KR20150085612A - 마이크로 펌프 - Google Patents

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KR20150085612A
KR20150085612A KR1020140005457A KR20140005457A KR20150085612A KR 20150085612 A KR20150085612 A KR 20150085612A KR 1020140005457 A KR1020140005457 A KR 1020140005457A KR 20140005457 A KR20140005457 A KR 20140005457A KR 20150085612 A KR20150085612 A KR 20150085612A
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pressure chamber
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valve
micropump
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KR1020140005457A
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김상진
구보성
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삼성전기주식회사
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Abstract

본 발명의 마이크로 펌프는 기판; 상기 기판에 형성되는 압력실; 및 상기 압력실과 연결되고, 상기 압력실의 반경 방향에 대해 수직 방향으로 연장되는 연결 유로;를 포함할 수 있다.

Description

마이크로 펌프{Micro pump device}
본 발명은 미세 유량을 유동시키는 마이크로 펌프에 관한 것이다.
신약개발 및 신약에 대한 안정성을 실험하기 위해서는 신약(즉, 약물)과 세포 간의 반응을 관찰하는 것이 필수적이다. 일반적으로 약물과 세포 간의 반응실험은 배양 접시 등을 이용하여 이루어진다.
그러나 배양 접시 내에서 이루어지는 약물과 세포 간의 반응은 체내에서 이루어지는 약물과 세포 간의 반응과 매우 상이하므로, 배양 접시를 이용한 실험결과만으로는 약물과 세포 간의 반응을 정확하게 관찰 또는 검사하기 어렵다. 따라서, 체내와 유사한 환경에서 약물과 세포 간의 반응을 관찰할 수 있는 새로운 장치의 개발이 필요하다.
이를 위해 발명자는 배양액을 순환시키는 기술을 개발하였다. 그런데 세포의 원활한 배양을 위해서는 미량의 배양액을 일정하게 공급해야 하므로, 미량의 유체를 일정하게 공급할 수 있는 마이크로 펌프의 개발이 필요하다.
한편, 마이크로 펌프와 관련된 선행기술로는 특허문헌 1 및 2가 있다.
KR 2008-070358 A JP 2007-278236 A
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 미량의 유체를 일정하게 공급할 수 있는 마이크로 펌프를 제공하는데 그 목적이 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 실시 예에 따른 마이크로 펌프는 기판; 상기 기판에 형성되는 압력실; 및 상기 압력실과 연결되고, 상기 압력실의 반경 방향에 대해 수직 방향으로 연장되는 연결 유로;를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시 예에 따른 마이크로 펌프에서 상기 압력실은 원 또는 타원 또는 하나 이상의 곡률 반지름을 갖는 곡선으로 이루지는 형태일 수 있다.
본 발명의 일 실시 예에 따른 마이크로 펌프에서 상기 연결 유로는 하나 이상의 돌연 확대부를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시 예에 따른 마이크로 펌프에서 상기 연결 유로는 상기 돌연 확대부에서 상기 압력실과 연결될 수 있다.
본 발명의 일 실시 예에 따른 마이크로 펌프는 상기 기판에 형성되고, 상기 연결 유로와 연결되는 유입구 및 배출구가 형성되는 상부 기판을 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시 예에 따른 마이크로 펌프는 상기 기판에 형성되는 압전 액추에이터를 포함할 수 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 다른 실시 예에 따른 마이크로 펌프는 기판; 상기 기판에 형성되는 압력실; 및 상기 압력실과 연결되고, 곡선 형태로 이루어지는 연결 유로;를 포함할 수 있다.
본 발명의 다른 실시 예에 따른 마이크로 펌프에서 상기 압력실은 원 또는 타원 또는 하나 이상의 곡률 반지름을 갖는 곡선으로 이루지는 형태일 수 있다.
본 발명의 다른 실시 예에 따른 마이크로 펌프에서 상기 연결 유로는 상기 압력실과 외접하는 곡선으로 이루어질 수 있다.
본 발명의 다른 실시 예에 따른 마이크로 펌프에서 상기 연결 유로는 상기 압력실과 내접하는 곡선으로 이루어질 수 있다.
본 발명의 다른 실시 예에 따른 마이크로 펌프에서 상기 연결 유로는 하나 이상의 돌연 확대부를 포함할 수 있다.
본 발명의 다른 실시 예에 따른 마이크로 펌프에서 상기 연결 유로는 상기 돌연 확대부에서 상기 압력실과 연결될 수 있다.
본 발명의 다른 실시 예에 따른 마이크로 펌프는 상기 기판에 형성되고, 상기 연결 유로와 연결되는 유입구 및 배출구가 형성되는 상부 기판을 포함할 수 있다.
본 발명의 다른 실시 예에 따른 마이크로 펌프는 상기 기판에 형성되는 압전 액추에이터를 포함할 수 있다.
본 발명은
도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 마이크로 펌프의 분리 사시도이고,
도 2는 도 1에 도시된 기판의 저면도이고,
도 3은 도 1에 도시된 마이크로 펌프의 결합 사시도이고,
도 4는 도 3에 도시된 마이크로 펌프의 단면도이고,
도 5는 도 4에 도시된 A 부분의 확대도이고,
도 6은 도 5에 도시된 밸브의 평면도이고,
도 7은 도 4에 도시된 B 부분의 확대도이고,
도 8은 도 7에 도시된 밸브의 평면도이고,
도 9는 본 발명의 다른 실시 예에 따른 마이크로 펌프의 분리 사시도이고,
도 10은 도 9에 도시된 기판의 저면도이고,
도 11은 도 9에 도시된 기판의 다른 형태를 나타낸 저면도이다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시 예를 첨부된 예시도면에 의거하여 상세히 설명한다.
아래에서 본 발명을 설명함에 있어서, 본 발명의 구성요소를 지칭하는 용어들은 각각의 구성요소들의 기능을 고려하여 명명된 것이므로, 본 발명의 기술적 구성요소를 한정하는 의미로 이해되어서는 안 될 것이다.
아울러, 명세서 전체에서, 어떤 구성이 다른 구성과 '연결'되어 있다 함은 이들 구성들이 '직접적으로 연결'되어 있는 경우뿐만 아니라, 다른 구성을 사이에 두고 '간접적으로 연결'되어 있는 경우도 포함하는 것을 의미한다. 또한, 어떤 구성요소를 '포함'한다는 것은, 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있다는 것을 의미한다.
도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 마이크로 펌프의 분리 사시도이고, 도 2는 도 1에 도시된 기판의 저면도이고, 도 3은 도 1에 도시된 마이크로 펌프의 결합 사시도이고, 도 4는 도 3에 도시된 마이크로 펌프의 단면도이고, 도 5는 도 4에 도시된 A 부분의 확대도이고, 도 6은 도 5에 도시된 밸브의 평면도이고, 도 7은 도 4에 도시된 B 부분의 확대도이고, 도 8은 도 7에 도시된 밸브의 평면도이고, 도 9는 본 발명의 다른 실시 예에 따른 마이크로 펌프의 분리 사시도이고, 도 10은 도 9에 도시된 기판의 저면도이고, 도 11은 도 9에 도시된 기판의 다른 형태를 나타낸 저면도이다.
도 1 내지 도 3을 참조하여 일 실시 예에 따른 마이크로 펌프(100)를 설명한다.
본 실시 예에 따른 마이크로 펌프(100)는 바닥 기판(110), 유로 형성 기판(120), 밸브 기판(140)을 포함할 수 있다. 아울러, 마이크로 펌프(100)는 필요에 따라 액추에이터(150)를 더 포함할 수 있다. 여기서, 바닥 기판(110), 유로 형성 기판(120) 및 밸브 기판(140)은 순차적으로 적층될 수 있다.
바닥 기판(110)은 마이크 펌프(100)의 기저부를 형성할 수 있다. 바닥 기판(110)은 단결정의 실리콘 또는 SOI(Silicon on insulator) 기판으로 이루어질 수 있다. 이 경우 바닥 기판(110)은 실리콘 기판과 다수의 절연 부재가 적층된 적층 구조물일 수 있다.
유로 형성 기판(120)은 유체(예를 들어, 배양액 또는 약물)가 이송되는 유로가 형성되는 기판일 수 있다. 이를 위해 유로 형성 기판(120)의 제1면(도 1 기준으로 상면)에는 제1연결 구멍(132)과 제2연결 구멍(134)이 형성될 수 있고, 제2면(도 1 기준으로 하면)에는 압력실(122)과 연결 유로(124)가 형성될 수 있다.
압력실(126)은 일정량의 유체를 수용할 수 있는 체적을 가질 수 있다. 예를 들어, 압력실(126)은 제1크기의 압력을 생성할 수 있는 체적을 가질 수 있다. 아울러, 압력실(126)은 필요에 따라 체적이 변경되도록 구성될 수 있다. 예를 들어, 압력실(126)은 압전 액추에이터(150)에 의해 그 체적이 확장되거나 또는 축소될 수 있다. 이를 위해 압력실(126)의 일 면에는 압전 액추에이터(150)가 형성될 수 있다. 압력실(126)은 도 2에 도시된 바와 같이 대체로 원형일 수 있다. 그러나 압력실(126)의 단면 형상이 원형으로 한정되는 것은 아니다. 예를 들어, 압력실(126)의 단면 형상은 타원 또는 정형 또는 비정형의 형태로 이루어질 수 있다.
연결 유로(124)는 제1연결 구멍(132)과 제2연결 구멍(134)을 연결할 수 있다. 예를 들어, 연결 유로(124)는 제1연결 구멍(132)과 제2연결 구멍(134)을 연결하는 직선 형태일 수 있다. 일 예로, 연결 유로(124)는 원형의 압력실(122)에 대해 접선방향으로 연장되는 직선 형태일 수 있다. 즉, 압력실(122)의 중심으로부터 직선(N)으로 연장되는 수직선(V)은 압력실(126)의 반지름(R)과 대체로 동일한 크기를 가질 수 있다.
연결 유로(124)는 하나 이상의 돌연 확대부(126, 128)를 가질 수 있다. 예를 들어, 연결 유로(124)에는 2개의 돌연 확대부(126, 128)가 형성될 수 있다. 여기서, 제1돌연 확대부(126)는 제1연결 구멍(132)과 압력실(122)을 연결하는 구간에 형성되고, 제2돌연 확대부(128)는 압력실(122)과 제2연결 구멍(134)을 연결하는 구간에 형성될 수 있다. 그러나 돌연 확대부(126, 128)의 수와 형성 위치가 전술된 형태로 한정되는 것은 아니다. 예를 들어, 돌연 확대부는 증감될 수 있으며, 형성위치도 변경될 수 있다.
제1돌연 확대부(126)는 제1연결 구멍(132)으로부터 압력실(122)로 갈수록 그 단면적이 점차 커지는 형태일 수 있다. 예를 들어, 제1돌연 확대부(126)는 제1연결 구멍(132)으로부터 압력실(122)로 갈수록 넓어지는 삼각형 형태일 수 있다.
제2돌연 확대부(128)는 압력실(122)로부터 제2연결 구멍(134)으로 갈수록 그 단면적이 점차 커지는 형태일 수 있다. 예를 들어, 제2돌연 확대부(128)는 압력실(122)로부터 제2연결 구멍(134)으로 갈수록 넓어지는 삼각형 형태일 수 있다.
위와 같은 연결 유로(124)의 형태는 제2연결 구멍(134)으로부터 제1연결 구멍(132)으로 유체가 역류하는 현상을 최소화 또는 방지할 수 있다. 참고로, 상기연결 유로(124)는 유체의 역류를 최소화 또는 방치할 수 있다면 다른 형태로도 변경될 수 있다.
유로 형성 기판(120)은 바닥 기판(110)과 마찬가지로 단결정의 실리콘 또는 SOI(Silicon on insulator) 기판으로 이루어질 수 있다. 이와 같이 형성된 유로 형성 기판(120)은 소성 공정을 거쳐 바닥 기판(110)과 일체로 형성될 수 있다.
밸브 기판(140)은 유로 형성 기판(120)의 일면에 형성될 수 있으며, 유로 형성 기판(120)을 흐르는 유체의 이동을 제어할 수 있다. 이를 위해 밸브 기판(140)은 하나 이상의 밸브(210, 220)를 포함할 수 있다.
밸브 기판(140)에는 제1구멍(142)과 제2구멍(144)이 형성될 수 있다. 여기서, 제1구멍(142)은 유로 형성 기판(120)의 제1연결 구멍(132)과 연결될 수 있고, 제2구멍(144)은 유로 형성 기판(120)의 제2연결 구멍(134)과 연결될 수 있다.
밸브(210, 220)는 제1구멍(142)와 제2구멍(144)에 각각 설치될 수 있다. 부연 설명하면, 제1밸브(210)는 제1구멍(142)에 설치되고, 제2밸브(220)는 제2구멍(144)에 설치될 수 있다. 한편, 본 실시 예에서는 제1구멍(142)과 제2구멍(144)에 모두 밸브가 설치되는 것으로 설명하였으나, 필요에 따라 하나의 구멍에만 밸브를 설치할 수 있다.
밸브 기판(140)은 플라스틱 또는 합성 수지 재질로 제작될 수 있다. 이 경우, 밸브 기판(140)의 가공 및 밸브(210, 220)의 가공이 용이하므로 밸브 기판(140)의 제작 비용을 절감할 수 있다. 그러나 필요에 따라 밸브 기판(140)을 실리콘 기판으로 제작하고, 밸브(210, 220)만 플라스틱 또는 합성 수지 재질로 제작할 수 있다.
압전 액추에이터(150)는 유로 형성 기판(120)에 형성될 수 있다. 부연 설명하면, 압전 액추에이터(150)는 유로 형성 기판(120)의 일면(도 1 기준으로 상면)에 형성될 수 있다. 압전 액추에이터(150)는 하부 전극, 압전 소자, 상부 전극으로 이루어질 수 있다. 부연 설명하면, 하부 전극은 유로 형성 기판(120)의 상면에 형성되고, 압전 소자는 하부 전극의 상면에 형성되고, 상부 전극은 압전 소자의 상면에 형성될 수 있다. 이와 같이 구성된 압전 액추에이터(150)는 상부 전극과 하부 전극을 통해 공급되는 전류 신호에 의해 압전 소자가 변형됨에 따라 구동력을 발생시킬 수 있다. 여기서, 압전 액추에이터(150)의 구동력은 유로 형성 기판(120)의 압력실(126)에 전달되어 유체의 유동을 일으킬 수 있다.
이와 같이 구성된 마이크로 펌프(100)는 밸브(210, 220)를 통해 유체의 이동이 일 방향으로만 이루어지도록 할 수 있다. 도 4 내지 도 8을 참조하여 이와 관련된 부분을 설명한다.
마이크로 펌프(100)의 입구측(도 4에서 B로 표시된 부분)은 도 5에 도시된 바와 같이 구성될 수 있다. 예를 들어, 유로 형성 기판(120)의 제1연결 구멍(132)은 제1지름(D1)의 크기를 가질 수 있다. 아울러, 밸브 기판(140)의 제1구멍(142)은 제2지름(D2)의 크기를 가질 수 있다. 여기서, 제1지름(D1)은 제2지름(D2)보다 클 수 있다. 아울러, 밸브 기판(140)의 하면에는 제1밸브(210)가 수용될 수 있는 제1공간(146)이 형성될 수 있다.
제1밸브(210)는 제1공간(146)에 설치될 수 있다. 제1밸브(210)는 제1공간(146)의 높이방향(도 5 기준임)을 따라 상하 이동하며 제1구멍(142)을 폐쇄할 수 있다. 이를 위해 제1밸브(210)는 도 6에 도시된 바와 같이 복수의 배출 구멍(212)이 형성될 수 있다. 여기서, 복수의 배출 구멍(212)과 내접하는 원의 지름(D6)은 제1구멍(142)의 제2지름(D2)보다 클 수 있다. 아울러, 복수의 배출 구멍(212)과 외접하는 원의 지름(D5)은 제1구멍(142)의 제2지름(D2)보다 크나 제1연결 구멍(132)의 제1지름(D1)보다 작을 수 있다.
이와 같이 구성된 마이크로 펌프(100)는 다음과 같은 방법으로 유체의 유입이 이루어질 수 있다.
유체가 제1구멍(142)으로부터 제1연결 구멍(132)으로 이동하면, 제1밸브(210)가 하방으로 이동함에 따라 배출 구멍(212)이 개방되어 유체의 이동이 허용될 수 있다. 이와 달리 유체가 제1연결 구멍(132)으로부터 제1구멍(142)으로 이동하면, 제1밸브(210)가 상방으로 이동함에 따라 제1구멍(142)이 폐쇄되므로 유체의 이동이 차단될 수 있다.
마이크로 펌프(100)의 출구측(도 4에서 C로 표시된 부분)은 도 7에 도시된 바와 같이 구성될 수 있다. 예를 들어, 유로 형성 기판(120)의 제2연결 구멍(134)은 제3지름(D3)의 크기를 가질 수 있다. 아울러, 밸브 기판(140)의 제2구멍(144)은 제4지름(D4)의 크기를 가질 수 있다. 여기서, 제3지름(D3)은 제4지름(D4)보다 작을 수 있다. 아울러, 밸브 기판(140)의 하면에는 제2밸브(220)가 수용될 수 있는 제2공간(148)이 형성될 수 있다.
제2밸브(220)는 제2공간(148)에 설치될 수 있다. 제2밸브(220)는 제2공간(148)의 높이방향(도 7 기준임)을 따라 상하 이동하며 제2연결 구멍(134)을 폐쇄할 수 있다. 이를 위해 제2밸브(220)는 도 8에 도시된 바와 같이 복수의 배출 구멍(222)을 구비할 수 있다. 여기서, 복수의 배출 구멍(222)과 내접하는 원의 지름(D8)은 제2연결 구멍(134)의 제3지름(D3)보다 클 수 있고, 복수의 배출 구멍(222)과 외접하는 원의 지름(D7)은 제2구멍(144)의 제4지름(D4)보다 작을 수 있다.
이와 같이 구성된 마이크로 펌프(100)는 다음과 같은 방법으로 유체의 배출이 이루어질 수 있다.
유체가 제2연결 구멍(134)으로부터 제2구멍(144)으로 이동하면, 제2밸브(220)가 상방으로 이동함에 따라 배출 구멍(222)이 개방되어 유체의 이동을 허용할 수 있다. 이와 달리 유체가 제2구멍(144)으로부터 제2연결 구멍(134)으로 이동하면, 제2밸브(220)가 하방으로 이동함에 따라 배출 구멍(222)이 폐쇄되므로 유체의 이동이 차단될 수 있다.
위와 같이 구성된 마이크로 펌프(100)는 제1연결 구멍(132)으로부터 제2연결 구멍(134)으로 이동하는 유체의 흐름이 압력실(122)에 의해 단절되지 않으므로 유체의 이동이 원활하게 이루어질 수 있다. 아울러, 본 마이크로 펌프(100)는 연결 유로(124)를 이동하는 유체에 의해 압력실(122)의 내부압력이 쉽게 낮아지므로 압력실(122)의 퍼징(purging)작업을 용이하게 수행할 수 있다.
아울러, 본 마이크로 펌프(100)는 전술된 밸브 구성에 의해 유체의 역류 현상을 효과적으로 차단할 수 있다. 아울러, 본 마이크로 펌프(100)는 밸브(210, 220)에 의해 유체의 이동방향이 제어되므로, 미량의 유체를 일정하게 이동시킬 수 있는 장점이 있다. 아울러, 본 마이크로 펌프(100)는 밸브(210, 220)가 형성되는 밸브 기판(140)만을 별도로 제작할 수 있으므로, 마이크로 펌프(100)의 제작공정을 간소화하고 마이크로 펌프(100)의 제작비용을 절감할 수 있다.
다음에서는 도 9 내지 도 11을 참조하여 다른 실시 예에 따른 마이크로 펌프(100)를 설명한다. 참고로, 이하의 실시 예에 대한 설명에서 전술된 실시 예와 동일한 구성요소는 동일한 도면부호를 사용하고, 이들 구성요소에 대한 상세한 설명은 생략한다.
본 실시 예에 따른 마이크로 펌프(100)는 압력실(122) 및 연결 유로(124)의 형성 위치에 있어서 전술된 실시 예와 구별될 수 있다. 예를 들어, 본 실시 예에서 압력실(122) 및 연결 유로(124)는 도 9에 도시된 바와 같이 유로 형성 기판(120)의 상면에 형성될 수 있다.
이와 같이 형성된 마이크로 펌프(100)는 바닥 기판(110)을 생략시킬 수 있으므로, 마이크로 펌프(100)의 제조공정을 간소화하고 제조비용을 감소시킬 수 있다.
아울러, 본 실시 예에 따른 마이크로 펌프(100)는 연결 유로(124)의 형태에 있어서 전술된 실시 예와 구별될 수 있다. 예를 들어, 본 실시 예의 마이크로 펌프(100)는 도 10 및 도 11에 도시된 바와 같이 연결 유로(124)는 원형인 압력실(122)과 대체로 외접하거나 또는 내접하는 곡선(R1, R2)형태로 형성될 수 있다.
이와 같이 형성된 마이크로 펌프(100)는 기판의 크기를 변경하지 않으면서 연결 유로(124)의 길이를 확장시킬 수 있는 장점이 있다. 특히, 후자는 압력실(122)과 연결 유로(124)를 제한된 영역에 집중시킬 수 있으므로, 마이크로 펌프(100)의 소형화에 유리할 수 있다.
본 발명은 이상에서 설명되는 실시 예에만 한정되는 것은 아니며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이하의 특허청구범위에 기재된 본 발명의 기술적 사상의 요지를 벗어나지 않는 범위에서 얼마든지 다양하게 변경하여 실시할 수 있을 것이다. 예를 들어, 전술된 실시형태에 기재된 다양한 특징사항은 그와 반대되는 설명이 명시적으로 기재되지 않는 한 다른 실시형태에 결합하여 적용될 수 있다.
100 마이크로 펌프
110 바닥 기판
120 (유로 형성) 기판
122 압력실
124 연결 유로
126, 128 돌연 확대부
132 제1연결 구멍
134 제2연결 구멍
140 밸브 기판 또는 상부 기판
142 제1구멍 144 제2구멍
146 (밸브 기판의) 제1공간
148 (밸브 기판의) 제2공간
150 액추에이터
210 제1밸브 212 (제1밸브의) 배출 구멍
220 제2밸브 222 (제2밸브의) 배출 구멍

Claims (14)

  1. 기판;
    상기 기판에 형성되는 압력실; 및
    상기 압력실과 연결되고, 상기 압력실의 반경 방향에 대해 수직 방향으로 연장되는 연결 유로;
    를 포함하는 마이크로 펌프.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 압력실은 원 또는 타원 또는 하나 이상의 곡률 반지름을 갖는 곡선으로 이루지는 형태인 마이크로 펌프.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 연결 유로는 하나 이상의 돌연 확대부를 포함하는 마이크로 펌프.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 연결 유로는 상기 돌연 확대부에서 상기 압력실과 연결되는 마이크로 펌프.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 기판에 형성되고, 상기 연결 유로와 연결되는 유입구 및 배출구가 형성되는 상부 기판을 포함하는 마이크로 펌프.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 기판에 형성되는 압전 액추에이터를 포함하는 마이크로 펌프.
  7. 기판;
    상기 기판에 형성되는 압력실; 및
    상기 압력실과 연결되고, 곡선 형태로 이루어지는 연결 유로;
    를 포함하는 마이크로 펌프.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 압력실은 원 또는 타원 또는 하나 이상의 곡률 반지름을 갖는 곡선으로 이루지는 형태인 마이크로 펌프.
  9. 제7항에 있어서,
    상기 연결 유로는 상기 압력실과 외접하는 곡선으로 이루어지는 마이크로 펌프.
  10. 제7항에 있어서,
    상기 연결 유로는 상기 압력실과 내접하는 곡선으로 이루어지는 마이크로 펌프.
  11. 제7항에 있어서,
    상기 연결 유로는 하나 이상의 돌연 확대부를 포함하는 마이크로 펌프.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 연결 유로는 상기 돌연 확대부에서 상기 압력실과 연결되는 마이크로 펌프.
  13. 제7항에 있어서,
    상기 기판에 형성되고, 상기 연결 유로와 연결되는 유입구 및 배출구가 형성되는 상부 기판을 포함하는 마이크로 펌프.
  14. 제7항에 있어서,
    상기 기판에 형성되는 압전 액추에이터를 포함하는 마이크로 펌프.
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