JP2010236964A - 熱式流量測定装置 - Google Patents
熱式流量測定装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2010236964A JP2010236964A JP2009083970A JP2009083970A JP2010236964A JP 2010236964 A JP2010236964 A JP 2010236964A JP 2009083970 A JP2009083970 A JP 2009083970A JP 2009083970 A JP2009083970 A JP 2009083970A JP 2010236964 A JP2010236964 A JP 2010236964A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sub
- passage
- plate
- passage portion
- sensor element
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
- G01F1/68—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
- G01F1/684—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow
- G01F1/6842—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow with means for influencing the fluid flow
Abstract
【解決手段】主通路を流れる流体の一部を取り込む副通路10は、板状部材の表面2a側に曲線を描いて形成された第1副通路10A部分と、板状部材の裏面2b側に曲線を描いて形成された第2副通路10B部分と、板状部材の表面側と裏面側とを貫通する開口として形成された第3副通路10C部分とを有し、第1副通路10A部分は第3副通路10C部分における板状部材の板面に沿う方向の一端部に連通接続され、第2副通路10B部分は第3副通路10C部分における板状部材の板面に沿う方向の他端部に連通接続され、センサ素子8は第3副通路10C部分に配置される。
【選択図】 図3
Description
2 ハウジング部材
3 電気室
4 吸気管
5 挿入穴
6 主通路
7 回路基板
8 センサ素子
9 コネクタ
10 副通路
10A 第1副通路
10B 第2副通路
10C 第3副通路
11 流体入口
12 流体出口
Claims (8)
- 主通路を流れる流体の一部を取り込む副通路と、前記副通路内に設置されることにより流体の流量を検出するセンサ素子とを備えた熱式流量測定装置において、
前記副通路は、板状部材の表面側に交差することなく曲線を描いて形成された第1副通路部分と、前記板状部材の裏面側に交差することなく曲線を描いて形成された第2副通路部分と、前記板状部材の表面側と裏面側とを貫通する開口として形成された第3副通路部分とを有し、
前記第1副通路部分は前記第3副通路部分における前記板状部材の板面に沿う方向の一端部に連通接続され、
前記第2副通路部分は前記第3副通路部分における前記板状部材の板面に沿う方向の他端部に連通接続され、
前記センサ素子は前記第3副通路部分に配置されたことを特徴とする熱式流量測定装置。 - 請求項1に記載の熱式流量測定装置において、
前記センサ素子は板状回路基板の表面側に搭載され、
前記板状回路基板は、前記第3副通路部分における前記板状部材の裏面側に位置する部分に配置され、前記板状回路基板の裏面が前記第3副通路部分における前記板状部材の表面側に位置する部分側を向くように取り付けられていることを特徴とする熱式流量測定装置。 - 請求項1又は2に記載の熱式流量測定装置において、
前記センサ素子の素子面と対向する前記第3副通路部分の通路壁面側に形成された通路断面積は、前記板状回路基板の裏面と対向する前記第3副通路部分の通路壁面側に形成された通路断面積より小さくなるように構成したことを特徴とする熱式流量測定装置。 - 請求項1又は2に記載の熱式流量測定装置において、
前記センサ素子の素子面と対向する前記第3副通路部分の通路壁面と前記素子面との間に形成された通路の間隙は、前記板状回路基板の裏面と対向する前記第3副通路部分の通路壁面と前記板状回路基板の裏面との間に形成された通路の間隙より小さくなるように構成したことを特徴とする熱式流量測定装置。 - 請求項1乃至4のいずれか1項に記載の熱式流量測定装置において、
前記第3副通路部分は、前記板状部材の表面側と裏面側とに跨って、前記板状部材の表面及び裏面に沿って直線状に延設された通路部分を有し、前記センサ素子を直線状に延設された前記通路部分に配置したことを特徴とする熱式流量測定装置。 - 請求項1乃至5のいずれか1項に記載の熱式流量測定装置において、
前記副通路は、前記板状部材を第1の板状部材として、前記第1の板状部材の表面側に設けられた第2の板状部材と、前記第1の板状部材の裏面側に設けられた第3の板状部材とで構成され、
前記第1の板状部材には、その表面に前記第1副通路部分の側壁と、裏面に前記第2副通路部分の側壁とが形成されると共に、表面側とは反対向きに裏面からオフセットした位置に前記第3副通路の側壁が形成され、
前記第2の板状部材には、前記第1副通路部分に形成された前記側壁と対向する側壁と、前記第1の板状部材に形成された前記第3副通路部分の前記側壁と前記板状回路基板を隔てて対向する前記第3副通路部分の側壁とが形成され、
前記第3の板状部材には、前記第2副通路部分に形成された前記側壁と対向する側壁が形成されたことを特徴とする熱式流量測定装置。 - 請求項1乃至6のいずれか1項に記載の熱式流量測定装置において、
前記第1副通路部分は、前記板状部材の表面側で交差することのない100度以上の迂回形状で構成したことを特徴とする熱式流量測定装置。 - 請求項1乃至7のいずれか1項に記載の熱式流量測定装置において、
第1,第2及び第3副通路部分の連続形状は360度以上旋回していることを特徴とする熱式流量測定装置。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009083970A JP5049996B2 (ja) | 2009-03-31 | 2009-03-31 | 熱式流量測定装置 |
CN201210070977.1A CN102607654B (zh) | 2009-03-31 | 2010-02-10 | 热式流量测量装置 |
CN2010101181218A CN101852631B (zh) | 2009-03-31 | 2010-02-10 | 热式流量测量装置 |
EP10153890.8A EP2236996B1 (en) | 2009-03-31 | 2010-02-17 | Thermal type flow measuring device |
US12/708,473 US7891240B2 (en) | 2009-03-31 | 2010-02-18 | Thermal type flow measuring device |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009083970A JP5049996B2 (ja) | 2009-03-31 | 2009-03-31 | 熱式流量測定装置 |
JP2009225945A JP4929335B2 (ja) | 2009-09-30 | 2009-09-30 | 熱式流量測定装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010236964A true JP2010236964A (ja) | 2010-10-21 |
JP5049996B2 JP5049996B2 (ja) | 2012-10-17 |
Family
ID=42320940
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009083970A Active JP5049996B2 (ja) | 2009-03-31 | 2009-03-31 | 熱式流量測定装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7891240B2 (ja) |
EP (1) | EP2236996B1 (ja) |
JP (1) | JP5049996B2 (ja) |
CN (2) | CN101852631B (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2013187224A1 (ja) * | 2012-06-15 | 2013-12-19 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 熱式流量計 |
JPWO2013186910A1 (ja) * | 2012-06-15 | 2016-02-01 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 熱式流量計 |
WO2018190069A1 (ja) * | 2017-04-13 | 2018-10-18 | 株式会社デンソー | 物理量計測装置 |
JP2019197068A (ja) * | 2016-06-24 | 2019-11-14 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 熱式流量計 |
Families Citing this family (25)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4929334B2 (ja) * | 2009-09-30 | 2012-05-09 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 流量測定装置 |
JP2012058044A (ja) * | 2010-09-08 | 2012-03-22 | Hitachi Automotive Systems Ltd | 熱式流体流量測定装置 |
JP5327283B2 (ja) * | 2011-06-27 | 2013-10-30 | 株式会社デンソー | 樹脂製中空体の製造方法、および空気流量測定装置 |
JP2013024710A (ja) * | 2011-07-20 | 2013-02-04 | Denso Corp | 空気流量測定装置 |
JP5883887B2 (ja) * | 2012-01-10 | 2016-03-15 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 流量計測装置 |
JP5817598B2 (ja) * | 2012-03-07 | 2015-11-18 | オムロン株式会社 | 流体測定装置 |
JP5645880B2 (ja) | 2012-06-15 | 2014-12-24 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 熱式流量計 |
JP5801761B2 (ja) * | 2012-06-15 | 2015-10-28 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 熱式流量計 |
JP5675706B2 (ja) * | 2012-06-15 | 2015-02-25 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 熱式流量計 |
JP5675705B2 (ja) | 2012-06-15 | 2015-02-25 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 熱式流量計 |
JP5758850B2 (ja) | 2012-06-15 | 2015-08-05 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 熱式流量計 |
EP2725328A1 (en) * | 2013-03-18 | 2014-04-30 | Sensirion AG | Apparatus for measuring the flow of a fluid |
JP5973371B2 (ja) * | 2013-03-21 | 2016-08-23 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 熱式流量計 |
DE102013006670A1 (de) * | 2013-04-18 | 2014-10-23 | Hydrometer Gmbh | Durchflussmesser |
JP5646030B1 (ja) * | 2013-10-11 | 2014-12-24 | 三菱電機株式会社 | 流量測定装置 |
WO2015072371A1 (ja) * | 2013-11-14 | 2015-05-21 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 流量センサ |
JP6325679B2 (ja) * | 2014-09-26 | 2018-05-16 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 熱式流量計 |
JP6365388B2 (ja) * | 2015-04-21 | 2018-08-01 | 株式会社デンソー | 流量測定装置 |
EP3358315B1 (en) * | 2015-09-30 | 2022-10-12 | Hitachi Astemo, Ltd. | Physical quantity detection device |
CN109196312B (zh) * | 2016-06-07 | 2020-12-18 | 日立汽车系统株式会社 | 热式流量计 |
US10066976B2 (en) * | 2016-06-08 | 2018-09-04 | Wisenstech Ltd. | Vortex flow meter with micromachined sensing elements |
WO2019142565A1 (ja) * | 2018-01-22 | 2019-07-25 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 熱式流量計 |
WO2019225073A1 (ja) | 2018-05-22 | 2019-11-28 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 物理量検出装置 |
CN109084855B (zh) * | 2018-07-23 | 2020-11-17 | 北京天创金农科技有限公司 | 一种气体流量传感器及其制作方法 |
WO2020250870A1 (ja) * | 2019-06-13 | 2020-12-17 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 流量測定装置 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08159833A (ja) * | 1994-12-05 | 1996-06-21 | Hitachi Ltd | 流量測定装置 |
JP2002005710A (ja) * | 2000-06-20 | 2002-01-09 | Ngk Spark Plug Co Ltd | 小口径管用の分流式流量及び流速測定装置 |
JP2002054962A (ja) * | 2000-05-30 | 2002-02-20 | Denso Corp | 流量測定装置 |
JP2003177045A (ja) * | 2001-12-11 | 2003-06-27 | Denso Corp | 流量測定装置 |
JP2004340785A (ja) * | 2003-05-16 | 2004-12-02 | Mitsubishi Electric Corp | 空気流量測定装置 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19815654A1 (de) | 1998-04-08 | 1999-10-14 | Bosch Gmbh Robert | Meßvorrichtung zum Messen der Masse eines in einer Leitung strömenden Mediums |
JP3782669B2 (ja) * | 2001-02-28 | 2006-06-07 | 株式会社日立製作所 | 熱式流量測定装置 |
US6983653B2 (en) * | 2002-12-13 | 2006-01-10 | Denso Corporation | Flow sensor having thin film portion and method for manufacturing the same |
JP4073324B2 (ja) * | 2003-01-24 | 2008-04-09 | 株式会社日立製作所 | 熱式流量測定装置 |
JP2005265819A (ja) * | 2004-02-19 | 2005-09-29 | Keyence Corp | 分流式流量センサ装置 |
DE202006019415U1 (de) | 2006-12-22 | 2007-04-05 | Watts Industries Deutschland Gmbh | Vorrichtung zum Speisen von Hoch- und Niedertemperaturverbrauchskreisen |
JP5178148B2 (ja) * | 2007-10-31 | 2013-04-10 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 発熱抵抗体式空気流量測定装置 |
-
2009
- 2009-03-31 JP JP2009083970A patent/JP5049996B2/ja active Active
-
2010
- 2010-02-10 CN CN2010101181218A patent/CN101852631B/zh active Active
- 2010-02-10 CN CN201210070977.1A patent/CN102607654B/zh active Active
- 2010-02-17 EP EP10153890.8A patent/EP2236996B1/en active Active
- 2010-02-18 US US12/708,473 patent/US7891240B2/en active Active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08159833A (ja) * | 1994-12-05 | 1996-06-21 | Hitachi Ltd | 流量測定装置 |
JP2002054962A (ja) * | 2000-05-30 | 2002-02-20 | Denso Corp | 流量測定装置 |
JP2002005710A (ja) * | 2000-06-20 | 2002-01-09 | Ngk Spark Plug Co Ltd | 小口径管用の分流式流量及び流速測定装置 |
JP2003177045A (ja) * | 2001-12-11 | 2003-06-27 | Denso Corp | 流量測定装置 |
JP2004340785A (ja) * | 2003-05-16 | 2004-12-02 | Mitsubishi Electric Corp | 空気流量測定装置 |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2013187224A1 (ja) * | 2012-06-15 | 2013-12-19 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 熱式流量計 |
JPWO2013186910A1 (ja) * | 2012-06-15 | 2016-02-01 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 熱式流量計 |
US9752908B2 (en) | 2012-06-15 | 2017-09-05 | Hitachi Automotive Systems, Ltd. | Thermal flow meter with an asymmetrical inflow-side of circuit package |
US10514287B2 (en) | 2012-06-15 | 2019-12-24 | Hitachi Automotive Systems, Ltd. | Thermal flow meter with an asymmetrical inflow-side of circuit package |
JP2019197068A (ja) * | 2016-06-24 | 2019-11-14 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 熱式流量計 |
WO2018190069A1 (ja) * | 2017-04-13 | 2018-10-18 | 株式会社デンソー | 物理量計測装置 |
JP2018179766A (ja) * | 2017-04-13 | 2018-11-15 | 株式会社デンソー | 物理量計測装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5049996B2 (ja) | 2012-10-17 |
EP2236996A1 (en) | 2010-10-06 |
EP2236996B1 (en) | 2018-01-24 |
CN102607654B (zh) | 2015-08-26 |
US7891240B2 (en) | 2011-02-22 |
CN101852631A (zh) | 2010-10-06 |
CN102607654A (zh) | 2012-07-25 |
US20100242589A1 (en) | 2010-09-30 |
CN101852631B (zh) | 2013-02-27 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5049996B2 (ja) | 熱式流量測定装置 | |
JP5396410B2 (ja) | センサの構造 | |
JP4929335B2 (ja) | 熱式流量測定装置 | |
JP5183164B2 (ja) | 流量測定装置 | |
JP5178388B2 (ja) | 空気流量測定装置 | |
EP2056076B1 (en) | Heating resistor type air flow rate measuring device | |
JP4929333B2 (ja) | センサの構造 | |
JP4416012B2 (ja) | 吸入空気流量測定装置 | |
JP2012083119A (ja) | センサの構造 | |
JP4707412B2 (ja) | 気体流量測定装置 | |
JP2004226315A (ja) | 熱式流量測定装置 | |
JP6069504B2 (ja) | 温湿度センサ | |
JP3919829B2 (ja) | 導管内を流動する媒体の質量を測定する測定装置 | |
JP6208251B2 (ja) | 物理量計測装置 | |
JP6734939B2 (ja) | 熱式流量計 | |
JP7122462B2 (ja) | 物理量検出装置 | |
JP2005201684A (ja) | 空気流量測定装置 | |
JP5542614B2 (ja) | 流量測定装置 | |
US20010006005A1 (en) | Flow rate measuring apparatus with a flow rate detector protecting structure | |
JP6674917B2 (ja) | 熱式流量計 | |
JP5462114B2 (ja) | 発熱抵抗体式空気流量測定装置 | |
JP2003161652A (ja) | 流量測定装置 | |
JPH11118558A (ja) | 空気流量測定装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20100910 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100910 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110415 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110419 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110829 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120626 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120723 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150727 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5049996 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |