WO2017208550A1 - パワーデバイス用冷却器の製造方法 - Google Patents

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悦郎 久保田
智将 平山
裕 平野
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日本軽金属株式会社
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Definitions

  • the present invention relates to a method of manufacturing a cooler for a power device that cools heat generated from a power device used in a power converter such as an inverter or a converter.
  • power devices used for inverter control of electric vehicles, hybrid vehicles, air conditioners, etc., and inverter control of various general-purpose motors, etc. handle a large amount of power, and thus generate heat. Therefore, it is necessary to cool the power device by discharging the generated heat.
  • the heat receiving surface of the cooler joined to the heat generating body (power module) incorporating the power device is formed on the surface in order to reduce the thermal resistance with the heat generating element (power module). It is necessary to ensure surface roughness. Further, for example, in order to integrally form by soldering, the surface needs to be in a stable state suitable for joining with a heating element (power module).
  • the present invention has been made in view of the above circumstances, and it is possible to reduce the cost, to make it suitable for joining with a heating element incorporating a power device, and to improve productivity. It is an object to provide a method for manufacturing a cooler.
  • the present invention is arranged between the first and second cases made of aluminum which are joined together to form a refrigerant circulation space inside, and the refrigerant circulation space, and between the adjacent portions, respectively. It is based on a manufacturing method of a cooler for a power device that includes a plurality of aluminum fins that form a refrigerant flow path and is bonded to a heating element in which the power device is incorporated to cool heat generated from the power device.
  • the first and second cases and the fins are brazed with a non-corrosive flux and a brazing material, and the first and second cases after the brazing.
  • the reason why the center particle size of the abrasive is 4 to 250 ⁇ m is that the region having a center particle size of 4 ⁇ m or more is an excellent region for removing flux residue, and if it is 250 ⁇ m or less, the surface roughness is 15 ⁇ m or less. This is because this is a region where the bonding is good.
  • the first and second cases and the fins are brazed via the non-corrosive flux and the brazing material, the first and second cases are joined to the heating elements in the first and second cases by the wet blast method.
  • the flux residue adhering to the heat receiving surface is removed, the state of the heat receiving surface is stabilized, and the surface roughness can be ensured.
  • the first and second cases and the fins are brazed with a non-corrosive flux and a brazing material, and the first and second cases after the brazing.
  • the invention described in claim 3 further includes a plating step of applying Ni plating to the heat receiving surface from which the flux residue has been removed, in the method for manufacturing a power device cooler according to claim 1.
  • the power device cooler manufacturing method according to the second aspect, wherein the first and second cases from which the flux residue is removed are plated with Ni.
  • the method further includes a step.
  • the joining with the heating element can be made suitable, and the first and second cases can be made.
  • Ni plating film with a uniform thickness can be formed on the surface of the case, so that in addition to the above (2), it can be suitably joined with a heating element incorporating a power device, and the appearance can be improved. The appearance can be improved and the quality of the cooler can be improved.
  • the cooler 1 includes a first case 1 and a second case 2 made of aluminum alloy that are joined together to form a refrigerant circulation space 4.
  • a plurality of aluminum (including aluminum alloy) fins 6 that are arranged in the circulation space 4 and that respectively form refrigerant flow passages 5 between adjacent portions, and the first and second cases 1 and 2 and the fins; 6 is joined via a non-corrosive flux and a brazing material.
  • the surface of the second case 2 of the first and second cases 1 and 2 that is, the heat receiving surface 2 ⁇ / b> A joined to the power module 30 that is a heating element in which the power device 31 is incorporated, It is plated.
  • the first case 1, which is one case, is formed in a substantially rectangular box shape with an upper opening.
  • the second case 2, which is the other case, is formed in a substantially rectangular plate shape larger than the first case 1, and the first case 1 is located on the inner side of the periphery of the second case 2.
  • the peripheral groove part 2a which can engage the opening side edge part of the side wall part 1a of these 4 sides is provided (refer FIG. 2).
  • the cooler main body 3 having the refrigerant circulation space 4 is configured by the attachment.
  • the fin 6 is formed of a plate member, and the refrigerant circulation space is in a state where the straight portions at both ends are positioned in the short direction of the refrigerant circulation space 4, leaving the refrigerant inflow region 8 and the refrigerant outflow region 9. 4 are arranged at equal intervals in the longitudinal direction.
  • a refrigerant flow passage 5 is formed between the fins 6.
  • the fin 6 does not necessarily need to be a straight thing as a whole. What has a circular-arc-shaped continuous waveform part etc. may be sufficient.
  • the refrigerant inflow region 8 is provided with a refrigerant inflow port 8a, and the refrigerant outflow region 9 is provided with a refrigerant outflow port 9a.
  • the refrigerant inlet 8a is provided in the first case 1 via the bracket 10a, and the refrigerant outlet 9a is provided via the bracket 10b.
  • the first and second cases 1 and 2 are brazeable alloys, for example, a 6063 alloy, specifically, Si: 0.6%, Fe: 0.35%, Cu: 0.0. 1%, Mn: 0.1%, Mg: 0.9%, Cr: 0.1%, Zn: 0.1%, Ti: 0.01%, with the balance being Al and inevitable impurities It is formed with the aluminum alloy which has.
  • the material of the first and second cases 1 and 2 is not necessarily 6063 alloy, and may be other brazing aluminum alloy. Further, a brazing sheet using the alloy as a core material may be used.
  • the fin 6 is made of 6063 alloy made of the same material as the first and second cases 1 and 2.
  • the fins 6 may be formed of a brazing sheet in which a brazing material having a core of 6063 alloy is clad.
  • a fluoride-based flux such as KAlF 4 + K 3 AlF 6 is used, and when the first and second cases 1 and 2 are brazed to the fins 6, the first and second cases 1 and 2 are used. 2 is applied to the surface.
  • the flux has an action of reacting with the brazing and promoting the fillet formation of the brazing, so that the brazing is good.
  • a mixture of abrasive and liquid made of polygonal alumina particles having a center particle diameter of 4 to 250 ⁇ m is compressed with compressed air.
  • a mixture of abrasive and liquid is similarly applied.
  • the flux residue adhering to the surface of the 1st and 2nd cases 1 and 2 is removed by removing by the wet-blasting method to project.
  • the reason why the center particle size of the abrasive is 4 to 250 ⁇ m is that, as shown in FIG. 8, when the center particle size is 4 ⁇ m or more, the flux residue removal is good, and when it is 250 ⁇ m or less, the surface roughness This is because the thickness is 15 ⁇ m or less, and the bonding with the power module 30 is a good region.
  • the wet blasting apparatus includes a projection gun 20 provided with a wide nozzle 21 at the bottom, a slurry tank 23 containing a mixture of abrasive and liquid (water) connected to the projection gun 20 via a supply pipe 22a, and a supply pipe 22b. And a compressor 24 which is a compressed air supply source connected to the projection gun 20 via the. 6 shows a state in which the mixture of the abrasive and the liquid is projected onto the surface of the second case 2, that is, the heat receiving surface 2A, the abrasive and the liquid are projected onto the surfaces of the first and second cases 1 and 2.
  • the removal of the flux residue is performed by processing the surface by the abrasive and liquid (water) accelerated by the compressed air colliding with the cooler.
  • the processed abrasive is swept away by a large volume of liquid (water), so that the surface always has no abrasive residue, and the subsequent abrasives collide with it to process the surface, resulting in flux.
  • the residue is removed.
  • Ni plating is applied to the heat receiving surface 2A from which the flux residue has been removed or the surfaces of the first and second cases 1 and 2 (plating step).
  • the plating process is performed by electroless Ni plating using the reducing power of the cooler (cooler body 3) without using electricity.
  • pre-processing process and a post-processing process before and behind a plating process description is abbreviate
  • the cooler that has been subjected to the Ni plating process is joined to the power module 30 that is a heating element in which the power device 31 is incorporated.
  • the top surface (heat receiving surface 2A) of the second case 2 and the lower surface of the lower portion 30a of the power module 30 are joined by the solder 40 (see FIG. 3).
  • reference numeral “7” denotes a plating film layer.
  • the method of manufacturing a cooler of the above embodiment it is possible to stabilize the state of the heat receiving surface 2A bonded to at least the power module 30 in the first and second cases 1 and 2, and to ensure surface roughness.
  • the cost can be reduced and the productivity can be improved.
  • a Ni plating film having a uniform thickness can be formed on at least the surface of the second case 2, that is, the heat receiving surface 2 ⁇ / b> A of the first and second cases 1 and 2, the joining with the power module 30 is preferable. be able to.

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Abstract

【課題】コストの低廉化が図れると共に、パワーデバイスを組み込んだ発熱体との接合を好適にし、また、生産性の向上を図れるようにしたパワーデバイス用冷却器の製造方法を提供すること。 【解決手段】冷却器を構成するアルミニウム製の第１及び第２のケースとフィンを非腐食性フラックスとろう材を介してろう付けした後、第１及び第２のケースにおける少なくともパワーデバイスが組み込まれた発熱体に接合される受熱面に付着するフラックス残渣を、中心粒径が４～２５０μｍの多角形状のアルミナ粒子からなる研磨材と液体の混合物を圧縮空気によって投射するウェットブラスト法によって除去する。

Description

パワーデバイス用冷却器の製造方法
　この発明は、インバーターやコンバーター等の電力変換器に用いられるパワーデバイスから発せられる熱を冷却するパワーデバイス用冷却器の製造方法に関するものである。
　一般に、電気自動車、ハイブリッド自動車やエアコンなどのインバーター制御や各種汎用モータ等のインバーター制御に用いられるパワーデバイスは大電力を扱うため、発熱が増大する。そのため、発生した熱を排出してパワーデバイスを冷却する必要がある。
　従来のこの種の冷却器として、アルミニウム製の２枚のプレート部材と、両プレート部材間に介在されるアルミニウム製のフィンとをろう付け接合してなる冷却器が知られている（例えば、特許文献１参照）。
　ところで、この種の冷却器においては、パワーデバイスを組み込んだ発熱体（パワーモジュール）と接合される冷却器の受熱面は、発熱体（パワーモジュール）との熱抵抗を低減するために、表面の面粗度を確保する必要がある。また、例えば、はんだ付けによって一体的に形成するために表面を発熱体（パワーモジュール）との接合に適した安定状態にする必要がある。
　しかし、一般的なろう付け方法である、非腐食性フラックスとろう材を用いた非腐食性フラックスろう付けを行うと、表面にフラックス残渣が付着するため、表面には微細な凹凸が生じ、面粗度の確保ができない。そのために、受熱面を機械加工で削ることで、面粗度の改善を行っていた。
特開２０１１－１７１５６９号公報
　しかしながら、受熱面を機械加工で削る方法ではコストが嵩む上、大量生産に適さない等の懸念がある。
　この発明は、上記事情に鑑みてなされたもので、コストの低廉化が図れると共に、パワーデバイスを組み込んだ発熱体との接合を好適にし、また、生産性の向上を図れるようにしたパワーデバイス用冷却器の製造方法を提供することを課題とする。
　上記課題を達成するために、この発明は、互いに接合されて内部に冷媒流通空間を形成するアルミニウム製の第１及び第２のケースと、上記冷媒流通空間内に配置され、隣接部間にそれぞれ冷媒流通路を形成する複数のアルミニウム製のフィンとを具備し、パワーデバイスが組み込まれた発熱体に接合されて上記パワーデバイスから発せられる熱を冷却するパワーデバイス用冷却器の製造方法を前提とし、請求項１に記載の発明は、上記第１及び第２のケースと上記フィンを非腐食性フラックスとろう材を介してろう付けするろう付け接合工程と、上記ろう付け後に上記第１及び第２のケースの表面のフラックス残渣を除去するフラックス残渣除去工程とを含み、上記フラックス残渣除去工程は、中心粒径が４～２５０μｍの多角形状のアルミナ粒子からなる研磨材と液体の混合物を圧縮空気によって上記第１及び第２のケースにおける上記発熱体に接合される受熱面に投射するウェットブラスト法によって行う、ことを特徴とする。ここで、研磨材の中心粒径を４～２５０μｍとした理由は、中心粒径が４μｍ以上はフラックス残渣除去が良好な領域であり、２５０μｍ以下であると面粗度が１５μｍ以下となり、発熱体との接合が良好な領域であるからである。
　このように構成することにより、第１及び第２のケースとフィンを非腐食性フラックスとろう材を介してろう付けした後、上記ウェットブラスト法によって第１及び第２のケースにおける発熱体に接合される受熱面に付着したフラックス残渣を除去して、受熱面の状態を安定化させ、面粗度を確保することができる。
　また、請求項２に記載の発明は、上記第１及び第２のケースと上記フィンを非腐食性フラックスとろう材を介してろう付けするろう付け接合工程と、上記ろう付け後に上記第１及び第２のケースの表面のフラックス残渣を除去するフラックス残渣除去工程とを含み、上記フラックス残渣除去工程は、中心粒径が４～２５０μｍの多角形状のアルミナ粒子からなる研磨材と液体の混合物を圧縮空気によって上記第１及び第２のケースの表面に投射するウェットブラスト法によって行う、ことを特徴とする。
　このように構成することにより、第１及び第２のケースとフィンを非腐食性フラックスとろう材を介してろう付けした後、上記ウェットブラスト法によって第１及び第２のケースの表面のフラックス残渣を除去して、第１及び第２のケースの表面状態を安定化させ、面粗度を確保することができる。
　また、請求項３に記載の発明は、請求項１に記載のパワーデバイス用冷却器の製造方法において、上記フラックス残渣が除去された上記受熱面にＮｉメッキを施すメッキ工程を更に含む、ことを特徴とする。
　このように構成することにより、フラックス残渣が除去された受熱面にＮｉメッキを施すことで、発熱体との接合を好適にすることができる。また、受熱面に均一な厚みのＮｉメッキ皮膜を形成することができる。
　また、請求項４に記載の発明は、請求項２に記載のパワーデバイス用冷却器の製造方法において、上記フラックス残渣が除去された上記第１及び第２のケースの表面にＮｉメッキを施すメッキ工程を更に含む、ことを特徴とする。
　このように構成することにより、フラックス残渣が除去された第１及び第２のケースの表面にＮｉメッキを施すことで、発熱体との接合を好適にすることができる。また、第１及び第２のケースの表面に均一な厚みのＮｉメッキ皮膜を形成することができる。
　この発明によれば、上記のように構成されているので、以下のような効果が得られる。
　（１）請求項１に記載の発明によれば、第１及び第２のケースにおける発熱体に接合される受熱面の状態を安定化させ、面粗度を確保することができるので、コストの低廉化が図れると共に、パワーデバイスを組み込んだ発熱体との接合を好適にし、また、生産性の向上が図れる。
　（２）請求項２に記載の発明によれば、第１及び第２のケースにおける発熱体に接合される受熱面を含む表面状態を安定化させ、面粗度を確保することができるので、上記（１）に加えて、更に外観の見栄えを良好にすることができる。
　（３）請求項３に記載の発明によれば、受熱面にＮｉメッキを施すことで、発熱体との接合を好適にすることができると共に、受熱面に均一な厚みのＮｉメッキ皮膜を形成することができるので、上記（１）に加えて、更にパワーデバイスを組み込んだ発熱体との接合を好適にすることができると共に、冷却器の品質の向上が図れる。
　（４）請求項４に記載の発明によれば、第１及び第２のケースの表面にＮｉメッキを施すことで、発熱体との接合を好適にすることができると共に、第１及び第２のケースの表面に均一な厚みのＮｉメッキ皮膜を形成することができるので、上記（２）に加えて、更にパワーデバイスを組み込んだ発熱体との接合を好適にすることができると共に、外観の見栄えを良好にすることができ、かつ、冷却器の品質の向上が図れる。
この発明に係る冷却器を発熱体であるパワーモジュールに接合した状態を示す断面図である。 図１のＩ部の拡大断面図である。 図１のII部の拡大断面図である。 この発明に係る冷却器の横断面図である。 この発明に係る冷却器の下方斜視図である。 この発明におけるウェットブラスト法の原理を示すウェットブラスト装置の概略側面図である。 この発明に係る冷却器の製造方法の工程を示すフローチャートである。 この発明における研磨材の中心粒径と面粗度の関係を示すグラフである。
　以下に、この発明に係る冷却器及び冷却器の製造方法の実施形態について、添付図面に基づいて詳細に説明する。
　＜冷却器＞
　この発明に係る冷却器１は、図１ないし図４に示すように、互いに接合されて内部に冷媒流通空間４を形成するアルミニウム合金製の第１のケース１及び第２のケース２と、冷媒流通空間４内に配置され、隣接部間にそれぞれ冷媒流通路５を形成する複数のアルミニウム（アルミニウム合金を含む）製のフィン６とを具備し、第１及び第２のケース１，２とフィン６は、非腐食性フラックスとろう材を介して接合されている。この場合、第１及び第２のケース１，２のうちの第２のケース２の表面、すなわちパワーデバイス３１が組み込まれた発熱体であるパワーモジュール３０に接合される受熱面２Ａには、Ｎｉメッキが施されている。
　この場合、一方のケースである第１のケース１は、上方が開口した略矩形箱状に形成されている。他方のケースである第２のケース２は、第１のケース１より大きめの略矩形板状に形成されており、第２のケース２の周辺部の内方側には、第１のケース１の４辺の側壁部１ａの開口側端部が係合可能な周溝部２ａが設けられている（図２参照）。
　上記のように形成される第１のケース１の側壁部１ａの開口側端部を、第２のケース２の周辺部の内方側に設けられた周溝部２ａに係合させた状態でろう付け接合することで、冷媒流通空間４を有する冷却器本体３が構成される。
　また、フィン６は、板部材にて形成されており、冷媒流通空間４における短手方向に冷媒流入領域８と冷媒流出領域９を残して両端の直状部が位置した状態で、冷媒流通空間４の長手方向に等間隔に配列されている。これにより各フィン６間に冷媒流通路５が形成される。なお、フィン６は、必ずしも全体が直状のものでなくてもよい。円弧状の連続波形部を有するものなどであってもよい。
　なお、冷媒流入領域８には冷媒流入口８ａが設けられ、冷媒流出領域９には冷媒流出口９ａが設けられる。この場合、第1のケース1にブラケット１０ａを介して冷媒流入口８ａが設けられ、ブラケット１０ｂを介して冷媒流出口９ａが設けられている。
　第１及び第２のケース１，２は、ろう付け可能な合金で、例えば、６０６３合金、具体的には、質量％でＳｉ：０．６％、Ｆｅ：０．３５％、Ｃｕ：０．１％、Ｍｎ：０．１％、Ｍｇ：０．９％、Ｃｒ：０．１％、Ｚｎ：０．１％、Ｔｉ：０．０１％を含み、残部がＡｌ及び不可避的不純物からなる組成を有するアルミニウム合金にて形成されている。なお、第１及び第２のケース１，２の材質は必ずしも６０６３合金である必要はなく、その他のろう付け可能なアルミニウム合金であってもよい。また、同合金を心材とした、ブレージングシートでもよい。
　また、フィン６は、第１及び第２のケース１，２と同様の材質の６０６３合金にて形成されている。この場合、フィン６は、６０６３合金を心材としたろう材がクラッドされたブレージングシートにて形成してもよい。
　非腐食性フラックスには、例えばＫＡｌＦ4＋Ｋ3ＡｌＦ6等のフッ化物系フラックスが使用され、第１及び第２のケース１，２と、フィン６とのろう付けの際に、第１及び第２のケース１，２の表面に塗布される。
　上記のように非腐食性フラックスを用いたフラックスろう付けによれば、フラックスに、ろうと反応してろうのフィレット形成を促進する作用があるので、ろう付け性がよい。
　＜冷却器の製造方法＞
　次に、冷却器の製造方法について、図７を参照して説明する。
　（Ｓ－１）ろう付け前に、第１及び第２のケース１，２の表面にろう付け効果を有するＳｉ粉末と不腐食性フラックスをアクリル系バインダーに混合したものを固着する。そして、第１及び第２のケース１，２とフィン６とを組み付けて炉内で所定の温度で加熱してろう付けする（ろう付け接合工程）。
　（Ｓ－２）ろう付けされた冷却器（冷却器本体３）の表面に残ったフラックス残渣を除去するために、中心粒径が４～２５０μｍの多角形状のアルミナ粒子からなる研磨材と液体の混合物を圧縮空気によって第２のケース２の表面の受熱面２Ａに投射するウェットブラスト法によって除去する（フラックス残渣除去工程）。
　なお、第１及び第２のケース１，２の表面に付着するフラックス残渣を除去する場合は、中心粒径が４～２５０μｍの多角形状のアルミナ粒子からなる研磨材と液体の混合物を圧縮空気によって第２のケース２の表面の受熱面２Ａに投射するウェットブラスト法によって除去した後、又は、除去する前に第１のケース１の表面に付着するフラックス残渣を同様に研磨材と液体の混合物を投射するウェットブラスト法によって除去することで、第１及び第２のケース１，２の表面に付着するフラックス残渣を除去する。
　ここで、研磨材の中心粒径を４～２５０μｍとした理由は、図８に示すように、中心粒径が４μｍ以上はフラックス残渣除去が良好な領域であり、２５０μｍ以下であると面粗度が１５μｍ以下となり、パワーモジュール３０との接合が良好な領域であるからである。
　このフラックス残渣除去は、図６に示すウェットブラスト装置を用いて行われる。ウェットブラスト装置は、下部に幅広ノズル２１を設けた投射ガン２０と、供給管２２ａを介して投射ガン２０に接続する研磨材と液体（水）の混合物を収容するスラリータンク２３と、供給管２２ｂを介して投射ガン２０に接続する圧縮空気供給源であるコンプレッサ２４とを具備している。なお、図６では第２のケース２の表面すなわち受熱面２Ａに研磨材と液体の混合物を投射する状態を示しているが、第１及び第２のケース１，２の表面に研磨材と液体の混合物を投射する場合は、図６に２点鎖線で示すように、第１のケース１と第２のケース２の天地を逆にして、第１のケース１の表面に研磨材と液体の混合物を投射する。
　フラックス残渣の除去は、圧縮空気により加速された研磨材と液体（水）が冷却器に衝突して、表面を加工することによって行われる。加工後の研磨材は、体積のある液体（水）により押し流されることで、表面は常に研磨材残りの無い状態となり、そこに後続する研磨材が衝突して、表面を加工することにより、フラックス残渣は除去される。
　（Ｓ－３）フラックス残渣を除去した後、フラックス残渣が除去された受熱面２Ａ、又は、第１及び第２のケース１，２の表面にＮｉメッキを施す（メッキ工程）。この場合、メッキ処理は、電気を使わずに冷却器（冷却器本体３）の還元力を利用した無電解Ｎｉメッキによって行う。なお、メッキ工程の前後に前処理工程、後処理工程があるが、ここでは説明は省略する。
　Ｎｉメッキ処理が行われた冷却器は、パワーデバイス３１が組み込まれた発熱体であるパワーモジュール３０に接合される。この場合、第２のケース２の頂面（受熱面２Ａ）とパワーモジュール３０の下部３０ａの下面とをはんだ４０によって接合する（図３参照）。なお、図３において、符号「７」はメッキ皮膜層である。
　上記実施形態の冷却器の製造方法によれば、第１及び第２のケース１，２における少なくともパワーモジュール３０に接合される受熱面２Ａの状態を安定化させ、面粗度を確保することができるので、コストの低廉化が図れると共に、生産性の向上が図れる。
　また、第１及び第２のケース１，２のうちの少なくとも第２のケース２の表面すなわち受熱面２Ａに均一な厚みのＮｉメッキ皮膜を形成できるので、パワーモジュール３０との接合を好適にすることができる。
　また、第１及び第２のケース１，２の表面に付着するフラックス残渣を除去した後、第１及び第２のケース１，２の表面に均一な厚みのＮｉメッキ皮膜を形成することにより、冷却器の外観の見栄えを良好にすることができると共に、冷却器の品質の向上が図れる。
　なお、上記実施形態では、冷却器をパワーモジュール３０の片面に接合する場合について説明したが、冷却器をパワーモジュール３０の両面に接合する場合においても同様の効果が得られる。
１　第１のケース
２　第２のケース
２Ａ　受熱面
３　冷却器本体
４　冷媒流通空間
５　冷媒流通路
６　フィン
７　メッキ皮膜層
３０　パワーモジュール（発熱体）
３１　パワーデバイス

Claims (4)

  1. 　互いに接合されて内部に冷媒流通空間を形成するアルミニウム製の第１及び第２のケースと、上記冷媒流通空間内に配置され、隣接部間にそれぞれ冷媒流通路を形成する複数のアルミニウム製のフィンとを具備し、パワーデバイスが組み込まれた発熱体に接合されて上記パワーデバイスから発せられる熱を冷却するパワーデバイス用冷却器の製造方法であって、
    　上記第１及び第２のケースと上記フィンを非腐食性フラックスとろう材を介してろう付けするろう付け接合工程と、
    　上記ろう付け後に上記第１及び第２のケースの表面のフラックス残渣を除去するフラックス残渣除去工程とを含み、
    　上記フラックス残渣除去工程は、中心粒径が４～２５０μｍの多角形状のアルミナ粒子からなる研磨材と液体の混合物を圧縮空気によって上記第１及び第２のケースにおける上記発熱体に接合される受熱面に投射するウェットブラスト法によって行う、ことを特徴とするパワーデバイス用冷却器の製造方法。
  2. 　互いに接合されて内部に冷媒流通空間を形成するアルミニウム製の第１及び第２のケースと、上記冷媒流通空間内に配置され、隣接部間にそれぞれ冷媒流通路を形成する複数のアルミニウム製のフィンとを具備し、パワーデバイスが組み込まれた発熱体に接合されて上記パワーデバイスから発せられる熱を冷却するパワーデバイス用冷却器の製造方法であって、
    　上記第１及び第２のケースと上記フィンを非腐食性フラックスとろう材を介してろう付けするろう付け接合工程と、
    　上記ろう付け後に上記第１及び第２のケースの表面のフラックス残渣を除去するフラックス残渣除去工程とを含み、
    　上記フラックス残渣除去工程は、中心粒径が４～２５０μｍの多角形状のアルミナ粒子からなる研磨材と液体の混合物を圧縮空気によって上記第１及び第２のケースの表面に投射するウェットブラスト法によって行う、ことを特徴とするパワーデバイス用冷却器の製造方法。
  3. 　請求項１に記載のパワーデバイス用冷却器の製造方法において、
    　上記フラックス残渣が除去された上記受熱面にＮｉメッキを施すメッキ工程を更に含む、ことを特徴とするパワーデバイス用冷却器の製造方法。
  4. 　請求項２に記載のパワーデバイス用冷却器の製造方法において、
    　上記フラックス残渣が除去された上記第１及び第２のケースの表面にＮｉメッキを施すメッキ工程を更に含む、ことを特徴とするパワーデバイス用冷却器の製造方法。
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