WO2018074129A1 - スタッカクレーン - Google Patents

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WO2018074129A1
WO2018074129A1 PCT/JP2017/033696 JP2017033696W WO2018074129A1 WO 2018074129 A1 WO2018074129 A1 WO 2018074129A1 JP 2017033696 W JP2017033696 W JP 2017033696W WO 2018074129 A1 WO2018074129 A1 WO 2018074129A1
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WO
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mast
traveling
unit
traveling body
stacker crane
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Application number
PCT/JP2017/033696
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English (en)
French (fr)
Inventor
田中　博
Original Assignee
村田機械株式会社
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Publication date
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Priority to KR1020197010742A priority patent/KR102230179B1/ko
Priority to CN201780063827.9A priority patent/CN109863101A/zh
Priority to JP2018546198A priority patent/JP6766878B2/ja
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    • B66F9/06—Devices for lifting or lowering bulky or heavy goods for loading or unloading purposes movable, with their loads, on wheels or the like, e.g. fork-lift trucks
    • B66F9/07—Floor-to-roof stacking devices, e.g. "stacker cranes", "retrievers"
    • B66F9/072—Travelling gear therefor
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B66—HOISTING; LIFTING; HAULING
    • B66F—HOISTING, LIFTING, HAULING OR PUSHING, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR, e.g. DEVICES WHICH APPLY A LIFTING OR PUSHING FORCE DIRECTLY TO THE SURFACE OF A LOAD
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    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
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    • H01L21/67736—Loading to or unloading from a conveyor

Definitions

  • the present invention relates to a stacker crane.
  • Stacker cranes are used to transfer articles in facilities such as an automatic warehouse or an intrabay where processing devices are arranged (see, for example, Patent Document 1 below).
  • the stacker crane is, for example, a traveling body that travels along a track provided on the floor of the facility, a mast that extends upward from the traveling body, a lifting platform that moves up and down along the mast, and a transfer that is provided on the lifting platform. Device.
  • Such a stacker crane moves the entire stacker crane by the traveling drive unit of the traveling body. growing. For this reason, the rigidity required for the mast increases, and the weight of the mast increases.
  • the stacker crane disclosed in Patent Document 1 includes traveling bodies (carts) at the upper and lower portions of the stacker crane.
  • the mast is swingably attached to the upper and lower traveling bodies.
  • the mast is attached to one traveling body so as to be vertically shiftable.
  • Such a stacker crane can reduce the stress and moment applied to the connecting portion between the mast and the traveling body. As a result, the stacker crane of Patent Document 1 can be reduced in weight, for example.
  • the stacker crane of Patent Document 1 described above can reduce the weight of the mast, but requires at least one upper traveling body and one lower traveling body (that is, two upper and lower traveling bodies).
  • a track such as a rail is required for the lower traveling body that travels on the floor, and many tracks need to be laid on the floor in the facility, resulting in an increase in cost.
  • the mast since the mast can swing with respect to the traveling body, the position of the mast with respect to the transfer destination of the article may be shifted. It becomes difficult to transfer to the position.
  • An object of the present invention is to provide a stacker crane that can prevent an increase in equipment cost while reducing the weight of a mast and can transfer an article to a target position in consideration of the above-described problems. .
  • the stacker crane according to the present invention has a traveling drive unit, travels on a track provided on the ceiling side of the facility, a mast suspended from the traveling body, and a lifting platform that is guided up and down by the mast. And a transfer device provided on the lifting platform, a transfer device for transferring articles, a fixing unit for fixing the mast, and a switching unit for switching between a fixed state and a released state of the mast by the fixing unit, and a travel drive unit
  • the traveling body travels when the switching unit releases the fixing of the fixed part, the lower part of the mast follows the traveling direction of the traveling body, and the traveling drive unit stops the traveling body.
  • the fixing part fixes the lower part of the mast.
  • the mast may be provided on both sides of the lifting platform in the traveling direction of the traveling body.
  • the stacker crane may include a lower support that connects lower portions of the mast, and the fixed portion may be provided on the lower support. Further, the fixing portion may advance and retreat so as to contact or separate from the floor surface.
  • the stacker crane may include a detection unit that detects a deviation between the stop position below the mast fixed by the fixing unit and a preset target stop position.
  • the stacker crane may further include a correction unit that corrects the deviation detected by the detection unit.
  • the stacker crane may further include a guide roller at the lower part of the mast for guiding the traveling body along a rail formed on the floor surface of a part of the track.
  • the lifting platform may be provided with a mast guide part for moving up and down along the mast.
  • the transfer device transfers the article in the horizontal direction orthogonal to the traveling direction of the traveling body.
  • the mast has a rigidity that is orthogonal to the traveling direction of the traveling body and that the rigidity in the horizontal direction is higher than the rigidity in the traveling direction of the traveling body.
  • an attenuator that attenuates the swing or vibration of the mast may be provided.
  • the stacker crane of the present invention can reduce the equipment cost because the mast can be reduced in weight because the mast is suspended from the traveling body and the rail on the floor of the equipment is unnecessary. Further, when the article is transferred, the mast is fixed by the fixing portion, so that the stacker crane transfers the article to the target position in a state where the lifting platform and the transfer device are stopped at the predetermined positions. be able to.
  • a mast is provided in front of and behind the lifting platform in the traveling direction of the traveling body, and a lower support body that connects lower portions of the mast is provided, and a fixing portion is provided in the lower support body. It is good also as a structure.
  • the fixing portion of this example can easily fix the lower portions of the plurality of masts via the lower support. Further, as a more preferable example, the fixing portion may be configured to advance and retract so as to contact or separate from the floor surface. With this fixing portion, the switching portion can easily switch between the fixed state and the released state of the mast.
  • a detection unit that detects a deviation between a stop position below the mast fixed by the fixing unit and a preset target stop position may be provided. This detection unit can easily detect a deviation of the lower portion of the mast with respect to the target stop position.
  • a correction unit that corrects the deviation detected by the detection unit may be further provided. Since the misalignment of the lower part of the mast is corrected by this correcting unit, the misalignment between the target position for transfer and the position of the article actually transferred is easily corrected in the stacker crane of this example.
  • the traveling body is provided with a guide roller at the lower part of the mast for being guided by a rail formed on a floor surface of a section where the traveling body travels.
  • the traveling body travels along a curve, the traveling body is guided by the rails, so that the lower portion of the mast is prevented from being largely disengaged from the position below the traveling body.
  • the lifting platform may include a mast guide part for moving up and down along the mast. The mast guide part smoothly raises and lowers the elevator.
  • the mast since the transfer device transfers the article in the horizontal direction perpendicular to the traveling direction of the traveling body, as a preferable example, the mast may have a mast whose horizontal rigidity is higher than the rigidity in the traveling direction.
  • This mast can support the force when transferring the article in the horizontal direction, and can prevent the direction when transferring the article from deviating from the target position.
  • the attenuation unit that attenuates the swing or vibration of the mast included in the stacker crane can suppress the vibration or the like from being transmitted to the article or the like by suppressing the swing or vibration of the mast.
  • FIG. 1 An example of the conveyance system to which the stacker crane concerning an embodiment is applied is shown, (A) is a figure seen from the Y direction, and (B) is a figure seen from the X direction. It is a figure which shows an example which applied the attenuation
  • An example of a mast and a guide part is shown, (A) is a diagram in which the guide part is applied to a mast having a square cross section, (B) is a guide part to the mast having a rectangular cross section and increased rigidity in the transfer direction.
  • FIG. 1 An example of the transfer operation
  • An example of a fixed part and a detection part is shown, (A) is a view seen from the X direction, (B) is a view seen from the Y direction, and (C) is a view showing a detection operation seen from the Z direction.
  • An example in which a guide roller is applied is shown, (A) is a view as seen from the Z direction, and (B) is a view as seen from the Y direction.
  • FIG. 1 An example using a rail is shown, (A) is a diagram showing a traveling state of a stacker crane, (B) is a diagram seen from the X direction, and (C) is a diagram seen from the Y direction.
  • An example of the conveyance system which applied the stacker crane concerning other embodiments is shown, (A) is a figure seen from the Y direction, and (B) is a figure seen from the X direction. It is a figure which shows the other example of a correction
  • FIG. 1 is a diagram showing a transport system to which a stacker crane according to the embodiment is applied.
  • the transfer system 1A according to this embodiment is installed in a semiconductor device manufacturing factory, and includes a FOUP (Front Opening Unified Pod) containing a semiconductor wafer used for manufacturing a semiconductor device, or a reticle containing a processing member such as a reticle.
  • the present invention is applied to a system for conveying an article 2 such as a pod.
  • the article 2 is described as being a FOUP, but the article 2 may be other than the FOUP.
  • the transfer system 1A can be applied to facilities other than the semiconductor field, and the article 2 may be various articles handled by the facility where the transfer system 1A is installed.
  • the transport system 1 ⁇ / b> A includes a stacker crane 3 and a track 4.
  • the track 4 is a rail for traveling, and is provided in a state of being suspended from the ceiling 5 of the facility by a plurality of suspension fittings 5a.
  • the stacker crane 3 travels along the track 4 and transfers the article 2 to the transfer destination.
  • the transfer destination or transfer source of the article 2 is provided in a load port 32a, a stocker (automatic warehouse), or a processing device of the processing device 32 (shown later in FIG. 4).
  • a storage shelf 31 (shown in FIG. 4 later) or a buffer.
  • the aforementioned processing apparatus is, for example, an exposure apparatus, a coater developer, a film forming apparatus, an etching apparatus, or the like, and performs various processes on the semiconductor wafer accommodated in the article 2 conveyed by the conveyance system 1A.
  • the above-described stocker stores the articles 2 transported by the transport system 1A.
  • the buffer for the previous operation is, for example, a side track buffer (STB), an under track buffer (UTB), and the like, which are installed near the above-described processing device.
  • the buffer temporarily stores the articles 2 transported by the overhead traveling vehicle (not shown) constituting the transport system 1A.
  • the overhead traveling vehicle is, for example, an OHT (Overhead Hoist Transport) or an OHV (Overhead Hoist Vehicle).
  • the stacker crane 3 includes a traveling body 11, a mast 12, a lifting platform 13, a transfer device 14, and a fixing unit 15.
  • the traveling body 11 travels along the track 4.
  • the traveling direction of the traveling body 11 is a direction substantially parallel to the track 4 (the X direction in FIG. 1).
  • the traveling body 11 includes a traveling drive unit 11a such as an electric motor, and further includes a drive wheel 11b, a driven wheel 11c, a reduction gear (not shown), an encoder, and the like.
  • the drive wheel 11b is attached so as to be pressed against the inner upper surface of the track 4 by an elastic member (not shown) such as a spring, and is connected to the output shaft of the electric motor (travel drive unit 11a) via a speed reducer.
  • the rotation of the output shaft of the electric motor is transmitted to the drive wheel 11b through the reduction gear, and the traveling body 11 travels by the rotation of the drive wheel 11b.
  • Each of the driven wheels 11 c includes a caster, and the caster can be rotated around a caster axis in the vertical direction (Z direction) and is disposed so as to be in contact with the inner lower surface of the track 4.
  • the encoder detects the rotation speed of the output shaft of the electric motor and outputs the detection result to a control unit (not shown).
  • the control unit controls the rotation of the electric motor based on the detection result of the encoder, and controls the speed or stop position of the traveling body 11.
  • the stop position of the traveling body 11 may be set by identifying an indicator plate or the like installed in advance along the track 4.
  • a linear motor may be used as the travel drive unit 11a.
  • a rotating shaft 16 is provided below the traveling body 11, and an upper support 17 is attached below the rotating shaft 16.
  • a mast 12 is attached to the upper support 17.
  • the mast 12 is suspended from the traveling body 11.
  • the mast 12 is provided on each side of the traveling body 11 in the traveling direction (X direction) (+ X direction ⁇ plus X-direction>, -X direction ⁇ minus X-direction>).
  • a fastening member such as a bolt and a nut may be used, or welding may be used.
  • the mast 12 is connected to the lower support 20 at the lower end thereof.
  • the lower support 20 is connected to each of the masts 12 so that the distance between the + X side mast 12 and the ⁇ X side mast 12 is equal to the distance in the upper support 17. Thereby, the space
  • the lower support body 20 is plate shape, for example.
  • the two masts 12 are provided in front of and behind the elevator 13 in the traveling direction of the traveling body 11.
  • the elevator 13 will be described later.
  • the lower support 20 is provided with a fixing portion 15 that advances and retreats so as to abut or separate from the floor surface 6.
  • the fixing unit 15 will be described later.
  • the traveling body 11 accelerates in the traveling direction (for example, when traveling from a stopped state)
  • the lower portion of the mast 12 cannot follow the traveling body 11 due to inertial force, resulting in a delay.
  • the delay in the lower portion of the mast 12 is caused by, for example, the traveling drive unit 11a temporarily reducing the acceleration of the traveling unit 11 or repeating such a decrease in acceleration a plurality of times while the traveling body 11 is accelerating or traveling.
  • the traveling drive unit 11a temporarily reducing the acceleration of the traveling unit 11 or repeating such a decrease in acceleration a plurality of times while the traveling body 11 is accelerating or traveling.
  • the traveling drive unit 11a temporarily increases the acceleration of the traveling unit 11 while the traveling body 11 is decelerating or before starting to decelerate, or the acceleration is increased a plurality of times, thereby repeating the mast 12. It is possible to eliminate the leading of the lower part of.
  • the stacker crane 3 may include an attenuation unit that attenuates the swing or vibration of the mast 12.
  • FIG. 2 is a diagram illustrating an example in which an attenuation unit is applied. As shown in FIG. 2, for example, an air damper or an oil damper is used as the damping unit 21, and a force (indicated by reference F) opposite to the movement direction (indicated by reference D) of the mast 12 is obtained. Add to mast 12.
  • the damping unit 21 may be an elastic body such as a coil spring, or a mechanism that applies force to the mast 12 by an actuator or the like.
  • the lifting platform 13 moves up and down along the mast 12.
  • the elevator 13 is disposed between the + X side mast 12 and the ⁇ X side mast 12.
  • the lifting platform 13 is suspended from the upper support 17 by a suspension member (not shown) such as a wire.
  • the upper support 17 is provided with an elevating drive unit 22 for feeding and winding the above-described suspension member.
  • the elevator 13 is guided by the mast 12 and descends when the elevator driver 22 feeds the suspension member. Further, the elevator 13 is raised by being guided by the mast 12 when the elevator drive unit 22 winds up the suspension member.
  • the transfer device 14 is provided on the lifting platform 13.
  • FIG. 3 shows an example of the mast 12 and the mast guide portions 28 and 29.
  • FIG. 3A is a view in which the mast guide portions 28 and 29 are applied to the mast 12 having a square cross section, and FIG.
  • the mast guide portions 28 and 29 are applied to the mast 12a having increased rigidity in the transfer direction.
  • the transfer device 14 includes an arm unit 25 and a holding unit 26.
  • the arm portion 25 has a structure in which arms 25a and 25b are connected via a joint 25c.
  • the arm portion 25 expands and contracts in the horizontal direction including the Y direction when the arms 25a and 25b are bent at the joint 25c.
  • the arm portion 25 has a proximal end side connected to the elevator 13 and a distal end side connected to the holding portion 26.
  • the holding unit 26 has a plurality of (for example, three) pins 27 (for example, kinematic pins) used for positioning the article 2.
  • the pins 27 respectively enter a plurality of radial grooves formed on the bottom surface of the article 2. In this way, this pin determines the exact position of the article 2 on the holding part 26.
  • the transfer device 14 When the transfer device 14 receives the article 2 from the transfer source, the arm unit 25 is extended in the direction of the article 2 arranged at the transfer source, and the holding unit 26 is arranged below the bottom surface of the article 2. Then, when the elevator 13 is raised, the transfer device 14 scoops up the article 2 with the holding unit 26. In the transfer device 14, the arm unit 25 is contracted in a state where the article 2 is held on the holding unit 26, and the holding unit 26 is arranged on the lifting platform 13. Further, when transferring the article 2 to the transfer destination, the transfer device 14 is positioned with respect to the transfer destination, extends the arm unit 25, and arranges the article 2 on the holding unit 26 above the transfer destination. . When the lifting platform 13 is lowered, the transfer device 14 delivers the article 2 from the holding unit 26 to the transfer destination.
  • the transfer device 14 shown in FIGS. 3A and 3B is an example, and other configurations may be used.
  • the transfer device may hold the article 2 by holding a flange provided on the top of the article 2, or may hold the article 2 by sandwiching the side surface of the article 2.
  • the transfer apparatus 14 is not limited to using the arm part 25 mentioned above, For example, an articulated robot arm etc. may be used.
  • the direction in which the article 2 moves when the transfer device 14 performs transfer is appropriately referred to as a transfer direction.
  • the expression “transfer direction” refers to a direction (Y direction) in which the arm portion 25 expands and contracts, is orthogonal to the traveling direction (X direction) of the traveling body 11, and means a horizontal direction.
  • the lifting platform 13 may include a mast guide portion 28 and a mast guide portion 29 that guide the lifting platform 13 along the mast 12. Examples of the mast guide portion 28 and the mast guide portion 29 each include a guide roller.
  • the elevator 13 is provided with a mast guide portion 28 corresponding to each of the + X side mast 12 and the ⁇ X side mast 12 in the traveling direction of the traveling body 11 at a position above the elevator 13.
  • the elevator 13 regulates the position in the X direction of the movement path of the elevator 13 along the mast 12 by the mast guide portion 28.
  • the mast guide portion 28 regulates the positions of the + X side mast 12 and the ⁇ X side mast 12 with respect to the lifting platform 13, so that the lifting platform 13 is connected to the + X side mast 12 and ⁇ .
  • the relative position in the X direction between the X-side masts 12 can be restricted to a predetermined position.
  • the mast guide portion 29 is perpendicular to the traveling direction of the traveling body 11 with respect to each of the + X side mast 12 and the ⁇ X side mast 12, and at a position sandwiching the mast 12 in the horizontal direction (transfer direction). Provided. Since the mast guide portion 28 can prevent the mast 12 and the lifting platform 13 from interfering with each other, the lifting platform 13 can thereby smoothly move up and down. Further, the mast guide portion 29 suppresses the lifting platform 13 from being displaced from the position of the mast 12 in the transfer direction, and prevents the lifting platform 13 from being removed from the movement path along the mast 12. As a more preferable example, two mast guide portions 28 may be provided so as to sandwich each of the + X side mast 12 and the ⁇ X side mast 12. As a result, each mast 12 is surrounded by the mast guide portion 28 and the mast guide portion 29, and the lifting platform 13 can be prevented from being removed from the movement path along the mast 12.
  • FIG. 3B is a diagram showing an example in which a mast 12a different from the shape of the mast 12 shown in FIG. 3A is applied.
  • the mast 12a is orthogonal to the traveling direction of the traveling body 11, and has a higher rigidity in the horizontal direction (transfer direction, Y direction) than the rigidity of the traveling body 11 in the traveling direction (X direction).
  • the rigidity in the transfer direction is the rigidity with respect to the bending moment around the axis in the direction parallel to the X direction.
  • the rigidity in the traveling direction is the rigidity against the bending moment around the axis in the direction parallel to the Y direction.
  • the mast 12a has a larger dimension in the Y direction than a dimension in the X direction, and the rigidity in the transfer direction is higher than the rigidity in the traveling direction.
  • the transfer device 14 receives a moment around an axis parallel to the X direction in a state where the holding unit 26 holds the article 2 and the arm unit 25 extends. This moment is transmitted to the mast 12 via the elevator 13.
  • the mast 12a has a higher rigidity in the transfer direction than that in the traveling direction. Therefore, the mast 12a can be reduced in weight by reducing the rigidity in the traveling direction. In addition, the mast 12a can withstand the bending moment applied during the transfer due to the rigidity in the transfer direction.
  • the stacker crane 3 has a weight supported by the ceiling 5 larger than a weight supported by the floor surface 6 when the traveling body 11 travels.
  • the stacker crane 3 is in non-contact (floating from the floor surface 6) with the floor surface 6 when the traveling body 11 travels, and its weight is supported by the track 4 and is supported by the floor surface 6. Is almost zero.
  • the driving force when the traveling body 11 travels is based on the driving force by the traveling drive unit (for example, the traveling drive unit 11a) provided in the upper support part on the upper side including the upper support body 17.
  • the lower support portion that is mainly supplied and includes the lower support body 20 is not provided with a travel drive section that supplies driving force for traveling of the travel body 11. Of the upper and lower supports, the lower support 20 moves following the upper support 17.
  • the fixing unit 15 fixes the mast 12 to a fixed object.
  • the fixed objects are, for example, the floor surface 6, the storage shelf 31 (including a stocker or a buffer), the processing device 32, and the like.
  • the fixing unit 15 fixes the mast 12 to the floor surface 6 when the article is transferred by the transfer device 14.
  • the fixing portions 15 are anchors or the like provided on the lower support 20 and are respectively disposed at both ends of the lower support 20 in the traveling direction (X direction) and can be moved forward and backward (lifted and lowered) with respect to the floor surface 6.
  • the stacker crane 3 also includes a switching unit 35 that switches between a fixed state and a released state of the mast 12 by the fixing unit 15.
  • the switching part 35 is attached to the lower support body 20, for example.
  • the switching unit 35 includes a drive source (for example, an electric motor or a cylinder device) that moves the fixed unit 15 forward and backward. By driving the drive source, the fixed state and the released state are switched. Moreover, the fixing
  • a drive source for example, an electric motor or a cylinder device
  • the switching unit 35 releases the fixing of the fixing unit 15 and causes the lower part to follow the traveling direction with respect to the upper part of the mast 12.
  • the switching unit 35 stops the tracking of the traveling body 11 after completion of following the lower part of the upper portion of the mast 12 (after a predetermined time has elapsed since the traveling body 11 stopped).
  • the mast 12 lower part of the mast 12
  • the fixing part 15 fixes the mast 12 (lower support body 20)
  • the relative positional relationship between the transfer destination and the lifting platform 13 is determined. Accordingly, the fixing of the mast 12 by the fixing unit 15 is a preparation for correcting the position of the article 2 with respect to the transfer destination as will be described later.
  • the fixing unit 15 advances toward the floor surface 6 by the switching unit 35 when the article is transferred by the transfer device 14 and contacts the floor surface 6 to fix the lower support 20 to the floor surface 6. .
  • the mast 12 is fixed to the floor surface 6 together with the lower support 20 by the fixing part 15.
  • the lower portion of the mast 12 and the lower support body 20 are fixed to a fixed object (the floor surface 6 or the stopped traveling body 11).
  • FIG. 4 shows an example of the transfer operation of the article 2
  • FIG. 4A shows a state in which the article is moving to the load port
  • FIG. 4B shows a state in which the article has reached the load port.
  • FIG. The transport system 1A of the present embodiment includes a storage shelf 31 that stores the articles 2.
  • the storage shelf 31 is arranged in a state of being arranged in the X direction with respect to the processing device 32.
  • the storage shelf 31 has a plurality of shelf boards 31a arranged in the vertical direction, and the transfer device 14 of the stacker crane 3 is configured to deliver the articles 2 to and from each of the plurality of shelf boards 31a.
  • the fixing unit 15 When the transfer device 14 delivers the article 2 to the shelf 31a, the fixing unit 15 is advanced downward by the switching unit 35 and comes into contact with the floor surface 6 so that the lower support 20 and the lower part of the mast 12 are traveled. 11 (or floor surface 6) is fixed (fixed state). Similarly, when the transfer device 14 receives the article 2 from the shelf 31a, the switching unit 35 causes the fixing unit 15 to move the lower support 20 and the lower portion of the mast 12 to the traveling body 11 (or the floor surface 6). (Fixed state).
  • the transport system 1 ⁇ / b> A may not include the storage shelf 31 and may transfer the article 2 to a place other than the storage shelf 31.
  • the fixing unit 15 is moved upward by the switching unit 35 and separated from the floor surface 6 (the state where the fixing is released), and the traveling body 11 can travel. It becomes.
  • the transfer device 14 extends toward the transfer destination, and can transfer (or receive) the article 2 to the transfer destination.
  • the transfer device 14 can also deliver the article 2 to the load port 32a of the processing device 32 in addition to the storage shelf 31 described above.
  • the transfer device 14 receives the article 2 from the storage shelf 31 and delivers the article 2 to the load port 32a.
  • the transfer device 14 receives the article 2 from the load port 32 a and delivers the article 2 to the storage shelf 31.
  • the switching unit 35 moves the fixing unit 15 downward to contact the floor surface 6 to thereby lower the lower support. 20 and the lower part of the mast 12 are fixed to the floor surface 6 (or the traveling body 11).
  • the transfer device 14 can deliver the article 2 to a stocker (automatic warehouse) or a buffer (both not shown).
  • the transfer device 14 delivers the stocker or buffer and the article 2
  • the lower support 20 and the lower part of the mast 12 are fixed to the floor surface 6 (or the traveling body 11) as described above.
  • FIG. 5 shows an example of the fixing unit 15 and the detection unit 37
  • FIG. 5A is a view seen from the X direction
  • FIG. 5B is a view seen from the Y direction
  • FIG. 5C is a Z direction. It is a figure which shows detection operation seeing from.
  • the fixing unit 15 includes a fixing member 36 that causes the switching unit 35 to move up and down with respect to the position of the lower support 20.
  • the fixing member 36 comes into contact with the floor surface 6 to restrict the movement of the lower support 20 in the horizontal direction and is movably attached to the lower support 20.
  • the switching unit 35 moves the fixing member 36 forward and backward with respect to the floor surface 6.
  • the switching unit 35 is controlled by, for example, a control unit (not shown) of the stacker crane 3 and moves the fixing member 36 forward and backward at a timing designated by the control unit.
  • a control unit not shown
  • fixed part 15 is not limited to the structure shown in FIG. 5, Another structure may be sufficient.
  • the stacker crane 3 may include a detection unit 37 as shown in FIGS. 5 (A) to 5 (C).
  • a distance sensor may be used as one example of the detection unit 37.
  • the distance sensor is attached to the lower surface side of the lower support portion 20 and substantially at the center in the traveling direction via a stay 37a in the above-described figure, but this position where the detection portion 37 is attached is arbitrary.
  • a reflection mirror 38 is disposed at the lower part of the transfer destination of the article 2.
  • the reflection mirror 38 is disposed on the side surface of the processing device 32 (see FIG. 4) and below the load port 32a.
  • the light emitting element of the detection unit 37 emits detection light such as laser light to the reflection mirror 38
  • the reflection mirror 38 reflects the detection light to the detection unit 37
  • the light receiving element of the detection unit 37 is This reflected light is detected.
  • the distance calculation unit of the detection unit 37 calculates the distance between the detection unit 37 (lower support 20) and the reflection mirror 38. The calculated distance is compared with a target distance stored in a storage unit or the like of a control unit (not shown) of the stacker crane 3, and a shift amount in the Y direction is calculated.
  • the correction unit 39 performs position correction described below according to the deviation amount calculated by the detection unit 37 or the control unit of the stacker crane 3 described above.
  • the correction unit 39 for example, the transfer device 14 is used.
  • the fixing portion 15 fixes the lower support 20 and the lower portion of the mast 12.
  • the amount of deviation in the traveling direction (X direction) can be reduced by using acceleration / deceleration control during traveling of the traveling unit 11 to reduce the amount of displacement of the lower portion of the mast 12 and the lower support 20 when stopped.
  • the amount of deviation in the transfer direction (Y direction) does not require adjustment of the drive source, and the mast 12 is in a fixed state while shaking in the transfer direction, resulting in a deviation.
  • the amount of deviation from the target stop position tends to be larger in the transfer direction (Y direction) than in the traveling direction (X direction).
  • the correction unit 39 using the transfer device 14 will be described.
  • an amount (stroke) for extending the arm portion 25 is set in advance.
  • the detection unit 37 detects the shift amount and sends it to the control unit of the transfer device 14.
  • the control unit of the transfer device 14 corrects the stroke amount according to the detected deviation amount.
  • the correction unit 39 using the transfer device 14 can appropriately transfer the article 2 to the transfer destination (for example, the storage shelf 31 in FIG. 4A).
  • the detection unit 37 may measure not only the displacement amount in the transfer direction but also the displacement amount in the traveling direction.
  • the amount of deviation in the traveling direction is calculated using information derived by the detection unit 37 emitting detection light to the reflection mirror 38 arranged in the traveling direction and detecting the reflected light.
  • the detection unit 37 of the present embodiment is not limited to using a distance sensor. For example, even if the amount of deviation is measured using an imaging device attached to the lower support unit 20 or the like as the detection unit 37. Good. When the imaging device captures an image of the mark placed on the floor surface 6 in association with the processing device 31 or the like, the detection unit 37 uses one or both of the traveling direction and the transfer direction with respect to the target position from the image of the mark. The amount of deviation is calculated.
  • the transfer device 14 is applied to the correction unit 39, but is not limited thereto, and as another example, the correction unit 39 is transferred from the lower support 20 to the transfer device 14.
  • This movable unit may be movable in either the X direction or the Y direction, or may be a unit movable in two directions.
  • a unit that can move in one direction of the X direction and the Y direction may be combined to move in two directions.
  • FIG. 6 shows an example in which the guide roller 42 is applied to a stacker crane.
  • FIG. 6A is a view seen from the Z direction
  • FIG. 6B is a view seen from the Y direction.
  • a plurality of guide rollers 42 are provided on the lower surface side of the lower support 20.
  • the four guide rollers 42 have a rotatable structure, and the two guide rollers 42 are held by one bracket 42a. These two brackets 42 a are attached to the lower support 20.
  • the guide rollers 42 are rotatable about the vertical direction (Z direction) as an axis, are arranged at substantially the same height, and are arranged at intervals that sandwich a rail 41 described later.
  • the arrangement and number of the guide rollers 42 are examples and can be arbitrarily set.
  • FIG. 7 shows an example using the rail 41
  • FIG. 7 (A) is a diagram showing a traveling state of the stacker crane 3
  • FIG. 7 (B) is a view seen from the X direction
  • FIG. 7 (C) is a Y direction. It is the figure seen from.
  • the track 4 can include the section 4a and the section 4b.
  • the section 4a is curved and the section 4b is linear.
  • a rail 41 is provided on the floor surface 6 as shown in FIGS. 7B and 7C.
  • the rail as a guide is not provided on the floor 6 in the linear section 4b. In this way, the rail 41 may be provided in a part of the section on the floor surface 6 below the track 4.
  • the lower support 20 includes a guide roller 42 that is guided by a rail 41.
  • the guide roller 42 is disposed so as to sandwich the rail 41 in the transfer direction (Y direction).
  • Each guide roller 42 contacts with the rail 41 and rotates.
  • the frictional force between the guide roller 42 and the rail 41 is set to be negligibly small with respect to the frictional force that can support the weight of the stacker crane 3, for example. There is no change in being supported.
  • the centrifugal force in the horizontal direction and perpendicular to the traveling direction acts on the mast 12 outward of the curve.
  • This centrifugal force acts on the mast 12 as a bending moment in the transfer direction (perpendicular to the traveling direction and in the horizontal direction).
  • the guide roller 42 guides the stack lane 3 to the rail 41. Since at least a part of this centrifugal force acts on the rail 41 via the guide roller 42, the moment acting on the mast 12 is reduced.
  • the rigidity required for the mast 12 or the connecting portion between the mast 12 and the upper support portion can be reduced, and the stacker crane 3 can be reduced in weight.
  • the stacker crane 3 is not in contact with the floor surface 6, and the total weight of the stacker crane 3 is supported by the track 4.
  • the stacker crane 3 may be in non-contact with the floor surface 6 in the entire section of the track 4, or may be in non-contact with the floor surface 6 in a part of the track 4 (section 4 b).
  • rails 41 may be provided as shown in FIGS. 7B and 7C.
  • the guide roller 42 is configured to guide the stacker crane 3 by rolling along the rail 41 provided on the floor surface 6, but is not limited to this configuration.
  • the lower support 20 connected to a part of the mast 12 or the lower part of the mast 12 may be guided by a rail.
  • the guide unit such as the rail 41 is not limited to being provided on the floor surface 6, and may be provided by being suspended from the ceiling 5, or may be one of the processing devices installed on the floor surface 6. It may be provided in the part.
  • FIG. 8 shows an example of a transport system 1B to which a stacker crane 3A according to another embodiment is applied.
  • FIG. 8A is a view seen from the Y direction
  • FIG. 8B is a view seen from the X direction.
  • the same components as those in the above-described embodiment are denoted by the same reference numerals, and the description thereof is omitted or simplified.
  • the switching unit 35 shown in FIG. 1 is not shown.
  • the mast 12 is attached to the upper support 17 via the connecting portion 18.
  • the connecting portion 18 is, for example, a hinge, and has an axis 18a (see FIG. 8B) that is orthogonal to the traveling direction (X direction) of the traveling body 11 and that is in the horizontal direction (Y direction).
  • the connecting portion 18 hardly transmits a moment around the axis 18a.
  • the traveling body 11 supports the mast 12 with a connecting portion 18 having a mechanism that can rotate (rotate freely) around an axis 18a.
  • the connecting portion 18 receives a moment around two directions (X direction and Z direction) perpendicular to the axis 18a. Accordingly, the connecting portion 18 prevents the mast 12 whose longitudinal direction is arranged in the vertical direction (Z direction) from being inclined to the side of the track 4 ( ⁇ Y side or + Y side). Further, the connecting portion 18 prevents the mast 12 from being twisted around the vertical direction (Z direction) when the traveling body 11 travels.
  • the connection part 18 contains a hinge as an example, it is not limited to it, Even if it uses the mechanism which can be rotated around a some axial center (example, X direction, Y direction) like a universal joint. Good.
  • the lower end of the mast 12 is connected to the lower support 20 through the connecting portion 19.
  • the connecting portion 19 is, for example, a hinge, and has an axis 19a (see FIG. 8B) that is orthogonal to the traveling direction (X direction) of the traveling body 11 and that is in the horizontal direction (Y direction).
  • the connection portion 19 hardly transmits the moment around the axis 19a except for the influence of friction.
  • the connecting portion 19 connects the lower support 20 and the mast 12 with a mechanism that supports the shaft 19a so as to be rotatable (rotatable).
  • connection portion 19 receives a moment around two directions (X direction and Z direction) perpendicular to the axis 19a. Moreover, the connection part 19 prevents the mast 12 from being twisted around the vertical direction (Z direction) by the lower support body 20.
  • connection part 19 contains a hinge as an example, it is not limited to it, Even if it uses the mechanism which can be rotated around a some axial center (example, X direction, Y direction) like a universal joint. Good.
  • the stacker crane 3A shown in FIG. 8 when the traveling body 11 is accelerated or decelerated, the mast 12 is rotated and tilted by the inertia of the lower support 20 side, but the lower support 20 is the axis of the connecting portion 19 of the mast 12. Since it can be rotated around the center, it remains substantially horizontal even when the mast 12 is inclined. Further, since the lower support 20 moves behind or ahead of the position below the upper support 17, the stacker crane 3 ⁇ / b> A has a parallelogram shape when the traveling body 11 is accelerated or decelerated. However, the lower support 20 can maintain a substantially horizontal state during acceleration and deceleration.
  • the lifting platform 13 is formed by connecting a side portion and a bottom portion via a hinge portion 13a.
  • This hinge part 13a connects the side part and bottom part of the raising / lowering stand 13 rotatably. Therefore, even when the mast 12 swings, the side part can rotate with the mast 12 and the bottom part of the lifting platform 13 can be kept horizontal.
  • FIG. 9 is a diagram illustrating a correction unit 39a according to another embodiment.
  • the transfer device 14 is applied as the correction unit 39.
  • a correction unit 39a shown in FIG. 9 may be used instead of the correction unit 39.
  • the correction units 39 a are provided on both sides of the traveling direction (X direction) on the lower surface of the lower support base 20.
  • the correction unit 39a includes an X-axis slider 40a that can move in the X direction from the lower surface of the lower support base 20, and a Y-axis slider 40b that can move in the Y direction from the lower surface of the X-axis slider 40a.
  • the Y-axis slider 40b and the fixed portion 15 are connected by a support portion 15a.
  • the fixing portion 15 includes the support portion 15a that supports the fixing member 36 so as to be able to advance and retract.
  • the X-axis slider 40a is moved in the X direction by an X-axis drive unit (not shown).
  • the Y-axis slider 40b is moved in the Y direction by a Y-axis drive unit (not shown).
  • the correction unit 39a drives an X-axis drive unit and a Y-axis drive unit (not shown) according to the amount of deviation in the X direction (traveling direction) and the Y direction (transfer direction) detected by the detection unit 37 (see FIG. 5). Then, by moving the X-axis slider 40a and the Y-axis slider 40b, the relative positions in the X direction (travel direction) and the Y direction (transfer direction) with respect to the fixed member 36 are adjusted via the support portion 15a. Can do.
  • the lower support portion 20 can be corrected to the target stop position by driving the correction portion 39a.
  • the transfer device 14 (see FIG. 1) can be placed at an appropriate position, so that the article 2 can be accurately delivered to the transfer destination.
  • the configuration illustrated in FIG. 9 is an example, and any mechanism that can move the fixing member 36 in the X direction (traveling direction) and the Y direction (transfer direction) can be applied.
  • the mast 12 since the mast 12 is suspended from the traveling body 11, the mast 12 can be reduced in weight, and a lot of the floor surface 6 of the facility can be provided. Since the rail 41 becomes unnecessary, the equipment cost can be reduced. Moreover, since the fixing
  • the overhead traveling vehicle provided in the above-described transport systems 1A and 1B may use at least a part of the track 4 as the track of the overhead traveling vehicle.
  • the track 4 is provided on the ceiling 5 of the equipment via the hanging metal fitting 5a.
  • the track 4 may be provided directly on the ceiling 5 or may be provided on a frame (frame) formed in the vicinity of the ceiling 5.
  • fixed part 15 contacts the floor surface 6, and fixes the mast 12 to the floor surface 6 as demonstrated in embodiment of the above-mentioned conveyance system.
  • the lower part of the mast 12 may be fixed to a fixed object by contacting a fixed object such as a structure or various devices fixed to the floor surface 6.

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Abstract

【課題】マストの軽量化を図りつつ、設備コストの増加を防止でき、物品を目標の位置に移載可能なスタッカクレーンを提供する。 【解決手段】走行駆動部１１ａを有し、設備の天井５側に設けられた軌道４を走行する走行体１１と、走行体１１から吊り下げられたマスト１２と、マスト１２に昇降自在に案内される昇降台１３と、昇降台１３に設けられて、物品２を移載する移載装置１４と、マスト１２を固定する固定部１５と、固定部１５によるマスト１２の固定状態と解除状態とを切り換える切換部３５と、を備え、走行駆動部１１ａが走行体１１を走行させるときは、切換部３５が固定部１５の固定を解除して、マスト１２の上部に対して下部を、走行体１１の走行方向に追従させ、走行駆動部１１ａが走行体１１を停止させるときは、固定部１５がマスト１２を固定する。

Description

スタッカクレーン
　本発明は、スタッカクレーンに関する。
　スタッカクレーンは、自動倉庫、あるいは処理装置が配置されるイントラベイなどの設備において物品を移載することに利用されている（例えば、以下の特許文献１参照）。スタッカクレーンは、例えば、設備の床面に設けられた軌道に沿って走行する走行体と、走行体から上方に延びるマストと、マストに沿って昇降する昇降台と、昇降台に設けられる移載装置とを備える。このようなスタッカクレーンは、走行体の走行駆動部によってスタッカクレーン全体を移動させるので、マストが長くなるほど、また走行体の加速度が大きいほど、マストと走行体との接続部に加わる応力、モーメントが大きくなる。そのため、マストに要求される剛性が大きくなり、マストの重量が増すことになる。
　前記の特許文献１のスタッカクレーンは、スタッカクレーンの上部及び下部に走行体（台車）を備える。マストは、上下の走行体のそれぞれに対して揺動自在に取り付けられる。また、マストは、片方の走行体に対して鉛直方向にシフト自在に取り付けられる。このようなスタッカクレーンは、マストと走行体との接続部に加わる応力、モーメントを低減することができる。その結果として、前記の特許文献１のスタッカクレーンは、例えば軽量化が可能である。
特許第３５９１６３８号
　前記の特許文献１のスタッカクレーンは、マストの軽量化が可能であるが、少なくとも１台の上部走行体と１台の下部走行体（つまり上下２台の走行体）とが、必要となる。この床面を走行する下部走行体のためにレール等の軌道が必要となり、設備内の床面上に多くの軌道を敷設する必要があるので、コストの増加を招くことになる。また、マストが走行体に対して揺動可能であるため、物品の移載先に対するマストの位置がずれることがあり、移載先に対して昇降台等の位置がずれて、物品を目標の位置に移載することが難しくなる。
　本発明は、前述の課題を考慮して、マストの軽量化を図りつつ、設備コストの増加を防止でき、物品を目標の位置に移載可能なスタッカクレーンを提供することを１つの目的とする。
　本発明のスタッカクレーンは、走行駆動部を有し、設備の天井側に設けられた軌道を走行する走行体と、走行体から吊り下げられたマストと、マストに昇降自在に案内される昇降台と、昇降台に設けられて、物品を移載する移載装置と、マストを固定する固定部と、固定部によるマストの固定状態と解除状態とを切り換える切換部と、を備え、走行駆動部が走行体を走行させるときは、切換部が固定部の固定を解除して、マストの上部に対して下部を、走行体の走行方向に追従させ、走行駆動部が走行体を停止させるときは、固定部がマストの下部を固定する。
　また、マストは、走行体の走行方向における昇降台の両側に設けられてもよい。スタッカクレーンは、マストの下部どうしを連結する下部支持体を備え、固定部は、この下部支持体に設けられてもよい。また、固定部は、床面に対して当接または離間するように進退してもよい。また、このスタッカクレーンには、固定部により固定したマストの下部の停止位置と、予め設定された目標停止位置とのズレを検出する検出部を備えてもよい。また、さらにこのスタッカクレーンは、検出部により検出したズレを補正する補正部を備えてもよい。
　また、スタッカクレーンは、軌道の一部の区間の床面に形成されたレールに沿って走行体をガイドするガイドローラをマストの下部にさらに備えてもよい。さらに昇降台は、マストに沿って昇降するためのマストガイド部を備えてもよい。このスタッカクレーンの例では、走行体の走行方向に直交し、かつ水平方向に、物品を移載装置が移載する。このスタッカクレーンの例では、マストの剛性は、走行体の走行方向に直交し、かつ水平方向における剛性を走行体の走行方向における剛性より高くするほうが好ましい。さらに、マストの揺動または振動を減衰させる減衰部が備えられてもよい。
　本発明のスタッカクレーンは、マストが走行体に吊り下げられているので、マストの軽量化が可能であり、設備の床面のレールが不要となるので設備コストを低減できる。また、物品の移載時には、固定部によりマストが固定されるので、昇降台及び移載装置が、予め定められた位置に停止した状態で、このスタッカクレーンは物品を目標の位置に移載することができる。
　また、本発明の好ましい例では、走行体の走行方向における昇降台の前と後ろにマストが設けられ、かつマストの下部どうしを連結する下部支持体を備え、固定部が下部支持体に設けられる構成としてもよい。この例の固定部は、下部支持体を介して複数のマストの下部を容易に固定することができる。また、さらに好ましい例として、この固定部が、床面に対して当接または離間するように進退する構成を備えてもよい。この固定部により、切換部がマストの固定状態と解除状態とを容易に切り換えることができる。また、さらに好ましい例として、固定部により固定されたマストの下部の停止位置と、予め設定された目標停止位置とのズレを検出する検出部を備えてもよい。この検出部は、目標停止位置に対するマストの下部のズレを容易に検出できる。また、より好ましい例として、検出部により検出したズレを補正する補正部をさらに備えてもよい。この補正部によってマストの下部のズレが補正されるので、この例のスタッカクレーンでは、移載の目標位置と実際に移載される物品の位置とのズレが容易に修正される。
　また、好ましい例では、走行体は、走行体が走行するある区間の床面に形成されたレールにガイドされるためのガイドローラをマストの下部に備える。走行体がカーブを走行するときに、走行体がレールに案内されるようにすることで、マストの下部が走行体の下方の位置から大きく外れることが防止される。また、さらに好ましい例として、昇降台が、マストに沿って昇降するためのマストガイド部を備えてもよい。このマストガイド部によって昇降台の昇降が円滑に行われる。また、移載装置が、走行体の走行方向に直交し、かつ水平方向に物品を移載するので、好ましい例として、マストの水平方向の剛性が走行方向の剛性よりも高いマストを備えてもよい。このマストは、水平方向に物品を移載する際の力を支えることができ、物品を移載する際の方向が目標の位置からズレることを防止できる。また、スタッカクレーンが備えるマストの揺動または振動を減衰させる減衰部は、マストの揺動または振動を抑制して、物品等に振動等が伝達するのを防止することができる。
実施形態に関するスタッカクレーンを適用した搬送システムの一例を示し、（Ａ）はＹ方向から見た図、（Ｂ）はＸ方向から見た図である。 図１のスタッカクレーンに減衰部を適用した一例を示す図である。 マスト及びガイド部の一例を示し、（Ａ）は断面が正方形状のマストにガイド部を適用した図、（Ｂ）は断面が長方形状であって移載方向に剛性を高めたマストにガイド部を適用した図である。 物品の移載動作の一例を示し、（Ａ）は物品がロードポートに移動中の状態を示す図、（Ｂ）は物品がロードポートに到達した状態を示す図である。 固定部及び検出部の一例を示し、（Ａ）はＸ方向から見た図、（Ｂ）はＹ方向から見た図、（Ｃ）はＺ方向から見て検出動作を示す図である。 ガイドローラを適用した一例を示し、（Ａ）はＺ方向からみた図、（Ｂ）はＹ方向から見た図である。 レールを用いた一例を示し、（Ａ）はスタッカクレーンの走行状態を示す図、（Ｂ）はＸ方向から見た図、（Ｃ）はＹ方向から見た図である。 他の実施形態に関するスタッカクレーンを適用した搬送システムの一例を示し、（Ａ）はＹ方向から見た図、（Ｂ）はＸ方向から見た図である。 補正部の他の例を示す図である。
　以下、実施形態について図面を参照しながら説明する。以下の各図において、ＸＹＺ座標系を用いて図中での方向を説明する。このＸＹＺ座標系においては、鉛直方向（上下方向）をＺ方向とし、水平方向をＸ方向、Ｙ方向とする。また、Ｘ、Ｙ、Ｚ方向の各方向について、適宜、矢印が指す方向を＋方向（例えば、＋Ｘ方向）と表現し、その反対方向を－方向（例えば、－Ｘ方向）と表現する。
　図１は、実施形態に関するスタッカクレーンを適用した搬送システムを示す図である。この本実施形態の搬送システム１Ａは、半導体デバイスの製造工場に設置され、半導体デバイスの製造に用いられる半導体ウエハを収容したＦＯＵＰ（Ｆｒｏｎｔ　Ｏｐｅｎｉｎｇ　Ｕｎｉｆｉｅｄ　Ｐｏｄ）、あるいはレチクルなどの加工用部材を収容したレチクルポッドなどの物品２を搬送するシステムに適用される。ここでは、物品２がＦＯＵＰであるとして説明するが、物品２は、ＦＯＵＰ以外でもよい。また、搬送システム１Ａは、半導体分野以外の設備に適用可能であり、物品２は、搬送システム１Ａが設置される設備で扱われる各種の物品でもよい。
　搬送システム１Ａは、スタッカクレーン３及び軌道４を備える。例えば、本実施形態では、１つの例として、軌道４は、走行用のレールであり、設備の天井５から複数の吊り金具５ａにより吊り下げられた状態で設けられる。スタッカクレーン３は、軌道４に沿って走行し、物品２を移載先へ移載する。例えば、本実施形態では、１つの例として、物品２の移載先あるいは移載元は、処理装置３２（後に図４に示す）のロードポート３２ａ、ストッカ（自動倉庫）あるいは処理装置に設けられる保管棚３１（後の図４に示す）、あるいはバッファなどである。
　前述の処理装置は、例えば、露光装置、コータディベロッパ、製膜装置、あるいはエッチング装置などであり、搬送システム１Ａが搬送する物品２に収容された半導体ウエハに各種処理を施す。前述したストッカは、搬送システム１Ａが搬送する物品２を保管する。前術のバッファは、例えば、サイドトラックバッファ（ＳＴＢ）、アンダートラックバッファ（ＵＴＢ）などであり、それらは、前述の処理装置の近くに設置される。バッファは、搬送システム１Ａを構成する天井走行車（図示せず）が搬送する物品２を一時的に保管する。天井走行車は、例えば、ＯＨＴ（Ｏｖｅｒｈｅａｄ　Ｈｏｉｓｔ　Ｔｒａｎｓｐｏｒｔ）、あるいはＯＨＶ（Ｏｖｅｒｈｅａｄ　Ｈｏｉｓｔ　Ｖｅｈｉｃｌｅ）などである。
　スタッカクレーン３は、走行体１１と、マスト１２と、昇降台１３と、移載装置１４と、固定部１５と、を備える。走行体１１は、軌道４に沿って走行する。走行体１１の走行方向は、軌道４とほぼ平行な方向（図１ではＸ方向）である。走行体１１は、例えば電動モータなどの走行駆動部１１ａを有し、その他に駆動輪１１ｂ、従動輪１１ｃ、及び、不図示の減速機、エンコーダなどを有する。駆動輪１１ｂは、スプリング等の不図示の弾性部材により軌道４の内側上面に押し付けられるように取り付けられ、減速機を介して電動モータ（走行駆動部１１ａ）の出力軸に接続される。電動モータの出力軸の回転が減速機を介して駆動輪１１ｂに伝えられ、駆動輪１１ｂの回転により走行体１１が走行する。従動輪１１ｃは、それぞれキャスターを備えており、このキャスターは、上下方向（Ｚ方向）のキャスター軸周りに回転可能で、かつ、軌道４の内側下面に接するように配置される。エンコーダは、電動モータの出力軸の回転数を検出し、その検出結果を制御部（図示せず）に出力する。この制御部は、エンコーダの検出結果に基づいて電動モータの回転を制御し、走行体１１の速度あるいは停止位置の制御を行う。なお、走行体１１の停止位置の設定は、軌道４に沿って予め設置された指標板等を識別することによって行われてもよい。また、走行駆動部１１ａは、電動モータの他に、例えば、リニアモータなどが用いられてもよい。
　走行体１１から下方に回転軸１６が設けられており、回転軸１６の下方に上部支持体１７が取り付けられている。上部支持体１７には、マスト１２が取り付けられている。マスト１２は、走行体１１から吊り下げられている。マスト１２は、走行体１１の走行方向（Ｘ方向）の両側（＋Ｘ方向＜ｐｌｕｓ　Ｘ－ｄｉｒｅｃｔｉｏｎ＞、－Ｘ方向＜ｍｉｎｕｓ　Ｘ－ｄｉｒｅｃｔｉｏｎ＞）にそれぞれ設けられている。上部支持体１７へのマスト１２の取り付けは、例えば、ボルト及びナットなどの締結部材が用いられてもよいし、溶接などが用いられてもよい。
　マスト１２は、その下端において、下部支持体２０と接続されている。下部支持体２０は、＋Ｘ側のマスト１２及び－Ｘ側のマスト１２の間隔が、上部支持体１７における間隔と等しくなるようにマスト１２のそれぞれと接続されている。これにより、２本のマスト１２の間隔は、上下にわたって両者間の間隔が等しいか、またはほぼ等しくなっている。また、下部支持体２０は、例えば板状である。また、２本のマスト１２は、走行体１１の走行方向における昇降台１３の前と後ろに設けられている。昇降台１３については後述する。また、下部支持体２０には、床面６に対して当接または離間するように進退する固定部１５が設けられている。固定部１５については後述する。
　なお、走行体１１が走行方向に加速する場合（例えば停止状態から走行を開始する場合など）、マスト１２の下部は慣性力によって走行体１１の下方に追従できず、遅れが生じてしまう。このマスト１２の下部の遅れは、例えば、走行体１１の加速中あるいは走行中に、走行駆動部１１ａが走行部１１の加速度を一時的に減少させ、またはこのような加速度の減少を複数回繰り返すことで、このマスト１２の下部の遅れを解消することが可能である。
　また、走行体１１が走行方向に対して減速する場合（例えば走行状態から停止する場合など）、マスト１２の下部は慣性力によって走行体１１の下方から前方に先行してしまう。例えば、走行体１１の減速中あるいは減速を開始する前に、走行駆動部１１ａが走行部１１の加速度を一時的に増加させ、またはこのような加速度の増加を複数回繰り返すことで、このマスト１２の下部の先行を解消することが可能である。
　本実施形態において、スタッカクレーン３は、マスト１２の揺動または振動を減衰させる減衰部を備えてもよい。図２は、減衰部を適用した一例を示す図である。図２に示すように、減衰部２１は、例えば、エアダンパーあるいはオイルダンパなどが用いられ、マスト１２の運動方向（符号Ｄで示す）に対して逆向きの力（符号Ｆで示す）を、マスト１２に加える。また、例として、減衰部２１は、例えば、コイルばねなどの弾性体が用いられてもよいし、アクチュエータなどによってマスト１２に力を与える機構が適用されてもよい。
　図１の説明に戻り、昇降台１３は、マスト１２に沿って昇降する。昇降台１３は、＋Ｘ側のマスト１２と－Ｘ側のマスト１２との間に配置されている。また、昇降台１３は、ワイヤなどの吊り下げ部材（図示せず）によって、上部支持体１７から吊り下げられている。上部支持体１７には、前述の吊り下げ部材の繰り出し、巻き取りを行う昇降駆動部２２が設けられる。昇降台１３は、昇降駆動部２２が吊り下げ部材を繰り出すと、マスト１２に案内されて降下する。また、昇降台１３は、昇降駆動部２２が吊り下げ部材を巻き取ると、マスト１２に案内されて上昇する。移載装置１４は、昇降台１３に設けられている。
　図３は、マスト１２及びマストガイド部２８、２９の一例を示し、（Ａ）は断面が正方形状のマスト１２にマストガイド部２８、２９が適用された図、（Ｂ）は断面が長方形状であって移載方向に剛性を高めたマスト１２ａにマストガイド部２８、２９が適用された図である。移載装置１４は、アーム部２５及び保持部２６を備える。アーム部２５は、アーム２５ａ、２５ｂが関節２５ｃを介して接続された構造である。アーム部２５は、アーム２５ａ、２５ｂが関節２５ｃで折り曲がることで、Ｙ方向を含む水平方向に伸縮する。アーム部２５は、基端側が昇降台１３と接続され、先端側が保持部２６に接続されている。保持部２６は、物品２の位置決めに用いられる複数（例、３本）のピン２７（例、キネマティックピン）を有している。このピン２７は、物品２の底面に形成されている放射状の複数の溝部にそれぞれ入り込む。このようにして、このピンは、物品２の保持部２６上での正確な位置を決定する。
　移載装置１４が移載元から物品２を受け取るときには、アーム部２５が移載元に配置された物品２の方向に伸ばされて、物品２の底面の下へ保持部２６を配置する。そして、昇降台１３が上昇すると、移載装置１４が、保持部２６で物品２をすくい上げる。そして、移載装置１４は、保持部２６上に物品２を保持した状態でアーム部２５が縮んで、保持部２６を昇降台１３の上に配置する。また、移載装置１４は、移載先へ物品２を渡すときには、移載先に対して位置決めし、アーム部２５を伸ばして、保持部２６上の物品２を移載先の上方に配置する。そして、昇降台１３が下降すると、移載装置１４は、保持部２６から移載先へ物品２を渡す。
　図３（Ａ）及び図３（Ｂ）に示した移載装置１４は、一例であり、他の構成でもよい。例えば、移載装置は、物品２の上部に設けられるフランジを把持し、物品２を保持してもよいし、または物品２の側面を挟むことで物品２を保持してもよい。また、移載装置１４は、前述したアーム部２５を用いることに限定されず、例えば、多関節のロボットアームなどが用いられてもよい。
　以下、移載装置１４が移載を行う際に物品２が移動する方向を、適宜、移載方向という。本発明において、移載方向という表現は、アーム部２５が伸縮する方向（Ｙ方向）であり、走行体１１の走行方向（Ｘ方向）に直交し、かつ、水平方向を意味する。また、図３（Ａ）に示すように、昇降台１３は、昇降台１３をマスト１２に沿って案内するマストガイド部２８及びマストガイド部２９を備えてもよい。マストガイド部２８及びマストガイド部２９の例には、それぞれガイドローラを含む。
　昇降台１３は、走行体１１の走行方向の＋Ｘ側のマスト１２及び－Ｘ側のマスト１２のそれぞれに対応するマストガイド部２８を、昇降台１３の上方の位置に備える。昇降台１３は、このマストガイド部２８により、マスト１２に沿った昇降台１３の移動経路のＸ方向の位置を規制する。また、マストガイド部２８は、＋Ｘ側のマスト１２及び－Ｘ側のマスト１２のそれぞれの位置を昇降台１３に対して規制するので、それにより、昇降台１３が、＋Ｘ側のマスト１２と－Ｘ側のマスト１２の間のＸ方向の相対位置を定められた位置に規制することができる。
　マストガイド部２９は、＋Ｘ側のマスト１２及び－Ｘ側のマスト１２のそれぞれに対して、走行体１１の走行方向に直交し、かつ、水平方向（移載方向）でマスト１２を挟む位置に設けられる。マストガイド部２８は、マスト１２と昇降台１３の干渉を防ぐことができるので、これにより昇降台１３は、円滑な昇降を行うことができる。また、マストガイド部２９は、昇降台１３がマスト１２の位置から移載方向にずれることを抑制し、昇降台１３がマスト１２に沿った移動経路から外れることを防止する。なお、より好ましい例として、マストガイド部２８は、＋Ｘ側のマスト１２及び－Ｘ側のマスト１２のそれぞれを挟むように２個ずつ設けられてもよい。これにより、各マスト１２は、マストガイド部２８及びマストガイド部２９によって囲まれた状態となり、昇降台１３がマスト１２に沿った移動経路から外れるのを回避できる。
　図３（Ｂ）は、図３（Ａ）に示すマスト１２の形状と異なるマスト１２ａを適用した例を示す図である。このマスト１２ａは、走行体１１の走行方向に直交し、かつ、水平方向（移載方向、Ｙ方向）における剛性が走行体１１の走行方向（Ｘ方向）における剛性よりも高い。ここで、移載方向における剛性は、Ｘ方向に平行な方向の軸周りの曲げモーメントに対する剛性である。また、走行方向における剛性は、Ｙ方向に平行な方向の軸周りの曲げモーメントに対する剛性である。図３（Ｂ）において、マスト１２ａは、Ｘ方向の寸法に比べてＹ方向の寸法が大きく、移載方向における剛性が走行方向における剛性よりも高い。
　移載装置１４は、保持部２６が物品２を保持してアーム部２５が伸びた状態において、Ｘ方向に平行な軸周りのモーメントを受ける。このモーメントは、昇降台１３を介してマスト１２に伝わる。図３（Ｂ）のように、本実施形態では、マスト１２ａは、移載方向における剛性が走行方向における剛性よりも高いので、走行方向における剛性を低くすることでマスト１２ａを軽量化することができ、また、移載方向における剛性によって移載時にかかる曲げモーメントに対してマスト１２ａで耐えることが可能となる。
　図１の説明に戻り、スタッカクレーン３は、走行体１１の走行時に、天井５で支持される重量が床面６で支持される重量よりも大きい。例えば、スタッカクレーン３は、走行体１１の走行時に床面６と非接触（床面６から浮いた状態）であり、そのほぼ全重量を軌道４によって支持され、床面６で支持される重量がほぼ０である。また、本実施形態では、走行体１１が走行する際の駆動力は、上部支持体１７を含む上部側の上部支持部に設けられた走行駆動部（例えば、走行駆動部１１ａ）による駆動力から主に供給され、下部支持体２０を含む下部支持部には、走行体１１の走行用の駆動力を供給する走行駆動部は設けられていない。上下の支持体のうち、下部支持体２０は、上部支持体１７に追従して移動する。
　固定部１５は、固定物に対してマスト１２を固定する。固定物は、例えば、床面６、保管棚３１（ストッカまたはバッファを含む）、処理装置３２などである。本実施形態において、固定部１５は、移載装置１４による物品の移載時に、床面６に対してマスト１２を固定する。固定部１５は、下部支持体２０に設けられるアンカーなどであり、下部支持体２０の走行方向（Ｘ方向）の両端にそれぞれ配置され、床面６に対して進退（昇降）可能である。また、スタッカクレーン３は、固定部１５によるマスト１２の固定状態と解除状態とを切り換える切換部３５を備える。切換部３５は、例えば、下部支持体２０に取り付けられる。また、切換部３５は、固定部１５を進退させる駆動源（例、電動モータあるいはシリンダ装置など）を備えており、この駆動源を駆動することにより、前述の固定状態と解除状態とを切り換える。また、固定部１５は、停止している走行体１１に対してマスト１２を固定してもよい。
　走行駆動部１１ａが走行体１１を走行させるときには、切換部３５は、固定部１５の固定を解除して、マスト１２の上部に対して下部を走行方向に追従させる。走行駆動部１１ａが走行体１１を停止させたときには、切換部３５は、マスト１２の上部に対する下部の追従終了後（走行体１１の停止後から所定時間経過後）に、または走行体１１の停止後、直ちにマスト１２（マスト１２の下部）を固定部１５で固定することが可能になる。なお、固定部１５がマスト１２（下部支持体２０）を固定することにより、移載先と昇降台１３との相対位置関係が決定される。したがって、固定部１５によるマスト１２の固定は、後述するように物品２の移載先に対する位置補正を行うための準備である。
　固定部１５は、移載装置１４による物品の移載時に、切換部３５によって床面６に向かって進出し、床面６と接触することで下部支持体２０を床面６に対して固定する。こうすることで、マスト１２の下部が、下部支持体２０と接続されているので、マスト１２は、固定部１５によって下部支持体２０とともに床面６に固定される。その結果、マスト１２の下部及び下部支持体２０は、固定物（床面６あるいは停止中の走行体１１）に対して固定された状態となる。
　図４は、物品２の移載動作の一例を示し、図４（Ａ）は物品がロードポートに移動中の状態を示す図、図４（Ｂ）は物品がロードポートに到達した状態を示す図である。本実施形態の搬送システム１Ａは、物品２を保管する保管棚３１を備える。保管棚３１は、例えば、処理装置３２に対してＸ方向に並んだ状態で配置される。保管棚３１は、鉛直方向に配列される複数の棚板３１ａを有し、スタッカクレーン３の移載装置１４は、複数の棚板３１ａのそれぞれと物品２を受け渡すことができるように構成される。
　移載装置１４が棚板３１ａへ物品２を渡す際に、切換部３５によって、固定部１５は、下方に進出されて床面６と接触し、下部支持体２０及びマスト１２の下部を走行体１１（または床面６）に対して固定する（固定状態）。また、移載装置１４が棚板３１ａから物品２を受け取る際にも同様に、切換部３５によって、固定部１５は、下部支持体２０及びマスト１２の下部を走行体１１（または床面６）に対して固定する（固定状態）。なお、搬送システム１Ａは、保管棚３１を備えなくてもよく、保管棚３１以外の場所に物品２を移載してもよい。なお、物品２の移載が完了した後、切換部３５によって、固定部１５は、上方に移動して床面６から離れ（固定が解除された状態となり）、走行体１１は走行可能な状態となる。
　図４（Ａ）及び図４（Ｂ）に示したように、下部支持体２０及びマスト１２の下部が床面６（または走行体１１、移載先）に対して固定部１５により固定された後、移載装置１４は、移載先に向かって延び、物品２を移載先に渡す（あるいは受け取る）ことが可能となる。また、移載装置１４は、前述した保管棚３１の他に処理装置３２のロードポート３２ａに対して物品２を受け渡すことも可能である。例えば、移載装置１４は、保管棚３１から物品２を受け取り、この物品２をロードポート３２ａへ渡す。また、移載装置１４は、ロードポート３２ａから物品２を受け取り、この物品２を保管棚３１に渡す。
　例として、移載装置１４がロードポート３２ａに物品２を受け渡す際には、前述したように、切換部３５が、固定部１５を下方に進出させて床面６に接触させ、下部支持体２０及びマスト１２の下部を床面６（または走行体１１）に対して固定する。また、別の例として、移載装置１４は、ロードポート３２ａと同様に、ストッカ（自動倉庫）あるいはバッファ（いずれも図示せず）に物品２を受け渡すことができる。移載装置１４がストッカあるいはバッファと物品２を受け渡す際には、前述と同様に、下部支持体２０及びマスト１２の下部が床面６（または走行体１１）に対して固定される。
　図５は、固定部１５及び検出部３７の一例を示し、図５（Ａ）はＸ方向から見た図、図５（Ｂ）はＹ方向から見た図、図５（Ｃ）はＺ方向から見て検出動作を示す図である。固定部１５は、図５（Ａ）及び図５（Ｂ）に示すように、切換部３５が、下部支持体２０の位置に対して昇降させる固定部材３６を備える。固定部材３６は、床面６に接触して水平方向への下部支持体２０の移動を規制し、下部支持体２０に移動可能に取り付けられる。切換部３５は、固定部材３６を床面６に対して進退させる。切換部３５は、例えば、スタッカクレーン３の制御部（図示せず）に制御され、この制御部が指定するタイミングで固定部材３６を進退させる。なお、固定部１５の構成は、図５に示す構成に限定されず、他の構成でもよい。
　また、スタッカクレーン３は、図５（Ａ）から図５（Ｃ）に示すように、検出部３７を備えてもよい。本実施形態では、検出部３７の１つの例として距離センサを使用してもよい。この距離センサは、前述の図では下部支持部２０の下面側であってかつ走行方向のほぼ中央部分にステー３７ａを介して取り付けられているが、検出部３７を取り付けるこの位置は任意である。また、図５（Ｃ）に示すように、物品２の移載先の下部には反射ミラー３８が配置されている。反射ミラー３８は、例えば、本実施形態では、処理装置３２（図４参照）の側面であって、かつロードポート３２ａの下方に配置されている。
　本実施形態では、検出部３７の発光素子がレーザ光などの検出光を反射ミラー３８へ出射し、この反射ミラー３８は、その検出光を検出部３７に反射し、検出部３７の受光素子は、この反射光を検出する。この結果に基づき、検出部３７の距離算出部は、検出部３７（下部支持体２０）と反射ミラー３８との間の距離を算出する。算出した距離は、スタッカクレーン３の制御部（不図示）の記憶部等に記憶されている目標距離と比較され、Ｙ方向におけるズレ量が算出される。本実施形態では、検出部３７または前述したスタッカクレーン３の制御部が算出したこのズレ量に応じて、補正部３９が以下に説明する位置補正を行う。補正部３９は、例えば、移載装置１４が用いられる。
　本実施形態では、走行体１１が目標位置に停止した後に固定部１５が下部支持体２０及びマスト１２の下部を固定する。しかし、この方法では下部支持体２０及びマスト１２の下部が目標停止位置からずれる可能性がある。前述したように、走行方向（Ｘ方向）のズレ量は、走行部１１の走行中の加減速制御を用いて、停止時のマスト１２の下部及び下部支持体２０のズレ量を減少させることが可能であるが、移載方向（Ｙ方向）のズレ量は、駆動源の調整等がなく、マスト１２が移載方向に揺れたまま固定状態となり、ズレが生じることが想定される。その結果、目標停止位置からのズレ量は、走行方向（Ｘ方向）よりも移載方向（Ｙ方向）の方が大きくなる傾向がある。
　したがって、物品２を正確な位置に移載するためには、検出部３７によって移載方向のズレを検出し、補正部３９によりそのズレを補正する必要がある。ここで例として、移載装置１４を使用した補正部３９を説明する。移載装置１４は、アーム部２５（図３参照）を伸ばす量（ストローク）が予め設定されている。前述したように移載方向にズレが発生するので、検出部３７はそのズレ量を検出し、移載装置１４の制御部に送出する。移載装置１４の制御部は、この検出されたズレ量に応じてこのストローク量を補正する。このように移載装置１４を使用した補正部３９により、物品２を移載先（例えば、図４（Ａ）では保管棚３１など）に適切に移載することができる。
　なお、本実施形態のもう１つの例として検出部３７が、移載方向のズレ量を測定するだけでなく、走行方向のズレ量を測定してもよい。検出部３７が、走行方向に配置された反射ミラー３８に対して検出光を出射し、その反射された光を検出することで導かれた情報を用いて、この走行方向のズレ量が算出される。また、本実施形態の検出部３７は、距離センサを用いることには限定されず、例えば、検出部３７として、下部支持部２０等に取り付けられた撮像装置を用いてズレ量を測定してもよい。処理装置３１等に関連付けて床面６に、配置されたマークの画像を撮像装置が撮像することで、検出部３７が、このマークの画像から目標位置に対する走行方向及び移載方向の一方または双方のズレ量を算出する。
　なお、本実施形態では、例えば、補正部３９には、移載装置１４が適用されたが、これに限定されず、他の例として、補正部３９は、下部支持体２０から移載装置１４をＸ方向とＹ方向へ移動可能なユニットで構成されてもよい。この移動可能なユニットは、Ｘ方向またはＹ方向のどちらか１方向に移動可能にしてもよいし、２方向に移動可能なユニットにしてもよい。Ｘ方向とＹ方向の１方向に移動可能なユニットを組み合わせて２方向に移動可能な構成としてもよい。
　図６は、ガイドローラ４２をスタッカクレーンに適用した一例を示し、図６（Ａ）はＺ方向から見た図、図６（Ｂ）はＹ方向から見た図である。図６（Ａ）及び図６（Ｂ）に示すように、本実施形態では、下部支持体２０の下面側に、複数のガイドローラ４２が設けられている。４個のガイドローラ４２は回転可能な構造であり、１つのブラケット４２ａに２個のガイドローラ４２が保持される。この２つのブラケット４２ａが下部支持体２０に取り付けられている。各ガイドローラ４２は、上下方向（Ｚ方向）を軸として回転可能であり、ほぼ同じ高さに配置され、かつ、後述するレール４１を挟む間隔で配置される。なお、ガイドローラ４２の配置及び数は一例であって任意に設定可能である。
　図７は、レール４１を用いた一例を示し、図７（Ａ）はスタッカクレーン３の走行状態を示す図、図７（Ｂ）はＸ方向から見た図、図７（Ｃ）はＹ方向から見た図である。本実施形態の搬送システムでは、軌道４に区間４ａ及び区間４ｂを含むことができる。区間４ａは曲線状であり、区間４ｂは直線状である。曲線状の区間４ａには、図７（Ｂ）及び図７（Ｃ）に示すように、床面６上にレール４１が併設されている。なお、直線状の区間４ｂには、床面６上にガイドとしてのレールが併設されていない。このように、軌道４の下の床面６上の一部の区間にレール４１が併設されてもよい。
　図７（Ｂ）及び図７（Ｃ）に示す例では、下部支持体２０は、レール４１に案内されるガイドローラ４２を備えている。ガイドローラ４２は、移載方向（Ｙ方向）にレール４１を挟むように配置されている。各ガイドローラ４２は、レール４１と接触し、回転する。なお、ガイドローラ４２とレール４１との摩擦力は、例えば、スタッカクレーン３の重量を支えられる摩擦力に対しては無視できるほど小さく設定されており、スタッカクレーン３のほぼ全重量が軌道４によって支持されていることに変わりはない。
　スタッカクレーン３が、曲線状の区間４ａを走行するときには、カーブの外向きに、走行方向に対して直交し、かつ水平方向の遠心力がマスト１２に働く。この遠心力は、移載方向（走行方向に直交し、かつ、水平方向）の曲げモーメントとしてマスト１２に作用する。図７（Ｂ）及び図７（Ｃ）に示すように、ガイドローラ４２はスタックレーン３をレール４１に案内する。この遠心力の少なくとも一部はガイドローラ４２を介してレール４１に作用するので、マスト１２に作用するモーメントが減少される。この発明の好ましい例は、マスト１２、あるいはマスト１２と上部支持部との接続部分に要求される剛性を下げることができ、スタッカクレーン３の軽量化が可能となる。
　なお本実施形態では、直線状の区間４ｂでレール４１がなく、スタッカクレーン３は床面６と非接触になり、このスタッカクレーン３の全重量は軌道４によって支持される。スタッカクレーン３は、軌道４の全区間において床面６と非接触であってもよいし、軌道４の一部の区間（区間４ｂ）において、床面６と非接触でもよい。なお、直線状の区間４ｂにおいても、図７（Ｂ）及び図７（Ｃ）に示すように、レール４１が設けられてもよい。
　また、図７の例では、ガイドローラ４２が床面６上に設けられたレール４１に沿って転動することでスタッカクレーン３を案内する構成であるが、この構成に限定されない。例えば、マスト１２の一部あるいはマスト１２の下部に接続された下部支持体２０がレールによって案内される構成としてもよい。また、レール４１などの案内部は、床面６に設けられることに限定されず、例えば、天井５から吊り下げられて設けられてもよく、または床面６に設置された処理装置等の一部に設けられてもよい。
　図８は、他の実施形態に関するスタッカクレーン３Ａを適用した搬送システム１Ｂの一例を示し、図８（Ａ）はＹ方向から見た図、図８（Ｂ）はＸ方向から見た図である。なお、本実施形態において、前述の実施形態と同様の構成物については、同じ符号を付して、その説明を省略あるいは簡略化する。なお、図８において、図１に示す切換部３５は図示されていない。
　図８に示すスタッカクレーン３Ａでは、上部支持体１７に接続部１８を介してマスト１２が取り付けられている。接続部１８は、例えば、ヒンジであり、走行体１１の走行方向（Ｘ方向）に直交し、かつ、水平方向（Ｙ方向）の軸心１８ａ（図８（Ｂ）参照）を有する。接続部１８は、摩擦を無視すると、軸心１８ａの周りのモーメントをほぼ伝達しない。走行体１１は、軸心１８ａの周りに回動可能（回動自在）な機構をもつ接続部１８でマスト１２を支持する。
　また、接続部１８は、軸心１８ａに垂直な２方向（Ｘ方向、Ｚ方向）の周りのモーメントを受ける。したがって、接続部１８は、長手方向が鉛直方向（Ｚ方向）に配置されたマスト１２が軌道４の側方（－Ｙ側あるいは＋Ｙ側）に傾くことを防止する。また、接続部１８は、走行体１１が走行するときに、マスト１２が鉛直方向（Ｚ方向）の周りにねじれることを防止する。なお、接続部１８は、例としてヒンジを含むが、それには限定されず、ユニバーサルジョイントのように複数の軸心（例、Ｘ方向、Ｙ方向）の周りで回動可能な機構を用いてもよい。
　マスト１２の下端は、接続部１９を介して下部支持体２０と接続されている。接続部１９は、例えばヒンジであり、走行体１１の走行方向（Ｘ方向）に直交し、かつ、水平方向（Ｙ方向）の軸心１９ａ（図８（Ｂ）参照）を有する。接続部１９は、摩擦の影響を除くと、軸心１９ａの周りのモーメントをほぼ伝達しない。接続部１９は、下部支持体２０とマスト１２を軸心１９ａの周りで回動可能（回動自在）に支持する機構で接続する。
　また、接続部１９は、接続部１８と同様に、軸心１９ａに垂直な２方向（Ｘ方向、Ｚ方向）の周りのモーメントを受ける。また、接続部１９は、下部支持体２０により、マスト１２が鉛直方向（Ｚ方向）の周りにねじれることを防止する。なお、接続部１９は、例としてヒンジを含むが、それには限定されず、ユニバーサルジョイントのように複数の軸心（例、Ｘ方向、Ｙ方向）の周りで回動可能な機構を用いてもよい。
　図８に示すスタッカクレーン３Ａは、走行体１１の加速時あるいは減速時に、下部支持体２０側の慣性によってマスト１２が回転して傾斜するが、下部支持体２０がマスト１２の接続部１９の軸心周りに回動可能なので、マスト１２が傾斜してもほぼ水平な状態を保持する。また、下部支持体２０が上部支持体１７の下方の位置より、遅れてあるいは先行して移動するので、スタッカクレーン３Ａは、走行体１１の加速時あるいは減速時において、平行四辺形状になる。しかし、加速時も減速時も下部支持体２０はほぼ水平な状態を維持できる。
　昇降台１３は、図８（Ａ）に示すように、ヒンジ部１３ａを介して側部と底部とを接続して形成される。このヒンジ部１３ａは、昇降台１３の側部と底部を回転可能に接続する。従って、マスト１２が揺動した場合であっても側部がマスト１２とともに回転して昇降台１３の底部を水平に維持することができる。
　図９は、他の実施形態に関する補正部３９ａを示す図である。前述した図５（Ｃ）では、補正部３９として移載装置１４を適用しているが、この補正部３９に代えて、図９に示す補正部３９ａが用いられてもよい。補正部３９ａは、図９に示すように、下部支持台２０の下面であって走行方向（Ｘ方向）の両端に設けられる。補正部３９ａは、下部支持台２０の下面からＸ方向に移動可能なＸ軸スライダ４０ａと、Ｘ軸スライダ４０ａの下面からＹ方向に移動可能なＹ軸スライダ４０ｂと、を備える。Ｙ軸スライダ４０ｂと固定部１５は支持部１５ａで接続されている。固定部１５は、固定部材３６を進退可能に支持するこの支持部１５ａを含む。
　Ｘ軸スライダ４０ａは、不図示のＸ軸駆動部によりＸ方向に移動する。また、Ｙ軸スライダ４０ｂは、不図示のＹ軸駆動部によりＹ方向に移動する。補正部３９ａは、検出部３７（図５参照）で検出したＸ方向（走行方向）及びＹ方向（移載方向）のズレ量に応じて不図示のＸ軸駆動部及びＹ軸駆動部を駆動し、Ｘ軸スライダ４０ａ及びＹ軸スライダ４０ｂを移動させることにより、支持部１５ａを介して固定部材３６に対するＸ方向（走行方向）及びＹ方向（移載方向）の相対的な位置を調整することができる。
　これにより、固定部１５を固定状態とした後、補正部３９ａを駆動することにより下部支持部２０を目標停止位置に補正することができる。この補正により、移載装置１４（図１参照）を適正な位置に配置できるので、物品２を移載先へ正確に受け渡しすることが可能となる。なお、図９に示す構成は一例であり、固定部材３６をＸ方向（走行方向）及びＹ方向（移載方向）に移動可能な任意の機構を適用することができる。
　このように、本実施形態のスタッカクレーン３、３Ａによれば、マスト１２が走行体１１に吊り下げられているので、マスト１２の軽量化が可能であり、さらに設備の床面６に多くのレール４１が不要となるので設備コストを低減できる。また、固定部１５は、物品２の移載時に固定物（床面６あるいは走行体１１）にマスト１２の下部を固定するので、昇降台１３及び移載装置１４の位置が定まり、移載装置１４によって物品２を目標の位置に正確に移載することができる。
　以上、実施形態について説明したが、本発明の技術範囲は、前述の実施形態などで説明した態様に限定されない。また、前述の実施形態などで説明した要件の１つ以上は、省略されることがある。また、前述の実施形態などで説明した要件は、適宜組み合わせることができる。また、法令で許容される限りにおいて、日本特許出願である特願２０１６－２０４１８４、特願２０１６－２０４１８５、及び本明細書において引用した全ての文献の開示を援用して本文の記載の一部とする。
　なお、前述の搬送システム１Ａ、１Ｂに設けられた天井走行車は、軌道４の少なくとも一部を、天井走行車の軌道として使用してもよい。また、前述の実施形態では、軌道４は、設備の天井５に吊り金具５ａを介して設けられた。さらに別の例として、軌道４は、天井５に直接設けられてもよいし、天井５の近傍に形成されたフレーム（架台）に設けられてもよい。また、前述の搬送システムの実施形態で説明したとおり、固定部１５が、床面６と接触し、マスト１２を床面６に固定する。さらに別の例として、床面６に固定された構造物あるいは各種装置などの固定物に接触し、マスト１２の下部を固定物に固定してもよい。
２・・・物品
３、３Ａ・・・スタッカクレーン
４・・・軌道
５・・・天井
６・・・床面
１１・・・走行体
１１ａ・・・走行駆動部
１２、１２ａ・・・マスト
１３・・・昇降台
１４・・・移載装置
１５・・・固定部
１８ａ・・・軸心
２０・・・下部支持体
２１・・・減衰部
２８・・・マストガイド部
２９・・・マストガイド部
３５・・・切換部
３７・・・検出部
３９、３９ａ・・・補正部
４１・・・レール
４２・・・ガイドローラ

Claims (9)

  1. 　走行駆動部を有し、設備の天井側に設けられた軌道を走行する走行体と、
    　前記走行体から吊り下げられたマストと、
    　前記マストに昇降自在に案内される昇降台と、
    　前記昇降台に設けられて、物品を移載する移載装置と、
    　前記マストを固定する固定部と、
    　前記固定部による前記マストの固定状態と解除状態とを切り換える切換部と、を備え、
    　前記走行駆動部が前記走行体を走行させるときは、前記切換部が前記固定部の固定を解除して、前記マストの上部に対して下部を、前記走行体の走行方向に追従させ、前記走行駆動部が前記走行体を停止させるときは、前記固定部が前記マストを固定する、スタッカクレーン。
  2. 　前記マストは、前記走行体の走行方向における前記昇降台の両側に設けられ、かつ前記マストの下部どうしを連結する下部支持体を備え、
    　前記固定部は、前記下部支持体に設けられる、請求項１に記載のスタッカクレーン。
  3. 　前記固定部は、床面に対して当接または離間するように進退する、請求項２に記載のスタッカクレーン。
  4. 　前記固定部により固定した際の前記マストの下部の停止位置と、予め設定された目標停止位置とのズレを検出する検出部を備える、請求項１から請求項３のいずれか一項に記載のスタッカクレーン。
  5. 　前記検出部により検出したズレを補正する補正部を備える、請求項４に記載のスタッカクレーン。
  6. 　前記軌道の一部の区間の床面に形成されたレールに沿って前記走行体をガイドするガイドローラを前記マストの下部に備える、請求項１から請求項５のいずれか一項に記載のスタッカクレーン。
  7. 　前記昇降台は、前記マストに沿って昇降するためのマストガイド部を備える、請求項１から請求項６のいずれか一項に記載のスタッカクレーン。
  8. 　前記走行体の走行方向に直交しかつ水平方向に前記物品を前記移載装置が移載し、
    　前記マストの剛性は、前記走行体の走行方向に直交しかつ水平方向における剛性が前記走行体の走行方向における剛性よりも高い、請求項１から請求項７のいずれか一項に記載のスタッカクレーン。
  9. 　前記マストの揺動または振動を減衰させる減衰部を備える、請求項１から請求項８のいずれか一項に記載のスタッカクレーン。
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