WO2018168026A1

WO2018168026A1 - 把持ツール、把持システム、および把持部の製造方法

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Publication number: WO2018168026A1
Application number: PCT/JP2017/034351
Authority: WO
Inventors: 高橋　宏昌; 陽子徳野; 恵美子石田
Original assignee: 株式会社東芝
Priority date: 2017-03-13
Filing date: 2017-09-22
Publication date: 2018-09-20
Also published as: US20190217487A1; CN109789565A; CN109789565B; US10843346B2; JP6486402B2; JP2018149639A

Abstract

実施形態に係る把持ツールは、可撓性を有し、内部に粉粒体が設けられた把持部を備える。前記把持ツールは、前記把持部をワークに接触させた状態で、前記把持部の内部を減圧することで前記ワークを把持する。前記把持部の少なくとも一部は、樹脂部材と、前記樹脂部材中に設けられた繊維部材と、を含む。

Description

把持ツール、把持システム、および把持部の製造方法

　本発明の実施形態は、把持ツール、把持システム、および把持部の製造方法に関する。

　内部に粉粒体が設けられた把持部を備える把持ツールがある。この把持ツールの把持部が破断すると、内部の粉粒体が周りに散乱する。このため、把持ツールの修復だけでなく、把持ツールの周囲の清掃にも時間を要する。この結果、作業効率が大きく低下する。
　このため、把持部の破断が生じ難い把持ツールの開発が望まれている。

特開２０１２－１７６４７６号公報

　本発明が解決しようとする課題は、把持部の破断が生じ難い把持ツール、把持システム、および把持部の製造方法を提供することである。

実施形態に係る把持ツールを表す斜視断面図である。実施形態に係る把持ツールの把持部を表す斜視断面図である。実施形態に係る把持ツールによる把持方法を表す断面図である。実施形態に係る把持ツールの把持メカニズムを表す断面図である。実施形態に係る把持ツールの把持部の製造工程の一部を表す工程断面図である。実施形態の第１変形例に係る把持ツールを表す斜視断面図である。実施形態の第２変形例に係る把持ツールを表す斜視断面図である。実施形態の第３変形例に係る把持ツールを表す斜視断面図である。実施形態に係る把持システムを表す概略図である。実施形態に係る把持システムの検出装置による検出結果の一例を表すグラフである。

　以下に、本発明の各実施形態について図面を参照しつつ説明する。
　なお、図面は模式的または概念的なものであり、各部分の厚みと幅との関係、部分間の大きさの比率などは、必ずしも現実のものと同一とは限らない。また、同じ部分を表す場合であっても、図面により互いの寸法や比率が異なって表される場合もある。
　また、本願明細書と各図において、既に説明したものと同様の要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。

　図１は、実施形態に係る把持ツール１を表す斜視断面図である。
　実施形態に係る把持ツール１は、可撓性を有する把持部１０を備える。把持部１０の内部には、粉粒体１５が設けられている。

　より具体的には、把持部１０は、第１部分１１および第２部分１２を有する。第１部分１１は、把持対象のワークに接触する。第２部分１２は、第１部分１１と対向する。粉粒体１５は、第１部分１１と第２部分１２との間の第１空間ＳＰ１に設けられている。把持部１０は、第１部分１１と第２部分１２とが、例えば、接着剤を介して接合されて構成されている。第１部分１１と第２部分１２とは、熱圧着により接合されていてもよい。

　第１部分１１の外周および第２部分１２の外周は、保持部２０によって保持されている。これにより第１空間ＳＰ１が、外部の空間と隔てられる。保持部２０は、例えば円環状である。保持部２０によって把持部１０の外周のみが保持されることで、把持部１０は、保持部２０の内側において第１部分１１と第２部分１２とを結ぶ線方向に変形できる。

　第１部分１１と第２部分１２とを結ぶ線方向は、例えば、上下方向である。第１部分１１と第２部分１２とを結ぶ線方向は、第１部分１１から第２部分１２に向かう第１方向（上方）と、第２部分１２から第１部分１１に向かう第２方向（下方）と、を含む。以下では、第１部分１１と第２部分１２との位置関係に基づくこれらの「上下方向」「上方」「下方」を用いて、各実施形態の説明を行う。

　一例として、保持部２０は、第１フランジ２１および第２フランジ２２を有する。第１フランジ２１は、第１部分１１の外周下面に当接する。第２フランジ２２は、第２部分１２の外周上面に当接する。第１フランジ２１と第２フランジ２２を、ネジ等の締結具２５によって締結することで、把持部１０が保持される。

　図２は、実施形態に係る把持ツール１の把持部１０を表す斜視断面図である。
　図２では、把持部１０の第１部分１１と第２部分１２が、分離して表されている。

　図２に表すように、第１部分１１は、凹部１１ｒおよび凸部１１ｐを有する。凹部１１ｒは、上方に向けて窪んでいる。凹部１１ｒは、把持部１０の中心側に設けられている。凹部１１ｒの上面は、第２部分１２と接している。凸部１１ｐは、下方に向けて突出している。凸部１１ｐは、凹部１１ｒの周りに設けられている。凸部１１ｐと凹部１１ｒは、連続している。

　凹部１１ｒは、第２部分１２と接する。凸部１１ｐは、第２部分１２と上下方向において離間している。図１および図２に例示した把持ツール１では、第１空間ＳＰ１は、凸部１１ｐと第２部分１２との間に形成される。

　第１部分１１の下方には、凹部１１ｒおよび凸部１１ｐによって囲まれた第２空間ＳＰ２が形成される。具体的には、第２空間ＳＰ２の上方は、凹部１１ｒによって覆われている。第２空間ＳＰ２の側方は、凸部１１ｐによって囲まれている。第２空間ＳＰ２の下方は開けている。後述するように、把持対象のワークが第２空間ＳＰ２の下方に位置することで、第２空間ＳＰ２が外部空間に対して塞がれる。

　図１および図２に表すように、把持部１０は、第１ポート３１および第２ポート３２をさらに有する。第１ポート３１は、第１空間ＳＰ１と接続されている。第２ポート３２は、第１部分１１の凹部１１ｒおよび第２部分１２を貫通している。第２ポート３２は、第２空間ＳＰ２と接続されている。第１ポート３１には、第１空間ＳＰ１を減圧するための第１配管４１が接続される。第２ポート３２には、第２空間ＳＰ２を減圧するための第２配管４２が接続される。

　第１部分１１および第２部分１２は、樹脂などの可撓性を有する材料で構成される。本実施形態では、図２に表すように、第１部分１１の少なくとも一部が、樹脂部材Ｒと、この樹脂部材Ｒ中に設けられた繊維部材Ｆと、を含む。
　図２に表した例では、第１部分１１の第１空間ＳＰ１側において、繊維部材Ｆの少なくとも一部が、樹脂部材Ｒの一部と一体に設けられている。この例では、繊維部材Ｆの上記少なくとも一部は、第１部分１１の内面のに沿って設けられている。具体的な例として、繊維部材Ｆは、樹脂部材Ｒに埋め込まれている。または、繊維部材Ｆの一部が樹脂部材Ｒと一体になり、繊維部材Ｆの他の部分が露出している。

　繊維部材Ｆは、微小な複数の樹脂繊維が絡み合わさったものである。繊維部材Ｆは、例えば膜状に構成されている。それぞれの樹脂繊維の直径は、５０ｎｍ～１０μｍ程度である。繊維部材Ｆに含まれる少なくとも一部の樹脂繊維同士の間には、樹脂部材Ｒの一部が充填されている。これにより、樹脂部材Ｒの一部と繊維部材Ｆの少なくとも一部とは、一体に設けられている。
　複数の樹脂繊維は、例えば、各々、不特定の方向に延びている。複数の樹脂繊維が、各々、特定の方向に延びていても良い。あるいは、複数の樹脂繊維の一部が１つの特定の方向に延び、複数の樹脂繊維の他の一部が他の特定の方向に延びていても良い。
　複数の樹脂繊維の平均直径は、例えば、以下の方法で確認できる。繊維部材Ｆの表面または断面を電子顕微鏡等で観察する。確認された樹脂繊維の中からランダムに１００本を抽出する。これらの樹脂繊維の直径を平均する。

　図３は、実施形態に係る把持ツール１による把持方法を表す断面図である。
　図３では、把持対象のワークＷが、三角形が３個連接した断面を有する場合を例示している。

　まず、把持部１０の水平方向における位置とワークＷの水平方向における位置が合わせられる。把持部１０の位置とワークＷの位置とが合うと、図３（ａ）に表すように、把持部１０がワークＷに向かって下降する。

　把持部１０は、可撓性を有する。把持部１０がワークＷに接触すると、図３（ｂ）に表すように、第１部分１１の凸部１１ｐが、ワークＷを包み込むように外方に押し広げられる。開けていた第２空間ＳＰ２が、ワークＷによって塞がれる。

　次に、把持部１０の下降が停止する。図３（ｃ）に表すように、第１ポート３１および第１配管４１を通して第１空間ＳＰ１が減圧される。第１空間ＳＰ１は、例えば０．１気圧程度に減圧される。第１空間ＳＰ１の粉粒体１５が凝集して固化する。これにより、ワークＷを包み込むように密着している把持部１０の形状が固定され、ワークＷを把持する力が生じる。

　次に、図３（ｄ）に表すように、第２ポート３２および第２配管４２を通して第２空間ＳＰ２が減圧される。第２空間ＳＰ２は、例えば０．１気圧程度に減圧される。これにより、ワークＷが、第２空間ＳＰ２に向けて吸着され、把持力がさらに高められる。

　その後、ワークＷを把持する把持ツール１が上昇する。把持ツール１が水平方向に移動する。ワークＷが所定の位置まで搬送された後は、第１空間ＳＰ１および第２空間ＳＰ２が大気開放される。これにより、把持力が無くなり、ワークＷが把持ツール１から放れる。以上の方法により、把持対象のワークＷが、所定の位置まで搬送される。

　図４は、実施形態に係る把持ツール１の把持メカニズムを表す断面図である。
　図４では、把持ツール１の把持部１０が一部簡略化して表されている。

　実施形態に係る把持ツール１では、図４（ａ）に表すように、把持部１０の外周が保持部２０によって保持されている。従って、図４（ｂ）に表すように、把持部１０をワークＷに接触させた際に、把持部１０がワークＷに対して上方に向けて変形できる。

　この状態で、第１ポート３１および第２ポート３２を通して吸気する。これにより、図４（ｃ）に表すように、把持部１０がさらにワークＷに対して上方に向けて変形しつつ、把持部１０とワークＷとの接触面積が増加していく。

　以上で説明したように、把持部１０は、ワークＷに対して上方に向けて変形可能なように保持部２０に保持される。この構成によれば、把持部１０によってワークＷを把持した際の把持力を高めることができる。

　図５は、実施形態に係る把持ツール１の把持部１０の製造工程の一部を表す工程断面図である。
　ここでは、第１部分１１が樹脂部材Ｒおよび繊維部材Ｆを含む場合について説明する。

　まず、第１部分１１の形状に沿った１組のモールドＭ１（第１モールド）およびＭ２（第２モールド）が用意される。次に、図５（ａ）に表すように、オス型のモールドＭ１の表面に、繊維部材Ｆが形成される。繊維部材Ｆは、例えば、エレクトロスピニング法を用いて形成される。

　繊維部材Ｆは、ポリプロピレン、ポリエチレン、ポリスチレン、ポリエチレンテレフタレート、ポリ塩化ビニル、ポリカーボネート、ナイロン、アラミド、ポリアクリレート、ポリメタクリレート、ポリイミド、ポリアミドイミド、ポリフッ化ビニリデン、またはポリエーテルスルホンなどの高分子材料を含む。

　メス型のモールドＭ２には、樹脂部材Ｒの原料となる高分子材料を含む樹脂材料ＲＭが配される。樹脂材料ＲＭは、液状またはゲル状でも良い。樹脂材料ＲＭは、シリコーン樹脂、ゴム材料、またはアクリル樹脂などの高分子材料を含む。

　次に、図５（ｂ）に表すように、これらのモールドＭ１およびＭ２が嵌合され、押圧される。これにより、樹脂材料ＲＭが広がりモールドＭ１とＭ２との間に充填されるとともに、繊維部材Ｆに樹脂材料ＲＭが液浸する。この状態で、樹脂材料ＲＭが硬化される。樹脂部材Ｒ中に繊維部材Ｆが設けられた第１部分１１が作製される。

　次に、作製された第１部分１１の内側に粉粒体１５が配される。第１部分１１の上に、別途作製した第２部分１２が重ね合わされる。これにより、把持部１０が作製される。その後、把持部１０が保持部２０によって保持される。以上の工程により、図１および図２に表した把持ツール１が作製される。粉粒体１５には、例えば、マイクロビーズ、シリコーン樹脂ビーズ、コーヒ豆、またはガラスビーズ等を用いることができる。

　本実施形態による効果について説明する。
　上述したように、把持ツール１は、把持部１０をワークＷに接触させ、内部の粉粒体を凝集させてワークＷを搬送する。このため、把持部１０には内部および外部から大きな応力および摩擦力が加わる。把持部１０に加わるこれらの力によって把持部１０にき裂が生じ、破断すると、内部に設けられている粉粒体が散乱する。従って、把持部１０が破断すると、把持ツール１の修復だけでなく、把持ツール１の周囲の清掃にも時間を要する。この結果、作業効率が、大きく低下する。

　本願発明者らが検討したところ、以下の課題を発見した。
　把持ツールの把持部が樹脂部材のみから構成されている場合、き裂が生じてから破断するまでの時間（以下、き裂進展時間という）が短い。き裂進展時間が短いと、把持ツールの使用者が、き裂が生じていることを発見できる前に把持部が破断する可能性が高まる。従って、破断する前に、把持ツールの使用の停止または把持部の修復が困難である。

　本願発明者らは、検討および実験し、以下の点を発見した。
　把持部１０の少なくとも一部が、樹脂部材Ｒおよび繊維部材Ｆを含む場合、把持部１０が樹脂部材Ｒのみから構成されている場合に比べて、把持部１０のき裂進展時間を延長できる。き裂進展時間が延びることで、把持部１０が破断する前に対処することが容易となる。把持部１０の破断による作業効率の低下を抑えることが可能となる。

　以上で説明したように、本実施形態によれば、把持部１０のき裂進展時間が長く、把持部１０が破断し難い把持ツール１を提供できる。

　把持部１０に含まれる繊維部材Ｆについては、図１および図２に表したように、第１部分１１の第１空間ＳＰ１側に設けられていることがより望ましい。
　樹脂部材Ｒを構成する上述の材料（例えば、シリコーン樹脂、ゴム材料、またはアクリル樹脂）は高い摩擦力を有する。摩擦力の向上は、把持部１０の把持力を高める。繊維部材Ｆが第１部分１１の第１空間ＳＰ１側に設けられていると、繊維部材Ｆが第１部分１１の外部空間側に設けられている場合に比べて、把持部１０のワークＷに接触する面の摩擦力の低下を抑制できる。これにより、把持部１０の把持力を高く維持できる。さらに、この場合、把持部１０は、ワークＷに接触する面に繊維部材Ｆが含まれていない。このため、ワークＷに接触した際には、ワークＷの形状に倣って変形し易い。

　繊維部材Ｆの単位体積あたりの引張強度は、樹脂部材Ｒの単位体積あたりの引張強度よりも高い。これは、繊維部材Ｆが微細な樹脂繊維の集合体であり、高い伸縮性を有するためである。従って、樹脂部材Ｒにき裂が生じ、把持部１０の気密性が破られた場合でも、繊維部材Ｆは破断せず、内部の粉粒体１５が繊維部材Ｆによって支持され得る。
　本実施形態によれば、破断強度が上がり、把持部１０のき裂進展時間を延ばし、把持部１０の破断を生じ難くできる。そして、把持部１０のき裂進展時間を延ばすことで、粉粒体１５の突然の散乱などを未然に防ぐことも可能である。
　さらに、本実施形態においては、把持部１０は、ワークＷを把持するときに、ワークＷに対して上方に向けて変形可能である。これにより、把持力が高められる。従って、本実施形態を適用することで、把持部１０の強度を上げて破断を抑制しつつ、把持力を高めることが可能となる。

　繊維部材Ｆは、第１部分１１の全体に設けられていなくても良い。繊維部材Ｆは、凸部１１ｐなどの第１部分１１の一部にのみ設けられていても良い。ワークＷへの接触頻度の高い部分に繊維部材Ｆが設けられていれば、把持部１０における破断を好適に抑制できる。

　本実施形態に係る把持ツールは、図１および図２に表したものに限定されない。以下で説明するように、種々の変形が可能である。以下で説明する各把持ツールにおいても、把持部１０の少なくとも一部が、樹脂部材Ｒおよび繊維部材Ｆを含むことで、き裂進展時間を延ばすことができる。

　図６は、実施形態の第１変形例に係る把持ツール２を表す斜視断面図である。
　図６に表した把持ツール２は、保持部２０を備えていない点で把持ツール１と異なる。第１部分１１の外周は、第２部分１２の外周と接着されて固定されている。

　図７は、実施形態の第２変形例に係る把持ツール３を表す斜視断面図である。
　図７に表した把持ツール３においては、把持ツール１と比べて、把持部１０の形状が異なり、第２ポート３２が設けられていない。

　把持部１０において、第１部分１１は下方に向けて凸に湾曲している。第２部分１２は上方に向けて凸に湾曲している。粉粒体１５は、第１部分１１と第２部分１２との間の第１空間ＳＰ１に設けられている。

　図１に表した把持ツール１と比べて、把持ツール３において、第１部分１１は、凹部１１ｒおよび凸部１１ｐを有していない。このため、把持ツール３では、第１部分１１の下方に第２空間ＳＰ２が形成されていない。把持ツール３では、第２ポート３２が設けられていない。しかし、本変形例に係る把持ツール３においても、図３に表したメカニズムと同様に、ワークＷを把持した際に把持部１０がワークＷに対して上方に向けて変形可能である。これにより、把持部１０による把持力を高めることができる。

　図８は、実施形態の第３変形例に係る把持ツール４を表す斜視断面図である。
　図８に表した把持ツール４は、保持部２０を備えていない点で、把持ツール３と異なる。第１部分１１の外周は、第２部分１２の外周と接着されて固定されている。

　図９は、実施形態に係る把持システム５を表す概略図である。
　実施形態の把持システム５は、把持ツール１、搬送ロボット９０、第１減圧装置９１、第２減圧装置９２、検出装置９３、記憶装置９４、およびコントローラ９５を備える。

　搬送ロボット９０は、アーム９０ａを有する。アーム９０ａは、例えば複数の関節を有する。把持ツール１は、アーム９０ａの先端に取り付けられている。搬送ロボット９０は、コントローラ９５からの指令に従ってアーム９０ａを動作させ、ワークＷの把持および搬送を行う。

　第１減圧装置９１および第２減圧装置９２は、真空ポンプ等を有する。第１減圧装置９１は、図１に表した把持ツール１の第１配管４１と接続される。第２減圧装置９２は、把持ツール１の第２配管４２と接続される。コントローラ９５からの指令に従って第１減圧装置９１および第２減圧装置９２が駆動する。これにより、第１空間ＳＰ１および第２空間ＳＰ２の減圧および大気開放が実行される。

　検出装置９３は、第１空間ＳＰ１と繋がっている。検出装置９３は、第１空間ＳＰ１における圧力および第１空間ＳＰ１を流れる気体の流量のいずれか（第１パラメータ）を、直接的または間接的に検出する。図９に表した例では、検出装置９３は、第１空間ＳＰ１と第１減圧装置９１との間の配管に接続される。検出装置９３は、この配管における圧力または流量を検出する。把持システム５は、第１空間ＳＰ１における圧力と流量の両方を検出するために、複数の検出装置を備えていても良い。

　検出装置９３は、検出結果をコントローラ９５に向けて出力する。コントローラ９５は、検出装置９３による検出結果に基づいて異状を検知する。検出装置９３は、異常を検知した場合に、その結果を把持システム５の管理者に向けて報知したり、または把持システム５の動作を停止させたりする。

　記憶装置９４は、ネットワークハードディスク、サーバファイル、または検出装置９３に付帯されたハードディスクなどである。記憶装置９４は、検出装置９３によって検出された圧力または流量を収集し、記憶する。

　コントローラ９５は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）や、ＲＯＭ（Read Only Memory）、不揮発性のフラッシュメモリなどを有する。ＣＰＵでは、コントローラ９５における各種演算処理が実行される。ＲＯＭには、把持システム５の動作に必要な各種制御アリゴリズムや各種定数等が記憶される。フラッシュメモリには、ワークＷの搬送手順や、搬送状況等が適宜記憶して保存される。

　コントローラ９５は、フラッシュメモリに記憶されている搬送手順に従って、搬送ロボット９０、第１減圧装置９１、第２減圧装置９２、および検出装置９３に指令を送出し、これらの動作を制御する。

　把持システム５が、把持部１０のき裂進展時間が長い把持ツール１を備えることで、把持部１０にき裂が生じた場合でも、作業効率の低下を抑えることが可能となる。

　実施形態に係る把持システム５は、把持ツール１に代えて、上述した変形例に係る把持ツール２～４のいずれかを備えていても良い。把持システム５が把持ツール３または４を備える場合、把持システム５は、第２減圧装置９２を備えていてなくても良い。

　次に、図１０を参照しつつ、実施形態に係る把持システム５における圧力または流量の異常値の検出方法について説明する。ここでは、検出装置９３によって第１空間ＳＰ１における圧力を検出する場合について説明する。

　図１０は、実施形態に係る把持システム５の検出装置９３による検出結果の一例を表すグラフである。
　図１０において、横軸は時間を表し、縦軸は各時間における圧力の検出結果を表す。

　コントローラ９５は、第１減圧装置９１によって第１空間ＳＰ１が減圧されているときに、検出装置９３によって所定の閾値を超える大きな圧力が検出された場合に、把持部１０に異常が発生したものと判定する。

　このときの閾値は、例えば、現在と、現在から所定時間だけ過去の時刻と、の間の複数の検出結果を基に設定される。または、閾値は、直近の所定回数の検出結果を基に設定されても良い。

　具体的な一例を説明する。コントローラ９５は、記憶装置９４を参照する。コントローラ９５は、図１０のグラフ中の左側に表すように、直近の所定回数の検出結果を抽出する。コントローラ９５は、それらの平均値Ａ１を算出する。そして、コントローラ９５は、算出された平均値Ａ１に所定の値を加えたものを閾値Ｔ１として用いる。この方法によれば、検出装置９３で新たな圧力が検出されるたびに、平均値Ａ１および閾値Ｔ１も変化する。

　減圧中の把持部１０にき裂が生じ、第１空間ＳＰ１に空気が流入すると、検出装置９３によって検出される圧力が大きく上昇する。検出装置９３で検出された圧力が閾値Ｔ１を超えると、コントローラ９５は、把持部１０に異常が発生したものと判定する。

　一般的に、減圧および大気開放が繰り返される真空部品は、使用期間が長くなるほど、気密性能が低下する。減圧時の到達圧力も高くなる。従って、図１０のグラフ中の右側に表すように、時間の経過とともに、検出装置９３で検出される圧力は増加する。閾値Ｔ１が不変の場合、把持システム５の使用期間が長くなると、把持システム５の通常運転時における圧力が異常と判定される可能性がある。

　本実施形態では、コントローラ９５が、記憶装置９４に記憶された検出結果に基づいて閾値を設定する。このため、把持システム５を長期間使用し、第１空間ＳＰ１の到達圧力が変化した場合でも、把持部１０における異常の発生をより精度よく判定することが可能となる。

　以上、本発明のいくつかの実施形態を例示したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更などを行うことができる。これら実施形態やその変形例は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。また、前述の各実施形態は、相互に組み合わせて実施することができる。

Claims

　可撓性を有し、内部に粉粒体が設けられた把持部を備え、
　前記把持部をワークに接触させた状態で、前記把持部の内部を減圧することで前記ワークを把持する把持ツールであって、
　前記把持部の少なくとも一部は、樹脂部材と、前記樹脂部材中に設けられた繊維部材と、を含む把持ツール。
　前記把持部は、
　　前記ワークに接触する第１部分と、
　　前記第１部分と対向する第２部分と、
　を有し、
　前記粉粒体は、前記第１部分と前記第２部分との間の第１空間に設けられ、
　前記第１部分の少なくとも一部は、前記樹脂部材と、前記繊維部材と、を含む請求項１記載の把持ツール。
　前記第１部分は、
　　前記第１部分から前記第２部分に向かう第１方向に窪んだ凹部と、
　　前記凹部の周りに設けられ、前記第１方向と反対の第２方向に突出した凸部と、
　を有し、
　前記凸部の少なくとも一部は、前記樹脂部材と、前記繊維部材と、を含む請求項２記載の把持ツール。
　前記繊維部材は、前記第１部分の前記第１空間側に設けられた請求項２または３に記載の把持ツール。
　前記第１空間に接続され、前記第１空間を減圧するための配管が接続される第１ポートと、
　前記凹部および前記凸部に囲まれた第２空間に接続され、前記第２空間を減圧するための配管が接続される第２ポートと、
　をさらに備えた請求項３または４に記載の把持ツール。
　前記第１部分の外周および前記第２部分の外周を保持する保持部をさらに備え、
　前記把持部は、前記第１部分と前記第２部分とを結ぶ線方向に変形可能に構成された請求項２～５のいずれか１つに記載の把持ツール。
　アームを有するロボット機構と、
　前記アームの先端に取り付けられた、請求項２～６のいずれか１つに記載の前記把持ツールと、
　前記第１空間に接続され、前記第１空間を減圧するための第１減圧装置と、
　前記ロボット機構および前記第１減圧装置の動作を制御するコントローラと、
　を備えた把持システム。
　前記把持システムは、前記第１空間における第１パラメータを検出する検出装置を備え、
　前記第１パラメータは、前記第１空間における圧力、または前記第１空間を流れる気体の流量であり、
　前記コントローラは、前記検出装置によって検出される前記第１パラメータが所定の閾値を超えた場合に、前記把持部に異常が発生したものと判定する請求項７記載の把持システム。
　前記検出装置によって検出された過去の前記第１パラメータを記憶する記憶装置をさらに備え、
　前記コントローラは、前記閾値を、前記過去の第１パラメータを基に設定する請求項８記載の把持システム。
　可撓性を有し、内部に粉粒体が設けられる把持部の製造方法であって、
　第１モールドの上に、複数の繊維を含む繊維部材を形成する工程と、
　第１モールドと嵌合する第２モールドの上に、高分子材料を含む樹脂材料を配する工程と、
　前記第１モールドと前記第２モールドとを嵌合し、前記繊維部材を前記樹脂材料に液浸させつつ、前記第１モールドと前記第２モールドとの間に樹脂材料を充填させる工程と、
　前記第１モールドと前記第２モールドとの間に充填された前記樹脂材料を硬化させる工程と、
　を備えた製造方法。