JP7119878B2 - 振動ユニット - Google Patents

Description

本発明の一つの態様は、振動ユニットに関する。

特許文献１には、複数の圧電素子と、複数の圧電素子が台座を介して接合された振動膜と、を備える圧電音響素子が記載されている。この圧電音響素子では、複数の圧電素子の配置を調整することで、振動姿態を変形することができる。この結果、音圧を向上することができるとともに、広い周波数帯域で平坦な周波数音圧レベル特性を実現することができる。なお、音圧は、振動の振幅の大きさに依存する。

国際公開第２０１０／１０６７３６号

本発明の一つの態様は、振幅を更に増大させることが可能な振動ユニットを提供する。

本発明の一つの態様に係る振動ユニットは、振動部を有する複数の振動デバイスと、複数の振動デバイスが互いに離間して配置された主面を有する振動部材と、振動部材の縁部を支持する支持部材と、を備え、複数の振動デバイスは、主面に接合された複数の接合領域と、複数の接合領域間において、主面から離間して配置された離間領域と、をそれぞれ有し、離間領域と主面との離間距離は、振動部の振幅よりも短い。

上記一つの態様では、振動デバイスは、振動部材の主面から離間し、振動部材に拘束されていない離間領域を有している。このため、振動デバイスの振幅を増大させることができる。また、離間領域と振動部材の主面との離間距離は、振動部の振幅よりも短い。したがって、離間領域は振動によって振動部材の主面に接触し、振動部材を大きく振動させる。この結果、振動部材の振幅を更に増大させることができる。

上記一つの態様では、複数の振動デバイスは、振動部に接続されている配線部材をそれぞれ更に有し、振動部材は、主面に直交する方向から見て、複数の振動デバイスの振動部と重なる複数の重複領域と、複数の重複領域間に配置された中間領域と、を有し、配線部材は、方向から見て、中間領域の外側に配置されていてもよい。この場合、例えば、複数の振動部の間の領域に照明等の部材を容易に配置することができる。

本発明の一つの態様によれば、振幅を更に増大させることが可能な振動ユニットを提供することができる。

第一実施形態に係る振動ユニットの平面図である。 図１の振動ユニットの分解斜視図である。 図１のIII-III線に沿っての端面図である。 図３の一部を拡大して示す端面図である。 図１に示される振動部材の領域について説明するための平面図である。 第二実施形態に係る振動ユニットの平面図である。 第三実施形態に係る振動ユニットの平面図である。 図７に示される振動部材の領域について説明するための平面図である。 第四実施形態に係る振動ユニットの平面図である。 図９に示される振動部材の領域について説明するための平面図である。 第五実施形態に係る振動ユニットの一部を拡大して示す端面図ある。

以下、添付図面を参照して、本発明の実施形態について詳細に説明する。なお、説明において、同一要素又は同一機能を有する要素には、同一符号を用いることとし、重複する説明は省略する。

［第一実施形態］
図１は、第一実施形態に係る振動ユニットの平面図である。図２は、図１の振動ユニットの分解斜視図である。図３は、図１のIII-III線に沿っての端面図である。図４は、図３の一部を拡大して示す端面図である。図５は、図１に示される振動部材の領域について説明するための平面図である。図１～図５に示されるように、第一実施形態に係る振動ユニット１００Ａは、複数の振動デバイス１と、複数の振動デバイス１が配置された振動部材２と、振動部材２を支持している支持部材３と、を備えている。振動ユニット１００Ａは、一対の振動デバイス１を備えている。

振動部材２は、振動デバイス１の振動を伝達する板状部材である。振動部材２は、振動部材２の厚さ方向で互いに対向している一対の主面２ａ，２ｂを有している。一対の主面２ａ，２ｂは、第一方向Ｄ１から見て、例えば、長方形状を呈している。一対の主面２ａ，２ｂは、第一方向Ｄ１から見て、例えば、正方形状を呈していてもよい。

以下では、振動部材２の厚さ方向、すなわち、一対の主面２ａ，２ｂの対向方向を第一方向Ｄ１とする。第一方向Ｄ１は、一対の主面２ａ，２ｂに直交する方向でもある。一対の主面２ａ，２ｂの長辺方向を第二方向Ｄ２とする。一対の主面２ａ，２ｂの短辺方向を第三方向Ｄ３とする。第一方向Ｄ１、第二方向Ｄ２及び第三方向Ｄ３は、互いに交差している。ここでは、第一方向Ｄ１、第二方向Ｄ２及び第三方向Ｄ３は、互いに直交している。

一対の主面２ａ，２ｂの長辺の長さ（すなわち、振動部材２の第二方向Ｄ２の長さ）は、例えば、３００ｍｍである。一対の主面２ａ，２ｂの短辺の長さ（すなわち、振動部材２の第三方向Ｄ３の長さ）は、例えば、２００ｍｍである。振動部材２の厚さ（すなわち、振動部材２の第一方向Ｄ１の長さ）は、例えば、１．７ｍｍである。

主面２ａは、例えば、使用者の指等が接触により押圧可能な操作領域を有している。本実施形態では、操作領域は、第一方向Ｄ１から見て、支持部材３の内側に配置された領域である。第一方向Ｄ１から見て、操作領域の外縁は、支持部材３の内縁によって規定され、矩形状を呈している。操作領域の第二方向Ｄ２の長さは、例えば、２７０ｍｍである。操作領域の第三方向Ｄ３の長さは、例えば、１７０ｍｍである。操作領域が使用者の指等の接触により押圧されると、振動部材２は、主面２ｂが湾曲外側となるように湾曲変形する。主面２ｂには、複数の振動デバイス１が互いに離間して配置されている。

振動部材２は、例えば、タッチパネルである。振動部材２は、例えば、主面２ａを含むカバー部材と、タッチセンサ層と、主面２ｂを含む表示層と、が積層されて構成されている。カバー部材は、例えば、ガラスからなる。カバー部材は、アクリル系樹脂、塩化ビニル系樹脂、又は成型樹脂等の樹脂からなってもよい。

振動部材２は、第一方向Ｄ１から見て、複数の振動デバイス１における後述する振動部１３と重なる複数の重複領域４１と、複数の重複領域４１間に配置された中間領域４２と、を有している。振動ユニット１００Ａでは、振動部材２は、一対の重複領域４１を有している。なお、図５では、分かりやすさのため、振動部１３を示す破線と、重複領域４１を示す二点鎖線とが互いにずれて示されているが、実際は振動部１３と重複領域４１とは完全に重なっている。

重複領域４１は、振動デバイス１に接合された複数（ここでは、一対）の接合領域４３と、複数の接合領域４３間において、振動デバイス１が駆動されていない状態で、振動デバイス１から離間して配置された離間領域４４と、を有している。すなわち、離間領域４４と振動デバイス１との間には、隙間が形成されている。中間領域４２は、第一方向Ｄ１から見て、複数の重複領域４１のうち、少なくとも隣り合う一対の重複領域４１間に配置された領域である。中間領域４２は、第一方向Ｄ１から見て、複数の重複領域４１のうち、少なくとも隣り合う一対の重複領域４１によって挟まれた領域である。

一対の振動デバイス１は、それぞれ一対の接合部材５によって振動部材２の主面２ｂに接合されている。接合部材５は、例えば、エポキシ樹脂又はアクリル系樹脂からなる樹脂層である。樹脂層は、導電性のフィラーを含んでおらず、電気絶縁性を有している。接合部材５の厚さ（第一方向Ｄ１の長さ）は、１ｍｍ未満であり、例えば０．２０ｍｍである。

一対の振動デバイス１は、互いに同じ構成を有している。振動デバイス１は、圧電素子１０と、圧電素子１０に接合された振動板１１と、圧電素子１０に接続されている配線部材１２と、をそれぞれ有している。圧電素子１０及び振動板１１は、振動部１３を構成している。振動デバイス１は、圧電素子１０及び振動板１１の厚さ方向がそれぞれ振動板１１の厚さ方向と一致するように、配置されている。つまり、圧電素子１０及び振動板１１の厚さ方向は、第一方向Ｄ１と一致している。振動デバイス１では、振動板１１と振動部材２との間に圧電素子１０及び配線部材１２が配置されている。

一対の振動部１３は、第二方向Ｄ２において互いに離間して配置されている。第一方向Ｄ１から見て、一対の振動部１３の第二方向Ｄ２における離間距離ｄ１（最短距離）は、例えば８０ｍｍである。一対の振動部１３は、いずれも支持部材３から等距離離間して配置されている。振動部１３と、支持部材３との第二方向Ｄ２における離間距離ｄ２（最短距離）は、例えば、３５ｍｍである。離間距離ｄ１は離間距離ｄ２よりも長くてもよいし、短くてもよいし、同等であってもよい。振動部１３は、主面２ｂの第三方向Ｄ３の中央に配置されている。振動部１３と支持部材３との第三方向Ｄ３における離間距離（最短距離）は、例えば４５ｍｍである。

振動板１１は、例えば、Ｎｉ－Ｆｅ合金、Ｎｉ、黄銅、又はステンレス等の金属からなる板部材である。振動板１１は、互いに対向している一対の主面１１ａ，１１ｂを有している。一対の主面１１ａ，１１ｂは、例えば、矩形状を呈している。振動板１１は、一対の主面１１ａ，１１ｂの長辺方向が第三方向Ｄ３と一致し、一対の主面１１ａ，１１ｂの短辺方向が第二方向Ｄ２と一致するように配置されている。一対の主面１１ａ，１１ｂの長辺の長さは、例えば、８０ｍｍである。一対の主面１１ａ，１１ｂの短辺の長さは、例えば、６０ｍｍである。振動板１１の厚さは、例えば、２５０μｍである。

主面１１ａの第二方向Ｄ２及び第三方向Ｄ３の中央には、圧電素子１０が配置されている。主面１１ａの第二方向Ｄ２の端部には、接合部材５が配置されている。接合部材５は、第二方向Ｄ２において、圧電素子１０から離間している。接合部材５は、主面１１ａの各長辺に沿って配置されている。接合部材５は、主面１１ａの各長辺の全体にわたって配置されている。すなわち、接合部材５の第三方向Ｄ３の長さは、主面２ａの長辺の長さ（主面２ａの第三方向Ｄ３の長さ）と同等である。

圧電素子１０は、板状を呈している。圧電素子１０は、第一方向Ｄ１で互いに対向している一対の主面１０ａ，１０ｂを有している。一対の主面１０ａ，１０ｂは、矩形状を呈している。一対の主面１０ａ，１０ｂは、例えば、正方形状を呈している。一対の主面１０ａ，１０ｂの一辺の長さは、例えば、３０ｍｍである。圧電素子１０の厚さ（圧電素子１０の第一方向Ｄ１の長さ）は、例えば、１００μｍである。

主面１０ａは、振動部材２の主面２ｂと対向している。主面１０ａは、主面２ｂから離間して配置されている。主面１０ｂは、振動板１１の主面１１ａと対向している。主面１０ｂは、不図示の接合部材によって、主面１１ａに接合（接着）されている。主面１０ｂの全面が主面１１ａに接合（接着）されている。接合部材は、例えば、エポキシ樹脂又はアクリル系樹脂からなる樹脂層である。樹脂層は、導電性のフィラーを含んでおらず、電気絶縁性を有している。

圧電素子１０は、振動板１１の主面１１ａの第二方向Ｄ２及び第三方向Ｄ３の中央に配置されている。圧電素子１０は、第一方向Ｄ１から見て、振動板１１の全ての外縁（四辺）から離間している。

圧電素子１０は、圧電体と、一対の外部電極とを備えている。圧電体は、内部電極を介して複数の圧電体層が積層されてなる積層構造を有している。一対の外部電極は、それぞれ極性の異なる内部電極に接続され、例えば、主面１０ａ上に配置されている。圧電素子１０は、一つの圧電体層からなる単層構造を有し、一対の外部電極が圧電体層を第一方向Ｄ１で挟むように設けられていてもよい。

配線部材１２は、例えば、フレキシブルプリント基板（ＦＰＣ）又はフレキシブルフラットケーブル（ＦＦＣ）である。配線部材１２の一方の端部は、圧電素子１０の主面１０ａ上に配置され、圧電素子１０の一対の外部電極に接続されている。配線部材１２は、圧電素子１０から第三方向Ｄ３に引き出されている。配線部材１２は、第一方向Ｄ１から見て、振動部材２の中間領域４２の外側に配置されている。すなわち、配線部材１２は、第一方向Ｄ１から見て、中間領域４２と重なっておらず、中間領域４２から離間している。

各配線部材１２の他方の端部は、例えば、制御回路（不図示）に電気的に接続されている。制御回路は、振動ユニット１００Ａを統括的に制御している。制御回路は、例えば、ＣＰＵ（Central Processing Unit）、ＲＯＭ（Read Only Memory）、及びＲＡＭ（Random Access Memory）を備えている。この場合、制御回路は、ＲＯＭに記憶されているプログラムをＲＡＭにロードし、ＣＰＵで実行することによって各種の処理を行う。

振動デバイス１は、複数の接合領域３１と、離間領域３２と、を有している。振動ユニット１００Ａでは、振動デバイス１は、一対の接合領域３１を有している。接合領域３１は、振動部材２の主面２ｂに接合されている。接合領域３１は、振動デバイス１のうち、接合部材５が設けられた部分によって構成されている。接合領域３１は、具体的には、振動板１１の第二方向Ｄ２の端部によって構成されている。複数の接合領域３１は、互いに連結されることにより、一体化されていてもよい。複数の接合領域３１は、一体化されて、例えば枠状（環状）を呈していてもよい。離間領域３２は、一対の接合領域３１間において、振動デバイス１が駆動されていない状態で、主面２ｂから離間して配置されている。離間領域３２は、振動デバイス１のうち、接合領域３１以外の部分によって構成されている。第一方向Ｄ１から見て、複数の接合領域３１は、複数の接合領域４３と重なっている。第一方向Ｄ１から見て、離間領域３２は、離間領域４４と重なっている。

離間領域３２と振動部材２（具体的には離間領域４４）の主面２ｂとの離間距離ｄ０（最短距離）は、振動部１３の振幅よりも短い。このため、振動デバイス１が駆動されると、離間領域３２は、主面２ｂと接触し、主面２ｂに振動を伝達する。離間距離ｄ０は、例えば２０μｍである。振動部１３の振幅は、例えば１００μｍである。本実施形態では、振動デバイス１のうち、配線部材１２が最も主面２ｂの近くに配置されている。よって、離間距離ｄ０は、配線部材１２と主面２ｂとの間の第一方向Ｄ１における離間距離である。

振動部１３の振幅は、振動部１３の第一方向Ｄ１における最大振幅で定義される。振動部１３の振幅は、振動部材２に拘束されていない離間領域４４において、接合領域４３よりも大きくなる。したがって、振動部１３の振幅は、具体的には、離間領域４４における振動部１３の第一方向Ｄ１における最大振幅である。離間距離ｄ０は、離間領域４４と離間領域３２との間に形成された隙間の第一方向Ｄ１の長さ（最小長さ）である。

支持部材３は、振動部材２の縁部２ｃを支持している。支持部材３は、例えば、矩形枠状部材であり、振動部材２の縁部２ｃの全周を支持している。支持部材３は、縁部２ｃの一部を支持していてもよい。支持部材３は、例えば、振動部材２の第二方向Ｄ２における一対の端部を縁部２ｃの一部として支持していてもよい。支持部材３は、振動部材２の主面２ｂの縁部と対向している対向面３ａを有している。対向面３ａは、接合部材６によって振動部材２の主面２ｂの縁部に接合されている。接合部材６は、例えば、エポキシ樹脂又はアクリル系樹脂からなる樹脂層である。

支持部材３は、振動部材２の主面２ｂの全体と対向する底部材を有していてもよい。この場合、支持部材３は、振動部材２とともに、振動デバイス１を収容する収容部を構成する。

次に、振動ユニット１００Ａの動作について説明する。例えば、使用者の指等が振動部材２の操作領域に接触することにより、振動部材２が押圧されると、振動部材２は、主面２ｂが湾曲外側となるように湾曲変形する。振動デバイス１は、振動部材２の変形に伴って変形することで使用者による操作を検出し、配線部材１２を介して検出信号を制御回路に与える。制御回路は、振動デバイス１から検出信号を受け取ると、振動デバイス１を駆動させる駆動信号を振動デバイス１に与える。振動デバイス１の振動は、一対の接合領域３１及び離間領域３２のそれぞれから振動部材２に伝達される。これにより、振動部材２が振動し、使用者に押圧感（タッチ感、クリック感、操作感）を与えることができる。

制御回路は、同じ駆動信号を各振動デバイス１に同時に与えるように構成されている。ここで、同じ駆動信号とは、波長、周期、振幅、及び速さがそれぞれ互いに等しい駆動信号である。これにより、振動部材２では、各振動デバイス１による振動が互いに重なり合って合成される結果、定在波（定常波）の振動が生じる。定在波の振動によれば、振動部材２の広い範囲で振幅を増大させることができる。すなわち、振動部材２における振動の広がりがよくなり、振動部材２の広い範囲で大きな振動が得られる。

以上説明したように、振動ユニット１００Ａでは、振動デバイス１は、振動部材２から離間し、振動部材２に拘束されていない離間領域３２を有している。振動デバイス１では、接合領域３１よりも離間領域３２で振動が大きくなる。したがって、振動デバイス１の全体が振動部材２に接合され、振動デバイス１が離間領域３２を有さない場合に比べて、特に離間領域３２において、振動デバイス１の振幅を増大させることができる。

離間領域３２と振動部材２の主面２ｂとの離間距離ｄ０は、振動部１３の振幅よりも短い。したがって、離間領域３２は、振動によって振動部材２の主面２ｂに接触し、振動部材２を大きく振動させる。この結果、振動部材２の振幅を更に増大させることができる。上述のように、振動部材２では定在波の振動が生じているため、振動部材２の広い範囲で振幅を更に増大させることができる。

振動部材２では、具体的には、離間領域３２が離間領域４４を振動させ、接合領域３１が接合部材５を介して接合領域４３を振動させる。上述のように、接合領域３１よりも離間領域３２で振動が大きくなるので、接合領域４３よりも離間領域４４で振動が大きくなる。中間領域４２では、各振動デバイス１による振動が互いに重なり合うため、離間領域４４よりも振動が更に大きくなる。

振動ユニット１００Ａでは、配線部材１２は、第一方向Ｄ１から見て、振動部材２の中間領域４２の外側に配置されている。このため、一対の振動部１３の間の領域に照明等の部材を容易に配置することができる。特に、振動部材２がタッチパネルである場合、一対の振動部１３の間の領域に照明を配置することにより、光が配線部材１２に遮られることが抑制されるので、タッチパネルの視認性を向上させることができる。

［第二実施形態］
図６は、第二実施形態に係る振動ユニットの平面図である。図６に示されるように、第二実施形態に係る振動ユニット１００Ｂは、振動板１１の形状の点で、第一実施形態に係る振動ユニット１００Ａ（図１参照）と相違している。振動ユニット１００Ｂでは、振動板１１の一対の主面１１ａ，１１ｂ（図４参照）は、正方形状を呈している。一対の主面１１ａ，１１ｂの一辺の長さは、例えば、６０ｍｍである。

振動ユニット１００Ｂにおいても、振動ユニット１００Ａと同様に振幅を増大させることができる。また、振動ユニット１００Ｂにおいても、配線部材１２は、第一方向Ｄ１から見て、振動部材２の中間領域４２（図３参照）の外側に配置されている。よって、２つの振動部１３の間の領域に照明等の部材を容易に配置することができる。

［第三実施形態］
図７は、第三実施形態に係る振動ユニットの平面図である。図８は、図７に示される振動部材の領域について説明するための平面図である。なお、図８では、分かりやすさのため、振動部１３を示す破線と、重複領域４１を示す二点鎖線とが互いにずれて示されているが、実際は振動部１３と重複領域４１とは完全に重なっている。図７及び図８に示されるように、第三実施形態に係る振動ユニット１００Ｃは、主に、３つの振動デバイス１を備えている点で、第一実施形態に係る振動ユニット１００Ａ（図１参照）と相違している。３つの振動デバイス１は、互いに同じ構成を有している。３つの振動デバイス１は、第一方向Ｄ１から見て、それぞれが正三角形の頂点をなすように配置されている。各配線部材１２は、圧電素子１０から当該正三角形の外側に向かって放射状に引き出されている。

振動ユニット１００Ｃにおいても、振動ユニット１００Ａと同様に振幅を増大させることができる。また、振動ユニット１００Ｃにおいても、配線部材１２は、第一方向Ｄ１から見て、振動部材２の中間領域４２の外側に配置されている。よって、３つの振動部１３の間の領域に照明等の部材を容易に配置することができる。

［第四実施形態］
図９は、第四実施形態に係る振動ユニットの平面図である。図１０は、図９に示される振動部材の領域について説明するための平面図である。なお、図１０では、分かりやすさのため、振動部１３を示す破線と、重複領域４１を示す二点鎖線とが互いにずれて示されているが、実際は振動部１３と重複領域４１とは完全に重なっている。図９及び図１０に示されるように、第四実施形態に係る振動ユニット１００Ｄは、主に、４つの振動デバイス１を備えている点で、第一実施形態に係る振動ユニット１００Ａ（図１参照）と相違している。４つの振動デバイス１は、互いに同じ構成を有している。４つの振動デバイス１は、第一方向Ｄ１から見て、それぞれが矩形の頂点をなすように配置されている。４つの振動デバイス１は、マトリックス状に配置され、第二方向Ｄ２及び第三方向Ｄ３に配列されている。配線部材１２は、圧電素子１０から第三方向Ｄ３に引き出されている。

振動ユニット１００Ｄにおいても、振動ユニット１００Ａと同様に振幅を増大させることができる。また、振動ユニット１００Ｄにおいても、配線部材１２は、第一方向Ｄ１から見て、振動部材２の中間領域４２の外側に配置されている。よって、４つの振動部１３の間の領域に照明等の部材を容易に配置することができる。

［第五実施形態］
図１１は、第五実施形態に係る振動ユニットの一部を拡大して示す端面図ある。図１１に示されるように、第五実施形態に係る振動ユニット１００Ｅは、振動デバイス１が第一方向Ｄ１において反対向きに取り付けられている点で、第一実施形態に係る振動ユニット１００Ａ（図１参照）と相違している。すなわち、振動ユニット１００Ａでは、振動デバイス１は、振動板１１の主面１１ａが振動部材２の主面２ｂと対向するように、振動部材２に接合されているのに対し、振動ユニット１００Ｅでは、振動デバイス１は、振動板１１の主面１１ｂが振動部材２の主面２ｂと対向するように、振動部材２に接合されている。振動ユニット１００Ｅでは、振動デバイス１のうち、振動板１１が最も主面２ｂの近くに配置されている。よって、離間距離ｄ０は、振動板１１の主面１１ｂと主面２ｂとの第一方向Ｄ１における離間距離（最短距離）である。

振動ユニット１００Ｅにおいても、振動ユニット１００Ａと同様に振幅を増大させることができる。また、振動ユニット１００Ｅにおいても、配線部材１２は、第一方向Ｄ１から見て、振動部材２の中間領域４２（図３参照）の外側に配置されている。よって、一対の振動部１３の間の領域に照明等の部材を容易に配置することができる。

本発明は必ずしも上述した実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で様々な変更が可能である。

振動ユニット１００Ａ，１００Ｂ，１００Ｃ，１００Ｄ，１００Ｅは、複数の振動デバイス１を備えていればよく、振動部材２は、振動デバイス１の数に応じて、複数の重複領域４１を有していればよい。配線部材１２は、振動部１３と電気的に接続されていればよく、主面１０ａ上に配置されていなくてもよい。

１…振動デバイス、２…振動部材、２ｂ…主面、２ｃ…縁部、３…支持部材、１０…圧電素子、１１…振動板、１２…配線部材、１３…振動部、３１…接合領域、３２…離間領域、４１…重複領域、４２…中間領域、１００Ａ，１００Ｂ，１００Ｃ，１００Ｄ，１００Ｅ…振動ユニット、ｄ０…離間距離。

Claims (2)

1. 振動部を有する複数の振動デバイスと、
   前記複数の振動デバイスが互いに離間して配置された主面を有する振動部材と、
   前記振動部材の縁部を支持する支持部材と、を備え、
   前記複数の振動デバイスのそれぞれは、前記主面に接合された複数の接合領域と、前記複数の接合領域間において、前記主面から離間して配置された離間領域と、を有し、
   前記離間領域と前記主面との離間距離は、前記振動部の振幅よりも短い、振動ユニット。
2. 前記複数の振動デバイスは、前記振動部に接続されている配線部材をそれぞれ更に有し、
   前記振動部材は、前記主面に直交する方向から見て、前記複数の振動デバイスの前記振動部と重なる複数の重複領域と、前記複数の重複領域間に配置された中間領域と、を有し、
   前記配線部材は、前記方向から見て、前記中間領域の外側に配置されている、請求項１に記載の振動ユニット。

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