WO2019176778A1 - 高周波モジュール及び通信装置 - Google Patents

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WO2019176778A1
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英樹 上田
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株式会社村田製作所
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    • H01L2924/1531Connection portion the connection portion being formed only on the surface of the substrate opposite to the die mounting surface
    • H01L2924/15313Connection portion the connection portion being formed only on the surface of the substrate opposite to the die mounting surface being a land array, e.g. LGA

Definitions

  • the present invention relates to a high-frequency module and a communication device.
  • Patent Document 1 describes a millimeter wave system in which a baseband module and a high-frequency module are connected by a single transmission line.
  • a single transmission line transmits a superimposed signal in which a plurality of signals are superimposed.
  • the superimposed signal includes an intermediate frequency (IF) signal, a local oscillation (Lo) signal, a control signal, and a power signal.
  • IF intermediate frequency
  • Lo local oscillation
  • a bias T circuit for separating a power supply signal and other high-frequency signals (IF, Lo, control signal) is provided.
  • An object of the present invention is to provide a high-frequency module and a communication device that can suppress oscillation of unnecessary high-frequency signals.
  • a high-frequency module is provided with a first substrate having a first main surface and a second main surface opposite to the first main surface, the first main surface, and an external circuit.
  • a signal terminal for transmitting a signal between, a power supply terminal provided on the second main surface, to which a power supply signal is supplied, an antenna, and the signal terminal, the power supply terminal and the antenna are electrically connected;
  • a high-frequency electronic component that controls transmission and reception of the antenna based on the signal and the power signal.
  • a communication device includes the above-described high-frequency module and a baseband module connected to the signal terminal via a cable.
  • the high frequency module and the communication device of the present invention it is possible to suppress unnecessary high frequency signal oscillation.
  • FIG. 1 is a transmission plan view of the high-frequency module according to the first embodiment.
  • FIG. 2 is a cross-sectional view taken along the line II-II ′ of FIG.
  • FIG. 3 is a block diagram illustrating a configuration example of a communication device having the high-frequency module according to the first embodiment.
  • FIG. 4 is a transmission plan view of the high-frequency module according to the second embodiment.
  • FIG. 5 is a transmission plan view showing the first substrate of the high-frequency module according to the second embodiment.
  • FIG. 6 is a cross-sectional view for explaining the configuration of the high-frequency module according to the second embodiment.
  • FIG. 7 is a cross-sectional view for explaining the configuration of a high-frequency module according to a first modification of the second embodiment.
  • FIG. 1 is a transmission plan view of the high-frequency module according to the first embodiment.
  • FIG. 2 is a cross-sectional view taken along the line II-II ′ of FIG.
  • FIG. 3 is a block diagram
  • FIG. 8 is a perspective view of the high-frequency module according to the third embodiment.
  • FIG. 9 is a cross-sectional view for explaining the configuration of the high-frequency module according to the third embodiment.
  • FIG. 10 is a cross-sectional view for explaining the configuration of a high-frequency module according to a second modification of the third embodiment.
  • FIG. 1 is a transmission plan view of the high-frequency module according to the first embodiment.
  • FIG. 2 is a cross-sectional view taken along the line II-II ′ of FIG. In FIG. 1, a part of the ground terminal 23, the wiring L3, and the like are schematically shown.
  • the high-frequency module 1 includes a first substrate 2, a high-frequency electronic component 3, an antenna 4, a plurality of ground terminals 23, a power supply terminal 24, and a signal terminal 25.
  • the high frequency module 1 of this embodiment is a high frequency module with an antenna.
  • the high-frequency module 1 performs transmission / reception in a quasi-millimeter wave band or a millimeter wave band (for example, 20 GHz to 300 GHz).
  • the first substrate 2 has a first main surface S1 and a second main surface S2 opposite to the first main surface S1.
  • the first main surface S ⁇ b> 1 is the upper surface of the high-frequency module 1.
  • the second main surface S2 is the lower surface of the high-frequency module 1.
  • the first substrate 2 is a multilayer dielectric substrate, and wirings L1, L2, L3, etc., vias 28a, 28b, 28c, 28d, 28e, 28f, etc. are provided in the inner layer.
  • Wirings L1, L2, L3, etc., vias 28a, 28b, 28c, 28d, 28e, 28f, etc., electrodes such as radiation element 41, ground layer 21, power supply terminal 24, signal terminal 25 are made of aluminum (Al), copper ( Cu), gold (Au), silver (Ag), or a metal mainly composed of these alloys.
  • a ceramic multilayer substrate is used as the first substrate 2.
  • LTCC Low Temperature Co-fired Ceramics
  • the first substrate 2 may be a multilayer resin substrate formed by laminating a plurality of resin layers made of a resin such as epoxy or polyimide.
  • the first substrate 2 may be a multilayer resin substrate formed by laminating a plurality of resin layers composed of a liquid crystal polymer (LCP) having a low dielectric constant, and is composed of a fluororesin.
  • LCP liquid crystal polymer
  • a multilayer resin substrate formed by laminating a plurality of layers may be used, or a ceramic multilayer substrate sintered at a higher temperature than LTCC.
  • the high-frequency electronic component 3, the antenna 4 and the signal terminal 25 are provided on the first main surface S1 of the first substrate 2.
  • the power terminal 24 and the plurality of ground terminals 23 are provided on the second main surface S ⁇ b> 2 of the first substrate 2.
  • the antenna 4 is an array antenna in which a plurality of radiating elements 41 are arranged in a matrix.
  • the plurality of radiating elements 41 are arranged in the X direction and in the Y direction.
  • the high-frequency module 1 is not limited to the configuration in which the plurality of radiating elements 41 are exposed on the surface of the first substrate 2.
  • a protective layer that covers the plurality of radiating elements 41 may be provided.
  • the X direction and the Y direction are directions parallel to the first main surface S1.
  • the X direction is a direction along one side of the first substrate 2.
  • the Y direction is orthogonal to the X direction.
  • each of the plurality of radiating elements 41 is connected to the second high frequency terminal 35 of the high frequency electronic component 3 via the second signal path 52.
  • the second signal path 52 is individually provided for each radiating element 41.
  • the second signal path 52 includes a wiring L2 and vias 28c and 28d.
  • the wiring L2 is provided on the inner layer or the surface of the first substrate 2.
  • the via 28c electrically connects one end of the wiring L2 and the radiation element 41.
  • the via 28d electrically connects the other end of the wiring L2 and the second high frequency terminal 35.
  • the high frequency electronic component 3 can supply the high frequency signal RF (refer FIG. 3) to the radiation element 41, respectively.
  • the high frequency signal RF By supplying the high frequency signal RF, a current flows through the radiating element 41 in a predetermined direction, and a polarized wave parallel to the direction in which the current flows is radiated.
  • the high-frequency module 1 can obtain a desired radiation pattern (directivity) by controlling the arrangement of the radiation element 41 and the amplitude and phase of the excited high-frequency signal RF.
  • the high frequency electronic component 3 is electrically connected to the signal terminal 25, the power supply terminal 24 and the antenna 4.
  • the high-frequency electronic component 3 is a circuit that controls transmission and reception of the antenna 4 based on various high-frequency signals (intermediate frequency signal IF, local oscillation signal Lo, control signal Cntr (see FIG. 3)) and a power supply signal DC (see FIG. 3). It is.
  • the high-frequency electronic component 3 is, for example, an RFIC (Radio Frequency Integrated Circuit).
  • the high-frequency electronic component 3 is, for example, flip-chip bonded to the first main surface S1 via a plurality of terminals such as a first high-frequency terminal 34, a second high-frequency terminal 35, and an electronic component power supply terminal 36. It is implemented by.
  • the signal terminal 25 is provided on the first main surface S1, and transmits a signal between the high-frequency module 1 and an external circuit (not shown in FIG. 2).
  • the signal terminal 25 is connected to a baseband module 101 (see FIG. 3) that is an external circuit, and transmits high-frequency signals such as an intermediate frequency signal IF, a local oscillation signal Lo, and a control signal Cntr.
  • the signal terminal 25 is a coaxial connector that can be connected to a coaxial cable, for example.
  • the high-frequency electronic component 3 and the signal terminal 25 are electrically connected via a first signal path 51 provided on the first substrate 2.
  • the first signal path 51 passes through the first substrate 2, and one end and the other end are both disposed on the first main surface S1.
  • the first signal path 51 includes an electrically connected wiring L1 and vias 28a and 28b.
  • the wiring L1 is provided on the inner layer or the surface of the first substrate 2.
  • the signal terminal 25, the high-frequency electronic component 3, and the antenna 4 are provided at positions that do not overlap each other in plan view.
  • a plurality of signal terminals 25 may be arranged.
  • different intermediate frequency signals IF, local oscillation signals Lo, and control signals Cntr are transmitted to the plurality of signal terminals 25.
  • the power terminal 24 is provided on the second main surface S2, and a power signal DC is supplied from the power source 102 (see FIG. 3).
  • the power signal DC is a DC voltage signal, for example.
  • the high-frequency electronic component 3 and the power supply terminal 24 are electrically connected via a power supply signal path 53 provided on the first substrate 2.
  • the power signal path 53 passes through the inside of the first substrate 2, one end is disposed on the first main surface S1, and the other end is disposed on the second main surface S2.
  • the power signal path 53 includes a wiring L3 and vias 28e and 28f that are electrically connected.
  • the wiring L3 is provided on the inner layer or surface of the first substrate 2.
  • the signal terminal 25 for transmitting various high frequency signals and the power supply terminal 24 are separated into the first main surface S1 and the second main surface S2, respectively. Yes.
  • the high frequency signal is coupled to the power supply line (for example, including the power supply signal path 53) of the high frequency electronic component 3.
  • the high frequency module 1 can suppress oscillation of unnecessary high frequency signals.
  • the high frequency module 1 can suppress the circuit scale. Further, the high frequency module 1 can suppress the deterioration of the signal quality of the high frequency signal in the bias T circuit or the like and the occurrence of spurious.
  • various high-frequency signals such as the intermediate frequency signal IF, the local oscillation signal Lo, and the control signal Cntr are transmitted through the signal terminal 25 and the first signal path 51.
  • the power signal DC is transmitted via the power terminal 24 and the power signal path 53. That is, the various high-frequency signals and the power supply signal DC are transmitted through different paths.
  • the antenna 4 and the high-frequency electronic component 3 are provided on the main surface opposite to the power supply terminal 24 with respect to the first substrate 2. For this reason, 2nd main surface S2 can be easily mounted in motherboards, such as a portable radio
  • the power signal DC is supplied via the motherboard.
  • a cable for supplying the power signal DC is unnecessary, the configuration of the high-frequency module 1 is simplified, and the cable can be prevented from operating as an antenna. For this reason, it is possible to suppress deterioration of the antenna characteristics due to the presence of the cable.
  • the plurality of ground terminals 23 are provided on the second main surface S2, and are electrically connected to the ground of the motherboard, for example.
  • the ground layer 21 is provided on substantially the entire surface of the second main surface S2.
  • the insulating layer 22 covers the ground layer 21 and is provided with a plurality of openings 22a.
  • the insulating layer 22 is a resin material such as a resist. A portion of the ground layer 21 exposed from the opening 22 a is a ground terminal 23.
  • the power supply terminal 24 is provided on the second main surface S2 of the first substrate 2 on which the ground layer 21 is provided.
  • the power supply terminal 24 is provided inside the opening 21 a of the ground layer 21.
  • a ground layer 21 is provided around the power supply terminal 24, and the power supply terminal 24 is separated from the ground layer 21.
  • the insulating layer 22 is provided with an opening 22 b at a position overlapping the power supply terminal 24. As a result, the power supply terminal 24 is exposed from the insulating layer 22.
  • the insulating layer 22 is an over-resist that is partially overlapped with the periphery of the power terminal 24, but may be a clearance resist that does not overlap the power terminal 24.
  • the high-frequency module 1 can be mounted on a mother board such as a portable radio terminal via the bumps 29 (see FIG. 7) formed on the ground terminal 23 and the power supply terminal 24. Thereby, the heat dissipation characteristic of the high frequency module 1 is improved.
  • the plurality of ground terminals 23 are arranged in the X direction and the Y direction.
  • the ground terminal 23 may be provided at a position that overlaps the signal terminal 25, the high-frequency electronic component 3, and the antenna 4 in a plan view, or may be provided at a position that does not overlap.
  • the power supply terminal 24 is disposed between two ground terminals 23 adjacent in the X direction.
  • the power supply terminal 24 may be provided at a position overlapping the high-frequency electronic component 3 and the antenna 4 in a plan view, or may be provided at a position not overlapping.
  • the high frequency module 1 may have peripheral components such as a high frequency chip component in addition to the high frequency electronic component 3.
  • FIG. 3 is a block diagram illustrating a configuration example of a communication device having the high-frequency module according to the first embodiment.
  • the communication device 100 includes the above-described high-frequency module 1, a baseband module 101, and a power source 102.
  • the baseband module 101 is connected to the signal terminal 25 via the cable 251.
  • the baseband module 101 supplies the intermediate frequency signal IF, the local oscillation signal Lo, and the control signal Cntr to the high frequency module 1 through a single cable 251 during transmission.
  • the cable 251 is, for example, a coaxial cable.
  • the baseband module 101 receives the intermediate frequency signal IF from the high frequency module 1 via the cable 251 during reception.
  • the baseband module 101 can be arranged at a position away from the high-frequency module 1 inside an electronic device such as a portable wireless terminal.
  • the power supply 102 is connected to the power supply terminal 24 via the connection wiring 241 of the motherboard, and supplies the power supply signal DC to the high frequency module 1.
  • the power source 102 may be a power source included in the host IC or a power source of an electronic device.
  • the high frequency electronic component 3 of the high frequency module 1 includes a transmission circuit 31, a reception circuit 32, and a power amplification circuit 33.
  • the transmission circuit 31 modulates the intermediate frequency signal IF into a high frequency signal RF (for example, 60 GHz) based on the intermediate frequency signal IF, the local oscillation signal Lo, and the control signal Cntr.
  • the power amplifier circuit 33 amplifies the input high-frequency signal RF based on the power supply signal DC.
  • the power amplifier circuit 33 supplies the amplified high frequency signal RF to the antenna 4.
  • the power amplifier circuit 33 amplifies the received high frequency signal RF and outputs the amplified signal to the receiving circuit 32.
  • the antenna 4 supplies the received high-frequency signal RF to the reception circuit 32.
  • the receiving circuit 32 demodulates the received high frequency signal into an intermediate frequency signal IF and supplies the intermediate frequency signal IF to the baseband module 101.
  • Various high-frequency signals such as the intermediate frequency signal IF, the local oscillation signal Lo, and the control signal Cntr are supplied to the signal terminal 25 via a single cable 251.
  • the power signal DC is supplied to the power terminal 24 via the connection wiring 241 of the mother board.
  • the communication device 100 can suppress the high frequency signal from being coupled to the power supply line of the high frequency electronic component 3.
  • FIG. 4 is a transmission plan view of the high-frequency module according to the second embodiment.
  • FIG. 5 is a transmission plan view showing the first substrate of the high-frequency module according to the second embodiment.
  • FIG. 6 is a cross-sectional view for explaining the configuration of the high-frequency module according to the second embodiment.
  • FIG. 6 schematically shows the first signal path 51A, the second signal path 52A, and the power signal path 53A.
  • the high-frequency module 1A includes a first substrate 2A and a second substrate 6
  • the second substrate 6 has a third main surface S3 and a fourth main surface S4 opposite to the third main surface S3.
  • the fourth main surface S4 of the second substrate 6 is disposed to face the first main surface S1A of the first substrate 2A.
  • the second substrate 6 is a multilayer dielectric substrate, and wirings L2A, L4, L5, etc., vias 68a, 68b, 68c, 68d, 68e, 68f, etc. are provided in the inner layer.
  • the second substrate 6 for example, a low temperature co-fired ceramic multilayer substrate or the like is used similarly to the first substrate 2 ⁇ / b> A.
  • the outer shape of the second substrate 6 is smaller than the outer shape of the first substrate 2A.
  • the antenna 4 is provided on the third main surface S ⁇ b> 3 of the second substrate 6.
  • the high frequency electronic component 3 is mounted on the fourth main surface S4 of the second substrate 6 via a plurality of terminals such as a first high frequency terminal 34, a second high frequency terminal 35, and an electronic component power supply terminal 36.
  • a part of the radiating element 41 of the antenna 4 is disposed at a position overlapping the high-frequency electronic component 3 in plan view. For this reason, the high-frequency module 1A can reduce the area in plan view and can be downsized.
  • a plurality of inter-substrate connection members 72 are provided between the first substrate 2 ⁇ / b> A and the second substrate 6 and sealed with a mold member 71.
  • a part of the first signal path 51A is referred to as a first inter-substrate connection member 72A.
  • the one that is part of the power signal path 53A is referred to as a second inter-substrate connection member 72B.
  • the inter-substrate connecting member 72 when there is no need to distinguish between the inter-substrate connecting member 72, the first inter-substrate connecting member 72A, and the second inter-substrate connecting member 72B, the inter-substrate connecting member 72 is simply represented.
  • the inter-substrate connection member 72 is provided between the first main surface S1A of the first substrate 2A and the fourth main surface S4 of the second substrate 6.
  • the inter-substrate connecting member 72 is a columnar member and is formed of a conductive material such as copper (Cu) or silver (Ag).
  • the first main surface S1A of the first substrate 2A and the fourth main surface S4 of the second substrate 6 are provided with terminals (not shown) for connection to the inter-substrate connection member 72. These terminals and the substrate The inter-connection member 72 is electrically connected.
  • the inter-substrate connection member 72 is mounted on the second substrate 6 by, for example, solder reflow or ultrasonic bonding.
  • the plurality of inter-substrate connection members 72 are arranged along the outer peripheral line of the second substrate 6 inside the outer peripheral line of the second substrate 6.
  • the first inter-substrate connection member 72A is disposed between the inter-substrate connection members 72 adjacent in the Y direction.
  • the second inter-substrate connection member 72B is disposed between the inter-substrate connection members 72 adjacent in the X direction.
  • the inter-substrate connection member 72 may be provided at a position that overlaps with the antenna 4, or may be provided at a position that does not overlap with the antenna 4.
  • the high-frequency electronic component 3 and the inter-substrate connection member 72 are sealed in a mold member 71.
  • a mold member 71 a composite resin in which an inorganic filler is contained in a thermosetting resin is used.
  • an epoxy resin, a phenol resin, a cineart resin, or the like is used as the thermosetting resin.
  • the inorganic filler aluminum oxide, silica, titanium dioxide or the like is used.
  • a resin molding technique such as a potting technique, a transfer technique, a compression molding technique, or the like is used.
  • the signal terminal 25 is provided on the first main surface S1A of the first substrate 2A.
  • the signal terminal 25 is disposed on a portion of the first main surface S1A where the mold member 71 is not provided.
  • the high frequency module 1A protects the high frequency electronic component 3 with the mold member 71, and the connection between the external circuit (for example, the baseband module 101 shown in FIG. 3) and the signal terminal 25 is easy.
  • the power terminal 24 and the plurality of ground terminals 23 are provided on the second main surface S2A of the first substrate 2.
  • the signal terminal 25 is provided at a position that does not overlap the second substrate 6.
  • the second substrate 6 is indicated by a two-dot chain line
  • the first inter-substrate connection member 72A and the second inter-substrate connection member 72B are indicated by solid lines.
  • the ground terminal 23 is provided at a position overlapping the second substrate 6.
  • the ground terminal 23 is also provided at a position that does not overlap the second substrate 6.
  • a plurality of ground terminals 23 are provided surrounding the power supply terminal 24.
  • the first signal path 51A electrically connects the first substrate 2A and the second substrate 6.
  • the first signal path 51 ⁇ / b> A includes a first transmission line 511, a first inter-substrate connection member 72 ⁇ / b> A, and a second transmission line 512.
  • the first transmission line 511 is provided on the first substrate 2A and has a wiring L1A and vias 28Aa and 28Ab that are electrically connected.
  • the wiring L1A is provided in the inner layer of the first substrate 2A. As shown in FIG. 5, the wiring L ⁇ b> 1 ⁇ / b> A extends from a position overlapping the second substrate 6 in a plan view to a position not overlapping the second substrate 6.
  • the second transmission line 512 is provided on the second substrate 6 and includes an electrically connected wiring L4 and vias 68a and 68b.
  • the wiring L4 is provided in the inner layer of the second substrate 6. As shown in FIG. 4, the wiring L ⁇ b> 4 extends from a position not overlapping with the high frequency electronic component 3 to a position overlapping with the high frequency electronic component 3 in plan view.
  • the power signal path 53A passes through at least the inside of the first substrate 2A in the thickness direction, and electrically connects the first substrate 2A and the second substrate 6.
  • the power signal path 53 ⁇ / b> A includes a first power signal transmission line 531, a second inter-substrate connection member 72 ⁇ / b> B, and a second power signal transmission line 532.
  • the first power signal transmission line 531 is provided on the first substrate 2A, and has a wiring L3 and vias 28e and 28f that are electrically connected.
  • the wiring L3 is provided in the inner layer of the first substrate 2A. As shown in FIG. 5, the wiring L ⁇ b> 3 and the power supply terminal 24 are provided at a position overlapping the second substrate 6 in plan view. Since the wiring L3 is provided in the inner layer of the first substrate 2A, the wiring L3 may be provided so as to overlap with the ground terminal 23 or may be provided in a position not overlapping with the ground terminal 23.
  • the second power supply signal transmission line 532 is provided on the second substrate 6 and has an electrically connected wiring L5 and vias 68c and 68d.
  • the wiring L5 is provided in the inner layer of the second substrate 6. As shown in FIG. 4, the wiring L ⁇ b> 5 extends from a position overlapping the high frequency electronic component 3 to a position not overlapping the high frequency electronic component 3 in a plan view. Further, a part of the wiring L5 may be provided so as to overlap with the antenna 4.
  • each of the plurality of radiating elements 41 is connected to the high-frequency electronic component 3 via the second signal path 52A.
  • the second signal path 52A is individually provided for each radiating element 41.
  • the second signal path 52A includes an electrically connected wiring L2A and vias 68e and 68f.
  • the wiring L2A is provided in the inner layer of the second substrate 6.
  • the antenna 4 is provided on the second substrate 6, and the signal terminal 25 and the power terminal 24 are provided on the first substrate 2A. For this reason, the coupling
  • the signal terminal 25 and the power supply terminal 24 provided on the first substrate 2A are respectively connected to the high-frequency electronic component 3 provided on the second substrate 6 via the first signal path 51A and the power supply signal path 53A. And electrically connected.
  • Various high-frequency signals such as the intermediate frequency signal IF, the local oscillation signal Lo, and the control signal Cntr are transmitted via the signal terminal 25 and the first signal path 51A.
  • the power signal DC is transmitted via the power terminal 24 and the power signal path 53A.
  • FIG. 7 is a cross-sectional view for explaining the configuration of a high-frequency module according to a first modification of the second embodiment.
  • the high-frequency module 1B includes ground layers 26, 61, and 62 will be described.
  • the ground layer 26 is provided in the inner layer of the first substrate 2B.
  • the ground layer 26 is connected to the end of the inter-substrate connection member 72C on the first substrate 2B side via the via 29a.
  • the ground layer 26 is connected to the ground layer 21 provided on the second main surface S2B through the via 29b.
  • a ground layer 26 is disposed between the signal terminal 25 and the power supply terminal 24.
  • bumps 29 are provided on the ground terminals 23, respectively.
  • the high-frequency module 1B can be mounted on the mother board via the bumps 29.
  • the bump 29 is, for example, a solder bump.
  • the ground layer 61 and the ground layer 62 are provided in the inner layer of the second substrate 6A.
  • the ground layer 61 and the ground layer 62 are provided in different layers and are arranged to overlap each other.
  • the ground layer 61 is provided between the antenna 4 and the first signal path 51A and between the antenna 4 and the power signal path 53A in a direction perpendicular to the third major surface S3A.
  • the ground layer 62 is provided between the power signal path 53A and the first signal path 51A and between the power signal path 53A and the antenna 4 in a direction perpendicular to the third main surface S3A.
  • the ground layer 61 and the ground layer 62 are electrically connected via vias 69a and 69c.
  • the ground layer 62 is connected to the end of the inter-substrate connection member 72C on the second substrate 6A side via the via 69b.
  • the ground layer 62 is connected to the electronic component ground terminal 37 via the via 69d.
  • the first signal path 51A, the second signal path 52A, and the power signal path 53A are provided separately from the ground layers 26, 61, and 62.
  • the ground layer 26 is provided with an opening 26a
  • the via 28e of the power signal path 53A is connected to the power supply terminal 24 through the opening 26a.
  • the ground layers 61 and 62 are provided with openings 61a and 62a, respectively, and the via 68f of the second signal path 52A is connected to the second high frequency terminal 35 through the openings 61a and 62a.
  • the ground layer 26 is provided in a region overlapping the substantially entire surface of the first substrate 2B.
  • the ground layers 61 and 62 are provided in a region overlapping the substantially entire surface of the second substrate 6A. However, the ground layers 26, 61, 62 may be partially provided.
  • FIG. 8 is a perspective view of the high-frequency module according to the third embodiment.
  • FIG. 9 is a cross-sectional view for explaining the configuration of the high-frequency module according to the third embodiment.
  • various wirings, vias, and the like included in the first signal path 51, the second signal path 52, the power signal path 53, and the like are omitted in order to make it easy to see the relationship between the components.
  • the first substrate 220 includes a flat plate portion 291 (first portion), a portion 292 (second portion), and a flat plate portion 293 (third portion).
  • the part 292 is provided between the part 291 and the part 293 and is thinner than the part 291 and the part 293.
  • the first substrate 220 is bent at the portion 292.
  • the first substrate 220 includes a dielectric layer 221 (first dielectric layer), a dielectric layer 222 (second dielectric layer), and a dielectric layer 223.
  • the dielectric layer 221 is formed from the portion 291 to the portion 293.
  • the dielectric layer 221 is formed from a flexible material (flexible material).
  • the dielectric layer 221 is bent at the portion 292.
  • the dielectric layer 222 is formed on the portion 291.
  • the dielectric layer 223 is formed in the portion 293.
  • the first substrate 220 may be formed from an integral dielectric.
  • the plurality of radiating elements 41 are provided on the third main surface S13 of the portion 293.
  • the plurality of radiating elements 41 are arranged in the Y direction and arranged in the Z direction.
  • the normal direction of the plurality of radiating elements 41 is the X direction ( ⁇ X direction).
  • the ground layer 232 is formed on the dielectric layer 221 from the portion 291 to the portion 293.
  • the dielectric layer 223 covers the ground layer 232 in the portion 293, and constitutes the fourth major surface S14 of the portion 293.
  • the ground layer 232 is connected to the ground layer 21 through vias.
  • the ground layer 232 faces the plurality of radiating elements 41 in the X direction.
  • the high frequency electronic component 3 and the signal terminal 25 are provided on the first main surface S11 of the portion 291.
  • the first signal path 51 is provided in the portion 291 and connects the high frequency electronic component 3 and the signal terminal 25.
  • the ground terminal 23 and the power supply terminal 24 are provided on the second main surface S12 of the portion 291.
  • the power signal path 53 passes through the portion 291 and connects the high frequency electronic component 3 and the power terminal 24.
  • the second signal path 52 is provided from the portion 291 to the portion 293 and connects the high frequency electronic component 3 and the plurality of radiating elements 41.
  • the high frequency electronic component 3 supplies a high frequency signal to each of the plurality of radiating elements 41 via the second signal path 52.
  • the high frequency electronic component 3 receives a high frequency signal from each of the plurality of radiating elements 41 via the second signal path 52.
  • the first substrate 220 is bent at the portion 292. For this reason, the normal direction of the plurality of radiating elements 41 is directed parallel to the first main surface S11 of the portion 291.
  • the dielectric layer 221 is made of a flexible material, the stress generated in the bent portion 292 can be reduced. Therefore, the planarity of the surface of the first substrate 220 can be maintained in the portion 291 and the portion 293. Therefore, it can suppress that the normal line direction of the several radiation element 41 shift
  • FIG. 10 is a cross-sectional view for explaining the configuration of a high-frequency module according to a second modification of the third embodiment.
  • the high-frequency module 1 ⁇ / b> D of the second modification has an antenna 4 ⁇ / b> A in addition to the antenna 4.
  • the plurality of radiating elements 41 of the antenna 4 are provided on the third main surface S13 of the portion 293.
  • the plurality of radiating elements 42 of the antenna 4A are provided on the first main surface S11 of the portion 291.
  • the plurality of radiating elements 42 are provided in a region between the high-frequency electronic component 3 and the portion 292 on the first main surface S11.
  • the arrangement of the plurality of radiating elements 42 is not limited to this, and can be provided in a region that does not overlap the high-frequency electronic component 3 and the signal terminal 25 on the first main surface S11.
  • the plurality of radiating elements 41 and the plurality of radiating elements 42 are respectively connected to the high-frequency electronic component 3 via the second signal path 52.
  • the normal direction of the plurality of radiating elements 41 is directed in the X direction, and the normal direction of the plurality of radiating elements 42 is directed in the Z direction.
  • the plurality of radiating elements 41 and the plurality of radiating elements 42 can transmit and receive high-frequency signals having polarizations in different excitation directions. For this reason, the high frequency module 1D can expand the range of coverage of transmission and reception of high frequency signals as compared with the first to third embodiments described above.
  • the high frequency modules 1, 1A, 1B, 1C, 1D and the communication device 100 can take the following modes.
  • a high-frequency module includes a first substrate having a first main surface and a second main surface opposite to the first main surface; A signal terminal that is provided on the first main surface and transmits a signal to and from an external circuit; A power supply terminal provided on the second main surface and supplied with a power supply signal; An antenna, A high-frequency electronic component that is electrically connected to the signal terminal, the power supply terminal, and the antenna, and that controls transmission and reception of the antenna based on the signal and the power supply signal.
  • the signal terminal for transmitting the high-frequency signal and the power supply terminal are separated from each other and are divided into the first main surface and the second main surface. For this reason, it can suppress that a high frequency signal couple
  • the high frequency module can suppress unnecessary high frequency signal oscillation. Furthermore, there is no need to provide a circuit such as a bias T circuit for separating the high frequency signal and the power supply signal. For this reason, the high frequency module can suppress the circuit scale. Moreover, the high frequency module can suppress the deterioration of the signal quality of the high frequency signal in the bias T circuit or the like and the occurrence of spurious.
  • the antenna and the high-frequency electronic component are provided on the opposite side of the power supply terminal with respect to the first substrate.
  • the high frequency module according to (1) above.
  • the second main surface can be easily mounted on a mother board such as a portable wireless terminal.
  • the high frequency module is mounted on the motherboard, the power signal is supplied via the motherboard.
  • a cable for supplying a power signal is unnecessary, and the configuration of the high-frequency module is simplified.
  • the cable can be prevented from operating as an antenna. For this reason, the high frequency module can suppress degradation of the antenna characteristics due to the presence of the cable.
  • the high frequency module according to (1) or (2).
  • the high frequency module can act as a shield and suppress the coupling between the power supply signal and the high frequency signal. Moreover, the high frequency module can suppress the radiation of low frequency noise superimposed on the power supply line to the outside.
  • the antenna and the high-frequency electronic component are provided on the first main surface of the first substrate,
  • the high frequency electronic component and the signal terminal are electrically connected via a first signal path provided on the first substrate,
  • the high-frequency electronic component and the power supply terminal pass through the first substrate, electrically through a power signal path in which one end is disposed on the first main surface and the other end is disposed on the second main surface.
  • the high frequency module according to any one of (1) to (3) above.
  • high-frequency signals such as an intermediate frequency signal, a local oscillation signal, and a control signal are transmitted through the signal terminal and the first signal path.
  • the power signal is transmitted via the power terminal and the power signal path. That is, various high-frequency signals and power supply signals are transmitted from terminals arranged on different surfaces of the substrate through different paths.
  • the high frequency module can suppress the high frequency signal from being coupled to the power line (power signal path) of the high frequency electronic component.
  • the high frequency module has a 3rd main surface and the 4th main surface on the opposite side to the 3rd main surface, and the 4th main surface is arranged facing the 1st main surface of the 1st substrate.
  • the antenna is provided on the third main surface of the second substrate;
  • the high-frequency electronic component is provided on the fourth main surface,
  • the high-frequency electronic component and the signal terminal are connected via a first signal path that electrically connects the first substrate and the second substrate,
  • the high-frequency electronic component and the power terminal are connected through a power signal path that passes through at least the inside of the first substrate and electrically connects the first substrate and the second substrate.
  • the high frequency module according to any one of (1) to (3) above.
  • the antenna is provided on the second substrate, and the signal terminal and the power supply terminal are provided on the first substrate. For this reason, the coupling
  • the signal terminal is disposed on a portion of the first main surface where the mold member is not provided.
  • the high-frequency electronic component is protected by the mold member, and the connection between the external circuit and the signal terminal is easy.
  • the first substrate has a flat plate-like first portion, a third portion, and a second portion that is provided between the first portion and the third portion and is thinner than the first portion, The first substrate is bent at the second portion;
  • the high-frequency electronic component and the signal terminal are provided on the first main surface of the first portion,
  • the power terminal is provided on the second main surface of the first portion;
  • the antenna is provided on a third main surface of the third portion;
  • the high frequency module according to (1) above.
  • the normal direction of the plurality of radiating elements 41 is directed in a direction parallel to the first main surface S11 of the portion 291. For this reason, compared with the case where the plurality of radiating elements 41 are provided on the same first main surface S11 as the high-frequency electronic component 3, it is possible to transmit and receive high-frequency signals having polarizations in different excitation directions.
  • the antenna is further provided on the first main surface of the first portion.
  • each radiating element 41 of the antenna 4 and each radiating element 42 of the antenna 4A are directed in different normal directions. Therefore, the plurality of radiating elements 41 and the plurality of radiating elements 42 can transmit and receive high-frequency signals having polarizations in different excitation directions. For this reason, the high frequency module 1D can expand the range of transmission and reception of high frequency signals.
  • the antenna is an array antenna in which a plurality of radiating elements are arranged, Each of the plurality of radiating elements is connected to the high-frequency electronic component via a second signal path.
  • the high frequency module according to any one of (1) to (8) above.
  • the high-frequency module can obtain a desired radiation pattern (directivity) by controlling the arrangement of the radiation elements and the amplitude and phase of the excited high-frequency signal.
  • various high frequency signals are supplied to the signal terminal via a single cable.
  • the power signal is supplied to the power terminal via the motherboard, for example. That is, in the communication device, various high-frequency signals and power supply signals are transmitted to the high-frequency module through different paths. As a result, the communication apparatus can suppress the high frequency signal from being coupled to the power supply line of the high frequency electronic component.

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Abstract

高周波モジュールは、第1主面と、第1主面と反対側の第2主面とを有する第1基板と、第1主面に設けられ、外部回路との間で信号を伝送する信号端子と、第2主面に設けられ、電源信号が供給される電源端子と、アンテナと、信号端子、電源端子及びアンテナと電気的に接続され、信号及び電源信号に基づいて、アンテナの送受信を制御する高周波電子部品と、を有する。

Description

高周波モジュール及び通信装置
 本発明は、高周波モジュール及び通信装置に関する。
 特許文献1には、ベースバンドモジュールと高周波モジュールとが単一の伝送線路で接続されたミリ波システムが記載されている。単一の伝送線路は、複数の信号が重畳された重畳信号を伝送する。重畳信号は、中間周波数(IF:Intermediate Frequency)信号、局部発振(Lo:Local Oscillator)信号、制御信号、電源信号を含む。単一の伝送線路と高周波モジュールとの間には、電源信号と、その他の高周波信号(IF、Lo、制御信号)とを分離するためのバイアスT回路が設けられている。
米国特許出願公開第2012/0307695号明細書
 特許文献1のミリ波システムでは、複数の信号が単一の伝送線路により伝送される。このため、高周波信号(IF、Lo、制御信号)が、高周波モジュールに含まれる高周波増幅用アンプの電源ラインと結合する可能性がある。これにより、特許文献1では、不要な帯域の高周波信号が発振して、高周波モジュールからの出力信号の信号品位が低下する可能性がある。
 本発明は、不要な高周波信号の発振を抑制することができる高周波モジュール及び通信装置を提供することを目的とする。
 本発明の一側面の高周波モジュールは、第1主面と、前記第1主面と反対側の第2主面とを有する第1基板と、前記第1主面に設けられ、外部回路との間で信号を伝送する信号端子と、前記第2主面に設けられ、電源信号が供給される電源端子と、アンテナと、前記信号端子、前記電源端子及び前記アンテナと電気的に接続され、前記信号及び前記電源信号に基づいて、前記アンテナの送受信を制御する高周波電子部品と、を有する。
 本発明の一側面の通信装置は、上記の高周波モジュールと、ケーブルを介して前記信号端子と接続されたベースバンドモジュールと、を有する。
 本発明の高周波モジュール及び通信装置によれば、不要な高周波信号の発振を抑制することができる。
図1は、第1実施形態に係る高周波モジュールの透過平面図である。 図2は、図1のII-II’線に沿う断面図である。 図3は、第1実施形態に係る高周波モジュールを有する通信装置の構成例を示すブロック図である。 図4は、第2実施形態に係る高周波モジュールの透過平面図である。 図5は、第2実施形態に係る高周波モジュールの、第1基板を示す透過平面図である。 図6は、第2実施形態に係る高周波モジュールの構成を説明するための断面図である。 図7は、第2実施形態の第1変形例に係る高周波モジュールの構成を説明するための断面図である。 図8は、第3実施形態に係る高周波モジュールの斜視図である。 図9は、第3実施形態に係る高周波モジュールの構成を説明するための断面図である。 図10は、第3実施形態の第2変形例に係る高周波モジュールの構成を説明するための断面図である。
 以下に、本発明の高周波モジュール及び通信装置の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、この実施の形態により本発明が限定されるものではない。各実施の形態は例示であり、異なる実施の形態で示した構成の部分的な置換又は組み合わせが可能であることは言うまでもない。第2実施形態以降では第1実施形態と共通の事柄についての記述を省略し、異なる点についてのみ説明する。特に、同様の構成による同様の作用効果については実施形態毎には逐次言及しない。
(第1実施形態)
 図1は、第1実施形態に係る高周波モジュールの透過平面図である。図2は、図1のII-II’線に沿う断面図である。なお、図1では、グランド端子23の一部や配線L3等を模式的に透過させて示している。図1及び図2に示すように、高周波モジュール1は、第1基板2と、高周波電子部品3と、アンテナ4と、複数のグランド端子23と、電源端子24と、信号端子25と、を有する。本実施形態の高周波モジュール1は、アンテナ付きの高周波モジュールである。高周波モジュール1は、準ミリ波帯やミリ波帯(例えば20GHz以上300GHz以下)の送受信を行う。
 図2に示すように、第1基板2は、第1主面S1と、第1主面S1と反対側の第2主面S2とを有する。本実施形態では、第1主面S1は、高周波モジュール1の上面である。第2主面S2は、高周波モジュール1の下面である。第1基板2は、多層誘電体基板であり、内層に配線L1、L2、L3等や、ビア28a、28b、28c、28d、28e、28f等が設けられている。配線L1、L2、L3等、及びビア28a、28b、28c、28d、28e、28f等、放射素子41、グランド層21等の電極、電源端子24、信号端子25は、アルミニウム(Al)、銅(Cu)、金(Au)、銀(Ag)、又はこれらの合金を主成分とする金属で形成される。第1基板2は、例えばセラミックス多層基板が用いられる。セラミックス多層基板としては、例えば低温同時焼成セラミックス多層基板(LTCC(Low Temperature Co-fired Ceramics)多層基板)が用いられる。なお、第1基板2は、エポキシ、ポリイミドなどの樹脂から構成される樹脂層を複数積層して形成された多層樹脂基板であってもよい。また、第1基板2は、低い誘電率を有する液晶ポリマー(Liquid Crystal Polymer:LCP)から構成される樹脂層を複数積層して形成された多層樹脂基板でもよく、フッ素系樹脂から構成される樹脂層を複数積層して形成された多層樹脂基板でもよく、LTCCよりも高温で焼結されるセラミックス多層基板でもよい。
 高周波電子部品3、アンテナ4及び信号端子25は、第1基板2の第1主面S1に設けられている。電源端子24及び複数のグランド端子23は、第1基板2の第2主面S2に設けられている。
 図1に示すように、アンテナ4は、複数の放射素子41が行列状に配列されたアレイアンテナである。複数の放射素子41は、X方向に配列され、かつ、Y方向に配列される。なお、高周波モジュール1は、複数の放射素子41が第1基板2の表面上に露出する構成に限定されず、例えば、複数の放射素子41を覆う保護層が設けられていてもよい。ここで、X方向及びY方向は、第1主面S1に平行な方向である。X方向は、第1基板2の一辺に沿った方向である。Y方向は、X方向と直交する。
 図2に示すように、複数の放射素子41は、それぞれ、第2信号経路52を介して高周波電子部品3の第2高周波端子35と接続される。第2信号経路52は、放射素子41ごとに個別に設けられている。第2信号経路52は、配線L2と、ビア28c、28dとを含む。配線L2は、第1基板2の内層又は表面に設けられる。また、ビア28cは、配線L2の一端と、放射素子41とを電気的に接続する。ビア28dは、配線L2の他端と、第2高周波端子35とを電気的に接続する。
 これにより、高周波電子部品3は、それぞれに放射素子41に高周波信号RF(図3参照)を供給できる。高周波信号RFが供給されることで、放射素子41には所定の方向に電流が流れ、電流が流れる方向に平行な偏波が放射される。高周波モジュール1は、放射素子41の配置や、励振される高周波信号RFの振幅、位相を制御することにより、所望の放射パターン(指向性)が得られる。
 高周波電子部品3は、信号端子25、電源端子24及びアンテナ4と電気的に接続される。高周波電子部品3は、各種高周波信号(中間周波数信号IF、局部発振信号Lo、制御信号Cntr(図3参照))及び電源信号DC(図3参照)に基づいて、アンテナ4の送受信を制御する回路である。高周波電子部品3は、例えばRFIC(Radio Frequency Integrated Circuit)である。図2に示すように、高周波電子部品3は、第1高周波端子34、第2高周波端子35、電子部品電源端子36等の複数の端子を介して、第1主面S1に、例えばフリップチップボンディングにより実装されている。
 図2に示すように、信号端子25は、第1主面S1に設けられ、高周波モジュール1と外部回路(図2では省略して示す)との間で信号を伝送する。信号端子25は、外部回路であるベースバンドモジュール101(図3参照)と接続され、中間周波数信号IF、局部発振信号Lo、制御信号Cntr等の高周波信号を伝送する。信号端子25は、例えば同軸ケーブルと接続できる同軸コネクタである。
 高周波電子部品3と信号端子25とは、第1基板2に設けられた第1信号経路51を介して電気的に接続される。第1信号経路51は、第1基板2を通り、一端及び他端がいずれも第1主面S1に配置される。具体的には、第1信号経路51は、電気的に接続された配線L1と、ビア28a、28bを含む。配線L1は、第1基板2の内層や表面に設けられる。
 図1に示すように、信号端子25と、高周波電子部品3と、アンテナ4は、平面視で、互いに重ならない位置に設けられる。信号端子25は、複数配置されていてもよい。この場合、複数の信号端子25には、異なる中間周波数信号IF、局部発振信号Lo、制御信号Cntrが伝送される。
 図2に示すように、電源端子24は、第2主面S2に設けられ、電源102(図3参照)から電源信号DCが供給される。電源信号DCは、例えば直流の電圧信号である。高周波電子部品3と電源端子24とは、第1基板2に設けられた電源信号経路53を介して電気的に接続される。電源信号経路53は、第1基板2の内部を通り、一端が第1主面S1に配置され、他端が第2主面S2に配置される。具体的には、電源信号経路53は、電気的に接続された配線L3と、ビア28e、28fを含む。配線L3は、第1基板2の内層や表面に設けられる。
 このような構成により、本実施形態の高周波モジュール1において、各種高周波信号を伝送する信号端子25と、電源端子24とが、それぞれ第1主面S1と、第2主面S2とに分離されている。このため、単一の伝送線路を介して各種高周波信号及び電源信号DCを伝送する場合に比べて、高周波電子部品3の電源ライン(例えば電源信号経路53を含む)に高周波信号が結合することを抑制できる。この結果、高周波モジュール1は、不要な高周波信号の発振を抑制できる。さらに、本実施形態では、高周波信号と電源信号を分離するためのバイアスT回路等の回路を設ける必要がない。このため、高周波モジュール1は、回路規模を抑制することができる。また、高周波モジュール1は、バイアスT回路等での高周波信号の信号品位の低下や、スプリアスの発生を抑制できる。
 また、中間周波数信号IF、局部発振信号Lo、制御信号Cntr等の各種高周波信号は、信号端子25及び第1信号経路51を介して伝送される。電源信号DCは、電源端子24及び電源信号経路53を介して伝送される。すなわち、各種高周波信号と電源信号DCとは、異なる経路で伝送される。
 また、高周波モジュール1において、アンテナ4及び高周波電子部品3は、第1基板2に対して電源端子24の反対側の主面に設けられる。このため、第2主面S2を、携帯無線端末等のマザーボードに容易に実装可能である。
 高周波モジュール1がマザーボード上に実装された場合に、電源信号DCはマザーボードを介して供給される。この場合、電源信号DCを供給するためのケーブルが不要であり、高周波モジュール1の構成が簡便になり、ケーブルがアンテナとして動作することを抑制できる。このため、ケーブルの存在に起因するアンテナ特性の劣化を抑制できる。
 図2に示すように、複数のグランド端子23は、第2主面S2に設けられ、例えばマザーボードのグランドに電気的に接続される。グランド層21は、第2主面S2のほぼ全面に設けられる。絶縁層22は、グランド層21を覆っており、複数の開口22aが設けられている。絶縁層22は、例えばレジストなどの樹脂材料である。グランド層21のうち、開口22aから露出する部分がグランド端子23である。
 電源端子24は、グランド層21が設けられた第1基板2の第2主面S2に設けられる。電源端子24は、グランド層21の開口21aの内部に設けられる。電源端子24の周囲には、グランド層21が設けられ、電源端子24はグランド層21と離隔している。また、絶縁層22には、電源端子24と重なる位置に開口22bが設けられる。これにより、電源端子24は、絶縁層22から露出する。絶縁層22は、一部が電源端子24の周縁に重なって設けられるオーバーレジストであるが、絶縁層22が電源端子24と重ならないクリアランスレジストであってもよい。
 このような構成により、高周波モジュール1は、グランド端子23及び電源端子24に形成されたバンプ29(図7参照)を介して、携帯無線端末等のマザーボードの上に実装可能である。これにより、高周波モジュール1の放熱特性が向上する。
 図1に示すように、複数のグランド端子23は、X方向及びY方向に配列される。グランド端子23は、平面視で、信号端子25、高周波電子部品3及びアンテナ4と、重なる位置に設けられてもよく、重ならない位置に設けられてもよい。電源端子24は、X方向に隣り合う2つのグランド端子23の間に配置される。これにより、高周波モジュール1は、電源信号DCと高周波信号の結合を抑制できる。また、高周波モジュール1は、電源ラインに重畳する低周波ノイズの外部への放射を抑制できる。
 なお、電源端子24は、平面視で、高周波電子部品3及びアンテナ4と、重なる位置に設けられてもよく、重ならない位置に設けられてもよい。また、高周波モジュール1は、高周波電子部品3の他に、高周波チップ部品等の周辺部品を有していてもよい。
(通信装置)
 図3は、第1実施形態に係る高周波モジュールを有する通信装置の構成例を示すブロック図である。図3に示すように、通信装置100は、上述の高周波モジュール1と、ベースバンドモジュール101と、電源102と、を有する。ベースバンドモジュール101は、ケーブル251を介して信号端子25に接続される。ベースバンドモジュール101は、送信の際に、中間周波数信号IF、局部発振信号Lo及び制御信号Cntrを、単一のケーブル251を介して高周波モジュール1に供給する。ケーブル251は、例えば同軸ケーブルである。ベースバンドモジュール101は、受信の際に、中間周波数信号IFを、ケーブル251を介して高周波モジュール1から受け取る。ベースバンドモジュール101は、携帯無線端末等の電子機器の内部において、高周波モジュール1と離れた位置に配置できる。
 電源102は、マザーボードの接続配線241を介して電源端子24と接続され、電源信号DCを高周波モジュール1に供給する。電源102は、ホストICに含まれる電源であってもよく、電子機器の電源であってもよい。
 高周波モジュール1の高周波電子部品3は、送信回路31と、受信回路32と、電力増幅回路33と、を有する。送信回路31は、中間周波数信号IF、局部発振信号Lo及び制御信号Cntrに基づいて、中間周波数信号IFを高周波信号RF(例えば60GHz)に変調する。
 電力増幅回路33は、電源信号DCに基づいて、入力された高周波信号RFを増幅する。電力増幅回路33は、増幅された高周波信号RFをアンテナ4に供給する。また、電力増幅回路33は、受信した高周波信号RFを増幅して受信回路32に出力する。
 受信の際には、アンテナ4は、受信した高周波信号RFを受信回路32に供給する。受信回路32は、受信した高周波信号を中間周波数信号IFに復調して、中間周波数信号IFをベースバンドモジュール101に供給する。
 中間周波数信号IF、局部発振信号Lo、制御信号Cntr等の各種高周波信号は、単一のケーブル251を介して信号端子25に供給される。また、電源信号DCは、マザーボードの接続配線241を介して電源端子24に供給される。この結果、通信装置100は、高周波電子部品3の電源ラインに高周波信号が結合することを抑制できる。
(第2実施形態)
 図4は、第2実施形態に係る高周波モジュールの透過平面図である。図5は、第2実施形態に係る高周波モジュールの、第1基板を示す透過平面図である。図6は、第2実施形態に係る高周波モジュールの構成を説明するための断面図である。なお、図6は、第1信号経路51A、第2信号経路52A及び電源信号経路53Aを説明するために模式的に示している。
 第2実施形態では、上記第1実施形態とは異なり、高周波モジュール1Aが、第1基板2Aと、第2基板6とを有する構成について説明する。図6に示すように、高周波モジュール1Aにおいて、第2基板6は、第3主面S3と、第3主面S3と反対側の第4主面S4とを有する。第2基板6の第4主面S4は、第1基板2Aの第1主面S1Aと対向して配置される。
 第2基板6は、多層誘電体基板であり、内層に配線L2A、L4、L5等や、ビア68a、68b、68c、68d、68e、68f等が設けられている。第2基板6は、第1基板2Aと同様に、例えば低温同時焼成セラミックス多層基板等が用いられる。図4及び図5に示すように、第2基板6の外形形状は、第1基板2Aの外形形状よりも小さい。
 図6に示すように、アンテナ4は、第2基板6の第3主面S3に設けられる。高周波電子部品3は、第1高周波端子34、第2高周波端子35、電子部品電源端子36等の複数の端子を介して、第2基板6の第4主面S4に実装される。図4に示すように、アンテナ4の放射素子41の少なくとも一部分は、平面視で、高周波電子部品3と重なる位置に配置されている。このため、高周波モジュール1Aは、平面視での面積を小さくすることができ、小型化が可能である。
 図6に示すように、第1基板2Aと第2基板6との間に、複数の基板間接続部材72が設けられ、モールド部材71で封止されている。複数の基板間接続部材72のうち、第1信号経路51Aの一部となるものを第1基板間接続部材72Aと表す。複数の基板間接続部材72のうち、電源信号経路53Aの一部となるものを第2基板間接続部材72Bと表す。以下の説明において、基板間接続部材72、第1基板間接続部材72A及び第2基板間接続部材72Bを区別して説明する必要がない場合には、単に基板間接続部材72と表す。
 基板間接続部材72は、第1基板2Aの第1主面S1Aと第2基板6の第4主面S4との間に設けられている。基板間接続部材72は、柱状の部材であり、例えば銅(Cu)、銀(Ag)等の導電性材料で形成される。第1基板2Aの第1主面S1A及び第2基板6の第4主面S4には、基板間接続部材72と接続するための端子(図示しない)が設けられており、これらの端子と基板間接続部材72とが電気的に接続される。基板間接続部材72は、例えば半田リフローや超音波接合等により、第2基板6に実装される。
 図4に示すように、複数の基板間接続部材72は、第2基板6の外周線の内側において、第2基板6の外周線に沿って配列される。第1基板間接続部材72Aは、Y方向に隣り合う基板間接続部材72の間に配置される。また、第2基板間接続部材72Bは、X方向に隣り合う基板間接続部材72の間に配置される。また、基板間接続部材72は、アンテナ4と重なる位置に設けられていてもよいし、アンテナ4と重ならない位置に設けられていてもよい。
 図6に示すように、高周波電子部品3及び基板間接続部材72は、モールド部材71の中に封止されている。モールド部材71は、熱硬化性樹脂に無機フィラーが含有された複合樹脂が用いられる。熱硬化性樹脂として例えば、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、シネアート樹脂等が用いられる。無機フィラーとして、酸化アルミニウム、シリカ、二酸化チタン等が用いられる。モールド部材71の形成には、例えば、ポッティング技術、トランスファー技術、コンプレッションモールド技術等の樹脂成形技術が用いられる。
 信号端子25は、第1基板2Aの第1主面S1Aに設けられている。信号端子25は、第1主面S1Aの、モールド部材71が設けられていない部分に配置される。これにより、高周波モジュール1Aは、モールド部材71により高周波電子部品3を保護するとともに、外部回路(例えば、図3に示すベースバンドモジュール101)と信号端子25との接続が容易である。また、電源端子24及び複数のグランド端子23は、第1基板2の第2主面S2Aに設けられている。
 図4及び図5に示すように、信号端子25は、第2基板6と重ならない位置に設けられている。なお、図5では、第2基板6を二点鎖線で示し、第1基板間接続部材72A及び第2基板間接続部材72Bを実線で示している。図5に示すように、グランド端子23は、第2基板6と重なる位置に設けられる。また、グランド端子23は、第2基板6と重ならない位置にも設けられている。また、電源端子24の周囲を囲んで複数のグランド端子23が設けられている。
 図6に示すように、高周波電子部品3と信号端子25とは、第1信号経路51Aを介して接続される。第1信号経路51Aは、第1基板2Aと第2基板6とを電気的に接続する。第1信号経路51Aは、第1伝送線路511と、第1基板間接続部材72Aと、第2伝送線路512と、を含む。
 第1伝送線路511は、第1基板2Aに設けられ、電気的に接続された配線L1A及びビア28Aa、28Abを有する。配線L1Aは、第1基板2Aの内層に設けられる。図5に示すように、配線L1Aは、平面視で第2基板6と重なる位置から、第2基板6と重ならない位置まで延在する。
 第2伝送線路512は、第2基板6に設けられ、電気的に接続された配線L4及びビア68a、68bを有する。配線L4は、第2基板6の内層に設けられる。図4に示すように、平面視で配線L4は、高周波電子部品3と重ならない位置から、高周波電子部品3と重なる位置まで延在する。
 図6に示すように、高周波電子部品3と電源端子24とは、電源信号経路53Aを介して接続される。電源信号経路53Aは、少なくとも第1基板2Aの内部を厚み方向に通り、第1基板2Aと第2基板6とを電気的に接続する。電源信号経路53Aは、第1電源信号伝送線路531と、第2基板間接続部材72Bと、第2電源信号伝送線路532とを含む。
 第1電源信号伝送線路531は、第1基板2Aに設けられ、電気的に接続された配線L3及びビア28e、28fを有する。配線L3は、第1基板2Aの内層に設けられる。図5に示すように、平面視で配線L3及び電源端子24は、第2基板6と重なる位置に設けられている。なお、配線L3は、第1基板2Aの内層に設けられているため、グランド端子23と重なって設けられていてもよく、グランド端子23と重ならない位置に設けられていてもよい。
 図6に示すように、第2電源信号伝送線路532は、第2基板6に設けられ、電気的に接続された配線L5及びビア68c、68dを有する。配線L5は、第2基板6の内層に設けられる。図4に示すように、平面視で配線L5は、高周波電子部品3と重なる位置から、高周波電子部品3と重ならない位置まで延在する。また、配線L5の一部は、アンテナ4と重なって設けられていてもよい。
 図6に示すように、複数の放射素子41は、それぞれ、第2信号経路52Aを介して高周波電子部品3と接続される。第2信号経路52Aは、放射素子41ごとに個別に設けられている。第2信号経路52Aは、電気的に接続された配線L2Aと、ビア68e、68fとを含む。配線L2Aは、第2基板6の内層に設けられる。
 本実施形態の高周波モジュール1Aにおいて、アンテナ4は第2基板6に設けられ、信号端子25及び電源端子24は第1基板2Aに設けられる。このため、アンテナ4から放射される信号と電源信号DCの結合を抑制できる。
 本実施形態において、第1基板2Aに設けられた信号端子25及び電源端子24は、それぞれ、第1信号経路51A及び電源信号経路53Aを介して、第2基板6に設けられた高周波電子部品3と電気的に接続される。中間周波数信号IF、局部発振信号Lo、制御信号Cntr等の各種高周波信号は、信号端子25及び第1信号経路51Aを介して伝送される。電源信号DCは、電源端子24及び電源信号経路53Aを介して伝送される。
(第1変形例)
 図7は、第2実施形態の第1変形例に係る高周波モジュールの構成を説明するための断面図である。本変形例では、上記第2実施形態とは異なり、高周波モジュール1Bが、グランド層26、61、62を有する構成について説明する。
 グランド層26は、第1基板2Bの内層に設けられている。グランド層26は、ビア29aを介して基板間接続部材72Cの第1基板2B側の端部と接続される。また、グランド層26は、ビア29bを介して第2主面S2Bに設けられたグランド層21と接続される。信号端子25と、電源端子24との間にグランド層26が配置される。これにより、高周波モジュール1Bにおいて、各種高周波信号を伝送する信号端子25及び第1信号経路51Aと、電源端子24とがグランド層26により分離される。
 また、グランド端子23には、それぞれバンプ29が設けられている。高周波モジュール1Bは、バンプ29を介してマザーボードに実装可能である。バンプ29は、例えば半田バンプである。
 グランド層61及びグランド層62は、第2基板6Aの内層に設けられている。グランド層61とグランド層62とは、異なる層に設けられ、互いに重なって配置される。グランド層61は、第3主面S3Aに垂直な方向において、アンテナ4と第1信号経路51Aとの間、かつ、アンテナ4と電源信号経路53Aとの間に設けられている。
 グランド層62は、第3主面S3Aに垂直な方向において、電源信号経路53Aと第1信号経路51Aとの間、かつ、電源信号経路53Aとアンテナ4との間に設けられている。グランド層61とグランド層62とは、ビア69a、69cを介して電気的に接続される。グランド層62は、ビア69bを介して基板間接続部材72Cの第2基板6A側の端部と接続される。また、グランド層62は、ビア69dを介して電子部品グランド端子37と接続される。このようにグランド層61、62を設けることにより、アンテナ4から放射される信号と、各種高周波信号と、電源信号DCの結合を抑制できる。
 なお、第1信号経路51A、第2信号経路52A及び電源信号経路53Aは、グランド層26、61、62と離隔して設けられる。例えば、グランド層26には開口26aが設けられており、電源信号経路53Aのビア28eは、開口26aを通って電源端子24に接続される。また、グランド層61、62には、それぞれ開口61a、62aが設けられており、第2信号経路52Aのビア68fは、開口61a、62aを通って第2高周波端子35と接続される。
 グランド層26は、第1基板2Bの略全面と重なる領域に設けられる。グランド層61、62は、第2基板6Aの略全面と重なる領域に設けられる。これに限定されず、グランド層26、61、62は、部分的に設けられていてもよい。
(第3実施形態)
 図8は、第3実施形態に係る高周波モジュールの斜視図である。図9は、第3実施形態に係る高周波モジュールの構成を説明するための断面図である。なお、図8では、各構成要素の関係を見やすくするため、第1信号経路51、第2信号経路52及び電源信号経路53等に含まれる各種配線やビア等を省略して示す。
 第3実施形態では、上記第1実施形態及び第2実施形態とは異なり、高周波モジュール1Cの第1基板220が屈曲している構成について説明する。第1基板220は、平板状の部分291(第1部分)と、部分292(第2部分)と、平板状の部分293(第3部分)とを有する。部分292は、部分291と部分293との間に設けられ、部分291及び部分293よりも薄い。第1基板220は、部分292において屈曲している。
 第1基板220は、誘電体層221(第1誘電体層)と、誘電体層222(第2誘電体層)と、誘電体層223とを含む。誘電体層221は、部分291から部分293に亘って形成されている。誘電体層221は、柔軟性のある素材(フレキシブル素材)から形成されている。誘電体層221は、部分292において屈曲している。誘電体層222は、部分291に形成されている。誘電体層223は、部分293に形成されている。なお、第1基板220は、一体の誘電体から形成されていてもよい。
 複数の放射素子41は、部分293の第3主面S13に設けられる。複数の放射素子41は、Y方向に配列され、かつ、Z方向に配列される。複数の放射素子41の法線方向はX方向(-X方向)である。
 グランド層232は、部分291から部分293に亘って誘電体層221に形成されている。誘電体層223は、部分293においてグランド層232を覆い、部分293の第4主面S14を構成する。グランド層232は、ビアを介してグランド層21に接続されている。グランド層232は、X方向において、複数の放射素子41と対向している。
 高周波電子部品3及び信号端子25は、部分291の第1主面S11に設けられる。第1信号経路51は、部分291に設けられ、高周波電子部品3と信号端子25とを接続している。グランド端子23及び電源端子24は、部分291の第2主面S12に設けられる。電源信号経路53は、部分291を貫通して、高周波電子部品3と電源端子24とを接続している。
 第2信号経路52は、部分291から部分293に亘って設けられ、高周波電子部品3と複数の放射素子41とを接続している。高周波電子部品3は、第2信号経路52を介して複数の放射素子41に高周波信号をそれぞれ供給する。高周波電子部品3は、第2信号経路52を介して複数の放射素子41から高周波信号をそれぞれ受ける。
 高周波モジュール1Cにおいては、第1基板220が部分292において屈曲している。このため、複数の放射素子41の法線方向が、部分291の第1主面S11と平行方向に向けられる。第3実施形態では、第1実施形態及び第2実施形態とは励振方向が異なる偏波を有する高周波信号の送信及び受信を行うことができる。
 また、高周波モジュール1Cにおいては、誘電体層221がフレキシブル素材から形成されているため、屈曲している部分292において発生する応力を低減することができる。そのため、部分291及び部分293において、第1基板220の表面の平面性を維持することができる。そのため、複数の放射素子41の法線方向が所望の方向からずれることを抑制することができる。その結果、第1基板220を屈曲することによる高周波モジュール1Cの特性の低下を抑制することができる。
(第2変形例)
 図10は、第3実施形態の第2変形例に係る高周波モジュールの構成を説明するための断面図である。図10に示すように、第2変形例の高周波モジュール1Dは、アンテナ4に加えアンテナ4Aを有する。アンテナ4の複数の放射素子41は、部分293の第3主面S13に設けられる。アンテナ4Aの複数の放射素子42は、部分291の第1主面S11に設けられる。複数の放射素子42は、第1主面S11において、高周波電子部品3と部分292との間の領域に設けられる。ただし、複数の放射素子42の配置は、これに限定されず、第1主面S11の高周波電子部品3及び信号端子25と重ならない領域に設けることができる。複数の放射素子41及び複数の放射素子42は、それぞれ第2信号経路52を介して高周波電子部品3に接続される。
 第2変形例の高周波モジュール1Dにおいて、複数の放射素子41の法線方向はX方向に向けられ、複数の放射素子42の法線方向はZ方向に向けられる。複数の放射素子41及び複数の放射素子42は、それぞれ異なる励振方向の偏波を有する高周波信号の送信及び受信が可能である。このため、高周波モジュール1Dは、上述した第1実施形態から第3実施形態に比べて高周波信号の送信及び受信のカバレッジの範囲を拡大することができる。
 なお、上記した実施の形態は、本発明の理解を容易にするためのものであり、本発明を限定して解釈するためのものではない。本発明は、その趣旨を逸脱することなく、変更/改良され得るとともに、本発明にはその等価物も含まれる。
 高周波モジュール1、1A、1B、1C、1D及び通信装置100は、下記の態様をとることができる。
 (1)本発明の一側面の高周波モジュールは、第1主面と、前記第1主面と反対側の第2主面とを有する第1基板と、
 前記第1主面に設けられ、外部回路との間で信号を伝送する信号端子と、
 前記第2主面に設けられ、電源信号が供給される電源端子と、
 アンテナと、
 前記信号端子、前記電源端子及び前記アンテナと電気的に接続され、前記信号及び前記電源信号に基づいて、前記アンテナの送受信を制御する高周波電子部品と、を有する。
 これによれば、高周波信号を伝送する信号端子と、電源端子とが分離され、第1主面と第2主面に分かれている。このため、単一の伝送線路を介して各種高周波信号及び電源信号を伝送する場合に比べて、高周波電子部品の電源ラインに高周波信号が結合することを抑制できる。この結果、高周波モジュールは、不要な高周波信号の発振を抑制できる。さらに、高周波信号と電源信号を分離するためのバイアスT回路等の回路を設ける必要がない。このため、高周波モジュールは、回路規模を抑制することができる。また、高周波モジュールは、バイアスT回路等での高周波信号の信号品位の低下や、スプリアスの発生を抑制できる。
 (2)前記アンテナ及び前記高周波電子部品は、前記第1基板に対して前記電源端子の反対側に設けられる、
 上記(1)に記載の高周波モジュール。
 これによれば、第2主面を、携帯無線端末等のマザーボードに容易に実装可能である。また、高周波モジュールがマザーボード上に実装された場合に、電源信号はマザーボードを介して供給される。この場合、電源信号を供給するためのケーブルが不要であり、高周波モジュールの構成が簡便になる。また、電源信号供給用のケーブルがないため、ケーブルがアンテナとして動作することを抑制できる。このため、高周波モジュールは、ケーブルの存在に起因するアンテナ特性の劣化を抑制できる。
 (3)前記第1基板の前記第2主面に設けられ、グランドに接続される複数のグランド端子を有し、
 前記電源端子は、隣り合う複数のグランド端子の間に配置される、
 上記(1)又は上記(2)に記載の高周波モジュール。
 隣り合う複数のグランド端子の間に電源端子が配置されることにより、シールドとして働いて、高周波モジュールは、電源信号と高周波信号の結合を抑制できる。また、高周波モジュールは、電源ラインに重畳する低周波ノイズの外部への放射を抑制できる。
 (4)前記アンテナ及び前記高周波電子部品は、前記第1基板の前記第1主面に設けられ、
 前記高周波電子部品と前記信号端子とは、前記第1基板に設けられた第1信号経路を介して電気的に接続され、
 前記高周波電子部品と前記電源端子とは、前記第1基板を通り、一端が前記第1主面に配置され、他端が前記第2主面に配置される電源信号経路を介して電気的に接続される、
 上記(1)から上記(3)のいずれか1つに記載の高周波モジュール。
 これによれば、中間周波数信号、局部発振信号、制御信号等の高周波信号は、信号端子及び第1信号経路を介して伝送される。また、電源信号は、電源端子及び電源信号経路を介して伝送される。すなわち、各種高周波信号と電源信号とは、異なる経路で、基板の別の面に配置された端子から伝送される。この結果、高周波モジュールは、高周波電子部品の電源ライン(電源信号経路)に高周波信号が結合することを抑制できる。
 (5)第3主面と、前記第3主面と反対側の第4主面とを有し、前記第4主面が前記第1基板の前記第1主面と対向して配置された第2基板を有し、
 前記アンテナは、前記第2基板の前記第3主面に設けられ、
 前記高周波電子部品は、前記第4主面に設けられ、
 前記高周波電子部品と前記信号端子とは、前記第1基板と前記第2基板とを電気的に接続する第1信号経路を介して接続され、
 前記高周波電子部品と前記電源端子とは、少なくとも記第1基板の内部を通り、前記第1基板と前記第2基板とを電気的に接続する電源信号経路を介して接続される、
 上記(1)から上記(3)のいずれか1つに記載の高周波モジュール。
 これによれば、アンテナは第2基板に設けられ、信号端子及び電源端子は第1基板に設けられる。このため、アンテナから放射される信号と電源信号の結合を抑制できる。また、アンテナの少なくとも一部分は、平面視で、高周波電子部品と重なる位置に配置できる。このため、高周波モジュールの平面視での面積を小さくして、小型化が可能である。
 (6)前記第1基板と前記第2基板との間に充填され、前記高周波電子部品を封止するモールド部材を有し、
 前記信号端子は、前記第1主面の、前記モールド部材が設けられていない部分に配置される、
 上記(5)に記載の高周波モジュール。
 これによれば、モールド部材により高周波電子部品を保護するとともに、外部回路と信号端子との接続が容易である。
 (7)前記第1基板は、平板状の第1部分、第3部分及び前記第1部分と前記第3部分との間に設けられ前記第1部分よりも薄い第2部分を有し、
 前記第1基板は、前記第2部分において屈曲しており、
 前記高周波電子部品及び前記信号端子は、前記第1部分の前記第1主面に設けられ、
 前記電源端子は、前記第1部分の前記第2主面に設けられ、
 前記アンテナは、前記第3部分の第3主面に設けられる、
 上記(1)に記載の高周波モジュール。
 これによれば、複数の放射素子41の法線方向が、部分291の第1主面S11と平行方向に向けられる。このため、複数の放射素子41が高周波電子部品3と同じ第1主面S11に設けられた場合に比べて、異なる励振方向の偏波を有する高周波信号の送信及び受信が可能である。
 (8)前記アンテナは、さらに、前記第1部分の前記第1主面に設けられる、
 上記(7)に記載の高周波モジュール。
 これによれば、アンテナ4の各放射素子41と、アンテナ4Aの各放射素子42とは、互いに異なる方向の法線方向が向けられる。したがって、複数の放射素子41及び複数の放射素子42は、それぞれ異なる励振方向の偏波を有する高周波信号の送信及び受信が可能である。このため、高周波モジュール1Dは、高周波信号の送信及び受信のカバレッジの範囲を拡大することができる。
 (9)前記アンテナは、複数の放射素子が配列されたアレイアンテナであり、
 複数の放射素子のそれぞれは、第2信号経路を介して前記高周波電子部品と接続される、
 上記(1)から上記(8)のいずれか1つに記載の高周波モジュール。
 これによれば、高周波モジュールは、放射素子の配置や、励振される高周波信号の振幅、位相を制御することにより、所望の放射パターン(指向性)が得られる。
 (10)上記(1)から上記(9)のいずれか1つに記載の高周波モジュールと、
 ケーブルを介して前記信号端子と接続されたベースバンドモジュールと、を有する、
 通信装置。
 これによれば、各種高周波信号は、単一のケーブルを介して信号端子に供給される。また、電源信号は、例えば、マザーボードを介して電源端子に供給される。すなわち、通信装置において、各種高周波信号と電源信号とは、異なる経路で高周波モジュールに伝送される。この結果、通信装置は、高周波電子部品の電源ラインに高周波信号が結合することを抑制できる。
 1、1A、1B、1C、1D 高周波モジュール
 2、2A、2B、220 第1基板
 3 高周波電子部品
 4、4A アンテナ
 6、6A 第2基板
 21、26、61、62 グランド層
 22 絶縁層
 23 グランド端子
 24 電源端子
 25 信号端子
 29 バンプ
 31 送信回路
 32 受信回路
 33 電力増幅回路
 34 第1高周波端子
 35 第2高周波端子
 36 電子部品電源端子
 41、42 放射素子
 51、51A 第1信号経路
 52、52A 第2信号経路
 53、53A 電源信号経路
 71 モールド部材
 72 基板間接続部材
 100 通信装置
 101 ベースバンドモジュール
 221、222、223 誘電体層
 291、292、293 部分
 S1、S1A、S11 第1主面
 S2、S2A、S12 第2主面
 S3、S13 第3主面
 S4、S14 第4主面

Claims (10)

  1.  第1主面と、前記第1主面と反対側の第2主面とを有する第1基板と、
     前記第1主面に設けられ、外部回路との間で信号を伝送する信号端子と、
     前記第2主面に設けられ、電源信号が供給される電源端子と、
     アンテナと、
     前記信号端子、前記電源端子及び前記アンテナと電気的に接続され、前記信号及び前記電源信号に基づいて、前記アンテナの送受信を制御する高周波電子部品と、を有する、
     高周波モジュール。
  2.  前記アンテナ及び前記高周波電子部品は、前記第1基板に対して前記電源端子の反対側に設けられる、
     請求項1に記載の高周波モジュール。
  3.  前記第1基板の前記第2主面に設けられ、グランドに接続される複数のグランド端子を有し、
     前記電源端子は、隣り合う複数のグランド端子の間に配置される、
     請求項1又は請求項2に記載の高周波モジュール。
  4.  前記アンテナ及び前記高周波電子部品は、前記第1基板の前記第1主面に設けられ、
     前記高周波電子部品と前記信号端子とは、前記第1基板に設けられた第1信号経路を介して電気的に接続され、
     前記高周波電子部品と前記電源端子とは、前記第1基板を通り、一端が前記第1主面に配置され、他端が前記第2主面に配置される電源信号経路を介して電気的に接続される、
     請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の高周波モジュール。
  5.  第3主面と、前記第3主面と反対側の第4主面とを有し、前記第4主面が前記第1基板の前記第1主面と対向して配置された第2基板を有し、
     前記アンテナは、前記第2基板の前記第3主面に設けられ、
     前記高周波電子部品は、前記第4主面に設けられ、
     前記高周波電子部品と前記信号端子とは、前記第1基板と前記第2基板とを電気的に接続する第1信号経路を介して接続され、
     前記高周波電子部品と前記電源端子とは、少なくとも記第1基板を通り、前記第1基板と前記第2基板とを電気的に接続する電源信号経路を介して接続される、
     請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の高周波モジュール。
  6.  前記第1基板と前記第2基板との間に充填され、前記高周波電子部品を封止するモールド部材を有し、
     前記信号端子は、前記第1主面の、前記モールド部材が設けられていない部分に配置される、
     請求項5に記載の高周波モジュール。
  7.  前記第1基板は、平板状の第1部分、第3部分及び前記第1部分と前記第3部分との間に設けられ前記第1部分よりも薄い第2部分を有し、
     前記第1基板は、前記第2部分において屈曲しており、
     前記高周波電子部品及び前記信号端子は、前記第1部分の前記第1主面に設けられ、
     前記電源端子は、前記第1部分の前記第2主面に設けられ、
     前記アンテナは、前記第3部分の第3主面に設けられる、
     請求項1に記載の高周波モジュール。
  8.  前記アンテナは、さらに、前記第1部分の前記第1主面に設けられる、
     請求項7に記載の高周波モジュール。
  9.  前記アンテナは、複数の放射素子が配列されたアレイアンテナであり、
     複数の放射素子のそれぞれは、第2信号経路を介して前記高周波電子部品と接続される、
     請求項1から請求項8のいずれか1項に記載の高周波モジュール。
  10.  請求項1から請求項9のいずれか1項に記載の高周波モジュールと、
     ケーブルを介して前記信号端子と接続されたベースバンドモジュールと、を有する、
     通信装置。
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