JP2006066206A - 表示装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 表示装置は、基板1と、有機平坦化膜8と、画素電極9と、発光層11と、発光層11の上側を覆うように配置され、さらに対向電極接続領域75にまで延在する対向電極12と、画素電極9に対して電気的に接続された状態で基板1の表面に配置されたトランジスタ素子2と、対向電極接続領域75に形成された外部端子引出用導電層14とを備える。対向電極接続領域75においては、対向電極12は、対向電極12の下側を覆う仲介導電層15を介して外部端子引出用導電層14と電気的に接続されている。有機平坦化膜8は、対向電極接続領域75の少なくとも表示領域73寄りの辺に沿って分断された箇所を有する。
【選択図】 図1
Description
(構成)
図1、図2を参照して、本発明に基づく実施の形態1における表示装置について説明する。この表示装置は、有機EL表示装置である。図1に示すように、この表示装置は、平面的に見て表示領域73および対向電極接続領域75を有する基板1を備える。さらに、この表示装置は、基板1の上側に層間絶縁膜6および第1無機絶縁膜7を介して配置された有機平坦化膜8と、有機平坦化膜8の上側において表示領域73内に配置された画素電極9と、画素電極9の上側の少なくとも一部を覆うように配置された発光層11と、発光層11が画素電極9の上側に重なっている領域において発光層11の上側を覆うように配置され、さらに対向電極接続領域75にまで延在する対向電極12とを備える。発光層11は有機EL層である。
本実施の形態における表示装置では、有機平坦化膜8は対向電極接続領域75を避けて配置されている、すなわち、対向電極接続領域75に位置する仲介導電層15の下側から水分を含有しやすい有機平坦化膜8がない構造となっているので、この対向電極接続領域75から発光層11へと至る水分を無くすことができる。さらに、基板1周辺から有機平坦化膜8を経路として伝播する水分を遮断することができる。したがって、発光層11が水分浸入によって劣化することによる輝度減少を防ぐことができるので表示装置としての信頼性が向上する。
(構成)
図3を参照して、本発明に基づく実施の形態2における表示装置について説明する。この表示装置のように、有機平坦化膜8と仲介導電層15とは重なり合う部分なく完全に隔離されていてもよい。他の部分の構成は、実施の形態1で示したものと同様である。
本実施の形態における表示装置では、対向電極接続領域75に位置する仲介導電層15の下側から水分を含有しやすい有機平坦化膜8がない構造となっているので、この対向電極接続領域75から発光層11へと至る水分を無くすことができる。したがって、発光層11が水分浸入によって劣化することによる輝度減少を防ぐことができるので、表示装置としての信頼性が向上する。
(構成)
図4を参照して、本発明に基づく実施の形態3における表示装置について説明する。
この表示装置のように、仲介導電層15の真下で外部端子引出用導電層14の真上となる領域にかさ上げ層を配置してもよい。この場合のかさ上げ層とは、第1無機絶縁膜7を局所的に厚くしたものであり、図4の中でかさ上げ部7aとして示されるものである。他の部分の構成は、実施の形態1で示したものと同様である。
本実施の形態における表示装置では、有機平坦化膜8と第1無機絶縁膜7との境界での段差が小さくなるので段差による対向電極12の段切れを防止できる。したがって、さらに良好な表示特性を得ることができる。なお、図4では有機平坦化膜8と第1無機絶縁膜7の上面はほぼ一致しているが必ずしも一致する必要はない。
(構成)
図5を参照して、本発明に基づく実施の形態4における表示装置について説明する。この表示装置のように、外部端子引出用導電層14の真下の領域に他の領域の絶縁膜より厚い絶縁膜をかさ上げ層として配置してもよい。図5の例では、外部端子引出用導電層14の真下に第1無機絶縁膜7とは別の第2無機絶縁膜16をかさ上げ層として配置しているが、かさ上げ層は、第1無機絶縁膜7と同じ材質であっても異なる材質であってもよい。また、層間絶縁膜6と第2無機絶縁膜16とは、別の工程で形成するものであっても同一工程で形成するものであってもよい。他の部分の構成は、実施の形態1で示したものと同様である。
本実施の形態における表示装置では、有機平坦化膜8と第1無機絶縁膜7との境界での段差が小さくなるので段差による対向電極12の段切れを防止できる。さらに、コンタクト部21が接続すべき高低差を小さくできるので、コンタクト部21を形成する際の仲介導電層15の段切れを防止できる。したがって、さらに良好な表示特性を得ることができる。なお、第1無機絶縁膜7と層間絶縁膜6とは同じ材質であっても異なる材質であってもよい。異なる材質としては、たとえばSiNとSiO2の組合せであってもよい。
(構成)
図6を参照して、本発明に基づく実施の形態5における表示装置について説明する。この表示装置のように、仲介導電層15の上側に段切れ防止膜18が形成された構造としてもよい。段切れ防止膜18は、表示領域73(図1参照)において画素領域同士を分離するのに用いられる画素分離膜17を形成する際に、同じ材質で同時に形成するようにすれば好都合である。他の部分の構成は、実施の形態1で示したものと同様である。
本実施の形態における表示装置では、各層の端面の段差に起因する対向電極12の段切れを防止できるのでさらに良好な表示特性を得ることができる。なお、この構造を用いる場合、段切れ防止膜18自体が水分の拡散経路となって発光層11などに水分が浸入してしまうことを防止するために、十分に脱水処理を行なった後に発光層11や対向電極12を形成することが望ましい。
(構成)
図7を参照して、本発明に基づく実施の形態6における表示装置について説明する。この表示装置のように、仲介導電層15は外部端子引出用導電層14より幅が狭くてもよい。他の部分の構成は、実施の形態1で示したものと同様である。
本実施の形態における表示装置では、仲介導電層15と有機平坦化膜8との上から見たときの位置関係のクリアランスを大きく確保できるので製造が容易となる。
(構成)
図8を参照して、本発明に基づく実施の形態7における表示装置について説明する。これまでの実施の形態では、仲介導電層15と外部端子引出用導電層14との接続は複数の開口部を介して複数のコンタクト部21が並行するようにして接続されていたが、本実施の形態における表示装置のように、仲介導電層15と外部端子引出用導電層14との間は大きな開口部のみとして、この開口部に配置されるコンタクト部21cによって一括して接続される構造であってもよい。他の部分の構成は、実施の形態1で示したものと同様である。
小さな面積の開口部によるコンタクト部では接続に不安がある場合であっても、本実施の形態における表示装置によれば、比較的大きな面積の開口を通じてコンタクト部21cによって接続されるので確実に仲介導電層15と外部端子引出用導電層14とを接続できる。なお、この場合仲介導電層15の応力には留意する必要がある。
(構成)
図10を参照して、本発明に基づく実施の形態8における表示装置について説明する。この表示装置では、外部端子引出用導電層14はコンタクト部22を介してゲート導電層33と接続されている。ゲート導電層33は層間絶縁膜6の下側に配置されているものであり、コンタクト部22は、層間絶縁膜6を貫通して形成されている。外部端子引出用導電層14は島状となっており、外部端子引出用導電層14同士の間にSD配線32が形成されている。なお、他の部分の構成は、実施の形態1で示したものと同様である。
本実施の形態における表示装置によれば、画素内の配線から画素外への回路への電気的抵抗を低減することができるので信号遅延を低減できる。なお、この配置の場合、配線同士の交差領域に生じる容量を低減するために仲介導電層15およびゲート導電層33と外部端子引出用導電層14とが交差する領域においては両者の間に厚い絶縁膜を形成することが望ましい。
(構成)
図11を参照して、本発明に基づく実施の形態9における表示装置について説明する。この表示装置では、図11に示すように、対向電極接続領域75に隣接する分断領域76の有機平坦化膜は除去されている。対向電極接続領域75においては有機平坦化膜が完全に除去されているのではなく有機平坦化膜8rとして残っている。対向電極接続領域75においては、対向電極12は、仲介導電層15を介して有機平坦化膜8rの上側を覆うように形成されている。対向電極12と仲介導電層15とは直接接続されており、仲介導電層15と外部端子引出用導電層14とは第1無機絶縁膜7および有機平坦化膜8rを貫通するように形成された開口部を通じてコンタクト部21dを介して接続されている。したがって、対向電極12は仲介導電層15を介して外部端子引出用導電層14に電気的に接続されている。
本実施の形態における表示装置では、対向電極接続領域75において対向電極12の仲介導電層15の下側に水分を含有しやすい有機平坦化膜を残していることになるが、対向電極接続領域75の周囲を取り囲む、あるいは対向電極接続領域75の少なくとも表示領域73寄りの辺に沿った、分断領域76において有機平坦化膜を除去しているので、対向電極接続領域75から発光層11(図1参照)へ至る水分浸入経路を遮断することができる。さらに、基板1周辺から有機平坦化膜8を経路として伝播する水分を遮断することができる。したがって、発光層11が水分浸入によって劣化することによる輝度減少を防ぐことができるので表示装置としての信頼性が向上する。
(構成)
図12を参照して、本発明に基づく実施の形態10における表示装置について説明する。この表示装置のように、対向電極接続領域75の仲介導電層15は有機平坦化膜8rの上面の途中で途切れていてもよい。他の部分の構成は、実施の形態1で示したものと同様である。
本実施の形態における表示装置では、仲介導電層15、有機平坦化膜8r、表示領域73(図1参照)の有機平坦化膜8の配置に余裕ができる。
Claims (9)
- 平面的に見て表示領域および対向電極接続領域を有する基板と、
前記基板の上側に配置された有機平坦化膜と、
前記有機平坦化膜の上側において前記表示領域内に配置された画素電極と、
前記画素電極の上側の少なくとも一部を覆うように配置された発光層と、
前記発光層が前記画素電極の上側に重なっている領域において前記発光層の上側を覆うように配置され、さらに前記対向電極接続領域にまで延在する対向電極と、
前記画素電極に対して電気的に接続された状態で前記基板の表面に配置されたトランジスタ素子と、
前記トランジスタ素子のソース・ドレイン領域に電気的に接続するSD配線と同じ材質で前記対向電極接続領域に形成された外部端子引出用導電層とを備え、
前記対向電極接続領域においては、前記対向電極は、前記対向電極の下側を覆う仲介導電層を介して前記外部端子引出用導電層と電気的に接続され、
前記有機平坦化膜は、前記対向電極接続領域の少なくとも前記表示領域寄りの辺に沿って分断された箇所を有する、表示装置。 - 前記対向電極接続領域内では、前記仲介導電層は複数箇所において前記外部端子引出用導電層と電気的に接続されている、請求項1に記載の表示装置。
- 前記有機平坦化膜は、前記対向電極接続領域を避けて配置されている、請求項1または2に記載の表示装置。
- 前記対向電極接続領域においては、前記基板より上側かつ前記仲介導電層の上面より下側の位置にかさ上げ層が配置されることによって、前記有機平坦化膜の上面と前記かさ上げ層の上面とがほぼ同じ高さとなっている、請求項3に記載の表示装置。
- 前記有機平坦化膜と前記基板との間に第1無機絶縁膜が介在しており、前記かさ上げ層は、前記第1無機絶縁膜が延在して厚みを増した部分である、請求項4に記載の表示装置。
- 前記有機平坦化膜と前記基板との間に第1無機絶縁膜が介在しており、前記かさ上げ層は、前記第1無機絶縁膜が局所的に積層されて厚みを増した部分である、請求項4に記載の表示装置。
- 前記かさ上げ層は、前記対向電極接続領域において前記外部端子引出用導電層と前記基板との間に介在する第2無機絶縁膜である、請求項4に記載の表示装置。
- 前記かさ上げ層は、前記対向電極接続領域において前記外部端子引出用導電層の下側の層が局所的に突出した部分である、請求項4に記載の表示装置。
- 前記仲介導電層の端部の上側および前記有機平坦化膜の端部の上側を連続的に覆うように段切れ防止膜が配置されている、請求項1から4のいずれかに記載の表示装置。
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