WO2017170207A1

WO2017170207A1 - 吸着処理装置

Info

Publication number: WO2017170207A1
Application number: PCT/JP2017/011965
Authority: WO
Inventors: 和之川田; 辰也加賀田
Original assignee: 東洋紡株式会社
Priority date: 2016-03-28
Filing date: 2017-03-24
Publication date: 2017-10-05
Also published as: CN109069981A; JP7028161B2; CN109069981B; JPWO2017170207A1

Abstract

吸着処理装置１００は、複数の吸着体３０が筒孔９０ａを有する円筒状に配置された筒状ロータ９０と、互いに区画された第１領域Ｒ１および第２領域Ｒ２とを備え、筒状ロータ９０の筒軸Ｃは、水平方向に延在し、筒孔９０ａは、一端が閉塞し、他端が開口しており、第１領域Ｒ１は、内周側流路形成部材４および外周側流路形成部材５に対して複数の吸着体３０の一部が気密または液密に連通する領域であり、第２領域Ｒ２は、筒孔９０ａの他端の開口から流出するように、筒状ロータ９０の外周側から内周側に向けて流体が吸着体３０に導入される領域、または、筒孔９０ａの他端の開口から流入した流体が、筒状ロータ９０の内周側から外周側に向けて、吸着体３０に導入される領域である。

Description

吸着処理装置

　本発明は、大流量の流体を処理する吸着処理装置に関する。

　従来の吸着処理装置が開示された文献として、たとえば、特許文献１が挙げられる。

　特許文献１に開示の吸着処理装置にあっては、中央に空間部（筒孔）が形成された円筒状の回転枠体（円筒状ロータ）が、その回転軸（筒軸）が鉛直方向に沿って延在するように配置されている。回転枠体には、通過ガスを処理する複数の吸着ブロックが周方向に並んで配置されている。

　円筒状ロータにおいて、中央の空間部の下方側は、閉塞されており、中央の空間部の上方側は、ダクトに連通している。また、周方向における円筒状ロータの一部を他の部分から区画するために、円筒状ロータの内周側および外周側に、内周側ダクトおよび外周側ダクトが設けられている。

　この吸着処理装置にあっては、低濃度の被処理物質を含む処理対象ガスを、上述の他の部分における円筒状ロータの外周側から導入し、被処理物質を吸着ブロックにて吸着除去させる。被処理物質が除去された処理済のガスは、中央の空間部を通ってこれに連通するダクトに送出される。

　一方で、内周側ダクトから、区画された上述の円筒状ロータの一部に再生ガスを導入し、吸着ブロックにて吸着された被処理物質を再生ガスに移動させ排出する。これにより、
吸着ブロックの吸着能力を回復させる。

日本国公開特許公報「特開昭６３－８４６１６号」

　近年、吸着処理装置にあっては、処理能力を高めるために、吸着容量を増加させることが要求されている。吸着容量は、円筒状ロータの吸着ブロックの体積に影響される。このため、円筒状ロータの筒軸方向の高さを大きくしたり、複数の円筒状ロータを上下方向に並べて配置したりすることにより、吸着容量を増加させることができる。

　しかしながら、特許文献１に開示のように、筒軸が鉛直方向を向くように円筒状ロータをステージ上に設置する態様で吸着処理装置を構成する場合には、複数の円筒状ロータを上下方向に並べて配置することにより、高さ制限等の規制によって搬送上に問題が発生してしまう。

　また、筒軸が鉛直方向を向く状態で円筒状ロータを回転させる場合には、不安定となりやすい。このため、円筒状ロータの筒軸方向の高さを大きくしたり、複数の円筒状ロータを鉛直方向に重ねて配置したりすることによって、円筒状ロータを回転させる際に、回転軸が安定せず、円筒状ロータがさらにぐらつく場合があり、使用上においても問題があった。

　本発明は、上記のような問題に鑑みてなされたものであり、本発明の目的は、より多くの流体を処理できる大きさを有し、安定して搬送および回転させることができる吸着処理装置を提供することにある。

　本発明の第１の局面に基づく吸着処理装置は、複数の吸着体が筒孔を有する筒状に配置され、筒軸周りに回転可能な中空のロータであり、内周が上記筒孔を規定する筒状ロータと、互いに区画され、かつ、上記筒状ロータが回転することにより複数の上記吸着体が交互に通過することとなる第１領域および第２領域と、を備える。上記筒状ロータの上記筒軸は、水平方向に延在し、上記筒孔は、一端が閉塞し他端が開口しており、上記第１領域は、上記筒状ロータの内周側および外周側において互いに対向するように配設される内周側流路形成部材および外周側流路形成部材に対して、上記筒状ロータの回転に伴って移動する複数の上記吸着体の一部が気密または液密に連通する領域である。上記第２領域は、上記内周側流路形成部材の周囲に位置する上記筒孔を通過して上記筒孔の他端の開口から流出するように、上記筒状ロータの外周側から内周側に向けて流体が上記吸着体に導入される領域、または、上記筒孔の他端の開口から流入し上記内周側流路形成部材の周囲に位置する上記筒孔を通過した流体が、上記筒状ロータの内周側から外周側に向けて、上記吸着体に導入される領域である。

　上記本発明の第１の局面に基づく吸着処理装置にあっては、上記内周側流路形成部材は、上記筒孔の内部を上記筒軸方向に沿って延在するとともに、上記筒孔の他端の開口から外部に向けて延出され、上記第１領域は、上記内周側流路形成部材の内部を通過した流体が上記筒状ロータの内周側から外周側に向けて上記吸着体に導入される領域、または、上記内周側流路形成部材に導入されるように、流体が上記筒状ロータの外周側から内周側に向けて上記吸着体に導入される領域であってもよい。

　上記本発明の第１の局面に基づく吸着処理装置にあっては、筒状ロータは、互いに隣り合う上記吸着体の間にそれぞれが配置される複数の仕切体をさらに含んでいてもよい。この場合には、上記複数の仕切体によって複数の上記吸着体の各々が配置される複数の空間部が形成されることが好ましい。さらに、上記内周側流路形成部材は、上記筒状ロータの内周側に向かい合う内周側開口端部を含むことが好ましい。この場合には、上記筒状ロータの回転方向の前方側に位置する上記内周側開口端部の回転方向前方側縁部および上記筒状ロータの上記回転方向の後方側に位置する上記内周側開口端部の回転方向後方側縁部のそれぞれには、上記回転方向に沿って湾曲する内周側湾曲面が設けられることが好ましい。さらに、上記外周側流路形成部材は、上記筒状ロータの外周側に向かい合う外周側開口端部を含むことが好ましい。この場合には、上記筒状ロータの上記回転方向の前方側に位置する上記外周側開口端部の回転方向前方側縁部および上記筒状ロータの上記回転方向の後方側に位置する上記外周側開口端部の回転方向後方側縁部のそれぞれには、上記回転方向に沿って湾曲する外周側湾曲面が設けられることが好ましい。また、上記筒状ロータの内周側に位置する部分の上記仕切体には、上記筒孔の一端側から他端側にかけて延在し、上記筒状ロータの径方向内側に向けて上記仕切体から突出する内側シール部材が設けられることが好ましく、上記筒状ロータの外周側に位置する部分の上記仕切体には、上記筒孔の一端側から他端側にかけて延在し、上記径方向外側に向けて上記仕切体から突出する外側シール部材が設けられることが好ましい。さらに、この場合には、上記筒状ロータの回転に伴って、上記内周側湾曲面に対して上記内側シール部材が摺動し、上記外周側湾曲面に対して上記外側シール部材が摺動することにより、複数の上記空間部の一部が上記内周側流路形成部材および上記外周側流路形成部材に対して気密または液密に連通することが好ましい。

　上記本発明の第２の局面に基づく吸着処理装置は、複数の吸着体が筒孔を有する筒状に配置され、筒軸周りに回転可能な中空のロータであり、内周が上記筒孔を規定する複数の筒状ロータと、互いに区画され、かつ、複数の上記筒状ロータが回転することにより、複数の上記吸着体が交互に通過することとなる第１領域および第２領域と、を備える。複数の上記筒状ロータは、複数の上記筒状ロータの各々が有する上記筒軸が直線状に並ぶとともに複数の上記筒状ロータの各々が有する上記筒孔が連通するように、水平方向に並んで配置され、水平方向に並ぶ複数の上記筒状ロータのうち一方の端に位置する上記筒状ロータの上記筒孔は、隣接する上記筒状ロータがない一端が閉塞し隣接する上記筒状ロータがある他端が開口しており、水平方向に並ぶ複数の上記筒状ロータのうち上記一方の端に位置する上記筒状ロータ以外の複数の上記筒状ロータの上記筒孔は、両端が開口している。上記第１領域は、連通する複数の上記筒孔内において複数の上記筒状ロータに跨る部分を含むように設けられた内周側流路形成部材、および、上記内周側流路形成部材に対向するように複数の上記筒状ロータの外周側に配置された外周側流路形成部材に対して、複数の上記筒状ロータの回転に伴って移動する複数の上記筒状ロータに含まれる複数の上記吸着体の一部が、気密または液密に連通する領域である。上記第２領域は、連通する複数の上記筒孔のうち上記内周側流路形成部材の周囲に位置する部分を通過して、水平方向に並ぶ複数の上記筒状ロータのうち他方の端に位置する上記筒状ロータにおける上記筒孔の隣接する上記筒状ロータがない側の開口から流出するように、複数の上記筒状ロータの外周側から内周側に向けて、流体が上記吸着体に導入される領域、または、水平方向に並ぶ複数の上記筒状ロータのうち上記他方の端に位置する上記筒状ロータにおける上記筒孔の隣接する上記筒状ロータがない側の開口から流入し、連通する複数の上記筒孔のうち上記内周側流路形成部材の周囲に位置する部分を通過した流体が、複数の上記筒状ロータの内周側から外周側に向けて上記吸着体に導入される領域である。

　上記本発明の第２の局面に基づく吸着処理装置にあっては、上記外周側流路形成部材は、複数の流路形成部材を含んでいてもよい。この場合には、上記複数の流路形成部材の各々は、複数の上記筒状ロータのそれぞれに対応して配置されていることが好ましい。

　上記本発明の第２の局面に基づく吸着処理装置にあっては、上記第１領域は、上記内周側流路形成部材の内部を通過した流体が、上記筒状ロータの内周側から外周側に向けて、上記吸着体に導入される領域、または、上記内周側流路形成部材に導入されるように、流体が上記筒状ロータの外周側から内周側に向けて上記吸着体に導入される領域であることが好ましい。

　上記第２の局面に基づく吸着処理装置にあっては、複数の上記筒状ロータの各々は、互いに隣り合う吸着体の間にそれぞれが配置される複数の仕切体をさらに含んでいてもよい。この場合には、上記複数の仕切体によって複数の上記吸着体の各々が配される複数の空間部が形成されることが好ましい。上記内周側流路形成部材は、複数の上記筒状ロータの内周側に向かい合う内周側開口端部を含むことが好ましい。この場合には、上記筒状ロータの回転方向の前方側に位置する上記内周側開口端部の回転方向前方側縁部および上記筒状ロータの上記回転方向の後方側に位置する上記内周側開口端部の回転方向後方側縁部のそれぞれには、上記回転方向に沿って湾曲する内周側湾曲面が設けられることが好ましい。さらに、上記外周側流路形成部材は、複数の上記筒状ロータの外周側に向かい合う外周側開口端部を含むことが好ましい。この場合には、上記筒状ロータの上記回転方向の前方側に位置する上記外周側開口端部の回転方向前方側縁部および上記筒状ロータの上記回転方向の後方側に位置する上記外周側開口端部の回転方向後方側縁部のそれぞれには、上記回転方向に沿って湾曲する外周側湾曲面が設けられることが好ましい。また、複数の上記筒状ロータの各々において、上記筒状ロータの内周側に位置する部分の上記仕切体には、上記筒孔の一端側から他端側にかけて延在し、上記筒状ロータの径方向内側に向けて上記仕切体から突出する内側シール部材が設けられることが好ましく、複数の上記筒状ロータの各々において、上記筒状ロータの外周側に位置する部分の上記仕切体には、上記筒孔の一端側から他端側にかけて延在し、上記径方向外側に向けて上記仕切体から突出する外側シール部材が設けられることが好ましい。複数の上記筒状ロータの回転に伴って、上記内周側湾曲面に対して上記内側シール部材が摺動し、上記外周側湾曲面に対して上記外側シール部材が摺動することにより、複数の上記空間部の一部が上記内周側流路形成部材および上記外周側流路形成部材に対して気密または液密に連通することが好ましい。

　上記第１の局面および第２の局面に基づく吸着処理装置にあっては、上記第１領域に導入される流体は、好適には加熱流体であり、上記第２領域に導入される流体は、好適には被処理物質が含まれる被処理流体である。この場合には、上記第２領域に上記被処理流体が導入されることにより、上記被処理物質が上記第２領域に位置する上記吸着体によって上記被処理流体から吸着除去されることが好ましく、上記第１領域に加熱流体が導入されることにより、上記吸着体に吸着された上記被処理物質が上記第１領域に位置する上記吸着体から脱着されることが好ましい。

　上記第１の局面および第２の局面に基づく吸着処理装置にあっては、上記第２領域を通過する上記被処理流体が流れる方向と、上記第１領域を通過する上記加熱流体が流れる方向とが、径方向の向きにおいて逆方向であることが好ましい。

　上記第１の局面および第２の局面に基づく吸着処理装置にあっては、上記被処理流体は、上記筒状ロータの外周側から内周側に導入されることが好ましい。

　上記第１の局面および第２の局面に基づく吸着処理装置にあっては、上記被処理流体は、好適には排気ガスであり、上記加熱流体は、好適には加熱空気である。

　上記第１の局面および第２の局面に基づく吸着処理装置にあっては、上記被処理物質は
、好適には有機溶剤である。

　上記第１の局面および第２の局面に基づく吸着処理装置にあっては、上記吸着体は、ハニカム構造を有することが好ましい。

　本発明によれば、より多くの流体を処理できる大きさを有し、安定して搬送および回転させることができる吸着処理装置を提供することができる。

実施の形態１に係る吸着処理装置の縦断面図である。図１に示すＩＩ－ＩＩ線に沿った断面図である。図１に示す筒状ロータの要部の拡大断面図である。実施の形態２に係る吸着処理装置の縦断面図である。実施の形態３に係る吸着処理装置の縦断面図である。

　以下、本発明の実施の形態について、図を参照して詳細に説明する。なお、以下に示す実施の形態においては、同一のまたは共通する部分について図中同一の符号を付し、その説明は繰り返さない。また、以下に複数の実施の形態が存在する場合は、特に記載がある場合を除き、各々の実施の形態の特徴部分を適宜組み合わせることは、当初から予定されている。

　（実施の形態１）
　図１は、本実施の形態に係る吸着処理装置の縦断面図である。図２は、図１に示すＩＩ－ＩＩ線に沿った断面図である。図３は、図１に示す筒状ロータの要部の拡大断面図である。図１から図３を参照して、本実施の形態に係る吸着処理装置１００について説明する。

　図１に示すように、本実施の形態に係る吸着処理装置１００は、処理室１内に供給された大風量の被処理流体Ｆ１に含まれる被処理物質を後述する吸着体３０を用いて吸着除去して、清浄化された清浄流体Ｆ２を排出する。また、吸着処理装置１００は、吸着除去された被処理物質を含む吸着体３０に加熱流体Ｆ３を吹き付けることにより、当該吸着体３０から被処理物質を脱着させて濃縮流体Ｆ４として排出する。

　被処理物質の吸着処理は、後述する第２領域Ｒ２（図２参照）で行われる。被処理物質の脱着処理は、後述する第１領域Ｒ１（図２参照）で行われる。筒状ロータ９０が筒軸Ｃ周りに回転することにより、第１領域Ｒ１を通過して第２領域Ｒ２に位置する吸着体３０に対して吸着処理が行われ、吸着処理後に第２領域Ｒ２を通過して第１領域Ｒ１に位置する吸着体３０に対して脱着処理が行われる。このように、吸着処理装置１００においては、吸着処理および脱着処理が連続的に実施される。

　図１から図３に示すように、吸着処理装置１００は、筒状ロータ９０、第１流路形成部材２、内周側流路形成部材４、および外周側流路形成部材５を備える。

　筒状ロータ９０は、処理室１内に設置される。筒状ロータ９０は、中空のロータであり、たとえば略円筒状形状を有する。なお、筒状ロータ９０の形状は、円筒形状に限定されず、四角筒形状等の多角筒形状であってもよいし、楕円筒形状であってもよい。

　筒状ロータ９０は、一端が閉塞し、他端が開口した筒孔９０ａを有する。筒孔９０ａは、筒状ロータ９０の内周によって規定される。筒状ロータ９０は、径方向に流体を流動できるように設けられている。筒状ロータ９０は、筒軸Ｃ周りに回転可能に設けられている。筒状ロータ９０は、筒軸Ｃ方向が水平方向に向くように配置されている。なお、筒軸Ｃが水平方向に配置された状態における鉛直方向の筒状ロータ９０の高さは、搬送上に支障がでない高さとされる。また、筒軸Ｃが水平方向に配置された状態における水平方向の筒状ロータの幅も、搬送上に支障をきたさない幅とされる。

　筒状ロータ９０は、一対の板状部材１０の周端面に当接する複数の支持輪７によって回転可能に支持されている。複数の支持輪７は支持部材６上に設置されている。支持輪７としては、片側にフランジ部が設けられた車輪、両側にフランジ部が設けられた車輪等が挙げられる。水平方向を軸方向として軸周りに支持輪７を回転駆動させることにより、筒状ロータ９０を筒軸Ｃ周りに回動させることができる。支持輪７の回転は、モータ等の駆動装置（不図示）、ならびに、シャフトおよびギヤ等の動力伝達機構（不図示）によって行なう。

　なお、支持輪７を回動させずに、筒状ロータ９０に巻き掛けられたベルトやチェーン等（不図示）を、モータ等の駆動装置（不図示）、ならびに、シャフトおよびギヤ等の動力伝達機構（不図示）によって回転させることで、筒状ロータ９０を回転させてもよい。

　筒状ロータ９０は、複数の吸着体３０が筒孔９０ａを有する筒状に配置されることにより構成される。複数の吸着体３０は、たとえば円筒状に配置される。複数の吸着体３０は、所定のピッチで周方向に並んでいる。複数の吸着体３０のそれぞれは、互いに独立した後述する複数の空間部Ｓに収容されている。複数の吸着体３０は、取換可能に構成されている。複数の吸着体３０は、たとえばブロック形状を有する。

　吸着体３０は、活性アルミナ、シリカゲル、活性炭、ゼオライトのいずれかを含む吸着材にて構成される。好適には、吸着体３０は、粒状、紛体状、ハニカム状等の活性炭やゼオライトが利用される。活性炭やゼオライトは、低濃度の有機化合物を吸着および脱着するのに優れている。また、ハニカム状にすることにより、流体の圧力損失を低減させることができ、処理能力を増大させることができる。さらに、ゴミ等の固形物による目詰まりを抑制することができる。

　筒状ロータ９０は、一対の板状部材１０および複数の仕切体２０を含む。一対の板状部材１０は、互いに対向するように配置されている。一対の板状部材１０は、第１板状部材１１と第２板状部材１２とを含む。第１板状部材１１および第２板状部材１２は、筒状ロータ９０の形状に応じて、略円形状を有する。なお、第１板状部材１１および第２板状部材１２の形状は、略円形状に限定されず、四角形等の多角形形状、楕円等のオーバル形状であってもよい。

　第２板状部材１２は、筒状ロータ９０の一方側に位置する。第２板状部材１２は、閉塞部１３を有する。第２板状部材１２は、筒孔９０ａの一端側を閉塞する。閉塞部１３は、たとえば、第２板状部材１２の一部であり、第２板状部材１２の中央部である。なお、閉塞部１３は、上記のように筒孔９０ａの一端側を閉塞できる限り、第２板状部材１２と別部材にて構成されていてもよい。たとえば、第２板状部材１２が筒孔９０ａに連通する開口部を有し、閉塞部１３が第２板状部材１２の開口部を閉塞する閉塞部材であってもよい。

　第１板状部材１１は、筒状ロータ９０の他方側に位置する。第１板状部材１１は、開口部１１ａを有する。開口部１１ａは、筒孔９０ａの他端側に連通する。開口部１１ａは、第１板状部材１１の中央部に設けられている。

　第１板状部材１１および第２板状部材１２は、これらの間に仕切体２０および吸着体３０を配置できるように距離を隔てて設けられている。

　複数の仕切体２０のそれぞれは、互いに隣り合う吸着体３０の間に配置される。複数の仕切体２０によって複数の吸着体３０の各々が配置される複数の空間部Ｓが形成される。具体的には、複数の仕切体２０は、一対の板状部材１０間の空間を周方向に互いに独立した複数の空間部Ｓ（図３参照）に仕切る。複数の仕切体２０は、それらの中心Ｏ（図３参照）が所定のピッチで周方向に並ぶように配置されている。複数の仕切体２０は、筒軸Ｃ方向に気密および／または液密となるように一対の板状部材１０間に取付けられている。

　第１流路形成部材２の一端側は、第１流路形成部材２の内部と筒状ロータ９０の筒孔９０ａとを気密に維持しつつ、筒状ロータ９０が筒軸Ｃ周りの回転することを許容するように構成されている。具体的には、たとえば、第１流路形成部材２の一端側にはフランジ部が設けられており、当該フランジ部と開口部１１ａの周縁に位置する部分の第１板状部材１１とによって環状のシール部材を挟持する。第１流路形成部材２の他端側は、処理室１外に引き出されている。

　筒状ロータ９０の内周側に設けられた筒孔９０ａには、内周側流路形成部材４が配設されている。筒状ロータ９０の外周側には、外周側流路形成部材５が配設されている。内周側流路形成部材４および外周側流路形成部材５は、周方向における筒状ロー９０の一部を挟み込むように、筒状ロータ９０の内周側および外周側において互いに対向して配設されている。

　内周側流路形成部材４は、筒孔９０ａの内部を筒軸Ｃ方向に沿って延在する。内周側主流路形成部材４は、筒孔９０ａの他端の開口（より特定的には第１板状部材１１の開口部１１ａ）から外部に向けて延出するように設けられている。

　内周側流路形成部材４の一端側には、筒状ロータ９０の内周側に向かい合う内周側開口端部４ａが設けられている。内周側開口端部４ａにおける開口面は、周方向において筒状ロータ９０の内周側の一部の領域に対して対向するように設けられている。また、当該開口面は、内周側流路形成部材４の第１板状部材１１および第２板状部材１２の間にかけて筒軸Ｃ方向に筒状ロータ９０の内周側に対向するように設けられている。内周側流路形成部材４の他端側は、第１流路形成部材２に設けられた開口部２ａから第１流路形成部材２の外側に突出している。

　外周側流路形成部材５の一端側には、筒状ロータ９０の外周側に向かい合う外周側開口端部５ａが設けられている。外周側開口端部５ａの開口面は、周方向において筒状ロータの外周側の一部の領域に対向するように設けられている。当該開口面は、第１板状部材１１および第２板状部材１２との間にかけて筒軸Ｃ方向に筒状ロータ９０の外周側に対向するように設けられている。

　図２に示すように、吸着処理装置１００は、周方向に区画された第１領域Ｒ１（図２参照）および第２領域Ｒ２（図２参照）を備える。複数の吸着体３０は、筒状ロータ９０が筒軸Ｃ周りに回転することにより、第１領域Ｒ１と第２領域Ｒ２とを交互に移動する。

　図３に示すように、第１領域Ｒ１は、内周側流路形成部材４および外周側流路形成部材５に対して、筒状ロータ９０の回転に伴って移動する複数の吸着体３０の一部が気密または液密に連通する領域である。より特定的には、第１領域Ｒ１は、内周側流路形成部材４および外周側流路形成部材５に対して、筒状ロータ９０の回転に伴って移動する複数の空間部Ｓの一部が気密に連通する領域である。

　また、第１領域Ｒ１は、流体が吸着体３０に導入される領域でもある。後述のように、第１領域Ｒ１は、内周側流路形成部材４の内部を通過した流体が、筒状ロータ９０の内周側から外周側に向けて、吸着体３０に導入される領域でもある。

　なお、流体の流れを逆向きとしてもよく、第１領域Ｒ１は、内周側流路形成部材４に導入されるように、流体が筒状ロータ９０の外周側から内周側に向けて吸着体３０に導入される領域であってもよい。

　第２領域Ｒ２は、後述するように、内周側流路形成部材４の周囲に位置する筒孔９０ａを通過して筒孔９０ａの他端の開口から流出するように、筒状ロータ９０の外周側から内周側に向けて流体が吸着体３０に導入される領域である。

　なお、第２領域は、筒孔９０ａの他端の開口から流入し内周側流路形成部材４の周囲に位置する筒孔９０ａを通過した流体が、筒状ロータ９０の内周側から外周側に向けて、吸着体３０に導入される領域であってもよい。

　筒状ロータ９０は、複数の仕切体２０のそれぞれに設けられたシール部材４０を含む。複数の仕切体２０のそれぞれは、本体部２１およびシール部材４０を設置するための設置部２２を含む。本体部２１は、たとえば三角筒形状を有する。設置部２２は、内周側設置部２３および外周側設置部２４を有する。

　内周側設置部２３は、板状形状を有する。内周側設置部２３は、筒軸Ｃ方向に延在するように設けられている。内周側設置部２３は、筒状ロータ９０の内周側に位置する本体部２１の頂辺部から、筒状ロータ９０の径方向内側に向けて突出するように設けられている。内周側設置部２３は、本体部２１と一体に構成されていてもよいし、本体部２１とは別部材で構成されていてもよい。内周側設置部２３は、後述する内側シール部材４１を設置するための内周側設置面２３ａを有する。内周側設置面２３ａは、筒状ロータ９０の回転方向に交差する。

　外周側設置部２４は、板状形状を有する。外周側設置部２４は、筒軸Ｃ方向に延在するように設けられている。外周側設置部２４は、筒状ロータ９０の外周側に位置する本体部２１の側面から、筒状ロータ９０の径方向外側に向けて突出するように設けられている。外周側設置部２４は、本体部２１と一体に構成されていてもよいし、本体部２１とは別部材で構成されていてもよい。なお、外周側設置部２４が、本体部２１と別部材で構成される場合には、外周側設置部２４は、たとえばＬ字形状等の本体部２１に取付け可能な形状を有する。外周側設置部２４は、後述する外側シール部材４２を設置するための外周側設置面２４ａを有する。外周側設置面２４ａは、筒状ロータ９０の回転方向に交差する。

　シール部材４０は、たとえば、弾性を有するゴム部材によって構成されている。シール部材４０は、筒状ロータ９０の内周側に位置する内側シール部材４１と筒状ロータ９０の外周側に位置する外側シール部材４２を含む。

　内側シール部材４１は、仕切体２０が有する設置面のうち、筒状ロータ９０の内周側に位置する内周側設置面２３ａに設置されている。内側シール部材４１は、筒孔９０ａの一端側から他端側にかけて延在する。より特定的には、内側シール部材４１は、一対の板状部材１０間を一方の板状部材（第２板状部材１２）から他方の板状部材（第１板状部材１１）にかけて延在する。内側シール部材４１は、筒状ロータ９０の径方向内側に向けて仕切体２０から突出する。

　外側シール部材４２は、仕切体２０が有する設置面のうち、筒状ロータ９０の外周側に位置する外周側設置面２４ａに設置されている。外側シール部材４２は、筒孔９０ａの一端側から他端側にかけて延在する。より特定的には、外側シール部材４２は、一対の板状部材１０間を一方の板状部材（第２板状部材１２）から他方の板状部材（第１板状部材１１）にかけて延在する。外側シール部材４２は、筒状ロータ９０の径方向外側に向けて仕切体２０から突出する。

　内周側流路形成部材４において、筒状ロータ９０の回転方向の前方側に位置する内周側開口端部４ａの回転方向前方側縁部および筒状ロータ９０の回転方向の後方側に位置する内周側開口端部４ａの回転方向後方側縁部のそれぞれには、回転方向に沿って湾曲する内周側湾曲面４ｂ，４ｃが設けられている。

　外周側流路形成部材５において、筒状ロータ９０の回転方向の前方側に位置する外周側開口端部５ａの回転方向前方側縁部および筒状ロータ９０の回転方向の後方側に位置する外周側開口端部５ａの回転方向後方側縁部のそれぞれには、回転方向に沿って湾曲する外周側湾曲面５ｂ，５ｃが設けられている。

　筒状ロータ９０の回転に伴って、内周側湾曲面４ｂ，４ｃに対して内側シール部材４１が摺動し、外周側湾曲面５ｂ，５ｃに対して外側シール部材４２が摺動することにより、複数の空間部Ｓの一部が内周側流路形成部材４および外周側流路形成部材５に対して気密に連通する。

　具体的には、内周側湾曲面４ｂおよび外周側湾曲面５ｂの間に位置する仕切体２０と、内周側湾曲面４ｃおよび外周側湾曲面５ｃの間に位置する仕切体２０との間に位置する空間部Ｓが、内周側流路形成部材４および外周側流路形成部材５に対して気密に連通する。

　このようにして、吸着処理装置１００においては、内周側流路形成部材４および外周側流路形成部材５に対して気密に連通する第１領域Ｒ１と、内周側流路形成部材４および外周側流路形成部材５には連通せず、第１領域Ｒ１とは異なる流路を構成する第２領域Ｒ２とが区画される。

　図１および図３に示すように、第１領域Ｒ１および第２領域Ｒ２には、それぞれ流体が導入される。第２領域Ｒ２を通過する流体が流れる方向と、第１領域Ｒ１を通過する流体が流れる方向とは、筒状ロータ９０の径方向の向きにおいて逆方向であることが好ましい。

　第２領域Ｒ２においては、内周側流路形成部材４の周囲に位置する筒状ロータ９０の筒孔９０ａを通過して筒孔９０ａの他端の開口から流出するように、筒状ロータ９０の外周側から内周側に向けて流体が、吸着体３０に導入される。

　一方で、第１領域Ｒ１においては、内周側流路形成部材４の内部を通過した流体が筒状ロータ９０の内周側から外周側に向けて吸着体３０に導入される。

　第２領域Ｒ２に導入される流体は、排気ガス等の被処理流体である。当該被処理流体には、被処理物質としての有機溶剤が含まれる。第２領域Ｒ２においては、被処理流体の清浄化が行われる。

　清浄化に際して、まず、吸着処理装置１００の第２領域Ｒ２に対して、筒状ロータ９０の外周側から内周側に向かうように排気ガスを導入する。第２領域Ｒ２に導入された排気ガスは、径方向に沿って筒状ロータ９０を通過する際に、第２領域Ｒ２に位置する複数の吸着体３０によって有機溶剤が吸着除去されることにより、清浄化される。

　清浄化された排気ガスは、清浄空気として第２領域Ｒ２から筒状ロータ９０の筒孔９０ａに排出される。筒状ロータ９０の筒孔９０ａに排出された清浄空気は、内周側流路形成部材４の周囲に位置する筒孔９０ａ内を通過して筒孔９０ａの他端の開口（より特定的には第１板状部材１１の開口部１１ａ）から流出する。筒孔９０ａの他端の開口から流出された清浄空気は、第１流路形成部材２を通って処理室１外に排出される。

　第１領域Ｒ１に導入される流体は、加熱空気等の加熱流体である。第１領域Ｒ１においては、吸着体３０に吸着された有機溶剤を脱着することにより、吸着体３０の再生を行なうとともに、有機溶剤の濃度が高くなった濃縮流体を生成する。

　有機溶剤の脱着を行なうためには、内周側流路形成部材４の他端側から加熱空気を導入する。内周側流路形成部材４の他端側から導入された加熱空気は、内周側流路形成部材４の内部を通って、当該内周側流路形成部材４の一端側から第１領域Ｒ１に導入される。

　第１領域Ｒ１に導入された加熱空気は、筒状ロータ９０の内周側から外周側に向けて筒状ロータ９０を通過する際に、熱によって第１領域Ｒ１に位置する複数の吸着体３０からこれらに吸着している有機溶剤を脱着させる。有機溶剤を含んだ加熱空気は、濃縮流体として、第１領域Ｒ１から外周側流路形成部材５に排出される。外周側流路形成部材５に排出された濃縮流体は、回収または燃焼等の後処理がなされる後処理装置に導入される。

　以上のように吸着処理装置１００を構成し、筒軸Ｃが水平方向に向くように筒状ロータ９０を配置する構成とすることにより、回転軸（筒軸Ｃ）が安定し、筒状ロータ９０を安定して回転させることができる。

　また、筒軸Ｃが水平方向を向くように筒状ロータ９０を配置することにより、筒軸Ｃが鉛直方向を向く複数の筒状ロータ９０を鉛直方向に並べて配置する場合と比較して、鉛直方向における全体的な高さが増加することを抑制できる。筒軸Ｃが水平方向に配置された状態における鉛直方向の筒状ロータ９０の高さは、搬送上に支障をきたさない高さに構成されるため、吸着処理装置１００を搬送上に支障をきたさない実用的な大きさとすることができる。これにより、安定して吸着処理装置を搬送することができる。

　さらに、筒軸Ｃが水平方向に向くように筒状ロータ９０が配置された状態における水平方向の筒状ロータ９０の幅を増加するように、筒状ロータ９０を設計することにより、吸着体３０の設置個数または、吸着体３０の体積を増加させることができる。これにより、吸着処理装置１００の吸着容量を増加させることもできる。この結果、より多くの流体を処理することができる。

　なお、本実施の形態においては、第２領域Ｒ２に導入される流体が、有機溶剤を含む排気ガスであり、第１領域Ｒ１に導入される流体が、加熱空気である場合を例示して説明したがこれに限定されず、第２領域Ｒ２に導入される流体が、有機溶剤を含む排水であってもよく、第１領域Ｒ１に導入される流体が、水蒸気であってもよい。このように、液体を流動させる場合には、内周側流路形成部材４および外周側流路形成部材５と、第１領域Ｒ１とは液密に連通するように構成される。

　また、本実施の形態においては、第２領域Ｒ２において、被処理流体を筒状ロータ９０の外周側から内周側に向けて吸着体３０に導入してもよい。

　また、第１領域Ｒ１において、内周側流路形成部材４に導入されるように加熱流体を筒状ロータ９０の内周側から外周側に向けて吸着体３０に導入してもよい。

　さらには、第２領域Ｒ２を通過する流体が流れる方向と、第１領域Ｒ１を通過する流体が流れる方向とは、筒状ロータ９０の径方向の向きにおいて同じ方向となるように、被処理流体を第２領域Ｒ２に、加熱流体を第１領域Ｒ１に導入してもよい。

　（実施の形態２）
　図４は、本実施の形態に係る吸着処理装置の縦断面図である。図４を参照して、本実施の形態に係る吸着処理装置１００Ａについて説明する。

　図４に示すように、本実施の形態に係る吸着処理装置１００Ａは、実施の形態１に係る吸着処理装置１００と比較した場合に、複数の筒状ロータ９０Ａ，９０Ｂ，９０Ｃが並んで配置されている点において相違する。なお、筒状ロータ９０Ａ，９０Ｂ，９０Ｃを特に区別しない場合は、これらを筒状ロータ９０と称する。

　複数の筒状ロータ９０Ａ，９０Ｂ，９０Ｃは、筒軸Ｃが直線状に並ぶように水平方向に並んで配置されている。この状態において、複数の筒状ロータ９０Ａ，９０Ｂ，９０Ｃの各々が有する筒孔９０ａが連通する。

　水平方向に並ぶ複数の筒状ロータ９０Ａ，９０Ｂ，９０Ｃのうち一方の端に位置する筒状ロータ９０Ｃの筒孔９０ａは、隣接する筒状ロータがない一端が閉塞し隣接する円筒ロータがある他端が開口している。筒状ロータ９０Ｃにおける一対の板状部材１０のうち一方側に位置する第２板状部材１２は、隣接する筒状ロータがない側の筒孔９０ａの一端側を閉塞する閉塞部１３を有し、筒状ロータ９０Ｃにおける一対の板状部材１０のうち他方側に位置する第１板状部材１１は、隣接する筒状ロータ９０Ｂが位置する側の筒孔９０ａの他端に連通する開口部１１ａを有する。

　水平方向に並ぶ複数の筒状ロータ９０Ａ，９０Ｂ，９０Ｃのうち一方の端に位置する筒状ロータ９０Ｃ以外の複数の筒状ロータ９０Ａ，９０Ｂの筒孔９０ａは、両端が開口している。複数の筒状ロータ９０Ａ，９０Ｂが各々有する一対の板状部材１０は、水平方向に並ぶ複数の筒孔９０ａを連通させる開口部１１ａ，１２ａを有する。

　複数の筒状ロータ９０Ａ，９０Ｂ，９０Ｃは、隣り合う筒状ロータ９０の筒孔９０ａ同士が気密に維持されるように並んで配置されている。たとえば、複数の一対の板状部材１０のうち互いに隣り合う板状部材１０の間には、隣り合う筒孔９０ａ同士を気密に維持するためのシール部材８が設けられている。

　第１流路形成部材２の一端側は、複数の筒状ロータ９０Ａ，９０Ｂ，９０Ｃが並ぶ方向において両側に位置する２つの筒状ロータ９０Ａ，９０Ｃのうち他方の端位置する筒状ロータ９０Ａの筒孔９０ａと第１流路形成部材２の内部とを気密に維持しつつ、筒状ロータ９０Ａが筒軸Ｃ周りに回転することを許容するように構成されている。具体的には、たとえば、第１流路形成部材２の一端側にはフランジ部が設けられており、当該フランジ部と、他方の端に位置する筒状ロータ９０Ａの開口部１１ａの周縁に位置する部分の第１板状部材１１とによって環状のシール部材を挟持する。第１流路形成部材２の他端側は、処理室１外に引き出されている。

　気密に連通する複数の筒孔９０ａには、内周側流路形成部材４Ａが配設されている。複数の筒状ロータ９０Ａ，９０Ｂ，９０Ｃの外周側には、それぞれ流路形成部材としての外周側流路形成部材５が配設されている。複数の外周側流路形成部材５の各々は、複数の筒状ロータ９０Ａ，９０Ｂ，９０Ｃのそれぞれに対応して配置されている。複数の外周側流路形成部材５の各々と内周側流路形成部材４Ａとは、各筒状ロータ９０Ａ，９０Ｂ，９０Ｃの周方向における一部を挟み込むように、互いに対向して配設されている。

　内周側流路形成部材４Ａは、気密に連通する複数の円筒９０ａ内を筒軸Ｃ方向に沿って延在し、他方側に位置する筒状ロータ９０Ａの開口部１１ａから当該筒状ロータ９０Ａの外側に向けて延出するように設けられている。

　内周側流路形成部材４Ａの一端側（具体的には複数の筒孔９０ａ内を筒軸Ｃ方向に沿って延在する部分の内周側流路形成部材４Ａ）には、複数の筒状ロータ９０の内周側に向かい合うように内周側開口端部４ａが設けられている。内周側開口端部４ａにおける開口面は、複数の筒状ロータ９０の内周側の周方向における一部の領域に対して対向するように設けられている。内周側流路形成部材４Ａの他端側は、第１流路形成部材２に設けられた開口部２ａから第１流路形成部材２の外側に突出している。

　複数の外周側流路形成部材５のそれぞれの一端側には、対応する筒状ロータ９０の外周側に向かい合う外周側開口端部５ａが設けられている。外周側開口端部５ａの開口面は、周方向において筒状ロータ９０の外周側の一部の領域に対向するように設けられている。当該開口面は、対応する筒状ロータ９０の第１板状部材１１および第２板状部材１２との間にかけて筒軸Ｃ方向に筒状ロータ９０の外周側に対向するように設けられている。

　複数の筒状ロータ９０のそれぞれは、内周側流路形成部材４Ａおよび外周側流路形成部材５に対して気密に連通する第１領域Ｒ１と、内周側流路形成部材４Ａおよび外周側流路形成部材５には連通せず、第１領域Ｒ１とは、異なる流路を構成する第２領域Ｒ２とに区画される。

　第１領域Ｒ１は、連通する複数の筒孔９０ａ内において複数の筒状ロータ９０Ａ，９０Ｂ，９０Ｃに跨る部分を含むように設けられた内周側流路形成部材４Ａ、および、内周側流路形成部材４Ａに対向するように複数の筒状ロータ９０Ａ，９０Ｂ，９０Ｃの外周側に配置された外周側流路形成部材５に対して、複数の筒状ロータ９０Ａ，９０Ｂ，９０Ｃの回転に伴って移動する複数の筒状ロータ９０Ａ，９０Ｂ，９０Ｃに含まれる複数の吸着体３０の一部が、気密または液密に連通する領域である。より特定的には、第１領域Ｒ１は、内周側流路形成部材４Ａ、および、外周側流路形成部材５に対して、複数の筒状ロータ９０Ａ，９０Ｂ，９０Ｃに含まれる複数の空間部Ｓの一部が、気密または液密に連通する領域である。

　本実施の形態においては、吸着処理装置１００Ａの第２領域Ｒ２に対して、筒状ロータ９０の外周側から内周側に向かうように排気ガスを導入する。

　すわなち、第２領域Ｒ２は、連通する複数の筒孔９０ａのうち内周側流路形成部材４Ａの周囲に位置する部分を通過して、水平方向に並ぶ複数の筒状ロータ９０Ａ，９０Ｂ，９０Ｃのうち他方の端に位置する筒状ロータ９０Ａにおける筒孔９０ａの、隣接する筒状ロータ９０がない側の開口（より特定的には、第１板状部材１１の開口部１１ａ）から流出するように、複数の筒状ロータ９０Ａ，９０Ｂ，９０Ｃの外周側から内周側に向けて、流体が吸着体３０に導入される領域である。

　第２領域Ｒ２に導入された排気ガスは、径方向に沿って、筒状ロータ９０Ａ，９０Ｂ，９０Ｃをそれぞれ通過する際に、第２領域Ｒ２に位置する複数の吸着体３０によって有機溶剤が吸着除去されることにより、清浄化される。

　清浄化された排気ガスは、清浄空気として第２領域Ｒ２から、各筒状ロータ９０Ａ，９０Ｂ，９０Ｃの筒孔９０ａに排出される。筒状ロータ９０Ａ，９０Ｂ，９０Ｃの筒孔９０ａのそれぞれに排出された清浄空気は、内周側流路形成部材４Ａの周囲に位置する部分において気密に連通する複数の円筒９０ａ内を通過して上記他方側に位置する筒状ロータ９０Ａの開口部１１ａから流出する。

　上記他方側に位置する筒状ロータ９０Ａの開口部１１ａから流出された清浄空気は、第１流路形成部材２を通って処理室１外に排出される。

　一方で、吸着処理装置１００Ａの第１領域Ｒ１は、内周側流路形成部材４Ａの内部を通過した加熱空気が、筒状ロータ９０の内周側から外周側に向けて、吸着体３０に導入される領域である。第１領域Ｒ１には、筒状ロータ９０の内周側から外周側に向けて加熱空気が導入される。

　第１領域Ｒ１に導入された加熱空気は、筒状ロータ９０の内周側から外周側に向けて筒状ロータ９０Ａ，９０Ｂ，９０Ｃのそれぞれを通過する際に、熱によって第１領域Ｒ１に位置する複数の吸着体３０からこれらに吸着している有機溶剤を脱着させる。有機溶剤を含んだ加熱空気は、濃縮流体として、第１領域Ｒ１から外周側流路形成部材５のそれぞれに排出される。外周側流路形成部材５のそれぞれに排出された濃縮流体は、回収または燃焼等の後処理がなされる後処理装置に導入される。

　以上のように本実施の形態に係る吸着処理装置１００Ａにおいては、筒軸Ｃが水平方向を向く複数の筒状ロータ９０を水平方向に並べて配置することにより、筒軸Ｃが鉛直方向を向く複数の筒状ロータ９０を鉛直方向に並べて配置する場合と比較して、鉛直方向における全体的な高さが増加することを抑制できる。

　筒軸Ｃが水平方向に配置された状態における鉛直方向の筒状ロータ９０の高さは、搬送上に支障をきたさない高さに構成されるため、吸着処理装置１００Ａを搬送上に支障をきたさない実用的な大きさとすることができる。これにより、安定して搬送することができる。また、鉛直方向における全体的な高さが増加することを抑制できるため、複数の筒状ロータ９０がぐらつくことを抑制し、複数の筒状ロータ９０を安定して回転させることができる。

　加えて、複数の筒状ロータ９０を並べた構成とすることにより、実施の形態１に係る吸着処理装置１００と比較して、吸着容量および処理量を大幅に増加させることができる。

　なお、上述した本実施の形態においては、外周側流路形成部材５が複数設けられている場合を例示して説明したが、これに限定されず、外周側流路形成部材５が単数であってもよい。この場合には、外周側流路形成部材５は、複数の筒状ロータ９０が並ぶ方向において一方側から他方側にかけて延在するように設けられる。さらに、この場合には、外周側流路形成部材５の他端側は、複数に分岐されていてもよい。

　さらに、上記の場合において、内周側流路形成部材４Ａおよび単数の外周側流路形成部材は、実施の形態１に係る内周側流路形成部材４および外周側流路形成部材５とほぼ同様の構成を有している。

　内周側流路形成部材４Ａは、複数の筒状ロータ９０Ａ，９０Ｂ，９０Ｃの内周側に向かい合う内周側開口端部４ａを含み、筒状ロータ９０のロータの回転方向の前方側に位置する内周側開口端部４ａの回転方向前方側縁部および筒状ロータ９０の回転方向の後方側に位置する内周側開口端部の回転方向後方側縁部のそれぞれには、前記回転方向に沿って湾曲する内周側湾曲面が設けられている。さらに、外周側流路形成部材は、複数の筒状ロータ９０Ａ，９０Ｂ，９０Ｃの外周側に向かい合う外周側開口端部を含み、筒状ロータ９０の回転方向の前方側に位置する外周側開口端部の回転方向前方側縁部および筒状ロータ９０の回転方向の後方側に位置する外周側開口端部の回転方向後方側縁部のそれぞれには、回転方向に沿って湾曲する外周側湾曲面が設けられている。複数の筒状ロータ９０Ａ，９０Ｂ，９０Ｃの各々において、筒状ロータ９０の内周側に位置する部分の仕切体２０には、筒孔９０ａの一端側から他端側にかけて延在し、筒状ロータ９０の径方向内側に向けて仕切体２０から突出する内側シール部材が設けられている。また、複数の筒状ロータ９０Ａ，９０Ｂ，９０Ｃの各々において、筒状ロータ９０の外周側に位置する部分の仕切体２０には、筒孔９０ａの一端側から他端側にかけて延在し、筒状ロータ９０の径方向外側に向けて仕切体２０から突出する外側シール部材が設けられている。複数の筒状ロータ９０Ａ，９０Ｂ，９０Ｃの回転に伴って、内周側湾曲面に対して内側シール部材が摺動し、外周側湾曲面に対して外側シール部材が摺動することにより、複数の空間部Ｓの一部が内周側流路形成部材４Ａおよび外周側流路形成部材に対して気密または液密に連通する。

　また、複数の筒状ロータ９０の第２領域Ｒ２のそれぞれに対して、筒状ロータ９０の内周側から外周側に向かうように排気ガスを導入してもよい。この場合には、第２領域Ｒ２は、水平方向に並ぶ複数の筒状ロータ９０Ａ，９０Ｂ，９０Ｃのうち他方の端に位置する筒状ロータ９０Ａにおける筒孔９０ａの、隣接する筒状ロータ９０がない側の開口（より特定的には第１板状部材１１の開口部１１ａ）流入し、連通する複数の筒孔９０ａのうち内周側流路形成部材４Ａの周囲に位置する部分を通過した流体が、複数の筒状ロータ９０Ａ，９０Ｂ，９０Ｃの内周側から外周側に向けて吸着体３０に導入される領域となる。

　なお、上述した本実施の形態においては、第１領域Ｒ１においては、内周側流路形成部材４Ａに導入されるように、流体が筒状ロータ９０の外周側から内周側に向けて吸着体３０に導入されてもよい。

　なお、上述した本実施の形態においては、複数の筒状ロータ９０の個数が３つである場合を例示して説明したが、これに限定されず、２つであってもよいし、４つ以上であってもよい。

　この場合において、複数の筒状ロータ９０を並べて配置することにより、複数の筒状ロータ９０の一部が、搬送上において規制される幅からはみ出す場合には、複数の筒状ロータ９０の一部と、複数の筒状ロータ９０の他部とを、別々に搬送し、設置個所において、これらを組み付けることにより、搬送上の問題を解消することができる。

　（実施の形態３）
　図５は、本実施の形態に係る吸着処理装置の縦断面図である。図５を参照して、本実施の形態に係る吸着処理装置１００Ｂについて説明する。

　図５に示すように、本実施の形態に係る吸着処理装置１００Ｂは、実施の形態１に係る吸着処理装置１００と比較した場合に、一対の板状部材１０間が複数のプレート９によって筒軸Ｃ方向に分割されている点、および、これに伴って筒状ロータ９０を支持する支持輪７が増加している点において相違する。その他の構成については、ほぼ同様である。

　プレート９は、第１板状部材１１および第２板状部材１２に対応する形状を有する。プレート９は、一対の板状部材１０間に配置される。複数のプレート９は、筒軸Ｃ方向に空間部Ｓを分割する。筒軸Ｃ方向に分割された空間部Ｓのそれぞれには、分割された空間部Ｓのサイズに応じた吸着体３０が収容される。

　筒状ロータ９０は、一対の板状部材１０の周端面に当接する複数の支持輪７および複数のプレート９の周端面に当接する複数の支持輪７によって回転可能に支持されている。

　以上のように構成する場合であっても、筒軸Ｃが水平方向を向くように筒状ロータ９０が配置される。このため、実施の形態３に係る吸着処理装置１００Ｂにあっても実施の形態１に係る吸着処理装置１００とほぼ同様の効果が得られる。

　また、複数のプレート９を設け、一対の板状部材１０に加えて、これら複数のプレート９を複数の支持輪７にて回転可能に支持することにより、実施の形態１よりも安定して筒状ロータ９０を回転させることができる。

　なお、本実施の形態においては、複数のプレート９によって一対の板状部材１０間が筒軸Ｃ方向に分割される場合を例示して説明したがこれに限定されず、単数のプレート９によって一対の板状部材１０間が筒軸Ｃ方向に分割されてもよい。

　なお、上述した実施の形態１から３においては、仕切体２０が略三角筒形状を有する場合を例示して説明したが、これに限定されず、一対の板状部材１０を支持できるような強度を有し、かつシール部材４０を設置可能である限り、その形状は、板状形状等であってもよく、適宜変更することができる。

　以上、本発明の実施の形態について説明したが、今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではない。本発明の範囲は特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれる。

１　処理室
２　第１流路形成部材
２ａ　開口部
３　第２流路形成部材
４，４Ａ　内周側流路形成部材
４ａ　内周側開口端部
４ｂ，４ｃ　内周側湾曲面
５　外周側流路形成部材
５ａ　外周側開口端部
５ｂ，５ｃ　外周側湾曲面
６　支持部材
７　支持輪
８　シール部材
１０　一対の板状部材
１１　第１板状部材
１１ａ　開口部
１２　第２板状部材
１２ａ　開口部
２０　仕切体
２１　本体部
２２　設置部
２３　内周側設置部
２３ａ　内周側設置面
２４　外周側設置部
２４ａ　外周側設置面
３０　吸着体
４０　シール部材
４１　内側シール部材
４２　外側シール部材
９０，９０Ａ，９０Ｂ，９０Ｃ　筒状ロータ
９０ａ　筒孔
１００，１００Ａ，１００Ｂ　吸着処理装置。

Claims

　複数の吸着体が筒孔を有する筒状に配置され、筒軸周りに回転可能な中空のロータであり、内周が前記筒孔を規定する筒状ロータと、
　互いに区画され、かつ、前記筒状ロータが回転することにより複数の前記吸着体が交互に通過することとなる第１領域および第２領域と、を備え、
　前記筒状ロータの前記筒軸は、水平方向に延在し、
　前記筒孔は、一端が閉塞し他端が開口しており、
　前記第１領域は、前記筒状ロータの内周側および外周側において互いに対向するように配設される内周側流路形成部材および外周側流路形成部材に対して、前記筒状ロータの回転に伴って移動する複数の前記吸着体の一部が気密または液密に連通する領域であり、
　前記第２領域は、前記内周側流路形成部材の周囲に位置する前記筒孔を通過して前記筒孔の他端の開口から流出するように、前記筒状ロータの外周側から内周側に向けて流体が前記吸着体に導入される領域、または、前記筒孔の他端の開口から流入し前記内周側流路形成部材の周囲に位置する前記筒孔を通過した流体が、前記筒状ロータの内周側から外周側に向けて、前記吸着体に導入される領域である、吸着処理装置。
　前記内周側流路形成部材は、前記筒孔の内部を前記筒軸方向に沿って延在するとともに、前記筒孔の他端の開口から外部に向けて延出され、
　前記第１領域は、前記内周側流路形成部材の内部を通過した流体が前記筒状ロータの内周側から外周側に向けて前記吸着体に導入される領域、または、前記内周側流路形成部材に導入されるように、流体が前記筒状ロータの外周側から内周側に向けて前記吸着体に導入される領域である、請求項１に記載の吸着処理装置。
　筒状ロータは、互いに隣り合う吸着体の間にそれぞれが配置される複数の仕切体をさらに含み、
　前記複数の仕切体によって複数の前記吸着体の各々が配置される複数の空間部が形成され、
　前記内周側流路形成部材は、前記筒状ロータの内周側に向かい合う内周側開口端部を含み、
　前記筒状ロータの回転方向の前方側に位置する前記内周側開口端部の回転方向前方側縁部および前記筒状ロータの前記回転方向の後方側に位置する前記内周側開口端部の回転方向後方側縁部のそれぞれには、前記回転方向に沿って湾曲する内周側湾曲面が設けられ、
　前記外周側流路形成部材は、前記筒状ロータの外周側に向かい合う外周側開口端部を含み、
　前記筒状ロータの前記回転方向の前方側に位置する前記外周側開口端部の回転方向前方側縁部および前記筒状ロータの前記回転方向の後方側に位置する前記外周側開口端部の回転方向後方側縁部のそれぞれには、前記回転方向に沿って湾曲する外周側湾曲面が設けられ、
　前記筒状ロータの内周側に位置する部分の前記仕切体には、前記筒孔の一端側から他端側にかけて延在し、前記筒状ロータの径方向内側に向けて前記仕切体から突出する内側シール部材が設けられ、
　前記筒状ロータの外周側に位置する部分の前記仕切体には、前記筒孔の一端側から他端側にかけて延在し、前記径方向外側に向けて前記仕切体から突出する外側シール部材が設けられ、
　前記筒状ロータの回転に伴って、前記内周側湾曲面に対して前記内側シール部材が摺動し、前記外周側湾曲面に対して前記外側シール部材が摺動することにより、複数の前記空間部の一部が前記内周側流路形成部材および前記外周側流路形成部材に対して気密または液密に連通する、請求項１または２に記載の吸着処理装置。
　複数の吸着体が筒孔を有する筒状に配置され、筒軸周りに回転可能な中空のロータであり、内周が前記筒孔を規定する複数の筒状ロータと、
　互いに区画され、かつ、前記筒状ロータが回転することにより複数の前記吸着体が交互に通過することとなる第１領域および第２領域と、を備え、
　複数の前記筒状ロータは、複数の前記筒状ロータの各々が有する前記筒軸が直線状に並ぶとともに複数の前記筒状ロータの各々が有する前記筒孔が連通するように、水平方向に並んで配置され、
　水平方向に並ぶ複数の前記筒状ロータのうち一方の端に位置する前記筒状ロータの前記筒孔は、隣接する前記筒状ロータがない一端が閉塞し隣接する前記筒状ロータがある他端が開口しており、
　水平方向に並ぶ複数の前記筒状ロータのうち前記一方の端に位置する前記筒状ロータ以外の複数の前記筒状ロータの前記筒孔は、両端が開口しており、
　前記第１領域は、連通する複数の前記筒孔内において複数の前記筒状ロータに跨る部分を含むように設けられた内周側流路形成部材、および、前記内周側流路形成部材に対向するように複数の前記筒状ロータの外周側に配置された外周側流路形成部材に対して、複数の前記筒状ロータの回転に伴って移動する複数の前記筒状ロータに含まれる複数の前記吸着体の一部が、気密または液密に連通する領域であり、
　前記第２領域は、連通する複数の前記筒孔のうち前記内周側流路形成部材の周囲に位置する部分を通過して、水平方向に並ぶ複数の前記筒状ロータのうち他方の端に位置する前記筒状ロータにおける前記筒孔の隣接する前記筒状ロータがない側の開口から流出するように、複数の前記筒状ロータの外周側から内周側に向けて、流体が前記吸着体に導入される領域、または、水平方向に並ぶ複数の前記筒状ロータのうち他方の端に位置する前記筒状ロータにおける前記筒孔の隣接する前記筒状ロータがない側の開口から流入し、連通する複数の前記筒孔のうち前記内周側流路形成部材の周囲に位置する部分を通過した流体が、複数の前記筒状ロータの内周側から外周側に向けて前記吸着体に導入される領域である、吸着処理装置。
　前記外周側流路形成部材は、複数の流路形成部材を含み、
　前記複数の流路形成部材の各々は、複数の前記筒状ロータのそれぞれに対応して配置されている、請求項４に記載の吸着処理装置。
　前記第１領域は、前記内周側流路形成部材の内部を通過した流体が、前記筒状ロータの内周側から外周側に向けて、前記吸着体に導入される領域、または、前記内周側流路形成部材に導入されるように、流体が前記筒状ロータの外周側から内周側に向けて前記吸着体に導入される領域である、請求項４または５に記載の吸着処理装置。
　複数の前記筒状ロータの各々は、互いに隣り合う前記吸着体の間にそれぞれが配置される複数の仕切体をさらに含み、
　前記複数の仕切体によって複数の前記吸着体の各々が配置される複数の空間部が形成され、
　前記内周側流路形成部材は、複数の前記筒状ロータの内周側に向かい合う内周側開口端部を含み、
　前記筒状ロータの回転方向の前方側に位置する前記内周側開口端部の回転方向前方側縁部および前記筒状ロータの前記回転方向の後方側に位置する前記内周側開口端部の回転方向後方側縁部のそれぞれには、前記回転方向に沿って湾曲する内周側湾曲面が設けられ、
　前記外周側流路形成部材は、複数の前記筒状ロータの外周側に向かい合う外周側開口端部を含み、
　前記筒状ロータの前記回転方向の前方側に位置する前記外周側開口端部の回転方向前方側縁部および前記筒状ロータの前記回転方向の後方側に位置する前記外周側開口端部の回転方向後方側縁部のそれぞれには、前記回転方向に沿って湾曲する外周側湾曲面が設けられ、
　複数の前記筒状ロータの各々において、前記筒状ロータの内周側に位置する部分の前記
仕切体には、前記筒孔の一端側から他端側にかけて延在し、前記筒状ロータの径方向内側に向けて前記仕切体から突出する内側シール部材が設けられ、
　複数の前記筒状ロータの各々において、前記筒状ロータの外周側に位置する部分の前記仕切体には、前記筒孔の一端側から他端側にかけて延在し、前記径方向外側に向けて前記仕切体から突出する外側シール部材が設けられ、
　複数の前記筒状ロータの回転に伴って、前記内周側湾曲面に対して前記内側シール部材が摺動し、前記外周側湾曲面に対して前記外側シール部材が摺動することにより、複数の
前記空間部の一部が前記内周側流路形成部材および前記外周側流路形成部材に対して気密または液密に連通する、請求項４から６のいずれか１項に記載の吸着処理装置。
　前記第１領域に導入される流体は、加熱流体であり、
　前記第２領域に導入される流体は、被処理物質が含まれる被処理流体であり、
　前記第２領域に前記被処理流体が導入されることにより、前記被処理物質が前記第２領域に位置する前記吸着体によって前記被処理流体から吸着除去され、
　前記第１領域に加熱流体が導入されることにより、前記吸着体に吸着された前記被処理物質が前記第１領域に位置する前記吸着体から脱着される、請求項１から７のいずれか１項に記載の吸着処理装置。
　前記第２領域を通過する前記被処理流体が流れる方向と、前記第１領域を通過する前記加熱流体が流れる方向とが、前記筒状ロータの径方向の向きにおいて逆方向である、請求項８に記載の吸着処理装置。
　前記被処理流体は、前記筒状ロータの外周側から内周側に導入される、請求項８または９に記載の吸着処理装置。
　前記被処理流体は、排気ガスであり、
　前記加熱流体は、加熱空気である、請求項８から１０のいずれか１項に記載の吸着処理装置。
　前記被処理物質は有機溶剤である、請求項８から１１のいずれか１項に記載の吸着処理装置。
　前記吸着体は、ハニカム構造を有する、請求項１から１２のいずれか１項に記載の吸着処理装置。