
Application number
PCT/KR2022/003902
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
변양우
안재용
Original Assignee
엘지전자 주식회사
엘지디스플레이 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 엘지전자 주식회사, 엘지디스플레이 주식회사 filed Critical 엘지전자 주식회사
Priority to PCT/KR2022/003902 priority Critical patent/WO2023182538A1/ko
Priority to US18/123,738 priority patent/US20230299064A1/en
Publication of WO2023182538A1 publication Critical patent/WO2023182538A1/ko

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L33/00Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L33/005Processes
    • H01L33/0095Post-treatment of devices, e.g. annealing, recrystallisation or short-circuit elimination
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L25/00Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof
    • H01L25/16Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof the devices being of types provided for in two or more different main groups of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. forming hybrid circuits
    • H01L25/167Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof the devices being of types provided for in two or more different main groups of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. forming hybrid circuits comprising optoelectronic devices, e.g. LED, photodiodes
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L25/00Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof
    • H01L25/03Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes
    • H01L25/04Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes the devices not having separate containers
    • H01L25/075Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes the devices not having separate containers the devices being of a type provided for in group H01L33/00
    • H01L25/0753Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes the devices not having separate containers the devices being of a type provided for in group H01L33/00 the devices being arranged next to each other
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L33/00Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L33/48Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor body packages
    • H01L33/62Arrangements for conducting electric current to or from the semiconductor body, e.g. lead-frames, wire-bonds or solder balls

Definitions

  • One of the technical challenges of the embodiment is to solve the problem of low self-assembly rate due to non-uniformity of DEP force in self-assembly method using dielectrophoresis (DEP).
  • the first metal layer 215, which can function as a floating electrode, is placed side by side with the second assembly electrode 220 at the same height to strengthen the DEP force just before assembly and at the same time, the force acting on the LED chip after assembly.
  • the first metal layer 215 which can function as a floating electrode
  • the semiconductor light emitting device 150 may be implemented as a vertical semiconductor light emitting device as shown, but is not limited to this and a horizontal light emitting device may be employed.
  • the horizontal assembled electrode structure in which the first assembled electrode and the second assembled electrode are arranged horizontally at the same height has an insulating film formed on the upper part of the electrode. Accordingly, in the case of the first internal technology, when the semiconductor light emitting device is a vertical LED, it is difficult to electrically connect the lower electrode of the LED and the assembly electrode without a separate process. Meanwhile, in order to emit light through the lower electrode of a vertical LED, a signal application electrode must be formed between the horizontal assembled electrode structures. As the LED chip becomes smaller, the gap between the horizontal assembled electrode structures narrows, making it difficult to form a signal application electrode. There is also the problem of the LED chip being assembled in a tilted state.
  • the negative (-) DEP force (-DEP) in the positive direction of the Z axis is more dominant, so that the light emitting device 150 is separated from the second assembled electrode 202. There is a problem of pushing in the direction away from you.
  • the second embodiment may include a first insulating layer 212a and a second insulating layer 212b respectively disposed on the first metal layer 215 and the second assembled electrode 220.

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Electroluminescent Light Sources (AREA)

Abstract

실시예는 반도체 발광소자를 포함하는 디스플레이 장치에 관한 것이다. 실시예에 따른 반도체 발광소자 디스플레이 장치는, 기판과, 상기 기판 상에 배치된 제1 조립 전극과, 상기 제1 조립 전극 상측에 배치된 제2 조립 전극과, 상기 제1 조립 전극과 상기 제2 조립 전극 사이에 배치되는 절연층과, 상기 절연층 상에 배치되며 상기 제1 조립 전극과 수직으로 중첩되도록 배치되는 제1 메탈층 및 소정의 조립 홀을 구비하며 상기 제1 메탈층 및 상기 제2 조립 전극 상에 배치되는 조립 격벽을 포함할 수 있다.

Description

반도체 발광소자 디스플레이 장치의 조립기판 구조 및 이를 포함하는 디스플레이 장치
실시예는 반도체 발광소자 디스플레이 장치의 조립기판 구조 및 이를 포함하는 디스플레이 장치에 관한 것이다.
대면적 디스플레이는 액정디스플레이(LCD), OLED 디스플레이, 그리고 마이크로-LED 디스플레이(Micro-LED display) 등이 있다.
마이크로-LED 디스플레이는 100㎛ 이하의 직경 또는 단면적을 가지는 반도체 발광소자인 마이크로-LED를 표시소자로 사용하는 디스플레이이다.
마이크로-LED 디스플레이는 반도체 발광소자인 마이크로-LED를 표시소자로 사용하기 때문에 명암비, 응답속도, 색 재현율, 시야각, 밝기, 해상도, 수명, 발광효율이나 휘도 등 많은 특성에서 우수한 성능을 가지고 있다.
특히 마이크로-LED 디스플레이는 화면을 모듈 방식으로 분리, 결합할 수 있어 크기나 해상도 조절이 자유로운 장점 및 플렉서블 디스플레이 구현이 가능한 장점이 있다.
그런데 대형 마이크로-LED 디스플레이는 수백만 개 이상의 마이크로-LED가 필요로 하기 때문에 마이크로-LED를 디스플레이 패널에 신속하고 정확하게 전사하기 어려운 기술적 문제가 있다.
최근 개발되고 있는 전사기술에는 픽앤-플레이스 공법(pick and place process), 레이저 리프트 오프법(Laser Lift-off method) 또는 자가조립 방식(self-assembly method) 등이 있다.
이 중에서, 자가조립 방식은 유체 내에서 반도체 발광소자가 조립위치를 스스로 찾아가는 방식으로서 대화면의 디스플레이 장치의 구현에 유리한 방식이다.
최근에 미국등록특허 제9,825,202 등에서 자가조립에 적합한 마이크로-LED 구조를 제시한 바 있으나, 아직 마이크로-LED의 자가조립을 통하여 디스플레이를 제조하는 기술에 대한 연구가 미비한 실정이다.
특히 종래기술에서 대형 디스플레이에 수백만 개 이상의 반도체 발광소자를 신속하게 전사하는 경우 전사 속도(transfer speed)는 향상시킬 수 있으나 전사 불량률(transfer error rate)이 높아질 수 있어 전사 수율(transfer yield)이 낮아지는 기술적 문제가 있다.
관련 기술에서 유전영동(dielectrophoresis, DEP)을 이용한 자가조립 방식의 전사공정이 시도되고 있으나 DEP force의 불균일성 등으로 인해 자가 조립률이 낮은 문제가 있다.
한편, 비공개 내부기술에 의하면, 자가 조립을 위해서는 DEP Force가 필요한데, DEP Force의 균일한 제어의 어려움으로 자가 조립을 이용한 조립 시 반도체 발광소자가 조립 홀 내에서 정위치가 아닌 곳으로 쏠림 현상이 발생하는 문제가 있다.
또한 이러한 반도체 발광소자의 쏠림 현상으로 인해 이후 전기적 컨택 공정에 있어서 전기적 접촉 특성이 저하되어 점등률이 저하되는 문제가 있다.
그러므로 비공개 내부기술에 의하면 자기 조립을 위해 DEP Force가 필요하나 DEP Force를 이용하는 경우 반도체 발광소자의 쏠림 현상으로 인해 전기적 접촉 특성이 저하되는 기술적 모순에 직면하고 있다.
또한 비공개 내부기술에서의 조립 기판은 직선 구조의 단일 조립 전극을 갖는 구조인데, 단면이 원형인 발광소자를 조립했을 시 조립 홀에서 좌우 일측 또는 조립 홀에 걸쳐서 위치하게 되어 조립 홀에 정 조립되기 어려운 문제가 있다.
실시예의 기술적 과제 중의 하나는 유전영동(dielectrophoresis, DEP)을 이용한 자가조립 방식에서 DEP force의 불균일성 등으로 인해 자가 조립률이 낮은 문제를 해결하고자 함이다.
또한 실시예는 자기 조립을 위해 DEP Force가 필요하나 DEP Force를 이용하는 경우 반도체 발광소자의 쏠림 현상으로 인해 전기적 접촉 특성이 저하되는 기술적 모순을 해결하고자 함이다.
실시예의 기술적 과제는 본 항목에 기재된 것에 한정되지 않으며, 명세서를 전체를 통해 파악될 수 있는 것을 포함한다.
실시예에 따른 반도체 발광소자 디스플레이 장치는, 기판과, 상기 기판 상에 배치된 제1 조립 전극과, 상기 제1 조립 전극 상측에 배치된 제2 조립 전극과, 상기 제1 조립 전극과 상기 제2 조립 전극 사이에 배치되는 절연층과, 상기 절연층 상에 배치되며 상기 제1 조립 전극과 수직으로 중첩되도록 배치되는 제1 메탈층 및 소정의 조립 홀을 구비하며 상기 제1 메탈층 및 상기 제2 조립 전극 상에 배치되는 조립 격벽을 포함할 수 있다.
상기 제2 조립 전극은, 상기 제1 조립 전극과 수평 이격되어 배치되는 제2-1 조립 전극 및 상기 제2-1 조립 전극에서 상기 제1 조립 전극 방향으로 연장되며 상기 제1 조립 전극과 수직으로 중첩되어 배치되는 제2-2 조립 전극을 포함할 수 있다.
상기 제2 조립 전극과 상기 제1 메탈층은 제2 거리로 이격되며, 상기 제1 메탈층은 상기 제2 거리보다 작은 제1 두께를 구비할 수 있다.
상기 제2 조립 전극의 제2-2 조립 전극과 상기 제1 메탈층은 상기 제2 거리로 이격될 수 있다.
실시예에서 상기 조립 홀에 소정의 반도체 발광소자가 위치하고, 상기 반도체 발광소자가 상기 제2 조립 전극에 접하지 않은 상태에서, 상기 제1 메탈층은 상기 제1 조립 전극에 인가되는 전원이 유도되어 플로팅 조립 전극으로 기능할 수 있다.
실시예에서 상기 조립 홀에 소정의 반도체 발광소자가 위치하고, 상기 반도체 발광소자가 상기 제2 조립 전극에 접한 상태에서, 상기 제1 메탈층은, 상기 제2 조립 전극에 가해지는 전원과 같은 극성의 전원이 가해져서 상기 제2 조립 전극의 연장 전극의 기능할 수 있다.
상기 조립 홀은 상기 제1 메탈층의 일부와 상기 제2 조립 전극의 일부를 노출할 수 있다.
상기 제1 메탈층은, 상기 제1 조립 전극 및 상기 제2 조립 전극과 구조적으로 연결되어 있지 않을 수 있다.
실시예는 상기 제1 메탈층과 상기 제2 조립 전극 상에 각각 배치되는 제1 절연층 및 제2 절연층을 더 포함할 수 있다.
또한 실시예에 따른 반도체 발광소자 디스플레이 장치는, 기판과, 상기 기판 상에 배치된 제1 조립 전극과, 상기 제1 조립 전극 상측에 배치된 제2 조립 전극과, 상기 제1 조립 전극과 상기 제2 조립 전극 사이에 배치되는 절연층 및 상기 절연층 상에 배치되며 상기 제1 조립 전극과 수직으로 중첩되도록 배치되는 제1 메탈층을 포함할 수 있다.
상기 제1 메탈층은 상기 제2 조립 전극과 제2 거리로 이격될 수 있으며, 상기 제1 메탈층은 상기 제2 거리보다 작은 제1 두께를 구비할 수 있다.
상기 제2 조립 전극은, 상기 제1 조립 전극과 수평 이격되어 배치되는 제2-1 조립 전극 및 상기 제2-1 조립 전극에서 상기 제1 조립 전극 방향으로 연장되며 상기 제1 조립 전극과 수직으로 중첩되어 배치되는 제2-2 조립 전극을 포함할 수 있다.
상기 제2 조립 전극의 제2-2 조립 전극과 상기 제1 메탈층은 상기 제2 거리로 이격될 수 있다.
실시예는 소정의 조립 홀을 구비하며 상기 제1 메탈층 및 상기 제2 조립 전극 상에 배치되는 조립 격벽을 더 포함할 수 있으며, 상기 조립 홀은, 상기 제1 메탈층의 일부와 상기 제2 조립 전극의 일부를 노출할 수 있다.
상기 조립 홀에 소정의 반도체 발광소자가 위치하고, 상기 반도체 발광소자가 상기 제2 조립 전극에 접하지 않은 상태에서, 상기 제1 메탈층은 상기 제1 조립 전극에 인가되는 전원이 유도되어 플로팅 조립 전극으로 기능할 수 있다.
상기 조립 홀에 소정의 반도체 발광소자가 위치하고, 상기 반도체 발광소자가 상기 제2 조립 전극에 접한 상태에서, 상기 제1 메탈층은, 상기 제2 조립 전극에 가해지는 전원과 같은 극성의 전원이 가해져서 상기 제2 조립 전극의 연장 전극의 기능할 수 있다.
상기 제1 메탈층은, 상기 제1 조립 전극 및 상기 제2 조립 전극과 구조적으로 연결되어 있지 않을 수 있다.
실시예는 상기 제1 메탈층과 상기 제2 조립 전극 상에 각각 배치되는 제1 절연층 및 제2 절연층을 더 포함할 수 있다.
실시예에 따른 반도체 발광소자 디스플레이 장치의 조립 기판구조 및 이를 포함하는 디스플레이 장치에 의하면, 유전영동(dielectrophoresis, DEP)을 이용한 자가조립 방식에서 DEP force의 불균일성 등으로 인해 자가 조립률이 낮은 문제를 해결할 수 있는 기술적 효과가 있다.
실시예에 의하면 floating 전극 기능을 할 수 있는 제1 메탈층(215)을 제2 조립 전극(220)과 같은 높이에서 나란히 위치시켜 조립 직전의 DEP force를 강화함과 동시에 조립 후 LED 칩에 작용하는 힘의 대칭성을 확보하는 특별한 기술적 효과가 있다.
또한 실시예에 의하면 조립 후에는 제1 메탈층(215)이 제2 조립 전극(220)의 연장 전극의 기능을 함으로써 조립 후에 균일한 DEP force 강화에 기여함에 따라 조립 홀 센터에서 균일한 Dep force가 분포하여 정 조립률이 향상되는 특별한 기술적 효과가 있다.
또한 실시예는 자기 조립을 위해 DEP Force가 필요하나 DEP Force를 이용하는 경우 반도체 발광소자의 쏠림 현상으로 인해 전기적 접촉 특성이 저하되는 기술적 모순을 해결할 수 있는 기술적 효과가 있다.
또한 실시예에 의하면 제1 조립 전극과 제2 조립 전극을 상하 간에 3차원적으로 배치함으로써 초 고해상도 구현이 가능한 기술적 효과가 있다.
실시예의 기술적 효과는 본 항목에 기재된 것에 한정되지 않으며, 발명의 설명으로부터 파악되는 것을 포함한다.
도 1은 실시예에 따른 디스플레이 장치가 배치된 주택의 거실에 대한 예시도.
도 2는 실시예에 따른 디스플레이 장치를 개략적으로 보여주는 블록도.
도 3은 도 2의 화소의 일 예를 보여주는 회로도.
도 4는 도 1의 디스플레이 장치에서 제1 패널영역의 확대도.
도 5는 도 4의 A2 영역의 B1-B2 선을 따른 단면도.
도 6은 실시예에 따른 발광소자가 자가조립 방식에 의해 기판에 조립되는 예시도.
도 7은 도 6의 A3 영역의 부분 확대도.
도 8a 내지 도 8b는 내부기술에 따른 디스플레이 장치(300)에서 자가조립 예시도.
도 8c는 내부기술에 따른 디스플레이 장치에서 자가조립 사진.
도 8d는 내부 기술에의 자가 조립시 발생되는 틸트 현상을 나타내는 도면.
도 9a 내지 도 9b는 실시예에 따른 반도체 발광소자를 구비하는 디스플레이 장치(301)의 제1 제조공정 평면도와 단면도.
도 10a 내지 도 10b는 실시예에 따른 반도체 발광소자를 구비하는 디스플레이 장치(301)의 제2 제조공정 평면도와 단면도.
도 11a와 도 11b는 실시예에 따른 반도체 발광소자를 구비하는 디스플레이 장치(301)를 이용한 반도체 발광소자의 조립 직전의 평면도와 단면도.
도 12a와 도 12b는 실시예에 따른 반도체 발광소자를 구비하는 디스플레이 장치(301)를 이용한 반도체 발광소자의 조립 후의 평면도와 단면도.
도 13은 비교예에서의 조립 직전의 전압 분포 및 DEP force 데이터.
도 14는 실시예에서 조립 직전의 전압 분포 및 DEP force 데이터.
도 15는 비교예에서의 조립 후의 전압 분포 및 DEP force 데이터.
도 16은 실시예에서 조립 후의 전압 분포 및 DEP force 데이터.
도 17은 실시예에 따른 반도체 발광소자 디스플레이 장치(301)의 단면도.
도 18은 제2 실시예에 따른 반도체 발광소자 디스플레이 장치(302)의 단면도.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 명세서에 개시된 실시예를 상세히 설명하기로 한다. 이하의 설명에서 사용되는 구성요소에 대한 접미사 '모듈' 및 '부'는 명세서 작성의 용이함이 고려되어 부여되거나 혼용되는 것으로서, 그 자체로 서로 구별되는 의미 또는 역할을 갖는 것은 아니다. 또한, 첨부된 도면은 본 명세서에 개시된 실시예를 쉽게 이해할 수 있도록 하기 위한 것이며, 첨부된 도면에 의해 본 명세서에 개시된 기술적 사상이 제한되는 것은 아니다. 또한, 층, 영역 또는 기판과 같은 요소가 다른 구성요소 '상(on)'에 존재하는 것으로 언급될 때, 이것은 직접적으로 다른 요소 상에 존재하거나 또는 그 사이에 다른 중간 요소가 존재할 수도 있는 것을 포함한다.
본 명세서에서 설명되는 디스플레이 장치에는 디지털 TV, 휴대폰, 스마트 폰(smart phone), 노트북 컴퓨터(laptop computer), 디지털방송용 단말기, PDA(personal digital assistants), PMP(portable multimedia player), 네비게이션, 슬레이트(Slate) PC, 태블릿(Tablet) PC, 울트라 북(Ultra-Book), 데스크탑 컴퓨터 등이 포함될 수 있다. 그러나, 본 명세서에 기재된 실시예에 따른 구성은 추후 개발되는 새로운 제품형태이라도, 디스플레이가 가능한 장치에도 적용될 수 있다.
이하 실시예에 따른 발광소자 및 이를 포함하는 디스플레이 장치에 대해 설명한다.
이하 실시예에 따른 반도체 발광소자 디스플레이 장치의 조립 기판구조 및 이를 포함하는 디스플레이 장치에 대해 설명한다.
도 1은 실시예에 따른 디스플레이 장치(100)가 배치된 주택의 거실을 도시한다.
실시예의 디스플레이 장치(100)는 세탁기(101), 로봇 청소기(102), 공기 청정기(103) 등의 각종 전자 제품의 상태를 표시할 수 있고, 각 전자 제품들과 IOT 기반으로 통신할 수 있으며 사용자의 설정 데이터에 기초하여 각 전자 제품들을 제어할 수도 있다.
실시예에 따른 디스플레이 장치(100)는 얇고 유연한 기판 위에 제작되는 플렉서블 디스플레이(flexible display)를 포함할 수 있다. 플렉서블 디스플레이는 기존의 평판 디스플레이의 특성을 유지하면서, 종이와 같이 휘어지거나 말릴 수 있다.
플렉서블 디스플레이에서 시각정보는 매트릭스 형태로 배치되는 단위 화소(unit pixel)의 발광이 독자적으로 제어됨에 의하여 구현될 수 있다. 단위 화소는 하나의 색을 구현하기 위한 최소 단위를 의미한다. 플렉서블 디스플레이의 단위 화소는 발광소자에 의하여 구현될 수 있다. 실시예에서 발광소자는 Micro-LED나 Nano-LED일 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다.
다음으로 도 2는 실시예에 따른 디스플레이 장치를 개략적으로 보여주는 블록도이고, 도 3은 도 2의 화소의 일 예를 보여주는 회로도이다.
도 2 및 도 3을 참조하면, 실시예에 따른 디스플레이 장치는 디스플레이 패널(10), 구동 회로(20), 스캔 구동부(30) 및 전원 공급 회로(50)를 포함할 수 있다.
실시예의 디스플레이 장치(100)는 액티브 매트릭스(AM, Active Matrix)방식 또는 패시브 매트릭스(PM, Passive Matrix) 방식으로 발광소자를 구동할 수 있다.
구동 회로(20)는 데이터 구동부(21)와 타이밍 제어부(22)를 포함할 수 있다.
디스플레이 패널(10)은 표시 영역(DA)과 표시 영역(DA)의 주변에 배치된 비표시 영역(NDA)으로 구분될 수 있다. 표시 영역(DA)은 화소(PX)들이 형성되어 영상을 디스플레이하는 영역이다. 디스플레이 패널(10)은 데이터 라인들(D1~Dm, m은 2 이상의 정수), 데이터 라인들(D1~Dm)과 교차되는 스캔 라인들(S1~Sn, n은 2 이상의 정수), 고전위 전압이 공급되는 고전위 전압 라인, 저전위 전압이 공급되는 저전위 전압 라인 및 데이터 라인들(D1~Dm)과 스캔 라인들(S1~Sn)에 접속된 화소(PX)들을 포함할 수 있다.
화소(PX)들 각각은 제1 서브 화소(PX1), 제2 서브 화소(PX2) 및 제3 서브 화소(PX3)를 포함할 수 있다. 제1 서브 화소(PX1)는 제1 파장의 제1 컬러 광을 발광하고, 제2 서브 화소(PX2)는 제2 파장의 제2 컬러 광을 발광하며, 제3 서브 화소(PX3)는 제3 파장의 제3 컬러 광을 발광할 수 있다. 제1 컬러 광은 적색 광, 제2 컬러 광은 녹색 광, 제3 컬러 광은 청색 광일 수 있으나, 이에 한정되지 않는다. 또한, 도 2에서는 화소(PX)들 각각이 3 개의 서브 화소들을 포함하는 것을 예시하였으나, 이에 한정되지 않는다. 즉, 화소(PX)들 각각은 4 개 이상의 서브 화소들을 포함할 수 있다.
제1 서브 화소(PX1), 제2 서브 화소(PX2) 및 제3 서브 화소(PX3) 각각은 데이터 라인들(D1~Dm) 중 적어도 하나, 스캔 라인들(S1~Sn) 중 적어도 하나 및 고전위 전압 라인에 접속될 수 있다. 제1 서브 화소(PX1)는 도 3과 같이 발광소자(LD)들과 발광소자(LD)들에 전류를 공급하기 위한 복수의 트랜지스터들과 적어도 하나의 커패시터(Cst)를 포함할 수 있다.
도면에 도시되지 않았지만, 제1 서브 화소(PX1), 제2 서브 화소(PX2) 및 제3 서브 화소(PX3) 각각은 단지 하나의 발광소자(LD)와 적어도 하나의 커패시터(Cst)를 포함할 수도 있다.
발광소자(LD)들 각각은 제1 전극, 복수의 도전형 반도체층 및 제2 전극을 포함하는 반도체 발광 다이오드일 수 있다. 여기서, 제1 전극은 애노드 전극, 제2 전극은 캐소드 전극일 수 있지만, 이에 대해서는 한정하지 않는다.
도 3을 참조하면 복수의 트랜지스터들은 발광소자(LD)들에 전류를 공급하는 구동 트랜지스터(DT), 구동 트랜지스터(DT)의 게이트 전극에 데이터 전압을 공급하는 스캔 트랜지스터(ST)를 포함할 수 있다. 구동 트랜지스터(DT)는 스캔 트랜지스터(ST)의 소스 전극에 접속되는 게이트 전극, 고전위 전압이 인가되는 고전위 전압 라인에 접속되는 소스 전극 및 발광소자(LD)들의 제1 전극들에 접속되는 드레인 전극을 포함할 수 있다. 스캔 트랜지스터(ST)는 스캔 라인(Sk, k는 1≤k≤n을 만족하는 정수)에 접속되는 게이트 전극, 구동 트랜지스터(DT)의 게이트 전극에 접속되는 소스 전극 및 데이터 라인(Dj, j는 1≤j≤m을 만족하는 정수)에 접속되는 드레인 전극을 포함할 수 있다.
커패시터(Cst)는 구동 트랜지스터(DT)의 게이트 전극과 소스 전극 사이에 형성된다. 스토리지 커패시터(Cst)는 구동 트랜지스터(DT)의 게이트 전압과 소스 전압의 차이값을 충전할 수 있다.
구동 트랜지스터(DT)와 스캔 트랜지스터(ST)는 박막 트랜지스터(thin film transistor)로 형성될 수 있다. 또한, 도 3에서는 구동 트랜지스터(DT)와 스캔 트랜지스터(ST)가 P 타입 MOSFET(Metal Oxide Semiconductor Field Effect Transistor)으로 형성된 것을 중심으로 설명하였으나, 본 발명은 이에 한정되지 않는다. 구동 트랜지스터(DT)와 스캔 트랜지스터(ST)는 N 타입 MOSFET으로 형성될 수도 있다. 이 경우, 구동 트랜지스터(DT)와 스캔 트랜지스터(ST)들 각각의 소스 전극과 드레인 전극의 위치는 변경될 수 있다.
또한, 도 3에서는 제1 서브 화소(PX1), 제2 서브 화소(PX2) 및 제3 서브 화소(PX3) 각각이 하나의 구동 트랜지스터(DT), 하나의 스캔 트랜지스터(ST) 및 하나의 커패시터(Cst)를 갖는 2T1C (2 Transistor - 1 capacitor)를 포함하는 것을 예시하였으나, 본 발명은 이에 한정되지 않는다. 제1 서브 화소(PX1), 제2 서브 화소(PX2) 및 제3 서브 화소(PX3) 각각은 복수의 스캔 트랜지스터(ST)들과 복수의 커패시터(Cst)들을 포함할 수 있다.
다시 도 2를 참조하면, 구동 회로(20)는 디스플레이 패널(10)을 구동하기 위한 신호들과 전압들을 출력한다. 이를 위해, 구동 회로(20)는 데이터 구동부(21)와 타이밍 제어부(22)를 포함할 수 있다.
데이터 구동부(21)는 타이밍 제어부(22)로부터 디지털 비디오 데이터(DATA)와 소스 제어 신호(DCS)를 입력 받는다. 데이터 구동부(21)는 소스 제어 신호(DCS)에 따라 디지털 비디오 데이터(DATA)를 아날로그 데이터 전압들로 변환하여 디스플레이 패널(10)의 데이터 라인들(D1~Dm)에 공급한다.
타이밍 제어부(22)는 호스트 시스템으로부터 디지털 비디오 데이터(DATA)와 타이밍 신호들을 입력 받는다. 타이밍 신호들은 수직동기신호(vertical sync signal), 수평동기신호(horizontal sync signal), 데이터 인에이블 신호(data enable signal) 및 도트 클럭(dot clock)을 포함할 수 있다. 호스트 시스템은 스마트폰 또는 태블릿 PC의 어플리케이션 프로세서, 모니터, TV의 시스템 온 칩 등일 수 있다.
스캔 구동부(30)는 타이밍 제어부(22)로부터 스캔 제어 신호(SCS)를 입력 받는다. 스캔 구동부(30)는 스캔 제어 신호(SCS)에 따라 스캔 신호들을 생성하여 디스플레이 패널(10)의 스캔 라인들(S1~Sn)에 공급한다. 스캔 구동부(30)는 다수의 트랜지스터들을 포함하여 디스플레이 패널(10)의 비표시 영역(NDA)에 형성될 수 있다. 또는, 스캔 구동부(30)는 집적 회로로 형성될 수 있으며, 이 경우 디스플레이 패널(10)의 다른 일 측에 부착되는 게이트 연성 필름 상에 장착될 수 있다.
전원 공급 회로(50)는 메인 전원으로부터 디스플레이 패널(10)의 발광소자(LD)들을 구동하기 위한 고전위 전압(VDD)과 저전위 전압(VSS)을 생성하여 디스플레이 패널(10)의 고전위 전압 라인과 저전위 전압 라인에 공급할 수 있다. 또한, 전원 공급 회로(50)는 메인 전원으로부터 구동 회로(20)와 스캔 구동부(30)를 구동하기 위한 구동 전압들을 생성하여 공급할 수 있다.
다음으로 도 4는 도 1의 디스플레이 장치에서 제1 패널영역(A1)의 확대도이다.
도 4에 의하면, 실시예의 디스플레이 장치(100)는 제1 패널영역(A1)과 같은 복수의 패널영역들이 타일링에 의해 기구적, 전기적 연결되어 제조될 수 있다.
제1 패널영역(A1)은 단위 화소(도 2의 PX) 별로 배치된 복수의 발광소자(150)를 포함할 수 있다.
예컨대, 단위 화소(PX)는 제1 서브 화소(PX1), 제2 서브 화소(PX2) 및 제3 서브 화소(PX3)를 포함할 수 있다. 예컨대, 복수의 적색 발광소자(150R)가 제1 서브 화소(PX1)에 배치되고, 복수의 녹색 발광소자(150G)가 제2 서브 화소(PX2)에 배치되며, 복수의 청색 발광소자(150B)가 제3 서브 화소(PX3)에 배치될 수 있다. 단위 화소(PX)는 발광소자가 배치되지 않는 제4 서브 화소를 더 포함할 수도 있지만, 이에 대해서는 한정하지 않는다. 한편, 발광소자(150)는 반도체 발광소자일 수 있다.
다음으로 도 5는 도 4의 A2 영역의 B1-B2 선을 따른 단면도이다.
도 5를 참조하면, 실시예의 디스플레이 장치(100)는 기판(200a), 이격 배치된 배선(201a, 202a), 제1 절연층(211a), 제2 절연층(211b), 제3 절연층(206) 및 복수의 발광소자(150)를 포함할 수 있다.
배선은 서로 이격된 제1 배선(201a) 및 제2 배선(202a)을 포함할 수 있다. 제1 배선(201a) 및 제2 배선(202a)은 패널에서 발광소자(150)에 전원을 인가하기 위한 패널 배선을 기능을 할 수 있으며, 발광소자(150)의 자가 조립의 경우 조립을 위한 유전영동 힘을 생성하기 위한 조립 전극 기능을 수행할 수도 있다.
배선(201a, 202a)은 투명 전극(ITO)으로 형성되거나, 전기 전도성이 우수한 금속물질을 포함할 수 있다. 예를 들어, 배선(201a, 202a)은 티탄(Ti), 크롬(Cr), 니켈(Ni), 알루미늄(Al), 백금(Pt), 금(Au), 텅스텐(W), 몰리브덴(Mo) 중 적어도 어느 하나 또는 이들의 합금으로 형성될 수 있다.
상기 제1 배선(201a) 및 제2 배선(202a) 사이에 제1 절연층(211a)이 배치될 수 있고, 상기 제1 배선(201a) 및 제2 배선(202a) 상에 제2 절연층(211b)이 배치될 수 있다. 상기 제1 절연층(211a)과 상기 제2 절연층(211b)은 산화막, 질화막 등일 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다.
발광소자(150)는 각각 단위 화소(sub-pixel)를 이루기 위하여 적색 발광소자(150R), 녹색 발광소자(150G) 및 청색 발광소자(150B0를 포함할 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니며, 적색 형광체와 녹색 형광체 등을 구비하여 각각 적색과 녹색을 구현할 수도 있다.
기판(200a)은 유리나 폴리이미드(Polyimide)로 형성될 수 있다. 또한 기판(200a)은 PEN(Polyethylene Naphthalate), PET(Polyethylene Terephthalate) 등의 유연성 있는 재질을 포함할 수 있다. 또한, 기판(200)은 투명한 재질일 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다. 상기 기판(200a)은 패널에서의 지지 기판으로 기능할 수 있으며, 발광소자의 자가 조립시 조립용 기판으로 기능할 수도 있다.
제3 절연층(206)은 폴리이미드, PEN, PET 등과 같이 절연성과 유연성 있는 재질을 포함할 수 있으며, 기판(200a)과 일체로 이루어져 하나의 기판을 형성할 수도 있다.
제3 절연층(206)은 접착성과 전도성을 가지는 전도성 접착층일 수 있고, 전도성 접착층은 연성이 있어서 디스플레이 장치의 플렉서블 기능을 가능하게 할 수 있다. 예를 들어, 제3 절연층(206)은 이방성 전도성 필름(ACF, anisotropy conductive film)이거나 이방성 전도매질, 전도성 입자를 함유한 솔루션(solution) 등의 전도성 접착층일 수 있다. 전도성 접착층은 두께에 대해 수직방향으로는 전기적으로 전도성이나, 두께에 대해 수평방향으로는 전기적으로 절연성을 가지는 레이어일 수 있다.
제1, 제2 배선(201a, 202a) 간의 간격은 발광소자(150)의 폭 및 조립 홀(203H)의 폭보다 작게 형성되어, 전기장을 이용한 발광소자(150)의 조립 위치를 보다 정밀하게 고정할 수 있다.
제1, 제2 배선(201a, 202a) 상에는 제3 절연층(206)이 형성되어, 제1, 제2 배선(201a, 202a)을 유체(1200)로부터 보호하고, 제1, 제2 배선(201a, 202a)에 흐르는 전류의 누출을 방지할 수 있다. 제3 절연층(206)은 실리카, 알루미나 등의 무기물 절연체 또는 유기물 절연체가 단일층 또는 다층으로 형성될 수 있다.
또한 제3 절연층(206)은 폴리이미드, PEN, PET 등과 같이 절연성과 유연성 있는 재질을 포함할 수 있으며, 기판(200)과 일체로 이루어져 하나의 기판을 형성할 수도 있다.
제3 절연층(206)은 격벽을 가지고, 이 격벽에 의해 조립 홀(203H)이 형성될 수 있다. 예를 들어, 제3 절연층(206)은 발광소자(150)가 삽입되기 위한 조립 홀(203H)을 포함할 수 있다(도 6 참조). 따라서, 자가 조립시, 발광소자(150)가 제3 절연층(206)의 조립 홀(203H)에 용이하게 삽입될 수 있다. 조립 홀(203H)은 삽입 홀, 고정 홀, 정렬 홀 등으로 불릴 수 있다.
조립 홀(203H)은 대응하는 위치에 조립될 발광소자(150)의 형상에 대응하는 형상 및 크기를 가질 수 있다. 이에 따라, 조립 홀(203H)에 다른 발광소자가 조립되거나 복수의 발광소자들이 조립되는 것을 방지할 수 있다.
다음으로 도 6은 실시예에 따른 발광소자가 자가조립 방식에 의해 기판에 조립되는 예를 나타내는 도면이며, 도 7은 도 6의 A3 영역의 부분 확대도이다. 도 7은 설명 편의를 위해 A3 영역을 180도 회전시킨 상태의 도면이다.
도 6 및 도 7을 기초로 실시예에 따른 반도체 발광소자를 전자기장을 이용한 자가조립 방식에 의해 디스플레이 패널에 조립되는 예를 설명하기로 한다.
이후 설명되는 조립 기판(200)은 발광소자의 조립 후에 디스플레이 장치에서 패널 기판(200a)의 기능도 할 수 있으나, 실시예가 이에 한정되는 것은 아니다.
도 6을 참조하면, 반도체 발광소자(150)는 유체(1200)가 채워진 챔버(1300)에 투입될 수 있으며, 조립 장치(1100)로부터 발생하는 자기장에 의해 반도체 발광소자(150)는 조립 기판(200)으로 이동할 수 있다. 이때 조립 기판(200)의 조립 홀(203H)에 인접한 발광소자(150)는 조립 전극들의 전기장에 의한 유전영동 힘에 의해 조립 홀(230)에 조립될 수 있다. 상기 유체(1200)는 초순수 등의 물일 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다. 챔버는 수조, 컨테이너, 용기 등으로 불릴 수 있다.
반도체 발광소자(150)가 챔버(1300)에 투입된 후, 조립 기판(200)이 챔버(1300) 상에 배치될 수 있다. 실시 예에 따라, 조립 기판(200)은 챔버(1300) 내로 투입될 수도 있다.
도 7을 참조하면 반도체 발광소자(150)는 도시된 바와 같이 수직형 반도체 발광소자로 구현될 수 있으나 이에 한정되지 않고 수평형 발광소자가 채용될 수 있다.
반도체 발광소자(150)는 자성체를 갖는 자성층(미도시)을 포함할 수 있다. 상기 자성층은 니켈(Ni) 등 자성을 갖는 금속을 포함할 수 있다. 유체 내로 투입된 반도체 발광소자(150)는 자성층을 포함하므로, 조립 장치(1100)로부터 발생하는 자기장에 의해 조립 기판(200)로 이동할 수 있다. 상기 자성층은 발광소자의 상측 또는 하측 또는 양측에 모두 배치될 수 있다.
상기 반도체 발광소자(150)는 상면 및 측면을 둘러싸는 패시베이션층(156)을 포함할 수 있다. 패시베이션층(156)은 실리카, 알루미나 등의 무기물 절연체를 PECVD, LPCVD, 스퍼터링 증착법 등을 통해 형성될 수 있다. 또한 패시베이션층(156)은 포토레지스트, 고분자 물질과 같은 유기물을 스핀 코팅하는 방법을 통해 형성될 수 있다.
상기 반도체 발광소자(150)는 제1 도전형 반도체층(152a), 제2 도전형 반도체층(152c) 및 그 사이에 배치되는 활성층(152b)을 포함할 수 있다. 상기 제1 도전형 반도체층(152a)은 n형 반도체층일 수 있고, 제2 도전형 반도체층(152c)은 p형 반도체층일 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다.
상기 제1 도전형 반도체층(152a)에는 제1 전극층(154a)이 배치될 수 있고, 제2 도전형 반도체층(152c)에 제2 전극층(154b)이 배치될 수 있다. 이를 위해서는 제1 도전형 반도체층(152a) 또는 제2 도전형 반도체층(152c)의 일부 영역이 외부로 노출될 수 있다. 이에 따라 반도체 발광소자(150)가 조립 기판(200)에 조립된 후에 디스플레이 장치의 제조 공정에서, 패시베이션층(156) 중 일부 영역이 식각될 수 있다.
조립 기판(200)은 조립될 반도체 발광소자(150) 각각에 대응하는 한 쌍의 제1 조립 전극(201) 및 제2 조립 전극(202)을 포함할 수 있다. 상기 제1 조립 전극(201), 제2 조립 전극(202)은 단일 금속 혹은 금속합금, 금속산화물 등을 다중으로 적층하여 형성할 수 있다. 예를 들어, 상기 제1 조립 전극(201), 제2 조립 전극(202)은 Cu, Ag, Ni, Cr, Ti, Al, Rh, Pd, Ir, Ru, Mg, Zn, Pt, Au, Hf 중 적어도 하나를 포함하여 형성될 수 있으며 이에 한정되는 않는다.
또한 상기 제1 조립 전극(201), 제2 조립 전극(202)은 ITO(indium tin oxide), IZO(indium zinc oxide), IZTO(indium zinc tin oxide), IAZO(indium aluminum zinc oxide), IGZO(indium gallium zinc oxide), IGTO(indium gallium tin oxide), AZO(aluminum zinc oxide), ATO(antimony tin oxide), GZO(gallium zinc oxide), IZON(IZO Nitride), AGZO(Al-Ga ZnO), IGZO(In-Ga ZnO), ZnO, IrOx, RuOx, NiO, RuOx/ITO, Ni/IrOx/Au, 및 Ni/IrOx/Au/ITO 중 적어도 하나를 포함하여 형성될 수 있으며 이에 한정되지 않는다.
상기 제1 조립 전극(201), 제2 조립 전극(202)은 교류 전압이 인가됨에 따라 전기장을 방출함으로써, 조립 홀(203H)로 투입된 반도체 발광소자(150)를 유전영동 힘에 의해 고정시킬 수 있다. 상기 제1 조립 전극(201), 제2 조립 전극(202) 간의 간격은 반도체 발광소자(150)의 폭 및 조립 홀(203H)의 폭보다 작을 수 있으며, 전기장을 이용한 반도체 발광소자(150)의 조립 위치를 보다 정밀하게 고정할 수 있다.
제1 조립 전극(201), 제2 조립 전극(202) 상에는 절연층(212)이 형성되어, 제1 조립 전극(201), 제2 조립 전극(202)을 유체(1200)로부터 보호하고, 제1 조립 전극(201), 제2 조립 전극(202)에 흐르는 전류의 누출을 방지할 수 있다. 예컨대 상기 절연층(212)은 실리카, 알루미나 등의 무기물 절연체 또는 유기물 절연체가 단일층 또는 다층으로 형성될 수 있다. 절연층(212)은, 반도체 발광소자(150)의 조립 시 제1 조립 전극(201), 제2 조립 전극(202)의 손상을 방지하기 위한 최소 두께를 가질 수 있고, 반도체 발광소자(150)가 안정적으로 조립되기 위한 최대 두께를 가질 수 있다.
절연층(212)의 상부에는 격벽(207)이 형성될 수 있다. 격벽(207)의 일부 영역은 제1 조립 전극(201), 제2 조립 전극(202)의 상부에 위치하고, 나머지 영역은 조립 기판(200)의 상부에 위치할 수 있다.
한편, 조립 기판(200)의 제조 시 절연층(212) 상부 전체에 형성된 격벽 중 일부가 제거됨으로써, 반도체 발광소자(150)들 각각이 조립 기판(200)에 결합 및 조립되는 조립 홀(203H)이 형성될 수 있다.
조립 기판(200)에는 반도체 발광소자(150)들이 결합되는 조립 홀(203H)이 형성되고, 조립 홀(203H)이 형성된 면은 유체(1200)와 접촉할 수 있다. 조립 홀(203H)은 반도체 발광소자(150)의 정확한 조립 위치를 가이드할 수 있다.
한편, 조립 홀(203H)은 대응하는 위치에 조립될 반도체 발광소자(150)의 형상에 대응하는 형상 및 크기를 가질 수 있다. 이에 따라, 조립 홀(203H)에 다른 반도체 발광소자가 조립되거나 복수의 반도체 발광소자들이 조립되는 것을 방지할 수 있다.
다시 6을 참조하면, 조립 기판(200)이 챔버에 배치된 후에 자기장을 가하는 조립 장치(1100)가 조립 기판(200)을 따라 이동할 수 있다. 상기 조립 장치(1100)는 영구 자석이거나 전자석일 수 있다.
조립 장치(1100)는 자기장이 미치는 영역을 유체(1200) 내로 최대화하기 위해, 조립 기판(200)과 접촉한 상태로 이동할 수 있다. 실시예에 따라서는, 조립 장치(1100)가 복수의 자성체를 포함하거나, 조립 기판(200)과 대응하는 크기의 자성체를 포함할 수도 있다. 이 경우, 조립 장치(1100)의 이동 거리는 소정 범위 이내로 제한될 수도 있다.
조립 장치(1100)에 의해 발생하는 자기장에 의해 챔버(1300) 내의 반도체 발광소자(150)는 조립 장치(1100) 및 조립 기판(200)을 향해 이동할 수 있다.
도 7을 참조하면, 반도체 발광소자(150)는 조립 장치(1100)를 향해 이동 중 조립 기판의 조립 전극의 전기장에 의해 형성되는 유전영동 힘(DEP force)에 의해 조립 홀(203H)로 진입하여 고정될 수 있다.
구체적으로 제1, 제2 조립 배선(201, 202)은 교류 전원에 의해 전기장을 형성하고, 이 전기장에 의해 유전영동 힘이 조립 배선(201, 202) 사이에 형성될 수 있다. 이 유전영동 힘에 의해 조립 기판(200) 상의 조립 홀(203H)에 반도체 발광소자(150)를 고정시킬 수 있다.
이때 조립 기판(200)의 조립 홀(203H) 상에 조립된 발광소자(150)와 조립 전극 사이에 소정의 솔더층(미도시)이 형성되어 발광소자(150)의 결합력을 향상시킬 수 있다.
또한 조립 후 조립 기판(200)의 조립 홀(203H)에 몰딩층(미도시)이 형성될 수 있다. 몰딩층은 투명 레진이거나 또는 반사물질, 산란물질이 포함된 레진일 수 있다.
상술한 전자기장을 이용한 자가조립 방식에 의해, 반도체 발광소자들 각각이 기판에 조립되는 데 소요되는 시간을 급격히 단축시킬 수 있으므로, 대면적 고화소 디스플레이를 보다 신속하고 경제적으로 구현할 수 있다.
다음으로 도 8a 내지 도 8b는 내부기술에 따른 디스플레이 장치(300)에서 자가조립 예시도이며, 도 8c는 내부기술에 따른 디스플레이 장치에서 자가조립 사진이다.
내부기술에 따른 디스플레이 장치(300)에서는 제1 조립 전극(201) 또는 제2 조립 전극(202) 중 어느 하나와 반도체 발광소자(150)의 본딩 메탈(155)을 본딩(Boding) 공정을 통해 컨택시키고 있다.
그런데 반도체 발광소자(150)가 소형화되면서 본딩 영역도 축소되는 문제를 해결하기 위해, 도 8a 내지 도 8b와 같이 기존 Vdd 라인은 생략하고 그 역할을 전극 배선 한쪽으로 전체 오픈(open) 시키는 방법을 사용한다.
그런데 이 방법을 사용하게 되면 유체내 DEP에 의해 제1 조립 전극(201)으로 끌려온 반도체 발광소자(150)가 제1 조립 전극(201)과 접촉되어 도통이 된다. 이에 따라 절연층(212)에 의해 오픈되지 않은 제2 조립 전극(202)으로 전기장 힘이 집중되어 결과적으로 한쪽 방향으로 치우치며 조립이 되는 문제가 있다.
도 8b 및 도 8c를 참조하면 반도체 발광소자(150)의 본딩 메탈(155)과 패널 전극으로 기능하는 제1 조립 전극(201)간의 접촉영역(C)이 매우 작아서 접촉불량이 발생할 수 있다.
즉, 비공개 내부기술에 의하면, 자가 조립을 위해서는 DEP Force가 필요한데, DEP Force의 균일한 제어의 어려움으로 자가 조립을 이용한 조립 시 반도체 발광소자가 조립 홀 내에서 정위치가 아닌 곳으로 쏠림 현상이 발생하는 문제가 있다.
또한 이러한 반도체 발광소자의 쏠림 현상으로 인해 이후 전기적 컨택 공정에 있어서 전기적 접촉 특성이 저하되어 점등률 불량이 발생하고, 수율이 저하되는 문제가 있다.
그러므로 비공개 내부기술에 의하면 자기 조립을 위해 DEP Force가 필요하나 DEP Force를 이용하는 경우 반도체 발광소자의 쏠림 현상으로 인해 전기적 접촉 특성이 저하되는 기술적 모순에 직면하고 있다.
다음으로 도 8d는 내부 기술에 따른 자가 조립시 발생될 수 있는 틸트 현상을 나타내는 도면이다.
내부 기술에 의하면, 조립 기판(200) 상의 제1, 제2 조립 전극들(201, 202) 상에 절연층(212)이 배치되고, 조립 조립 격벽(207)에 의해 설정되는 조립 홀(207H)에 반도체 발광소자(150)의 유전영동 힘에 의한 자가 조립을 진행하였다. 그런데 내부 기술에 의하면 제2 조립 전극(202)으로 전기장 힘이 집중되어 결과적으로 한쪽 방향으로 치우치며 조립이 되는 문제가 있고 이로 인해 자가조립이 제대로 되지 못하고 조립 홀(207H) 내에서 틸트되는 문제가 연구되었다.
다음으로 도 9 내지 도 17을 참조하여 제1 실시예에 따른 반도체 발광소자를 구비하는 디스플레이 장치(301)(이하 '제1 실시예'는 '실시예'로 약칭하기로 한다)를 설명하기로 한다.
한편, 제1 내부 기술(도 7 참조)에서 제1 조립 전극과 제2 조립 전극이 수평하게 같은 높이에 배치되는 수평형 조립전극 구조는 전극 상부에 절연막이 형성되어 있다. 이에 따라 제1 내부 기술에 의한 경우 반도체 발광소자가 수직형 LED인 경우, 별도의 공정 없이는 Led의 하부전극과 조립 전극이 전기적으로 연결되기 어려움 있다. 한편, 수직형 LED의 하부전극을 통해 발광을 하기 위해서는 수평형 조립 전극 구조 사이에 신호 인가 전극이 형성되야 하는데 LED 칩이 소형화 될수록 수평형 조립 전극구조 간격이 좁아져서 신호 인가 전극을 형성하기 어려운 점이 있고, LED 칩이 기울어진 상태로 조립되는 문제도 있다.
한편, 제2 내부 기술에 따른 수직형 비대칭 전극 구조(도 8a 참조)는 절연막 위의 제1 조립 전극(201)과 반도체 발광소자의 본딩 메탈(155)의 접합으로 인해 LED 발광 신호 인가가 가능하다. 한편, 조립 전극 구조가 비 대칭적이어서 전기장 분포도 비대칭으로 형성되어 반도체 발광소자 조립 시 한쪽으로 치우칠 수 있으며, 절연막 위의 제1 조립 전극(201)과 본딩 메탈(155) 간의 접합 면적이 적어 발광 칩이 소형화 될수록 신호 인가하기가 어려운 점이 있다.
실시예의 기술적 과제 중의 하나는 유전영동(dielectrophoresis, DEP)을 이용한 자가조립 방식에서 DEP force의 불균일성 등으로 인해 자가 조립률이 낮은 문제를 해결하고자 함이다.
또한 실시예는 자기 조립을 위해 DEP Force가 필요하나 DEP Force를 이용하는 경우 반도체 발광소자의 쏠림 현상으로 인해 전기적 접촉 특성이 저하되는 기술적 모순을 해결하고자 함이다.
도 9a 내지 도 10b는 실시예에 따른 반도체 발광소자를 구비하는 디스플레이 장치(301)의 제조공정 도면이다.
구체적으로 도 9a는 실시예에 따른 반도체 발광소자를 구비하는 디스플레이 장치(301)의 제1 제조공정의 평면도이며, 도 9b는 도 9a에 도시된 실시예에 따른 반도체 발광소자를 구비하는 디스플레이 장치(301)의 제1 제조공정의 C1-C2선을 따른 단면도이다.
다음으로, 도 10a는 실시예에 따른 반도체 발광소자를 구비하는 디스플레이 장치(301)의 제2 제조공정의 평면도이며, 도 10b는 도 10a에 도시된 실시예에 따른 반도체 발광소자를 구비하는 디스플레이 장치(301)의 제2 제조공정의 C1-C2선을 따른 단면도이다.
도 9a와 도 9b를 참조하면, 실시예에 따른 반도체 발광소자를 구비하는 디스플레이 장치(301)는 기판(200)과, 상기 기판(200) 상에 배치된 제1 조립 전극(210)과, 상기 제1 조립 전극(210) 상측에 배치된 제2 조립 전극(220)과, 상기 제1 조립 전극(210)과 상기 제2 조립 전극(220) 사이에 배치되는 절연층(212)과, 상기 절연층(212) 상에 배치되며, 상기 제1 조립 전극(210)과 상하 간에 중첩되도록 배치되는 제1 메탈층(215)과, 소정의 조립 홀(207H)을 포함할 수 있다.
상기 제1 메탈층(215)는 다각형, 원형, 타원형 형상을 포함할 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다.
상기 제1 메탈층(215)은 상기 제1 조립 전극(210) 또는 제2 조립 전극(220)의 물질과 같거나 유사한 전도성 물질로 형성될 수 있다.
이때 상기 제1 메탈층(215)은 상기 제1 조립 전극(210) 및 상기 제2 조립 전극(220)과는 물리적으로 연결되어 있지 않을 수 있다.
도 10a와 도 10b를 참조하면, 실시예에 따른 반도체 발광소자를 구비하는 디스플레이 장치(301)는 소정의 조립 홀(207H)을 구비하며, 상기 제1 메탈층(215) 및 상기 제2 조립 전극(220) 상에 배치되는 조립 격벽(207)을 포함할 수 있다.
다시 도 9a와 도 9b참조하면, 상기 제2 조립 전극(220)은 상기 제1 조립 전극(210)과 수평 이격되어 배치되는 제2-1 조립 전극(220a)과 상기 제2-1 조립 전극(220a)에서 상기 제1 조립 전극(210) 방향으로 연장되며 상기 제1 조립 전극(210)과 상하 간에 중첩되도록 배치되는 제2-2 조립 전극(220b)을 포함할 수 있다.
상기 제2 조립 전극(220)과 상기 제1 메탈층(215)은 제2 거리(D2)로 이격될 수 있으며, 상기 제1 메탈층(215)은 상기 제2 거리(D2)보다 작은 제1 두께(T1)를 구비할 수 있다.
예를 들어, 상기 제2 조립 전극(220)의 제2-2 조립 전극(220b)과 상기 제1 메탈층(215)은 제2 거리(D2)로 이격될 수 있다.
예를 들어, 상기 제2-2 조립 전극(220b)과 상기 제1 메탈층(215) 사이의 제2 거리(D2)는 약 3.0 내지 5.0μm일 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다.
실시예에서 상기 제2 조립 전극(220)과 이격되어 있으면서 상기 제1 조립 전극(210)과도 물리적으로 연결되어 있지 않는 제1 메탈층(215)은 상기 제1 조립 전극(210)과 상기 제2 거리(D2)보다 가까운 제1 두께(T1)의 거리로 이격될 수 있고, 이에 따라 상기 제1 메탈층(215)은 DEP force를 이용한 조립 직전에 제1 조립 전극(210)에 인가되는 전원이 유도되어 플로팅 조립 전극으로 기능할 수 있는 특별한 기술적 효과가 있다.
실시예에 의하면 floating 전극 기능을 할 수 있는 제1 메탈층(215)을 제2 조립 전극(220)과 같은 높이에서 나란히 위치시켜 조립 직전의 DEP force를 강화함과 동시에 조립 후 LED 칩에 작용하는 힘의 대칭성을 확보하는 특별한 기술적 효과가 있다.
또한 실시예에 의하면 조립 후에는 제1 메탈층(215)이 제2 조립 전극(220)의 연장 전극의 기능을 함으로써 조립 후에 균일한 DEP force 강화에 기여함에 따라 조립 홀 센터에서 균일한 Dep force가 분포하여 정 조립률이 향상되는 특별한 기술적 효과가 있다.
예를 들어, LED 칩이 조립 홀(207H)로 이동할 시 DEP force의 세기가 비대칭 양면 절연막 적층 구조보다 150배 이상 높은 것이 확인되었으며, 조립 후에는 기존 내부기술의 비대칭 양면 절연막 적층 구조보다 고정력이 50% 이상 개선되는 특별한 기술적 효과가 있다.
이하 도 11a 내지 도 16을 참조하여 실시예의 기술적 효과를 좀 더 구체적으로 기술하기로 한다.
도 11a와 도 11b는 실시예에 따른 반도체 발광소자를 구비하는 디스플레이 장치(301)를 이용한 반도체 발광소자(150)의 조립 직전의 평면도와 단면도이다.
도 12a와 도 12b는 실시예에 따른 반도체 발광소자를 구비하는 디스플레이 장치(301)를 이용한 반도체 발광소자(150)의 조립 후의 평면도와 단면도이다.
도 13은 비교예에서의 조립 직전의 전압 분포 및 DEP force 데이터이고, 도 14는 실시예에서 조립 직전의 전압 분포 및 DEP force 데이터이다.
도 15는 비교예에서의 조립 후의 전압 분포 및 DEP force 데이터이고, 도 16은 실시예에서 조립 후의 전압 분포 및 DEP force 데이터이다.
실시예에 의하면, 제1 조립 전극(210) 상측에 배치된 제2 조립 전극(220)과, 절연층(212) 상에 배치되며 상기 제1 조립 전극(210)과 상하간에 중첩되도록 배치되는 제1 메탈층(215)을 구비하며, 상기 제1 메탈층(215)이 조립 직전에는 제1 조립 전극(210)의 플로팅 전극으로 기능을 하고, 조립 후에는 제2 조립 전극(220)의 연장 전극의 기능을 함으로써 조립 직전 및 조립 후에서의 각각 제1 DEP force(DEP1)와 제2 DEP force(DEP2)에 기여함에 따라 조립 홀 센터에서 균일한 Dep force가 분포하여 정 조립률이 향상되는 특별한 기술적 효과가 있다.
우선 도 11a, 도 11b 및 도 13, 도 14를 참조하여 조립 직전에 DEP force가 강화되는 기술적 효과를 설명하기로 한다.
도 11a와 도 11b를 참조하면, 실시예는 제1 조립 전극(210) 상측에 배치된 제2 조립 전극(220)과, 절연층(212) 상에 배치되며 상기 제1 조립 전극(210)과 상하간에 중첩되도록 배치되는 제1 메탈층(215)을 구비하며, 상기 제1 메탈층(215)이 조립 직전에 제1 조립 전극(210)의 플로팅 전극으로 기능을 하여 조립 직전에는 제1 DEP force(DEP1)에 기여함에 따라 조립 홀 센터에서 균일한 Dep force가 분포하여 정 조립률이 향상되는 특별한 기술적 효과가 있다.
구체적으로 도 13은 비교예에서의 조립 직전의 전압 분포 및 DEP force 데이터이며, 도 14는 실시예에서 조립 직전의 전압 분포 및 DEP force 데이터이다.
도 13에 도시된 비교예(R1)는 앞서 기술한 제2 내부 기술에 따른 수직형 비대칭 전극 구조(도 8a 참조)에 대응되는 것으로, 제1 조립 전극(201)과 제2 조립 전극(202)의 구조가 비 대칭적이어서 전기장 분포도 비대칭으로 형성되어 반도체 발광소자 조립 시 한쪽으로 치우칠 수 있다.
예를 들어, 제1 조립 전극(201)에는 약 10V의 양(+)의 전원이 인가되고, 제2 조립 전극(202)에는 약 -10V의 음(-)의 전원이 인가될 수 있다. 이러한 전원은 교류전원으로서 상호 교차적으로 +/- 전원이 인가될 수 있다. 이때 반도체 발광소자(150)에는 약 5.8V의 전원이 인가될 수 있다.
발광소자(150)에 가해지는 DEP force가 양(+)이면 LED 칩을 당기는 힘이며, DEP force가 음(-)이면 LED 칩을 밀쳐내는 힘이 작용함을 의미한다.
도 13에서 Fz는 Z 방향 압력(N/m2) 데이터이며, Fz 데이터가 음(-)인 것은 Z축 반대방향인 제1 조립 전극(201), 제2 조립 전극(202) 방향으로 양(+)의 DEP force가 작용하는 것을 의미하며, Fz 데이터의 음(-)의 값이 클수록 양(+)의 DEP force가 큰 것을 의미하며 조립력이 크다는 것을 의미한다.
도 13을 참조하면, Z축의 양의 방향으로 음(-)의 DEP force(-DEP)가 양(+)의 DEP force(+DEP) 보다 크게 나타나고 있다. (DEP force의 화살표의 길이와 분포가 DEP force의 힘의 크기를 나타낸다).
이에 따라 도 13을 참조하면, 발광소자(150)의 좌측에서는 Z축의 양의 방향인 음(-)의 DEP force가 더 지배적이어서 발광소자(150를 제2 조립 전극(202)에서 멀어지는 방향으로 밀쳐내는 문제가 발생한다.
또한 제1 조립 전극(201)에서는 양(+)의 DEP force가 발생하므로 제1, 제2 조립 전극에서 DEP force가 균일하지 못한 문제가 있다.
또한 전체적인 DEP force도 약 -2.01E-6(N) 정도로 미약하게 발생하고 있는 실정이다.
다음으로 도 14는 실시예에서 조립 직전의 전압 분포 및 DEP force 데이터(301B)이다.
도 14를 참조하면, 제2 조립 전극(220)에는 약 10V의 양(+)의 전원이 인가되고, 제1 조립 전극(210)에는 약 -10V의 음(-)의 전원이 인가될 수 있다. 이러한 전원은 교류전원으로서 상호 교차적으로 +/- 전원이 인가될 수 있다. 이때 반도체 발광소자(150)에는 약 0.4V의 전원이 인가될 수 있다.
도 11b와 도 14를 참조하면, 실시예는 제1 조립 전극(210) 상측에 배치된 제2 조립 전극(220)과, 절연층(212) 상에 배치되며 상기 제1 조립 전극(210)과 상하간에 중첩되도록 배치되는 제1 메탈층(215)을 구비하며, 상기 제1 메탈층(215)이 조립 직전에 제1 조립 전극(210)의 플로팅 전극으로 기능을 하여 조립 직전에는 제1 DEP force(DEP1)에 기여함에 따라 조립 홀 센터에서 균일한 Dep force가 분포하여 정 조립률이 향상되는 특별한 기술적 효과가 있다.
구체적으로 상기 제1 조립 전극(210)과도 물리적으로 연결되어 있지 않는 제1 메탈층(215)은 상기 제2 거리(D2)보다 가까운 제1 두께(T1)의 거리로 상기 제1 조립 전극(210)과 이격될 수 있고, 이에 따라 상기 제1 메탈층(215)은 DEP force를 이용한 조립 직전에 제1 조립 전극(210)에 인가되는 전원이 유도되어 플로팅 조립 전극으로 기능할 수 있는 특별한 기술적 효과가 있다.
도 14를 참조하면, 발광소자(150)의 양측에서 Z축의 음의 방향으로 양(+)의 제1 DEP force(+DEP1)가 지배적이며, 제1, 제2 조립 전극(210, 220)의 영역에서 DEP force가 균일하면서도 전체적인 DEP force가 약 -1.11E-5 내지 - 7.75E-6(N) 정도로 매우 강하게 발생하는 특별한 기술적 효과가 있다.
예를 들어, 실시예에서 상기 제2 조립 전극(220)과 상기 제1 메탈층(215) 사이의 제2 거리(D2)가 약 3.5μm인 경우 DEP force는 약 -1.11E-5(N) 정도로 매우 강하게 발생하는 특별한 기술적 효과가 있다. 이는 앞서 비교예에서의 DEP force에 비해 약 10배 이상 큰 양의 DEP force가 발생되는 특별한 기술적 효과가 있는 것이다.
또한 실시예에서 상기 제2 조립 전극(220)과 상기 제1 메탈층(215) 사이의 제2 거리(D2)가 약 4.5μm인 경우 DEP force는 약 -7.75E-6(N) 정도로 매우 강하게 발생하는 특별한 기술적 효과가 있다. 이는 앞서 비교예에서의 DEP force에 비해 약 3.5배 이상 큰 양의 DEP force가 발생되는 특별한 기술적 효과가 있는 것이다.
또한 도 11b와 도 14를 참조하면, 실시예는 제1 조립 전극(210) 상측에 배치된 제2 조립 전극(220)과, 절연층(212) 상에 배치되며 상기 제1 조립 전극(210)과 상하간에 중첩되도록 배치되는 제1 메탈층(215)을 구비하며, 상기 제1 메탈층(215)이 조립 직전에 제1 조립 전극(210)의 플로팅 전극으로 기능을 하여 조립 직전에는 제1 DEP force(DEP1)에 기여함에 따라 조립 홀 센터에서 균일한 Dep force가 분포하여 정 조립률이 향상되는 특별한 기술적 효과가 있다.
다음으로, 도 12a와 도 12b는 실시예에 따른 반도체 발광소자를 구비하는 디스플레이 장치(301)를 이용한 반도체 발광소자의 조립 후의 평면도와 단면도이다.
또한 도 15는 비교예(R2)에서의 조립 후의 전압 분포 및 DEP force 데이터이며, 도 16은 실시예에서 조립 후의 전압 분포 및 DEP force 데이터이다(301A).
우선 도 15를 참조하면, 발광소자(150)의 좌측에서 Z축의 양의 방향인 음(-)의 DEP force(-DEP)가 더 지배적이어서 발광소자(150)를 제2 조립 전극(202)에서 멀어지는 방향으로 밀쳐내는 문제가 발생한다.
특히 발광소자(150)가 제1 조립 전극(201)과 전기적으로 연결되어 도전체로 작용함에 따라 발광소자(150)의 좌측 끝단과 제2 조립 전극(202) 끝단 사이에서 DEP force가 발생함에 따라 LED 칩의 일측 모서리에서 DEP force가 발생하는 문제가 발생한다.
또한 전체적인 DEP force도 약 - 4.68E-6(N) 정도로 미약하게 발생하고 있는 실정이다.
반면, 도 12a와 도 12b를 참조하면, 실시예는 제1 조립 전극(210)과 상하간에 중첩되도록 배치되는 제1 메탈층(215)을 구비하며, 제1 메탈층(215)이 조립 후에는 제2 조립 전극(220)의 연장 전극의 기능을 함으로써 조립 후에는 제2 DEP force(DEP2)에 기여함에 따라 조립 홀 센터에서 균일한 Dep force가 분포하여 정 조립률이 향상되는 특별한 기술적 효과가 있다.
실시예에 의하면 LED 칩의 조립 진행 시 조립 직전과 후에 각각 수평방향의 제1 DEP force(DEP1)와 수직방향의 제2 DEP force(DEP2) 전기장을 형성하여 LED 칩의 이동 및 고정력을 개선시키고 또한 전압 효율(저전압)을 개선시켜 무기 절연막의 손상을 막을 수 있는 특별한 기술적 효과가 있다.
실시예에 의하면, 제1 조립 전극(210)과 상하간에 중첩되도록 배치되는 제1 메탈층(215)을 구비하며, 상기 제1 메탈층(215)이 조립 후에는 반도체 발광소자(150)도 도전체로 기능을 하여 제1 메탈층(215)은 제2 조립 전극(220)과 전기적으로 연장되는 효과가 있으므로, 제2 DEP force(DEP2)에 기여함에 따라 조립 홀 센터에서 균일한 Dep force가 분포하여 정 조립률이 향상되는 특별한 기술적 효과가 있다.
구체적으로 도 16을 참조하면, 발광소자(150)가 조립 후에 도전체 기능을 하므로 제2 조립전극(220)의 연장전극의 기능을 할 수 있으며, 이에 따라 제1 메탈층(215)과 제1 조립 전극(210) 사이 및 제2 조립 전극(220)과 제1 조립 전극(210) 사이에서 제2 DEP force(DEP2)가 발생하는 특별한 기술적 효과가 있다.
도 16을 참조하면, 발광소자(150)의 센터에서 Z축의 음의 방향으로 양(+)의 제2 DEP force(+DEP2)가 지배적이며, DEP force가 균일하면서도 전체적인 DEP force가 약 - 1.36E-6 내지 -1.82E-6 (N) 정도로 강하게 발생하는 특별한 기술적 효과가 있다.
이에 따라 실시예는 제1 조립 전극(210) 상측에 배치된 제2 조립 전극(220)과, 절연층(212) 상에 배치되며 상기 제1 조립 전극(210)과 상하간에 중첩되도록 배치되는 제1 메탈층(215)을 구비할 수 있으며, 상기 제1 메탈층(215)이 조립 직전에는 제1 조립 전극(210)의 플로팅 전극으로 기능을 하고, 조립 후에는 제2 조립 전극(220)의 연장 전극의 기능을 함으로써 조립 직전 및 조립 후에서의 각각 제1 DEP force(DEP1)와 제2 DEP force(DEP2)에 기여함에 따라 조립 홀 센터에서 균일한 Dep force가 분포하여 정 조립률이 향상되는 특별한 기술적 효과가 있다.
다음으로 도 17은 실시예에 따른 반도체 발광소자 디스플레이 장치(301)의 단면도이다.
도 17을 참조하면, 조립 홀(207H)에 소정의 투광성 레진(251)을 충진할 수 있으며, 상기 반도체 발광소자(150)와 전기적으로 연결되는 제2 패널 배선(260)을 형성할 수 있다.
실시예에 의하면 제1 조립 전극과 제2 조립 전극을 상하 간에 3차원적으로 배치함으로써 초 고해상도 구현이 가능한 기술적 효과가 있다.
다음으로 도 18은 제2 실시예에 따른 반도체 발광소자 디스플레이 장치(302)의 단면도이다.
제2 실시예는 앞서 기술된 반도체 발광소자 디스플레이 장치(301)의 기술적 특징을 채용할 수 있으며, 이하 제2 실시예의 기술적 특징을 중심으로 설명하기로 한다.
제2 실시예에서는 제1 메탈층(215)과 제2 조립 전극(220) 상에 각각 배치되는 제1 절연층(212a), 제2 절연층(212b)을 각각 포함할 수 있다.
제2 실시예는 제1 메탈층(215)과 제2 조립 전극(220) 상에 각각 제1 절연층(212a), 제2 절연층(212b)을 배치하여 조립시 유체로 인한 제1 메탈층(215), 제2 조립전극(220)의 부식을 방지할 수 있다.
제2 실시예에서는 조립 후에 제2 절연층(212b)의 일부를 오픈하고 반도체 발광소자(150)의 측면과 제2 조립 전극(220)을 전기적으로 연결하는 배선공정을 진행할 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다.
실시예에 따른 반도체 발광소자 디스플레이 장치의 조립 기판구조 및 이를 포함하는 디스플레이 장치에 의하면, 유전영동(dielectrophoresis, DEP)을 이용한 자가조립 방식에서 DEP force의 불균일성 등으로 인해 자가 조립률이 낮은 문제를 해결할 수 있는 기술적 효과가 있다.
실시예에 의하면 floating 전극 기능을 할 수 있는 제1 메탈층(215)을 제2 조립 전극(220)과 같은 높이에서 나란히 위치시켜 조립 직전의 DEP force를 강화함과 동시에 조립 후 LED 칩에 작용하는 힘의 대칭성을 확보하는 특별한 기술적 효과가 있다.
또한 실시예에 의하면 조립 후에는 제1 메탈층(215)이 제2 조립 전극(220)의 연장 전극의 기능을 함으로써 조립 후에 균일한 DEP force 강화에 기여함에 따라 조립 홀 센터에서 균일한 Dep force가 분포하여 정 조립률이 향상되는 특별한 기술적 효과가 있다.
또한 실시예는 자기 조립을 위해 DEP Force가 필요하나 DEP Force를 이용하는 경우 반도체 발광소자의 쏠림 현상으로 인해 전기적 접촉 특성이 저하되는 기술적 모순을 해결할 수 있는 기술적 효과가 있다.
또한 실시예에 의하면 제1 조립 전극과 제2 조립 전극을 상하 간에 3차원적으로 배치함으로써 초 고해상도 구현이 가능한 기술적 효과가 있다.
상기의 상세한 설명은 모든 면에서 제한적으로 해석되어서는 아니되고 예시적인 것으로 고려되어야 한다. 실시예의 범위는 첨부된 청구항의 합리적 해석에 의해 결정되어야 하고, 실시예의 등가적 범위 내에서의 모든 변경은 실시예의 범위에 포함된다.
실시예는 영상이나 정보를 디스플레이하는 디스플레이 분야에 채택될 수 있다.
실시예는 반도체 발광소자를 이용하여 영상이나 정보를 디스플레이하는 디스플레이 분야에 채택될 수 있다.
실시예는 마이크로급이나 나노급 반도체 발광소자를 이용하여 영상이나 정보를 디스플레이하는 디스플레이 분야에 채택될 수 있다.

Claims (17)

  1. 기판;
    상기 기판 상에 배치된 제1 조립 전극;
    상기 제1 조립 전극 상측에 배치된 제2 조립 전극;
    상기 제1 조립 전극과 상기 제2 조립 전극 사이에 배치되는 절연층;
    상기 절연층 상에 배치되며 상기 제1 조립 전극과 수직으로 중첩되도록 배치되는 제1 메탈층; 및
    소정의 조립 홀을 구비하며 상기 제1 메탈층 및 상기 제2 조립 전극 상에 배치되는 조립 격벽;을 포함하는, 반도체 발광소자 디스플레이 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제2 조립 전극은,
    상기 제1 조립 전극과 수평 이격되어 배치되는 제2-1 조립 전극; 및
    상기 제2-1 조립 전극에서 상기 제1 조립 전극 방향으로 연장되며 상기 제1 조립 전극과 수직으로 중첩되어 배치되는 제2-2 조립 전극;을 포함하는, 반도체 발광소자 디스플레이 장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 제2 조립 전극과 상기 제1 메탈층은 제2 거리로 이격되며,
    상기 제1 메탈층은 상기 제2 거리보다 작은 제1 두께를 구비하는, 반도체 발광소자 디스플레이 장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 제2 조립 전극의 제2-2 조립 전극과 상기 제1 메탈층은 상기 제2 거리로 이격되는, 반도체 발광소자 디스플레이 장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 조립 홀에 소정의 반도체 발광소자가 위치하고, 상기 반도체 발광소자가 상기 제2 조립 전극에 접하지 않은 상태에서, 상기 제1 메탈층은 상기 제1 조립 전극에 인가되는 전원이 유도되어 플로팅 조립 전극으로 기능하는, 반도체 발광소자 디스플레이 장치.
  6. 제4항에 있어서,
    상기 조립 홀에 소정의 반도체 발광소자가 위치하고, 상기 반도체 발광소자가 상기 제2 조립 전극에 접한 상태에서,
    상기 제1 메탈층은, 상기 제2 조립 전극에 가해지는 전원과 같은 극성의 전원이 가해져서 상기 제2 조립 전극의 연장 전극의 기능하는, 반도체 발광소자 디스플레이 장치.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 조립 홀은 상기 제1 메탈층의 일부와 상기 제2 조립 전극의 일부를 노출하는, 반도체 발광소자 디스플레이 장치.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 제1 메탈층은,
    상기 제1 조립 전극 및 상기 제2 조립 전극과 구조적으로 연결되어 있지 않는, 반도체 발광소자 디스플레이 장치.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 제1 메탈층과 상기 제2 조립 전극 상에 각각 배치되는 제1 절연층 및 제2 절연층을 더 포함하는, 반도체 발광소자 디스플레이 장치.
  10. 기판;
    상기 기판 상에 배치된 제1 조립 전극;
    상기 제1 조립 전극 상측에 배치된 제2 조립 전극;
    상기 제1 조립 전극과 상기 제2 조립 전극 사이에 배치되는 절연층; 및
    상기 절연층 상에 배치되며 상기 제1 조립 전극과 수직으로 중첩되도록 배치되는 제1 메탈층;을 포함하고,
    상기 제1 메탈층은 상기 제2 조립 전극과 제2 거리로 이격되며,
    상기 제1 메탈층은 상기 제2 거리보다 작은 제1 두께를 구비하는, 반도체 발광소자 디스플레이 장치.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 제2 조립 전극은,
    상기 제1 조립 전극과 수평 이격되어 배치되는 제2-1 조립 전극; 및
    상기 제2-1 조립 전극에서 상기 제1 조립 전극 방향으로 연장되며 상기 제1 조립 전극과 수직으로 중첩되어 배치되는 제2-2 조립 전극;을 포함하는, 반도체 발광소자 디스플레이 장치.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 제2 조립 전극의 제2-2 조립 전극과 상기 제1 메탈층은 상기 제2 거리로 이격되는, 반도체 발광소자 디스플레이 장치.
  13. 제10항에 있어서,
    소정의 조립 홀을 구비하며 상기 제1 메탈층 및 상기 제2 조립 전극 상에 배치되는 조립 격벽을 더 포함하며,
    상기 조립 홀은, 상기 제1 메탈층의 일부와 상기 제2 조립 전극의 일부를 노출하는, 반도체 발광소자 디스플레이 장치.
  14. 제13항에 있어서,
    상기 조립 홀에 소정의 반도체 발광소자가 위치하고, 상기 반도체 발광소자가 상기 제2 조립 전극에 접하지 않은 상태에서, 상기 제1 메탈층은 상기 제1 조립 전극에 인가되는 전원이 유도되어 플로팅 조립 전극으로 기능하는, 반도체 발광소자 디스플레이 장치.
  15. 제13항에 있어서,
    상기 조립 홀에 소정의 반도체 발광소자가 위치하고, 상기 반도체 발광소자가 상기 제2 조립 전극에 접한 상태에서,
    상기 제1 메탈층은, 상기 제2 조립 전극에 가해지는 전원과 같은 극성의 전원이 가해져서 상기 제2 조립 전극의 연장 전극의 기능하는, 반도체 발광소자 디스플레이 장치.
  16. 제10항에 있어서,
    상기 제1 메탈층은,
    상기 제1 조립 전극 및 상기 제2 조립 전극과 구조적으로 연결되어 있지 않는, 반도체 발광소자 디스플레이 장치.
  17. 제10항에 있어서,
    상기 제1 메탈층과 상기 제2 조립 전극 상에 각각 배치되는 제1 절연층 및 제2 절연층을 더 포함하는, 반도체 발광소자 디스플레이 장치.
PCT/KR2022/003902 2022-03-21 2022-03-21 반도체 발광소자 디스플레이 장치의 조립기판 구조 및 이를 포함하는 디스플레이 장치 WO2023182538A1 (ko)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PCT/KR2022/003902 WO2023182538A1 (ko) 2022-03-21 2022-03-21 반도체 발광소자 디스플레이 장치의 조립기판 구조 및 이를 포함하는 디스플레이 장치
US18/123,738 US20230299064A1 (en) 2022-03-21 2023-03-20 Assembly substrate structure of semiconductor light emitting device display device and display device including the same

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PCT/KR2022/003902 WO2023182538A1 (ko) 2022-03-21 2022-03-21 반도체 발광소자 디스플레이 장치의 조립기판 구조 및 이를 포함하는 디스플레이 장치

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2023182538A1 true WO2023182538A1 (ko) 2023-09-28

Family

ID=88067345

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/KR2022/003902 WO2023182538A1 (ko) 2022-03-21 2022-03-21 반도체 발광소자 디스플레이 장치의 조립기판 구조 및 이를 포함하는 디스플레이 장치

Country Status (2)

Country Link
US (1) US20230299064A1 (ko)
WO (1) WO2023182538A1 (ko)

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20050009303A1 (en) * 2000-09-12 2005-01-13 Schatz Kenneth David Method and apparatus for self-assembly of functional blocks on a substrate facilitated by electrode pairs
KR20190118992A (ko) * 2019-10-01 2019-10-21 엘지전자 주식회사 마이크로 led를 이용한 디스플레이 장치 및 이의 제조 방법
KR20200026683A (ko) * 2019-06-28 2020-03-11 엘지전자 주식회사 디스플레이 장치의 제조방법 및 디스플레이 장치 제조를 위한 기판
KR20210086816A (ko) * 2019-12-30 2021-07-09 삼성디스플레이 주식회사 표시 장치 및 표시 장치의 제조 방법
KR20210132465A (ko) * 2020-04-27 2021-11-04 국민대학교산학협력단 마이크로-나노핀 led 소자를 이용한 풀-컬러 led 디스플레이 및 이의 제조방법

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20050009303A1 (en) * 2000-09-12 2005-01-13 Schatz Kenneth David Method and apparatus for self-assembly of functional blocks on a substrate facilitated by electrode pairs
KR20200026683A (ko) * 2019-06-28 2020-03-11 엘지전자 주식회사 디스플레이 장치의 제조방법 및 디스플레이 장치 제조를 위한 기판
KR20190118992A (ko) * 2019-10-01 2019-10-21 엘지전자 주식회사 마이크로 led를 이용한 디스플레이 장치 및 이의 제조 방법
KR20210086816A (ko) * 2019-12-30 2021-07-09 삼성디스플레이 주식회사 표시 장치 및 표시 장치의 제조 방법
KR20210132465A (ko) * 2020-04-27 2021-11-04 국민대학교산학협력단 마이크로-나노핀 led 소자를 이용한 풀-컬러 led 디스플레이 및 이의 제조방법

Also Published As

Publication number Publication date
US20230299064A1 (en) 2023-09-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO2020060006A1 (ko) 발광 소자의 정렬 방법과 이를 이용한 표시 장치의 제조 방법
WO2024075859A1 (ko) 디스플레이 장치
WO2023068407A1 (ko) 반도체 발광소자를 포함하는 디스플레이 장치
WO2023106766A1 (ko) 반도체 발광 소자 및 디스플레이 장치
WO2023106861A1 (ko) 화소용 반도체 발광소자의 전사를 위한 기판 구조 및 이를 포함하는 디스플레이 장치
WO2024005218A1 (ko) 디스플레이 장치
WO2020251070A1 (ko) 마이크로 led를 이용한 디스플레이 장치 및 이의 제조 방법
WO2023182538A1 (ko) 반도체 발광소자 디스플레이 장치의 조립기판 구조 및 이를 포함하는 디스플레이 장치
WO2024025017A1 (ko) 반도체 발광소자 디스플레이 장치의 조립기판 구조 및 이를 포함하는 디스플레이 장치
WO2023132385A1 (ko) 반도체 발광소자의 디스플레이 장치
WO2024080391A1 (ko) 반도체 발광소자를 포함하는 디스플레이 장치
WO2023106455A1 (ko) 반도체 발광소자 디스플레이 장치의 조립기판 구조 및 이를 포함하는 디스플레이 장치
WO2024025015A1 (ko) 디스플레이 화소용 반도체 발광소자 및 이를 포함하는 디스플레이 장치
WO2024075876A1 (ko) 디스플레이 장치
WO2024147366A1 (ko) 화소용 반도체 발광소자의 마그넷 조립장치 및 이를 포함하는 디스플레이 화소용 반도체 발광소자의 자가 조립 장치
WO2024034697A1 (ko) 반도체 발광 소자 및 디스플레이 장치
WO2024080390A1 (ko) 반도체 발광소자를 포함하는 디스플레이 장치
WO2023033261A1 (ko) 반도체 발광소자의 조립 기판구조 및 이를 포함하는 디스플레이 장치
WO2024025019A1 (ko) 디스플레이 화소용 반도체 발광소자의 조립 기판구조 및 이를 포함하는 디스플레이 장치
WO2023022268A1 (ko) 반도체 발광소자를 포함하는 디스플레이 장치
WO2023027217A1 (ko) 디스플레이 장치
WO2024122682A1 (ko) 반도체 발광 소자 및 디스플레이 장치
WO2023068409A1 (ko) 반도체 발광소자를 포함하는 디스플레이 장치
WO2024024998A1 (ko) 디스플레이 장치
WO2023033213A1 (ko) 디스플레이 패널용 반도체 발광소자 및 이를 포함하는 디스플레이 장치

Legal Events

Date Code Title Description
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 22933711

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1