WO2018079375A1

WO2018079375A1 - 液体ポンプ

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Publication number: WO2018079375A1
Application number: PCT/JP2017/037688
Authority: WO
Inventors: 朋晃高橋; 泰正大木
Original assignee: 日東工器株式会社
Priority date: 2016-10-27
Filing date: 2017-10-18
Publication date: 2018-05-03
Also published as: EP3534002B1; EP3534002A4; CN109891096A; JPWO2018079375A1; TW201819770A; KR20190059974A; US11085434B2; US20190249656A1; EP3534002A1; TWI658211B; KR102112980B1; CN109891096B; JP6487117B2; DK3534002T3

Abstract

【課題】吐出側タンク内に形成される空気溜りの空気が排出されることを抑止するようにした液体ポンプを提供する。【解決手段】ハウジング１６内に形成されている吐出側タンク部２８が、当該液体ポンプ１０の設置状態における水平方向で互いに対向する第１内側面２８ｃと第２内側面２８ｄとを有する。第１内側面２８ｃには吐出口２２が形成され、第２内側面２８ｄには吐出側連通路４６の開口部４６ａが形成されている。吐出側タンク部２８内の吐出側連通路４６の開口部４６ａ及び該吐出口２２よりも上側の空間には空気溜りＡ２が形成される。吐出側タンク部２８内には円筒状隔壁部４８が設けられ、この円筒状隔壁部４８は吐出側連通路４６の開口部４６ａの少なくとも上側位置で空気溜りＡ２側から見て開口部４６ａを覆うようにして第２内側面２８ｄから第１内側面２８ｃに向かって突出している。

Description

液体ポンプ

　本発明は、ポンプ室の容積を周期的に膨張収縮させることにより、液体を吸引口から吸引して吐出口から吐出するようにした液体ポンプに関する。

　水や薬品などの液体を搬送するための液体ポンプにおいて、ポンプ室を画定している壁の一部をポンプ室の容積を変動させるように振動させることにより、液体を吸引口から吸引して吐出口から吐出するようにしたものがある。例えば特許文献１には、２枚の圧電素子を貼り合わせた積層型の膜状振動子（バイモルフ振動子）をポンプ室の壁の一部として配置し、この膜状振動子に交流電圧を印加して該振動子を振動させることにより、ポンプ室の容積を膨張収縮させて液体を搬送するようにした液体ポンプが示されている。この液体ポンプにおいては、液体を吸引する吸引口とポンプ室との間及び液体を吐出する吐出口とポンプ室との間にそれぞれチェック弁を配置し、ポンプ室が膨張したときに液体を吸引口から吸引口側のチェック弁を介してポンプ室内に吸引し、ポンプ室が収縮したときにポンプ室内の液体を吐出口側のチェック弁を介して吐出口から吐出するようになっている。

　このような液体ポンプにおいて、ポンプ室から液体を吐出するときにはポンプ室が収縮してポンプ室内が加圧され、それによりポンプ室内から吐出口に向かって液体が送り出されることになるが、吐出口側の流体抵抗が大きいときには十分な量の液体をポンプ室から送り出すことができなくなる。またポンプ室内に液体を吸引するときにも、同様な現象が起こり、吸引口側の流体抵抗が大きいときには十分な量の液体をポンプ室内に吸引することができなくなる。すなわち吐出口及び吸引口における流体抵抗の増加によりポンプの性能が低下してしまう。このような問題の解決手段として、吸引口側および吐出口側に貯留タンクを設けて、このタンク内に空気溜りを形成するようにすることが行われている（特許文献２）。このような空気溜りが形成されたタンクを設けることにより、液体を吸引する際には、吸引口側のタンク内の空気が一時的に膨張することにより流体が吸引側のタンクからポンプ室内に吸引されるときの抵抗が小さくなる。また液体を吐出する際には、吐出口側のタンク内の空気が一時的に収縮することによりポンプ室から吐出側のタンク内に流体を送り出すときの抵抗が小さくなる。これにより、吸引口及び吐出口における流体抵抗が大きくなっても、それによってポンプの性能が低下することを抑止することが可能となる。

実開平２－９４３８２号公報特開昭６２－２１４２８７号公報

　上述のような液体ポンプは通常、振動子の振動周波数を変化させることにより液体の吐出量を変更することができる。しかしながら、吐出量を大きくするために振動周波数を大きくすると、特に吐出側のタンク内において、液体中に伝搬する振動によってタンク内の液面付近で空気溜りの空気を含む泡が生じ、泡状になった空気が液体内に拡散して吐出口から液体とともに排出されてしまうことがある。そうすると空気溜りが徐々に小さくなって流体抵抗の影響を低減する効果が減少し、その結果、ポンプの吐出性能を維持できなくなってしまうという問題が生じる。

　そこで本発明は、吐出側タンク内に形成される空気溜りの空気が排出されることを抑止するようにした液体ポンプを提供することを目的とする。

　すなわち本発明は、
　液体を吸引する吸引口と、
　該吸引口に連通するポンプ室であって、当該ポンプ室を画定している壁の一部が当該ポンプ室の容積を変動させるように振動可能な振動壁部であるポンプ室と、
　該ポンプ室から延びる吐出側連通路と、
　該吐出側連通路を介して該ポンプ室に連通し該ポンプ室から送り出された液体を貯留する吐出側タンク部と、
　該吐出側タンク部と該ポンプ室との間において、該ポンプ室から該吐出側タンク部に向かう流体は通すがその逆向きの流体は通さないように配置された吐出側チェック弁と、
　該吐出側タンク部内の液体を吐出する吐出口と、
　を備え、該振動壁部の振動に伴って液体を該吸引口から吸引して該吐出口から吐出するようにされた液体ポンプであって、
　該吐出側タンク部は、当該液体ポンプの設置状態における水平方向で互いに対向する第１及び第２内側面を有し、該第１内側面に該吐出口が形成され、該第２内側面に該吐出側連通路の開口部が形成されていて、該吐出側タンク部内の該吐出側連通路の開口部及び該吐出口よりも上側の空間に空気溜りが形成されるようにされており、
　該吐出側タンク部内において該吐出側連通路の開口部の少なくとも上側位置で該空気溜り側から見て該開口部を覆うようにして該第２内側面から該第１内側面に向かって突出する隔壁部をさらに有する、液体ポンプを提供することを目的とする。

　当該液体ポンプにおいては、吐出側タンク部内において、吐出側連通路の開口部と空気溜りとの間に隔壁部が設けられているため、吐出側タンク部内の液面付近で空気溜りの空気を含む泡が発生したとしても、その空気が下方に拡散しにくくなる。これにより、空気が吐出口から排出されることを抑止することが可能となる。

　具体的には、該隔壁部と該第１内側面との間に間隔があけられているようにすることができる。

　さらに具体的には、該隔壁部が該吐出側連通路の該開口部の周りを取り囲むようにして該第２内側面から突出した筒状隔壁部であるようにすることができる。

　好ましくは、該吐出側連通路の開口部と該吐出口とが、該吐出側タンク部の上下方向での中心位置よりも下方に配置されているようにすることができる。

　これにより、吐出側タンク部内の吐出口及び吐出側連通路よりも上側の空間がより大きくなり、空気溜りをより大きくすることが可能となる。また、空気溜りと吐出口との間の距離を大きくして吐出口から空気が吐出されることをより確実に抑止することも可能となる。

　さらに具体的には、
　それぞれ全体として板状とされた、第１ハウジング部、第２ハウジング部、及び第３ハウジング部からなるハウジングであって、該第１ハウジング部と該第３ハウジング部とによって該第２ハウジング部を挟んだ状態で相互に重ね合わせるようにして形成されたハウジングを備え、
　該第１ハウジング部は、該吸引口と該吐出口とを有し、さらに該第１内側面を底面とし該第２ハウジング部に向かって開口する第１吐出側タンク凹部を有しており、
　該第２ハウジング部は、該第２内側面を底面とし該第１ハウジング部に向かって開口する第２吐出側タンク凹部と、該第２吐出側タンク凹部の反対側で該第３ハウジング部に向かって開口するポンプ室凹部とを有しており、
　該振動壁部が、該第２ハウジング部と該第３ハウジング部との間に挟持されて該ポンプ室凹部の開口した部分を覆うようにされた膜状振動子であり、
　該吐出側タンク部が該第１吐出側タンク凹部と該第２吐出側タンク凹部とにより構成されているようにすることができる。

　好ましくは、
　該吸引口と該ポンプ室との間に配置され、該吸引口から吸引された液体を貯留する吸引側タンク部と、
　該吸引側タンク部と該ポンプ室とを連通する吸引側連通路と、
　該吸引側連通路の該ポンプ室側の開口部を該ポンプ室側から覆うように配置され、該吸引側タンク部から該ポンプ室に向かう流体は通すがその逆向きの流体は通さないようにされた吸引側チェック弁と、をさらに備え、
　該吸引側タンク部は、当該液体ポンプの設置状態における水平方向で互いに対向する第１及び第２内側面を有し、該吸引側タンクの該第１内側面に該吸引口が形成され、該吸引側タンクの該第２内側面に該吸引側連通路の該吸引側タンク部側の開口部が形成されていて、該吸引側タンク部内の該開口部及び該吸引口よりも上側の空間に空気溜りが形成されるようにされており、
　該吸引側タンク部内において該吸引側タンク側の該開口部の少なくとも上側位置で該空気溜り側から見て該吸引側タンク側の該開口部を覆うように該吸引側タンクの該第２内側面から該吸引側タンクの該第１内側面に向かって突出する隔壁部をさらに有するようにすることができる。

　吸引側タンクを設けることにより、当該液体ポンプの吸引能力も安定させることが可能となる。また吸引側タンク内にも隔壁部を設けることにより、吸引側タンク内の空気がポンプ室側に吸引されることを防止することが可能となる。

　以下、本発明に係る液体ポンプの実施形態を添付図面に基づき説明する。

本発明の一実施形態に係る液体ポンプの斜視図である。図１の液体ポンプの正面図である。図２のIII－III線に沿う断面図である。図２のＩＶ－ＩＶ線に沿う断面図である。図１の液体ポンプにおける第２ハウジングの正面図である。

　本発明の一実施形態に係る液体ポンプ１０は、図１及び図２に示すように、吸引側のチューブ（図示しない）を取付けるための吸引ノズル１２と、吐出側のチューブ（図示しない）を取付けるための吐出ノズル１４とを有するハウジング１６を備える。このハウジング１６内には、図３に示すように、２枚の圧電素子を有する膜状振動子１８が配置されており、後述するように、圧電素子に交流電圧を印加して膜状振動子１８を周期的に振動させることにより、液体を吸引ノズル１２の吸引口２０から吸引して吐出ノズル１４の吐出口２２から吐出するようになっている。当該液体ポンプ１０は、ハウジング１６に形成された４つのネジ取り付け穴２４に挿入されるネジ（図示しない）により他の装置等に取付けられるようになっており、ハウジング１６の下面１６ａを下側とし上面１６ｂを上側とする図１及び図２に示す姿勢で設置される。本明細書における「設置状態」とは、このような姿勢で設置されている状態を意味するものとする。

　図３に示すように、ハウジング１６内には、吸引口２０に連通した吸引側タンク部２６、吐出口２２に連通した吐出側タンク部２８、及びこれら吸引側タンク部２６と吐出側タンク部２８とに連通したポンプ室３０が形成されている。吸引側タンク部２６とポンプ室３０との間には吸引側チェック弁３２が配置され、この吸引側チェック弁３２は、吸引側タンク部２６からポンプ室３０に向かう流体は通すがその逆向きの流体は通さないようにされている。同様に、吐出側タンク部２８とポンプ室３０との間には吐出側チェック弁３４が配置され、この吐出側チェック弁３４はポンプ室３０から吐出側タンク部２８の側に向かう流体は通すがその逆向きの流体は通さないようにされている。ポンプ室３０を構成する壁の一部は、膜状振動子１８によって構成されている。膜状振動子１８は、圧電素子１８ａに電圧を印加することによりその電圧の極性に合わせた方向に屈曲するようになっており、周期的な電圧が印加されることにより当該液体ポンプ１０の設置状態における水平方向（図３の上下方向、図４の左右方向）に電圧の周期に合わせて屈曲して振動する振動壁部として機能する。膜状振動子１８が振動することにより、ポンプ室３０の容積は膨張と収縮とを周期的に繰り返す。膜状振動子１８が図４で見て右方に屈曲してポンプ室３０の容積が膨張したときには、ポンプ室３０内の圧力が低下して吸引側チェック弁３２が開状態となり吸引側タンク部２６内の液体がポンプ室３０内に引込まれる。このとき吐出側チェック弁３４は閉状態に維持されるため吐出側タンク部２８からポンプ室３０内に液体は流入しない。次に膜状振動子１８が図４で見て左方に屈曲してポンプ室３０の容積が収縮したときには、ポンプ室３０内の圧力が上昇して吐出側チェック弁３４が開状態となりポンプ室３０内の液体が吐出側タンク部２８内に送り出される。このとき吸引側チェック弁３２は閉状態に維持されるためポンプ室３０から吸引側タンク部２６内に液体は流入しない。このようにして膜状振動子１８が振動してポンプ室３０の容積の膨張と収縮とが繰り返されることにより、液体が吸引口２０から吸引されて吐出口２２から吐出されるようになる。

　ハウジング１６は、それぞれ全体として板状とされた第１ハウジング部３６、第２ハウジング部３８、及び第３ハウジング部４０からなる。第１ハウジング部３６と第２ハウジング部３８とは、第１ハウジング部３６から挿入されたネジ４２（図１、図２）により仮固定される。第２ハウジング部３８を第１ハウジング部３６との間に挟むようにして第３ハウジング部４０を重ね合わせた状態で、第３ハウジング部４０の側から４つのネジ（図示しない）を挿入して第１ハウジング部３６に螺合することにより、第１ハウジング部３６と第２ハウジング部３８と第３ハウジング部４０とが相互に連結固定されるようになっている。膜状振動子１８は、第２ハウジング部３８と第３ハウジング部４０との間に挟まれて保持されている。

　第１ハウジング部３６は、それぞれ第２ハウジング部３８に向かって開口する第１吸引側タンク凹部２６ａ及び第１吐出側タンク凹部２８ａを有する。また、第２ハウジング部３８は、それぞれ第１ハウジング部３６に向かって開口する第２吸引側タンク凹部２６ｂ及び第２吐出側タンク凹部２８ｂを有する。吸引側タンク部２６は、互いに対向する第１吸引側タンク凹部２６ａと第２吸引側タンク凹部２６ｂとにより形成され、吐出側タンク部２８は、互いに対向する第１吐出側タンク凹部２８ａと第２吐出側タンク凹部２８ｂとにより形成されている。第２ハウジング部３８にはさらに、第３ハウジング部４０に向かって開口するポンプ室凹部３０ａと、第２吸引側タンク凹部２６ｂとポンプ室凹部３０ａとを連通する吸引側連通路４４と、第２吐出側タンク凹部２８ｂとポンプ室凹部３０ａとを連通する吐出側連通路４６とが形成されている。上述の吸引側チェック弁３２は、吸引側連通路４４のポンプ室３０側の開口部４４ｂを覆って閉じるように配置されており、ポンプ室３０の圧力が低下したときに開口部４４ｂを覆っている部分が開口部４４ｂから離れるように変形して該開口部４４ｂが開いた状態となる。また吐出側チェック弁３４は、吐出側連通路４６の第２吐出側タンク凹部２８ｂ側の開口部４６ａを覆って閉じるように配置され、ポンプ室３０の圧力が上昇したときに該開口部４６ａを覆っている部分が開口部４６ａから離れるように変形して該開口部４６ａが開いた状態となる。ポンプ室３０は、第２ハウジング部３８に形成されたポンプ室凹部３０ａと膜状振動子１８とにより構成される。

　図４から分かるように、吐出側タンク部２８は、当該液体ポンプ１０の設置状態における水平方向（図４で見て左右方向）で互いに対向する第１内側面２８ｃと第２内側面２８ｄとを有する。第１内側面２８ｃは第１ハウジング部３６に形成された第１吐出側タンク凹部２８ａの底面であり、第２内側面２８ｄは第２ハウジング部３８に形成された第２吐出側タンク凹部２８ｂの底面である。第１内側面２８ｃには吐出口２２が形成され、第２内側面２８ｄには吐出側連通路４６の開口部４６ａが形成されている。吐出口２２と吐出側連通路４６とは、吐出側タンク部２８の上下方向での中心位置よりも下方において、互いに水平方向で見て重なる位置に配置されている。従って、吐出側タンク部２８の吐出口２２及び吐出側連通路４６よりも上側の空間は下側の空間よりも広くなっている。また、開口部４６ａの周りには該開口部４６ａを取り囲むようにして第２内側面２８ｄから第１内側面２８ｃに向かって水平方向に突出した円筒状隔壁部４８が設けられている。円筒状隔壁部４８は、吐出側タンク部２８内で第１内側面２８ｃに至る途中まで突出し、第１内側面２８ｃとの間には間隔があけられている。

　吸引側タンク部２６も、吐出側タンク部２８と同様の構成を有する。すなわち、当該液体ポンプ１０の設置状態における水平方向で互いに対向する第１内側面２６ｃと第２内側面２６ｄとを有する。第１内側面２６ｃは第１ハウジング部３６に形成された第１吸引側タンク凹部２６ａの底面であり、第２内側面２６ｄは第２ハウジング部３８に形成された第２吸引側タンク凹部２６ｂの底面である。第１内側面２６ｃには吸引口２０が形成され、第２内側面２６ｄには吸引側連通路４４の開口部４４ａが形成されている。吸引口２０と吸引側連通路４４とは、吸引側タンク部２６の上下方向での中心位置よりも下方において、互いに水平方向で見て重なる位置に配置されている。従って、吸引側タンク部２６の吸引口２０及び吸引側連通路４４よりも上側の空間は下側の空間よりも広くなっている。また、開口部４４ａの周りには該開口部４４ａを取り囲むようにして第２内側面２６ｄから第１内側面２６ｃに向かって水平方向に突出した円筒状隔壁部５０が設けられている。円筒状隔壁部５０は、吸引側タンク部２６内で第１内側面２６ｃに至る途中まで突出し、第１内側面２６ｃとの間には間隔があけられている。

　吸引側タンク部２６と吐出側タンク部２８とは、図５に示すように、中央がやや窪んだ半円状の形状を有し、互いに対して左右対称な形状となっている。

　膜状振動子１８に交流電圧を印加して該膜状振動子１８を振動させると、上述のように液体が吸引口２０から吸引され、吸引側タンク部２６と吐出側タンク部２８とは液体で満たされていく。しかし、ある程度まで満たされると、それ以上は液面が上昇しなくなり、吸引側タンク部２６と吐出側タンク部２８のそれぞれの上部の空間に、図５に示すように空気溜りＡ１、Ａ２が形成される。図４に示すように、吐出側タンク部２８内の円筒状隔壁部４８は、このとき形成される空気溜りＡ２よりも下側となるように配置されており、円筒状隔壁部４８のうちの吐出側連通路４６の開口部４６ａの上側位置にある部分４８ａが空気溜りＡ２の側から見て開口部４６ａを覆うようになっている。すなわち、該部分４８ａが吐出側連通路４６の開口部４６ａと空気溜りＡ２との間に位置するようになっている。

　吐出口２２から吐出される液体の流量は、膜状振動子１８に加える交流電圧の電圧を大きくして膜状振動子１８の振幅を大きくするか、又は交流電圧の周波数を大きくして膜状振動子１８の振動周期を速くすることにより、増加させることができる。当該液体ポンプ１０は、通常２０Ｈｚから１２０Ｈｚ程度の周波数で駆動される。このような振動子を用いた液体ポンプにおいては、振動周波数を速くすると、特に吐出側タンク部内において高周波の圧力振動が生じて空気溜りとの間の液面が激しく振動して泡が形成されることがある。当該液体ポンプ１０においても１００Ｈｚ以上の周波数で駆動した場合には液面Ｌ２に泡が生じることがある。従来の液体ポンプにおいては、このように生じた泡が液体中に拡散して吐出口付近にまで至り、液体とともに吐出口から排出されてしまっていた。それに対して当該液体ポンプ１０においては、円筒状隔壁部４８の少なくとも一部が吐出側連通路４６と空気溜りＡ２との間に形成されているため、発生した泡が円筒状隔壁部４８よりも下方にまで拡散して吐出口２２から吐出されることが抑止される。従って当該液体ポンプ１０においては、比較的に高い周波数で駆動しても空気溜りＡ２の空気が排出されることがほとんどなく、空気溜りＡ２の大きさを一定に維持することが可能となる。これにより、空気溜りＡ２の減少により吐出能力が低下することを防止することが可能となる。

　なお、円筒状隔壁部４８によって空気排出を防止する効果が得られる理由は種々あるが、最も大きな要因は、発生した泡が下方に移動することを円筒状隔壁部４８が障害物となって物理的に妨げていることにあると考えられる。また、円筒状隔壁部４８がない場合には、吐出側連通路４６から吐出側タンク部２８内に流入する液体は吐出側チェック弁３４によって吐出側タンク部２８の第２内側面２８ｄに沿う方向に向きを変えられるため、吐出側連通路４６から上方に向かう流れが形成される。この上方への流れは液面Ｌ２に達したときに第１内側面２８ｃ側に向きを変え、さらに第１内側面２８ｃに沿って下方に向かう流れとなる。そうすると、液面Ｌ２付近で発生した泡はこの流れにのって第１内側面２８ｃに沿って下方に運ばれて吐出口２２にまで至るようになると考えられる。これに対して、本願発明に係る液体ポンプ１０では円筒状隔壁部４８を設けることで、上述のような第２内側面２８ｄに沿って上方に向かう流れが妨げられて、液体の流れは吐出側連通路４６から直接吐出口２２に向かうようになる。しがたって、泡を伴って液面Ｌ２から下降するような流れが生じにくくなるため、泡の下方への拡散が抑止されて空気溜りＡ２の空気が排出されることが防止されているとも考えられる。さらには、吐出側連通路４６の開口部４６ａから放出される液体の振動が一度円筒状隔壁部４８にぶつかるため、液面Ｌ２には振動が直接には到達しないようになる。これにより泡の発生自体を抑止する効果もあると考えられる。

　本願発明は上記実施形態に限定されるものではなく、種々の変更が可能である。例えば、吐出側タンク部２８内の円筒状隔壁部４８を円筒以外の、例えば四角形の筒形状としてもよいし、吐出側連通路４６の上側位置において水平方向に真っ直ぐに伸びる平板状の隔壁部としてもよい。隔壁部は、吐出口２２と吐出側連通路４６の開口部４６ａとの少なくとも上側位置で空気溜りＡ２の側から見て開口部４６ａを覆うように配置されていればよく、その限りにおいては筒形状や平板形状以外の他の形状としてもよい。また、ポンプ室３０を構成する壁の一部である振動壁部は、圧電素子を有する膜状振動子１８以外のアクチュエータにより構成してもよい。さらには、吸引側タンク部２６内の液面Ｌ１においては泡が発生することは実際にはあまりないため、吸引側タンク部２６内の円筒状隔壁部５０は必ずしも必要ではないし、吸引性能の安定性がそれほど問題にならない場合には、吸引側タンク部２６は空気溜りＡ１が形成されないような形状としてもよいし、又は吸引側タンク部２６自体を無くしてもよい。

液体ポンプ１０；吸引ノズル１２；吐出ノズル１４；ハウジング１６；下面１６ａ；上面１６ｂ；膜状振動子１８；圧電素子１８ａ；吸引口２０；吐出口２２；ネジ取り付け穴２４；吸引側タンク部２６；第１吸引側タンク凹部２６ａ；第２吸引側タンク凹部２６ｂ；吐出側タンク部２８；第１吐出側タンク凹部２８ａ；第２吐出側タンク凹部２８ｂ；第１内側面２８ｃ；第２内側面２８ｄ；ポンプ室３０；ポンプ室凹部３０ａ；吸引側チェック弁３２；吐出側チェック弁３４；第１ハウジング部３６第２ハウジング部３８；第３ハウジング部４０；ネジ４２；吸引側連通路４４；（吸引側タンク部２８側の）開口部４４ａ；（ポンプ室３０側の）開口部４４ｂ；吐出側連通路４６；開口部４６ａ；円筒状隔壁部４８；上側位置にある部分４８ａ；円筒状隔壁部５０；空気溜りＡ１、Ａ２；液面Ｌ１、Ｌ２

Claims

　液体を吸引する吸引口と、
　該吸引口に連通するポンプ室であって、当該ポンプ室を画定している壁の一部が当該ポンプ室の容積を変動させるように振動可能な振動壁部であるポンプ室と、
　該ポンプ室から延びる吐出側連通路と、
　該吐出側連通路を介して該ポンプ室に連通し該ポンプ室から送り出された液体を貯留する吐出側タンク部と、
　該吐出側タンク部と該ポンプ室との間において、該ポンプ室から該吐出側タンク部に向かう流体は通すがその逆向きの流体は通さないように配置された吐出側チェック弁と、
　該吐出側タンク部内の液体を吐出する吐出口と、
　を備え、該振動壁部の振動に伴って液体を該吸引口から吸引して該吐出口から吐出するようにされた液体ポンプであって、
　該吐出側タンク部は、当該液体ポンプの設置状態における水平方向で互いに対向する第１及び第２内側面を有し、該第１内側面に該吐出口が形成され、該第２内側面に該吐出側連通路の開口部が形成されていて、該吐出側タンク部内の該吐出側連通路の開口部及び該吐出口よりも上側の空間に空気溜りが形成されるようにされており、
　該吐出側タンク部内において該吐出側連通路の開口部の少なくとも上側位置で該空気溜り側から見て該開口部を覆うようにして該第２内側面から該第１内側面に向かって突出する隔壁部をさらに有する、液体ポンプ。
　該隔壁部と該第１内側面との間に間隔があけられている、請求項１に記載の液体ポンプ。
　該隔壁部が該吐出側連通路の該開口部の周りを取り囲むようにして該第２内側面から突出した筒状隔壁部である、請求項２に記載の液体ポンプ。
　該吐出側連通路の開口部と該吐出口とが、該吐出側タンク部の上下方向での中心位置よりも下方に配置されている、請求項１乃至３のいずれか一項に記載の液体ポンプ。
　それぞれ全体として板状とされた、第１ハウジング部、第２ハウジング部、及び第３ハウジング部からなるハウジングであって、該第１ハウジング部と該第３ハウジング部とによって該第２ハウジング部を挟んだ状態で相互に重ね合わせるようにして形成されたハウジングを備え、
　該第１ハウジング部は、該吸引口と該吐出口とを有し、さらに該第１内側面を底面とし該第２ハウジング部に向かって開口する第１吐出側タンク凹部を有しており、
　該第２ハウジング部は、該第２内側面を底面とし該第１ハウジング部に向かって開口する第２吐出側タンク凹部と、該第２吐出側タンク凹部の反対側で該第３ハウジング部に向かって開口するポンプ室凹部とを有しており、
　該振動壁部が、該第２ハウジング部と該第３ハウジング部との間に挟持されて該ポンプ室凹部の開口した部分を覆うようにされた膜状振動子であり、
　該吐出側タンク部が該第１吐出側タンク凹部と該第２吐出側タンク凹部とにより構成されている、請求項１乃至４のいずれか一項に記載の液体ポンプ。
　該吸引口と該ポンプ室との間に配置され、該吸引口から吸引された液体を貯留する吸引側タンク部と、
　該吸引側タンク部と該ポンプ室とを連通する吸引側連通路と、
　該吸引側連通路の該ポンプ室側の開口部を該ポンプ室側から覆うように配置され、該吸引側タンク部から該ポンプ室に向かう流体は通すがその逆向きの流体は通さないようにされた吸引側チェック弁と、をさらに備え、
　該吸引側タンク部は、当該液体ポンプの設置状態における水平方向で互いに対向する第１及び第２内側面を有し、該吸引側タンクの該第１内側面に該吸引口が形成され、該吸引側タンクの該第２内側面に該吸引側連通路の該吸引側タンク部側の開口部が形成されていて、該吸引側タンク部内の該開口部及び該吸引口よりも上側の空間に空気溜りが形成されるようにされており、
　該吸引側タンク部内において該吸引側タンク側の該開口部の少なくとも上側位置で該空気溜り側から見て該吸引側タンク側の該開口部を覆うように該吸引側タンクの該第２内側面から該吸引側タンクの該第１内側面に向かって突出する隔壁部をさらに有する、請求項１乃至５のいずれか一項に記載の液体ポンプ。