WO2022130807A1 - 配線回路基板集合体シート - Google Patents

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WO2022130807A1
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conductor pattern
dummy
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wiring circuit
circuit board
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PCT/JP2021/040204
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理人 福島
敬裕 池田
瞬 志賀
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日東電工株式会社
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    • H05K2203/0703Plating
    • H05K2203/0723Electroplating, e.g. finish plating

Definitions

  • the present invention relates to a wiring circuit board assembly sheet.
  • the present invention is a frame that supports a wiring circuit board having an insulating layer, a conductor pattern located on the insulating layer, and the wiring circuit board, and is a dummy made of the same material as the conductor pattern.
  • a frame having a conductor pattern is provided, and the wiring circuit board has a first edge located away from the dummy conductor pattern and a second edge located between the first edge and the dummy conductor pattern.
  • the frame is a dummy forming region containing the dummy conductor pattern, has a width of 5 mm from the second edge in a direction orthogonal to the second edge, and extends in a direction in which the second edge extends.
  • It has a dummy forming region having the same length as the wiring circuit board, and the ratio of the area of the conductor pattern to the area of the insulating layer and the percentage of the area of the dummy conductor pattern to the area of the dummy forming region.
  • the thickness of the conductor pattern is made uniform.
  • the difference between the percentage of the area of the conductor pattern to the area of the insulating layer and the percentage of the area of the dummy conductor pattern to the area of the dummy forming region is 30% or less.
  • the conductor pattern has a first conductor pattern having a first thickness and a second conductor pattern having a second thickness thicker than the first thickness
  • the dummy conductor pattern is The wiring circuit board assembly sheet according to the above [1] or [2], which has the first dummy conductor pattern having the first thickness and the second dummy conductor pattern having the second thickness.
  • the difference between the area of the first conductor pattern to the area of the insulating layer and the area of the first dummy conductor pattern to the area of the dummy forming region is 0% or more. It is 50% or less, and the difference between the area of the second conductor pattern to the area of the insulating layer and the area of the second dummy conductor pattern to the area of the dummy forming region is 50% or less.
  • the wiring circuit board aggregate sheet of the above [3] is included.
  • the difference between the area of the first conductor pattern to the area of the insulating layer and the area of the first dummy conductor pattern to the area of the dummy forming region is 30% or less.
  • the difference between the percentage of the area of the second conductor pattern to the area of the insulating layer and the percentage of the area of the second dummy conductor pattern to the area of the dummy forming region is 30% or less.
  • the wiring circuit board assembly sheet of the present invention it is possible to obtain a wiring circuit board in which the thickness of the conductor pattern is made uniform.
  • FIG. 1 is a plan view of a wiring circuit board assembly sheet as an embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 is an enlarged view of a part of the wiring circuit board assembly sheet shown in FIG.
  • FIG. 3 is a cross-sectional view taken along the line AA of the wiring circuit board assembly sheet shown in FIG. 4A to 4C are explanatory views for explaining a method for manufacturing a wiring circuit board assembly sheet
  • FIG. 4A shows a first insulating layer forming step
  • FIG. 4B shows a plated resist in the resist step
  • 4C shows a step of exposing a film of a plated resist in the resist step.
  • 5A to 5C are explanatory views for explaining a method of manufacturing a wiring circuit board assembly sheet following FIG. 4C, and FIG.
  • FIG. 5A shows a conductor pattern and a dummy conductor by electrolytic plating in a pattern forming step.
  • 5B shows a step of forming a pattern
  • FIG. 5B shows a step of peeling off the plating resist layer in the pattern forming step
  • FIG. 5C shows a second insulating layer forming step.
  • FIG. 6 is an explanatory diagram for explaining the first modification.
  • FIG. 7 is an explanatory diagram for explaining the second modification.
  • FIG. 8 is a cross-sectional view of the wiring circuit board assembly sheet of the third modification.
  • 9A to 9D are explanatory views for explaining a method for manufacturing a wiring circuit board assembly sheet of a third modification
  • FIG. 9A shows a film of a plated resist is exposed in a first resist step.
  • FIG. 9B shows a process
  • FIG. 9B shows a process of developing a film of a plated resist in a first resist step
  • FIG. 9C shows a first conductor pattern and a first dummy conductor pattern by electrolytic plating in a first pattern forming step.
  • the forming step is shown
  • FIG. 9D shows a step of peeling off the plating resist layer in the first pattern forming step.
  • 10A to 10D are explanatory views for explaining a method of manufacturing a wiring circuit board assembly sheet of a third modification, following FIG. 9D
  • FIG. 10A is a plating in a second resist step.
  • FIG. 10B shows a step of exposing a film of a resist
  • FIG. 10B shows a step of exposing a film of a resist
  • FIG. 10B shows a step of developing a film of a plated resist in a second resist step
  • FIG. 10C shows a second conductor pattern and a second conductor pattern by electrolytic plating in the second pattern forming step.
  • a step of forming the second dummy conductor pattern is shown
  • FIG. 10D shows a step of peeling off the plating resist layer in the second pattern forming step.
  • FIG. 11 is an explanatory diagram for explaining a fourth modification.
  • the wiring circuit board assembly sheet 1 has a sheet shape extending in the first direction and the second direction. The second direction is orthogonal to the first direction.
  • the wiring circuit board assembly sheet 1 includes a plurality of wiring circuit boards 2 and a frame 3.
  • Wiring Circuit Boards A plurality of wiring circuit boards 2 are arranged at intervals in the first direction and at intervals from each other in the second direction. Hereinafter, one wiring circuit board 2 in the wiring circuit board assembly sheet 1 will be described.
  • the wiring circuit board 2 extends in the first direction and the second direction.
  • the wiring circuit board 2 has a plurality of edges E1, E2, E3, and E4.
  • the wiring circuit board 2 has a substantially rectangular shape.
  • the shape of the wiring circuit board 2 is not limited.
  • the edge E1 is located at one end of the wiring circuit board 2 in the first direction.
  • the edge E2 is located at the other end of the wiring circuit board 2 in the first direction.
  • the edge E2 is located away from the edge E1 in the first direction.
  • the edge E3 is located at one end of the wiring circuit board 2 in the second direction.
  • the edge E4 is located at the other end of the wiring circuit board 2 in the second direction.
  • the edge E4 is located away from the edge E3 in the second direction.
  • the wiring circuit board 2 has a support layer 21, a base insulating layer 22 as an example of an insulating layer, a conductor pattern 23, and a cover insulating layer 24.
  • the support layer 21 supports the base insulating layer 22, the conductor pattern 23, and the cover insulating layer 24.
  • the support layer 21 is made of, for example, metal. Examples of the metal include stainless alloys and copper alloys.
  • the base insulation layer 22 is located above the support layer 21 in the thickness direction of the wiring circuit board assembly sheet 1.
  • the thickness direction is orthogonal to the first direction and the second direction.
  • the base insulating layer 22 is located between the support layer 21 and the conductor pattern 23 in the thickness direction.
  • the base insulating layer 22 insulates the support layer 21 and the conductor pattern 23.
  • the base insulating layer 22 is made of resin. Examples of the resin include polyimide.
  • the conductor pattern 23 is located on the base insulating layer 22 in the thickness direction.
  • the conductor pattern 23 is located on the opposite side of the support layer 21 with respect to the base insulating layer 22 in the thickness direction.
  • the conductor pattern 23 is made of metal. Examples of the metal include copper.
  • the conductor pattern 23 includes a plurality of first terminals 231A, 231B, 231C, 231D, a plurality of second terminals 232A, 232B, 232C, 232D, and a plurality of wirings 233A, 233B, 233C, 233D. And have.
  • the number of first terminals, the number of second terminals, and the number of wirings are not limited.
  • the first terminals 231A, 231B, 231C, and 231D are located at one end of the wiring circuit board 2 in the second direction.
  • the first terminals 231A, 231B, 231C, and 231D are arranged in the first direction with a distance from each other.
  • Each of the first terminals 231A, 231B, 231C, and 231D has a square land shape.
  • the second terminals 232A, 232B, 232C, and 232D are located at the other end of the wiring circuit board 2 in the second direction.
  • the second terminals 232A, 232B, 232C, and 232D are arranged in the first direction with a distance from each other.
  • Each of the second terminals 232A, 232B, 232C, and 232D has a square land shape.
  • the wiring 233A electrically connects the first terminal 231A and the second terminal 232A.
  • the wiring 233B electrically connects the first terminal 231B and the second terminal 232B.
  • the wiring 233C electrically connects the first terminal 231C and the second terminal 232C.
  • the wiring 233D electrically connects the first terminal 231D and the second terminal 232D.
  • the difference between the measured value of the thickness of the conductor pattern 23 and the design value is, for example, 10% or less, preferably 5% or less with respect to the design value.
  • the lower limit of the difference between the measured value of the thickness of the conductor pattern 23 and the design value is not limited.
  • the difference between the measured value of the thickness of the conductor pattern 23 and the design value may be 0%.
  • the cover insulating layer 24 covers the wiring 233A, the wiring 233B, the 233C, and the 233D.
  • the cover insulating layer 24 is located above the base insulating layer 22 in the thickness direction.
  • the cover insulating layer 24 does not cover the first terminals 231A, 231B, 231C, 231D (see FIG. 2) and the second terminals 232A, 232B, 232C, and 232D (see FIG. 2).
  • the cover insulating layer 24 is made of resin. Examples of the resin include polyimide.
  • the wiring circuit board assembly sheet 1 has a notch 11 and a plurality of connection portions 12A and 12B around the wiring circuit board 2.
  • the notch 11 extends along the outer shape of the wiring circuit board 2.
  • the notch 11 separates the wiring circuit board 2 and the frame 3.
  • the frame 3 surrounds the wiring circuit board 2.
  • the frame 3 has a plurality of adjacent portions 3A, 3B, 3C, and 3D around the wiring circuit board 2.
  • the adjacent portion 3A is adjacent to the edge E1.
  • the adjacent portion 3A extends in the second direction along the edge E1.
  • the adjacent portion 3B is located on the opposite side of the adjacent portion 3A with respect to the wiring circuit board 2 in the first direction.
  • the adjacent portion 3B is adjacent to the edge E2.
  • the adjacent portion 3B extends in the second direction along the edge E2.
  • the adjacent portion 3C is adjacent to the edge E3.
  • the adjacent portion 3C extends in the first direction along the edge E3.
  • the adjacent portion 3D is located on the opposite side of the adjacent portion 3C with respect to the wiring circuit board 2 in the second direction.
  • the adjacent portion 3D is adjacent to the edge E4.
  • connection portions 12A and 12B connect the wiring circuit board 2 and the frame 3. Specifically, the connecting portion 12A is located between the adjacent portion 3A and the edge E1, and connects the adjacent portion 3A and the edge E1. The connecting portion 12B is located between the adjacent portion 3B and the edge E2, and connects the adjacent portion 3B and the edge E2. As a result, the frame 3 supports the wiring circuit board 2.
  • the frame 3 has two dummy forming regions 30A and 30B and two dummy conductor patterns 33A and 33B for one wiring circuit board 2.
  • the dummy forming region 30A is a region in which the dummy conductor pattern 33A is formed.
  • the dummy forming region 30A is located on one side of the wiring circuit board 2 in the first direction.
  • the dummy forming region 30A includes a part of the adjacent portion 3A.
  • the dummy forming region 30A is defined with reference to the edge E1 of the wiring circuit board 2.
  • the dummy forming region 30A has a width W1 of 5 mm from the edge E1 in the direction orthogonal to the edge E1, and has the same length L1 as the wiring circuit board 2 in the direction in which the edge E1 extends.
  • the dummy forming region 30B is a region where the dummy conductor pattern 33B is formed.
  • the dummy forming region 30B is located on the other side of the wiring circuit board 2 in the first direction.
  • the dummy forming region 30B includes a part of the adjacent portion 3B.
  • the dummy forming region 30B has a width W2 of 5 mm from the edge E2 in the direction orthogonal to the edge E2, and has the same length L2 as the wiring circuit board 2 in the direction in which the edge E2 extends.
  • the dummy conductor pattern 33A is located in the dummy forming region 30A.
  • the dummy forming region 30A includes the dummy conductor pattern 33A.
  • the dummy conductor pattern 33A is located on one side of the wiring circuit board 2 in the first direction.
  • the edge E2 is located away from the dummy conductor pattern 33A in the first direction.
  • the edge E1 is located between the edge E2 and the dummy conductor pattern 33A in the first direction.
  • the length of the dummy conductor pattern 33A in the second direction is the same as the length of the conductor pattern 23 in the second direction.
  • the dummy conductor pattern 33A may be longer than the conductor pattern 23 in the second direction.
  • the shape of the dummy conductor pattern 33A is not limited.
  • the shape of the dummy conductor pattern 33A may be different from the shape of the conductor pattern 23.
  • the dummy conductor pattern 33A has a plurality of dummy wirings 331A.
  • the plurality of dummy wirings 331A are arranged at intervals from each other in the first direction. Each of the plurality of dummy wirings 331A extends in the second direction. Each of the plurality of dummy wirings 331A extends in the direction in which the wirings 233A, 233B, 233C, and 233D of the conductor pattern 23 extend. The length of each of the plurality of dummy wirings 331A in the second direction is the same as the length of the conductor pattern 23 in the second direction. Each of the plurality of dummy wires 331A may be longer than the conductor pattern 23 in the second direction.
  • the dummy conductor pattern 33A may have a comb shape in which one end of each of the plurality of dummy wirings 331A is connected to each other.
  • the percentage of the area of the conductor pattern 23 with respect to the area of the base insulating layer 22 is defined as the "conductor pattern area ratio”
  • the percentage of the area of the dummy conductor pattern 33A with respect to the area of the dummy forming region 30A is defined as the "dummy conductor pattern area ratio”.
  • the difference between the conductor pattern area ratio and the dummy conductor pattern area ratio is 50% or less, preferably 30% or less, more preferably 20% or less, more preferably 10% or less, and more preferably. It is 5% or less.
  • the lower limit of the difference between the conductor pattern area ratio and the dummy conductor pattern area ratio is not limited.
  • the difference between the conductor pattern area ratio and the dummy conductor pattern area ratio may be 0%.
  • the dummy conductor pattern 33B is located in the dummy forming region 30B.
  • the dummy forming region 30B includes the dummy conductor pattern 33B.
  • the dummy conductor pattern 33B is located on the other side of the wiring circuit board 2 in the first direction.
  • the edge E1 is located away from the dummy conductor pattern 33B in the first direction.
  • the edge E2 is located between the edge E1 and the dummy conductor pattern 33B in the first direction.
  • the description of the dummy conductor pattern 33B is the same as the description of the dummy conductor pattern 33A. Therefore, the description of the dummy conductor pattern 33B will be omitted.
  • the frame 3 has a frame support layer 31, a frame insulating layer 32, and the above-mentioned dummy conductor patterns 33A and 33B.
  • the frame support layer 31 is made of the same material as the support layer 21 of the wiring circuit board 2.
  • the frame insulating layer 32 is located above the frame support layer 31 in the thickness direction.
  • the frame insulating layer 32 of the adjacent portion 3A is located between the frame support layer 31 and the dummy conductor pattern 33A in the thickness direction.
  • the frame insulating layer 32 of the adjacent portion 3A insulates the frame support layer 31 and the dummy conductor pattern 33A.
  • the frame insulating layer 32 of the adjacent portion 3B is located between the frame support layer 31 and the dummy conductor pattern 33B in the thickness direction.
  • the frame insulating layer 32 of the adjacent portion 3B insulates the frame support layer 31 and the dummy conductor pattern 33B.
  • the frame insulating layer 32 is made of the same material as the base insulating layer 22 of the wiring circuit board 2.
  • the frame insulating layer 32 may be formed only in the portion where the dummy conductor patterns 33A and 33B are formed.
  • Each of the dummy conductor patterns 33A and 33B is located on the frame insulating layer 32 in the thickness direction.
  • Each of the dummy conductor patterns 33A and 33B is located on the opposite side of the frame support layer 31 with respect to the frame insulating layer 32 in the thickness direction.
  • the dummy conductor patterns 33A and 33B are made of the same material as the conductor pattern 23 of the wiring circuit board 2.
  • the frame 3 may have a cover insulating layer that covers the dummy wiring patterns 33A and 33B.
  • the cover insulating layer of the frame 3 is located above the frame insulating layer 32 in the thickness direction.
  • the cover insulating layer of the frame 3 is made of the same material as the cover insulating layer 24 of the wiring circuit board 2.
  • the wiring circuit board assembly sheet 1 is manufactured by the semi-additive method.
  • the wiring circuit board assembly sheet 1 may be manufactured by an additive method.
  • the method for manufacturing the wiring circuit board assembly sheet 1 includes a first insulating layer forming step (see FIG. 4A), a resist step (see FIGS. 4B and 4C), and a pattern forming step (see FIGS. 5A and 5B). It includes a second insulating layer forming step (see FIG. 5C).
  • the base material S is a material for the support layer 21 (see FIG. 3) of the wiring circuit board 2 and the frame support layer 31 (see FIG. 3) of the frame 3.
  • the base material S is a metal foil made of a metal forming the support layer 21 and the frame support layer 31.
  • the base insulating layer 22 is formed on the product area A1 of the base material S, and the frame insulating layer 32 is formed on the frame area A2 of the base material S.
  • the product area A1 is an area that becomes the wiring circuit board 2.
  • the frame area A2 is an area that becomes the frame 3.
  • the first insulating layer forming step first, a photosensitive resin solution (varnish) is applied onto the base material S and dried to form a photosensitive resin coating film. Next, the coating film of the photosensitive resin is exposed and developed. As a result, the base insulating layer 22 and the frame insulating layer 32 are formed on the base material S.
  • a photosensitive resin solution varnish
  • the plated resist layer R is formed on the base insulating layer 22 and the frame insulating layer 32.
  • a seed layer is formed on the surfaces of the base insulating layer 22 and the frame insulating layer 32.
  • the seed layer is formed, for example, by sputtering.
  • the seed layer material include chromium, copper, nickel, titanium, and alloys thereof.
  • the film F of the plating resist is bonded onto the base insulating layer 22 and the frame insulating layer 32 on which the seed layer is formed.
  • the photomask M is superposed on the film F of the plating resist, and the film F of the plating resist is exposed in a state where the conductor pattern 23 and the portions where the dummy conductor patterns 33A and 33B are formed are shielded from light.
  • the exposed plating resist film F is developed.
  • the plating resist of the light-shielded portion that is, the portion where the conductor pattern 23 and the dummy conductor patterns 33A, 33B are formed is removed, and the exposed portion, that is, the conductor pattern 23 and the dummy conductor patterns 33A, 33B are removed.
  • the plating resist of the part that is not formed remains.
  • a plated resist layer R having openings R1, R2, and R3 is formed on the base insulating layer 22 and the frame insulating layer 32.
  • the opening R1 is formed by removing the plating resist at the portion where the conductor pattern 23 is formed.
  • the opening R2 is formed by removing the plating resist at the portion where the dummy conductor pattern 33A is formed.
  • the opening R3 is formed by removing the plating resist at the portion where the dummy conductor pattern 33B is formed.
  • the seed layer is exposed through the openings R1, R2, R3.
  • the percentage of the area of the opening R1 with respect to the area of the base insulating layer 22 is defined as the "conductor pattern aperture ratio", the percentage of the area of the opening R2 with respect to the area of the dummy forming region A11, and the opening R3 with respect to the area of the dummy forming region A12.
  • the percentage of the area of is defined as “dummy conductor pattern opening ratio”
  • the difference between the conductor pattern opening ratio and the dummy conductor pattern opening ratio is 50% or less, preferably 30% or less, more preferably 20%. Below, it is more preferably 10% or less, and more preferably 5% or less.
  • the dummy forming region A11 in the method for manufacturing the wiring circuit board assembly sheet 1 is defined with reference to the product region A1.
  • the dummy forming region A11 has a width of 5 mm from the edge E11 in the direction orthogonal to the edge E11 on one side of the product region A1 in the first direction, and the product region A1 in the direction in which the edge E11 extends. Has the same length as. Therefore, the range of the dummy forming region A11 is the same as the range of the dummy forming region 30A (see FIG. 2) described above.
  • the dummy forming region A12 has a width of 5 mm from the edge E12 in the direction orthogonal to the edge E12 on the other side of the product region A1 in the first direction, and has the same length as the product region A1 in the direction in which the edge E12 extends. Have.
  • the range of the dummy forming region A12 is the same as the range of the dummy forming region 30B (see FIG. 2) described above.
  • the conductor pattern 23 is formed together with the dummy conductor patterns 33A and 33B. Therefore, in the plating solution, the metal ion concentration around the product region A1 can be made uniform, and the thickness of the conductor pattern 23 can be made uniform.
  • the plating resist layer R is peeled off as shown in FIG. 5B. Then, the seed layer covered with the plating resist layer R is removed by etching.
  • the second insulating layer forming step first, a photosensitive resin solution (varnish) is applied onto the base insulating layer 22 and the conductor pattern 23 and dried to form a photosensitive resin coating film. Next, the coating film of the photosensitive resin is exposed and developed. As a result, the cover insulating layer 24 is formed.
  • a photosensitive resin solution varnish
  • the base material S between the product area A1 (see FIG. 4A) and the frame area A2 (see FIG. 4A) is removed by etching to obtain the wiring circuit board assembly sheet 1 described above. ..
  • the density of the dummy conductor pattern 33A in the dummy forming region 30A is close to the density of the conductor pattern 23 in the wiring circuit board 2.
  • the thickness of the conductor pattern 23 is made uniform.
  • the difference between the conductor pattern opening ratio and the dummy conductor pattern opening ratio of the plated resist layer R is 50% or less in the resist process. It has been adjusted.
  • FIG. 5A when electrolytic plating is performed in the pattern forming step, the metal ion concentration around the product region A1 is made uniform in the plating solution, and the thickness of the conductor pattern 23 is made uniform. It is planned.
  • the thickness of the conductor pattern 23 is made uniform. ..
  • the dummy conductor pattern 33 may be arranged on both sides of the wiring circuit board 2 in the first direction and on both sides of the wiring circuit board 2 in the second direction.
  • the dummy conductor pattern 33 may extend in a direction intersecting the direction in which the wirings 233A, 233B, 233C, and 233D of the conductor pattern 23 extend.
  • the dummy conductor pattern 33 may not be present between the wiring circuit boards 2.
  • the plurality of wiring circuit boards 2 are connected to each other via a connection portion.
  • the frame 3 is located on the outer peripheral portion of the wiring circuit board assembly sheet 1.
  • the frame 3 surrounds a plurality of wiring circuit boards 2.
  • the dummy forming region is defined with reference to the edge of the wiring circuit board 2A closest to the frame 3.
  • the wiring density is increased by the adjacent wiring circuit boards 2A and 2B. Uniformity is achieved.
  • a dummy forming region is defined with reference to the edge of the wiring circuit board 2A closest to the frame 3, and the wiring density of the dummy conductor pattern 33 in the dummy forming region is set to the wiring density of the conductor pattern 23 of the wiring circuit board 2A. If approximated, the wiring density can be made uniform in all the wiring circuit boards 2 of the wiring circuit board assembly sheet 1.
  • the conductor pattern 23 includes a first conductor pattern 41 having a first thickness T1 and a second conductor pattern 42 having a second thickness T2 thicker than the first thickness T1. You may.
  • the dummy conductor pattern 33A has a first dummy conductor pattern 51A having a first thickness T1 and a second dummy conductor pattern 52A having a second thickness T2.
  • the shapes of the first dummy conductor pattern 51A and the second dummy conductor pattern 52A are not limited.
  • the dummy wirings of the first dummy conductor pattern 51A and the second dummy conductor pattern 52A are Dummy wiring may be arranged alternately.
  • the difference between the percentage of the area of the first conductor pattern 41 to the area of the base insulating layer 22 and the percentage of the area of the first dummy conductor pattern 51A to the area of the dummy forming region 30A is preferably 50% or less. Is 30% or less, more preferably 20% or less, more preferably 10% or less, and more preferably 5% or less.
  • the difference between the percentage of the area of the second conductor pattern 42 to the area of the base insulating layer 22 and the percentage of the area of the second dummy conductor pattern 52A to the area of the dummy forming region 30A is preferably 50% or less. Is 30% or less, more preferably 20% or less, more preferably 10% or less, and more preferably 5% or less.
  • the dummy conductor pattern 33B also has a first dummy conductor pattern 51B having a first thickness T1 and a second dummy conductor pattern 52B having a second thickness T2.
  • the description of the dummy conductor pattern 33B is the same as the description of the dummy conductor pattern 33A. Therefore, the description of the dummy conductor pattern 33B will be omitted.
  • the manufacturing method of this modification is the above-mentioned first insulating layer forming step (see FIG. 4A), the first resist step (see FIGS. 9A and 9B), and the first pattern forming step (see FIGS. 9C and 9D).
  • a second resist step see FIGS. 10A and 10B
  • a second pattern forming step see FIGS. 10C and 10D
  • the above-mentioned second insulating layer forming step see FIG. 5C
  • the plated resist layer RA having openings RA1, RA2, and RA3 on the base insulating layer 22 and the frame insulating layer 32 in the same manner as the resist step described above.
  • the opening RA1 is formed by removing the plating resist at the portion where the first conductor pattern 41 is formed.
  • the opening RA2 is formed by removing the plating resist at the portion where the first dummy conductor pattern 51A is formed.
  • the opening RA3 is formed by removing the plating resist at the portion where the first dummy conductor pattern 51B is formed.
  • the difference between the percentage of the area of the opening RA1 to the area of the base insulating layer 22 and the percentage of the area of the opening RA2 to the area of the dummy forming region A11 is 50% or less, preferably 30% or less, more preferably 20%. Below, it is more preferably 10% or less, and more preferably 5% or less.
  • the difference between the percentage of the area of the opening RA1 to the area of the base insulating layer 22 and the percentage of the area of the opening RA3 to the area of the dummy forming region A12 is 50% or less, preferably 30% or less, more preferably 20%. Below, it is more preferably 10% or less, and more preferably 5% or less.
  • the first conductor pattern 41 is formed on the seed layer in the opening RA1 by electrolytic plating, and the first is formed on the seed layer in the opening RA2.
  • the dummy conductor pattern 51A is formed, and the first dummy conductor pattern 51B is formed on the seed layer in the opening RA3.
  • the first conductor pattern 41 is formed together with the first dummy conductor patterns 51A and 51B.
  • the first dummy conductor pattern 51A is formed in the dummy forming region A11 in the above range.
  • the first dummy conductor pattern 51B is formed in the dummy forming region A12 in the above range.
  • the metal ion concentration around the product area A1 can be made uniform, and the thickness of the first conductor pattern 41 can be made uniform.
  • the plating resist layer RA is peeled off as shown in FIG. 9D. Then, the seed layer covered with the plating resist layer RA is removed by etching.
  • the plated resist layer RB having openings RB1, RB2, and RB3 on the base insulating layer 22 and the frame insulating layer 32 is similar to the resist step described above.
  • the opening RB1 is formed by removing the plating resist at the portion where the second conductor pattern 42 is formed.
  • the opening RB2 is formed by removing the plating resist at the portion where the second dummy conductor pattern 52A is formed.
  • the opening RB3 is formed by removing the plating resist at the portion where the second dummy conductor pattern 52B is formed.
  • the difference between the percentage of the area of the opening RB1 to the area of the base insulating layer 22 and the percentage of the area of the opening RB2 to the area of the dummy forming region A11 is 50% or less, preferably 30% or less, more preferably 20%. Below, it is more preferably 10% or less, and more preferably 5% or less.
  • the difference between the percentage of the area of the opening RB1 to the area of the base insulating layer 22 and the percentage of the area of the opening RB3 to the area of the dummy forming region A12 is 50% or less, preferably 30% or less, more preferably 20%. Below, it is more preferably 10% or less, and more preferably 5% or less.
  • the second conductor pattern 42 is formed on the seed layer in the opening RB1 by electrolytic plating, and the second conductor pattern 42 is formed on the seed layer in the opening RB2.
  • the dummy conductor pattern 52A is formed, and the second dummy conductor pattern 52B is formed on the seed layer in the opening RB3.
  • the second conductor pattern 42 is formed together with the second dummy conductor patterns 52A and 52B.
  • the second dummy conductor pattern 52A is formed in the dummy forming region A11 in the above range.
  • the second dummy conductor pattern 52B is formed in the dummy forming region A12 in the above range.
  • the metal ion concentration around the product area A1 can be made uniform, and the thickness of the second conductor pattern 42 can be made uniform.
  • the plating resist layer RB is peeled off as shown in FIG. 10D. Then, the seed layer covered with the plating resist layer RB is removed by etching.
  • one edge E21 of the wiring circuit board 60 in the first direction has an edge E211 extending in the second direction, an edge E212 inclined with respect to the second direction, and an edge E212 in the second direction.
  • the dummy forming region 61 includes a portion 61A extending in the second direction, a portion 61B inclined with respect to the second direction, and a portion 61C extending in the second direction along the edge E21. And include.
  • the portion 61A has a width W10 of 5 mm from the edge E211 in a direction orthogonal to the direction in which the edge E211 extends, and has the same length as a portion extending in the second direction of the wiring circuit board 60 in the direction in which the edge E211 extends. Has L10.
  • the portion 61B has a width W10 of 5 mm from the edge E212 in a direction orthogonal to the direction in which the edge E212 extends, and a portion extending in a direction inclined from the second direction of the wiring circuit board 60 in the direction in which the edge E212 extends. And have the same length L20.
  • the portion 61C has a width W10 of 5 mm from the edge E213 in a direction orthogonal to the direction in which the edge E213 extends, and a portion extending in a direction inclined with the second direction of the wiring circuit board 60 in the direction in which the edge E213 extends. And have the same length L30.
  • the dummy forming region 61 has a width W10 of 5 mm from each of the edges E211, E212, and E213 in a direction orthogonal to the direction in which each of the edges E211, E212, and E213 extends, and the edges E211, E212, and E213 have the edges E211, E212, and E213. It has the same length (L10 + L20 + L30) as the wiring circuit board 60 in the extending direction.
  • a photosensitive resin solution (varnish) was applied onto a metal foil (base material) and dried to form a photosensitive resin coating film.
  • the coating film of the photosensitive resin was exposed and developed to form a base insulating layer and a frame insulating layer on the metal foil (see the first insulating layer forming step, FIG. 4A).
  • a seed layer was formed on the surfaces of the base insulating layer and the frame insulating layer by sputtering.
  • a plating resist film was laminated on the base insulating layer and the frame insulating layer on which the seed layer was formed.
  • the exposed plating resist film was developed to form a plating resist layer (resist process, see FIG. 4C).
  • the first opening is formed by removing the plated resist in the portion where the conductor pattern is formed, and the second by removing the plated resist in the portion where the dummy conductor pattern is formed. An opening was formed.
  • a conductor pattern was formed on the seed layer in the first opening by electrolytic plating, and a dummy conductor pattern was formed on the seed layer in the second opening (pattern forming step, see FIG. 5A).
  • the plating resist layer was peeled off (see FIG. 5B). Then, the seed layer covered with the plating resist layer was removed by etching.
  • a photosensitive resin solution (varnish) was applied onto the base insulating layer and the conductor pattern and dried to form a photosensitive resin coating film.
  • the coating film of the photosensitive resin was exposed and developed to form a cover insulating layer (see FIG. 5C, second insulating layer forming step).
  • the base material was etched along the outer shape of the wiring circuit board to obtain a wiring circuit board assembly sheet.
  • The difference between the measured value and the design value is larger than 5% and 10% or less with respect to the design value.
  • The difference between the measured value and the design value is larger than 10% with respect to the design value.
  • the wiring circuit board assembly sheet of the present invention is used for manufacturing a wiring circuit board.
  • Wiring circuit board assembly sheet 2 Wiring circuit board 3 Frame 22 Base insulation layer 23 Conductor pattern 30A Dummy forming area 33A Dummy conductor pattern 41 1st conductor pattern 42 2nd conductor pattern 51A 1st dummy conductor pattern 52A 2nd dummy conductor pattern E1 Edge E2 Edge W1 Width L1 Length

Landscapes

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Abstract

配線回路基板集合体シート1は、導体パターン23とを有する配線回路基板2と、ダミー導体パターン33Aを有するフレーム3とを備える。フレーム3は、ダミー形成領域30Aを有する。ダミー形成領域30Aは、ダミー導体パターン33Aを含む。ダミー形成領域30Aは、配線回路基板2のエッジE1から5mmの幅を有し、エッジE1が延びる方向において、配線回路基板2と同じ長さを有する。ベース絶縁層22の面積に対する導体パターン23の面積の百分率と、ダミー形成領域30Aの面積に対するダミー導体パターン33Aの面積の百分率との差は、50%以下である。

Description

配線回路基板集合体シート
 本発明は、配線回路基板集合体シートに関する。
 従来、複数の配線回路基板と、複数の配線回路基板を支持する支持枠とを備える配線回路基板集合体シートにおいて、支持枠にダミーパターンを設けることが知られている(例えば、下記特許文献1参照。)。
特開2006-128409号公報
 特許文献1に記載されるような配線回路基板集合体シートにおいて、ダミーパターンの配線密度と、配線回路基板の導体パターンの配線密度との差が大きいと、配線回路基板の導体パターンの厚みが不均一である場合がある。
 本発明は、導体パターンの厚みの均一化が図られた配線回路基板を得ることができる配線回路基板集合体シートを提供する。
 本発明[1]は、絶縁層と、前記絶縁層の上に位置する導体パターンとを有する配線回路基板と、前記配線回路基板を支持するフレームであって、前記導体パターンと同じ材料からなるダミー導体パターンを有するフレームとを備え、前記配線回路基板が、前記ダミー導体パターンから離れて位置する第1エッジと、前記第1エッジと前記ダミー導体パターンとの間に位置する第2エッジと、を有し、前記フレームが、前記ダミー導体パターンを含むダミー形成領域であって、前記第2エッジと直交する方向において、前記第2エッジから5mmの幅を有し、前記第2エッジが延びる方向において、前記配線回路基板と同じ長さを有するダミー形成領域を有し、前記絶縁層の面積に対する前記導体パターンの面積の百分率と、前記ダミー形成領域の面積に対する前記ダミー導体パターンの面積の百分率との差が、50%以下である、配線回路基板集合体シートを含む。
 このような構成によれば、絶縁層の面積に対する導体パターンの面積の百分率と、ダミー形成領域の面積に対するダミー導体パターンの面積の百分率との差が、50%以下に調節されている。
 言い換えると、ダミー形成領域におけるダミー導体パターンの密度が、配線回路基板における導体パターンの密度と近似している。
 そのため、導体パターンが形成されたときに、導体パターンの厚みの均一化が図られている。
 その結果、導体パターンの厚みの均一化が図られた配線回路基板を得ることができる。
 本発明[2]は、前記絶縁層の面積に対する前記導体パターンの面積の百分率と、前記ダミー形成領域の面積に対する前記ダミー導体パターンの面積の百分率との差が、30%以下である、上記[1]の配線回路基板集合体シートを含む。
 本発明[3]は、前記導体パターンが、第1の厚みの第1導体パターンと、前記第1の厚みよりも厚い第2の厚みの第2導体パターンとを有し、前記ダミー導体パターンは、前記第1の厚みの第1ダミー導体パターンと、前記第2の厚みの第2ダミー導体パターンとを有する、上記[1]または[2]の配線回路基板集合体シートを含む。
 本発明[4]は、前記絶縁層の面積に対する前記第1導体パターンの面積の百分率と、前記ダミー形成領域の面積に対する前記第1ダミー導体パターンの面積の百分率との差が、0%以上、50%以下であり、前記絶縁層の面積に対する前記第2導体パターンの面積の百分率と、前記ダミー形成領域の面積に対する前記第2ダミー導体パターンの面積の百分率との差が、50%以下である、上記[3]の配線回路基板集合体シートを含む。
 本発明[5]は、前記絶縁層の面積に対する前記第1導体パターンの面積の百分率と、前記ダミー形成領域の面積に対する前記第1ダミー導体パターンの面積の百分率との差が、30%以下であり、前記絶縁層の面積に対する前記第2導体パターンの面積の百分率と、前記ダミー形成領域の面積に対する前記第2ダミー導体パターンの面積の百分率との差が、30%以下である、上記[3]の配線回路基板集合体シートを含む。
 本発明の配線回路基板集合体シートによれば、導体パターンの厚みの均一化が図られた配線回路基板を得ることができる。
図1は、本発明の一実施形態としての配線回路基板集合体シートの平面図である。 図2は、図1に示す配線回路基板集合体シートの一部を拡大した拡大図である。 図3は、図2に示す配線回路基板集合体シートのA-A断面図である。 図4Aから図4Cは、配線回路基板集合体シートの製造方法を説明するための説明図であって、図4Aは、第1絶縁層形成工程を示し、図4Bは、レジスト工程において、メッキレジストのフィルムを露光する工程を示し、図4Cは、レジスト工程において、メッキレジストのフィルムを現像する工程を示す。 図5Aから図5Cは、図4Cに続いて、配線回路基板集合体シートの製造方法を説明するための説明図であって、図5Aは、パターン形成工程において、電解メッキにより導体パターンおよびダミー導体パターンを形成する工程を示し、図5Bは、パターン形成工程において、メッキレジスト層を剥離する工程を示し、図5Cは、第2絶縁層形成工程を示す。 図6は、第1の変形例を説明するための説明図である。 図7は、第2の変形例を説明するための説明図である。 図8は、第3の変形例の配線回路基板集合体シートの断面図である。 図9Aから図9Dは、第3の変形例の配線回路基板集合体シートの製造方法を説明するための説明図であって、図9Aは、第1レジスト工程において、メッキレジストのフィルムを露光する工程を示し、図9Bは、第1レジスト工程において、メッキレジストのフィルムを現像する工程を示し、図9Cは、第1パターン形成工程において、電解メッキにより第1導体パターンおよび第1ダミー導体パターンを形成する工程を示し、図9Dは、第1パターン形成工程において、メッキレジスト層を剥離する工程を示す。 図10Aから図10Dは、図9Dに続いて、第3の変形例の配線回路基板集合体シートの製造方法を説明するための説明図であって、図10Aは、第2レジスト工程において、メッキレジストのフィルムを露光する工程を示し、図10Bは、第2レジスト工程において、メッキレジストのフィルムを現像する工程を示し、図10Cは、第2パターン形成工程において、電解メッキにより第2導体パターンおよび第2ダミー導体パターンを形成する工程を示し、図10Dは、第2パターン形成工程において、メッキレジスト層を剥離する工程を示す。 図11は、第4の変形例を説明するための説明図である。
 1.配線回路基板集合体シート
 図1に示すように、配線回路基板集合体シート1は、第1方向および第2方向に延びるシート形状を有する。第2方向は、第1方向と直交する。配線回路基板集合体シート1は、複数の配線回路基板2と、フレーム3とを備える。
 (1)配線回路基板
 複数の配線回路基板2は、第1方向に互いに間隔を隔てて並ぶとともに、第2方向に互いに間隔を隔てて並ぶ。以下、配線回路基板集合体シート1中の1つの配線回路基板2について説明する。
 図2に示すように、配線回路基板2は、第1方向および第2方向に延びる。配線回路基板2は、複数のエッジE1、E2、E3、E4を有する。本実施形態では、配線回路基板2は、略矩形状を有する。なお、配線回路基板2の形状は、限定されない。エッジE1は、第1方向における配線回路基板2の一端部に位置する。エッジE2は、第1方向における配線回路基板2の他端部に位置する。エッジE2は、第1方向において、エッジE1から離れて位置する。エッジE3は、第2方向における配線回路基板2の一端部に位置する。エッジE4は、第2方向における配線回路基板2の他端部に位置する。エッジE4は、第2方向において、エッジE3から離れて位置する。
 図3に示すように、本実施形態では、配線回路基板2は、支持層21と、絶縁層の一例としてのベース絶縁層22と、導体パターン23と、カバー絶縁層24とを有する。
 (1-1)支持層
 支持層21は、ベース絶縁層22、導体パターン23、および、カバー絶縁層24を支持する。支持層21は、例えば、金属からなる。金属としては、例えば、ステンレス合金、銅合金が挙げられる。
 (1-2)ベース絶縁層
 ベース絶縁層22は、配線回路基板集合体シート1の厚み方向において、支持層21の上に位置する。厚み方向は、第1方向および第2方向と直交する。ベース絶縁層22は、厚み方向において、支持層21と導体パターン23との間に位置する。ベース絶縁層22は、支持層21と導体パターン23とを絶縁する。ベース絶縁層22は、樹脂からなる。樹脂としては、例えば、ポリイミドが挙げられる。
 (1-3)導体パターン
 導体パターン23は、厚み方向において、ベース絶縁層22の上に位置する。導体パターン23は、厚み方向において、ベース絶縁層22に対して、支持層21の反対側に位置する。導体パターン23は、金属からなる。金属としては、例えば、銅が挙げられる。
 図2に示すように、導体パターン23は、複数の第1端子231A、231B、231C、231Dと、複数の第2端子232A、232B、232C、232Dと、複数の配線233A、233B、233C、233Dとを有する。なお、第1端子の数、第2端子の数、および配線の数は、限定されない。
 第1端子231A、231B、231C、231Dは、第2方向における配線回路基板2の一端部に位置する。本実施形態では、第1端子231A、231B、231C、231Dは、互いに間隔を隔てて、第1方向に並ぶ。第1端子231A、231B、231C、231Dのそれぞれは、角ランド形状を有する。
 第2端子232A、232B、232C、232Dは、第2方向における配線回路基板2の他端部に位置する。本実施形態では、第2端子232A、232B、232C、232Dは、互いに間隔を隔てて、第1方向に並ぶ。第2端子232A、232B、232C、232Dのそれぞれは、角ランド形状を有する。
 配線233Aは、第1端子231Aと第2端子232Aとを電気的に接続する。配線233Bは、第1端子231Bと第2端子232Bとを電気的に接続する。配線233Cは、第1端子231Cと第2端子232Cとを電気的に接続する。配線233Dは、第1端子231Dと第2端子232Dとを電気的に接続する。
 導体パターン23の厚みの測定値と設計値との差は、設計値に対して、例えば、10%以下、好ましくは、5%以下である。導体パターン23の厚みの測定値と設計値との差の下限値は、限定されない。導体パターン23の厚みの測定値と設計値との差は、0%であってもよい。
 (1-4)カバー絶縁層
 図3に示すように、カバー絶縁層24は、配線233A、配線233B、233C、233Dを覆う。カバー絶縁層24は、厚み方向において、ベース絶縁層22の上に位置する。なお、カバー絶縁層24は、第1端子231A、231B、231C、231D(図2参照)、および、第2端子232A、232B、232C、232D(図2参照)を覆わない。カバー絶縁層24は、樹脂からなる。樹脂としては、例えば、ポリイミドが挙げられる。
 (2)フレーム
 図2に示すように、配線回路基板集合体シート1は、配線回路基板2の周りにおいて、切欠き11と、複数の接続部12A、12Bとを有する。
 切欠き11は、配線回路基板2の外形形状に沿って延びる。切欠き11は、配線回路基板2とフレーム3とを区画する。フレーム3は、配線回路基板2を囲む。フレーム3は、配線回路基板2の周りにおいて、複数の隣接部3A、3B、3C、3Dを有する。隣接部3Aは、エッジE1に隣り合う。隣接部3Aは、エッジE1に沿って第2方向に延びる。隣接部3Bは、第1方向において、配線回路基板2に対して隣接部3Aの反対側に位置する。隣接部3Bは、エッジE2に隣り合う。隣接部3Bは、エッジE2に沿って第2方向に延びる。隣接部3Cは、エッジE3に隣り合う。隣接部3Cは、エッジE3に沿って第1方向に延びる。隣接部3Dは、第2方向において、配線回路基板2に対して隣接部3Cの反対側に位置する。隣接部3Dは、エッジE4に隣り合う。隣接部3Dは、エッジE4に沿って第1方向に延びる。
 接続部12A、12Bは、配線回路基板2とフレーム3とを接続する。詳しくは、接続部12Aは、隣接部3AとエッジE1との間に位置し、隣接部3AとエッジE1とを接続する。接続部12Bは、隣接部3BとエッジE2との間に位置し、隣接部3BとエッジE2とを接続する。これにより、フレーム3は、配線回路基板2を支持する。
 本実施形態では、フレーム3は、1つの配線回路基板2に対して、2つのダミー形成領域30A、30Bと、2つのダミー導体パターン33A、33Bとを有する。
 (2-1)ダミー形成領域
 ダミー形成領域30Aは、ダミー導体パターン33Aが形成される領域である。ダミー形成領域30Aは、第1方向において、配線回路基板2の一方側に位置する。ダミー形成領域30Aは、隣接部3Aの一部を含む。ダミー形成領域30Aは、配線回路基板2のエッジE1を基準に定義される。ダミー形成領域30Aは、エッジE1と直交する方向において、エッジE1から5mmの幅W1を有し、エッジE1が延びる方向において、配線回路基板2と同じ長さL1を有する。
 ダミー形成領域30Bは、ダミー導体パターン33Bが形成される領域である。ダミー形成領域30Bは、第1方向において、配線回路基板2の他方側に位置する。ダミー形成領域30Bは、隣接部3Bの一部を含む。ダミー形成領域30Bは、エッジE2と直交する方向において、エッジE2から5mmの幅W2を有し、エッジE2が延びる方向において、配線回路基板2と同じ長さL2を有する。
 (2-2)ダミー導体パターン
 ダミー導体パターン33Aは、ダミー形成領域30A内に位置する。言い換えると、ダミー形成領域30Aは、ダミー導体パターン33Aを含む。ダミー導体パターン33Aは、第1方向において、配線回路基板2の一方側に位置する。エッジE2は、第1方向において、ダミー導体パターン33Aから離れて位置する。エッジE1は、第1方向において、エッジE2とダミー導体パターン33Aとの間に位置する。第2方向におけるダミー導体パターン33Aの長さは、第2方向における導体パターン23の長さと同じである。ダミー導体パターン33Aは、第2方向において、導体パターン23より長くてもよい。ダミー導体パターン33Aの形状は、限定されない。ダミー導体パターン33Aの形状は、導体パターン23の形状と異なっていてもよい。本実施形態では、ダミー導体パターン33Aは、複数のダミー配線331Aを有する。
 複数のダミー配線331Aは、第1方向において、互いに間隔を隔てて並ぶ。複数のダミー配線331Aのそれぞれは、第2方向に延びる。複数のダミー配線331Aのそれぞれは、導体パターン23の配線233A、233B、233C、233Dが延びる方向に延びる。複数のダミー配線331Aのそれぞれの、第2方向における長さは、第2方向における導体パターン23の長さと同じである。複数のダミー配線331Aのそれぞれは、第2方向において、導体パターン23よりも長くてもよい。ダミー導体パターン33Aは、複数のダミー配線331Aのそれぞれの一端部が互いに接続された櫛形状を有してもよい。
 ベース絶縁層22の面積に対する導体パターン23の面積の百分率を、「導体パターン面積率」と定義し、ダミー形成領域30Aの面積に対するダミー導体パターン33Aの面積の百分率を、「ダミー導体パターン面積率」と定義した場合、導体パターン面積率とダミー導体パターン面積率との差は、50%以下、好ましくは、30%以下、より好ましくは、20%以下、より好ましくは、10%以下、より好ましくは、5%以下である。
 なお、導体パターン面積率とダミー導体パターン面積率との差の下限値は、限定されない。導体パターン面積率とダミー導体パターン面積率との差は、0%であってもよい。
 ダミー導体パターン33Bは、ダミー形成領域30B内に位置する。言い換えると、ダミー形成領域30Bは、ダミー導体パターン33Bを含む。ダミー導体パターン33Bは、第1方向において、配線回路基板2の他方側に位置する。エッジE1は、第1方向において、ダミー導体パターン33Bから離れて位置する。エッジE2は、第1方向において、エッジE1とダミー導体パターン33Bとの間に位置する。
 ダミー導体パターン33Bについての説明は、ダミー導体パターン33Aについての説明と同様である。そのため、ダミー導体パターン33Bについての説明は、省略される。
 (2-3)フレームの層構造
 図3に示すように、フレーム3は、フレーム支持層31と、フレーム絶縁層32と、上記したダミー導体パターン33A、33Bとを有する。
 フレーム支持層31は、配線回路基板2の支持層21と同じ材料からなる。
 フレーム絶縁層32は、厚み方向において、フレーム支持層31の上に位置する。隣接部3Aのフレーム絶縁層32は、厚み方向において、フレーム支持層31とダミー導体パターン33Aとの間に位置する。隣接部3Aのフレーム絶縁層32は、フレーム支持層31とダミー導体パターン33Aとを絶縁する。隣接部3Bのフレーム絶縁層32は、厚み方向において、フレーム支持層31とダミー導体パターン33Bとの間に位置する。隣接部3Bのフレーム絶縁層32は、フレーム支持層31とダミー導体パターン33Bとを絶縁する。フレーム絶縁層32は、配線回路基板2のベース絶縁層22と同じ材料からなる。なお、フレーム絶縁層32は、ダミー導体パターン33A、33Bが形成される部分にだけ形成されていてもよい。
 ダミー導体パターン33A、33Bのそれぞれは、厚み方向において、フレーム絶縁層32の上に位置する。ダミー導体パターン33A、33Bのそれぞれは、厚み方向において、フレーム絶縁層32に対して、フレーム支持層31の反対側に位置する。ダミー導体パターン33A、33Bは、配線回路基板2の導体パターン23と同じ材料からなる。
 なお、フレーム3は、ダミー配線パターン33A、33Bを覆うカバー絶縁層を有してもよい。フレーム3のカバー絶縁層は、厚み方向において、フレーム絶縁層32の上に位置する。フレーム3のカバー絶縁層は、配線回路基板2のカバー絶縁層24と同じ材料からなる。
 2.配線回路基板集合体シート1の製造方法
 次に、配線回路基板集合体シート1の製造方法について説明する。
 本実施形態では、配線回路基板集合体シート1は、セミアディティブ法により製造される。配線回路基板集合体シート1は、アディティブ法により製造されてもよい。配線回路基板集合体シート1の製造方法は、第1絶縁層形成工程(図4A参照)と、レジスト工程(図4B、図4C参照)と、パターン形成工程(図5A、図5B参照)と、第2絶縁層形成工程(図5C参照)とを含む。
 (1)第1絶縁層形成工程
 図4Aに示すように、第1絶縁層形成工程では、基材Sの上に、ベース絶縁層22およびフレーム絶縁層32を形成する。
 基材Sは、配線回路基板2の支持層21(図3参照)、および、フレーム3のフレーム支持層31(図3参照)の材料である。基材Sは、支持層21およびフレーム支持層31を形成する金属からなる金属箔である。
 第1絶縁層形成工程では、基材Sの製品領域A1の上に、ベース絶縁層22を形成し、基材Sのフレーム領域A2の上に、フレーム絶縁層32を形成する。製品領域A1は、配線回路基板2になる領域である。フレーム領域A2は、フレーム3になる領域である。
 第1絶縁層形成工程では、まず、基材Sの上に感光性樹脂の溶液(ワニス)を塗布して乾燥し、感光性樹脂の塗膜を形成する。次に、感光性樹脂の塗膜を露光および現像する。これにより、ベース絶縁層22およびフレーム絶縁層32が、基材Sの上に形成される。
 (2)レジスト工程
 次に、レジスト工程では、ベース絶縁層22およびフレーム絶縁層32の上に、メッキレジスト層Rを形成する。
 レジスト工程では、まず、ベース絶縁層22およびフレーム絶縁層32の表面にシード層を形成する。シード層は、例えば、スパッタリングにより形成される。シード層の材料としては、例えば、クロム、銅、ニッケル、チタン、および、これらの合金が挙げられる。
 次に、図4Bに示すように、シード層が形成されたベース絶縁層22およびフレーム絶縁層32の上に、メッキレジストのフィルムFを貼り合わせる。次に、メッキレジストのフィルムFの上にフォトマスクMを重ねて、導体パターン23およびダミー導体パターン33A、33Bが形成される部分を遮光した状態で、メッキレジストのフィルムFを露光する。
 次に、図4Cに示すように、露光されたメッキレジストのフィルムFを現像する。これにより、遮光された部分、すなわち、導体パターン23およびダミー導体パターン33A、33Bが形成される部分のメッキレジストが除去され、露光された部分、すなわち、導体パターン23およびダミー導体パターン33A、33Bが形成されない部分のメッキレジストが残る。これにより、ベース絶縁層22およびフレーム絶縁層32の上に、開口R1、R2、R3を有するメッキレジスト層Rが形成される。開口R1は、導体パターン23が形成される部分のメッキレジストが除去されることにより形成される。開口R2は、ダミー導体パターン33Aが形成される部分のメッキレジストが除去されることにより形成される。開口R3は、ダミー導体パターン33Bが形成される部分のメッキレジストが除去されることにより形成される。シード層は、開口R1、R2、R3を介して露出する。
 ベース絶縁層22の面積に対する開口R1の面積の百分率を、「導体パターン開口率」と定義し、ダミー形成領域A11の面積に対する開口R2の面積の百分率、および、ダミー形成領域A12の面積に対する開口R3の面積の百分率を、「ダミー導体パターン開口率」と定義した場合、導体パターン開口率とダミー導体パターン開口率との差は、50%以下、好ましくは、30%以下、より好ましくは、20%以下、より好ましくは、10%以下、より好ましくは、5%以下である。
 なお、配線回路基板集合体シート1の製造方法におけるダミー形成領域A11は、製品領域A1を基準に定義される。
 具体的には、ダミー形成領域A11は、第1方向における製品領域A1の一方側のエッジE11と直交する方向において、エッジE11から5mmの幅を有し、エッジE11が延びる方向において、製品領域A1と同じ長さを有する。そのため、ダミー形成領域A11の範囲は、上記したダミー形成領域30A(図2参照)の範囲と同一である。
 ダミー形成領域A12は、第1方向における製品領域A1の他方側のエッジE12と直交する方向において、エッジE12から5mmの幅を有し、エッジE12が延びる方向において、製品領域A1と同じ長さを有する。ダミー形成領域A12の範囲は、上記したダミー形成領域30B(図2参照)の範囲と同一である。
 (3)パターン形成工程
 次に、パターン形成工程では、図5Aに示すように、電解メッキにより、開口R1(図4C参照)内のシード層の上に導体パターン23を形成し、開口R2(図4C参照)内のシード層の上にダミー導体パターン33Aを形成し、開口R3(図4C参照)内のシード層の上にダミー導体パターン33Bを形成する。
 このとき、導体パターン23は、ダミー導体パターン33A、33Bとともに形成される。そのため、メッキ液中において、製品領域A1の周囲の金属イオン濃度の均一化を図ることができ、導体パターン23の厚みの均一化を図ることができる。
 電解メッキが終了した後、図5Bに示すように、メッキレジスト層Rを剥離する。その後、メッキレジスト層Rによって覆われていたシード層を、エッチングにより除去する。
 (4)第2絶縁層形成工程
 次に、第2絶縁層形成工程では、図5Cに示すように、ベース絶縁層22および導体パターン23の上にカバー絶縁層24を形成する。
 第2絶縁層形成工程では、まず、ベース絶縁層22および導体パターン23の上に感光性樹脂の溶液(ワニス)を塗布して乾燥し、感光性樹脂の塗膜を形成する。次に、感光性樹脂の塗膜を露光および現像する。これにより、カバー絶縁層24が形成される。
 その後、図3に示すように、製品領域A1(図4A参照)とフレーム領域A2(図4A参照)との間の基材Sをエッチングにより除去し、上記した配線回路基板集合体シート1を得る。
 3.作用効果
 配線回路基板集合体シート1によれば、図2に示すように、導体パターン面積率とダミー導体パターン面積率との差が、50%以下に調節されている。
 言い換えると、ダミー形成領域30Aにおけるダミー導体パターン33Aの密度が、配線回路基板2における導体パターン23の密度と近似している。
 そのため、導体パターン23の厚みの均一化が図られている。
 詳しくは、配線回路基板集合体シート1を製造するときに、図4Cに示すように、レジスト工程において、メッキレジスト層Rの導体パターン開口率とダミー導体パターン開口率との差が50%以下に調節されている。これにより、図5Aに示すように、パターン形成工程において電解メッキしたときに、メッキ液中において、製品領域A1の周囲の金属イオン濃度の均一化が図られ、導体パターン23の厚みの均一化が図られる。
 そのため、図3に示すように、導体パターン面積率とダミー導体パターン面積率との差が50%以下である配線回路基板集合体シート1では、導体パターン23の厚みの均一化が図られている。
 その結果、導体パターン23の厚みの均一化が図られた配線回路基板2を得ることができる。
 4.変形例
 以下、図6から図10Dを参照して、配線回路基板集合体シート1の変形例について説明する。以下の変形例において、上記した実施形態と同様の部材には同じ符号を付し、説明を省略する。
 (1)図6に示すように、ダミー導体パターン33は、第1方向における配線回路基板2の両側、および、第2方向における配線回路基板2の両側に配置されてもよい。ダミー導体パターン33は、導体パターン23の配線233A、233B、233C、233Dが延びる方向と交差する方向に延びてもよい。
 (2)図7に示すように、配線回路基板2同士が互いに近接して配置されている場合、ダミー導体パターン33は、配線回路基板2の間に無くてもよい。詳しくは、複数の配線回路基板2は、接続部を介して、互いに接続されている。フレーム3は、配線回路基板集合体シート1の外周部分に位置する。フレーム3は、複数の配線回路基板2を囲む。この場合、ダミー形成領域は、フレーム3に最も近い配線回路基板2Aのエッジを基準に定義される。
 なお、この変形例では、配線回路基板集合体シート1の中央部分(外周部分のフレーム3に隣接していない部分)の配線回路基板2Bでは、隣接する配線回路基板2A、2Bにより、配線密度の均一化が図られている。
 そのため、フレーム3に最も近い配線回路基板2Aのエッジを基準にダミー形成領域を定義し、そのダミー形成領域内のダミー導体パターン33の配線密度を、配線回路基板2Aの導体パターン23の配線密度に近似させれば、配線回路基板集合体シート1の全ての配線回路基板2において、配線密度の均一化が図られる。
 そのため、この変形例でも、上記した実施形態と同様の作用効果を得ることができる。
 (3)図8に示すように、導体パターン23は、第1の厚みT1の第1導体パターン41と、第1の厚みT1よりも厚い第2の厚みT2の第2導体パターン42とを有してもよい。
 この場合、ダミー導体パターン33Aは、第1の厚みT1の第1ダミー導体パターン51Aと、第2の厚みT2の第2ダミー導体パターン52Aとを有する。
 第1ダミー導体パターン51Aおよび第2ダミー導体パターン52Aの形状は、限定されない。なお、第1ダミー導体パターン51Aが複数のダミー配線を有し、第2ダミー導体パターン52Aが複数のダミー配線を有する場合、第1ダミー導体パターン51Aのダミー配線と、第2ダミー導体パターン52Aのダミー配線とが、交互に並んでいてもよい。
 ベース絶縁層22の面積に対する第1導体パターン41の面積の百分率と、ダミー形成領域30A(図2参照)の面積に対する第1ダミー導体パターン51Aの面積の百分率との差は、50%以下、好ましくは、30%以下、より好ましくは、20%以下、より好ましくは、10%以下、より好ましくは、5%以下である。
 ベース絶縁層22の面積に対する第2導体パターン42の面積の百分率と、ダミー形成領域30A(図2参照)の面積に対する第2ダミー導体パターン52Aの面積の百分率との差は、50%以下、好ましくは、30%以下、より好ましくは、20%以下、より好ましくは、10%以下、より好ましくは、5%以下である。
 なお、ダミー導体パターン33Bも、第1の厚みT1の第1ダミー導体パターン51Bと、第2の厚みT2の第2ダミー導体パターン52Bとを有する。ダミー導体パターン33Bについての説明は、ダミー導体パターン33Aについての説明と同様である。そのため、ダミー導体パターン33Bについての説明は、省略される。
 この変形例の製造方法は、上記した第1絶縁層形成工程(図4A参照)と、第1レジスト工程(図9A、図9B参照)と、第1パターン形成工程(図9C、図9D参照)と、第2レジスト工程(図10A、図10B参照)と、第2パターン形成工程(図10C、図10D参照)と、上記した第2絶縁層形成工程(図5C参照)とを含む。
 第1レジスト工程では、図9Aおよび図9Bに示すように、上記したレジスト工程と同様にして、ベース絶縁層22およびフレーム絶縁層32の上に、開口RA1、RA2、RA3を有するメッキレジスト層RAを形成する。開口RA1は、第1導体パターン41が形成される部分のメッキレジストが除去されることにより形成される。開口RA2は、第1ダミー導体パターン51Aが形成される部分のメッキレジストが除去されることにより形成される。開口RA3は、第1ダミー導体パターン51Bが形成される部分のメッキレジストが除去されることにより形成される。
 ベース絶縁層22の面積に対する開口RA1の面積の百分率と、ダミー形成領域A11の面積に対する開口RA2の面積の百分率との差は、50%以下、好ましくは、30%以下、より好ましくは、20%以下、より好ましくは、10%以下、より好ましくは、5%以下である。
 ベース絶縁層22の面積に対する開口RA1の面積の百分率と、ダミー形成領域A12の面積に対する開口RA3の面積の百分率との差は、50%以下、好ましくは、30%以下、より好ましくは、20%以下、より好ましくは、10%以下、より好ましくは、5%以下である。
 次に、第1パターン形成工程では、図9Cに示すように、電解メッキにより、開口RA1内のシード層の上に第1導体パターン41を形成し、開口RA2内のシード層の上に第1ダミー導体パターン51Aを形成し、開口RA3内のシード層の上に第1ダミー導体パターン51Bを形成する。
 このとき、第1導体パターン41は、第1ダミー導体パターン51A、51Bとともに形成される。第1ダミー導体パターン51Aは、上記した範囲のダミー形成領域A11内に形成される。第1ダミー導体パターン51Bは、上記した範囲のダミー形成領域A12内に形成される。
 そのため、メッキ液中において、製品領域A1の周囲の金属イオン濃度の均一化を図ることができ、第1導体パターン41の厚みの均一化を図ることができる。
 電解メッキが終了した後、図9Dに示すように、メッキレジスト層RAを剥離する。その後、メッキレジスト層RAによって覆われていたシード層を、エッチングにより除去する。
 第2レジスト工程では、図10Aおよび図10Bに示すように、上記したレジスト工程と同様にして、ベース絶縁層22およびフレーム絶縁層32の上に、開口RB1、RB2、RB3を有するメッキレジスト層RBを形成する。開口RB1は、第2導体パターン42が形成される部分のメッキレジストが除去されることにより形成される。開口RB2は、第2ダミー導体パターン52Aが形成される部分のメッキレジストが除去されることにより形成される。開口RB3は、第2ダミー導体パターン52Bが形成される部分のメッキレジストが除去されることにより形成される。
 ベース絶縁層22の面積に対する開口RB1の面積の百分率と、ダミー形成領域A11の面積に対する開口RB2の面積の百分率との差は、50%以下、好ましくは、30%以下、より好ましくは、20%以下、より好ましくは、10%以下、より好ましくは、5%以下である。
 ベース絶縁層22の面積に対する開口RB1の面積の百分率と、ダミー形成領域A12の面積に対する開口RB3の面積の百分率との差は、50%以下、好ましくは、30%以下、より好ましくは、20%以下、より好ましくは、10%以下、より好ましくは、5%以下である。
 次に、第2パターン形成工程では、図10Cに示すように、電解メッキにより、開口RB1内のシード層の上に第2導体パターン42を形成し、開口RB2内のシード層の上に第2ダミー導体パターン52Aを形成し、開口RB3内のシード層の上に第2ダミー導体パターン52Bを形成する
 このとき、第2導体パターン42は、第2ダミー導体パターン52A、52Bとともに形成される。第2ダミー導体パターン52Aは、上記した範囲のダミー形成領域A11内に形成される。第2ダミー導体パターン52Bは、上記した範囲のダミー形成領域A12内に形成される。
 そのため、メッキ液中において、製品領域A1の周囲の金属イオン濃度の均一化を図ることができ、第2導体パターン42の厚みの均一化を図ることができる。
 電解メッキが終了した後、図10Dに示すように、メッキレジスト層RBを剥離する。その後、メッキレジスト層RBによって覆われていたシード層を、エッチングにより除去する。
 (4)図11に示すように、第1方向における配線回路基板60の一方のエッジE21が、第2方向に延びるエッジE211と、第2方向に対して傾斜するエッジE212と、第2方向に延びるエッジE213とを含んでいる場合、ダミー形成領域61は、エッジE21に沿って、第2方向に延びる部分61Aと、第2方向に対して傾斜する部分61Bと、第2方向に延びる部分61Cとを含む。
 部分61Aは、エッジE211が延びる方向と直交する方向において、エッジE211から5mmの幅W10を有し、エッジE211が延びる方向において、配線回路基板60のうちの第2方向に延びる部分と、同じ長さL10を有する。
 部分61Bは、エッジE212が延びる方向と直交する方向において、エッジE212から5mmの幅W10を有し、エッジE212が延びる方向において、配線回路基板60のうちの第2方向と傾斜する方向に延びる部分と、同じ長さL20を有する。
 部分61Cは、エッジE213が延びる方向と直交する方向において、エッジE213から5mmの幅W10を有し、エッジE213が延びる方向において、配線回路基板60のうちの第2方向と傾斜する方向に延びる部分と、同じ長さL30を有する。
 総合すると、ダミー形成領域61は、エッジE211、E212、E213のそれぞれが延びる方向と直交する方向において、エッジE211、E212、E213のそれぞれから5mmの幅W10を有し、エッジE211、E212、E213が延びる方向において、配線回路基板60と同じ長さ(L10+L20+L30)を有する。
 この変形例でも、上記した実施形態と同様の作用効果を得ることができる。
 次に、本発明を、実施例および比較例に基づいて説明する。本発明は、下記の実施例によって限定されない。また、以下の記載において用いられる物性値、パラメータなどの具体的数値は、上記の「発明を実施するための形態」において記載されている、それらに対応する、物性値、パラメータなどの上限値(「以下」、「未満」として定義されている数値)または下限値(「以上」、「よりも大きい」として定義されている数値)に代替することができる。
 1.配線回路基板集合体シートの製造
 セミアディティブ法により、各実施例および各比較例の配線回路基板集合体シートを製造した。
 詳しくは、まず、金属箔(基材)の上に感光性樹脂の溶液(ワニス)を塗布して乾燥し、感光性樹脂の塗膜を形成した。
 次に、感光性樹脂の塗膜を露光および現像し、金属箔の上にベース絶縁層およびフレーム絶縁層を形成した(第1絶縁層形成工程、図4A参照)。
 次に、ベース絶縁層およびフレーム絶縁層の表面に、スパッタリングによりシード層を形成した。
 次に、シード層が形成されたベース絶縁層およびフレーム絶縁層の上に、メッキレジストのフィルムを貼り合わせた。
 次に、メッキレジストのフィルムの上にフォトマスクを重ねて、導体パターンおよびダミー導体パターンが形成される部分を遮光した状態で、メッキレジストのフィルムを露光した(図4B参照)。
 次に、露光されたメッキレジストのフィルムを現像して、メッキレジスト層を形成した(レジスト工程、図4C参照)。メッキレジスト層には、導体パターンが形成される部分のメッキレジストが除去されることにより、第1開口が形成され、ダミー導体パターンが形成される部分のメッキレジストが除去されることにより、第2開口が形成された。
 次に、電解メッキにより、第1開口内のシード層の上に導体パターンを形成し、第2開口内のシード層の上にダミー導体パターンを形成した(パターン形成工程、図5A参照)。
 電解メッキが終了した後、メッキレジスト層を剥離した(図5B参照)。その後、メッキレジスト層によって覆われていたシード層を、エッチングにより除去した。
 次に、ベース絶縁層および導体パターンの上に感光性樹脂の溶液(ワニス)を塗布して乾燥し、感光性樹脂の塗膜を形成した。次に、感光性樹脂の塗膜を露光および現像し、カバー絶縁層を形成した(図5C参照、第2絶縁層形成工程)。
 その後、配線回路基板の外形に沿って基材をエッチングし、配線回路基板集合体シートを得た。
 得られた配線回路基板集合体シートについて、ベース絶縁層の面積に対する導体パターンの面積の百分率(導体パターン面積率)、ダミー形成領域の面積に対するダミー導体パターンの面積の百分率(ダミー導体パターン面積率)、および、導体パターン面積率とダミー導体パターン面積率との差を測定した。結果を表1に示す。
 2.評価
 各実施例および各比較例の配線回路基板集合体シートのそれぞれについて、レーザー顕微鏡(LEXT OLS5000、オリンパス社製)を用いて、導体パターンの厚みを測定し、以下の評価基準に従って評価した。結果を表1に示す。
 <評価基準>
 〇:測定値と設計値との差が、設計値に対して、5%以下である。
 △:測定値と設計値との差が、設計値に対して、5%よりも大きく、10%以下である。
 ×:測定値と設計値との差が、設計値に対して、10%よりも大きい。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000001

 なお、上記発明は、本発明の例示の実施形態として提供したが、これは単なる例示に過ぎず、限定的に解釈してはならない。当該技術分野の当業者によって明らかな本発明の変形例は、後記請求の範囲に含まれる。
 本発明の配線回路基板集合体シートは、配線回路基板の製造に利用される。
 1    配線回路基板集合体シート
 2    配線回路基板
 3    フレーム
 22   ベース絶縁層
 23   導体パターン
 30A  ダミー形成領域
 33A  ダミー導体パターン
 41   第1導体パターン
 42   第2導体パターン
 51A  第1ダミー導体パターン
 52A  第2ダミー導体パターン
 E1   エッジ
 E2   エッジ
 W1   幅
 L1   長さ

Claims (5)

  1.  絶縁層と、前記絶縁層の上に位置する導体パターンとを有する配線回路基板と、
     前記配線回路基板を支持するフレームであって、前記導体パターンと同じ材料からなるダミー導体パターンを有するフレームと
     を備え、
     前記配線回路基板は、前記ダミー導体パターンから離れて位置する第1エッジと、前記第1エッジと前記ダミー導体パターンとの間に位置する第2エッジと、を有し、
     前記フレームは、
      前記ダミー導体パターンを含むダミー形成領域であって、前記第2エッジと直交する方向において、前記第2エッジから5mmの幅を有し、前記第2エッジが延びる方向において、前記配線回路基板と同じ長さを有するダミー形成領域を有し、
     前記絶縁層の面積に対する前記導体パターンの面積の百分率と、前記ダミー形成領域の面積に対する前記ダミー導体パターンの面積の百分率との差が、50%以下である、配線回路基板集合体シート。
  2.  前記絶縁層の面積に対する前記導体パターンの面積の百分率と、前記ダミー形成領域の面積に対する前記ダミー導体パターンの面積の百分率との差が、30%以下である、請求項1に記載の配線回路基板集合体シート。
  3.  前記導体パターンは、
      第1の厚みの第1導体パターンと、
      前記第1の厚みよりも厚い第2の厚みの第2導体パターンと
     を有し、
     前記ダミー導体パターンは、
      前記第1の厚みの第1ダミー導体パターンと、
      前記第2の厚みの第2ダミー導体パターンと
     を有する、請求項1に記載の配線回路基板集合体シート。
  4.  前記絶縁層の面積に対する前記第1導体パターンの面積の百分率と、前記ダミー形成領域の面積に対する前記第1ダミー導体パターンの面積の百分率との差が、50%以下であり、
     前記絶縁層の面積に対する前記第2導体パターンの面積の百分率と、前記ダミー形成領域の面積に対する前記第2ダミー導体パターンの面積の百分率との差が、50%以下である、請求項3に記載の配線回路基板集合体シート。
  5.  前記絶縁層の面積に対する前記第1導体パターンの面積の百分率と、前記ダミー形成領域の面積に対する前記第1ダミー導体パターンの面積の百分率との差が、30%以下であり、
     前記絶縁層の面積に対する前記第2導体パターンの面積の百分率と、前記ダミー形成領域の面積に対する前記第2ダミー導体パターンの面積の百分率との差が、30%以下である、請求項3に記載の配線回路基板集合体シート。
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