JP7059992B2

JP7059992B2 - 空気流量測定装置

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Publication number: JP7059992B2
Application number: JP2019161246A
Authority: JP
Inventors: 基眞下; 博之阿久澤
Original assignee: Denso Corp
Current assignee: Denso Corp
Priority date: 2019-09-04
Filing date: 2019-09-04
Publication date: 2022-04-26
Anticipated expiration: 2039-09-04
Also published as: DE112020004180T5; US20220155121A1; JP2021039028A; WO2021045119A1

Description

本開示は、空気流量測定装置に関する。

従来、特許文献１に記載されているように、空気の流量を測定する流量センサと、空気の温度を測定する温度センサとを備えるセンサ装置が知られている。このセンサ装置の流量センサおよび温度センサは、プリント基板に実装されている。

特開２０１８－９６７２８号公報

特許文献１の構成では、温度センサは、ＬＳＩおよびマイコンの発熱の影響を抑制するために、ＬＳＩおよびマイコンから離れるように細長いプリント基板の先端に配置されている。また、この温度センサを実装する基板は、ハウジングに搭載される。しかし、発明者等の検討によれば、プリント基板の体格は、比較的大きいので、プリント基板の熱容量が比較的大きくなる。このため、空気の温度が変化したとき、プリント基板に実装されている温度センサの温度変化が起こりにくいため、温度センサの応答性が低下する。

本開示は、空気の流量が測定可能であり、流量とは異なる空気の物理量の応答性を向上させる空気流量測定装置を提供することを目的とする。

請求項１に記載の発明は、空気流量測定装置であって、基面（４１）と、基面とは反対側に位置する後面（４２）と、基面の端部および後面の端部に接続されている第１側面（５１）と、基面のうち第１側面とは反対側の端部および後面のうち第１側面とは反対側の端部に接続されている第２側面（５２）と、基面に形成される流量流路入口（４３１）と、後面に形成されている流量流路出口（４３２）と、流量流路入口および流量流路出口に連通する流量流路（４３、４４）と、基面に形成されている物理量流路入口（５００）と、を有するハウジング（３０）と、流量流路内に配置されており、流量流路を流れる空気の流量に応じた信号を出力する流量検出部（７５）と、物理量流路入口に配置されている基板（７６）と、基板のうち第１側面側の基板面（７６１）に実装されている物理量検出部（８１）と、を備え、物理量流路入口は、物理量流路入口のうち第１側面側に位置する第１内面（６１）と、物理量流路入口のうち第２側面側に位置する第２内面（６２）と、基面、第１内面および第２内面に接続されている第３内面（６３）と、基面、第１内面のうち第３内面とは反対側の端部および第２内面のうち第３内面とは反対側の端部に接続されている第４内面（６４）と、を含み、物理量検出部は、基板面と、第１内面と、第３内面と、第４内面と、によって区画形成される基板流路（９０）に設けられ、その基板流路を流れる空気の物理量に応じた信号を出力し、基板、第１内面、第３内面および第４内面のいずれかは、基面から後面に向かう方向に沿って基板流路の流路面積を小さくすることにより、基板流路のうち物理量検出部、基板、第１内面、第３内面および第４内面によって区画形成される流路面積を、基板流路のうち基面側の流路面積よりも小さくする空気流量測定装置である。

これにより、空気の流量が測定可能であり、流量とは異なる空気の物理量の応答性が向上する。

なお、各構成要素等に付される括弧付きの参照符号は、その構成要素等と後述する実施形態に記載の具体的な構成要素等との対応関係の一例を示すものである。

実施形態の空気流量測定装置が用いられるエンジンシステムの概略図。第１実施形態の空気流量測定装置の正面図。空気流量測定装置の側面図。空気流量測定装置の側面図。図２のＶ－Ｖ線断面図。図２のＶＩ－ＶＩ線拡大断面図。図５のＶＩＩ部拡大図。第２実施形態の空気流量測定装置の正面図。図８のＩＸ－ＩＸ線拡大断面図。図８のＸ－Ｘ線拡大断面図。第２実施形態の空気流量測定装置の物理量流路の断面図。他の実施形態の空気流量測定装置の正面図。図１２のＸＩＩＩ－ＸＩＩＩ線拡大断面図。図１２のＸＩＶ－ＸＩＶ線拡大断面図。他の実施形態の空気流量測定装置の基板凸部の断面図。他の実施形態の空気流量測定装置のハウジング凸部の断面図。他の実施形態の空気流量測定装置の基板の断面図。他の実施形態の空気流量測定装置の基板の断面図。他の実施形態の空気流量測定装置の基板の断面図。

以下、実施形態について図面を参照しつつ説明する。なお、以下の各実施形態相互において、互いに同一もしくは均等である部分には、同一符号を付し、その説明を省略する。

（第１実施形態）
空気流量測定装置２１は、例えば、車両に搭載されるエンジンシステム１００の吸気系統に用いられる。まず、このエンジンシステム１００について説明する。具体的には、図１に示すように、エンジンシステム１００は、吸気管１１、エアクリーナ１２、空気流量測定装置２１、スロットルバルブ１３、スロットルセンサ１４、インジェクタ１５、エンジン１６、排気管１７および電子制御装置１８を備える。なお、ここでは、吸気とは、吸入される空気のことである。また、排気とは、排出される空気のことである。

吸気管１１は、円筒形状に形成されており、吸気流路１１１を有している。吸気流路１１１では、エンジン１６に吸入される空気が流れる。

エアクリーナ１２は、吸気流路１１１を流れる空気の上流側であって、吸気管１１内に配置されている。また、エアクリーナ１２は、吸気流路１１１を流れる空気に含まれる埃等の異物を除去する。

空気流量測定装置２１は、エアクリーナ１２よりも吸気流路１１１を流れる空気の下流側に配置されている。そして、空気流量測定装置２１は、エアクリーナ１２とスロットルバルブ１３との間の吸気流路１１１を流れる空気の流量を測定する。また、ここでは、空気流量測定装置２１は、吸気流路１１１を流れる空気の物理量を測定する。この空気流量測定装置２１の詳細については後述する。なお、ここでは、吸気流路１１１を流れる空気の物理量とは、吸気流路１１１を流れる空気の流量とは異なる物理量であり、後述するように、空気の温度である。

スロットルバルブ１３は、空気流量測定装置２１よりも吸気流路１１１を流れる空気の下流側に配置されている。また、スロットルバルブ１３は、円板状に形成されており、図示しないモータによって回転する。そして、スロットルバルブ１３は、回転することにより、吸気流路１１１の流路面積を調整して、エンジン１６に吸入される空気の流量を調整する。

スロットルセンサ１４は、スロットルバルブ１３の開度に応じた検出信号を電子制御装置１８に出力する。

インジェクタ１５は、後述の電子制御装置１８からの信号に基づいて、エンジン１６の燃焼室１６４に燃料を噴射する。

エンジン１６は、内燃機関であって、スロットルバルブ１３を経由して吸気流路１１１を流れる空気と、インジェクタ１５から噴射される燃料と、の混合気を燃焼室１６４内で燃焼させる。この燃焼時の爆発力により、エンジン１６のピストン１６２がシリンダ１６１内を往復運動する。具体的には、エンジン１６は、シリンダ１６１、ピストン１６２、シリンダヘッド１６３、燃焼室１６４、吸気バルブ１６５、吸気バルブ駆動装置１６６、排気バルブ１６７、排気バルブ駆動装置１６８および点火プラグ１６９を有する。

シリンダ１６１は、筒状に形成されており、ピストン１６２を収容している。ピストン１６２は、シリンダ１６１の軸方向に沿ってシリンダ１６１内を往復運動する。シリンダヘッド１６３は、シリンダ１６１の上部に取り付けられている。また、シリンダヘッド１６３は、吸気管１１および排気管１７に接続されており、第１シリンダ流路１８１および第２シリンダ流路１８２を有する。第１シリンダ流路１８１は、吸気流路１１１に連通している。第２シリンダ流路１８２は、後述する排気管１７の排気流路１７１に連通している。燃焼室１６４は、シリンダ１６１とピストン１６２の上面とシリンダヘッド１６３の下面とによって区画形成されている。吸気バルブ１６５は、第１シリンダ流路１８１に配置されており、吸気バルブ駆動装置１６６により駆動されることで、第１シリンダ流路１８１側の燃焼室１６４の開閉を行う。排気バルブ１６７は、第２シリンダ流路１８２に配置されており、排気バルブ駆動装置１６８により駆動されることで、第２シリンダ流路１８２側の燃焼室１６４の開閉を行う。

点火プラグ１６９は、後述の電子制御装置１８からの信号に基づいて、燃焼室１６４内のスロットルバルブ１３を経由して吸気流路１１１を流れる空気と、インジェクタ１５から噴射される燃料との混合気に点火する。

排気管１７は、円筒形状に形成されており、排気流路１７１を有する。排気流路１７１では、燃焼室１６４で燃焼したガスが流れる。この排気流路１７１を流れるガスは、図示しない排出ガス浄化装置によって浄化される。

電子制御装置１８は、マイコン等を主体として構成されており、ＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭ、Ｉ／Ｏおよびこれらの構成を接続するバスライン等を備えている。ここでは、例えば、電子制御装置１８は、空気流量測定装置２１によって測定された空気の流量および物理量ならびにスロットルバルブ１３の開度等に基づいて、スロットルバルブ１３の開度の制御を行う。また、電子制御装置１８は、空気流量測定装置２１によって測定された空気の流量および物理量ならびにスロットルバルブ１３の開度等に基づいて、インジェクタ１５の燃料噴射量の制御および点火プラグ１６９の点火タイミングの制御を行う。なお、図１において、電子制御装置１８は、ＥＣＵと記載されている。

このように、エンジンシステム１００は構成されている。次に、空気流量測定装置２１の詳細について説明する。

図２－図７に示すように、空気流量測定装置２１は、ハウジング３０、流量検出部７５、基板７６および物理量検出部８１を備えている。

図２に示すように、ハウジング３０は、吸気管１１の側面に接続されている配管延長部１１２に取り付けられている。この配管延長部１１２は、円筒状に形成されており、吸気管１１の径方向内側から径方向外側に向かう方向に吸気管１１の側面から延びている。また、ハウジング３０は、保持部３１、シール部材３２、蓋部３３、コネクタカバー３４、ターミナル３５およびバイパス部４０を有する。

保持部３１は、円筒状に形成されており、保持部３１の外面と配管延長部１１２の内面とが係合することにより配管延長部１１２に固定されている。また、保持部３１の外周面には、シール部材３２が取り付けられる溝が形成されている。

シール部材３２は、例えば、Ｏリングであって、保持部３１の溝に取り付けられており、配管延長部１１２と接触することにより配管延長部１１２内の流路を塞ぐ。これにより、吸気流路１１１を流れる空気が配管延長部１１２を経由して外部に漏れることが抑制される。

蓋部３３は、有底筒状に形成されており、保持部３１の軸方向に保持部３１と接続されている。また、保持部３１の径方向における蓋部３３の長さが配管延長部１１２の径よりも大きくなっており、蓋部３３は、配管延長部１１２の穴を塞いでいる。

コネクタカバー３４は、蓋部３３に接続されており、保持部３１の径方向内側から径方向外側に延びている。また、コネクタカバー３４は、筒状に形成されており、ターミナル３５の一端を収容している。

図３に示すように、ターミナル３５の一端は、コネクタカバー３４に収容されている。また、図示しないが、ターミナル３５の一端は、電子制御装置１８に接続される。さらにターミナル３５の中央部は、蓋部３３および保持部３１に収容されている。また、ターミナル３５の他端は、後述の基板７６に接続されている。

バイパス部４０は、複数の流路を内部に有し、板状に形成されている。具体的には、図２－図７に示すように、バイパス部４０は、ハウジング基面４１、ハウジング後面４２、第１ハウジング側面５１および第２ハウジング側面５２を有する。また、バイパス部４０は、流量主流路入口４３１、流量主流路出口４３２、流量主流路４３、流量副流路入口４４１、流量副流路４４および流量副流路出口４４２を有する。さらに、バイパス部４０は、物理量流路入口５００、物理量流路５０、第１物理量流路出口５０１および第２物理量流路出口５０２を含む。なお、以下では、便宜上、バイパス部４０に対してハウジング３０の保持部３１側を上側とする。また、バイパス部４０に対して保持部３１とは反対側を下側とする。

ハウジング基面４１は、吸気流路１１１を流れる空気の上流側に位置している。ハウジング後面４２は、ハウジング基面４１とは反対側に位置している。第１ハウジング側面５１は、第１側面に対応しており、ハウジング基面４１の端部およびハウジング後面４２の端部に接続されている。第２ハウジング側面５２は、第２側面に対応しており、ハウジング基面４１のうち第１ハウジング側面５１とは反対側の端部およびハウジング後面４２のうち第１ハウジング側面５１とは反対側の端部に接続されている。また、ここでは、ハウジング基面４１、ハウジング後面４２、第１ハウジング側面５１および第２ハウジング側面５２は、段差状にそれぞれ形成されている。

図２－図５に示すように、流量主流路入口４３１は、ハウジング基面４１に形成されており、吸気流路１１１を流れる空気の一部を流量主流路４３に導入する。図５に示すように、流量主流路４３は、流量主流路入口４３１と流量主流路出口４３２とに連通している。図３－図５に示すように、流量主流路出口４３２は、ハウジング後面４２に形成されている。

図５に示すように、流量副流路入口４４１は、流量主流路４３の上側に形成されており、流量主流路４３を流れる空気の一部を流量副流路４４に導入する。流量副流路４４は、流量主流路４３の途中から分岐した流路であり、導入部４４３と、後垂直部４４４と、折返し部４４５と、前垂直部４４６とを有する。導入部４４３は、流量副流路入口４４１に接続されており、流量副流路入口４４１から上方向、かつ、流量副流路入口４４１からハウジング後面４２に向かう方向に延びている。これにより、流量主流路４３を流れる空気の一部が流量副流路４４に導入されやすくなっている。後垂直部４４４は、流量副流路入口４４１とは反対側の導入部４４３の端部に接続されており、この導入部４４３の端部から上方向に延びている。折返し部４４５は、導入部４４３とは反対側の後垂直部４４４の端部に接続されており、この後垂直部４４４の端部からハウジング基面４１に向かう方向に延びている。前垂直部４４６は、後垂直部４４４とは反対側の折返し部４４５の端部に接続されており、この折返し部４４５の端部から下方向に延びている。なお、図５の断面図において、各流路を明確にするため、流量副流路入口４４１、後述の第２物理量流路出口５０２および基板７６の外形線は、省略されている。

図３および図４に示すように、流量副流路出口４４２は、第１ハウジング側面５１および第２ハウジング側面５２に形成されており、前垂直部４４６とハウジング３０の外部とに連通している。

図２に示すように、物理量流路入口５００は、ハウジング基面４１に１つ形成されており、流量主流路入口４３１よりも上側に位置している。また、物理量流路入口５００は、吸気流路１１１を流れる空気の一部を物理量流路５０に導入する。

図５および図６に示すように、物理量流路５０は、物理量流路入口５００と第１物理量流路出口５０１および第２物理量流路出口５０２とに連通している。

図３および図６に示すように、第１物理量流路出口５０１は、第１ハウジング側面５１に１つ形成されている。

図４および図６に示すように、第２物理量流路出口５０２は、第２ハウジング側面５２に１つ形成されている。

また、図２、図５－図７に示すように、物理量流路入口５００は、第１ハウジング内面６１、第２ハウジング内面６２、第３ハウジング内面６３および第４ハウジング内面６４を含む。図６に示すように、第１ハウジング内面６１は、第１内面に対応しており、物理量流路入口５００のうち第１ハウジング側面５１側に位置し、ハウジング基面４１に接続されている。第２ハウジング内面６２は、第２内面に対応しており、物理量流路入口５００のうち第２ハウジング側面５２側に位置し、ハウジング基面４１に接続されている。

また、図７に示すように、第３ハウジング内面６３は、第３内面に対応しており、第１ハウジング内面６１および第２ハウジング内面６２よりも上側であって、ハウジング基面４１、第１ハウジング内面６１および第２ハウジング内面６２に接続されている。第４ハウジング内面６４は、第４内面に対応しており、第１ハウジング内面６１および第２ハウジング内面６２よりも下側に位置する。また、第４ハウジング内面６４は、ハウジング基面４１、第１ハウジング内面６１のうち第３ハウジング内面６３とは反対側の端部および第２ハウジング内面６２のうち第３ハウジング内面６３とは反対側の端部に接続されている。

図５に示すように、流量検出部７５は、流量副流路４４の折返し部４４５内に配置されており、流量副流路４４を流れる空気の流量に応じた信号を出力する。具体的には、流量検出部７５は、図示しない発熱素子および感温素子等を含む半導体を有する。この半導体は、流量副流路４４を流れる空気と接触することにより、流量副流路４４を流れる空気と熱伝達を行う。この熱伝達により半導体の温度が変化する。この温度変化が流量副流路４４を流れる空気の流量と相関する。このため、流量検出部７５では、この温度変化に応じた信号が出力されるにより、流量副流路４４を流れる空気の流量に応じた信号が出力される。また、流量検出部７５は、ターミナル３５の他端に電気的に接続されている。これにより、流量検出部７５の出力信号は、ターミナル３５を経由して、電子制御装置１８に送信される。

基板７６は、例えば、ガラスおよびエポキシ樹脂等で形成されるプリント基板であって、ターミナル３５の他端に電気的に接続されている。また、図２および図６に示すように、基板７６は、物理量流路入口５００内に配置されている。さらに、基板７６は、第１ハウジング内面６１および第２ハウジング内面６２に対向している。また、ここでは、基板７６のうち第１ハウジング内面６１側の端面を第１基板面７６１とする。さらに、基板７６のうち第２ハウジング内面６２側の端面を第２基板面７６２とする。そして、図６および図７に示すように、第１基板面７６１と、第１ハウジング内面６１と、第３ハウジング内面６３と、第４ハウジング内面６４と、によって区画される基板流路９０が形成されている。

物理量検出部８１は、基板７６のうち第１基板面７６１に実装されている。また、物理量検出部８１は、基板流路９０を流れる空気の物理量に応じた信号を出力する。ここでは、基板流路９０を流れる空気の物理量は、基板流路９０を流れる空気の温度である。物理量検出部８１は、例えば、図示しないサーミスタを有し、基板流路９０を流れる空気の温度に応じた信号を出力する。また、物理量検出部８１が基板７６に実装されているので、物理量検出部８１の出力信号は、基板７６およびターミナル３５を経由して、電子制御装置１８に送信される。

また、ここでは、基板７６、第１ハウジング内面６１、第３ハウジング内面６３および第４ハウジング内面６４のいずれかは、ハウジング基面４１からハウジング後面４２に向かう方向に沿って、基板流路９０の流路面積を小さくする。なお、ここでは、流路面積とは、空気の流路の断面積である。

具体的には、図６に示すように、基板７６は、基板凸部９００を有する。基板凸部９００は、基板７６のうちの第１基板面７６１に配置されており、物理量検出部８１から第１ハウジング内面６１に向かう方向に突出している。また、基板凸部９００は、第１基板面７６１の一部および物理量検出部８１を覆っている。また、基板凸部９００の外縁は、基板７６の長手方向に対して垂直な断面において湾曲している。例えば、基板凸部９００の外縁は、流線形に形成されている。なお、流線形とは、基板流路９０を流れる空気の流線に沿う形状である。また、基板凸部９００は、例えば、樹脂がポッティングされることにより形成される。

また、第１ハウジング内面６１は、ハウジング凸部９０１を有する。ハウジング凸部９０１は、第１ハウジング内面６１から物理量検出部８１に向かう方向に突出している。さらに、基板７６の長手方向に対して垂直な断面において、ハウジング凸部９０１の外縁は、円弧状に形成されており、凸に湾曲している。なお、このハウジング凸部９０１は、例えば、バイパス部４０のうち第１ハウジング内面６１側の部位を樹脂成形すると同時に形成される。

ここで、第１基板面７６１のうちハウジング基面４１側の端部を基板端部７６３とする。基板７６の長手方向に対して垂直な断面において、基板７６の厚み方向の第１ハウジング内面６１から基板端部７６３までの最短距離を第１距離Ｌ１とする。基板７６の長手方向に対して垂直な断面において、基板７６の厚み方向の基板凸部９００からハウジング凸部９０１までの最短距離を第２距離Ｌ２とする。そして、基板凸部９００およびハウジング凸部９０１により、第２距離Ｌ２が第１距離Ｌ１よりも小さくなっており、基板流路９０を流れる空気の流路が狭くなっている。これにより、基板７６および第１ハウジング内面６１は、ハウジング基面４１からハウジング後面４２に向かう方向に沿って、基板流路９０を流れる空気の流路面積を小さくする。このため、基板流路９０のうち物理量検出部８１、基板７６、第１ハウジング内面６１、第３ハウジング内面６３および第４ハウジング内面６４によって区画形成される流路面積が、基板流路９０のうちハウジング基面４１側の流路面積よりも小さくなっている。

また、ここでは、図５および図７に示すように、第３ハウジング内面６３および第４ハウジング内面６４は、ハウジング基面４１からハウジング後面４２に向かって、基板流路９０が小さくなるように傾斜している。さらに、第３ハウジング内面６３および第４ハウジング内面６４は、ハウジング基面４１からハウジング後面４２に向かう方向に延びている軸を中心として互いに対称になっており、テーパ形状になっている。

ここで、図７に示すように、基板７６の厚み方向に対して垂直な断面において、基板流路９０のうちハウジング基面４１側の流路内であって、基板７６の長手方向の第３ハウジング内面６３から第４ハウジング内面６４までの距離を第３距離Ｌ３とする。基板流路９０のうち物理量検出部８１と、第１基板面７６１と、第１ハウジング内面６１と、第３ハウジング内面６３と、第４ハウジング内面６４と、によって区画形成される流路がある。この流路内であって、基板７６の厚み方向に対して垂直な断面において、基板７６の長手方向の第３ハウジング内面６３から第４ハウジング内面６４までの距離を第４距離Ｌ４とする。そして、第４距離Ｌ４は、第３距離Ｌ３よりも小さくなっている。これにより、第３ハウジング内面６３および第４ハウジング内面６４は、ハウジング基面４１からハウジング後面４２に向かう方向に沿って、基板流路９０を流れる空気の流路面積を小さくする。このため、基板流路９０のうち物理量検出部８１、基板７６、第１ハウジング内面６１、第３ハウジング内面６３および第４ハウジング内面６４によって区画形成される流路面積が、基板流路９０のうちハウジング基面４１側の流路面積よりも小さくなっている。

以上のように、空気流量測定装置２１は構成されている。次に、この空気流量測定装置２１による流量および温度の測定について説明する。

吸気流路１１１を流れる空気の一部は、流量主流路入口４３１を流れる。流量主流路入口４３１から流れる空気は、流量主流路出口４３２に向かって流量主流路４３を流れる。流量主流路４３を流れる空気の一部は、流量主流路出口４３２を経由して、ハウジング３０の外部に排出される。

また、流量主流路４３を流れる空気の一部は、流量副流路入口４４１を流れる。流量副流路入口４４１から流れる空気は、流量副流路４４の導入部４４３および後垂直部４４４を経由して、折返し部４４５を流れる。折返し部４４５を流れる空気の一部は、流量検出部７５に接触する。流量検出部７５は、この空気に接触することにより流量副流路４４を流れる空気の流量に応じた信号を出力する。この流量検出部７５の出力信号は、ターミナル３５を経由して、電子制御装置１８に送信される。また、折返し部４４５を流れる空気の一部は、流量副流路４４の前垂直部４４６および流量副流路出口４４２を経由して、ハウジング３０の外部に排出される。

また、吸気流路１１１を流れる空気の一部は、物理量流路入口５００を流れる。物理量流路入口５００を流れる空気の一部は、第１ハウジング内面６１と第１基板面７６１との間を流れる。第１ハウジング内面６１と第１基板面７６１との間を流れる空気は、基板凸部９００とハウジング凸部９０１との間を流れる。基板凸部９００とハウジング凸部９０１との間を流れる空気の一部は、基板凸部９００に接触する。基板凸部９００は、基板凸部９００とハウジング凸部９０１との間を流れる空気から基板凸部９００に伝達される熱を物理量検出部８１に伝える。物理量検出部８１は、この物理量検出部カバー８５から物理量検出部８１に伝導される熱により、基板流路９０を流れる空気の温度に応じた信号を出力する。この物理量検出部８１の出力信号は、基板７６およびターミナル３５を経由して、電子制御装置１８に送信される。また、基板凸部９００とハウジング凸部９０１との間を流れる空気は、第１ハウジング内面６１と第１基板面７６１との間を経由して、物理量流路５０を流れる。物理量流路５０を流れる空気は、第１物理量流路出口５０１および第２物理量流路出口５０２を経由して、ハウジング３０の外部に排出される。

以上のように、空気流量測定装置２１は、空気の流量および空気の温度を測定する。このような空気流量測定装置２１では、空気の温度の応答性が向上する。以下では、この応答性の向上について説明する。

空気流量測定装置２１では、第２距離Ｌ２が第１距離Ｌ１よりも小さくなっており、基板流路９０を流れる空気の流路が狭くなっている。これにより、基板流路９０を流れる空気の流路面積が小さくなっている。このため、基板凸部９００およびハウジング凸部９０１の間を流れる空気の流速を、第１ハウジング内面６１のうちハウジング基面４１側の面と第１基板面７６１のうちハウジング基面４１側の面との間を流れる空気の流速よりも、速くすることができる。基板凸部９００に接触する空気の流速を速くすることができるので、基板凸部９００およびハウジング凸部９０１の間において、物体近傍に形成される温度が変化する領域である温度境界層を薄くすることができる。この温度境界層が薄くなると、基板凸部９００およびハウジング凸部９０１の間の熱抵抗が減少し、基板凸部９００およびハウジング凸部９０１の間の局所的な熱伝達率が高くなる。このため、基板凸部９００およびハウジング凸部９０１の間を流れる空気と、物理量検出部８１との熱伝達がされやすくなる。したがって、基板流路９０を流れる空気の温度が変化したとき、物理量検出部８１の温度変化が起こりやすくなるので、物理量検出部８１の応答性が向上する。

また、ハウジング３０からの熱伝達の影響を受けることにより、物理量検出部８１による空気の温度の測定精度が低下することがある。さらに、空気流量測定装置２１では、基板凸部９００およびハウジング凸部９０１の間を流れる空気と物理量検出部８１との熱伝達がされやすくなるので、基板凸部９００およびハウジング凸部９０１の間を流れる空気により物理量検出部８１が冷却されやすくなる。このため、物理量検出部８１がハウジング３０からの熱伝達の影響を受けにくくなるため、空気流量測定装置２１は、空気の温度を測定する精度を向上させることもできる。

また、空気流量測定装置２１では、以下［１］－［３］に説明するような効果も奏する。

［１］基板凸部９００の外縁およびハウジング凸部９０１の外縁は、基板７６の長手方向に対して垂直な断面において凸に湾曲している。基板凸部９００の外縁およびハウジング凸部９０１の外縁が凸に湾曲しているため、基板流路９０を流れる空気は、基板凸部９００の外縁およびハウジング凸部９０１の外縁に沿って流れる。これにより、基板流路９０を流れる空気の圧力損失が小さくなり、基板流路９０を流れる空気の流量が小さくなることが抑制される。このため、基板流路９０を流れる空気の流量が比較的大きくなるので、物理量検出部８１は、冷却されやすくなる。したがって、物理量検出部８１がハウジング３０からの熱伝達の影響を受けにくくなるため、物理量検出部８１による空気の温度の測定精度が向上する。

［２］吸気流路１１１では、空気とともに塩水等の腐食性を有する物質が流れる。このため、吸気流路１１１を流れる空気を導入する空気流量測定装置２１では、ハウジング凸部９０１は、物理量検出部８１を覆っている。これにより、物理量検出部８１の腐食が抑制される。

［３］第３ハウジング内面６３および第４ハウジング内面６４は、ハウジング基面４１からハウジング後面４２に向かって、物理量流路入口５００が小さくなるように傾斜している。また、第４距離Ｌ４は、第３距離Ｌ３よりも小さくなっている。これにより、基板流路９０を流れる空気の流路面積が小さくなるので、基板流路９０を流れる空気の流速が速くなる。このため、基板凸部９００に接触する空気の流速が速くなる。したがって、上記したように、基板凸部９００およびハウジング凸部９０１の間を流れる空気と、物理量検出部８１との熱伝達がされやすくなる。

また、基板流路９０を流れる空気は、第３ハウジング内面６３および第４ハウジング内面６４の傾斜に沿って流れる。これにより、基板流路９０を流れる空気の圧力損失が小さくなり、基板流路９０を流れる空気の流量が小さくなることが抑制される。

（第２実施形態）
第２実施形態では、以下の点で第１実施形態と異なる。第２実施形態では、第１実施形態と比較して、ハウジング凸部の配置が異なる。また、第２実施形態では、第１実施形態と比較して、第１ハウジング内面および第２ハウジング内面の形態が異なる。

第２実施形態の空気流量測定装置２２では、図８および図９に示すように、第４ハウジング内面６４は、ハウジング凸部９０１を有する。ハウジング凸部９０１は、第４ハウジング内面６４から物理量検出部８１に向かう方向に突出している。また、ハウジング凸部９０１は、基板凸部９００および物理量検出部８１に対向するように基板７６の厚み方向に延びている。さらに、基板７６の厚み方向に対して垂直な断面において、ハウジング凸部９０１の外縁は、円弧状に形成されており、凸に湾曲している。

ここで、上記と同様に、基板７６の厚み方向に対して垂直な断面において、基板流路９０のうちハウジング基面４１側の流路内であって、基板７６の長手方向の第３ハウジング内面６３から第４ハウジング内面６４までの距離を第３距離Ｌ３とする。また、図９に示すように、基板７６の厚み方向に対して垂直な断面において、基板７６の長手方向の第３ハウジング内面６３からハウジング凸部９０１までの最短距離を第５距離Ｌ５とする。そして、基板凸部９００およびハウジング凸部９０１により、第５距離Ｌ５が第３距離Ｌ３よりも小さくなっており、基板流路９０を流れる空気の流路が狭くなっている。これにより、基板７６および第４ハウジング内面６４は、ハウジング基面４１からハウジング後面４２に向かう方向に沿って、基板流路９０を流れる空気の流路面積を小さくする。このため、基板流路９０のうち物理量検出部８１、基板７６、第１ハウジング内面６１、第３ハウジング内面６３および第４ハウジング内面６４によって区画形成される流路面積が、基板流路９０のうちハウジング基面４１側の流路面積よりも小さくなっている。

また、第２実施形態の空気流量測定装置２２では、図１０に示すように、第１ハウジング内面６１および第２ハウジング内面６２は、ハウジング基面４１からハウジング後面４２に向かって、基板流路９０が小さくなるように傾斜している。また、ここでは、第１ハウジング内面６１および第２ハウジング内面６２は、ハウジング基面４１からハウジング後面４２に向かう方向に延びている軸を中心として、互いに対称になっており、テーパ形状になっている。

ここで、基板７６の長手方向に対して垂直な断面において、基板７６の厚み方向の第１ハウジング内面６１から基板凸部９００までの最短距離を第６距離Ｌ６とする。そして、第６距離Ｌ６が第１距離Ｌ１よりも小さくなっており、基板流路９０を流れる空気の流路が狭くなっている。これにより、基板７６および第１ハウジング内面６１は、ハウジング基面４１からハウジング後面４２に向かう方向に沿って、基板流路９０を流れる空気の流路面積を小さくする。このため、基板流路９０のうち物理量検出部８１、基板７６、第１ハウジング内面６１、第３ハウジング内面６３および第４ハウジング内面６４によって区画形成される流路面積が、基板流路９０のうちハウジング基面４１側の流路面積よりも小さくなっている。

このような第２実施形態においても、第１実施形態と同様の効果を奏する。また、第２実施形態では、第１ハウジング内面６１は、ハウジング基面４１からハウジング後面４２に向かって基板流路９０が小さくなるように傾斜している。これにより、基板流路９０を流れる空気の流速がより速くなる。このため、基板凸部９００に接触する空気の流速が速くなる。したがって、上記したように、基板凸部９００およびハウジング凸部９０１の間を流れる空気と、物理量検出部８１との熱伝達がされやすくなる。

（第３実施形態）
第３実施形態では、基板の配置が異なる点を除いて、第１実施形態と同様である。

第３実施形態の空気流量測定装置２３では、図１１に示すように、基板７６は、第１ハウジング内面６１に対して傾斜している。これにより、基板凸部９００および物理量検出部８１は、ハウジング基面４１側を向いている。

ここでは、基板７６が傾斜しているので、基板７６の長手方向に対して垂直な断面において、第１ハウジング内面６１から第２ハウジング内面６２に向かう方向の第１ハウジング内面６１から基板端部７６３までの最短距離が第１距離Ｌ１に対応する。また、基板７６の長手方向に対して垂直な断面において、第１ハウジング内面６１から第２ハウジング内面６２に向かう方向の基板凸部９００からハウジング凸部９０１までの最短距離が第２距離Ｌ２に対応する。

このように、基板７６が第１ハウジング内面６１に対して傾斜することによって、ハウジング基面４１からハウジング後面４２に向かう方向に沿って、基板流路９０を流れる空気の流路面積が小さくなっている。

このような第３実施形態においても、第１実施形態と同様の効果を奏する。また、第３実施形態では、基板７６を傾斜させることにより、基板流路９０を流れる空気の流路面積を小さくすることができる。このため、ハウジング３０の加工をする必要がなくなり、ハウジング３０の製造がしやすくなる。

さらに、基板凸部９００および物理量検出部８１がハウジング基面４１の外側を向くように、基板７６が傾斜しているので、基板流路９０を流れる空気と基板凸部９００および物理量検出部８１とが接触しやすくなる。これにより、基板流路９０を流れる空気と基板凸部９００および物理量検出部８１とが熱伝達されやすくなる。

（他の実施形態）
本開示は、上記実施形態に限定されるものではなく、上記実施形態に対して、適宜変更が可能である。また、上記各実施形態において、実施形態を構成する要素は、特に必須であると明示した場合および原理的に明らかに必須であると考えられる場合等を除き、必ずしも必須のものではないことは言うまでもない。

（１）上記実施形態では、物理量検出部８１は、基板流路９０を流れる空気の温度に応じた信号を出力する。これに対して、物理量検出部８１は、基板流路９０を流れる空気の温度に応じた信号を出力することに限定されないで、基板流路９０を流れる空気の相対湿度に応じた信号を出力してもよい。また、物理量検出部８１は、基板流路９０を流れる空気の圧力に応じた信号を出力してもよい。なお、温度の応答性と同様に、相対湿度および圧力の応答性は、基板流路９０を流れる空気と物理量検出部８１との熱伝達により低下することがある。上記実施形態では、基板流路９０を流れる空気と物理量検出部８１とが熱伝達されやすくなるので、相対湿度および圧力の応答性も向上させることができる。

（２）上記実施形態では、第１ハウジング内面６１、第２ハウジング内面６２、第３ハウジング内面６３および第４ハウジング内面６４は、平面に形成されている。これに対して、第１ハウジング内面６１、第２ハウジング内面６２、第３ハウジング内面６３および第４ハウジング内面６４は、平面に形成されることに限定されないで、曲面や段差状の面に形成されてもよい。

（３）上記実施形態では、第１ハウジング側面５１に第１物理量流路出口５０１が形成されているとともに、第２ハウジング側面５２に第２物理量流路出口５０２が形成されている。これに対して、第１ハウジング側面５１に第１物理量流路出口５０１が形成されており、第２ハウジング側面５２に第２物理量流路出口５０２が形成されていなくてもよい。また、第２ハウジング側面５２に第２物理量流路出口５０２が形成されており、第１ハウジング側面５１に第１物理量流路出口５０１が形成されなくてもよい。

（４）上記実施形態では、第１物理量流路出口５０１および第２物理量流路出口５０２は、それぞれ１つ形成されている。これに対して、第１物理量流路出口５０１および第２物理量流路出口５０２の数は、１つに限定されないで、２つ以上であってもよい。また、上記実施形態では、第１物理量流路出口５０１および第２物理量流路出口５０２は、それぞれ長方形状に形成されている。これに対して、第１物理量流路出口５０１および第２物理量流路出口５０２の形状は、長方形状に限定されないで、多角形状、円形状および楕円形状であってもよい。

（５）上記実施形態では、物理量流路入口５００は、１つ形成されている。これに対して、物理量流路入口５００の数は、１つに限定されないで、２つ以上であってもよい。また、上記実施形態では、物理量流路入口５００は、長方形状に形成されている。これに対して、物理量流路入口５００の形状は、長方形状に限定されないで、多角形状、円形状および楕円形状であってもよい。

（６）第１実施形態の空気流量測定装置２１と第２実施形態の空気流量測定装置２２とが組み合わされてもよい。また、第３ハウジング内面６３がハウジング凸部有してもよい。

具体的には、図１２－図１４に示すように、空気流量測定装置２１において、第１ハウジング内面６１がハウジング凸部９０１を有し、第３ハウジング内面６３がハウジング凸部９０３を有し、第４ハウジング内面６４がハウジング凸部９０２を有する。以下では、各ハウジング凸部９０１、９０２、９０３を明確にするため、第１ハウジング内面６１のハウジング凸部９０１が第１ハウジング凸部９０１と記載される。第４ハウジング内面６４のハウジング凸部９０２が第２ハウジング凸部９０２と記載される。第３ハウジング内面６３のハウジング凸部９０３が第３ハウジング凸部９０３と記載される。

図１３に示すように、第１ハウジング凸部９０１は、第１実施形態と同様に、第１ハウジング内面６１から物理量検出部８１に向かう方向に突出している。また、ここでは、第１ハウジング内面６１は、ハウジング基面４１からハウジング後面４２に向かって基板流路９０が小さくなるように傾斜している。

また、図１４に示すように、第２ハウジング凸部９０２は、第２実施形態と同様に、第４ハウジング内面６４から物理量検出部８１に向かう方向に突出している。

さらに、第３ハウジング凸部９０３は、第３ハウジング内面６３から物理量検出部８１に向かう方向に突出しており、物理量検出部８１および基板凸部９００に対向している。

ここで、基板７６の厚み方向に対して垂直な断面において、基板７６の長さ方向の第２ハウジング凸部９０２から第３ハウジング凸部９０３までの最短距離を第７距離Ｌ７とする。そして、第７距離Ｌ７が第３距離Ｌ３よりも小さくなっており、基板流路９０を流れる空気の流路が狭くなっている。これにより、基板７６および第３ハウジング内面６３は、ハウジング基面４１からハウジング後面４２に向かう方向に沿って、基板流路９０を流れる空気の流路面積を小さくする。このため、基板流路９０のうち物理量検出部８１、基板７６、第１ハウジング内面６１、第３ハウジング内面６３および第４ハウジング内面６４によって区画形成される流路面積が、基板流路９０のうちハウジング基面４１側の流路面積よりも小さくなっている。このような形態であっても、上記実施形態と同様の効果が奏される。

また、第１ハウジング凸部９０１、第２ハウジング凸部９０２および第３ハウジング凸部９０３が複数形成されてもよい。第１ハウジング凸部９０１、第２ハウジング凸部９０２および第３ハウジング凸部９０３の数は、１つに限定されないで、２つ以上であってもよい。

（７）上記実施形態では、基板凸部９００の外縁は、基板７６の長手方向に対して垂直な断面において流線形に形成されている。これに対して、基板凸部９００の外縁は、基板７６の長手方向に対して垂直な断面において流線形に形成されることに限定されない。例えば、図１５に示すように、基板凸部９００の外縁は、基板７６の長手方向に対して垂直な断面において半円弧状に形成されてもよい。

（８）上記実施形態では、ハウジング凸部９０１の外縁は、円弧状に形成されている。これに対して、ハウジング凸部９０１の外縁は、円弧状に形成されていない。例えば、図１６に示すように、ハウジング凸部９０１の外縁のうちハウジング基面４１側が円弧状に形成され、凸に湾曲していてもよい。また、ハウジング凸部９０１の外縁のうちハウジング後面４２側が直線状に形成されてもよい。

（９）空気流量測定装置２１は、図１７に示すように、基板保護部７７を備えてもよい。基板保護部７７は、例えば、基板７６の厚さ方向に延びる面に樹脂コーディングされることによって形成される。そして、基板保護部７７は、物理量流路入口５００に対向しており、基板７６の厚さ方向に延びる面を覆うことにより基板７６を保護する。また、基板保護部７７の外縁は、基板７６の長手方向に対して垂直な断面において湾曲している。また、基板７６の長手方向に対して垂直な断面において、基板保護部７７の外縁の曲率中心が基板７６および基板保護部７７のいずれかの内側に位置しており、基板保護部７７の外縁は、凸に湾曲している。基板保護部７７により、基板７６の腐食が抑制される。

また、基板保護部７７の外縁が凸に湾曲しているため、基板流路９０を流れる空気は、基板保護部７７の外縁に沿って流れる。これにより、基板流路９０を流れる空気の圧力損失が小さくなり、基板流路９０を流れる空気の流量が小さくなることが抑制される。このため、基板流路９０を流れる空気の流量が比較的大きくなるので、物理量検出部８１は、冷却されやすくなる。したがって、物理量検出部８１がハウジング３０からの熱伝達の影響を受けにくくなるため、物理量検出部８１による空気の温度の測定精度が向上する。

（１０）第１実施形態では、基板凸部９００およびハウジング凸部９０１の両方が形成されている。これに対して、基板凸部９００およびハウジング凸部９０１の両方が形成されていることに限定されないで、基板凸部９００およびハウジング凸部９０１のいずれか１つのみが形成されていてもよい。

具体的には、図１８に示すように、基板７６は、基板凸部９００を有しており、第１ハウジング内面６１は、ハウジング凸部９０１を有していない。この場合において、基板７６の長手方向に対して垂直な断面において、基板７６の厚み方向の第１ハウジング内面６１から基板凸部９００までの最短距離を第８距離Ｌ８とする。そして、基板凸部９００により、第８距離Ｌ８が第１距離Ｌ１よりも小さくなっており、基板流路９０を流れる空気の流路が狭くなっている。これにより、基板７６は、ハウジング基面４１からハウジング後面４２に向かう方向に沿って、基板流路９０を流れる空気の流路面積を小さくする。このため、基板流路９０のうち物理量検出部８１、基板７６、第１ハウジング内面６１、第３ハウジング内面６３および第４ハウジング内面６４によって区画形成される流路面積が、基板流路９０のうちハウジング基面４１側の流路面積よりも小さくなっている。

また、図１９に示すように、基板７６は、基板凸部９００を有していないで、第１ハウジング内面６１は、ハウジング凸部９０１を有する。この場合において、基板７６の長手方向に対して垂直な断面において、基板７６の厚み方向の第１基板面７６１からハウジング凸部９０１までの最短距離を第９距離Ｌ９とする。そして、ハウジング凸部９０１により、第９距離Ｌ９が第１距離Ｌ１よりも小さくなっており、基板流路９０を流れる空気の流路が狭くなっている。これにより、第１ハウジング内面６１は、ハウジング基面４１からハウジング後面４２に向かう方向に沿って、基板流路９０を流れる空気の流路面積を小さくする。このため、基板流路９０のうち物理量検出部８１、基板７６、第１ハウジング内面６１、第３ハウジング内面６３および第４ハウジング内面６４によって区画形成される流路面積が、基板流路９０のうちハウジング基面４１側の流路面積よりも小さくなっている。

（１１）上記実施形態では、配管延長部１１２は、円筒状に形成されている。これに対して、配管延長部１１２は、円筒状に形成されることに限定されないで、多角筒状等の筒状に形成されてもよい。

（１２）上記実施形態では、保持部３１は、円筒状に形成されている。これに対して、保持部３１は、円筒状に形成されることに限定されないで、多角筒状等の筒状に形成されてもよい。

（１３）上記実施形態では、コネクタカバー３４は、保持部３１の径方向内側から径方向外側に延びている。これに対して、コネクタカバー３４は、保持部３１の径方向内側から径方向外側に延びていることに限定されないで、保持部３１の軸方向に延びてもよい。

（１４）上記実施形態では、流量副流路４４は、流量主流路４３の途中から分岐した流路になっている。これに対して、流量副流路４４は、流量主流路４３の途中から分岐した流路になっていることに限定されない。例えば、流量主流路４３が流量主流路出口４３２と連通しないで、流量副流路４４が流量主流路出口４３２と連通することにより、流量主流路４３と流量副流路４４とが１つの流路に形成されてもよい。

（１５）上記実施形態では、ハウジング基面４１は、ハウジング基面４１の延長上の仮想平面も含むものとする。

（１６）上記実施形態では、第１物理量流路出口５０１は、第１ハウジング側面５１に形成されている。これに対して、第１物理量流路出口５０１は、第１ハウジング側面５１に形成されていることに限定されないで、ハウジング後面４２に形成されてもよい。また、第２物理量流路出口５０２は、第２ハウジング側面５２に形成されている。これに対して、第２物理量流路出口５０２は、第２ハウジング側面５２に形成されていることに限定されないで、ハウジング後面４２に形成されてもよい。

３０ハウジング
４３、４４流量流路
５１第１側面
５２第２側面
６１、６２、６３、６４内面
７５流量検出部
７６基板
７６１基板面
８１物理量検出部
９０基板流路

Claims

空気流量測定装置であって、
基面（４１）と、前記基面とは反対側に位置する後面（４２）と、前記基面の端部および前記後面の端部に接続されている第１側面（５１）と、前記基面のうち前記第１側面とは反対側の端部および前記後面のうち前記第１側面とは反対側の端部に接続されている第２側面（５２）と、前記基面に形成される流量流路入口（４３１）と、前記後面に形成されている流量流路出口（４３２）と、前記流量流路入口および前記流量流路出口に連通する流量流路（４３、４４）と、前記基面に形成されている物理量流路入口（５００）と、を有するハウジング（３０）と、
前記流量流路内に配置されており、前記流量流路を流れる空気の流量に応じた信号を出力する流量検出部（７５）と、
前記物理量流路入口に配置されている基板（７６）と、
前記基板のうち前記第１側面側の基板面（７６１）に実装されている物理量検出部（８１）と、
を備え、
前記物理量流路入口は、前記物理量流路入口のうち前記第１側面側に位置する第１内面（６１）と、前記物理量流路入口のうち前記第２側面側に位置する第２内面（６２）と、前記基面、前記第１内面および前記第２内面に接続されている第３内面（６３）と、前記基面、前記第１内面のうち前記第３内面とは反対側の端部および前記第２内面のうち前記第３内面とは反対側の端部に接続されている第４内面（６４）と、を含み、
前記物理量検出部は、前記基板面と、前記第１内面と、前記第３内面と、前記第４内面と、によって区画形成される基板流路（９０）に設けられ、前記基板流路を流れる空気の物理量に応じた信号を出力し、
前記基板、前記第１内面、前記第３内面および前記第４内面のいずれかは、前記基面から前記後面に向かう方向に沿って前記基板流路の流路面積を小さくすることにより、前記基板流路のうち前記物理量検出部、前記基板、前記第１内面、前記第３内面および前記第４内面によって区画形成される流路面積を、前記基板流路のうち前記基面側の流路面積よりも小さくする空気流量測定装置。
前記基板は、前記物理量検出部を覆いつつ、前記物理量検出部から前記第１内面に向かう方向に突出する基板凸部（９００）を有することにより、前記基板流路のうち前記物理量検出部、前記基板、前記第１内面、前記第３内面および前記第４内面によって区画形成される流路面積を、前記基板流路のうち前記基面側の流路面積よりも小さくする請求項１に記載の空気流量測定装置。
前記第１内面は、前記第１内面から前記物理量検出部に向かう方向に突出するハウジング凸部（９０１）を有することにより、前記基板流路のうち前記物理量検出部、前記基板、前記第１内面、前記第３内面および前記第４内面によって区画形成される流路面積を、前記基板流路のうち前記基面側の流路面積よりも小さくする請求項１または２に記載の空気流量測定装置。
前記第３内面および前記第４内面のいずれかは、前記物理量検出部に対向するハウジング凸部（９０２、９０３）を有し、
前記ハウジング凸部は、前記第３内面および前記第４内面のいずれかから前記物理量検出部に向かう方向に突出することにより、前記基板流路のうち前記物理量検出部、前記基板、前記第１内面、前記第３内面および前記第４内面によって区画形成される流路面積を、前記基板流路のうち前記基面側の流路面積よりも小さくする請求項１ないし３のいずれか１つに記載の空気流量測定装置。
前記ハウジング凸部（９０１、９０２、９０３）は、凸に湾曲する外縁を有する請求項３または４に記載の空気流量測定装置。
前記基板は、前記物理量検出部が前記基面側を向くように前記第１内面に対して傾斜していることにより、前記基板流路のうち前記物理量検出部、前記基板、前記第１内面、前記第３内面および前記第４内面によって区画形成される流路面積を、前記基板流路のうち前記基面側の流路面積よりも小さくする請求項１ないし５のいずれか１つに記載の空気流量測定装置。
前記第１内面、前記第３内面および前記第４内面のいずれかは、前記基面から前記後面に向かう方向に沿って傾斜していることにより、前記基板流路のうち前記物理量検出部、前記基板、前記第１内面、前記第３内面および前記第４内面によって区画形成される流路面積を、前記基板流路のうち前記基面側の流路面積よりも小さくする請求項１ないし６のいずれか１つに記載の空気流量測定装置。