WO2017199764A1 - 多層プリント配線板の製造に好適な離型フィルム - Google Patents
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Abstract
温度、圧力等が従来よりも高い条件での熱プレス、又はより長時間の熱プレス等の過酷な条件でのプロセス後においても、黒化処理銅箔等の粗度の高い金属表面から、容易に、かつ十分に剥離することができるプロセス用離型フィルムを提供する。該課題は、熱可塑性樹脂を含んでなるプロセス用離型フィルムであって、その少なくとも1の面が、以下の特性を有する、上記プロセス用離型フィルムによって解決される: (1)試験温度180℃においてナノインデンテーション法で測定したフィルム復元性値Rが、 R ≧ 70(%) である。
Description
本発明は、いわゆる黒化処理銅箔等の表面粗度の高い金属表面からの離型性に優れたプロセス用離型フィルムに関し、より具体的には、粗面化処理された銅箔層を有する多層プリント配線板等の金属/樹脂積層体の製造に好適に用いられるプロセス用離型フィルム、及びそれを用いた多層プリント配線板等の金属/樹脂積層体の製造方法に関する。
近年、電子機器の急速な進歩に伴い、ICの集積度が増大するにつれ、より高精度、高密度、高信頼性化への要求に対応する目的でプリント配線板が多用されている。
このプリント配線板としては、片面プリント配線板、両面プリント配線板、多層プリント配線板、フレキシブルプリント配線板がある。なかでも3層以上の導体の中間に絶縁層をおいて一体化し、任意の導体相互および実装する電子部品と任意の導体層との接続ができる点で多層プリント基板(以後「MLB」ともいう。)の応用分野は広がっている。
このMLBは、例えば一対の片面銅張積層板、または一対の両面銅張積層板を両面外装としてその内側に一層または二層以上の内層回路板をプリプレグ(エポキシ樹脂等)を介在させて交互に積み重ね、これらを治具で挟持するとともにクッション材を介してプレス熱板で熱プレスして、プリプレグを硬化させて強固に一体化された積層体を形成し、穴開け、スルーホールメッキなどを行った後、表面をエッチングすることで形成される。
このようなMLBを製造するプロセスにおいては、通常銅張積層板(外装板)と治具との間に離型フィルムが用いられる。このプロセス用離型フィルムとしては、4-メチル-1-ペンテン共重合体、ポリテトラフルオロエチレン、ポリエステル、シンジオタクチックポリスチレンなどの熱プレス時の加熱加圧工程で溶融しない高耐熱性の樹脂で構成されたフィルムあって、剛性、表面平滑性などに優れたものが使用される(例えば、特許文献1から特許文献4等参照。)。
このプリント配線板としては、片面プリント配線板、両面プリント配線板、多層プリント配線板、フレキシブルプリント配線板がある。なかでも3層以上の導体の中間に絶縁層をおいて一体化し、任意の導体相互および実装する電子部品と任意の導体層との接続ができる点で多層プリント基板(以後「MLB」ともいう。)の応用分野は広がっている。
このMLBは、例えば一対の片面銅張積層板、または一対の両面銅張積層板を両面外装としてその内側に一層または二層以上の内層回路板をプリプレグ(エポキシ樹脂等)を介在させて交互に積み重ね、これらを治具で挟持するとともにクッション材を介してプレス熱板で熱プレスして、プリプレグを硬化させて強固に一体化された積層体を形成し、穴開け、スルーホールメッキなどを行った後、表面をエッチングすることで形成される。
このようなMLBを製造するプロセスにおいては、通常銅張積層板(外装板)と治具との間に離型フィルムが用いられる。このプロセス用離型フィルムとしては、4-メチル-1-ペンテン共重合体、ポリテトラフルオロエチレン、ポリエステル、シンジオタクチックポリスチレンなどの熱プレス時の加熱加圧工程で溶融しない高耐熱性の樹脂で構成されたフィルムあって、剛性、表面平滑性などに優れたものが使用される(例えば、特許文献1から特許文献4等参照。)。
銅貼積層板の銅箔にはエポキシ樹脂との接着性を高めるために表面を酸化したり、酸によるエッチング処理をおこなうことで荒らした、いわゆる黒化処理銅箔のような表面を粗面化処理した銅箔がしばしば使用される。この場合には、上記の各プロセス用離型フィルムにおいては、熱プレス時の加熱加圧工程で上記銅箔面がフィルム表面に食い込み、離型フィルムが剥離できなくなるという問題が起こることがある。
これに対して、4-メチル-1-ペンテン(共)重合体からなり、実質的にワックスまたはシリコーンを含まない層(A)の少なくとも一方の最外層にポリプロピレンおよび/またはポリエチレンの層(B)を設けてなるシートを4.3倍以上に一軸延伸した後、該シートにおける少なくとも一方の最外層のポリプロピレンおよび/またはポリエチレンの層(B)を剥離除去したフィルムであって、延伸方向の熱収縮率が20%以上であることを特徴とする延伸フィルムを使用することが提案されている(例えば、特許文献5ご参照。)。
しかしながら、当該技術分野の発展に伴い、多層プリント配線板用離型フィルム等のプロセス用離型フィルムに対する要求水準は年々高まっており、より高温、高圧な熱プレス等の過酷なプロセス条件においても粗度の高い金属表面から、容易に、かつ十分に剥離することができるプロセス用離型フィルムが強く求められている。単に離型フィルムの剛性や、表面平滑性を高めるだけでは、この様な要求に応えることは必ずしもできていなかった。
本発明は、上記の事情に鑑みてなされたものであり、温度、圧力等が従来よりも高い条件での熱プレス、又はより長時間の熱プレス等の過酷な条件でのプロセス後においても、黒化処理銅箔等の粗度の高い金属表面から、容易に、かつ十分に剥離することができるプロセス用離型フィルムを提供することを目的とする。
本発明者らは上記課題を解決するために鋭意検討を重ねた結果、試験温度180℃においてナノインデンテーション法で測定したフィルム復元性値Rに着目し、当該フィルム復元性値Rが一定の値以上であるときに上記課題が効果的に解決されることを見出し、本発明を完成するに至った。
すなわち本発明及びその各態様は、下記[1]から[10]に記載のとおりである。
すなわち本発明及びその各態様は、下記[1]から[10]に記載のとおりである。
[1]
熱可塑性樹脂を含んでなるプロセス用離型フィルムであって、その少なくとも1の面が、以下の特性を有する、上記プロセス用離型フィルム:
(1)試験温度180℃においてナノインデンテーション法で測定したフィルム復元性値Rが、
R ≧ 70(%)
である。
[2]
熱可塑性樹脂を含んでなるプロセス用離型フィルムであって、その少なくとも1の面が以下の特性を有する、[1]に記載のプロセス用離型フィルム:
(2)試験温度180℃においてナノインデンテーション法で測定した硬度Hが、
H ≧ 40(MPa)
である。
[3]
前記(1)の特性を有する少なくとも1の面と、前記(2)の特性を有する少なくとも1の面とが、同一の面である、[2]に記載のプロセス用離型フィルム。
[4]
ポリエステル樹脂、及び/又はポリアミド樹脂を含んでなる、[1]から[3]のいずれか一項に記載のプロセス用離型フィルム。
[5]
延伸若しくは無延伸のポリエステルフィルム層、又は延伸若しくは無延伸のポリアミドフィルム層を有する、[1]から[4]のいずれか一項に記載のプロセス用離型フィルム。
[6]
粗面化処理された金属表面からの剥離に用いられる、[1]から[5]のいずれか一項に記載のプロセス用離型フィルム。
[7]
表面粗度Raが、1.0~6.5μmである金属表面からの剥離に用いられる、[1]から[6]のいずれか一項に記載のプロセス用離型フィルム。
[8]
[1]から[7]のいずれか一項に記載の離型用フィルムを、上記(1)の特性を有する少なくとも1の面において、粗面化処理された金属箔層と接触させて熱プレスする工程、及び
該プロセス用離型用フィルムを、該金属箔層から剥離する工程、
を有することを特徴とする金属/樹脂積層体の製造方法。
[9]前記金属/樹脂積層体が、多層プリント配線板である、[8]に記載の製造方法。
[10]
[9]に記載の製造方法によって製造された多層プリント基板を有する、電気電子機器。
熱可塑性樹脂を含んでなるプロセス用離型フィルムであって、その少なくとも1の面が、以下の特性を有する、上記プロセス用離型フィルム:
(1)試験温度180℃においてナノインデンテーション法で測定したフィルム復元性値Rが、
R ≧ 70(%)
である。
[2]
熱可塑性樹脂を含んでなるプロセス用離型フィルムであって、その少なくとも1の面が以下の特性を有する、[1]に記載のプロセス用離型フィルム:
(2)試験温度180℃においてナノインデンテーション法で測定した硬度Hが、
H ≧ 40(MPa)
である。
[3]
前記(1)の特性を有する少なくとも1の面と、前記(2)の特性を有する少なくとも1の面とが、同一の面である、[2]に記載のプロセス用離型フィルム。
[4]
ポリエステル樹脂、及び/又はポリアミド樹脂を含んでなる、[1]から[3]のいずれか一項に記載のプロセス用離型フィルム。
[5]
延伸若しくは無延伸のポリエステルフィルム層、又は延伸若しくは無延伸のポリアミドフィルム層を有する、[1]から[4]のいずれか一項に記載のプロセス用離型フィルム。
[6]
粗面化処理された金属表面からの剥離に用いられる、[1]から[5]のいずれか一項に記載のプロセス用離型フィルム。
[7]
表面粗度Raが、1.0~6.5μmである金属表面からの剥離に用いられる、[1]から[6]のいずれか一項に記載のプロセス用離型フィルム。
[8]
[1]から[7]のいずれか一項に記載の離型用フィルムを、上記(1)の特性を有する少なくとも1の面において、粗面化処理された金属箔層と接触させて熱プレスする工程、及び
該プロセス用離型用フィルムを、該金属箔層から剥離する工程、
を有することを特徴とする金属/樹脂積層体の製造方法。
[9]前記金属/樹脂積層体が、多層プリント配線板である、[8]に記載の製造方法。
[10]
[9]に記載の製造方法によって製造された多層プリント基板を有する、電気電子機器。
本発明のプロセス用離型フィルムは、温度、圧力等が従来よりも高い条件での熱プレス、又はより長時間の熱プレス等の過酷な条件でのプロセス後においても、黒化処理銅箔等の粗度の高い金属表面から、離型剤等を用いることなく、また、高価で加工が困難な高融点のエンジニアリングプラスチック等の使用を要することなく、容易に、かつ十分に剥離することができるという、従来技術では実現できなかった、実用上高い価値を有する技術的効果を実現するものである。
本発明のプロセス用離型フィルムを用いる製造方法は、多層プリント配線板等の金属/樹脂積層構造を有する電機電子部品を、高い自由度で生産性良く製造することができる。
本発明のプロセス用離型フィルムを用いる製造方法は、多層プリント配線板等の金属/樹脂積層構造を有する電機電子部品を、高い自由度で生産性良く製造することができる。
(プロセス用離型フィルム)
本発明のプロセス用離型フィルムは、熱可塑性樹脂を含んでなるフィルムであって、その少なくとも1の面が、試験温度180℃において最大押し込み荷重2mNのナノインデンテーション法で測定したフィルム復元性値Rが70(%)以上である、という特性(特性(1))を有するものである。
フィルム復元性値Rが上記範囲にあることによって、黒化処理銅箔等の粗度の高い金属表面からの剥離、とりわけ比較的高温、高圧、及び/又は長時間で粗度の高い金属表面と密着した後の剥離が容易となる。したがって、本発明のプロセス用離型フィルムは、粗度の高い表面を有する金属層を有する金属/樹脂積層体の製造、とりわけ黒化処理、粗面化処理された銅箔層を有する多層プリント配線板の製造に、特に好適に用いることができる。
フィルム復元性値Rは、測定温度180℃において、ナノインデンターを用いて稜間角115°の三角錐ダイヤモンド圧子(Berkovich圧子)を、最大押し込み荷重2mNでフィルム測定面に押し込んでから除荷して測定する、最大押し込み荷重(2mN)時の押し込み深さと、除荷後(0mN)の押し込み深さの比から、下式にしたがって計算される。
フィルム復元性値R(%)=(除荷後の押し込み深さ/最大押し込み荷重時の押し込み深さ)×100
本発明のプロセス用離型フィルムは、熱可塑性樹脂を含んでなるフィルムであって、その少なくとも1の面が、試験温度180℃において最大押し込み荷重2mNのナノインデンテーション法で測定したフィルム復元性値Rが70(%)以上である、という特性(特性(1))を有するものである。
フィルム復元性値Rが上記範囲にあることによって、黒化処理銅箔等の粗度の高い金属表面からの剥離、とりわけ比較的高温、高圧、及び/又は長時間で粗度の高い金属表面と密着した後の剥離が容易となる。したがって、本発明のプロセス用離型フィルムは、粗度の高い表面を有する金属層を有する金属/樹脂積層体の製造、とりわけ黒化処理、粗面化処理された銅箔層を有する多層プリント配線板の製造に、特に好適に用いることができる。
フィルム復元性値Rは、測定温度180℃において、ナノインデンターを用いて稜間角115°の三角錐ダイヤモンド圧子(Berkovich圧子)を、最大押し込み荷重2mNでフィルム測定面に押し込んでから除荷して測定する、最大押し込み荷重(2mN)時の押し込み深さと、除荷後(0mN)の押し込み深さの比から、下式にしたがって計算される。
フィルム復元性値R(%)=(除荷後の押し込み深さ/最大押し込み荷重時の押し込み深さ)×100
フィルム復元性値Rが上記範囲にあることによって黒化処理銅箔表面等の粗度の高い金属表面からの剥離が容易になることのメカニズムは必ずしも明らかではなく、また特定の理論に拘束されることを意図するものではないが、比較的高温、高圧、及び/又は長時間で粗度の高い金属表面と密着して熱プレスされた際に、粗度の高い金属表面の凹凸パターンに追随して変形したフィルム表面が、より平滑な形状に復元することにより、金属表面との密着が一部解消することと何らかの関係があるものと推定される。
フィルム復元性値Rは、73%以上であることがより好ましく、75%以上であることが特に好ましい。
剥離性の観点からフィルム復元性値Rは高いほうが好ましく、本発明において特に上限は存在しないが、加工性、取り扱い等の観点から、90%以下であることが好ましく、85%以下であることが特に好ましい。
本発明の離型用フィルムのフィルム復元性値Rを上記範囲とするために用いる樹脂の種類としては、特に限定されず、ポリエステル樹脂、ポリアミド樹脂、テトラフルオロエチレンに由来する構成単位を含むポリテトラフルオロエチレンやエチレン-テトラフルオロエチレン共重合体等であるフッ素樹脂、ウレタン樹脂、ポリスチレン樹脂等の樹脂の中から適宜選択して用いることができる。またこれらを併用することもできる。
また、用いられる樹脂は、熱可塑性樹脂であってもよいし、熱硬化性樹脂や紫外線、電子線等の活性エネルギー線を加えることで架橋する活性エネルギー線硬化性樹脂を用いてもよい。
本発明の離型用フィルムのフィルム復元性値Rを上記範囲とするには、前記樹脂を高分子量化する方法、樹脂フィルムにエポキシ基等反応基を含む架橋剤を含有させる方法、延伸配向により樹脂分子の配向をそろえる方法、樹脂フィルムに熱処理を施す方法等により適宜調整できる。本発明の離型用フィルムは、かかるフィルム復元性値Rを達成するための他の方法としては、例えば、フィルム表面に対してラビング処理を施すことなどが挙げられる。離型用フィルムの表面に対してラビング処理を施すことで前述の表面硬度を達成しようとする場合、ラビングの方法は特に限定されないが、例えば、既知のラビング装置を用いることができる。
フィルム復元性値Rは、73%以上であることがより好ましく、75%以上であることが特に好ましい。
剥離性の観点からフィルム復元性値Rは高いほうが好ましく、本発明において特に上限は存在しないが、加工性、取り扱い等の観点から、90%以下であることが好ましく、85%以下であることが特に好ましい。
本発明の離型用フィルムのフィルム復元性値Rを上記範囲とするために用いる樹脂の種類としては、特に限定されず、ポリエステル樹脂、ポリアミド樹脂、テトラフルオロエチレンに由来する構成単位を含むポリテトラフルオロエチレンやエチレン-テトラフルオロエチレン共重合体等であるフッ素樹脂、ウレタン樹脂、ポリスチレン樹脂等の樹脂の中から適宜選択して用いることができる。またこれらを併用することもできる。
また、用いられる樹脂は、熱可塑性樹脂であってもよいし、熱硬化性樹脂や紫外線、電子線等の活性エネルギー線を加えることで架橋する活性エネルギー線硬化性樹脂を用いてもよい。
本発明の離型用フィルムのフィルム復元性値Rを上記範囲とするには、前記樹脂を高分子量化する方法、樹脂フィルムにエポキシ基等反応基を含む架橋剤を含有させる方法、延伸配向により樹脂分子の配向をそろえる方法、樹脂フィルムに熱処理を施す方法等により適宜調整できる。本発明の離型用フィルムは、かかるフィルム復元性値Rを達成するための他の方法としては、例えば、フィルム表面に対してラビング処理を施すことなどが挙げられる。離型用フィルムの表面に対してラビング処理を施すことで前述の表面硬度を達成しようとする場合、ラビングの方法は特に限定されないが、例えば、既知のラビング装置を用いることができる。
本発明のプロセス用離型フィルムにおいては、その少なくとも1の面が、試験温度180℃において最大押し込み荷重2mNのナノインデンテーション法で測定した硬度Hが40(MPa)以上である、という特性(特性(2))を有することが好ましい。
硬度Hが上記範囲にあることによって、粗化処理銅箔表面等の粗度の高い金属表面からの剥離、とりわけ比較的高温、高圧、及び/又は長時間で粗度の高い金属表面と密着した後の剥離が、一層容易となる。したがって、本発明のプロセス用離型フィルムであって、上記(2)の特性を有する態様は、黒化処理された銅箔層等の粗度の高い金属表面を有する多層プリント配線板等の製造に、一層好適に用いることができる。
硬度Hは、測定温度180℃において、ナノインデンターを用いて稜間角115°の三角錐ダイヤモンド圧子(Berkovich圧子)を、最大押し込み荷重2mNでフィルム測定面に押し込んでから除荷した際の、最大押し込み荷重(Fmax)、押し込み深さ(hc)から、下式にしたがって計算される。
硬度H = Fmax/(23.96×hc 2)
硬度Hが上記範囲にあることによって、粗化処理銅箔表面等の粗度の高い金属表面からの剥離、とりわけ比較的高温、高圧、及び/又は長時間で粗度の高い金属表面と密着した後の剥離が、一層容易となる。したがって、本発明のプロセス用離型フィルムであって、上記(2)の特性を有する態様は、黒化処理された銅箔層等の粗度の高い金属表面を有する多層プリント配線板等の製造に、一層好適に用いることができる。
硬度Hは、測定温度180℃において、ナノインデンターを用いて稜間角115°の三角錐ダイヤモンド圧子(Berkovich圧子)を、最大押し込み荷重2mNでフィルム測定面に押し込んでから除荷した際の、最大押し込み荷重(Fmax)、押し込み深さ(hc)から、下式にしたがって計算される。
硬度H = Fmax/(23.96×hc 2)
硬度Hが上記範囲にあることによって黒化処理銅箔表面等の、粗度の高い金属表面からの剥離が一層容易になることのメカニズムは必ずしも明らかではなく、また特定の理論に拘束されることを意図するものではないが、比較的高温、高圧、及び/又は長時間で粗度の高い金属表面と密着して熱プレスされた場合であっても、硬度の高いフィルム表面が、粗度の高い金属表面の凹凸パターンに追随して変形する度合いが小さく、金属表面との密着の度合いが小さいことと何らかの関係があるものと推定される。
硬度Hは、45MPa以上であることがより好ましく、55MPa以上であることが特に好ましい。
剥離性の観点からフィルムの硬度Hは高いほうが好ましく、本発明において特に上限は存在しないが、加工性、取り扱い等の観点から、130MPa以下であることが好ましく、115MPa以下であることが特に好ましい。
硬度Hは、45MPa以上であることがより好ましく、55MPa以上であることが特に好ましい。
剥離性の観点からフィルムの硬度Hは高いほうが好ましく、本発明において特に上限は存在しないが、加工性、取り扱い等の観点から、130MPa以下であることが好ましく、115MPa以下であることが特に好ましい。
本発明の離型用フィルムの硬度Hを上記範囲とするには、前記樹脂を高分子量化する方法、樹脂フィルムにエポキシ基等反応基を含む架橋剤を含有させる方法、延伸配向により樹脂分子の配向をそろえる方法、樹脂フィルムに熱処理を施す方法等により適宜調整できる。
本発明のプロセス用離型フィルムの上記態様においては、上記(1)の特性を有する少なくとも1の面と、上記(2)の特性を有する少なくとも1の面とが、同一の面であることが好ましい。すなわち、本発明の上記態様においては、少なくとも1の面が、上記(1)の特性と、上記(2)の特性とを、同時に有することが好ましい。
当該少なくとも1の面が、上記(1)の特性と上記(2)の特性とを同時に有することで、粗度の高い金属表面からの剥離が更に容易になるので、この様な面は熱プレス等の際に、いわゆる黒化処理銅箔のような表面粗度の高い金属表面と接触させて使用するのに特に好適である。
当該少なくとも1の面が、上記(1)の特性と上記(2)の特性とを同時に有することで、粗度の高い金属表面からの剥離が更に容易になるので、この様な面は熱プレス等の際に、いわゆる黒化処理銅箔のような表面粗度の高い金属表面と接触させて使用するのに特に好適である。
本発明のプロセス用離型フィルムは、その少なくとも1の面、好ましくは上記(1)の特性を有する少なくとも1の面、の水に対する接触角が、90°から130°であることが好ましい。この様な接触角を有することにより、この態様のプロセス用離型フィルムは濡れ性が低く、粗度の高い金属表面、特に黒化処理した銅箔表面からの剥離性に優れ、多層プリント配線板等の成形品の熱プレス後の離型を、一層容易にすることができる。
上記少なくとも1つの面の水に対する接触角は、好ましくは95°から120°であり、より好ましくは98°から115°、更に好ましくは100°から110°である。
上記少なくとも1つの面の水に対する接触角は、好ましくは95°から120°であり、より好ましくは98°から115°、更に好ましくは100°から110°である。
また、本発明のプロセス用離型フィルムは、その120℃での引張弾性率が75MPaから500MPaであるか、又はその170℃での引張弾性率が75MPaから500MPaであることが好ましい。さらに、本発明のプロセス用離型フィルムは、120℃での引張弾性率が75MPaから500MPaであって、かつ、170℃での引張弾性率が75MPaから500MPaであることが好ましい。
120℃での引張弾性率が75MPaから500MPaであるか、又は170℃での引張弾性率が75MPaから500MPaであることにより、熱プレス工程等における皺の発生を有効に抑制することができる。
120℃での引張弾性率が75MPaから500MPaであるか、又は170℃での引張弾性率が75MPaから500MPaであることにより、熱プレス工程等における皺の発生を有効に抑制することができる。
本実施形態のプロセス用離型フィルムは、その120℃での引張弾性率が80MPaから400MPaであることが好ましく、85MPaから350MPaであることがより好ましく、88MPaから300MPaであることがさらに好ましく、90MPaから280MPaであることが特に好ましい。
本実施形態のプロセス用離型フィルムは、その170℃での引張弾性率が80MPaから400MPaであることが好ましく、85MPaから350MPaであることがより好ましく、88MPaから300MPaであることがより好ましく、90MPaから280MPaであることがより好ましく、95MPaから200MPaであることがさらに好ましく、105MPaから170MPaであることが特に好ましい。
本実施形態のプロセス用離型フィルムは、その120℃での引張弾性率、及び170℃での引張弾性率が共に上記の好ましい範囲内であることが加工の際の自由度および用途が広がるため特に好ましい。
本実施形態のプロセス用離型フィルムは、その170℃での引張弾性率が80MPaから400MPaであることが好ましく、85MPaから350MPaであることがより好ましく、88MPaから300MPaであることがより好ましく、90MPaから280MPaであることがより好ましく、95MPaから200MPaであることがさらに好ましく、105MPaから170MPaであることが特に好ましい。
本実施形態のプロセス用離型フィルムは、その120℃での引張弾性率、及び170℃での引張弾性率が共に上記の好ましい範囲内であることが加工の際の自由度および用途が広がるため特に好ましい。
また、本発明のプロセス用離型フィルムは、そのTD方向(横方向)の23℃から120℃までの熱寸法変化率が3%以下であるか、又は、そのTD方向(横方向)の23℃から170℃までの熱寸法変化率が4%以下であることが好ましい。さらに、TD方向(横方向)の23℃から120℃までの熱寸法変化率が3%以下であってかつTD方向(横方向)の23℃から170℃までの熱寸法変化率が4%以下であることがより好ましい。
TD方向(横方向)の23℃から120℃までの熱寸法変化率が3%以下であるか、又は、そのTD方向(横方向)の23℃から170℃までの熱寸法変化率が4%以下であることにより、熱プレス工程等における皺の発生を更に有効に抑制することができる。この実施形態において、横(TD)方向の熱寸法変化率が上記の特定の値を示すもの用いることで、皺の発生が更に有効に抑制されるメカニズムは必ずしも明らかではないが、比較的熱膨張/収縮の小さいフィルムを用いることにより、プロセス時の加熱/冷却によるプロセス用離型フィルムの熱膨張/収縮が抑制されることと関連があるものと推測される。
TD方向(横方向)の23℃から120℃までの熱寸法変化率が3%以下であるか、又は、そのTD方向(横方向)の23℃から170℃までの熱寸法変化率が4%以下であることにより、熱プレス工程等における皺の発生を更に有効に抑制することができる。この実施形態において、横(TD)方向の熱寸法変化率が上記の特定の値を示すもの用いることで、皺の発生が更に有効に抑制されるメカニズムは必ずしも明らかではないが、比較的熱膨張/収縮の小さいフィルムを用いることにより、プロセス時の加熱/冷却によるプロセス用離型フィルムの熱膨張/収縮が抑制されることと関連があるものと推測される。
本実施形態のプロセス用離型フィルムは、そのTD方向(横方向)の23℃から120℃までの熱寸法変化率が2.5%以下であることが好ましく、2.0%以下であることより好ましく、1.5%以下であることが更に好ましくい。一方、そのTD方向(横方向)の23℃から120℃までの熱寸法変化率が-5.0%以上であることが好ましい。
本実施形態のプロセス用離型フィルムは、そのTD方向(横方向)の23℃から170℃までの熱寸法変化率が3.5%以下であることが好ましく、3.0%以下であることがより好ましく、2.0%以下であることが更に好ましくい。一方、そのTD方向(横方向)の23℃から170℃までの熱寸法変化率が-5.0%以上であることが好ましい。
本実施形態のプロセス用離型フィルムは、そのTD方向(横方向)の23℃から170℃までの熱寸法変化率が3.5%以下であることが好ましく、3.0%以下であることがより好ましく、2.0%以下であることが更に好ましくい。一方、そのTD方向(横方向)の23℃から170℃までの熱寸法変化率が-5.0%以上であることが好ましい。
本発明のプロセス用離型フィルムは、そのTD方向(横方向)の熱寸法変化率とMD方向(フィルムの製造時の長手方向。以下、「縦方向」ともいう)の熱寸法変化率の和が特定の値以下であることが好ましい。
すなわち、上記プロセス用離型フィルムの横(TD)方向の23℃から120℃までの熱寸法変化率と縦(MD)方向の23℃から120℃までの熱寸法変化率の和は、6%以下であることが好ましく、一方、そのTD方向(横方向)の23℃から120℃までの熱寸法変化率と縦(MD)方向の23℃から120℃までの熱寸法変化率の和が-5.0%以上であることが好ましい。
本実施形態のプロセス用離型フィルムは、横(TD)方向の23℃から120℃までの熱寸法変化率と縦(MD)方向の23℃から120℃までの熱寸法変化率の和が6%以下であることにより、熱プレス工程等における皺の発生を一層有効に抑制することができる。
すなわち、上記プロセス用離型フィルムの横(TD)方向の23℃から120℃までの熱寸法変化率と縦(MD)方向の23℃から120℃までの熱寸法変化率の和は、6%以下であることが好ましく、一方、そのTD方向(横方向)の23℃から120℃までの熱寸法変化率と縦(MD)方向の23℃から120℃までの熱寸法変化率の和が-5.0%以上であることが好ましい。
本実施形態のプロセス用離型フィルムは、横(TD)方向の23℃から120℃までの熱寸法変化率と縦(MD)方向の23℃から120℃までの熱寸法変化率の和が6%以下であることにより、熱プレス工程等における皺の発生を一層有効に抑制することができる。
また、本発明のプロセス用離型フィルムの横(TD)方向の23℃から170℃までの熱寸法変化率と縦(MD)方向の23℃から170℃までの熱寸法変化率の和は、7%以下であることが好ましく、一方、そのTD方向(横方向)の23℃から170℃までの熱寸法変化率と縦(MD)方向の23℃から170℃までの熱寸法変化率の和が-5.0%以上であることが好ましい。
本実施形態のプロセス用離型フィルムは、横(TD)方向の23℃から170℃までの熱寸法変化率と縦(MD)方向の23℃から170℃までの熱寸法変化率の和が7%以下であることにより、熱プレス工程等における皺の発生を更に有効に抑制することができる。
本実施形態のプロセス用離型フィルムは、横(TD)方向の23℃から170℃までの熱寸法変化率と縦(MD)方向の23℃から170℃までの熱寸法変化率の和が7%以下であることにより、熱プレス工程等における皺の発生を更に有効に抑制することができる。
本発明のプロセス用離型フィルムの厚みは、フィルムとして製膜可能であり、かつ離型フィルムとして使用可能な範囲であれば特に限定されるものではないが、通常5~150μm、好ましくは15~100μm、より好ましくは25~80μmである。
本発明のプロセス用離型フィルムの上記少なくとも1の面は、特性(1)試験温度180℃においてナノインデンテーション法で測定したフィルム復元性値Rが、R ≧ 70(%)であることを満足すればよく、その材質等に特に制限は無いが、適切なフィルム復元性値Rを比較的容易かつ安価に実現できることから、ポリエステル樹脂、及び/又はポリアミド樹脂を含むものであることが望ましい。
(ポリエステル樹脂)
本発明において好ましく用いられるポリエステル樹脂は、ホモポリエステルであってもよく、共重合ポリエステルであってもよい。ホモポリエステルを用いる場合、芳香族ジカルボン酸と脂肪族グリコールとを重縮合させて得られるものが好ましい。芳香族ジカルボン酸としては、テレフタル酸、2,6-ナフタレンジカルボン酸などが挙げられ、脂肪族グリコールとしては、エチレングリコール、ジエチレングリコール、1,4-シクロヘキサンジメタノール等を挙げることができる。代表的なポリエステルとしては、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリブチレンテレフタレート(PBT)等を例示することができる。一方、共重合ポリエステルに用いるジカルボン酸成分としては、イソフタル酸、フタル酸、テレフタル酸、2,6-ナフタレンジカルボン酸、アジピン酸、セバシン酸、オキシカルボン酸(例えば、P-オキシ安息香酸など)等の一種または二種以上が挙げられ、グリコール成分として、エチレングリコール、ジエチレングリコール、プロピレングリコール、ブタンジオール、1,4-シクロヘキサンジメタノール、ネオペンチルグリコール等の一種または二種以上を挙げることができる。
本発明において好ましく用いられるポリエステル樹脂は、ホモポリエステルであってもよく、共重合ポリエステルであってもよい。ホモポリエステルを用いる場合、芳香族ジカルボン酸と脂肪族グリコールとを重縮合させて得られるものが好ましい。芳香族ジカルボン酸としては、テレフタル酸、2,6-ナフタレンジカルボン酸などが挙げられ、脂肪族グリコールとしては、エチレングリコール、ジエチレングリコール、1,4-シクロヘキサンジメタノール等を挙げることができる。代表的なポリエステルとしては、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリブチレンテレフタレート(PBT)等を例示することができる。一方、共重合ポリエステルに用いるジカルボン酸成分としては、イソフタル酸、フタル酸、テレフタル酸、2,6-ナフタレンジカルボン酸、アジピン酸、セバシン酸、オキシカルボン酸(例えば、P-オキシ安息香酸など)等の一種または二種以上が挙げられ、グリコール成分として、エチレングリコール、ジエチレングリコール、プロピレングリコール、ブタンジオール、1,4-シクロヘキサンジメタノール、ネオペンチルグリコール等の一種または二種以上を挙げることができる。
本発明で好ましく用いられるポリエステルは、溶融重合反応で得られたものであってもよいが、溶融重合後にチップ化したポリエステルを固相重合して得られた原料を用いれば、原料中に含まれるオリゴマー量が低減できるので特に好ましい。
ポリエステル中に含まれるオリゴマー量は0.7重量%以下であることが好ましく、さらに好ましくは0.5重量%以下である。当該ポリエステルのオリゴマー量が少ない場合、本発明のプロセス用離型フィルム中に含まれるオリゴマー量の低減、更にはフィルム表面へのオリゴマー析出防止効果が特に高度に発揮される。
ポリエステル中に含まれるオリゴマー量は0.7重量%以下であることが好ましく、さらに好ましくは0.5重量%以下である。当該ポリエステルのオリゴマー量が少ない場合、本発明のプロセス用離型フィルム中に含まれるオリゴマー量の低減、更にはフィルム表面へのオリゴマー析出防止効果が特に高度に発揮される。
プロセス用離型フィルムがポリエステル樹脂を含む態様においては、ポリエステル樹脂を含む層中には、易滑性付与を主たる目的として粒子を配合することができる。配合する粒子の種類は、易滑性付与可能な粒子であれば特に限定されるものではなく、具体例としては、例えば、シリカ、炭酸カルシウム、炭酸マグネシウム、炭酸バリウム、硫酸カルシウム、リン酸カルシウム、リン酸マグネシウム、カオリン、酸化アルミニウム、酸化チタン等の粒子が挙げられる。また、特公昭59-5216号公報、特開昭59-217755号公報等に記載されている耐熱性有機粒子を用いてもよい。この他の耐熱性有機粒子の例として、熱硬化性尿素樹脂、熱硬化性フェノール樹脂、熱硬化性エポキシ樹脂、ベンゾグアナミン樹脂等が挙げられる。さらに、ポリエステル製造工程中、触媒等の金属化合物の一部を沈殿、微分散させた析出粒子を用いることもできる
一方、使用する粒子の形状に関しても特に限定されるわけではなく、球状、塊状、棒状、扁平状等のいずれを用いてもよい。また、その硬度、比重、色等についても特に制限はない。これら一連の粒子は、必要に応じて2種類以上を併用してもよい。
また、用いる粒子の平均粒径は、通常0.01~3μm、好ましくは0.01~1μmの範囲である。平均粒径が0.01μm以上であれば、粒子が凝集が抑制され、十分な分散性が容易に実現でき、一方、3μm以下であれば、フィルムの表面粗度が実用上好適な一定限度内に抑制される。
一方、使用する粒子の形状に関しても特に限定されるわけではなく、球状、塊状、棒状、扁平状等のいずれを用いてもよい。また、その硬度、比重、色等についても特に制限はない。これら一連の粒子は、必要に応じて2種類以上を併用してもよい。
また、用いる粒子の平均粒径は、通常0.01~3μm、好ましくは0.01~1μmの範囲である。平均粒径が0.01μm以上であれば、粒子が凝集が抑制され、十分な分散性が容易に実現でき、一方、3μm以下であれば、フィルムの表面粗度が実用上好適な一定限度内に抑制される。
さらに、ポリエステル層中の粒子含有量は、通常0.001~5重量%、好ましくは0.005~3重量%の範囲である。粒子含有量が0.001重量%以上であれば、フィルムの易滑性が十分であり、一方、5重量%以下であれば、十分なフィルムの透明性が確保される。
ポリエステル層中に粒子を添加する方法としては、特に限定されるものではなく、従来公知の方法を採用しうる。例えば、各層を構成するポリエステルを製造する任意の段階において添加することができるが、好ましくはエステル化の段階、もしくはエステル交換反応終了後、重縮合反応を進めてもよい。
また、ベント付き混練押出機を用い、エチレングリコールまたは水などに分散させた粒子のスラリーとポリエステル原料とをブレンドする方法、または、混練押出機を用い、乾燥させた粒子とポリエステル原料とをブレンドする方法などによって行ってもよい。
ポリエステル層中に粒子を添加する方法としては、特に限定されるものではなく、従来公知の方法を採用しうる。例えば、各層を構成するポリエステルを製造する任意の段階において添加することができるが、好ましくはエステル化の段階、もしくはエステル交換反応終了後、重縮合反応を進めてもよい。
また、ベント付き混練押出機を用い、エチレングリコールまたは水などに分散させた粒子のスラリーとポリエステル原料とをブレンドする方法、または、混練押出機を用い、乾燥させた粒子とポリエステル原料とをブレンドする方法などによって行ってもよい。
(ポリアミド樹脂)
本発明において好ましく用いられるポリアミド樹脂は、脂肪族ポリアミド樹脂であっても、芳香族ポリアミド樹脂であってもよいが、脂肪族ポリアミド樹脂がより好ましい。
脂肪族ポリアミド樹脂は、ラクタムの開環重合;脂肪族ジアミン成分と脂肪族ジカルボン酸成分との重縮合反応;脂肪族アミノカルボン酸の重縮合等によって製造することができる。
本発明において好ましく用いられるポリアミド樹脂は、脂肪族ポリアミド樹脂であっても、芳香族ポリアミド樹脂であってもよいが、脂肪族ポリアミド樹脂がより好ましい。
脂肪族ポリアミド樹脂は、ラクタムの開環重合;脂肪族ジアミン成分と脂肪族ジカルボン酸成分との重縮合反応;脂肪族アミノカルボン酸の重縮合等によって製造することができる。
ラクタムを開環重合して得られる脂肪族ポリアミドの例には、ポリアミド6、ポリアミド11、ポリアミド12およびポリアミド612等が含まれる。脂肪族ジアミン成分と脂肪族ジカルボン酸成分との重縮合で得られる脂肪族ポリアミドの例には、ポリアミド66、ポリアミド610、ポリアミド46、ポリアミドMXD6、ポリアミド6T、ポリアミド6Iおよびポリアミド9T等が含まれる。
なかでも、ポリアミド6またはポリアミド66が好ましく;ポリアミド66がより好ましい。これらのポリアミドは、上記特性(1)を比較的容易に実現することが可能であり、高融点かつ高弾性率であり、耐熱性および機械的特性に優れるからである。また、他の層との接着性が比較的良好なので、積層フィルムを構成する場合にも有利である。
高融点かつ高弾性率であり、耐熱性および機械的特性に優れるポリアミドを用いたフィルムは、シワ、破れ等が有効に抑制されるため、成形品やプレス装置を清浄に保つ観点からも好適である。
脂肪族ポリアミドの、DSC法により測定される融点は、190℃以上が好ましい。190℃以上の融点を有することで、比較的高温での熱プレス等のプロセスに供された場合でも、皺を効果的に抑制することができる。
高融点かつ高弾性率であり、耐熱性および機械的特性に優れるポリアミドを用いたフィルムは、シワ、破れ等が有効に抑制されるため、成形品やプレス装置を清浄に保つ観点からも好適である。
脂肪族ポリアミドの、DSC法により測定される融点は、190℃以上が好ましい。190℃以上の融点を有することで、比較的高温での熱プレス等のプロセスに供された場合でも、皺を効果的に抑制することができる。
(他の樹脂)
上述のポリエステル樹脂又はポリアミド樹脂は、ポリエステル樹脂又はポリアミド樹脂以外の他の樹脂をさらに含んでもよい。他の樹脂の好ましい例には、高温での引張応力や圧縮応力に対する耐クリープ性に優れる耐熱エラストマーや、応力緩和しにくく、弾性回復性の高い耐熱エラストマーなどが含まれる。
このような耐熱エラストマーとしては、ポリエステル樹脂又はポリアミド樹脂との親和性を考慮すると、熱可塑性ポリアミド系エラストマー、熱可塑性ポリエステル系エラストマーなどが好ましい。
熱可塑性ポリアミド系エラストマーの例には、ポリアミドをハードセグメントとし、ポリエステルまたはポリエーテルをソフトセグメントとするブロック共重合体が含まれる。ハードセグメントを構成するポリアミドの例には、ポリアミド6、ポリアミド66、ポリアミド610、ポリアミド612、ポリアミド11などが含まれる。ソフトセグメントを構成するポリエーテルの例には、ポリエチレングリコール(PEG)、ポリプロピレングリコール(PPG)、ポリテトラメチレングリコール(PTMG)などが含まれる。
上述のポリエステル樹脂又はポリアミド樹脂は、ポリエステル樹脂又はポリアミド樹脂以外の他の樹脂をさらに含んでもよい。他の樹脂の好ましい例には、高温での引張応力や圧縮応力に対する耐クリープ性に優れる耐熱エラストマーや、応力緩和しにくく、弾性回復性の高い耐熱エラストマーなどが含まれる。
このような耐熱エラストマーとしては、ポリエステル樹脂又はポリアミド樹脂との親和性を考慮すると、熱可塑性ポリアミド系エラストマー、熱可塑性ポリエステル系エラストマーなどが好ましい。
熱可塑性ポリアミド系エラストマーの例には、ポリアミドをハードセグメントとし、ポリエステルまたはポリエーテルをソフトセグメントとするブロック共重合体が含まれる。ハードセグメントを構成するポリアミドの例には、ポリアミド6、ポリアミド66、ポリアミド610、ポリアミド612、ポリアミド11などが含まれる。ソフトセグメントを構成するポリエーテルの例には、ポリエチレングリコール(PEG)、ポリプロピレングリコール(PPG)、ポリテトラメチレングリコール(PTMG)などが含まれる。
熱可塑性ポリエステル系エラストマーの例には、結晶性の芳香族ポリエステル単位からなる結晶性重合体をハードセグメントとし、ポリエーテル単位または脂肪族ポリエステル単位からなる非晶性重合体をソフトセグメントとするブロック共重合体が含まれる。ハードセグメントを構成する結晶性の芳香族ポリエステル単位からなる結晶性重合体の例には、ポリブチレンテレフタレート(PBT)、ポリブチレンナフタレート(PBN)などが含まれる。ソフトセグメントを構成するポリエーテル単位からなる非晶性重合体の例には、ポリテトラメチレンエーテルグリコール(PTMG)などが含まれる。ソフトセグメントを構成する脂肪族ポリエステル単位からなる非晶性重合体の例には、ポリカプロラクトン(PCL)などの脂肪族ポリエステルが含まれる。
熱可塑性ポリエステル系エラストマーの具体例には、ポリブチレンテレフタレート(PBT)とポリテトラメチレンエーテルグリコール(PTMG)とのブロック共重合体;ポリブチレンテレフタレート(PBT)とポリカプロラクトン(PCL)とのブロック共重合体;ポリブチレンナフタレート(PBN)と脂肪族ポリエステルとのブロック共重合体などが含まれる。
熱可塑性ポリアミド系エラストマーおよび熱可塑性ポリエステル系エラストマーのDSC法により測定される融点は、190℃以上であることが好ましい。なお、熱可塑性エラストマーの融点が190℃未満であっても、熱可塑性エラストマーを、架橋剤や架橋助剤により化学的に架橋させたり、紫外線や電子線、ガンマ線などで物理的に架橋させたりすることで、高温での耐クリープ性や弾性回復性を向上させてもよい。
上記ポリエステル樹脂又はポリアミド樹脂は、本発明の目的を損なわない範囲で、公知の添加剤をさらに含んでいてもよい。添加剤は、例えば、帯電防止剤、酸化防止剤、例えば銅化合物系を含む耐熱安定剤、例えばステアリン酸カルシウムおよびステアリン酸アルミニウムなどの滑剤、熱安定剤、潤滑剤、染料、顔料などの公知の添加剤、のいずれか又はそれらの組み合わせであってもよい。
(ポリエステルフィルム層、及びポリアミドフィルム層)
本発明において好ましく用いられる上記ポリエステル樹脂又はポリアミド樹脂は、通常、延伸又は無延伸のフィルムの形態で用いられる。すなわち、本発明のプロセス用離型フィルムは、延伸若しくは無延伸のポリエステルフィルム層、又は延伸若しくは無延伸のポリアミドフィルム層を有することが好ましい。
本発明において好ましく用いられる上記ポリエステル樹脂又はポリアミド樹脂は、通常、延伸又は無延伸のフィルムの形態で用いられる。すなわち、本発明のプロセス用離型フィルムは、延伸若しくは無延伸のポリエステルフィルム層、又は延伸若しくは無延伸のポリアミドフィルム層を有することが好ましい。
本発明のプロセス用離型フィルムの全部または一部を構成するのに好適なポリエステルフィルム層の厚みは、フィルムとして製膜可能な範囲であれば特に限定されるものではないが、通常、12~250μm、好ましくは25~188μm、さらに好ましくは38~125μmの範囲である。延伸ポリエステルフィルムである場合には、3~50μmであることが好ましく、5~35μmであることが好ましく、7~20μmであることがさらに好ましい。また、無延伸ポリエステルフィルムである場合には、5~80μmであることが好ましく、8~50μmであることがさらに好ましく、10~35μmであることが特に好ましい。
上記ポリエステルフィルムの製造方法には特に制限はなく、従来公知の方法によって適宜製造することが可能であるが、延伸ポリエステルフィルムである場合には、例えば以下に記載の指針に従い製造することが好ましい。
まず、先に述べたポリエステル樹脂を使用し、ダイから押し出された溶融シートを冷却ロールで冷却固化して未延伸シートを得る方法が好ましい。この場合、シートの平面性を向上させるためシートと回転冷却ドラムとの密着性を高める必要があり、静電印加密着法および/または液体塗布密着法が好ましく採用される。次に得られた未延伸シートは二軸方向に延伸されることが好ましい。逐次二軸延伸の場合、前記の未延伸シートを、まず一方向にロールまたはテンター方式の延伸機により延伸する。延伸温度は、通常70~120℃、好ましくは80~110℃であり、延伸倍率は通常2.5~7倍、好ましくは3.0~6倍である。次いで、一段目の延伸方向と直交する方向に延伸することができる。延伸温度は通常70~170℃であり、延伸倍率は通常3.0~7倍、好ましくは3.5~6倍である。そして、引き続き180~270℃の温度で緊張下または30%以内の弛緩下で熱処理を行い、二軸配向フィルムを得る。上記の延伸においては、一方向の延伸を2段階以上で行う方法を採用することもできる。その場合、最終的に二方向の延伸倍率がそれぞれ上記範囲となるように行うのが好ましい。
まず、先に述べたポリエステル樹脂を使用し、ダイから押し出された溶融シートを冷却ロールで冷却固化して未延伸シートを得る方法が好ましい。この場合、シートの平面性を向上させるためシートと回転冷却ドラムとの密着性を高める必要があり、静電印加密着法および/または液体塗布密着法が好ましく採用される。次に得られた未延伸シートは二軸方向に延伸されることが好ましい。逐次二軸延伸の場合、前記の未延伸シートを、まず一方向にロールまたはテンター方式の延伸機により延伸する。延伸温度は、通常70~120℃、好ましくは80~110℃であり、延伸倍率は通常2.5~7倍、好ましくは3.0~6倍である。次いで、一段目の延伸方向と直交する方向に延伸することができる。延伸温度は通常70~170℃であり、延伸倍率は通常3.0~7倍、好ましくは3.5~6倍である。そして、引き続き180~270℃の温度で緊張下または30%以内の弛緩下で熱処理を行い、二軸配向フィルムを得る。上記の延伸においては、一方向の延伸を2段階以上で行う方法を採用することもできる。その場合、最終的に二方向の延伸倍率がそれぞれ上記範囲となるように行うのが好ましい。
また、本実施態様におけるポリエステルフィルム製造に関しては同時二軸延伸法を採用することもできる。同時二軸延伸法は前記の未延伸シートを通常70~120℃、好ましくは80~110℃で温度コントロールされた状態で機械方向および幅方向に同時に延伸し配向させる方法で、延伸倍率としては、面積倍率で4~50倍、好ましくは7~35倍、さらに好ましくは10~25倍が一般的である。そして、引き続き、170~250℃の温度で緊張下または30%以内の弛緩下で熱処理を行い、延伸配向フィルムを得る。上述の延伸方式を採用する同時二軸延伸装置に関しては、スクリュー方式、パンタグラフ方式、リニアー駆動方式等、従来から公知の延伸方式を適宜採用することができる。
さらに上述のポリエステルフィルム層がその表面に設けられた塗布層を有する場合には、上述のポリエステルフィルムの延伸工程中にフィルム表面を処理する、いわゆる塗布延伸法(インラインコーティング)を施すことができる。塗布延伸法によりポリエステルフィルム上に塗布層が設けられる場合には、延伸と同時に塗布が可能になると共に塗布層の厚みを延伸倍率に応じて薄くすることができ、所望の塗布層を有するポリエステルフィルム層を、効率よく製造できる。
本発明のプロセス用離型フィルムの全部または一部を構成するのに好適なポリアミドフィルムの厚みは、フィルムとして製膜可能な範囲であれば特に限定されるものではないが、通常、12~250μm、好ましくは25~188μm、さらに好ましくは38~125μmの範囲である。延伸ポリアミドフィルムである場合には、3~50μmであることが好ましく、5~35μmであることが好ましく、7~20μmであることがさらに好ましい。また、無延伸ポリアミドフィルムである場合には、5~80μmであることが好ましく、8~50μmであることがさらに好ましく、10~35μmであることが特に好ましい。
上記ポリアミドフィルムの製造方法には特に制限はなく、従来公知の方法によって適宜製造することが可能であるが、延伸ポリアミドフィルムである場合には、例えば以下の記載に従い製造することが好ましい。
延伸ポリアミドフィルムは、例えば、ポリアミド樹脂を押し出してフィルム状(原反フィルム)に成形した後、延伸して得ることができる。ポリアミド樹脂を押し出す際には、ポリアミド樹脂を単独で押し出してもよいし、ポリアミド樹脂と他の樹脂、例えば熱可塑性ポリアミド系エラストマー、とをドライブレンドして使用してもよいし、あらかじめ、単軸、あるいは二軸押出機を用いて溶融混練したものを用いることもできる。
二軸延伸ポリアミドフィルムを製造する場合には、次に、得られた未延伸フィルムを二軸方向に延伸することが好ましい。逐次二軸延伸の場合、前記の未延伸シートを、まず一方向にロールまたはテンター方式の延伸機により延伸する。延伸温度は、通常30~220℃、好ましくは50~210℃であり、延伸倍率は通常1.5~4.5倍、好ましくは2.5~4.0倍である。次いで、一段目の延伸方向と直交する方向に延伸することができる。延伸温度は通常30~220℃であり、延伸倍率は通常1.5~4.5倍、好ましくは2.5~4.0倍である。
そして、引き続き190~210℃の温度で熱処理を行い、二軸延伸ポリアミドフィルムを得る。上記の延伸においては、一方向の延伸を2段階以上で行う方法を採用することもできる。その場合、最終的に二方向の延伸倍率がそれぞれ上記範囲となるように行うのが好ましい。
延伸ポリアミドフィルムは、例えば、ポリアミド樹脂を押し出してフィルム状(原反フィルム)に成形した後、延伸して得ることができる。ポリアミド樹脂を押し出す際には、ポリアミド樹脂を単独で押し出してもよいし、ポリアミド樹脂と他の樹脂、例えば熱可塑性ポリアミド系エラストマー、とをドライブレンドして使用してもよいし、あらかじめ、単軸、あるいは二軸押出機を用いて溶融混練したものを用いることもできる。
二軸延伸ポリアミドフィルムを製造する場合には、次に、得られた未延伸フィルムを二軸方向に延伸することが好ましい。逐次二軸延伸の場合、前記の未延伸シートを、まず一方向にロールまたはテンター方式の延伸機により延伸する。延伸温度は、通常30~220℃、好ましくは50~210℃であり、延伸倍率は通常1.5~4.5倍、好ましくは2.5~4.0倍である。次いで、一段目の延伸方向と直交する方向に延伸することができる。延伸温度は通常30~220℃であり、延伸倍率は通常1.5~4.5倍、好ましくは2.5~4.0倍である。
そして、引き続き190~210℃の温度で熱処理を行い、二軸延伸ポリアミドフィルムを得る。上記の延伸においては、一方向の延伸を2段階以上で行う方法を採用することもできる。その場合、最終的に二方向の延伸倍率がそれぞれ上記範囲となるように行うのが好ましい。
また、本実施態様におけるポリアミドフィルム製造に関しては、同時二軸延伸法を採用することもできる。同時二軸延伸法は前記の未延伸ポリアミドフィルムを通常30~220℃、好ましくは50~210℃で温度コントロールされた状態で機械方向および幅方向に同時に延伸し配向させる方法で、延伸倍率としては、面積倍率で1.5~20倍、好ましくは5~15倍、さらに好ましくは8~12倍が一般的である。そして、引き続き、190~210℃の温度で熱処理を行い、延伸配向ポリアミドフィルムを得る。上述の延伸方式を採用する同時二軸延伸装置に関しては、スクリュー方式、パンタグラフ方式、リニアー駆動方式等、従来から公知の延伸方式を適宜採用することができる。
(多層フィルム)
本発明のプロセス用は、本発明の目的に反しない限りにおいて、単層であっても2層以上の多層フィルムであってもよい。
2層以上の多層フィルムである場合には、最外層に位置する少なくとも1の層の少なくとも1の表面が、(1)試験温度180℃においてナノインデンテーション法で測定したフィルム復元性値Rが、R ≧ 70(%)である、という特性を有する。
2層以上の多層フィルムを構成するそれぞれのフィルムの材質には特に制限は無いが、上記(1)試験温度180℃においてナノインデンテーション法で測定したフィルム復元性値Rが、R ≧ 70(%)である、という特性を有する少なくとも1の層が、ポリエステル樹脂、及び/又はポリアミド樹脂を含んでいることが好ましい。
本発明のプロセス用は、本発明の目的に反しない限りにおいて、単層であっても2層以上の多層フィルムであってもよい。
2層以上の多層フィルムである場合には、最外層に位置する少なくとも1の層の少なくとも1の表面が、(1)試験温度180℃においてナノインデンテーション法で測定したフィルム復元性値Rが、R ≧ 70(%)である、という特性を有する。
2層以上の多層フィルムを構成するそれぞれのフィルムの材質には特に制限は無いが、上記(1)試験温度180℃においてナノインデンテーション法で測定したフィルム復元性値Rが、R ≧ 70(%)である、という特性を有する少なくとも1の層が、ポリエステル樹脂、及び/又はポリアミド樹脂を含んでいることが好ましい。
上記(1)の特性を有する少なくとも1の層以外の層は、ポリエステル樹脂、及び/又はポリアミド樹脂を含んでなる層であってもよいし、それ以外の樹脂、例えばそれ以外の熱可塑性樹脂を含んでなる層であってもよい。より具体的には、例えばポリフェニレンスルファイド樹脂(PPS樹脂)、ポリスルホン樹脂(PSF樹脂)、ポリエーテルサルフォン樹脂(PES樹脂)、ポリエーテルエーテルケトン樹脂(PEEK樹脂)、ポリイミド樹脂(PI樹脂)、ポリアミドイミド樹脂(PAI樹脂)、ポリエーテルイミド樹脂(PEI樹脂)、ポリエチレンナフタレート樹脂(PEN樹脂)、ポリアセタール樹脂(POM樹脂)、ポリカーボネート樹脂(PC樹脂)、ポリフェニレンエーテル樹脂(PPE樹脂)、ポリブチレンテレフタレート樹脂(PBT樹脂)、ポリエチレンテレフタレート樹脂(PET樹脂)、環状ポリオレフィン樹脂(COP樹脂)、シンジオタクチックポリスチレン樹脂(SPS樹脂)、ポリメチルペンテン樹脂(PMP樹脂)、ポリメチルメタクリレート樹脂(PMMA樹脂)、ポリエチレン樹脂(PE樹脂)、ポリプロピレン樹脂(PP樹脂)、ポリスチレン樹脂(PS樹脂)、ポリ酢酸ビニル樹脂(PVAc樹脂)、アクリロニトリルブタジエンスチレン樹脂(ABS樹脂)若しくはアクリロニトリルスチレン樹脂(AS樹脂)、またはこれらの組み合わせ等を含んでなる層であってもよい。
上記態様において2層以上の樹脂層を積層する方法には特に制限はなく、従来公知の方法を適宜使用することができるが、例えば、ポリエステル樹脂、及び/又はポリアミド樹脂を含んでなる層と他の樹脂からなる層とを積層する場合、ポリエステル樹脂、及び/又はポリアミド樹脂と他の樹脂とを共押し出しして多層フィルム(原反フィルム)を得、これを延伸してもよい。あるいは、別々に得たポリエステル樹脂、及び/又はポリアミド樹脂を含んでなる延伸フィルムと他の樹脂からなる延伸フィルムとを熱圧着、接着剤、接着層などにより積層してもよい。ポリエステル樹脂、及び/又はポリアミド樹脂と他の樹脂とを共押し出しして原反フィルムを得るには、通常のTダイ法、円筒ダイ法(インフレーション法)等の製膜法を用いることができる。
接着剤、接着層により積層する場合の接着剤、接着層に用いる樹脂は、両層の間の接着力を向上させることができる樹脂であればよく、特に制限は無いが、エポキシ系化合物、イソシアネート系化合物、アクリル系化合物やウレタン系化合物に代表される接着剤を適宜選択して使用することができる。また、接着対象である、ポリエステル樹脂、ポリアミド樹脂、若しくは他の樹脂、又はその複数と同一又は類似の樹脂を、不飽和カルボン酸及び/又はその酸無水物によりグラフト変性した樹脂を使用してもよい。
グラフトモノマーとして用いられる不飽和カルボン酸及び/又はその酸無水物としては、炭素数3~20のカルボン酸基を1以上有する不飽和化合物、無水カルボン酸基を1以上有する不飽和化合物を挙げることができ、不飽和基としては、ビニル基、ビニレン基、不飽和環状炭化水素基などを挙げることができる。具体的には、アクリル酸、メタクリル酸等の不飽和モノカルボン酸;マレイン酸、フマル酸、イタコン酸、シトラコン酸、アリルコハク酸、メサコン酸、グルタコン酸、ナジック酸TM、メチルナジック酸、テトラヒドロフタル酸、メチルヘキサヒドロフタル酸等の不飽和ジカルボン酸;無水マイレン酸、無水イタコン酸、無水シトラコン酸、無水アリルコハク酸、無水グルタコン酸、無水ナジック酸TM、無水メチルナジック酸、無水テトラヒドロフタル酸、無水メチルテトラヒドロフタル酸等の不飽和ジカルボン酸無水物等があげられる。これらは1種単独であるいは2種以上を組み合わせて使用することができる。なかでも、マレイン酸、無水マレイン酸、ナジック酸、及び無水ナジック酸が好ましい。
また、グラフト率は、通常20重量%未満であり、好ましくは0.1~5重量%、より好ましくは0.5~2重量%である。グラフト量が上記範囲にあることにより、上記グラフト変性樹脂は、樹脂としての機械的性質、安定性等を損なうことなしに、十分な接着性を実現することができる。上記グラフト変性樹脂は、溶液法、溶融混練法等、公知のグラフト重合法により製造することができるが、なかでも、溶液の形態で得られる溶液法が好ましい。
また、グラフト率は、通常20重量%未満であり、好ましくは0.1~5重量%、より好ましくは0.5~2重量%である。グラフト量が上記範囲にあることにより、上記グラフト変性樹脂は、樹脂としての機械的性質、安定性等を損なうことなしに、十分な接着性を実現することができる。上記グラフト変性樹脂は、溶液法、溶融混練法等、公知のグラフト重合法により製造することができるが、なかでも、溶液の形態で得られる溶液法が好ましい。
本発明のプロセス用離型フィルムは、温度、圧力等が従来よりも高い条件での熱プレス、又はより長時間の熱プレス等の過酷な条件においても、粗度の高い銅箔等の金属表面から、容易に、かつ十分に剥離することができるので、表面粗度が大きな金属表面、粗面化処理された金属表面からの剥離を伴うプロセス、例えば多層プリント配線板をはじめとする、金属/樹脂積層体の製造プロセスにおいて好ましく用いることができる。
本発明のプロセス用離型フィルムを金属/樹脂積層体の製造プロセスに使用する場合には、本発明のプロセス用離型用フィルムを、その(1)試験温度180℃においてナノインデンテーション法で測定したフィルム復元性値Rが、R ≧ 70(%)であるという特性を有する少なくとも1の面において、粗面化処理された金属箔層と接触させて熱プレス加工し、次いで、該プロセス用離型フィルムを、該金属箔層から剥離する。
多層プリント配線板の材料となる片面銅張積層版、両面銅張積層版等の銅箔層の表面粗度は、通常Rzで1.0~6.5μm、典型的には1.5~4.0μmであり、本発明のプロセス用離型フィルムは、この様な表面粗度を有する銅箔層等の金属表面からの剥離に特に好適である。
本発明のプロセス用離型フィルムを金属/樹脂積層体の製造プロセスに使用する場合には、本発明のプロセス用離型用フィルムを、その(1)試験温度180℃においてナノインデンテーション法で測定したフィルム復元性値Rが、R ≧ 70(%)であるという特性を有する少なくとも1の面において、粗面化処理された金属箔層と接触させて熱プレス加工し、次いで、該プロセス用離型フィルムを、該金属箔層から剥離する。
多層プリント配線板の材料となる片面銅張積層版、両面銅張積層版等の銅箔層の表面粗度は、通常Rzで1.0~6.5μm、典型的には1.5~4.0μmであり、本発明のプロセス用離型フィルムは、この様な表面粗度を有する銅箔層等の金属表面からの剥離に特に好適である。
以下、5層プリント配線板の製造を例として、多層プリント配線板の製造における本発明のプロセス用離型フィルムの使用について説明する。
銅箔層2と銅箔層3および硬化したガラス繊維-エポキシ樹脂複合絶縁体1からなる両面銅張り積層板の銅箔層2と銅箔層3にプリント配線パターン形成をした後、銅箔層2、銅箔層3に対して黒化処理や有機酸系エッチング処理剤を用いたエッチング処理等を行う。この黒化処理等のエッチング処理は、銅箔の表面を粗面化させる処理であり、接着プリプレグとの接着性を上げることができる。
つぎに、接着プリプレグ6を用いて、上記基板と銅箔層7との間で第1回目の多層積層を行う。このとき、銅箔層2の外側に、本発明に相当するプロセス用離型フィルム4を置き、銅箔層7の外側にも、同じく本発明に相当するプロセス用離型フィルム5を置き、積層面に垂直方向に熱プレスによる加熱、加圧を行う(図2)。加熱、加圧における条件は、例えば190℃、圧力30kg/cm2 、時間40分とすることが好ましい。
加熱、加圧後、本発明のプロセス用離型フィルム4及び5を容易に剥離することができ、また、銅箔層2及び7の表面の傷の発生も有効に抑制することができる(図3)。
加熱、加圧後、本発明のプロセス用離型フィルム4及び5を容易に剥離することができ、また、銅箔層2及び7の表面の傷の発生も有効に抑制することができる(図3)。
続いて図4に示すように、銅箔層11と銅箔層9および硬化したガラス繊維-エポキシ樹脂複合絶縁体10からなる積層板と先に作成した銅箔層2、銅箔層3、銅箔層7からなる3層基板とを接着プリプレグ8を用いて第2回目の多層積層を行う。銅箔層11および銅箔層2の外側に離型フィルム5および離型フィルム4を置き、加熱、加圧して、積層一体化を行う。加熱、加圧条件は、例えば190℃、圧力30kg/cm2 、時間40分とすることが好ましい。
加熱、加圧後、本発明のプロセス用離型フィルム4及び5を容易に剥離することができ、また、銅箔層2及び11の表面の傷の発生も有効に抑制することができる(図5)。
加熱、加圧後、本発明のプロセス用離型フィルム4及び5を容易に剥離することができ、また、銅箔層2及び11の表面の傷の発生も有効に抑制することができる(図5)。
以上、5層プリント配線板の製造を例として、多層プリント配線板の製造における本発明のプロセス用離型フィルムの使用について説明したが、本発明のプロセス用離型フィルムは、それ以外の構成の多層プリント配線板の製造においても好適に使用することができる。また、多層プリント配線板に限らず、金属/樹脂積層体の製造等の、粗度の高い金属表面を有する部材を加熱、加圧する製造プロセスにおいても、その優れた粗面からの剥離性を活かして、好適に使用することができる。
本発明のプロセス用離型フィルムを用いることで、多層プリント配線板を高品質、低コスト、かつ高い生産効率で製造することができる。この様な多層プリント配線基板は、電子部品の実装に好適に使用することができ、また情報処理機器、ディスプレイ、通信機器、輸送機器等に用いられる電気電子機器に好適に搭載される。
以下、本発明を実施例によりさらに詳細に説明するが、本発明は、これにより何ら限定
されるものではない。
されるものではない。
以下の実施例/比較例において、物性/特性の評価は下記の方法で行った。
(180℃におけるナノインデンテーション法によるフィルム復元性値R)
測定温度180℃において、ナノインデンターを用いて稜間角115°の三角錐ダイヤモンド圧子(Berkovich圧子)を、最大押し込み荷重2mNでフィルム測定面に押し込んでから除荷して、最大押し込み荷重(2mN)時の押し込み深さと、除荷後(0mN)の押し込み深さを測定した。下式にしたがって計算される、得られた最大押し込み荷重(2mN)時の押し込み深さと、除荷後(0mN)の押し込み深の比を、フィルム復元性値Rとした。
フィルム復元性値R=除荷後の押し込み深さ/最大押し込み荷重時の押し込み深さ
(180℃におけるナノインデンテーション法によるフィルム復元性値R)
測定温度180℃において、ナノインデンターを用いて稜間角115°の三角錐ダイヤモンド圧子(Berkovich圧子)を、最大押し込み荷重2mNでフィルム測定面に押し込んでから除荷して、最大押し込み荷重(2mN)時の押し込み深さと、除荷後(0mN)の押し込み深さを測定した。下式にしたがって計算される、得られた最大押し込み荷重(2mN)時の押し込み深さと、除荷後(0mN)の押し込み深の比を、フィルム復元性値Rとした。
フィルム復元性値R=除荷後の押し込み深さ/最大押し込み荷重時の押し込み深さ
(180℃におけるナノインデンテーションによる硬度H)
測定温度180℃において、ナノインデンターを用いて稜間角115°の三角錐ダイヤモンド圧子(Berkovich圧子)を、最大押し込み荷重2mNでフィルム測定面に押し込んでから除荷した際の、最大押し込み荷重(Fmax)、押し込み深さ(hc)から、下式にしたがって計算した。
硬度H=Fmax/(23.96×hc 2)
測定温度180℃において、ナノインデンターを用いて稜間角115°の三角錐ダイヤモンド圧子(Berkovich圧子)を、最大押し込み荷重2mNでフィルム測定面に押し込んでから除荷した際の、最大押し込み荷重(Fmax)、押し込み深さ(hc)から、下式にしたがって計算した。
硬度H=Fmax/(23.96×hc 2)
(離型性)
熱プレスでの銅張り積層板の製造にプロセス用離型フィルムを使用し、プレス解放、冷却後、プロセス用離型フィルムに手で張力を加えて剥離を試み、剥離性を以下の基準で評価した。
○:プレスの解放後張力を加えると、プロセス用離型フィルムが銅箔層表面から簡単に剥離した。
×:プロセス用離型フィルムが銅箔層表面に密着しており、手では剥がせない。
熱プレスでの銅張り積層板の製造にプロセス用離型フィルムを使用し、プレス解放、冷却後、プロセス用離型フィルムに手で張力を加えて剥離を試み、剥離性を以下の基準で評価した。
○:プレスの解放後張力を加えると、プロセス用離型フィルムが銅箔層表面から簡単に剥離した。
×:プロセス用離型フィルムが銅箔層表面に密着しており、手では剥がせない。
[実施例1]
プロセス用離型フィルムとして、膜厚12μmの二軸延伸PET(ポリエチレンテレフタレート)フィルム(ユニチカ株式会社製、製品名:エンブレットPET12)を使用した。
当該二軸延伸PETフィルムの、試験温度180℃においてナノインデンテーション法で測定したフィルム復元性値Rは、70.8%であり、同じく試験温度180℃においてナノインデンテーション法で測定した硬度Hは、111.0MPaであった。
銅張積層板は、FR4(ガラスエポキシ/銅箔18μm両面、250×200mm×0.2mmt)を使用し、有機酸系のエッチング剤(メック株式会社製、製品名:メックVボンドBO-7790V)を用いて銅箔表面粗度がRa:2μmになるようエッチング処理した粗面化銅張積層板を使用した。この銅張積層板と銅張積層板の間に、樹脂層(接着プリプレグ)を介して重ね合わせ、その最上面と最下面に、更にプロセス用離型フィルムを配置後、180℃、25kg、60分の条件で熱プレスし、フィルムの銅箔からの剥離性を確認した。
プレス解放、冷却後に手で張力を加えたところ、プロセス用離型フィルムは容易に銅箔層から剥離した。
[実施例2]
プロセス用離型フィルムとして、膜厚15μmの二軸延伸ナイロンフィルム(興人フィルム&ケミカルズ株式会社製、製品名:ボニールRX)を使用した。
当該二軸延伸ナイロンフィルムの、試験温度180℃においてナノインデンテーション法で測定したフィルム復元性値Rは、77.7%であり、同じく試験温度180℃においてナノインデンテーション法で測定した硬度Hは、58.7MPaであった。
実施例1と同様の条件で、積層板の製造プロセスに使用した。
プレス解放、冷却後に張力を加えたところ、離型フィルムは容易に銅箔層から剥離した。
[実施例3]
市販のPBT(ポリブチレンテレフタレート)樹脂(Tm=224℃、IV=1.2、〔三菱エンジニアリングプラスチックス(株)社製、商品名:ノバデュラン 5020〕
)を用いて、スクリュー径40mmの押出機のT-ダイフィルム成形機にて、樹脂温度250℃、チルロール温度80℃、エアーチャンバー静圧440mmHGの条件下、20μmの無延伸PBTフィルムを作製し、プロセス用離型フィルムとして使用した。
当該無延伸PBTフィルムの、試験温度180℃においてナノインデンテーション法で測定したフィルム復元性値Rは、78.3%であり、同じく試験温度180℃においてナノインデンテーション法で測定した硬度Hは、68.0MPaであった。
実施例1と同様の条件で、積層板の製造プロセスに使用した。
プレス解放、冷却後に張力を加えたところ、離型フィルムは容易に銅箔層から剥離した。
[実施例4]
プロセス用離型フィルムとして、膜厚20μmの無延伸ナイロンフィルム(東レフィルム加工株式会社製、製品名:レイファンNO1401)を使用した。
当該無延伸ナイロンフィルムの、試験温度180℃においてナノインデンテーション法で測定したフィルム復元性値Rは、76.6%であり、同じく試験温度180℃においてナノインデンテーション法で測定した硬度Hは、81.9MPaであった。
実施例1と同様の条件で、積層板の製造プロセスに使用した。
プレス解放後に張力を加えたところ、離型フィルムは容易に銅箔層から剥離した。
[比較例1]
プロセス用離型フィルムとして、膜厚16μmの二軸延伸ポリエチレンテレフタレート(PET)フィルム(東レフィルム加工株式会社製、製品名:ルミラーF865)を使用した。
当該二軸延伸PETフィルムの、試験温度180℃においてナノインデンテーション法で測定したフィルム復元性値Rは、68.5%であり、同じく試験温度180℃においてナノインデンテーション法で測定した硬度Hは、34.7MPaであった。
実施例1と同様の条件で、積層板の製造プロセスに使用した。
プレス解放後に張力を加えたが、離型フィルムは銅箔層表面に密着しており、手では剥がすことができなかった。
結果を、表1にまとめる。
プロセス用離型フィルムとして、膜厚12μmの二軸延伸PET(ポリエチレンテレフタレート)フィルム(ユニチカ株式会社製、製品名:エンブレットPET12)を使用した。
当該二軸延伸PETフィルムの、試験温度180℃においてナノインデンテーション法で測定したフィルム復元性値Rは、70.8%であり、同じく試験温度180℃においてナノインデンテーション法で測定した硬度Hは、111.0MPaであった。
銅張積層板は、FR4(ガラスエポキシ/銅箔18μm両面、250×200mm×0.2mmt)を使用し、有機酸系のエッチング剤(メック株式会社製、製品名:メックVボンドBO-7790V)を用いて銅箔表面粗度がRa:2μmになるようエッチング処理した粗面化銅張積層板を使用した。この銅張積層板と銅張積層板の間に、樹脂層(接着プリプレグ)を介して重ね合わせ、その最上面と最下面に、更にプロセス用離型フィルムを配置後、180℃、25kg、60分の条件で熱プレスし、フィルムの銅箔からの剥離性を確認した。
プレス解放、冷却後に手で張力を加えたところ、プロセス用離型フィルムは容易に銅箔層から剥離した。
[実施例2]
プロセス用離型フィルムとして、膜厚15μmの二軸延伸ナイロンフィルム(興人フィルム&ケミカルズ株式会社製、製品名:ボニールRX)を使用した。
当該二軸延伸ナイロンフィルムの、試験温度180℃においてナノインデンテーション法で測定したフィルム復元性値Rは、77.7%であり、同じく試験温度180℃においてナノインデンテーション法で測定した硬度Hは、58.7MPaであった。
実施例1と同様の条件で、積層板の製造プロセスに使用した。
プレス解放、冷却後に張力を加えたところ、離型フィルムは容易に銅箔層から剥離した。
[実施例3]
市販のPBT(ポリブチレンテレフタレート)樹脂(Tm=224℃、IV=1.2、〔三菱エンジニアリングプラスチックス(株)社製、商品名:ノバデュラン 5020〕
)を用いて、スクリュー径40mmの押出機のT-ダイフィルム成形機にて、樹脂温度250℃、チルロール温度80℃、エアーチャンバー静圧440mmHGの条件下、20μmの無延伸PBTフィルムを作製し、プロセス用離型フィルムとして使用した。
当該無延伸PBTフィルムの、試験温度180℃においてナノインデンテーション法で測定したフィルム復元性値Rは、78.3%であり、同じく試験温度180℃においてナノインデンテーション法で測定した硬度Hは、68.0MPaであった。
実施例1と同様の条件で、積層板の製造プロセスに使用した。
プレス解放、冷却後に張力を加えたところ、離型フィルムは容易に銅箔層から剥離した。
[実施例4]
プロセス用離型フィルムとして、膜厚20μmの無延伸ナイロンフィルム(東レフィルム加工株式会社製、製品名:レイファンNO1401)を使用した。
当該無延伸ナイロンフィルムの、試験温度180℃においてナノインデンテーション法で測定したフィルム復元性値Rは、76.6%であり、同じく試験温度180℃においてナノインデンテーション法で測定した硬度Hは、81.9MPaであった。
実施例1と同様の条件で、積層板の製造プロセスに使用した。
プレス解放後に張力を加えたところ、離型フィルムは容易に銅箔層から剥離した。
[比較例1]
プロセス用離型フィルムとして、膜厚16μmの二軸延伸ポリエチレンテレフタレート(PET)フィルム(東レフィルム加工株式会社製、製品名:ルミラーF865)を使用した。
当該二軸延伸PETフィルムの、試験温度180℃においてナノインデンテーション法で測定したフィルム復元性値Rは、68.5%であり、同じく試験温度180℃においてナノインデンテーション法で測定した硬度Hは、34.7MPaであった。
実施例1と同様の条件で、積層板の製造プロセスに使用した。
プレス解放後に張力を加えたが、離型フィルムは銅箔層表面に密着しており、手では剥がすことができなかった。
結果を、表1にまとめる。
本発明のプロセス用離型フィルムは、過酷な条件でのプロセス後においても、粗度の高い金属表面から、容易にかつ十分に剥離することができるので、産業の各分野、とりわけ多層プリント配線板の製造をはじめとする電気電子産業の分野において、高い利用可能性を有する。
1:ガラス繊維-エポキシ樹脂複合絶縁体
2:銅箔層
3:銅箔層
4:離型フィルム
5:離型フィルム
6:接着プリプレグ
7:銅箔層
8:接着プリプレグ
9:銅箔層
10:ガラス繊維-エポキシ樹脂複合絶縁体
11:銅箔層
2:銅箔層
3:銅箔層
4:離型フィルム
5:離型フィルム
6:接着プリプレグ
7:銅箔層
8:接着プリプレグ
9:銅箔層
10:ガラス繊維-エポキシ樹脂複合絶縁体
11:銅箔層
Claims (10)
- 熱可塑性樹脂を含んでなるプロセス用離型フィルムであって、その少なくとも1の面が、以下の特性を有する、上記プロセス用離型フィルム:
(1)試験温度180℃においてナノインデンテーション法で測定したフィルム復元性値Rが、
R ≧ 70(%)
である。 - 熱可塑性樹脂を含んでなるプロセス用離型フィルムであって、その少なくとも1の面が以下の特性を有する、請求項1に記載のプロセス用離型フィルム:
(2)試験温度180℃においてナノインデンテーション法で測定した硬度Hが、
H ≧ 40(MPa)
である。 - 前記(1)の特性を有する少なくとも1の面と、前記(2)の特性を有する少なくとも1の面とが、同一の面である、請求項2に記載のプロセス用離型フィルム。
- ポリエステル樹脂、及び/又はポリアミド樹脂を含んでなる、請求項1から3のいずれか一項に記載のプロセス用離型フィルム。
- 延伸若しくは無延伸のポリエステルフィルム層、又は延伸若しくは無延伸のポリアミドフィルム層を有する、請求項1から4のいずれか一項に記載のプロセス用離型フィルム。
- 粗面化処理された金属表面からの剥離に用いられる、請求項1から5のいずれか一項に記載のプロセス用離型フィルム。
- 表面粗度Rzが、1.0~6.5μmである金属表面からの剥離に用いられる、請求項1から6のいずれか一項に記載のプロセス用離型フィルム。
- 請求項1から7のいずれか一項に記載のプロセス用離型用フィルムを、上記(1)の特性を有する少なくとも1の面において、粗面化処理された金属箔層と接触させて熱プレスする工程、及び
該プロセス用離型用フィルムを、該金属箔層から剥離する工程、
を有することを特徴とする金属/樹脂積層体の製造方法。 - 前記金属/樹脂積層体が、多層プリント配線板である、請求項8に記載の製造方法。
- 請求項9に記載の製造方法によって製造された多層プリント基板を有する、電気電子機器。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020187029792A KR20180126013A (ko) | 2016-05-16 | 2017-05-02 | 다층 프린트 배선판 제조에 적합한 이형 필름 |
CN201780023994.0A CN109070399B (zh) | 2016-05-16 | 2017-05-02 | 适于多层印刷配线板的制造的离型膜 |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016098229A JP2017205902A (ja) | 2016-05-16 | 2016-05-16 | 多層プリント配線板の製造に好適な離型フィルム |
JP2016-098229 | 2016-05-16 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
WO2017199764A1 true WO2017199764A1 (ja) | 2017-11-23 |
Family
ID=60325078
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
PCT/JP2017/017226 WO2017199764A1 (ja) | 2016-05-16 | 2017-05-02 | 多層プリント配線板の製造に好適な離型フィルム |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2017205902A (ja) |
KR (1) | KR20180126013A (ja) |
CN (1) | CN109070399B (ja) |
TW (1) | TWI726098B (ja) |
WO (1) | WO2017199764A1 (ja) |
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CN109070399B (zh) | 2021-01-26 |
JP2017205902A (ja) | 2017-11-24 |
TWI726098B (zh) | 2021-05-01 |
CN109070399A (zh) | 2018-12-21 |
KR20180126013A (ko) | 2018-11-26 |
TW201811528A (zh) | 2018-04-01 |
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Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
ENP | Entry into the national phase |
Ref document number: 20187029792 Country of ref document: KR Kind code of ref document: A |
|
NENP | Non-entry into the national phase |
Ref country code: DE |
|
121 | Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application |
Ref document number: 17799190 Country of ref document: EP Kind code of ref document: A1 |
|
122 | Ep: pct application non-entry in european phase |
Ref document number: 17799190 Country of ref document: EP Kind code of ref document: A1 |