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Definitions
- the present invention relates to a display device.
- a self-luminous organic EL display device using an organic EL (electroluminescence) element has attracted attention as a display device that replaces a liquid crystal display device.
- organic EL display device a sealing structure in which a sealing film covering the organic EL element is configured by a laminated film of an inorganic film and an organic film in order to suppress deterioration of the organic EL element due to mixing of moisture, oxygen, or the like. has been proposed.
- Patent Document 1 has a laminated structure in which an inorganic film layer formed by a CVD (chemical vapor deposition) method or the like and an organic film layer formed by an ink jet method or the like are alternately arranged, and organic light emission A display device including a thin film sealing layer covering an element is disclosed.
- CVD chemical vapor deposition
- the organic EL display device includes, for example, a resin substrate, a TFT (thin film transistor) layer provided on the resin substrate, and an organic EL element provided on the TFT layer.
- the TFT layer includes a frame wiring provided in the frame region and a planarization film provided on the frame wiring and having a flat surface in the display region.
- the organic EL element includes, for example, a plurality of first electrodes, an edge cover, a plurality of organic EL layers, and a second electrode that are sequentially provided on the planarizing film.
- the damming wall is formed of the same material in the same layer as the planarizing film
- the frame wiring is damaged from the etching solution used when forming the first electrode and the developing solution used when forming the edge cover.
- the end of the cross-sectional shape of the frame wiring is formed in a bowl shape. If it becomes so, since the sealing performance of the sealing film formed on frame wiring will fall, there exists a possibility that an organic EL element may deteriorate.
- the present invention has been made in view of such a point, and an object thereof is to suppress damage received during the manufacturing process of the frame wiring.
- a display device includes a base substrate, a TFT layer provided on the base substrate, a light emitting element provided on the TFT layer and constituting a display region, A frame region provided around the display region, a terminal portion provided to extend in one direction at an end of the frame region, a TFT wiring that constitutes the TFT layer, and a frame wiring provided in the frame region; A flattening film that constitutes the TFT layer and is provided in the display region and the frame region, and in which the frame-shaped slit is formed in the frame region, and the light emitting element, and is provided on the flattening film.
- a frame comprising: a plurality of first electrodes; and a second electrode constituting the light emitting element and provided on each first electrode via a light emitting layer, wherein the frame is exposed from the slit. Cover at least the end face of the wiring
- the conductive layer formed by the same material in the same layer as the first electrode, characterized in that provided in the.
- the conductive layer made of the same material is provided in the same layer as each first electrode so as to cover at least the end face of the frame wiring exposed from the slit, it is received during the manufacturing process of the frame wiring. Damage can be suppressed.
- FIG. 1 is a plan view showing a schematic configuration of the organic EL display device according to the first embodiment of the present invention.
- FIG. 2 is a plan view of the display area of the organic EL display device according to the first embodiment of the present invention.
- FIG. 3 is a cross-sectional view of the display region of the organic EL display device according to the first embodiment of the present invention.
- FIG. 4 is an equivalent circuit diagram showing a TFT layer constituting the organic EL display device according to the first embodiment of the present invention.
- FIG. 5 is a cross-sectional view showing an organic EL layer constituting the organic EL display device according to the first embodiment of the present invention.
- FIG. 6 is an enlarged plan view of a main part of a region A in FIG. FIG.
- FIG. 7 is a cross-sectional view of the frame region of the organic EL display device taken along line VII-VII in FIG.
- FIG. 8 is a cross-sectional view of the frame region of the organic EL display device in the manufacturing process along the line VIII-VIII in FIG.
- FIG. 9 is a plan view of an essential part of the frame area of the organic EL display device according to the second embodiment of the present invention, and corresponds to FIG.
- FIG. 10 is a plan view of an essential part of a frame region of an organic EL display device according to another embodiment of the present invention.
- FIG. 11 is a cross-sectional view of the frame region of the organic EL display device taken along line XI-XI in FIG.
- FIG. 1 is a plan view showing a schematic configuration of the organic EL display device 50a of the present embodiment.
- FIG. 2 is a plan view of the display area D of the organic EL display device 50a.
- FIG. 3 is a cross-sectional view of the display region D of the organic EL display device 50a.
- FIG. 4 is an equivalent circuit diagram showing the TFT layer 20 constituting the organic EL display device 50a.
- FIG. 5 is a cross-sectional view showing the organic EL layer 23 constituting the organic EL display device 50a.
- FIG. 6 is an enlarged plan view of the main part of the area A in FIG.
- FIG. 7 is a cross-sectional view of the frame region F of the organic EL display device 50a along the line VII-VII in FIG.
- FIG. 8 is a cross-sectional view of the frame region F of the organic EL display device 50a in the manufacturing process along the line VIII-VIII in FIG.
- the organic EL display device 50 a includes, for example, a display area D for displaying an image provided in a rectangular shape and a frame area F provided around the display area D.
- a plurality of sub-pixels P are arranged in a matrix.
- the sub-pixel P having a red light-emitting area Lr for displaying red the sub-pixel P having a green light-emitting area Lg for displaying green
- sub-pixels P having a blue light emitting region Lb for blue display are provided adjacent to each other.
- one pixel is configured by three adjacent sub-pixels P having a red light emitting area Lr, a green light emitting area Lg, and a blue light emitting area Lb.
- a terminal region T is provided so as to extend in one direction (vertical direction in FIG. 1). Further, in the frame area F, a planar slit 19 described later has a frame-shaped slit S so as to surround the display area D as shown in FIG. In the frame region F, a substantially C-shaped trench G is formed in the planarizing film 19 between the slit S and the display region D as shown in FIG. Here, as shown in FIG. 1, the trench G is formed in a substantially C shape so that the terminal portion T side opens in a plan view.
- the organic EL display device 50 a includes a resin substrate layer 10 provided as a base substrate, a TFT layer 20 provided on the resin substrate layer 10, and a TFT layer 20 in the display region D.
- An organic EL element 25 provided as a light emitting element constituting the display region D and a sealing film 30 provided so as to cover the organic EL element 25 are provided.
- the resin substrate layer 10 is made of, for example, a polyimide resin.
- the TFT layer 20 includes a base coat film 11 provided on the resin substrate layer 10, a plurality of first TFTs 9a, a plurality of second TFTs 9b, and a plurality of capacitors 9c provided on the base coat film 11.
- a flattening film 19 is provided on each first TFT 9a, each second TFT 9b, and each capacitor 9c.
- a plurality of gate lines 14 are provided so as to extend in parallel in the horizontal direction in the drawings.
- a plurality of source lines 18 f are provided so as to extend in parallel to each other in the vertical direction in the drawing.
- a plurality of power supply lines 18g are provided so as to extend in parallel to each other in the vertical direction in the drawing.
- Each power line 18g is provided adjacent to each source line 18f as shown in FIG.
- a first TFT 9a, a second TFT 9b, and a capacitor 9c are provided in each sub-pixel P.
- the base coat film 11 is composed of, for example, a single layer film or a laminated film of an inorganic insulating film such as silicon nitride, silicon oxide, silicon oxynitride or the like.
- the first TFT 9 a is electrically connected to the corresponding gate line 14 and source line 18 f in each subpixel P.
- the first TFT 9a includes a semiconductor layer 12a, a gate insulating film 13, a gate electrode 14a, a first interlayer insulating film 15, a second interlayer insulating film 17 and the like provided in order on the base coat film 11.
- a source electrode 18a and a drain electrode 18b are provided.
- the semiconductor layer 12a is provided in an island shape on the base coat film 11, and has a channel region, a source region, and a drain region, as will be described later. Further, as shown in FIG.
- the gate insulating film 13 is provided so as to cover the semiconductor layer 12a.
- the gate electrode 14a is provided on the gate insulating film 13 so as to overlap the channel region of the semiconductor layer 12a.
- the first interlayer insulating film 15 and the second interlayer insulating film 17 are sequentially provided so as to cover the gate electrode 14a.
- the source electrode 18a and the drain electrode 18b are provided on the second interlayer insulating film 17 so as to be separated from each other. Further, as shown in FIG.
- the source electrode 18a and the drain electrode 18b are connected to each other through contact holes formed in the laminated film of the gate insulating film 13, the first interlayer insulating film 15, and the second interlayer insulating film 17, respectively.
- the semiconductor layer 12a is electrically connected to the source region and the drain region, respectively.
- the gate insulating film 13, the first interlayer insulating film 15, and the second interlayer insulating film 17 are composed of a single layer film or a laminated film of an inorganic insulating film such as silicon nitride, silicon oxide, or silicon oxynitride, for example. .
- the second TFT 9b is electrically connected to the corresponding first TFT 9a and the power supply line 18g in each sub-pixel P.
- the first TFT 9b includes a semiconductor layer 12b, a gate insulating film 13, a gate electrode 14b, a first interlayer insulating film 15, a second interlayer insulating film 17 and the like, which are sequentially provided on the base coat film 11.
- a source electrode 18c and a drain electrode 18d are provided.
- the semiconductor layer 12b is provided in an island shape on the base coat film 11, and has a channel region, a source region, and a drain region, like the semiconductor layer 12a. Further, as shown in FIG.
- the gate insulating film 13 is provided so as to cover the semiconductor layer 12b.
- the gate electrode 14b is provided on the gate insulating film 13 so as to overlap the channel region of the semiconductor layer 12b.
- the first interlayer insulating film 15 and the second interlayer insulating film 17 are sequentially provided so as to cover the gate electrode 14b.
- the source electrode 18c and the drain electrode 18d are provided on the second interlayer insulating film 17 so as to be separated from each other, as shown in FIG. As shown in FIG.
- the source electrode 18c and the drain electrode 18d are connected to each other through contact holes formed in the laminated film of the gate insulating film 13, the first interlayer insulating film 15, and the second interlayer insulating film 17, respectively.
- the semiconductor layer 12b is electrically connected to the source region and the drain region, respectively.
- the top gate type first TFT 9a and the second TFT 9b are illustrated, but the first TFT 9a and the second TFT 9b may be a bottom gate type.
- the capacitor 9c is electrically connected to the corresponding first TFT 9a and power supply line 18g in each sub-pixel P.
- the capacitor 9c includes a lower conductive layer 14c formed of the same material in the same layer as the gate electrode 14a and the like, and a first interlayer insulating film provided so as to cover the lower conductive layer 14c. 15 and an upper conductive layer 16 provided on the first interlayer insulating film 15 so as to overlap the lower conductive layer 14c.
- the upper conductive layer 16 is electrically connected to the power supply line 18g through a contact hole formed in the second interlayer insulating film 17, as shown in FIG.
- the flattening film 19 has a flat surface in the display region D and is made of, for example, an organic resin material such as polyimide resin.
- an organic resin material such as polyimide resin.
- the planarization film 19 made of polyimide resin is exemplified, but the planarization film 19 may be made of an organic resin material such as an acrylic resin or a polysiloxane resin.
- the organic EL element 25 includes a plurality of first electrodes 21, an edge cover 22, a plurality of organic EL layers 23, and a second electrode 24 that are sequentially provided on the TFT layer 20.
- the plurality of first electrodes 21 are provided as anodes in a matrix on the planarizing film 19 so as to correspond to the plurality of subpixels P.
- the first electrode 21 is electrically connected to the drain electrode 18 d of each second TFT 9 b through a contact hole formed in the planarizing film 19.
- the first electrode 21 has a function of injecting holes into the organic EL layer 23.
- the first electrode 21 is more preferably formed of a material having a high work function in order to improve the efficiency of hole injection into the organic EL layer 23.
- examples of the material constituting the first electrode 21 include silver (Ag), aluminum (Al), vanadium (V), cobalt (Co), nickel (Ni), tungsten (W), and gold (Au). , Titanium (Ti), ruthenium (Ru), manganese (Mn), indium (In), ytterbium (Yb), lithium fluoride (LiF), platinum (Pt), palladium (Pd), molybdenum (Mo), iridium ( Examples thereof include metal materials such as Ir) and tin (Sn).
- the material constituting the first electrode 21 may be, for example, an alloy such as astatine (At) / oxidized astatine (AtO 2 ).
- the material constituting the first electrode 21 is, for example, a conductive oxide such as tin oxide (SnO), zinc oxide (ZnO), indium tin oxide (ITO), indium zinc oxide (IZO), or the like. There may be.
- the first electrode 21 may be formed by stacking a plurality of layers made of the above materials. Examples of the compound material having a large work function include indium tin oxide (ITO) and indium zinc oxide (IZO).
- the edge cover 22 is provided in a lattice shape so as to cover the peripheral end portion of each first electrode 21.
- a material which comprises the edge cover 22 organic films, such as a polyimide resin, an acrylic resin, a polysiloxane resin, are mentioned, for example.
- each organic EL layer 23 includes a hole injection layer 1, a hole transport layer 2, a light emitting layer body 3, an electron transport layer 4, and an electron provided in order on the first electrode 21.
- An injection layer 5 is provided.
- the hole injection layer 1 is also called an anode buffer layer, and has a function of improving the efficiency of hole injection from the first electrode 21 to the organic EL layer 23 by bringing the energy levels of the first electrode 21 and the organic EL layer 23 closer to each other.
- a material constituting the hole injection layer for example, a triazole derivative, an oxadiazole derivative, an imidazole derivative, a polyarylalkane derivative, a pyrazoline derivative, a phenylenediamine derivative, an oxazole derivative, a styrylanthracene derivative, a fluorenone derivative, Examples include hydrazone derivatives and stilbene derivatives.
- the hole transport layer 2 has a function of improving the hole transport efficiency from the first electrode 21 to the organic EL layer 23.
- examples of the material constituting the hole transport layer 2 include porphyrin derivatives, aromatic tertiary amine compounds, styrylamine derivatives, polyvinylcarbazole, poly-p-phenylene vinylene, polysilane, triazole derivatives, oxadiazole.
- Derivatives imidazole derivatives, polyarylalkane derivatives, pyrazoline derivatives, pyrazolone derivatives, phenylenediamine derivatives, arylamine derivatives, amine-substituted chalcone derivatives, oxazole derivatives, styrylanthracene derivatives, fluorenone derivatives, hydrazone derivatives, stilbene derivatives, hydrogenated amorphous silicon, Examples include hydrogenated amorphous silicon carbide, zinc sulfide, and zinc selenide.
- the light emitting layer body 3 when voltage is applied by the first electrode 21 and the second electrode 24, holes and electrons are injected from the first electrode 21 and the second electrode 24, respectively, and the holes and electrons are recombined. It is an area to do.
- the light emitting layer body 3 is formed of a material having high light emission efficiency. Examples of the material constituting the light emitting layer body 3 include metal oxinoid compounds [8-hydroxyquinoline metal complexes], naphthalene derivatives, anthracene derivatives, diphenylethylene derivatives, vinylacetone derivatives, triphenylamine derivatives, butadiene derivatives, coumarins, and the like.
- the electron transport layer 4 has a function of efficiently moving electrons to the light emitting layer body 3.
- examples of the material constituting the electron transport layer 4 include organic compounds such as oxadiazole derivatives, triazole derivatives, benzoquinone derivatives, naphthoquinone derivatives, anthraquinone derivatives, tetracyanoanthraquinodimethane derivatives, diphenoquinone derivatives, and fluorenone derivatives. , Silole derivatives, metal oxinoid compounds and the like.
- the electron injection layer 5 has a function of bringing the energy level of the second electrode 24 and the organic EL layer 23 closer to each other and improving the efficiency of injecting electrons from the second electrode 24 to the organic EL layer 23. With this function, The drive voltage of the organic EL element 25 can be lowered.
- the electron injection layer 5 is also called a cathode buffer layer.
- a material constituting the electron injection layer 5 for example, lithium fluoride (LiF), magnesium fluoride (MgF 2 ), calcium fluoride (CaF 2 ), strontium fluoride (SrF 2 ), barium fluoride.
- Inorganic alkali compounds such as (BaF 2 ), aluminum oxide (Al 2 O 3 ), strontium oxide (SrO), and the like can be given.
- the second electrode 24 is provided as a cathode so as to cover each organic EL layer 23 and the edge cover 22.
- the second electrode 24 has a function of injecting electrons into the organic EL layer 23.
- the second electrode 24 is more preferably composed of a material having a small work function in order to improve the efficiency of electron injection into the organic EL layer 23.
- examples of the material constituting the second electrode 24 include silver (Ag), aluminum (Al), vanadium (V), calcium (Ca), titanium (Ti), yttrium (Y), and sodium (Na). , Manganese (Mn), indium (In), magnesium (Mg), lithium (Li), ytterbium (Yb), lithium fluoride (LiF), and the like.
- the second electrode 24 is formed of, for example, magnesium (Mg) / copper (Cu), magnesium (Mg) / silver (Ag), sodium (Na) / potassium (K), astatine (At) / oxidized astatine (AtO 2). ), Lithium (Li) / aluminum (Al), lithium (Li) / calcium (Ca) / aluminum (Al), lithium fluoride (LiF) / calcium (Ca) / aluminum (Al), etc. May be.
- the second electrode 24 may be formed of a conductive oxide such as tin oxide (SnO), zinc oxide (ZnO), indium tin oxide (ITO), indium zinc oxide (IZO), or the like. .
- the second electrode 24 may be formed by laminating a plurality of layers made of the above materials.
- materials having a small work function include magnesium (Mg), lithium (Li), lithium fluoride (LiF), magnesium (Mg) / copper (Cu), magnesium (Mg) / silver (Ag), and sodium.
- (Na) / potassium (K) lithium (Li) / aluminum (Al), lithium (Li) / calcium (Ca) / aluminum (Al), lithium fluoride (LiF) / calcium (Ca) / aluminum (Al) Etc.
- the sealing film 30 is provided so as to cover the second electrode 24, and includes a first inorganic film 26, an organic film 27, and a second inorganic film 28 that are sequentially stacked on the second electrode 24. And has a function of protecting the organic EL layer 23 of the organic EL element 25 from moisture and oxygen.
- the first inorganic film 26 and the second inorganic film 28 are made of, for example, an inorganic insulating film such as a silicon nitride film, a silicon oxide film, or a silicon oxynitride film.
- the organic film 27 is made of an organic resin material such as an acrylic resin, an epoxy resin, a silicone resin, a polyurea resin, a parylene resin, a polyimide resin, or a polyamide resin.
- the organic EL display device 50a includes a resin substrate layer 10, an inorganic insulating laminated film M provided on the resin substrate layer 10, and an inorganic insulating laminated film in the frame region F.
- Frame wiring provided on M that is, the first frame wiring 18h and the second frame wiring 18i, the planarizing film 19 provided on the first frame wiring 18h and the second frame wiring 18i, and the first damming wall Wa and the 2nd dam wall Wb, and the sealing film 30 provided so that the planarization film
- the sealing film 30 disposed on the entire surface in the drawing is omitted.
- the inorganic insulating laminated film M is a base coat film 11, a gate insulating film 13, a first interlayer insulating film 15, and a second interlayer insulating film 17 provided in order on the resin substrate layer 10.
- a pair of first frame wirings 18 h are provided so that one end thereof (the right end in the figure) reaches both end portions of the terminal portion T. Further, the other end (the left end in FIG. 1) of each first frame wiring 18h is provided so as to reach the inside of the slit S as shown in FIGS.
- Each first frame line 18h receives a low power supply voltage and is electrically connected to the conductive layer 21a via the first slit Sa and the second slit Sb as shown in FIG. Furthermore, the conductive layer 21a is electrically connected to the second electrode 24 through the trench G as shown in FIG. That is, each first frame wiring 18 h to which a low power supply voltage is input is electrically connected to the second electrode 24.
- the first frame wiring 18h is formed of the same material in the same layer as the source electrode 18a and the like.
- the first frame wiring 18h formed by a laminated film in which a titanium film, an aluminum film, and a titanium film are sequentially laminated is illustrated.
- a refractory metal film such as molybdenum, tantalum, or tungsten may be used.
- the conductive layer 21 a is formed of the same material in the same layer as the first electrode 21.
- TFTs or the like constituting a gate driver circuit are provided (not shown).
- a pair of second frame wirings 18 i are provided so that one end (right end in the figure) reaches both ends of the terminal portion T.
- a high power supply voltage is input to each second frame wiring 18i, and the other end (the left end in FIG. 1) crosses the slit S and the first slit Sa and the display area as shown in FIG. It becomes a high power supply voltage trunk (not shown) formed between D.
- the high power supply voltage main line is provided in the frame area F so as to be along the side of the display area D in a direction orthogonal to the source line 18f and the power supply line 18g.
- the high power supply voltage trunk line is branched into a plurality of parts on the display area D side, and the branched parts are electrically connected to a plurality of power supply lines 18g arranged in the display area D.
- the second frame wiring 18j itself may constitute a high power supply voltage trunk wiring.
- the second frame wiring 18i is formed of the same material in the same layer as the source electrode 18a and the like.
- the routing wiring C formed of the same material in the same layer as the gate electrode 14a, the upper conductive layer 16, or the source electrode 18a extends as the other frame wiring from the terminal portion T.
- a plurality are provided so as to extend in parallel to each other in a direction orthogonal to the direction (lateral direction in FIG. 1).
- one end portion (left end portion in FIG. 1) of each routing wiring C is electrically connected to a display wiring (gate line 14, source line 18f, etc.) provided in the display region D.
- the other end portion (the right end portion in FIG. 1) of each routing wiring C is provided so as to reach the terminal portion T.
- the first dam wall Wa is provided in a frame shape on the display region D side inside the slit S, and is configured to suppress the spread of the organic film 27 of the sealing film 30.
- the first dam wall Wa is constituted by a first resin layer 19 a formed of the same material in the same layer as the planarizing film 19.
- the second damming wall Wb is provided in a frame shape so as to surround the first damming wall Wa inside the slit, and suppresses the spread of the organic film 27 of the sealing film 30. Is configured to do.
- the second damming wall Wb is provided on the second resin layer 19 b and the second resin layer 19 b that are formed in the same layer and the same material as the planarizing film 19, and has an edge.
- the cover 22 and the third resin layer 22a formed of the same material on the same layer are configured. As shown in FIGS.
- the slit S includes a first slit Sa disposed between the planarizing film 19 on the display region D side and the first dam wall Wa and the first dam wall Wa. And the second slit Sb disposed between the second damming wall Wb, the planarizing film 19 on the side opposite to the display region D (terminal portion T side), and the second damming wall Wb. 3 slits Sc.
- the end face of the exposed first frame wiring 18h is covered on the end of the first frame wiring 18h exposed from the first slit Sa, the second slit Sb, and the third slit Sc.
- a conductive layer 21a is provided.
- the exposed second frame wiring 18i is exposed.
- a conductive layer 21b is provided so as to cover the end face.
- the conductive layer 21 b is formed of the same material in the same layer as the first electrode 21.
- the organic film 27 of the sealing film 30 is provided in the frame region F through the first inorganic film 26 to the left side surface in the drawing of the first dam wall Wa.
- the first inorganic film 26 and the second inorganic film 28 of the sealing film 30 are in contact with each other.
- the configuration in which the organic film 27 is dammed by the side surface on the display region D side of the first damming wall Wa is illustrated, but the organic film 27 is, for example, the upper surface of the second damming wall Wb. May have reached.
- the conductive layer 21a is in contact with the first inorganic film 26 as shown in FIG.
- a gate signal is input to the first TFT 9a via the gate line 14, thereby turning on the first TFT 9a, and the gate electrode of the second TFT 9b via the source line 18f.
- a predetermined voltage corresponding to the source signal is written to 14b and the capacitor 9c, the magnitude of the current from the power supply line 18g is defined based on the gate voltage of the second TFT 9b, and the defined current is supplied to the organic EL layer 23.
- the light emitting layer body 3 of the organic EL layer 23 emits light and is configured to display an image.
- the organic EL display device 50a even when the first TFT 9a is turned off, the gate voltage of the second TFT 9b is held by the capacitor 9c. Therefore, the light emission by the light emitting layer body 3 is performed until the gate signal of the next frame is input. Is maintained.
- the manufacturing method of the organic EL display device 50a of this embodiment includes a TFT layer forming step, an organic EL element forming step, and a sealing film forming step.
- the base coat film 11, the first TFT 9 a, the second TFT 9 b, the capacitor 9 c, and the planarizing film 19 are formed on the surface of the resin substrate layer 10 formed on the glass substrate using a known method, and the TFT layer 20 is formed. To do.
- the first frame wiring 18h and the second frame wiring 18i are simultaneously connected in the frame region F.
- the planarizing film 19 is formed on the first TFT 9a, the second TFT 9b, the first frame wiring 18h, and the second frame wiring 18i, in the frame region F, the first damming wall Wa (first resin layer 19a). And the lower layer (second resin layer 19b) of the second damming wall Wb is formed at the same time.
- the first electrode 21, the edge cover 22, the organic EL layer 23 (the hole injection layer 1, the hole transport are used by a known method.
- the layer 2, the light emitting layer body 3, the electron transport layer 4, the electron injection layer 5) and the second electrode 24 are formed, and the organic EL element 25 is formed.
- the conductive layers 21a and 21b are simultaneously formed in the frame region F.
- the first frame wiring 18h and the second frame wiring exposed from the second resin layer 19b serving as the planarizing film 19, the first damming wall Wa, and the second damming wall Wb Since the end face of 18i is covered with the conductive layer 21a and the conductive layer 21b (see FIG. 8), for example, the first frame wiring 18h and the second frame consisting of a laminated film of the titanium film 6, the aluminum film 7 and the titanium film 8 The end face of the wiring 18 i is not easily damaged by the etching solution used when forming the first electrode 21.
- the edge cover 22 when the conductive layer 21a and the conductive layer 21b are not formed, the aluminum film 7 is easily damaged by the etching solution, so that the side surface Ea of the aluminum film 7 recedes as indicated by a two-dot chain line Eb in FIG.
- the ends of the first frame wiring 18h and the second frame wiring 18i are easily formed in a bowl shape.
- the edge cover 22 when the edge cover 22 is formed, the upper layer (third resin layer 22a) of the second damming wall Wb is simultaneously formed in the frame region F. Further, in the step of forming the edge cover 22, as in the step of forming the first electrode 21, the second resin layer 19 b that becomes the planarizing film 19, the first damming wall Wa, and the second damming wall Wb.
- the ends of the first frame wiring 18h and the second frame wiring 18i exposed from are covered with the conductive layer 21a and the conductive layer 21b (see FIG. 8), for example, the titanium film 6, the aluminum film 7, and the titanium film 8 End faces of the first frame wiring 18 h and the second frame wiring 18 i made of a laminated film are less likely to be damaged by the etching solution used when forming the first electrode 21.
- the conductive layer 21a and the conductive layer 21b are not formed, the aluminum film 7 is easily damaged by the etching solution, so that the side surface Ea of the aluminum film 7 recedes as indicated by a two-dot chain line Eb in FIG.
- the ends of the first frame wiring 18h and the second frame wiring 18i are easily formed in a bowl shape.
- an inorganic insulating film such as a silicon nitride film, a silicon oxide film, or a silicon oxynitride film is formed on the surface of the substrate on which the organic EL element 25 has been formed in the organic EL element forming step by using a plasma CVD method.
- the first inorganic film 26 is formed by forming a film with a thickness of about 1000 nm.
- an organic resin material such as an acrylic resin is formed to a thickness of about 10 ⁇ m on the surface of the substrate on which the first inorganic film 26 is formed, for example, by an inkjet method, thereby forming the organic film 27.
- an inorganic insulating film such as a silicon nitride film, a silicon oxide film, or a silicon oxynitride film is formed on the substrate on which the organic film 27 is formed to a thickness of about 500 nm by plasma CVD using a mask. Then, the sealing film 30 is formed by forming the second inorganic film 28.
- the glass substrate side of the resin substrate layer 10 is irradiated with laser light from the lower surface of the resin substrate layer 10 to form glass A substrate is peeled off, and a protective sheet (not shown) is attached to the lower surface of the resin substrate layer 10 from which the glass substrate has been peeled off.
- the organic EL display device 50a of this embodiment can be manufactured.
- the end faces of the first frame wiring 18h and the second frame wiring 18i exposed from the first slit Sa, the second slit Sb, and the third slit Sc are used.
- a conductive layer 21a and a conductive layer 21b are provided so as to cover. Therefore, in the step of forming the first electrode 21, the end faces of the first frame wiring 18 h and the second frame wiring 18 i are not easily damaged by the etching solution used when forming the first electrode 21. Further, even in the step of forming the edge cover 22, the end faces of the first frame wiring 18h and the second frame wiring 18i are not easily damaged from the developer for developing the photosensitive resin precursor to be the edge cover 22.
- the end faces of the first frame wiring 18h and the second frame wiring 18i are less likely to be damaged.
- the damage received during the manufacturing process of the frame wiring 18i can be suppressed.
- the end faces of the first frame wiring 18h and the second frame wiring 18i made of the laminated film of the titanium film 6, the aluminum film 7, and the titanium film 8 are not easily damaged. Therefore, the end portions of the cross-sectional shape of the first frame wiring 18h and the second frame wiring 18i are hardly formed in a bowl shape. Thereby, since the sealing performance of the sealing film 30 which covers the 1st frame wiring 18h and the 2nd frame wiring 18i can be ensured, deterioration of the organic EL element 25 can be suppressed.
- FIG. 9 shows a second embodiment of the display device according to the present invention.
- FIG. 9 is a main part plan view of the frame region F of the organic EL display device 50b of the present embodiment, and corresponds to FIG.
- the same parts as those in FIGS. 1 to 8 are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof will be omitted.
- the organic EL display device in which the conductive layers 21c and 21d are provided so as to cover the entire surface of the frame wiring exposed from the slit S, that is, the first frame wiring 18h and the second frame wiring 18j. 50b is illustrated.
- the organic EL display device 50b includes a display region D and a frame region F provided around the display region D, like the organic EL display device 50a of the first embodiment.
- the organic EL display device 50b includes a resin substrate layer 10, a TFT layer 20 provided on the resin substrate layer 10, and a TFT layer in the display region D. And an organic EL element 25 provided on 20 and a sealing film 30 provided so as to cover the organic EL element 25.
- the organic EL display device 50b includes a resin substrate layer 10 and an inorganic insulating laminated film M provided on the resin substrate layer 10 in the frame region F.
- the first frame wiring 18h and the second frame wiring 18j provided on the inorganic insulating laminated film M, the planarizing film 19 provided on the first frame wiring 18h and the second frame wiring 18j, and the first blocking wall Wa.
- a second damming wall Wb, and a sealing film 30 provided so as to cover the planarizing film 19, the first damming wall Wa, and the second damming wall Wb.
- the second frame wiring 18j is provided in a pair so that one end thereof reaches both ends of the terminal portion T, similarly to the second frame wiring 18i of the first embodiment.
- each second frame wiring 18j receives a high power supply voltage, and the other end is drawn wide along the first slit Sa and the second slit Sb as shown in FIG. And is electrically connected to a plurality of power supply lines 18g arranged in the display area D. That is, the second frame wiring 18j is different from the configuration of the second frame wiring 18i of the first embodiment, and the second frame wiring 18j itself is branched into a plurality of branches on the display area D side, and the high power supply voltage trunk wiring Is configured.
- the high power supply voltage main line may be provided between the first slit Sa and the display area D, as in the first embodiment.
- the second frame wiring 18j is formed of the same material in the same layer as the source electrode 18a and the like.
- the sealing film 30 disposed on the entire surface is omitted.
- FIG. 9 illustrates a configuration in which the routing wiring Ca formed of the same material and in the same layer as the source electrode 18a is electrically connected to the source line 18f disposed in the display region D.
- the lead wiring Ca is routed to the lead wiring Cb formed of the same material in the same layer as the gate electrode 17 a or the upper conductive layer 16.
- the routing wiring Cb is routed to the source line 18f after intersecting the slit S.
- a conductive layer 21c is provided on the first frame wiring 18h exposed from the first slit Sa, the second slit Sb, and the third slit Sc so as to cover the entire surface of the first frame wiring 18h. It has been. Further, as shown in FIG. 9, a conductive layer 21d is formed on the second frame wiring 18j exposed from the first slit Sa, the second slit Sb, and the third slit Sc so as to cover the entire surface of the second frame wiring 18j. Is provided.
- the conductive layers 21 c and 21 d are formed of the same material in the same layer as the first electrode 21. According to this configuration, the conductive layers 21c and 21d not only protect the end faces of the first frame wiring 18h and the second frame wiring 18j, but also reduce the wiring resistance of the first frame wiring 18h and the second frame wiring 18j. You can also.
- the organic EL display device 50b described above is flexible like the organic EL display device 50a of the first embodiment, and in each subpixel P, the organic EL layer 23 is interposed via the first TFT 9a and the second TFT 9b.
- the light emitting layer body 3 is configured to emit an image by appropriately emitting light.
- the organic EL display device 50b of the present embodiment is obtained by changing the planar shapes of the second frame wiring 18i and the conductive layers 21a and 21b in the method of manufacturing the organic EL display device 50a described in the first embodiment. Can be manufactured.
- a conductive layer 21c and a conductive layer 21d are provided so as to cover the surface. Therefore, in the step of forming the first electrode 21, the end faces of the first frame wiring 18h and the second frame wiring 18j are hardly damaged from the etching solution used when forming the first electrode 21. Further, also in the step of forming the edge cover 22, the end faces of the first frame wiring 18h and the second frame wiring 18j are not easily damaged from the developer that develops the photosensitive resin precursor that becomes the edge cover 22.
- the end faces of the first frame wiring 18h and the second frame wiring 18j are not easily damaged, and therefore the first frame wiring 18h and the second frame wiring 18h are not damaged.
- the damage received during the manufacturing process of the frame wiring 18j can be suppressed.
- the end faces of the first frame wiring 18h and the second frame wiring 18j made of the laminated film of the titanium film 6, the aluminum film 7, and the titanium film 8 are not easily damaged. Therefore, the end portions of the cross-sectional shape of the first frame wiring 18h and the second frame wiring 18j are not easily formed in a bowl shape. Thereby, since the sealing performance of the sealing film 30 which covers the 1st frame wiring 18h and the 2nd frame wiring 18j can be ensured, deterioration of the organic EL element 25 can be suppressed.
- the present embodiment not only the end faces of the first frame wiring 18h and the second frame wiring 18j but also surface damage can be suppressed.
- a titanium film and a copper film are sequentially stacked from the lower layer.
- the present invention can also be applied to the wired wiring.
- a refractory metal film such as molybdenum, tantalum, or tungsten may be used instead of the titanium film.
- the routing wiring C formed of the same material in the same layer as the gate electrode 14a, the upper conductive layer 16 or the source electrode 18a is provided as another frame wiring between the pair of second frame wirings 18i.
- the first electrode formed in the same layer as the source electrode 18a and the like is formed between the pair of second frame wirings 18i as shown in FIG.
- the three frame wiring 18k may be provided as a frame wiring.
- FIG. 10 is a plan view of an essential part of the frame region F in the organic EL display device of the present embodiment.
- FIG. 11 is a cross-sectional view of the frame region F of the organic EL display device taken along line XI-XI in FIG.
- a third frame formed of the same material and in the same layer as the source electrode 18a and the like between the pair of second frame wirings 18i as shown in FIG.
- a plurality of wirings 18k are provided so as to extend in parallel to each other in a direction (lateral direction in FIG. 1) orthogonal to the direction in which the terminal portion T extends.
- the entire surface of the third frame wiring 18k is covered on the third frame wiring 18k exposed from the first slit Sa, the second slit Sb, and the third slit Sc. Is provided with a conductive layer 21e.
- the third frame wiring 18k receives, for example, a data signal voltage and is electrically connected to a plurality of source lines 18f arranged in the display region D.
- the third frame wiring 18k has a narrower wiring width than the first frame wiring 18h and the second frame wiring 18i through which a large amount of current flows.
- the third frame wiring 18k corresponds to the source line 18f, the number of wirings is large, and the distance between the third frame wirings 18k is shorter than the distance between the first frame wiring 18h and the second frame wiring 18i. It has become. Therefore, as shown in FIG. 10, the conductive layer 21e is provided so as to cover the entire surface of the third frame wiring 18k.
- the conductive layer 21e is the same as in the first embodiment. In addition, it may be provided so as to cover the end face of the third frame wiring 18k.
- the conductive layer 21e is formed of the same material in the same layer as the first electrode 21. Further, in the plan view of FIG. 10, the sealing film 30 disposed on the entire surface in the drawing is omitted.
- an organic EL layer having a five-layer structure of a hole injection layer, a hole transport layer, a light emitting layer, an electron transport layer, and an electron injection layer has been exemplified.
- a three-layer structure of a layer / hole transport layer, a light emitting layer, and an electron transport layer / electron injection layer may be employed.
- the organic EL display device using the first electrode as an anode and the second electrode as a cathode has been exemplified.
- the present invention reverses the stacked structure of the organic EL layers and uses the first electrode as a cathode.
- the present invention can also be applied to an organic EL display device using the second electrode as an anode.
- the organic EL display device using the TFT electrode connected to the first electrode as the drain electrode has been exemplified.
- the TFT electrode connected to the first electrode is used as the source electrode. It can also be applied to an organic EL display device called.
- the organic EL display device is described as an example of the display device.
- the present invention can be applied to a display device including a plurality of light emitting elements driven by current.
- the present invention can be applied to a display device including a QLED (Quantum-dot light emitting diode) that is a light-emitting element using a quantum dot-containing layer.
- QLED Quantum-dot light emitting diode
- the present invention is useful for flexible display devices.
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Abstract
額縁領域(F)に額縁配線(18h,18i)が設けられ、額縁領域(F)において枠状のスリット(S)が形成された平坦化膜(19)が表示領域及び額縁領域(F)に設けられ、平坦化膜(19)上に発光素子を構成する複数の第1電極が設けられ、スリット(S)から露出する額縁配線(18h,18i)の少なくとも端面を覆うように各第1電極と同一層に同一材料により形成された導電層(21a,21b)が設けられている。
Description
本発明は、表示装置に関するものである。
近年、液晶表示装置に代わる表示装置として、有機EL(electroluminescence)素子を用いた自発光型の有機EL表示装置が注目されている。ここで、有機EL表示装置では、水分や酸素等の混入による有機EL素子の劣化を抑制するために、有機EL素子を覆う封止膜を無機膜及び有機膜の積層膜で構成する封止構造が提案されている。
例えば、特許文献1には、CVD(chemical vapor deposition)法等により形成された無機膜層と、インクジェット法等により形成された有機膜層とが交互に配置された積層構造を有し、有機発光素子を覆う薄膜封止層を備えた表示装置が開示されている。
ところで、上記特許文献1に開示された表示装置のように、封止膜の有機膜をインクジェット法により形成する場合には、有機EL素子が設けられた表示領域の周囲の額縁領域に、有機膜となるインクを堰き止めるための堰止壁を設ける必要がある。また、有機EL表示装置は、例えば、樹脂基板と、樹脂基板上に設けられたTFT(thin film transistor)層と、TFT層上に設けられた有機EL素子とを備えている。ここで、TFT層は、額縁領域に設けられた額縁配線と、額縁配線上に設けられ、表示領域において平坦な表面を有する平坦化膜とを備えている。また、有機EL素子は、例えば、平坦化膜上に順に設けられた複数の第1電極、エッジカバー、複数の有機EL層及び第2電極を備えている。そして、堰き止め壁を平坦化膜と同一層に同一材料により形成する場合には、第1電極を形成する際に用いるエッチング液、及びエッジカバーを形成する際に用いる現像液から額縁配線がダメージを受けて、例えば、額縁配線の横断面形状の端部が庇状に形成されてしまう。そうなると、額縁配線上に形成される封止膜の封止性能が低下してしまうので、有機EL素子が劣化するおそれがある。
本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、額縁配線の製造工程中に受けるダメージを抑制することにある。
上記目的を達成するために、本発明に係る表示装置は、ベース基板と、上記ベース基板上に設けられたTFT層と、上記TFT層上に設けられ、表示領域を構成する発光素子と、上記表示領域の周囲に設けられた額縁領域と、上記額縁領域の端部に一方向に延びるように設けられた端子部と、上記TFT層を構成し、上記額縁領域に設けられた額縁配線と、上記TFT層を構成し、上記表示領域及び上記額縁領域に設けられ、該額縁領域において枠状のスリットが形成された平坦化膜と、上記発光素子を構成し、上記平坦化膜上に設けられた複数の第1電極と、上記発光素子を構成し、上記各第1電極上に発光層を介して設けられた第2電極とを備えた表示装置であって、上記スリットから露出する上記額縁配線の少なくとも端面を覆うように上記各第1電極と同一層に同一材料により形成された導電層が設けられていることを特徴とする。
本発明によれば、スリットから露出する額縁配線の少なくとも端面を覆うように各第1電極と同一層に同一材料により形成された導電層が設けられているので、額縁配線の製造工程中に受けるダメージを抑制することができる。
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、本発明は、以下の各実施形態に限定されるものではない。
《第1の実施形態》
図1~図8は、本発明に係る表示装置の第1の実施形態を示している。なお、以下の各実施形態では、発光素子を備えた表示装置として、有機EL素子を備えた有機EL表示装置を例示する。ここで、図1は、本実施形態の有機EL表示装置50aの概略構成を示す平面図である。また、図2は、有機EL表示装置50aの表示領域Dの平面図である。また、図3は、有機EL表示装置50aの表示領域Dの断面図である。また、図4は、有機EL表示装置50aを構成するTFT層20を示す等価回路図である。また、図5は、有機EL表示装置50aを構成する有機EL層23を示す断面図である。また、図6は、図1中の領域Aを拡大した要部平面図である。また、図7は、図6中のVII-VII線に沿った有機EL表示装置50aの額縁領域Fの断面図である。また、図8は、図6中のVIII-VIII線に沿った有機EL表示装置50aの額縁領域Fの製造工程中の断面図である。
図1~図8は、本発明に係る表示装置の第1の実施形態を示している。なお、以下の各実施形態では、発光素子を備えた表示装置として、有機EL素子を備えた有機EL表示装置を例示する。ここで、図1は、本実施形態の有機EL表示装置50aの概略構成を示す平面図である。また、図2は、有機EL表示装置50aの表示領域Dの平面図である。また、図3は、有機EL表示装置50aの表示領域Dの断面図である。また、図4は、有機EL表示装置50aを構成するTFT層20を示す等価回路図である。また、図5は、有機EL表示装置50aを構成する有機EL層23を示す断面図である。また、図6は、図1中の領域Aを拡大した要部平面図である。また、図7は、図6中のVII-VII線に沿った有機EL表示装置50aの額縁領域Fの断面図である。また、図8は、図6中のVIII-VIII線に沿った有機EL表示装置50aの額縁領域Fの製造工程中の断面図である。
有機EL表示装置50aは、図1に示すように、例えば、矩形状に設けられた画像表示を行う表示領域Dと、表示領域Dの周囲に設けられた額縁領域Fとを備えている。
表示領域Dには、図2に示すように、複数のサブ画素Pがマトリクス状に配列されている。また、表示領域Dでは、図2に示すように、例えば、赤色の表示を行うための赤色発光領域Lrを有するサブ画素P、緑色の表示を行うための緑色発光領域Lgを有するサブ画素P、及び青色の表示を行うための青色発光領域Lbを有するサブ画素Pが互いに隣り合うように設けられている。なお、表示領域Dでは、例えば、赤色発光領域Lr、緑色発光領域Lg及び青色発光領域Lbを有する隣り合う3つのサブ画素Pにより、1つの画素が構成されている。
額縁領域Fの図1中右端部には、端子領域Tが一方向(図1中縦方向)に延びるように設けられている。また、額縁領域Fにおいて、後述する平坦化膜19には、図1に示すように、表示領域Dを囲むように枠状のスリットSが形成されている。また、額縁領域Fにおいて、スリットSと表示領域Dとの間の平坦化膜19には、図1に示すように、略C字状のトレンチGが形成されている。ここで、トレンチGは、図1に示すように、平面視で端子部T側が開口するように略C字状に形成されている。
有機EL表示装置50aは、図3に示すように、表示領域Dにおいて、ベース基板として設けられた樹脂基板層10と、樹脂基板層10上に設けられたTFT層20と、TFT層20上に表示領域Dを構成する発光素子として設けられた有機EL素子25と、有機EL素子25を覆うように設けられた封止膜30と備えている。
樹脂基板層10は、例えば、ポリイミド樹脂等により構成されている。
TFT層20は、図3に示すように、樹脂基板層10上に設けられたベースコート膜11と、ベースコート膜11上に設けられた複数の第1TFT9a、複数の第2TFT9b及び複数のキャパシタ9cと、各第1TFT9a、各第2TFT9b及び各キャパシタ9c上に設けられた平坦化膜19とを備えている。ここで、TFT層20では、図2及び図4に示すように、図中横方向に互いに平行に延びるように複数のゲート線14が設けられている。また、TFT層20では、図2及び図4に示すように、図中縦方向に互いに平行に延びるように複数のソース線18fが設けられている。また、TFT層20では、図2及び図4に示すように、図中縦方向に互いに平行に延びるように複数の電源線18gが設けられている。なお、各電源線18gは、図2に示すように、各ソース線18fと隣り合うように設けられている。また、TFT層20では、図4に示すように、各サブ画素Pにおいて、第1TFT9a、第2TFT9b及びキャパシタ9cがそれぞれ設けられている。
ベースコート膜11は、例えば、窒化シリコン、酸化シリコン、酸窒化シリコン等の無機絶縁膜の単層膜又は積層膜により構成されている。
第1TFT9aは、図4に示すように、各サブ画素Pにおいて、対応するゲート線14及びソース線18fに電気的に接続されている。また、第1TFT9aは、図3に示すように、ベースコート膜11上に順に設けられた半導体層12a、ゲート絶縁膜13、ゲート電極14a、第1層間絶縁膜15、第2層間絶縁膜17、並びにソース電極18a及びドレイン電極18bを備えている。ここで、半導体層12aは、図3に示すように、ベースコート膜11上に島状に設けられ、後述するように、チャネル領域、ソース領域及びドレイン領域を有している。また、ゲート絶縁膜13は、図3に示すように、半導体層12aを覆うように設けられている。また、ゲート電極14aは、図3に示すように、ゲート絶縁膜13上に半導体層12aのチャネル領域と重なるように設けられている。また、第1層間絶縁膜15及び第2層間絶縁膜17は、図3に示すように、ゲート電極14aを覆うように順に設けられている。また、ソース電極18a及びドレイン電極18bは、図3に示すように、第2層間絶縁膜17上に互いに離間するように設けられている。また、ソース電極18a及びドレイン電極18bは、図3に示すように、ゲート絶縁膜13、第1層間絶縁膜15及び第2層間絶縁膜17の積層膜に形成された各コンタクトホールを介して、半導体層12aのソース領域及びドレイン領域にそれぞれ電気的に接続されている。なお、ゲート絶縁膜13、第1層間絶縁膜15及び第2層間絶縁膜17は、例えば、窒化シリコン、酸化シリコン、酸窒化シリコン等の無機絶縁膜の単層膜又は積層膜により構成されている。
第2TFT9bは、図4に示すように、各サブ画素Pにおいて、対応する第1TFT9a及び電源線18gに電気的に接続されている。また、第1TFT9bは、図3に示すように、ベースコート膜11上に順に設けられた半導体層12b、ゲート絶縁膜13、ゲート電極14b、第1層間絶縁膜15、第2層間絶縁膜17、並びにソース電極18c及びドレイン電極18dを備えている。ここで、半導体層12bは、図3に示すように、ベースコート膜11上に島状に設けられ、半導体層12aと同様に、チャネル領域、ソース領域及びドレイン領域を有している。また、ゲート絶縁膜13は、図3に示すように、半導体層12bを覆うように設けられている。また、ゲート電極14bは、図3に示すように、ゲート絶縁膜13上に半導体層12bのチャネル領域と重なるように設けられている。また、第1層間絶縁膜15及び第2層間絶縁膜17は、図3に示すように、ゲート電極14bを覆うように順に設けられている。また、ソース電極18c及びドレイン電極18dは、図3に示すように、第2層間絶縁膜17上に互いに離間するように設けられている。また、ソース電極18c及びドレイン電極18dは、図3に示すように、ゲート絶縁膜13、第1層間絶縁膜15及び第2層間絶縁膜17の積層膜に形成された各コンタクトホールを介して、半導体層12bのソース領域及びドレイン領域にそれぞれ電気的に接続されている。
なお、本実施形態では、トップゲート型の第1TFT9a及び第2TFT9bを例示したが、第1TFT9a及び第2TFT9bは、ボトムゲート型であってもよい。
キャパシタ9cは、図4に示すように、各サブ画素Pにおいて、対応する第1TFT9a及び電源線18gに電気的に接続されている。ここで、キャパシタ9cは、図3に示すように、ゲート電極14a等と同一層に同一材料により形成された下部導電層14cと、下部導電層14cを覆うように設けられた第1層間絶縁膜15と、第1層間絶縁膜15上に下部導電層14cと重なるように設けられた上部導電層16とを備えている。なお、上部導電層16は、図3に示すように、第2層間絶縁膜17に形成されたコンタクトホールを介して電源線18gに電気的に接続されている。
平坦化膜19は、表示領域Dにおいて平坦な表面を有し、例えば、ポリイミド樹脂等の有機樹脂材料により構成されている。なお、本実施形態では、ポリイミド樹脂製の平坦化膜19を例示したが、平坦化膜19は、アクリル樹脂やポリシロキサン樹脂等の有機樹脂材料により構成されていてもよい。
有機EL素子25は、図3に示すように、TFT層20上に順に設けられた複数の第1電極21、エッジカバー22、複数の有機EL層23及び第2電極24を備えている。
複数の第1電極21は、図3に示すように、複数のサブ画素Pに対応するように、平坦化膜19上にマトリクス状に陽極として設けられている。ここで、第1電極21は、図3に示すように、平坦化膜19に形成されたコンタクトホールを介して、各第2TFT9bのドレイン電極18dに電気的に接続されている。また、第1電極21は、有機EL層23にホール(正孔)を注入する機能を有している。また、第1電極21は、有機EL層23への正孔注入効率を向上させるために、仕事関数の大きな材料で形成するのがより好ましい。ここで、第1電極21を構成する材料としては、例えば、銀(Ag)、アルミニウム(Al)、バナジウム(V)、コバルト(Co)、ニッケル(Ni)、タングステン(W)、金(Au)、チタン(Ti)、ルテニウム(Ru)、マンガン(Mn)、インジウム(In)、イッテルビウム(Yb)、フッ化リチウム(LiF)、白金(Pt)、パラジウム(Pd)、モリブデン(Mo)、イリジウム(Ir)、スズ(Sn)等の金属材料が挙げられる。また、第1電極21を構成する材料は、例えば、アスタチン(At)/酸化アスタチン(AtO2)等の合金であっても構わない。さらに、第1電極21を構成する材料は、例えば、酸化スズ(SnO)、酸化亜鉛(ZnO)、インジウムスズ酸化物(ITO)、インジウム亜鉛酸化物(IZO)のような導電性酸化物等であってもよい。また、第1電極21は、上記材料からなる層を複数積層して形成されていてもよい。なお、仕事関数の大きな化合物材料としては、例えば、インジウムスズ酸化物(ITO)やインジウム亜鉛酸化物(IZO)等が挙げられる。
エッジカバー22は、図3に示すように、各第1電極21の周端部を覆うように格子状に設けられている。ここで、エッジカバー22を構成する材料としては、例えば、ポリイミド樹脂、アクリル樹脂、ポリシロキサン樹脂等の有機膜が挙げられる。
複数の有機EL層23は、図3に示すように、各第1電極21上に配置され、複数のサブ画素に対応するように、マトリクス状に発光層として設けられている。ここで、各有機EL層23は、図5に示すように、第1電極21上に順に設けられた正孔注入層1、正孔輸送層2、発光層本体3、電子輸送層4及び電子注入層5を備えている。
正孔注入層1は、陽極バッファ層とも呼ばれ、第1電極21と有機EL層23とのエネルギーレベルを近づけ、第1電極21から有機EL層23への正孔注入効率を改善する機能を有している。ここで、正孔注入層1を構成する材料としては、例えば、トリアゾール誘導体、オキサジアゾール誘導体、イミダゾール誘導体、ポリアリールアルカン誘導体、ピラゾリン誘導体、フェニレンジアミン誘導体、オキサゾール誘導体、スチリルアントラセン誘導体、フルオレノン誘導体、ヒドラゾン誘導体、スチルベン誘導体等が挙げられる。
正孔輸送層2は、第1電極21から有機EL層23への正孔の輸送効率を向上させる機能を有している。ここで、正孔輸送層2を構成する材料としては、例えば、ポルフィリン誘導体、芳香族第三級アミン化合物、スチリルアミン誘導体、ポリビニルカルバゾール、ポリ-p-フェニレンビニレン、ポリシラン、トリアゾール誘導体、オキサジアゾール誘導体、イミダゾール誘導体、ポリアリールアルカン誘導体、ピラゾリン誘導体、ピラゾロン誘導体、フェニレンジアミン誘導体、アリールアミン誘導体、アミン置換カルコン誘導体、オキサゾール誘導体、スチリルアントラセン誘導体、フルオレノン誘導体、ヒドラゾン誘導体、スチルベン誘導体、水素化アモルファスシリコン、水素化アモルファス炭化シリコン、硫化亜鉛、セレン化亜鉛等が挙げられる。
発光層本体3は、第1電極21及び第2電極24による電圧印加の際に、第1電極21及び第2電極24から正孔及び電子がそれぞれ注入されると共に、正孔及び電子が再結合する領域である。ここで、発光層本体3は、発光効率が高い材料により形成されている。そして、発光層本体3を構成する材料としては、例えば、金属オキシノイド化合物[8-ヒドロキシキノリン金属錯体]、ナフタレン誘導体、アントラセン誘導体、ジフェニルエチレン誘導体、ビニルアセトン誘導体、トリフェニルアミン誘導体、ブタジエン誘導体、クマリン誘導体、ベンズオキサゾール誘導体、オキサジアゾール誘導体、オキサゾール誘導体、ベンズイミダゾール誘導体、チアジアゾール誘導体、ベンズチアゾール誘導体、スチリル誘導体、スチリルアミン誘導体、ビススチリルベンゼン誘導体、トリススチリルベンゼン誘導体、ペリレン誘導体、ペリノン誘導体、アミノピレン誘導体、ピリジン誘導体、ローダミン誘導体、アクイジン誘導体、フェノキサゾン、キナクリドン誘導体、ルブレン、ポリ-p-フェニレンビニレン、ポリシラン等が挙げられる。
電子輸送層4は、電子を発光層本体3まで効率良く移動させる機能を有している。ここで、電子輸送層4を構成する材料としては、例えば、有機化合物として、オキサジアゾール誘導体、トリアゾール誘導体、ベンゾキノン誘導体、ナフトキノン誘導体、アントラキノン誘導体、テトラシアノアントラキノジメタン誘導体、ジフェノキノン誘導体、フルオレノン誘導体、シロール誘導体、金属オキシノイド化合物等が挙げられる。
電子注入層5は、第2電極24と有機EL層23とのエネルギーレベルを近づけ、第2電極24から有機EL層23へ電子が注入される効率を向上させる機能を有し、この機能により、有機EL素子25の駆動電圧を下げることができる。なお、電子注入層5は、陰極バッファ層とも呼ばれる。ここで、電子注入層5を構成する材料としては、例えば、フッ化リチウム(LiF)、フッ化マグネシウム(MgF2)、フッ化カルシウム(CaF2)、フッ化ストロンチウム(SrF2)、フッ化バリウム(BaF2)のような無機アルカリ化合物、酸化アルミニウム(Al2O3)、酸化ストロンチウム(SrO)等が挙げられる。
第2電極24は、図3に示すように、各有機EL層23及びエッジカバー22を覆うように陰極として設けられている。また、第2電極24は、有機EL層23に電子を注入する機能を有している。また、第2電極24は、有機EL層23への電子注入効率を向上させるために、仕事関数の小さな材料で構成するのがより好ましい。ここで、第2電極24を構成する材料としては、例えば、銀(Ag)、アルミニウム(Al)、バナジウム(V)、カルシウム(Ca)、チタン(Ti)、イットリウム(Y)、ナトリウム(Na)、マンガン(Mn)、インジウム(In)、マグネシウム(Mg)、リチウム(Li)、イッテルビウム(Yb)、フッ化リチウム(LiF)等が挙げられる。また、第2電極24は、例えば、マグネシウム(Mg)/銅(Cu)、マグネシウム(Mg)/銀(Ag)、ナトリウム(Na)/カリウム(K)、アスタチン(At)/酸化アスタチン(AtO2)、リチウム(Li)/アルミニウム(Al)、リチウム(Li)/カルシウム(Ca)/アルミニウム(Al)、フッ化リチウム(LiF)/カルシウム(Ca)/アルミニウム(Al)等の合金により形成されていてもよい。また、第2電極24は、例えば、酸化スズ(SnO)、酸化亜鉛(ZnO)、インジウムスズ酸化物(ITO)、インジウム亜鉛酸化物(IZO)等の導電性酸化物により形成されていてもよい。また、第2電極24は、上記材料からなる層を複数積層して形成されていてもよい。なお、仕事関数が小さい材料としては、例えば、マグネシウム(Mg)、リチウム(Li)、フッ化リチウム(LiF)、マグネシウム(Mg)/銅(Cu)、マグネシウム(Mg)/銀(Ag)、ナトリウム(Na)/カリウム(K)、リチウム(Li)/アルミニウム(Al)、リチウム(Li)/カルシウム(Ca)/アルミニウム(Al)、フッ化リチウム(LiF)/カルシウム(Ca)/アルミニウム(Al)等が挙げられる。
封止膜30は、図3に示すように、第2電極24を覆うように設けられ、第2電極24上に順に積層された第1無機膜26、有機膜27及び第2無機膜28を備え、有機EL素子25の有機EL層23を水分や酸素から保護する機能を有している。
第1無機膜26及び第2無機膜28は、例えば、窒化シリコン膜、酸化シリコン膜、酸窒化シリコン膜等の無機絶縁膜により構成されている。
有機膜27は、例えば、アクリル樹脂、エポキシ樹脂、シリコーン樹脂、ポリ尿素樹脂、パリレン樹脂、ポリイミド樹脂、ポリアミド樹脂等の有機樹脂材料により構成されている。
また、有機EL表示装置50aは、図6及び図7に示すように、額縁領域Fにおいて、樹脂基板層10と、樹脂基板層10上に設けられた無機絶縁積層膜Mと、無機絶縁積層膜M上に設けられた額縁配線、すなわち、第1額縁配線18h及び第2額縁配線18iと、第1額縁配線18h及び第2額縁配線18i上に設けられた平坦化膜19、第1堰き止め壁Wa及び第2堰き止め壁Wbと、平坦化膜19、第1堰き止め壁Wa及び第2堰き止め壁Wbを覆うように設けられた封止膜30とを備えている。なお、図6の平面図では、図中全面に配置する封止膜30が省略されている。
無機絶縁積層膜Mは、図7に示すように、樹脂基板層10上に順に設けられたベースコート膜11、ゲート絶縁膜13、第1層間絶縁膜15及び第2層間絶縁膜17である。
第1額縁配線18hは、図1に示すように、その一方端(図中右側端)が端子部Tの両端部に到達するように一対設けられている。また、各第1額縁配線18hの他方端(図1中左側端)は、図6及び図7に示すように、スリットSの内部に到達するように設けられている。また、各第1額縁配線18hは、低電源電圧が入力され、図7に示すように、第1スリットSa及び第2スリットSbを介して導電層21aに電気的に接続されている。さらに、導電層21aは、図7に示すように、トレンチGを介して第2電極24に電気的に接続されている。すなわち、低電源電圧が入力される各第1額縁配線18hは、第2電極24に電気的に接続されている。ここで、第1額縁配線18hは、ソース電極18a等と同一層に同一材料により形成されている。なお、本実施形態では、後述するように、チタン膜、アルミニウム膜及びチタン膜が順に積層された積層膜により形成された第1額縁配線18hを例示するが、第1額縁配線18hは、上記チタン膜の代わりに、例えば、モリブデン、タンタル、タングステン等の高融点金属膜を用いてもよい。また、導電層21aは、第1電極21と同一層に同一材料により形成されている。また、トレンチGの図1中の上辺部分及び下辺部分の両側方(図中上側及び下側)には、例えば、ゲートドライバ回路を構成するTFT等が設けられている(不図示)。
第2額縁配線18iは、図1に示すように、その一方端(図中右側端)が端子部Tの両端部に到達するように一対設けられている。また、各第2額縁配線18iは、高電源電圧が入力され、その他方端(図1中左側端)は、図6に示すように、スリットSを横断して、第1スリットSa及び表示領域Dの間に形成される高電源電圧幹配線(不図示)となる。この高電源電圧幹配線は、ソース線18fや電源線18gと直交する方向に表示領域Dの辺に沿うように額縁領域Fに設けられている。また、この高電源電圧幹配線は、表示領域D側に複数に枝分かれし、その枝分かれした部分が表示領域Dに配置された複数の電源線18gに電気的に接続されている。なお、後述する第2の実施形態に示すように、第2額縁配線18j自体が高電源電圧幹配線を構成していてもよい。ここで、第2額縁配線18iは、ソース電極18a等と同一層に同一材料により形成されている。
なお、一対の第2額縁配線18iの間には、ゲート電極14a、上部導電層16又はソース電極18aと同一層に同一材料により形成された引き回し配線Cが他の額縁配線として端子部Tの延びる方向と直交する方向(図1中横方向)に互いに平行に延びるように複数設けられている。ここで、各引き回し配線Cの一方の端部(図1中左端部)は、表示領域Dに設けられた表示配線(ゲート線14、ソース線18f等)に電気的に接続されている。また、各引き回し配線Cの他方の端部(図1中右端部)は、端子部Tに到達するように設けられている。
第1堰き止め壁Waは、図6及び図7に示すように、スリットSの内部において表示領域D側に枠状に設けられ、封止膜30の有機膜27の拡がりを抑制するように構成されている。ここで、第1堰き止め壁Waは、図7に示すように、平坦化膜19と同一層に同一材料により形成された第1樹脂層19aにより構成されている。
第2堰き止め壁Wbは、図6及び図7に示すように、スリットの内部において第1堰き止め壁Waを囲むように枠状に設けられ、封止膜30の有機膜27の拡がりを抑制するように構成されている。ここで、第2堰き止め壁Wbは、図7に示すように、平坦化膜19と同一層に同一材料により形成された第2樹脂層19bと、第2樹脂層19b上に設けられ、エッジカバー22と同一層に同一材料により形成された第3樹脂層22aとにより構成されている。なお、スリットSは、図6及び図7に示すように、表示領域D側の平坦化膜19及び第1堰き止め壁Waの間に配置された第1スリットSaと、第1堰き止め壁Wa及び第2堰き止め壁Wbの間に配置された第2スリットSbと、表示領域Dと反対側(端子部T側)の平坦化膜19及び第2堰き止め壁Wbの間に配置された第3スリットScとを含んでいる。
第1スリットSa、第2スリットSb及び第3スリットScから露出する第1額縁配線18hの端部上には、図6に示すように、その露出する第1額縁配線18hの端面を覆うように導電層21aが設けられている。また、第1スリットSa、第2スリットSb及び第3スリットScから露出する第2額縁配線18iの端部上には、図6及び図7に示すように、その露出する第2額縁配線18iの端面を覆うように導電層21bが設けられている。ここで、導電層21bは、第1電極21と同一層に同一材料により形成されている。
封止膜30の有機膜27は、図7に示すように、額縁領域Fにおいて、第1無機膜26を介して、第1堰き止め壁Waの図中左側の側面まで設けられている。ここで、第2堰き止め壁Wbの上面では、封止膜30の第1無機膜26及び第2無機膜28が互いに接触している。なお、本実施形態では、有機膜27が第1堰き止め壁Waの表示領域D側の側面で堰き止められた構成を例示したが、有機膜27は、例えば、第2堰き止め壁Wbの上面まで到達していてもよい。また、第1スリットSa及び第2スリットSbの内部において、導電層21aは、図7に示すように、第1無機膜26に接触している。
上述した有機EL表示装置50aは、各サブ画素Pにおいて、ゲート線14を介して第1TFT9aにゲート信号を入力することにより、第1TFT9aをオン状態にし、ソース線18fを介して第2TFT9bのゲート電極14b及びキャパシタ9cにソース信号に対応する所定の電圧を書き込み、第2TFT9bのゲート電圧に基づいて電源線18gからの電流の大きさが規定され、その規定された電流が有機EL層23に供給されることにより、有機EL層23の発光層本体3が発光して、画像表示を行うように構成されている。なお、有機EL表示装置50aでは、第1TFT9aがオフ状態になっても、第2TFT9bのゲート電圧がキャパシタ9cによって保持されるので、次のフレームのゲート信号が入力されるまで発光層本体3による発光が維持される。
次に、本実施形態の有機EL表示装置50aの製造方法について説明する。なお、本実施形態の有機EL表示装置50aの製造方法は、TFT層形成工程、有機EL素子形成工程及び封止膜形成工程を備える。
<TFT層形成工程>
例えば、ガラス基板上に形成した樹脂基板層10の表面に、周知の方法を用いて、ベースコート膜11、第1TFT9a、第2TFT9b、キャパシタ9c及び平坦化膜19を形成して、TFT層20を形成する。
例えば、ガラス基板上に形成した樹脂基板層10の表面に、周知の方法を用いて、ベースコート膜11、第1TFT9a、第2TFT9b、キャパシタ9c及び平坦化膜19を形成して、TFT層20を形成する。
ここで、第1TFT9aのソース電極18a及びドレイン電極18b、並びに第2TFT9bのソース電極18c及びドレイン電極18dを形成する際には、額縁領域Fにおいて、第1額縁配線18h及び第2額縁配線18iを同時に形成する。さらに、第1TFT9a、第2TFT9b、第1額縁配線18h及び第2額縁配線18i上に平坦化膜19を形成する際には、額縁領域Fにおいて、第1堰き止め壁Wa(第1樹脂層19a)及び第2堰き止め壁Wbの下層(第2樹脂層19b)を同時に形成する。
<有機EL素子形成工程>
上記TFT層形成工程で形成されたTFT層20の平坦化膜19上に、周知の方法を用いて、第1電極21、エッジカバー22、有機EL層23(正孔注入層1、正孔輸送層2、発光層本体3、電子輸送層4、電子注入層5)、第2電極24を形成して、有機EL素子25を形成する。
上記TFT層形成工程で形成されたTFT層20の平坦化膜19上に、周知の方法を用いて、第1電極21、エッジカバー22、有機EL層23(正孔注入層1、正孔輸送層2、発光層本体3、電子輸送層4、電子注入層5)、第2電極24を形成して、有機EL素子25を形成する。
ここで、第1電極21を形成する際には、額縁領域Fにおいて、導電層21a及び21bを同時に形成する。この第1電極21を形成する工程では、平坦化膜19、第1堰き止め壁Wa、及び第2堰き止め壁Wbとなる第2樹脂層19bから露出する第1額縁配線18h及び第2額縁配線18iの端面が導電層21a及び導電層21b(図8参照)に覆われているので、例えば、チタン膜6、アルミニウム膜7及びチタン膜8の積層膜からなる第1額縁配線18h及び第2額縁配線18iの端面が第1電極21を形成する際に用いるエッチング液からダメージを受け難くなっている。なお、導電層21a及び導電層21bが形成されない場合には、アルミニウム膜7がエッチング液からダメージを受け易いので、アルミニウム膜7の側面Eaが図8中の2点鎖線Ebのように後退し、第1額縁配線18h及び第2額縁配線18iの端部が庇状に形成され易い。また、エッジカバー22を形成する際には、額縁領域Fにおいて、第2堰き止め壁Wbの上層(第3樹脂層22a)を同時に形成する。さらに、エッジカバー22を形成する工程においても、第1電極21を形成する工程と同様に、平坦化膜19、第1堰き止め壁Wa、及び第2堰き止め壁Wbとなる第2樹脂層19bから露出する第1額縁配線18h及び第2額縁配線18iの端面が導電層21a及び導電層21b(図8参照)に覆われているので、例えば、チタン膜6、アルミニウム膜7及びチタン膜8の積層膜からなる第1額縁配線18h及び第2額縁配線18iの端面が第1電極21を形成する際に用いるエッチング液からダメージを受け難くなっている。なお、導電層21a及び導電層21bが形成されない場合には、アルミニウム膜7がエッチング液からダメージを受け易いので、アルミニウム膜7の側面Eaが図8中の2点鎖線Ebのように後退し、第1額縁配線18h及び第2額縁配線18iの端部が庇状に形成され易い。
<封止膜形成工程>
まず、上記有機EL素子形成工程で有機EL素子25が形成された基板表面に、マスクを用いて、例えば、窒化シリコン膜、酸化シリコン膜、酸窒化シリコン膜等の無機絶縁膜をプラズマCVD法により厚さ1000nm程度に成膜して、第1無機膜26を形成する。
まず、上記有機EL素子形成工程で有機EL素子25が形成された基板表面に、マスクを用いて、例えば、窒化シリコン膜、酸化シリコン膜、酸窒化シリコン膜等の無機絶縁膜をプラズマCVD法により厚さ1000nm程度に成膜して、第1無機膜26を形成する。
続いて、第1無機膜26が形成された基板表面に、例えば、インクジェット法により、アクリル樹脂等の有機樹脂材料を厚さ10μm程度に成膜して、有機膜27を形成する。
さらに、有機膜27が形成された基板に対して、マスクを用いて、例えば、窒化シリコン膜、酸化シリコン膜、酸窒化シリコン膜等の無機絶縁膜をプラズマCVD法により厚さ500nm程度に成膜して、第2無機膜28を形成することにより、封止膜30を形成する。
最後に、封止膜30が形成された基板表面に保護シート(不図示)を貼付した後に、樹脂基板層10のガラス基板側からレーザー光を照射することにより、樹脂基板層10の下面からガラス基板を剥離させ、さらに、ガラス基板を剥離させた樹脂基板層10の下面に保護シート(不図示)を貼付する。
以上のようにして、本実施形態の有機EL表示装置50aを製造することができる。
以上説明したように、本実施形態の有機EL表示装置50aによれば、第1スリットSa、第2スリットSb及び第3スリットScから露出する第1額縁配線18h及び第2額縁配線18iの端面を覆うように導電層21a及び導電層21bが設けられている。そのため、第1電極21を形成する工程において、第1電極21を形成する際に用いるエッチング液から第1額縁配線18h及び第2額縁配線18iの端面がダメージを受け難くなる。さらに、エッジカバー22を形成する工程においても、エッジカバー22となる感光性の樹脂前駆体を現像する現像液から第1額縁配線18h及び第2額縁配線18iの端面がダメージを受け難くなる。これにより、第1電極21を形成する工程及びエッジカバー22を形成する工程において、第1額縁配線18h及び第2額縁配線18iの端面がダメージを受け難くなるので、第1額縁配線18h及び第2額縁配線18iの製造工程中に受けるダメージを抑制することができる。
また、本実施形態の有機EL表示装置50aによれば、チタン膜6、アルミニウム膜7及びチタン膜8の積層膜からなる第1額縁配線18h及び第2額縁配線18iの端面がダメージを受け難くなるので、第1額縁配線18h及び第2額縁配線18iの横断面形状の端部が庇状に形成され難くなる。これにより、第1額縁配線18h及び第2額縁配線18iを覆う封止膜30の封止性能を確保することができるので、有機EL素子25の劣化を抑制することができる。
《第2の実施形態》
図9は、本発明に係る表示装置の第2の実施形態を示している。ここで、図9は、本実施形態の有機EL表示装置50bの額縁領域Fの要部平面図であり、図6に相当する図である。なお、以下の各実施形態において、図1~図8と同じ部分については同じ符号を付して、その詳細な説明を省略する。
図9は、本発明に係る表示装置の第2の実施形態を示している。ここで、図9は、本実施形態の有機EL表示装置50bの額縁領域Fの要部平面図であり、図6に相当する図である。なお、以下の各実施形態において、図1~図8と同じ部分については同じ符号を付して、その詳細な説明を省略する。
上記第1の実施形態では、スリットSから露出する額縁配線、すなわち、第1額縁配線18h及び第2額縁配線18iの端面を覆うように導電層21a及び21bが設けられた有機EL表示装置50aを例示したが、本実施形態では、スリットSから露出する額縁配線、すなわち、第1額縁配線18h及び第2額縁配線18jの表面全体を覆うように導電層21c及び21dが設けられた有機EL表示装置50bを例示する。
有機EL表示装置50bは、上記第1の実施形態の有機EL表示装置50aと同様に、表示領域Dと、表示領域Dの周囲に設けられた額縁領域Fとを備えている。
有機EL表示装置50bは、上記第1の実施形態の有機EL表示装置50aと同様に、表示領域Dにおいて、樹脂基板層10と、樹脂基板層10上に設けられたTFT層20と、TFT層20上に設けられた有機EL素子25と、有機EL素子25を覆うように設けられた封止膜30と備えている。
有機EL表示装置50bは、上記第1の実施形態の有機EL表示装置50aと同様に、額縁領域Fにおいて、樹脂基板層10と、樹脂基板層10上に設けられた無機絶縁積層膜Mと、無機絶縁積層膜M上に設けられた第1額縁配線18h及び第2額縁配線18jと、第1額縁配線18h及び第2額縁配線18j上に設けられた平坦化膜19、第1堰き止め壁Wa及び第2堰き止め壁Wbと、平坦化膜19、第1堰き止め壁Wa及び第2堰き止め壁Wbを覆うように設けられた封止膜30とを備えている。
第2額縁配線18jは、上記第1の実施形態の第2額縁配線18iと同様に、その一方端が端子部Tの両端部に到達するように一対設けられている。また、各第2額縁配線18jは、高電源電圧が入力され、その他方端は、図9に示すように第1スリットSa及び第2スリットSbに沿って幅広に引き出されると共に、表示領域D側に突き出されて、表示領域Dに配置された複数の電源線18gに電気的に接続されている。つまり、第2額縁配線18jは、上記第1の実施形態の第2額縁配線18iの構成と異なって、第2額縁配線18j自体が表示領域D側に複数に枝分かれして、高電源電圧幹配線を構成している。この高電源電圧幹配線は、上記第1の実施形態と同様に、第1スリットSa及び表示領域Dの間に設けられていてもよい。ここで、第2額縁配線18jは、ソース電極18a等と同一層に同一材料により形成されている。なお、図9の平面図では、図中全面に配置する封止膜30が省略されている。また、図9では、ソース電極18aと同一層に同一材料により形成された引き回し配線Caが表示領域Dに配置されたソース線18fと電気的に接続されている構成を例示している。ここで、引き回し配線Caは、スリットSと交差する前に、ゲート電極17a又は上部導電層16と同一層に同一材料により形成された引き回し配線Cbに引き回されている。そして、引き回し配線Cbは、スリットSと交差した後に、ソース線18fに引き回されている。
第1スリットSa、第2スリットSb及び第3スリットScから露出する第1額縁配線18h上には、図9に示すように、第1額縁配線18hの表面全体を覆うように導電層21cが設けられている。また、第1スリットSa、第2スリットSb及び第3スリットScから露出する第2額縁配線18j上には、図9に示すように、第2額縁配線18jの表面全体を覆うように導電層21dが設けられている。ここで、導電層21c及び21dは、第1電極21と同一層に同一材料により形成されている。この構成によれば、導電層21c及び21dによって、第1額縁配線18h及び第2額縁配線18jの端面を保護するだけでなく、第1額縁配線18h及び第2額縁配線18jの配線抵抗を低下させることもできる。
上述した有機EL表示装置50bは、上記第1の実施形態の有機EL表示装置50aと同様に、可撓性を有し、各サブ画素Pにおいて、第1TFT9a及び第2TFT9bを介して有機EL層23の発光層本体3を適宜発光させることにより、画像表示を行うように構成されている。
本実施形態の有機EL表示装置50bは、上記第1の実施形態で説明した有機EL表示装置50aの製造方法において、第2額縁配線18i、導電層21a及び21bの平面形状を変更することにより、製造することができる。
以上説明したように、本実施形態の有機EL表示装置50bによれば、第1スリットSa、第2スリットSb及び第3スリットScから露出する第1額縁配線18h及び第2額縁配線18jの表面全体を覆うように導電層21c及び導電層21dが設けられている。そのため、第1電極21を形成する工程において、第1電極21を形成する際に用いるエッチング液から第1額縁配線18h及び第2額縁配線18jの端面がダメージを受け難くなる。さらに、エッジカバー22を形成する工程においても、エッジカバー22となる感光性の樹脂前駆体を現像する現像液から第1額縁配線18h及び第2額縁配線18jの端面がダメージを受け難くなる。これにより、第1電極21を形成する工程及びエッジカバー22を形成する工程において、第1額縁配線18h及び第2額縁配線18jの端面がダメージを受け難くなるので、第1額縁配線18h及び第2額縁配線18jの製造工程中に受けるダメージを抑制することができる。
また、本実施形態の有機EL表示装置50bによれば、チタン膜6、アルミニウム膜7及びチタン膜8の積層膜からなる第1額縁配線18h及び第2額縁配線18jの端面がダメージを受け難くなるので、第1額縁配線18h及び第2額縁配線18jの横断面形状の端部が庇状に形成され難くなる。これにより、第1額縁配線18h及び第2額縁配線18jを覆う封止膜30の封止性能を確保することができるので、有機EL素子25の劣化を抑制することができる。
なお、本実施形態においては、第1額縁配線18h及び第2額縁配線18jの端面だけでなく、表面のダメージを抑制することができ、例えば、下層からチタン膜及び銅膜を順に積層して形成された配線にも適用することができる。この配線では、上記チタン膜の代わりに、例えば、モリブデン、タンタル、タングステン等の高融点金属膜を用いてもよい。
《その他の実施形態》
上記第1の実施形態では、一対の第2額縁配線18iの間にゲート電極14a、上部導電層16又はソース電極18aと同一層に同一材料により形成された引き回し配線Cが他の額縁配線として設けられた構成を例示したが、スリットSが形成された領域において、一対の第2額縁配線18iの間に、図10に示すように、ソース電極18a等と同一層に同一材料により形成された第3額縁配線18kが額縁配線として設けられていてもよい。ここで、図10は、本実施形態の有機EL表示装置における額縁領域Fの要部平面図である。また、図11は、図10中のXI-XI線に沿った有機EL表示装置の額縁領域Fの断面図である。
上記第1の実施形態では、一対の第2額縁配線18iの間にゲート電極14a、上部導電層16又はソース電極18aと同一層に同一材料により形成された引き回し配線Cが他の額縁配線として設けられた構成を例示したが、スリットSが形成された領域において、一対の第2額縁配線18iの間に、図10に示すように、ソース電極18a等と同一層に同一材料により形成された第3額縁配線18kが額縁配線として設けられていてもよい。ここで、図10は、本実施形態の有機EL表示装置における額縁領域Fの要部平面図である。また、図11は、図10中のXI-XI線に沿った有機EL表示装置の額縁領域Fの断面図である。
具体的には、スリットSが形成された領域において、一対の第2額縁配線18iの間には、図10に示すように、ソース電極18a等と同一層に同一材料により形成された第3額縁配線18kが端子部Tの延びる方向と直交する方向(図1中横方向)に互いに平行に延びるように複数設けられている。この場合、第1スリットSa、第2スリットSb及び第3スリットScから露出する第3額縁配線18k上には、図10及び図11に示すように、第3額縁配線18kの表面全体を覆うように導電層21eが設けられている。また、第3額縁配線18kは、例えば、データ信号電圧が入力され、表示領域Dに配置された複数のソース線18fに電気的に接続されている。ここで、第3額縁配線18kは、電流が多く流れる第1額縁配線18hや第2額縁配線18iよりも配線幅が狭くなっている。また、第3額縁配線18kは、ソース線18fに対応するため、配線数が多く、第3額縁配線18kの配線間距離も第1額縁配線18hや第2額縁配線18iの配線間距離よりも短くなっている。そのため、導電層21eは、図10に示すように、第3額縁配線18kの表面全体を覆うように設けられているが、配線間距離が長く取れる場合には、上記第1の実施形態と同様に、第3額縁配線18kの端面を覆うように設けられていてもよい。なお、導電層21eは、第1電極21と同一層に同一材料により形成されている。また、図10の平面図では、図中全面に配置する封止膜30が省略されている。
上記各実施形態では、正孔注入層、正孔輸送層、発光層、電子輸送層及び電子注入層の5層積層構造の有機EL層を例示したが、有機EL層は、例えば、正孔注入層兼正孔輸送層、発光層、及び電子輸送層兼電子注入層の3層積層構造であってもよい。
また、上記各実施形態では、第1電極を陽極とし、第2電極を陰極とした有機EL表示装置を例示したが、本発明は、有機EL層の積層構造を反転させ、第1電極を陰極とし、第2電極を陽極とした有機EL表示装置にも適用することができる。
また、上記各実施形態では、第1電極に接続されたTFTの電極をドレイン電極とした有機EL表示装置を例示したが、本発明は、第1電極に接続されたTFTの電極をソース電極と呼ぶ有機EL表示装置にも適用することができる。
また、上記各実施形態では、表示装置として有機EL表示装置を例に挙げて説明したが、本発明は、電流によって駆動される複数の発光素子を備えた表示装置に適用することができる。例えば、量子ドット含有層を用いた発光素子であるQLED(Quantum-dot light emitting diode)を備えた表示装置に適用することができる。
以上説明したように、本発明は、フレキシブルな表示装置について有用である。
C,Ca,Cb 引き回し配線
D 表示領域
F 額縁領域
S スリット
Sa 第1スリット
Sb 第2スリット
Sc 第3スリット
T 端子部
Wa 第1堰き止め壁
Wb 第2堰き止め壁
6 チタン膜
7 アルミニウム膜
8 チタン膜
10 樹脂基板層(ベース基板)
18f ソース線
18g 電源線
18h 第1額縁配線
18i 第2額縁配線
18j 第2額縁配線(高電源電圧幹配線)
18k 第3額縁配線
19 平坦化膜
20 TFT層
21 第1電極
21a~21e 導電層
23 有機EL層(発光層)
24 第2電極
25 有機EL素子(発光素子)
26 第1無機膜
27 有機膜
28 第2無機膜
30 封止膜
50a,50b 有機EL表示装置
D 表示領域
F 額縁領域
S スリット
Sa 第1スリット
Sb 第2スリット
Sc 第3スリット
T 端子部
Wa 第1堰き止め壁
Wb 第2堰き止め壁
6 チタン膜
7 アルミニウム膜
8 チタン膜
10 樹脂基板層(ベース基板)
18f ソース線
18g 電源線
18h 第1額縁配線
18i 第2額縁配線
18j 第2額縁配線(高電源電圧幹配線)
18k 第3額縁配線
19 平坦化膜
20 TFT層
21 第1電極
21a~21e 導電層
23 有機EL層(発光層)
24 第2電極
25 有機EL素子(発光素子)
26 第1無機膜
27 有機膜
28 第2無機膜
30 封止膜
50a,50b 有機EL表示装置
Claims (14)
- ベース基板と、
上記ベース基板上に設けられたTFT層と、
上記TFT層上に設けられ、表示領域を構成する発光素子と、
上記表示領域の周囲に設けられた額縁領域と、
上記額縁領域の端部に一方向に延びるように設けられた端子部と、
上記TFT層を構成し、上記額縁領域に設けられた額縁配線と、
上記TFT層を構成し、上記表示領域及び上記額縁領域に設けられ、該額縁領域において枠状のスリットが形成された平坦化膜と、
上記発光素子を構成し、上記平坦化膜上に設けられた複数の第1電極と、
上記発光素子を構成し、上記各第1電極上に発光層を介して設けられた第2電極とを備えた表示装置であって、
上記スリットから露出する上記額縁配線の少なくとも端面を覆うように上記各第1電極と同一層に同一材料により形成された導電層が設けられていることを特徴とする表示装置。 - 請求項1に記載された表示装置において、
上記額縁配線は、第1額縁配線を含み、
上記第1額縁配線は、低電源電圧が入力され、上記第2電極に電気的に接続されていることを特徴とする表示装置。 - 請求項2に記載された表示装置において、
上記第1額縁配線は、上記端子部の両端部に到達するように一対設けられていることを特徴とする表示装置。 - 請求項3に記載された表示装置において、
上記額縁配線は、第2額縁配線を含み、
上記第2額縁配線は、高電源電圧が入力され、上記表示領域に配置された複数の電源線に電気的に接続されていることを特徴とする表示装置。 - 請求項4に記載された表示装置において、
上記第2額縁配線は、上記端子部の両端部に到達するように一対設けられていることを特徴とする表示装置。 - 請求項4又は5に記載された表示装置において、
上記第2額縁配線は、高電源電圧幹配線であり、
上記高電源電圧幹配線は、上記表示領域側に複数に枝分かれし、該枝分かれした部分が上記表示領域に配置された複数の電源線に電気的に接続されていることを特徴とする表示装置。 - 請求項6に記載された表示装置において、
上記スリットと交差するように、上記表示領域に配置された複数のソース線にデータ信号電圧を入力する引き回し配線が設けられ、
上記引き回し配線は、上記高電源電圧幹配線と電気的に絶縁して該高電源電圧幹配線よりも上記ベース基板側に設けられていることを特徴とする表示装置。 - 請求項4又は5に記載された表示装置において、
上記額縁配線は、第3額縁配線を含み、
上記第3額縁配線は、データ信号電圧が入力され、上記表示領域に配置された複数のソース線に電気的に接続されていることを特徴とする表示装置。 - 請求項1~8の何れか1つに記載された表示装置において、
上記導電層は、上記スリットから露出する上記額縁配線の表面全体を覆うように設けられていることを特徴とする表示装置。 - 請求項1~9の何れか1つに記載された表示装置において、
上記額縁配線は、少なくとも2層の金属積層膜により形成されていることを特徴とする表示装置。 - 請求項10に記載された表示装置において、
上記額縁配線は、チタン膜、アルミニウム膜及びチタン膜が順に積層された金属積層膜により形成されていることを特徴とする表示装置。 - 請求項1~11の何れか1つに記載された表示装置において、
上記発光素子を覆うように設けられ、第1無機膜、有機膜及び第2無機膜が順に積層された封止膜を備え、
上記スリットの内部において、上記導電層は、上記第1無機膜に接触していることを特徴とする表示装置。 - 請求項1~12の何れか1つに記載された表示装置において、
上記スリットの内部において上記表示領域側に枠状に設けられた第1堰き止め壁と、
上記スリットの内部において上記第1堰き止め壁を囲むように枠状に設けられた第2堰き止め壁とを備え、
上記スリットは、上記表示領域側の上記平坦化膜及び上記第1堰き止め壁の間に配置された第1スリットと、上記第1堰き止め壁及び上記第2堰き止め壁の間に配置された第2スリットと、上記表示領域と反対側の上記平坦化膜及び上記第2堰き止め壁の間に配置された第3スリットとを含んでいることを特徴とする表示装置。 - 請求項1~13の何れか1つに記載された表示装置において、
上記発光素子は、有機EL素子であることを特徴とする表示装置。
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