WO2019059100A1 - 振動ユニット - Google Patents

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拓人 堀井
敦 江澤
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Definitions

  • the present disclosure relates to a vibratory unit.
  • Patent Document 1 discloses a vibration unit including a sheet-like piezoelectric element that detects pressure when an overlay is pressed with a finger and generates tactile vibration in the overlay.
  • the voltage value (for example, several tens to several hundreds volts) of the drive voltage applied in the drive circuit is larger than the voltage value (for example, several volts) of the electromotive force in the sensor circuit, and the high voltage current of the drive circuit It is necessary to avoid the situation of flowing into the sensor circuit.
  • a switching circuit for switching between the sensor circuit and the drive circuit or separately provide other protective circuits.
  • a control circuit for controlling the vibration unit Can be a contributing factor.
  • the present disclosure aims to provide a vibration unit in which the control circuit is simplified.
  • a vibration unit includes: a sheet-like first piezoelectric element; a sheet-like second piezoelectric element extending parallel to the first piezoelectric element; A vibration device having a diaphragm in which a first piezoelectric element is disposed and a second piezoelectric element is disposed on the other main surface, and a sensor circuit that detects an electromotive force generated in the first piezoelectric element; And a control unit having a drive circuit for applying a drive voltage to the second piezoelectric element when an electromotive force is detected in the sensor circuit, each of the first piezoelectric element and the second piezoelectric element being The piezoelectric body is sandwiched between the first external electrode and the second external electrode in the thickness direction of the diaphragm, and the sensor circuit has a first pole that is the first exterior of the first piezoelectric element.
  • the second electrode is electrically connected to the electrode and the second external electrode of the first piezoelectric element
  • the drive circuit is electrically connected
  • the vibration unit only a relatively small voltage is applied to the sensor circuit due to the electromotive force generated due to the deflection of the first piezoelectric element, and the drive circuit is applied to the second piezoelectric element. Only a relatively large drive voltage is added. Therefore, it is not necessary to separately provide a switching circuit or the like in the control unit that controls the vibration unit, and the control unit can be configured by a simple control circuit.
  • the diaphragm is made of a conductive material, and the second external electrode of the first piezoelectric element and the second of the second piezoelectric element located on the diaphragm side
  • the external electrode is electrically connected to the diaphragm, and the second pole of the sensor circuit and the second pole of the drive circuit are connected to the diaphragm.
  • the degree of freedom in design is improved with respect to the connection point of the second pole of the sensor circuit and the second pole of the drive circuit.
  • the vibration unit comprises a plate-like first case portion extending parallel to the diaphragm and a plate-like second case portion extending parallel to the first case portion.
  • the vibration device is further disposed on the second case portion side of the first case portion and supported by the second case portion, and the first external electrode of the first piezoelectric element is the first case portion Contact with the main surface on the side of the second case portion.
  • the drive circuit can expand and contract the second piezoelectric element to generate vibration in the diaphragm.
  • the outer shape of the second piezoelectric element is larger than the outer shape of the first piezoelectric element when viewed in the thickness direction of the diaphragm.
  • the amount of expansion and contraction of the second piezoelectric element when the drive voltage is applied by the drive circuit becomes larger.
  • the vibration amplitude of the diaphragm accompanying the expansion and contraction of the piezoelectric element can be further enhanced.
  • a vibration unit is provided in which the control circuit is simplified.
  • FIG. 1 is a schematic perspective view showing the back surface of the vibration unit according to the embodiment.
  • FIG. 2 is an exploded perspective view of the vibration unit shown in FIG.
  • FIG. 3 is a schematic perspective view showing the surface of the vibration unit shown in FIG.
  • FIG. 4 is a cross-sectional view taken along line IV-IV of the vibration unit of FIG.
  • FIG. 5 is a cross-sectional view of the vibration unit of FIG. 3 taken along line VV.
  • FIG. 6 is a diagram showing a specific configuration of the vibration device and an electrical connection between the vibration device and the control unit.
  • FIG. 7 is an enlarged view of an essential part of FIG.
  • FIG. 8 is a diagram showing a circuit configuration of a vibration unit according to the prior art.
  • the vibration unit 10 includes a plate-like first case member (first case portion) 20.
  • the first case member 20 is configured such that one main surface 20a can be touched by, for example, a human finger or the like.
  • a plurality of contact areas 22 are provided on one main surface 20 a of the first case member 20.
  • nine square contact regions 22 are arranged in a matrix on the main surface 20 a of the first case member 20.
  • the first case member 20 has a relatively low elastic modulus such that sufficient bending deformation occurs when contacting the contact area 22.
  • the first case member 20 can be made of, for example, a resin material such as polycarbonate.
  • one of the alignment directions of the contact areas 22 of the main surface 20a of the first case member 20 is referred to as X direction, the other as Y direction, and the thickness direction of the first case member 20 as Z direction. Name.
  • the vibration unit 10 includes a plate-like second case member (second case portion) 40.
  • the second case member 40 is spaced apart from the first case member 20 by a predetermined distance, and extends parallel to the first case member 20.
  • regions corresponding to the contact regions 22 of the first case member 20 are opened, and the opened portion is a through hole 42. That is, as in the contact region 22, each through hole 42 has a square shape as viewed from the Z direction.
  • the second case member 40 can be made of, for example, a resin material such as acrylic.
  • a plurality of vibration devices 36 are disposed on the other main surface 20 b of the first case member 20 between the first case member 20 and the second case member 40.
  • nine vibration devices 36 are disposed at positions corresponding to the contact area 22 and the through holes 42.
  • Each vibrating device 36 is configured of a pair of piezoelectric elements 32A and 32B and a vibrating plate 34.
  • the diaphragm 34 is a rectangular plate-like member having a long side and a short side.
  • the diaphragm 34 is made of a conductive material, and can be made of, for example, a nickel alloy or stainless steel.
  • the diaphragm 34 can be composed of a single layer or a plurality of layers. As shown in FIG. 2, the plurality of diaphragms 34 are arranged such that the long side direction is the same, that is, the X direction.
  • Each diaphragm 34 is designed such that its short side length d1 is shorter than the length L of one side of the square of the through hole 42, as shown in FIG. 4, and as shown in FIG.
  • the long side length d2 is designed to be longer than the length L of one side of the through hole 42.
  • Each diaphragm 34 faces the edge 42 a of the through hole 42 only at both short sides of the diaphragm 34.
  • Each of the pair of piezoelectric elements 32A and 32B is in the form of a sheet, and is disposed so as to sandwich the diaphragm 34.
  • one piezoelectric element hereinafter also referred to as a first piezoelectric element
  • the other piezoelectric element hereinafter a second piezoelectric element (Also referred to as “.”) 32B is disposed on the other main surface 34b of the diaphragm 34.
  • Each of the pair of piezoelectric elements 32A, 32 is arranged at the center position of the diaphragm 34, that is, at the middle position in the long side direction and the short side direction of the diaphragm 34.
  • each piezoelectric element 32A, 32B sandwiches the plate-like piezoelectric member 37 between the first external electrode 38a and the second external electrode 38b in the thickness direction (Z direction) of the diaphragm 34.
  • the piezoelectric body 37 may have a single-layer structure of the piezoelectric layer, or may have a multilayer structure in which the piezoelectric layer and the internal electrode layer are alternately stacked in the Z direction.
  • the second external electrodes 38b of the piezoelectric elements 32A and 32B are located on the diaphragm 34 side, and are electrically and physically connected to the diaphragm 34 via the conductive layer 39.
  • the first external electrode 38a of the first piezoelectric element 32A is in direct contact with the main surface 20b on the second case member side of the first case member 20 on the entire surface.
  • the first piezoelectric element 32 ⁇ / b> A is electrically connected to the sensor circuit 61 included in the control unit 60.
  • the first pole 62 of the sensor circuit 61 is electrically connected to the first external electrode 38a of the first piezoelectric element 32A
  • the second pole 63 of the sensor circuit 61 is connected to the diaphragm 34 It is connected and electrically connected to the second external electrode 38b of the first piezoelectric element 32A through the diaphragm 34.
  • a potential difference is generated between the pair of external electrodes 38a and 38b according to the electromotive force when displacement such as bending occurs in the piezoelectric body 37.
  • the sensor circuit 61 of the control unit 60 is configured to be able to detect a potential difference generated between the external electrodes 38a and 38b due to the electromotive force of the first piezoelectric element 32A described above.
  • the second piezoelectric element 32 ⁇ / b> B is electrically connected to the drive circuit 64 included in the control unit 60. Specifically, the first pole 65 of the drive circuit 64 is electrically connected to the first external electrode 38 a of the second piezoelectric element 32 B, and the second pole 66 of the drive circuit 64 is connected to the diaphragm 34. It is connected and electrically connected to the second external electrode 38 b of the second piezoelectric element 32 B via the diaphragm 34.
  • the second piezoelectric element 32B expands and contracts in the surface direction (direction parallel to the XY plane) when a predetermined voltage is applied between the pair of external electrodes 38a and 38b.
  • the drive circuit 64 of the control unit 60 applies a drive voltage between the external electrodes 38a and 38b of the second piezoelectric element 32B to expand and contract the second piezoelectric element 32B. It is configured to be able to
  • the diaphragm 34 bonded to the second piezoelectric element 32B bends in the Z direction.
  • the diaphragm 34 since the diaphragm 34 has a rectangular shape and the long side length d2 is longer than the short side length d1, the diaphragm 34 is bent such that the long side is bent more than the short side.
  • the drive circuit 64 periodically applies a voltage between the external electrodes 38a and 38b of the second piezoelectric element 32B, expansion and contraction in a direction parallel to the XY plane in the piezoelectric body 37 of the second piezoelectric element 32B is repeated. Accordingly, the diaphragm 34 is repeatedly bent in the Z direction, and as a result, vibration in the Z direction occurs in the vibrating device 36.
  • the diaphragm 34 since the diaphragm 34 has a rectangular shape and the long side length d2 is longer than the short side length d1, a vibration with which a large amplitude can be obtained in the long side direction (X direction) occurs.
  • the control unit 60 can be configured by a circuit including a CPU and various electric elements.
  • the bonding unit 50 is made of, for example, a double-sided tape or a bonding material such as an ultraviolet curing adhesive. Adhesive portion 50 may be formed, for example, around through hole 42. The bonding portion 50 is formed apart from the diaphragm 34 so as not to inhibit the vibration of the diaphragm 34 of the vibrating device 36.
  • the control unit 60 uses the drive circuit 64 to drive the vibration device 36 corresponding to the touched contact area 22.
  • a periodic drive voltage for example, a drive voltage having a waveform such as a rectangular wave or a triangular wave
  • the drive circuit 64 is applied from the drive circuit 64 to the vibration device 36.
  • vibrations in the Z direction occur in the diaphragm 34 of the vibrating device 36, and the contact region 22 of the first case member 20 corresponding to the vibrating device 36 vibrating along with it also vibrates in the Z direction. That is, only the contact area 22 in which the bending has occurred vibrates selectively. At this time, the contact area 22 is vibrated to such an extent that it can be touched with a finger or the like.
  • the control unit 60 may detect the vibration of the diaphragm 34 when the drive circuit 64 drives the second piezoelectric element 32B by the first piezoelectric element 32A and the sensor circuit 61. In this case, when the drive circuit 64 drives the second piezoelectric element 32B, the control unit 60 can confirm (self-check) whether the diaphragm 34 is actually vibrating. Such self-checking can detect a failure or malfunction of the drive circuit 64 and the second piezoelectric element 32B.
  • the first case member 20 may be designed to have a relatively low modulus of elasticity so that a sufficient amount of deflection occurs in the contact area 22 and the vibrations of the vibrating device 36 are efficiently transmitted.
  • the second case member 40 may be designed to have a relatively high modulus of elasticity to support the vibrating device 36.
  • the elastic coefficient of the first case member 20 is designed to be lower than the elastic coefficient of the second case member 40.
  • each of the first piezoelectric element 32A and the second piezoelectric element 32B sandwiches the piezoelectric body 37 with the first external electrode 38a and the second external electrode 38b in the Z direction.
  • the first pole 62 is electrically connected to the first external electrode 38a of the first piezoelectric element 32A
  • the second pole 63 is the first
  • the drive circuit 64 is electrically connected to the second external electrode 38b of the piezoelectric element 32A via the diaphragm 34
  • the drive circuit 64 is electrically connected to the first external electrode 38a of the second piezoelectric element 32B.
  • the second pole 66 is electrically connected to the second external electrode 38b of the second piezoelectric element 32B via the diaphragm 34.
  • the vibration unit 10 only a relatively small voltage associated with the electromotive force generated due to the deflection of the first piezoelectric element 32A is applied to the sensor circuit 61. Further, only a relatively large drive voltage applied to the second piezoelectric element 32B is added to the drive circuit 64. Therefore, it is not necessary to separately provide a switching circuit or the like in the control unit 60 that controls the vibration unit 10, and the control unit 60 can be configured by a simple control circuit.
  • the second pole 63 of the sensor circuit 61 and the second pole 66 of the drive circuit 64 are connected to the second outer electrode 38b of the first piezoelectric element 32A and the second outer electrode 38b of the second piezoelectric element 32B. It is also good. However, as shown in FIG. 6, when the exposed area of the second external electrode 38b is small, the connection may be difficult. In that case, it is conceivable to use the diaphragm 34 capable of securing a relatively large exposed area as a connection point.
  • the diaphragm 34 is made of a material having conductivity, and conduction between the diaphragm 34 and the second external electrode 38 b is used to use the diaphragm 34 as a connection point with the second electrodes 63 and 66. In this case, the degree of freedom in design of connection points is improved.
  • the vibration unit 10 can be designed such that the outer shape of the second piezoelectric element 32B is larger than the outer shape of the first piezoelectric element 32A when viewed in the Z direction.
  • the amount of expansion and contraction of the second piezoelectric element 32B when the drive voltage is applied by the drive circuit 64 is large as compared with the case where the outer shape of the second piezoelectric element 32B is equal to the outer shape of the first piezoelectric element 32A.
  • the through hole provided in the second case member may be a recessed portion that is recessed to the side away from the diaphragm as long as a space that allows bending of the diaphragm is secured.
  • vibration unit 20 first case member 32A first piezoelectric element 32B second piezoelectric element 37 piezoelectric body 38a first external electrode 38b second external electrode 34 diaphragm 36 vibration device 40 second case member 60 control unit 61 Sensor circuit 64 drive circuit

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Abstract

振動ユニット１０では、制御部６０のセンサ回路６１は、第１極６２が第１の圧電素子３２Ａの第１の外部電極３８ａと電気的に接続され、第２極６３が第１の圧電素子３２Ａの第２の外部電極３８ｂと電気的に接続されており、駆動回路６４は、第１極６５が第２の圧電素子３２Ｂの第１の外部電極３８ａと電気的に接続され、第２極６６が第２の圧電素子３２Ｂの第２の外部電極３８ｂと電気的に接続されている。センサ回路６１には、第１の圧電素子３２Ａの撓みに起因して生じる起電力に伴う比較的小さな電圧のみが付加される。また、駆動回路６４には、第２の圧電素子３２Ｂに対して印加される比較的大きな駆動電圧のみが付加される。そのため、制御部６０に、スイッチング回路等を別途に設ける必要がなく、制御部６０を簡略な制御回路で構成し得る。

Description

振動ユニット
　本開示は、振動ユニットに関する。
　従来より、圧電素子を繰り返し伸縮させて、その伸縮を振動に変換する技術が知られている。下記引用文献１には、オーバーレイを指で押下した際の圧力を検知するとともに、オーバーレイに触知可能な振動を生じさせるシート状の圧電素子を備えた振動ユニットが開示されている。
特表２０１５－５２７７２４号公報 欧州特許出願公開第３０１８８２５号明細書
　上述した従来技術に係る振動ユニットにおいては、上記の機能を実現するためには、圧電素子の撓みに起因して生じる起電力を検出するセンサ回路と、圧電素子に対して所定の駆動電圧を印加する駆動回路とが必要である。
　ただし、センサ回路における起電力の電圧値（たとえば数ボルト）に比べて、駆動回路において印加される駆動電圧の電圧値（たとえば数十～数百ボルト）が大きく、駆動回路の高電圧の電流がセンサ回路へ流れ込む事態を回避する必要がある。そのためには、図８に示すように、センサ回路と駆動回路とを切り替えるスイッチング回路を別途設けたり、その他の保護回路を別途設けたりする必要があり、この場合には振動ユニットを制御する制御回路が複雑化する一因となり得る。
　本開示は、制御回路の簡略化が図られた振動ユニットを提供することを目的とする。
　本開示の一形態に係る振動ユニットは、シート状の第１の圧電素子と、該第１の圧電素子に対して平行に延在するシート状の第２の圧電素子と、一方の主面に第１の圧電素子が配置されるとともに他方の主面に第２の圧電素子が配置される振動板とを有する振動デバイスと、第１の圧電素子に生じた起電力を検出するセンサ回路と、該センサ回路において起電力を検出したときに第２の圧電素子に対して駆動電圧を印加する駆動回路とを有する制御部とを備え、第１の圧電素子および第２の圧電素子のそれぞれが、振動板の厚さ方向において第１の外部電極と第２の外部電極とで圧電体を挟んだ構成を有しており、センサ回路は、第１極が第１の圧電素子の第１の外部電極と電気的に接続され、第２極が第１の圧電素子の第２の外部電極と電気的に接続されており、駆動回路は、第１極が第２の圧電素子の第１の外部電極と電気的に接続され、第２極が第２の圧電素子の第２の外部電極と電気的に接続されている。
　上記振動ユニットにおいては、センサ回路には、第１の圧電素子の撓みに起因して生じる起電力に伴う比較的小さな電圧のみ付加され、駆動回路には、第２の圧電素子に対して印加される比較的大きな駆動電圧のみが付加される。そのため、振動ユニットを制御する制御部に、スイッチング回路等を別途に設ける必要がなく、制御部を簡略な制御回路で構成することができる。
　他の形態に係る振動ユニットは、振動板が導電性を有する材料で構成されており、振動板側に位置する第１の圧電素子の第２の外部電極および第２の圧電素子の第２の外部電極が、振動板と電気的に接続されており、センサ回路の第２極および駆動回路の第２極が、振動板に接続されている。この場合、センサ回路の第２極および駆動回路の第２極の接続箇所に関し、設計自由度が向上する。
　他の形態に係る振動ユニットは、振動板に対して平行に延在する板状の第１ケース部と、該第１ケース部に対して平行に延在する板状の第２ケース部とをさらに備え、振動デバイスが、第１ケース部の第２ケース部側に配置されるとともに、第２ケース部により支持されており、第１の圧電素子の第１の外部電極が、第１ケース部の第２ケース部側の主面に接している。この場合、第１ケース部に対する接触を第１の圧電素子とセンサ回路とで検出したときに、駆動回路により第２の圧電素子を伸縮させて振動板に振動を生じさせることができる。
　他の形態に係る振動ユニットは、振動板の厚さ方向から見て、第２の圧電素子の外形が、第１の圧電素子の外形よりも大きい。この場合、第２の圧電素子の外形が第１の圧電素子の外形と等しい場合に比べて、駆動回路により駆動電圧が印加された際の第２の圧電素子の伸縮量が大きくなり、第２の圧電素子の伸縮に伴う振動板の振動の振幅をより高めることができる。
　本開示によれば、制御回路の簡略化が図られた振動ユニットが提供される。
図１は、実施形態に係る振動ユニットの裏面を示した概略斜視図である。 図２は、図１に示した振動ユニットの分解斜視図である。 図３は、図１の示した振動ユニットの表面を示した概略斜視図である。 図４は、図３の振動ユニットのＩＶ－ＩＶ線断面図である。 図５は、図３の振動ユニットのＶ－Ｖ線断面図である。 図６は、振動デバイスの具体的構成および振動デバイスと制御部との電気的接続を示した図である。 図７は、図５の要部拡大図である。 図８は、従来技術に係る振動ユニットの回路構成を示した図である。
　以下、本開示の実施形態について、添付図面を参照しつつ詳細に説明する。なお、同一又は同等の要素については同一の符号を付し、説明が重複する場合にはその説明を省略する。
　まず、実施形態に係る振動ユニット１０の全体構成について、図１～３を参照しつつ説明する。
　振動ユニット１０は、板状の第１ケース部材（第１ケース部）２０を備えている。第１ケース部材２０は、一方の主面２０ａがたとえば人間の指等で接触可能な状態で構成されている。第１ケース部材２０の一方の主面２０ａには、図３に示すように、複数の接触領域２２が設けられている。本実施形態では、第１ケース部材２０の主面２０ａに、正方形状の９つの接触領域２２がマトリクス状に配置されている。第１ケース部材２０は、接触領域２２に接触したときに十分な撓み変形が生じる程度に、比較的低い弾性係数を有している。第１ケース部材２０は、たとえばポリカーボネート等の樹脂材料で構成することができる。
　以下、説明の便宜上、第１ケース部材２０の主面２０ａの接触領域２２の並び方向のうちの一方をＸ方向、他方をＹ方向と称し、第１ケース部材２０の厚さ方向をＺ方向と称す。
　振動ユニット１０は、板状の第２ケース部材（第２ケース部）４０を備えている。第２ケース部材４０は、第１ケース部材２０と所定距離だけ離間して、第１ケース部材２０に対して平行に延在している。第２ケース部材４０には、第１ケース部材２０の各接触領域２２に対応する領域が開口されており、開口された部分が貫通孔４２となっている。すなわち、各貫通孔４２は、接触領域２２同様、Ｚ方向から見て正方形状を呈する。第２ケース部材４０は、たとえばアクリル等の樹脂材料で構成することができる。
　図４、５にしめすように、第１ケース部材２０と第２ケース部材４０との間において、第１ケース部材２０の他方の主面２０ｂには、複数の振動デバイス３６が配置されている。本実施形態では、上記接触領域２２および貫通孔４２に対応する位置に、９つの振動デバイス３６が配置されている。各振動デバイス３６は、一対の圧電素子３２Ａ、３２Ｂと振動板３４とで構成されている。
　振動板３４は、長辺および短辺を有する長方形の板状部材である。振動板３４は、導電性を有する材料で構成されており、たとえばニッケル合金やステンレス鋼で構成することができる。振動板３４は、単層または複数層で構成することができる。複数の振動板３４は、図２に示すように、いずれも長辺方向が同一方向、すなわちＸ方向を向くように配置されている。各振動板３４は、図４に示すように、その短辺長さｄ１が貫通孔４２の正方形の一辺の長さＬより短くなるように設計されており、かつ、図５に示すように、その長辺長さｄ２が貫通孔４２の正方形の一辺の長さＬより長くなるように設計されている。各振動板３４は、振動板３４の両方の短辺部分のみにおいて貫通孔４２の縁部４２ａと対面する。
　一対の圧電素子３２Ａ、３２Ｂはいずれもシート状であり、振動板３４を挟むように配置されている。具体的には、一方の圧電素子（以下、第１の圧電素子とも称す。）３２Ａが振動板３４の一方の主面３４ａに配置されており、他方の圧電素子（以下、第２の圧電素子とも称す。）３２Ｂが振動板３４の他方の主面３４ｂに配置されている。一対の圧電素子３２Ａ、３２はいずれも、振動板３４の中央位置、すなわち振動板３４の長辺方向および短辺方向において中間の位置に配置されている。
　各圧電素子３２Ａ、３２Ｂは、図６に示すように、振動板３４の厚さ方向（Ｚ方向）において板状の圧電体３７を第１の外部電極３８ａと第２の外部電極３８ｂとで挟んだ構成を有している。圧電体３７は、圧電体層の単層構造とすることができ、圧電体層と内部電極層とがＺ方向において交互に積層された複数層構造とすることもできる。圧電素子３２Ａ、３２Ｂの第２の外部電極３８ｂそれぞれは、振動板３４側に位置しており、導電層３９を介して振動板３４と電気的かつ物理的に接続されている。第１の圧電素子３２Ａの第１の外部電極３８ａは、全面に第１ケース部材２０の第２ケース部材側の主面２０ｂに直接接している。
　第１の圧電素子３２Ａは、制御部６０に含まれるセンサ回路６１と電気的に接続されている。具体的には、センサ回路６１の第１極６２が第１の圧電素子３２Ａの第１の外部電極３８ａと電気的に接続されており、センサ回路６１の第２極６３は、振動板３４と接続され、振動板３４を介して第１の圧電素子３２Ａの第２の外部電極３８ｂと電気的に接続されている。第１の圧電素子３２Ａでは、圧電体３７に屈曲等の変位が生じたときの起電力に伴って一対の外部電極３８ａ、３８ｂ間に電位差が生じる。制御部６０のセンサ回路６１は、上述した第１の圧電素子３２Ａの起電力に起因して外部電極３８ａ、３８ｂ間に生じる電位差を検出できるように構成されている。
　第２の圧電素子３２Ｂは、制御部６０に含まれる駆動回路６４と電気的に接続されている。具体的には、駆動回路６４の第１極６５が第２の圧電素子３２Ｂの第１の外部電極３８ａと電気的に接続されており、駆動回路６４の第２極６６は、振動板３４と接続され、振動板３４を介して第２の圧電素子３２Ｂの第２の外部電極３８ｂと電気的に接続されている。
　第２の圧電素子３２Ｂは、一対の外部電極３８ａ、３８ｂ間に所定の電圧を印加したときに面方向（Ｘ－Ｙ面に平行な方向）に伸縮する。制御部６０の駆動回路６４は、センサ回路６１において上記起電力を検出したときに、第２の圧電素子３２Ｂの外部電極３８ａ、３８ｂ間に駆動電圧を印加して第２の圧電素子３２Ｂを伸縮させることができるように構成されている。第２の圧電素子３２ＢがＸ－Ｙ平面に平行な方向に伸縮すると、第２の圧電素子３２Ｂに接着された振動板３４がＺ方向に屈曲する。本実施形態では、振動板３４が長方形状であり、短辺長さｄ１よりも長辺長さｄ２が長いため、振動板３４には短辺よりも長辺が大きく曲がるような屈曲が生じる。
　駆動回路６４が、第２の圧電素子３２Ｂの外部電極３８ａ、３８ｂ間に周期的に電圧を印加すると、第２の圧電素子３２Ｂの圧電体３７におけるＸ－Ｙ平面に平行な方向の伸縮が繰り返され、それに伴って振動板３４がＺ方向に繰り返し屈曲され、その結果、振動デバイス３６にＺ方向の振動が生じる。本実施形態では、振動板３４が長方形状であり、短辺長さｄ１よりも長辺長さｄ２が長いため、長辺方向（Ｘ方向）において大きな振幅が得られる振動が生じる。
　なお、制御部６０は、ＣＰＵや各種電気素子を含む回路で構成することができる。
　また、第１ケース部材２０と第２ケース部材４０は、所定距離だけ離間されて、接着部５０により接着されている。接着部５０は、たとえば両面テープや、紫外線硬化型接着剤等の接着材料で構成されている。接着部５０は、たとえば貫通孔４２周りに形成され得る。接着部５０は、振動デバイス３６の振動板３４の振動を阻害しないように、振動板３４とは離間して形成される。
　続いて、上述した振動ユニット１０の動作について説明する。
　図７に示すように、振動ユニット１０の第１ケース部材２０のいずれかの接触領域２２が、たとえば指で押下される等して第２ケース部材４０側に撓むと、その撓みに応じて第１ケース部材２０の主面２０ｂに接する第１の圧電素子３２Ａが撓む。それにより、第１の圧電素子３２Ａの圧電体３７に起電力が生じて、一対の外部電極３８ａ、３８ｂ間に電位差が生じる。制御部６０のセンサ回路６１は、第１の圧電素子３２Ａの一対の外部電極３８ａ、３８ｂ間に生じた電位差を検知することで、特定の接触領域２２が接触されたことを検出する。
　制御部６０は、センサ回路６１が接触領域２２における接触を検出すると、駆動回路６４を用いて、接触された接触領域２２に対応する振動デバイス３６を駆動させる。具体的には、駆動回路６４から振動デバイス３６に対して周期的な駆動電圧（たとえば矩形波や三角波等の波形の駆動電圧）を印加する。すると、上述したように振動デバイス３６の振動板３４にＺ方向の振動が生じ、それに伴って振動する振動デバイス３６に対応する第１ケース部材２０の接触領域２２もＺ方向に振動する。すなわち、撓みが生じた接触領域２２のみが選択的に振動する。このとき、接触領域２２には指等で触知され得る程度の振動が生じる。
　なお、制御部６０は、駆動回路６４が第２の圧電素子３２Ｂを駆動したときの振動板３４の振動を、第１の圧電素子３２Ａとセンサ回路６１とにより検出してもよい。この場合、制御部６０は、駆動回路６４が第２の圧電素子３２Ｂを駆動したときに、振動板３４が実際に振動しているかどうかを確認（セルフチェック）することができる。このようなセルフチェックにより、駆動回路６４および第２の圧電素子３２Ｂの故障や動作不良を検出することができる。
　第１ケース部材２０は、接触領域２２において十分な撓み量が生じるように、また、振動デバイス３６の振動が効率良く伝播されるように、比較的低い弾性係数を有するように設計され得る。一方、第２ケース部材４０は、振動デバイス３６を支持するために、比較的高い弾性係数を有するように設計され得る。本実施形態では、第１ケース部材２０の弾性係数が、第２ケース部材４０の弾性係数よりも低くなるように設計されている。
　上述したとおり、振動ユニット１０においては、第１の圧電素子３２Ａおよび第２の圧電素子３２Ｂのそれぞれが、Ｚ方向において第１の外部電極３８ａと第２の外部電極３８ｂとで圧電体３７を挟んだ構成を有しており、制御部６０のセンサ回路６１は、第１極６２が第１の圧電素子３２Ａの第１の外部電極３８ａと電気的に接続され、第２極６３が第１の圧電素子３２Ａの第２の外部電極３８ｂと振動板３４を介して電気的に接続されており、駆動回路６４は、第１極６５が第２の圧電素子３２Ｂの第１の外部電極３８ａと電気的に接続され、第２極６６が第２の圧電素子３２Ｂの第２の外部電極３８ｂと振動板３４を介して電気的に接続されている。
　したがって、振動ユニット１０では、センサ回路６１に、第１の圧電素子３２Ａの撓みに起因して生じる起電力に伴う比較的小さな電圧のみが付加される。また、駆動回路６４に、第２の圧電素子３２Ｂに対して印加される比較的大きな駆動電圧のみが付加される。そのため、振動ユニット１０を制御する制御部６０に、スイッチング回路等を別途に設ける必要がなく、制御部６０を簡略な制御回路で構成することができる。
　センサ回路６１の第２極６３および駆動回路６４の第２極６６は、第１の圧電素子３２Ａの第２の外部電極３８ｂおよび第２の圧電素子３２Ｂの第２の外部電極３８ｂに接続してもよい。ただし、図６に示すように、第２の外部電極３８ｂの露出面積が小さい場合には接続が困難である場合があり得る。その場合、比較的大きな露出面積が確保され得る振動板３４を接続箇所として利用することが考えられる。すなわち、振動板３４を導電性を有する材料で構成するとともに、振動板３４と第２の外部電極３８ｂとの導通を図ることで、振動板３４を第２極６３、６６との接続箇所として利用することができ、この場合には接続箇所の設計自由度が向上する。
　なお、振動ユニット１０は、Ｚ方向から見て、第２の圧電素子３２Ｂの外形が、第１の圧電素子３２Ａの外形よりも大きくなるように設計することができる。この場合、第２の圧電素子３２Ｂの外形が第１の圧電素子３２Ａの外形と等しい場合に比べて、駆動回路６４により駆動電圧が印加された際の第２の圧電素子３２Ｂの伸縮量が大きくなる。この場合、第２の圧電素子３２Ｂの伸縮に伴う振動板３４の振動の振幅をより高めることができる。
　以上、本開示の一実施形態について説明したが、本開示は上記実施形態に限定されず、各請求項に記載した要旨を変更しない範囲で変形し、又は他に適用してもよい。
　上述した実施形態では、第１ケース部材と第２ケース部材とが別体で構成された態様を示しているが、第１ケース部材と第２ケース部材とが一体的に構成された態様であってもよい。
　また、第２ケース部材に設けられた貫通孔は、振動板の屈曲を許容する空間が確保される構成であれば、振動板から離れる側に窪んだ窪み部であってもよい。
　１０　振動ユニット
　２０　第１ケース部材
　３２Ａ　第１の圧電素子
　３２Ｂ　第２の圧電素子
　３７　圧電体
　３８ａ　第１の外部電極
　３８ｂ　第２の外部電極
　３４　振動板
　３６　振動デバイス
　４０　第２ケース部材
　６０　制御部
　６１　センサ回路
　６４　駆動回路

Claims (4)

  1. 　シート状の第１の圧電素子と、該第１の圧電素子に対して平行に延在するシート状の第２の圧電素子と、一方の主面に前記第１の圧電素子が配置されるとともに他方の主面に前記第２の圧電素子が配置される振動板とを有する振動デバイスと、
    　前記第１の圧電素子に生じた起電力を検出するセンサ回路と、該センサ回路において前記起電力を検出したときに前記第２の圧電素子に対して駆動電圧を印加する駆動回路とを有する制御部と
    を備え、
    　前記第１の圧電素子および前記第２の圧電素子のそれぞれが、前記振動板の厚さ方向において第１の外部電極と第２の外部電極とで圧電体を挟んだ構成を有しており、
    　前記センサ回路は、第１極が前記第１の圧電素子の前記第１の外部電極と電気的に接続され、第２極が前記第１の圧電素子の前記第２の外部電極と電気的に接続されており、
    　前記駆動回路は、第１極が前記第２の圧電素子の前記第１の外部電極と電気的に接続され、第２極が前記第２の圧電素子の前記第２の外部電極と電気的に接続されている、振動ユニット。
  2. 　前記振動板が導電性を有する材料で構成されており、
    　前記振動板側に位置する前記第１の圧電素子の前記第２の外部電極および前記第２の圧電素子の前記第２の外部電極が、前記振動板と電気的に接続されており、
    　前記センサ回路の前記第２極および前記駆動回路の前記第２極が、前記振動板に接続されている、請求項１に記載の振動ユニット。
  3. 　前記振動板に対して平行に延在する板状の第１ケース部と、該第１ケース部に対して平行に延在する板状の第２ケース部とをさらに備え、
    　前記振動デバイスが、前記第１ケース部の第２ケース部側に配置されるとともに、前記第２ケース部により支持されており、
    　前記第１の圧電素子の前記第１の外部電極が、前記第１ケース部の前記第２ケース部側の主面に接している、請求項１または２に記載の振動ユニット。
  4. 　前記振動板の厚さ方向から見て、前記第２の圧電素子の外形が、前記第１の圧電素子の外形よりも大きい、請求項３に記載の振動ユニット。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2021205748A1 (ja) * 2020-04-09 2021-10-14 アルプスアルパイン株式会社 入力装置
WO2023228703A1 (ja) * 2022-05-24 2023-11-30 株式会社村田製作所 振動装置及び電子機器

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4377434B2 (ja) * 2005-04-06 2009-12-02 トヨタ自動車株式会社 スタビライザブッシュ
JP7067530B2 (ja) 2019-05-24 2022-05-16 株式会社村田製作所 振動装置
JP7379923B2 (ja) * 2019-08-09 2023-11-15 Tdk株式会社 振動ユニット
JP7331549B2 (ja) * 2019-08-09 2023-08-23 Tdk株式会社 振動ユニットおよびその駆動方法

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02137975U (ja) * 1989-04-17 1990-11-16
JPH04242110A (ja) * 1991-01-16 1992-08-28 Hitachi Metals Ltd 感圧センサーシート
JP2004113391A (ja) * 2002-09-25 2004-04-15 Olympus Corp 超音波診断装置
JP2005339298A (ja) * 2004-05-28 2005-12-08 Sony Corp 入力装置および電子機器
JP2006165318A (ja) * 2004-12-08 2006-06-22 Sony Corp 圧電体支持構造、圧電体取付方法、触覚機能付きの入力装置及び電子機器
JP2006253416A (ja) * 2005-03-10 2006-09-21 National Institute Of Advanced Industrial & Technology スイッチング素子とスイッチング素子を用いた競泳用タッチ板
JP2014512879A (ja) * 2011-02-18 2014-05-29 フレゼニウス メディカル ケア ドイッチェランド ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング タッチスクリーンを有する技術医用装置及び方法

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002031574A (ja) 2000-07-17 2002-01-31 Sharp Corp 触覚センサ
JP2006048302A (ja) 2004-08-03 2006-02-16 Sony Corp 圧電複合装置、その製造方法、その取扱方法、その制御方法、入出力装置及び電子機器
JP3928053B2 (ja) 2004-09-13 2007-06-13 国立大学法人名古屋大学 センシング装置
JP4543863B2 (ja) * 2004-10-05 2010-09-15 ソニー株式会社 触覚機能付きの入出力装置及び電子機器
EP2202619A1 (en) 2008-12-23 2010-06-30 Research In Motion Limited Portable electronic device including tactile touch-sensitive input device and method of controlling same
KR20120098725A (ko) * 2009-10-19 2012-09-05 바이엘 머티리얼사이언스 아게 햅틱 피드백을 위한 굴곡 조립체 및 고정장치
JP2011175364A (ja) 2010-02-23 2011-09-08 Kyocera Corp タッチパネル装置の駆動方法
EP2662909A1 (en) 2012-05-08 2013-11-13 Aito B.V. A piezoelectric device
JP6398454B2 (ja) * 2014-08-13 2018-10-03 セイコーエプソン株式会社 圧電駆動装置、ロボット、及び、それらの駆動方法
EP3018825A1 (en) * 2014-11-10 2016-05-11 Aito Interactive Oy Piezoelectric sensor, apparatus and method for simultaneously generating a tactile signal and an acoustic signal

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02137975U (ja) * 1989-04-17 1990-11-16
JPH04242110A (ja) * 1991-01-16 1992-08-28 Hitachi Metals Ltd 感圧センサーシート
JP2004113391A (ja) * 2002-09-25 2004-04-15 Olympus Corp 超音波診断装置
JP2005339298A (ja) * 2004-05-28 2005-12-08 Sony Corp 入力装置および電子機器
JP2006165318A (ja) * 2004-12-08 2006-06-22 Sony Corp 圧電体支持構造、圧電体取付方法、触覚機能付きの入力装置及び電子機器
JP2006253416A (ja) * 2005-03-10 2006-09-21 National Institute Of Advanced Industrial & Technology スイッチング素子とスイッチング素子を用いた競泳用タッチ板
JP2014512879A (ja) * 2011-02-18 2014-05-29 フレゼニウス メディカル ケア ドイッチェランド ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング タッチスクリーンを有する技術医用装置及び方法

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2021205748A1 (ja) * 2020-04-09 2021-10-14 アルプスアルパイン株式会社 入力装置
WO2023228703A1 (ja) * 2022-05-24 2023-11-30 株式会社村田製作所 振動装置及び電子機器

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