WO2021153457A1

WO2021153457A1 - 金属化フィルム及びその製造方法

Info

Publication number: WO2021153457A1
Application number: PCT/JP2021/002269
Authority: WO
Inventors: 中田　将裕; 和之日當
Original assignee: 王子ホールディングス株式会社
Priority date: 2020-01-30
Filing date: 2021-01-22
Publication date: 2021-08-05
Also published as: CN115003500A; KR20220134533A; JP2021120214A

Abstract

本発明は、意匠性（外観性）に優れ、且つ、屈曲した場合においてもひび割れが抑制されている金属化フィルムを提供する。　本発明は、金属化フィルムであって、前記金属化フィルムは、樹脂フィルムの上に、（１）アルミニウム金属蒸着部と、（２）アルミニウム金属非蒸着部、とが流れ方向及び幅方向において連続的にパターン状に形成されており、前記（１）アルミニウム金属蒸着部の膜抵抗値が０．２～２．０Ω／□であり、前記（２）アルミニウム金属非蒸着部の面積の割合が、前記金属化フィルム全体の面積に対して５％以上である、ことを特徴とする、金属化フィルムを提供する。

Description

金属化フィルム及びその製造方法

　本発明は、金属化フィルム、及びその製造方法に関する。

　従来、プラスチックやガラスなどの筐体表面に、意匠性や、電磁波遮蔽・吸収、アンテナなどの機能性を持たせるため、金属からなる微細パターンの付与が知られている。金属からなる微細パターンの付与方法としては、表面への塗装や、表面に蒸着や貼合などで直接金属膜形成した後にエッチングにてパターンを形成する手法などが知られている。

　しかし、塗装では精度の限界があり、微細なパターンを形成することは困難であった。また、エッチングによる直接パターン形成は非常にコストがかかり、また、プロセス上多量の熱がかかるために、熱ダメージを受けにくい材質への加工に限定された。加えて、装置上の制約から加工できる筐体のサイズは小さいものに限られるという課題もあった。

　よって、薄いフィルム上に蒸着などの方法で金属膜を形成した後、フィルムを筐体に貼合して金属パターンを表面に付与する方法が考えられる。フィルムへの蒸着による技術手法については、いくつか提案されている。

　特許文献１には、金属層を含む複数の層を積層した金属蒸着積層フィルム、及び、それを曲面部に貼合した成形品が開示されている。また、特許文献２には、金属膜及び接着剤層を有する、電磁波シールドフィルムとして用いられる積層フィルムが開示されている。さらに、特許文献３には、フィルム基材の表面に蒸着により形成されたアンテナ部を有する薄型アンテナが開示されている。

特開２０１８－１４４３２３号公報特開２００６－００７５８９号公報特開２０１１－０６１５６７号公報

　しかしながら、特許文献１の蒸着金属層は、一定の厚さで全面に形成されたもの（いわゆるベタ蒸着）であり、光沢感のある金属性の意匠は付与できるものの、よりデザイン性の高いパターン状の模様による意匠性付与は難しい。また、ベタ蒸着では、金属層が厚くなった時に、金属層が割れやすくなるという課題もあった。特に、金属蒸着積層フィルムを屈曲した際にひび割れがしやすいという点で前記課題が顕著となる。

　特許文献２においても、蒸着金属層は、一定の厚さで全面に形成されたもの（ベタ蒸着）であり、同様に割れやすいという課題があるほか、ガラス窓などの透明体向け電磁波シールドとして一般的に高い効果を持つことで知られている、メッシュ状などの金属パターンを形成できることは記載されていない。

　特許文献３では、剥離紙によるマスキングを利用した、金属アンテナパターンの形成法が開示されているが、パターンが微細になるとマスキング工程が煩雑になったり、パターンの再現性が劣ったりする課題があった。工程が複雑なため、コスト的な課題もあった。

　本発明の目的は、より簡便な金属蒸着によるパターン形成手法を用いて、上記従来技術における各種課題を解決し、樹脂フィルム上に金属パターンが形成された金属化フィルム、及び、その製造方法を提供することである。具体的には、意匠性（外観性）に優れ、且つ、屈曲した場合においてもひび割れが抑制されている金属化フィルムを提供することを目的とする。

　本発明者等は、鋭意検討の結果、以下に記載する手段により上記目的を達成できることを見出し、本発明を完成させるに至った。

　すなわち、本発明は、以下の好適な態様を包含する。
１．金属化フィルムであって、
　前記金属化フィルムは、樹脂フィルムの上に、（１）アルミニウム金属蒸着部と、（２）アルミニウム金属非蒸着部、とがパターン状に形成されており、
　前記（１）アルミニウム金属蒸着部の膜抵抗値が０．２～２．０Ω／□であり、
　前記（２）アルミニウム金属非蒸着部の面積の割合が、前記金属化フィルム全体の面積に対して５％以上である、
ことを特徴とする、金属化フィルム。
２．前記樹脂フィルムを構成する樹脂が、ポリエステル及びポリオレフィンからなる群から選ばれた少なくとも一種である、項１に記載の金属化フィルム。
３．樹脂フィルムが、オイルがパターン状にオイルマスクとして塗布されるパターン状非蒸着部形成部に搬送され、パターン状非蒸着部が形成されたあと、金属蒸気を発生させて金属蒸着を施す蒸着部に搬送され、パターン状金属蒸着が施されることを特徴とする、項１又は２に記載の金属化フィルムの製造方法。
４．項１又は２に記載の金属化フィルムを筐体に用いた、電子回路基板を含む電子機器。
５．前記電子回路基板の周波数１０ＧＨｚにおける比誘電率が３．５以下であり、誘電正接が０．００７以下である、請求項４に記載の電子機器。

　本発明によれば、意匠性（外観性）に優れ、且つ、屈曲した場合においてもひび割れが抑制された金属化フィルムを提供することができる。

本発明を包含する本実施形態における金属化フィルムの上面図である。図１－Ａにおいて、黒い部分が金属蒸着部であり、白い部分が金属非蒸着部である。本発明を包含する別の本実施形態における金属化フィルムの上面図である。図１－Ｂにおいて、黒い部分が金属蒸着部であり、白い部分が金属非蒸着部である。図１－Ｂのパターンは、図１－Ａの金属蒸着部と金属非蒸着部とを逆にしたパターンである。本発明を包含する別の本実施形態における金属化フィルムの上面図である。アルミニウム金属蒸着部（金属蒸着膜）の厚さと、抵抗値との関係性を示す図である。本発明の金属化フィルムの製造方法の一例を示す図である。

１．金属化フィルム
　本発明に係る金属化フィルムの実施の形態を説明する。必要に応じて、添付の図面を参照する。

　本実施形態に係る金属化フィルムは、金属化フィルムであって、前記金属化フィルムは、樹脂フィルムの上に、（１）アルミニウム金属蒸着部と、（２）アルミニウム金属非蒸着部、とがパターン状に形成されており、前記（１）アルミニウム金属蒸着部の膜抵抗値が０．２～２．０Ω／□であり、前記（２）アルミニウム金属非蒸着部の面積の割合が、前記金属化フィルム全体の面積に対して５％以上であることを特徴とする。本実施形態に係る金属化フィルムは、金属蒸着積層フィルムともいい、また、単に積層フィルムともいう。

　樹脂フィルムを構成する樹脂は、限定的ではなく、熱可塑性樹脂、熱硬化性樹脂のいずれも使用することができる。樹脂フィルムを構成する樹脂は、ポリオレフィン樹脂、ポリビニル樹脂、ポリエステル樹脂、ポリエーテル樹脂、ポリアミド樹脂、及びポリイミド樹脂からなる群から選択される少なくとも１種の樹脂であることが好ましい。なお、各樹脂に関して、アイソタクチック、シンジオタクチック、アタクチックのいずれの立体規則性を持つ樹脂を使用できる。例えば、ポリプロピレンである場合、アイソタクチックポリプロピレン、シンジオタクチックポリプロピレン、アタクチックポリプロピレンのいずれも使用でき、また、ポリスチレンである場合、アイソタクチックポリスチレン、シンジオタクチックポリスチレン、アタクチックポリスチレンのいずれも使用できる。

　ポリオレフィン樹脂は、オレフィンを重合してなるポリマーであり、好ましくは炭素数２～２０、より好ましくは炭素数２～１０、さらに好ましくは炭素数３～６のオレフィンを重合してなるポリマーである。ポリオレフィン樹脂としては、例えば、ポリエチレン樹脂、ポリプロピレン樹脂、ポリ（１－ブテン）樹脂、ポリイソブテン樹脂、ポリ（１－ペンテン）樹脂、ポリ（４－メチルペンテン－１）樹脂が挙げられる。ポリオレフィン樹脂の中でも、柔軟性に優れ、且つ、優れた意匠性を付与できる観点から、ポリプロピレン樹脂が好ましい。

　ポリビニル樹脂は、オレフィン以外の、α位に極性基や芳香族基が直接結合するビニルモノマーを重合してなるポリマーである。ポリビニル樹脂としては、例えば、ポリ酢酸ビニル樹脂、ポリスチレン樹脂、ポリ塩化ビニル樹脂、ポリ塩化ビニリデン樹脂、ポリメタクリル酸メチル樹脂、ポリビニルアルコール樹脂等が挙げられる。

　ポリエステル樹脂は、エステル結合を主鎖に有するポリマーである。ポリエステル樹脂としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート樹脂（ＰＥＴ）、ポリエチレンナフタレート樹脂、ポリブチレンテレフタレート樹脂、ポリフェニレンスルフィド樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリ乳酸樹脂等が挙げられる。ポリエチレンテレフタレート樹脂が好ましい。

　ポリエーテル樹脂は、エーテル結合を主鎖に有するポリマーである。エーテル樹脂としては、例えば、ポリエチレンオキシド樹脂、ポリアセタール樹脂、ポリエーテルケトン樹脂、ポリエーテルエーテルケトン樹脂、ポリエーテルイミド樹脂（ＰＥＩ）等が挙げられる。

　ポリアミド樹脂は、主鎖にアミド結合を有するポリマーである。ポリアミド樹脂としては、例えば、ナイロン６樹脂、ナイロン４６樹脂、ナイロン６６樹脂、ナイロン６９樹脂、ナイロン６１０樹脂、ナイロン６１２樹脂、ナイロン１１６樹脂、ナイロン４樹脂、ナイロン７樹脂、ナイロン８樹脂、ナイロン１１樹脂およびナイロン１２樹脂等が挙げられる。

　本発明において、樹脂フィルムを構成する樹脂は、１種の樹脂であってもよいし、２種以上の樹脂を組み合わせて使用してもよい。前記樹脂の中でも、柔軟性に優れ、且つ、優れた意匠性を付与できる観点から、ポリエステル及びポリオレフィンからなる群から選ばれた少なくとも一種であることが好ましい。

　樹脂フィルムの厚さは、限定的ではないが、１μｍ以上、３μｍ以上、５μｍ以上、７μｍ以上、１０μｍ以上がそれぞれ好ましく、１２０μｍ以下、１００μｍ以下、７５μｍ以下、５０μｍ以下、３０μｍ以下、１５μｍ以下がそれぞれ好ましい

　樹脂フィルムの層構成については、単層であってもよく、２層以上の複数層であってもよい。樹脂フィルムの層構成が２層以上の複数層である場合、各層を構成する樹脂は、前述の通り、１種の樹脂であってもよいし、２種以上の樹脂を組み合わせて使用してもよい。また、前記各層を構成する樹脂は、それぞれ、同一であってもよく、または、異なっていてもよい。

　樹脂フィルムは、延伸されていない無延伸フィルムであってもよく、一軸延伸がなされている一軸延伸フィルムであってもよく、二軸延伸がなされている二軸延伸フィルムであってもよい。

　樹脂フィルムは、樹脂の他に、必要に応じて少なくとも１種の添加剤を含有してよい。添加剤とは、一般的に、樹脂に使用される添加剤である限り特に制限されない。このような添加剤には、例えば酸化防止剤、塩素吸収剤、紫外線吸収剤等の安定剤、滑剤、可塑剤、難燃化剤、帯電防止剤、着色剤、造核剤等が含まれる。このような添加剤は、本発明の効果を損なわない範囲内で樹脂フィルム中に添加されてよい。

　樹脂フィルムには、金属蒸着膜の密着性向上の目的で、コロナ放電処理が施されたものを用いても良い。コロナ放電処理は、樹脂フィルム製造工程において、オンライン又はオフラインにて公知の方法を用いて行うことができる。雰囲気ガスとして空気、炭酸ガス、窒素ガス、又は、これらの混合ガスを用いて行うことが好ましい。

　また、樹脂フィルムには、金属蒸着膜の密着性向上の目的で、塗布などの公知の方法でプライマー層が設けられたものを用いてもよい。プライマー層は特に限定されず、例えば、ポリエステル系、アクリルウレタン系、ポリ塩化ビニル系、塩化ビニル／酢酸ビニルコポリマー系、ブチラール系等の樹脂を含有してもよい。

　本実施形態に係る金属化フィルムは、（１）アルミニウム金属蒸着部と、（２）アルミニウム金属非蒸着部、とがパターン状に形成されている。パターンとしては特に限定されず、例えば、（１）アルミニウム金属蒸着部と、（２）アルミニウム金属非蒸着部、とが流れ方向及び幅方向において連続的にパターン状に形成されていることが好ましい。なお、本実施形態において、流れ方向とは、ＭＤ方向（Mechanical Direction）ともいい、樹脂フィルムを巻きだす又は繰り出す方向をいう。本実施形態において、幅方向とは、ＴＤ方向（Transverse Direction）ともいい、前記ＭＤ方向とは垂直の方向をいう。

　前記パターン状の一例としては、図１－Ａまたは図１－Ｂに記載のような格子状が挙げられる。また、図２に記載のように、一部の領域のみ格子状になっていてもよい。また、前記パターン状としては、単に、一方向（例：流れ方向、又は幅方向）にライン状に形成されたものでもよい。なお、前記パターン状について、パターンを形成する線の領域は、アルミニウム金属非蒸着部（以下、単に「非蒸着部」とも示す。）であってもよいし、アルミニウム金属蒸着部（以下、単に「蒸着部」とも示す。）であってもよい。例えば、図１－Ａ及び図１－Ｂに記載の格子状パターンについて、縞模様を形成するために交差している一方向の線ともう一方の線は、非蒸着部であってもよいし、蒸着部であってもよい。縞模様を形成するために交差している一方向の線ともう一方の線が非蒸着部である場合（図１－Ａ）、前記それぞれの線で囲まれた各四角形の領域は蒸着部となり、縞模様を形成するために交差している一方向の線ともう一方の線が蒸着部である場合（図１－Ｂ）、前記それぞれの線で囲まれた各四角形の領域は非蒸着部となる。図１－Ｂに記載の格子状パターンは、図１－Ａに記載の格子状パターンにおける蒸着部と非蒸着部とを逆転させたパターンである。

　アルミニウム金属蒸着部（金属蒸着膜）の厚さは、本実施形態の範囲内であれば特に限定されない。アルミニウム金属蒸着部の厚さは、３５～１５０ｎｍが好ましく、８５～１３０ｎｍがより好ましい。本実施形態におけるアルミニウム金属蒸着部の厚さは、膜抵抗値との関係で、換算値によって計算されている。

　本実施形態におけるアルミニウム金属蒸着部の厚さは、前述の通り、膜抵抗値を適正な範囲に設定することにより調整する。膜抵抗値が低すぎる、即ち、蒸着部が厚すぎる場合は、金属蒸着工程において、高温の金属蒸気による基材の熱ダメージの影響から、基材が変形し、シワ入りが発生して、所望の品質の金属化フィルムが製造できない懸念がある。また、膜抵抗値が低すぎると、基材への密着性が低下して剥がれやすくなる。金属化フィルムを曲げる際に金属蒸着部にひび割れが発生する、などの問題もある。一方、膜抵抗値が高すぎる、即ち、蒸着部が薄すぎる場合は、蒸着部の金属膜としての外観品質や電気的性能が不十分となり、不適である。

　よって、本実施形態の金属化フィルムにおける、アルミニウム金属蒸着部の膜抵抗値は、０．２～２．０Ω／□である。アルミニウム金属蒸着部の膜抵抗値は、０．２～１．０Ω／□が好ましく、０．２～０．５Ω／□がより好ましい。膜抵抗値が０．２Ω／□より小さいと、金属蒸着部が厚すぎるため、蒸着時のシワ入り、金属蒸着部のひび割れが発生し、基材への密着性が低下するため不適である。また、膜抵抗値が２．０Ω／□より大きいと、金属蒸着部が薄すぎ、所定の外観品質や電気的性能が出なくなるため、不適である。

　本実施形態の金属化フィルムにおける、アルミニウム金属非蒸着部の面積の割合が、前記金属化フィルム全体の面積に対して５％以上である。つまり、金属化フィルム全体の面積に対するアルミニウム金属非蒸着部の面積の割合は５％以上である。本実施形態の金属化フィルムにおけるアルミニウム金属非蒸着部の面積の割合が、前記金属化フィルム全体の面積に対して５％以上であるため、金属化フィルムの外観評価に優れる。具体的には、金属光沢が十分得られ、蒸着部と非蒸着部がくっきりと認識できる程度のコントラストを有している。アルミニウム金属非蒸着部の面積の割合は、前記金属化フィルム全体の面積に対して９８％以下が好ましく、９６％以下がより好ましい。また、金属化フィルム全体の面積に対するアルミニウム金属非蒸着部の面積の割合の上限値に関して、９０％以下、８０％以下、７０％以下、６０％以下、５０％以下、４０％以下、３０％以下、２０％以下、１０％以下であることは、それぞれ、さらに好ましい。また、金属化フィルム全体の面積に対するアルミニウム金属非蒸着部の面積の割合の下限値に関して、１０％以上、２０％以上、３０％以上、４０％以上、５０％以上、６０％以上、７０％以上、８０％以上、９０％以上であることは、それぞれ、より好ましい。

２．金属化フィルムの製造方法
　本発明の金属化フィルムの製造方法は、樹脂フィルムが、オイルがパターン状にオイルマスクとして塗布されるパターン状非蒸着部形成部に搬送され、パターン状非蒸着部が形成されたあと、金属蒸気を発生させて金属蒸着を施す蒸着部に搬送され、パターン状金属蒸着が施されることを特徴とする金属化フィルムの製造方法である。以下、図を用いて説明する。

　図４は、金属化フィルム１の製造方法を説明した図である。製造装置は、樹脂フィルム供給部１０１と、パターン形成部１０３と、蒸着部１０４と、巻き取りロール１０５とを備える。必要に応じて、パターン非形成部１０２を備えてもよい。

　樹脂フィルム供給部１０１は、樹脂フィルム２が巻回された樹脂フィルムロール２Ｒを支持し、樹脂フィルム２を供給する。樹脂フィルムロール２Ｒから供給された樹脂フィルム２はパターン状非蒸着部形成部１０３に搬送される。

　パターン状非蒸着部形成部１０３は、樹脂フィルム２の一の面２ａに、金属蒸着層３のパターンに概ね対応するパターンでオイルを塗布し、オイルマスクを形成する。オイルマスクは、金属化フィルム１においてパターン状非蒸着部となる部分に、蒸着工程で金属粒子が付着するのを防止するためのものである。パターン状非蒸着部形成部１０３は、オイルタンク１０３ａと、アニロックスロール１０３ｂと、転写ロール１０３ｃと、版ロール１０３ｄと、バックアップロール１０３ｅを有する。オイルタンク１０３ａは、貯蔵しているオイルを気化してノズルから噴出する。アニロックスロール１０３ｂと転写ロール１０３ｃは、その外周面にオイルタンク１０３ａのノズルから噴出されたオイルが付着した状態で回転する。

　版ロール１０３ｄの外周面には、アルミニウム金属蒸着部のパターンに対応するパターン形状を有する凸版部１０３ｄａが設けられており、版ロール１０３ｄは、樹脂フィルム２の搬送と同期して回転することにより、樹脂フィルム２の面２ａにアルミニウム金属蒸着部のパターンに対応するパターンのオイルを塗布してオイルマスクを形成する。

　バックアップロール１０３ｅは樹脂フィルム２を介して版ロール１０３ｄと対向し、樹脂フィルム２の面２ｂに当接する。

　パターン非形成部１０２及びパターン状非蒸着部形成部１０３を通過した樹脂フィルム２は蒸着部１０４へと搬送される。

　蒸着部１０４は、金属蒸気生成部１０４ａと、金属蒸気生成部１０４ａに樹脂フィルム２を介して対向する冷却ロール１０４ｃとを備える。金属蒸気生成部１０４ａは、金属蒸着層３の材料である金属を熱して蒸発させて金属蒸気を発生し、発生させた金属蒸気を樹脂フィルム２の面２ａに蒸着させる。なお、金属蒸気生成部１０４ａで発生した金属蒸気は、樹脂フィルム２の面２ａ上に形成されたオイルマスク以外の部分に付着することで金属蒸着層３を形成する。冷却ロール１０４ｃは樹脂フィルム２に当接して樹脂フィルム２を冷却する。なお、蒸着部１０４は、さらに、金属蒸気生成部１０４ｂを備えていてもよい。

　樹脂フィルム２に蒸着部１０４でアルミニウム金属蒸着部が形成されることで形成された金属化フィルム１は、巻き取りロール１０５に搬送され巻き取られる。

　このように、実施の形態における製造装置を用いた製造方法により、樹脂フィルム２の面２ａ上に所望のアルミニウム金属蒸着部を形成できる。

　なお、金属蒸着における各条件（例えば、テンション、ライン速度、アルミニウム蒸発源出力、Alワイヤーフィード等）については、所望とする金属蒸着量を調整するために適宜調節すればよく、本実施形態に係る金属化フィルムを好適に作製できる限り、特に限定されない。

３．電子機器
　本発明の電子機器は、上記金属化フィルムを筐体に用いた、電子回路基板を含む電子機器である。

　本発明の金属化フィルムは、屈曲した場合においてもひび割れが抑制されることから、電磁波吸収・遮蔽フィルムとして、電子回路基板を含む電子機器の筐体の内側または外側に貼り付ける等して用いることによって、電子機器として優れた性能を発揮させることができる。また、フィルムアンテナとして、電子回路基板（筐体）の電子回路とは逆側の面に貼り付ける等して用いることができる。本発明の金属化フィルムは、特に５Ｇ（低誘電）用の電子回路基板に対して、本発明の効果を十分に発揮することができる。

　本発明の電子機器に用いられる上記金属化フィルムは、屈曲した場合においてもひび割れが抑えられ、金属蒸着時シワが発生し難く、金属蒸着層の密着性に優れることから、電磁波吸収・遮蔽フィルム、フィルムアンテナとして優れている。このため、比誘電率と誘電正接の小さいことが要求される、３～１００ＧＨｚの高周波数領域の電磁波を使用する電子機器に好適に適用できる。

　本発明の電子機器が含む電子回路基板の周波数１０ＧＨｚにおける比誘電率は、３．５以下が好ましく、３．３以下がより好ましく、３．１以下がさらに好ましい。また、上記比誘電率の下限は特に限定されず、低いほど好ましく、０であってもよい。

　本発明の電子機器が含む電子回路基板の周波数１０ＧＨｚにおける誘電正接は、０．００７以下が好ましく、０．００５以下がより好ましく、０．００４以下がさらに好ましい。また、上記誘電正接の下限は特に限定されず、低いほど好ましく、０であってもよい。

　本発明の電子機器が含む電子回路基板は、周波数１０ＧＨｚにおける比誘電率が３．５以下であり、誘電正接が０．００７以下であることがより好ましい。

　上記周波数１０ＧＨｚにおける比誘電率及び誘電正接は、スプリットポスト誘電体共振器（ＡｇｉｌｅｎｔＴｅｃｈｎｏｌｏｇｉｅｓ社製）により、温度２３℃、湿度５０％の条件で測定することができる。

　以上説明した本実施形態の金属化フィルムは、加飾フィルム用途、電磁波吸収・遮蔽フィルム用途、フィルムアンテナ用途、電子回路基板用途、透明電極フィルム用途、遮熱・遮光フィルム用途、タッチパネル用途、などに好適に使用することができる。本発明において、樹脂フィルムを構成する樹脂が熱可塑性樹脂である場合、熱可塑性樹脂組成物は、熱可塑性樹脂の他に、必要に応じて少なくとも１種の添加剤を含有してよい。添加剤とは、一般的に、熱可塑性樹脂に使用される添加剤である限り特に制限されない。このような添加剤には、例えば酸化防止剤、塩素吸収剤、紫外線吸収剤等の安定剤、滑剤、可塑剤、難燃化剤、帯電防止剤、着色剤、造核剤等が含まれる。このような添加剤は、本発明の効果を損なわない範囲内で熱可塑性樹脂組成物に添加されてよい。

　以下に実施例及び比較例を示して本発明を詳細に説明する。但し、本発明は実施例に限定されるものではない。

　（実施例１）
　まず、ＰＥＴフィルム（東レ社製ルミラー12S10、厚さ12μm、幅620mm×長さ3,300m）を用意した。次に、前記ＰＥＴフィルムに対して、アルミニウム金属蒸着を行うことにより、ＰＥＴフィルムの上に、（１）アルミニウム金属蒸着部と、（２）アルミニウム金属非蒸着部、とが、流れ方向及び幅方向に交互に連続するパターン状に形成された金属化フィルムを得た。

　なお、前記のアルミニウム金属蒸着を行った工程について、以下説明する。図４のように、樹脂フィルム供給部１０１（以下、アンワインダーともいう）と、パターン状非蒸着部形成部１０３と、蒸着部１０４と、巻き取りロール１０５（以下、ワインダーともいう）とを備える製造装置を用意する。フィルムロール２Ｒから供給されたＰＥＴフィルム２をパターン状非蒸着部形成部１０３に搬送する。ここで、樹脂フィルム供給部１０１は、ＰＥＴフィルム２が巻回されたフィルムロール２Ｒを支持し、ＰＥＴフィルム２を供給する。

　次いで、パターン状非蒸着部形成部１０３において、ＰＥＴフィルム２の一の面２ａに、アルミニウム金属蒸着部のパターンに概ね対応するパターンでオイルを塗布し、オイルマスクを形成する。オイルマスクは、金属化フィルム１においてパターン状非蒸着部となる部分に、蒸着工程で金属粒子が付着するのを防止するためのものである。ここで、パターン状非蒸着部形成部１０３は、オイルタンク１０３ａと、アニロックスロール１０３ｂと、転写ロール１０３ｃと、版ロール１０３ｄと、バックアップロール１０３ｅを有する。オイルタンク１０３ａは、貯蔵しているオイルを気化してノズルから噴出する。アニロックスロール１０３ｂと転写ロール１０３ｃは、その外周面にオイルタンク１０３ａのノズルから噴出されたオイルが付着した状態で回転する。

　バックアップロール１０３ｅはＰＥＴフィルム２を介して版ロール１０３ｄと対向し、ＰＥＴフィルム２の面２ｂに当接する。

　次いで、パターン状非蒸着部形成部１０３を通過したＰＥＴフィルム２を蒸着部１０４へと搬送する。

　蒸着部１０４は、金属蒸気生成部１０４ａと、金属蒸気生成部１０４ａにＰＥＴフィルム２を介して対向する冷却ロール１０４ｃとを備える。次いで、金属蒸気生成部１０４ａにおいて、金属を熱して蒸発させて金属蒸気を発生し、発生させた金属蒸気をＰＥＴフィルム２の面２ａに蒸着させる。なお、金属蒸気生成部１０４ａで発生した金属蒸気は、ＰＥＴフィルム２の面２ａ上に形成されたオイルマスク以外の部分に付着することでアルミニウム金属蒸着部を形成する。冷却ロール１０４ｃはＰＥＴフィルム２に当接してＰＥＴフィルム２を冷却する。

　ＰＥＴフィルム２に蒸着部１０４でアルミニウム金属蒸着部が形成されることで形成された金属化フィルム１は、巻き取りロール１０５に搬送され巻き取られる。

　このようにフィルム２であるＰＥＴフィルムの面２ａ上に流れ方向及び幅方向に連続する所望のパターン状のアルミニウム金属蒸着部を形成した。

　なお、実施例１において、蒸着条件は以下の通りとした。
蒸着パターン                    ：図１－Ａ
テンション（ＵＷ／ＷＤ）        ：１１０Ｎ／１１０Ｎ（ＵＷはアンワインダーにおけるテンションを表し、ＷＤはワインダーにおけるテンションを表す。）
ライン速度                      ：６０ｍ／ｍｉｎ
アルミニウム蒸発源出力　　　　  ：９０％
Alワイヤーフィード              ：５００ｍｍ／ｍｉｎ
このようにして実施例１の金属化フィルムを得た。アルミニウム金属蒸着部（金属蒸着膜）の厚み（計算値）は８９ｎｍであった。

　（実施例２～８、比較例１～８）
　実施例１において、金属化フィルムの製造条件を表１及び表２のように変更した以外は実施例１と同様にして、実施例２～８、および、比較例１～８の金属化フィルムを製造した。以下に、各実施例および比較例において、金属化フィルムの製造の際に変更した主な製造条件について説明する。

　（実施例２）
　ライン速度を６０ｍ／ｍｉｎに代えて３０ｍ／ｍｉｎとし、金属蒸着量を調整した以外は、実施例１と同様にして、実施例２の金属化フィルムを得た。

　（実施例３）
　実施例１の蒸着条件において、ライン速度を６０ｍ／ｍｉｎに代えて１２０ｍ／ｍｉｎとし、金属蒸着量を調整した以外は実施例１と同様にして、実施例３の金属化フィルムを得た。

　（実施例４）
　実施例１の蒸着条件において、蒸着パターンを図１－Ａに代えて図１－Ｂ（図１－Ａのアルミニウム金属蒸着部とアルミニウム金属非蒸着部とを逆転させたパターン）とし、ライン速度を６０ｍ／ｍｉｎに代えて３０ｍ／ｍｉｎとし、金属蒸着量を調整した以外は実施例１と同様にして、実施例４の金属化フィルムを得た。

　（実施例５）
　実施例１においてＰＥＴフィルムの厚さを１２μｍに代えて５０μｍとし、さらに実施例１の蒸着条件において、テンションを１１０Ｎ／１１０Ｎに代えて１２０Ｎ／１２０Ｎとし、ライン速度を６０ｍ／ｍｉｎに代えて３０ｍ／ｍｉｎとし、金属蒸着量を調整した以外は実施例１と同様にして、実施例５の金属化フィルムを得た。

　（実施例６）
　実施例１においてＰＥＴフィルムの厚さを１２μｍに代えて７５μｍとし、さらに実施例１の蒸着条件において、テンションを１１０Ｎ／１１０Ｎに代えて１２０Ｎ／１２０Ｎとし、ライン速度を６０ｍ／ｍｉｎに代えて３０ｍ／ｍｉｎとし、金属蒸着量を調整した以外は実施例１と同様にして、実施例６の金属化フィルムを得た。

　（実施例７）
　実施例１においてＰＥＴフィルムの厚さを１２μｍに代えて７５μｍとし、さらに実施例１の蒸着条件において、蒸着パターンを図１－Ａに代えて図１－Ｂ（図１－Ａの蒸着部と非蒸着部とを逆転させたパターン）とし、テンションを１１０Ｎ／１１０Ｎに代えて１２０Ｎ／１２０Ｎとし、ライン速度を６０ｍ／ｍｉｎに代えて３０ｍ／ｍｉｎとし、金属蒸着量を調整した以外は実施例１と同様にして、実施例７の金属化フィルムを得た。

　（実施例８）
　実施例１において樹脂フィルムをＰＥＴフィルムに代えてＰＥＮフィルムとし、さらに実施例１の蒸着条件においてライン速度を６０ｍ／ｍｉｎに代えて３０ｍ／ｍｉｎとし、金属蒸着量を調整した以外は実施例１と同様にして、実施例８の金属化フィルムを得た。

　（比較例１）
　パターン状非蒸着部形成部によるパターンを形成しない（すなわち、ＰＥＴフィルムの表面全体にアルミニウム金属蒸着部を形成する）こと、および金属蒸着量を調整すること以外は実施例１と同様にして、比較例１の金属化フィルムを得た。なお、本明細書において、フィルムの表面全体にアルミニウム金属蒸着部を形成する蒸着を「ベタ蒸着」、または「全面ベタ蒸着」ともいう。

　（比較例２）
　パターン状非蒸着部形成部によるパターンを形成しない（すなわち、ＰＥＴフィルムの表面全体にアルミニウム金属蒸着部を形成する）こと、ライン速度を３０ｍ／ｍｉｎとし、金属蒸着量を調整したこと以外は実施例１と同様にして、比較例２の金属化フィルムを得た。

　（比較例３）
　パターン状非蒸着部によるパターンを形成しない（すなわち、ＰＥＴフィルムの表面全体にアルミニウム金属蒸着部を形成する）こと、ライン速度を１５０ｍ／ｍｉｎとし、金属蒸着量を調整したこと以外は実施例１と同様にして、比較例３の金属化フィルムを得た。

　（比較例４）
　金属蒸着量を調整したこと以外は実施例１と同様にして、比較例４の金属化フィルムを得た。

　（比較例５）
　金属蒸着量を調整したこと以外は実施例１と同様にして、比較例５の金属化フィルムを得た。

　（比較例６）
　実施例１においてＰＥＴフィルムの厚さを１２μｍに代えて７５μｍとし、さらに実施例１の蒸着条件において、テンションを１１０Ｎ／１１０Ｎに代えて１２０Ｎ／１２０Ｎとし、ライン速度を６０ｍ／ｍｉｎに代えて１５ｍ／ｍｉｎとし、金属蒸着量を調整した以外は実施例１と同様にして、比較例６の金属化フィルムを得た。

　（比較例７）
　実施例１において樹脂フィルムをＰＥＴフィルムに代えてＰＥＮフィルムとし、蒸着パターンを図１－Ａに代えて全面ベタ蒸着とし、さらに実施例１の蒸着条件において、ライン速度を６０ｍ／ｍｉｎに代えて３０ｍ／ｍｉｎとし、金属蒸着量を調整した以外は実施例１と同様にして、比較例７の金属化フィルムを得た。

　（比較例８）
　実施例１において樹脂フィルムをＰＥＴフィルムに代えてＰＥＮフィルムとし、さらに実施例１の蒸着条件において、ライン速度を６０ｍ／ｍｉｎに代えて２０ｍ／ｍｉｎとし、金属蒸着量を調整した以外は実施例１と同様にして、比較例８の金属化フィルムを得た。

　上述のようにして製造された実施例及び比較例の金属化フィルムについて、以下の方法により評価を行った。

＜蒸着時シワ発生評価＞
　巻き取りロール上で蒸着時シワ発生の有無を目視にて観察して発生箇所の数を数え、下記評価基準に従って評価した。なお、評価が○であれば実使用において問題ないと評価される。
　○：０箇所
　△：１～２箇所
　×：３箇所以上

＜抵抗値の測定方法＞
　アルミニウム金属蒸着部（金属蒸着膜）の抵抗値は次のように測定した。（株）三菱ケミカルアナリティック製、低抵抗抵抗率計ロレスタＧＸ　ＭＣＰ－Ｔ６１０を用い、作製した金属化フィルムのアルミニウム金属蒸着面に四端子プローブを当てて測定した。測定はパターン形成されていない金属蒸着膜の部分にて、フィルム幅方向の中央付近で、流れ方向に約５０ｍｍずつ離れた箇所５ヶ所で測定し、平均値を抵抗値とした。

＜金属蒸着部の厚み（計算値）算出方法＞
　得られた金属化フィルムにおいては、アルミニウム金属蒸着部（金属蒸着膜）の厚みを精度よく実測することは困難であるので、金属蒸着層の厚さと、上記方法で測定される抵抗値との関係性（検量線、図３）を得るための「膜厚－抵抗値検量線取得実験」をまず行った。図３は、アルミニウム金属蒸着部（金属蒸着膜）の厚さと、抵抗値との関係性を示す図である。具体的には、抵抗値を０．５～４Ω／□の範囲で細かく変化させた金属化フィルムを作成し、それぞれの膜厚を、比色分析による化学的膜厚測定法により実測した。抵抗値に対して膜厚の実測値をプロットした曲線を得た（図３）。この曲線を６次曲線に近似し、得られた近似式を用いて、抵抗値から厚みの計算値を算出した。

＜アルミニウム金属蒸着部の密着性＞
　密着性の評価は、ＪＩＳＫ５６００－５－６に準拠したクロスカット試験にて行った。試験結果を０～５に分類し、金属蒸着膜と樹脂フィルムとの密着性を、下記のＪＩＳＫ５６００－５－６に規定される基準に従って評価した。なお、評価が０または１であれば実使用において問題ないと評価される。
０：カットの縁が完全に滑らかで、どの格子の目にもはがれがない。
１：カットの交差点における小さなはがれがある。クロスカット部分で影響を受けるのは、明確に５％を上回ることはない。
２：カットの縁に沿って、及び／又は交差点においてはがれている。クロスカット部分で影響を受けるのは明確に５％を超えるが１５％を上回ることはない。
３：カットの縁に沿って、部分的又は全面的に大はがれを生じており、及び／又は目のいろいろな部分が、部分的又は全面的にはがれている。クロスカット部分で影響を受けるのは、明確に１５％を超えるが３５％を上回ることはない。
４：カットの縁に沿って、部分的又は全面的に大はがれを生じており、及び／又は数か所の目が部分的又は全面的にはがれている。クロスカット部分で影響を受けるのは、明確に３５％を上回ることはない。
５：分類４でも分類できないはがれ程度である。

＜屈曲性試験でのひび割れの評価＞
　得られた金属化フィルムは、曲面を有する筐体に貼り付けられて使用されることが想定されるため、折り曲げた時にひび割れしないことが求められる。ひび割れ性の評価は、ＪＩＳ　Ｋ５６００－５－１に準拠した耐屈曲性試験にて行った。円筒形マンドレルに、金属蒸着面が外側になるように金属化フィルムを沿わせ、１～２秒かけて１８０°折り曲げたあとのひび割れの有無を評価した。

＜外観の評価＞
　得られた金属化フィルムの外観を目視で観察し、下記評価基準に従って評価した。
○：金属光沢が十分得られ、アルミニウム金属蒸着部とアルミニウム金属非蒸着部とがくっきりと認識できる程度のコントラストを有している。
×：アルミニウム金属非蒸着部の形成が不十分であり、アルミニウム金属蒸着部の金属光沢が十分でなく、意匠性に劣る。

　結果を表１および表２に示す。

Claims

　金属化フィルムであって、
　前記金属化フィルムは、樹脂フィルムの上に、（１）アルミニウム金属蒸着部と、（２）アルミニウム金属非蒸着部、とがパターン状に形成されており、
　前記（１）アルミニウム金属蒸着部の膜抵抗値が０．２～２．０Ω／□であり、
　前記（２）アルミニウム金属非蒸着部の面積の割合が、前記金属化フィルム全体の面積に対して５％以上である、
ことを特徴とする、金属化フィルム。
　前記樹脂フィルムを構成する樹脂が、ポリエステル及びポリオレフィンからなる群から選ばれた少なくとも一種である、請求項１に記載の金属化フィルム。
　樹脂フィルムが、オイルがパターン状にオイルマスクとして塗布されるパターン状非蒸着部形成部に搬送され、パターン状非蒸着部が形成されたあと、金属蒸気を発生させて金属蒸着を施す蒸着部に搬送され、パターン状金属蒸着が施されることを特徴とする、請求項１又は２に記載の金属化フィルムの製造方法。
　請求項１又は２に記載の金属化フィルムを筐体に用いた、電子回路基板を含む電子機器。
　前記電子回路基板の周波数１０ＧＨｚにおける比誘電率が３．５以下であり、誘電正接が０．００７以下である、請求項４に記載の電子機器。