WO2018055708A1 - リニアコンベア装置 - Google Patents

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WO2018055708A1
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linear conveyor
linear
base frame
receiving hole
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哲 浦田
村松　啓且
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Yamaha Motor Co Ltd
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Yamaha Motor Co Ltd
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    • H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
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    • B65G2811/00—Indexing codes relating to common features for more than one conveyor kind or type
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    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G9/00—Apparatus for assisting manual handling having suspended load-carriers movable by hand or gravity
    • B65G9/008—Rails or switches

Definitions

  • the present invention relates to a linear conveyor apparatus having a linear motor movable element and a stator.
  • a linear conveyor uses a linear motor as a drive source and moves a slider linearly along a guide rail.
  • the guide rail is assembled to a base frame on which a linear motor stator is mounted, and the linear motor movable element is attached to the slider.
  • the linear motor stator is an electromagnet disposed in parallel with the guide rail, and the linear motor movable element is a permanent magnet. Propulsive force is given to the slider by energizing the electromagnet.
  • the linear conveyor includes a linear scale including a magnetic scale mounted on the slider and a magnetic sensor installed on the base frame. The slider is moved to a desired position by controlling the energization of the electromagnet based on the position detection result by the linear scale (see, for example, Patent Document 1).
  • the conveyance path length required for the linear conveyor varies depending on the user. In some cases, once the linear conveyor is laid, it is required to change the transport path length. Accordingly, it is desirable to modularize the stator side of the linear conveyor and connect the modules in series to construct a linear conveyor having a required transport path length.
  • a base frame having a predetermined length, a guide rail, an electromagnet, and a magnetic sensor are provided in each module, and energization control of the electromagnet is performed in module units.
  • the linear conveyor (module) is installed on a stand prepared by the user. That is, the base frame that supports the guide rails and the like is directly laid on the frame.
  • the modules can be connected with high accuracy. It becomes difficult.
  • An object of the present invention is to provide a linear conveyor device capable of easily and highly accurately connecting linear conveyor modules.
  • a linear conveyor apparatus is a linear conveyor apparatus installed on a predetermined installation surface, and guides the movement of the linear motor stator, a slider having a linear motor movable element, and the slider.
  • a linear transport unit in which a plurality of modules each having a top surface having a guide portion and a bottom surface facing the installation surface are linearly connected to each other, and the installation surface and the lower surface of the module at a connection portion between the modules And a base member that positions and supports the module.
  • FIG. 1 is a perspective view schematically showing an overall configuration of a linear conveyor apparatus according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 is an exploded perspective view of the linear transport unit (module connection body) and slider of the linear conveyor device.
  • FIG. 3 is a perspective view of a base member that supports the module on the gantry.
  • FIG. 4A is a cross-sectional view of the connecting portion of the module in the Y direction. 4B is an enlarged cross-sectional view of a main part of FIG. 4A.
  • FIG. 5A is a cross-sectional view of the connecting portion of the module in the X direction. 5B is an enlarged cross-sectional view of a main part of FIG. 5A.
  • FIG. 6 is a cross-sectional view for explaining the relationship between a ball as an example of a hemispherical protrusion serving as a positioning member and its holding hole.
  • FIG. 7 is a cross-sectional view showing the ball receiving hole.
  • FIG. 8A is a cross-sectional view showing a modification of the hemispherical protrusion.
  • FIG. 8B is a cross-sectional view showing a modification of the hemispherical protrusion.
  • FIG. 9A is a cross-sectional view showing a modification of the receiving hole.
  • FIG. 9B is a cross-sectional view showing a modification of the receiving hole.
  • FIG. 10 is a schematic cross-sectional view showing a fitted state of the base member to the base frame in the present embodiment.
  • FIG. 11 is a schematic cross-sectional view showing a fitting state of the base member to the base frame in the comparative example.
  • FIG. 12 is a perspective view showing an embodiment of a linear conveyor device using a module with a cover member.
  • FIG. 13 is a side view of the linear conveyor device of FIG.
  • FIG. 14 is a cross-sectional view in the Y direction at the connecting portion of the module with a cover member.
  • FIG. 15 is a perspective view showing an assembly example of the module.
  • FIG. 1 is a perspective view schematically showing an overall configuration of a linear conveyor device 1 according to an embodiment of the present invention.
  • XYZ direction indications are attached, where the X direction is the left-right direction (+ X is right, -X is left), the Y direction is the front-rear direction (+ Y is front, -Y is back), Z The direction corresponds to the vertical direction (+ Z is up, -Z is down).
  • direction indications along this are also attached.
  • the linear conveyor apparatus 1 is installed on a gantry 10 and has a pair of linear conveyance units 2 (first linear conveyance unit 2A and second linear conveyance unit 2B) extending in the X direction, and the ⁇ X side and + X of the linear conveyance unit 2
  • the first direction changing portion 2C and the second direction changing portion 2D that are respectively located at the side ends, the slider 3 that moves along the linear conveying portion 2, and the base member 4 that supports the linear conveying portion 2 on the gantry 10 It has.
  • the linear conveyance unit 2 includes a first linear conveyance unit 2A disposed on the + Y side of the gantry 10 and a second linear conveyance unit 2B disposed on the ⁇ Y side in parallel with the first linear conveyance unit 2A.
  • the first and second direction changing sections 2C and 2D communicate between these linear transport sections 2A and 2B at the ⁇ X side and + X side ends.
  • the gantry 10 includes an upper surface 10 ⁇ / b> A (installation surface) that is a laying surface of the linear conveyor device 1. It is basically desirable that the upper surface 10A is a surface with high flatness. However, in this embodiment, since the linear conveyor device 1 is laid using the base member 4, even if the flatness of the upper surface 10A is somewhat low, a small step is present, or the gantry 10 is divided. Even in the case where there is a seam on the upper surface 10A, these are not particularly serious problems.
  • 2nd linear conveyance part 2A, 2B is a conveyance part which moves the slider 3 to a X direction.
  • the first and second direction changing units 2C and 2D are conveying units that move the slider 3 in the Y direction, and the slider 3 is replaced between the first and second linear conveying units 2A and 2B. Play the role of doing.
  • the first and second linear transport units 2A and 2B are units on the fixed side of the linear motor, and the slider 3 is a unit on the movable side.
  • the first and second linear transport units 2A and 2B are formed by connecting a plurality of modules 20 having the guide function of the slider 3 linearly.
  • the module 20 is a unit block on the fixed side that forms the slider 3 and the linear motor, and is a short linear block having a length of about 0.2 m to 1.0 m.
  • the module 20 (base frame 21 described later) has an upper surface 21A and a lower surface 21B facing the gantry 10, and is supported by the base member 4 with the lower surface 21B floating from the upper surface 10A of the gantry 10. .
  • the upper surface 21A is an upper surface in the sense that it is opposite to the lower surface 21B facing the gantry 10, and does not mean that the upper surface 21A is always directed upward in the actual installation mode of the module 20.
  • FIG. 1 shows an example in which the first linear transport unit 2A is formed of modules 20A, 20B, 20C, 20D, and 20E that are sequentially connected in the -X to + X direction.
  • the module 20D is shorter than the others is shown.
  • the second linear conveyance unit 2B The same applies to the second linear conveyance unit 2B.
  • the X-direction moving length of the slider 3 can be freely set by the number of modules 20 connected and the combination of modules 20 having different lengths.
  • 1st, 2nd direction change part 2C, 2D contains the slide rail 11 and the module 20Y for conversion.
  • the slide rail 11 is laid on the upper surface 10A of the gantry 10 so as to extend in the Y direction.
  • the conversion module 20Y is engaged with the slide rail 11 so as to be movable in the Y direction along the slide rail 11.
  • the conversion module 20Y is moved between the terminal end E of the first linear transport unit 2A and the terminal end E of the second linear transport unit 2B, and positioning with respect to the terminal end E is stopped by an unillustrated drive mechanism.
  • the slider 3 can move around the circuit path formed on the gantry 10 by the first and second linear transport units 2A and 2B and the first and second direction changing units 2C and 2D.
  • FIG. 1 shows an example in which four sliders 3A, 3B, 3C, and 3D are arranged in the circulation path and rotate in the slider movement direction F in a clockwise direction.
  • the slider 3 moves from the + X side of the first linear transport unit 2A toward the ⁇ X side (there may be temporarily sent back to the + X side), and from the ⁇ X terminal end E to the first direction changing unit. Transfer to 2C conversion module 20Y. With the slider 3 mounted, the conversion module 20Y is moved in the ⁇ Y direction from the first linear conveyance unit 2A toward the second linear conveyance unit 2B.
  • the slider 3 moves from the ⁇ X end E to the second linear transport unit 2B and moves to the + X side. And it transfers to the module 20Y for conversion of 2nd direction change part 2D, is moved to + Y direction, and changes to 2 A of 1st linear conveyance parts again.
  • various robots are provided along the circulation path of the slider 3 to perform transfer of a workpiece such as a substrate, mounting of an electronic component or the like on the substrate, and the like.
  • the upper surface of the slider 3 serves as a placement portion for the workpiece or the like.
  • the slider 3 is stopped at the work position of the robot responsible for one process and moved toward the work position of the robot responsible for the next process after the work, so that the first and second linear transport units 2A, Moved on 2B.
  • the base member 4 is disposed between the mount 10 and the lower surface 21B of the module 20 at the connecting portion J between the modules 20, and positions and supports the pair of modules 20 to be connected. Furthermore, the base member 4 is also arranged at the terminal end E of the first and second linear transport units 2A and 2B. Conventionally, the module 20 is directly attached to the gantry 10. However, in this embodiment, the base member 4 is interposed between the module 20 and the gantry 10, and the modules 20 connected to each other using the base member 4 are connected to each other. It is characterized in that it is positioned.
  • FIG. 2 is an exploded perspective view of the linear transport unit 2 (the connected body of the modules 20) and the slider 3.
  • Each module 20 includes a base frame 21, a linear motor stator 22, and a pair of guide rails 23 (guide portions).
  • the slider 3 includes a slider frame 31, a linear motor movable element 32, and a pair of guide blocks 33.
  • the base frame 21 is a frame made of a metal such as aluminum, and is a flat plate member that constitutes the upper surface 21A and the lower surface 21B of the module 20 described above.
  • the upper surface 21A is a surface on which the linear motor stator 22 and the guide rail 23 are mounted.
  • the lower surface 21B is a surface facing the upper surface 10A of the gantry 10 with a predetermined interval.
  • the linear motor stator 22 is composed of an array of a plurality of electromagnets. That is, the linear motor stator 22 is formed by arranging a plurality of unit electromagnets including a core and a coil wound around the core in a line in the X direction.
  • the pair of guide rails 23 are members that guide the movement of the slider 3.
  • Each guide rail 23 is attached to the upper surface 21A at the Y-direction end 211 (width direction) of the base frame 21 to form two tracks extending in the X direction.
  • the unit guide rails 23 of the base frames 21 can be connected to each other to form a guide rail 23 extending infinitely long. is there.
  • the slider frame 31 is made of a metal block such as aluminum, has a top surface serving as a mounting portion for the workpiece, and has a shape that can be fitted into the base frame 21 from the end portion 212 in the X direction.
  • the linear motor movable element 32 includes a plurality of permanent magnets arranged in the X direction and a back yoke that holds these permanent magnets.
  • the linear motor movable element 32 is attached to the lower surface of the slider frame 31 at a position facing the linear motor stator 22.
  • the plurality of permanent magnets are arranged so that N poles and S poles appear alternately on the surface facing the linear motor stator 22.
  • the pair of guide blocks 33 are attached to the lower surface of the slider frame 31 at positions facing the pair of guide rails 23 respectively.
  • the guide block 33 includes a bearing that rolls in contact with the guide rail 23, is engaged with the guide rail 23, is guided by the guide rail 23, and moves in the X direction.
  • the linear motor movable element 32 forms a linear motor with the linear motor stator 22 on the base frame 21 side.
  • a motor controller (not shown) supplies a current of any one of the U phase, V phase, and W phase having different phases to the linear motor stator 22 (coil of the electromagnet). Thereby, a magnetic driving force is generated by the interaction between the magnetic flux generated in the coil and the magnetic flux of the permanent magnet provided in the linear motor movable element 32, and the slider 3 is moved by this driving force.
  • the pair of guide blocks 33 constitutes a pair of guide rails 23 and a linear guide.
  • the slider 3 receiving the propulsive force advances straight in the X direction along the guide rail 23.
  • a magnetic sensor is disposed on the upper surface 21 ⁇ / b> A of the base frame 21, and a magnetic scale is attached to the lower surface of the slider 3. These magnetic sensor and magnetic scale form a linear scale for detecting the position of the slider 3. Based on the position detection result of the slider 3 by the linear scale, the slider 3 is moved to the target position by controlling the energization of the coil of the electromagnet.
  • FIG. 3 is a perspective view of the base member 4 alone.
  • the base member 4 is formed of a metal block having excellent rigidity, such as aluminum, and includes a flat bottom plate 41 and a pair of ridges 42 that are erected near both ends in the Y direction of the bottom plate 41 and extend in the X direction. Yes.
  • the bottom surface 411 of the bottom plate 41 abuts on the top surface 10 ⁇ / b> A of the gantry 10.
  • a space between the pair of ridges 42 is a storage space 412, which can be used as a space for storing a connector for the module 20, a power supply device, and the like.
  • the upper surface of the pair of ridges 42 is a support surface 43 serving as a mating surface with the lower surface 21B of the base frame 21.
  • the support surface 43 supports the X direction end part 212 of a pair of module 20 (base frame 21) connected from below.
  • Four hemispherical protrusions 5 protrude from the support surface 43.
  • the hemispherical protrusion 5 is a member for positioning the pair of modules 20.
  • the base frame 21 has a receiving hole 24 into which the hemispherical protrusion 5 is fitted.
  • the receiving hole 24 is a through hole is shown for ease of processing.
  • the receiving hole 24 only needs to be recessed at least on the lower surface 21 ⁇ / b> B of the base frame 21.
  • various shapes of protrusions may be used as positioning members.
  • FIG. 4A is a cross-sectional view in the Y direction of the connecting portion J between the modules 20, and FIG. 4B is an enlarged cross-sectional view of the main part of FIG. 4A.
  • 5A is a cross-sectional view of the connecting portion J in the X direction
  • FIG. 5B is an enlarged cross-sectional view of the main part of FIG. 5A.
  • the hemispherical protrusion 5 shown in FIG. 3 is formed by a ball 50 made of a steel ball.
  • the support surface 43 is provided with a holding hole 44 that is recessed to face the receiving hole 24 of the base frame 21.
  • the ball 50 is accommodated in the holding hole 44 so that at least the upper half protrudes.
  • the hemispherical protrusion 5 is formed by the upper half of the ball 50 accommodated in the holding hole 44.
  • the ball 50 is in line contact with the receiving hole 24 (a part of the module) in a state where the lower surface 21B and the support surface 43 are in contact with each other.
  • two (plural) balls 50 are arranged in the width direction (Y direction) of the module 20. That is, the receiving hole 24 is formed in each of the + Y and ⁇ Y end portions 211 of the base frame 21.
  • the holding holes 44 are also recessed in the pair of ridges 42 (support surfaces 43) at positions corresponding to the pair of receiving holes 24 in the Y direction.
  • the balls 50 are fitted into the pairs of the + Y and ⁇ Y receiving holes 24 and the holding holes 44, respectively. That is, one module 20 is positioned by two balls 50 in the Y direction. This stabilizes the positioning in the Y direction.
  • two (a plurality) of balls 50 are also arranged in the moving direction (X direction) of the slider 3. That is, the holding holes 44 are respectively provided in the ⁇ X side and the + X side as viewed from the center of the ridge 42 in the X direction.
  • the receiving holes 24 of the base frames 21 of the pair of modules 20 to be connected are fitted into the two balls 50 and positioned.
  • the ⁇ X side is the first module 20A
  • the + X side is the second module 20B.
  • the end surface of the + X side end portion 212A of the first module 20A and the end surface of the ⁇ X side end portion 212B of the second module 20B are brought into contact with each other.
  • the base member 4 has the support surface 43 straddling the lower surfaces of the first and second base frames 210A and 210B of the first and second modules 20A and 20B.
  • FIG. 5A shows an example in which the end surfaces of both modules 20A and 20B abut each other at the center of the ridge 42 in the X direction.
  • the first base frame 210A has a first receiving hole 24A at the + X side end portion 212A
  • the second base frame 210B has a second receiving hole 24B at the ⁇ X side end portion 212B.
  • the ball 50A held in the holding hole 44 on the ⁇ X side of the base member 4 is fitted in the first receiving hole 24A
  • the ball 50B held in the holding hole 44 on the + X side is fitted in the second receiving hole 24B. It is inserted.
  • three or more balls 50 and receiving holes 24 may be arranged in the X direction.
  • the first module 20A is positioned on the base member 4 by fitting the first receiving hole 24A and the ball 50A
  • the second module 20B is formed between the second receiving hole 24B and the ball 50B.
  • the base member 4 is positioned by fitting. And as a result of these positioning, the connection part J of 1st, 2nd module 20A, 20B is formed. Therefore, the first and second modules 20A and 20B can be coupled with high accuracy by accurately managing the flatness of the support surface 43 and the positional relationship between the plurality of balls 50 in the base member 4.
  • the receiving hole 24 and the holding hole 44 can be formed by cutting.
  • the cutting hole is applied from the + Z side so that the receiving hole 24 and the holding hole 44 are processed once. It is desirable to drill with.
  • the distance d between the pair of cores of the receiving hole 24 and the holding hole 44 on the -Y side and the core of the pair of the receiving hole 24 and the holding hole 44 on the + Y side is highly accurate (the error is about 10 ⁇ m).
  • the following processing is preferably performed so as to ensure the following. The same applies to the distance between the pair of the receiving hole 24 and the holding hole 44 in the X direction.
  • the positioning of the guide rail 23 is preferably based on the position of the holding hole 44, that is, the position of the ball 50.
  • the guide rail 23 is attached to the upper surface 21 ⁇ / b> A of the Y direction end portion 211 of the base frame 21.
  • a contact surface 233 with which the lower side of the guide rail 23 abuts is formed by step processing.
  • the guide rail 23 is positioned by coming into contact with the contact surface 233 and is fixed to the base frame 21 by a fixing screw 231 and a screw hole 232 that is recessed in the upper surface 21A.
  • the step processing of the contact surface 233 is formed by a series of processing following the perforation processing of the receiving hole 24 and the holding hole 44, the position of the contact surface 233 can be set with respect to the ball 50 with high accuracy. Therefore, the guide rail 23 can be positioned with respect to the ball 50 with high accuracy.
  • the connecting portion J in which the pair of modules 20 are positioned with high accuracy can be constructed. That is, the position of the guide rail 23 is determined by the position of the ball 50 of the base member 4. For this reason, if the positional relationship between the plurality of balls 50 is high accuracy, the receiving holes 24 of the pair of modules 20 to be connected to the balls 50 of the base member 4 prepared corresponding to the receiving holes 24. By simply fitting the guide rails 23, the guide rails 23 can be connected with high accuracy.
  • FIG. 6 is a cross-sectional view for explaining the relationship between the ball 50 and the holding hole 44
  • FIG. 7 is a cross-sectional view showing the receiving hole 24.
  • the holding hole 44 having a depth b slightly shorter than the radius a of the ball 50 and the receiving hole 24 in which the bush 25 (cylindrical member) is closely fitted are illustrated.
  • the ball 50 for example, a steel ball such as a martensitic stainless sphere or a carbon sphere having a diameter of about 3 mm to 15 mm can be used.
  • the sphericity of the ball 50 is desirably high, and it is desirable to use a ball having a grade of about 28 (tolerance ⁇ 0.5 ⁇ m).
  • the holding hole 44 is a hole with a bottom that has a circular horizontal cross section and opens to the support surface 43. That is, the holding hole 44 includes a circular opening edge 441 that defines an opening on the support surface 43, a cylindrical wall surface 442 that extends vertically downward from the opening edge 441, and a bottom surface 443 that partitions the bottom of the cylindrical wall surface 442. ing.
  • the opening edge 441 is an edge (about C0.02 or less) that does not substantially have a chamfered structure.
  • the cylindrical wall surface 442 is a wall surface that defines a cavity that accommodates the ball 50.
  • the bottom surface 443 is a flat surface that is not processed such as a recess for centering.
  • the depth b from the opening edge 441 to the bottom surface 443 of the holding hole 44 is set to be slightly shorter than the radius a of the ball 50.
  • it is desirable to set b a ⁇ 0.03 mm.
  • the portion of the maximum circumscribed circle of the ball 50 is exposed outside the hole. Since the bottom surface 443 is a flat surface, the portion of the maximum circumscribed circle is slightly smaller than the opening edge 441 of the holding hole 44 simply by accommodating the ball 50 in the holding hole 44 and bringing the ball lower portion 51 into contact with the bottom surface 443. Can be projected.
  • the location of the maximum circumscribed circle is the contact portion 52 that makes a line contact with the receiving hole 24 in the ball 50.
  • the diameter c of the holding hole 44 As described above, it is possible to meet the demands of both the inhibition of the movement of the ball 50 and the insertion property to the holding hole 44. Further, as described above, by substantially not chamfering the opening edge 441, the diameter c of the holding hole 44 can be prevented from being varied.
  • the ball 50 may remain in a state in which it can be rolled into the holding hole 44, but it is desirable to fix it using an adhesive or the like. For example, it is possible to put the ball 50 into a fixed state by potting an adhesive in the holding hole 44 in advance and then fitting the ball 50 into the holding hole 44 and curing the adhesive. As a result, the ball 50 can be prevented from falling off the holding hole 44.
  • the bush 25 is a cylindrical member formed of a member having higher hardness than the base frame 21 (aluminum). That is, the bush 25 has such a strength that it does not deform even when it comes into contact with the ball 50. For example, it is desirable to use a bush 25 made of high hardness steel having a hardness of HRC 55 class or higher.
  • the receiving hole 24 is a hole having a circular horizontal cross section, and includes a hole body 241 and a large-diameter portion 242 connected to the lower end of the hole body 24.
  • the large diameter portion 242 has a diameter that is about 1.4 times larger than the diameter of the hole body 241.
  • the bush 25 has a cylindrical portion 251 and a flange portion 252 provided continuously with the lower end of the cylindrical portion 251.
  • the outer peripheral surface of the cylindrical portion 251 is closely joined to the inner peripheral surface of the hole body 241.
  • the flange portion 252 is accommodated in the large diameter portion 242.
  • the actual opening edge of the receiving hole 24 is the opening edge 255 of the bush 25. As shown in FIG.
  • the upper end edge 253 of the cylindrical portion 251 is at a position slightly lower than the upper surface 21 ⁇ / b> A of the base frame 21.
  • the lower end surface of the flange portion 252 is flush with the lower surface 21 ⁇ / b> B of the base frame 21.
  • the opening edge 255 located at the lower end of the bush 25 is formed by the ball 50. It becomes a part which carries out a line contact with the base of the hemispherical protrusion currently performed. Strictly speaking, the contact portion 52, which is the location of the maximum circumscribed circle of the ball 50 projecting slightly upward from the support surface 43, and the location slightly above the opening edge 255 of the cylindrical portion 251 are in line contact. Become. If chamfering is performed on the opening edge 255, the hole diameter of the receiving hole 24 (bush 25) may vary at the position of the opening edge 255 due to processing errors. In this case, good line contact may not be formed, and the base frame 21 may be rattled. Therefore, the opening edge 255 of the bush 25 is an edge (about C0.02 or less) that does not substantially have a chamfered structure.
  • [Modification of hemispherical protrusion and receiving hole] 8A and 8B are cross-sectional views showing modifications of the hemispherical protrusion 5 protruding from the support surface 43 of the base member 4.
  • the hemispherical protrusion 5A shown in FIG. 8A is formed of a bullet-type pin.
  • the hemispherical protrusion 5 ⁇ / b> A is a pin whose upper half is a hemispherical portion 501 and whose lower half is a cylindrical portion 502.
  • the cylindrical portion 502 is accommodated in the holding hole 44 of the base member 4, and the hemispherical portion 501 protrudes from the support surface 43.
  • the hemispherical protrusion 5B shown in FIG. 8B is formed by projecting a hemispherical convex portion 503 integral with the base member 4 on the support surface 43.
  • Hemispherical protrusion 5A, 5B as shown to FIG. 8A and FIG. 8B is also employable.
  • the hemispherical protrusion 5 is formed by the ball 50 accommodated in the holding hole 44 so that the upper half protrudes.
  • balls with extremely high sphericity, the above-mentioned 28 grade balls can be obtained from the market easily and at low cost.
  • machining the hemispherical portion at one end of the cylindrical pin as in the hemispherical projection 5A in FIG. 8A or forming the hemispherical projection 5B in FIG. 8B by cutting causes an increase in cost.
  • by using the hemispherical protrusion 5 using the ball 50 it is possible to reduce the cost while providing high accuracy.
  • FIG. 9A and 9B are cross-sectional views showing modifications of the receiving hole 24.
  • FIG. 9A illustrates a receiving hole 24A in which the bush 25 is not fitted.
  • the ball 50 and the holding hole 44 are the same as the example shown in FIGS. 4A to 6.
  • the receiving hole 24A is a cylindrical hole that penetrates the base frame 21 in the vertical direction.
  • the opening edge at the lower end of the receiving hole 24 ⁇ / b> A is in line contact with the maximum circumscribed circle of the ball 50.
  • the base frame 21 has sufficient hardness, such a receiving hole 24A can be employed.
  • FIG. 9A illustrates a receiving hole 24B having a tapered shape.
  • the receiving hole 24B is a tapered hole having a large diameter opening 241B on the lower surface 21B side and a small diameter opening 242B on the upper surface 21A side, and the diameter gradually decreases from the lower surface 21B side to the upper surface 21A side.
  • the diameter of the large diameter opening 241 ⁇ / b> B is larger than the diameter of the holding hole 44 and the diameter of the ball 50, and the diameter of the small diameter opening 242 ⁇ / b> B is smaller than the diameter of the ball 50.
  • the inner peripheral surface located slightly above the diameter opening 241B is in line contact with the outer peripheral surface of the ball 50 (not the place of the maximum circumscribed circle).
  • a small-diameter opening 242B is not provided, and a truncated cone-shaped bottomed hole may be used.
  • the module 20 of the linear transport unit 2 is not directly laid on the gantry 10, but the connecting portion J between the modules 20 is supported by the base member 4 from below. Laid in a manner. Due to the interposition of the base member 4, the mutual alignment of the modules 20 to be connected can be made dependent on the base member 4. That is, instead of directly connecting the modules 20 or the guide rails 23, the connection of the pair of modules 20 can be achieved as a result by positioning and attaching the modules 20 to be connected to the base member 4. it can.
  • the processing accuracy of the base member 4 that is, the positioning accuracy of the positioning member (the hemispherical protrusion 5; the ball 50 in the above embodiment) is increased, the connection accuracy between the modules 20 can be improved. Therefore, it becomes easy to manage the alignment of the connected modules 20. Further, since the base member 4 is interposed, the modules 20 can be connected without being affected by the state of the upper surface 10A of the gantry 10. Therefore, the modules 20 can be easily connected with high accuracy.
  • the positioning member includes the hemispherical projection 5, and a part of the base frame 21 and the hemisphere are in contact with the lower surface 21 ⁇ / b> B of the module 20 (base frame 21) and the support surface 43 of the base member 4.
  • the protrusion 5 is in line contact. More specifically, the contact portion 52 (base portion) that is the location of the maximum circumscribed circle of the ball 50 is in line contact with the opening edge 255 of the receiving hole 24 (bush 25) of the base frame 21.
  • the module 20 is positioned with minimal contact.
  • Such a positioning mode can suppress squeezing (Jam; receiving hole 24 and a member inserted into receiving hole 24 interfere with each other) when assembling base frame 21 to base member 4.
  • FIG. 10 is a schematic cross-sectional view showing a fitting state of the base frame 21 to the base member 4 in this embodiment
  • FIG. 11 is a schematic cross-sectional view showing a comparative example for this. If the positioning member is the ball 50 (the hemispherical protrusion 5) as in the present embodiment, the base frame 21 should come into contact with the support surface 43 of the base member 4 as shown in FIG. Even in this case, since the ball 50 invites the receiving hole 24, no scouring occurs.
  • the positioning member is the ball 50 (the hemispherical protrusion 5) as in the present embodiment
  • the processing tolerance of the installation position of the balls 50 can be reduced. Can be absorbed.
  • the installation pitch error of the two balls 50 is 10 ⁇ m
  • the base frame 21 having the receiving holes 24 that fit into the two balls 50 is fitted into the two balls 50.
  • the base frame 21 is centered by the balls 50, and the installation error of the base frame 21 can be suppressed to 5 ⁇ m, which is half of 10 ⁇ m.
  • the knock pin 50 ⁇ / b> P is a cylindrical pin whose upper end is tapered, and is installed so that its cylindrical body protrudes upward from the holding hole 44.
  • the outer peripheral surface of the cylindrical body portion and the inner peripheral surface of the receiving hole 24 are in surface contact.
  • galling K is likely to occur between the knock pin 50P and the receiving hole 24.
  • a squeeze K in which the opening edge 255 of the receiving hole 24 abuts against the cylindrical body portion is generated.
  • ⁇ To prevent galling K it is necessary to install the base frame 21 on the base member 4 without tilting, but such work is difficult. Further, if there is an error in the installation position of the knock pin 50P, the squeeze K may occur even if the base frame 21 is not inclined. For this reason, play is required for fitting the knock pin 50P and the receiving hole 24, and it is difficult to construct a highly accurate connecting portion J. If the knock pin 50P and the receiving hole 24 are to be closely fitted, the receiving hole 24 may be deformed by a frictional force such as twisting K. When the receiving hole 24 is deformed, the connection accuracy of the module 20 is naturally reduced.
  • the present embodiment when the lower surface 21B of the base frame 21 and the support surface 43 of the base member 4 are brought into contact with each other, the tangled contact surface and the poor positional accuracy of the ball 50 Even when a frictional force is generated due to the above, the upper hemisphere of the ball 50 attracts the receiving hole 24, so that the receiving hole 24 is hardly deformed.
  • the receiving hole 24 is formed by fitting the high-hardness bush 25, deformation is less likely to occur. For this reason, the connection accuracy is hardly lowered, and the connection accuracy of the module 20 is good.
  • the opening edge 255 of the receiving hole 24 is an edge that does not substantially have a chamfered structure. If the opening edge 255 is chamfered, the hole diameter of the receiving hole 24 may vary. On the other hand, even if the opening edge 255 is not chamfered, the ball 50 invites the receiving hole 24, so that the fitting of both can be performed smoothly. In the comparative example of FIG. 11, it is almost essential to chamfer the opening edge 255. However, according to the present embodiment, the chamfering is unnecessary.
  • FIG. 12 is a perspective view showing an embodiment of a linear conveyor device 1A according to another embodiment
  • FIG. 13 is a side view thereof
  • the linear transport unit 2 of the linear conveyor device 1 ⁇ / b> A is configured by a connected body of modules 200 with cover members 6.
  • the slider 300 is movably attached to the linear conveyance unit 2 in a mode of being fitted to the cover member 6.
  • the module 200 is supported by the base member 400 at the connecting portion J and the end portion E of the linear transport portion 2.
  • the base member 400 is disposed between the gantry 10 and the lower surface 21B of the module 200, and positions and supports each module 200.
  • the linear conveyor apparatus 1A has a linear motor L1, a linear guide L2, and a linear scale L3 as shown in FIG.
  • the linear motor L1 includes a linear motor stator 22 and a linear motor movable element 32.
  • the linear guide L2 includes a pair of guide rails 23 and a pair of guide blocks 33.
  • the linear scale L3 includes a magnetic sensor unit 26 and a magnetic scale 34.
  • the module 200 includes a base frame 21 on which a linear motor stator 22, a pair of guide rails 23, and a magnetic sensor unit 26 are mounted.
  • the pair of guide rails 23 extend in the X direction in parallel to each other, and are disposed near the ⁇ Y end and the + Y end of the base frame 21.
  • a linear motor stator 22 ( ⁇ Y side) and a magnetic sensor unit 26 (+ Y side) are disposed between the pair of guide rails 23.
  • the linear motor stator 22 includes a plurality of electromagnets arranged in the X direction.
  • a plurality of magnetic sensor units 26 are also arranged in the X direction.
  • the cover member 6 is attached to the upper surface 21A so as to cover the upper surface 21A of the base frame 21.
  • the cover member 6 includes a support leg 61, a horizontal cover portion 62, and a pair of side cover portions 63, and is a member having a substantially T-shaped cross section in the Y direction.
  • the support leg 61 is erected in the center region in the Y direction of the base frame 21.
  • the horizontal cover portion 62 extends horizontally from the upper end of the support leg 61 to the ⁇ Y side and the + Y side.
  • the pair of side cover parts 63 extend downward from the ⁇ Y side and + Y side ends of the horizontal cover part 62.
  • the horizontal cover portion 62 covers the linear motor stator 22 attached to the upper surface 21A of the base frame 21, the pair of guide rails 23, and the magnetic sensor unit 26, and the side cover portion 63 covers these sides. ing.
  • the cover member 6 can prevent contamination and foreign matter from entering the upper surface 21A.
  • the slider 300 includes a top plate 301 that is a horizontal plate on which a workpiece is loaded, a pair of side plates 302 that extend downward from the ⁇ Y side and + Y side ends of the top plate 301, and a width from the lower ends of the pair of side plates 302.
  • a slider frame 31 having a pair of lower plates 303 extending toward the center in the direction is provided.
  • the upper plate 301, the side plate 302, and the lower plate 303 form a fitting portion 30 that is fitted to the cover member 6.
  • the fitting portion 30 defines a cavity that receives the cover member 6.
  • the guide blocks 33 are attached to the lower surfaces of the pair of lower plates 303, respectively.
  • the linear motor movable element 32 is attached to the inner end surface of the lower plate 303 on the ⁇ Y side, and the magnetic scale 34 is attached to the inner end surface of the lower plate 303 on the + Y side.
  • the linear motor movable element 32 includes a plurality of permanent magnets arranged in the X direction and a back yoke for holding them.
  • the magnetic scale 34 includes permanent magnets arranged on the surface facing the magnetic sensor unit 26 so that N poles and S poles appear alternately.
  • the guide block 33 is engaged with the guide rail 23 and is guided by the guide rail 23 to move in the X direction.
  • the inner peripheral surface of the fitting portion 30 and the outer peripheral surface of the cover member 6 face each other with a gap of a predetermined width.
  • the linear motor movable element 32 faces the linear motor stator 22, and the magnetic scale 34 also faces the magnetic sensor unit 26.
  • FIG. 15 is a perspective view showing an assembly example of the module 200, and a part of the upper surface portion of the base member 400 is shown.
  • the base member 400 includes a bottom plate 41, ridges 42, and a support surface 43, and balls 50 as hemispherical protrusions are disposed on the support surface 43.
  • the bottom surface 411 of the bottom plate 41 is in contact with the upper surface 10A of the gantry 10, and the support surface 43 supports the lower surface 21B of the base frame 21 at the connecting portion J between the modules 200.
  • the mounting of the module 200 to the base member 400 so that the receiving hole 24 of the base frame 21 fits into the ball 50 enables positioning of the pair of modules 200 to be connected to each other. It is the same as the form.
  • the base member 400 includes a first fixing portion 401 formed of a screw hole drilled in the support surface 43 in the vertical direction, and a first hole formed of a through hole drilled in the vertical direction at the ⁇ Y side and + Y side ends of the bottom plate 41. 2 fixing part 402.
  • the first fixing portion 401 is a screw hole for detachably fixing each module 200 to the base member 400.
  • a mounting hole 213 provided in the base frame 21 is superimposed on the first fixing portion 401, and the fixing screw 403 is screwed into and released from the first fixing portion 401, so that the module 200 is a base member. 400 is attached and detached.
  • the second fixing portion 402 is a hole for detachably fixing the base member 400 to the gantry 10.
  • the second fixing portion 402 is aligned with a bolt hole (not shown) drilled in the upper surface 10A and fastened to the gantry 10 with a bolt (not shown).
  • a bolt hole not shown
  • the module 200 can be freely attached to and detached from the base member 400, and the base member 400 can be attached to and detached from the mount 10, and the user can easily add, insert, and replace the module 200. ing.
  • FIG. 15 illustrates a case where a short third module 200C is inserted between the first module 200A and the second module 200B. If the connecting portion of the first and second modules 200A and 200B is supported by the first base member 400, a second base member 400A is newly added. In this case, the second module 200B is removed from the first base member 400 and shifted in the + X direction by the length of the third module 200C.
  • the second base member 400 ⁇ / b> A is fixed to the gantry 10 at the second fixing portion 402 with a pitch corresponding to the length of the third module 200 ⁇ / b> C with respect to the first base member 400.
  • the second module 200B is attached to the support surface 43 on the + X side of the second base member 400A.
  • the + X side support surface 43 of the first base member 400 and the ⁇ X side support surface 43 of the second base member 400A serve as the support surface of the third module 200C.
  • the third module 200C includes the first and second X-side and + X-side receiving holes 24 included in the base module 21 of the third module 200C so as to fit into the balls 50 carried on the respective support surfaces 43. 2 Mounted on the base members 400 and 400A. Thereafter, the fixing screw 403 is screwed into the first fixing portion 401 through the attachment hole 213, whereby the insertion operation of the third module 200C is completed.
  • the third module 200C can be inserted by a simple operation.
  • the linear conveyor apparatus 1 can take various modified embodiments.
  • the predetermined installation surface was the upper surface 10A extended in the horizontal direction of the mount frame 10, and the linear conveyor apparatus 1 was shown on the upper surface 10A.
  • the linear conveyor device 1 may be attached to the installation surface extending in the vertical direction by a wall-hanging method, for example, by erecting the gantry 10 vertically.
  • the linear conveyor device 1 may be installed upside down from the above-described embodiment so that the installation surface faces downward and the upper surface 21A of the module 20 faces downward.
  • a columnar installation table having an installation surface at the top may be arranged at a predetermined pitch, and the base member 4 may be installed on the installation surface.
  • the linear motor stator 22 may be laid on a member other than the module 20.
  • the linear motor stator 22 may be laid on the gantry 10 or a motor module in which the linear motor stator 22 is arranged may be disposed close to the module 20.
  • a linear conveyor apparatus is a linear conveyor apparatus installed on a predetermined installation surface, and guides the movement of the linear motor stator, a slider having a linear motor movable element, and the slider.
  • a linear transport unit in which a plurality of modules each having a top surface having a guide portion and a bottom surface facing the installation surface are linearly connected to each other, and the installation surface and the lower surface of the module at a connection portion between the modules And a base member that positions and supports the module.
  • the module is not laid directly on the installation surface, but the module is laid in such a manner that the connecting portion between the modules is supported by the base member.
  • the base member By interposing such a base member, it is possible to make the alignment of the connected modules dependent on the base member.
  • the modules instead of directly connecting the modules, it is possible to achieve the connection between the two by positioning and attaching the modules to be connected to the base member, respectively, and therefore managing the alignment of the two. Becomes easy.
  • the base member since the base member is interposed, the modules can be connected without being affected by the state of the installation surface. Therefore, the modules can be connected easily and with high accuracy.
  • the base member includes a support surface that is a mating surface with the lower surface of the module, and includes a positioning member of the module protruding from the support surface. It is desirable to provide a contact portion that makes line contact with a part of the module when the lower surface of the module and the support surface are in contact with each other.
  • the positioning member is only in line contact with a part of the module, so that the module is positioned with minimal contact. Therefore, when the lower surface of the module and the support surface are brought into contact with each other, even if a frictional force is generated due to a slight contact surface or poor positioning accuracy of the positioning member, the module is deformed into a part of the module. Can be made difficult to occur. For this reason, the accuracy of the connection can be made difficult to decrease.
  • the module includes a base frame that forms at least the lower surface, the positioning member is a hemispherical protrusion protruding from the support surface, and the lower surface of the base frame includes: It is desirable that a receiving hole into which the hemispherical protrusion is fitted is recessed, and an opening edge of the receiving hole is in line contact with the base of the hemispherical protrusion.
  • the module is positioned by fitting the hemispherical protrusion into the receiving hole, and the line contact state between the two can be easily constructed.
  • the hemispherical projection attracts the receiving hole at the time of contact between the lower surface of the module and the support surface, it is possible to prevent friction from occurring between them. That is, the receiving hole is not easily deformed, and the connection accuracy can be prevented from being affected.
  • a cylindrical member made of a member having a hardness higher than that of the base frame is inserted into the receiving hole, and the lower end edge of the cylindrical member is an opening edge that is in line contact with the base of the hemispherical protrusion. Is desirable. As a result, even if friction occurs between the lower surface of the module and the support surface, deformation of the receiving hole portion can be suppressed.
  • the opening edge of the receiving hole is an edge substantially not having a chamfered structure.
  • the diameter of the receiving hole may vary.
  • the hemispherical projection attracts the receiving hole, so that the fitting of both can be performed smoothly. Therefore, it is desirable to improve the accuracy of the connection by substantially not providing a chamfered structure at the opening edge.
  • the support surface of the base member is provided with a holding hole that is recessed to face the receiving hole, and the hemispherical protrusion protrudes at least in the upper half from the holding hole. It is desirable that it is formed by a ball housed in the.
  • the holding hole is a bottomed hole having a flat bottom surface, and the depth from the opening edge to the bottom surface of the holding hole is preferably slightly shorter than the radius of the ball.
  • the maximum circumscribed circle of the ball can be slightly protruded from the opening edge of the holding hole only by bringing the ball into contact with the bottom surface of the holding hole.
  • the location of the maximum circumscribed circle can be a contact portion that makes line contact with the receiving hole.
  • the holding hole is a bottomed hole having a circular horizontal cross section and a flat bottom surface, and the diameter of the holding hole is slightly larger than the diameter of the ball, and the opening edge of the holding hole Is preferably an edge that does not substantially have a chamfered structure.
  • the balls can be reliably brought into contact with the bottom surface of the holding hole, and the hole diameter of the holding hole varies due to not chamfering the opening edge of the holding hole. Can not be. Therefore, it is possible to contribute to improving the accuracy of the connection.
  • a plurality of the hemispherical protrusions are arranged in the width direction of the module perpendicular to the moving direction of the slider.
  • the linear conveyance unit includes a first module and a second module, and the base member is connected to the end of the first module and the end of the second module.
  • a support surface is disposed so as to straddle the lower surface of the base frame of these modules, a plurality of the hemispherical protrusions are disposed along the moving direction of the slider, and the receiving hole is provided on the lower surface of the base frame of the first module.
  • the first receiving hole includes a first receiving hole into which at least one of the hemispherical protrusions fits, and a second receiving hole provided on a lower surface of the base frame of the second module into which at least one other hemispherical protrusion fits.
  • the first module is positioned on the base member by fitting the first receiving hole and one of the hemispherical protrusions, and the second module is fitted to the second receiving hole and the other hemispherical protrusion.
  • the base member is positioned by mating. Therefore, the first and second modules can be connected with high accuracy by accurately managing the positional relationship of the plurality of hemispherical protrusions in the base member.
  • the guide portion is a guide rail attached to the base frame, and the guide rail is attached to the base frame with reference to a position of the hemispherical protrusion. desirable.
  • the position of the guide rail is determined by the position of the hemispherical protrusion. That is, by fitting the receiving hole of the module connected to the hemispherical protrusion, the alignment of the guide rail is completed, and the connection of the guide rail with high accuracy can be achieved.
  • the base member includes a first fixing portion that is detachably fixed to the module, and a second fixing portion that is detachably fixed to the installation surface. desirable.
  • the module can be freely attached to and detached from the base member, and the base member can be attached to and detached from the installation surface, and the module can be easily expanded, inserted and replaced regardless of the state of the installation surface. it can.
  • linear conveyor device According to the linear conveyor device according to the present invention described above, it is possible to provide a linear conveyor device that can easily and accurately connect the modules of the linear conveyor. Accordingly, it is possible to contribute to facilitating operations such as installation, maintenance, layout change, and module replacement on the user side.

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Abstract

リニアコンベア装置（１）は、所定の設置面としての上面（２１Ａ）を有する架台（１０）上に設置される。リニアコンベア装置（１）は、リニアモータ固定子（２２）と、リニアモータ可動子（３２）を有するスライダ（３）と、スライダ（３）の移動をガイドするガイドレール（３２）を有する上面（２１Ａ）と、架台（１０）と対向する下面（２１Ｂ）とを備える基台フレーム（２１）を有するモジュール（２０）が、直線的に複数台連結されてなる直線搬送部（２）と、モジュール（２０）同士の連結部（Ｊ）において架台（１０）の上面（１０Ａ）とモジュール（２０）の下面（２１Ｂ）との間に配置され、連結される一対のモジュール（２０）同士を位置決めして支持するベース部材（４）と、を備える。

Description

リニアコンベア装置
　本発明は、リニアモータ可動子及び固定子を有するリニアコンベア装置に関する。
　リニアモータを駆動源とし、ガイドレールに沿ってスライダを直線的に移動させるリニアコンベアが知られている。可動磁石型リニアモータの場合、前記ガイドレールは、リニアモータ固定子が搭載された基台フレームに組み付けられ、前記スライダにはリニアモータ可動子が取り付けられる。前記リニアモータ固定子は、ガイドレールと平行に配設される電磁石であり、前記リニアモータ可動子は永久磁石である。前記電磁石への通電によって、スライダに推進力が与えられる。また、リニアコンベアは、前記スライダに搭載される磁気スケールと、前記基台フレームに設置される磁気センサとからなるリニアスケールを備える。このリニアスケールによる位置検出結果に基づき前記電磁石への通電が制御されることで、前記スライダが所期の位置へ移動される（例えば特許文献１参照）。
　リニアコンベアに求められる搬送経路長は、ユーザによってまちまちである。また、リニアコンベアを一旦敷設した後、搬送経路長の変更を求められる場合もある。従って、リニアコンベアの固定子側をモジュール化し、該モジュールを直列に連結して所要の搬送経路長を有するリニアコンベアを構築することが望ましい。この場合、所定長の基台フレーム、ガイドレール、電磁石及び磁気センサが各モジュールに具備され、モジュール単位で電磁石の通電制御が行われる。
　従来、前記モジュール同士を連結する際には、ガイドレール同士を繋ぎ合わせる連結ブロックが用いられている。これにより、ガイドレール同士は高精度に連結できる一方、電磁石や磁気センサは高精度の連結を行うことが難しくなる。例えば、電磁石の配列ピッチがモジュール連結部で乱れると、スライダの速度リップルが増加する。また、磁気センサの配列が乱れると、スライダの位置決め精度が低下する。
　さらに、リニアコンベア（モジュール）は、ユーザが準備する架台上へ設置されている。つまり、ガイドレール他を支持する基台フレームが、直接架台上へ敷設されている。しかし、前記架台の状態がリニアコンベアの敷設に適していない場合、例えば架台の平面度が悪かったり、架台に段差が存在していたりするような場合、前記モジュール同士を精度良く連結することが一層難しくなる。
ＵＳＰ６１９１５０７号公報
　本発明の目的は、リニアコンベアのモジュール同士を簡単且つ高精度に連結することができるリニアコンベア装置を提供することにある。
　本発明の一局面に係るリニアコンベア装置は、所定の設置面上に設置されるリニアコンベア装置であって、リニアモータ固定子と、リニアモータ可動子を有するスライダと、前記スライダの移動をガイドするガイド部を有する上面と、前記設置面と対向する下面とを備えるモジュールが、直線的に複数台連結されてなる直線搬送部と、前記モジュール同士の連結部において前記設置面と前記モジュールの下面との間に配置され、前記モジュールを位置決めして支持するベース部材と、を備える。
　本発明の目的、特徴及び利点は、以下の詳細な説明と添付図面とによって、より明白となる。
図１は、本発明の実施形態に係るリニアコンベア装置の全体構成を概略的に示す斜視図である。 図２は、前記リニアコンベア装置の直線搬送部（モジュールの連結体）及びスライダの分解斜視図である。 図３は、架台上でモジュールを支えるベース部材の斜視図である。 図４Ａは、前記モジュールの連結部のＹ方向断面図である。 図４Ｂは、図４Ａの要部拡大断面図である。 図５Ａは、前記モジュールの連結部のＸ方向断面図である。 図５Ｂは、図５Ａの要部拡大断面図である。 図６は、位置決め部材となる半球突起の一例としてのボールと、その保持孔との関係を説明するための断面図である。 図７は、前記ボールの受け孔を示す断面図である。 図８Ａは、前記半球突起の変形例を示す断面図である。 図８Ｂは、前記半球突起の変形例を示す断面図である。 図９Ａは、前記受け孔の変形例を示す断面図である。 図９Ｂは、前記受け孔の変形例を示す断面図である。 図１０は、本実施形態における、ベース部材の基台フレームへの嵌め込み状態を示す模式的な断面図である。 図１１は、比較例における、ベース部材の基台フレームへの嵌め込み状態を示す模式的な断面図である。 図１２は、カバー部材付きモジュールを用いたリニアコンベア装置の実施形態を示す斜視図である。 図１３は、図１２のリニアコンベア装置の側面図である。 図１４は、前記カバー部材付きモジュールの連結部におけるＹ方向断面図である。 図１５は、モジュールの組立例を示す斜視図である。
　［リニアコンベア装置の全体構成］
　以下、本発明の実施形態を、図面に基づいて詳細に説明する。図１は、本発明の実施形態に係るリニアコンベア装置１の全体構成を概略的に示す斜視図である。図１には、ＸＹＺの方向表示を付しており、ここではＸ方向が左右方向（＋Ｘが右、－Ｘが左）、Ｙ方向が前後方向（＋Ｙが前、－Ｙが後）、Ｚ方向が上下方向（＋Ｚが上、－Ｚが下）に各々相当する。他のいくつかの図においても、これに沿った方向表示を付している。
　リニアコンベア装置１は、架台１０上に設置され、Ｘ方向に延びる一対の直線搬送部２（第１直線搬送部２Ａ及び第２直線搬送部２Ｂ）と、直線搬送部２の－Ｘ側及び＋Ｘ側端部にそれぞれ位置する第１方向転換部２Ｃ及び第２方向転換部２Ｄと、直線搬送部２に沿って移動するスライダ３と、架台１０上において直線搬送部２を支持するベース部材４とを備えている。直線搬送部２は、架台１０の＋Ｙ側に配置された第１直線搬送部２Ａと、この第１直線搬送部２Ａと平行に－Ｙ側に配置された第２直線搬送部２Ｂとからなる。第１、第２方向転換部２Ｃ、２Ｄは、これら直線搬送部２Ａ、２Ｂの間を－Ｘ側及び＋Ｘ側端部において連絡している。
　架台１０は、リニアコンベア装置１の敷設面となる上面１０Ａ（設置面）を備えている。上面１０Ａは平面度が高い面であることが基本的には望ましい。しかし、本実施形態ではベース部材４を用いてリニアコンベア装置１の敷設が行われることから、上面１０Ａの平面度が多少低くても、小さな段差が存在していても、或いは架台１０が分割された台車で構成されており上面１０Ａに繋ぎ目が存在しているような場合でも、これらは特に大きな問題とはならない。
　第１、第２直線搬送部２Ａ、２Ｂは、スライダ３をＸ方向へ移動させる搬送部である。第１、第２方向転換部２Ｃ、２Ｄは、スライダ３をＹ方向へ移動させる搬送部であって、第１、第２直線搬送部２Ａ、２Ｂ間でスライダ３を載せ替える、つまり方向転換を行わせる役目を果たす。第１、第２直線搬送部２Ａ、２Ｂは、リニアモータの固定側のユニット、スライダ３は可動側のユニットである。
　第１、第２直線搬送部２Ａ、２Ｂは、スライダ３のガイド機能を有するモジュール２０が、直線的に複数台連結されてなる。モジュール２０は、スライダ３とリニアモータを形成する固定側の単位ブロックであり、０．２ｍ～１．０ｍ程度の長さを有する短尺の直線的なブロックである。モジュール２０（後記の基台フレーム２１）は、上面２１Ａと、架台１０と対向する下面２１Ｂとを有し、下面２１Ｂが架台１０の上面１０Ａから浮いた状態でベース部材４にて支持されている。なお、上面２１Ａとは、架台１０と対向する下面２１Ｂと反対側という意味での上面であり、実際のモジュール２０の設置態様において必ず上面２１Ａが上方を向くということを意味しない。
　図１では、第１直線搬送部２Ａは、－Ｘから＋Ｘ方向に順次連結されたモジュール２０Ａ、２０Ｂ、２０Ｃ、２０Ｄ、２０Ｅで形成されている例を示している。ここでは、モジュール２０Ｄが他に比べて短尺である例を示している。第２直線搬送部２Ｂも同様である。このように、モジュール２０の連結数や、長さの異なるモジュール２０の組合せによって、スライダ３のＸ方向移動長を自在に設定することができる。
　第１、第２方向転換部２Ｃ、２Ｄは、スライドレール１１と転換用モジュール２０Ｙとを含む。スライドレール１１は、架台１０の上面１０ＡにＹ方向に延びるように敷設されている。転換用モジュール２０Ｙは、スライドレール１１に沿ってＹ方向に移動自在に当該スライドレール１１に係合されている。図略の駆動機構により、転換用モジュール２０Ｙは、第１直線搬送部２Ａの終端部Ｅと第２直線搬送部２Ｂの終端部Ｅとの間の移動、及びこれら終端部Ｅに対する位置決め停止がなされる。
　スライダ３は、第１、第２直線搬送部２Ａ、２Ｂ及び第１、第２方向転換部２Ｃ、２Ｄによって架台１０上に形成される周回経路を周回移動することが可能である。図１では、４つのスライダ３Ａ、３Ｂ、３Ｃ、３Ｄが前記周回経路に配置され、これらが時計回り のスライダ移動方向Ｆに周回する例を示している。スライダ３は、第１直線搬送部２Ａの＋Ｘ側から－Ｘ側に向かって移動し（一時的に＋Ｘ側に逆送される場合もある）、その－Ｘ終端部Ｅから第１方向転換部２Ｃの転換用モジュール２０Ｙに乗り移る。スライダ３を搭載した状態で、転換用モジュール２０Ｙは、第１直線搬送部２Ａから第２直線搬送部２Ｂへ向けて－Ｙ方向へ移動される。次いでスライダ３は、－Ｘ終端部Ｅから第２直線搬送部２Ｂに乗り移り、＋Ｘ側へ移動する。そして、第２方向転換部２Ｄの転換用モジュール２０Ｙに乗り移り、＋Ｙ方向へ移動され、再び第１直線搬送部２Ａへ乗り移る。
　図示は省略しているが、スライダ３の周回経路に沿って、基板等のワークの移載、電子部品等の前記基板への実装作業等を実行する各種ロボットが配設される。スライダ３の上面は前記ワーク等の載置部となる。スライダ３は、一の工程を担うロボットの作業位置で停止され、作業後に次の工程を担うロボットの作業位置へ向けて移動するというように、断続的に第１、第２直線搬送部２Ａ、２Ｂ上を移動される。
　ベース部材４は、モジュール２０同士の連結部Ｊにおいて架台１０とモジュール２０の下面２１Ｂとの間に配置され、連結される一対のモジュール２０を位置決めして支持する。さらに、第１、第２直線搬送部２Ａ、２Ｂの終端部Ｅにも、ベース部材４が配置されている。従来、モジュール２０は架台１０に直付けされていたが、本実施形態ではモジュール２０と架台１０との間にベース部材４を介在させると共に、ベース部材４を利用して連結されるモジュール２０同士を位置決めさせる点に特徴を有する。
　［モジュール及びスライダの詳細］
　モジュール２０及びスライダ３について説明を加える。図２は、直線搬送部２（モジュール２０の連結体）及びスライダ３の分解斜視図である。各モジュール２０は、基台フレーム２１、リニアモータ固定子２２及び一対のガイドレール２３（ガイド部）を有する。スライダ３は、スライダフレーム３１、リニアモータ可動子３２及び一対のガイドブロック３３を有している。
　基台フレーム２１は、アルミニウム等の金属からなるフレームであり、上述のモジュール２０の上面２１Ａ及び下面２１Ｂを構成する平板状の部材である。上面２１Ａは、リニアモータ固定子２２及びガイドレール２３が搭載される面である。下面２１Ｂは、架台１０の上面１０Ａと所定間隔を置いて対向する面である。
　リニアモータ固定子２２は、複数の電磁石の配列体からなる。すなわちリニアモータ固定子２２は、コアと該コアに巻回されたコイルとからなる単位電磁石の複数個が、Ｘ方向に一列に配列されることによって形成されている。一対のガイドレール２３は、スライダ３の移動をガイドする部材である。各ガイドレール２３は、基台フレーム２１のＹ方向端部２１１（幅方向）において上面２１Ａに各々取り付けられ、Ｘ方向に延びる２条の軌道を形成している。複数の基台フレーム２１のＸ方向端部２１２同士を突き合わせて連結することによって、各基台フレーム２１の単位ガイドレール２３が互いに連結され、無限長に延びるガイドレール２３を形成することが可能である。
　スライダフレーム３１は、アルミニウム等の金属ブロックからなり、前記ワークの載置部となる上面を有し、基台フレーム２１に対してＸ方向端部２１２から嵌め込み可能な形状を有している。リニアモータ可動子３２は、Ｘ方向に配列された複数の永久磁石と、これら永久磁石を保持するバックヨークとを含む。リニアモータ可動子３２は、リニアモータ固定子２２に対向する位置において、スライダフレーム３１の下面に取り付けられている。前記複数の永久磁石は、リニアモータ固定子２２との対向面にＮ極とＳ極とが交互に現れるように配列されている。
　一対のガイドブロック３３は、一対のガイドレール２３にそれぞれ対向する位置において、スライダフレーム３１の下面に取り付けられている。ガイドブロック３３は、ガイドレール２３に接して転動するベアリングを備え、ガイドレール２３に係合され、ガイドレール２３に案内されてＸ方向に移動する。
　リニアモータ可動子３２は、基台フレーム２１側のリニアモータ固定子２２とリニアモータを形成する。図略のモータコントローラにより、互いに位相が異なるＵ相、Ｖ相、Ｗ相のうちの何れかの相の電流がリニアモータ固定子２２（前記電磁石のコイル）に供給される。これにより前記コイルに生じる磁束と、リニアモータ可動子３２が備える永久磁石の磁束との相互作用により磁気的な推進力が生成され、この推進力によりスライダ３が移動する。
　また、一対のガイドブロック３３は、一対のガイドレール２３とリニアガイドを構成している。前記推進力を受けたスライダ３は、ガイドレール２３に沿ってＸ方向へ直進する。なお、図示は省いているが、基台フレーム２１の上面２１Ａには磁気センサが配置され、スライダ３の下面には磁気スケールが取り付けられている。これら磁気センサ及び磁気スケールは、スライダ３の位置を検出するリニアスケールを形成する。当該リニアスケールによるスライダ３の位置検出結果に基づき、前記電磁石のコイルへの通電が制御されることで、スライダ３が目標位置へ移動されるものである。
　［ベース部材について］
　図３は、ベース部材４の単体の斜視図である。ベース部材４は、アルミニウム等の剛性に優れる金属ブロックで形成され、平板状の底板４１と、底板４１のＹ方向両端付近にそれぞれ立設され、Ｘ方向に延びる一対の凸条４２とを備えている。底板４１の底面４１１は、架台１０の上面１０Ａに当接する。一対の凸条４２間は収容スペース４１２であり、モジュール２０のためのコネクタや電源装置等を収容するスペースとして利用することができる。
　一対の凸条４２の上面は、基台フレーム２１の下面２１Ｂとの合わせ面となる支持面４３である。支持面４３は、連結される一対のモジュール２０（基台フレーム２１）のＸ方向端部２１２を、下方から支持する。この支持面４３には、４個の半球突起５（位置決め部材）が突設されている。半球突起５は、一対のモジュール２０の位置決めを図るための部材である。基台フレーム２１には、この半球突起５が嵌り込む受け孔２４が穿孔されている。本実施形態では、加工の容易性から、受け孔２４が貫通孔である例を示すが、受け孔２４は少なくとも基台フレーム２１の下面２１Ｂに凹設されていれば良い。なお、半球突起５に代えて、各種形状の突起を位置決め部材として用いるようにしても良い。
　図４Ａは、モジュール２０同士の連結部ＪのＹ方向断面図、図４Ｂは、図４Ａの要部拡大断面図である。図５Ａは、前記連結部ＪのＸ方向断面図、図５Ｂは、図５Ａの要部拡大断面図である。本実施形態では、図３に示した半球突起５が、鋼球からなるボール５０によって形成されている例を示す。支持面４３には、基台フレーム２１の受け孔２４に対向して凹設された保持孔４４が備えられている。ボール５０は、保持孔４４に少なくとも上半分が突出するように収容されている。つまり半球突起５は、保持孔４４に収容されたボール５０の上半分によって形成されている。ボール５０は、下面２１Ｂと支持面４３とが当接する状態において、受け孔２４（モジュールの一部）と線接触する。
　図４Ａに示すように、ボール５０は、モジュール２０の幅方向（Ｙ方向）に２個（複数）配置されている。すなわち、受け孔２４は、基台フレーム２１の＋Ｙ及び－Ｙの双方のＹ方向端部２１１にそれぞれ穿孔されている。保持孔４４も、Ｙ方向で一対の受け孔２４に対応する位置において、一対の凸条４２（支持面４３）に凹設されている。ボール５０は、これら＋Ｙ、－Ｙの受け孔２４及び保持孔４４のペアにそれぞれ嵌り込んでいる。つまり、Ｙ方向において、２個のボール５０によって一つのモジュール２０を位置決めしている。これにより、Ｙ方向の位置決めが安定する。
　また、図５Ａに示すように、ボール５０は、スライダ３の移動方向（Ｘ方向）にも２個（複数）配置されている。すなわち、保持孔４４は、凸条４２のＸ方向中心からみて、－Ｘ側と＋Ｘ側とに各々凹設されている。連結される一対のモジュール２０の、各基台フレーム２１の受け孔２４が、２個のボール５０の各々に嵌り込み、位置決めされている。
　Ｘ方向の位置決めについて詳述する。連結される一対のモジュールのうち、－Ｘ側を第１モジュール２０Ａ、＋Ｘ側を第２モジュール２０Ｂとする。連結に際しては、第１モジュール２０Ａの＋Ｘ側端部２１２Ａの端面と、第２モジュール２０Ｂの－Ｘ側端部２１２Ｂの端面とが互いに突き合わされる。これら第１、第２モジュール２０Ａ、２０Ｂの連結部Ｊにおいて、ベース部材４は、支持面４３が第１、第２モジュール２０Ａ、２０Ｂの第１、第２基台フレーム２１０Ａ、２１０Ｂの下面に跨るように配置されている。図５Ａでは、両モジュール２０Ａ、２０Ｂの端面が、凸条４２のＸ方向中心で突き合っている例を示している。
　第１基台フレーム２１０Ａは、＋Ｘ側端部２１２Ａに第１受け孔２４Ａを、第２基台フレーム２１０Ｂは－Ｘ側端部２１２Ｂに第２受け孔２４Ｂをそれぞれ有している。第１受け孔２４Ａには、ベース部材４の－Ｘ側の保持孔４４で保持されたボール５０Ａが嵌り込み、第２受け孔２４Ｂには、＋Ｘ側の保持孔４４で保持されたボール５０Ｂが嵌り込んでいる。なお、Ｘ方向に３個又はそれ以上のボール５０及び受け孔２４を配置しても良い。このように、第１モジュール２０Ａは、自身の第１受け孔２４Ａとボール５０Ａとの嵌め合いによりベース部材４に位置決めされ、第２モジュール２０Ｂは、自身の第２受け孔２４Ｂとボール５０Ｂとの嵌め合いによりベース部材４に位置決めされる。そして、これらの位置決めの結果として、第１、第２モジュール２０Ａ、２０Ｂの連結部Ｊが形成される。従って、支持面４３の平面度並びに複数のボール５０の位置関係をベース部材４において精度良く管理することで、第１、第２モジュール２０Ａ、２０Ｂを高精度に連結することができる。
　受け孔２４及び保持孔４４は、切削加工により形成することができる。この場合、図４Ａに示すように、ベース部材４の上に基台フレーム２１を載置した状態で、＋Ｚ側から切削刃を当てるようにして、受け孔２４及び保持孔４４を一度の加工動作で穿孔することが望ましい。また、－Ｙ側の受け孔２４及び保持孔４４のペアの孔芯と、＋Ｙ側の受け孔２４及び保持孔４４のペアの孔芯との間の距離ｄが、高精度（誤差が１０μｍ程度以下）に確保されるように前記加工が施されることが望ましい。Ｘ方向の受け孔２４及び保持孔４４のペア間距離についても同様である。
　また、ガイドレール２３の位置決めも、保持孔４４の位置、つまりボール５０の位置を基準にすることが望ましい。図４Ｂに示すように、ガイドレール２３は、基台フレーム２１のＹ方向端部２１１の上面２１Ａに取り付けられる。上面２１Ａには、ガイドレール２３の下側辺が突き当たる当たり面２３３が、段差加工によって形成されている。ガイドレール２３は、当たり面２３３に当接することで位置決めされ、固定ネジ２３１と、上面２１Ａに凹設されたネジ孔２３２とによって基台フレーム２１に固着される。この当たり面２３３の段差加工を、受け孔２４及び保持孔４４の穿孔加工に続く一連の加工によって形成すれば、当たり面２３３の位置をボール５０に対して高精度に設定できる。従って、ガイドレール２３のボール５０に対する位置決めが高精度に行える。
　上記のような加工を行うことで、高精度に一対のモジュール２０が位置決めされた連結部Ｊを構築できる。すなわち、ガイドレール２３の位置がベース部材４のボール５０の位置によって決まることになる。このため、複数のボール５０の位置関係が高精度であれば、連結される一対のモジュール２０の受け孔２４を、各々の受け孔２４に対応して用意されているベース部材４のボール５０にそれぞれ嵌め込むだけで、高精度なガイドレール２３の連結を達成することができる。
　［受け孔及び保持孔の詳細］
　図５Ｂ、図６及び図７を主に参照して、受け孔２４及び保持孔４４について詳述する。図６は、ボール５０と保持孔４４との関係を説明するための断面図、図７は、受け孔２４を示す断面図である。本実施形態では、ボール５０の半径ａよりも僅かに短い深さｂを有する保持孔４４と、ブッシュ２５（筒状部材）が密嵌合された受け孔２４とを例示している。
　ボール５０としては、概ね直径が３ｍｍ～１５ｍｍ程度の、例えばマルテンサイト系ステンレス球やカーボン球などの鋼球を用いることができる。ボール５０の真球度は高いことが望ましく、２８等級程度（公差±０．５μｍ）のものを用いることが望ましい
　保持孔４４は、水平断面が円形であって、支持面４３に開口する有底の孔である。すなわち、保持孔４４は、支持面４３において開口部を区画する円形の開口縁４４１と、この開口縁４４１から鉛直下方に延びる円筒壁面４４２と、円筒壁面４４２の底を区画する底面４４３とを備えている。開口縁４４１は、面取り構造を実質的に具備しない縁部（Ｃ０．０２以下程度）である。円筒壁面４４２は、ボール５０を収容するキャビティを区画する壁面である。底面４４３は、センタリング用凹部などの加工が施されていないフラットな面である。
　図６に示すように、保持孔４４の開口縁４４１から底面４４３までの深さｂが、ボール５０の半径ａよりも僅かに短く設定されている。例えば、ｂ＝ａ－０．０３ｍｍ程度に設定することが望ましい。これにより、ボール５０の最大外接円の部分を孔外に露出させている。底面４４３はフラットな面であるので、ボール５０を保持孔４４へ収容してボール下部５１を底面４４３に当接させるだけで、前記最大外接円の箇所を保持孔４４の開口縁４４１よりも僅かに突出させることができる。この最大外接円の箇所が、ボール５０において受け孔２４と線接触する接触部５２とされる。
　また、保持孔４４の直径ｃはボール５０の直径（２ａ）よりも僅かに大きく設定されている。例えば、ｃ＝２ａ＋０．０１ｍｍ程度に設定することが望ましい。ボール５０が、保持孔４４内で遊ぶことは好ましくない一方、ボール５０を底面４４３に確実に当接させて前記最大外接円の箇所を孔外に突出させる必要がある。上記のように保持孔４４の直径ｃを設定することで、ボール５０の遊動抑止と保持孔４４への挿通性との双方の要請に応えることができる。さらに、上述の通り開口縁４４１に対して実質的に面取り加工を施さないようにすることで、保持孔４４の直径ｃにバラツキが生じないようにすることができる。
　ボール５０は、保持孔４４へ転動可能に収容した状態のままとしても良いが、接着剤等を用いて固定することが望ましい。例えば、予め保持孔４４に接着剤をポッティングしておき、その後にボール５０を保持孔４４へ嵌め込み前記接着剤を硬化させることによって、ボール５０を固着状態とすることができる。これにより、ボール５０の保持孔４４からの脱落を防止することができる。
　ブッシュ２５は、基台フレーム２１（アルミニウム）よりも硬度が高い部材によって形成された筒状部材である。すなわち、ブッシュ２５は、ボール５０と接触しても変形しない強度を有している。例えば、硬度がＨＲＣ５５クラス以上の高硬度鋼からなるブッシュ２５を用いることが望ましい。
　受け孔２４は、水平断面が円形の孔であって、孔本体２４１と、この孔本体２４の下端に連設された大径部２４２とからなる。大径部２４２は、孔本体２４１の直径よりも１．４倍程度大きい直径を有している。ブッシュ２５は、筒部２５１と、この筒部２５１の下端に連設されたフランジ部２５２とを有している。筒部２５１の外周面は、孔本体２４１の内周面と密接に接合されている。フランジ部２５２は大径部２４２に収容されている。本実施形態では、受け孔２４の事実上の開口縁は、ブッシュ２５の開口縁２５５である。図７に示すように、筒部２５１の上端縁２５３は、基台フレーム２１の上面２１Ａよりもやや低い位置にある。一方、フランジ部２５２の下端面は、基台フレーム２１の下面２１Ｂと面一である。フランジ部２５２の外周縁２５４と大径部２４２の内周面との間には、隙間が存在している。
　基台フレーム２１の下面２１Ｂとベース部材４の支持面４３とが当接し、且つボール５０が受け孔２４に嵌め込まれた状態において、ブッシュ２５の下端に位置する開口縁２５５が、ボール５０によって形成されている半球突起の基部と線接触する部分となる。厳密には、支持面４３よりも僅かに上方へ突出したボール５０最大外接円の箇所である接触部５２と、筒部２５１の開口縁２５５よりも僅かに上方の箇所とが線接触することになる。開口縁２５５に面取り加工を施すと、加工の誤差により受け孔２４（ブッシュ２５）の孔径に、開口縁２５５の位置においてバラツキが生じ得る。この場合、良好な前記線接触が形成できず、基台フレーム２１にガタツキが生じることがある。従って、ブッシュ２５の開口縁２５５は、面取り構造を実質的に具備しない縁部（Ｃ０．０２以下程度）とされている。
　［半球突起及び受け孔の変形例］
　図８Ａ及び図８Ｂは、ベース部材４の支持面４３に突設される半球突起５の変形例を示す断面図である。上記実施形態では、半球突起５がボール５０によって形成される例を示した。これに対し、図８Ａに示す半球突起５Ａは、砲弾型のピンによって形成されている。半球突起５Ａは、上半分が半球部５０１、下半分が円筒部５０２からなるピンである。ベース部材４の保持孔４４には円筒部５０２が収容され、半球部５０１が支持面４３から突出している。図８Ｂに示す半球突起５Ｂは、ベース部材４と一体の半球凸部５０３が支持面４３に突設されてなる。
　このように、半球突起５の形成態様には制限はなく、図８Ａ及び図８Ｂに示す如き半球突起５Ａ、５Ｂも採用できる。しかし、製造コスト面からは半球突起５は、保持孔４４に上半分が突出するように収容されたボール５０によって形成されていることが望ましい。昨今、真球度が極めて高いボール、上掲の２８等級程度のボールは容易且つ低コストで市場から入手することができる。一方、図８Ａの半球突起５Ａのように円筒ピンの一端に半球部を加工したり、図８Ｂの半球突起５Ｂを切削加工で形成したりすることは、コストアップを招来する。これに対し、ボール５０を用いた半球突起５とすることで、高精度さを具備しつつ低コスト化を図ることができる。
　図９Ａ及び図９Ｂは、受け孔２４の変形例を示す断面図である。図９Ａでは、ブッシュ２５が嵌め込まれていない受け孔２４Ａを例示している。ボール５０及び保持孔４４は、図４Ａ～図６に示した例と同じである。受け孔２４Ａは、基台フレーム２１を上下方向に貫通する円柱型の孔である。受け孔２４Ａの下端の開口縁が、ボール５０の最大外接円の箇所と線接触する。基台フレーム２１が十分な硬度を備えている場合、このような受け孔２４Ａを採用することができる。
　図９Ａでは、テーパ形状を有する受け孔２４Ｂを例示している。受け孔２４Ｂは、下面２１Ｂ側が大径の開口２４１Ｂ、上面２１Ａ側が小径の開口２４２Ｂであって、下面２１Ｂ側から上面２１Ａ側に向けて直径が漸減するテーパ孔である。大径の開口２４１Ｂの直径は、保持孔４４の直径及びボール５０の直径よりも大きく、小径の開口２４２Ｂの直径は、ボール５０の直径よりも小さい。この受け孔２４Ｂでは、径の開口２４１Ｂのやや上方に位置する内周面が、ボール５０の外周面（最大外接円の箇所ではない）と線接触することになる。上記の受け孔２４Ｂにおいて、小径の開口２４２Ｂを設けず、円錐台状の有底孔としても良い。
　［作用効果］
　本実施形態のリニアコンベア装置１によれば、架台１０の上へ直線搬送部２のモジュール２０が直接敷設されるのではなく、モジュール２０同士の連結部Ｊがベース部材４で下から支持される態様で敷設される。ベース部材４の介在により、連結されるモジュール２０相互の位置合わせをベース部材４に依存させることができる。すなわち、モジュール２０同士若しくはガイドレール２３同士を直接連結するのではなく、連結されるモジュール２０をそれぞれベース部材４に位置決めして取り付けることをもって、一対のモジュール２０の連結を結果的に達成することができる。このため、ベース部材４の加工精度、つまり位置決め部材（上記実施形態では半球突起５；ボール５０）の位置精度さえ高くすれば、自ずとモジュール２０同士の連結精度を向上させることができる。従って、連結されるモジュール２０の位置合わせの管理が容易となる。また、ベース部材４が介在されるので、架台１０の上面１０Ａの状態に影響を受けずにモジュール２０同士を連結することができる。従って、モジュール２０同士を簡単且つ高精度に連結することができる。
　上記実施形態において、前記位置決め部材は半球突起５からなり、モジュール２０（基台フレーム２１）の下面２１Ｂとベース部材４の支持面４３とが当接する状態において、基台フレーム２１の一部と半球突起５とは線接触する。より具体的には、ボール５０の最大外接円の箇所である接触部５２（基部）が、基台フレーム２１の受け孔２４（ブッシュ２５）の開口縁２５５と線接触する。このように、ボール５０と受け孔２４とは線接触するだけであるので、最小限の接触によってモジュール２０が位置決めされる。かかる位置決め形態は、基台フレーム２１をベース部材４へ組み付ける際のコジリ（Ｊａｍ；受け孔２４と、この受け孔２４に挿入される部材とが干渉して組み付け不良が発生すること）を抑制できる利点がある。
　この点を、図１０及び図１１に基づいて説明する。図１０は、本実施形態における、基台フレーム２１のベース部材４への嵌め込み状態を示す模式的な断面図、図１１は、これに対する比較例を示す模式的な断面図である。本実施形態のように、位置決め部材がボール５０（半球突起５）であると、図１０に示すように基台フレーム２１が傾き気味（コジリ気味）にベース部材４の支持面４３へ接面しようとする場合でも、ボール５０が受け孔２４を誘い込むのでコジリが発生しない。つまり、受け孔２４（ブッシュ２５）の開口縁２５５の一部がボール５０の球周面に案内され、下面２１Ｂが支持面４３へ接面するときには、ボール５０の周面（接触部５２）と開口縁２５５とが線接触する状態となる。
　また、基台フレーム２１の長手方向（Ｘ方向）及び幅方向（Ｙ方向）の双方の位置決めにおいて２個のボール５０を使用することで、ボール５０（保持孔４４）の設置位置の加工公差を吸収することができる。例えば、２個のボール５０の設置ピッチ誤差が１０μｍ存在し、これら２個のボール５０に嵌り込む受け孔２４を有する基台フレーム２１が当該２個のボール５０に嵌め込まれるとする。この場合、ボール５０によって基台フレーム２１はセンタリングされ、基台フレーム２１の設置誤差は、１０μｍの半分の５μｍに抑制することができる。
　図１１の比較例は、位置決め部材としてノックピン５０Ｐが用いられている例を示している。ノックピン５０Ｐは、上端がテーパ加工された円柱ピンであり、その円柱胴部が保持孔４４より上方に突出するように設置されている。基台フレーム２１とベース部材４とが重なり合った状態では、前記円柱胴部の外周面と受け孔２４の内周面とが面接触することになる。この場合、ノックピン５０Ｐと受け孔２４との間でコジリＫが発生し易い。とりわけ、基台フレーム２１が傾き気味にベース部材４の支持面４３へ接面しようとすると、受け孔２４の開口縁２５５が前記円柱胴部に突き当たるコジリＫが発生する。
　コジリＫの防止には、基台フレーム２１を傾きなくベース部材４へ据え付ける必要があるが、そのような作業は困難である。また、ノックピン５０Ｐの設置位置に誤差があると、基台フレーム２１の傾きがなくともコジリＫが発生し得る。このため、ノックピン５０Ｐと受け孔２４との嵌め合わせには遊びが必要となり、高精度な連結部Ｊを構築することは難しい。ノックピン５０Ｐと受け孔２４とを密に嵌合させようとすると、コジリＫのような摩擦力によって受け孔２４を変形させてしまうことが生じる。受け孔２４に変形が生じると、当然のことながら、モジュール２０の連結精度は低下する。
　これに対し、本実施形態によれば、基台フレーム２１の下面２１Ｂとベース部材４の支持面４３とが接面される際に、コジリ気味の接面や、ボール５０の位置精度の悪さに起因して摩擦力が発生した場合でも、ボール５０の上半球が受け孔２４を誘い込むので、受け孔２４に変形が生じ難い。とりわけ、上記実施形態では、高硬度のブッシュ２５が嵌め込まれてなる受け孔２４としているので、より変形が生じ難い。このため、連結精度は低下し難く、モジュール２０の連結精度は良好となる。
　また、受け孔２４の開口縁２５５は、面取り構造を実質的に具備しない縁部とされている。開口縁２５５に面取り加工を施すと、受け孔２４の孔径にバラツキが生じ得る。一方、開口縁２５５に面取りを施さずとも、ボール５０が受け孔２４を誘い込むので、両者の嵌め合わせはスムースに行い得る。図１１の比較例では、開口縁２５５に面取り加工を施すことが殆ど必須となるが、本実施形態によれば当該面取り加工はむしろ不要である。
　［他のリニアコンベア装置の例示］
　続いて、より実製品に近いリニアコンベア装置を例示する。図１２は、他の実施形態によれば係るリニアコンベア装置１Ａの実施形態を示す斜視図、図１３は、その側面図、図１４は、連結部ＪにおけるＹ方向断面図である。リニアコンベア装置１Ａの直線搬送部２は、カバー部材６付きモジュール２００の連結体によって構成されている。スライダ３００は、カバー部材６に嵌合される態様で、直線搬送部２に移動自在に取り付けられている。モジュール２００は、その連結部Ｊ及び直線搬送部２の終端部Ｅにおいてベース部材４００によって支持されている。ベース部材４００は、架台１０とモジュール２００の下面２１Ｂとの間に配置され、各モジュール２００を位置決めして支持している。
　リニアコンベア装置１Ａは、図１４に示す通り、リニアモータＬ１、リニアガイドＬ２及びリニアスケールＬ３を有している。リニアモータＬ１は、リニアモータ固定子２２とリニアモータ可動子３２とにより構成されている。リニアガイドＬ２は、一対のガイドレール２３と一対のガイドブロック３３とにより構成されている。リニアスケールＬ３は、磁気センサユニット２６と磁気スケール３４とにより構成されている。
　モジュール２００は基台フレーム２１を備え、その上面２１Ａにリニアモータ固定子２２、一対のガイドレール２３及び磁気センサユニット２６が搭載されている。一対のガイドレール２３は、互いに平行にＸ方向に延び、基台フレーム２１の－Ｙ端部付近と＋Ｙ端部付近とに配置されている。一対のガイドレール２３間に、リニアモータ固定子２２（－Ｙ側）及び磁気センサユニット２６（＋Ｙ側）が配置されている。リニアモータ固定子２２は、複数の電磁石がＸ方向に配列されてなる。磁気センサユニット２６も、複数個がＸ方向に配列されている。
　カバー部材６は、基台フレーム２１の上面２１Ａを覆うように当該上面２１Ａに取り付けられている。カバー部材６は、支持脚６１、水平カバー部６２及び一対の側面カバー部６３を備え、Ｙ方向断面形状が略Ｔ型の部材である。支持脚６１は、基台フレーム２１のＹ方向中央領域に立設されている。水平カバー部６２は、支持脚６１の上端から－Ｙ側及び＋Ｙ側に水平に延びている。一対の側面カバー部６３は、水平カバー部６２の－Ｙ側及び＋Ｙ側の端部から各々下方に延びている。水平カバー部６２は、基台フレーム２１の上面２１Ａに取り付けられたリニアモータ固定子２２、一対のガイドレール２３及び磁気センサユニット２６の上方を覆い、側面カバー部６３は、これらの側方を覆っている。カバー部材６により、上面２１Ａへの汚染物や異物の進入を防止することができる。
　スライダ３００は、ワークを積載する水平板からなる上板３０１と、上板３０１の－Ｙ側及び＋Ｙ側の端部から各々下方に延びる一対の側板３０２と、一対の側板３０２の下端から各々幅方向中央に向けて延びる一対の下板３０３とを有するスライダフレーム３１を備える。これら上板３０１、側板３０２及び下板３０３は、カバー部材６に嵌合される嵌合部３０を形成している。嵌合部３０は、カバー部材６を受け入れるキャビティを区画している。
　一対の下板３０３の下面には、それぞれガイドブロック３３が取り付けられている。－Ｙ側の下板３０３の内側端面にはリニアモータ可動子３２が、＋Ｙ側の下板３０３の内側端面には磁気スケール３４が、それぞれ取り付けられている。リニアモータ可動子３２は、Ｘ方向に配列された複数の永久磁石及びこれらを保持するバックヨークを含む。磁気スケール３４は、磁気センサユニット２６との対向面に、Ｎ極とＳ極とが交互に現れるように配列された永久磁石を含む。
　ガイドブロック３３は、ガイドレール２３に係合され、ガイドレール２３に案内されてＸ方向に移動する。ガイドブロック３３とガイドレール２３とが係合された状態において、嵌合部３０の内周面とカバー部材６の外周面とは、所定幅の隙間を置いて対向する。また、リニアモータ可動子３２はリニアモータ固定子２２と対向し、磁気スケール３４も磁気センサユニット２６と対向する。
　図１５は、モジュール２００の組立例を示す斜視図であり、ベース部材４００の上面部分の一部が示されている。ベース部材４００は、図３に示したベース部材４と同様に、底板４１、凸条４２及び支持面４３を備えており、支持面４３には半球突起としてのボール５０が配置されている。底板４１の底面４１１は、架台１０の上面１０Ａに接面し、支持面４３はモジュール２００同士の連結部Ｊにおいて基台フレーム２１の下面２１Ｂを支持している。ボール５０に基台フレーム２１の受け孔２４が嵌り込むように、モジュール２００がベース部材４００に取り付けられることによって、連結される一対のモジュール２００同士の位置決めが図られる点は、先に説明した実施形態と同様である。
　ベース部材４００は、支持面４３に上下方向に穿孔されたネジ孔からなる第１固定部４０１と、底板４１の－Ｙ側及び＋Ｙ側の端部に上下方向に穿孔された貫通孔からなる第２固定部４０２とを備える。第１固定部４０１は、各モジュール２００をベース部材４００に対して着脱自在に固定するためのネジ孔である。第１固定部４０１の上に、基台フレーム２１に備えられた取り付け孔２１３が重畳され、固定ネジ４０３が第１固定部４０１に螺合及びその解除が行われることによって、モジュール２００がベース部材４００に着脱される。
　一方、第２固定部４０２は、架台１０に対してベース部材４００を着脱自在に固定するための孔である。第２固定部４０２は、上面１０Ａに穿孔された図略のボルト孔に位置合わせされ、図略のボルトによって架台１０に締結される。このように、モジュール２００のベース部材４００に対する着脱、ベース部材４００の架台１０に対する着脱が自在とされており、ユーザにモジュール２００の増設、割り入れ、交換等を容易に行わせることが可能とされている。
　図１５では、第１モジュール２００Ａと第２モジュール２００Ｂとの間に、短尺の第３モジュール２００Ｃが割り入れられるケースを例示している。第１、第２モジュール２００Ａ、２００Ｂの連結部が第１ベース部材４００で支持されていたとすると、新たに第２ベース部材４００Ａが追加される。この場合、第２モジュール２００Ｂを第１ベース部材４００から取り外すと共に、＋Ｘ方向へ第３モジュール２００Ｃの長さ分だけシフトさせる。第２ベース部材４００Ａは、第１ベース部材４００に対して第３モジュール２００Ｃの長さ分のピッチを置いて、第２固定部４０２において架台１０に固定される。
　第２モジュール２００Ｂは、第２ベース部材４００Ａの＋Ｘ側の支持面４３に取り付けられる。一方、第１ベース部材４００の＋Ｘ側の支持面４３と、第２ベース部材４００Ａの－Ｘ側の支持面４３が、第３モジュール２００Ｃの支持面となる。第３モジュール２００Ｃの基台フレーム２１が備える－Ｘ側及び＋Ｘ側の受け孔２４が、それぞれの支持面４３に担持されているボール５０に嵌り込むように、第３モジュール２００Ｃが第１、第２ベース部材４００、４００Ａ上に載置される。しかる後、固定ネジ４０３が、取り付け孔２１３を通して第１固定部４０１に螺合されることで、第３モジュール２００Ｃの割り入れ作業が完了する。
　このように、第３モジュール２００Ｃを、ボール５０を備えた第１、第２ベース部材４００、４００Ａ上に取り付けるだけで、リニアコンベアの構築に必要なあらゆる部品を高精度で連結することができる。すなわち、前記取り付けによって、第３モジュール２００Ｃが備えるリニアモータ固定子２２、ガイドレール２３及び磁気センサユニット２６からなる部品群が、第１、第２モジュール２００Ａ、２００Ｂが備える同部品群と高精度に位置合わせされた状態で連結される。従って、第３モジュール２００Ｃの割り入れを簡単な作業で済ませることができる。第１～第３モジュール２００Ａ～２００Ｃが既に連結されている場合において第３モジュール２００Ｃを入れ替える場合や、既存の直線搬送部２の終端部Ｅに新たなモジュールを増設する場合等も、上記に準じた簡単な作業で済ませることができる。
　このほか、本発明に係るリニアコンベア装置１は、種々の変形実施形態を採ることができる。例えば、上記実施形態では、所定の設置面が架台１０の水平方向に延びる上面１０Ａであり、リニアコンベア装置１が上面１０Ａ上に設置される例を示した。これに代えて、架台１０を垂直に立設する等して、垂直方向に延びる設置面にリニアコンベア装置１を壁掛け方式で取り付けるようにしても良い。また、設置面が下方を向き、モジュール２０の上面２１Ａが下方を向くように、上記実施形態とは天地逆転してリニアコンベア装置１を設置しても良い。さらに、頂部に設置面を有する柱状設置台を所定のピッチで配列し、前記設置面にベース部材４を据え付けるようにしても良い。
　また、上記実施形態では、モジュール２０にリニアモータ固定子２２が取り付けられている例を示した。リニアモータ固定子２２は、モジュール２０以外の他の部材に敷設されていても良い。例えば、架台１０にリニアモータ固定子２２を敷設したり、或いはリニアモータ固定子２２が配列されたモータモジュールを、モジュール２０に近接して配置したりする態様としても良い。
　なお、上述した具体的実施形態には以下の構成を有する発明が主に含まれている。
　本発明の一局面に係るリニアコンベア装置は、所定の設置面上に設置されるリニアコンベア装置であって、リニアモータ固定子と、リニアモータ可動子を有するスライダと、前記スライダの移動をガイドするガイド部を有する上面と、前記設置面と対向する下面とを備えるモジュールが、直線的に複数台連結されてなる直線搬送部と、前記モジュール同士の連結部において前記設置面と前記モジュールの下面との間に配置され、前記モジュールを位置決めして支持するベース部材と、を備える。
　このリニアコンベア装置によれば、設置面の上へモジュールが直接敷設されるのではなく、モジュール同士の連結部がベース部材で支持される態様でモジュールが敷設される。このようなベース部材の介在により、連結されるモジュール相互の位置合わせをベース部材に依存させることが可能となる。すなわち、モジュール同士を直接連結するのではなく、連結されるモジュールをそれぞれベース部材に位置決めして取り付けることをもって、両者の連結を結果的に達成することが可能となるので、両者の位置合わせの管理が容易となる。また、ベース部材が介在されるので、設置面の状態に影響を受けずにモジュール同士を連結できる。従って、モジュール同士を簡単且つ高精度に連結することができる。
　上記のリニアコンベア装置において、前記ベース部材は、前記モジュールの下面との合わせ面となる支持面を備えると共に、該支持面に突設された前記モジュールの位置決め部材を備え、前記位置決め部材は、前記モジュールの下面と前記支持面とが当接する状態において前記モジュールの一部と線接触する接触部を備えることが望ましい。
　このリニアコンベア装置によれば、位置決め部材は、モジュールの一部と線接触するだけであるので、最小限の接触によってモジュールが位置決めされる。従って、モジュールの下面と支持面とが接面される際に、コジリ気味の接面や、位置決め部材の位置精度の悪さに起因して摩擦力が発生した場合でも、前記モジュールの一部に変形を生じ難くすることができる。このため、前記連結の精度が低下し難くすることができる。
　上記のリニアコンベア装置において、前記モジュールは、少なくとも前記下面を構成する基台フレームを備え、前記位置決め部材は、前記支持面に突設された半球突起であり、前記基台フレームの下面には、前記半球突起が嵌り込む受け孔が凹設され、前記受け孔の開口縁が前記半球突起の基部と線接触することが望ましい。
　このリニアコンベア装置によれば、前記半球突起が前記受け孔へ嵌り込むことによってモジュールの位置決めが図られ、且つ両者の線接触状態も簡単に構築できる。また、モジュールの下面と支持面との接面時に、前記半球突起が前記受け孔を誘い込むので、両者間に摩擦が発生し難くすることができる。つまり、前記受け孔が変形しにくくなり、前記連結の精度に影響を与えないようにすることができる。
　この場合、前記受け孔には、前記基台フレームよりも硬度が高い部材からなる筒状部材が挿入され、前記筒状部材の下端縁が前記半球突起の基部と線接触する開口縁であることが望ましい。これにより、仮にモジュールの下面と支持面との接面時に、両者間に摩擦が発生したとしても、前記受け孔部分の変形を抑止することができる。
　また、前記受け孔の開口縁は、面取り構造を実質的に具備しない縁部とすることが望ましい。前記開口縁に面取り加工を施すと、受け孔の孔径にバラツキが生じ得る。一方、前記開口縁に面取りを施さずとも、前記半球突起が前記受け孔を誘い込むので、両者の嵌め合わせはスムースに行い得る。従って、前記開口縁には面取り構造を実質的に具備させないことで、前記連結の精度を向上させることが望ましい。
　上記のリニアコンベア装置において、前記ベース部材の前記支持面には、前記受け孔に対向して凹設された保持孔が備えられ、前記半球突起は、前記保持孔に少なくとも上半分が突出するように収容されたボールによって形成されていることが望ましい。
　昨今、真球度が極めて高いボールは容易且つ低コストで入手することができる。一方、半球突起を切削加工で形成したり、円筒ピンの一端に半球部を加工したりすることは、コストアップを招来する。従って、前記保持孔にボールを収容させる態様で前記半球突起を形成することで、高精度さを具備しつつ低コスト化を図ることができる。
　この場合、前記保持孔は、フラットな底面を備えた有底の孔であり、前記保持孔の開口縁から底面までの深さが、前記ボールの半径よりも僅かに短いことが望ましい。
　このリニアコンベア装置によれば、ボールを保持孔の底面に当接させるだけで、前記ボールの最大外接円を前記保持孔の開口縁よりも僅かに突出させることができる。そして、前記最大外接円の箇所を、前記受け孔と線接触する接触部とすることができる。
　また、前記保持孔は、水平断面が円形であって、フラットな底面を備えた有底の孔であり、前記保持孔の直径は前記ボールの直径よりも僅かに大きく、前記保持孔の開口縁は、面取り構造を実質的に具備しない縁部であることが望ましい。
　このリニアコンベア装置によれば、ボールを保持孔の底面に確実に当接させることができると共に、保持孔の開口縁に面取り加工を施さないようにすることで当該保持孔の孔径にバラツキが生じないようにすることができる。従って、前記連結の精度向上に寄与することができる。
　上記のリニアコンベア装置において、前記半球突起は、前記スライダの移動方向と直交する前記モジュールの幅方向に複数配置されていることが望ましい。これにより、一つのモジュールを複数の半球突起で位置決めすることができるので、位置決めが安定する。
　上記のリニアコンベア装置において、前記直線搬送部が第１モジュールと第２モジュールとを含み、前記ベース部材が、前記第１モジュールの端部と前記第２モジュールの端部との連結部において、前記支持面がこれらモジュールの基台フレームの下面に跨るように配置され、前記半球突起は前記スライダの移動方向に沿って複数配置され、前記受け孔は、前記第１モジュールの基台フレーム下面に設けられ前記半球突起の少なくとも一つが嵌り込む第１受け孔と、前記第２モジュールの基台フレーム下面に設けられ前記半球突起の少なくとも他の一つが嵌り込む第２受け孔と、を含むことが望ましい。
　このリニアコンベア装置によれば、第１モジュールは第１受け孔と半球突起の一つとの嵌め合いによりベース部材に位置決めされ、第２モジュールは第２受け孔と半球突起の他の一つとの嵌め合いによりベース部材に位置決めされる。従って、複数の半球突起の位置関係をベース部材において精度良く管理することで、第１、第２モジュールを高精度に連結することができる。
　上記のリニアコンベア装置において、前記ガイド部は、前記基台フレームに取り付けられるガイドレールであり、前記ガイドレールは、前記半球突起の位置を基準にして、前記基台フレームに取り付けられていることが望ましい。
　このリニアコンベア装置によれば、ガイドレールの位置が半球突起の位置によって決まることになる。つまり、前記半球突起に連結されるモジュールの受け孔を嵌め込むことで、ガイドレールの位置合わせが完了し、しかも高精度なガイドレールの連結も達成することができる。
　上記のリニアコンベア装置において、前記ベース部材は、前記モジュールに対して着脱自在に固定を行う第１固定部と、前記設置面に対して着脱自在に固定を行う第２固定部とを備えることが望ましい。
　このリニアコンベア装置によれば、モジュールのベース部材に対する着脱、ベース部材の設置面に対する着脱が自在となり、設置面の状態に拘わらず、モジュールの増設、割り入れ、交換等を容易に行わせることができる。
　以上説明した本発明に係るリニアコンベア装置によれば、リニアコンベアのモジュール同士を簡単且つ高精度に連結することができるリニアコンベア装置を提供することができる。従って、ユーザサイドにおけるリニアコンベア装置の設置、メンテナンス、レイアウト変更、モジュール交換などの作業の容易化に寄与することができる。
　［符号の説明］
　１、１Ａ　リニアコンベア装置
　１０　架台
　１０Ａ　上面（設置面）
　２　直線搬送部
　２０、２００　モジュール
　２１　基台フレーム
　２１Ａ　上面
　２１Ｂ　下面
　２２　リニアモータ固定子
　２３　ガイドレール（ガイド部）
　２４　受け孔
　２５　ブッシュ（筒状部材）
　２５５　開口縁
　３、３００　スライダ
　３２　リニアモータ可動子
　４、４００　ベース部材
　４０１　第１固定部
　４０２　第２固定部
　４３　支持面
　４４　保持孔
　４４１　開口縁
　４４３　底面
　５、５Ａ、５Ｂ　半球突起（位置決め部材）
　５０　ボール
　５２、５２Ａ　接触部
　Ｊ　連結部
　Ｙ　モジュールの幅方向
　ａ　ボールの半径
　ｂ　保持孔の開口縁から底面までの深さ

Claims (12)

  1. 　所定の設置面上に設置されるリニアコンベア装置であって、
    　リニアモータ固定子と、
    　リニアモータ可動子を有するスライダと、
    　前記スライダの移動をガイドするガイド部を有する上面と、前記設置面と対向する下面とを備えるモジュールが、直線的に複数台連結されてなる直線搬送部と、
    　前記モジュール同士の連結部において前記設置面と前記モジュールの下面との間に配置され、前記モジュールを位置決めして支持するベース部材と、
    を備えるリニアコンベア装置。
  2. 　請求項１に記載のリニアコンベア装置において、
    　前記ベース部材は、前記モジュールの下面との合わせ面となる支持面を備えると共に、該支持面に突設された前記モジュールの位置決め部材を備え、
    　前記位置決め部材は、前記モジュールの下面と前記支持面とが当接する状態において前記モジュールの一部と線接触する接触部を備える、リニアコンベア装置。
  3. 　請求項２に記載のリニアコンベア装置において、
    　前記モジュールは、少なくとも前記下面を構成する基台フレームを備え、
    　前記位置決め部材は、前記支持面に突設された半球突起であり、
    　前記基台フレームの下面には、前記半球突起が嵌り込む受け孔が凹設され、
    　前記受け孔の開口縁が前記半球突起の基部と線接触する、リニアコンベア装置。
  4. 　請求項３に記載のリニアコンベア装置において、
    　前記受け孔には、前記基台フレームよりも硬度が高い部材からなる筒状部材が挿入され、前記筒状部材の下端縁が前記半球突起の基部と線接触する開口縁である、リニアコンベア装置。
  5. 　請求項３に記載のリニアコンベア装置において、
    　前記受け孔の開口縁は、面取り構造を実質的に具備しない縁部である、リニアコンベア装置。
  6. 　請求項３～５のいずれか１項に記載のリニアコンベア装置において、
    　前記ベース部材の前記支持面には、前記受け孔に対向して凹設された保持孔が備えられ、
    　前記半球突起は、前記保持孔に少なくとも上半分が突出するように収容されたボールによって形成されている、リニアコンベア装置。
  7. 　請求項６に記載のリニアコンベア装置において、
    　前記保持孔は、フラットな底面を備えた有底の孔であり、
    　前記保持孔の開口縁から底面までの深さが、前記ボールの半径よりも僅かに短い、リニアコンベア装置。
  8. 　請求項６に記載のリニアコンベア装置において、
    　前記保持孔は、水平断面が円形であって、フラットな底面を備えた有底の孔であり、
    　前記保持孔の直径は前記ボールの直径よりも僅かに大きく、
    　前記保持孔の開口縁は、面取り構造を実質的に具備しない縁部である、リニアコンベア装置。
  9. 　請求項３～８のいずれか１項に記載のリニアコンベア装置において、
    　前記半球突起は、前記スライダの移動方向と直交する前記モジュールの幅方向に複数配置されている、リニアコンベア装置。
  10. 　請求項３～９のいずれか１項に記載のリニアコンベア装置において、
    　前記直線搬送部が第１モジュールと第２モジュールとを含み、
    　前記ベース部材が、前記第１モジュールの端部と前記第２モジュールの端部との連結部において、前記支持面がこれらモジュールの基台フレームの下面に跨るように配置され、
    　前記半球突起は前記スライダの移動方向に沿って複数配置され、
    　前記受け孔は、前記第１モジュールの基台フレームの下面に設けられ前記半球突起の少なくとも一つが嵌り込む第１受け孔と、前記第２モジュールの基台フレームの下面に設けられ前記半球突起の少なくとも他の一つが嵌り込む第２受け孔とを含む、リニアコンベア装置。
  11. 　請求項３～１０のいずれか１項に記載のリニアコンベア装置において、
    　前記ガイド部は、前記基台フレームに取り付けられるガイドレールであり、
    　前記ガイドレールは、前記半球突起の位置を基準にして、前記基台フレームに取り付けられている、リニアコンベア装置。
  12. 　請求項１～１１のいずれか１項に記載のリニアコンベア装置において、
    　前記ベース部材は、前記モジュールに対して着脱自在に固定を行う第１固定部と、前記設置面に対して着脱自在に固定を行う第２固定部とを備える、リニアコンベア装置。
     
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