JP2905430B2 - 流体圧シリンダ - Google Patents

流体圧シリンダ

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JP2905430B2
JP2905430B2 JP7256656A JP25665695A JP2905430B2 JP 2905430 B2 JP2905430 B2 JP 2905430B2 JP 7256656 A JP7256656 A JP 7256656A JP 25665695 A JP25665695 A JP 25665695A JP 2905430 B2 JP2905430 B2 JP 2905430B2
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KANKOKU KIKAI KENKYUIN
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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は流体圧シリンダに係
り、より詳しくは緩衝圧力を小さくして部品の寿命を延
長させ、緩衝作用時間を短縮して流体圧シリンダの迅速
な作動行程を期待できるようにする流体圧シリンダに関
する。
【0002】
【従来の技術】一般に、流体圧シリンダ、例えば、空気
圧によって作動する空気圧シリンダは、作動圧としての
空気圧が有するエネルギーを直線往復運動に変えて機械
的な仕事を行なう。空気圧シリンダは、たとえば、図1
および図2に示すように、バレル形のシリンダチューブ
102と、このシリンダチューブ102の両側端部に固
定配置される一対のカバー、すなわち、ヘッドカバー1
04,ロッドカバー106で外形を形成する。
【0003】また、かかる空気圧シリンダはシリンダチ
ューブ102とヘッドカバー104,ロッドカバー10
6に内装されたピストン108およびこのピストン10
8に固定形成された状態である一側の前記ロッドカバー
106を摺動可能な状態で貫通するピストンロッド11
0で構成される。
【0004】一方、前記ヘッドカバー104,ロッドカ
バー106にはそれぞれ,作動圧流出入口である空気流
出入口A,A’を形成して空気がシリンダチューブ10
2内に流通できるようにし、緩衝装置Cを構成してピス
トン108の往復行程の際、関連部材間の衝突を防止で
きるようにする。
【0005】前記のような緩衝装置Cはピストン108
の頭部にクッションプランジャ112を延長形成すると
共に、ピストンロッド110を連結する延長部分113
にクッションリング114を装着する。
【0006】また、前記ヘッドカバー104,ロッドカ
バー106の内側面に空気流出入口A,A’と連通する
状態下において前記クッションプランジャ112、もし
くはクッションリング114がスライディング可能な状
態で嵌められる通路116,118を形成してピストン
108によって押されてクッション室R、R’内の空気
が通路116,118を介して作動圧タンク、ここで
は、空気タンク(図示省略)に回収され得るようにす
る。
【0007】前記ヘッドカバー104,ロッドカバー1
06に形成された前記通路116,118はピストン1
08の継続されるリターン移動に従って嵌められるクッ
ションプランジャ112、もしくはクッションリング1
14によって閉鎖されてクッション室R内の空気がそれ
以上通路116,118を通じて空気流出入口Aに流入
しないように構成されている。
【0008】このように、通路116,118が閉鎖さ
れるに従ってクッション室R,R’に停滞される空気の
流出経路を設けるため前記ヘッドカバー104,ロッド
カバー106に通路116,118の一側に空気流出入
口A,A’と連通するオリフィスO,O’が穿設されて
クッション室R、R’の空気を流出し得るようにする。
【0009】前記オリフィスO,O’の開口量を調節で
きるクッションバルブ120,122をヘッドカバー1
04,ロッドカバー106に装着してこのクッションバ
ルブ120,122によってオリフィスOを通じる空気
の流通量を規制することにより、クッション室R、R’
の空気の流出入速度に従うピストン108の緩衝力を調
節する。
【0010】前記のような構成で一側のヘッドカバー1
04の空気流出入口Aと一側のヘッドカバー104の通
路116を通じて空気が加圧状態で一側のクッション室
Rに流入されるとシリンダチューブ102の一側にある
ピストン108は空気の圧力によってシリンダチューブ
102の他側(ロッドカバー106方向)に移動してピ
ストンロッド110を直線移動させる。
【0011】このとき、ピストンの延長部に突出形成さ
れたクッションリング114が他側のロッドカバー10
6の通路118に嵌められて他側の通路118を閉鎖す
る前まではピストン108のクッション室R’側の空気
が通路118を介して空気流出口A’に流入するに従い
速い速度で右側に移動する。
【0012】そして、一旦通路118がクッションリン
グ114によって閉鎖されるとクッション室R’内の残
りの空気がオリフィスOのみを通じて他側の空気流出入
口Aに流入するに従って、ピストン108は徐々に右側
に完全に移動するようになる。すなわち、空気の流出速
度を調節して発生する弾力となる緩衝力がピストン10
8に作用する。
【0013】一方、他側の空気流出入口A’および他側
の通路118を通じて空気をピストン108の右側のク
ッション室R’に供給するとピストン108はピストン
ロッド110とともにシリンダチューブ102の図1左
側(クッション室R方向)に移動してピストンロッド1
10を往復運動する。
【0014】このとき、なお類似した方法で、ピストン
108に装着されたクッションプランジャ112が一側
の通路116に嵌められてこの通路116を閉鎖する前
まではピストン108の移動による一側のクッション室
Rの空気が通路116を経て一側の空気流出入口Aに流
入するに従いピストン108は速く左側に移動する。
【0015】しかしながら、一旦プランジャ112によ
り通路116が閉鎖されるとクッション室Rの残りの空
気がオリフィスOを通じて空気流出入口Aに流入するに
従って、ピストン108は徐々に同図左側に移動する。
すなわち、空気が有する弾力と空気の流出速度調節でピ
ストン108に緩衝力が作用する。
【0016】図11には前記のような従来の緩衝構造を
有する空気圧シリンダにおいて、ピストン108の緩衝
作用時間と緩衝力に応じて発生する衝撃力の変化を示す
グラフが示されている。
【0017】すなわち、一定の曲線‘X’で表示された
ピストン108の特性曲線は、“Tss”区間の時間の
間緩衝力を発生し、このとき発生する最高の衝撃力“P
ps”はほぼ10kgf/cm2であることがわかる。
【0018】一方、前記のような衝撃力を受ける状態で
往復運動が行なわれるピストン108に作用する緩衝力
はクッションバルブ120,122によるオリフィスO
の開口程度の調節と、これに従うオリフィスOを通じた
空気の流通量規制でその程度を調節できる。
【0019】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記の
ような従来の空気圧シリンダにおいては流出する流体す
なわち、空気流出速度の急激な制限が空気圧シリンダに
作用する大きい衝撃力となり空気圧シリンダの寿命の短
縮をもたらすばかりでなく、緩衝力の作用時間が長くて
空気圧シリンダの行程速度をより遅くするという問題点
がある。上記問題点は、アクチュエータとしての油圧シ
リンダにおいても、同様である。
【0020】従って、本発明の目的は、衝撃力を減少さ
せて、空気圧あるいは油圧など流体圧シリンダの寿命を
延長させるばかりでなく、緩衝作用時間を短縮して上記
流体圧シリンダが迅速な作動行程を行なえるようにする
手段を提供することにある。
【0021】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
の本発明の流体圧シリンダは、シリンダチューブと、こ
のシリンダチューブの両側端部に固定配置され緩衝力を
調節するクッション調節バルブと作動圧が流出入する作
動圧流出入口を備えたカバーと、前記シリンダチューブ
およびカバーに内装されたピストンと、このピストンに
固定された一側の前記カバーを摺動可能な状態で貫通す
るピストンロッドと、作動圧流出入口を通じて流出入す
る作動圧によるピストンの往復行程の際、衝撃力を緩和
させる緩衝装置とで構成される流体圧シリンダにおい
て、前記ピストンの頭部とピストンロッドの結合部分に
カバーの作動圧流出入口と連通する通路に嵌入する際、
クッション室と前記通路を漸減的に連通させるクッショ
ンスリーブを備え;前記クッションスリーブには、その
外周にクッションスリーブの内外部を連通させる複数の
オリフィスと;クッションスリーブの内部で前記複数の
オリフィスとそれぞれ連通するクッションスリーブの内
部に円周方向に掘られる複数の円周溝と;この複数の円
周溝を互いに連通するよう前記クッションスリーブの内
周面にクッションスリーブの長さ方向に穿設形成された
複数の直線溝を有する。さらに、
【0022】前記ピストンの所定移動位置でピストンの
一側面、あるいは他側面に押されて開放されることによ
り、クッション室と通路を選択的に連通させる急速リタ
ーンバルブと;作動圧流出入口を介して作動圧が流入す
る際、選択的に開放されて作動圧がその圧力程度に応じ
て急速にクッション室に流入することにより、ピストン
が迅速な作動行程を行なえるようにする作動圧急速供給
バルブとを備えてなることを特徴とする。
【0023】さらに、前記クッションスリーブは通路を
有するホールの一側に固定装着されたVパッキングによ
って通路と一定のギャップを有しかつ一時的な密閉状態
で移動することを特徴とする。
【0024】さらに、前記急速リターンバルブは、作動
圧流出入口と連通するようカバーに形成されたねじ部を
有するバルブホールに螺着されるバルブボディーと;こ
のバルブボディーをそのステム部がバルブボディーと一
定のギャップを有する状態で貫通され、そのヘッド部が
前記バルブホールにバルブホールと一定のギャップを有
する状態で内装されるポペットバルブと;前記バルブホ
ールに内装されてポペットバルブのヘッド部を弾性支持
する弾性部材とからなることを特徴とする。
【0025】さらに、前記作動圧急速供給バルブは、作
動圧流出入口と連通するようカバーに形成されたねじ部
を有するバルブホールに螺着され、中央に作動圧流通ホ
ールを穿設形成してクッション室と前記作動圧流出入口
が連通され得るバルブボディーと;このバルブボディー
の内側面に配置され、バルブホールに内装される弾性部
材と;前記弾性部材によって弾性支持され、バルブホー
ルに内装され、作動圧流出入口を介して流入する作動圧
によってバルブホールを開閉するチェックボールとから
なることを特徴とする。
【0026】
【発明の実施の形態】以下、本発明の好ましい実施例を
添付図面を参照して詳細に説明する。
【0027】実施例においては、流体圧シリンダとし
て、従来技術の説明と同様、空気圧シリンダを用いてい
る。
【0028】本発明による緩衝装置が適用される流体圧
シリンダおよびその緩衝装置は図3および図4に示すよ
うに、空気圧シリンダは、バレル形のシリンダチューブ
2を備える。 また、前記シリンダチューブ2の両側端
部には1対のカバーとしてヘッドカバー4,ロッドカバ
ー6が連結されており、各ヘッドカバー4,ロッドカバ
ー6には緩衝力を調節するクッション調節バルブ8,1
0が設置されており、さらに、図示せざる空気タンクと
連通して空気が流出入する空気流出入口12,14がそ
れぞれ形成されている。
【0029】一方、前記シリンダチューブ2およびヘッ
ドカバー4,ロッドカバー6の内部にはピストン16が
密着状態に内装されており、このピストン16にはヘッ
ドカバー4を貫通するピストンロッド18が固定形成さ
れてこのピストンロッド18が往復運動に伴うことを行
なうようにする。従って、前記空気圧シリンダはシリン
ダチューブ2の内周面とともにヘッドカバー4の同図右
側面とピストン16の左側面によって画定される第1ク
ッション室28と、シリンダチューブ2の内周面ととも
にロッドカバー6の左側面とピストン16の右側面によ
って画定される第2クッション室30が構成される。
【0030】一方、前記のような空気圧シリンダには図
示せざる圧縮機に連通する空気タンク(油圧シリンダに
おいては、油圧ポンプ下流)と第1、第2クッション室
28,30の間に作動圧流出入口としての空気流出入口
12,14を介して流出入する作動圧としての圧縮空気
(油圧シリンダにおいては、圧油)によるピストン16
の往復行程の際、衝撃力を緩和させる緩衝装置が備えら
れる。
【0031】前記のような緩衝装置はピストン16の頭
部とピストンロッド18の連結部分にそれぞれ装着され
た1対のクッションスリーブ20,22を備え、ヘッド
カバー4,ロッドカバー6の空気流出入口12,14と
それぞれ連通する通路24,26にクッションスリーブ
20,22が嵌入されるに従って、前記クッションスリ
ーブ20,22によってクッション室28,30と通路
24,26がそれぞれ漸減的に連通する。
【0032】前記のようなクッションスリーブ20,2
2は図5および図6に示すように、その外周に複数のオ
リフィスOが穿設されて、このオリフィスOを通じてク
ッションスリーブ20,22の内外部がそれぞれ通路2
4、26と連通する。
【0033】さらに、クッションスリーブ20,22の
内周面に円周方向に掘られる複数の円周溝Hおよびこの
複数の円周溝Hを互いに連通させる長さ方向に掘られる
複数の直線溝H’を設けて、前記複数のオリフィスOと
複数の円周溝Hおよび直線溝H’によって空気流出入口
12,14とクッション室28,30が互いに連通する
ように構成されている。
【0034】さらに、前記クッションスリーブ20,2
2は、通路24,26の一側に固定装着されたVパッキ
ング9によって通路24,26と一定のギャップを有
し、かつ一時的な密閉状態になるように移動する。
【0035】一方、前記のような緩衝装置はヘッドカバ
ー4,ロッドカバー6にそれぞれ設けられる急速リター
ンバルブ32,34を備え、この急速リターンバルブ3
2,34にしてピストン16の所定移動位置においてピ
ストン16の一側面、もしくは他側面に押されて開放さ
れることにより、クッション室28,30と一対のカバ
ーすなわち、ヘッドカバー4,ロッドカバー6の通路2
4,26が選択的に連通させ得るようにする。
【0036】前記のような急速リターンバルブ32,3
4は図7および図8に示すように、バルブボディー40
を備えているが、このバルブボディー40にはこれは中
央部を貫通し空気流出入口12または空気流出入口14
と連通する中央孔36が形成されている。また、このバ
ルブボディー40にはねじ山38が形成されてそれぞれ
のヘッドカバー4,ロッドカバー6に形成されたねじ部
に螺着して固定される。
【0037】このようなバルブボディー40の中央孔3
6には、そのヘッド部44が、図8に示すように、それ
ぞれバルブホール48,50に内装されるポペットバル
ブ52のステム部56がバルブボディー40と一定のギ
ャップを有する状態で貫通する。
【0038】さらに、前記ポペットバルブ52のヘッド
部44もなおバルブホール48でヘッドカバー4,ロッ
ドカバー6と一定のギャップを有する状態で内装されて
ヘッド部44によるバルブボディーの中央孔36の開閉
に応じてクッション室28,30と空気流出入口12,
14が選択的に連通する。
【0039】前記のようなポペットバルブ52はバルブ
ホール48,50に内装される弾性部材35によってそ
のヘッド部44が弾性支持されて弾性部材35の弾力に
応じてバルブボディー40,42の中央孔36を閉塞し
ている。
【0040】さらに、前記緩衝装置はヘッドカバー4,
ロッドカバー6にそれぞれ構成される作動圧急速供給バ
ルブとしての空気急速供給バルブ60,62を備え、空
気流出入口12,14を介しての空気の流入の際、空気
の圧力程度に応じて所定開度で急速にクッション室2
8,30に流入することにより、ピストン16の迅速な
作動行程を可能にする。
【0041】このような空気急速供給バルブ60,62
は図9および図10に示すように、空気流出入口12,
14と連通する状態でヘッドカバー4,ロッドカバー6
に形成されたねじ部を有するそれぞれのバルブホール6
4,66に螺合するねじ山70により螺着されるバルブ
ボディー68を備える。
【0042】かかるバルブボディー68には作動圧流通
ホールとしての空気流通ホール72が穿たれてこの空気
孔72,74を介してバルブホール64または66とク
ッション室28,30が連通され得るようにしており、
前記バルブボディー68のバルブホール64には弾性部
材75の一端に弾性支持されるチェックボール76を内
装してこのチェックボール76,78によりバルブボデ
ィー68のバルブホール64,66を開閉できるように
する。
【0043】前記のようなチェックボール76,78は
弾性部材75の弾力で弾性支持されてバルブホール6
4,66を閉塞し、その後バルブホール64,66に流
入する空気流出入口12,14を通じた空気圧に応じて
バルブホール64,66を開放する。
【0044】図3、図4において80はウエアリング、
82はオー(O)リング、84はクォータリング、86
は磁石バンドであり、前記ウエアリング80は摩擦力を
減少させるため装着され、オーリング82とクォータリ
ング84とはシーリングのため装着される。
【0045】特に、クォータリング84は二ヶ所の接点
部を有していてシーリングの効果を極めて大きくさせ、
また前記磁石バンド86はピストン16の移動の際位置
を感知してピストン16の行程制御に必要な信号を送出
する。
【0046】前記のような構成でシリンダチューブ2の
一側のクッション室28に一側の空気流出入口12を介
して空気圧が供給されるとピストン16はピストンロッ
ド18とともに空気圧に押されてシリンダチューブ2の
他側に(クッション室30方向)に移動するようにな
り、シリンダチューブ2の他側のクッション室30に存
在する空気はシリンダチューブ2の他側のロッドカバー
6に形成された通路26および空気流出入口14を通じ
て空気タンク(図示省略)に流出される。
【0047】このとき、ピストン16が他側の緩衝作動
領域にまで移動されると前記ピストンロッド18の頭部
に固定装着された他側のクッションスリーブ22は他側
のロッドカバー6の通路26に嵌められて他側の通路2
6を閉鎖することにより、ピストン16が他側のクッシ
ョン室30に一時的に停滞される空気によって緩衝力を
受けるようになる。
【0048】また、一側のクッション室28に供給され
る空気圧によってピストン16が他側のクッション室3
0の空気をある程度圧縮しながら他側のクッションスリ
ーブ22をさらに他側の通路26に押圧すると前記他側
のクッションスリーブ22はその複数のオリフィスOと
内周面の円周溝Hおよび直線溝H’を通じて他側のクッ
ション室30と他側の空気流出入口14を漸減的に連通
させて漸増的にピストン16に緩衝力が作用されるよう
にする。
【0049】さらに、ピストン16が漸減的な緩衝力を
受けながら急速リターンバルブ34をなすポペットバル
ブ52のステム部56を押すとこのポペットバルブ52
は弾性部材35の弾性に抗して移動してそのヘッド部4
6にしてバルブボディー40の中央孔36を開放し、他
側のクッション室30と他側のロッドカバー6の空気流
出入口14を連通させることにより、他側のクッション
室30に停滞されていた空気を空気タンク(図示省略)
に流出させてピストン16の緩衝力を迅速に除去する。
【0050】一方、他側の空気流出入口14を通じて他
側のクッション室30に空気圧を供給すると図4に示す
ように、ピストン16は前記において説明したような同
一の作動でシリンダチューブ2の同図左側に押されてピ
ストンロッド18を往復運動させる。
【0051】このとき、空気急速供給バルブ62に作用
する空気圧はチェックボール78にして弾性部材75の
弾性に抗して移動してバルブホール66を開放すること
により、バルブホール66を介して空気圧が付加的に他
側のクッション室30に供給され、これによってピスト
ン16が迅速に作動行程を行なうようにする。
【0052】前記ピストン16がシリンダチューブ2の
一側の緩衝作動領域にまで移動されると前記ピストン1
6のピストンロッド18の結合部に固定装着された一側
のクッションスリーブ20は一側のヘッドカバー4の通
路24に嵌入して一側の通路24を閉鎖することによ
り、ピストン16に一側のクッション室28に一時的に
停滞する空気によって緩衝力を与える。
【0053】また、他側のクッション室30に供給され
続ける空気圧によってピストン16が一側のクッション
室28の空気をある程度圧縮しながら一側のクッション
スリーブ20をさらに一側の通路24に押圧すると前記
一側のクッションスリーブ20はその複数のオリフィス
Oと内周面の円周溝Hおよび直線溝H’を通じて一側の
クッション室28と一側の空気流出入口12を漸減的に
連通させてピストン16に漸増的な緩衝力が作用され
る。
【0054】また、ピストン16が漸減的な緩衝作用を
受けながら一側の急速リターンバルブ32をなすポペッ
トバルブ52のステム部56を押すとこのポペットバル
ブ52は弾性部材35の弾性に抗して移動してそのヘッ
ド部44によるバルブボディー40の中央孔36を開放
するに従って一側のクッション室28と一側のヘッドカ
バー4の空気流出入口12を連通させることにより、一
側のクッション室28に停滞されていた空気を空気タン
クに流出させてピストン16の緩衝力を迅速に除去す
る。
【0055】
【実施例】図11に示された線図‘Y’は本発明のピス
トン16の行程時間に従う衝撃力の特性を示すグラフで
あってピストン16の緩衝行程時間‘Tsd’と緩衝力
に応じて発生される衝撃圧力‘Ppd’の変化を示す。
すなわち、ピストン16は‘Tsd’区間の時間の間緩
衝力が与えられ、このとき、発生する最高の衝撃圧力は
5kgf/cm2 以下となり従来のものに比べて短時間の緩
衝作用を行いピストンロッド18が迅速な作動行程を行
なうようにし、かつ空気圧シリンダで発生される衝撃圧
力もより小さいことがわかる。
【0056】一方、前記のような緩衝力を受ける状態で
往復運動が行なわれるピストン16に作用される緩衝力
は従来の同様にクッション調節バルブ8,10によるバ
ルブホールの開放調節と、これに従う空気の流通量の規
制でその程度を調節できる。
【0057】
【発明の効果】以上説明したように、前記のような特性
を有する本発明による緩衝装置は空気圧シリンダばかり
でなく、油圧シリンダにも適用が可能で油圧力によって
作動される油圧シリンダの緩衝特性を向上させることも
できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】従来の空気圧シリンダを示す一断面図である。
【図2】従来の空気圧シリンダの作用状態を示す一断面
図である。
【図3】本発明による空気圧シリンダを示す一断面図で
ある。
【図4】本発明による空気圧シリンダの作用状態を示す
一断面図である。
【図5】本発明によるクッションスリーブを示す部分斜
視図である。
【図6】本発明によるクッションスリーブを示す一断面
図である。
【図7】本発明による空気圧シリンダの急速排気バルブ
を示す部分断面斜視図である。
【図8】本発明による空気圧シリンダの急速排気バルブ
を示す一断面図である。
【図9】本発明による空気圧シリンダの急速供給バルブ
を示す部分断面斜視図である。
【図10】本発明による空気圧シリンダの急速供給バル
ブを示す一断面図である。
【図11】本発明による空気圧シリンダと従来の空気圧
シリンダの緩衝性能を比較するためのグラフである。
【符号の説明】
2 シリンダチューブ 4 ヘッドカバー 6 ロッドカバー 8,10 クッション調節バルブ 9 Vパッキング 12,14 空気流出入口 16 ピストン 18 ピストンロッド 20,22 クッションスリーブ 24,26 通路 28,30 クッション室 32,34 急速リターンバルブ 36 中央孔 40 バルブボディー 44 ヘッド部 48,50 バルブホール 52 ポペットバルブ 56 ステム部 60,62 空気急速供給バルブ 64,66 バルブホール 68 バルブボディー 76,78 チェックボール 75 弾性部材 80 ウエアリング 82 オーリング 84 クォータリング 86 磁石バンド
フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭61−124706(JP,A) 特開 昭59−9305(JP,A) 実開 平4−32305(JP,U) 特公 昭56−48011(JP,B2) 特公 昭48−13916(JP,B1) 実公 昭59−42483(JP,Y2) (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) F15B 15/22

Claims (3)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 シリンダチューブと、このシリンダチュ
    ーブの両側端部に固定配置されて作動圧がそれぞれ流出
    入される1対の作動圧流出入口を備えた1対のカバー
    と、前記1対のカバーに設置されて緩衝力を調節するク
    ッション調節バルブと、前記シリンダチューブおよびカ
    バーに内装されたピストンと、前記ピストンに固定さ
    れ、一端が前記カバーをスライディング可能な状態で貫
    通して外部に延長され、他端をピストンの反対方向に突
    出形成されたピストンロッドと、作動圧流出入口を通じ
    て流出入される作動圧によるピストンの往復行程の際、
    衝撃力を緩和させる緩衝装置とで構成される流体圧シリ
    ンダにおいて、前記緩衝装置は、 前記ピストンの頭部とピストンロッドの結合部に前記カ
    バーの1対の作動圧流出入口に連通する1対の通路に挿
    入され、クッション室と前記通路を漸減的に連通するク
    ッションスリーブを備え; 前記1対のクッションスリーブは、それぞれ、 外周に前記1対のクッションスリーブの内外部を連通さ
    せる複数のオリフィスと; 前記1対のクッションスリーブの内部で前記複数のオリ
    フィスとそれぞれ連通するクッションスリーブの内部に
    円周方向に穿設形成された複数の円周溝と; 前記複数の円周溝を互いに連通するよう前記1対のクッ
    ションスリーブそれぞれの内周面に該クッションスリー
    ブの長さ方向に穿設形成された複数の直線溝が設けら
    れ; 前記 ピストンの所定移動位置でピストンの一側面、ある
    いは他側面によって開放され、ピストンの一側、または
    他側のクッション室と前記通路をそれぞれ選択的に連通
    する1対の急速リターンバルブと; 作動圧流出入口を通じて作動圧が流入されるとき選択的
    に開放され、作動圧が急速にピストンの一側、または他
    側のクッション室にそれぞれ流入されるようにする1対
    の作動圧急速供給バルブとで構成されることを特徴とす
    る流体圧シリンダ。
  2. 【請求項2】前記急速リターンバルブは、それぞれ、 前記作動圧流出入口と連通するよう前記1対のカバーに
    形成されたねじ部を有するバルブホールに螺着される1
    対のバルブボディーと; ステム部が前記1対のバルブボディーに一定のギャップ
    を有する状態で貫通され、 ヘッド部が前記バルブホールに一定のギャップを有する
    状態で内装された1対のポペットバルブと; 前記バルブホールにそれぞれ内装されて1対のポペット
    バルブのヘッド部を弾性支持する1対の弾性部材とから
    なることを特徴とする請求項1記載の流体圧シリンダ。
  3. 【請求項3】 前記作動圧急速供給バルブは、それぞ
    れ、 作動圧流出入口と連通するよう前記1対のカバーに形成
    されたねじ部を有するバルブホールにそれぞれ、螺着さ
    れ、中央に作動圧流通ホールをそれぞれ穿設形成して前
    記ピストンの一側、そして他側のクッション室と前記作
    動圧流出入口を互いに連通可能にするバルブボディー
    と; このバルブボディーの内側面に配置され、バルブホール
    に内装される1対の弾性部材と; 前記それぞれの弾性部材によって弾性支持され、バルブ
    ホールに内装され、作動圧流出入口を介して流入する作
    動圧によって前記バルブホールを開閉する1対のチェッ
    クボールとからなることを特徴とする請求項1記載の流
    体圧シリンダ。
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