WO2019082554A1

WO2019082554A1 - ワーク保持治具及びロードアンロード装置

Info

Publication number: WO2019082554A1
Application number: PCT/JP2018/034410
Authority: WO
Inventors: 朋士奥田
Original assignee: 上村工業株式会社
Priority date: 2017-10-27
Filing date: 2018-09-18
Publication date: 2019-05-02
Also published as: CN111212935B; US20200248331A1; EP3702494A1; US11427923B2; EP3702494A4; JP6971780B2; KR20200079490A; TW201922405A; TWI766109B; JP2019081914A; KR102540023B1; CN111212935A

Abstract

フレーム体（２）の多数の第１ピン（３１）をバックパネル（１）の多数の第１孔に挿通し、ロック機構（３）の移動機構（３４）によって締結体（３３）を外方向に移動させて、切欠き部（３３５）を第１ピン（３３）の先端部の凹部に嵌合させ、これによって、フレーム体（２）をバックパネル（１）にロックするようになっている。

Description

ワーク保持治具及びロードアンロード装置

　本発明は、表面処理の被処理物である板状ワークを保持するためのワーク保持治具、及び、該ワーク保持治具に対して板状ワークをロードアンロードするロードアンロード装置、に関する。前記ワークとしては、例えば、プリント基板、ウエハ、半導体基板（特に、Fan-Out Panel Level Package）が挙げられる。また、表面処理としては、（１）電気めっき、無電解めっき、置換めっき等を施す、めっき処理、（２）機械加工時等に付着した樹脂残渣等を被処理物から除去するデスミア処理、（３）所定の処理を施す前の前処理、（４）所定の処理を施した後の後処理、（５）各処理の前後に必要に応じて行う洗浄処理、（６）活性化処理、（７）エッチング処理、等が挙げられる。

　板状ワークを保持するための従来のワーク保持治具としては、例えば、特許文献１に記載の治具がある。この治具では、板状ワークを挟持するための下側枠体と上側枠体とを締結ねじによって固定している。

特開２００５－１８７９１０号公報

　特許文献１記載の治具では、下側枠体に対する上側枠体の固定作業を、多数の締結ねじを１本ずつ締め付けることによって、行っている。それ故、固定作業が非常に面倒であり、自動化も困難であった。

　本発明は、１回の操作によって固定作業を行うことができるワーク保持治具、及び、該ワーク保持治具に対して板状ワークを自動でロードアンロードできるロードアンロード装置、を提供することを目的としている。

　本発明の第１態様は、表面処理の被処理物である板状ワークを保持するためのワーク保持治具において、
　前記ワークを背面側から支持するバックパネルと、
　前記バックパネルとの間で、前記ワークの周縁部を保持するように、前記ワークの前面側から前記バックパネルに取り付けられる、フレーム体と、
　前記バックパネルに取り付けられた前記フレーム体を前記バックパネルにロックするためのロック機構と、
　を備えており、
　前記ロック機構は、
　前記フレーム体の周縁に沿って並んでおり、前記フレーム体から突出している、多数の第１ピンと、
　前記バックパネルに形成されており、前記第１ピンが挿通可能な、多数の第１孔と、
　前記バックパネルの背面に設けられており、前記バックパネルの前記背面に沿って中央から内外方向に移動可能な、２個以上の締結体と、
　全ての前記締結体を前記内外方向に同時に移動させる、移動機構と、
　を備えており、
　前記締結体は、前記第１孔から露出している前記第１ピンの先端部の凹部に嵌合可能な嵌合部を、外周縁に有しており、
　前記ロック機構は、前記移動機構によって前記締結体を外方向に移動させて、前記嵌合部を前記第１ピンの先端部の前記凹部に嵌合させることによって、前記フレーム体を前記バックパネルにロックするようになっている、
　ことを特徴としている。

　本発明の第２態様は、表面処理の被処理物である板状ワークを保持するための、前記第１態様のワーク保持治具に対して、前記ワークを自動でロードアンロードするためのロードアンロード装置であって、
　ロックされた前記ワーク保持治具を収容する収容部と、
　前記収容部に収容された前記ワーク保持治具の前記フレーム体に対して前記バックパネルを着脱する着脱部と、
　前記収容部及び前記着脱部を、垂直状態と水平状態との間で回転変位させる、回転部と、
　を備えており、
　前記着脱部は、
　水平状態の前記ワーク保持治具の前記バックパネルを前記背面側から把持する、把持部と、
　前記移動機構を作動させて前記ロック機構をオンオフする切替部と、
　前記バックパネルを把持した前記把持部を上下動させる上下動部と、
　を備えており、
　前記切替部によって前記ロック機構をオフし、前記上下動部によって前記把持部を下降させることにより、前記バックパネルを前記フレーム体から分離して、前記バックパネルと前記フレーム体との間に、前記ワークをロードアンロードするためのスペースを作るようになっている、
　ことを特徴としている。

　本発明の第１態様のワーク保持治具によれば、ロック機構の移動機構を作動させるだけで、フレーム体をバックパネルにロックできる。したがって、バックパネルに対するフレーム体の固定作業を１回の操作で行うことができる。よって、作業効率を向上できる。

　本発明の第２態様のロードアンロード装置によれば、ワーク保持治具に対して、ロック機構をオフして、バックパネルをフレーム体から分離して、ワークをバックパネルに載置したりバックパネルから搬出したりすることを、自動で行うことができる。したがって、ワークのロードアンロード作業を効率良く実施できる。

本発明の一実施形態のワーク保持治具の背面斜視図であり、オフ状態のロック機構を示している。図１のII矢視拡大部分図である。フレーム体からバックパネルを分離した状態を示す斜視図である。バックパネルとフレーム体とによってワークを保持した状態を示す断面図である。ロック機構のオフ状態を示す模式図である。図４にロック機構を加えた断面図である。ロック機構のオン状態を示す模式図である。図１に相当する図であり、オン状態のロック機構を示している。図８のIX矢視拡大部分図である。締結体の作動を示す拡大断面部分図であり、ロック機構のオフ状態を示している。締結体の作動を示す拡大断面部分図であり、ロック機構のオン状態を示している。ロック機構の嵌合部の変形例を示す拡大断面部分図である。ワーク保持治具の平面視形態の変形例を示す背面図である。本発明の一実施形態のロードアンロード装置を示す斜視図である。垂直状態の収容部の正面図であり、非作動状態のストッパ機構を示している。垂直状態の収容部の正面図であり、作動状態のストッパ機構を示している。着脱部の斜視図である。ロードアンロード装置のロード作動の一工程を示す略図である。図１８に続く工程の略図である。図１９に続く工程の略図である。図２０に続く工程の略図である。図２１に続く工程の略図である。図２２に続く工程の略図である。

［ワーク保持治具］
　図１は、本発明の一実施形態のワーク保持治具の背面斜視図である。図２は、図１のII矢視拡大部分図である。このワーク保持治具１０は、バックパネル１とフレーム体２とロック機構３とを備えている。

　図３に示されるように、バックパネル１は、平面視矩形を有しており、平面視矩形の板状ワーク４を背面側から支持するようになっている。フレーム体２は、平面視矩形を有しており、バックパネル１との間で、ワーク４の周縁部を保持するように、ワーク４の前面側からバックパネル１に取り付けられるようになっている。図４は、バックパネル１とフレーム体２とによってワーク４を保持した状態を示す断面図である。

　フレーム体２は、矩形環状の本体２１と、本体２１の全周に渡って設けられた導電部材２２と、ワーク４の周縁部４１に電気的接触できるように導電部材２２に電気的接続して導電部材２２に沿って設けられた接触部材２３と、接触部材２３より内側において本体２１の全周に渡って設けられたシール部材２４と、を有している。接触部材２３は、本体２１の各辺に沿って設けられている。また、本体２１の右辺外側には右ガイドバー２６が設けられており、本体２１の左辺外側には左ガイドバー２７が設けられている。

　バックパネル１は、フレーム体２の本体２１の開口２１０に嵌まり込む凸部１１を、有しており、ワーク４は、凸部１１の上面１１１に形成されている浅い凹部１１２に嵌め込まれるようになっている。なお、ここでは、凸部１１は、略格子構造を有しているが、平面構造を有するのが好ましい。

　また、フレーム体２は、図４の状態で、すなわち、シール部材２４及び接触部材２３がワーク４の周縁部４１に当接した状態で、周縁部４１、導電部材２２、及び接触部材２３を収容する、密封空間２０を、構成するようになっている。シール部材２４は、例えば、スポンジゴムで構成されている。シール部材２４は、ワーク４の周縁部４１に、圧縮されて密着する。

　フレーム体２は、多数の第１ピン３１を有している。第１ピン３１は、フレーム体２の周縁に沿って並んで設けられており、フレーム体２から背面側へ突出している。一方、バックパネル１は、多数の第１孔３２を有している。第１孔３２は、第１ピン３１が挿通可能に形成されている。そして、フレーム体２は、第１ピン３１を第１孔３２に挿通させることにより、バックパネル１に取り付けられるようになっている。

　図１及び図２に示されるように、バックパネル１の背面側には、ロック機構３が設けられている。図５は、ロック機構３の模式図である。図６は、図４にロック機構３を加えた断面図である。なお、図６では、ロック状態が示されている。ロック機構３は、フレーム体２の多数の第１ピン３１と、バックパネル１の多数の第１孔３２と、４個の締結体３３と、移動機構３４と、を備えている。

　締結体３３は、平面視三角形を有している。締結体３３は、ここでは、図１及び図２に示されるようなフレーム構造を有しているが、板体構造を有してもよい。締結体３３は、頂部３３１がバックパネル１の中央側に位置し且つ底辺３３２がバックパネル１の周縁側に位置している。４個の締結体３３は、バックパネル１の背面において周方向に並んでいる。締結体３３は、底辺３３２に対して直交する方向に延びた第１長孔３３３を３個有している。３個の第１長孔３３３は、底辺３３２に対して等距離Ｌ１で、且つ、底辺３３２の中央と両端に等間隔Ｌ２で、位置している。各第１長孔３３３には、バックパネル１の背面から突出した第２ピン３３４が挿通している。これにより、締結体３３は、第２ピン３３４に沿ってスライドさせることにより、バックパネル１の背面に沿って中央から内外方向（矢印Ｘ方向）に移動できるようになっている。また、締結体３３は、底辺３３２に多数の切欠き部３３５を有している。各切欠き部３３５は、締結体３３が矢印Ｘの外方向に移動した際にフレーム体２の第１ピン３１の先端部の凹部３１１（図４、図６）に嵌合するように、形成され且つ配置されている。すなわち、締結体３３は、外周縁に、第１ピン３１に対する多数の嵌合部を、有している。凹部３１１は、第１ピン３１のヘッド部３１２と本体部３１３との間の細径部３１４によって、形成されており、切欠き部３３５は、細径部３１４に外嵌することによって、凹部３１１に嵌合するようになっている。締結体３３において、多数の切欠き部３３５は、底辺３３２の全長において略均等に配置されている。

　移動機構３４は、バックパネル１の背面の中央で回転する回転体３４１と、回転体３４１からバックパネル１の背面側に突出した４個の第３ピン３４２と、各締結体３３の頂部３３１に形成された第２長孔３４３と、を備えている。第３ピン３４２は、第２長孔３４３内に挿入されている。第２長孔３４３は、矢印Ｘ方向に対して傾斜して延びている。これにより、移動機構３４は、回転体３４１を図５に示される矢印Ｒ１方向に回転させて第３ピン３４２を第２長孔３４３内で内側へ移動するようにスライドさせることによって、締結体３３を矢印Ｘの外方向に移動させるようになっており、また、回転体３４１を図７に示される矢印Ｒ２方向に回転させて第３ピン３４２を第２長孔３４３内で外側へ移動するようにスライドさせることによって、締結体３３を矢印Ｘの内方向に移動させるようになっている。

　締結体３３が矢印Ｘの外方向に移動して、切欠き部３３５が第１ピン３１の凹部３１１に嵌合すると、第１ピン３１が固定され、その結果、フレーム体２がバックパネル１に固定される。すなわち、ロック機構３によれば、図８及び図８のIX矢視拡大部分図である図９に示されるように、移動機構３４によって締結体３３を矢印Ｘの外方向に移動させて、切欠き部３３５を第１ピン３１の先端部の凹部３１１に嵌合させ、その結果、フレーム体２をバックパネル１にロックできる。

　図１０及び図１１は、締結体３３の作動を示す拡大断面部分図である。図１０は、ロック機構３のオフ状態（非ロック状態）を示しており、図１１は、ロック機構３のオン状態（ロック状態）を示している。フレーム体２の第１ピン３１のヘッド部３１２は、テーパ面３１２１を有する先細り形状を、有している。よって、第１ピン３１は、第１孔３２に円滑に挿入できる。また、締結体３３の切欠き部３３５は、テーパ３３５１を形成することによって外方向に行くに連れて薄くなっている。よって、図１０に示されるように第１孔３２に対する第１ピン３１の挿入が不十分であった場合においても、図１１に示されるように、切欠き部３３５が第１ピン３１を引き出しながら凹部３１１に嵌合することができる。

　次に、ワーク保持治具１０の作動について説明する。
（１）まず、ワーク４をバックパネル１に載置する。
（２）次に、フレーム体２をバックパネル１に取り付ける。このとき、フレーム体２の第１ピン３１をバックパネル１の第１孔３２に挿通させる。

（３）そして、ロック機構３を作動させる。すなわち、回転体３４１を矢印Ｒ１方向に回転させる。回転体３４１が回転すると、第３ピン３４２が強制的に第２長孔３４３内を内向きにスライドし、それによって、締結体３３が矢印Ｘの外方向に移動し、その結果、締結体３３の切欠き部３３５がフレーム体２の第１ピン３１の凹部３１１に嵌合する。これにより、フレーム体２がバックパネル１にロックされる。

（４）なお、ロック状態において、回転体３４１を矢印Ｒ２方向に回転させると、第３ピン３４２が強制的に第２長孔３４３内を外向きにスライドし、それによって、締結体３３が矢印Ｘの内方向に移動し、その結果、締結体３３の切欠き部３３５とフレーム体２の第１ピン３１の凹部３１１との嵌合が解消し、これにより、フレーム体２とバックパネル１とのロックが解除される。

　前記構成のワーク保持治具１０によれば、ロック機構３の回転体３４１を回転させるだけで、フレーム体２をバックパネル１にロックできる。したがって、バックパネル１に対するフレーム体２の固定作業を１回の操作で行うことができる。よって、作業効率を向上できる。

（変形例）
（１）凹部３１１と切欠き部３３５との関係を、図１２に示されるように変更してもよい。すなわち、図１２においては、第１ピン３１の凹部３１１が横向きに開いた横凹部であり、嵌合部が横凹部に嵌入可能な、締結体３３の外周縁（底辺部）３３０である。この場合、切欠き部は不要である。

（２）バックパネル１及びフレーム体２は、図１３に示されるように、平面視円形を有してもよい。この場合、締結体３３は、略扇形の形状を有している。

（３）締結体３３は、２個以上であれば、４個に限らない。

（４）第１長孔３３３の数は、３個に限らないが、締結体３３の作動の安定性を考慮すると、２個以上が好ましい。

［ロードアンロード装置］
　図１４は、本発明の一実施形態のロードアンロード装置を示す斜視図である。このロードアンロード装置１００は、本発明のワーク保持治具１０に対して、板状ワーク４を自動でロードアンロードするための装置である。

　ロードアンロード装置１００は、ロックされたワーク保持治具１０を収容する収容部６と、収容部６に収容されたワーク保持治具１０のフレーム体２に対してバックパネル１を着脱する着脱部７と、収容部６及び着脱部７を垂直状態と水平状態との間で回転変位させる回転部８と、を備えている。

（収容部６）
　収容部６は、右ガイドレール６１及び左ガイドレール６２を備えており、ワーク保持治具１０のフレーム体２の右ガイドバー２６及び左ガイドバー２７が右ガイドレール６１及び左ガイドレール６２にそれぞれ挿入されることにより、ワーク保持治具１０を収容するようになっている。右ガイドレール６１及び左ガイドレール６２は、それぞれ、下端部が閉じており、上端が挿入口６１１、６２１となっている。収容部６は、収容したワーク保持治具１０を固定するためのストッパ機構を有している。

　ストッパ機構は、図１５に示されるように、右ストッパ部６３と左ストッパ部６４とを有している。右ストッパ部６３は、右ガイドレール６１に挿入された右ガイドバー２６の端面を挿入口６１１付近で押さえ付けるための押さえ部材６３１と、押さえ部材６３１を押さえ位置と非押さえ位置との間で変位させる駆動シリンダ６３２と、を有している。押さえ部材６３１は、回転変位するように、回転軸６３１１及びブラケット６３１２を介して、右ガイドレール６１に支持されている。駆動シリンダ６３２は、押さえ部材６３１に連結されたロッド６３２１を伸縮させることによって、押さえ部材６３１を回転変位させるようになっている。駆動シリンダ６３２は、ブラケット６３２２を介して右ガイドレール６１に支持されている。左ストッパ部６４は、左ガイドレール６２に設けられており、右ストッパ部６３とは左右対称である点以外は同じ構成を有している。すなわち、左ストッパ部６４は、押さえ部材６４１、回転軸６４１１、ブラケット６４１２、駆動シリンダ６４２、ロッド６４２１、及びブラケット６４２２を、有している。図１５は、ストッパ機構の作動前の状態を示しており、図１６は、ストッパ機構の作動後の状態を示している。

　ストッパ機構が作動すると、すなわち、駆動シリンダ６３２、６４２が作動してロッド６３２１、６４２１が伸びると、押さえ部材６３１、６４１が回転変位し、右ガイドバー２６の端部及び左ガイドバー２７の端部が押さえ部材６３１、６４１によって上方から押さえ付けられ、その結果、ワーク保持治具１０が収容部６内に固定される。また、その逆に、駆動シリンダ６３２、６４２が作動してロッド６３２１、６４２１が縮むと、押さえ部材６３１、６４１が回転変位し、右ガイドバー２６の端部及び左ガイドバー２７の端部が押さえ部材６３１、６４１から解放され、その結果、収容部６内におけるワーク保持治具１０の固定が解除される。

（着脱部７）
　着脱部７は、図１７に示されるように、水平状態のワーク保持治具１０のバックパネル１を背面側から把持する、把持部７１と、ワーク保持治具１０の移動機構３４を作動させてロック機構３をオンオフする切替部７２と、バックパネル１を把持した把持部７１を上下動させる上下動部７３と、を備えている。

　把持部７１は、平面視矩形の可動板７１１と、可動板７１１の四隅に配置された把持爪７１２と、を有している。把持部７１は、把持爪７１２をバックパネル１の長孔１５（図１８）に挿入することによって、バックパネル１を把持するようになっている。

　切替部７２は、ワーク保持治具１０の移動機構３４の回転体３４１の４つの挿入穴３４１１（図１）に挿入される４本の挿入ピン（第４ピン）７２１１を有する回転板７２１と、回転板７２１を回転させる回転部７２２と、を有している。切替部７２は、可動板７１１の中央に設けられている。切替部７２は、挿入ピン７２１１を挿入穴３４１１に挿入した状態で回転板７２１を回転させることによって、移動機構３４の回転体３４１を回転させ、それにより、ロック機構３をオンオフするようになっている。

　上下動部７３は、可動体７１１を上下動可能に支持する固定板７３１と、可動板７１１を上下動させる駆動シリンダ７３２と、可動板７１１を固定板７３１に対して接離可能に支持している４本のリニアシャフト７３３と、を有している。上下動部７３は、駆動シリンダ７３２を作動させて可動板７１１を固定板７３１に対して上下動させるようになっている。

（回転部８）
　回転部８は、水平な回転軸８１と、回転軸８１に固定された回転フレーム８２と、を有している。回転フレーム８２は、箱状の枠体を構成しており、収容部６及び着脱部７は、回転フレーム８２内に固定されている。回転軸８１は、水平な基台８３の垂直な２本の支柱８３１、８３２に支持されており、駆動部（図示せず）によって回転駆動されるようになっている。

　次に、ロードアンロード装置１００の作動について、説明する。

（ロード作動の場合）
（１）まず、ワーク保持治具１０を搬送する治具搬送機構（図示せず）が作動して、ワーク４を保持しておらず且つロックされているワーク保持治具１０が、図１８の矢印Ａに示されるように、垂直状態に設定されている収容部６内へ搬送される。すなわち、ワーク保持治具１０のフレーム体２の右ガイドバー２６及び左ガイドバー２７が右ガイドレール６１及び左ガイドレール６２にそれぞれ挿入され、その結果、ワーク保持治具１０が収容部６へ収容される。ワーク保持治具１０が収容されると、ストッパ機構が作動する。すなわち、駆動シリンダ６３２、６４２が作動して、右ガイドバー２６の端面及び左ガイドバー２７の端面が押さえ部材６３１、６４１によってそれぞれ押さえ付けられる。

（２）次に、回転部８が作動して、図１９の矢印Ｂに示されるように、ワーク保持治具１０を収容している収容部６と着脱部７とが、垂直状態から水平状態へ回転する。
（３）次に、上下動部７３が作動して、図２０の矢印Ｃに示されるように、可動板７１１が上昇する。

（４）可動板７１１が上昇すると、図２１に示されるように、バックパネル１が把持爪７１２によって把持される。また、このとき、切替部７２の４本の挿入ピン７２１１がワーク保持治具１０の移動機構３４の回転体３４１の４つの挿入穴３４１１に挿入される。そして、切替部７２の回転板７２１が回転することによって、移動機構３４の回転体３４１が回転する。それによって、ワーク保持治具１０のロック機構３によるロックが解除され、バックパネル１はフレーム体２から分離可能となる。

（５）次に、上下動部７３が作動して、図２１の矢印Ｄに示されるように、可動板７１１が下降する。可動板７１１には、把持爪７１２によってバックパネル１が把持されているので、可動板７１１は、バックパネル１を伴って下降する。これにより、バックパネル１がフレーム体２から分離される。図２２は、バックパネル１がフレーム体２から分離された状態を示している。

（６）次に、図２３に示されるように、ワーク４を搬送するワーク搬送機構９が作動して、ワーク４が、フレーム体２とバックパネル１との間のスペース１０１に搬送されて、バックパネル１上に載置される。

（７）そして、上述した一連の作動とは逆順序の作動を行う。すなわち、ワーク４が載置されたバックパネル１が、上昇して、フレーム体２に取り付けられ、そして、ワーク保持治具１０が、ロックされて、垂直状態へ回転され、治具搬送機構によって収容部６から取り出されて、所定の表面処理装置へ搬送される。

（アンロード作動の場合）
（１）まず、治具搬送機構が作動して、ワーク４を保持しており且つロックされているワーク保持治具１０が、図１８に示されるように、垂直状態に設定されている収容部６へ収容される。
（２）その後の作動は、ロード作動の場合と同じであり、すなわち、図１９～図２２に示されるように作動する。

（３）そして、図２３に示されるように、ワーク搬送機構９が作動して、バックパネル１上のワーク４が、フレーム体２とバックパネル１との間のスペース１０１から搬出される。これにより、アンロード作動は終了する。
（４）なお、この後、ワーク搬送機構９が作動して、新たなワーク４が、フレーム体２とバックパネル１との間のスペース１０１に搬送されて、バックパネル１上に載置されると、装置１００は、ロード作動の場合の前記（７）と同じように作動する。すなわち、ロード作動が行われる。

　前記構成のロードアンロード装置１００によれば、ワーク保持治具１０に対して、ロック機構３をオフして、バックパネル１をフレーム体２から分離して、ワーク４をバックパネル１に載置したりバックパネル１から搬出したりすることを、自動で行うことができる。したがって、ワーク４のロードアンロード作業を効率良く実施できる。

（変形例）
（１）挿入ピン７２１１は、４個に限るものではなく、回転体３４１に対して回転方向に契合できる形態を有していれば、１本でもよい。

　本発明のワーク保持治具は、バックパネルに対するフレーム体の固定作業を１回の操作で行うことができるので、産業上の利用価値が大である。

　１　バックパネル
　２　フレーム体
　３　ロック機構
　３１　第１ピン
　３１１　凹部
　３１４　細径部
　３２　第１孔
　３３　締結体
　３３０　外周縁
　３３３　第１長孔
　３３４　第２ピン
　３３５　切欠き部
　３４　移動機構
　３４１　回転体
　３４１１　挿入穴
　３４２　第３ピン
　３４３　第２長孔
　４　板状ワーク
　４１　周縁部
　６　収容部
　７　着脱部
　７１　把持部
　７２　切替部
　７２１　挿入ピン（第４ピン）
　７３　上下動部
　８　回転部
　１０　ワーク保持治具
　１００　ロードアンロード装置
　１０１　スペース

Claims

　表面処理の被処理物である板状ワークを保持するためのワーク保持治具において、
　前記ワークを背面側から支持するバックパネルと、
　前記バックパネルとの間で、前記ワークの周縁部を保持するように、前記ワークの前面側から前記バックパネルに取り付けられる、フレーム体と、
　前記バックパネルに取り付けられた前記フレーム体を前記バックパネルにロックするためのロック機構と、
　を備えており、
　前記ロック機構は、
　前記フレーム体の周縁に沿って並んでおり、前記フレーム体から突出している、多数の第１ピンと、
　前記バックパネルに形成されており、前記第１ピンが挿通可能な、多数の第１孔と、
　前記バックパネルの背面に設けられており、前記バックパネルの前記背面に沿って中央から内外方向に移動可能な、２個以上の締結体と、
　全ての前記締結体を前記内外方向に同時に移動させる、移動機構と、
　を備えており、
　前記締結体は、前記第１孔から露出している前記第１ピンの先端部の凹部に嵌合可能な嵌合部を、外周縁に有しており、
　前記ロック機構は、前記移動機構によって前記締結体を外方向に移動させて、前記嵌合部を前記第１ピンの先端部の前記凹部に嵌合させることによって、前記フレーム体を前記バックパネルにロックするようになっている、
　ことを特徴とするワーク保持治具。
　前記締結体は、前記バックパネルの前記背面から突出した第２ピンが挿通した第１長孔を有しており、前記第２ピンに沿ってスライドすることによって前記内外方向に移動可能である、
　請求項１記載のワーク保持治具。
　前記移動機構は、前記バックパネルの前記背面の中央で回転する回転体を有しており、
　前記回転体は、前記締結体に形成されている第２長孔に嵌入している第３ピンを有しており、
　前記移動機構は、前記回転体を回転させて前記第３ピンを前記第２長孔内でスライドさせることによって、前記締結体を前記内外方向に移動させるようになっている、
　請求項１又は２に記載のワーク保持治具。
　前記第１ピンの前記凹部が細径部によって構成されており、
　前記嵌合部が前記細径部に外嵌する切欠き部である、
　請求項１～３のいずれか一つに記載のワーク保持治具。
　前記第１ピンの前記凹部が横向きに開いた横凹部であり、
　前記嵌合部が前記横凹部に嵌入可能な、前記締結体の前記外周縁である、
　請求項１～３のいずれか一つに記載のワーク保持治具。
　前記締結体は、前記バックパネルの前記背面において周方向に略均等に４個設けられている、
　請求項１～５のいずれか一つに記載のワーク保持治具。
　前記締結体は、周方向において、略等間隔に且つ平行に、３個以上の前記第１長孔を、有している、
　請求項２記載のワーク保持治具。
　表面処理の被処理物である板状ワークを保持するための、請求項１～７のいずれか一つに記載のワーク保持治具に対して、前記ワークを自動でロードアンロードするためのロードアンロード装置であって、
　ロックされた前記ワーク保持治具を収容する収容部と、
　前記収容部に収容された前記ワーク保持治具の前記フレーム体に対して前記バックパネルを着脱する着脱部と、
　前記収容部及び前記着脱部を、垂直状態と水平状態との間で回転変位させる、回転部と、
　を備えており、
　前記着脱部は、
　水平状態の前記ワーク保持治具の前記バックパネルを前記背面側から把持する、把持部と、
　前記移動機構を作動させて前記ロック機構をオンオフする切替部と、
　前記バックパネルを把持した前記把持部を上下動させる上下動部と、
　を備えており、
　前記切替部によって前記ロック機構をオフし、前記上下動部によって前記把持部を下降させることにより、前記バックパネルを前記フレーム体から分離して、前記バックパネルと前記フレーム体との間に、前記ワークをロードアンロードするためのスペースを作るようになっている、
　ことを特徴とするロードアンロード装置。
　請求項３記載のワーク保持治具に対して前記ワークをロードアンロードするようになっており、
　前記切替部は、２個以上の第４ピンを有しており、前記第４ピンを前記回転体の挿入穴に挿入することによって、前記回転体と係合して、前記回転体を回転できるようになっている、
　請求項８記載のロードアンロード装置。