WO2019230248A1 - 振動ユニット、駆動装置及び駆動方法 - Google Patents

振動ユニット、駆動装置及び駆動方法 Download PDF

Info

Publication number
WO2019230248A1
WO2019230248A1 PCT/JP2019/016861 JP2019016861W WO2019230248A1 WO 2019230248 A1 WO2019230248 A1 WO 2019230248A1 JP 2019016861 W JP2019016861 W JP 2019016861W WO 2019230248 A1 WO2019230248 A1 WO 2019230248A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
vibration
region
case member
pair
vibration device
Prior art date
Application number
PCT/JP2019/016861
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
拓人 堀井
Original Assignee
Tdk株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from JP2018180633A external-priority patent/JP7077898B2/ja
Application filed by Tdk株式会社 filed Critical Tdk株式会社
Publication of WO2019230248A1 publication Critical patent/WO2019230248A1/ja

Links

Images

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B06GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS IN GENERAL
    • B06BMETHODS OR APPARATUS FOR GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS OF INFRASONIC, SONIC, OR ULTRASONIC FREQUENCY, e.g. FOR PERFORMING MECHANICAL WORK IN GENERAL
    • B06B1/00Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency
    • B06B1/02Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy
    • B06B1/04Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with electromagnetism
    • GPHYSICS
    • G06COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06FELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
    • G06F3/00Input arrangements for transferring data to be processed into a form capable of being handled by the computer; Output arrangements for transferring data from processing unit to output unit, e.g. interface arrangements
    • G06F3/01Input arrangements or combined input and output arrangements for interaction between user and computer
    • GPHYSICS
    • G06COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06FELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
    • G06F3/00Input arrangements for transferring data to be processed into a form capable of being handled by the computer; Output arrangements for transferring data from processing unit to output unit, e.g. interface arrangements
    • G06F3/01Input arrangements or combined input and output arrangements for interaction between user and computer
    • G06F3/03Arrangements for converting the position or the displacement of a member into a coded form
    • G06F3/041Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10NELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/01Manufacture or treatment
    • H10N30/07Forming of piezoelectric or electrostrictive parts or bodies on an electrical element or another base
    • H10N30/072Forming of piezoelectric or electrostrictive parts or bodies on an electrical element or another base by laminating or bonding of piezoelectric or electrostrictive bodies
    • H10N30/073Forming of piezoelectric or electrostrictive parts or bodies on an electrical element or another base by laminating or bonding of piezoelectric or electrostrictive bodies by fusion of metals or by adhesives
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10NELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/20Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10NELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/80Constructional details
    • H10N30/88Mounts; Supports; Enclosures; Casings

Definitions

  • the piezoelectric element when the operation plate is pressed from the outside by the user, the piezoelectric element may be bent and deformed together with the operation plate, and the piezoelectric element may be damaged.
  • the vibration unit includes a vibration device and a case.
  • the vibration device includes a piezoelectric element and a diaphragm to which the piezoelectric element is bonded.
  • the case houses the vibration device.
  • the case has a first case member and a second case member.
  • the first case member transmits the vibration of the vibration device.
  • the second case member faces the first case member in the thickness direction of the diaphragm.
  • the vibration device has a pair of fixed regions and a connection region.
  • the pair of fixing regions are positioned at a pair of ends in the crossing direction that intersects the thickness direction, and are supported and fixed to the second case member.
  • the connection region is located between the pair of end portions and is connected to the first case member.
  • the connection region is spaced from the maximum vibration region of the vibration device.
  • connection region may be biased toward the first case member. In this case, the vibration of the vibration device is reliably transmitted to the first case member.
  • the vibration device may have a pair of connection regions.
  • One connection region may be located between the one fixed region and the maximum vibration region in the crossing direction.
  • the other connection region may be located between the other fixed region and the maximum vibration region in the crossing direction.
  • the distance in the crossing direction between the one end and the one connection region may be equal to the distance in the crossing direction between the maximum vibration region and the one connection region. In this case, damage to the piezoelectric element can be further suppressed.
  • the distance in the intersecting direction between the other end and the other connecting region may be equal to the distance in the intersecting direction between the maximum vibration region and the other connecting region. In this case, damage to the piezoelectric element can be further suppressed.
  • the vibration device is vibrated in the higher order vibration mode.
  • the vibration region in the vibration device is likely to be dispersed and spread.
  • n ⁇ 4 damage to the piezoelectric element can be suppressed.
  • the main surfaces 10a and 10b have a square shape, for example.
  • the length of one side of the main surfaces 10a and 10b is, for example, 30 mm.
  • the thickness of the piezoelectric element 10 is, for example, 100 ⁇ m.
  • the wiring member is, for example, a flexible printed circuit board (FPC).
  • the external electrode of the piezoelectric element 10 is electrically connected to, for example, a control circuit (not shown) by a wiring member.
  • the control circuit controls the vibration unit 100 in an integrated manner.
  • the end of the wiring member on the piezoelectric element 10 side is bonded to the main surface 11 a of the diaphragm 11.
  • the second case member 4 is a plate-like member facing the first case member 3 in the first direction D1.
  • the second case member 4 is made of a resin such as an acrylic resin, a vinyl chloride resin, or a molding resin.
  • the second case member 4 may be made of a metal such as stainless steel or aluminum.
  • the second case member 4 is configured to be more difficult to bend and deform than the first case member 3 and the diaphragm 11.
  • the second case member 4 faces the first case member 3 with the vibration device 1 interposed therebetween.
  • the second case member 4 has a pair of main surfaces 4a and 4b and an end surface 4c. The pair of main surfaces 4a and 4b face each other.
  • the first case member 3 is disposed in the recess 5.
  • the first case member 3 is disposed on substantially the entire recess 5 so as to cover the recess 6 and the through hole 7.
  • the outer edge portion of the bottom surface 5a (the portion excluding the recess 6 and the through hole 7 on the bottom surface 5a) faces the outer edge portion of the main surface 3b and supports the first case member 3.
  • a resin layer 21 is provided on the outer edge of the bottom surface 5a.
  • the resin layer 21 is provided on the entire outer edge portion of the bottom surface 5a.
  • the resin layer 21 joins (adheres) the main surface 3b and the bottom surface 5a to each other.
  • the first case member 3 is fixed to the second case member 4 with a resin layer 21.
  • the resin layer 21 is made of a resin (for example, an epoxy resin or an acrylic resin).
  • the resin layer 21 does not contain a conductive filler and has electrical insulation.
  • the first case member 3 may be welded to the bottom surface 5 a regardless of the resin layer 21.
  • the piezoelectric element 10 is disposed in the through hole 7.
  • the piezoelectric element 10 is separated from the bottom surface 6a when viewed from the first direction D1.
  • the piezoelectric element 10 is disposed so as to overlap the center of the through hole 7 in the third direction D3 when viewed from the first direction D1.
  • the through hole 7 defines a space in which the vibration device 1 can be deformed (vibrated).
  • the spacer 23 is made of a member that is softer than the diaphragm 11 so as not to disturb the vibration of the diaphragm 11, for example.
  • a double-sided tape having a base material made of a nonwoven fabric, a thin resin, a metal plate, or paper can be used.
  • the spacer 23 may be a convex portion provided integrally with the vibration plate 11 or the first case member 3.
  • the top of the convex portion may be a flat surface.
  • the distance between the main surface 11a and the main surface 3b of the first case member 3 in the first direction D1 is shorter than the length of the spacer 23 in the first direction D1.
  • connection region R2 and the spacer 23 are urged toward the main surface 3b by the second case member 4.
  • connection region R2 and the spacer 23 are urged by the first case member 3 toward the inside of the through hole 7 and the bottom surface 6a.
  • a pressure that presses each other is applied between the connection region R2 and the spacer 23.
  • a pressure that presses each other is applied between the spacer 23 and the first case member 3.
  • the control circuit 101 When receiving the signal S ⁇ b> 1 from the vibration unit 100, the control circuit 101 gives the vibration unit 100 a signal S ⁇ b> 2 that causes the vibration device 1 to vibrate in the n-th vibration mode (1 ⁇ n ⁇ 4). As a result, the vibration unit 100 vibrates in the n-th vibration mode (1 ⁇ n ⁇ 4).
  • connection region R2 is provided apart from the maximum vibration region, damage to the piezoelectric element 10 can be suppressed.
  • each connection region R2 When viewed from the first direction D1, the area of each connection region R2 may be equal to or greater than the area of each fixed region R1. As viewed from the first direction D1, the total area of the connection regions R2 may be equal to or greater than the total area of the fixed regions R1.

Abstract

操作板が外部から使用者によって押圧されたときに操作板と共に圧電素子が湾曲変形し、損傷することを抑制するために以下の構成を備える。振動ユニット(100)は、振動デバイス(1)と、ケース(2)と、を備える。振動デバイス(1)は、圧電素子(10)、及び圧電素子(10)が接合された振動板(11)を有する。ケース(2)は、振動デバイス(1)を収容する。ケース(2)は、第一ケース部材(3)、及び第二ケース部材(4)を有している。第一ケース部材(3)は、振動デバイス(1)の振動を伝達する。第二ケース部材(4)は、振動板(11)の厚さ方向(D1)で第一ケース部材(3)と対向している。振動デバイス(1)は、一対の固定領域(R1)、及び連結領域(R2)を有している。一対の固定領域(R1)は、厚さ方向に交差する交差方向(D3)における一対の端部(11c)に位置し、第二ケース部材(4)に支持固定されている。連結領域(R2)は、一対の端部(11c)の間に位置し、第一ケース部材(3)に連結されている。連結領域(R2)は、振動デバイス(1)の最大振動領域(Rm)から離間している。

Description

振動ユニット、駆動装置及び駆動方法
 本開示は、振動ユニット、駆動装置及び駆動方法に関する。
 圧電素子を有する振動デバイスと、振動デバイスを収容する収容部と、を備える振動ユニットが知られている(たとえば、特許文献1)。振動デバイスは、収容部の一部を構成する操作板の下面に設けられている。この振動ユニットでは、振動デバイスの振動が操作板を介して使用者に伝達される。
特開2014-102804号公報
 上記振動ユニットでは、操作板が外部から使用者によって押圧されると、操作板とともに圧電素子が湾曲変形し、圧電素子が損傷するおそれがある。
 本発明の一つの態様は、圧電素子の損傷を抑制可能な振動ユニット、駆動装置及び駆動方法を提供する。
 本発明の一つの態様に係る振動ユニットは、振動デバイスと、ケースと、を備える。振動デバイスは、圧電素子、及び圧電素子が接合された振動板を有する。ケースは、振動デバイスを収容する。ケースは、第一ケース部材、及び第二ケース部材を有している。第一ケース部材は、振動デバイスの振動を伝達する。第二ケース部材は、振動板の厚さ方向で第一ケース部材と対向している。振動デバイスは、一対の固定領域、及び連結領域を有している。一対の固定領域は、厚さ方向に交差する交差方向における一対の端部に位置し、第二ケース部材に支持固定されている。連結領域は、一対の端部の間に位置し、第一ケース部材に連結されている。連結領域は、振動デバイスの最大振動領域から離間している。
 上記一つの態様では、振動デバイスは、第一ケース部材に連結された連結領域を有している。このため、例えば、第一ケース部材が使用者の指等の接触により押圧されると、これに伴い連結領域が押圧される。振動デバイスは、一対の端部に位置する一対の固定領域で第二ケース部材に支持固定されている。連結部材は、一対の端部の間に位置しているので、連結部材が押圧されると、振動デバイスが湾曲変形する。本発明者らの調査研究によれば、振動デバイスの振動が最も大きくなる最大振動領域が押圧されると、振動デバイスが大きく湾曲変形するため、圧電素子の損傷が生じ易い。そこで、連結領域は、最大振動領域から離間して設けられている。これにより、圧電素子の損傷を抑制することができる。
 上記一つの態様では、連結領域は、第一ケース部材に向かって付勢されていてもよい。この場合、振動デバイスの振動が第一ケース部材に確実に伝達される。
 上記一つの態様では、厚さ方向から見て、連結領域の面積は、固定領域の面積よりも小さくてもよい。
 上記一つの態様では、振動デバイスは、一対の連結領域を有していてもよい。一方の連結領域は、交差方向において一方の固定領域と最大振動領域との間に位置していてもよい。他方の連結領域は、交差方向において他方の固定領域と最大振動領域との間に位置していてもよい。この場合、振動デバイスは、分散して配置された一対の連結領域を有しているので、圧電素子の損傷を更に抑制することができる。
 上記一つの態様では、一方の端部と一方の連結領域との間の交差方向における距離は、最大振動領域と一方の連結領域との間の交差方向における距離と同等であってもよい。この場合、圧電素子の損傷を一層抑制することができる。
 上記一つの態様では、他方の端部と他方の連結領域との間の交差方向における距離は、最大振動領域と他方の連結領域との間の交差方向における距離と同等であってもよい。この場合、圧電素子の損傷をより一層抑制することができる。
 本発明の一つの態様に係る駆動装置は、上記振動ユニットと、振動デバイスをn次振動モード(1<n<4)で振動させる信号を振動ユニットに与える制御回路と、を備える。
 上記一つの態様では、振動デバイスを高次振動モードで振動させる。この場合、1<nであるため、振動デバイスにおける振動領域が分散して広がり易い。また、n<4であるため、圧電素子の損傷を抑制可能である。
 本発明の一つの態様に係る駆動方法は、上記振動ユニットを駆動する駆動方法であって、振動デバイスをn次振動モード(1<n<4)で振動させる。
 上記一つの態様では、振動デバイスを高次振動モードで振動させる。この場合、1<nであるため、振動デバイスにおける振動領域が分散して広がり易い。また、n<4であるため、圧電素子の損傷を抑制可能である。
 本発明の一つの態様によれば、圧電素子の損傷を抑制可能な振動ユニット、駆動装置及び駆動方法が提供される。
実施形態に係る振動ユニットの斜視図である。 図1に示される振動ユニットの分解斜視図である。 図1のIII-III線に沿っての端面図である。 図1のIV-IV線に沿っての端面図である。 図1の振動デバイスの平面図である。 実施形態に係る駆動装置のブロック図である。 振動デバイスの振動の大きさの測定結果を示す写真図である。 第一変形例に係る振動デバイスの平面図である。 第二変形例に係る振動デバイスの平面図である。
 以下、添付図面を参照して、本発明の実施形態について詳細に説明する。なお、説明において、同一要素又は同一機能を有する要素には、同一符号を用いることとし、重複する説明は省略する。
 図1は、実施形態に係る振動ユニットの斜視図である。図2は、図1に示される振動ユニットの分解斜視図である。図3は、図1のIII-III線に沿っての端面図である。図4は、図1のIV-IV線に沿っての端面図である。図1~図4示されるように、実施形態に係る振動ユニット100は、複数の振動デバイス1と、複数の振動デバイス1を収容するケース2とを備えている。振動ユニット100は、たとえば、ケース2の操作領域Raに使用者の指等が接触すると、振動デバイス1が振動するように構成されている。振動デバイス1の振動は、ケース2を通じて使用者に伝達される。これにより、振動ユニット100は、使用者に押圧感(タッチ感、クリック感、操作感)を与えることができる。
 複数の振動デバイス1は、マトリックス状に配置されている。ここでは、4つの振動デバイス1が3行3列のマトリックス状に配置されている。振動デバイス1は、圧電素子10と、振動板11と、配線部材(不図示)と、を備えている。
 振動板11は、たとえば、Ni-Fe合金、Ni、黄銅、又はステンレス等の金属からなる板部材である。振動板11は、振動板11の厚さ方向で互いに対向している主面11a,11bを有している。つまり、振動板11の厚さ方向は、主面11a,11bの対向方向である。主面11a,11bは、矩形状を呈している。主面11a,11bの短辺の長さは、例えば、60mmである。主面11a,11bの長辺の長さは、例えば、80mmである。振動板11の厚さは、例えば、250μmである。振動板11の主面11aには、圧電素子10が接合されている。
 以下、説明の便宜上、振動板11の厚さ方向を第一方向D1とする。主面11a,11bの短辺方向を第二方向D2とする。主面11a,11bの長辺方向を第三方向D3とする。第二方向D2及び第三方向D3は、第一方向D1に交差する交差方向である。ここでは、第一方向D1、第二方向D2及び第三方向D3は、互いに直交している。
 圧電素子10は、シート状を呈している。圧電素子10は、第一方向D1で互いに対向している主面10a,10bを有している。主面10aは、振動板11の主面11bと対向している。圧電素子10は、圧電素子10の厚さ方向が振動板11の厚さ方向と一致するように、主面11bに接合されている。圧電素子10は、主面11bの第二方向D2及び第三方向D3の中央に配置されている。圧電素子10は、第一方向D1から見て、振動板11の全ての外縁(四辺)から離間している。主面10a,10bは、矩形状を呈している。主面10a,10bは、例えば、正方形状を呈している。主面10a,10bの一辺の長さは、例えば、30mmである。圧電素子10の厚さ(圧電素子10の第一方向D1の長さ)は、例えば、100μmである。
 圧電素子10の主面10aは、例えば、エポキシ樹脂又はアクリル系樹脂からなる樹脂層(不図示)によって振動板11の主面11bに接合(接着)されている。主面10aの全面が主面11bに接合(接着)されている。樹脂層は、導電性のフィラーを含んでおらず、電気絶縁性を有している。
 圧電素子10は、圧電体と、一対の外部電極とを備えている。圧電体は、内部電極を介して複数の圧電体層が積層されてなる積層構造を有している。一対の外部電極は、それぞれ極性の異なる内部電極に接続され、例えば、主面10b上に配置されている。圧電素子10は、一つの圧電体層からなる単層構造を有し、一対の外部電極が圧電体層を第一方向D1で挟むように設けられていてもよい。
 配線部材は、例えばフレキシブルプリント基板(FPC)である。圧電素子10の外部電極は、配線部材によって、例えば、制御回路(不図示)に電気的に接続されている。制御回路は、振動ユニット100を統括的に制御している。配線部材の圧電素子10側の端部は、例えば、振動板11の主面11aに接合されている。
 ケース2は、第一ケース部材3及び第二ケース部材4を備えている。ケース2は、第一ケース部材3及び第二ケース部材4が組み合わされてなる箱部材である。ケース2の外形は、直方体形状を呈している。第一ケース部材3及び第二ケース部材4が互いに対向している方向は、第一方向D1と一致している。
 第一ケース部材3は、振動デバイス1の振動を伝達する板状部材である。第一ケース部材3は、一対の主面3a,3bと、端面3cと、を有している。一対の主面3a,3bは、互いに対向している。端面3cは、一対の主面3a,3bを連結するように、一対の主面3a,3bが互いに対向している方向に延在している。一対の主面3a,3bが互いに対向している方向は、第一方向D1と一致している。一対の主面3a,3bは、第一方向D1から見て、たとえば、長方形状を呈している。一対の主面3a,3bは、第一方向D1から見て、たとえば、正方形状を呈していてもよい。
 主面3aは、ケース2の外面の一部を構成している。主面3bは、ケース2の内面の一部を構成している。主面3bは、振動デバイス1と対向している。主面3aは、上述のように、使用者の指等が接触により押圧可能な操作領域Raを有している。操作領域Raは、使用者の指等の接触により押圧されると、主面3bが湾曲外側となるように湾曲変形する。操作領域Raは、第一方向D1から見て、後述する凹部6と重なる領域である。第一ケース部材3は、たとえば、タッチパネルである。第一ケース部材3は、たとえば、主面3aを構成するカバー部材を有している。カバー部材は、たとえば、ガラスからなる。カバー部材は、アクリル系樹脂、塩化ビニル系樹脂、又は成型樹脂等の樹脂からなってもよい。タッチパネルは、たとえば、カバー部材と、タッチセンサ層と、主面3bを構成する表示層と、が積層されて構成されている。
 一対の主面3a,3bの長辺方向は、たとえば、第三方向D3と一致している。一対の主面3a,3bの短辺方向は、たとえば、第二方向D2と一致している。一対の主面3a,3bの長辺の長さ(すなわち、第一ケース部材3の第三方向D3の長さ)は、たとえば、260mmである。一対の主面3a,3bの短辺の長さ(すなわち、第一ケース部材3の第二方向D2の長さ)は、たとえば、170mmである。第一ケース部材3の第一方向D1の長さ(すなわち、第一ケース部材3の厚さ)は、たとえば、1.7mmである。
 第二ケース部材4は、第一方向D1で第一ケース部材3と対向している板状部材である。第二ケース部材4は、たとえば、アクリル系樹脂、塩化ビニル系樹脂、又は成型樹脂等の樹脂からなる。第二ケース部材4は、ステンレス又はアルミなどの金属からなってもよい。本実施形態では、第二ケース部材4は、第一ケース部材3及び振動板11よりも湾曲変形し難い構成となっている。第二ケース部材4は、振動デバイス1を介して第一ケース部材3と対向している。第二ケース部材4は、一対の主面4a,4bと、端面4cと、を有している。一対の主面4a,4bは、互いに対向している。端面4cは、一対の主面4a,4bを連結するように、一対の主面4a,4bが互いに対向している方向に延在している。一対の主面4a,4bが互いに対向している方向は、第一方向D1と一致している。一対の主面4a,4bは、たとえば、長方形状を呈している。一対の主面4a,4bは、たとえば、正方形状を呈していてもよい。
 主面4aは、ケース2の内面の一部を構成している。主面4aは、振動デバイス1と対向している。主面4aは、振動デバイス1を介して主面3bと対向している。主面4b及び端面4cは、ケース2の外面の一部を構成している。
 一対の主面4a,4bの長辺方向は、たとえば、第三方向D3と一致している。一対の主面4a,4bの短辺方向は、たとえば、第二方向D2と一致している。一対の主面4a,4bの長辺の長さ(すなわち、第二ケース部材4の第三方向D3の長さ)は、たとえば、280mmである。一対の主面4a,4bの短辺の長さ(すなわち、第二ケース部材4の第二方向D2の長さ)は、たとえば、190mmである。第二ケース部材4の第一方向D1の長さ(最大長さ)は、たとえば、10mmである。一対の主面4a,4b及び一対の主面3a,3bは、互いに同形状を呈している。
 主面4aには、主面4bに向かって窪んでいる凹部5が設けられている。凹部5は、主面4aの外縁部を除く略全体に設けられている。凹部5は、第一方向D1から見て、主面4aの第二方向D2及び第三方向D3の略中央に設けられている。凹部5は、第一方向D1から見て、主面4aの全ての外縁(四辺)から離間している。
 凹部5の底面5aは、主面3bと対向している。底面5aは、たとえば、長方形状を呈している。底面5aの長辺方向は、たとえば、第三方向D3と一致している。底面5aの短辺方向は、たとえば、第二方向D2と一致している。底面5aの長辺の長さは、主面4aの長辺の長さよりも短く、たとえば、260mmである。底面5aの短辺の長さは、主面4aの短辺の長さよりも短く、たとえば、170mmである。主面4aと底面5aとの間に形成された段差面5bは、第一方向D1に延在している。段差面5bの第一方向D1の長さは、たとえば、2mmである。底面5aの長辺の長さは、主面3bの長辺の長さと同等以上である。底面5aの短辺の長さは、主面3bの短辺の長さと同等以上である。
 底面5aには、主面4bに向かって窪んでいる凹部6が設けられている。凹部6は、底面5aの外縁部を除く略全体に設けられている。凹部6は、第一方向D1から見て、底面5aの第二方向D2及び第三方向D3の略中央に設けられている。凹部6は、第一方向D1から見て、底面5aの全ての外縁(四辺)から離間している。
 底面6aは、主面3bと対向している。底面6aは、たとえば、長方形状を呈している。底面6aの長辺方向は、たとえば、第三方向D3と一致している。底面6aの短辺方向は、たとえば、第二方向D2と一致している。底面6aの長辺の長さは、底面5aの長辺の長さよりも短く、たとえば、250mmである。底面6aの短辺の長さは、底面5aの短辺の長さよりも短く、たとえば、160mmである。底面5aと底面6aとの間に形成された段差面6bは、第一方向D1に延在している。段差面6bの第一方向D1の長さは、たとえば、0.3mmである。
 底面6aには、第二ケース部材4を第一方向D1に貫通する複数(ここでは2つ)の貫通孔7が設けられている。複数の貫通孔7は、第三方向D3に並んで設けられている。複数の貫通孔7は、互いに離間している。複数の貫通孔7は、底面6aの全ての外縁(四辺)から離間している。
 貫通孔7は、第一方向D1から見て、たとえば、長方形状を呈している。貫通孔7の長辺方向は、たとえば、第二方向D2と一致している。貫通孔7の短辺方向は、たとえば、第三方向D3と一致している。貫通孔7の長辺の長さは、底面6aの短辺の長さよりも短く、たとえば、130mmである。貫通孔7の短辺の長さは、たとえば、70mmである。貫通孔7の第一方向D1の長さは、たとえば、7.7mmである。
 凹部5には、第一ケース部材3が配置されている。第一ケース部材3は、凹部6及び貫通孔7を覆うように、凹部5の略全体に配置されている。底面5aの外縁部(底面5aにおいて凹部6及び貫通孔7を除く部分)は、主面3bの外縁部と対向し、第一ケース部材3を支持している。
 底面5aの外縁部には、樹脂層21が設けられている。樹脂層21は、底面5aの外縁部の全体に設けられている。樹脂層21は、主面3b及び底面5aを互いに接合(接着)している。第一ケース部材3は、樹脂層21により第二ケース部材4に固定されている。樹脂層21は、樹脂(たとえば、エポキシ樹脂又はアクリル系樹脂)からなる。樹脂層21は、導電性のフィラーを含んでおらず、電気絶縁性を有している。第一ケース部材3は、樹脂層21によらず底面5aに溶着されていてもよい。
 凹部6には、複数(ここでは4つ)の振動デバイス1が互いに離間して配置されている。振動デバイス1は、主面11aが主面3bと対向し、主面11bが底面6aと対向するように配置されている。本実施形態では、1つの貫通孔7に対して2つの振動デバイス1が第二方向D2に並んで配置されている。振動デバイス1は、貫通孔7を覆うように底面6aに配置されている。貫通孔7の第二方向D2における両端部及び中央部は、振動デバイス1により覆われておらず、振動デバイス1から露出している。
 振動デバイス1は、底面6aにおいて、貫通孔7の第三方向D3の両側に配置された部分に架け渡されている。底面6aは、振動板11の第三方向D3における一対の端部11cを支持している。一対の端部11cは、振動デバイス1の第三方向D3における一対の端部を構成している。底面6aは、主面11bの第三方向D3における一対の端部11cと対向している。
 底面6aにおいて振動デバイス1と対向する部分には、樹脂層22が設けられている。樹脂層22は、主面11b及び底面6aを互いに接合(接着)している。樹脂層22は、樹脂(たとえば、エポキシ樹脂又はアクリル系樹脂)からなる。樹脂層22は、導電性のフィラーを含んでおらず、電気絶縁性を有している。樹脂層22は、樹脂層21と同じ樹脂からなってもよい。
 図5は、図1の振動デバイスの平面図である。図5では、主面11b側から見た振動デバイス1の平面図が示されている。図5では、振動デバイス1以外の図示が省略されている。特に、図3及び図5に示されるように、振動デバイス1は、一対の端部11cに位置し、樹脂層22により第二ケース部材4に支持固定された一対の固定領域R1を有している。一対の固定領域R1は、例えば、互いに同形状を呈している。固定領域R1は、樹脂層22によらず底面5aに溶着されていてもよい。各固定領域R1の第三方向D3の長さは、たとえば10mmである。
 圧電素子10は、貫通孔7内に配置されている。圧電素子10は、第一方向D1から見て、底面6aから離間している。圧電素子10は、第一方向D1から見て、貫通孔7の第三方向D3の中央と重なるように配置されている。貫通孔7は、振動デバイス1が変形可能(振動可能)な空間を画定している。
 各主面11aと主面3bとの間には、スペーサ23が配置されている。特に、図3及び図5に示されるように、振動デバイス1は、一対の端部11cの間に位置し、スペーサ23により第一ケース部材3に連結された連結領域R2を有している。ここで、「連結領域R2がスペーサ23により第一ケース部材3に連結された状態」とは、スペーサ23が連結領域R2及び第一ケース部材3のそれぞれに当接されていることにより、振動デバイス1の振動が第一ケース部材3に伝達可能な状態であればよい。スペーサ23は、連結領域R2及び第一ケース部材3のそれぞれに接着等により固定(固着)された状態でなくてもよい。スペーサ23を連結領域R2に固着した場合、スペーサ23ごと振動デバイス1を第一ケース部材3に固定することができる。
 本実施形態では、各主面11aと主面3bとの間には、一対のスペーサ23が配置され、各振動デバイス1は、互いに離間する一対の連結領域R2を有している。一対の連結領域R2は、例えば、互いに同形状を呈している。第一方向D1から見て、各連結領域R2の面積は、各固定領域R1の面積よりも小さい。第一方向D1から見て、連結領域R2の面積の総和は、固定領域R1の面積の総和よりも小さい。スペーサ23は、主面11a及び主面3bの両方に当接している。スペーサ23は、第一方向D1から見て、例えば矩形状を呈している。スペーサ23は、第一方向D1から見て、例えば一辺が5mmの正方形状を呈している。スペーサ23の第一方向D1の長さ(厚さ)は、例えば0.13mmである。
 一対のスペーサ23は、第一方向D1から見て、圧電素子10を第三方向D3に挟むように配置されている。スペーサ23は、第一方向D1から見て、圧電素子10の第三方向D3の外縁に沿って配置されている。スペーサ23は、第一方向D1から見て、振動板11及び圧電素子10の第二方向D2の中央とそれぞれ重なるように配置されている。
 スペーサ23は、例えば、振動板11の振動を阻害しないように、振動板11よりも軟らかい部材で構成されている。スペーサ23として、例えば不織布からなる基材を有する両面テープ、薄い樹脂、金属板、又は紙等を用いることができる。スペーサ23は、振動板11又は第一ケース部材3と一体的に設けられた凸部であってもよい。この場合、振動板11又は第一ケース部材3の損傷を抑制するため、凸部の頂部を平面としてもよい。主面11a及び第一ケース部材3の主面3bの第一方向D1の間隔は、スペーサ23の第一方向D1の長さよりも短い。これにより、振動板11が板バネとして機能する。連結領域R2及びスペーサ23は、第二ケース部材4によって、主面3bに向かって付勢されている。連結領域R2及びスペーサ23は、第一ケース部材3によって、貫通孔7内及び底面6aに向かって付勢されている。連結領域R2とスペーサ23との間には、互いに押し付け合う圧力が加わっている。スペーサ23と第一ケース部材3との間には、互いに押し付け合う圧力が加わっている。
 続いて、振動ユニット100の動作について説明する。振動ユニット100では、第一ケース部材3のうち、第一方向D1から見て操作領域Raと重なる部分は、主面4aに支持されていない。したがって、たとえば、ケース2の操作領域Raに使用者の指等が接触すると、第一ケース部材3は、主面3bが湾曲外側となるように湾曲変形する。第一ケース部材3は、スペーサ23により連結領域R2に連結されている。このため、第一ケース部材3の変位に伴って、連結領域R2がスペーサ23を介して押圧される。連結領域R2は、第一方向D1から見て貫通孔7と重なっており、底面6aに支持されていない。したがって、振動板11は、主面11bが湾曲外側となるように湾曲変形する。
 圧電素子10は、振動板11に接合されている。このため、振動板11の湾曲変形に伴って、圧電素子10が湾曲変形する。これにより、圧電素子10では一対の外部電極間に電位差が生じ、配線部材を介して制御回路に電流が流れる。制御回路は、振動ユニット100に対する使用者による操作を、この電流によって検出する。制御回路は、使用者による押圧を検出すると、配線部材を介して圧電素子10の一対の外部電極間に所定の電圧を印加する。これにより、圧電体が面方向(第三方向D3に交差する方向)に伸縮する。
 一対の外部電極間に交流電圧が印加されると、圧電素子10は、印加された交流電圧の周波数に応じて伸縮を繰り返す。圧電素子10が接合された振動板11は、一対の端部11cにおいて第二ケース部材4に固定されている。したがって、振動板11は、圧電素子10の伸縮の繰り返しに応じて、圧電素子10と一体に撓み振動を繰り返し、第一方向D1に変位する。このような振動デバイス1の振動は、第一ケース部材3を通じて、使用者に伝達される。これにより、振動ユニット100は、使用者に押圧感(タッチ感、クリック感、操作感)を与えることができる。
 第一ケース部材3の変位量は、操作領域Raにおいて使用者の指等が接触した接触部分に対応する部分で最も大きくなり、この接触部分の近くに配置された連結領域R2ほど強く押圧される。連結領域R2が強く押圧された振動デバイス1ほど、一対の外部電極間に生じる電位差が大きくなる。したがって、制御回路は、例えば、最も大きな電流値が検出された振動デバイス1に電圧を印加し、当該振動デバイス1を振動させてもよい。これにより、操作領域Raの接触部分を確実に振動させることができる。
 本実施形態において、振動デバイス1の振動(変位)が最も大きくなる最大振動領域Rmは、振動デバイス1の第二方向D2及び第三方向D3の中央に位置する領域である。振動デバイス1の最大振動領域Rmは、より具体的には、振動デバイス1から一対の固定領域R1を除いた部分の第二方向D2及び第三方向D3の中央に位置する領域である。最大振動領域Rmと一方の固定領域R1との間の第三方向D3における距離は、最大振動領域Rmと他方の固定領域R1との間の第三方向D3における距離と同等である。最大振動領域Rmは、第一方向D1から見て連結領域R2から離間している。
 本実施形態において、一方の連結領域R2は、第三方向D3において、最大振動領域Rm及び一方の固定領域R1の中央に位置している。つまり、一方の連結領域R2と最大振動領域Rmとの間の第三方向D3における距離は、一方の連結領域R2と一方の固定領域R1との間の第三方向D3における距離と同等である。また、他方の連結領域は、第三方向D3において、最大振動領域Rm及び他方の固定領域R1の中央に位置している。つまり、他方の連結領域R2と最大振動領域Rmとの間の第三方向D3における距離は、他方の連結領域R2と他方の固定領域R1との間の第三方向D3における距離と同等である。
 以上説明したように、振動ユニット100では、振動デバイス1は、第一ケース部材3に連結された一対の連結領域R2を有している。このため、第一ケース部材3の操作領域Raが使用者の指等の接触により押圧されると、一対の連結領域R2が押圧される。振動デバイス1は、第二ケース部材4に支持固定された一対の固定領域R1を有している。一対の固定領域R1は、振動デバイス1の一対の端部11cに位置している。一対の連結領域R2は、一対の端部11cの間に位置しており、第二ケース部材4に支持されていない。したがって、連結領域R2が押圧されると、振動デバイス1が湾曲変形する。本発明者らの調査研究によれば、最大振動領域Rmが押圧されると、圧電素子10が損傷し易い。そこで、連結領域R2は、最大振動領域Rmから離間して設けられている。これにより、圧電素子10の損傷を抑制することができる。
 振動デバイス1は、分散して配置された一対の連結領域R2を有しているので、圧電素子10の損傷を更に抑制することができる。各連結領域R2は、第三方向D3において端部11c及び最大振動領域Rmの中央に位置しているので、圧電素子10の損傷をより一層抑制することができる。
 連結領域R2は、第一ケース部材3に向かって付勢されている。このため、振動デバイス1の振動が第一ケース部材3に確実に伝達される。
 次に、振動ユニット100を駆動する駆動装置110及び駆動方法について説明する。
 図6は、実施形態に係る駆動装置のブロック図である。図6に示されるように、駆動装置110は、振動ユニット100と、制御回路101と、を備えている。制御回路101は、振動ユニット100と電気的に接続され、振動ユニット100を統括的に制御している。制御回路101は、たとえば、CPU(Central Processing Unit)、ROM(Read Only Memory)、及びRAM(Random Access Memory)を備えている。この場合、制御回路101は、ROMに記憶されているプログラムをRAMにロードし、CPUで実行することによって各種の処理を行う。使用者が振動ユニット100を操作(押圧)すると、振動ユニット100が使用者による操作を検出して信号S1を制御回路101に与える。制御回路101は、振動ユニット100から信号S1を受け取ると、振動デバイス1をn次振動モード(1<n<4)で振動させる信号S2を振動ユニット100に与える。これにより、振動ユニット100がn次振動モード(1<n<4)で振動する。
 nが4以上(n≧4)の場合、すなわち、4次以上の高次振動モードでは、周波数が高過ぎるため、使用者に押圧感を与えることができないおそれがある。また、4次以上の高次振動モードでは、圧電素子10が大きく歪み、圧電素子10が損傷するおそれもある。なお、振動ユニット100ではなく、タッチパネルが使用者による操作を検出して信号S1を制御回路101に与えてもよい。
 図7は、振動デバイスの振動の大きさの測定結果を示す写真図である。図7(a)は、1次振動モードで振動する振動デバイスの振動板における振動の大きさの測定結果を示す写真図である。図7(b)は、2次振動モードで振動する振動デバイスの振動板における振動の大きさの測定結果を示す写真図である。図7(c)は、3次振動モードで振動する振動デバイスの振動板における振動の大きさの測定結果を示す写真図である。図7(a)~図7(c)では、振動が大きいほど濃色で示され、振動が小さいほど淡色で示されている。
 振動デバイスにおいて、左右方向の一対の端部は固定領域である。1次振動モードでは、振動デバイスの振動領域が左右方向の中央の一箇所に集中している。最大振動領域は、振動領域の略中心に位置している。2次振動モードでは、振動領域が3つに分散して広がっている。最大振動領域は、各振動領域の略中心に位置している。3次振動モードでは、振動領域が6つに分散して広がっている。最大振動領域は、各振動領域の略中心に位置している。なお、3次振動モードにおける最大振動領域は、振動板において圧電素子が接合された領域と固定領域との中間に位置している。連結領域は最大振動領域よりも圧電素子側に位置している。
 これらの測定結果から、1次振動モードよりも2次振動モードの方が振動板の振動領域が分散して広がり易く、2次振動モードよりも3次振動モードの方が振動板の振動領域が分散して広がり易いことが分かった。すなわち、高次振動モードの方が低次振動モードよりも振動デバイスにおける振動領域が分散して広がり易いことが分かった。特に、1次振動モードの場合、振動デバイスの振動領域が一箇所に集中するので、使用者が接触している位置によっては、使用者に十分な押圧感を与えることができないおそれがあることが分かった。
 実施形態に係る駆動装置110及び駆動方法では、振動ユニット100をn次振動モード(1<n<4)で振動させる。このため、振動ユニット100を1次振動モードで振動させる場合に比べて、振動デバイス1における振動領域が分散して広がり易い。よって、使用者が接触している位置によらず、使用者に十分な押圧感を与えることができる。
 本発明は必ずしも上述した実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で様々な変更が可能である。
 図8は、第一変形例に係る振動デバイスの平面図である。図8に示されるように、第一変形例に係る振動デバイス1Aは、主に固定領域R1の形状の点で、振動デバイス1と相違している。振動デバイス1Aの各固定領域R1は、第二方向D2において互いに離間する一対の固定領域部分R1aを有している。本変形例では、ケース2(図1参照)として、実施形態に係るケース2と同じケースを用いてもよいし、実施形態に係るケース2とは異なる形状の底面6a(図2参照)を有するケースを用いてもよい。具体的には、例えば、底面6aにおいて、一対の固定領域部分R1aと対向する部分の間に凹部が設けられたケースが用いられてもよい。
 図9は、第二変形例に係る振動デバイスの平面図である。図9に示されるように、第二変形例に係る振動デバイス1Bは、主に連結領域R2の配置の点で、振動デバイス1と相違している。振動デバイス1Bの各連結領域R2は、振動デバイス1Bの第二方向D2の中央からずれた位置に配置されている。一方の連結領域R2は、振動デバイス1Bの第二方向D2の中央よりも第二方向D2の一方にずれた位置に配置されている。他方の連結領域R2は、振動デバイス1Bの第二方向D2の中央よりも第二方向D2の他方にずれた位置に配置されている。一対の連結領域R2は、圧電素子10の対角をなす一対の角部に接するようにそれぞれ配置されている。
 振動デバイス1A,1Bを備える振動ユニットにおいても、振動ユニット100と同様に、連結領域R2が最大振動領域から離間して設けられているので、圧電素子10の損傷を抑制することができる。
 振動ユニット100は、1つ以上の振動デバイス1を備えていればよい。振動デバイス1は、1つ以上の連結領域R2を有していればよい。圧電素子10は、振動板11の主面11aに配置され、主面3bと対向していてもよい。圧電素子10は、振動板11の第二方向D2及び第三方向D3の中央からずれた位置に配置されていてもよい。振動デバイス1は、3つ以上の固定領域R1を有していてもよい。連結領域R2は、一対の端部11cの間に位置し、かつ、最大振動領域から離間していればよく、例えば、第一方向D1から見て、圧電素子10と重なる位置に配置されていてもよい。第一方向D1から見て、各連結領域R2の面積は、各固定領域R1の面積と同等以上であってもよい。第一方向D1から見て、連結領域R2の面積の総和は、固定領域R1の面積の総和と同等以上であってもよい。
 1,1A,1B…振動デバイス、2…ケース、3…第一ケース部材、4…第二ケース部材、10…圧電素子、11…振動板、11c…端部、100…振動ユニット、101…制御回路、110…駆動装置、R1…固定領域、R1a…固定領域部分、R2…連結領域、Rm…最大振動領域。

Claims (8)

  1.  圧電素子、及び前記圧電素子が接合された振動板を有する振動デバイスと、
     前記振動デバイスを収容するケースと、を備え、
     前記ケースは、前記振動デバイスの振動を伝達する第一ケース部材、及び前記振動板の厚さ方向で前記第一ケース部材と対向している第二ケース部材を有しており、
     前記振動デバイスは、前記厚さ方向に交差する交差方向における一対の端部に位置し、前記第二ケース部材に支持固定された一対の固定領域、及び前記一対の端部の間に位置し、前記第一ケース部材に連結された連結領域を有しており、
     前記連結領域は、前記振動デバイスの最大振動領域から離間している、振動ユニット。
  2.  前記連結領域は、前記第一ケース部材に向かって付勢されている、請求項1に記載の振動ユニット。
  3.  前記厚さ方向から見て、前記連結領域の面積は、前記固定領域の面積よりも小さい、請求項1又は2に記載の振動ユニット。
  4.  前記振動デバイスは、一対の前記連結領域を有しており、
     一方の前記連結領域は、前記交差方向において一方の前記固定領域と前記最大振動領域との間に位置し、他方の前記連結領域は、前記交差方向において他方の前記固定領域と前記最大振動領域との間に位置している、請求項1~3のいずれか一項に記載の振動ユニット。
  5.  前記一方の端部と前記一方の連結領域との間の前記交差方向における距離は、前記最大振動領域と前記一方の連結領域との間の前記交差方向における距離と同等である、請求項4に記載の振動ユニット。
  6.  前記他方の端部と前記他方の連結領域との間の前記交差方向における距離は、前記最大振動領域と前記他方の連結領域との間の前記交差方向における距離と同等である、請求項4又は5に記載の振動ユニット。
  7.  請求項1~6のいずれか一項に記載の振動ユニットと、
     前記振動デバイスをn次振動モード(1<n<4)で振動させる信号を前記振動ユニットに与える制御回路と、を備える、駆動装置。
  8.  請求項1~6のいずれか一項に記載の振動ユニットを駆動する駆動方法であって、
     前記振動デバイスをn次振動モード(1<n<4)で振動させる、駆動方法。
PCT/JP2019/016861 2018-05-31 2019-04-19 振動ユニット、駆動装置及び駆動方法 WO2019230248A1 (ja)

Applications Claiming Priority (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2018105179 2018-05-31
JP2018-105179 2018-05-31
JP2018-180633 2018-09-26
JP2018180633A JP7077898B2 (ja) 2018-05-31 2018-09-26 振動ユニット、駆動装置及び駆動方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2019230248A1 true WO2019230248A1 (ja) 2019-12-05

Family

ID=68697534

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/JP2019/016861 WO2019230248A1 (ja) 2018-05-31 2019-04-19 振動ユニット、駆動装置及び駆動方法

Country Status (1)

Country Link
WO (1) WO2019230248A1 (ja)

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2010150563A1 (ja) * 2009-06-23 2010-12-29 株式会社村田製作所 電子機器
US20100328230A1 (en) * 2009-06-30 2010-12-30 Research In Motion Limited Portable electronic device including tactile touch-sensitive input device and method of protecting same
JP2012523028A (ja) * 2009-04-02 2012-09-27 ピーアイ・セラミック・ゲゼルシャフト・ミット・ベシュレンクテル・ハフツング・ケラミシェ・テヒノロギーン・ウント・バウエレメンテ キーレス入力ユニットから触感フィードバックを生成するための装置
JP2017175874A (ja) * 2016-03-25 2017-09-28 京セラ株式会社 アクチュエータ及び触感呈示装置
US20170357325A1 (en) * 2016-06-14 2017-12-14 Apple Inc. Localized Deflection Using a Bending Haptic Actuator

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012523028A (ja) * 2009-04-02 2012-09-27 ピーアイ・セラミック・ゲゼルシャフト・ミット・ベシュレンクテル・ハフツング・ケラミシェ・テヒノロギーン・ウント・バウエレメンテ キーレス入力ユニットから触感フィードバックを生成するための装置
WO2010150563A1 (ja) * 2009-06-23 2010-12-29 株式会社村田製作所 電子機器
US20100328230A1 (en) * 2009-06-30 2010-12-30 Research In Motion Limited Portable electronic device including tactile touch-sensitive input device and method of protecting same
JP2017175874A (ja) * 2016-03-25 2017-09-28 京セラ株式会社 アクチュエータ及び触感呈示装置
US20170357325A1 (en) * 2016-06-14 2017-12-14 Apple Inc. Localized Deflection Using a Bending Haptic Actuator

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US11455038B2 (en) Vibration structure, vibration device, and tactile sense presentation device
JP5605433B2 (ja) 圧電振動装置
KR20120105785A (ko) 압전 소자
JP7110570B2 (ja) 振動ユニット
WO2020213477A1 (ja) 振動装置
JP6187703B2 (ja) 振動装置
US11323045B2 (en) Vibration device having cushioning material with reduced thickness
JP7077898B2 (ja) 振動ユニット、駆動装置及び駆動方法
CN111033775B (zh) 振动组件
WO2019230248A1 (ja) 振動ユニット、駆動装置及び駆動方法
JP6335626B2 (ja) 触感伝達装置
JP6874595B2 (ja) 振動デバイス及び音響デバイス
WO2019172052A1 (ja) 振動デバイス
WO2021079836A1 (ja) 振動構造
JP6705440B2 (ja) 触覚呈示装置の駆動方法
JP2018042231A (ja) 振動デバイス
JP2021039969A (ja) 振動デバイス
JP7119878B2 (ja) 振動ユニット
CN215141778U (zh) 面方向型振动构造
JP7243517B2 (ja) 振動ユニット
JP7268478B2 (ja) 音響デバイス
JP7275522B2 (ja) 振動デバイス
KR20160062660A (ko) 압전 진동 장치

Legal Events

Date Code Title Description
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 19812001

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE

122 Ep: pct application non-entry in european phase

Ref document number: 19812001

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1