WO2018070135A1 - 圧電振動素子及び圧電振動子 - Google Patents

圧電振動素子及び圧電振動子 Download PDF

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WO2018070135A1
WO2018070135A1 PCT/JP2017/031533 JP2017031533W WO2018070135A1 WO 2018070135 A1 WO2018070135 A1 WO 2018070135A1 JP 2017031533 W JP2017031533 W JP 2017031533W WO 2018070135 A1 WO2018070135 A1 WO 2018070135A1
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electrode
main surface
electrodes
piezoelectric
vibration element
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PCT/JP2017/031533
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English (en)
French (fr)
Inventor
山本　裕之
Original Assignee
株式会社村田製作所
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    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/15—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material
    • H03H9/17—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material having a single resonator
    • H03H9/19—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material having a single resonator consisting of quartz

Definitions

  • the present invention relates to a piezoelectric vibration element and a piezoelectric vibrator.
  • Piezoelectric vibrators are widely used as signal sources for reference signals used in oscillators and bandpass filters.
  • the piezoelectric vibrator includes a piezoelectric vibration element and a base member on which the piezoelectric vibration element is held so as to be able to be excited via a conductive holding member.
  • a piezoelectric vibration element for example, a crystal vibration element made of quartz can be used.
  • a tuning-fork type crystal vibrating piece having a base and a pair of vibrating arms extending from one end of the base, or a thickness-shear vibration cut out at a predetermined cut angle such as an AT cut is performed.
  • a crystal vibrating piece or the like is disclosed.
  • the conductive holding member becomes smaller along with the miniaturization of the piezoelectric vibrator, the conductive failure of the electrode is likely to occur when the position of the conductive holding member and the position of the piezoelectric vibration element are relatively shifted. Reliability may deteriorate.
  • the present invention has been made in view of such circumstances, and an object thereof is to provide a piezoelectric vibration element and a piezoelectric vibrator capable of improving electrical reliability.
  • a piezoelectric vibration element includes a first main surface and a second main surface facing each other having a long side and a short side, and a long side of the first main surface and the second main surface and facing each other.
  • a piezoelectric substrate including a first side surface and a second side surface; an excitation electrode provided on each of the first main surface and the second main surface; and provided near a short side of the second main surface.
  • connection electrode provided on at least one of the first side surface and the second side surface and electrically connected to the connection electrode, the side electrode provided with the connection electrode It extends in the long side direction parallel to the long side from the short side, and the length in the long side direction of the side electrode is longer than the length in the long side direction of the connection electrode.
  • the piezoelectric vibration element and the base member are interposed via the side electrodes. Electrical conduction can be achieved. Therefore, the electrical reliability of the piezoelectric vibration element and the piezoelectric vibrator can be improved.
  • FIG. 1 is an exploded perspective view of a piezoelectric vibrator provided with a piezoelectric vibration element according to a first embodiment of the present invention.
  • 2 is a cross-sectional view taken along line II-II in FIG.
  • FIG. 3 is a partially enlarged view of the piezoelectric vibration element according to the first embodiment of the present invention.
  • FIG. 4 is a plan view of a piezoelectric vibrator including the piezoelectric vibration element according to the first embodiment of the present invention.
  • FIG. 5 is a perspective view of a piezoelectric vibration element according to the second embodiment of the present invention.
  • FIG. 6 is a partially enlarged view of the piezoelectric vibration element according to the third embodiment of the present invention.
  • FIG. 1 is an exploded perspective view of the piezoelectric vibrator including the piezoelectric vibration element according to the first embodiment of the present invention.
  • 2 is a cross-sectional view taken along line II-II in FIG.
  • FIG. 3 is a partially enlarged view of the piezoelectric vibration element according to the first embodiment of the present invention.
  • FIG. 4 is a plan view of a piezoelectric vibrator including the piezoelectric vibration element according to the first embodiment of the present invention.
  • FIG. 4 is a view in which the lid member 20 and the joining member 40 in the piezoelectric vibrator 1 shown in FIG. 1 are omitted.
  • the piezoelectric vibrator 1 includes a piezoelectric vibration element 10, a lid member 20, and a base member 30.
  • the lid member 20 and the base member 30 are part of the structure of a cage (case or package) for housing the piezoelectric vibration element 10.
  • the lid member 20 has a shape having a recess
  • the base member 30 has a flat plate shape.
  • the piezoelectric vibration element 10 includes a piezoelectric substrate 11 and excitation electrodes 14a and 14b provided on the main surface of the piezoelectric substrate 11 (hereinafter, also referred to as “first excitation electrode 14a” and “second excitation electrode 14b”). And lead electrodes 15a and 15b, connection electrodes 16a and 16b, and side electrodes 17a and 17b.
  • the piezoelectric substrate 11 is formed from a predetermined piezoelectric material, and the material is not particularly limited. In the example shown in FIG. 1, the piezoelectric substrate 11 is formed from a quartz material having a predetermined crystal orientation.
  • the piezoelectric substrate 11 is, for example, an AT-cut quartz piece (Quartz Crystal Blank), and the piezoelectric vibrator 1 is a quartz vibrator (Quartz Crystal Resonator Unit).
  • the AT-cut type crystal piece is composed of an X-axis, a Y-axis, and a Z-axis which are crystal axes of an artificial quartz (Synthetic Quartz Crystal).
  • the piezoelectric substrate 11 has a first main surface 12a and a second main surface 12b which are XZ 'surfaces facing each other.
  • the piezoelectric substrate 11 has a first side surface 13a and a second side surface 13b, which are XY ′ surfaces facing each other.
  • the first side surface 13a and the second side surface 13b are side surfaces including long sides of the first main surface 12a and the second main surface 12b.
  • the piezoelectric substrate 11 has a long side parallel to the X axis, a short side parallel to the Z ′ axis, and a side in the thickness direction parallel to the Y ′ axis.
  • the piezoelectric substrate 11 has a flat plate shape, and has a rectangular shape on the XZ ′ plane.
  • the direction in which the long side of the piezoelectric substrate 11 extends is simply referred to as “long side direction”
  • the direction in which the short side extends is also simply referred to as “short side direction”.
  • the crystal resonator element (Quartz Crystal Resonator) using the AT-cut crystal piece has high frequency stability in a wide temperature range, and changes with time. In addition, it can be manufactured at low cost. Further, the AT-cut quartz crystal resonator element uses a thickness shear vibration mode as a main vibration.
  • the piezoelectric vibration element 10 includes a first excitation electrode 14a and a second excitation electrode 14b that constitute a pair of electrodes.
  • the first excitation electrode 14a is provided on the first main surface 12a.
  • the second excitation electrode 14b is provided on the second main surface 12b.
  • the first excitation electrode 14a and the second excitation electrode 14b are provided to face each other across the piezoelectric substrate 11 in a region including the center of each main surface.
  • the first excitation electrode 14a and the second excitation electrode 14b are disposed so as to substantially overlap each other on the XZ ′ plane.
  • the first excitation electrode 14a and the second excitation electrode 14b each have a long side parallel to the X axis and a short side parallel to the Z ′ axis.
  • the long sides of the first excitation electrode 14a and the second excitation electrode 14b are parallel to the long side of the piezoelectric substrate 11, and the first excitation electrode 14a and the second excitation electrode
  • the short side of 14 b is parallel to the short side of the piezoelectric substrate 11.
  • the first excitation electrode 14a has a predetermined distance from each long side of the first main surface 12a where the first side surface 13a and the second side surface 13b are in contact with the first main surface 12a (in the example shown in FIG. 3). , Provided in a region separated by a distance W1).
  • the piezoelectric vibration element 10 has extraction electrodes 15a and 15b, connection electrodes 16a and 16b, and side electrodes 17a and 17b.
  • the connection electrode 16a is electrically connected to the first excitation electrode 14a via the side electrode 17a and the extraction electrode 15a.
  • the connection electrode 16b is electrically connected to the second excitation electrode 14b through the extraction electrode 15b.
  • the connection electrode 16 a and the connection electrode 16 b are terminals for achieving electrical continuity with the base member 30.
  • the connection electrode 16a and the connection electrode 16b are provided in the vicinity of one short side of the second main surface 12b of the piezoelectric substrate 11 and in the vicinity of a corner of the second main surface 12b.
  • the extraction electrode 15a electrically connects the first excitation electrode 14a and the side electrode 17a.
  • the extraction electrode 15b electrically connects the second excitation electrode 14b and the connection electrode 16b.
  • the extraction electrode 15a extends from the first excitation electrode 14a toward one short side of the piezoelectric substrate 11 on the first main surface 12a, and further from the first main surface 12a to the piezoelectric substrate 11. It extends to reach the first side surface 13a and is electrically connected to the side electrode 17a on the first side surface 13a.
  • the extraction electrode 15b extends from the second excitation electrode 14b toward one short side of the piezoelectric substrate 11 on the second main surface 12b, and is electrically connected to the connection electrode 16b on the second main surface 12b. It is connected.
  • the connection electrodes 16a and 16b electrically connected to the first excitation electrode 14a and the second excitation electrode 14b provided on both main surfaces are connected to the second main electrode. It can be arranged on the surface 12b.
  • connection electrodes 16a and 16b are disposed along one short side of the piezoelectric substrate 11, and are electrically connected to electrodes formed on the base member 30 via the conductive holding members 36a and 36b.
  • the conductive holding members 36a and 36b are formed by thermally curing a conductive adhesive.
  • the side electrodes 17a and 17b are respectively arranged on the side surfaces of the piezoelectric substrate 11, and reinforce the bonding with the conductive holding members 36a and 36b.
  • the side electrode 17a first side electrode
  • the side electrode 17b second side electrode
  • the side electrode 17b is formed on the second side surface 13b of the piezoelectric substrate 11 and connected to the connection electrode 16b formed on the second main surface 12b. Details of the configuration of the side electrodes 17a and 17b will be described later.
  • the materials of the excitation electrodes 14a and 14b, the extraction electrodes 15a and 15b, the connection electrodes 16a and 16b, and the side electrodes 17a and 17b are not particularly limited.
  • a chromium (Cr) layer is provided as a base.
  • a gold (Au) layer may be further provided on the surface of the chromium layer.
  • the arrangement and pattern shape of the side electrodes 17a and 17b, the connection electrodes 16a and 16b, and the extraction electrodes 15a and 15b are not limited, and may be appropriately changed in consideration of electrical connection with other members. Good.
  • the lid member 20 is joined to the base member 30, whereby the piezoelectric vibration element 10 is accommodated in the internal space.
  • the lid member 20 has a shape having a recess opened toward the first main surface 32 a of the base member 30. Specifically, the lid member 20 extends in the normal direction with respect to the main surface of the top surface portion 21 and the top surface portion 21 facing the first main surface 32a of the base member 30 and the entire periphery of the opening. And a side wall portion 22.
  • the side wall portion 22 has an end surface 23 that faces the first main surface 32 a of the base member 30. The end surface 23 is joined to the first main surface 32 a of the base member 30 via the joining member 40.
  • the lid member 20 has a rectangular shape when viewed from the normal direction of the main surface of the top surface portion 21.
  • the lid member 20 has, for example, a long side parallel to the X axis, a short side parallel to the Z ′ axis, and a height parallel to the Y ′ axis.
  • the lid member 20 may have any shape that can accommodate the piezoelectric vibration element 10 in the internal space when bonded to the base member 30, and the shape is not particularly limited.
  • the material of the lid member 20 is not particularly limited, but is made of a conductive material such as metal. According to this, a shielding function can be added to the lid member 20. In this case, the shield function can be improved by electrically connecting the lid member 20 to the ground potential.
  • the lid member 20 is made of an alloy (for example, 42 alloy) containing iron (Fe) and nickel (Ni). Further, a gold (Au) layer for the purpose of preventing oxidation or the like may be provided on the outermost surface of the lid member 20.
  • the lid member 20 may be an insulating material or a composite structure of a conductive material and an insulating material.
  • the base member 30 supports the piezoelectric vibration element 10 so that it can be excited. Specifically, the piezoelectric vibration element 10 is held on the first main surface 32a of the base member 30 through the conductive holding members 36a and 36b so as to be able to be excited.
  • the base member 30 has a flat plate shape.
  • the base member 30 has a long side parallel to the X axis, a short side parallel to the Z ′ axis, and a side in the thickness direction parallel to the Y ′ axis.
  • the base member 30 has a base 31.
  • the base 31 has a first main surface 32a and a second main surface 32b which are XZ ′ surfaces facing each other.
  • the base 31 is a sintered material such as insulating ceramic (alumina). In this case, a plurality of insulating ceramic sheets may be laminated and sintered.
  • the base 31 is made of a glass material (for example, silicate glass or a material mainly composed of materials other than silicate and having a glass transition phenomenon due to a temperature rise), a crystal material (for example, an AT-cut crystal), or You may form with a glass epoxy resin.
  • the base 31 is preferably made of a heat resistant material.
  • the substrate 31 may be a single layer or a plurality of layers. When the substrate 31 is a plurality of layers, the substrate 31 includes an insulating layer formed on the outermost layer of the first main surface 32a.
  • the base member 30 includes electrode pads 33a and 33b provided on the first main surface 32a and external electrodes 35a, 35b, 35c and 35d provided on the second main surface.
  • the electrode pads 33a and 33b are terminals for achieving electrical continuity with the piezoelectric vibration element 10.
  • the external electrodes 35a to 35d are terminals for electrical connection with a mounting board (not shown).
  • the electrode pad 33a is electrically connected to the external electrode 35a via a via electrode 34a extending in the Y′-axis direction
  • the electrode pad 33b is an external electrode via a via electrode 34b extending in the Y′-axis direction. It is electrically connected to 35b.
  • the via electrodes 34a and 34b are formed in via holes that penetrate the base 31 in the Y′-axis direction.
  • the electrode pads 33a and 33b are provided in the vicinity of one short side of the base member 30 on the first main surface 32a of the base member 30, and are arranged away from the short side and along the short side direction.
  • the electrode pad 33a is connected to the connection electrode 16a of the piezoelectric vibration element 10 via the conductive holding member 36a
  • the electrode pad 33b is connected to the connection electrode 16b of the piezoelectric vibration element 10 via the conductive holding member 36b. Is done.
  • the plurality of external electrodes 35 a to 35 d are provided in the vicinity of each corner of the second main surface 32 b of the base member 30.
  • the external electrodes 35a and 35b are disposed immediately below the electrode pads 33a and 33b.
  • the external electrodes 35a and 35b can be electrically connected to the electrode pads 33a and 33b via the via electrodes 34a and 34b extending in the Y′-axis direction.
  • the external electrodes 35 a and 35 b disposed near one short side of the base member 30 are supplied with input / output signals of the piezoelectric vibration element 10. Input / output electrodes.
  • the external electrodes 35c and 35d disposed near the other short side of the base member 30 are dummy electrodes to which input / output signals of the piezoelectric vibration element 10 are not supplied. Such dummy electrodes are not supplied with input / output signals of other electronic elements on a mounting board (not shown) on which the piezoelectric vibrator 1 is mounted.
  • the external electrodes 35c and 35d may be grounding electrodes to which a ground potential is supplied.
  • a shielding function can be added to the lid member 20. Furthermore, if the lid member 20 is connected to the external electrodes 35c and 35d, which are grounding electrodes, the shielding function can be improved.
  • a sealing frame 37 is provided on the first main surface 32 a of the base 31.
  • the sealing frame 37 has a rectangular frame shape when viewed from the normal direction of the first main surface 32a.
  • the electrode pads 33 a and 33 b are disposed inside the sealing frame 37.
  • the sealing frame 37 is made of a conductive material.
  • a joining member 40 described later is provided on the sealing frame 37, whereby the lid member 20 is joined to the base member 30 via the joining member 40 and the sealing frame 37.
  • the electrode pads 33a and 33b, the external electrodes 35a to 35d and the sealing frame 37 of the base member 30 are all made of a metal film.
  • the electrode pads 33a and 33b, the external electrodes 35a to 35d, and the sealing frame 37 are configured by laminating a molybdenum (Mo) layer, a nickel (Ni) layer, and a gold (Au) layer from the lower layer to the upper layer.
  • the via electrodes 34a and 34b can be formed by filling the via hole of the base 31 with a metal material such as molybdenum.
  • the positional relationship between the electrode pads 33a and 33b and the external electrodes 35a to 35d is not limited to the above example.
  • the electrode pad 33 a may be disposed near one short side of the base member 30, and the electrode pad 33 b may be disposed near the other short side of the base member 30.
  • the piezoelectric vibration element 10 is held by the base member 30 at both ends in the long side direction of the piezoelectric substrate 11.
  • the arrangement of the external electrodes is not limited to the above example.
  • two input / output electrodes may be provided on the diagonal of the second main surface 32b.
  • the four external electrodes may be arranged near the center of each side instead of the corner of the second main surface 32b.
  • the number of external electrodes is not limited to four, and may be, for example, only two that are input / output electrodes.
  • the manner of electrical connection between the electrode pad and the external electrode is not limited to that using the via electrode, and the electrode pad and the external electrode can be connected by pulling out the extraction electrode on the first main surface 32a or the second main surface 32b. Electrical continuity may be achieved.
  • the base 31 of the base member 30 is formed in a plurality of layers, the via electrode extends to the intermediate layer, and the extraction electrode is drawn out in the intermediate layer, thereby electrically connecting the electrode pad and the external electrode. Also good.
  • both the lid member 20 and the base member 30 are joined via the sealing frame 37 and the joining member 40, so that the piezoelectric vibration element 10 is formed by the lid member 20 and the base member 30. It is sealed in the enclosed internal space (cavity).
  • the pressure in the internal space is a vacuum state lower than the atmospheric pressure because a change with time due to oxidation of the first excitation electrode 14a and the second excitation electrode 14b can be reduced.
  • the joining member 40 is provided over the entire circumference of the lid member 20 and the base member 30. Specifically, the joining member 40 is provided on the sealing frame 37. Since the sealing frame 37 and the joining member 40 are interposed between the end surface 23 of the side wall portion 22 of the lid member 20 and the first main surface 32a of the base member 30, the piezoelectric vibration element 10 is connected to the lid member 20 and the base member. 30 is sealed.
  • the joining member 40 is, for example, a brazing member. Specifically, the joining member 40 is made of a gold (Au) -tin (Sn) eutectic alloy. Thus, the lid member 20 and the base member 30 are metal-bonded. According to the metal bonding, the sealing performance can be improved.
  • the bonding member 40 is not limited to a conductive material, and may be an insulating material such as a glass adhesive material such as low-melting glass (for example, lead borate or tin phosphate) or a resin adhesive. According to this, the cost is lower than that of metal bonding, the heating temperature can be suppressed, and the manufacturing process can be simplified.
  • one end in the long side direction of the piezoelectric substrate 11 (the end on the side where the conductive holding members 36a and 36b are disposed) is a fixed end, and the other end is a free end. It has become.
  • the piezoelectric vibration element 10, the lid member 20, and the base member 30 each have a rectangular shape on the XZ ′ plane, and the long side direction and the short side direction are the same.
  • an alternating electric field is applied between the pair of first excitation electrode 14 a and second excitation electrode 14 b in the piezoelectric vibration element 10 via the external electrodes 35 a and 35 b of the base member 30. Is done. Thereby, the vibration part of the piezoelectric substrate 11 vibrates in a predetermined vibration mode such as a thickness shear vibration mode, and a resonance characteristic associated with the vibration is obtained.
  • the configuration of the side electrode will be described in detail by taking the side electrode 17a as an example. Since the side electrode 17b is the same as the side electrode 17a, detailed description thereof is omitted.
  • a rectangular side electrode 17 a is formed on the first side surface 13 a of the piezoelectric substrate 11. Specifically, the side electrode 17a is provided so as to extend along the long side direction away from the extraction electrode 15a from the short side where the connection electrode 16a is provided (see FIG. 3).
  • the side electrode 17a is provided in a range in which the length S1 in the long side direction is longer than the length L1 in the long side direction of the connection electrode 16a and does not exceed the connection portion between the first excitation electrode 14a and the extraction electrode 15a. ing. That is, the length S1 in the long side direction of the side electrode 17a does not exceed the distance L2 from the short side of the piezoelectric substrate 11 on the negative X-axis side to the connection portion between the first excitation electrode 14a and the extraction electrode 15a ( L1 ⁇ S1 ⁇ L2). Further, the length of the side electrode 17a in the Y′-axis direction is equal to the thickness T of the piezoelectric substrate 11 (that is, the length of the first side surface 13a in the short side direction).
  • the extraction electrode 15a has a wide portion whose dimension in the short side direction is W2, and a narrow portion whose dimension in the short side direction is W2-W1.
  • the length S1 in the long side direction of the side electrode 17a is longer than the length L3 in the long side direction of the wide portion of the extraction electrode 15a (L3 ⁇ S1).
  • connection electrode 16a in the long side direction the length L1 in the long side direction of the connection electrode 16a from the end of the piezoelectric substrate 11
  • the variation in the mounting position of the piezoelectric vibration element 10 relative to the base member 30 can be absorbed by the conductive holding member.
  • the connection electrode 16a approaches the excitation electrode 14b the influence of vibration suppression and the like that the connection electrode 16a gives to the thickness shear vibration is increased. As a result, a problem of breaking the vibration distribution of the thickness shear vibration can occur.
  • the length S1 of the side electrode 17a in the long side direction is made longer than the length L1 in the long side direction of the connection electrode 16a formed on the second main surface 12b of the piezoelectric substrate 11.
  • connection electrode 16a and the excitation electrode 14b on the second main surface 12b of the piezoelectric substrate 11 that is the main vibration surface of the thickness shear vibration is kept far, and the length L1 in the long side direction of the connection electrode 16a.
  • Side electrode 17a having a long length S1 can be formed.
  • the mounting position of the piezoelectric vibration element 10 with respect to the base member 30 is relatively shifted. Even in this case, electrical conduction between the piezoelectric vibration element 10 and the base member 30 can be achieved via the side electrodes 17a and 17b.
  • the mounting position of the piezoelectric vibration element 10 is longer than the positions of the electrode pads 33a and 33b and the conductive holding members 36a and 36b formed on the base member 30 (shown in FIG. 4). In this case, the conductive holding members 36a and 36b may not contact the connection electrodes 16a and 16b, or the contact area may be reduced.
  • the length S1 of the side electrodes 17a and 17b in the long side direction is longer than the length L1 of the connection electrodes 16a and 16b in the long side direction
  • the first side surface 13a of the piezoelectric substrate 11 and The conductive holding members 36a and 36b attached to the second side surface 13b are joined to the side surface electrodes 17a and 17b. Therefore, electrical conduction between the excitation electrodes 14 a and 14 b formed on the piezoelectric vibration element 10 and the electrode pads 33 a and 33 b formed on the base member 30 is ensured via the side electrodes 17 a and 17 b. Therefore, the electrical reliability of the piezoelectric vibrator 1 can be improved.
  • the side electrodes 17a and 17b are provided so as to extend in the long side direction as long as they do not exceed the connection portion between the first excitation electrode 14a and the extraction electrode 15a. Thereby, the distance between the side electrodes 17a and 17b and the first excitation electrode 14a and the second excitation electrode 14b is maintained. Therefore, the influence on the excitation mode of the electric field that can be generated between the side electrodes 17a and 17b and the first excitation electrode 14a and the second excitation electrode 14b can be reduced.
  • first excitation electrode 14a and the second excitation electrode 14b are provided at a distance W1 from the long side of the piezoelectric substrate 11, so that the side electrodes 17a and 17b, the first main surface 12a, and the second main surface 12b are provided.
  • production of the short with the electrode formed in is suppressed.
  • the position of the fixed end of the piezoelectric vibration element 10 is not particularly limited.
  • the piezoelectric vibration element 10 may be fixed to the base member 30 at both ends in the long side direction of the piezoelectric substrate 11.
  • each electrode of the piezoelectric vibration element 10 and the base member 30 may be formed in such a manner that the piezoelectric vibration element 10 is fixed at both ends in the long side direction of the piezoelectric substrate 11.
  • each electrode formed on the piezoelectric substrate 11 is negative on the X axis on the first main surface 12a so that the first main surface 12a and the second main surface 12b are line symmetric with respect to the X axis.
  • the electrode connected to the side electrode 17b (corresponding to the connection electrode 16a on the second main surface 12b) may be formed at the corner on the Z′-axis negative direction side.
  • the piezoelectric vibration element 10 of the piezoelectric vibration element 10 is formed according to the formation positions and areas of the electrode pads 33 a and 33 b and the conductive holding members 36 a and 36 b formed on the base member 30. It can be selected which of the first main surface 12a and the second main surface 12b is joined to the base member 30.
  • FIG. 5 is a perspective view of a piezoelectric vibration element according to the second embodiment of the present invention.
  • symbol is attached
  • the piezoelectric vibrating element 50 shown in FIG. 5 includes side electrodes 57a and 57b instead of the side electrodes 17a and 17b, as compared with the piezoelectric vibrating element 10.
  • the side electrode 57a is provided in a long side direction provided at a predetermined interval (distance T1 in the example shown in FIG. 5) from the long side where the first side surface 13a and the first main surface 12a are in contact with each other. It includes an extended region (see FIG. 5). The extending region is provided in the half on the Y′-axis negative direction side of the first side surface 13a (that is, the half on the base member 30 side). Further, the length S2 in the long side direction of the side electrode 57a in the extended region is longer than the length L1 in the long side direction of the connection electrode 16a, and the length S2 from the short side of the piezoelectric substrate 11 on the X axis negative direction side.
  • the length S2 of the side electrode 57a in the long side direction occupies most of the length L of the long side of the piezoelectric substrate 11 (for example, 50% or more of the length L) (L1 ⁇ L2 ⁇ S2 ⁇ L). Since the side electrode 57b is the same as the side electrode 57a, detailed description thereof is omitted.
  • the length S2 of the side electrodes 57a and 57b in the long side direction is longer than the length L1 of the connection electrodes 16a and 16b in the long side direction.
  • the length S2 of the side electrodes 57a and 57b in the long side direction occupies most of the long side length L of the piezoelectric substrate 11.
  • the region where the side electrodes 57a and 57b extend has a length T1 extending from the long side. And provided separately. Thereby, the occurrence of a short circuit between the side electrodes 57a and 57b and the electrode formed on the first main surface 12a is further suppressed.
  • the length S2 of the side electrodes 57a and 57b in the long side direction is longer than the distance L2, but the side electrodes 57a and 57b and the excitation electrodes 14a and 14b are both provided away from the long side. The influence on the excitation mode of the electric field that can be generated between the side electrodes 57a and 57b and the excitation electrodes 14a and 14b can be reduced.
  • the side electrodes 57 a and 57 b may extend in the long side direction so that the length S 2 in the long side direction is equal to the length L of the long side of the piezoelectric substrate 11.
  • the piezoelectric vibrator 50 can be configured by mounting the piezoelectric vibrator 50 on the base member 30 and housing the piezoelectric vibrator 50 by the lid member 20. it can.
  • FIG. 6 is a partially enlarged view of the piezoelectric vibration element according to the third embodiment of the present invention.
  • symbol is attached
  • 6 includes side electrodes 67a and 67b instead of the side electrodes 17a and 17b, as compared with the piezoelectric resonator element 10.
  • the side electrode 67a is provided in a long side direction provided at a predetermined interval (distance T2 in the example shown in FIG. 6) from the long side where the first side surface 13a and the first main surface 12a are in contact with each other. It includes an extended region (see FIG. 6). The extending region is provided in the half on the Y′-axis negative direction side of the first side surface 13a (that is, the half on the base member 30 side). Further, the length S3 of the side electrode 67a in the long side direction in the extending region is longer than the length L1 of the connection electrode 16a in the long side direction, and is longer than the short side of the piezoelectric substrate 11 on the X axis negative direction side. The distance L2 to the connection portion between the one excitation electrode 14a and the extraction electrode 15a is not exceeded (L1 ⁇ S3 ⁇ L2). Since the side electrode 67b is the same as the side electrode 67a, detailed description thereof is omitted.
  • the length S3 of the side electrodes 67a and 67b on the base member 30 side in the long side direction is longer than the length L1 of the connection electrodes 16a and 16b in the long side direction.
  • the length S3 in the long side direction of the side electrodes 67a and 67b does not exceed the distance L2 from the short side of the piezoelectric substrate 11 on the X axis negative direction side to the connecting portion between the first excitation electrode 14a and the extraction electrode 15a. Thereby, the distance between the side electrodes 67a and 67b and the first excitation electrode 14a and the second excitation electrode 14b is maintained. Therefore, the influence on the excitation mode of the electric field that can be generated between the side electrodes 67a and 67b and the first excitation electrode 14a and the second excitation electrode 14b can be reduced.
  • the region where the side electrodes 67a and 67b extend has a length T2 extending from the long side. And provided separately. Thereby, the occurrence of a short circuit between the side electrodes 67a and 67b and the electrode formed on the first main surface 12a is further suppressed.
  • the piezoelectric vibrator 60 can be configured by mounting the piezoelectric vibrator 60 on the base member 30 and housing the piezoelectric vibrator 60 by the lid member 20. it can.
  • the piezoelectric vibration elements 10, 50, 60 include side electrodes 17 a, 17 b, 57 a, 57 b, 67 a, 67 b on at least one of the first side surface 13 a and the second side surface 13 b including the long side of the piezoelectric substrate 11. Is extended in the long side direction from the short side where the connection electrodes 16a and 16b are provided so that the length in the long side direction is longer than the length in the long side direction of the connection electrodes 16a and 16b.
  • the region extending in the long side direction of the side electrodes 57a and 67a is from the long side of the first main surface 12a where the first side surface 13a and the first main surface 12a are in contact.
  • the regions extending in the long side direction of the side electrodes 57b and 67b are separated from the long side of the first main surface 12a where the second side surface 13b and the first main surface 12a are in contact.
  • the occurrence of a short circuit between the side electrodes 57a, 57b, 67a, 67b and the electrode formed on the first main surface 12a is suppressed.
  • the influence of the electric field that can be generated between the side electrodes 57a, 57b, 67a, 67b and the excitation electrodes 14a, 14b on the excitation mode is reduced.
  • the excitation electrodes 14a, 14b are provided in regions of the first main surface 12a that are separated from the long sides of the first side surface 13a and the second side surface 13b. Thereby, the occurrence of a short circuit between the side electrodes 17a, 17b, 57a, 57b, 67a, 67b and the electrodes formed on the first main surface 12a and the second main surface 12b is suppressed.
  • the side electrodes 17a and 67b and the side electrodes 17b and 67b extends along the long side direction away from the extraction electrodes 15a and 15b, and the excitation electrodes 14a and 14b.
  • the lead electrodes 15a and 15b are provided in a range not exceeding the connecting portion. Thereby, the distance between the side electrodes 17a, 17b, 67a, 67b and the excitation electrodes 14a, 14b is maintained. Therefore, the influence on the excitation mode of the electric field that can be generated between the side electrodes 17a, 17b, 67a, 67b and the excitation electrodes 14a, 14b is reduced.
  • the piezoelectric vibration elements 10, 50, 60 are formed in an internal space formed by the base member 30 on which the first main surface 32 a is mounted and the base member.
  • a piezoelectric vibrator can be configured by the lid member 20 that accommodates 50 and 60.
  • the present invention is not limited to the above embodiment and can be applied with various modifications.
  • the configuration in which the side electrodes are formed on both side surfaces of the first side surface 13a and the second side surface 13b has been described, but either one of the side surfaces on which the side electrode is formed may be used.
  • the side electrodes formed on the first side surface 13a and the second side surface 13b do not have to be symmetrical, and may have different shapes.
  • the present invention is not limited to this, and a mesa structure in which the vibration part including the center of the main surface is thicker than the peripheral part is adopted.
  • a mesa structure in which the vibration part including the center of the main surface is thicker than the peripheral part is adopted.
  • an inverted mesa structure in which the vibration part is thinner than the peripheral part may be adopted.
  • the present invention may be applied to a convex shape or a bevel shape in which changes in thickness (steps) between the vibrating portion and the peripheral portion change continuously.
  • the quartz resonator element extends from the base and the base using a quartz plate cut out at a predetermined angle with respect to the X axis, the Y axis, and the Z axis orthogonal to each other as crystal axes of the quartz. It may be a tuning fork type crystal vibrating element including a crystal piece having at least one vibrating arm and an excitation electrode provided on the vibrating arm so as to excite bending vibration.
  • the base member is a flat plate and the lid member has a shape having a depression.
  • the shape of the base member and the lid member can accommodate the piezoelectric vibration element in the internal space. If possible, it is not particularly limited.
  • the base member may have a shape having a depression
  • the lid member may be a flat plate.
  • the cut angle of the crystal piece may be a cut different from an AT cut such as a BT cut.
  • each embodiment described above is for facilitating understanding of the present invention, and is not intended to limit the present invention.
  • the present invention can be changed / improved without departing from the spirit thereof, and the present invention includes equivalents thereof.
  • those obtained by appropriately modifying the design of each embodiment by those skilled in the art are also included in the scope of the present invention as long as they include the features of the present invention.
  • each element included in each embodiment and its arrangement, material, condition, shape, size, and the like are not limited to those illustrated, and can be changed as appropriate.
  • each element included in each embodiment can be combined as much as technically possible, and combinations thereof are included in the scope of the present invention as long as they include the features of the present invention.

Abstract

圧電振動素子（１０）は、長辺及び短辺を有する互いに対向する第１主面（１２ａ）及び第２主面（１２ｂ）と、第１主面及び第２主面の長辺を含み互いに対向する第１側面（１３ａ）及び第２側面（１３ｂ）と、を含む圧電基板（１１）と、第１主面及び第２主面にそれぞれ設けられた励振電極（１４ａ，１４ｂ）と、第２主面（１２ｂ）における短辺に近接して設けられ、励振電極（１４ａ，１４ｂ）に電気的に接続された接続電極（１６ａ，１６ｂ）と、第１側面及び第２側面の少なくとも一方に設けられ、接続電極（１６ａ，１６ｂ）に電気的に接続された側面電極（１７ａ，１７ｂ）と、を備え、側面電極は、接続電極が設けられた短辺の側から長辺と平行な長辺方向に延在しており、側面電極における長辺方向の長さは、接続電極における長辺方向の長さより長い。

Description

圧電振動素子及び圧電振動子
　本発明は、圧電振動素子及び圧電振動子に関する。
　発振装置や帯域フィルタなどに用いられる基準信号の信号源として圧電振動子が広く用いられている。圧電振動子は、圧電振動素子と、圧電振動素子が導電性保持部材を介して励振可能に保持されたベース部材とを備える。圧電振動素子としては、例えば水晶からなる水晶振動素子を用いることができる。例えば、特許文献１には、基部及びその基部の一端部から延出する一対の振動腕を有する音叉型の水晶振動片や、ＡＴカットなどの所定のカット角で切り出された厚み滑り振動をする水晶振動片などが開示されている。
特開２００９－３０３０９７号公報
　しかしながら、圧電振動子の小型化に伴い導電性保持部材が小さくなると、導電性保持部材の位置と圧電振動素子との位置が相対的にずれた場合に電極の導通不良が発生しやすくなり、電気的信頼性が悪化する可能性がある。
　本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであり、電気的信頼性の向上を図ることができる圧電振動素子及び圧電振動子を提供することを目的とする。
　本発明の一側面に係る圧電振動素子は、長辺及び短辺を有する互いに対向する第１主面及び第２主面と、第１主面及び第２主面の長辺を含み互いに対向する第１側面及び第２側面と、を含む圧電基板と、第１主面及び第２主面にそれぞれ設けられた励振電極と、第２主面における短辺に近接して設けられ、励振電極に電気的に接続された接続電極と、第１側面及び第２側面の少なくとも一方に設けられ、接続電極に電気的に接続された側面電極と、を備え、側面電極は、接続電極が設けられた短辺の側から長辺と平行な長辺方向に延在しており、側面電極における長辺方向の長さは、接続電極における長辺方向の長さより長い。
　上記構成によれば、圧電振動素子とベース部材との接合において、ベース部材に対する圧電振動素子の載置位置が相対的にずれた場合においても、側面電極を介して圧電振動素子とベース部材との電気的導通を図ることができる。従って、圧電振動素子及び圧電振動子の電気的信頼性の向上を図ることができる。
　本発明によれば、電気的信頼性の向上を図ることができる圧電振動素子及び圧電振動子を提供することができる。
図１は、本発明の第１実施形態に係る圧電振動素子を備えた圧電振動子の分解斜視図である。 図２は、図１のＩＩ－ＩＩ線断面図である。 図３は、本発明の第１実施形態に係る圧電振動素子の部分拡大図である。 図４は、本発明の第１実施形態に係る圧電振動素子を備えた圧電振動子の平面図である。 図５は、本発明の第２実施形態に係る圧電振動素子の斜視図である。 図６は、本発明の第３実施形態に係る圧電振動素子の部分拡大図である。
　以下に本発明の実施形態を説明する。以下の図面の記載において、同一又は類似の構成要素は同一又は類似の符号で表している。図面は例示であり、各部の寸法や形状は模式的なものであり、本願発明の技術的範囲を当該実施形態に限定して解するべきではない。
　図１～図４を参照しつつ、本発明の第１実施形態に係る圧電振動素子及び圧電振動子について説明する。ここで、図１は、本発明の第１実施形態に係る圧電振動素子を備えた圧電振動子の分解斜視図である。図２は、図１のＩＩ－ＩＩ線断面図である。図３は、本発明の第１実施形態に係る圧電振動素子の部分拡大図である。図４は、本発明の第１実施形態に係る圧電振動素子を備えた圧電振動子の平面図である。なお、図４は、図１に示される圧電振動子１における蓋部材２０及び接合部材４０を省略した図である。
　図１に示されるように、本実施形態に係る圧電振動子１は、圧電振動素子１０と、蓋部材２０と、ベース部材３０とを備える。蓋部材２０及びベース部材３０は、圧電振動素子１０を収容するための保持器（ケース又はパッケージ）の構成の一部である。図１に示される例では、蓋部材２０は窪みを有する形状をなしており、ベース部材３０は平板状をなしている。
　圧電振動素子１０は、圧電基板１１と、圧電基板１１の主面にそれぞれ設けられた励振電極１４ａ，１４ｂ（以下では、「第１励振電極１４ａ」及び「第２励振電極１４ｂ」ともいう。）と、引出電極１５ａ，１５ｂと、接続電極１６ａ，１６ｂと、側面電極１７ａ，１７ｂとを含む。
　圧電基板１１は所定の圧電材料から形成され、その材料は特に限定されるものではない。図１に示される例では、圧電基板１１は、所定の結晶方位を有する水晶材料から形成されている。圧電基板１１は、例えば、ＡＴカットされた水晶片（Ｑｕａｒｔｚ　Ｃｒｙｓｔａｌ　Ｂｌａｎｋ）であり、圧電振動子１は水晶振動子（Ｑｕａｒｔｚ　Ｃｒｙｓｔａｌ　Ｒｅｓｏｎａｔｏｒ　Ｕｎｉｔ）である。ＡＴカット型の水晶片は、人工水晶（Ｓｙｎｔｈｅｔｉｃ　Ｑｕａｒｔｚ　Ｃｒｙｓｔａｌ）の結晶軸（Ｃｒｙｓｔａｌｌｏｇｒａｐｈｉｃ　Ａｘｅｓ）であるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸のうち、Ｙ軸及びＺ軸をＸ軸の周りにＹ軸からＺ軸の方向に３５度１５分±１分３０秒回転させた軸をそれぞれＹ´軸及びＺ´軸とした場合、Ｘ軸及びＺ´軸によって特定される面と平行な面（以下、「ＸＺ´面」と呼ぶ。他の軸によって特定される面についても同様である。）を主面として切り出されたものである。圧電基板１１は、互いに対向するＸＺ´面である第１主面１２ａ及び第２主面１２ｂを有する。また、圧電基板１１は、互いに対向するＸＹ´面である第１側面１３ａ及び第２側面１３ｂを有する。第１側面１３ａ及び第２側面１３ｂは、第１主面１２ａ及び第２主面１２ｂが有する長辺を含む側面である。
　圧電基板１１は、Ｘ軸に平行な長辺と、Ｚ´軸に平行な短辺と、Ｙ´軸に平行な厚さ方向の辺を有する。また、圧電基板１１は平板状をなしており、ＸＺ´面において矩形状をなしている。以下、圧電基板１１の長辺が延在する方向を単に「長辺方向」と呼び、短辺が延在する方向を単に「短辺方向」とも呼ぶ。
　圧電基板１１がＡＴカットされた水晶片によって構成される場合、ＡＴカット水晶片を用いた水晶振動素子（Ｑｕａｒｔｚ　Ｃｒｙｓｔａｌ　Ｒｅｓｏｎａｔｏｒ）は、広い温度範囲で高い周波数安定性を有し、また、経時変化特性にも優れている上、低コストで製造することが可能である。また、ＡＴカット水晶振動素子は、厚みすべり振動モード（Ｔｈｉｃｋｎｅｓｓ　Ｓｈｅａｒ　Ｖｉｂｒａｔｉｏｎ　Ｍｏｄｅ）を主振動として用いられる。
　圧電振動素子１０は、一対の電極を構成する第１励振電極１４ａ及び第２励振電極１４ｂを有する。第１励振電極１４ａは第１主面１２ａに設けられている。また、第２励振電極１４ｂは第２主面１２ｂに設けられている。第１励振電極１４ａ及び第２励振電極１４ｂは、各主面の中央を含む領域で圧電基板１１を挟んで互いに対向して設けられている。第１励振電極１４ａ及び第２励振電極１４ｂは、ＸＺ´面において略全体が重なり合うように配置されている。
　第１励振電極１４ａ及び第２励振電極１４ｂは、それぞれ、Ｘ軸に平行な長辺と、Ｚ´軸に平行な短辺とを有している。図１に示される例では、ＸＺ´面において、第１励振電極１４ａ及び第２励振電極１４ｂの長辺は、圧電基板１１の長辺と平行であり、第１励振電極１４ａ及び第２励振電極１４ｂの短辺は、圧電基板１１の短辺と平行である。また、第１励振電極１４ａは、第１側面１３ａ及び第２側面１３ｂと第１主面１２ａとが接する第１主面１２ａのそれぞれの長辺から所定の間隔（図３に示される例においては、距離Ｗ１）をおいて離れた領域に設けられている。
　圧電振動素子１０は、引出電極１５ａ，１５ｂと、接続電極１６ａ，１６ｂと、側面電極１７ａ，１７ｂとを有する。接続電極１６ａは、側面電極１７ａ及び引出電極１５ａを介して第１励振電極１４ａと電気的に接続されている。また、接続電極１６ｂは、引出電極１５ｂを介して第２励振電極１４ｂと電気的に接続されている。接続電極１６ａ及び接続電極１６ｂは、ベース部材３０と電気的導通を図るための端子である。接続電極１６ａ及び接続電極１６ｂは、圧電基板１１の第２主面１２ｂにおいて一方の短辺に近接して、それぞれ第２主面１２ｂにおける角付近に設けられている。
　引出電極１５ａは、第１励振電極１４ａと側面電極１７ａとを電気的に接続している。他方、引出電極１５ｂは、第２励振電極１４ｂと接続電極１６ｂとを電気的に接続している。具体的には、引出電極１５ａは、第１主面１２ａ上において第１励振電極１４ａから圧電基板１１の一方の短辺に向かって延在し、さらに、第１主面１２ａから圧電基板１１の第１側面１３ａに至るように延在し、第１側面１３ａ上の側面電極１７ａと電気的に接続されている。他方、引出電極１５ｂは、第２主面１２ｂ上において、第２励振電極１４ｂから圧電基板１１の一方の短辺に向かって延在し、第２主面１２ｂ上の接続電極１６ｂと電気的に接続されている。このように引出電極１５ａ，１５ｂを延在させることによって、両主面に設けられた第１励振電極１４ａ及び第２励振電極１４ｂと電気的に接続された接続電極１６ａ，１６ｂを、第２主面１２ｂ上に配置させることができる。
　接続電極１６ａ，１６ｂは、圧電基板１１の一方の短辺に沿って配置され、導電性保持部材３６ａ，３６ｂを介してベース部材３０に形成された電極に電気的に接続される。導電性保持部材３６ａ，３６ｂは、導電性接着剤が熱硬化して形成されたものである。
　側面電極１７ａ，１７ｂは、圧電基板１１の側面にそれぞれ配置され、導電性保持部材３６ａ，３６ｂとの接合を補強する。具体的には、側面電極１７ａ（第１側面電極）は、圧電基板１１の第１側面１３ａに形成され、第１主面１２ａに形成された引出電極１５ａ及び第２主面１２ｂに形成された接続電極１６ａに接続されている。他方、側面電極１７ｂ（第２側面電極）は、圧電基板１１の第２側面１３ｂに形成され、第２主面１２ｂに形成された接続電極１６ｂに接続されている。側面電極１７ａ，１７ｂの構成の詳細については後述する。
　励振電極１４ａ，１４ｂ、引出電極１５ａ，１５ｂ、接続電極１６ａ，１６ｂ、並びに側面電極１７ａ，１７ｂの各電極の材料は特に限定されるものではないが、例えば、下地としてクロム（Ｃｒ）層を有し、クロム層の表面にさらに金（Ａｕ）層を有していてもよい。なお、側面電極１７ａ，１７ｂ、接続電極１６ａ，１６ｂ、及び引出電極１５ａ，１５ｂの配置やパターン形状は限定されるものではなく、他の部材との電気的接続を考慮して適宜変更されてもよい。
　蓋部材２０は、ベース部材３０に接合され、これによって圧電振動素子１０が内部空間に収容される。蓋部材２０はベース部材３０の第１主面３２ａに向かって開口した窪みを有する形状をなしている。具体的には、蓋部材２０は、ベース部材３０の第１主面３２ａに対向する天面部２１と、開口の全周に亘って天面部２１の主面に対して法線方向に延在する側壁部２２とを有する。側壁部２２は、ベース部材３０の第１主面３２ａに対向する端面２３を有している。端面２３は、接合部材４０を介してベース部材３０の第１主面３２ａと接合される。蓋部材２０は、天面部２１の主面の法線方向から平面視したときに矩形状をなしている。蓋部材２０は、例えば、Ｘ軸に平行な長辺と、Ｚ´軸に平行な短辺と、Ｙ´軸に平行な高さとを有する。なお、蓋部材２０はベース部材３０に接合されたときに圧電振動素子１０を内部空間に収容することができる形状であればよく、その形状は特に限定されるものではない。
　蓋部材２０の材質は特に限定されるものではないが、例えば金属などの導電材料で構成される。これによれば、蓋部材２０にシールド機能を付加することができる。この場合、蓋部材２０を接地電位に電気的に接続させることによりシールド機能の向上を図ることができる。例えば、蓋部材２０は、鉄（Ｆｅ）及びニッケル（Ｎｉ）を含む合金（例えば４２アロイ）からなる。また、蓋部材２０の最表面に酸化防止等を目的とした金（Ａｕ）層などが設けられてもよい。あるいは、蓋部材２０は、絶縁材料又は導電材料・絶縁材料の複合構造であってもよい。
　ベース部材３０は圧電振動素子１０を励振可能に支持するものである。具体的には、圧電振動素子１０は導電性保持部材３６ａ，３６ｂを介してベース部材３０の第１主面３２ａに励振可能に保持されている。
　ベース部材３０は平板状をなしている。ベース部材３０は、Ｘ軸に平行な長辺と、Ｚ´軸に平行な短辺と、Ｙ´軸に平行な厚さ方向の辺とを有する。
　ベース部材３０は基体３１を有する。基体３１は、互いに対向するＸＺ´面である第１主面３２ａ及び第２主面３２ｂを有する。基体３１は、例えば絶縁性セラミック（アルミナ）などの焼結材である。この場合、複数の絶縁性セラミックシートを積層して焼結してもよい。あるいは、基体３１は、ガラス材料（例えばケイ酸塩ガラス、又はケイ酸塩以外を主成分とする材料であって、昇温によりガラス転移現象を有する材料）、水晶材料（例えばＡＴカット水晶）又はガラスエポキシ樹脂などで形成してもよい。基体３１は耐熱性材料から構成されることが好ましい。基体３１は、単層であっても複数層であってもよく、複数層である場合、第１主面３２ａの最表層に形成された絶縁層を含む。
　ベース部材３０は、第１主面３２ａに設けられた電極パッド３３ａ，３３ｂと、第２主面に設けられた外部電極３５ａ，３５ｂ，３５ｃ，３５ｄとを有する。電極パッド３３ａ，３３ｂは、圧電振動素子１０と電気的導通を図るための端子である。また、外部電極３５ａ～３５ｄは、図示しない実装基板と電気的導通を図るための端子である。電極パッド３３ａは、Ｙ´軸方向に延在するビア電極３４ａを介して外部電極３５ａに電気的に接続され、電極パッド３３ｂは、Ｙ´軸方向に延在するビア電極３４ｂを介して外部電極３５ｂに電気的に接続されている。ビア電極３４ａ，３４ｂは基体３１をＹ´軸方向に貫通するビアホール内に形成される。
　電極パッド３３ａ，３３ｂは、ベース部材３０の第１主面３２ａ上においてベース部材３０の一方の短辺付近に設けられ、当該短辺から離れてかつ当該短辺方向に沿って配列されている。電極パッド３３ａは、導電性保持部材３６ａを介して圧電振動素子１０の接続電極１６ａが接続され、他方、電極パッド３３ｂは、導電性保持部材３６ｂを介して圧電振動素子１０の接続電極１６ｂが接続される。
　複数の外部電極３５ａ～３５ｄは、ベース部材３０の第２主面３２ｂのそれぞれの角付近に設けられている。図１に示される例では、外部電極３５ａ，３５ｂが、電極パッド３３ａ，３３ｂの直下に配置されている。これによってＹ´軸方向に延在するビア電極３４ａ，３４ｂを介して外部電極３５ａ，３５ｂを電極パッド３３ａ，３３ｂに電気的に接続することができる。図１に示される例では、４つの外部電極３５ａ～３５ｄのうち、ベース部材３０の一方の短辺付近に配置された外部電極３５ａ，３５ｂは、圧電振動素子１０の入出力信号が供給される入出力電極である。また、ベース部材３０の他方の短辺付近に配置された外部電極３５ｃ，３５ｄは、圧電振動素子１０の入出力信号が供給されないダミー電極である。このようなダミー電極には、圧電振動子１が実装される図示しない実装基板上の他の電子素子の入出力信号も供給されない。あるいは、外部電極３５ｃ，３５ｄは、接地電位が供給される接地用電極であってもよい。蓋部材２０が導電材料からなる場合、蓋部材２０にシールド機能を付加することができる。さらに、蓋部材２０を接地用電極である外部電極３５ｃ，３５ｄに接続すれば、シールド機能の向上を図ることができる。
　基体３１の第１主面３２ａには、封止枠３７が設けられている。封止枠３７は、第１主面３２ａの法線方向から平面視したときに矩形の枠状をなしている。電極パッド３３ａ，３３ｂは、封止枠３７の内側に配置されている。封止枠３７は、導電材料により構成されている。封止枠３７上には後述する接合部材４０が設けられ、これによって蓋部材２０が接合部材４０及び封止枠３７を介してベース部材３０に接合される。
　ベース部材３０の電極パッド３３ａ，３３ｂ、外部電極３５ａ～３５ｄ及び封止枠３７はいずれも金属膜から構成されている。例えば、電極パッド３３ａ，３３ｂ、外部電極３５ａ～３５ｄ及び封止枠３７は、下層から上層にかけて、モリブデン（Ｍｏ）層、ニッケル（Ｎｉ）層及び金（Ａｕ）層が積層されて構成されている。また、ビア電極３４ａ，３４ｂは、基体３１のビアホールにモリブデンなどの金属材料を充填して形成することができる。
　なお、電極パッド３３ａ，３３ｂや外部電極３５ａ～３５ｄの配置関係は上記例に限定されるものではない。例えば、電極パッド３３ａがベース部材３０の一方の短辺付近に配置され、電極パッド３３ｂがベース部材３０の他方の短辺付近に配置されてもよい。このような構成においては、圧電振動素子１０が、圧電基板１１の長辺方向の両端部においてベース部材３０に保持されることになる。
　また、外部電極の配置は上記例に限られるものではなく、例えば、入出力電極である２つが第２主面３２ｂの対角上に設けられていてもよい。あるいは、４つの外部電極は、第２主面３２ｂの角ではなく各辺の中央付近に配置されていてもよい。また、外部電極の個数は４つに限られるものではなく、例えば入出力電極である２つのみであってもよい。また、電極パッドと外部電極との電気的な接続の態様はビア電極によるものに限られず、第１主面３２ａ又は第２主面３２ｂ上に引出電極を引き出すことによって電極パッドと外部電極との電気的な導通を達成してもよい。あるいは、ベース部材３０の基体３１を複数層で形成し、ビア電極を中間層に至るまで延在させ、中間層において引出電極を引き出すことによって電極パッドと外部電極との電気的な接続を図ってもよい。
　図２に示されるように、蓋部材２０及びベース部材３０の両者が封止枠３７及び接合部材４０を介して接合されることによって、圧電振動素子１０が、蓋部材２０とベース部材３０とによって囲まれた内部空間（キャビティ）に封止される。この場合、内部空間の圧力は大気圧力よりも低圧な真空状態であれば、第１励振電極１４ａ及び第２励振電極１４ｂの酸化による経時変化などが低減できるため好ましい。
　接合部材４０は、蓋部材２０及びベース部材３０の各全周に亘って設けられている。具体的には、接合部材４０は封止枠３７上に設けられている。封止枠３７及び接合部材４０が、蓋部材２０の側壁部２２の端面２３とベース部材３０の第１主面３２ａとの間に介在することによって、圧電振動素子１０が蓋部材２０及びベース部材３０によって封止される。
　接合部材４０は、例えばろう部材である。具体的には、接合部材４０は、金（Ａｕ）‐錫（Ｓｎ）共晶合金からなる。こうして、蓋部材２０とベース部材３０とが金属接合される。金属接合によれば封止性を向上させることができる。なお、接合部材４０は、導電材料に限られず、例えば低融点ガラス（例えば鉛ホウ酸系や錫リン酸系等）などのガラス接着材料又は樹脂接着剤などの絶縁材料であってもよい。これによれば、金属接合に比べて低コストであり、また加熱温度を抑えることができ、製造プロセスの簡易化を図ることができる。
　本実施形態に係る圧電振動素子１０は、圧電基板１１の長辺方向の一方端（導電性保持部材３６ａ，３６ｂが配置される側の端部）が固定端であり、その他方端が自由端となっている。また、圧電振動素子１０、蓋部材２０及びベース部材３０は、ＸＺ´面において、それぞれ矩形状をなしており、互いに長辺方向及び短辺方向が同一である。
　本実施形態に係る圧電振動子１においては、ベース部材３０の外部電極３５ａ，３５ｂを介して、圧電振動素子１０における一対の第１励振電極１４ａ及び第２励振電極１４ｂの間に交番電界が印加される。これにより、厚みすべり振動モードなどの所定の振動モードによって圧電基板１１の振動部が振動し、該振動に伴う共振特性が得られる。
　次に、図３及び図４を参照しつつ、側面電極１７ａを例として、側面電極の構成の詳細について説明する。なお、側面電極１７ｂについては、側面電極１７ａと同様であるため詳細な説明は省略する。本実施形態においては、圧電基板１１の第１側面１３ａに矩形状の側面電極１７ａが形成されている。具体的には、側面電極１７ａは、接続電極１６ａが設けられた短辺から、引出電極１５ａから離れるように長辺方向に沿って延在して設けられている（図３参照）。また、側面電極１７ａは、長辺方向の長さＳ１が接続電極１６ａの長辺方向の長さＬ１より長く、かつ第１励振電極１４ａと引出電極１５ａとの接続部を超えない範囲で設けられている。すなわち、側面電極１７ａにおける長辺方向の長さＳ１は、圧電基板１１におけるＸ軸負方向側の短辺から、第１励振電極１４ａと引出電極１５ａとの接続部までの距離Ｌ２を超えない（Ｌ１＜Ｓ１≦Ｌ２）。また、側面電極１７ａのＹ´軸方向の長さは、圧電基板１１の厚さＴ（すなわち、第１側面１３ａの短辺方向の長さ）と等しい。さらに、引出電極１５ａは、短辺方向の寸法がＷ２である幅広部と、短辺方向の寸法がＷ２－Ｗ１である幅狭部とを有する。側面電極１７ａの長辺方向の長さＳ１は、引出電極１５ａの幅広部の長辺方向の長さＬ３より長い（Ｌ３＜Ｓ１）。
　以下に、接続電極１６ａの長辺方向の長さＬ１と側面電極１７ａの長辺方向の長さＳ１との関係について、さらに詳しく述べる。圧電基板１１の端部からの接続電極１６ａの長辺方向の長さＬ１を長くすれば、ベース部材３０に対する圧電振動素子１０の載置位置の変動を導電性保持部材によって吸収することができる。しかし、接続電極１６ａが励振電極１４ｂに近づくため、接続電極１６ａが厚みすべり振動に与える振動抑制などの影響が大きくなる。その結果、厚みすべり振動の振動分布を崩す問題が発生し得る。一方で、圧電基板１１の端部からの接続電極１６ａの長辺方向の長さＬ１を短くすれば、接続電極１６ａと励振電極１４ｂとの距離が遠くなる。しかし、ベース部材３０に対する圧電振動素子１０の載置位置の変動を導電性保持部材によって吸収しづらくなるという課題がある。そこで、圧電基板１１の第２主面１２ｂに形成された接続電極１６ａの長辺方向の長さＬ１より、側面電極１７ａの長辺方向の長さＳ１を長くする。これにより、厚みすべり振動の主振動面である圧電基板１１の第２主面１２ｂにおける接続電極１６ａと励振電極１４ｂとの距離を遠く保ちつつ、かつ接続電極１６ａの長辺方向の長さＬ１よりも長い長さＳ１を有する側面電極１７ａを形成することができる。この構成によって、圧電振動素子１０の載置位置が変動しても、導電性保持部材の一部が側面電極１７ａに接合される。すなわち、圧電振動素子１０のベース部材３０に対する載置位置の変動を導電性保持部材によって吸収することができる。その結果、圧電振動素子１０の載置位置の変動による圧電振動素子１０とベース部材３０との接合強度の低下を抑制することができる。
　上述の構成により、圧電振動子１は、図４に示されるように、圧電振動素子１０とベース部材３０との接合において、ベース部材３０に対する圧電振動素子１０の載置位置が相対的にずれた場合においても、側面電極１７ａ，１７ｂを介して圧電振動素子１０とベース部材３０との電気的導通を図ることができる。具体的には、例えば、ベース部材３０に形成された電極パッド３３ａ，３３ｂ及び導電性保持部材３６ａ，３６ｂの位置に対して、圧電振動素子１０の載置位置が長辺方向（図４に示される例においてはＸ軸負方向）にずれると、導電性保持部材３６ａ，３６ｂが接続電極１６ａ，１６ｂと接触しないか、又は接触する面積が縮小する場合がある。この点、本実施形態においては、側面電極１７ａ，１７ｂの長辺方向の長さＳ１が、接続電極１６ａ，１６ｂの長辺方向の長さＬ１より長いため、圧電基板１１の第１側面１３ａ及び第２側面１３ｂに付着する導電性保持部材３６ａ，３６ｂが、側面電極１７ａ，１７ｂと接合されることとなる。従って、側面電極１７ａ，１７ｂを介して、圧電振動素子１０に形成された励振電極１４ａ，１４ｂとベース部材３０に形成された電極パッド３３ａ，３３ｂとの電気的導通が確保される。従って、圧電振動子１の電気的信頼性の向上を図ることができる。
　また、側面電極１７ａ，１７ｂは、それぞれ、第１励振電極１４ａと引出電極１５ａの接続部を超えない範囲で長辺方向に延在して設けられている。これにより、側面電極１７ａ，１７ｂと第１励振電極１４ａ及び第２励振電極１４ｂとの間の距離が保たれる。従って、側面電極１７ａ，１７ｂと第１励振電極１４ａ及び第２励振電極１４ｂとの間に発生し得る電界の励振モードへの影響を低減することができる。
　また、第１励振電極１４ａ及び第２励振電極１４ｂが圧電基板１１の長辺から距離Ｗ１をおいて離れて設けられることにより、側面電極１７ａ，１７ｂと第１主面１２ａ及び第２主面１２ｂに形成された電極とのショートの発生が抑制される。
　なお、圧電振動素子１０の固定端の位置は特に限定されるものではなく、変形例として、圧電振動素子１０は、圧電基板１１の長辺方向の両端においてベース部材３０に固定されていてもよい。この場合、圧電振動素子１０を圧電基板１１の長辺方向の両端において固定する態様で、圧電振動素子１０及びベース部材３０の各電極を形成すればよい。
　また、圧電基板１１に形成される各電極が第１主面１２ａ及び第２主面１２ｂのいずれの面においてもＸ軸を基準に線対称となるように、第１主面１２ａにおけるＸ軸負方向であってＺ´軸負方向側の角部に側面電極１７ｂと接続された電極（第２主面１２ｂにおける接続電極１６ａに相当）が形成されていてもよい。これにより、圧電振動素子１０の第１主面１２ａ及び第２主面１２ｂに形成される電極の配置の区別がなくなるため、圧電振動素子１０をベース部材３０に接合する際のＹ´軸方向の向きを考慮する必要がなくなり、製造工程が簡易化される。さらに、図３においては、接続電極１６ａにおける長辺方向の長さＬ１と、引出電極１５ａの幅広部における長辺方向の長さＬ３が略同一である例が示されているが、長さＬ１と長さＬ３は異なっていてもよい。この場合、例えば、接続電極１６ａの面積と引出電極１５ａの幅広部の面積は異なり得る。従って、圧電振動素子１０とベース部材３０との接合において、ベース部材３０に形成された電極パッド３３ａ，３３ｂ及び導電性保持部材３６ａ，３６ｂの形成位置や面積等に応じて、圧電振動素子１０の第１主面１２ａ及び第２主面１２ｂのいずれの面をベース部材３０に接合するかを選択することができる。
　次に、図５を参照しつつ、本発明の第２実施形態に係る圧電振動素子について説明する。図５は、本発明の第２実施形態に係る圧電振動素子の斜視図である。なお、第１実施形態と同一の構成について同一の符号を付している。以下、第１実施形態と異なる点について説明する。図５に示される圧電振動素子５０は、圧電振動素子１０と比べて、側面電極１７ａ，１７ｂの代わりに側面電極５７ａ，５７ｂを備える。
　側面電極５７ａは、第１側面１３ａと第１主面１２ａとが接する長辺から所定の間隔（図５に示される例においては、距離Ｔ１）をおいて離れて設けられた、長辺方向に延在している領域を含む（図５参照）。当該延在している領域は、第１側面１３ａにおけるＹ´軸負方向側半分（すなわち、ベース部材３０側の半分）に設けられている。また、当該延在している領域における側面電極５７ａの長辺方向の長さＳ２は、接続電極１６ａの長辺方向の長さＬ１より長く、圧電基板１１のＸ軸負方向側短辺から第１励振電極１４ａと引出電極１５ａとの接続部までの距離Ｌ２より長い。本実施形態においては、側面電極５７ａの長辺方向の長さＳ２は、圧電基板１１の長辺の長さＬの大部分（例えば、長さＬの５０％以上）を占める（Ｌ１＜Ｌ２＜Ｓ２≦Ｌ）。なお、側面電極５７ｂについては、側面電極５７ａと同様であるため、詳細な説明は省略する。
　本実施形態においても、圧電振動素子１０と同様に、側面電極５７ａ，５７ｂの長辺方向の長さＳ２が、接続電極１６ａ，１６ｂの長辺方向の長さＬ１より長い。これにより、ベース部材３０に対する圧電振動素子５０の載置位置がずれても、側面電極５７ａ，５７ｂを介して圧電振動素子５０とベース部材３０との電気的導通が確保される。従って、圧電振動子の電気的信頼性の向上を図ることができる。
　また、圧電振動素子５０においては、側面電極５７ａ，５７ｂの長辺方向の長さＳ２が、圧電基板１１の長辺の長さＬの大部分を占める。これにより、圧電振動素子１０に比べて、ベース部材３０に対する圧電振動素子５０の載置位置のずれの許容範囲が広くなる。
　また、励振電極１４ａ，１４ｂが圧電基板１１の長辺から距離Ｗ１をおいて離れて設けられることに加えて、側面電極５７ａ，５７ｂの延在している領域が長辺から長さＴ１をおいて離れて設けられる。これにより、側面電極５７ａ，５７ｂと第１主面１２ａに形成された電極とのショートの発生がさらに抑制される。本実施形態においては、側面電極５７ａ，５７ｂの長辺方向の長さＳ２が距離Ｌ２より長いが、側面電極５７ａ，５７ｂと励振電極１４ａ，１４ｂがいずれも長辺から離れて設けられることにより、側面電極５７ａ，５７ｂと励振電極１４ａ，１４ｂとの間に発生し得る電界の励振モードへの影響を低減することができる。
　なお、側面電極５７ａ，５７ｂは、長辺方向の長さＳ２が圧電基板１１の長辺の長さＬと等しくなるように長辺方向に延在していてもよい。また、図１に示される圧電振動子１と同様に、圧電振動素子５０をベース部材３０に搭載し、蓋部材２０により当該圧電振動素子５０を収容することにより、圧電振動子を構成することができる。
　次に、図６を参照しつつ、本発明の第３実施形態に係る圧電振動素子について説明する。図６は、本発明の第３実施形態に係る圧電振動素子の部分拡大図である。なお、第１実施形態と同一の構成について同一の符号を付している。以下、第１実施形態と異なる点について説明する。図６に示される圧電振動素子６０は、圧電振動素子１０と比べて、側面電極１７ａ，１７ｂの代わりに側面電極６７ａ，６７ｂを備える。
　側面電極６７ａは、第１側面１３ａと第１主面１２ａとが接する長辺から所定の間隔（図６に示される例においては、距離Ｔ２）をおいて離れて設けられた、長辺方向に延在している領域を含む（図６参照）。当該延在している領域は、第１側面１３ａにおけるＹ´軸負方向側半分（すなわち、ベース部材３０側の半分）に設けられている。また、当該延在している領域における側面電極６７ａの長辺方向の長さＳ３は、接続電極１６ａの長辺方向の長さＬ１より長く、圧電基板１１のＸ軸負方向側短辺から第１励振電極１４ａと引出電極１５ａとの接続部までの距離Ｌ２を超えない（Ｌ１＜Ｓ３≦Ｌ２）。なお、側面電極６７ｂについては、側面電極６７ａと同様であるため、詳細な説明は省略する。
　本実施形態においても、圧電振動素子１０と同様に、側面電極６７ａ，６７ｂのベース部材３０側の長辺方向の長さＳ３が、接続電極１６ａ，１６ｂの長辺方向の長さＬ１より長い。これにより、ベース部材３０に対する圧電振動素子６０の載置位置がずれても、側面電極６７ａ，６７ｂを介して圧電振動素子６０とベース部材３０との電気的導通が確保される。従って、圧電振動子の電気的信頼性の向上を図ることができる。
　また、側面電極６７ａ，６７ｂの長辺方向の長さＳ３は、圧電基板１１のＸ軸負方向側短辺から第１励振電極１４ａと引出電極１５ａとの接続部までの距離Ｌ２を超えない。これにより、側面電極６７ａ，６７ｂと第１励振電極１４ａ及び第２励振電極１４ｂとの間の距離が保たれる。従って、側面電極６７ａ，６７ｂと第１励振電極１４ａ及び第２励振電極１４ｂとの間に発生し得る電界の励振モードへの影響を低減することができる。
　また、励振電極１４ａ，１４ｂが圧電基板１１の長辺から距離Ｗ１をおいて離れて設けられることに加えて、側面電極６７ａ，６７ｂの延在している領域が長辺から長さＴ２をおいて離れて設けられる。これにより、側面電極６７ａ，６７ｂと第１主面１２ａに形成された電極とのショートの発生がさらに抑制される。
　なお、図１に示される圧電振動子１と同様に、圧電振動素子６０をベース部材３０に搭載し、蓋部材２０により当該圧電振動素子６０を収容することにより、圧電振動子を構成することができる。
　以上、本発明の例示的な実施形態について説明した。圧電振動素子１０，５０，６０は、圧電基板１１の長辺を含む第１側面１３ａ及び第２側面１３ｂの少なくとも一方に側面電極１７ａ，１７ｂ，５７ａ，５７ｂ，６７ａ，６７ｂを備え、当該側面電極は、長辺方向の長さが接続電極１６ａ，１６ｂの長辺方向の長さより長くなるように、接続電極１６ａ，１６ｂが設けられた短辺の側から長辺方向に延在している。これにより、ベース部材３０に対する圧電振動素子１０，５０，６０の載置位置がずれても、側面電極１７ａ，１７ｂ，５７ａ，５７ｂ，６７ａ，６７ｂを介して圧電振動素子とベース部材との電気的導通が確保される。従って、圧電振動子の電気的信頼性の向上を図ることができる。
　また、圧電振動素子５０，６０において、側面電極５７ａ，６７ａにおける長辺方向に延在している領域は、第１側面１３ａと第１主面１２ａとが接する第１主面１２ａの長辺から離れており、側面電極５７ｂ，６７ｂにおける長辺方向に延在している領域は、第２側面１３ｂと第１主面１２ａとが接する第１主面１２ａの長辺から離れている。これにより、側面電極５７ａ，５７ｂ，６７ａ，６７ｂと第１主面１２ａに形成された電極とのショートの発生が抑制される。また、側面電極５７ａ，５７ｂ，６７ａ，６７ｂと励振電極１４ａ，１４ｂとの間に発生し得る電界の励振モードへの影響が低減される。
　また、圧電振動素子１０，５０，６０において、励振電極１４ａ，１４ｂは、第１主面１２ａのうち第１側面１３ａ及び第２側面１３ｂのそれぞれの長辺から離れた領域に設けられている。これにより、側面電極１７ａ，１７ｂ，５７ａ，５７ｂ，６７ａ，６７ｂと第１主面１２ａ及び第２主面１２ｂに形成された電極とのショートの発生が抑制される。
　また、圧電振動素子１０，６０において、側面電極１７ａ，６７ｂ及び側面電極１７ｂ，６７ｂの少なくとも一方は、引出電極１５ａ，１５ｂから離れて長辺方向に沿って延在し、かつ励振電極１４ａ，１４ｂと引出電極１５ａ，１５ｂとの接続部を超えない範囲に設けられている。これにより、側面電極１７ａ，１７ｂ，６７ａ，６７ｂと励振電極１４ａ，１４ｂとの間の距離が保たれる。従って、側面電極１７ａ，１７ｂ，６７ａ，６７ｂと励振電極１４ａ，１４ｂとの間に発生し得る電界の励振モードへの影響が低減される。
　また、図１に示されるように、圧電振動素子１０，５０，６０が第１主面３２ａに搭載されたベース部材３０と、当該ベース部材とで形成される内部空間に当該圧電振動素子１０，５０，６０を収容する蓋部材２０により、圧電振動子を構成することができる。
　なお、本発明は、上記実施形態に限定されることなく種々に変形して適用することが可能である。例えば、本明細書では、第１側面１３ａ及び第２側面１３ｂの両側面において側面電極が形成される構成を説明したが、側面電極が形成される側面はいずれか一方であってもよい。また、第１側面１３ａ及び第２側面１３ｂに形成される側面電極は対称である必要はなく、それぞれ異なる形状であってもよい。
　また、本明細書では、平板な水晶片を有する構成を説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、主面の中央を含む振動部が周縁部よりも厚いメサ型構造を採用してもよいし、あるいは、振動部が周縁部よりも薄い逆メサ構造を採用してもよい。あるいは、振動部と周縁部の厚みの変化（段差）が連続的に変化するコンベックス形状又はべベル形状に本発明を適用してもよい。またさらに、水晶振動素子が、水晶の結晶軸として互いに直交するＸ軸、Ｙ軸、およびＺ軸に対して所定の角度で切り出された水晶板を基材として、基部と、基部から延びている少なくとも１本の振動腕とを有する水晶片と、屈曲振動を励振させるように振動腕に設けられた励振電極とを備える音叉型水晶振動素子であってもよい。
　また、本明細書では、ベース部材が平板であり、蓋部材が窪みを有する形状であったが、本発明においては、ベース部材及び蓋部材の形状は圧電振動素子を内部空間に収容することができれば特に限定されるものではなく、例えば、ベース部材が窪みを有する形状であり、蓋部材が平板であってもよい。
　また、水晶片のカット角度は、例えばＢＴカット等のＡＴカットと異なるカットを適用してもよい。
　なお、以上説明した各実施形態は、本発明の理解を容易にするためのものであり、本発明を限定して解釈するためのものではない。本発明は、その趣旨を逸脱することなく、変更／改良され得るととともに、本発明にはその等価物も含まれる。即ち、各実施形態に当業者が適宜設計変更を加えたものも、本発明の特徴を備えている限り、本発明の範囲に包含される。例えば、各実施形態が備える各要素及びその配置、材料、条件、形状、サイズなどは、例示したものに限定されるわけではなく適宜変更することができる。また、各実施形態が備える各要素は、技術的に可能な限りにおいて組み合わせることができ、これらを組み合わせたものも本発明の特徴を含む限り本発明の範囲に包含される。
　１　圧電振動子
　１０，５０，６０　圧電振動素子
　１１　圧電基板
　１４ａ，１４ｂ　励振電極
　１５ａ，１５ｂ　引出電極
　１６ａ，１６ｂ　接続電極
　１７ａ，１７ｂ，５７ａ，５７ｂ，６７ａ，６７ｂ　側面電極
　２０　蓋部材
　３０　ベース部材
　３１　基体
　３３ａ，３３ｂ　電極パッド
　３４ａ，３４ｂ　ビア電極
　３５ａ，３５ｂ，３５ｃ，３５ｄ　外部電極
　３６ａ，３６ｂ　導電性保持部材
　３７　封止枠
　４０　接合部材

Claims (6)

  1. 　長辺及び短辺を有する互いに対向する第１主面及び第２主面と、前記第１主面及び第２主面の前記長辺を含み互いに対向する第１側面及び第２側面と、を含む圧電基板と、
    　前記第１主面及び第２主面にそれぞれ設けられた励振電極と、
    　前記第２主面における前記短辺に近接して設けられ、前記励振電極に電気的に接続された接続電極と、
    　前記第１側面及び第２側面の少なくとも一方に設けられ、前記接続電極に電気的に接続された側面電極と、
    　を備え、
    　前記側面電極は、前記接続電極が設けられた前記短辺の側から前記長辺と平行な長辺方向に延在しており、
    　前記側面電極における前記長辺方向の長さは、前記接続電極における前記長辺方向の長さより長い、圧電振動素子。
  2. 　前記側面電極は、前記第１側面に設けられた第１側面電極と、前記第２側面に設けられた第２側面電極と、を有する、請求項１に記載の圧電振動素子。
  3. 　前記第１側面電極における前記長辺方向に延在している領域は、前記第１側面と前記第１主面とが接する前記第１主面の前記長辺から離れており、
    　前記第２側面電極における前記長辺方向に延在している領域は、前記第２側面と前記第１主面とが接する前記第１主面の前記長辺から離れている、請求項２に記載の圧電振動素子。
  4. 　前記励振電極は、前記第１主面のうち前記第１側面及び前記第２側面のそれぞれの前記長辺から離れた領域に設けられた、請求項２又は３に記載の圧電振動素子。
  5. 　前記励振電極は、前記長辺方向に沿って延在する引出電極を挟んで前記接続電極に電気的に接続され、
    　前記第１側面電極及び前記第２側面電極の少なくとも一方は、前記引出電極から離れて前記長辺方向に沿って延在し、かつ前記励振電極と前記引出電極との接続部を超えない範囲に設けられた、請求項２から４のいずれか一項に記載の圧電振動素子。
  6. 　請求項１から５のいずれか一項に記載の圧電振動素子と、
    　前記第２主面が対向する主面を有し、前記圧電振動素子が前記主面に搭載されたベース部材と、
    　前記ベース部材に接合され、前記ベース部材とで形成される内部空間に前記圧電振動素子を収容する蓋部材と、
    を備える、圧電振動子。
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JP2007251918A (ja) * 2006-02-15 2007-09-27 Daishinku Corp 水晶振動子

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