WO2017154225A1 - 磁気探傷装置、磁気探傷装置の傾き補正方法、及び、プログラム - Google Patents

磁気探傷装置、磁気探傷装置の傾き補正方法、及び、プログラム Download PDF

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WO2017154225A1
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unit
distance
detection
magnetic
roll
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Application number
PCT/JP2016/062003
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English (en)
French (fr)
Inventor
慶典 渡邊
Original Assignee
株式会社東芝
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Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
    • G01N27/72—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating magnetic variables
    • G01N27/82—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating magnetic variables for investigating the presence of flaws
    • G01N27/83—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating magnetic variables for investigating the presence of flaws by investigating stray magnetic fields

Definitions

  • Embodiments relate to a magnetic flaw detector, a tilt correction method of the magnetic flaw detector, and a program.
  • a magnetic flaw detector that inspects a defect in a plate to be inspected such as a steel plate by magnetism is known.
  • a magnetic sensor and a board to be inspected are brought close to each other, and the magnetic sensor detects a magnetic change due to the defect, thereby detecting the defect.
  • Embodiments have been made in view of the above, and provide a magnetic flaw detector that can improve the accuracy of defect detection.
  • the magnetic flaw detection apparatus includes a transport roll, a magnetic generation unit, a detection unit, an adjustment unit, a first measurement unit, and a second measurement unit. And a control unit.
  • the transport roll transports the board to be inspected.
  • the magnetism generating unit generates magnetism in the inspected plate.
  • the detection unit includes a plurality of magnetic detection units that detect the magnetism.
  • the adjustment unit adjusts an inclination of the detection unit with respect to the transport roll.
  • the first measurement unit measures a first distance corresponding to a distance between the transport roll and the detection unit.
  • the second measurement unit is provided at a position different from the first measurement unit in a direction intersecting the conveyance direction of the inspection target plate, and sets a second distance corresponding to the distance between the conveyance roll and the detection unit. taking measurement.
  • the control unit controls the adjustment unit based on the first distance and the second distance so as to reduce an inclination between the transport roll and the detection unit.
  • FIG. 1 is a front view showing the overall configuration of the magnetic flaw detector according to the first embodiment.
  • FIG. 2 is a perspective view showing the overall configuration of the magnetic flaw detector according to the first embodiment.
  • FIG. 3 is an enlarged side view of the detection unit of the flaw detection unit.
  • FIG. 4 is a plan view of the sensor unit.
  • FIG. 5 is a plan view of the calibration sample plate.
  • FIG. 6 is a block diagram showing a control system of the magnetic flaw detector.
  • FIG. 7 is a flowchart of tilt correction processing by the control unit.
  • FIG. 8 is a flowchart of gain correction processing by the control unit.
  • FIG. 9 is a diagram illustrating the distance between the calibration roll and the sensor array of the sensor unit.
  • FIG. 10 is a diagram illustrating the relationship between the distance between the magnetic sensor and the calibration sample plate and the relative sensitivity ratio of the magnetic sensor.
  • FIG. 11 is a flowchart of defect detection processing by the control unit.
  • FIG. 12 is a front view showing the overall configuration of the magnetic flaw detector according to the second embodiment.
  • the magnetic flaw detector according to the embodiment corrects the inclination of the sensor unit based on the two distances corresponding to the distance between the transport roll and the sensor unit measured by the two distance measuring units, The parallelism between the transport roller and the inspection plate is improved, and the defect detection accuracy is improved.
  • FIG. 1 is a front view showing an overall configuration of a magnetic flaw detector 10 according to the first embodiment.
  • FIG. 2 is a perspective view showing the overall configuration of the magnetic flaw detector 10 according to the first embodiment.
  • XYZ indicated by arrows in FIGS. 1 and 2 is defined as an XYZ direction.
  • the magnetic flaw detector 10 detects a defect such as a dent in the surface of the inspection plate 90 or inside the inspection plate 90 while conveying the inspection plate 90 such as a thin steel plate.
  • the magnetic flaw detection apparatus 10 includes a gantry 12, an inspection unit 14, a calibration unit 16, a flaw detection unit 18, and a control unit 20.
  • the gantry 12 includes a top plate, a bottom plate, and leg portions that connect the top plate and the bottom plate.
  • the gantry 12 holds an inspection unit 14, a calibration unit 16, a flaw detection unit 18, and a control unit 20.
  • the inspection unit 14 includes a cylindrical inspection roll 21 and a pressing roll 22.
  • the inspection roll 21 is an example of a transport roll.
  • the inspection roll 21 includes a nonmagnetic material.
  • the inspection roll 21 is rotatably held by the gantry 12.
  • the rotation axis of the inspection unit 14 is a cylindrical central axis.
  • the inspection roll 21 is rotated by an inspection motor 73 described later.
  • the pressing roll 22 presses the inspection plate 90 against the inspection roll 21 and applies tension to the inspection plate 90.
  • the inspection roll 21 conveys the inspection plate 90 to which the tension is applied by the pressing roll 22 in the Y direction. Therefore, the Y direction is the transport direction.
  • the calibration unit 16 includes a support base 26, a calibration roll 28, a calibration sample plate 30, a calibration motor 32, and a calibration moving unit 34.
  • the support base 26 is attached to the gantry 12.
  • the calibration roll 28 is configured in a cylindrical shape.
  • the calibration roll 28 includes a nonmagnetic material.
  • the calibration roll 28 is rotatably supported by the support base 26.
  • the rotation axis of the calibration roll 28 is a cylindrical central axis.
  • the rotation axis of the calibration roll 28 is arranged on an extension line of the rotation axis of the inspection roll 21.
  • the diameter of the calibration roll 28 is equal to the diameter of the inspection roll 21. Therefore, the outer periphery of the calibration roll 28 is on the X direction of the outer periphery of the inspection roll 21.
  • the upper end of the calibration roll 28 is the same height position as the upper end of the inspection roll 21 (that is, the position in the Z direction).
  • the outer periphery of the calibration roll 28 holds a calibration sample plate 30.
  • the calibration sample plate 30 is a calibration plate for the flaw detection unit 18 and the control unit 20.
  • the calibration sample plate 30 includes a magnetic material.
  • the calibration motor 32 is connected to the rotation shaft of the calibration roll 28.
  • the calibration motor 32 rotates the calibration roll 28.
  • the calibration moving unit 34 moves the support base 26, the calibration roll 28, the calibration sample plate 30, and the calibration motor 32 along the X direction. Specifically, the calibration moving unit 34 moves the calibration unit 16 from the position indicated by the solid line in FIG. 1 to the position indicated by the dotted line.
  • the X direction is a direction in which the rotation axes of the inspection roll 21 and the calibration roll 28 extend, and is a direction that intersects (for example, orthogonally intersects) the Y direction that is the conveyance direction of the inspected plate 90.
  • the flaw detector 18 detects defects on the surface and inside of the inspection plate 90 being conveyed by the inspection roll 21.
  • the flaw detection unit 18 is disposed above the inspection unit 14 and the calibration unit 16.
  • the flaw detection unit 18 includes a flaw detection moving unit 38, a position adjustment unit 40, a detection unit 42 including a sensor unit 64, and a pair of distance measurement units 44a and 44b.
  • the flaw detection moving unit 38 is provided on the gantry 12.
  • the flaw detection moving unit 38 holds the position adjustment unit 40.
  • the flaw detection moving unit 38 moves the position adjustment unit 40 along with the detection unit 42 and the distance measurement units 44a and 44b along the X direction.
  • the position of the detection unit 42 indicated by a solid line in FIG. 1 is an inspection position, and the position of the detection unit 42 indicated by a dotted line is a calibration position.
  • the position adjusting unit 40 is provided on the gantry 12 via the flaw detection moving unit 38.
  • the position adjustment unit 40 adjusts the position and inclination of the detection unit 42.
  • the position adjustment unit 40 includes a first drive shaft 50, a first drive motor 74, a coupling unit 52, a second drive shaft 54, a second drive motor 76, a third drive shaft 56, and a third drive motor. 78.
  • the first drive shaft 50, the second drive shaft 54, and the third drive shaft 56 are, for example, ball screws.
  • the first drive motor 74, the second drive motor 76, and the third drive motor 78 are, for example, servo motors.
  • the first drive shaft 50 and the first drive motor 74 are an example of a first adjustment member.
  • the second drive shaft 54 and the second drive motor 76 are an example of a second adjustment member.
  • the third drive shaft 56 and the third drive motor 78 are an example of a third adjustment member.
  • the second drive shaft 54, the second drive motor 76, the third drive shaft 56, and the third drive motor 78 are an example of an adjustment unit.
  • the first drive shaft 50 is disposed above the center of the detection unit 42 in the X direction.
  • One end (for example, the upper end) of the first drive shaft 50 is connected to the flaw detection moving unit 38.
  • the other end (for example, the lower end) of the first drive shaft 50 is coupled to the central portion of the coupling portion 52 in the X direction.
  • the first drive motor 74 rotates the first drive shaft 50. Thereby, the 1st drive motor 74 drives the 1st drive shaft 50 to the radial direction (for example, up-down direction) of the inspection roll 21 and the calibration roll 28 with the detection part 42 and a pair of distance measurement part 44a, 44b.
  • the first drive shaft 50 and the first drive motor 74 adjust the distance between the inspection roll 21 and the calibration roll 28 and the detection unit 42.
  • the connecting portion 52 is configured in a beam shape (for example, a cylindrical shape) extending in the X direction.
  • the connection part 52 is connected with the 1st drive shaft 50 so that rotation is possible.
  • One end of the connecting portion 52 is connected to one end (for example, the upper end) of the second drive shaft 54.
  • the other end of the connecting portion 52 is connected to one end (for example, the upper end) of the third drive shaft 56.
  • the other end (for example, the lower end) of the second drive shaft 54 is connected to one end of the detection unit 42 in the X direction.
  • the second drive motor 76 rotates the second drive shaft 54. Thereby, the 2nd drive motor 76 drives the 2nd drive shaft 54 to the radial direction (for example, up-down direction) of the inspection roll 21 and the calibration roll 28 with the detection part 42 and a pair of distance measurement part 44a, 44b.
  • the second drive shaft 54 and the second drive motor 76 adjust the distance between the inspection roll 21 and the calibration roll 28 and the detection unit 42.
  • the other end (for example, the lower end) of the third drive shaft 56 is connected to the other end of the detection unit 42 in the X direction. That is, the third drive shaft 56 is coupled to the detection unit 42 at a position different from the first drive shaft 50 and the second drive shaft 54 in the X direction.
  • the third drive motor 78 rotates the third drive shaft 56. Accordingly, the third drive motor 78 drives the third drive shaft 56 in the radial direction (for example, the vertical direction) of the inspection roll 21 and the calibration roll 28 together with the detection unit 42 and the pair of distance measurement units 44a and 44b. The third drive shaft 56 and the third drive motor 78 adjust the distance between the inspection roll 21 and the calibration roll 28 and the detection unit 42.
  • the movement amount of the first drive shaft 50 is larger than the movement amounts of the second drive shaft 54 and the third drive shaft 56. Accordingly, the first drive shaft 50 and the first drive motor 74 adjust the approximate vertical position of the detection unit 42, so that the second drive shaft 54 and the second drive motor 76, the third drive shaft 56 and the first drive shaft 56 are adjusted.
  • the three drive motor 78 adjusts the fine position of the detection unit 42. Thereby, the position adjustment unit 40 adjusts the distance between the lower surface of the sensor unit 64 of the detection unit 42 and the inspected plate 90 from about 0.5 mm to about 1 mm. Further, the second drive shaft 54 and the second drive motor 76, and the third drive shaft 56 and the third drive motor 78 have different drive amounts, whereby the sensor unit 64 of the detection unit 42 for the inspection roll 21 is detected. Adjust the tilt.
  • the detection unit 42 is provided at the lower end of the position adjustment unit 40.
  • the sensor unit 64 of the detection unit 42 detects magnetism according to the defect of the inspected plate 90.
  • the pair of distance measuring units 44a and 44b is an example of a first measuring unit or a second measuring unit.
  • the pair of distance measuring units 44 a and 44 b are provided in the position adjusting unit 40.
  • one distance measurement unit 44 a is provided at one end of the detection unit 42 in the X direction
  • the other distance measurement unit 44 b is provided at the other end of the detection unit 42 in the X direction. That is, one distance measurement unit 44a is provided at a position different from the other distance measurement unit 44b in the X direction. Since the distance measuring units 44a and 44b are fixed to the detecting unit 42, the relative position of the detecting unit 42 to the sensor unit 64 is fixed.
  • the distance measuring units 44a and 44b are, for example, contact-type distance sensors in which the sensor head expands and contracts and contacts the measurement object.
  • the distance measuring units 44a and 44b may be laser ranging sensors, ultrasonic ranging sensors, or the like.
  • the distance measuring units 44a and 44b measure distances H1 and H2 corresponding to the distance between the inspection roll 21 and the sensor unit 64.
  • the distances H1 and H2 are examples of either the first distance or the second distance.
  • the distance measuring units 44a and 44b are fixed to the sensor unit 64, the distance between itself and the inspection roll 21 or the calibration roll 28 may be measured as the distances H1 and H2.
  • the distances to the distance measurement member provided at the same height as the calibration roll 28 may be measured as the distances H1 and H2.
  • the distance measuring units 44a and 44b transmit the measured distances H1 and H2 to the control unit 20.
  • the control unit 20 is responsible for overall control of the magnetic flaw detector 10.
  • FIG. 3 is an enlarged side view of the detection unit 42 of the flaw detection unit 18.
  • the detection unit 42 includes a yoke 60, a pair of magnetizing coils 62 a and 62 b, and a sensor unit 64.
  • the yoke 60 is configured in a hollow shape.
  • the yoke 60 is configured in a substantially pentagonal shape with a convex downward portion in a side view. Accordingly, the yoke 60 has a top plate, one side plate extending downward from one end of the top plate, the other side plate extending downward from the other end of the top plate and facing one side plate, and obliquely downward from the lower end of the one side plate.
  • the lower end of the yoke 60 is open.
  • the pair of magnetizing coils 62a and 62b is an example of a magnetic generator.
  • One magnetizing coil 62 a is wound around one side plate of the yoke 60.
  • the other magnetizing coil 62 b is wound around the other side plate of the yoke 60.
  • the magnetizing coils 62 a and 62 b generate a magnetic flux in the direction indicated by a white arrow in the yoke 60 by supplying a current, for example.
  • the magnetizing coils 62 a and 62 b generate magnetism inside the inspected plate 90 that is conveyed below the opening at the lower end of the yoke 60.
  • the sensor unit 64 is an example of a detection unit.
  • the sensor unit 64 is provided in the opening at the lower end of the yoke 60.
  • the sensor unit 64 detects magnetic Mg passing from the yoke 60 to the plate 90 to be inspected.
  • FIG. 4 is a plan view of the sensor unit 64.
  • the sensor unit 64 includes a plurality of magnetic sensors 66 that are examples of a magnetic detection unit.
  • the magnetic sensor 66 is, for example, a Hall element.
  • the magnetic sensor 66 detects magnetic Mg that leaks from the yoke 60 and passes through the inside of the inspected plate 90.
  • the magnetic sensor 66 can detect a change or disorder in the magnetic Mg due to a defect inside the inspected plate 90.
  • the magnetic sensor 66 outputs a voltage corresponding to the detected magnetic Mg to the control unit 20.
  • the plurality of magnetic sensors 66 are arranged in a plurality of (for example, three) sensor rows 68a, 68b, 68c,. If there is no need to distinguish between the sensor rows 68a, 68b, and 68c, the sensor row is labeled “68”.
  • the magnetic sensors 66 of each sensor array 68 are arranged in the X direction.
  • the sensor rows 68 are arranged at different positions in the Y direction. Accordingly, the magnetic sensor 66 of one sensor row 68 (for example, the sensor row 68a) is located at a position different from the magnetic sensor 66 of the other sensor row 68 (for example, the sensor row 68b) in the Y direction (ie, the transport direction). Has been placed.
  • the arrangement interval of the magnetic sensors 66 in each sensor array 68 is “P”.
  • An example of the arrangement interval P is 3 mm.
  • the magnetic sensor 66 of one sensor row 68 (for example, sensor row 68a) is arranged at a different position in the X direction from the magnetic sensor 66 of the adjacent sensor row 68 (for example, sensor row 68b).
  • the magnetic sensor 66 of one sensor row 68 (eg, sensor row 68a) is the magnetic sensor of the adjacent sensor row 68 (eg, sensor row 68b). It is arranged at a position shifted by 66 / P / n.
  • the magnetic sensor 66 of one sensor row 68 is arranged at a position shifted by P / 3 (for example, 1 mm) from the magnetic sensor 66 of the adjacent sensor row 68 in the X direction. ing.
  • FIG. 5 is a plan view of the calibration sample plate 30. As shown in FIG. 5, the calibration sample plate 30 has a plurality of holes 70 as correction defects.
  • the plurality of holes 70 are arranged in a plurality of (for example, four) rows 72a, 72b, 72c, and 72d along the X direction.
  • the column code is set to “72”.
  • the holes 70 in the same row 72 have the same diameter.
  • the holes 70 in the different rows 72 have different diameters. For example, the diameter of the hole 70 in the most + Y side row 72a is 0.2 mm, the diameter of the hole 70 in the row 72b is 0.1 mm, the diameter of the hole 70 in the row 72c is 0.05 mm, and the diameter of the hole 70 in the row 72d is 0.035 mm.
  • the width Pt0 in the X direction of each column 72 is constant.
  • the interval Pt1 between the holes 70 in the same row 72 is constant.
  • the interval Pt2 between the column 72 and the adjacent column 72 is constant.
  • FIG. 6 is a block diagram showing a control system of the magnetic flaw detector 10.
  • An example of the control unit 20 is a computer.
  • the magnetic flaw detector 10 further includes an inspection motor 73 for the inspection unit 14.
  • An example of the inspection motor 73 is a servo motor. The inspection motor 73 may be omitted.
  • the inspection motor 73 is connected to the rotation shaft of the inspection roll 21.
  • the inspection motor 73 rotates the inspection roll 21 by rotating the rotation shaft.
  • the control unit 20 is connected to the distance measuring units 44a and 44b, the calibration motor 32, the inspection motor 73, the drive motors 74, 76, and 78, and the magnetic sensors 66 of the sensor unit 64 so that information can be input and output.
  • the control unit 20 includes a storage unit 80 and a calculation unit 82.
  • the storage unit 80 is, for example, hardware, and includes ROM (Read Only Memory), RAM (Random Access Memory), SSD (Solid State Drive), HDD (Hard Disk Drive), and the like.
  • the storage unit 80 stores programs, data, parameters, and the like executed by the calculation unit 82.
  • the calculation unit 82 is, for example, hardware and a processor such as a CPU (Central Processing Unit).
  • the calculation unit 82 executes various processes by reading programs, data, parameters, and the like stored in the storage unit 80.
  • the calculation unit 82 functions as the acquisition unit 84 and the processing unit 86 by reading a program for tilt correction processing, gain correction processing, and defect detection processing from the storage unit 80.
  • part or all of the acquisition unit 84 and the processing unit 86 may be configured by hardware such as a circuit (for example, ASIC: application specific integrated circuit).
  • the acquisition unit 84 outputs the distances H1 and H2 acquired from the distance measurement units 44a and 44b to the processing unit 86.
  • the processing unit 86 controls the drive motors 74, 76, and 78 to drive the drive shafts 50, 54, and 56 based on the distances H1 and H2, thereby detecting the detection unit 42 for the inspection roll 21 and the inspected plate 90.
  • the distances H1 and H2 of the sensor unit 64 are adjusted.
  • the processing unit 86 controls the drive motors 76 and 78 of the drive shafts 54 and 56 based on the distances H1 and H2, and the inclination of the lower surface of the sensor unit 64 of the detection unit 42 with respect to the inspection roll 21 and the inspected plate 90. Adjust to reduce. In this case, the processing unit 86 may control the drive motors 76 and 78 of the drive shafts 54 and 56 based on the average distance Hc that is the average of the distances H1 and H2. *
  • the acquisition unit 84 outputs a voltage value corresponding to the hole 70 of the calibration sample plate 30 acquired from each magnetic sensor 66 of the sensor unit 64 to the processing unit 86 as a detection signal.
  • the processing unit 86 sets a correction value for correcting the detection signal of the magnetic sensor 66 based on the detection signal of the hole 70 detected by the magnetic sensor 66. For example, the processing unit 86 sets the correction value so that the detection signals of the holes 70 of the same shape (for example, the same diameter) detected by the magnetic sensor 66 are equal.
  • the processing unit 86 associates the detection signal of the magnetic sensor 66 with the magnetic sensor 66 for each lift-off value (or the plate thickness of the inspection plate 90), which is the distance between the inspection plate 90 and the sensor unit 64. Set the correction value to be corrected.
  • the acquisition unit 84 outputs a voltage value corresponding to the defect 92 of the inspected plate 90 acquired from each magnetic sensor 66 of the sensor unit 64 to the processing unit 86 as a detection signal.
  • the processing unit 86 detects the size and position of the defect 92 of the inspected plate 90 based on the detection signal and the correction value.
  • FIG. 7 is a flowchart of the inclination correction process by the control unit 20.
  • the tilt correction process which is an example of the tilt correction method, is started when the calculation unit 82 reads the tilt correction processing program stored in the storage unit 80.
  • the inclination correction process starts when the detection unit 42 and the distance measurement units 44a and 44b move to the calibration position indicated by the dotted line in FIG. 1 and the sensor unit 64 is disposed at a preset height position.
  • the inclination correction process is preferably executed at a position where the surface of the sensor row 68b of the sensor unit 64 is perpendicular to the radial direction of the inspection roll 21 (a position directly above the center of the inspection roll 21). .
  • the distance measuring units 44a and 44b measure the distances H1 and H2 corresponding to the distances from the inspection roll 21 and the calibration roll 28 to the sensor unit 64 (first measurement stage and In the second measurement stage), the acquisition unit 84 acquires the distances H1 and H2 and outputs them to the processing unit 86 (S500).
  • the distance measuring units 44a and 44b measure the distances to the outer peripheral surface of the distance measurement member having the outer peripheral surface fixed at the same position as the outer peripheral surface of the calibration roll 28 as the distances H1 and H2.
  • the distance measuring units 44a and 44b are fixed with respect to the sensor unit 64, and the upper end of the outer peripheral surface of the calibration roll 28 and the upper end of the outer peripheral surface of the inspection roll 21 are arranged at the same position.
  • H2 corresponds to the distance between the inspection roll 21 and the sensor unit 64.
  • the distance measuring unit 44a measures the distance H1 in a state where the calibration roll 28 is disposed at the position indicated by the dotted line in FIG. 1, and the distance measuring unit 44b is provided at the position indicated by the solid line in FIG. The distance H2 is measured in a state where is arranged.
  • the processing unit 86 calculates the average distance Hc of the distances H1 and H2 (S502).
  • the processing unit 86 determines an abnormality in the distance measuring units 44a and 44b based on the average distance Hc (S504).
  • the error tolerance of the distance measuring units 44a and 44b is ⁇
  • the thickness of the calibration sample plate 30 is Tc
  • the lift-off value is ⁇ .
  • the allowable value ⁇ and the plate thickness Tc are values input in advance by a user or the like.
  • the plate thickness Tc is 0.5 mm
  • the allowable value ⁇ is 5 ⁇ m.
  • the lift-off value ⁇ is a value corresponding to the distance between the surface of the calibration sample plate 30 and the lower surface of the sensor unit 64 set based on, for example, the plate thickness Tc and the set accuracy of the defect 92 to be detected.
  • the lift-off value ⁇ is 1 mm.
  • the processing unit 86 determines that at least one of the distance measurement units 44a and 44b is abnormal, and notifies the first alarm (S506).
  • the tilt correction process ends.
  • the processing unit 86 notifies a message such as “the distance measuring unit is abnormal” by an image or sound.
  • the processing unit 86 determines whether or not the deviation amount Hz is less than a preset first threshold Th1 (S510).
  • the first threshold Th1 is a threshold for determining whether inclination correction is necessary. That is, when the deviation amount Hz is less than the first threshold Th1, the sensor unit 64 is hardly tilted and tilt correction is not necessary.
  • An example of the first threshold Th1 is 10 ⁇ m.
  • the processing unit 86 determines that the inclination correction is not necessary, and ends the inclination correction process.
  • the processing unit 86 determines that inclination correction is necessary and determines whether the deviation amount Hz is less than the second threshold value Th2 (S512).
  • the second threshold value Th2 is a value larger than the first threshold value Th1, and is a threshold value for determining whether or not alarm notification is necessary in the inclination correction.
  • the inclination correction of the sensor unit 64 is necessary, but the alarm notification is not necessary.
  • An example of the second threshold Th2 is 30 ⁇ m.
  • the processing unit 86 determines that an alarm is necessary and determines whether the deviation amount Hz is less than the third threshold value Th3 (S514).
  • the third threshold Th3 is a value larger than the second threshold Th2, and is a threshold for determining whether or not notification of the second alarm is necessary in the inclination correction.
  • the processing unit 86 notifies the second alarm (S516).
  • the processing unit 86 notifies, for example, a message such as “Tilt correction is possible but the amount of deviation is large” by an image and sound. Thereafter, the processing unit 86 executes inclination correction after step S524 described later.
  • the processing unit 86 determines whether the deviation amount Hz is less than the fourth threshold Th4 (S518).
  • the fourth threshold value Th4 is a value larger than the third threshold value Th3, and is a threshold value for determining whether the deviation amount Hz is too large to correct the inclination and whether notification of the third alarm is necessary.
  • the inclination of the sensor unit 64 can be corrected, but the third alarm needs to be notified.
  • An example of the fourth threshold Th4 is 250 ⁇ m.
  • the processing unit 86 notifies, for example, a message such as “the inclination can be corrected but the deviation amount is extremely large” by an image and sound. Thereafter, the processing unit 86 executes inclination correction after step S524 described later.
  • the processing unit 86 determines that the deviation amount Hz is too large to correct the inclination. In this case, the processing unit 86 notifies the fourth alarm (S522). As the fourth alarm, the processing unit 86 notifies, for example, a message such as “the amount of deviation is too large to correct the inclination” by an image and sound. When notifying the fourth alarm, the processing unit 86 ends the inclination correction process.
  • the processing unit 86 controls the second drive motor 76 and the third drive motor 78 so that the inclination of the sensor unit 64 with respect to the inspection roll 21 is reduced based on the distances H1 and H2 after steps S512, S516, and S520. Then, the second drive shaft 54 and the third drive shaft 56 are driven (adjustment stage). Specifically, the processing unit 86 determines whether or not the difference between the distance H1 and the average distance Hc is positive (S524). In other words, the processing unit 86 determines whether or not the second drive shaft 54 side of the sensor unit 64 is higher than the third drive shaft 56 side. Therefore, the processing unit 86 may execute the determination in step S524 based on the magnitude relationship between the distance H1 and the distance H2 or the difference between the distance H2 and the average distance Hc.
  • Step S526 is executed. Specifically, the processor 86 drives the second drive motor 76 to move the second drive shaft 54 side of the sensor unit 64 downward by a deviation amount Hz, and drives the third drive motor 78. The third drive shaft 56 side of the sensor unit 64 is moved upward by a deviation amount Hz.
  • step S528 is executed. Specifically, the processing unit 86 drives the second drive motor 76 to move the second drive shaft 54 side of the sensor unit 64 upward by the deviation amount Hz, and drives the third drive motor 78. Then, the third drive shaft 56 side of the sensor unit 64 is moved downward by a deviation amount Hz (S526).
  • the process part 86 will complete
  • FIG. 8 is a flowchart of gain correction processing by the control unit 20.
  • the gain correction processing is started when the calculation unit 82 reads the gain correction processing program stored in the storage unit 80.
  • the gain correction process is preferably started after the detection unit 42 and the distance measurement units 44a and 44b move to the calibration position indicated by the dotted line in FIG. 1 and the inclination correction process is executed.
  • the processing unit 86 drives the calibration motor 32 to rotate the calibration roll 28 (S550).
  • the processing unit 86 supplies current to the magnetizing coils 62a and 62b to generate magnetic flux (S552).
  • the acquisition unit 84 acquires a detection signal of a voltage value (that is, gain) corresponding to the magnetic Mg changed by the hole 70 of the calibration sample plate 30 from each magnetic sensor 66 of the sensor unit 64 (S554).
  • the acquisition unit 84 outputs the acquired detection signal to the processing unit 86.
  • the processing unit 86 calculates a correction value based on the acquired detection signal (S556).
  • the calibration sample plate 30 has a plurality of rows 72 a, 72 b... Including a plurality of holes 70 having the same diameter. Accordingly, when the plurality of magnetic sensors 66 detect the holes 70 having the same diameter in the same row 72, it is preferable that the detection signals indicate the same voltage value, but the detection signals do not actually have the same magnitude. The reason why the detection signals are not the same will be described with reference to FIGS.
  • FIG. 9 is a diagram for explaining the distance between the calibration roll 28 and the sensor array 68 of the sensor unit 64.
  • the calibration roll 28 is formed in a cylindrical shape whose central axis is the rotation axis, and therefore each sensor row 68 a of the calibration sample plate 30 and the magnetic sensor 66 provided on the outer periphery of the calibration roll 28.
  • 68b, 68c, lift-off Lfa, Lfb, Lfc are different. This relationship also applies to the distance between the inspection plate 90 provided on the inspection roll 21 and the sensor rows 68a, 68b, 68c of the sensor unit 64.
  • FIG. 10 is a diagram showing the relationship between the lift-off Lf between the magnetic sensor 66 and the calibration sample plate 30 and the sensitivity relative ratio of the magnetic sensor 66.
  • the sensitivity relative ratio of the magnetic sensor 66 decreases. For example, if the relative sensitivity ratio is 100% when the lift-off Lf is 0.5 mm, the relative sensitivity ratio is about 80% when the lift-off Lf is 1 mm, and the relative sensitivity ratio is about 20% when the lift-off Lf is 2 mm. .
  • the magnitude of the detection signal of the magnetic sensor 66 that detects the hole 70 having the same diameter varies depending on the lift-off Lf. Therefore, even if each magnetic sensor 66 of the sensor rows 68a, 68b, 68c arranged at different lift-off Lf detects the hole 70 having the same diameter, it outputs detection signals having different sizes. This relationship is the same when each of the magnetic sensors 66a, 68b, and 68c detects the defect 92 of the inspection plate 90 provided on the inspection roll 21.
  • the processing unit 86 calculates a correction value to be applied to the detection signal so that the magnitudes of the detection signals corresponding to the holes 70 having the same diameter are equal regardless of variations in the detection sensitivity of the lift-off Lf and the magnetic sensor 66. For example, it is assumed that the detection signal size of the hole 70 having a diameter of 0.2 mm is unified to 3V. In this case, when one of the magnetic sensors 66 detects the hole 70 having a diameter of 0.2 mm and outputs a detection signal of 2 V, the processing unit 86 sets the correction value of the magnetic sensor 66 to 1.5. . The processing unit 86 calculates correction values for all the magnetic sensors 66. The correction value set to equalize the detection signals of the holes 70 having the same diameter in this way takes into account not only the lift-off Lf between the magnetic sensor 66 and the calibration sample plate 30 but also the detection sensitivity of the magnetic sensor 66. Value.
  • the processing unit 86 associates the calculated correction value with the ID of each magnetic sensor 66, the lift-off value, and the like, and stores them in the storage unit 80 (S558).
  • the processing unit 86 ends the gain correction process.
  • FIG. 11 is a flowchart of defect detection processing by the control unit 20.
  • the defect detection process is started when the calculation unit 82 reads the defect detection process program stored in the storage unit 80.
  • the defect detection process is preferably started after the detection unit 42 and the distance measurement units 44a and 44b are moved to the detection position indicated by the solid line in FIG. 1 and the inclination correction process and the gain correction process are executed.
  • the processing unit 86 drives the inspection motor 73 to rotate the inspection roll 21 (S600).
  • the processing unit 86 supplies current to the magnetizing coils 62a and 62b to generate magnetic flux (S602).
  • the acquisition unit 84 acquires a detection signal of a voltage value (that is, gain) corresponding to the magnetic Mg from each magnetic sensor 66 of the sensor unit 64 (S604).
  • the acquisition unit 84 acquires a detection signal that hardly changes corresponding to the substantially constant magnetic Mg corresponding to the region without the defect 92 and a detection signal that changes corresponding to the magnetic Mg that changes due to the defect 92. To do.
  • the acquisition unit 84 outputs the acquired detection signal to the processing unit 86.
  • the processing unit 86 calculates detection information as information that the defect 92 is detected based on the detection signal (S606). For example, the processing unit 86 determines the presence or absence of the defect 92 based on a detection signal (or a change in the corrected detection signal) corrected by multiplying the detection signal by the correction value of the magnetic sensor 66 that has detected each detection signal. When determining that the defect 92 is present, the processing unit 86 calculates the size of the defect 92 from the size of the detection signal, and calculates information on the position of the defect 92 from the timing at which the detection signal is acquired.
  • the processing unit 86 stores detection information including information on the size and position of the defect 92 in the storage unit 80 (S608). Thereafter, the processing unit 86 repeats Step S604 and subsequent steps until the conveyance of the inspection plate 90 is completed (S610: No). When the processing unit 86 determines that the conveyance of the inspected plate 90 has been completed (S610: Yes), the defect detection process is ended.
  • the magnetic flaw detector 10 is based on the two distances H1 and H2 between the calibration roll 28 and the sensor unit 64 measured by the two distance measuring units 44a and 44b (specifically, 2
  • the second drive motor 76 and the third drive motor 78 are controlled so as to reduce the average distance Hc of the two distances H1 and H2 and the inclination of the sensor unit 64.
  • the magnetic flaw detector 10 can improve the parallelism between the inspection plate 90 and the sensor unit 64.
  • the magnetic flaw detection apparatus 10 can improve the uniformity of the distance (ie, lift-off) between the inspection plate 90 and the sensor unit 64 and improve the detection accuracy of the defect 92.
  • the magnetic flaw detector 10 adjusts the position and inclination of the detection unit 42 by the three drive shafts 50, 54, and 56. Thereby, compared with the case where the position and inclination of the detection part 42 are adjusted with one drive shaft, the magnetic flaw detector 10 can reduce non-uniform lift-off due to the deflection of the detection part 42. Further, the magnetic flaw detector 10 is provided at one end of the detection unit 42 as compared with the case where the position and inclination of the detection unit 42 are adjusted by two drive shafts provided at the center and one end of the detection unit 42. The deterioration due to the increased load on the drive shaft can be reduced, and non-uniform lift-off due to the deflection in the vicinity of the support member that rotatably supports the other end of the detection unit 42 can be reduced.
  • the magnetic flaw detector 10 sets the correction value of the detection signal in a state where the inclination is reduced and the lift-off uniformity is improved, so that the diameter of the inspection roll 21 is reduced and the curvature is increased, and the conveyance direction is increased. Even if the variation in the lift-off value increases, the detection accuracy of the defect 92 can be improved.
  • FIG. 12 is a front view showing the overall configuration of the magnetic flaw detector 110 according to the second embodiment.
  • the magnetic flaw detector 110 of the second embodiment includes a position adjustment unit 140.
  • the position adjustment unit 140 includes a first drive shaft 150, a first drive motor 74 that rotates the first drive shaft 150, a second drive shaft 154, and a second drive motor 76 that rotates the second drive shaft 154.
  • a third drive shaft 156 and a third drive motor 78 that rotates the third drive shaft 156 are provided.
  • One end (for example, the upper end) of the first drive shaft 150 is connected to the flaw detection moving unit 38 via the first drive motor 74 or directly.
  • the other end (for example, the lower end) of the first drive shaft 150 is connected to the central portion of the detection unit 42 in the X direction.
  • One end (for example, the upper end) of the second drive shaft 154 is connected to the flaw detection moving unit 38 via the second drive motor 76 or directly.
  • the other end (for example, the lower end) of the second drive shaft 154 is connected to one end of the detection unit 42 in the X direction.
  • One end (for example, the upper end) of the third drive shaft 156 is connected to the flaw detection moving unit 38 via the third drive motor 78 or directly.
  • the other end (for example, the lower end) of the third drive shaft 156 is connected to the other end of the detection unit 42 in the X direction.
  • the first drive shaft 150, the second drive shaft 154, and the third drive shaft 156 are connected to each other via the flaw detection moving unit 38 and the detection unit 42.
  • the first drive shaft 150, the second drive shaft 154, and the third drive shaft 156 independently drive the detection unit 42 up and down.
  • the inclination correction or the like is performed based on the distance measured by the two distance measuring units 44a and 44b, but based on the distance measured by the three or more distance measuring units, Tilt correction or the like may be executed.

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Abstract

　欠陥の検出精度を向上させる。　磁気探傷装置は、搬送ロールと、磁気生成部と、検出ユニットと、調整部と、第１測定部と、第２測定部と、制御部とを備える。搬送ロールは、被検査板を搬送する。磁気生成部は、前記被検査板に磁気を生じさせる。検出ユニットは、前記磁気を検出する複数の磁気検出部を有する。調整部は、前記搬送ロールに対する前記検出ユニットとの傾きを調整する。第１測定部は、前記搬送ロールと前記検出ユニットとの間の距離に対応する第１距離を測定する。第２測定部は、前記被検査板の搬送方向と交差する方向において前記第１測定部とは異なる位置に設けられ、前記搬送ロールと前記検出ユニットとの間の距離に対応する第２距離を測定する。制御部は、前記第１距離及び前記第２距離に基づいて、前記搬送ロールと前記検出ユニットとの傾きを低減するように前記調整部を制御する。

Description

磁気探傷装置、磁気探傷装置の傾き補正方法、及び、プログラム
　実施形態は、磁気探傷装置、磁気探傷装置の傾き補正方法、及び、プログラムに関する。
　磁気によって鋼板等の被検査板の欠陥を検査する磁気探傷装置が知られている。磁気探傷装置では、磁気センサと被検査板とを接近させて、欠陥による磁気の変化を磁気センサが検出することにより、欠陥を検出する。
特開２００２－１９５９８４号公報
　しかしながら、上述の磁気探傷装置では、複数の磁気センサと被検査板とが、平行でない場合、欠陥の検出精度が低下するといった課題がある。
　実施形態は、上記に鑑みてなされたものであって、欠陥の検出精度を向上させることができる磁気探傷装置を提供する。
　上述した課題を解決し、目的を達成するために、実施形態の磁気探傷装置は、搬送ロールと、磁気生成部と、検出ユニットと、調整部と、第１測定部と、第２測定部と、制御部とを備える。搬送ロールは、被検査板を搬送する。磁気生成部は、前記被検査板に磁気を生じさせる。検出ユニットは、前記磁気を検出する複数の磁気検出部を有する。調整部は、前記搬送ロールに対する前記検出ユニットとの傾きを調整する。第１測定部は、前記搬送ロールと前記検出ユニットとの間の距離に対応する第１距離を測定する。第２測定部は、前記被検査板の搬送方向と交差する方向において前記第１測定部とは異なる位置に設けられ、前記搬送ロールと前記検出ユニットとの間の距離に対応する第２距離を測定する。制御部は、前記第１距離及び前記第２距離に基づいて、前記搬送ロールと前記検出ユニットとの傾きを低減するように前記調整部を制御する。
図１は、第１実施形態にかかる磁気探傷装置の全体構成を示す正面図である。 図２は、第１実施形態にかかる磁気探傷装置の全体構成を示す斜視図である。 図３は、探傷部の検出部の拡大側面図である。 図４は、センサユニットの平面図である。 図５は、校正サンプル板の平面図である。 図６は、磁気探傷装置の制御系を示すブロック図である。 図７は、制御部による傾き補正処理のフローチャートである。 図８は、制御部によるゲイン補正処理のフローチャートである。 図９は、校正ロールとセンサユニットのセンサ列との距離を説明する図である。 図１０は、磁気センサと校正サンプル板との距離と、磁気センサの感度相対比との関係を示す図である。 図１１は、制御部による欠陥検出処理のフローチャートである。 図１２は、第２実施形態にかかる磁気探傷装置の全体構成を示す正面図である。
　以下の例示的な実施形態や変形例には、同様の構成要素が含まれている。よって、以下では、同様の構成要素には共通の符号が付されるとともに、重複する説明が部分的に省略される。実施形態や変形例に含まれる部分は、他の実施形態や変形例の対応する部分と置き換えて構成されることができる。また、実施形態や変形例に含まれる部分の構成や位置等は、特に言及しない限りは、他の実施形態や変形例と同様である。
　実施形態の磁気探傷装置は、２個の距離測定部によって測定した搬送ロールとセンサユニットとの間の距離に対応する２個の距離に基づいて、センサユニットの傾きを補正して、センサユニットと、搬送ローラ及び被検査板との平行度を向上させて、欠陥の検出精度を向上させる。
　＜第１実施形態＞
　図１は、第１実施形態にかかる磁気探傷装置１０の全体構成を示す正面図である。図２は、第１実施形態にかかる磁気探傷装置１０の全体構成を示す斜視図である。図１及び図２に矢印で示すＸＹＺをＸＹＺ方向とする。
　磁気探傷装置１０は、薄い鋼板等の被検査板９０を搬送しつつ、被検査板９０の表面または内部の凹み等の欠陥を検出する。図１及び図２に示すように、磁気探傷装置１０は、架台１２と、検査部１４と、校正部１６と、探傷部１８と、制御部２０とを備える。
　架台１２は、天板、底板及び天板と底板とを連結する脚部等を有する。架台１２は、検査部１４、校正部１６、探傷部１８、及び、制御部２０を保持する。
　検査部１４は、円柱形状の検査ロール２１及び押圧ロール２２を有する。
　検査ロール２１は、搬送ロールの一例である。検査ロール２１は、非磁性体材料を含む。検査ロール２１は、回転可能に架台１２に保持されている。検査部１４の回転軸は、円柱形状の中心軸である。検査ロール２１は、後述する検査用モータ７３によって回転される。押圧ロール２２は、被検査板９０を検査ロール２１へと押圧して、被検査板９０に張力を付与する。検査ロール２１は、押圧ロール２２によって張力が付与された被検査板９０をＹ方向に搬送する。従って、Ｙ方向は、搬送方向である。
　校正部１６は、支持台２６と、校正ロール２８と、校正サンプル板３０と、校正用モータ３２と、校正移動部３４とを有する。
　支持台２６は、架台１２に取り付けられている。
　校正ロール２８は、円柱形状に構成されている。校正ロール２８は、非磁性体材料を含む。校正ロール２８は、支持台２６に回転可能に支持されている。校正ロール２８の回転軸は、円柱形状の中心軸である。校正ロール２８の回転軸は、検査ロール２１の回転軸の延長線上に配置されている。校正ロール２８の直径は、検査ロール２１の直径と等しい。従って、校正ロール２８の外周は、検査ロール２１の外周のＸ方向上となる。例えば、校正ロール２８の上端は、検査ロール２１の上端と同じ高さ位置（即ち、Ｚ方向の位置）である。校正ロール２８の外周部は、校正サンプル板３０を保持する。
　校正サンプル板３０は、探傷部１８及び制御部２０の校正用の板である。校正サンプル板３０は、磁性体材料を含む。
　校正用モータ３２は、校正ロール２８の回転軸に連結されている。校正用モータ３２は、校正ロール２８を回転させる。
　校正移動部３４は、支持台２６、校正ロール２８、校正サンプル板３０、及び、校正用モータ３２を、Ｘ方向に沿って移動させる。具体的には、校正移動部３４は、図１に実線で示す位置から点線で示す位置に校正部１６を移動させる。Ｘ方向は、検査ロール２１及び校正ロール２８の回転軸が延びる方向であり、被検査板９０の搬送方向であるＹ方向と交差（例えば、直交）する方向である。
　探傷部１８は、検査ロール２１によって搬送されている被検査板９０の表面及び内部の欠陥を検出する。探傷部１８は、検査部１４及び校正部１６よりも上方に配置されている。探傷部１８は、探傷移動部３８と、位置調整部４０と、センサユニット６４を含む検出部４２と、一対の距離測定部４４ａ、４４ｂとを有する。
　探傷移動部３８は、架台１２に設けられている。探傷移動部３８は、位置調整部４０を保持する。探傷移動部３８は、Ｘ方向に沿って、検出部４２及び距離測定部４４ａ、４４ｂとともに位置調整部４０を移動させる。図１に実線で示す検出部４２の位置を検査位置とし、点線で示す検出部４２の位置を校正位置とする。
　位置調整部４０は、探傷移動部３８を介して架台１２に設けられている。位置調整部４０は、検出部４２の位置及び傾斜を調整する。位置調整部４０は、第１駆動軸５０と、第１駆動モータ７４と、連結部５２と、第２駆動軸５４と、第２駆動モータ７６と、第３駆動軸５６と、第３駆動モータ７８とを有する。第１駆動軸５０、第２駆動軸５４、及び、第３駆動軸５６は、例えば、ボールネジである。第１駆動モータ７４、第２駆動モータ７６、及び、第３駆動モータ７８は、例えば、サーボモータである。第１駆動軸５０及び第１駆動モータ７４は、第１調整部材の一例である。第２駆動軸５４及び第２駆動モータ７６は、第２調整部材の一例である。第３駆動軸５６及び第３駆動モータ７８は、第３調整部材の一例である。第２駆動軸５４、第２駆動モータ７６、第３駆動軸５６及び第３駆動モータ７８は、調整部の一例である。
　第１駆動軸５０は、Ｘ方向における検出部４２の中央部の上方に配置されている。第１駆動軸５０の一端（例えば、上端）は、探傷移動部３８に連結されている。第１駆動軸５０の他端（例えば、下端）は、Ｘ方向における連結部５２の中央部に連結されている。
　第１駆動モータ７４は、第１駆動軸５０を回転させる。これにより、第１駆動モータ７４は、検出部４２及び一対の距離測定部４４ａ、４４ｂとともに、第１駆動軸５０を検査ロール２１及び校正ロール２８の径方向（例えば、上下方向）に駆動させる。第１駆動軸５０及び第１駆動モータ７４は、検査ロール２１及び校正ロール２８と、検出部４２との距離を調整する。
　連結部５２は、Ｘ方向に延びる梁状（例えば、円柱形状）に構成されている。連結部５２は、回動可能に第１駆動軸５０と連結されている。連結部５２の一端は、第２駆動軸５４の一端（例えば、上端）に連結されている。連結部５２の他端は、第３駆動軸５６の一端（例えば、上端）に連結されている。
　第２駆動軸５４の他端（例えば、下端）は、Ｘ方向における検出部４２の一端部に連結されている。
　第２駆動モータ７６は、第２駆動軸５４を回転させる。これにより、第２駆動モータ７６は、検出部４２及び一対の距離測定部４４ａ、４４ｂとともに、第２駆動軸５４を検査ロール２１及び校正ロール２８の径方向（例えば、上下方向）に駆動させる。第２駆動軸５４及び第２駆動モータ７６は、検査ロール２１及び校正ロール２８と、検出部４２との距離を調整する。
　第３駆動軸５６の他端（例えば、下端）は、Ｘ方向における検出部４２の他端部に連結されている。即ち、第３駆動軸５６は、Ｘ方向において、第１駆動軸５０及び第２駆動軸５４と異なる位置で検出部４２に連結されている。
　第３駆動モータ７８は、第３駆動軸５６を回転させる。これにより、第３駆動モータ７８は、検出部４２及び一対の距離測定部４４ａ、４４ｂとともに、第３駆動軸５６を検査ロール２１及び校正ロール２８の径方向（例えば、上下方向）に駆動させる。第３駆動軸５６及び第３駆動モータ７８は、検査ロール２１及び校正ロール２８と、検出部４２との距離を調整する。
　ここで、第１駆動軸５０の移動量は、第２駆動軸５４及び第３駆動軸５６の移動量よりも大きい。従って、第１駆動軸５０及び第１駆動モータ７４が、検出部４２の上下方向の大まかな位置を調整して、第２駆動軸５４及び第２駆動モータ７６と、第３駆動軸５６及び第３駆動モータ７８とが検出部４２の微細な位置を調整する。これにより、位置調整部４０は、検出部４２のセンサユニット６４の下面と、被検査板９０との間の距離を０．５ｍｍから１ｍｍ程度に調整する。更に、第２駆動軸５４及び第２駆動モータ７６と、第３駆動軸５６及び第３駆動モータ７８とが、それぞれの駆動量を異ならせることにより、検査ロール２１に対する検出部４２のセンサユニット６４の傾きを調整する。
　検出部４２は、位置調整部４０の下端に設けられている。検出部４２のセンサユニット６４は、被検査板９０の欠陥に応じた磁気を検出する。
　一対の距離測定部４４ａ、４４ｂは、第１測定部または第２測定部の一例である。一対の距離測定部４４ａ、４４ｂは、位置調整部４０に設けられている。例えば、一方の距離測定部４４ａは、検出部４２のＸ方向の一端部に設けられ、他方の距離測定部４４ｂは、検出部４２のＸ方向の他端部に設けられている。即ち、一方の距離測定部４４ａは、Ｘ方向において、他方の距離測定部４４ｂとは異なる位置に設けられている。距離測定部４４ａ、４４ｂは、検出部４２に固定されているので、検出部４２のセンサユニット６４との相対位置は固定される。距離測定部４４ａ、４４ｂは、例えば、センサヘッドが伸縮して測定対象に接触する接触式の距離センサである。距離測定部４４ａ、４４ｂは、レーザ測距センサ、超音波測距センサ等であってもよい。距離測定部４４ａ、４４ｂは、検査ロール２１と、センサユニット６４との距離に対応する距離Ｈ１、Ｈ２を測定する。距離Ｈ１、Ｈ２は、第１距離及び第２距離のいずれかの一例である。例えば、距離測定部４４ａ、４４ｂは、センサユニット６４に対して固定されているので、自身と検査ロール２１または校正ロール２８との距離を当該距離Ｈ１、Ｈ２として測定してもよく、検査ロール２１または校正ロール２８と同じ高さに設けられた被距離測定部材までの距離を当該距離Ｈ１、Ｈ２として測定してもよい。距離測定部４４ａ、４４ｂは、測定した距離Ｈ１、Ｈ２を制御部２０へ送信する。
　制御部２０は、磁気探傷装置１０の制御全般を司る。
　図３は、探傷部１８の検出部４２の拡大側面図である。図３に示すように、検出部４２は、ヨーク６０と、一対の磁化コイル６２ａ、６２ｂと、センサユニット６４とを有する。
　ヨーク６０は、中空状に構成されている。ヨーク６０は、側面視において、下方が凸状のほぼ五角形状に構成されている。従って、ヨーク６０は、天板、天板の一端から下方に延びる一方の側板、天板の他端から下方に延び一方の側板と対向する他方の側板、一方の側板の下端部から斜め下方に延びる一方の傾斜板、及び、他方の側板の下端部から斜め下方に延びる他方の傾斜板とを有する。ヨーク６０の下端部は開口している。
　一対の磁化コイル６２ａ、６２ｂは、磁気生成部の一例である。一方の磁化コイル６２ａは、ヨーク６０の一方の側板に巻かれている。他方の磁化コイル６２ｂは、ヨーク６０の他方の側板に巻かれている。磁化コイル６２ａ、６２ｂは、電流が供給されることによって、例えば、白抜き矢印で示す方向の磁束をヨーク６０の内部に生じさせる。これにより、磁化コイル６２ａ、６２ｂは、ヨーク６０の下端部の開口の下方を搬送される被検査板９０の内部に磁気を生じさせる。
　センサユニット６４は、検出ユニットの一例である。センサユニット６４は、ヨーク６０の下端の開口部に設けられている。センサユニット６４は、ヨーク６０から被検査板９０へと通る磁気Ｍｇを検出する。
　図４は、センサユニット６４の平面図である。図４に示すように、センサユニット６４は、磁気検出部の一例である複数の磁気センサ６６を有する。磁気センサ６６は、例えば、ホール素子である。磁気センサ６６は、ヨーク６０から漏れ、被検査板９０の内部を通過する磁気Ｍｇを検出する。例えば、磁気センサ６６は、被検査板９０の内部の欠陥に起因する磁気Ｍｇの変化または乱れを検出できる。磁気センサ６６は、検出した磁気Ｍｇに対応する電圧を制御部２０へ出力する。
　複数の磁気センサ６６は、複数（例えば、３列）のセンサ列６８ａ、６８ｂ、６８ｃ・・・に配列されている。尚、各センサ列６８ａ、６８ｂ、６８ｃを区別する必要がない場合、センサ列の符号を“６８”とする。各センサ列６８の磁気センサ６６は、Ｘ方向に配列されている。センサ列６８は、Ｙ方向において互いに異なる位置に配置されている。従って、一のセンサ列６８（例えば、センサ列６８ａ）の磁気センサ６６は、Ｙ方向（即ち、搬送方向）において、他のセンサ列６８（例えば、センサ列６８ｂ）の磁気センサ６６と異なる位置に配置されている。ここで、各センサ列６８における磁気センサ６６の配置間隔を“Ｐ”とする。配置間隔Ｐの一例は、３ｍｍである。一のセンサ列６８（例えば、センサ列６８ａ）の磁気センサ６６は、隣接するセンサ列６８（例えば、センサ列６８ｂ）の磁気センサ６６と、Ｘ方向において異なる位置に配置されている。例えば、センサユニット６４が、ｎ列のセンサ列６８を有する場合、一のセンサ列６８（例えば、センサ列６８ａ）の磁気センサ６６は、隣接するセンサ列６８（例えば、センサ列６８ｂ）の磁気センサ６６とＰ／ｎずれた位置に配置されている。従って、センサ列６８が３列の場合、一のセンサ列６８の磁気センサ６６は、Ｘ方向において、隣接するセンサ列６８の磁気センサ６６とＰ／３（例えば、１ｍｍ）ずれた位置に配置されている。
　図５は、校正サンプル板３０の平面図である。図５に示すように、校正サンプル板３０には、補正用欠陥としての複数の穴７０が形成されている。
　複数の穴７０は、Ｘ方向に沿った複数（例えば、４列）の列７２ａ、７２ｂ、７２ｃ、７２ｄに配列されている。列７２ａ、７２ｂ、７２ｃ、７２ｄを区別する必要がない場合、列の符号を“７２”とする。同じ列７２の穴７０は、同じ直径を有する。異なる列７２の穴７０は、異なる直径を有する。例えば、最も＋Ｙ側の列７２ａの穴７０の直径は０．２ｍｍ、列７２ｂの穴７０の直径は０．１ｍｍ、列７２ｃの穴７０の直径は０．０５ｍｍ、列７２ｄの穴７０の直径は０．０３５ｍｍである。各列７２のＸ方向の幅Ｐｔ０は、一定である。同じ列７２における穴７０の間隔Ｐｔ１は一定である。列７２と隣接する列７２との間の間隔Ｐｔ２は、一定である。磁気センサ６６が当該穴７０を検出した磁気Ｍｇの大きさに基づいて、制御部２０は磁気Ｍｇと穴７０の直径との対応関係等の校正を行う。
　図６は、磁気探傷装置１０の制御系を示すブロック図である。制御部２０の一例は、コンピュータである。図６に示すように、磁気探傷装置１０は、検査部１４の検査用モータ７３を更に備える。検査用モータ７３の一例は、サーボモータである。尚、検査用モータ７３は、無くてもよい。
　検査用モータ７３は、検査ロール２１の回転軸と連結されている。検査用モータ７３は、回転軸を回転させることにより、検査ロール２１を回転させる。
　制御部２０は、距離測定部４４ａ、４４ｂ、校正用モータ３２、検査用モータ７３、駆動モータ７４、７６、７８、センサユニット６４の各磁気センサ６６と情報を入出力可能に接続されている。制御部２０は、記憶部８０と、演算部８２とを有する。
　記憶部８０は、例えば、ハードウエアであり、ＲＯＭ（Read　Only　Memory）、ＲＡＭ（Random　Access　Memory）、ＳＳＤ（Solid　State　Drive）及び、ＨＤＤ（Hard　Disk　Drive）等を含む。記憶部８０は、演算部８２が実行するプログラム、データ及びパラメータ等を記憶する。
　演算部８２は、例えば、ハードウエアであり、ＣＰＵ（Central　Processing　Unit）等のプロセッサである。演算部８２は、記憶部８０に記憶されたプログラム、データ及びパラメータ等を読み込むことによって、種々の処理を実行する。例えば、演算部８２は、記憶部８０から、傾き補正処理、ゲイン補正処理、及び、欠陥検出処理のプログラムを読み込むことによって、取得部８４と、処理部８６として機能する。尚、取得部８４及び処理部８６の一部または全てを回路（例えば、ＡＳＩＣ:　application　specific　integrated　circuit）等のハードウエアによって構成してもよい。
　取得部８４は、距離測定部４４ａ、４４ｂから取得した距離Ｈ１、Ｈ２を処理部８６へ出力する。処理部８６は、当該距離Ｈ１、Ｈ２に基づいて、駆動モータ７４、７６、７８を制御して駆動軸５０、５４、５６を駆動することにより、検査ロール２１及び被検査板９０に対する検出部４２のセンサユニット６４の距離Ｈ１、Ｈ２を調整する。処理部８６は、当該距離Ｈ１、Ｈ２に基づいて、駆動軸５４、５６の駆動モータ７６、７８を制御して、検査ロール２１及び被検査板９０に対する検出部４２のセンサユニット６４の下面の傾きを低減するように調整する。この場合、処理部８６は、距離Ｈ１、Ｈ２の平均である平均距離Ｈｃに基づいて、駆動軸５４、５６の駆動モータ７６、７８を制御してもよい。　　　
　取得部８４は、センサユニット６４の各磁気センサ６６から取得した校正サンプル板３０の穴７０に対応する電圧値を検出信号として処理部８６へ出力する。処理部８６は、磁気センサ６６が検出した穴７０の検出信号に基づいて、磁気センサ６６の検出信号を補正する補正値を設定する。例えば、処理部８６は、磁気センサ６６が検出した同じ形状（例えば、同じ直径）の穴７０の検出信号が等しくなるように補正値を設定する。処理部８６は、例えば、被検査板９０とセンサユニット６４との距離であるリフトオフの値（または被検査板９０の板厚）ごとに、磁気センサ６６に対応付けて磁気センサ６６の検出信号を補正する補正値を設定する。
　取得部８４は、センサユニット６４の各磁気センサ６６から取得した被検査板９０の欠陥９２に対応する電圧値を検出信号として処理部８６へ出力する。処理部８６は、検出信号及び補正値に基づいて、被検査板９０の欠陥９２の大きさ及び位置等を検出する。
　図７は、制御部２０による傾き補正処理のフローチャートである。傾き補正方法の一例である傾き補正処理は、演算部８２が記憶部８０の傾き補正処理のプログラムを読み込むことによって、開始される。傾き補正処理は、図１に点線で示す校正位置に検出部４２及び距離測定部４４ａ、４４ｂが移動して、予め設定された高さ位置にセンサユニット６４が配置されている状態で、開始する。更に、傾き補正処理は、センサユニット６４のセンサ列６８ｂの面が、検査ロール２１の径方向に対して垂直になる位置（検査ロール２１の中心の真上の位置）で実行されることが好ましい。
　図７に示すように、傾き補正処理では、距離測定部４４ａ、４４ｂが検査ロール２１及び校正ロール２８からセンサユニット６４までの距離に対応する距離Ｈ１、Ｈ２を測定して（第１測定段階及び第２測定段階）、取得部８４は距離Ｈ１、Ｈ２を取得して処理部８６へ出力する（Ｓ５００）。本実施形態では、距離測定部４４ａ、４４ｂは、校正ロール２８の外周面と同じ位置に固定された外周面を有する被距離測定部材の外周面までの距離を距離Ｈ１、Ｈ２として測定する。ここで、距離測定部４４ａ、４４ｂはセンサユニット６４に対して固定され、かつ、校正ロール２８の外周面の上端と検査ロール２１の外周面の上端は同じ位置に配置されているので、距離Ｈ１、Ｈ２は、検査ロール２１とセンサユニット６４との距離に対応する。また、距離測定部４４ａは、図１に点線で示す位置に校正ロール２８が配置されている状態で距離Ｈ１を測定して、距離測定部４４ｂは、図１に実線で示す位置に校正ロール２８が配置されている状態で距離Ｈ２を測定する。
　処理部８６は、距離Ｈ１、Ｈ２の平均距離Ｈｃを算出する（Ｓ５０２）。処理部８６は、平均距離Ｈｃに基づいて、距離測定部４４ａ、４４ｂの異常を判定する（Ｓ５０４）。ここで、距離測定部４４ａ、４４ｂの誤差の許容値をδ、校正サンプル板３０の板厚をＴｃ、リフトオフ値をγとする。許容値δ及び板厚Ｔｃは、例えば、予めユーザ等によって入力された値である。例えば、板厚Ｔｃは０．５ｍｍであって、許容値δは５μｍである。リフトオフ値γは、例えば、板厚Ｔｃ及び設定された探傷する欠陥９２の精度等に基づいて設定された校正サンプル板３０の表面とセンサユニット６４の下面との距離に対応する値である。例えば、リフトオフ値γは１ｍｍである。板厚Ｔｃ及びリフトオフ値γの和（＝Ｔｃ＋γ）は、距離測定部４４ａ、４４ｂが正常であれば、平均距離Ｈｃとほぼ同じ値になる。従って、処理部８６は、平均距離Ｈｃと上述の和（＝Ｔｃ＋γ）との差Ｄｆが許容値δ以下か否かによって、距離測定部４４ａ、４４ｂの異常を判定する。処理部８６は、当該差Ｄｆが許容値δより大きい場合（Ｓ５０４：Ｎｏ）、距離測定部４４ａ、４４ｂの少なくとも一方が異常であると判定して、第１アラームを通知して（Ｓ５０６）、傾き補正処理を終了する。処理部８６は、第１アラームとして、例えば、“距離測定部が異常”等のメッセージを画像または音声によって通知する。
　処理部８６は、当該差Ｄｆが許容値δ以下の場合（Ｓ５０４：Ｙｅｓ）、距離測定部４４ａ、４４ｂが正常であると判定して、次の式（１）に基づいて、ずれ量Ｈｚを算出する（Ｓ５０８）。式（１）に示すように、ずれ量Ｈｚは、Ｘ方向におけるセンサユニット６４の中心と、センサユニット６４の両端とのＺ方向の距離のずれである。ずれ量Ｈｚが大きいことは、センサユニット６４の傾きが大きいことを示す。
　Ｈｚ＝｜（Ｈ１－Ｈ２）／２｜　　・・・（１）
　処理部８６は、ずれ量Ｈｚが予め設定された第１閾値Ｔｈ１未満か否かを判定する（Ｓ５１０）。第１閾値Ｔｈ１は、傾きの補正が必要か否かを判定するための閾値である。即ち、ずれ量Ｈｚが第１閾値Ｔｈ１未満の場合、センサユニット６４がほとんど傾いておらず、傾き補正が必要ない状態である。第１閾値Ｔｈ１の一例は、１０μｍである。処理部８６は、ずれ量Ｈｚが第１閾値Ｔｈ１未満の場合（Ｓ５１０：Ｙｅｓ）、傾き補正が必要ないと判定して、傾き補正処理を終了する。
　処理部８６は、ずれ量Ｈｚが第１閾値Ｔｈ１以上の場合（Ｓ５１０：Ｎｏ）、傾き補正が必要と判定して、ずれ量Ｈｚが第２閾値Ｔｈ２未満か否かを判定する（Ｓ５１２）。第２閾値Ｔｈ２は、第１閾値Ｔｈ１よりも大きい値であり、傾き補正において、アラームの通知が必要か否かを判定するための閾値である。ずれ量Ｈｚが第２閾値Ｔｈ２未満の場合、センサユニット６４の傾き補正は必要であるが、アラームの通知が必要ない状態である。第２閾値Ｔｈ２の一例は、３０μｍである。処理部８６は、ずれ量Ｈｚが第２閾値Ｔｈ２未満の場合（Ｓ５１２：Ｙｅｓ）、アラームを通知することなく、後述するステップＳ５２４以降の傾き補正を実行する。
　処理部８６は、ずれ量Ｈｚが第２閾値Ｔｈ２以上の場合（Ｓ５１２：Ｎｏ）、アラームが必要と判定して、ずれ量Ｈｚが第３閾値Ｔｈ３未満か否かを判定する（Ｓ５１４）。第３閾値Ｔｈ３は、第２閾値Ｔｈ２よりも大きい値であり、傾き補正において、第２アラームの通知が必要か否かを判定するための閾値である。ずれ量Ｈｚが第３閾値Ｔｈ３未満の場合、センサユニット６４の傾き補正ができるが、第２アラームの通知が必要な状態である。第３閾値Ｔｈ３の一例は、５０μｍである。処理部８６は、ずれ量Ｈｚが第３閾値Ｔｈ３未満の場合（Ｓ５１４：Ｙｅｓ）、第２アラームを通知する（Ｓ５１６）。処理部８６は、第２アラームとして、例えば、“傾き補正可能であるが、ずれ量が大きい”等のメッセージを画像及び音声によって通知する。この後、処理部８６は、後述するステップＳ５２４以降の傾き補正を実行する。
　処理部８６は、ずれ量Ｈｚが第３閾値Ｔｈ３以上の場合（Ｓ５１４：Ｎｏ）、ずれ量Ｈｚが第４閾値Ｔｈ４未満か否かを判定する（Ｓ５１８）。第４閾値Ｔｈ４は、第３閾値Ｔｈ３よりも大きい値であり、ずれ量Ｈｚが大きすぎて傾き補正ができず、第３アラームの通知が必要か否かを判定するための閾値である。ずれ量Ｈｚが第４閾値Ｔｈ４未満の場合、センサユニット６４の傾き補正ができるが、第３アラームの通知が必要な状態である。第４閾値Ｔｈ４の一例は、２５０μｍである。処理部８６は、ずれ量Ｈｚが第４閾値Ｔｈ４未満の場合（Ｓ５１８：Ｙｅｓ）、第３アラームを通知する（Ｓ５２０）。処理部８６は、第３アラームとして、例えば、“傾き補正可能であるが、ずれ量が極めて大きい”等のメッセージを画像及び音声によって通知する。この後、処理部８６は、後述するステップＳ５２４以降の傾き補正を実行する。
　処理部８６は、ずれ量Ｈｚが第４閾値Ｔｈ４以上の場合（Ｓ５１８：Ｎｏ）、ずれ量Ｈｚが大きすぎて、傾き補正ができないと判定する。この場合、処理部８６は、第４アラームを通知する（Ｓ５２２）。処理部８６は、第４アラームとして、例えば、“ずれ量が極めて大きすぎて、傾き補正できない”等のメッセージを画像及び音声によって通知する。処理部８６は、第４アラームを通知すると、傾き補正処理を終了する。
　処理部８６は、ステップＳ５１２、Ｓ５１６、Ｓ５２０の後、距離Ｈ１、Ｈ２に基づいて、検査ロール２１に対するセンサユニット６４の傾きが小さくなるように、第２駆動モータ７６及び第３駆動モータ７８を制御して、第２駆動軸５４及び第３駆動軸５６を駆動する（調整段階）。具体的には、処理部８６は、距離Ｈ１と平均距離Ｈｃとの差が正か否か判定する（Ｓ５２４）。換言すれば、処理部８６は、センサユニット６４の第２駆動軸５４の側が第３駆動軸５６の側よりも上がっているか否かを判定する。従って、処理部８６は、距離Ｈ１と距離Ｈ２との大小関係、または、距離Ｈ２と平均距離Ｈｃとの差によって、ステップＳ５２４の判定を実行してもよい。
　処理部８６は、距離Ｈ１と平均距離Ｈｃとの差が正の場合（Ｓ５２４：Ｙｅｓ）、即ち、センサユニット６４の第２駆動軸５４の側が第３駆動軸５６の側よりも上がっている場合、ステップＳ５２６を実行する。具体的には、処理部８６は、第２駆動モータ７６を駆動して、センサユニット６４の第２駆動軸５４の側をずれ量Ｈｚだけ下方に移動させ、第３駆動モータ７８を駆動して、センサユニット６４の第３駆動軸５６の側をずれ量Ｈｚだけ上方に移動させる。
　一方、処理部８６は、距離Ｈ１と平均距離Ｈｃとの差が負の場合（Ｓ５２４：Ｎｏ）、即ち、センサユニット６４の第２駆動軸５４の側が第３駆動軸５６の側よりも下がっている場合、ステップＳ５２８を実行する。具体的には、処理部８６は、第２駆動モータ７６を駆動して、センサユニット６４の第２駆動軸５４の側をずれ量Ｈｚだけ上方に移動させ、第３駆動モータ７８を駆動して、センサユニット６４の第３駆動軸５６の側をずれ量Ｈｚだけ下方に移動させる（Ｓ５２６）。
　処理部８６は、ステップＳ５２６、及び、ステップＳ５２８のいずれかを実行すると、傾き補正処理を終了する。尚、傾き処理の後に、処理部８６は、駆動軸５０、５４、５６を制御して、再度、センサユニット６４のＺ方向の位置を調整してもよい。
　図８は、制御部２０によるゲイン補正処理のフローチャートである。ゲイン補正処理は、演算部８２が記憶部８０のゲイン補正処理のプログラムを読み込むことによって、開始される。ゲイン補正処理は、図１に点線で示す校正位置に検出部４２及び距離測定部４４ａ、４４ｂが移動して、傾き補正処理が実行された後に、開始することが好ましい。
　図８に示すように、ゲイン補正処理では、処理部８６は、校正用モータ３２を駆動させて、校正ロール２８を回転させる（Ｓ５５０）。処理部８６は、磁化コイル６２ａ、６２ｂに電流を供給して、磁束を発生させる（Ｓ５５２）。
　取得部８４は、センサユニット６４の各磁気センサ６６から校正サンプル板３０の穴７０によって変化した磁気Ｍｇに対応する電圧値（即ち、ゲイン）の検出信号を取得する（Ｓ５５４）。取得部８４は、取得した検出信号を処理部８６へ出力する。
　次に、処理部８６は、取得した検出信号に基づいて、補正値を算出する（Ｓ５５６）。ここで、図５に示すように、校正サンプル板３０は、同じ直径の複数の穴７０を含む複数の列７２ａ、７２ｂ・・を有する。従って、複数の磁気センサ６６が、同じ列７２の同じ直径の穴７０を検出した場合、同じ電圧値を示す検出信号となることが好ましいが、実際には同じ大きさの検出信号にはならない。同じ検出信号にならない理由を図９及び図１０を参照して説明する。
　図９は、校正ロール２８とセンサユニット６４のセンサ列６８との距離を説明する図である。図９に示すように、校正ロール２８は、中心軸が回転軸となる円柱形状に構成されているので、校正ロール２８の外周に設けられた校正サンプル板３０と磁気センサ６６の各センサ列６８ａ、６８ｂ、６８ｃとの距離であるリフトオフＬｆａ、Ｌｆｂ、Ｌｆｃは、異なる。この関係は、検査ロール２１に設けられた被検査板９０とセンサユニット６４のセンサ列６８ａ、６８ｂ、６８ｃとの距離においても同様である。
　図１０は、磁気センサ６６と校正サンプル板３０とのリフトオフＬｆと、磁気センサ６６の感度相対比との関係を示す図である。図１０に示すように、磁気センサ６６と校正サンプル板３０とのリフトオフＬｆが大きくなると、磁気センサ６６の感度相対比が小さくなることが分かる。例えば、リフトオフＬｆが０．５ｍｍの場合の感度相対比を１００％とすると、リフトオフＬｆが１ｍｍになると感度相対比は約８０％となり、リフトオフＬｆが２ｍｍになると相対感度比は約２０％となる。このように、磁気センサ６６の検出感度にばらつきがない場合であっても、同じ直径の穴７０を検出した磁気センサ６６の検出信号の大きさはリフトオフＬｆによって異なる。従って、異なるリフトオフＬｆに配置されているセンサ列６８ａ、６８ｂ、６８ｃの各磁気センサ６６は、同じ直径の穴７０を検出しても、異なる大きさの検出信号を出力する。この関係は、６８ａ、６８ｂ、６８ｃの各磁気センサ６６が、検査ロール２１に設けられた被検査板９０の欠陥９２を検出する場合においても同様である。
　処理部８６は、リフトオフＬｆ及び磁気センサ６６の検出感度のばらつきによらず、同じ直径の穴７０に対応する検出信号の大きさが等しくなるように、検出信号に掛ける補正値を算出する。例えば、０．２ｍｍの直径の穴７０の検出信号の大きさを３Ｖに統一する場合を想定する。この場合、処理部８６は、いずれかの磁気センサ６６が０．２ｍｍの直径の穴７０を検出して出力した検出信号が２Ｖの場合、当該磁気センサ６６の補正値を１．５に設定する。処理部８６は、全ての磁気センサ６６に対して補正値を算出する。このように同じ直径の穴７０の検出信号を等しくするように設定された補正値は、上述した磁気センサ６６と校正サンプル板３０とのリフトオフＬｆのみならず、磁気センサ６６の検出感度も考慮した値となる。
　図８に戻って、処理部８６は、算出した補正値を各磁気センサ６６のＩＤ及びリフトオフの値等と関連付けて、記憶部８０に格納する（Ｓ５５８）。処理部８６は、ゲイン補正処理を終了する。
　図１１は、制御部２０による欠陥検出処理のフローチャートである。欠陥検出処理は、演算部８２が記憶部８０の欠陥検出処理のプログラムを読み込むことによって、開始される。欠陥検出処理は、図１に実線で示す検出位置に検出部４２及び距離測定部４４ａ、４４ｂが移動して、傾き補正処理及びゲイン補正処理が実行された後に、開始することが好ましい。
　図１１に示すように、欠陥検出処理では、処理部８６は、検査用モータ７３を駆動させて、検査ロール２１を回転させる（Ｓ６００）。処理部８６は、磁化コイル６２ａ、６２ｂに電流を供給して、磁束を発生させる（Ｓ６０２）。
　取得部８４は、センサユニット６４の各磁気センサ６６から磁気Ｍｇに対応する電圧値（即ち、ゲイン）の検出信号を取得する（Ｓ６０４）。ここで、取得部８４は、欠陥９２のない領域に対応するほぼ一定の磁気Ｍｇに対応してほとんど変化しない検出信号、及び、欠陥９２によって変化する磁気Ｍｇに対応して変化する検出信号を取得する。取得部８４は、取得した検出信号を処理部８６へ出力する。
　処理部８６は、検出信号に基づいて、欠陥９２を検出した情報として検出情報を算出する（Ｓ６０６）。例えば、処理部８６は、各検出信号を検出した磁気センサ６６の補正値を検出信号に掛けて補正した検出信号（または補正した検出信号の変化）に基づいて、欠陥９２の有無を判定する。処理部８６は、欠陥９２があると判定すると、検出信号の大きさから欠陥９２の大きさを算出して、検出信号を取得したタイミングから欠陥９２の位置の情報を算出する。
　処理部８６は、欠陥９２の大きさ及び位置の情報を含む検出情報を、記憶部８０に格納する（Ｓ６０８）。この後、処理部８６は、被検査板９０の搬送が終了するまで（Ｓ６１０：Ｎｏ）、ステップＳ６０４以降を繰り返す。処理部８６は、被検査板９０の搬送が終了したと判定すると（Ｓ６１０：Ｙｅｓ）、欠陥検出処理を終了する。
　上述したように、磁気探傷装置１０は、２個の距離測定部４４ａ、４４ｂによって測定された、校正ロール２８とセンサユニット６４との２つの距離Ｈ１、Ｈ２に基づいて（具体的には、２つの距離Ｈ１、Ｈ２の平均距離Ｈｃ）、センサユニット６４の傾きを低減するように、第２駆動モータ７６及び第３駆動モータ７８を制御する。これにより、磁気探傷装置１０は、被検査板９０とセンサユニット６４との平行度を向上させることができる。この結果、磁気探傷装置１０は、被検査板９０とセンサユニット６４との距離（即ち、リフトオフ）の均一化を向上させて、欠陥９２の検出精度を向上させることができる。
　磁気探傷装置１０は、３本の駆動軸５０、５４、５６によって、検出部４２の位置及び傾きを調整する。これにより、１本の駆動軸によって、検出部４２の位置及び傾きを調整する場合に比べて、磁気探傷装置１０は、検出部４２のたわみによるリフトオフの不均一化を低減できる。また、検出部４２の中央部及び一端部に設けられた２本の駆動軸によって、検出部４２の位置及び傾きを調整する場合に比べて、磁気探傷装置１０は、検出部４２の一端に設けられた駆動軸への負担増加による劣化を低減できるとともに、検出部４２の他端を回転可能に支持する支持部材近傍のたわみによるリフトオフの不均一化を低減できる。
　磁気探傷装置１０は、傾きを小さくして、リフトオフの均一化を向上させた状態で、検出信号の補正値を設定することにより、検査ロール２１の直径を小さくして曲率が大きくなり、搬送方向におけるリフトオフの値のばらつきが大きくなっても、欠陥９２の検出精度を向上させることができる。
　＜第２実施形態＞
　図１２は、第２実施形態にかかる磁気探傷装置１１０の全体構成を示す正面図である。図１２に示すように、第２実施形態の磁気探傷装置１１０は、位置調整部１４０を備える。位置調整部１４０は、第１駆動軸１５０と、第１駆動軸１５０を回転させる第１駆動モータ７４と、第２駆動軸１５４と、第２駆動軸１５４を回転させる第２駆動モータ７６と、第３駆動軸１５６と、第３駆動軸１５６を回転させる第３駆動モータ７８とを有する。
　第１駆動軸１５０の一端（例えば、上端）は、第１駆動モータ７４を介して、または、直接、探傷移動部３８に連結されている。第１駆動軸１５０の他端（例えば、下端）は、Ｘ方向における検出部４２の中央部に連結されている。
　第２駆動軸１５４の一端（例えば、上端）は、第２駆動モータ７６を介して、または、直接、探傷移動部３８に連結されている。第２駆動軸１５４の他端（例えば、下端）は、Ｘ方向における検出部４２の一端部に連結されている。
　第３駆動軸１５６の一端（例えば、上端）は、第３駆動モータ７８を介して、または、直接、探傷移動部３８に連結されている。第３駆動軸１５６の他端（例えば、下端）は、Ｘ方向における検出部４２の他端部に連結されている。
　第１駆動軸１５０、第２駆動軸１５４、及び、第３駆動軸１５６は、探傷移動部３８及び検出部４２を介して互いに連結されている。第１駆動軸１５０、第２駆動軸１５４、及び、第３駆動軸１５６は、独立して、検出部４２を上下に駆動させる。
　上述した各実施形態の構成の形状、配置、個数、及び、機能等は適宜変更してよい。上述のフローチャートにおけるステップの順序は適宜変更してよい。上述の実施形態を適宜組み合わせてもよい。
　例えば、上述の実施形態では、２個の距離測定部４４ａ、４４ｂによって測定された距離に基づいて、傾き補正等を実行したが、３個以上の距離測定部によって測定された距離に基づいて、傾き補正等を実行してもよい。
　本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。

Claims (8)

  1. 　被検査板を搬送する搬送ロールと、
    　前記被検査板に磁気を生じさせる磁気生成部と、
    　前記磁気を検出する複数の磁気検出部を有する検出ユニットと、
    　前記搬送ロールに対する前記検出ユニットとの傾きを調整する調整部と、
    　前記搬送ロールと前記検出ユニットとの間の距離に対応する第１距離を測定する第１測定部と、
    　前記被検査板の搬送方向と交差する方向において前記第１測定部とは異なる位置に設けられ、前記搬送ロールと前記検出ユニットとの間の距離に対応する第２距離を測定する第２測定部と、
    　前記第１距離及び前記第２距離に基づいて、前記搬送ロールと前記検出ユニットとの傾きを低減するように前記調整部を制御する制御部と、
    　を備える磁気探傷装置。
  2. 　前記制御部は、前記第１距離と前記第２距離との平均である平均距離に基づいて、前記調整部を制御する
    　請求項１に記載の磁気探傷装置。
  3. 　前記制御部は、前記複数の磁気検出部が検出した補正用欠陥の検出信号に基づいて、前記複数の磁気検出部の前記検出信号を補正する補正値を設定する
    　請求項１または２に記載の磁気探傷装置。
  4. 　前記制御部は、前記複数の磁気検出部が検出した同じ形状の補正用欠陥の前記検出信号が等しくなる前記補正値を設定する
    　請求項３に記載の磁気探傷装置。
  5. 　前記複数の磁気検出部のうち、一の磁気検出部は、前記被検査板の搬送方向において、他の磁気検出部と異なる位置に配置されている
    　請求項３または４に記載の磁気探傷装置。
  6. 　前記搬送ロールと前記検出ユニットとの距離を調整する第１調整部材を更に備え、
    　前記調整部は、
    　前記第１調整部材と異なる位置で前記搬送ロールと前記検出ユニットとの距離を調整する第２調整部材と、
    　前記第１調整部材及び前記第２調整部材と異なる位置で前記搬送ロールと前記検出ユニットとの距離を調整する第３調整部材と、
    　を有する請求項１から５のいずれか１項に記載の磁気探傷装置。
  7. 　搬送ロールによって搬送される被検査板に磁気生成部が生じさせた磁気を検出する複数の磁気検出部を有する検出ユニットと、前記搬送ロールとの間の距離に対応する第１距離を測定する第１測定段階と、
    　前記被検査板の搬送方向と交差する方向において前記第１測定段階とは異なる位置で、前記搬送ロールと前記検出ユニットとの間の距離に対応する第２距離を測定する第２測定段階と、
    　前記第１距離及び前記第２距離に基づいて、前記搬送ロールと前記検出ユニットとの傾きを低減するように前記搬送ロールと前記検出ユニットとの傾きを調整する調整段階と、
    　を備える磁気探傷装置の傾き補正方法。
  8. 　被検査板を搬送する搬送ロールと、
    　前記被検査板に磁気を生じさせる磁気生成部と、
    　前記磁気を検出する複数の磁気検出部を有する検出ユニットと、
    　前記搬送ロールと前記検出ユニットとの傾きを調整する調整部と、
    　前記搬送ロールと前記検出ユニットとの間の距離に対応する第１距離を測定する第１測定部と、
    　前記被検査板の搬送方向と交差する方向において前記第１測定部とは異なる位置に設けられ、前記搬送ロールと前記検出ユニットとの間の距離に対応する第２距離を測定する第２測定部と、
    　を備える磁気探傷装置のコンピュータで実行されるプログラムであって、
    　前記第１距離及び前記第２距離を取得する取得部と、
    　前記第１距離及び前記第２距離に基づいて、前記搬送ロールと前記検出ユニットとの傾きを低減するように前記調整部を制御する処理部と、
    　して前記コンピュータを機能させるプログラム。
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