WO2018190069A1

WO2018190069A1 - 物理量計測装置

Info

Publication number: WO2018190069A1
Application number: PCT/JP2018/010141
Authority: WO
Inventors: 昇北原
Original assignee: 株式会社デンソー
Priority date: 2017-04-13
Filing date: 2018-03-15
Publication date: 2018-10-18
Also published as: DE112018002011T5; JP2018179766A; US10907762B2; US20200032946A1; DE112018002011B4; JP6658660B2

Abstract

物理量計測装置（５０）は、流入口（６３ａ）及び流出口（６３ｂ）を有し、これら流入口及び流出口から出入りした流体が通過する通過流路（６１）と、通過流路から分岐し、通過流路から流入した流体を分岐出口（６３ｃ）から放出する分岐流路（６２）と、物理量検出部（５２）とを備える。流入口から流路中心線（ＣＬ）に沿って流路方向（γ）に延びる流入領域（１３１）と、流入口からは延びずに横方向（α）において流入領域に横並びに設けられた横並び領域（１３２）とが、通過流路及び分岐流路の少なくとも一方に含まれており、物理量検出部は、分岐流路において横並び領域に設けられており、流体と共に流入口から進入した異物（Ｆ１１，Ｆ１２）を横方向において横並び領域とは反対側に寄せる寄せ面（１２１）が、横並び領域よりも上流側において通過流路の内周面（６１ａ）及び分岐流路の内周面（６２ａ）の少なくとも一方に含まれている。

Description

物理量計測装置

関連出願の相互参照

　本出願は、２０１７年４月１３日に出願された日本特許出願番号２０１７－７９８８０号に基づくもので、ここにその記載内容を援用する。

　本開示は、物理量計測装置に関する。

　流体の物理量を計測する物理量計測装置として、例えば特許文献１には、内燃機関に吸入される吸入空気の流量を計測する物理量計測装置が開示されている。この物理量計測装置は、流入した流体を排出する排出通路と、この排出通路から分岐した分岐通路とを有しており、この分岐通路に流量検出部が設けられている。分岐通路が一回転するように湾曲している一方で、排出通路は大きくは湾曲していない。ここで、流体と共に排出通路に流れ込んだ異物のうち、質量の比較的大きな異物は流体に比べて直進しやすい。このため、上記特許文献１では、質量の比較的大きな異物は、分岐通路に進入せずに排出通路の流出口から排出されやすく、その結果、流量検出部の検出精度が異物の存在によって低下するということが抑制される、としている。

特開２０１６－３１３４１号公報

　しかしながら、上記特許文献１の物理量計測装置において、直進しやすい異物であっても分岐通路に進入しないとは限らず、異物が分岐通路に進入しないようにする構成に関して改善の余地がある。すなわち、流量検出部等の物理量検出部への異物の到達を抑制する構成に関して改善の余地がある。

　本開示の主な目的は、物理量検出部に異物が到達することを抑制できる物理量計測装置を提供することにある。

　上記目的を達成するため、本開示の第１の態様は、流体の物理量を計測する物理量計測装置であって、流入口及び流出口を有し、これら流入口及び流出口から出入りした流体が通過する通過流路と、通過流路から分岐し、通過流路から流入した流体を分岐出口から放出する分岐流路と、分岐流路において流体の物理量を検出する物理量検出部と、を備え、流入口の中心と分岐出口の中心とを繋ぎ、通過流路の中心線の少なくとも一部及び分岐流路の中心線を含む仮想線を流路中心線と称し、通過流路の内周面のうち、通過流路と分岐流路との境界である流路境界部及び流入口を挟んで対向する一対の通過対向面が並ぶ方向を、横方向と称し、流路中心線が延びる方向を流路方向と称し、横方向及び流路方向の両方に直交する方向を縦方向と称すると、流入口から流路中心線に沿って流路方向に延びる流入領域と、流入口からは延びずに横方向において流入領域に横並びに設けられた横並び領域とが、通過流路及び分岐流路の少なくとも一方に含まれており、物理量検出部は、分岐流路において横並び領域に設けられており、流体と共に流入口から進入した異物を横方向において横並び領域とは反対側に寄せる寄せ面が、横並び領域よりも上流側において通過流路の内周面及び分岐流路の内周面の少なくとも一方に含まれている、物理量計測装置である。

　分岐流路が通過流路から縦方向に分岐した構成では、比較的大型の異物など直進しやすい異物について、その進行方向が縦方向に比べて横方向には変わりにくいと考えられる。これは、通過流路からの分岐流路の分岐に伴って、分岐流路が横方向よりも縦方向に大きく曲がった構成が採用されやすいと想定されるためである。そこで、第１の態様によれば、分岐流路の横並び領域に流量検出部が設けられている。このため、比較的大型の異物など直進しやすい異物が流入口から流入領域に進入して分岐流路を下流側に進んでも、異物の進行方向が横方向には変わりにくいことに起因して、この異物が流入領域から横並び領域には進入しにくくなっている。すなわち、この異物が流量検出部に到達しにくくなっている。

　ところが、流入領域を進む異物が横方向について横並び領域寄りの位置を通る場合には、この異物の進行方向が横並び領域側に向けて少し斜めに変わっただけでも横並び領域に進入してしまうと考えられる。これに対して、第１の態様によれば、流入領域において横並び領域よりも上流側に寄せ面が設けられている。この場合、流入領域を進行する異物について、寄せ面への衝突や接近に伴ってその進行方向が一時的に変わることで、横方向における位置が横並び領域から遠ざかりやすい。このため、流入領域を進む異物の進行方向が少し変わったとしても、その異物が横並び領域には進入しにくくなっている。したがって、異物が物理量検出部に到達するということをより確実に抑制できる。

　上記目的を達成するため、本開示の第２の態様は、流体の物理量を計測する物理量計測装置であって、流入口及び流出口を有し、これら流入口及び流出口から出入りした流体が通過する通過流路と、通過流路から分岐し、通過流路から流入した流体を分岐出口から放出する分岐流路と、分岐流路において流体の物理量を検出する物理量検出部と、を備え、流入口の中心と分岐出口の中心とを繋ぎ、通過流路の中心線の少なくとも一部及び分岐流路の中心線を含む仮想線を流路中心線と称し、通過流路の内周面のうち、通過流路と分岐流路との境界である流路境界部及び流入口を挟んで対向する一対の対向面が並ぶ方向を、横方向と称し、流路中心線が延びる方向を流路方向と称し、横方向及び流路方向の両方に直交する方向を縦方向と称すると、流入口から流路中心線に沿って流路方向に延びる流入領域と、流入口からは延びずに横方向において流入領域に横並びに設けられた横並び領域とが、通過流路及び分岐流路の少なくとも一方に含まれており、物理量検出部は、分岐流路において横並び領域に設けられており、物理量検出部を上流側から覆い隠す覆い部が分岐流路に設けられており、横並び領域は、流路方向において覆い部の下流側に配置されており、流体と共に流入口から進入した異物を横方向において覆い部側に寄せる寄せ面が、横並び領域よりも上流側において通過流路の内周面及び分岐流路の内周面の少なくとも一方に含まれている、物理量計測装置である。

　第２の態様によれば、物理量検出部が覆い部の下流側に隠れた状態になっているため、仮に物理量検出部に向けて流路方向に直進する異物があったとしても、この異物が物理量検出部に到達することが覆い部により規制される。

　ここで、流入領域を進む異物は、覆い部に衝突することなく、横並び領域に進入することなく、物理量検出部を通過することになる。ところが、この異物が横方向について横並び領域寄りの位置を通って覆い部を通り過ぎた場合には、この異物の進行方向が横並び領域側に向けて少し斜めに変わっただけでも横並び領域に進入してしまうと考えられる。これに対して、第２の態様によれば、寄せ面に衝突したり接近したりした異物が横方向において覆い部側に誘導されるため、この異物は覆い部に衝突しやすくなる。ここで、覆い部に衝突した異物はその進行方向が変わることで、横方向について横並び領域から比較的遠い位置を通りやすくなる。このため、異物が覆い部を通過した後にその異物の進行方向が少し変わったとしても、その異物が横並び領域には進入しにくくなっている。したがって、異物が物理量検出部に到達するということをより確実に抑制できる。

　上記目的を達成するため、本開示の第３の態様は、流体の物理量を計測する物理量計測装置であって、流入口及び流出口を有し、これら流入口及び流出口から出入りした流体が通過する通過流路と、通過流路から分岐し、通過流路から流入した流体を分岐出口から放出する分岐流路と、分岐流路において流体の物理量を検出する物理量検出部と、を備え、流入口の中心と分岐出口の中心とを繋ぎ、通過流路の中心線の少なくとも一部及び分岐流路の中心線を含む仮想線を流路中心線と称し、通過流路の内周面のうち、通過流路と分岐流路との境界である流路境界部及び流入口を挟んで対向する一対の対向面が並ぶ方向を、横方向と称し、流路中心線が延びる方向を流路方向と称し、横方向及び流路方向の両方に直交する方向を縦方向と称すると、流入口から流路中心線に沿って流路方向に延びる流入領域と、流入口からは延びずに横方向において流入領域に横並びに設けられた横並び領域とが、通過流路及び分岐流路の少なくとも一方に含まれており、物理量検出部は、分岐流路において横並び領域に設けられており、流体と共に流入口から進入した異物を横方向において横並び領域とは反対側に寄せる寄せ面が、通過流路において流路境界部よりも上流側において通過流路の内周面に含まれている、物理量計測装置である。

　第３の態様によれば、通過流路において流路境界部よりも下流側に寄せ面が設けられている。このため、通過流路において下流側に向けて進むことで流路境界部を通過した異物が、通過流路の内周面にて跳ね返ることなどにより上流側に向けて戻って分岐流路に進入したとしても、この異物が横方向について横並び領域から遠ざかる位置に寄せ面によりされている。このため、上記第１の態様と同様の効果を奏することができる。

　本開示についての上記目的およびその他の目的、特徴や利点は、添付の図面を参照しながら下記の詳細な記述により、より明確になる。その図面は、
第１実施形態における吸気管に取り付けられた状態のエアフロメータを上流側から見た正面図。図１のＩＩ－ＩＩ線断面図。図２における通過流路周辺の図。第１実施形態とは異なり、通過流路の天井面が段差面を有していない構成について説明するための図。第２実施形態における吸気管に取り付けられた状態のエアフロメータを上流側から見た正面図。図５における裏カバーを外した状態のハウジング本体の構成を示す図。図５における表カバーを外した状態のハウジング本体の構成を示す図。図６における通過流路周辺の図。段差面周辺の拡大図。第２実施形態とは異なり、通過流路の天井面が流入段差面を有していない構成について説明するための図。変形例Ｂ１における段差面周辺の拡大図。変形例Ｂ１における段差面周辺の拡大図。変形例Ｂ３における段差面周辺の拡大図。変形例Ｂ４における段差面周辺の拡大図。変形例Ｂ５における通過流路周辺の図。変形例Ｂ５とは異なり、通過流路の天井面が流出段差面を有していない構成について説明するための図。変形例Ｂ６における通過流路周辺の図。変形例Ｂ７における通過流路周辺の図。変形例Ｂ８における通過流路周辺の図。変形例Ｂ９における通過流路周辺の図。変形例Ｂ１０における通過流路周辺の図。変形例Ｂ１１における通過流路周辺の図。第３実施形態における通過流路周辺の図。エアフロメータの流入口周辺を上流側から見た図。エアフロメータの流出口周辺を下流側から見た図。第３実施形態とは異なり、エアフロメータが流入制限部を有していない構成について説明するための図。変形例Ｃ１における通過流路周辺の図。変形例Ｃ２における通過流路周辺の図。変形例Ｃ３における通過流路周辺の図。変形例Ｃ４，Ｃ５における通過流路周辺の図。変形例Ｃ５における通過流路周辺の図。変形例Ｃ６における高さ方向に直交する方向において床側から天井側を見た通過流路の断面図。第４実施形態における通過流路周辺の図。大異物の進み方について説明するための図。第４実施形態とは異なり、仕切頂部が流入口から上流側に露出した構成について説明するための図。変形例Ｄ１における通過流路周辺の図。変形例Ｄ３における通過流路周辺の図。変形例Ｄ４における通過流路周辺の図。変形例Ｄ６における通過流路周辺の図。大異物の進み方を説明するための図。変形例Ｄ７における通過流路周辺の図。第５実施形態における通過流路周辺の図。エアフロメータの流入口周辺を上流側から見た図。流入領域及び横並び領域について説明するための図。大異物の進み方を説明するための図。変形例Ｅ３における通過流路周辺の図。流入領域及び横並び領域と寄せ面との位置関係について説明するための図。変形例Ｅ４における通過流路周辺の図。流入領域及び横並び領域と寄せ面との位置関係について説明するための図。変形例Ｅ５における通過流路周辺の図。変形例Ｅ６における覆い部について説明するための図。大異物の進み方を説明するための図。変形例Ｅ７における大異物の進み方を説明するための図。第６実施形態における通過流路周辺の図。高さ方向に直交する方向において床側から天井側を見た通過流路の断面図。流入領域及び横並び領域について説明するための図。

　以下、本開示の複数の実施形態を図面に基づいて説明する。尚、各実施形態において対応する構成要素には同一の符号を付すことにより、重複する説明を省略する場合がある。各実施形態において構成の一部分のみを説明している場合、当該構成の他の部分については、先行して説明した他の実施例の構成を適用することができる。また、各実施形態の説明において明示している構成の組み合わせばかりではなく、特に組み合わせに支障が生じなければ、明示していなくても複数の実施形態の構成同士を部分的に組み合わせることができる。そして、複数の実施形態及び変形例に記述された構成同士の明示されていない組み合わせも、以下の説明によって開示されているものとする。

（第１実施形態）
　図１、図２に示すエアフロメータ１０は、空気等の流体を対象として流量や温度、湿度、圧力等の物理量を計測する物理量計測装置である。エアフロメータ１０は、例えばエンジン等の内燃機関１１を有する車両に搭載されている。この内燃機関１１は吸気通路１２及び排気通路を有しており、エアフロメータ１０は吸気通路１２に取り付けられている。この場合、エアフロメータ１０の計測対象である流体は、吸気通路１２を流れる吸入空気とされる。この吸入空気は、内燃機関１１の燃焼室に供給される気体である。なお、エアフロメータ１０は、吸気通路１２においてエアクリーナの下流側に配置されている。この場合、吸気通路１２においてエアフロメータ１０にとっては、エアクリーナ側が上流側であり、燃焼室側が下流側になる。

　エアフロメータ１０は、吸気通路１２を形成する吸気管１２ａに着脱可能に取り付けられている。エアフロメータ１０は、吸気管１２ａの筒壁を貫通するよう形成されたセンサ挿入孔１２ｂに挿し込まれており、少なくとも一部を吸気通路１２内に位置させている。吸気管１２ａは、センサ挿入孔１２ｂから外周側に向けて延びたフランジ部１２ｃを有している。フランジ部１２ｃは、センサ挿入孔１２ｂの周縁部に沿って延びており、例えば円環状になっている。フランジ部１２ｃの先端面は、フランジ部１２ｃの中心線に直交する方向に延びている。この場合、フランジ部１２ｃの先端面は、吸気通路１２の長手方向、すなわち吸気通路１２において吸入空気が流れる方向に延びている。

　エアフロメータ１０は、ハウジング２１及び流量検出部２２を有している。ハウジング２１は、例えば樹脂材料等によって形成されている。エアフロメータ１０においては、ハウジング２１が吸気管１２ａに取り付けられていることで、流量検出部２２が、吸気通路１２を流れる吸入空気と接触可能な状態になる。ハウジング２１は、流路形成部２４、嵌合部２５、Ｏリング２６、フランジ部２７及びコネクタ部２８を有している。

　流路形成部２４は流路３１，３２を形成している。流路３１，３２は、流路形成部２４の内部空間により形成されており、吸気通路１２を流れる吸入空気の一部をハウジング２１の内部に導入する。通過流路３１は、流路形成部２４を貫通しており、通過流路３１の上流端部を流入口３３ａと称し、下流側端部を流出口３３ｂと称する。計測流路３２は、通過流路３１の中間部分から分岐した分岐流路であり、湾曲した部分を有していることで流路形成部２４の内部を周回している。ただし、計測流路３２は、１周はしておらず、計測流路３２の上流端部寄りの部分と下流端部寄りの部分とが流路形成部２４の幅方向には重複していない。また、通過流路３１と計測流路３２とについても、流路形成部２４の幅方向には重複していない。

　計測流路３２の下流側端部は、通過流路３１の下流側端部と同様に開放されており、この下流側端部を計測出口３３ｃと称する。計測流路３２は、下流端部に向けて分岐していることで計測出口３３ｃを２つ有しており、これら計測出口３３ｃは、流路形成部２４の幅方向において互いに離間した位置に横並びに配置されている。上述したように、通過流路３１と計測流路３２とが流路形成部２４の幅方向には重複していないことに起因して、各計測出口３３ｃと流出口３３ｂとについても、流路形成部２４の幅方向には重複していない。なお、吸気通路１２を主通路と称し、通過流路３１及び計測流路３２をまとめて副通路と称することもできる。また、計測出口３３ｃが「分岐出口」に相当する。

　嵌合部２５は、センサ挿入孔１２ｂにＯリング２６を介して内嵌される部位である。Ｏリング２６は、吸気通路１２と吸気管１２ａの外部とをシールする部材である。Ｏリング２６は、嵌合部２５に外嵌されており、フランジ部１２ｃの内周側に入り込んだ状態で嵌合部２５とセンサ挿入孔１２ｂとの間に介在している。フランジ部２７は、嵌合部２５を挟んで流路形成部２４とは反対側に配置されており、センサ挿入孔１２ｂを吸気管１２ａの外周側から覆っている。また、フランジ部２７は、吸気管１２ａのフランジ部１２ｃの先端部に引っ掛かることで、ハウジング２１が吸気通路１２内に入り込み過ぎることを規制する。フランジ部２７は、流路形成部２４側を向いたフランジ面２７ａを有している。このフランジ面２７ａは、フランジ部１２ｃの先端面に平行に延びており、フランジ部１２ｃの先端面に重ねられている。

　コネクタ部２８は、複数の端子を囲う部位である。コネクタ部２８には、プラグ部が挿入される。プラグ部は、ＥＣＵ等の機関制御装置に直接的又は間接的に電気接続された接続線の端部に設けられており、コネクタ部２８と嵌合する。

　流量検出部２２は、例えば発熱抵抗体等の発熱部やヒータ部を用いた熱式の流量センサであり、流量検出部２２の検出面はメンブレンにより形成されている。流量検出部２２は、計測流路３２の中間位置に配置されている。ハウジング２１が吸気管１２ａに取り付けられることで、流量検出部２２には、計測流路３２を流通する吸入空気が供給される。流量検出部２２は、コネクタ部２８に設けられた複数の端子と電気的に接続されている。流量検出部２２は、吸気流量に対応したセンサ信号であって、計測流路３２を流れる空気の流速に対応したセンサ信号を、流量信号として機関制御装置に対して出力する。流量検出部２２は、計測流路３２を流れる吸入空気の流量を検出することで、吸気通路１２を流れる吸入空気の流量を検出することになる。なお、流量検出部２２は、吸入空気の流量を物理量として検出する「物理量検出部」に相当する。また、流量検出部２２は、熱式の流量センサに限定されず、可動フラップ式の流量センサやカルマン渦式の流量センサ等であってもよい。

　エアフロメータ１０は、流量検出部２２の他にも、温度を検出する温度検出部や、湿度を検出する湿度検出部を有している。温度検出部や湿度検出部は、ハウジング２１の外周側に設けられており、吸気通路１２を流れる吸入空気の温度や湿度に応じたセンサ信号を温度信号や湿度信号として出力する。例えば、エアフロメータ１０は、ハウジング２１の外周側においてこれら検出部を支持する支持体を有しており、この支持体がハウジング２１に固定されている。

　エアフロメータ１０については、２つの計測出口３３ｃが並ぶ方向を幅方向Ｘと称し、流路形成部２４とフランジ部２７とが並ぶ方向を高さ方向Ｙと称し、通過流路３１が延びる方向を奥行き方向Ｚと称する。これら幅方向Ｘ、高さ方向Ｙ及び奥行き方向Ｚは互いに直交しており、フランジ部２７のフランジ面２７ａが幅方向Ｘ及び奥行き方向Ｚの両方に平行に延びている。エアフロメータ１０が、吸気管１２ａに取り付けられた状態では、流入口３３ａが吸気通路１２の上流側を向き、流出口３３ｂ及び計測出口３３ｃが下流側を向いている。この場合、吸気通路１２において吸入空気が流れる方向が奥行き方向Ｚになり、流入口３３ａからの流入空気の流入向きが奥行き方向Ｚと同じになりやすいと考えられる。エアフロメータ１０においては、流入口３３ａから流入した吸入空気が、通過流路３１や計測流路３２を通過することで流出口３３ｂ及び各計測出口３３ｃのそれぞれから流出する。

　通過流路３１と計測流路３２との境界である流路境界部３４においては、通過流路３１の中間部分が高さ方向Ｙにおいてフランジ部２７側に向けて開放されている。流路境界部３４においては、通過流路３１の中間部分と計測流路３２の上流端部とが接続されており、計測流路３２の上流端部を計測入口と称することもできる。計測流路３２は、流路境界部３４と計測出口３３ｃとの間において奥行き方向Ｚに延びた部分を有しており、この部分に流量検出部２２が配置されている。

　エアフロメータ１０においては、吸入空気と共に砂やゴミ等のダストが異物として流入口３３ａから進入することが想定される。この場合、異物の多くは吸入空気の流れに沿って奥行き方向Ｚに進行することで流出口３３ｂから出て行くが、一部の吸入空気と共に計測流路３２に進入する異物もある、と考えられる。特に、質量の比較的大きな異物や比較的大型の異物など大異物については、吸入空気の流れ向きに関係なく直進しやすいと考えられる。このため、大異物については、通過流路３１の内周面３１ａに衝突して跳ね返り、進行方向が変わることで却って計測流路３２に進入しやすくなる、ということが懸念される。

　これに対して、本実施形態では、通過流路３１の内周面３１ａにて跳ね返った大異物が計測流路３２に進入することが抑制されるようになっている。なお、質量の比較的小さな異物や比較的小型の異物など小異物は、吸入空気の流れに合わせて進行方向が変化しやすく、通過流路３１の内周面３１ａに衝突する前に曲がりやすい、と考えられる。

　図１、図３に示すように、通過流路３１の内周面３１ａは、天井面３６、床面３７及び一対の壁面３８を有している。一対の壁面３８は、幅方向Ｘにおいて流路境界部３４や流入口３３ａ及び流出口３３ｂを挟んで互いに対向する一対の対向面になっており、天井面３６と床面３７とは、壁面３８を挟んで対向する一対の対向面になっている。通過流路３１においては、天井面３６の一部が開放されており、この開放された部分に計測流路３２の上流端部が接続されることで流路境界部３４が形成されている。天井面３６は、流入口３３ａと流路境界部３４との間の流入天井面部３６ａと、流路境界部３４と流出口３３ｂとの間の流出天井面部３６ｂとを有している。

　ここで、流路境界部３４は、最も上流側にある上流境界部分３４ａと、最も下流側にある下流境界部分３４ｂとを有しており、高さ方向Ｙにおいては、上流境界部分３４ａが下流境界部分３４ｂよりもフランジ部２７から離間した位置にある。この場合、計測流路３２の上流端部が流入口３３ａ側ではなく流出口３３ｂ側に向けて開放された状態になっている。このため、奥行き方向Ｚに直進している異物が流入口３３ａから進入したとしても、この異物がこのまま計測流路３２に進入するということが生じにくくなっている。なお、この構成では、例えば人が奥行き方向Ｚにおいて流入口３３ａから通過流路３１内を覗き込んだとしても、計測流路３２の上流端部を視認できないことになる。

　天井面３６においては、流入天井面部３６ａ及び流出天井面部３６ｂが段差面４１ａ，４１ｂ及び接続面４２ａ，４２ｂをそれぞれ有していることで、流入口３３ａ側を向いた段差が形成されている。流入段差面４１ａは、流入天井面部３６ａにおいて流入口３３ａと流路境界部３４との並び方向に沿って奥行き間隔Ｄａで複数並べられている。流出段差面４１ｂは、流出天井面部３６ｂにおいて流路境界部３４と流出口３３ｂとの並び方向に沿って奥行き間隔Ｄｂで複数並べられており、奥行き間隔Ｄｂは奥行き間隔Ｄａより小さい。これら段差面４１ａ，４１ｂは、天井面３６において床面３７に向けて延びていることで流入口３３ａ側を向いており、一対の壁面３８にかけ渡された状態になっている。各流入段差面４１ａ及び各流出段差面４１ｂは、互いに同じ向きに延びており、具体的には、いずれも奥行き方向Ｚに直交する方向に延びている。

　流入接続面４２ａは、流入天井面部３６ａにおいて、隣り合う流入段差面４１ａのうち、上流側の流入段差面４１ａの下流側端部と下流側の流入段差面４１ａの上流端部とを接続しており、流入段差面４１ａの数に応じて複数設けられている。流出接続面４２ｂは、流出天井面部３６ｂにおいて、隣り合う流出段差面４１ｂのうち、上流側の流出段差面４１ｂの下流側端部と下流側の流出段差面４１ｂの上流端部とを接続しており、流出段差面４１ｂの数に応じて複数設けられている。これら接続面４２ａ，４２ｂは、互いに同じ向きに延びており、具体的には、いずれも高さ方向Ｙに直交する方向に延びている。すなわち、各流入接続面４２ａは流入段差面４１ａに直交し、各流出接続面４２ｂは流出段差面４１ｂに直交している。この場合、奥行き方向Ｚにおいて、接続面４２ａ，４２ｂの奥行き寸法は、隣り合う段差面４１ａ，４１ｂの奥行き間隔Ｄａ，Ｄｂと同じになっている。

　流入天井面部３６ａ及び流出天井面部３６ｂは、段差面４１ａ，４１ｂ及び接続面４２ａ，４２ａにより全体として階段状になっている。流入天井面部３６ａにおいては、下流側に向かうにつれて段差が徐々に大きくなっている。具体的には、各段差において奥行き間隔Ｄａは均一である一方で、高さ方向Ｙにおける流入段差面４１ａの高さ寸法Ｈａが流入口３３ａから遠ざかるにつれて徐々に大きくなっている。流入口３３ａに近い段差では、高さ寸法Ｈａが奥行き間隔Ｄａより小さいが、流路境界部３４に近付くにつれて徐々に高さ寸法Ｈａと奥行き間隔Ｄａとの差異が小さくなり、流路境界部３４に近い段差では高さ寸法Ｈａと奥行き間隔Ｄａとがほぼ同じ値になっている。なお、高さ寸法Ｈａは奥行き間隔Ｄａより小さくなっていてもよい。

　一方、流出天井面部３６ｂにおいては、下流側に向かうにつれて段差が徐々に小さくなっている。具体的には、各段差において奥行き間隔Ｄｂは均一である一方で、高さ方向Ｙにおける流出段差面４１ｂの高さ寸法Ｈｂが流出口３３ｂに近付くにつれて徐々に小さくなっている。流路境界部３４に近い段差では、高さ寸法Ｈｂが奥行き間隔Ｄｂより大きいが、流出口３３ｂに近付くにつれて徐々に高さ寸法Ｈｂと奥行き間隔Ｄｂとの差異が小さくなり、流出口３３ｂに近い段差では高さ寸法Ｈｂの方が奥行き間隔Ｄｂより大きくなっている。

　天井面３６においては、奥行き方向Ｚに対する流出天井面部３６ｂの全体的な傾斜角度が、奥行き方向Ｚに対する流入天井面部３６ａの全体的な傾斜角度に比べて大きくなっている。ここでは、流入天井面部３６ａの上流端部と下流端部との位置関係について、高さ方向Ｙの離間距離を高さ距離Ｈａｙと称し、奥行き方向Ｚの離間距離を奥行き距離Ｄａｚと称する。また、流入天井面部３６ａの上流端部と下流端部との位置関係について、高さ方向Ｙの離間距離を高さ距離Ｈｂｙと称し、奥行き方向Ｚの離間距離を奥行き距離Ｄａｚと称する。この場合、流出天井面部３６ｂの傾き度合いを示すＨｂｙ／Ｄｂｚの値が、流入天井面部３６ａの傾き度合いを示すＨａｙ／Ｄａｚの値より大きくなっている。これにより、流入口３３ａから吸入空気が流入しやすく、且つ計測流路３２での吸入空気の流速が大きくなりやすくなっている。

　流入天井面部３６ａは、流入口３３ａの形状に合わせて、幅方向Ｘの中間部分がフランジ部２７側に向けて膨らむように湾曲している。この場合、流入段差面４１ａについては、上流端部及び下流側端部の両方が湾曲している。流入接続面４２ａは、隣り合う流入段差面４１ａを接続できるように湾曲している。一方、流出口３３ｂはほぼ矩形状になっており、流出天井面部３６ｂは湾曲していない。

　ここまで説明した本実施形態によれば、流入天井面部３６ａが流入段差面４１ａを有しているため、流入口３３ａから進入した異物が計測流路３２に進入しにくくなっている。例えば、図３に実線で示すように、流入口３３ａから進入した大異物Ｆ１が奥行き方向Ｚに直進して流入天井面部３６ａの流入段差面４１ａに衝突した場合、大異物Ｆ１は、自身の軌跡を辿るようにして流入口３３ａ側に戻る可能性が高くなっている。このように、大異物Ｆ１は、通過流路３１において流入天井面部３６ａの流入段差面４１ａに衝突することで下流側に進みにくくなり、計測流路３２に進入しにくくなる。

　これに対して、本実施形態とは異なり、例えば、図４に示すように流入天井面部３６ａが流入段差面４１ａを有していない構成では、この流入天井面部３６ａが奥行き方向Ｚに直交していない。このため、大異物Ｆ１は、全体として傾斜している流入天井面部３６ａに衝突し、進行方向を変えつつも下流側に進むことが考えられる。この場合、大異物Ｆ１が流入天井面部３６ａにて跳ね返った角度によっては、図４に実線で示すように、大異物Ｆ１が流入天井面部３６ａに続いて床面３７で跳ね返りつつ下流側に進むことで計測流路３２に進入しやすくなってしまう、ということが懸念される。このように、流入天井面部３６ａでの跳ね返りに伴って大異物Ｆ１の進行方向が高さ方向Ｙについて変わると、その大異物Ｆ１が計測流路３２に流入する可能性が高くなりやすい。この点、本実施形態では、流入天井面部３６ａの流入段差面４１ａにて跳ね返った大異物Ｆ１の進行方向が高さ方向Ｙについて変わりにくい構成が実現されているため、その大異物Ｆ１が計測流路３２に進入しやすくなることを抑制できる。

　流量検出部２２が計測流路３２に設けられたエアフロメータ１０では、計測流路３２を流れる吸入空気の流速が小さ過ぎると流量検出部２２の検出精度が低下するということが懸念される。これに対して、本実施形態によれば、複数の流入段差面４１ａが奥行き方向Ｚに並んでいるため、流入口３３ａの開放面積を極力大きくしつつ、通過流路３１の断面積を流路境界部３４に向けて段階的に小さくすることができる。このため、大異物が計測流路３２に進入することを流入段差面４１ａにより抑制しつつ、計測流路３２への吸入空気の流入量が不足することを抑制することができる。

　本実施形態によれば、複数の流入段差面４１ａが流入天井面部３６ａに含まれているため、流入口３３ａから流路境界部３４に近付くにつれて流入天井面部３６ａがフランジ部２７から段階的に離間させることができる。この場合、例えば図３に示すように、流入口３３ａから流入した吸入空気ＧがＹ方向において流路境界部３４から徐々に遠ざかりやすくなるため、大異物に加えて、吸入空気Ｇの流れに乗りやすい小異物についても、計測流路３２に流れ込むことを抑制できる。

　本実施形態によれば、通過流路３１において、流路境界部３４に近い流入段差面４１ａほど高さ寸法Ｈａが大きくなっているため、流入口３３ａから流入した吸入空気の進行方向の変化率を徐々に大きくできる。この場合、吸入空気の進行方向の変化率が急激に大きくされた場合に比べて、渦流が発生するなどして吸入空気の流れが乱れるということが生じにくくなっている。このため、流れの乱れに伴って計測流路３２に吸入空気が流れ込みにくくなって計測流路３２での吸入空気の流速が不足するということや、流れの乱れに巻き込まれた異物が計測流路３２に進入するということなどを抑制できる。

　本実施形態によれば、流入接続面４２ａが奥行き方向Ｚと平行に延びている。このため、流入口３３ａから進入して奥行き方向Ｚに直進している異物が流入段差面４１ａに到達する際に流入接続面４２ａが異物にとって障害物になる、ということを抑制できる。

　本実施形態によれば、流入段差面４１ａが高さ方向Ｙと平行に延びているため、流入口３３ａからの吸入空気の進入方向になりやすい奥行き方向Ｚに流入段差面４１ａが直交することになる。このため、流入段差面４１ａに衝突して跳ね返った異物が高さ方向Ｙに対して傾いた向きで下流側に進み、床面３７に衝突して跳ね返るなどして計測流路３２に進入する、ということを抑制できる。

　本実施形態によれば、流出天井面部３６ｂが流出段差面４１ｂを有しているため、流入口３３ａから進入して流路境界部３４を通過した異物が計測流路３２に進入しにくくなっている。例えば、図３に破線で示すように、流入口３３ａから進入した大異物Ｆ２が奥行き方向Ｚに直進して流出天井面部３６ｂの流出段差面４１ｂに衝突した場合、大異物Ｆ２は、自身の軌跡を辿るようにして流入口３３ａ側に戻る可能性が高くなっている。このように、大異物Ｆ２は、通過流路３１において流出天井面部３６ｂの流出段差面４１ｂに衝突することで、一度は通過した計測流路３２を今度は逆向きに通過することになるが、計測流路３２に進入しにくい角度で上流側に向けて進みやすくなる。

　これに対して、本実施形態とは異なり、例えば、図４に示すように流出天井面部３６ｂが流出段差面４１ｂを有していない構成では、この流出天井面部３６ｂが奥行き方向Ｚに直交していない。このため、大異物Ｆ２は、全体として傾斜している流出天井面部３６ｂに衝突し、進行方向を変えて計測流路３２に進入することが考えられる。具体的には、大異物Ｆ２が流出天井面部３６ｂにて跳ね返った角度によっては、図４に破線で示すように、大異物Ｆ２が流出天井面部３６ｂに続いて床面３７で跳ね返りつつ上流側に進むことで計測流路３２に進入しやすくなってしまう、ということが懸念される。このように、流出天井面部３６ｂでの跳ね返りに伴って大異物Ｆ２の進行方向が高さ方向Ｙについて変わると、その大異物Ｆ２が計測流路３２に流入する可能性が高くなりやすい。この点、本実施形態では、流出天井面部３６ｂの流出段差面４１ｂにて跳ね返った大異物Ｆ２の進行方向が高さ方向Ｙについて変わりにくい構成が実現されているため、その大異物Ｆ２が計測流路３２に流入しやすくなることを抑制できる。

　上述したように、エアフロメータ１０では、計測流路３２を流れる吸入空気の流速が小さ過ぎると流量検出部２２の検出精度が低下するということが懸念される。これに対して、本実施形態によれば、流路境界部３４よりも下流側において、通過流路３１の断面積が流出段差面４１ｂにより小さくされることで通過流路３１が絞られている。この場合、通過流路３１での吸入空気の圧力が適度に高くなることで計測流路３２に吸入空気が流れ込みやすくなり、計測流路３２での吸入空気の流速が適度に大きくなる。このため、流量検出部２２の検出精度が低下することを流出段差面４１ｂにより抑制できる。

　本実施形態によれば、複数の流出段差面４１ｂが流出天井面部３６ｂに含まれているため、流路境界部３４よりも下流側において、流出口３３ｂに向けて通過流路３１の絞り度合いを徐々に大きくすることができる。この場合、流出口３３ｂに向けて通過流路３１の絞り度合いが急激に大きくなっている構成に比べて、渦流が発生するなどして吸入空気の流れが乱れるということが生じにくくなっている。このため、流れの乱れに巻き込まれた異物が計測流路３２に進入するということを抑制できる。

　本実施形態によれば、流出口３３ｂに近い流出段差面４１ｂほど高さ寸法Ｈｂが小さくなっている。このため、通過流路３１において流路境界部３４周辺の領域を高さ方向Ｙについて極力大きくすることができる。これにより、吸入空気が通過流路３１から計測流路３２に流入しやすい状況をつくり出しつつ、流出口３３ｂに向けて通過流路３１を流出段差面４１ｂにより徐々に絞る構成を実現できる。

　本実施形態によれば、流出接続面４２ｂが奥行き方向Ｚと平行に延びている。このため、流路境界部３４を通り過ぎて流出口３３ｂに向かって奥行き方向Ｚに直進している異物が流出段差面４１ｂに到達する際に流出接続面４２ｂが異物にとって障害物になる、ということを抑制できる。

　本実施形態によれば、流出段差面４１ｂが高さ方向Ｙと平行に延びているため、流入口３３ａからの吸入空気の進行方向になりやすい奥行き方向Ｚに流出段差面４１ｂが直交することになる。このため、流出段差面４１ｂに衝突して跳ね返った異物が高さ方向Ｙに対して傾いた向きで上流側に逆流して進み、床面３７に衝突して跳ね返るなどして計測流路３２に進入する、ということを抑制できる。

　第１実施形態について、本開示の要旨を逸脱しない範囲内において種々の実施形態及び組み合わせに適用することができる。

　変形例Ａ１として、流入段差面４１ａにおいて、上流端部及び下流端部のうち一方だけが流入口３３ａの形状に合わせて湾曲していてもよく、両方とも湾曲していなくてもよい。また、流入天井面部３６ａは、流入口３３ａの形状に関係なく、湾曲していてもよく、湾曲していなくてもよい。例えば、流入口３３ａが矩形状の場合に、流入段差面４１ａや流入接続面４２ａが湾曲していてもよい。

　変形例Ａ２として、流出口３３ｂが矩形状でなくてもよい。この場合、流出段差面４１ｂ及び流出接続面４２ｂが流出口３３ｂの形状に合わせて外側や内側に向けて湾曲していてもよい。

（第２実施形態）
　上記第１実施形態のエアフロメータ１０では、通過流路３１と計測流路３２とが幅方向Ｘに重複していなかったが、第２実施形態のエアフロメータでは、通過流路と計測流路とが幅方向Ｘに重複している。第２実施形態では、第１実施形態との相違点を中心に説明する。

　図５～図８に示すエアフロメータ５０は、上記第１実施形態のエアフロメータ１０と同様に、吸気管１２ａに取り付けられた状態で吸気通路１２にて吸入空気の物理量を検出する物理量検出装置である。エアフロメータ５０は、ハウジング５１及び流量検出部５２を有しており、ハウジング５１は、流路形成部５４、Ｏリング５６、フランジ部５７、フランジ面５７ａ及びコネクタ部５８を有している。これら部材や部位は、上記第１実施形態の同じ名称の部材や部位に対応している。

　なお、本実施形態のＯリング５６は、フランジ部１２ｃの内周側には入り込んでおらず、フランジ部１２ｃの先端部とフランジ部５７との間に挟み込まれた状態になっている。この場合、フランジ面５７ａは、Ｏリング５６を介してフランジ部１２ｃの先端面に対向している。

　ハウジング５１においては、ハウジング本体５１ａ、表カバー５１ｂ及び裏カバー５１ｃにより流路形成部５４が形成されている。ハウジング本体５１ａは、高さ方向Ｙにおいてフランジ部５７から延びており、表カバー５１ｂ及び裏カバー５１ｃは、幅方向Ｘにおいてハウジング本体５１ａを挟んで平行に対向した状態で、ハウジング本体５１ａに取り付けられている。ハウジング本体５１ａ及びフランジ部５７は、いずれも合成樹脂材料をモールド成形することなどにより一体的に形成されている。また、表カバー５１ｂ及び裏カバー５１ｃも合成樹脂材料により形成されている。

　流路形成部５４は、通過流路６１及び計測流路６２を有しており、通過流路６１は、流入口６３ａ、流出口６３ｂ、計測出口６３ｃ、流路境界部６４、上流境界部分６４ａ及び下流境界部分６４ｂを有している。通過流路６１の内周面６１ａは、通過天井面６６、流入天井面部６６ａ、流出天井面部６６ｂ、通過床面６７、通過壁面６８、流入段差面７１ａ、流入接続面７２ａを有している。これら部材や部位は、上記第１実施形態の同じ名称の部材や部位に対応している。なお、本実施形態では、通過床面６７が奥行き方向Ｚに平行に延びている。

　本実施形態では、上記第１実施形態とは異なり、通過流路６１の内周面６１ａが流出段差面及び流出接続面を有していない。また、流入口６３ａが矩形状に形成されており、流入天井面部６６ａが湾曲していない。このため、流入段差面７１ａの先端部及び基端部の両方が幅方向Ｘに直線的に延びている。また、流入接続面７２ａも幅方向Ｘに直線的に延びている。

　本実施形態では、上記第１実施形態とは異なり、流路境界部３４が奥行き方向Ｚに平行に延びている。この場合でも、計測流路６２の上流端部が流入口６３ａ側に向けて開放されているわけではないため、奥行き方向Ｚに直進している異物が流入口６３ａから進入したとしても、この異物がこのまま計測流路６２に進入するということが生じにくくなっている。

　流入天井面部６６ａにおいては、上記第１実施形態とは異なり、図９に示すように、下流側に向かっても段差が大きくも小さくもなっていない。具体的には、各段差において奥行き間隔Ｄａ及び高さ寸法Ｈａが同じ値になっている。この場合、流入口６３ａ寄りの部分と流路境界部６４寄りの部分とで、流入天井面部６６ａにおける全体的な傾斜の角度が同じであることになる。

　図５～図７の説明に戻り、流路形成部５４は、通過流路６１及び計測流路６２に加えて、サブ流路７５を有している。サブ流路７５は、高さ方向Ｙにおいてフランジ部５７と計測流路６２との間に設けられており、奥行き方向Ｚに延びている。サブ流路７５の上流端部をサブ入口７５ａと称し、下流端部をサブ出口７５ｂと称すると、サブ入口７５ａは、高さ方向Ｙにおいてフランジ部５７と流入口３３ａとの間に配置されており、サブ出口７５ｂは、フランジ部５７と流出口３３ｂとの間に配置されている。エアフロメータ５０は、流量検出部５２に加えて、圧力検出部７６、湿度検出部７７及び温度検出部７８を有しており、圧力検出部７６及び湿度検出部７７はサブ流路７５にて吸入空気の圧力及び湿度を検出する。

　ハウジング本体５１ａには、このハウジング本体５１ａをモールド成形する際にインサート成形により回路基板８１が一体に設けられている。回路基板８１には、吸気通路１２を流れる吸入空気の物理量を検出するための少なくとも１つの検出素子と、検出素子で検出した信号を処理するための回路部とが設けられている。検出素子は、回路基板８１の表面または裏面のうち、吸入空気に晒される位置、すなわち吸気通路１２内あるいは計測流路６２、サブ流路７５内に暴露されて吸入空気と接触する部分に設けられている。そして、回路基板８１と検出素子との電気的接続部分は、合成樹脂材によって封止されている。回路部は、表カバー５１ｂによって密閉された回路室Ｒｃに配置されている。

　ハウジング本体５１ａには、幅方向Ｘの一方側や他方側に向けて開放された溝や、ハウジング本体５１ａを幅方向Ｘに貫通する孔が設けられている。これら溝や孔が表カバー５１ｂや裏カバー５１ｃにより覆われることで通過流路６１、計測流路６２及びサブ流路７５が形成されている。サブ流路７５の中間位置には、センサ室Ｒｓが設けられており、このセンサ室Ｒｓには、回路基板８１の裏面に設けられた検出素子としての圧力検出部７６や湿度検出部７７が設けられている。これら圧力検出部７６及び湿度検出部７７は、サブ流路７５を流れる吸入空気の圧力及び湿度を検出可能になっている。

　回路基板８１は、幅方向Ｘにおいてハウジング本体５１ａの中間位置において、幅方向Ｘに直交した状態で設けられていることで、回路室Ｒｃとセンサ室Ｒｓとを区画している。回路室Ｒｃは、表カバー５１ｂと回路基板８１との間に形成されており、センサ室Ｒｓは、裏カバー５１ｃと回路基板８１との間に形成されている。回路室Ｒｃは、表カバー５１ｂをハウジング５１に取り付けることにより密閉され、外部から完全に隔離される。

　流路形成部５４は、高さ方向Ｙにおいて計測流路６２とサブ流路７５とを仕切る仕切壁８４を有している。回路基板８１は、高さ方向Ｙにおいて仕切壁８４を貫通して計測流路６２に突出しており、この突出部分である計測基板部８１ａに流量検出部５２が設けられている。

　エアフロメータ５０が吸気管１２ａに取り付けられた状態では、高さ方向Ｙにおいて流入口６３ａとサブ入口７５ａとの中間位置が吸気管１２ａの中心線に重なる又は近い位置に配置されている。この構成では、吸気通路１２の内壁面近傍ではなく、内壁面から離れた中央部に近い部分の気体が通過流路６１やサブ流路７５に流れ込みやすい。この場合、エアフロメータ５０は、吸気通路１２の内壁面から離れた部分の気体の物理量を測定することができ、熱や内壁面近傍の流速低下に関係する物理量の計測誤差を低減できる。

　流路形成部５４は、吸入空気が流入口６３ａから流入することを制限する流入制限部８５を有している。流入制限部８５は、通過流路６１の通過床面６７から通過天井面６６に向けて延びる凸部である。流入制限部８５は、下流側を向いた下流側面８５ａと、通過天井面６６側（以下、天井側とも言う）を向いた上面８５ｂとを有しており、これら下流側面８５ａ及び上面８５ｂは通過床面６７に含まれている。流入制限部８５は、流入口６３ａに設けられており、上面８５ｂの上流端部は流入口６３ａに含まれている。下流側面８５ａは、上流側に向けて斜め上方に延びており、上面８５ｂは、奥行き方向Ｚに平行に延びている。

　流入制限部８５は、一対の通過壁面６８にかけ渡された状態になっており、高さ方向における流入口６３ａの高さ寸法を小さくすることで、流入口６３ａの開放面積を小さくしている。流入制限部８５は、高さ方向Ｙに平行に延びているのではなく、通過天井面６６に向けて流出口６３ｂから遠ざかる向きに延びていることで高さ方向Ｙに対して傾斜している。

　本実施形態では、上述したように、通過流路６１における流出口６３ｂ寄りの部分と、計測流路６２における計測出口６３ｃ寄りの部分とが幅方向Ｘに重複している。流路形成部５４においては、ハウジング本体５１ａに溝が形成されていることで、通過流路６１がハウジング本体５１ａと裏カバー５１ｃとの間に設けられている。計測流路６２は、上流計測路９１、中間計測路９２及び下流計測路９３を有している。上流計測路９１は、流路境界部６４から計測流路６２の下流側に延びており、通過流路６１と同様に、ハウジング本体５１ａと裏カバー５１ｃとの間に設けられている。下流計測路９３は、計測出口６３ｃから計測流路６２の上流側に延びており、ハウジング本体５１ａと表カバー５１ｂとの間に設けられている。下流計測路９３は、幅方向Ｘにおいてハウジング本体５１ａを挟んで上流計測路９１及び通過流路６１とは反対側に配置されている。

　中間計測路９２は、計測流路６２において上流計測路９１と下流計測路９３とを接続する部分であり、ハウジング本体５１ａに孔が形成された部分に配置されていることで、この孔を通じて表カバー５１ｂと裏カバー５１ｃとの間に設けられている。中間計測路９２は、奥行き方向Ｚに延びており、この中間計測路９２においては、吸入空気が吸気通路１２とは逆向きに流れる。中間計測路９２は、仕切壁８４によりサブ流路７５に対して仕切られており、回路基板８１の計測基板部８１ａは中間計測路９２に配置されている。このため、中間計測路９２に設けられた流量検出部５２は、中間計測路９２を流れる吸入空気の流量を検出することになる。

　幅方向Ｘにおいて、中間計測路９２の幅寸法は、上流計測路９１及び下流計測路９３の幅寸法に比べて大きくなっている。上流計測路９１は、その幅寸法が中間計測路９２に近付くにつれて徐々に大きくなっている幅増加部９１ａを有しており、下流計測路９３は、その幅寸法が中間計測路９２から遠ざかるにつれて徐々に小さくなっている幅縮小部９３ａを有している。ハウジング本体５１ａは、幅増加部９１ａを形成する幅増加面９４と、幅縮小部９３ａを形成する幅縮小面９５とを有している。幅増加面９４は、ハウジング本体５１ａにおいて裏カバー５１ｃに対向する面に含まれており、幅方向Ｘに直交しておらず、中間計測路９２側を向くことで幅方向Ｘに対して傾斜している。幅縮小面９５は、ハウジング本体５１ａにおいて表カバー５１ｂに対向する面に含まれており、幅増加面９４と同様に、中間計測路９２側を向くことで幅方向Ｘに対して傾斜している。

　流量検出部５２は、計測基板部８１ａにおいて表カバー５１ｂと対向する面に配置されている。中間計測路９２においては、幅増加面９４の下流側に流量検出部５２が配置されている。この場合、流量検出部５２が幅増加面９４の陰に隠れたような状態になっているため、仮に異物が通過流路６１から計測流路６２に進入したとしても、幅増加面９４が障害物になって異物が流量検出部５２に到達しにくくなっている。

　ここまで説明した本実施形態によれば、上記第１実施形態と同様に、流入天井面部６６ａが流入段差面７１ａを有しているため、流入口６３ａから進入した異物が計測流路６２に進入しにくくなっている。また、この流入段差面７１ａが奥行き方向Ｚに直交している。このため、図３と同様に、図８に示すように、流入口６３ａから進入した大異物Ｆ１が奥行き方向Ｚに直進して流入段差面７１ａに衝突した場合、大異物Ｆ１は自身の軌跡を辿るようにして流入口６３ａ側に戻る可能性が高いと考えられる。これに対して、本実施形態とは異なり、図４と同様に、図１０に示すように流入天井面部６６ａが流入段差面７１ａを有していない構成では、この流入天井面部６６ａが奥行き方向Ｚに直交していない。このため、大異物Ｆ１は、全体として傾斜している流入天井面部６６ａに衝突し、進行方向を変えつつ計測流路６２に進入することが懸念される。この点、本実施形態では、流入天井面部６６ａが大異物Ｆ１の跳ね返り方向を制限することで、その大異物Ｆ１が計測流路６２に進入することを抑制できる。

　本実施形態によれば、流入口６３ａを挟んで流入段差面７１ａとは反対側である通過床面６７に流入制限部８５が設けられているため、流入口６３ａから進入して直進する異物が流入段差面７１ａに衝突する確率を高めることができる。これは、流入口６３ａのうち流入段差面７１ａに対向しない領域、すなわち、奥行き方向Ｚにおいて流入段差面７１ａと並んでいない領域を、流入段差面７１ａにより塞ぐことができるためである。このため、異物が流入段差面７１ａに衝突せずに計測流路６２に進入するということを抑制できる。

　第２実施形態について、本開示の要旨を逸脱しない範囲内において種々の実施形態及び組み合わせに適用することができる。

　変形例Ｂ１として、流入段差面７１ａは奥行き方向Ｚに平行でなくてもよい。例えば、図１１に示すように、流入段差面７１ａが上流側に向けて斜め上方に延びた構成とする。この構成では、流入接続面７２ａが流入段差面７１ａに直交しており、この流入接続面７２ａは、上流側に向けて斜め下方に延びている。流入段差面７１ａと奥行き方向Ｚとの間の角度を段差角度θｚと称し、流入接続面７２ａと高さ方向Ｙとの間の角度を接続角度θｙと称すると、これら段差角度θｚと接続角度θｙとは同じ角度になっている。これら角度θｚ，θｙは、正の値で数度～数十度といった比較的小さな絶対値になっている。このため、例えば、奥行き方向Ｚに直進している大異物Ｆ１が流入段差面７１ａや流入接続面７２ａに衝突しても、その大異物Ｆ１は、ほぼ奥行き方向Ｚと同じ方向で流入口６３ａに向けて戻りやすくなっている。

　また、図１２に示すように、流入段差面７１ａが上流側に向けて斜め下方に延びた構成とする。この構成では、流入接続面７２ａが流入段差面７１ａに直交しており、この流入接続面７２ａは、下流側に向けて斜め下方に延びている。この場合、段差角度θｚ及び接続角度θｙは、負の値で数度～数十度といった比較的小さな絶対値になっている。この場合でも、流入段差面７１ａや流入接続面７２ａにて跳ね返った大異物Ｆ１は、ほぼ奥行き方向Ｚと同じ方向で流入口６３ａに向けて戻りやすくなっている。

　変形例Ｂ２として、流入段差面７１ａと流入接続面７２ａとは直交していなくてもよい。例えば、流入段差面７１ａと流入接続面７２ａとの間の角度が９０度より小さくなっていてもよく、９０度より大きくなっていてもよい。この角度と９０度との差異は、奥行き方向Ｚに直進している大異物Ｆ１が流入段差面７１ａや流入接続面７２ａに衝突した場合に、その大異物Ｆ１がほぼ奥行き方向Ｚと同じ方向で流入口６３ａに向けて戻りやすい程度に小さいことが好ましい。好ましい値としては、数度～数重度といった比較的小さな絶対値が挙げられる。

　変形例Ｂ３として、流入天井面部６６ａの各段差において、流入段差面７１ａの高さ寸法Ｈａが同じでなくてもよい。例えば、図１３に示すように、流入段差面７１ａの高さ寸法Ｈａが流入口６３ａから遠ざかるにつれて徐々に小さくなっている構成とする。この構成では、奥行き間隔Ｄａは各段差について同じになっている。なお、流入段差面７１ａの高さ寸法Ｈａが流入口６３ａから遠ざかるにつれて徐々に大きくなっていてもよい。

　変形例Ｂ４として、流入天井面部６６ａの各段差において、流入段差面７１ａの高さ寸法Ｈａ及び奥行き間隔Ｄａの両方が異なっていてもよい。例えば、図１４に示すように、流入天井面部６６ａの各段差について、高さ寸法Ｈａ及び奥行き間隔Ｄａの両方が流入口６３ａから遠ざかるにつれて徐々に大きくなっている構成とする。なお、高さ寸法Ｈａ及び奥行き間隔Ｄａの両方が流入口６３ａから遠ざかるについて徐々に小さくなっていてもよい。

　変形例Ｂ５として、上記第１実施形態と同様に、上記第２実施形態のエアフロメータ５０が流出段差面及び流出接続面を有していてもよい。例えば、図１５に示すように、通過流路６１の内周面６１ａにおいて、通過天井面６６の流出天井面部６６ｂが流出段差面７１ｂ及び流出接続面７２ｂを有する構成とする。これら流出段差面７１ｂ及び流出接続面７２ｂは、上記第１実施形態の同じ名称の部位に対応している一方で、この構成では、流入天井面部６６ａが流入段差面７１ａ及び流入接続面７２ａを有していない。この構成でも、この流出段差面７１ｂが奥行き方向に直交している。このため、図３と同様に、図１５に示すように、流入口６３ａから進入した大異物Ｆ２が奥行き方向Ｚに直進して流出段差面７１ｂに衝突した場合、大異物Ｆ２は、自身の軌跡を辿るようにして流入口６３ａに戻る可能性が高いと考えられる。

　これに対して、本実施形態とは異なり、図４と同様に、図１６に示すように流出天井面部６６ｂが流出段差面７１ｂを有していない構成では、この流出天井面部６６ｂが奥行き方向に直交した部分を有していない。このため、大異物Ｆ２は、全体として傾斜している流出天井面部６６ｂに衝突し、進行方向を変えて計測流路６２に進入することが懸念される。この点、本実施形態では、流出天井面部６６ｂが大異物Ｆ２の跳ね返り方向を制限することで、その大異物Ｆ２が計測流路６２に進入することを抑制できる。

　なお、上記変形例Ｂ１を上記変形例Ｂ４に適用し、流出段差面７１ｂが奥行き方向Ｚｂに平行でなくてもよい。例えば、流出段差面７１ｂが上流側に向けて斜め上方や斜め下方に延びた構成が挙げられる。また、上記変形例Ｂ２を上記変形例Ｂ４に適用し、流出段差面７１ｂと流出接続面７２ｂとが直交していなくてもよい。

　変形例Ｂ６として、上記変形例Ｂ５おいて、図１７に示すように、通過天井面６６が流出段差面７１ｂ及び流出接続面７２ｂに加えて、流入段差面７１ａ及び流入接続面７２ａを有していてもよい。この構成では、上記第１実施形態と同様に、流入天井面部６６ａに衝突する大異物Ｆ１、及び流出天井面部６６ｂに衝突する大異物Ｆ２の両方について、計測流路６２に進入することに対する抑止力を発揮できる。

　変形例Ｂ７として、流入天井面部６６ａの全体に段差が形成されていなくてもよい。例えば、図１８に示すように、流入天井面部６６ａが流入段差面７１ａ及び流入接続面７２ａに加えて、流入非段差面７３ａを有する構成とする。流入非段差面７３ａは、最も下流側に配置された流入段差面７１ａの下流端部から下流側に向けて斜め下方に延びており、流入非段差面７３ａの下流端部は上流境界部分６４ａに配置されている。この構成でも、大異物Ｆ１が計測流路６２に進入することに対する抑止力を流入段差面７１ａに発揮させることができる。なお、流入非段差面７３ａは、流入段差面７１ａのいずれよりも上流側に配置されていてもよく、複数の流入段差面７１ａの間に配置されていてもよい。また、流入非段差面７３ａは下流側に向けて斜め上方に延びていてもよく、奥行き方向Ｚに平行に延びていてもよい。

　この変形例Ｂ７を上記変形例Ｂ４に適用し、流出天井面部６６ｂの全体に段差が形成されていなくてもよい。例えば、図１８に示すように、流出天井面部６６ｂが流出段差面７１ｂ、流出接続面７２ｂに加えて、流出非段差面７３ｂを有する構成とする。流出非段差面７３ｂは、最も下流側に配置された流出段差面７１ｂの下流端部から下流側に向けて斜め下方に延びており、流出非段差面７３ｂの下流端部は流出口６３ｂに配置されている。この構成でも、大異物Ｆ２が計測流路６２に進入することに対する抑止力を流出段差面７１ｂに発揮させることができる。なお、流出非段差面７３ｂは、流出段差面７１ｂのいずれよりも上流側に配置されていてもよく、複数の流出段差面７１ｂの間に配置されていてもよい。また、流出非段差面７３ｂは下流側に向けて斜め上方に延びていてもよく、奥行き方向Ｚに平行に延びていてもよい。

　変形例Ｂ８として、通過床面６７は奥行き方向Ｚに対して傾斜していてもよい。例えば、図１９に示すように、通過床面６７が上流側に向けて斜め上方に延びた構成とする。この構成では、奥行き方向Ｚに対して傾斜した通過床面６７が真っ直ぐに延びた状態で流入口６３ａと流出口６３ｂとにかけ渡されている。この場合、流路形成部５４は流入制限部８５を有していない。

　変形例Ｂ９として、図２０に示すように、流路形成部５４が流入制限部８５を有していなくてもよい。この場合、奥行き方向Ｚにおいて、流出天井面部６６ｂの少なくとも一部が流入制限部８５により上流側から覆い隠された状態にならない。このため、全ての流出段差面７１ｂが流入口６３ａを介して上流側に露出した状態になる。

　変形例Ｂ１０として、通過床面６７が段差を有していてもよい。例えば、図２１に示すように、通過床面６７が床段差面６７ａ及び床接続面６７ｂを有する構成とする。床段差面６７ａは、流入段差面７１ａや流出段差面７１ｂと同様に、奥行き方向Ｚに直交しており、奥行き方向Ｚに所定間隔で複数並べられている。床段差面６７ａの設置間隔は、流入段差面７１ａの奥行き間隔Ｄａや流出段差面７１ｂの奥行き間隔Ｄｂより大きくなっている。床接続面６７ｂは、流入接続面７２ａや流出接続面７２ｂと同様に、奥行き方向Ｚに平行に延びており、隣り合う床段差面６７ａを接続している。

　なお、通過床面６７が床段差面６７ａ及び床接続面６７ｂを有している構成では、通過天井面６６が流入段差面７１ａや流出段差面７１ｂを有していなくてもよい。この場合、通過床面６７に衝突する大異物の両方について、その大異物の進行方向が変化して計測流路６２に進入することに対して抑止力を発揮できる。

　変形例Ｂ１１として、通過壁面６８が段差を有していてもよい。例えば、図２２に示すように、通過壁面６８が壁段差面６８ａ及び壁接続面６８ｂを有する構成とする。壁段差面６８ａは、上記変形例Ｂ１０の床段差面６７ａと同様に、奥行き方向Ｚに直交しており、奥行き方向Ｚに所定間隔で複数並べられている。壁段差面６８ａの設置間隔は、流入段差面７１ａの奥行き間隔Ｄａや流出段差面７１ｂの奥行き間隔Ｄｂより大きくなっており、例えば床段差面６７ａの設置間隔と同じになっている。具体的には、壁段差面６８ａと床段差面６７ａとが接続されている。壁接続面６８ｂは、上記変形例Ｂ１０の床接続面６７ｂと同様に、奥行き方向Ｚに平行に延びており、隣り合う壁段差面６８ａを接続している。壁段差面６８ａ及び壁接続面６８ｂは、一対の通過壁面６８の少なくとも一方に形成されている。

　変形例Ｂ１２として、流入段差面７１ａの奥行き間隔Ｄａは、流出段差面７１ｂの奥行き間隔Ｄｂより大きくなくてもよい。例えば、奥行き間隔Ｄａが奥行き間隔Ｄｂと同じ又はそれより小さくてもよい。

　変形例Ｂ１３として、流入段差面７１ａは、流入天井面部６６ａ及び流出天井面部６６ｂのそれぞれに１つずつ設けられていてもよい。また、流入段差面７１ａは、流入天井面部６６ａ及び流出天井面部６６ｂのうち一方に１つだけ設けられていてもよい。

（第３実施形態）
　第３実施形態のエアフロメータ５０は、奥行き方向Ｚに平行に真っ直ぐに延びる平行領域を有している。本実施形態では、上記第２実施形態との相違点を中心に説明する。

　図２３に示すように、通過流路６１は、平行領域１０１、天井側領域１０２及び隠れ領域１０３を有している。平行領域１０１は、流入口６３ａと流出口６３ｂとを繋ぐようにして奥行き方向Ｚに真っ直ぐに延びた領域であり、平行領域１０１の上流端部は流入口６３ａに含まれ、下流端部は流出口６３ｂに含まれている。天井側領域１０２は、高さ方向Ｙにおいて平行領域１０１よりも天井側の領域であり、流入口６３ａから下流側に向けて延びている。この場合、天井側領域１０２の上流端部は流入口６３ａに含まれている。隠れ領域１０３は、高さ方向Ｙにおいて平行領域１０１よりも通過床面６７側（以下、床側とも言う）にある領域になっており、流出口６３ｂから上流側に向けて延びている。この場合、隠れ領域１０３の下流端部は流出口６３ｂに含まれている。なお、領域１０１～１０３は、いずれも仮想の領域であり、通過流路６１が実際に領域１０１～１０３に分割されているわけではない。また、図２３～図２５においては、平行領域１０１をドットハッチングにより図示している。

　図２３、図２４に示すように、流入口６３ａは、平行領域１０１に含まれた第１入口領域６３ａ１と、天井側領域１０２に含まれた第２入口領域６３ａ２とを有している。流入口６３ａにおいては、第１入口領域６３ａ１が第２入口領域６３ａ２よりもフランジ先端側に配置されており、これら領域６３ａ１，６３ａ２は、流入口６３ａを２分割するように高さ方向Ｙに並んでいる。平行領域１０１は、第１入口領域６３ａ１を下流側に向けて投影した領域であり、この投影領域は流出口６３ｂまで到達している。これに対して、天井側領域１０２は、流入天井面部６６ａが流路境界部６４に近付くにつれて徐々に通過床面６７に近付いていることに起因して、奥行き方向Ｚにおいて下流側に延びることが流入天井面部６６ａにより遮られた状態になっている。この場合、天井側領域１０２は流入天井面部６６ａよりも上流側に配置されている。

　図２３、図２５に示すように、流出口６３ｂは、平行領域１０１に含まれた第１出口領域６３ｂ１と、隠れ領域１０３に含まれた第２出口領域６３ｂ２とを有している。流出口６３ｂにおいては、第１出口領域６３ｂ１が第２出口領域６３ｂ２よりもフランジ基端側に配置されており、これら領域６３ｂ１，６３ｂ２は、流出口６３ｂを２分割するように高さ方向Ｙに並んでいる。平行領域１０１は、第１出口領域６３ｂ１を上流側に向けて投影した領域と称することもできる。これに対して、隠れ領域１０３は、通過床面６７に沿って上流側に向けて延びているが、通過床面６７から流入制限部８５が突出していることに起因して、奥行き方向Ｚにおいて上流側に延びることが流入制限部８５により遮られた状態になっている。この場合、隠れ領域１０３は、流入制限部８５よりも下流側に配置されており、流入制限部８５により上流側から覆い隠されたような状態になっている。

　図２３に示すように、通過流路６１の内周面６１ａは高さ絞り面１０５を有している。高さ絞り面１０５は、通過床面６７に含まれており、一対の通過壁面６８にかけ渡された状態で幅方向Ｘに平行に延びている。高さ絞り面１０５は、奥行き方向Ｚにおいて流路境界部６４よりも流出口６３ｂ側に配置されており、流出口６３ｂから上流側に向けて延びている。高さ絞り面１０５は、流出口６３ｂに近付くにつれて徐々に通過流路６１の高さ寸法Ｈｃを小さくしている。

　高さ絞り面１０５は、流出口６３ｂに近付くにつれて徐々に通過天井面６６に近付いており、通過流路６１を連続的に絞っている。幅方向Ｘにおいて通過流路６１の幅寸法は均一になっており、流出口６３ｂに近付くにつれて通過流路６１の高さ寸法Ｈｃが徐々に小さくなることで、通過流路６１の断面積も徐々に小さくなっている。この場合、通過流路６１において流路境界部６４よりも下流側では、高さ寸法Ｈｃ及び断面積の両方が流出口６３ｂにて最も小さくなっている。

　平行領域１０１の高さ寸法は、奥行き方向Ｚのどの部分についても均一になっている。これに対して、天井側領域１０２の高さ寸法は、流入口６３ａから遠ざかるにつれて徐々に小さくなっている。ここで、通過床面６７は、高さ絞り面１０５に加えて、奥行き方向Ｚに平行に延びる平行床面部１０６を有しており、平行床面部１０６は、高さ絞り面１０５の上流端部から上流側に向けて延びている。この場合、隠れ領域１０３の高さ寸法は、平行床面部１０６がある範囲についてはどの部分についても均一になっているが、高さ絞り面１０５がある範囲については流出口６３ｂに近付くにつれて徐々に小さくなっている。

　流入口６３ａにおいては、平行領域１０１の高さ寸法が天井側領域１０２の高さ寸法より小さくなっている。すなわち、第１入口領域６３ａ１の高さ寸法が第２入口領域６３ａ２の高さ寸法より小さくなっている。この場合、平行領域１０１を確保した上で、通過流路６１への吸入空気の流入量が不足することを第２入口領域６３ａ２や天井側領域１０２により抑制している。また、流出口６３ｂにおいては、平行領域１０１の高さ寸法が隠れ領域１０３の高さ寸法より小さくなっている。すなわち、第１出口領域６３ｂ１の高さ寸法が第２出口領域６３ｂ２の高さ寸法より大きくなっている。この場合、流出口６３ｂにおいて平行領域１０１が極力大きく確保されているため、平行領域１０１を直進する異物がそのまま流出口６３ｂから出やすくなっている。

　高さ絞り面１０５は、奥行き方向Ｚにおいて流入制限部８５の下流側に配置されており、この流入制限部８５により上流側から覆い隠された状態になっている。このため、奥行き方向Ｚにおいては、流入制限部８５の存在で高さ絞り面１０５が流入口６３ａから上流側に露出していないことになる。例えば、奥行き方向Ｚにおいて人が流入口６３ａから通過流路６１を覗き込んだ場合に、流入制限部８５により視線が遮られることで高さ絞り面１０５を視認することができない。ただし、奥行き方向Ｚに対して傾斜した方向については、高さ絞り面１０５は流入口６３ａから露出した状態になっているとも言え、その方向から流入制限部８５の奥側を覗き込んだ人は高さ絞り面１０５を視認することが可能であるとも言える。

　例えば、奥行き方向Ｚに直進している大異物Ｆ３が流入口６３ａの第１入口領域６３ａ１から通過流路６１に進入した場合、この大異物Ｆ３は単に平行領域１０１を直進することで流出口６３ｂの第１出口領域６３ｂ１から出て行くことになる。このため、高さ絞り面１０５により通過流路６１が絞られていても、平行領域１０１を直進する奥行き方向Ｚに直進している大異物Ｆ３については、高さ絞り面１０５に衝突することや計測流路６２に進入することが生じにくくなっている。

　これに対して、本実施形態とは異なり、高さ絞り面１０５が奥行き方向Ｚにおいて流入口６３ａから上流側に露出している構成では、異物が高さ絞り面１０５に衝突して跳ね返ることで、計測流路３２に進入しやすくなることが懸念される。例えば、図２６に示すように、流入制限部８５が設けられていないことで、高さ絞り面１０５が奥行き方向Ｚにおいて流入口６３ａから上流側に露出している構成では、奥行き方向Ｚに直進している大異物Ｆ４が高さ絞り面１０５に衝突することが想定される。この場合、大異物Ｆ４が高さ絞り面１０５にて跳ね返った角度によっては、大異物Ｆ４が高さ絞り面１０５に続いて流出天井面部６６ｂにて跳ね返りつつ上流側に進むことで計測流路６２に進入しやすくなることがある。このように、高さ絞り面１０５にて跳ね返った大異物Ｆ４の進行方向が高さ方向Ｙについて変わると、この大異物Ｆ４が計測流路６２に進入する可能性が高くなりやすい。この点、本実施形態では、そもそも奥行き方向Ｚに直進している大異物Ｆ４が高さ絞り面１０５に衝突しにくい構成になっているため、大異物Ｆ４が計測流路６２に進入することが抑制される。

　本実施形態では、流出天井面部６６ｂ及び流路境界部６４が奥行き方向Ｚに平行に延びており、計測流路６２の上流端部は、高さ方向Ｙにおいてフランジ先端側に開放されている。この場合、計測流路６２の上流端部は、流入口６３ａ側及び流出口６３ｂ側のいずれに向けても開放されていない。平行領域１０１は流路境界部６４と平行に延びており、流出天井面部６６ｂ及び流路境界部６４が、平行領域１０１の天井側の範囲を規定している。流路境界部６４は、奥行き方向Ｚに平行に延びていることに起因して、流路境界部６４は流入口６３ａから上流側には露出していない。このため、例えば平行領域１０１を奥行き方向Ｚに直進する大異物Ｆ３が進行方向を変えることなくそのまま計測流路６２に進入する、ということが生じにくくなっている。また、平行領域１０１は流入制限部８５の上面８５ｂと平行に延びており、この上面８５ｂが平行領域１０１の床側の範囲を規定している。

　ここまで説明した本実施形態によれば、通過流路６１において平行領域１０１を確保した上で、高さ絞り面１０５が奥行き方向Ｚにおいて流入口６３ａから上流側に露出していないため、異物が高さ絞り面１０５に衝突しにくい構成を実現できる。このため、流入口６３ａから通過流路６１に進入して直進する異物が、流路境界部６４を通り過ぎたにもかかわらず、高さ絞り面１０５に衝突して跳ね返ることで上流側に戻って計測流路６２に進入する、ということを抑制できる。

　また、通過流路６１においては、平行領域１０１が流入口６３ａの第１入口領域６３ａ１の投影領域として確保されている。このため、平行領域１０１を奥行き方向Ｚに直進する異物については、通過流路６１の内周面６１ａのどの部分にも衝突せずにそのまま流出口６３ｂから出て行きやすくなっている。このように、例えば、奥行き方向Ｚに真っ直ぐに延びる領域が通過流路６１に確保されていない構成に比べて、異物が通過流路６１の内周面６１ａに衝突する可能性を下げることで、計測流路６２への異物の進入を抑制することができる。

　しかも、流路境界部６４よりも下流側において高さ絞り面１０５が通過流路６１を絞っているため、通過流路６１から計測流路６２に流入する吸入空気の量が増えやすくなっている。ここで、流量検出部５２が熱式の流量センサになっていることに起因して、流量検出部５２の検出精度を適正に保つには、計測流路６２での吸入空気の流れがある程度速いことが好ましい。すなわち、通過流路６１から計測流路６２への吸入空気の流入量がある程度大きいことが好ましい。計測流路６２への流入量は、通過流路６１と計測流路６２とについて断面積や流路長さなどの関係に応じて増減するが、通過流路６１における最小断面積を小さくするほど増えると考えられる。これに対して、本実施形態によれば、高さ絞り面１０５が設けられた分だけ通過流路６１の最小断面積が小さくなっているため、高さ絞り面１０５が設けられていない構成に比べて、計測流路６２への流入量が増加することになる。これにより、計測流路６２での流量検出部５２の検出精度を適正化することができる。

　本実施形態によれば、流路境界部６４が奥行き方向Ｚにおいて流入口６３ａから上流側に露出していないため、流入口６３ａから進入した異物が通過流路６１の内周面６１ａに衝突せずにそのまま計測流路６２に進入するということを抑制できる。これにより、異物が流量検出部５２に付着することなどにより流量検出部５２の検出精度が低下するということに対する抑止力を発揮できる。

　本実施形態によれば、高さ絞り面１０５が傾斜面になっているため、通過流路６１の高さ寸法Ｈｃや断面積が徐々に小さくなっている。このため、例えば通過流路６１の高さ寸法Ｈｃや断面積が急激に小さくなっている構成に比べて、高さ絞り面１０５の周辺にて気流の乱れが発生しにくくなっている。この場合、計測流路６２に流入する吸入空気にも乱れが生じにくくなるため、計測流路６２にて生じた気流の乱れにより流量検出部５２の検出精度が低下するということを抑制できる。

　本実施形態によれば、通過床面６７が平行領域１０１に平行に延びる平行床面部１０６を有している。この場合、例えば通過床面６７が平行領域１０１に平行に延びる部分を有していない構成に比べて、平行領域１０１における吸入空気の流れが乱れにくくなっている。このため、平行領域１０１を奥行き方向Ｚに直進する異物がそのまま流出口６３ｂから出て行くことを平行床面部１０６により促すことができる。

　本実施形態によれば、高さ絞り面１０５を上流側から覆い隠すように、単に流入制限部８５が設けられていることで、奥行き方向Ｚに直進する異物が高さ絞り面１０５に衝突しにくくなっている。例えば、本実施形態とは異なり、高さ絞り面１０５が流入天井面部６６ａの下流側に隠れた構成にしようとすると、設計変更の段階において流路境界部６４の位置や通過流路６１に対する計測流路６２の分岐角度など数多くの検討事項が生じることが懸念される。これに対して、流入制限部８５を設ける方法では、設計変更の段階において流入口６３ａからの流入量などを適正化する必要はあるが、設計負担を比較的抑えやすいと考えられる。

　本実施形態によれば、流出口６３ｂの全体が平行領域１０１に含まれているのではなく、流出口６３ｂの第１出口領域６３ｂ１が平行領域１０１に含まれている一方で、第２出口領域６３ｂ２は平行領域１０１に含まれていない。このため、例えば通過流路６１において気流の乱れが発生した場合に、その乱れが平行領域１０１ではなく例えば隠れ領域１０３に含まれる可能性を確保できる。換言すれば、気流の乱れなどが第１出口領域６３ｂ１ではなく第２出口領域６３ｂ２から外部に放出される可能性を確保できる。これにより、平行領域１０１について、気流の乱れなどにより異物が奥行き方向Ｚに直進しにくい状態になるということを抑制できる。

　第３実施形態について、本開示の要旨を逸脱しない範囲内において種々の実施形態及び組み合わせに適用することができる。

　変形例Ｃ１として、流入天井面部６６ａが段差を有していてもよい。例えば、上記第２実施形態を適用し、図２７に示すように、流入天井面部６６ａが流入段差面７１ａ及び流入接続面７２ａを有する構成とする。この構成でも、流入天井面部６６ａと平行領域１０１との間に天井側領域１０２が形成されている。この構成では、奥行き方向Ｚに直進する異物が天井側領域１０２に進入した場合に、その異物が流入段差面７１ａに衝突して流入口６３ａ側に跳ね返ることで、計測流路６２への異物の進入が抑制される。

　変形例Ｃ２として、高さ絞り面１０５が段差を有していてもよい。例えば、上記変形例Ｂ１０を適用し、図２８に示すように、高さ絞り面１０５が床段差面６７ａ及び床接続面６７ｂを有する構成とする。この構成の高さ絞り面１０５は、流出口６３ｂに近付くにつれて通過流路６１を連続的に絞っているのではなく、段階的に絞っている。この構成では、通過流路６１の高さ寸法Ｈｃや断面積が流出口６３ｂに向けて段階的に小さくなっている。ここで、最も下流側に配置された床接続面６７ｂの下流端部は流出口６３ｂに含まれており、通過流路６１においては、この床接続面６７ｂにより形成された部分の高さ寸法Ｈｃ及び断面積が最も小さくなっている。

　変形例Ｃ３として、上記変形例Ｃ１と上記変形例Ｃ２とを組み合わせて、流入天井面部６６ａ及び高さ絞り面１０５の両方が段差を有していてもよい。例えば、図２９に示すように、流入天井面部６６ａが流入段差面７１ａ及び流入接続面７２ａを有し、高さ絞り面１０５が床段差面６７ａ及び床接続面６７ｂを有する構成とする。

　変形例Ｃ４として、通過流路６１の内周面６１ａは高さ絞り面を複数有していてもよい。例えば、図３０に示すように、内周面６１ａが高さ絞り面として床絞り面１０５ａ及び天井絞り面１０５ｂを有する構成とする。床絞り面１０５ａは、上記第３実施形態の高さ絞り面１０５であり、通過床面６７に含まれている。天井絞り面１０５ｂは、流出天井面部６６ｂに含まれており、床絞り面１０５ａと同様に、一対の通過壁面６８にかけ渡された状態になっている。天井絞り面１０５ｂの下流端部は流出口６３ｂに含まれており、天井絞り面１０５ｂは、高さ方向Ｙにおいて流出口６３ｂに近付くにつれて徐々に通過床面６７に近付いている。また、流出天井面部６６ｂのほぼ全体が天井絞り面１０５ｂになっている。この構成では、床絞り面１０５ａ及び天井絞り面１０５ｂの両方が通過流路６１を絞っているため、通過流路６１の絞り度合いを極力大きくできる。

　変形例Ｃ５として、通過流路６１は、隠れ領域を複数有していてもよい。例えば、図３０、図３１に示すように、通過流路６１が隠れ領域として床隠れ領域１０３ａ及び天井隠れ領域１０３ｂを有する構成とする。床隠れ領域１０３ａは、上記第３実施形態の隠れ領域１０３であり、平行領域１０１と通過床面６７との間に形成されている。天井隠れ領域１０３ｂは、平行領域１０１と流出天井面部６６ｂとの間に形成された領域である。

　天井隠れ領域１０３ｂは、例えば図３１に示すように、流出口６３ｂから下流側に向けて延びていてもよい。この構成では、流出口６３ｂが第２出口領域６３ｂ２を複数有しており、床側の第２出口領域６３ｂ２から床隠れ領域１０３ａが延び、天井側の第２出口領域６３ｂ２から天井隠れ領域１０３ｂが上流側に向けて延びている。天井隠れ領域１０３ｂは、奥行き方向Ｚにおいて流入天井面部６６ａの下流側に配置されており、流入天井面部６６ａにより上流側から覆い隠されたような状態になっている。

　また、天井隠れ領域１０３ｂは、例えば図３１に示すように、流出口６３ｂとは独立して形成されていてもよい。この構成では、上記第３実施形態に比べて、流路境界部６４の下流境界部分６４ｂが通過床面６７から離れた位置に配置されている。この場合、流路境界部６４は、奥行き方向Ｚに平行に延びているのではなく、下流側に向けて床側に斜めに延びていることで奥行き方向Ｚに対して傾斜している。ここで、天井絞り面１０５ｂの上流端部は流出口６３ｂに含まれている。これらのことにより、通過流路６１は、下流境界部分６４ｂ周辺の部分が通過床面６７とは反対側に向けて膨らんだ形状になっており、この部分が天井隠れ領域１０３ｂになっている。この天井隠れ領域１０３ｂは、天井絞り面１０５ｂ、流路境界部６４及び平行領域１０１に囲まれた領域になっている。

　変形例Ｃ６として、通過流路６１の内周面６１ａは、流出口６３ｂに近付くにつれて通過流路６１を幅方向に絞る幅絞り面を有していてもよい。具体的には、一対の通過壁面６８の少なくとも一方に幅絞り面が含まれていてもよい。例えば、図３２に示すように、一対の通過壁面６８のうち一方の通過壁面６８に幅絞り面１０７が含まれた構成とする。幅絞り面１０７は、流出天井面部６６ｂと通過床面６７とにかけ渡された状態で、高さ方向Ｙに平行に延びている。幅絞り面１０７は、奥行き方向Ｚにおいて流路境界部６４よりも流出口６３ｂ側に配置されており、流出口６３ｂから上流側に向けて延びている。幅絞り面１０７は、流出口６３ｂに近付くにつれて徐々に通過流路６１の幅寸法Ｗａを小さくしている。幅絞り面１０７は、流出口６３ｂに近付くにつれて徐々に他方の通過壁面６８に寄っており、通過流路６１の幅寸法Ｗａ及び断面積を連続的に小さくしている。

　平行領域１０１は、幅方向Ｘにおいて幅絞り面１０７と、幅絞り面１０７がない方の通過壁面６８との間の領域になっている。通過流路６１は、平行領域１０１に加えて、幅方向Ｘにおいて平行領域１０１の側方に設けられた側方領域１０４を有している。側方領域１０４は、流入口６３ａから下流側に向けて延びた領域であり、幅絞り面１０７の上流側に配置されている。この構成では、流入口６３ａから側方領域１０４に進入した異物は、奥行き方向Ｚに直進することで幅絞り面１０７にて跳ね返ると考えられるが、この跳ね返りでは、異物の進行方向が幅方向Ｘに変化しやすいものの、高さ方向Ｙには変化しにくいと考えられる。このため、異物が幅絞り面１０７に衝突したことに起因して計測流路６２に進入しやすくなる、ということが生じにくくなっている。

　また、幅絞り面１０７を有している方の通過壁面６８は、奥行き方向Ｚに平行に延びた平行壁面部１０８を有している。平行壁面部１０８は、幅絞り面１０７の上流端部から上流側に向けて延びており、平行壁面部１０８の上流端部は流入口６３ａに含まれている。これにより、平行領域１０１を奥行き方向Ｚに直進する異物について、そのまま直進して流出口６３ｂから出ることが平行壁面部１０８により促されるようになっている。

　なお、幅絞り面１０７は傾斜面でなく段差を有していてもよい。例えば、上記第２実施形態の通過天井面６６と同様に、幅絞り面１０７が段差面及び接続面を有する構成とする。

　変形例Ｃ７として、通過流路６１において高さ寸法Ｈｃや断面積が最も小さい部分は流出口６３ｂでなくてもよい。例えば、奥行き方向Ｚにおいて流路境界部６４と流出口６３ｂとの中間部分であってもよい。この場合でも、高さ絞り面１０５が通過流路６１を絞る構成であれば、計測流路６２での吸入空気の流れを適正に速くすることができる。

　変形例Ｃ８として、流入口６３ａ及び流出口６３ｂの少なくとも一方について、その全体が平行領域１０１に含まれていてもよい。例えば、流出口６３ｂが第１出口領域６３ｂ１及び第２出口領域６３ｂ２のうち第１出口領域６３ｂ１だけを有する構成とする。

　変形例Ｃ９として、高さ方向Ｙにおいて、流路境界部６４の下流境界部分６４ｂが上流境界部分６４ａよりも床側に配置されていてもよい。例えば、奥行き方向Ｚにおいて、下流境界部分６４ｂが流入口６３ａから上流側に露出した構成とする。この構成でも、流出天井面部６６ｂが奥行き方向Ｚに平行に延びていれば、奥行き方向Ｚにおいて流入口６３ａから上流側に露出する位置で流出天井面部６６ｂが通過流路６１を絞っているという構成には該当しない。

　変形例Ｃ１０として、通過床面６７が平行床面部１０６を有していなくてもよい。例えば、通過床面６７のほぼ全体が高さ絞り面１０５になっている構成とする。この構成では、高さ絞り面１０５が流入制限部８５の基端部から下流側に向けて延びている。この場合、高さ絞り面１０５は、流入制限部８５と流出口６３ｂとにかけ渡された状態になっている。

（第４実施形態）
　第４実施形態のエアフロメータ５０は、流路境界部６４が流入口６３ａから上流側に露出しないようになっている。本実施形態では、上記第３実施形態と同様に、上記第２実施形態との相違点を中心に説明する。

　図３３に示すように、流路形成部５４は、通過流路６１から計測流路６２を分岐させるべく通過流路６１と計測流路６２とを仕切る流路仕切部１１１を有している。流路仕切部１１１は、奥行き方向Ｚにおいて流路境界部６４よりも下流側であって、高さ方向Ｙにおいて通過流路６１を挟んで通過床面６７とは反対側に設けられている。流路仕切部１１１の上流端部である仕切頂部１１１ａは、流路境界部６４の下流境界部分６４ｂを形成している。この場合、仕切頂部１１１ａが下流境界部分６４ｂと同じ位置にあると言うこともできる。流路仕切部１１１の高さ寸法は、奥行き方向Ｚにおいて流路境界部６４に近付くにつれて徐々に小さくなっており、この高さ寸法の最も小さい部分が仕切頂部１１１ａになっている。この場合、仕切頂部１１１ａは、幅方向Ｘに延びた頂辺になっている。また、流路仕切部１１１は、高さ方向Ｙにおいて通過流路６１と計測流路６２とを上下に仕切っていると言うこともできる。

　なお、流路仕切部１１１は、ハウジング５１においてハウジング本体５１ａに含まれている。流路仕切部１１１において、床側を向いた面が流出天井面部６６ｂを形成しており、通過床面６７とは反対側を向いた面が計測流路６２の内周面を形成している。

　流路形成部５４は、流路仕切部１１１に加えて、床側に向けて突出した天井凸部１１２を有している。天井凸部１１２は、流出天井面部６６ｂよりも上流側に設けられている。高さ方向Ｙにおいて、天井凸部１１２の床側の端部である天井頂部１１２ａは、流路境界部６４の上流境界部分６４ａを形成している。この場合、天井頂部１１２ａが上流境界部分６４ａと同じ位置にあると言うこともできる。奥行き方向Ｚにおける天井凸部１１２の奥行き寸法は、高さ方向Ｙにおいて通過床面６７に近付くにつれて徐々に小さくなっており、この奥行き寸法の最も小さい部分が天井頂部１１２ａになっている。この場合、天井頂部１１２ａは、幅方向Ｘに延びた頂辺になっている。

　なお、天井凸部１１２は、ハウジング５１においてハウジング本体５１ａに含まれている。天井凸部１１２において、奥行き方向Ｚにおいて上流側を向いた面が流入天井面部６６ａを形成しており、下流側を向いた面が計測流路６２の内周面を形成している。

　本実施形態では、仕切頂部１１１ａが流入口６３ａから上流側に露出しないようになっている。例えば、人が流入口６３ａから通過流路６１を覗き込んだ場合に、その覗き込みの方向を変えても仕切頂部１１１ａを視認することができない。換言すれば、仕切頂部１１１ａが流入制限部８５や天井凸部１１２により上流側から覆い隠された状態になっており、流入口６３ａからの人の視線が流入制限部８５や天井凸部１１２により遮られる。仕切頂部１１１ａが露出しないということは、流路境界部６４も流入口６３ａから上流側に露出しないということである。

　流入制限部８５は、通過床面６７から天井側に向けて突出した床凸部に相当する。流入制限部８５については、その上面８５ｂを流入制限部８５の上端部と称することもでき、その上面８５ｂの上流端部を制限頂部８５ｃと称すると、この制限頂部８５ｃも流入制限部８５の上端部に含まれることになる。

　通過流路６１について、流入制限部８５の制限頂部８５ｃと天井凸部１１２の天井頂部１１２ａとを繋いだ仮想線を繋ぎ線ＰＬと称する。繋ぎ線ＰＬについては、例えば人が流入口６３ａから通過流路６１を覗き込んだ場合に、仕切頂部１１１ａに近い部分を見ることができる視線を表現した仮想線と称することもできる。また、例えば、流路境界部６４よりも上流側に天井凸部や床凸部が複数ずつ存在する構成について、各天井凸部の先端部と床凸部の先端部とを繋いだ仮想線のうち、奥行き方向Ｚに対する傾斜角度である繋ぎ角度θａが最大である仮想線を繋ぎ線ＰＬと称する。

　奥行き方向Ｚに平行に延びる仮想線を奥行き基準線Ｚａと称すると、繋ぎ角度θａは、繋ぎ線ＰＬと奥行き基準線Ｚａとの間で下流側に向けて開放された部分の角度である。この場合、繋ぎ角度θａは、繋ぎ線ＰＬの下流側部分が通過床面６７から離れる側が正の値で大きくなる側であり、通過床面６７に近付く側が負の値で大きくなる側である。このため、図３３に示すように、繋ぎ線ＰＬが下流側に向けて通過床面６７から離れるように傾斜している場合、繋ぎ角度θａは正の値になっている。一方で、繋ぎ線ＰＬが下流側に向けて通過床面６７に近付くように傾斜している場合、繋ぎ角度θａは負の値になっている。

　通過流路６１の内周面６１ａは、流入上端部１１３及び流出上端部１１４を有している。流入上端部１１３は、高さ方向Ｙにおいて流入口６３ａのうち通過床面６７とは反対側の端部であり、流出上端部１１４は、高さ方向Ｙにおいて流出口６３ｂのうち通過床面６７とは反対側の端部である。流入上端部１１３は、高さ方向Ｙにおいて天井頂部１１２ａよりも通過床面６７から遠い位置にある。また、流入上端部１１３は、高さ方向Ｙにおいて仕切頂部１１１ａよりも通過床面６７から遠い位置にある。このように、流入上端部１１３ができるだけ通過床面６７から離間した位置に配置されていることで、流入口６３ａの開放面積ができるだけ大きくされている。このため、流入口６３ａからの吸入空気の流入量が不足して流量検出部５２の検出精度が低下する、ということが抑制される。

　流出上端部１１４は、高さ方向Ｙにおいて天井頂部１１２ａよりも床側の位置にある。このように、流出上端部１１４ができるだけ通過床面６７に近い位置に配置されていることで、流出口６３ｂの開放面積ができるだけ小さくされている。このため、流出口６３ｂから流出する吸入空気の圧力が高められるため、計測流路６２に吸入空気が流入しやすくなり、計測流路６２への吸入空気の流入量が不足して流量検出部５２の検出精度が低下するということが抑制される。また、流出上端部１１４は、高さ方向Ｙにおいて制限頂部８５ｃよりも通過床面６７から遠い位置にある。

　高さ方向Ｙにおいて、仕切頂部１１１ａが繋ぎ線ＰＬを挟んで通過床面６７とは反対側に配置されていることで、仕切頂部１１１ａが流入口６３ａから上流側に露出しないようになっている。この場合、繋ぎ線ＰＬが仕切頂部１１１ａと通過床面６７との間を通っており、仕切頂部１１１ａと制限頂部８５ｃとの間に天井凸部１１２が入り込んだ状態になっている。このため、図３４に実線で示すように、流入口６３ａから通過流路６１に進入した大異物Ｆ５が繋ぎ線ＰＬに沿って直進している場合、この大異物Ｆ５は、高さ方向Ｙにおいて仕切頂部１１１ａよりも床側を通り、流出天井面部６６ｂに衝突しやすい。この衝突に伴って大異物Ｆ５の進行方向が高さ方向Ｙについて変化するものの、流出口６３ｂから出て行きやすくなる。換言すれば、通過流路６１において直進している大異物Ｆ５が通過流路６１の内周面６１ａに衝突することなく、そのまま計測流路６２に進入することが生じにくくなっている。

　これに対して、本実施形態とは異なり、図３５に示すように、仕切頂部１１１ａが流入口６３ａから上流側に露出している構成では、大異物Ｆ６が繋ぎ線ＰＬに沿って直進している場合、この大異物Ｆ６がそのまま計測流路６２に進入することが懸念される。この場合、大異物Ｆ６は、内周面６１ａに衝突せずに進行方向が変化していないにもかかわらず、計測流路６２に進入することになってしまう。この構成では、高さ方向Ｙにおいて、繋ぎ線ＰＬが仕切頂部１１１ａを挟んで通過床面６７とは反対側を通っており、計測流路６２の上流端部や流路境界部６４が流入口６３ａから上流側に露出した状態になっている。この場合、例えば、人が流入口６３ａから通過流路６１を覗き込んだ場合に、計測流路６２の内周面や流路境界部６４を視認することができてしまう。

　図３３の説明に戻り、通過流路６１は真っ直ぐ領域１１５を有している。真っ直ぐ領域１１５は、流入口６３ａと流出口６３ｂとを繋ぐようにして真っ直ぐに延びた領域であり、真っ直ぐ領域１１５の上流端部は流入口６３ａに含まれ、下流端部は流出口６３ｂに含まれている。真っ直ぐ領域１１５は、上記第３実施形態の平行領域１０１とは異なり、奥行き方向Ｚに平行になっておらず、奥行き方向Ｚに対して傾斜している。本実施形態では、真っ直ぐ領域１１５は、下流側に向けて通過床面６７に近付くように奥行き方向Ｚに対して傾斜している。この傾斜方向は、繋ぎ線ＰＬとは反対になっており、奥行き方向Ｚに対する傾斜角度を示す真っ直ぐ角度θｂは負の値になっている。真っ直ぐ角度θｂは、真っ直ぐ領域１１５と基準線Ｚａとの間で下流側に向けて開放された部分の角度である。一方で、上記第３実施形態の平行領域１０１と同様に、真っ直ぐ領域１１５の高さ寸法は、奥行き方向Ｚのどの部分についても均一になっている。

　図３４に示すように、流入口６３ａから流入した大異物Ｆ７が真っ直ぐ領域１１５に沿って直進している場合、この大異物Ｆ７は、単に真っ直ぐ領域１１５を直進することで流出口６３ｂから出て行く。ここで、上述したように、真っ直ぐ領域１１５と繋ぎ線ＰＬとで奥行き方向Ｚに対する傾斜方向が反対になっている。この場合、吸入空気に含まれる異物について、真っ直ぐ領域１１５に沿って直進する大異物Ｆ７が多くなるようにエアフロメータ５０が吸気通路１２に設置されていれば、繋ぎ線ＰＬに沿って進行する大異物Ｆ５等の異物の数自体が減少しやすくなる。このため、流入口６３ａから通過流路６１に進入した異物が、内周面６１ａに衝突することなくそのまま計測流路６２に進入する、ということに対する抑止力を発揮しやすくなる。

　ここまで説明した本実施形態によれば、仕切頂部１１１ａが流入口６３ａから上流側に露出していないため、通過流路６１を直進する大異物Ｆ５等の異物が、内周面６１ａに衝突せずにそのまま計測流路６２に進入する、ということが生じにくくなっている。したがって、計測流路６２の流量検出部５２に異物が付着することや、異物により流量検出部５２の検出精度が低下することなどを抑制できる。

　本実施形態によれば、仕切頂部１１１ａと下流境界部分６４ｂとが一致しているため、仕切頂部１１１ａが流入口６３ａから上流側に露出しない構成を実現することで、流路境界部６４も流入口６３ａから上流側に露出しない構成を実現できる。このため、通過流路６１を直進する大異物Ｆ５等の異物が、内周面６１ａに衝突せずにそのまま計測流路６２に進入する、ということをより確実に抑制できる。

　本実施形態によれば、繋ぎ線ＰＬが仕切頂部１１１ａよりも通過床面６７側を通っているため、仕切頂部１１１ａが流入口６３ａから上流側に露出しない構成を実現できる。

　本実施形態によれば、仕切頂部１１１ａと上流境界部分６４ａとが一致している。すなわち、仕切頂部１１１ａよりも床側に上流境界部分６４ａが配置されていない。このため、仕切頂部１１１ａが流入口６３ａから上流側に露出していない構成を実現したにもかかわらず、計測流路６２の上流端部や流路境界部６４が流入口６３ａから上流側に露出された構成になることを回避できる。これにより、繋ぎ線ＰＬに沿って直進する大異物Ｆ５等の異物がそのまま計測流路６２に進入することを確実に抑制できる。

　本実施形態によれば、高さ方向Ｙにおいて、天井頂部１１２ａが仕切頂部１１１ａと制限頂部８５ｃとの間の高さ位置に配置されているため、真っ直ぐ領域１１５を通過流路６１にて確保することができる。ここで、本実施形態とは異なり、例えば、高さ方向Ｙにおいて天井頂部１１２ａが仕切頂部１１１ａ及び制限頂部８５ｃのいずれよりも通過床面６７に近い位置に配置された構成では、真っ直ぐ領域１１５を適正な状態で通過流路６１に確保することが困難になる。また、高さ方向Ｙにおいて天井頂部１１２ａが仕切頂部１１１ａ及び制限頂部８５ｃのいずれよりも通過床面６７から遠い位置に配置された構成でも、同様に、真っ直ぐ領域１１５を通過流路６１に適正な状態で確保することが困難になる。

　これに対して、本実施形態によれば、真っ直ぐ領域１１５を適正な状態で確保できるように仕切頂部１１１ａ、制限頂部８５ｃ及び天井頂部１１２ａの位置関係が設定されている。このため、通過流路６１を直進する大異物Ｆ６等の異物が計測流路６２にそのまま進入することを抑制でき、しかも、大異物Ｆ７等の異物がそのまま流出口６３ｂから出ることを促す構成を実現できる。なお、真っ直ぐ領域１１５が適正な状態で確保できる構成としては、奥行き方向Ｚに対する真っ直ぐ領域１１５の傾斜角度が大きくなり過ぎない構成や、真っ直ぐ領域１１５の断面積が小さくなり過ぎない構成などが挙げられる。

　本実施形態によれば、流入制限部８５が床凸部として繋ぎ線ＰＬの角度を規定する機能を有しているため、通過流路６１において繋ぎ線ＰＬの角度を規定する専用部材や専用部位を新たに設置する必要がない。このため、エアフロメータ５０の構成が複雑になることや、専用部材や専用部位が増えることで通過流路６１での流入空気の流れに乱れた生じやすくなることなどを抑制できる。

　本実施形態によれば、奥行き方向Ｚにおいて、仕切頂部１１１ａが流入制限部８５や天井凸部１１２の奥側に隠れる位置に配置されているため、仕切頂部１１１ａが流入口６３ａから上流側に露出することを確実に抑制できる。この場合、通過天井面６６や流入口６３ａの形状を利用して、仕切頂部１１１ａが流入口６３ａから上流側に露出しない構成が実現されている。このため、例えば、仕切頂部１１１ａを覆い隠すための専用部材や専用部位を新たに設置する必要がない。

　第４実施形態について、本開示の要旨を逸脱しない範囲内において種々の実施形態及び組み合わせに適用することができる。

　変形例Ｄ１として、床凸部は流入制限部８５でなくてもよい。例えば、図３６に示すように、床凸部１１７が流入口６３ａから下流側に離間した位置に設けられた構成とする。床凸部１１７は、天井頂部１１２ａよりも上流側に設けられており、奥行き方向Ｚにおいて流入口６３ａと天井頂部１１２ａとの間に配置されている。床凸部１１７は、その先端部である床頂部１１７ａを有しており、この構成でも、天井頂部１１２ａと床頂部１１７ａとを繋いだ繋ぎ線ＰＬは、仕切頂部１１１ａよりも床側を通っている。これにより、仕切頂部１１１ａが流入口６３ａから上流側に露出しないようになっている。

　変形例Ｄ２として、制限頂部８５ｃ等の床頂部は、天井頂部１１２ａよりも下流側に設けられていてもよい。例えば、変形例Ｄ１において、床頂部１１７ａが天井頂部１１２ａよりも下流側に設けられた構成とする。この構成では、奥行き方向Ｚにおいて床頂部１１７ａが天井頂部１１２ａと流入口６３ａとの間に配置されており、天井頂部１１２ａと仕切頂部１１１ａとの間に床凸部１１７が入り込んだ状態になっている。例えば、例えば天井凸部１１２が流入口６３ａに設けられている。この構成でも、天井頂部１１２ａと床頂部１１７ａとを繋いだ繋ぎ線ＰＬは、仕切頂部１１１ａよりも床側を通ることになる。その一方で、天井頂部１１２ａが上流境界部分６４ａを形成するという構成にはなっていない。

　変形例Ｄ３として、繋ぎ線ＰＬが下流側に向けて床側に傾斜していてもよい。すなわち、繋ぎ角度θａが負の値になっていてもよい。例えば、図３７に示すように、制限頂部８５ｃが天井頂部１１２ａよりも通過床面６７から離間した構成にする。この構成では、流入制限部８５の上面８５ｂのうち下流端部が制限頂部８５ｃになる。また、奥行き方向Ｚに対する繋ぎ線ＰＬの傾斜向きと、奥行き方向Ｚに対する真っ直ぐ領域１１５の傾斜向きとが同じになっている。この構成でも、仕切頂部１１１ａが流入口６３ａから上流側に露出しないようになっている。

　変形例Ｄ４として、流路仕切部１１１の上流端部である先端部が平坦な先端面を有していてもよい。例えば、図３８に示すように、流路仕切部１１１の先端面１１１ｂが平坦面になっており、繋ぎ線ＰＬが先端面１１１ｂに交差した構成とする。先端面１１１ｂにおいて床側とは反対側の端部が仕切頂部１１１ａであり、仕切頂部１１１ａとは反対側の床側端部１１１ｃが下流境界部分６４ｂを形成している。このように、仕切頂部１１１ａと下流境界部分６４ｂとが一致していないものの、この構成でも、仕切頂部１１１ａは、流入口６３ａから上流側に露出しないようになっている。この場合、例えば、繋ぎ線ＰＬに沿って直進する大異物Ｆ８は、流路境界部６４を越えて計測流路６２に一度は進入しても、計測流路６２の内周面に衝突して跳ね返ることで計測流路６２から通過流路６１に戻りやすくなっている。すなわち、大異物Ｆ８が流出口６３ｂから出て行きやすくなっている。

　変形例Ｄ５として、真っ直ぐ領域１１５は、上記第３実施形態の平行領域１０１と同様に、奥行き方向Ｚに平行に延びていてもよい。この構成でも、繋ぎ線ＰＬと真っ直ぐ領域１１５とが相対的に傾斜していることで、すなわち、繋ぎ角度θａと真っ直ぐ角度θｂとが異なることで、仕切頂部１１１ａが流入口６３ａから上流側に露出しない構成を実現できる。

　変形例Ｄ６として、流路仕切部１１１の上流端部である先端部の一部が流入口６３ａから上流側に露出していてもよい。ここでは、流路仕切部１１１の先端面が平坦だったり湾曲していたりすることで、流路仕切部１１１において先端部の範囲を明確には特定できず、流路境界部６４も明確には特定できない場合などを想定している。

　例えば、図３９に示すように、流路仕切部１１１の先端面１１１ｂと繋ぎ線ＰＬとが交差した構成とする。この構成では、繋ぎ線ＰＬと先端面１１１ｂとの交差角度θｃが９０度より大きくなっている。先端面１１１ｂは上流側に向けて突出するように湾曲した湾曲面になっている。ここで、繋ぎ線ＰＬと先端面１１１ｂとが交差した点を交差点Ｃａと称し、この交差点Ｃａでの先端面１１１ｂの接線を仕切接線ＴＬと称すると、交差角度θｃは、繋ぎ線ＰＬと仕切接線ＴＬとの間で下流側に向けて開放された部分の角度である。

　この構成では、例えば、図４０に示すように、繋ぎ線ＰＬに沿って直進する大異物Ｆ９は、流路仕切部１１１の先端面１１１ｂに衝突した後、高さ方向Ｙにおいて上流側に向けて床側に跳ね返りやすい。すなわち、大異物Ｆ９は計測流路６２とは反対側に向けて跳ね返りやすい。これにより、大異物Ｆ９等の異物が先端面１１１ｂにて跳ね返ることで計測流路６２に進入しやすくなってしまうということを抑制できる。これに対して、本変形例Ｄ６とは異なり、交差角度θｃが９０度より小さい構成では、大異物Ｆ９が上流側に向けて床側とは反対側に跳ね返りやすいと考えられる。すなわち、流路仕切部１１１の先端面１１１ｂにて跳ね返ることで、大異物Ｆ９が計測流路６２に進入してしまうと考えられる。

　変形例Ｄ７として、図４１に示すように、流路仕切部１１１の先端面１１１ｂが湾曲面である構成において、繋ぎ線ＰＬがこの湾曲の仕切中心線Ｃｂよりも床側を通っている構成とする。この構成では、先端面１１１ｂ及び仕切中心線Ｃｂが幅方向Ｘに平行に延びており、流路境界部６４が、仕切中心線Ｃｂと天井頂部１１２ａとを繋いだ仮想線に重なる位置に配置されている。この構成では、上記変形例Ｄ６と同様に、繋ぎ線ＰＬと先端面１１１ｂとが交差した点において、先端面１１１ｂの接線と繋ぎ線ＰＬとの角度が９０度より大きくなる。このため、繋ぎ線ＰＬに沿って直進する異物は、流路仕切部１１１の先端面１１１ｂにて跳ね返ることで計測流路６２とは反対側に進みやすくなる。このため、異物が計測流路６２に進入することを抑制できる。

（第５実施形態）
　第５実施形態のエアフロメータ５０は、直進しやすい異物を幅方向Ｘにおいて一対の壁面のうち一方の壁面側に寄せる寄せ面を有している。本実施形態では、上記第３，４実施形態と同様に、上記第２実施形態との相違点を中心に説明する。

　図４２～図４４に示すように、本実施形態では、記第２実施形態での一対の通過壁面６８を一対の通過壁面６８ｃ，６８ｄとし、これら通過壁面６８ｃ，６８ｄは「通過対向面」に相当する。一方の表通過壁面６８ｃは、表カバー５１ｂやハウジング本体５１ａにより形成され、他方の裏通過壁面６８ｄは、裏カバー５１ｃやハウジング本体５１ａにより形成されている。通過流路６１の内周面６１ａは寄せ面１２１を有している。寄せ面１２１は流入天井面部６６ａに含まれており、流入制限部８５と同様に、一対の通過壁面６８ｃ，６８ｄにかけ渡された状態で設けられている。幅方向Ｘにおいて、寄せ面１２１の一方の端部は他方の端部よりも床側に配置されている。なお、ハウジング本体５１ａが通過流路６１と計測流路６２とを幅方向Ｘにおいて仕切っている「仕切壁部」に相当する。

　本実施形態では、寄せ面１２１において、表通過壁面６８ｃ側の端部が裏通過壁面６８ｄ側の端部より床側に配置されている。この場合、寄せ面１２１は、幅方向Ｘにおいて裏通過壁面６８ｄに近付くにつれて徐々に床面６７から離間した傾斜面になっている。幅方向Ｘに対する寄せ面１２１の傾斜角度は、例えば４５度より小さい数度～数十度とされている。寄せ面１２１については、幅方向Ｘの幅寸法が高さ方向Ｙの高さ寸法より大きくなっている。寄せ面１２１は、流入口６３ａから下流側に向けて延びており、流入天井面部６６ａのほぼ全体を形成している。

　通過流路６１の中心線を通過中心線ＣＬａと称すると、この通過中心線ＣＬａは、流入口６３ａの中心Ｃ１と流出口６３ｂの中心Ｃ２とを繋いだ仮想線になっている（図４２参照）。計測流路６２の中心線を計測中心線ＣＬｂと称すると、この計測中心線ＣＬｂは、流路境界部６４の中心Ｃ３と計測出口６３ｃの中心Ｃ４とを繋いだ仮想線になっている（図４４参照）。ここで、流入口６３ａの中心Ｃ１と計測出口６３ｃの中心Ｃ４とを繋いだ仮想線を流路中心線ＣＬと称すると、この流路中心線ＣＬには、通過中心線ＣＬａの全体と計測中心線ＣＬｂの一部とが含まれている。また、流路中心線ＣＬには、通過中心線ＣＬａと計測中心線ＣＬｂとを繋ぐ仮想線として繋ぎ中心線ＣＬｃが含まれている。繋ぎ中心線ＣＬｃは、流路境界部６４の中心Ｃ３から通過流路６１において上流側に向けて延びていることで通過中心線ＣＬａに接続されている。

　計測流路６２の内周面６２ａは、計測天井面１２６、計測床面１２７及び一対の計測壁面１２８ａ，１２８ｂを有している。一対の計測壁面１２８ａ，１２８ｂは、幅方向Ｘにおいて流路境界部６４及び計測出口６３ｃを挟んで互いに対向しており、「分岐対向面」に相当する。表計測壁面１２８ａは、表通過壁面６８ｃと同様に表カバー５１ｂやハウジング本体５１ａにより形成されており、裏計測壁面１２８ｂは、裏通過壁面６８ｄと同様に裏カバー５１ｃやハウジング本体５１ａにより形成されている。表計測壁面１２８ａは幅増加面９４を有しており、裏計測壁面１２８ｂは幅縮小面９５を有している。これら幅増加面９４及び幅縮小面９５はハウジング本体５１ａにより形成されている。

　計測天井面１２６は、流入天井面部６６ａの下流端部から計測流路６２の下流側に向けて延びており、流入天井面部６６ａと計測出口６３ｃとにかけ渡された状態になっている。計測床面１２７は、流出天井面部６６ｂの上流端部から計測流路６２の下流側に向けて延びており、流出天井面部６６ｂと計測出口６３ｃとにかけ渡された状態になっている。この場合、計測天井面１２６と計測床面１２７とは計測壁面１２８ａ，１２８ｂを挟んで対向している。

　本実施形態では、幅方向Ｘ、高さ方向Ｙ及び奥行き方向Ｚに加えて、横方向α、縦方向β及び流路方向γを用いて通過流路６１及び計測流路６２についての構成を説明する。横方向αは、幅方向Ｘの成分だけを有する。この横方向αにおいて、一対の通過壁面６８ｃ，６８ｄが並んでいるとともに、一対の計測壁面１２８ａ，１２８ｂが並んでいる。流路方向γは、基本的に通過流路６１及び計測流路６２が延びる方向であり、幅方向Ｘの成分を有しておらず、高さ方向Ｙの成分及び奥行き方向Ｚの成分を有する。縦方向βは、横方向α及び流路方向γの両方に直交しており、流路方向γと同様に、幅方向Ｘの成分を有していない一方で、高さ方向Ｙの成分及び奥行き方向Ｚの成分を有する。縦方向βにおいては、通過天井面６６と通過床面６７とが対向しているとともに、計測天井面１２６と計測床面１２７とが対向している。縦方向β及び流路方向γは、横方向αとは異なり、通過流路６１や計測流路６２が曲がっていることに起因して、流路６１，６２の位置によって異なる方向になる。

　図４４には、流入口６３ａと計測出口６３ｃとの間の領域について、通過流路６１及び計測流路６２を縦方向βに関して流路中心線ＣＬに沿って伸ばし、計測天井面１２６側から計測床面１２７を見た図を示している。図４３においては、流入口６３ａの流路方向γが奥行き方向Ｚに一致していることに起因して、幅方向Ｘと横方向αとが一致し、高さ方向Ｙと縦方向βとが一致し、奥行き方向Ｚと流路方向γとが一致している。

　図４４に示すように、通過流路６１及び計測流路６２には流入領域１３１及び横並び領域１３２が含まれており、これら領域１３１，１３２は流路方向γに沿って延びている。流入領域１３１は、流入口６３ａを流路方向γに投影した領域であり、流入口６３ａから計測出口６３ｃに向けて延びている。本実施形態では、流入領域１３１が中間計測路９２の下流端部まで延びている。

　横並び領域１３２は、横方向αにおいて流入領域１３１に横並びに配置されている。横並び領域１３２が表計測壁面１２８ａ側に配置され、流入領域１３１が裏計測壁面１２８ｂ側に配置されている。横並び領域１３２は、流路方向γにおいて幅増加面９４の下流側に配置されており、流入口６３ａからは延びていない。このため、横並び領域１３２には、流入口６３ａを流路方向γに投影した領域が含まれていない。横並び領域１３２は、横方向αにおいて幅増加部９１ａ及び中間計測路９２の各幅寸法が、上流計測路９１における幅増加部９１ａよりも上流側部分の幅寸法より大きくなった分を含んで、計測流路６２において増えた領域になっている。横方向αにおいて流入領域１３１の幅寸法は横並び領域１３２の幅寸法よりも大きくなっている。なお、流入領域１３１の幅寸法は、横並び領域１３２の幅寸法と同じになっていてもよく、それより小さくなっていてもよい。ここでは、流入領域１３１及び横並び領域１３２のそれぞれにおいて最も幅寸法が大きい部分の幅寸法同士を比較している。

　なお、上流計測路９１が「上流分岐路」に相当し、中間計測路９２が「中間分岐路」に相当し、下流計測路９３が「下流分岐路」に相当する。また、流入領域１３１及び横並び領域１３２は、平行領域１０１等と同様に、いずれも仮想の領域であり、通過流路６１や計測流路６２が実際に流入領域１３１と横並び領域１３２とに分割されているわけではない。また、図４４においては、流入領域１３１を薄めのドットハッチングにより図示し、横並び領域１３２を濃いめのドットハッチングにより図示している。

　流量検出部５２は、中間計測路９２において横並び領域１３２に配置されている。計測基板部８１ａは、流量検出部５２が実装された方の基板面が横並び領域１３２に含まれるように、横方向αにおいて流入領域１３１と横並び領域１３２とに跨った位置に配置されている。流量検出部５２は、流路方向γにおいて流入口６３ａに重ならない位置に配置されている。換言すれば、流量検出部５２は、流路方向γについて、ハウジング本体５１ａにおける幅増加面９４を形成する部分や幅増加面９４により上流側から覆い隠された状態になっている。なお、計測基板部８１ａは、その全体が横並び領域１３２に含まれる位置に配置されていてもよい。

　流路方向γにおいて、流量検出部５２と幅増加面９４との離間距離、及び計測基板部８１ａと幅増加面９４との離間距離は、いずれも幅増加面９４の長さ寸法より小さくなっている。これにより、計測基板部８１ａや流量検出部５２が幅増加面９４に比較的近い位置に配置されていることになる。また、流路方向γに対する幅増加面９４の傾斜角度は例えば４５度より小さくなっている。この場合、横方向αにおいて計測流路６２の幅寸法が中間計測路９２に近付くにつれて急激に大きくなるのではなく、徐々に大きくなるため、横並び領域１３２に到達した吸入空気について渦流など気流の乱れが発生しにくくなっている。

　通過流路６１の寄せ面１２１は、床側を向いた状態で裏カバー５１ｃ側に傾斜していることで、縦方向βに直交していない。また、寄せ面１２１は、上述したように、流入天井面部６６ａが流路境界部６４に近付くにつれて徐々に床側に傾斜していることで、奥行き方向Ｚにおいて流入口６３ａから上流側に露出している。したがって、図４３に示すように、奥行き方向Ｚに直進する大異物Ｆ１０が寄せ面１２１に衝突した場合、この大異物Ｆ１０の進行方向は、幅方向Ｘ及び高さ方向Ｙについて裏通過壁面６８ｄ側及び通過床面６７側に傾くことになる。換言すれば、大異物Ｆ１０の進行方向は、流路方向γに平行な方向ではなく、横方向α及び縦方向βの成分を含むように流路方向γに対して傾斜した方向になる。

　このように寄せ面１２１により進行方向が変わった異物のその後の進み方について、図４５を参照しつつ説明する。なお、通過流路６１から計測流路６２に進入する異物を説明の対象としており、縦方向βにおける異物の進行方向の変化に関する説明は省略する。ここでは、異物の進行方向が縦方向βについて変化している場合及び変化していない場合の両方を想定しており、いずれの場合でも異物が流路方向γに沿って進行していればよい。

　図４５に示すように、流路方向γに直進する大異物Ｆ１１，Ｆ１２が寄せ面１２１に衝突した場合、図４３にて説明した大異物Ｆ１０と同様に、大異物Ｆ１１，Ｆ１２はいずれも、裏カバー５１ｃ側に向けて流路方向γに対して傾斜した方向に進む。ここで、大異物Ｆ１１は、横方向αにおいて表カバー５１ｂ寄りの位置にて寄せ面１２１に衝突しており、大異物Ｆ１２は、裏カバー５１ｃ寄りの位置にて寄せ面１２１に衝突している。横方向αに対する寄せ面１２１の傾斜角度は比較的小さくなっており、これに起因して、寄せ面１２１による大異物Ｆ１１，Ｆ１２の進行方向の変化は比較的小さくなっている。このため、大異物Ｆ１１，Ｆ１２の進行方向は、寄せ面１２１により変化した後に、吸入空気の流れに沿って進むことで再び流路方向γに一致しやすくなっている。

　具体的には、寄せ面１２１に衝突した大異物Ｆ１１は、表カバー５１ｂ寄りの位置から裏カバー５１ｃに向けて斜めに進んだ後、裏カバー５１ｃに到達するよりも手前の位置で、吸入空気の流れにより徐々に進行方向が変わることで流路方向γに進むことになる。この場合、大異物Ｆ１１は、中間計測路９２に到達して計測基板部８１ａに最も接近した場合でも、横方向αにおいて計測基板部８１ａや横並び領域１３２から比較的離れた位置である裏カバー５１ｃ寄りの位置を通る。このため、大異物Ｆ１１の進行方向が表カバー５１ｂ側を向く方向に少しくらい変化したとしても、この大異物Ｆ１が流入領域１３１から横並び領域１３２に進入するということが生じにくくなっている。

　これに対して、本実施形態とは異なり、例えば寄せ面１２１が設けられていない構成では、図４５に破線で示すように、大異物Ｆ１１は、そのまま横方向αにおいて計測基板部８１ａや横並び領域１３２に比較的近い位置を通ることになる。このため、大異物Ｆ１１の進行方向が表カバー５１ｂ向きに少し変化しただけでも、この大異物Ｆ１１が流入領域１３１から横並び領域１３２に進入しやすくなってしまう。この場合、大異物Ｆ１１が流量検出部５２と表カバー５１ｂとの間を通って流量検出部５２に付着することが懸念される。

　また、大異物Ｆ１１よりも裏カバー５１ｃ寄りの位置にて寄せ面１２１に衝突した大異物Ｆ１２は、図４５に実線で示すように、裏カバー５１ｃ側に向けて斜めに進むことで裏カバー５１ｃに衝突し、それに伴って表カバー５１ｂ側に向けて斜めに進む。その後、裏カバー５１ｃから少し離れた位置で、吸入空気の流れに沿って進むことで流路方向γに進む。この場合でも、大異物Ｆ１２は、大異物Ｆ１１と同様に、中間計測路９２に到達して計測基板部８１ａに最も接近した場合でも、横方向αにおいて計測基板部８１ａや横並び領域１３２から比較的離れた位置である裏カバー５１ｃ寄りの位置を通る。

　ここまで説明した本実施形態によれば、流入口６３ａから流路方向γに沿っては投影されない領域である横並び領域１３２に流量検出部５２が設けられているため、流入領域１３１を進む異物が流量検出部５２に到達することを抑制できる。しかも、横方向αについて、異物を横並び領域１３２から遠ざかる位置に寄せる寄せ面１２１が通過流路６１に設けられているため、中間計測路９２に到達した異物が横並び領域１３２に近い位置を通るということが生じにくくなっている。これにより、異物が流量検出部５２に到達することをより確実に抑制できる。

　本実施形態によれば、寄せ面１２１が一対の壁面１２８ａ，１２８ｂにかけ渡されているため、通過流路６１においては横方向αの全ての範囲について異物を寄せ面１２１により幅寄せすることができる。このため、計測流路６２に進入した異物について、横方向αにおいて横並び領域１３２に近い位置を通る確率を減少させることができる。

　本実施形態によれば、寄せ面１２１が通過流路６１において流路境界部６４よりも上流側に配置されているため、流路方向γにおいて寄せ面１２１と横並び領域１３２との離間距離を適正に確保することができる。この場合、異物が寄せ面１２１に衝突することで異物の進行方向が変わった後、その異物が中間計測路９２に到達するまでの間に、異物の進行方向を吸入空気の流れによって再び流路方向γに一致させるための距離や時間を確保することができる。このため、異物の進行方向が寄せ面１２１によって流路方向γに対して傾斜した状態のまま、異物が中間計測路９２に到達して横並び領域１３２に進入してしまう、ということが生じにくくなっている。

　本実施形態によれば、表計測壁面１２８ａに含まれた幅増加面９４は、計測出口６３ｃに近付くにつれて徐々に裏計測壁面１２８ｂから遠ざかることで横並び領域１３２を形成している。この場合、例えば幅増加面９４が横方向αに平行に延びた構成に比べて、横並び領域１３２に到達した吸入空気に渦流等の乱れが生じにくくなっている。このため、吸入空気の乱れに巻き込まれて異物が横並び領域１３２に進入するということを抑制できる。

　本実施形態によれば、上流計測路９１がハウジング本体５１ａと裏カバー５１ｃとの間にあるのに対して、中間計測路９２が表カバー５１ｂと裏カバー５１ｃとの間にある、という構造の違いを利用して、流入領域１３１及び横並び領域１３２が確保されている。この場合、横並び領域１３２を形成するための専用部材や専用部位をハウジング５１に新規に設置する必要がないため、ハウジング５１の構造が複雑になることや、計測流路６２において専用部材等が吸入空気の流れを乱すということなどを回避できる。

　本実施形態では、流路方向γにおいて流量検出部５２と幅増加面９４との離間距離が、幅増加面９４の長さ寸法より小さくなっている。すなわち、流量検出部５２が幅増加面９４に比較的近い位置に配置されている。この構成では、大異物Ｆ１１，Ｆ１２等の異物が中間計測路９２に到達した場合、この異物はすぐに計測基板部８１ａを挟んで流量検出部５２の反対側を通過することになる。このため、異物が流量検出部５２よりも上流側において横並び領域１３２に進入するということが生じにくくなっている。

　第５実施形態について、本開示の要旨を逸脱しない範囲内において種々の実施形態及び組み合わせに適用することができる。

　変形例Ｅ１として、寄せ面１２１は通過天井面６６に含まれているのではなく、通過床面６７や通過壁面６８ｃ，６８ｄに含まれていてもよい。例えば、寄せ面１２１が、一対の壁面６８ｃ，６８ｄにかけ渡された状態で通過床面６７に含まれた構成や、寄せ面１２１が表通過壁面６８ｃに含まれた構成とする。寄せ面１２１が表通過壁面６８ｃに含まれた構成では、表通過壁面６８ｃが裏通過壁面６８ｄ側に向けて突出しており、この突出部の裏通過壁面６８ｄ側の面により寄せ面１２１が形成されている。この構成でも、寄せ面１２１に衝突した異物の進行方向を裏カバー５１ｃ側に向けて一時的に傾斜させることで、横方向αにおける異物の位置を裏カバー５１ｃ寄りの位置に移動させることができる。

　変形例Ｅ２として、寄せ面１２１は通過流路６１において流入口６３ａから下流側に離間した位置に設けられていてもよい。例えば、寄せ面１２１が流入口６３ａと流路境界部６４との中間位置に設けられた構成とする。この構成では、流入口６３ａと流路境界部６４との中間位置において流入天井面部６６ａの一部が床側に向けて突出しており、この突出部の床側面により寄せ面１２１が形成されている。

　変形例Ｅ３として、寄せ面１２１は計測流路６２の内周面６２ａに含まれていてもよい。例えば、図４６、図４７に示すように、寄せ面１２１が計測床面１２７に含まれた構成とする。この構成では、寄せ面１２１が横方向αにおいて一対の計測壁面１２８ａ，１２８ｂにかけ渡されている。寄せ面１２１は、流路方向γにおいて流路境界部６４から幅増加面９４まで延びており、計測床面１２７のほぼ全体に形成されている。この構成では、上記第５実施形態のように寄せ面１２１が流入天井面部６６ａに含まれた構成に比べて、流路方向γにおいて横並び領域１３２と寄せ面１２１との離間距離が小さくなる。このため、寄せ面１２１により裏カバー５１ｃ側に向けて進行方向が傾斜した異物については、その進行方向が流路方向γに一致するよりも前のタイミングで流量検出部５２を通過することが想定される。この場合でも、横並び領域１３２への異物の進入が生じにくいため、異物の付着等によって流量検出部５２の検出精度が低下するということを抑制できる。

　この変形例Ｅ３についても、上記変形例Ｅ１，Ｅ２を適用し、計測流路６２において寄せ面１２１が計測床面１２７や計測壁面１２８ａ，１２８ｂに含まれていてもよい。

　変形例Ｅ４として、寄せ面１２１は通過流路６１において流路境界部６４よりも下流側に配置されていてもよい。例えば、図４８、図４９に示すように、寄せ面１２１が流出天井面部６６ｂに含まれた構成とする。この構成でも、上記第５実施形態と同様に、寄せ面１２１が一対の通過壁面６８ｃ，６８ｄにかけ渡されている。寄せ面１２１は、流路方向γにおいて流路境界部６４から流出口６３ｂまで延びており、流出天井面部６６ｂのほぼ全体に形成されている。

　この変形例Ｅ４では、流出口６３ｂの中心Ｃ２と計測出口６３ｃの中心Ｃ４とを繋いだ仮想線を流出中心線ＣＭと称する。この流出中心線ＣＭには、通過中心線ＣＬａと計測中心線ＣＬｂとを繋ぐ仮想線として戻り中心線ＣＬｄが含まれている。戻り中心線ＣＬｄは、流路境界部６４の中心Ｃ３から通過流路６１において下流側に向けて延びていることで通過中心線ＣＬａに接続されている。

　この構成では、通過流路６１を進んでいる異物が流出天井面部６６ｂに衝突したことに起因して上流側に戻って計測流路６２に進入していったとしても、この異物の位置を横並び領域１３２から遠ざかるように裏カバー５１ｃ寄りの位置に変わりやすくなっている。このため、流出口６３ｂ側から上流側に戻って計測流路６２に進入していった異物についても、上記第５実施形態と同様に、中間計測路９２に到達した場合に横並び領域１３２に近い位置を通るということが生じにくくなっている。

　この変形例Ｅ４についても、上記変形例Ｅ１，Ｅ２を適用し、通過流路６１における流路境界部６４よりも下流側にて、寄せ面１２１が通過床面６７や通過壁面６８ｃ，６８ｄに含まれていてもよい。

　変形例Ｅ５として、寄せ面１２１は複数設けられていてもよい。例えば、図５０に示すように、寄せ面１２１が流入天井面部６６ａ、流出天井面部６６ｂ及び計測床面１２７のそれぞれに含まれた構成とする。この構成では、通過流路６１において上流側から計測流路６２に進入した異物については、２つの寄せ面１２１により裏カバー５１ｃ側に位置寄せすることができる。また、下流側から上流側に戻ることで計測流路６２に進入した異物の両方については、３つの寄せ面１２１により裏カバー５１ｃ側に位置寄せすることができる。したがって、中間計測路９２に到達した異物について横並び領域１３２に進入するということをより確実に抑制できる。

　変形例Ｅ６として、流量検出部５２を上流側から覆う覆い部１３６が設けられていてもよい。例えば、図５１，５２に示すように、覆い部１３６が計測流路６２に設けられた構成とする。この構成では、流路方向γにおいて覆い部１３６が流入口６３ａから下流側に離間した位置に配置されており、覆い部１３６は、流入口６３ａと横並び領域１３２との間に配置されている。この場合、横並び領域１３２は、覆い部１３６の下流側に隠れた状態になっていることで、流入口６３ａを流路方向γに投影した領域に含まれないようになっている。通過流路６１及び計測流路６２において、覆い部１３６よりも流入口６３ａ側に形成された領域を手前側領域１３４と称する。手前側領域１３４は、横方向αにおいて横並び領域１３２と共に流入領域１３１に横並びに配置されている。

　覆い部１３６は、覆い面１３６ａ及び直交面１３６ｂを有している。覆い面１３６ａは、下流側に向けて進む異物を裏カバー５１ｃ側に誘導する機能を有しており、裏カバー５１ｃ側を向いている。覆い面１３６ａは、流入口６３ａに近付くにつれて裏カバー５１ｃから遠ざかる傾斜面になっており、流路方向γに対して流入口６３ａ側を向くように傾斜している。横方向αにおいて覆い部１３６の幅寸法は、流入口６３ａに近付くにつれて徐々に小さくなっている。覆い部１３６はハウジング本体５１ａに含まれており、覆い面１３６ａは表計測壁面１２８ａに含まれている。表カバー５１ｂに対する覆い面１３６ａの傾斜角度は、例えば４５度より小さい数度～数十度になっている。

　直交面１３６ｂは流路方向γに直交しており、流路方向γにおいて計測出口６３ｃ側を向いている。流路方向γにおいては、直交面１３６ｂと計測出口６３ｃとの間に流量検出部５２が配置されている。なお、直交面１３６ｂは、横方向αに平行に延びているが、横方向αに対して傾斜していてもよい。

　この構成でも、上記第５実施形態と同様に、図５２に示すように、流路方向γに直進する大異物Ｆ１１，Ｆ１２が寄せ面１２１に衝突した場合、大異物Ｆ１１，Ｆ１２はいずれも、裏カバー５１ｃ側に向けて流路方向γに対して傾斜した方向に進む。このため、大異物Ｆ１１，Ｆ１２は、中間計測路９２に到達して計測基板部８１ａに最も接近した場合でも、横方向αにおいて計測基板部８１ａから横並び領域１３２から比較的離れた位置を通過することになる。また、仮に大異物Ｆ１１等の異物が、流入領域１３１ではなく手前側領域１３４を進んでいたとしても、この異物は覆い面１３６ａに衝突することで裏カバー５１ｃ側に誘導される。すなわち、横方向αにおいて横並び領域１３２から離れた位置に誘導される。したがって、流入領域１３１を進んでいる異物、及び手前側領域１３４を進んでいる異物の両方について、横並び領域１３２に進入することを抑制できる。

　変形例Ｅ７として、横方向αについて寄せ面１２１が異物を流入領域１３１側に寄せるのではなく、横並び領域１３２側に寄せてもよい。すなわち、寄せ面１２１が裏カバー５１ｃ側を向いているのではなく、表カバー５１ｂ側を向いていてもよい。この構成では、図５３に示すように、流路方向γに直進する大異物Ｆ１１，Ｆ１２が寄せ面１２１に衝突した場合、大異物Ｆ１１，Ｆ１２は、上記第５実施形態とは逆で、表カバー５１ｂ側に向けて流路方向γに対して傾斜した方向に進む。この場合、大異物Ｆ１１，Ｆ１２は、流入領域１３１ではなく手前側領域１３４を進むことで覆い面１３６ａに到達し、この覆い面１３６ａに衝突することで裏カバー５１ｃ側に誘導されやすくなっている。このため、大異物Ｆ１１，Ｆ１２が横並び領域１３２から比較的遠い位置を通ることになり、ひいては、これら大異物Ｆ１１，Ｆ１２が横並び領域１３２に進入することを抑制できる。

　変形例Ｆ８として、流路方向γにおいて流量検出部５２が幅増加面９４から計測出口６３ｃ側に離間しているのでなく、流量検出部５２の少なくとも一部が横方向αにおいて幅増加面９４に並んでいてもよい。この場合、流量検出部５２を幅増加面９４の直近に配置できるため、異物が流入領域１３１において流量検出部５２を通過するよりも手前の位置において横並び領域１３２に進入する、ということをより確実に抑制できる。

（第６実施形態）
　第６実施形態のエアフロメータ５０は、第２実施形態の流入段差面７１ａと、第３実施形態の平行領域１０１及び高さ絞り面１０５と、第４実施形態の仕切頂部１１１ａが流入口６３ａから露出しない構成と、第５実施形態の横並び領域１３２とを有している。本実施形態では、上記第５実施形態との相違点を中心に説明する。

　図５４、図５５に示すように、本実施形態では、上記第２実施形態とは異なり、全ての流入段差面７１ａが奥行き方向Ｚに直交しておらず、奥行き方向Ｚに対して傾斜している。この場合、流入段差面７１ａは、幅方向Ｘに対して傾斜している一方で、高さ方向Ｙに対しては傾斜しておらず平行に延びている。流入段差面７１ａは、表通過壁面６８ｃ側の端部が裏通過壁面６８ｄ側の端部よりも流入口６３ａに近い位置に配置されるように傾斜しており、流入口６３ａ側及び裏通過壁面６８ｄ側を向く傾斜面になっている。幅方向Ｘに対する流入段差面７１ａの傾斜角度は、例えば４５度より小さい数度～数十度とされている。

　流入段差面７１ａは、上記第５実施形態の寄せ面１２１としての機能を有している。例えば、奥行き方向Ｚに直進する大異物が流入段差面７１ａに衝突して跳ね返った場合、この大異物は、流入口６３ａに向けて奥行き方向Ｚに平行に進むのではなく、裏通過壁面６８ｄ側に向けて進むことになる。この場合、例えば流入段差面７１ａにて跳ね返った大異物が吸入空気の流れにより再び通過流路６１を下流側に向けて進むことになったとしても、この大異物は裏通過壁面６８ｄ寄りの位置を進むことになる。このように、流入段差面７１ａは「寄せ面」に相当するものであり、図５６に示すように、流入天井面部６６ａにおいて流入段差面７１ａが複数設けられていることは、「寄せ面」が複数設けられていることに相当する。

　裏通過壁面６８ｄ寄りの位置を流路方向γに進む大異物は、上記第５実施形態の大異物Ｆ１１，Ｆ１２と同様に、中間計測路９２に到達したとしても、横方向αにおいて流量検出部５２から比較的離れた位置を通ることになる。このため、大異物の進行方向が表カバー５１ｂ側を向く方向に少しくらい変化したとしても、この大異物が流入領域１３１から横並び領域１３２に進入するということが生じにくくなっている。

　本実施形態では、天井側領域１０２を区画する流入天井面部６６ａが流入段差面７１ａを有している。この場合、流入口６３ａから天井側領域１０２に進入した異物は、流入天井面部６６ａにて流入口６３ａ側に跳ね返されることで、通過流路６１において天井側領域１０２よりも下流側に進むこと自体が抑制される。また、流入口６３ａから平行領域１０１に進入した異物は、そのまま奥行き方向Ｚに真っ直ぐに進むことで流出口６３ｂから外部に出て行きやすくなっている。さらに、奥行き方向Ｚに対して傾斜した向きに直進する異物についても、仕切頂部１１１ａが流入口６３ａから上流側に露出していないことに起因して、直進を保った状態でそのまま計測流路６２に進入するということが生じにくくなっている。仮に、計測流路６２に進入した異物が存在したとしても、この異物は、寄せ面としての機能を発揮する流入段差面７１ａに衝突することで裏カバー５１ｃ寄りの位置に寄せられやすくなっている。このため、中間計測路９２に到達した異物が横並び領域１３２に進入するということが抑制される。

　第６実施形態について、本開示の要旨を逸脱しない範囲内において種々の実施形態及び組み合わせに適用することができる。

　変形例Ｆ１として、寄せ面としての機能が流入接続面７２ａに付与されていてもよい。例えば、上記第５実施形態の寄せ面１２１と同様に、流入接続面７２ａが高さ方向Ｙに直交しているのではなく、通過床面６７側及び裏カバー５１ｃ側を向いた傾斜面になっていてもよい。また、寄せ面としての機能は、流出段差面７１ｂや流出接続面７２ｂに付与されていてもよい。

　変形例Ｆ２として、全ての流入段差面７１ａに寄せ面としての機能が付与されているのではなく、少なくとも１つの流入段差面７１ａに寄せ面としての機能が付与されていてもよい。例えば、複数の流入段差面７１ａのうち最も下流側に配置された流入段差面７１ａが奥行き方向Ｚに対して傾斜することで寄せ面としての機能を有する構成とする。この構成では、他の流入段差面７１ａは、奥行き方向Ｚに直交することで寄せ面としての機能を有していない。

　変形例Ｆ３として、第２実施形態の流入段差面７１ａと、第３実施形態の平行領域１０１及び高さ絞り面１０５と、第４実施形態の仕切頂部１１１ａが流入口６３ａから露出しない構成と、第５実施形態の横並び領域１３２とのうち、少なくとも２つの構成を有していてもよい。この場合でも、異物が流量検出部５２に到達することに対する抑止力を発揮することができる。

　以上、本開示による複数の実施形態について説明したが、本開示は、上記実施形態に限定して解釈されるものではなく、本開示の要旨を逸脱しない範囲内において種々の実施形態及び組み合わせに適用することができる。

　変形例Ｇ１として、上記各実施形態では、物理量検出部として流量検出部が計測流路に設けられていたが、計測流路に設けられる物理量検出部は、湿度検出部や温度検出部、圧力検出部であってもよい。

　変形例Ｇ２として、上記各実施形態では、計測流路が周回した形状になっていたが、計測流路は、周回せずに奥行き方向Ｚに延びた形状でもよい。

　本開示は、実施例に準拠して記述されたが、本開示は当該実施例や構造に限定されるものではないと理解される。本開示は、様々な変形例や均等範囲内の変形をも包含する。加えて、様々な組み合わせや形態、さらには、それらに一要素のみ、それ以上、あるいはそれ以下、を含む他の組み合わせや形態をも、本開示の範疇や思想範囲に入るものである。

Claims

　流体の物理量を計測する物理量計測装置（５０）であって、
　流入口（６３ａ）及び流出口（６３ｂ）を有し、これら流入口及び流出口から出入りした前記流体が通過する通過流路（６１）と、
　前記通過流路から分岐し、前記通過流路から流入した前記流体を分岐出口（６３ｃ）から放出する分岐流路（６２）と、
　前記分岐流路において前記流体の物理量を検出する物理量検出部（５２）と、を備え、
　前記流入口の中心（Ｃ１）と前記分岐出口の中心（Ｃ４）とを繋ぎ、前記通過流路の中心線（ＣＬａ）の少なくとも一部及び前記分岐流路の中心線（ＣＬｂ）を含む仮想線を流路中心線（ＣＬ）と称し、
　前記通過流路の内周面（６１ａ）のうち、前記通過流路と前記分岐流路との境界である流路境界部（６４）及び前記流入口を挟んで対向する一対の通過対向面（６８ｃ，６８ｄ）が並ぶ方向を、横方向（α）と称し、前記流路中心線が延びる方向を流路方向（γ）と称し、前記横方向及び前記流路方向の両方に直交する方向を縦方向（β）と称すると、
　前記流入口から前記流路中心線に沿って前記流路方向に延びる流入領域（１３１）と、前記流入口からは延びずに前記横方向において前記流入領域に横並びに設けられた横並び領域（１３２）とが、前記通過流路及び前記分岐流路の少なくとも一方に含まれており、
　前記物理量検出部は、前記分岐流路において前記横並び領域に設けられており、
　前記流体と共に前記流入口から進入した異物（Ｆ１１，Ｆ１２）を前記横方向において前記横並び領域とは反対側に寄せる寄せ面（１２１）が、前記横並び領域よりも上流側において前記通過流路の内周面及び前記分岐流路の内周面（６２ａ）の少なくとも一方に含まれている、物理量計測装置。
　前記寄せ面は前記一対の通過対向面にかけ渡されている、請求項１に記載の物理量計測装置。
　前記寄せ面は、前記通過流路において前記流入領域に設けられている、請求項１又は２に記載の物理量計測装置。
　前記寄せ面は、前記分岐流路において前記流入領域に設けられている、請求項１～３のいずれか１つに記載の物理量計測装置。
　前記流入領域は、前記流路方向において前記流路境界部を跨いで延びていることで前記通過流路及び前記分岐流路の両方に含まれており、
　前記横並び領域は、前記流路境界部よりも下流側に設けられていることで、前記通過流路及び前記分岐流路のうち前記分岐流路だけに含まれている、請求項１～４のいずれか１つに記載の物理量計測装置。
　前記分岐流路の前記内周面は、前記横方向に対向する一対の分岐対向面（１２８ａ，１２８ｂ）を有しており、
　前記一対の分岐対向面のうち一方は、前記流路方向において前記物理量検出部に近付くにつれて他方から徐々に遠ざかることで、前記横方向において前記分岐流路の横寸法を大きくする幅増加面（９４）を有しており、
　前記横並び領域は、前記流路方向において前記幅増加面の下流側に配置されている、請求項１～５のいずれか１つに記載の物理量計測装置。
　前記分岐流路において前記物理量検出部を上流側から覆い隠す覆い部（１３６）を備え、
　前記横並び領域は、前記流路方向において前記覆い部の下流側に配置されている、請求項１～５のいずれか１つに記載の物理量計測装置。
　前記分岐流路は、
　前記流路境界部から下流側に向けて延びた上流分岐路（９１）と、
　少なくとも一部が前記横方向において前記上流分岐路に重複する位置に設けられ、前記分岐流路から上流側に向けて延びた下流分岐路（９３）と、
　前記流路方向において前記上流分岐路と前記下流分岐路との間に設けられ、これら上流分岐路と下流分岐路とを接続する中間分岐路（９２）と、を有しており、
　前記横方向において前記上流分岐路と前記下流分岐路との間には、これら上流分岐路と下流分岐路とを仕切る仕切壁部（５１ａ）が設けられており、
　前記横並び領域は前記中間分岐路に含まれている、請求項１～７のいずれか１つに記載の物理量計測装置。
　流体の物理量を計測する物理量計測装置（５０）であって、
　流入口（６３ａ）及び流出口（６３ｂ）を有し、これら流入口及び流出口から出入りした前記流体が通過する通過流路（６１）と、
　前記通過流路から分岐し、前記通過流路から流入した前記流体を分岐出口（６３ｃ）から放出する分岐流路（６２）と、
　前記分岐流路において前記流体の物理量を検出する物理量検出部（５２）と、を備え、
　前記流入口の中心（Ｃ１）と前記分岐出口の中心（Ｃ４）とを繋ぎ、前記通過流路の中心線（ＣＬａ）の少なくとも一部及び前記分岐流路の中心線（ＣＬｂ）を含む仮想線を流路中心線（ＣＬ）と称し、
　前記通過流路の内周面（６１ａ）のうち、前記通過流路と前記分岐流路との境界である流路境界部（６４）及び前記流入口を挟んで対向する一対の対向面（６８ｃ，６８ｄ）が並ぶ方向を、横方向（α）と称し、前記流路中心線が延びる方向を流路方向（γ）と称し、前記横方向及び前記流路方向の両方に直交する方向を縦方向（β）と称すると、
　前記流入口から前記流路中心線に沿って前記流路方向に延びる流入領域（１３１）と、前記流入口からは延びずに前記横方向において前記流入領域に横並びに設けられた横並び領域（１３２）とが、前記通過流路及び前記分岐流路の少なくとも一方に含まれており、
　前記物理量検出部は、前記分岐流路において前記横並び領域に設けられており、
　前記物理量検出部を上流側から覆い隠す覆い部（１３６）が前記分岐流路に設けられており、
　前記横並び領域は、前記流路方向において前記覆い部の下流側に配置されており、
　前記流体と共に前記流入口から進入した異物（Ｆ１１，Ｆ１２）を前記横方向において前記覆い部側に寄せる寄せ面（１２１）が、前記横並び領域よりも上流側において前記通過流路の内周面及び前記分岐流路の内周面（６２ａ）の少なくとも一方に含まれている、物理量計測装置。
　流体の物理量を計測する物理量計測装置（５０）であって、
　流入口（６３ａ）及び流出口（６３ｂ）を有し、これら流入口及び流出口から出入りした前記流体が通過する通過流路（６１）と、
　前記通過流路から分岐し、前記通過流路から流入した前記流体を分岐出口（６３ｃ）から放出する分岐流路（６２）と、
　前記分岐流路において前記流体の物理量を検出する物理量検出部（５２）と、を備え、
　前記流入口の中心（Ｃ１）と前記分岐出口の中心（Ｃ４）とを繋ぎ、前記通過流路の中心線（ＣＬａ）の少なくとも一部及び前記分岐流路の中心線（ＣＬｂ）を含む仮想線を流路中心線（ＣＬ）と称し、
　前記通過流路の内周面（６１ａ）のうち、前記通過流路と前記分岐流路との境界である流路境界部（６４）及び前記流入口を挟んで対向する一対の対向面（６８）が並ぶ方向を、横方向（α）と称し、前記流路中心線が延びる方向を流路方向（γ）と称し、前記横方向及び前記流路方向の両方に直交する方向を縦方向（β）と称すると、
　前記流入口から前記流路中心線に沿って前記流路方向に延びる流入領域（１３１）と、前記流入口からは延びずに前記横方向において前記流入領域に横並びに設けられた横並び領域（１３２）とが、前記通過流路及び前記分岐流路の少なくとも一方に含まれており、
　前記物理量検出部は、前記分岐流路において前記横並び領域に設けられており、
　前記流体と共に前記流入口から進入した異物（Ｆ１１，Ｆ１２）を前記横方向において前記横並び領域とは反対側に寄せる寄せ面（１２１）が、前記通過流路において前記流路境界部よりも上流側において前記通過流路の内周面に含まれている、物理量計測装置。