WO2017187980A1 - 流体制御弁 - Google Patents

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WO2017187980A1
WO2017187980A1 PCT/JP2017/014948 JP2017014948W WO2017187980A1 WO 2017187980 A1 WO2017187980 A1 WO 2017187980A1 JP 2017014948 W JP2017014948 W JP 2017014948W WO 2017187980 A1 WO2017187980 A1 WO 2017187980A1
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WO
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valve
opening
port
flow path
fluid
Prior art date
Application number
PCT/JP2017/014948
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English (en)
French (fr)
Inventor
須賀直行
吉原正彦
Original Assignee
Smc株式会社
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Publication date
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Priority to DE112017002252.5T priority patent/DE112017002252B4/de
Priority to MX2018013013A priority patent/MX2018013013A/es
Priority to BR112018072185-9A priority patent/BR112018072185B1/pt
Priority to KR1020187031611A priority patent/KR102274208B1/ko
Priority to RU2018141383A priority patent/RU2730205C2/ru
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    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B11/00—Servomotor systems without provision for follow-up action; Circuits therefor
    • F15B11/06—Servomotor systems without provision for follow-up action; Circuits therefor involving features specific to the use of a compressible medium, e.g. air, steam
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K31/00—Actuating devices; Operating means; Releasing devices
    • F16K31/12—Actuating devices; Operating means; Releasing devices actuated by fluid
    • F16K31/122—Actuating devices; Operating means; Releasing devices actuated by fluid the fluid acting on a piston
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B11/00—Servomotor systems without provision for follow-up action; Circuits therefor

Definitions

  • the present invention relates to a fluid control valve that controls the flow rate and pressure of a pressure fluid supplied to or discharged from an actuator such as a fluid pressure cylinder.
  • Patent Literature 1 A fluid control valve that controls the flow rate, pressure, and the like of a pressure fluid supplied to or discharged from an actuator such as a fluid pressure cylinder is disclosed in, for example, Patent Literature 1 and Patent Literature 2. As shown, those having various configurations are known.
  • This type of fluid control valve is usually a needle valve that restricts the flow rate or pressure of the pressure fluid by restricting the flow channel, a flow rate adjustment valve that opens and closes the flow channel by the interaction between the fluid pressure and the spring force, or pressure Combined with a check valve that allows fluid to flow in only one direction, the flow rate during supply is controlled by limiting the flow rate during supply and the flow rate during exhaust is unrestricted, and the flow rate during supply is unrestricted
  • the system is configured to have various functions depending on the purpose of use, such as one that performs meter-out control that restricts the flow rate during exhaust, or one that performs rapid exhaust during exhaust to prevent operation delay.
  • the conventional fluid control valve incorporates the needle valve, the flow rate adjustment valve, or the check valve individually in the valve housing, the structure is complicated and many large-sized ones are inconvenient to adjust and handle.
  • Patent Document 3 the applicant of the present application combines the functions of a needle valve and the function of a flow control valve into one into a valve housing so that the conventional fluid control is performed.
  • a fluid control valve has been proposed that has a rational design structure that is simpler, smaller, and easier to use than the valve.
  • this fluid control valve is used in an application that requires a higher degree of responsiveness than usual in the fluid pressure actuator, the fluid control valve fluid control valve does not cause a delay in operation. It is necessary to further improve the ability.
  • JP 2000-320503 A JP 2000-322128 A International Publication No. 2015/029866
  • an object of the present invention is to provide a fluid control valve that has a simple structure and is downsized, and that has a superior fluid control capability when used in connection with a fluid pressure circuit.
  • a fluid control valve of the present invention includes a first port and a second port provided in a valve body, a first flow path and a second port connecting the first port and the second port in parallel.
  • An open / close valve mechanism that temporarily opens the first flow path when a pressurized fluid is supplied to the first port, and the second flow path is provided in the first flow path.
  • the open / close valve mechanism includes an open / close valve seat surrounding the first flow path, and the first open / close valve seat.
  • An opening / closing valve portion comprising an opening / closing valve body for opening / closing one flow path, a valve opening force generating means for generating a valve opening force on the opening / closing valve body, and a delay for closing the opened valve body after a delay time has elapsed.
  • the throttle valve mechanism includes a throttle hole that forms part of the second flow path, and a knee that fits into the throttle hole.
  • the delay valve closing mechanism includes a first piston connected to the opening / closing valve body, a first pressure chamber facing the first piston, the first pressure chamber, and the first pressure chamber.
  • a delay channel connecting to one port, and a throttle portion is formed in the delay channel, and is generated in the first piston by the action of pressure fluid introduced into the first pressure chamber through the delay channel.
  • an inner body is accommodated in the valve body so as to be displaceable along the axis, and the on-off valve body and the first piston are formed in the inner body, and the valve body The on-off valve seat is formed.
  • a valve rod may be accommodated inside the inner body so as to be displaceable along the axis, the needle may be formed on the valve rod, and the throttle hole may be formed on the inner body.
  • the valve rod is provided with a second piston, the second piston faces a second pressure chamber formed inside the inner body, and the second pressure chamber is connected to the valve rod.
  • a needle opening spring is interposed between the inner body and the valve rod, and the needle opening spring is always attached toward the position where the needle restrictively opens the throttle hole. It is desirable that
  • a third flow path connecting the first port and the second port is further provided, and a first check valve is provided in the third flow path, and the first check valve is the first check valve.
  • the valve opening force generating means is a valve-opening pressure receiving surface formed on the opening / closing valve body, and the valve-opening pressure receiving surface is supplied to the first port.
  • the valve opening force is generated under the action of the pressurized fluid.
  • the valve opening force generating means is interposed between the valve body and the opening / closing valve body and biases the opening / closing valve body in the valve opening direction. It is a spring.
  • the fluid control valve of the present invention can realize simplification and downsizing of the structure by rationally incorporating functions such as a needle valve, a flow control valve or a check valve into the inside of one valve body, In addition, by providing an on-off valve mechanism that temporarily opens the flow path when the pressure fluid is supplied to the first port, the fluid control capability can be enhanced and the responsiveness can be improved.
  • FIG. 1 It is sectional drawing of the state which connected the fluid control valve which concerns on 1st Embodiment of this invention to the fluid pressure circuit, and is a figure in case a fluid pressure cylinder exists in an advance end. It is a principal part enlarged view of FIG. It is a principal part enlarged view of FIG.
  • the fluid pressure circuit it is a sectional view showing an operating state of the fluid control valve immediately after the fluid pressure cylinder starts a work stroke (reverse stroke).
  • the fluid pressure circuit it is a sectional view showing an operation state of the fluid control valve when the fluid pressure cylinder is moving at an intermediate point of a work stroke.
  • the fluid pressure circuit it is a sectional view showing an operation state of the fluid control valve when the fluid pressure cylinder reaches the end of a work stroke. It is a circuit diagram at the time of symbolizing the said fluid control valve. It is a diagram which shows roughly the relationship between the pressure change of a rod side chamber and a head side chamber, and the operation
  • FIG. 1 to 6 are sectional views showing a state in which the fluid control valve 1A according to the first embodiment of the present invention is connected to a fluid pressure circuit
  • FIG. 7 shows the fluid control valve 1A as a symbol. is there.
  • the fluid control valve 1A is a meter-in control type fluid control valve, and controls the flow rate of the pressure fluid supplied from the pressure fluid source 4 via the electromagnetic valve 3 to the fluid pressure actuator 2.
  • the fluid pressure actuator 2 is a fluid pressure cylinder
  • the solenoid valve 3 is a 5-port valve
  • the pressure fluid is compressed air.
  • Reference numeral 5 denotes a speed controller
  • the speed controller 5 includes a check valve 5a and a variable throttle valve 5b.
  • the fluid control valve 1A has a substantially cylindrical valve body 10 extending along the axis L as shown in FIGS.
  • the valve body 10 includes a hollow first body portion 10a and a hollow second body portion 10b connected to a lower end portion of the first body portion 10a.
  • the upper end side of the upper and lower ends of the valve body 10 is referred to as a first end 11a, and the lower end side is referred to as a second end 11b.
  • a hollow port forming portion 12 is formed on the side surface of the first body portion 10a so as to protrude in a direction orthogonal to the axis L, and a first port 13a is formed at the tip of the port forming portion 12, A second port 13b is formed at the lower end of the second body portion 10b, that is, the second end 11b so as to open in the direction of the axis L.
  • a cylindrical member 14 for forming a flow path is disposed at a position on the axis L inside the second body portion 10b so as to be coaxial with the second body portion 10b. The cylindrical member 14 forms a part of the second body portion 10b and is therefore a part of the valve body 10.
  • a simple connection type pipe joint 15 is attached to the first port 13a.
  • the pipe joint 15 is inserted into the outer periphery of the pipe 6 to be locked.
  • the tip of the release bush 15 b spreads the locking piece 15 a outward and separates from the pipe 6. Can be extracted.
  • a cylindrical inner body 20 is coaxial with the first body portion 10a via a unidirectional first seal member 21 having a V-shaped cross section. And is slidable along the axis L.
  • a cylindrical valve rod 22 is coaxially connected to the inner body 20 and to the axis L via a unidirectional second seal member 23 having a V-shaped cross section inside the inner body 20. It is accommodated so that it can slide along.
  • an end plate 24 covers the end of the inner body 20 at the upper end of the first body portion 10a, that is, the end on the first end 11a side, at a position outside the end of the inner body 20.
  • the upper end of the valve rod 22 penetrates the end plate 24 through a seal member 25 and protrudes outside the end plate 24.
  • the fluid flow path 26 connecting the first port 13a and the second port 13b.
  • the fluid flow path 26 includes a first flow path 27 and a second flow path that are in parallel with each other between a first merge hole 26a that communicates with the first port 13a and a second merge hole 26b that communicates with the second port 13b. It branches into a flow path 28 and a third flow path 29.
  • the first flow path 27 includes a first annular flow path hole 31 formed between an inner peripheral surface of the first body portion 10a and an outer peripheral surface of the inner body 20 from the first merge hole 26a.
  • the flow path communicates with the second joining hole 26b through an opening / closing hole 32 at the upper end of the cylindrical member 14 and a central hole 33 communicating with the opening / closing hole 32.
  • the first flow path 27 is a flow path for temporarily opening the fluid flow path 26 to a fully open state or a state close to full open in the initial stage of supplying the pressure fluid to the fluid pressure cylinder 2.
  • the first flow path 27 is provided with an on-off valve mechanism 34 and a delay valve closing mechanism 35 for closing the opened first flow path 27 after a delay time has elapsed.
  • the second flow path 28 includes a plurality of branch holes 38 formed radially from the first annular flow path hole 31 in the inner body 20, a rod insertion hole 39 inside the inner body 20, and the rod This is a flow path that communicates with the second joining hole 26 b via the throttle hole 40 that communicates with the insertion hole 39 and the central hole 33 inside the cylindrical member 14.
  • the second flow path 28 is a flow path for performing meter-in control by restricting supply of pressure fluid to the fluid pressure cylinder 2. For this reason, the second flow path 28 includes a throttle valve mechanism 41. Is provided.
  • the third flow path 29 is a second annular flow path formed between the first annular flow path hole 31 and the inner peripheral surface of the second body portion 10 b and the outer peripheral surface of the cylindrical member 14. This is a flow path that passes through the hole 43 and communicates with the second joining hole 26b.
  • the third flow path 29 is closed when pressure fluid is supplied to the fluid pressure cylinder 2, and when the pressure fluid is discharged from the fluid pressure cylinder 2, the pressure fluid is allowed to flow in a free flow state.
  • the third flow path 29 is provided with a first check valve 44.
  • the first check valve 44 is formed of a unidirectional seal member having a Y-shaped cross section, and the lip 44a is directed toward the first port 13a so that the first check valve 44 is directed to the second port 13b. The forward flow of the pressure fluid is prevented, and the backward flow of the pressure fluid from the second port 13b toward the first port 13a is allowed.
  • the on-off valve mechanism 34 provided in the first flow path 27 has an annular on-off valve seat 46a surrounding the on-off hole 32, and the on-off hole 32, that is, the first on-off valve seat 46a. It has an on-off valve portion 46 composed of an on-off valve body 46b for opening and closing the flow path 27, and a valve opening force generating means 47 for generating a valve opening force on the on-off valve body 46b.
  • the on-off valve seat 46 a is formed on the cylindrical member 14, and the on-off valve body 46 b is formed on the lower end portion of the inner body 20.
  • the on-off valve body 46b is provided with an on-off valve seal 46c that contacts and separates from the on-off valve seat 46a.
  • the seal diameter when the on-off valve seal 46c abuts on the on-off valve seat 46a is smaller than the seal diameter of the portion where the first seal member 21 abuts on the inner peripheral surface of the first body portion 10a. ing. Due to the relationship between the seal diameters, the on-off valve body 46b is opened on the outer peripheral surface of the portion located between the on-off valve seal 46c and the first seal member 21 based on the difference in the seal diameter.
  • valve pressure receiving surface 49 is formed, and when pressure fluid from the first port 13a acts on the valve opening pressure receiving surface 49, an upward thrust (opening direction), that is, valve opening force is applied to the on-off valve body 46b. Due to this valve opening force, the on-off valve seal 46c of the on-off valve body 46b is separated from the on-off valve seat 46a to open the first flow path 27. Therefore, in the present embodiment, the valve-opening pressure receiving surface 49 is substantially the valve-opening force generating means 47.
  • the on-off valve seal 46c of the on-off valve body 46b that actually contacts and separates from the on-off valve seat 46a.
  • the on-off valve seal 46c is a part of the on-off valve body 46b.
  • the opening / closing valve body 46b may be described as contacting and separating from the opening / closing valve seat 46a.
  • the delay valve closing mechanism 35 includes a first piston 52 formed at the upper end portion of the inner body 20 and a first piston 52 defined between the first piston 52 and the end plate 24 at the upper end of the valve body 10. 1 pressure chamber 53, and a delay passage 54 connecting the first pressure chamber 53 to the first port 13a.
  • the first piston 52 is formed by airtightly fixing a closing plate 55 that closes the upper end portion to the upper end portion of the hollow inner body 20, and the outer periphery of the first piston 52 and the valve body 10.
  • a piston seal member 56 that defines a chamber end on the lower end side of the first pressure chamber 53 is disposed between the inner periphery of the first pressure chamber 53 and the inner periphery of the first pressure chamber 53.
  • the first piston 52 has a valve-closing pressure receiving surface 52a facing the first pressure chamber 53, and the pressure fluid in the first pressure chamber 53 acts downward on the valve-closing pressure receiving surface 52a. Acting force (in the valve closing direction) is generated.
  • the pressure receiving area of the valve closing pressure receiving surface 52 a is larger than the pressure receiving area of the valve opening pressure receiving surface 49.
  • the open chamber 57 formed between the piston seal member 56 of the first piston 52 and the first seal member 21 may be opened to the atmosphere by an open hole 57a, or communicates with the open chamber 57. It may be open to the atmosphere through other through holes.
  • the delay channel 54 includes a first delay channel hole 54a that communicates with the first port 13a, a second delay channel hole 54b that communicates with the first pressure chamber 53, and the first delay channel hole 54a and the first delay channel hole 54a. And a relay hole 54c formed between the two delay passage holes 54b.
  • the relay hole 54c is an elongated hole coaxially connected to the hole end 54d of the first delay flow path hole 54a.
  • a hollow cylindrical valve body receiver 62 is accommodated in the relay hole 54c.
  • the relay hole 54c is opened to the atmosphere through an open hole 63 formed in the valve body receiver 62.
  • a spherical check valve body 61 abuts against the hole end 54d to close the hole end 54d (a closed valve position ( 1 and 3) and a valve opening position (see FIG. 4) that is spaced apart from the hole end 54d and opens the hole end 54d (see FIG. 4).
  • a compression spring 64 is interposed between the valve body receiver 62 and the valve body receiver 62. The compression spring 64 causes the check valve body 61 to contact the hole end 54d of the first delay passage hole 54a. Always energized.
  • the position where the second delay passage hole 54b communicates with the relay hole 54c is a portion of the side surface of the relay hole 54c where the valve body receiver 62 is fitted. Between the outer peripheral surface of 62 and the inner peripheral surface of the relay hole 54c, a narrowed portion 59 formed of an annular gap is formed.
  • the check valve body 61 when the check valve body 61 is in the valve closing position, the first delay passage hole 54a is closed, and the second delay passage hole 54b is formed by the throttle portion 59, the relay hole 54c, and
  • the open hole 63 is closed when the check valve body 61 is in the open position, and the first delay flow path hole 54a and the second delay flow are communicated with the atmosphere.
  • the passage hole 54 b communicates with the relay hole 54 c and the throttle portion 59.
  • the delay valve closing mechanism 35 operates as follows. After the on-off valve body 46b opens the first flow path 27 by the pressure fluid from the first port 13a (see FIG. 4), the pressure fluid from the first port 13a flows into the first delay flow path hole. The check valve body 61 is pushed open through 54a and gradually flows into the first pressure chamber 53 in a state where the flow rate is restricted by the throttle 59, and the fluid pressure in the first pressure chamber 53 is accordingly increased. Rise gradually. Then, the acting force in the valve closing direction (valve closing force) generated in the first piston 52 by the action of the fluid pressure is larger than the valve opening force of the on-off valve body 46 b generated by the valve-opening pressure receiving surface 49.
  • the inner body 20 is lowered in the drawing, the on-off valve body 46b abuts on the on-off valve seat 46a, and the first flow path 27 is closed (see FIG. 5).
  • the on-off valve body 46b temporarily opens the first flow path 27 only in the initial stage of supplying the pressure fluid to the fluid pressure cylinder 2.
  • the fluid pressure in the first port 13a and the first delay passage hole 54a is reduced, so that the check valve body 61 is compressed.
  • the second delay passage hole 54b is pushed by the spring 64 and displaced to the closed position, and the second delay passage hole 54b communicates with the atmosphere through the check valve chamber 60 and the opening hole 63, so that the pressure fluid in the first pressure chamber 53 is released. It is discharged to the atmosphere through the hole 63.
  • the throttle valve mechanism 41 formed in the second flow path 28 fits into the throttle hole 40 formed in the inner body 20 and the throttle hole 40 to restrictly open the throttle hole 40.
  • a throttle valve portion 67 including a needle 68 is provided.
  • the needle 68 is formed at the tip of the valve rod 22.
  • a throttle valve seat 69 is formed at the end of the throttle hole 40, and a throttle valve seal 70 that opens and closes the second flow path 28 in contact with and away from the throttle valve seat 69 is attached to the outer periphery of the needle 68. ing.
  • the inner body 20 and the valve rod 22 are provided with an opening / closing control mechanism 72 for controlling the opening and closing of the needle 68 and an opening adjusting mechanism 73 for adjusting the opening of the needle 68.
  • the opening / closing control mechanism 72 has a second piston 75 formed on the valve rod 22.
  • the second piston 75 is accommodated in the hollow hole 20a of the inner body 20 through a seal member 76 so as to be slidable in the direction of the axis L, and the pressure receiving surface 75a of the second piston 75, the blocking plate 55, and the like.
  • a second pressure chamber 77 is defined between the second piston 75 and a needle release spring 79 is interposed between the back surface of the second piston 75 and a spring accommodating cylinder 78 attached to the inner body 20.
  • the spring 79 constantly urges the second piston 75 in a direction (a valve opening direction) in which the throttle valve seal 70 of the needle 68 is separated from the throttle valve seat 69.
  • a conduction hole 80 for introducing the fluid pressure of the second port 13b into the second pressure chamber 77 is formed inside the valve rod 22, and one end 80a of the conduction hole 80 is formed in the valve rod 22. The other end communicates with the second pressure chamber 77 through the communication hole 80b.
  • the opening adjusting mechanism 73 includes a handle 84 for rotating the valve rod 22 and a cam mechanism 85 for displacing the valve rod 22 in the axis L direction as the valve rod 22 rotates. ing.
  • the handle 84 is a cylindrical cap-shaped member, and the axis line in a state where the upper end of the valve body 10, the end plate 24, and the valve rod 22 are covered at the first end 11 a of the valve body 10.
  • the upper end of the valve rod 22 is fitted in a locking hole 84a which is attached so as to be rotatable around L and formed in the handle 84.
  • the locking hole 84a is a non-circular hole having a flat portion in a part of its hole wall, and the upper end portion of the valve rod 22 also has a partially flat portion on the outer periphery thereof.
  • the handle 84 and the valve rod 22 are relatively movable in the direction of the axis L, but are connected to each other in the rotational direction by being brought into contact with each other and locked together. Has been. However, instead of providing the flat portion in the locking hole 84a and the valve rod 22, a key and a key groove may be provided.
  • the cam mechanism 85 includes a cylindrical cam member 87 fixed inside the inner body 20, a helical cam surface 88 formed on the lower surface of the cam member 87 so as to surround the valve rod 22, And a contact 89 formed on the side surface of the valve rod 22, and the upper end of the contact 89 abuts a part of the cam surface 88, thereby opening the throttle valve portion 67 when the flow rate is limited.
  • the degree (initial opening) is set.
  • the force for bringing the contact 89 into contact with the cam surface 88 is the spring force of the needle opening spring 79.
  • the cam surface 88 has a length that does not make a round around the valve rod 22 and is inclined in a direction in which the height gradually decreases in the clockwise direction, that is, in a direction approaching the throttle hole 40. Accordingly, when the valve rod 22 is rotated clockwise or counterclockwise by the handle 84, the contact rod 89 is displaced along the cam surface 88, so that the valve rod 22 moves forward and backward in the axis L direction. Therefore, the degree of insertion of the needle 68 into the throttle hole 40 changes, and the initial opening degree of the throttle valve portion 67 is adjusted.
  • the handle 84 can be locked at an arbitrary rotational position, and the initial opening of the throttle valve portion 67 is set between the minimum opening and the maximum opening according to the rotation angle of the handle 84. It can be arbitrarily set between.
  • the opening area when the on-off valve body 46b temporarily opens the on-off valve seat 46a is the throttle valve portion 67 of the second flow path 28.
  • the opening area (initial opening degree) when the needle 68 opens the restricting hole 40 in a restrictive manner is larger.
  • Reference numeral 90 in the drawing is a seal member that seals between the valve rod 22 and the closing plate 55.
  • the stroke in which the working piston 7 and the piston rod 8 (hereinafter simply referred to as “working piston 7”) of the fluid pressure cylinder 2 are retracted from the forward end position is the working stroke, the backward end position.
  • the process of moving forward from is the return process.
  • the forward stroke of the working piston 7 may be the working stroke and the reverse stroke may be the return stroke.
  • FIGS. 1 to 3 show a case where the solenoid valve 3 is switched to the first position 3a due to de-energization, and the fluid pressure cylinder 2 occupies the forward end position. At this time, pressure fluid is supplied to the head side chamber 2a of the fluid pressure cylinder 2 through the speed controller 5, and the rod side chamber 2b is opened to the atmosphere via the fluid control valve 1A.
  • the fluid control valve 1A is in the normal position.
  • the on-off valve seal 46c of the on-off valve body 46b abuts on the on-off valve seat 46a.
  • the passage 27 is closed, and in the second flow passage 28, the valve rod 22 is biased in the valve opening direction by the needle opening spring 79, so that the needle 68 of the throttle valve portion 67 restricts the throttle hole 40. Occupies the initial position to open.
  • the solenoid valve 3 is switched to the second position 3b by energization, pressure fluid is supplied to the first port 13a of the fluid control valve 1A, and the fluid pressure cylinder 2
  • the pressure fluid in the first port 13a acts on the valve-opening pressure receiving surface 49 of the on-off valve body 46b, and the thrust in the valve opening direction, that is, the valve opening force. Therefore, the valve opening force causes the inner body 20 to be displaced upward while being integrated with the valve rod 22, and the on-off valve body 46b is separated from the on-off valve seat 46a to open the first flow path 27. .
  • the pressure fluid flows through the first flow path 27 to the second port 13b in a substantially free flow state and is supplied to the rod side chamber 2b of the fluid pressure cylinder 2.
  • the pressure in the rod side chamber 2b starts to rise rapidly from time t0, so that the working piston 7 has time t2 when the pressure in the rod side chamber 2b approaches the set pressure Po. Start retreating at high speed.
  • the initial operation of the working piston 7 is much faster than the initial operation of the working piston 7 in the case where the pressure fluid is supplied in a state where the flow rate is limited from the beginning, so that the responsiveness is excellent.
  • the pressure fluid from the first port 13a is gradually supplied into the first pressure chamber 53 through the delay flow path 54 in the delay valve closing mechanism 35 in a state where the flow rate is restricted by the throttle 59.
  • the fluid pressure in the first pressure chamber 53 also gradually increases.
  • the needle 68 opens the throttle hole 40, and the pressure fluid from the first port 13a flows to the second port 13b in a state where the flow rate is limited only through the second flow path 28,
  • the fluid is gradually supplied to the rod side chamber 2b of the fluid pressure cylinder 2. Therefore, the working piston 7 moves toward the backward end at a slow and substantially constant speed, and reaches the backward end at time t5 to complete the work process. A little later, the fluid pressure in the rod side chamber 2b becomes the control pressure pa, and the fluid pressure in the head side chamber 2a becomes zero.
  • the rod side chamber 2b of the fluid pressure cylinder 2 is also connected to the atmosphere via the fluid control valve 1A, also referring to FIG.
  • the pressure fluid is supplied to the head side chamber 2a through the speed controller 5.
  • the pressure fluid in the rod side chamber 2b flows into the third flow path 29 from the second port 13b of the fluid control valve 1A, pushes the first check valve 44 open, and the first fluid is in a free flow state.
  • the three flow passages 29 flow to the first port 13a, and are discharged from the first port 13a to the atmosphere through the electromagnetic valve 3. Accordingly, the working piston 7 of the fluid pressure cylinder 2 performs a forward travel at a speed corresponding to the flow rate of the pressure fluid supplied via the speed controller 5 and moves to the forward end.
  • valve closing spring for energizing the opening / closing valve body 46b so that it always occupies the valve closing position in the normal state.
  • the responsiveness at the start of the work process is lower than when the valve closing spring is not provided.
  • the responsiveness is better than when the pressure fluid is supplied to the fluid pressure cylinder 2 in a state where the flow rate is limited from the beginning only through the second flow path 28.
  • the opening / closing valve body 46b opens the first flow path 27 at the start of the next work process. Since the process starts from the opened state, the process of opening the on-off valve body 46b becomes unnecessary, and on the contrary, the response becomes faster.
  • FIG. 9 shows a second embodiment of the fluid control valve according to the present invention.
  • the fluid control valve 1B according to the second embodiment includes a first delay passage hole 54a of the delay passage 54 and a second delay passage.
  • the hole 54b is different from the fluid control valve 1A of the first embodiment in that the hole 54b is always in communication with the throttle portion 59. That is, a columnar blocking member 91 is attached to the inside of the relay hole 54c interposed between the first delay channel hole 54a and the second delay channel hole 54b, and the outer peripheral surface of the blocking member 91 and the relay hole are attached.
  • the throttle part 59 is formed between the inner peripheral surface of 54c.
  • the pressure fluid supplied to the first port 13a passes through the first delay flow path hole 54a, the throttle portion 59, and the second delay flow path hole 54b.
  • the pressure fluid flowing into the pressure chamber 53 and discharged from the first pressure chamber 53 is discharged from the first port 13a through the second delay passage hole 54b, the throttle portion 59, and the first delay passage hole 54a. Is done.
  • the diaphragm 59 can be a variable diaphragm whose opening area can be adjusted. This also applies to the throttle portion 59 of the fluid control valve 1A of the first embodiment.
  • the fluid control valve 1A of the first embodiment Since the configuration and operation of the fluid control valve 1B other than those described above are substantially the same as those of the fluid control valve 1A of the first embodiment, the fluid control valve 1A of the first embodiment is added to the main same components of both. The same reference numerals are used, and the detailed description of the configuration and operation is omitted.
  • FIG. 10 shows a third embodiment of the fluid control valve according to the present invention.
  • the difference between the fluid control valve 1C of the third embodiment and the fluid control valve 1A of the first embodiment is that the first embodiment.
  • the third flow path 29 included in the fluid control valve 1 ⁇ / b> A of the embodiment and the first check valve 44 in the third flow path 29 are not provided, and between the on-off valve body 46 b and the valve body 10.
  • the valve opening spring 92 is interposed, and the valve opening spring 92 biases the opening / closing valve body 46b away from the opening / closing valve seat 46a (opening direction), so that the opening / closing valve body 46b is opened during normal operation. It is the point which is comprised so that the valve position may be occupied and the 1st flow path 27 may be open
  • the fluid control valve 1A when pressure fluid is supplied to the first port 13a, the pressure fluid is opened from the beginning without going through the process of opening the on-off valve body 46b. It flows through the path 27 to the second port 13b. For this reason, the responsiveness can be further improved as compared with the fluid control valve 1A of the first embodiment. Further, the pressure fluid discharged from the fluid pressure cylinder flows from the second port 13b to the first port 13a in a free flow state through the opened first flow path 27.
  • the fluid control valve 1C may include the third flow path 29 and the first check valve 44 included in the fluid control valve 1A of the first embodiment. In this case, the pressure fluid discharged from the fluid pressure cylinder passes through both the first flow path 27 opened from the second port 13b and the first check valve 44 of the third flow path, and the first It will be distributed to the port 13a.
  • the fluid control valve 1A of the first embodiment Since the configuration and operation of the fluid control valve 1C other than those described above are substantially the same as those of the fluid control valve 1A of the first embodiment, the fluid control valve 1A of the first embodiment is added to the main same components of both. The same reference numerals are used, and the detailed description of the configuration and operation is omitted.
  • the fluid control valve can realize simplification and downsizing of the structure by rationally incorporating functions such as a needle valve, a flow control valve, or a check valve into one valve body.
  • the fluid control capability can be enhanced and the responsiveness can be improved.

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Abstract

【課題】構造が簡単で小型化されているうえに、流体圧回路に接続して使用する際の応答性にも勝れた流体制御弁を提供する。【解決手段】第１ポート（１３ａ）と第２ポート（１３ｂ）とを並列に結ぶ第１流路（２７）及び第２流路（２８）を有し、前記第１流路（２７）には、前記第１ポート（１３ａ）に圧力流体が供給されたとき該第１流路（２７）を一時的に開放する開閉弁機構（３４）が設けられ、前記第２流路（２８）には、該第２流路（２８）を制限的に開放する絞り弁機構（４１）が設けられ、前記開閉弁機構（３４）は、開閉弁座（４６ａ）及び開閉弁体（４６ｂ）からなる開閉弁部（４６）と、前記開閉弁体（４６ｂ）に開弁力を発生させる開弁力発生手段（４７）と、遅延時間経過後に前記開閉弁体（４６ｂ）を閉弁させる遅延閉弁機構（３５）とを有し、前記絞り弁機構（４１）は、絞り孔（４０）及びニードル（６８）からなる絞り弁部（６７）を有し、前記開閉弁部（４６）の開口面積は該絞り弁部（６７）の開口面積より大きい。

Description

流体制御弁
　本発明は、流体圧シリンダ等のアクチュエータに対して供給または排出される圧力流体の流量や圧力等を制御する流体制御弁に関するものである。
　流体圧シリンダ等のアクチュエータを駆動する際に、該アクチュエータに対して供給または排出される圧力流体の流量や圧力等を制御する流体制御弁は、例えば特許文献１や特許文献２等に開示されているように、種々の構成を有するものが知られている。
　この種の流体制御弁は、通常、流路を絞って圧力流体の流量又は圧力を制限するニードル弁や、流体圧力とばね力との相互作用によって流路を開閉する流量調整弁、あるいは、圧力流体を一方向にのみ流通させるチェック弁などを組み合わせることにより、給気時の流量を制限して排気時の流量は非制限とするメータイン式制御を行うものや、給気時の流量は非制限で排気時の流量を制限するメータアウト式制御を行うもの、あるいは、排気時に急速排気を行って作動遅れを防止するものなど、使用目的に応じて色々な機能を有するように構成されている。
　しかし、従来の前記流体制御弁は、バルブハウジングの内部に、前記ニードル弁や流量調整弁あるいはチェック弁などを個々に組み込んでいたため、構造が複雑で大型のものが多く、調整や取り扱いが不便で使い勝手が悪いという問題があり、より小型化された使い勝手の良い流体制御弁の出現が望まれていた。
　そこで、本出願人は、特許文献３に開示されているように、ニードル弁の機能と流量制御弁の機能とを一つにまとめてバルブハウジング内に同軸状に組み込むことにより、従前の流体制御弁に比べ、構造が簡単で小型化され且つ使い勝手の良い、合理的設計構造を有する流体制御弁を提案した。
　しかし、この流体制御弁を、流体圧アクチュエータに通常よりも高度の応答性を要求される用途で使用する場合には、該流体圧アクチュエータが動作遅れを生じないように、流体制御弁の流体制御能力を更に向上させることが必要である。
特開２０００－３２０５０３号公報 特開２０００－３２２１２８号公報 国際公開第２０１５／０２９８６６号
　そこで本発明の目的は、構造が簡単で小型化されているうえに、流体圧回路に接続して使用する際の流体制御能力がより勝れた流体制御弁を提供することにある。
　前記目的を達成するため、本発明の流体制御弁は、弁ボディに設けられた第１ポート及び第２ポートと、前記第１ポートと第２ポートとを並列に結ぶ第１流路及び第２流路とを有し、前記第１流路には、前記第１ポートに圧力流体が供給されたとき該第１流路を一時的に開放する開閉弁機構が設けられ、前記第２流路には、該第２流路を制限的に開放する絞り弁機構が設けられ、前記開閉弁機構は、前記第１流路を取り囲む開閉弁座、及び、該開閉弁座に接離して前記第１流路を開閉する開閉弁体からなる開閉弁部と、前記開閉弁体に開弁力を発生させる開弁力発生手段と、開弁した前記開閉弁体を遅延時間経過後に閉弁させる遅延閉弁機構とを有し、前記絞り弁機構は、前記第２流路の一部を形成する絞り孔と、該絞り孔内に嵌合するニードルとからなる絞り弁部を有し、前記開閉弁部と絞り弁部とは、前記弁ボディの内部を通る軸線に沿って同軸上に配置され、
　前記開閉弁部が前記第１流路を一時的に開放したときの開口面積は、前記絞り弁部が前記第２流路を制限的に開放したときの開口面積より大きいことを特徴とする。
　本発明の具体的な構成態様によれば、前記遅延閉弁機構は、前記開閉弁体に連なる第１ピストンと、該第１ピストンが臨む第１圧力室と、該第１圧力室と前記第１ポートとを結ぶ遅延流路とを有し、該遅延流路には絞り部が形成され、前記遅延流路を通じて前記第１圧力室に導入される圧力流体の作用で前記第１ピストンに発生する閉弁力が、前記開弁力発生手段により前記開閉弁体に発生する開弁力を上回ったとき、前記第１ピストンの変位により前記開閉弁体が前記開閉弁座に押し付けられて前記第１流路を閉鎖するように構成されている。
　本発明において好ましくは、前記弁ボディの内部に、インナーボディが前記軸線に沿って変位自在なるように収容され、該インナーボディに前記開閉弁体と第１ピストンとが形成され、前記弁ボディに前記開閉弁座が形成されていることである。
　また、前記インナーボディの内部には、弁ロッドが前記軸線に沿って変位自在なるように収容され、該弁ロッドに前記ニードルが形成され、前記インナーボディに前記絞り孔が形成されていても良い。
　この場合に好ましくは、前記弁ロッドに第２ピストンが設けられ、該第２ピストンは、前記インナーボディの内部に形成された第２圧力室に臨み、該第２圧力室は、前記弁ロッドの内部に形成された導通孔を介して前記第２ポートに連通し、該第２ポートの流体圧力が前記導通孔を通じて前記第２圧力室に導入されると、該流体圧力の作用により前記第２ピストンが変位して前記ニードルが前記絞り孔を閉鎖するように構成されていることである。
　また、前記インナーボディと前記弁ロッドとの間にニードル開放ばねが介設され、該ニードル開放ばねは、前記弁ロッドを、前記ニードルが前記絞り孔を制限的に開口させる位置に向けて常時付勢していることが望ましい。
　本発明においては、前記第１ポートと第２ポートとを結ぶ第３流路を更に有し、該第３流路には第１チェック弁が設けられ、該第１チェック弁は、前記第１ポートから第２ポートに向かう圧力流体の順方向流れを阻止し、前記第２ポートから第１ポートに向かう圧力流体の逆方向流れを許容するように構成されていても良い。
　本発明の一つの構成態様によれば、前記開弁力発生手段が、前記開閉弁体に形成された開弁用受圧面であり、該開弁用受圧面は、前記第１ポートに供給された圧力流体の作用を受けて前記開弁力を発生させる。
　本発明の他の一つの構成態様によれば、前記開弁力発生手段が、前記弁ボディと開閉弁体との間に介設されて該開閉弁体を開弁方向に付勢する開弁ばねである。
　本発明の流体制御弁は、ニードル弁や流量制御弁あるいはチェック弁等の機能を一つの弁ボディの内部に合理的に組み込むことにより、構造の簡略化と小形化とを実現することができ、また、第１ポートに圧力流体が供給された際に流路を一時的に開放する開閉弁機構を設けたことにより、流体制御能力を高めて応答性を向上させることができたものである。
本発明の第１実施形態に係る流体制御弁を、流体圧回路に接続した状態の断面図で、流体圧シリンダが前進端にある場合の図である。 図１の要部拡大図である。 図１の要部拡大図である。 前記流体圧回路において、前記流体圧シリンダが作業行程（後退行程）を開始した直後の前記流体制御弁の動作状態を示す断面図である。 前記流体圧回路において、前記流体圧シリンダが作業行程の中間点を移動しているときの前記流体制御弁の動作状態を示す断面図である。 前記流体圧回路において、前記流体圧シリンダが作業行程端に到達したときの前記流体制御弁の動作状態を示す断面図である。 前記流体制御弁を記号化した場合の回路図である。 前記流体圧シリンダが作業行程を行う場合のロッド側室及びヘッド側室の圧力変化とピストンの動作との関係を概略的に示す線図である。 本発明に係る流体制御弁の第２実施形態を示す断面図である。 本発明に係る流体制御弁の第３実施形態を示す断面図である。
　図１－図６は、本発明の第１実施形態に係る流体制御弁１Ａを流体圧回路に接続した状態の断面図であり、図７は、前記流体制御弁１Ａを記号化して示すものである。
　前記流体制御弁１Ａは、メータイン制御方式の流体制御弁であって、圧力流体源４から電磁弁３を介して供給される圧力流体を、流量制御して流体圧アクチュエータ２に供給するものである。
　図１－７において、前記流体圧アクチュエータ２は流体圧シリンダであり、前記電磁弁３は５ポート弁であり、前記圧力流体は圧縮空気である。また、符号５はスピードコントローラを示し、該スピードコントローラ５は、チェック弁５ａと可変絞り弁５ｂとで構成されている。
　前記流体制御弁１Ａは、図１－図３に示すように、軸線Ｌに沿って延びる実質的に円筒状をした弁ボディ１０を有している。該弁ボディ１０は、中空の第１ボディ部分１０ａと、該第１ボディ部分１０ａの下端部に連結された中空の第２ボディ部分１０ｂとを有している。なお、以下の説明において、前記弁ボディ１０の上下端のうち上端側を第１端１１ａ、下端側を第２端１１ｂと呼ぶものとする。
　前記第１ボディ部分１０ａの側面には、中空のポート形成部１２が、前記軸線Ｌと直交する方向に突出するように形成され、該ポート形成部１２の先端に第１ポート１３ａが形成され、前記第２ボディ部分１０ｂの下端即ち第２端１１ｂに、第２ポート１３ｂが、前記軸線Ｌ方向に開口するように形成されている。また、前記第２ボディ部分１０ｂの内部の前記軸線Ｌ上の位置には、流路形成用の円筒部材１４が、該第２ボディ部分１０ｂと同軸をなすように配設されている。この円筒部材１４は、前記第２ボディ部分１０ｂの一部をなすものであり、従って、前記弁ボディ１０の一部である。
　前記第１ポート１３ａには、簡易接続式の管継手１５が取り付けられている。該管継手１５は、流体圧シリンダ２に接続された配管６の一端をこの管継手１５の内部に差し込むと、複数の係止片１５ａが該配管６の外周に食い込んで係止することにより該配管６を抜け止め状態にし、リリースブッシュ１５ｂを管継手１５の内部に押し込むと、該リリースブッシュ１５ｂの先端が前記係止片１５ａを外側に広げて前記配管６から離間させることにより、該配管６を抜き取ることができるものである。
　前記第１ボディ部分１０ａの中空孔１０ｃの内部には、円筒状をしたインナーボディ２０が、断面Ｖ字形をした一方向性の第１シール部材２１を介して、前記第１ボディ部分１０ａと同軸状且つ前記軸線Ｌに沿って摺動自在なるように収容されている。また、該インナーボディ２０の内部には、円柱状をした弁ロッド２２が、断面Ｖ字形をした一方向性の第２シール部材２３を介して、該インナーボディ２０と同軸状且つ前記軸線Ｌに沿って摺動自在なるように収容されている。
　また、前記第１ボディ部分１０ａの上端即ち第１端１１ａ側の端部には、前記インナーボディ２０の端部より外側の位置に、端板２４が、該インナーボディ２０の端部を覆うように気密に固定され、前記弁ロッド２２の上端は、シール部材２５を介して前記端板２４を気密に貫通し、該端板２４の外側に突出している。
　前記弁ボディ１０の内部には、前記第１ポート１３ａと第２ポート１３ｂとを結ぶ流体流路２６が形成されている。該流体流路２６は、前記第１ポート１３ａに連なる第１合流孔２６ａと、前記第２ポート１３ｂに連なる第２合流孔２６ｂとの間で、互いに並列をなす第１流路２７と第２流路２８と第３流路２９とに分岐している。
　前記第１流路２７は、前記第１合流孔２６ａから、前記第１ボディ部分１０ａの内周面と前記インナーボディ２０の外周面との間に形成された第１環状流路孔３１、前記円筒部材１４の上端部の開閉孔３２、及び該開閉孔３２に通じる中央孔３３を経て、前記第２合流孔２６ｂに連通する流路である。該第１流路２７は、前記流体圧シリンダ２に圧力流体を供給する初期段階に、前記流体流路２６を一時的に全開又は全開に近い状態に開放するための流路であり、このため該第１流路２７には、開閉弁機構３４が設けられると共に、開放した前記第１流路２７を遅延時間経過後に閉鎖するための遅延閉弁機構３５が設けられている。
　また、前記第２流路２８は、前記第１環状流路孔３１から、前記インナーボディ２０に放射状に形成された複数の分岐孔３８、該インナーボディ２０の内部のロッド挿通孔３９、該ロッド挿通孔３９に通じる絞り孔４０、及び前記円筒部材１４の内部の中央孔３３を経て、前記第２合流孔２６ｂに連通する流路である。該第２流路２８は、前記流体圧シリンダ２に圧力流体を制限的に供給することによってメータイン制御を行うための流路であり、このため該第２流路２８には、絞り弁機構４１が設けられている。
　更に、前記第３流路２９は、前記第１環状流路孔３１から、前記第２ボディ部分１０ｂの内周面と前記円筒部材１４の外周面との間に形成された第２環状流路孔４３を経て、前記第２合流孔２６ｂに通じる流路である。該第３流路２９は、前記流体圧シリンダ２に圧力流体を供給する際には閉鎖し、前記流体圧シリンダ２から圧力流体が排出される際には、該圧力流体を自由流れの状態で排出するための流路であり、このため該第３流路２９には、第１チェック弁４４が設けられている。
　前記第１チェック弁４４は、断面Ｙ字形をした一方向性のシール部材により形成されていて、リップ４４ａを第１ポート１３ａ側に向けることにより、該第１ポート１３ａから第２ポート１３ｂに向かう圧力流体の順方向流れを阻止し、前記第２ポート１３ｂから第１ポート１３ａに向かう圧力流体の逆方向流れを許容する。
　前記第１流路２７に設けられた前記開閉弁機構３４は、前記開閉孔３２を取り囲む環状の開閉弁座４６ａ、及び、該開閉弁座４６ａに接離することによって前記開閉孔３２即ち第１流路２７を開閉する開閉弁体４６ｂからなる開閉弁部４６と、前記開閉弁体４６ｂに開弁力を発生させる開弁力発生手段４７とを有している。
　前記開閉弁座４６ａは、前記円筒部材１４に形成され、前記開閉弁体４６ｂは、前記インナーボディ２０の下端部に形成されている。
　前記開閉弁体４６ｂには、前記開閉弁座４６ａに接離する開閉弁シール４６ｃが取り付けられている。該開閉弁シール４６ｃが前記開閉弁座４６ａに当接した時のシール径は、前記第１シール部材２１が前記第１ボディ部分１０ａの内周面に当接している部分のシール径より小さくされている。このようなシール径の関係により、前記開閉弁体４６ｂには、前記開閉弁シール４６ｃと前記第１シール部材２１との間に位置する部分の外周面に、前記シール径の径差に基づく開弁用受圧面４９が形成され、該開弁用受圧面４９に前記第１ポート１３ａからの圧力流体が作用した時、前記開閉弁体４６ｂに上向き（開弁方向）の推力即ち開弁力が発生し、この開弁力により、該開閉弁体４６ｂの前記開閉弁シール４６ｃが前記開閉弁座４６ａから離間して、前記第１流路２７を開放するように構成されている。従って、本実施形態においては、前記開弁用受圧面４９が実質的に前記開弁力発生手段４７である。
　なお、前記開閉弁座４６ａに実際に接離するのは開閉弁体４６ｂの前記開閉弁シール４６ｃであるが、該開閉弁シール４６ｃは前記開閉弁体４６ｂの一部であるため、以下の説明においては、前記開閉弁体４６ｂが前記開閉弁座４６ａに接離するというように説明する場合もある。
　前記遅延閉弁機構３５は、前記インナーボディ２０の上端部に形成された第１ピストン５２と、該第１ピストン５２と前記弁ボディ１０の上端の前記端板２４との間に区画された第１圧力室５３と、該第１圧力室５３を前記第１ポート１３ａに接続する遅延流路５４とを有している。
　前記第１ピストン５２は、中空をなす前記インナーボディ２０の上端部に、該上端部を閉塞する閉塞板５５を気密に固定することにより形成され、該第１ピストン５２の外周と前記弁ボディ１０の内周との間に、前記第１圧力室５３の下端側の室端を画定するピストンシール部材５６が配設されている。
　前記第１ピストン５２は、前記第１圧力室５３に面する閉弁用受圧面５２ａを有し、該閉弁用受圧面５２ａに前記第１圧力室５３内の圧力流体が作用することによって下向き（閉弁方向）の作用力を発生する。前記閉弁用受圧面５２ａの受圧面積は、前記開弁用受圧面４９の受圧面積より大きい。
　前記第１ピストン５２のピストンシール部材５６と前記第１シール部材２１との間に形成された開放室５７は、開放孔５７ａによって大気に開放されていても良く、あるいは、該開放室５７に通じる他の通孔を通じて大気に開放されていても良い。
　前記遅延流路５４は、前記第１ポート１３ａに通じる第１遅延流路孔５４ａと、前記第１圧力室５３に通じる第２遅延流路孔５４ｂと、該第１遅延流路孔５４ａと第２遅延流路孔５４ｂとの間に形成された中継孔５４ｃとを有している。
　前記中継孔５４ｃは、前記第１遅延流路孔５４ａの孔端５４ｄに同軸状に連なる細長い孔で、該中継孔５４ｃの内部には、中空円筒状をした弁体受け６２が収容され、該弁体受け６２に形成された開放孔６３を通じて前記中継孔５４ｃが、大気に開放されている。
　前記第１遅延流路孔５４ａの孔端５４ｄと前記弁体受け６２との間には、球状のチェック弁体６１が、前記孔端５４ｄに当接して該孔端５４ｄを塞ぐ閉弁位置（図１、図３参照）と、前記孔端５４ｄから離間して該孔端５４ｄを開放する開弁位置（図４参照）との間で変位自在なるように配設され、該チェック弁体６１と前記弁体受け６２との間には圧縮ばね６４が介設され、該圧縮ばね６４で前記チェック弁体６１が、前記第１遅延流路孔５４ａの孔端５４ｄに当接する方向に向けて常時付勢されている。
　また、前記第２遅延流路孔５４ｂが前記中継孔５４ｃに連通している位置は、該中継孔５４ｃの側面の、前記弁体受け６２が嵌合している部分であり、該弁体受け６２の外周面と前記中継孔５４ｃの内周面との間に、環状の隙間からなる絞り部５９が形成されている。
　従って、前記チェック弁体６１が前記閉弁位置にあるとき、前記第１遅延流路孔５４ａが閉鎖されると共に、前記第２遅延流路孔５４ｂが、前記絞り部５９、中継孔５４ｃ、及び弁体受け６２の開放孔６３を通じて大気に連通し、前記チェック弁体６１が前記開弁位置にあるとき、前記開放孔６３が閉鎖されて、前記第１遅延流路孔５４ａと第２遅延流路孔５４ｂとが、前記中継孔５４ｃ及び絞り部５９を通じて連通する。
　前記遅延閉弁機構３５は次のように動作する。前記第１ポート１３ａからの圧力流体によって前記開閉弁体４６ｂが前記第１流路２７を開放（図４参照）したあと、該第１ポート１３ａからの圧力流体は、前記第１遅延流路孔５４ａを通って前記チェック弁体６１を押し開き、絞り部５９で流量制限された状態で前記第１圧力室５３内に徐々に流入し、それに伴って該第１圧力室５３内の流体圧力は徐々に上昇する。そして、この流体圧力の作用により前記第１ピストン５２に発生する閉弁方向の作用力（閉弁力）が、前記開弁用受圧面４９により発生する前記開閉弁体４６ｂの開弁力より大きくなったとき、前記インナーボディ２０は図において下降し、前記開閉弁体４６ｂが前記開閉弁座４６ａに当接して前記第１流路２７は閉鎖される（図５参照）。この結果、前記開閉弁体４６ｂは、前記流体圧シリンダ２に圧力流体を供給する初期段階だけに、前記第１流路２７を一時的に開放することになる。
　また、前記第１ポート１３ａが大気に開放されて圧力流体が排出されると、該第１ポート１３ａ及び前記第１遅延流路孔５４ａの流体圧力が低下するため、前記チェック弁体６１は圧縮ばね６４で押されて閉弁位置に変位し、前記第２遅延流路孔５４ｂがチェック弁室６０及び開放孔６３を通じて大気に連通するため、前記第１圧力室５３内の圧力流体は該開放孔６３を通じて大気に排出される。
　前記第２流路２８に形成された前記絞り弁機構４１は、前記インナーボディ２０に形成された前記絞り孔４０と、該絞り孔４０内に嵌合して該絞り孔４０を制限的に開口させるニードル６８とからなる絞り弁部６７を有している。前記ニードル６８は、前記弁ロッド２２の先端部に形成されている。
　前記絞り孔４０の端部には絞り弁座６９が形成され、前記ニードル６８の外周には、前記絞り弁座６９に接離して前記第２流路２８を開閉する絞り弁シール７０が取り付けられている。
　前記インナーボディ２０及び弁ロッド２２には、前記ニードル６８を開閉制御する開閉制御機構７２と、前記ニードル６８の開度を調節する開度調節機構７３とが設けられている。
　前記開閉制御機構７２は、前記弁ロッド２２に形成された第２ピストン７５を有している。該第２ピストン７５は、前記インナーボディ２０の中空孔２０ａ内に、シール部材７６を介して軸線Ｌ方向に摺動自在に収容され、該第２ピストン７５の受圧面７５ａと前記閉塞板５５との間に第２圧力室７７が区画されると共に、該第２ピストン７５の背面と、前記インナーボディ２０に取り付けられたばね収容筒７８との間にニードル開放ばね７９が介設され、該ニードル開放ばね７９は、前記第２ピストン７５を、前記ニードル６８の絞り弁シール７０が前記絞り弁座６９から離れる方向（開弁方向）に向けて常時付勢している。また、前記弁ロッド２２の内部には、前記第２ポート１３ｂの流体圧力を前記第２圧力室７７に導入するための導通孔８０が形成され、該導通孔８０の一端８０ａは前記弁ロッド２２の先端に開口し、他端は連通孔８０ｂを通じて前記第２圧力室７７に連通している。
　そして、前記第１ポート１３ａからの圧力流体が前記絞り弁部６７を通じて前記第２ポート１３ｂに制限的に供給されることにより、該第２ポート１３ｂ側の流体圧力が上昇すると、該第２ポート１３ｂ側の流体圧力が前記導通孔８０を通じて前記第２圧力室７７に導入され、この流体圧力の作用で第２ピストン７５に発生する閉弁方向の作用力が、前記ニードル開放ばね７９による開弁方向のばね力より大きくなったとき、前記ニードル６８の絞り弁シール７０が前記絞り弁座６９に当接して前記絞り弁部６７が閉鎖される（図６参照）ようになっている。
　また、前記開度調節機構７３は、前記弁ロッド２２を回転させるためのハンドル８４と、前記弁ロッド２２の回転に伴って該弁ロッド２２を軸線Ｌ方向に変位させるカム機構８５とを有している。
　前記ハンドル８４は、円筒形をしたキャップ状の部材で、前記弁ボディ１０の第１端１１ａに、該弁ボディ１０の上端部と前記端板２４と前記弁ロッド２２とを覆った状態で軸線Ｌを中心に回転操作自在なるように取り付けられ、該ハンドル８４の内部に形成された係止孔８４ａ内に、前記弁ロッド２２の上端部が嵌合している。前記係止孔８４ａは、その孔壁の一部に平坦部を有する非円形の孔であり、前記弁ロッド２２の上端部も、その外周の一部平坦部を有しており、これら平坦部同士が相互に当接して係止し合うことにより、前記ハンドル８４と弁ロッド２２とが、軸線Ｌ方向には相対的に移動自在であるが、回転方向には相互に固定された状態に連結されている。
　しかし、前記係止孔８４ａと弁ロッド２２とに、前記平坦部を設ける代わりに、キーとキー溝とを設けても良い。
　前記カム機構８５は、前記インナーボディ２０の内部に固定された筒状のカム部材８７と、該カム部材８７の下面に前記弁ロッド２２を取り囲むように形成された螺旋状のカム面８８と、前記弁ロッド２２の側面に形成された当接子８９とを有し、該当接子８９の上端が前記カム面８８の一部に当接することにより、前記絞り弁部６７における流量制限時の開度（初期開度）が設定される。前記当接子８９を前記カム面８８に当接させる力は、前記ニードル開放ばね７９のばね力である。
　前記カム面８８は、前記弁ロッド２２の回りを一周しない長さを有する面で、時計回りでその高さが次第に低くなる方向、即ち前記絞り孔４０に近づく方向に傾斜している。従って、前記ハンドル８４で弁ロッド２２を時計回り又は反時計回りに回転操作すると、前記当接子８９が前記カム面８８に沿って変位することにより前記弁ロッド２２が軸線Ｌ方向に進退動するため、前記絞り孔４０に対する前記ニードル６８の挿入度が変化し、前記絞り弁部６７の初期開度が調整される。
　前記ハンドル８４は、任意の回転位置に係止させることが可能であり、該ハンドル８４の回転角度に応じて、前記絞り弁部６７の初期開度を、前記最小開度と最大開度との間で任意に設定することができる。
　また、前記第１流路２７の開閉弁部４６において、前記開閉弁体４６ｂが前記開閉弁座４６ａを一時的に開放したときの開口面積は、前記第２流路２８の絞り弁部６７において、前記ニードル６８が前記絞り孔４０を制限的に開放しているときの開口面積（初期開度）より大きい。
　図中の符号９０は、前記弁ロッド２２と閉塞板５５との間をシールするシール部材である。
　次に、前記構成を有する流体制御弁１Ａを使用して流体圧シリンダ２を速度制御する場合の、該流体制御弁１Ａ及び流体圧シリンダ２の動作の一例について、図１－６及び図８を参照しながら説明する。
　なお、本実施形態においては、流体圧シリンダ２の作業ピストン７及びピストンロッド８（以下、単に「作業ピストン７」という。）が前進端の位置から後退する行程が、作業行程、後退端の位置から前進する行程が、復帰行程である。
　しかし、前記作業ピストン７の前進行程を作業行程とし、後退行程を復帰行程としても良いことは勿論である。
　図１－図３は、電磁弁３が非通電のため第１位置３ａに切り換わり、流体圧シリンダ２が前進端の位置を占めている場合である。このとき、前記流体圧シリンダ２のヘッド側室２ａには、スピードコントローラ５を通じて圧力流体が供給され、ロッド側室２ｂは、前記流体制御弁１Ａを介して大気に開放されている。また、前記流体制御弁１Ａはノーマル位置にあり、該流体制御弁１Ａの第１流路２７においては、開閉弁体４６ｂの開閉弁シール４６ｃが開閉弁座４６ａに当接することにより該第１流路２７は閉鎖され、第２流路２８においては、弁ロッド２２がニードル開放ばね７９で開弁方向に付勢されることにより、絞り弁部６７のニードル６８が、前記絞り孔４０を制限的に開放する初期位置を占めている。
　この状態から、図４に示すように、前記電磁弁３が通電により第２位置３ｂに切り換わり、前記流体制御弁１Ａの第１ポート１３ａに圧力流体が供給されると共に、流体圧シリンダ２のヘッド側室２ａがスピードコントローラ５を通じて大気に開放されると、前記第１ポート１３ａの圧力流体は、前記開閉弁体４６ｂの開弁用受圧面４９に作用して開弁方向の推力即ち開弁力を発生させるため、該開弁力によって前記インナーボディ２０が弁ロッド２２と一体のまま上方に向けて変位し、前記開閉弁体４６ｂが開閉弁座４６ａから離れて第１流路２７が開放する。このため、前記圧力流体は、前記第１流路２７を通ってほぼ自由流れの状態で第２ポート１３ｂへと流通し、前記流体圧シリンダ２のロッド側室２ｂに供給される。
　その結果、該ロッド側室２ｂの圧力は、図８に示すように、時刻ｔ０から急速に上昇を始め、それによって前記作業ピストン７は、前記ロッド側室２ｂの圧力が設定圧力Ｐｏに近づいた時刻ｔ２から高速で後退を開始する。この作業ピストン７の初期動作は、圧力流体を最初から流量制限した状態で供給する場合の該作業ピストン７の初期動作に比べて非常に速く、従って応答性に勝れる。
　一方、前記ロッド側室２ｂの圧力流体は、第２ポート１３ｂから中央孔３３、導通孔８０を通じて第２圧力室７７に流入するため、該第２圧力室７７内の流体圧力は上昇し、この流体圧力が時刻ｔ１で制御時圧力Ｐａより高くなった時、第２ピストン７５に作用する閉弁方向の作用力が前記ニードル開放ばね７９による開弁方向の作用力を上回ることにより、前記弁ロッド２２がニードル開放ばね７９のばね力に抗して押し下げられ、前記ニードル６８は絞り孔４０を一旦閉鎖する。
　また、前記第１ポート１３ａからの圧力流体は、前記遅延閉弁機構３５における遅延流路５４を通じ、絞り部５９により流量制限された状態で前記第１圧力室５３内に徐々に供給されるため、該第１圧力室５３内の流体圧力も徐々に上昇する。そして、この流体圧力の作用によって前記第１ピストン５２に発生する下向きの閉弁力が、前記開閉弁体４６ｂに作用する上向きの開弁力より大きくなったとき、図５に示すように、前記インナーボディ２０は図において下降し、前記開閉弁体４６ｂが前記開閉弁座４６ａに当接して前記第１流路２７は閉鎖される。
　図８において、前記第１流路２７が時刻ｔ３で閉鎖されると、前記ピストン７は、前記ロッド側室２ｂに封じ込められた高圧の流体圧力（圧縮空気）の膨張力によって前進を続け、それに伴い、該ロッド側室２ｂの流体圧力は急速且つ曲線的に低下を始め、それと同時に、前記作業ピストン７の速度も減速される。そして、前記ロッド側室２ｂの流体圧力が時刻ｔ４で制御時圧力Ｐａより低下すると、前記第２圧力室７７内の流体圧力も低下するため、ニードル開放ばね７９のばね力で前記弁ロッド２２が押し上げられることにより前記ニードル６８が絞り孔４０を開放し、前記第１ポート１３ａからの圧力流体は、前記第２流路２８のみを通じて流量制限された状態で前記第２ポート１３ｂへと流通し、前記流体圧シリンダ２のロッド側室２ｂに徐々に供給されるようになる。このため、前記作業ピストン７は、ゆっくりしたほぼ一定の速度で後退端に向けて移動し、時刻ｔ５で後退端に到達して作業工程が完了する。それから少し遅れて、前記ロッド側室２ｂの流体圧力は前記制御時圧力ｐａになり、前記ヘッド側室２ａの流体圧力はゼロになる。
　かくして、前記作業ピストン７の作業工程が完了し、前記ロッド側室２ｂの圧力が制御時圧力ｐａになると、前記第２ポート１３ｂ及び前記第２圧力室７７内の流体圧力が上昇するため、図６に示すように、前記弁ロッド２２及びニードル６８が下降して絞り弁シール７０が絞り弁座６９に当接し、前記第２流路２８は閉鎖される。
　次に、図６の状態から、前記電磁弁３が再び前記第１位置３ａに切り換えられると、図１も参照して、前記流体圧シリンダ２のロッド側室２ｂが流体制御弁１Ａを介して大気に開放されると共に、ヘッド側室２ａにスピードコントローラ５を通じて圧力流体が供給される。このとき、前記ロッド側室２ｂ内の圧力流体は、前記流体制御弁１Ａの第２ポート１３ｂから第３流路２９内に流入して第１チェック弁４４を押し開き、自由流れの状態で該第３流路２９から前記第１ポート１３ａに流通し、該第１ポート１３ａから前記電磁弁３を経て大気に排出される。それに伴い、前記流体圧シリンダ２の作業ピストン７は、前記スピードコントローラ５を介して供給される圧力流体の流量に応じた速度で前進行程を行い、前進端まで移動する。
　前記作業ピストン７が前進端まで移動して前記第２ポート１３ｂの流体圧力が低下すると、前記第２圧力室７７内の流体圧力も低下するため、前記弁ロッド２２が前記ニードル開放ばね７９に押されて上昇し、前記ニードル６８の絞り弁シール７０が絞り弁座６９から離れることにより前記第２流路２８が開放される。また、前記遅延流路５４においては、前記チェック弁体６１が、圧縮ばね６４に押されて前記閉弁位置に変位し、前記第１圧力室５３内の圧力流体が、開放孔６３を通じて大気に排出される。この一連の動作によって前記流体制御弁１Ａは、図１のノーマル位置に復帰する。
　なお、前記流体圧シリンダ２の前進行程の開始時に、該流体圧シリンダ２のロッド側室２ｂの圧力流体が流体制御弁１Ａを通じて排出され始めるとき、前記遅延流路５４の絞り部５９の断面積によっては、前記第１圧力室５３内の圧力流体が急速に排出されることにより、前記開閉弁体４６ｂが、前記第２ポート１３ｂに流入した圧力流体（排出流体）によって押し上げられ、開閉弁座４６ａから離間して第１流路２７が開放されることも考えられる。
　開弁した前記開閉弁体４６ｂは、そのあとも自力では閉弁しないので、このような事態を避けるために、前記閉塞板５５と端板２４との間に、前記インナーボディ２０を閉弁方向に付勢する閉弁ばねを介設し、前記開閉弁体４６ｂがノーマル時に必ず閉弁位置を占めるように構成することも可能である。この場合、前記閉弁ばねのばね力は、前記開閉弁体４６ｂの開弁力に対して逆向きに作用するため、該閉弁ばねを設けない場合に比べ、作業工程スタート時の応答性は若干低下するが、前記第２流路２８のみを通じて圧力流体を最初から流量制限した状態で流体圧シリンダ２に供給する場合に比べ、応答性は良い。
　しかし、前記閉弁ばねを設けない場合でも、ノーマル時に前記開閉弁体４６ｂが開弁したままであったとしても、次回の作業行程のスタート時に、前記開閉弁体４６ｂが第１流路２７を開放した状態からスタートすることになるため、該開閉弁体４６ｂを開放させる過程が不要になり、却って応答が速くなる。
　図９は本発明に係る流体制御弁の第２実施形態を示すもので、この第２実施形態の流体制御弁１Ｂは、遅延流路５４の第１遅延流路孔５４ａと第２遅延流路孔５４ｂとが、絞り部５９を介して常時連通している点で、前記第１実施形態の流体制御弁１Ａと相違している。即ち、前記第１遅延流路孔５４ａと第２遅延流路孔５４ｂとの間に介在する中継孔５４ｃの内部に、柱状の閉塞部材９１を取り付け、該閉塞部材９１の外周面と前記中継孔５４ｃの内周面との間に前記絞り部５９を形成したものである。
　従って、この第２実施形態の流体制御弁１Ｂにおいて、第１ポート１３ａに供給された圧力流体は、前記第１遅延流路孔５４ａ、絞り部５９、及び第２遅延流路孔５４ｂを通じて第１圧力室５３に流入し、該第１圧力室５３から排出される圧力流体は、前記第２遅延流路孔５４ｂ、絞り部５９、及び第１遅延流路孔５４ａを通じて前記第１ポート１３ａから排出される。
　なお、前記絞り部５９は、開口面積を調整可能な可変絞りとすることもできる。この点は、前記第１実施形態の流体制御弁１Ａの絞り部５９の場合も同様である。
　前記流体制御弁１Ｂの前記以外の構成及び作用は、前記第１実施形態の流体制御弁１Ａと実質的に同じであるから、両者の主要な同一構成部分に第１実施形態の流体制御弁１Ａと同一の符号を付し、具体的な構成及び作用の説明は省略する。
　図１０は本発明に係る流体制御弁の第３実施形態を示すもので、この第３実施形態の流体制御弁１Ｃが前記第１実施形態の流体制御弁１Ａと相違する点は、該第１実施形態の流体制御弁１Ａが有する第３流路２９と、該第３流路２９中の第１チェック弁４４とを備えていない点、及び、開閉弁体４６ｂと弁ボディ１０との間に開弁ばね９２を介設し、該開弁ばね９２で前記開閉弁体４６ｂを開閉弁座４６ａから離間する方向（開弁方向）に付勢することにより、ノーマル時に前記開閉弁体４６ｂが開弁位置を占めて第１流路２７を開放するように構成されている点である。従って、この第３実施形態においては、前記開弁力発生手段４７が前記開弁ばね９２である。
　この流体制御弁１Ａにおいて、第１ポート１３ａに圧力流体が供給されると、該圧力流体は、前記開閉弁体４６ｂを開弁させる過程を経ることなく、初めから開放している前記第１流路２７を通じて第２ポート１３ｂへと流通する。このため、前記第１実施形態の流体制御弁１Ａよりもさらに応答性が勝れる。
　また、流体圧シリンダから排出される圧力流体は、第２ポート１３ｂから、開放した前記第１流路２７を通じて、自由流れの状態で第１ポート１３ａへと流通する。
　しかし、該流体制御弁１Ｃは、前記第１実施形態の流体制御弁１Ａが有する第３流路２９と第１チェック弁４４とを備えていても構わない。この場合、流体圧シリンダから排出される圧力流体は、前記第２ポート１３ｂから、開放した前記第１流路２７と、前記第３流路の第１チェック弁４４との両方を通じて、前記第１ポート１３ａへと流通することになる。
　前記流体制御弁１Ｃの前記以外の構成及び作用は、前記第１実施形態の流体制御弁１Ａと実質的に同じであるから、両者の主要な同一構成部分に第１実施形態の流体制御弁１Ａと同一の符号を付し、具体的な構成及び作用の説明は省略する。
　このように、前記流体制御弁は、ニードル弁や流量制御弁あるいはチェック弁等の機能を一つの弁ボディの内部に合理的に組み込むことにより、構造の簡略化と小形化とを実現することができ、また、第１ポートに圧力流体が供給された際に流路を一時的に開放する開閉弁機構を設けたことにより、流体制御能力を高めて応答性を向上させることができるものである。
　　１Ａ，１Ｂ，１Ｃ　　　流体制御弁
　１０　　　弁ボディ
　１３ａ　　　第１ポート
　１３ｂ　　　第２ポート
　２０　　　インナーボディ
　２２　　　弁ロッド
　２７　　　第１流路
　２８　　　第２流路
　２９　　　第３流路
　３４　　　開閉弁機構
　３５　　　遅延閉弁機構
　４０　　　絞り孔
　４１　　　絞り弁機構
　４４　　　第１チェック弁
　４６　　　開閉弁部
　４６ａ　　　開閉弁座
　４６ｂ　　　開閉弁体
　４９　　　受圧面
　５２　　　第１ピストン
　５３　　　第１圧力室
　５４　　　遅延流路
　５９　　　絞り部
　６７　　　絞り弁部
　６８　　　ニードル
　７５　　　第２ピストン
　７７　　　第２圧力室
　７９　　　ニードル開放ばね
　８０　　　導通孔
　９２　　　開弁ばね
　　Ｌ　　　軸線Ｌ

Claims (9)

  1. 　弁ボディに設けられた第１ポート及び第２ポートと、前記第１ポートと第２ポートとを並列に結ぶ第１流路及び第２流路とを有し、
    　前記第１流路には、前記第１ポートに圧力流体が供給されたとき該第１流路を一時的に開放する開閉弁機構が設けられ、
    　前記第２流路には、該第２流路を制限的に開放する絞り弁機構が設けられ、
    　前記開閉弁機構は、前記第１流路を取り囲む開閉弁座、及び、該開閉弁座に接離して前記第１流路を開閉する開閉弁体からなる開閉弁部と、前記開閉弁体に開弁力を発生させる開弁力発生手段と、開弁した前記開閉弁体を遅延時間経過後に閉弁させる遅延閉弁機構とを有し、
    　前記絞り弁機構は、前記第２流路の一部を形成する絞り孔と、該絞り孔内に嵌合するニードルとからなる絞り弁部を有し、
    　前記開閉弁部と絞り弁部とは、前記弁ボディの内部を通る軸線に沿って同軸上に配置され、
    　前記開閉弁部が前記第１流路を一時的に開放したときの開口面積は、前記絞り弁部が前記第２流路を制限的に開放したときの開口面積より大きい、
    　ことを特徴とする流体制御弁。
  2. 　前記遅延閉弁機構は、前記開閉弁体に連なる第１ピストンと、該第１ピストンが臨む第１圧力室と、該第１圧力室と前記第１ポートとを結ぶ遅延流路とを有し、該遅延流路には絞り部が形成され、前記遅延流路を通じて前記第１圧力室に導入される圧力流体の作用で前記第１ピストンに発生する閉弁力が、前記開弁力発生手段により前記開閉弁体に発生する開弁力を上回ったとき、前記第１ピストンの変位により前記開閉弁体が前記開閉弁座に押し付けられて前記第１流路を閉鎖するように構成されたことを特徴とする請求項１に記載の流体制御弁。
  3. 　前記弁ボディの内部に、インナーボディが前記軸線に沿って変位自在なるように収容され、該インナーボディに前記開閉弁体と第１ピストンとが形成され、前記弁ボディに前記開閉弁座が形成されていることを特徴とする請求項２に記載の流体制御弁。
  4. 　前記インナーボディの内部に、弁ロッドが前記軸線に沿って変位自在なるように収容され、該弁ロッドに前記ニードルが形成され、前記インナーボディに前記絞り孔が形成されていることを特徴とする請求項３に記載の流体制御弁。
  5. 　前記弁ロッドに第２ピストンが設けられ、該第２ピストンは、前記インナーボディの内部に形成された第２圧力室に臨み、該第２圧力室は、前記弁ロッドの内部に形成された導通孔を介して前記第２ポートに連通し、該第２ポートの流体圧力が前記導通孔を通じて前記第２圧力室に導入されると、該流体圧力の作用により前記第２ピストンが変位して前記ニードルが前記絞り孔を閉鎖するように構成されていることを特徴とする請求項４に記載の流体制御弁。
  6. 　前記インナーボディと前記弁ロッドとの間にニードル開放ばねが介設され、該ニードル開放ばねは、前記弁ロッドを、前記ニードルが前記絞り孔を制限的に開口させる位置に向けて常時付勢していることを特徴とする請求項５に記載の流体制御弁。
  7. 　前記第１ポートと第２ポートとを結ぶ第３流路を更に有し、該第３流路には第１チェック弁が設けられ、該第１チェック弁は、前記第１ポートから第２ポートに向かう圧力流体の順方向流れを阻止し、前記第２ポートから第１ポートに向かう圧力流体の逆方向流れを許容するように構成されていることを特徴とする請求項１に記載の流体制御弁。
  8. 　前記開弁力発生手段は、前記開閉弁体に形成された開弁用受圧面であり、該開弁用受圧面は、前記第１ポートに供給された圧力流体の作用を受けて前記開弁力を発生させることを特徴とする請求項１に記載の流体制御弁。
  9. 　前記開弁力発生手段は、前記弁ボディと開閉弁体との間に介設されて該開閉弁体を開弁方向に付勢する開弁ばねであることを特徴とする請求項１に記載の流体制御弁。
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