WO2016080268A1 - 処理条件管理システムおよび生産システム - Google Patents

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WO2016080268A1
WO2016080268A1 PCT/JP2015/081786 JP2015081786W WO2016080268A1 WO 2016080268 A1 WO2016080268 A1 WO 2016080268A1 JP 2015081786 W JP2015081786 W JP 2015081786W WO 2016080268 A1 WO2016080268 A1 WO 2016080268A1
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WO
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processing
recipe
unit
processing condition
management system
Prior art date
Application number
PCT/JP2015/081786
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English (en)
French (fr)
Inventor
浅川　輝雄
尚子 村田
すぴか 真白
Original Assignee
東京エレクトロン株式会社
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    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B19/00—Programme-control systems
    • G05B19/02—Programme-control systems electric
    • G05B19/418—Total factory control, i.e. centrally controlling a plurality of machines, e.g. direct or distributed numerical control [DNC], flexible manufacturing systems [FMS], integrated manufacturing systems [IMS], computer integrated manufacturing [CIM]
    • G—PHYSICS
    • G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06Q—INFORMATION AND COMMUNICATION TECHNOLOGY [ICT] SPECIALLY ADAPTED FOR ADMINISTRATIVE, COMMERCIAL, FINANCIAL, MANAGERIAL OR SUPERVISORY PURPOSES; SYSTEMS OR METHODS SPECIALLY ADAPTED FOR ADMINISTRATIVE, COMMERCIAL, FINANCIAL, MANAGERIAL OR SUPERVISORY PURPOSES, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G06Q50/00—Systems or methods specially adapted for specific business sectors, e.g. utilities or tourism
    • G06Q50/04—Manufacturing
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P90/00—Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
    • Y02P90/02—Total factory control, e.g. smart factories, flexible manufacturing systems [FMS] or integrated manufacturing systems [IMS]
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P90/00—Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
    • Y02P90/30—Computing systems specially adapted for manufacturing

Definitions

  • Various aspects and embodiments of the present invention relate to a processing condition management system and a production system.
  • the processing apparatus When processing a wafer or the like, the processing apparatus processes the wafer or the like according to a processing recipe that is a collection of data that specifies a processing method, a processing parameter (such as temperature and pressure), and the like.
  • the processing recipe is created by the processing recipe creation function of the processing device and stored in a storage unit in the processing device.
  • the processing apparatus reads a processing recipe from the storage unit, and executes processing according to the read processing recipe.
  • the processing recipe may be created on a computer different from the processing apparatus. In this case, when processing a wafer or the like, the processing apparatus downloads the processing recipe stored in the computer via the communication network, and executes the processing according to the downloaded processing recipe.
  • a production execution system instructs a processing recipe for a wafer or the like to be produced to a processing apparatus.
  • the processing apparatus reads the processing recipe instructed from the production execution system (MES) from the storage unit and executes the process.
  • the processing recipe is created by another computer, the MES acquires the processing recipe from the other computer and provides it to the processing apparatus.
  • a processing apparatus performs a process according to the process recipe provided from MES.
  • the processing recipe is stored in advance in the storage unit in the processing apparatus, the processing recipe is erroneously overwritten and saved while the processing apparatus operator operates the processing apparatus, and the processing recipe is not intended. Changes may be made. When such a process recipe is used, an unintended process is executed. Further, there are as many processing recipes as the number of processing steps, and the processing recipes are often different for each processing apparatus. In addition, the data size of processing recipes has increased with the increase in setting items. Therefore, if the MES provides all processing recipes necessary for processing to the processing apparatus, the processing load on the MES is heavy.
  • the disclosed processing condition management system is a processing condition management system used in a production system including a factory information control system and a plurality of processing devices, and the processing device is processed by each of the plurality of processing devices of the same type.
  • a processing condition storage unit that stores processing conditions used when processing a substrate, a communication unit that transmits and receives information on the processing conditions between the factory information control system, and each of the processes
  • a processing condition providing unit that reads out the requested processing condition from the processing condition storage unit and provides the requested processing condition to the requesting processing device when a processing condition is requested from the apparatus;
  • processing condition management system it is possible to centrally manage processing conditions such as processing recipes while reducing the burden on MES.
  • FIG. 1 is a system configuration diagram illustrating an example of a production system.
  • FIG. 2 is a block diagram illustrating an example of a functional configuration of the processing apparatus.
  • FIG. 3 is a diagram illustrating an example of data stored in the non-production mode processing recipe storage area.
  • FIG. 4 is a diagram illustrating an example of data stored in the production mode process recipe storage area.
  • FIG. 5 is a diagram illustrating an example of data stored in a cache area in the processing apparatus.
  • FIG. 6 is a block diagram illustrating an example of a functional configuration of the processing condition management system.
  • FIG. 7 is a diagram illustrating an example of data stored in the recipe search DB.
  • FIG. 8 is a diagram illustrating an example of data stored in the normative process recipe storage area.
  • FIG. 1 is a system configuration diagram illustrating an example of a production system.
  • FIG. 2 is a block diagram illustrating an example of a functional configuration of the processing apparatus.
  • FIG. 3 is a diagram illustrating an example of
  • FIG. 9 is a diagram illustrating an example of data stored in the non-production mode process recipe storage area.
  • FIG. 10 is a diagram illustrating an example of data stored in the production mode process recipe storage area.
  • FIG. 11 is a conceptual diagram showing an example of the folder structure of the processing recipe.
  • FIG. 12 is a flowchart illustrating an example of processing recipe creation processing by the processing device.
  • FIG. 13 is a flowchart illustrating an example of wafer processing based on a processing recipe or the like.
  • FIG. 14 is a flowchart illustrating an example of processing for registering a processing recipe or the like created by the processing apparatus in the processing condition management system.
  • FIG. 15 is a flowchart illustrating an example of processing in which the processing condition management system transmits a recipe ID in response to an inquiry from the MES.
  • FIG. 16 is a flowchart illustrating an example of processing recipe editing processing by the processing condition management system.
  • FIG. 17 is a flowchart illustrating an example of a process for generating a normative process recipe and a process recipe for each processing apparatus by the process condition management system.
  • FIG. 18 is a diagram illustrating an example of a computer that implements the functions of the processing condition management system.
  • the disclosed processing condition management system is a processing condition management system used in a production system including a factory information control system and a plurality of processing devices, and includes a processing condition storage unit, a communication unit, and a processing unit. And a condition providing unit.
  • the processing condition storage unit stores, for each of a plurality of processing apparatuses of the same type, processing conditions used when the processing apparatus performs processing on the substrate to be processed.
  • a communication part transmits and receives the information regarding process conditions between factory information control systems.
  • the processing condition providing unit reads the requested processing condition from the processing condition storage unit and provides it to the requesting processing device.
  • the processing condition used when each processing apparatus performs processing may be a processing recipe.
  • the communication unit may transmit a recipe ID for identifying each processing recipe to the factory information control system as information on the processing conditions.
  • the processing condition storage unit includes, for each processing apparatus, a product ID or lot information that identifies a product group, a processing recipe, and a recipe ID that identifies the processing recipe.
  • the communication unit receives a device ID for identifying a processing device and a product ID or lot information from the factory information control system as information relating to the processing conditions, the communication unit stores the received device ID in the received device ID.
  • the recipe ID associated with the received product ID or lot information may be specified in the processing condition storage unit, and the specified recipe ID may be transmitted to the factory information control system.
  • the processing condition storage unit identifies, for each processing apparatus, a product ID or lot information that specifies a product group, a processing step, a processing recipe, and the processing recipe.
  • a recipe ID may be stored in association with each other, and the communication unit receives a device ID for identifying a processing device, a product ID or lot information, and a processing step from the factory information control system as information on processing conditions.
  • the recipe ID and processing recipe associated with the received product ID or lot information and processing step are specified in the processing condition storage unit, and the specified recipe ID and processing are specified. At least one of the recipes may be transmitted to the factory information control system.
  • the processing condition storage unit may store the processing conditions for each processing device in a folder structure corresponding to the folder structure in the storage unit of the processing device.
  • the processing condition storage unit is a normative process that is a processing recipe used when the normative device performs processing for a normative device that represents a plurality of processing devices.
  • the recipe may be further stored, and the processing condition management system creates a processing recipe for each processing device based on the difference between each processing device and the reference device with reference to the reference processing recipe.
  • a machine difference adjustment unit that stores the created processing recipe in the processing condition storage unit in association with each processing apparatus may be further provided.
  • the processing condition providing unit includes a processing recipe to be processed among processing recipes cached in the storage unit of the processing apparatus from each of the plurality of processing apparatuses.
  • a processing recipe request including information on a processing recipe to be processed, which is transmitted when it does not exist, is received from the processing condition storage unit, the processing recipe specified by the information included in the received processing recipe request is read You may provide to the processing apparatus of a request origin.
  • the disclosed processing condition management system may further include an editing function unit that provides an editing function for a processing condition stored in the processing condition storage unit.
  • the processing device may have an editing function and operability equivalent to the editing function and operability of the processing conditions.
  • the disclosed processing condition management system is a request for editing a recipe by designating a device ID for identifying a processing device and a product ID or lot information from the factory information control system.
  • the remote editing function unit may be further provided for accepting the change content and providing a function of changing and registering the processing ID associated with the device ID and the product ID or lot information.
  • the processing condition storage unit may store a processing recipe and a recipe ID for identifying the processing recipe in association with each processing apparatus.
  • the system issues a new unique recipe ID to the process recipe. You may further provide the recipe ID issuing part.
  • the processing condition storage unit may store a processing recipe and a status indicating the degree of completion of the processing recipe in association with each processing device, The processing condition management system determines whether each processing recipe has been confirmed by a user having a predetermined attribute, and determines by the determination unit that each processing recipe has been confirmed by a user having a predetermined attribute And a change unit that changes the status of the processing recipe to a status indicating the degree of completion according to the attribute of the user who has confirmed the processing recipe.
  • the disclosed production system includes a factory information control system, a plurality of processing apparatuses, and a processing condition management system in one embodiment.
  • the processing condition management system includes a processing condition storage unit, a communication unit, and a processing condition providing unit.
  • the processing condition storage unit stores, for each of a plurality of processing apparatuses of the same type, processing conditions used when the processing apparatus performs processing on the substrate to be processed.
  • a communication part transmits and receives the information regarding process conditions between factory information control systems.
  • the processing condition providing unit reads the requested processing condition from the processing condition storage unit and provides it to the requesting processing device.
  • FIG. 1 is a system configuration diagram illustrating an example of a production system 1.
  • the production system 1 includes a production planning system 10, a factory information control system (FICS) 11, a processing condition management system 20, and a plurality of processing devices 40-1 to 40-n.
  • the FICS 11, the processing condition management system 20, and each processing device 40 are communicably connected via, for example, an EI (Equipment Interface).
  • EI Equipment Interface
  • the connection method among the FICS 11, the processing condition management system 20, and each processing device 40 is not limited to EI or the like, and may be another connection method.
  • the production planning system 10 creates a production plan for each product based on the production amount and delivery date for each product received from the user of the production system 1, and provides the product to the FICS 11.
  • the FICS 11 includes a production execution system (MES) 12, a factory RMS (Recipe Management System) 13, an APC (Advanced Process Control) 14, and an AEC (Advanced Equipment Control) 15.
  • MES production execution system
  • factory RMS Recipe Management System
  • APC Advanced Process Control
  • AEC Advanced Equipment Control
  • the APC 14 calculates APC_VP (Variable Parameter), which is an adjustment value for each parameter included in the processing recipe, from the measurement value of the substrate (wafer) to be processed after being processed by each processing apparatus 40 and sends it to the MES 12.
  • APC_VP Very Parameter
  • the AEC 15 measures the state of each processing device 40, calculates an AEC_VP (Variable Parameter) that is an adjustment value for each parameter included in the processing recipe from the measurement value, and sends the calculated value to the MES 12 and the processing condition management system 20.
  • AEC_VP Very Parameter
  • the MES 12 manages the operation status of each processing device 40, and based on the production plan created by the production planning system 10 and the operation status of each processing device 40, "which process” of "which product”. Decide which processing device to execute. Then, the MES 12 transmits, for each product, the product lot information, the process ID of the production process, and the apparatus ID of the processing apparatus 40 that executes the process to the processing condition management system 20.
  • the lot information includes a product ID for identifying a product.
  • the MES 12 receives the recipe ID from the processing condition management system 20, and sends the received recipe ID to the processing device 40 that executes the processing together with the latest APC_VP acquired up to that point.
  • the processing apparatus 40 has a processing chamber for processing a wafer that is a substrate to be processed.
  • the processing device 40 receives the recipe ID and APC_VP from the MES 12, the processing device 40 determines whether or not the processing recipe and device parameters corresponding to the received recipe ID exist in the cache area in the memory of the processing device 40.
  • the processing apparatus 40 determines whether the processing chamber and the apparatus parameter and the received APC_VP are based on the processing recipe. Is used to perform processing on the wafer. It is assumed that a known cache technology is used in the above cache area and its operation.
  • the device parameter is information on a setting value (for example, a dip switch state) for each item unique to the processing device 40.
  • a processing recipe is an example of processing conditions describing processing conditions for a substrate to be processed.
  • the processing conditions may include device parameters and the like in addition to the processing recipe.
  • the processing apparatus 40 transmits a recipe request including the received recipe ID to the processing condition management system 20. Then, the processing device 40 acquires a processing recipe and device parameters from the processing condition management system 20, and stores the acquired processing recipe and the like in a cache area in the memory. Then, the processing apparatus 40 performs processing on the wafer using the processing chamber based on the acquired processing recipe and apparatus parameters and the APC_VP received from the MES 12.
  • each processing device 40 is the same type of processing device.
  • the same type of processing apparatus is, for example, a processing apparatus having the same manufacturer, series, model number, and the like.
  • each processing apparatus 40 is one processing apparatus.
  • each processing chamber refers to the processing apparatus 40 in the present embodiment. It corresponds to.
  • the processing condition management system 20 stores the recipe ID of the processing recipe in association with the product ID that identifies each product, the process ID that identifies each production process, and the device ID that identifies each processing device 40. It has a recipe search DB (database).
  • the processing condition management system 20 extracts the product ID from the lot information, refers to the recipe search DB, and refers to the product ID, the process ID, and the device ID.
  • the recipe ID associated with is specified. Then, the processing condition management system 20 transmits the identified recipe ID to the MES 12.
  • the processing condition management system 20 holds a processing recipe in association with the recipe ID, and when a recipe request including a recipe ID is received from each processing device 40, the processing recipe corresponding to the recipe ID is displayed. Then, it is read out from the held processing recipe and provided to the processing device 40.
  • FIG. 2 is a block diagram illustrating an example of a functional configuration of the processing device 40.
  • the processing device 40 includes a processing execution unit 42, a cache control unit 43, a recipe editing unit 44, an operation unit 45, a display unit 46, and a storage unit 50.
  • the storage unit 50 is provided with a recipe execution area 51 and a cache area 54.
  • the recipe execution area 51 is provided with a non-production mode process recipe storage area 52 and a production mode process recipe storage area 53.
  • a test ID 521, a product ID 522, a process ID 523, a device type 524, a device ID 525, a processing recipe 526, and a device parameter 527 are stored in association with each other.
  • the test ID 521 is information for identifying each processing recipe 526 in the test stage.
  • the device type 524 is a type of the processing device 40 identified by the device ID 525.
  • the process recipe 526 stores information indicating a set value for each parameter (pressure, temperature, duration, etc.) to be set for each process step, for example.
  • information indicating setting values for example, dip switch state
  • predetermined information needs to be registered in the columns of the product ID 522, the process ID 523, the device type 524, and the device ID 525. At the stage of testing, this information may be unregistered.
  • a recipe ID 531, a process recipe 532, an apparatus parameter 533, and an AEC_VP 534 are stored in association with each other.
  • the recipe ID 531 is information for identifying each processing recipe 532 approved for production.
  • the AEC_VP 534 for example, information of adjustment values for each parameter included in the processing recipe that is adjusted according to a change in the state of the processing device 40 is stored.
  • a recipe ID 541 for example, as shown in FIG. 5, a recipe ID 541, a process recipe 542, an apparatus parameter 543, and AEC_VP 544 are stored in association with each other.
  • the cache control unit 43 erases the data in the production mode process recipe storage area 53 and the data in the cache area 54.
  • the cache control unit 43 receives the recipe ID and APC_VP from the MES 12, the cache control unit 43 transmits a recipe request including the received recipe ID to the processing condition management system 20.
  • the cache control unit 43 associates the processing recipe, device parameters, and AEC_VP (hereinafter referred to as processing recipe, etc.) provided from the processing condition management system 20 with the recipe ID received from the MES 12, and stores the cache area. 54 and the production mode processing recipe storage area 53. Then, the cache control unit 43 sends the recipe ID and APC_VP received from the MES 12 to the process execution unit 42.
  • processing recipe hereinafter referred to as processing recipe, etc.
  • the cache control unit 43 determines whether or not a processing recipe corresponding to the received recipe ID exists in the cache area 54.
  • the cache control unit 43 reads out the corresponding process recipe or the like from the cache area 54 and stores it in the production mode process recipe storage area 53. . Then, the cache control unit 43 sends the recipe ID and APC_VP received from the MES 12 to the process execution unit 42.
  • the cache control unit 43 acquires the processing recipe or the like from the processing condition management system 20 by transmitting a recipe request including the recipe ID to the processing condition management system 20. To do. Then, the cache control unit 43 stores the processing recipe acquired from the processing condition management system 20 in the cache area 54 and the production mode processing recipe storage area 53, respectively. Then, the cache control unit 43 sends the recipe ID and APC_VP received from the MES 12 to the process execution unit 42.
  • the process execution unit 42 When the process execution unit 42 receives the recipe ID and APC_VP from the cache control unit 43, the process execution unit 42 reads the process recipe, the apparatus parameter, and the AEC_VP associated with the recipe ID from the production mode process recipe storage area 53. Then, the process execution unit 42 uses the process chamber to process the wafer based on the process recipe, apparatus parameters, and AEC_VP read from the production mode process recipe storage area 53 and the APC_VP received from the cache control unit 43. The process is executed on the device. When the process for the wafer is completed, the process execution unit 42 deletes the process recipe, apparatus parameters, and AEC_VP used for the completed process from the process recipe storage area 53 for the production mode.
  • the processing execution unit 42 deletes the processing recipe or the like that has been processed from the production mode processing recipe storage area 53. Thereby, it is possible to prevent the wafer from being processed based on an old processing recipe or the like remaining in the processing apparatus 40.
  • the processing recipe or the like in the processing device 40 can be synchronized with the latest processing recipe or the like in the processing condition management system 20.
  • the processing recipe in the cache area 54 is expanded in the production mode processing recipe storage area 53 to process the wafer. Since it can be started, it is possible to reduce the waiting time required for obtaining a processing recipe or the like.
  • the recipe editing unit 44 edits the processing recipe, device parameters, and the like in the non-production mode processing recipe storage area 52 in accordance with an operation from the operator of the processing device 40 via the operation unit 45.
  • the recipe editing unit 44 when the processing recipe and the apparatus parameters in the non-production mode processing recipe storage area 52 are edited, in accordance with the operation from the operator via the operation unit 45,
  • the test ID associated with the device parameter or the like is sent to the process execution unit 42.
  • the process execution unit 42 reads the process recipe and device parameters associated with the test ID received from the recipe editing unit 44 from the non-production mode process recipe storage area 52. Then, the process execution unit 42 executes a process on the wafer using the process chamber based on the process recipe and apparatus parameters read from the non-production mode process recipe storage area 52. In addition, after performing the process based on the process recipe read from the process recipe storage area 52 for non-production mode and the apparatus parameter, the process execution unit 42 sets the process recipe corresponding to the completed process to the process recipe for non-production mode. It is not automatically deleted from the storage area 52.
  • the recipe editing unit 44 can display or edit data in the non-production mode processing recipe storage area 52, but can also display data in the production mode processing recipe storage area 53. It cannot be edited. As a result, it is possible to prevent a processing recipe or the like approved for production mode from being taken out or inadvertently rewritten.
  • the recipe editing unit 44 has a product ID, a process ID, a device type, a device ID, The processing recipe and device parameters are read from the non-production mode processing recipe storage area 52. Then, the recipe editing unit 44 transmits a registration request including the read product ID, process ID, device type, device ID, processing recipe, and device parameters to the processing condition management system 20.
  • FIG. 6 is a block diagram illustrating an example of a functional configuration of the processing condition management system 20.
  • the processing condition management system 20 includes a communication unit 21, a normative processing recipe generation unit 22, a machine difference adjustment unit 23, a change unit 24, a determination unit 25, an editing function unit 26, a recipe ID issuance unit 27, a processing recipe registration unit 28, and a process.
  • a recipe providing unit 29 and a storage unit 30 are provided.
  • the storage unit 30 includes a recipe search DB 31, a normative process recipe storage area 32, and a plurality of process recipe storage areas 33.
  • a product ID 310, a process ID 311, an apparatus model 312, an apparatus ID 313, a recipe ID 314, and a status 315 are stored in association with each other.
  • the status 315 indicates the degree of completion of the corresponding processing recipe.
  • the status 315 stores, for example, any one of four types “Certified”, “Checked”, “Verified”, and “Created”. “Created” indicates, for example, a state where a processing recipe is being created or has been created. “Verified” indicates, for example, a state in which the processing recipe has been confirmed in grammar and a state in which the process can be transferred to the functionality test.
  • Checked indicates, for example, a state in which the operation of the processing recipe has been confirmed and a state in which the functional performance has been confirmed.
  • “Certified” indicates, for example, that the processing recipe has been approved for use, and indicates a state in which use in production is permitted.
  • the recipe search DB 31 stores recipe IDs of all process recipes (including a normative process recipe described later) stored in the storage unit 30.
  • a plurality of recipe IDs 314 may be associated with each combination of the product ID 310, the process ID 311, the device model 312, and the device ID 313.
  • the recipe ID associated with the status “Certified” is 1 One.
  • a normative process recipe 322 is stored in association with the recipe ID 321.
  • the normative processing recipe 322 is a processing recipe in the normative processing device 40 generated based on the processing recipe and device parameters created by any of the processing devices 40.
  • the normative processing device 40 is a virtual processing device 40 that has an ideal behavior such that, for example, an output value with respect to a set value is the center of a specification, and a response to various processing conditions does not change with time.
  • One processing recipe storage area 33 is provided for each processing apparatus 40.
  • the process recipe storage area 33-1 stores a process recipe set in the processing apparatus 40-1
  • the process recipe storage area 33-2 stores a process recipe set in the processing apparatus 40-2. Is stored.
  • Each process recipe storage area 33 is provided with a non-production mode process recipe storage area 34 and a production mode process recipe storage area 35.
  • a recipe ID 341, a status 342, a processing recipe 343, and an apparatus parameter 344 are stored in association with each other.
  • the recipe ID 341 is identification information of the processing recipe 343.
  • the status 342 indicates the degree of completion of the processing recipe 343.
  • the device parameter 344 is a parameter unique to the processing device 40 set in the corresponding processing device 40 when the processing recipe 343 is applied.
  • a recipe ID 351, a status 352, a process recipe 353, an apparatus parameter 354, and an AEC_VP 355 are stored in association with each other.
  • the recipe ID 351 is identification information of the processing recipe 353.
  • the status 352 indicates the degree of completion of the processing recipe 353.
  • the device parameter 354 is a parameter specific to the processing device 40 set in the corresponding processing device 40 when the processing recipe 353 is applied.
  • AEC_VP 355 is a parameter for adjusting the machine difference between the corresponding processing device 40 and another processing device 40.
  • the machine difference is a difference in output or strength of action for each setting value of a parameter included in a processing condition (for example, a processing recipe) between the processing devices 40.
  • the process recipe stored in the process recipe storage area 33 or the like is a linked process in which a part of the process recipe is linked to call another process recipe as shown in FIG. 11, for example. It has a recipe structure.
  • FIG. 11 is a conceptual diagram showing an example of the folder structure of the processing recipe.
  • each processing recipe has a hierarchical structure in which the upper folder 60 refers to the lower folder 60 for each folder 60.
  • the processing recipe stored in the storage unit 30 of the processing condition management system 20 has the same hierarchical structure and the same folder structure as the processing recipe stored in the storage unit 50 of the processing device 40.
  • the management rule for example, user access right management
  • the same operability as that in the case of managing the processing recipe in the processing device 40 can be realized.
  • each processing recipe may be linked to another processing recipe, but when it is sent to the processing device 40.
  • the data is sent to the processing device 40 as data of one processing recipe including information on the processing recipe of the reference destination. Therefore, each processing device 40 can perform processing using information in the storage unit 50 of the processing device 40 without accessing the processing condition management system 20 when executing the processing.
  • the communication unit 21 When the communication unit 21 receives the lot information, the process ID, and the device ID from the MES 12, the communication unit 21 extracts the product ID from the lot information including the product ID. Then, the communication unit 21 refers to the recipe search DB 31 in the storage unit 30 and associates the status “Certified” among the recipe IDs associated with the product ID, the process ID, and the device ID. Extract the recipe ID. Then, the communication unit 21 transmits the extracted recipe ID to the MES 12. Note that the communication unit 21 may transmit a processing recipe or the like corresponding to the extracted recipe ID to the MES 12 instead of the extracted recipe ID or together with the extracted recipe ID.
  • the recipe ID issuing unit 27 issues a new unique recipe ID when requested to issue a new recipe ID from the machine difference adjusting unit 23, the editing function unit 26, or the processing recipe registration unit 28. Then, the recipe ID issuing unit 27 sends the issued recipe ID to the machine difference adjustment unit 23, the editing function unit 26, or the processing recipe registration unit 28 that is the request source.
  • the recipe ID issuing unit 27 manages issued recipe IDs, and when a new recipe ID is requested, issues a new recipe ID that does not overlap with any issued recipe ID. Thereby, it is possible to prevent a duplicate recipe ID from being assigned to a processing recipe or the like used in the production system 1.
  • the processing recipe registration unit 28 When the processing recipe registration unit 28 receives a registration request including a product ID, a process ID, a device type, a device ID, a processing recipe, and a device parameter from the processing device 40, the processing recipe registration unit 28 sends a new recipe ID to the recipe ID issuing unit 27. Request publication. Then, the process recipe registration unit 28 associates the recipe ID issued from the recipe ID issuing unit 27 with the product ID, process ID, device type, and device ID included in the registration request together with the status of “Created”. Register in the recipe search DB 31.
  • process recipe registration unit 28 transmits the registration request and the process recipe and device parameters included in the registration request in association with the recipe ID issued from the recipe ID issuing unit 27 together with the status “Created”. Registration is made in the non-production mode processing recipe storage area 34 (see FIG. 9) in the processing recipe storage area 33 corresponding to the original processing apparatus 40.
  • the processing recipe providing unit 29 When receiving a recipe request including a recipe ID from the processing device 40, the processing recipe providing unit 29 receives the recipe from the production mode processing recipe storage region 35 in the processing recipe storage region 33 associated with the processing device 40. The processing recipe, device parameters, and AEC_VP associated with the recipe ID included in the request are extracted. Then, the process recipe providing unit 29 provides the extracted process recipe, apparatus parameters, and AEC_VP to the processing apparatus 40 that has transmitted the recipe request.
  • the editing function unit 26 receives the processing recipe and device from the non-production mode processing recipe storage area 34 or the production mode processing recipe storage area 35 in the processing recipe storage area 33 in accordance with an operation from the user via the input device 201.
  • the parameter is read and displayed on the display device 200.
  • the editing function unit 26 edits the processing recipe and device parameters read from the processing recipe storage area 33 in response to an operation from the user.
  • the editing function unit 26 provides an editing function equivalent to an editing function such as a processing recipe included in each processing device 40. Further, the editing function unit 26 provides operability equivalent to operability in editing processing recipes and the like included in each processing device 40.
  • Equivalent editing function and operability means that, for example, parameter names, types, arrangements, parameter set chronological notation methods (step description), etc. are at least common.
  • functions such as setting ranges of each parameter, setting rules such as mixing contraindications, and warnings, interlocks, and the like for setting rule violations are common.
  • the display on the screen may not be completely the same, but is preferably as similar as possible.
  • the editing function unit 26 requests the recipe ID issuing unit 27 to make a recipe for the changed processing recipe or the like. Request new issuance of ID. Then, the editing function unit 26 associates the changed processing recipe or the like with the recipe ID newly issued by the recipe ID issuing unit 27, or the processing recipe storage area 34 for the non-production mode in the processing recipe storage area 33 or The data is stored in the process recipe storage area 35 for production mode.
  • the editing function unit 26 extracts the product ID, process ID, device type, device ID, and status associated with the recipe ID corresponding to the processing recipe before the change from the recipe search DB 31 and extracts them. In association with these pieces of information, the newly issued recipe ID is registered in the recipe search DB 31.
  • the changed processing recipe is stored in the processing recipe storage area 33 in association with the newly issued recipe ID.
  • the requested processing recipe or the like is automatically provided to each processing device 40.
  • the work performed on the processing recipe or the like in the processing condition management system 20 is automatically developed and applied to all the processing devices 40. Therefore, it is possible to reliably provide the changed processing recipe or the like to the processing apparatus 40 and prevent mistakes such as an operator making a mistake in the processing recipe or the like to be provided.
  • the determination unit 25 determines the attribute of the user who made the change, and determines whether or not the status of the changed processing recipe or the like is changed. For example, for each user attribute, the determination unit 25 holds in advance a status assigned to a processing recipe or the like displayed or changed by the user having the attribute. Then, for example, when the status assigned to the process recipe before the change is different from the status corresponding to the attribute of the user who made the change, the determination unit 25 assigns the status assigned to the process recipe after the change. Is changed to a status corresponding to the attribute of the user who made the change.
  • the determination unit 25 determines the attribute of the user who displayed the process recipe and the like and changes the status of the process recipe and the like even when the process recipe displayed by the editing function unit 26 has not been changed. It is determined whether or not to do. For example, the determination unit 25 is displayed when the status assigned to the displayed processing recipe or the like is a lower status than the status associated with the attribute of the user who displayed the processing recipe or the like. It is determined that the status assigned to the processing recipe or the like is changed to a status associated with the attribute of the user who displayed the processing recipe or the like.
  • the determination unit 25 determines that the status assigned to the displayed processing recipe or the like is changed from “Created” to “Verified”. For example, the determination is made when a user having a predetermined authority such as a boss displays a processing recipe or the like having a status of “Created” created by an engineer and registered in the processing condition management system 20 and confirming a grammar, etc. The unit 25 determines to change the status of the processing recipe or the like from “Created” to “Verified”.
  • the status assigned to the displayed processing recipe or the like is “Checked”, for example, and the status corresponding to the attribute of the user who displayed the processing recipe or the like is a status lower than “Checked”, for example. If it is “Verified”, the determination unit 25 determines that the status assigned to the displayed processing recipe or the like does not need to be changed.
  • the changing unit 24 changes the status associated with the processing recipe or the like in the processing recipe storage area 33 when the determination unit 25 determines to change the status of the processing recipe or the like. Further, when the status of the processing recipe or the like in the processing recipe storage area 33 is changed, the changing unit 24 also changes the status in the recipe search DB 31.
  • the normative process recipe generation unit 22 monitors the statuses associated with the process recipes and apparatus parameters in the non-production mode process recipe storage area 34 in any of the process recipe storage areas 33. Then, the normative process recipe generating unit 22 reads out the process recipe and the apparatus parameter whose status has been changed to “Certified” from the process recipe storage area 34 for the non-production mode. And the normative process recipe production
  • the normative process recipe generating unit 22 requests the recipe ID issuing unit 27 to issue a new recipe ID for the generated normative process recipe. Then, the normative process recipe generating unit 22 stores the generated normative process recipe in the normative process recipe storage area 32 in association with the recipe ID newly issued by the recipe ID issuing unit 27.
  • the machine difference adjustment unit 23 calculates an adjustment value for adjusting the machine difference with the reference apparatus for each processing device 40. Then, the machine difference adjustment unit 23 calculates a processing recipe and apparatus parameters by applying the calculated adjustment value to the normative processing recipe for each processing apparatus 40. Then, the machine difference adjustment unit 23 requests the recipe ID issuing unit 27 to issue a new recipe ID for the calculated processing recipe and device parameters for each processing device 40.
  • the machine difference adjustment unit 23 acquires the latest AEC_VP at that time from the AEC 15 for each processing device 40. Then, the machine difference adjustment unit 23 associates the status “Certified”, the process recipe, the apparatus parameter, and the AEC_VP with each newly issued recipe ID for each processing apparatus 40 in the process recipe storage area 33. The data is stored in the process recipe storage area 35 for production mode.
  • the machine difference adjusting unit 23 acquires AEC_VP indicating a change in the state of the processing device 40 from the AEC 15 for each processing device 40 at each predetermined timing. Then, the machine difference adjustment unit 23 updates the value of AEC_VP in the production mode process recipe storage area 35 with the acquired value of AEC_VP for each processing device 40. Then, the machine difference adjustment unit 23 requests the recipe ID issuing unit 27 to issue a new recipe ID to each recipe ID associated with the updated AEC_VP.
  • the machine difference adjustment unit 23 replaces each recipe ID associated with the updated AEC_VP in the production mode process recipe storage area 35 with the recipe ID newly issued by the recipe ID issuing unit 27. .
  • the machine difference adjustment unit 23 similarly replaces the recipe ID in the recipe search DB 31.
  • FIG. 12 is a flowchart illustrating an example of processing recipe creation processing by the processing device 40.
  • the recipe editing unit 44 reads out the process recipe, device parameters, and the like from the process recipe storage area 52 for non-production mode. Then, the recipe editing unit 44 displays the read processing recipe, device parameters, and the like on the display unit 46, and in response to an operation from the operator of the processing device 40 via the operation unit 45, the read processing recipe, device parameters, etc. Is edited (S100).
  • the recipe editing unit 44 sends a test ID associated with the edited processing recipe, device parameters, and the like to the processing execution unit 42 in response to an operation from the operator via the operation unit 45.
  • the process execution unit 42 reads the process recipe and device parameters associated with the test ID received from the recipe editing unit 44 from the non-production mode process recipe storage area 52. Then, the process execution unit 42 executes a process on the wafer based on the process recipe and apparatus parameters read from the non-production mode process recipe storage area 52 (S101).
  • the recipe editing unit 44 determines whether an instruction for registering a processing recipe or the like in the processing condition management system 20 is received together with the test ID via the operation unit 45 (S102). When an instruction to register a processing recipe or the like in the processing condition management system 20 has not been received (S102: No), the recipe editing unit 44 executes the process shown in step S100 again.
  • the recipe editing unit 44 has a product ID, a process ID, a device model, a device ID, The processing recipe and device parameters are read from the non-production mode processing recipe storage area 52. Then, the recipe editing unit 44 transmits a registration request including the read product ID, process ID, device type, device ID, processing recipe, and device parameters to the processing condition management system 20 (S103). And the processing apparatus 40 complete
  • FIG. 13 is a flowchart illustrating an example of wafer processing based on a processing recipe or the like. For example, when the start of processing is instructed from the MES 12, the processing device 40 starts the processing shown in this flowchart.
  • the cache control unit 43 erases the data in the production mode process recipe storage area 53 and the data in the cache area 54 (S200). Then, the cache control unit 43 determines whether or not a recipe ID and APC_VP are received from the MES 12 (S201). When the recipe ID and APC_VP are not received (S201: No), the cache control unit 43 determines whether an end instruction is received from the MES 12 (S209). When the end instruction has not been received (S209: No), the cache control unit 43 executes the process shown in step S201 again. On the other hand, when the termination instruction is received (S209: Yes), the processing device 40 terminates the processing illustrated in this flowchart.
  • the cache control unit 43 determines whether or not a processing recipe or the like corresponding to the recipe ID received from the MES 12 exists in the cache area 54 (S202). When a process recipe corresponding to the recipe ID received from the MES 12 exists in the cache area 54 (S202: Yes), the cache control unit 43 executes the process shown in step S206.
  • the cache control unit 43 sends a recipe request including the recipe ID received from the MES 12 to the processing condition management system. 20 (S203). Then, the cache control unit 43 receives a processing recipe or the like from the processing condition management system 20 (S204). Then, the cache control unit 43 stores the received processing recipe or the like in the cache area 54 in association with the recipe ID received from the MES 12 (S205).
  • the cache control unit 43 reads the processing recipe corresponding to the recipe ID received from the MES 12 from the cache area 54 and stores it in the production mode processing recipe storage area 53 (S206). Then, the cache control unit 43 sends the recipe ID and APC_VP received from the MES 12 to the process execution unit 42.
  • the process execution unit 42 reads the process recipe corresponding to the recipe ID received from the cache control unit 43 from the production mode process recipe storage area 53. Then, the process execution unit 42 executes a process on the wafer based on the read process recipe and the like and the APC_VP received from the cache control unit 43 (S207). Then, when the processing for the wafer is completed, the processing execution unit 42 deletes the processing recipe or the like used for the processing from the production mode processing recipe storage area 53 (S208). Then, the cache control unit 43 executes the process shown in step S201 again.
  • FIG. 14 is a flowchart illustrating an example of processing for registering a processing recipe or the like created by the processing device 40 in the processing condition management system 20.
  • the processing recipe registration unit 28 receives a registration request including a product ID, a process ID, a device type, a device ID, a processing recipe, and a device parameter from the processing device 40, the processing condition management system 20 The processing shown in the flowchart is started.
  • the processing recipe registration unit 28 requests the recipe ID issuing unit 27 to issue a new recipe ID to the processing recipe included in the registration request (S300). Then, the processing recipe registration unit 28 associates the processing recipe and the like in the processing recipe storage area 33 corresponding to the processing device 40 that has transmitted the registration request in association with the recipe ID newly issued by the recipe ID issuing unit 27. The non-production mode processing recipe storage area 34 is registered (S301).
  • the process recipe registration unit 28 associates the status “Created” with the process recipe registered in the process recipe storage area 34 for non-production mode (S302).
  • the processing recipe registration unit 28 corresponds to the product ID, process ID, device type, and device ID included in the registration request, along with the status of “Created”, for the recipe ID newly issued by the recipe ID issuing unit 27.
  • it is registered in the recipe search DB 31 (S303). Then, the processing condition management system 20 ends the processing shown in this flowchart.
  • FIG. 15 is a flowchart illustrating an example of processing in which the processing condition management system 20 transmits a recipe ID in response to an inquiry from the MES 12.
  • the communication unit 21 extracts the product ID from the lot information when the lot information, the process ID, and the device ID are received from the MES 12 (S400). And the communication part 21 specifies recipe ID matched with product ID, process ID, and apparatus ID with reference to recipe search DB31 (S401). Then, the communication unit 21 transmits the identified recipe ID to the MES 12 (S402). Then, the processing condition management system 20 ends the processing shown in this flowchart.
  • FIG. 16 is a flowchart showing an example of processing recipe editing processing by the processing condition management system 20.
  • the editing function unit 26 executes a login process according to an operation from the user via the input device 201 (S500), and authenticates the user. Then, the editing function unit 26 determines whether or not a recipe ID has been received from the user via the communication unit 21 (S501). When the recipe ID is received from the user (S501: Yes), the editing function unit 26 reads out the process recipe associated with the received recipe ID from the process recipe storage area 33 and displays it on the display device 200 (S502). ).
  • the editing function unit 26 edits the read processing recipe or the like in accordance with an operation from the user via the input device 201 (S503). Then, the editing function unit 26 determines whether an end instruction has been received from the user (S504). If an end instruction has not been received (S504: No), the editing function unit 26 executes the process shown in step S503 again.
  • the editing function unit 26 determines whether or not the processing recipe or the like has been changed (S505). In addition, when only viewing the processing recipe or the like, the user inputs an end instruction without editing the displayed processing recipe or the like. When the process recipe or the like has not been changed (S505: No), the determination unit 25 executes the process shown in step S509.
  • the editing function unit 26 requests the recipe ID issuing unit 27 to newly issue a recipe ID to the changed processing recipe or the like.
  • the recipe ID issuing unit 27 issues a new unique recipe ID in response to a request from the editing function unit 26 (S506).
  • the editing function unit 26 associates the recipe ID newly issued by the recipe ID issuing unit 27 with the process recipe after change, the process recipe storage area 33 in which the process recipe before change and the like are stored. (S507).
  • the editing function unit 26 extracts the product ID, process ID, device type, device ID, and status information associated with the recipe ID received in step S502 from the recipe search DB 31. Then, the editing function unit 26 registers the newly issued recipe ID in the recipe search DB 31 in association with the extracted product ID, process ID, device type, device ID, and status (S508).
  • the determination unit 25 determines whether to change the status of the processing recipe or the like based on the attribute of the user who displayed the processing recipe or the like (S509).
  • the determination unit 25 determines not to change the status (S509: No)
  • the processing condition management system 20 ends the processing shown in this flowchart.
  • the change unit 24 changes the status associated with the processing recipe or the like stored in step S507 (S510). At this time, the status in the recipe search DB 31 is also changed. Then, the processing condition management system 20 ends the processing shown in this flowchart.
  • FIG. 17 is a flowchart illustrating an example of a process for generating a normative process recipe and a process recipe for each processing apparatus 40 by the process condition management system 20.
  • the normative process recipe generating unit 22 determines whether the status of the process recipe or the like stored in the non-production mode process recipe storage area 34 in any of the process recipe storage areas 33 has been changed to “Certified”. Is determined (S600). When the status of the process recipe or the like stored in the non-production mode process recipe storage area 34 in any of the process recipe storage areas 33 is changed to “Certified” (S600: Yes), the normative process recipe generation unit 22 reads processing recipes and the like from the non-production mode processing recipe storage area 34 (S601), and deletes the read processing recipes and the like from the non-production mode processing recipe storage area 34 (S602).
  • the normative process recipe generating unit 22 generates a normative process recipe that is a process recipe when the same process is realized by the normative device based on the read process recipe and the like, It stores in the normative process recipe storage area 32 (S603).
  • the machine difference adjustment unit 23 calculates an adjustment value for adjusting a machine difference from the reference device for each processing device 40, and creates a processing recipe or the like by applying the calculated adjustment value to the reference processing recipe. (S604). Then, the machine difference adjustment unit 23 requests the recipe ID issuing unit 27 to issue a new recipe ID to the created processing recipe for each processing device 40. The recipe ID issuing unit 27 issues a new unique recipe ID in response to a request from the machine difference adjusting unit 23 (S605).
  • the machine difference adjustment unit 23 associates the generated processing recipe and the like for each processing device 40 with the newly issued recipe ID together with the latest AEC_VP at that time in the processing recipe storage area 33.
  • the production mode processing recipe storage area 35 is stored (S606).
  • the machine difference adjustment unit 23 registers the product ID, process ID, device type, device ID, recipe ID, and status in the recipe search DB 31 (S607).
  • the normative process recipe generating unit 22 executes the process shown in step S600 again.
  • FIG. 18 is a diagram illustrating an example of a computer 70 that implements the functions of the processing condition management system 20.
  • the computer 70 includes a central processing unit (CPU) 71, a random access memory (RAM) 72, a read only memory (ROM) 73, an auxiliary storage device 74, a communication interface (I / F) 75, and an input / output interface (I / F). 76 and a media interface (I / F) 77.
  • the CPU 71 operates based on a program stored in the ROM 73 or the auxiliary storage device 74 and controls each part.
  • the ROM 73 stores a boot program executed by the CPU 71 when the computer 70 is started up, a program depending on the hardware of the computer 70, and the like.
  • the auxiliary storage device 74 is, for example, an HDD (Hard Disk Drive) or an SSD (Solid State Drive), and stores a program executed by the auxiliary storage device 74, data used by the program, and the like.
  • the CPU 71 reads the program from, for example, the auxiliary storage device 74 and loads it onto the RAM 72, and executes the loaded program.
  • the communication I / F 75 receives data from another device via a communication NW (network) such as EI and sends the data to the CPU 71, and transmits the data generated by the CPU 71 to the other device via the communication NW.
  • NW network
  • the CPU 71 controls the display device 200 and the input device 201 via the input / output I / F 76.
  • the CPU 71 acquires data from the input device 201 via the input / output I / F 76. Further, the CPU 71 outputs the generated data to the display device 200 via the input / output I / F 76.
  • the media I / F 77 reads the program or data stored in the recording medium 78 and stores it in the auxiliary storage device 74.
  • the recording medium 78 is, for example, an optical recording medium such as a DVD (Digital Versatile Disc) or PD (Phase change rewritable Disk), a magneto-optical recording medium such as an MO (Magneto-Optical disk), a tape medium, a magnetic recording medium, or a semiconductor memory. Etc.
  • the CPU 71 of the computer 70 executes the program loaded on the RAM 72 to thereby execute the communication unit 21, the normative process recipe generation unit 22, the machine difference adjustment unit 23, the change unit 24, the determination unit 25, the editing function unit 26, the recipe
  • Each function of the ID issuing unit 27, the processing recipe registration unit 28, the processing recipe providing unit 29, and the storage unit 30 is realized.
  • the ROM 73 or the auxiliary storage device 74 stores data in the storage unit 30.
  • the CPU 71 of the computer 70 reads these programs from the recording medium 78 and stores them in the auxiliary storage device 74.
  • these programs are acquired from other devices via the communication NW and auxiliary storage is performed. It may be stored in the device 74.
  • the embodiment has been described above. According to the production system 1 of the present embodiment, it is possible to centrally manage processing conditions such as processing recipes while reducing the burden on MES.
  • the recipe search DB 31 in the storage unit 30 of the processing condition management system 20 may store a product ID or lot information and a recipe ID in association with the device ID.
  • the communication unit 21 receives the device ID and product ID or lot information from the MES 12, the communication unit 21 specifies the recipe ID associated with the received device ID and product ID or lot information in the recipe search DB 31, The identified recipe ID is transmitted to the MES 12.
  • the production planning system 10, the FICS 11, and the processing condition management system 20 may be realized by a single computer. Functions in each apparatus are distributed and arranged in a plurality of computers, and these computers communicate with each other. A plurality of computers may perform the functions of the respective devices as a whole by cooperating with each other via the NW.
  • the data in the storage unit 30 included in the processing condition management system 20 may be provided in a device outside the processing condition management system 20. In this case, the processing condition management system 20 acquires the data in the storage unit 30 from the external device by accessing the external device via the communication NW.

Abstract

　ＦＩＣＳ（１１）と複数の処理装置（４０）とを含む生産システム（１）に用いられる処理条件管理システム（２０）であって、記憶部（３０）と、通信部（２１）と、処理レシピ提供部（２９）とを備える。記憶部（３０）は、同種の複数の処理装置（４０）のそれぞれについて、処理装置（４０）が被処理基板に対して処理を行う際に用いられる処理レシピを記憶する。通信部（２１）は、ＦＩＣＳ（１１）との間で、処理レシピに関する情報を送信および受信する。処理レシピ提供部（２９）は、それぞれの処理装置（４０）から処理レシピを要求された場合に、要求された処理レシピを記憶部（３０）から読み出して要求元の処理装置（４０）に提供する。

Description

処理条件管理システムおよび生産システム
　本発明の種々の側面及び実施形態は、処理条件管理システムおよび生産システムに関するものである。
　ウエハ等を処理する場合、処理装置は、処理方法や処理パラメータ（温度や圧力等）等を指定するデータの集まりである処理レシピに従って、ウエハ等を処理する。処理レシピは、処理装置の処理レシピ作成機能によって作成され、処理装置内の記憶部に格納される。そして、ウエハ等を処理する場合に、処理装置は、記憶部から処理レシピを読み出し、読み出した処理レシピに従って処理を実行する。また、処理レシピは、処理装置とは別のコンピュータ上で作成される場合がある。この場合、処理装置は、ウエハ等を処理する場合に、コンピュータ内に格納された処理レシピを通信ネットワーク経由でダウンロードし、ダウンロードした処理レシピに従って処理を実行する。
　また、工場等の生産システムでは、生産実行システム（ＭＥＳ）が生産対象のウエハ等の処理レシピを処理装置に指示する。処理レシピが処理装置の記憶部内に格納されている場合、処理装置は、生産実行システム（ＭＥＳ）から指示された処理レシピを記憶部から読み出して処理を実行する。また、処理レシピが他のコンピュータで作成された場合、ＭＥＳが他のコンピュータから処理レシピを取得して処理装置に提供する。処理装置は、ＭＥＳから提供された処理レシピに従って処理を実行する。
特開２００６－２４７４２号公報
　ところで、処理装置内の記憶部に処理レシピを予め格納する場合、処理装置のオペレータが処理装置を操作する中で、変更を加えた処理レシピを誤って上書き保存してしまい、処理レシピに意図しない変更が加えられる場合がある。そのような処理レシピが用いられた場合、意図しない処理が実行されることになる。また、処理レシピは、処理工程の数だけ存在し、処理装置毎に異なる場合も多い。また、設定項目の増加に伴い処理レシピのデータサイズも大きくなっている。そのため、処理に必要な全ての処理レシピをＭＥＳが処理装置に提供するとすれば、ＭＥＳにかかる処理負荷が大きい。
　開示する処理条件管理システムは、工場情報制御システムと複数の処理装置とを含む生産システムに用いられる処理条件管理システムであって、同種の前記複数の処理装置のそれぞれについて、前記処理装置が被処理基板に対して処理を行う際に用いられる処理条件を記憶する処理条件記憶部と、前記工場情報制御システムとの間で、前記処理条件に関する情報を送信および受信する通信部と、それぞれの前記処理装置から処理条件を要求された場合に、要求された処理条件を前記処理条件記憶部から読み出して要求元の処理装置に提供する処理条件提供部とを備える。
　開示する処理条件管理システムの１つの態様によれば、ＭＥＳにかかる負担を低減しつつ、処理レシピ等の処理条件を集中管理することが可能となる。
図１は、生産システムの一例を示すシステム構成図である。 図２は、処理装置の機能構成の一例を示すブロック図である。 図３は、非生産モード用処理レシピ記憶領域に格納されるデータの一例を示す図である。 図４は、生産モード用処理レシピ記憶領域に格納されるデータの一例を示す図である。 図５は、処理装置内のキャッシュ領域に格納されるデータの一例を示す図である。 図６は、処理条件管理システムの機能構成の一例を示すブロック図である。 図７は、レシピ検索ＤＢに格納されるデータの一例を示す図である。 図８は、規範処理レシピ記憶領域に格納されるデータの一例を示す図である。 図９は、非生産モード用処理レシピ記憶領域に格納されるデータの一例を示す図である。 図１０は、生産モード用処理レシピ記憶領域に格納されるデータの一例を示す図である。 図１１は、処理レシピのフォルダ構造の一例を示す概念図である。 図１２は、処理装置による処理レシピの作成処理の一例を示すフローチャートである。 図１３は、処理レシピ等に基づいたウエハの処理の一例を示すフローチャートである。 図１４は、処理装置で作成された処理レシピ等を処理条件管理システムに登録する処理の一例を示すフローチャートである。 図１５は、ＭＥＳからの問い合わせに応じて処理条件管理システムがレシピＩＤを送信する処理の一例を示すフローチャートである。 図１６は、処理条件管理システムによる処理レシピの編集処理の一例を示すフローチャートである。 図１７は、処理条件管理システムによる規範処理レシピの生成および処理装置毎の処理レシピの作成の処理の一例を示すフローチャートである。 図１８は、処理条件管理システムの機能を実現するコンピュータの一例を示す図である。
　開示する処理条件管理システムは、１つの実施形態において、工場情報制御システムと複数の処理装置とを含む生産システムに用いられる処理条件管理システムであって、処理条件記憶部と、通信部と、処理条件提供部とを備える。処理条件記憶部は、同種の複数の処理装置のそれぞれについて、処理装置が被処理基板に対して処理を行う際に用いられる処理条件を記憶する。通信部は、工場情報制御システムとの間で、処理条件に関する情報を送信および受信する。処理条件提供部は、それぞれの処理装置から処理条件を要求された場合に、要求された処理条件を処理条件記憶部から読み出して要求元の処理装置に提供する。
　また、開示する処理条件管理システムの１つの実施形態において、それぞれの処理装置が処理を行う際に用いられる処理条件は、処理レシピであってもよい。
　また、開示する処理条件管理システムの１つの実施形態において、通信部は、処理条件に関する情報として、それぞれの処理レシピを識別するレシピＩＤを、工場情報制御システムへ送信してもよい。
　また、開示する処理条件管理システムの１つの実施形態において、処理条件記憶部は、処理装置毎に、製品群を特定するプロダクトＩＤまたはロット情報、処理レシピ、および当該処理レシピを識別するレシピＩＤを対応付けて記憶してもよく、通信部は、処理条件に関する情報として、処理装置を識別する装置ＩＤと、プロダクトＩＤまたはロット情報とを工場情報制御システムから受信した場合に、受信した装置ＩＤに対応する処理装置について、受信したプロダクトＩＤまたはロット情報に対応付けられたレシピＩＤを処理条件記憶部内で特定し、特定したレシピＩＤを工場情報制御システムへ送信してもよい。
　また、開示する処理条件管理システムの１つの実施形態において、処理条件記憶部は、処理装置毎に、製品群を特定するプロダクトＩＤまたはロット情報、処理工程、処理レシピ、および当該処理レシピを識別するレシピＩＤを対応付けて記憶してもよく、通信部は、処理条件に関する情報として、処理装置を識別する装置ＩＤと、プロダクトＩＤまたはロット情報と、処理工程とを工場情報制御システムから受信した場合に、受信した装置ＩＤに対応する処理装置について、受信したプロダクトＩＤまたはロット情報および処理工程に対応付けられている、レシピＩＤおよび処理レシピを処理条件記憶部内で特定し、特定したレシピＩＤおよび処理レシピの少なくともいずれかを工場情報制御システムへ送信してもよい。
　また、開示する処理条件管理システムの１つの実施形態において、処理条件記憶部は、それぞれの処理装置について、処理装置の記憶部内のフォルダ構造に対応したフォルダ構造で処理条件を記憶してもよい。
　また、開示する処理条件管理システムの１つの実施形態において、処理条件記憶部は、複数の処理装置を代表する規範装置について、当該規範装置が処理を行う際に用いられた処理レシピである規範処理レシピをさらに記憶してもよく、処理条件管理システムは、規範処理レシピを参照して、それぞれの処理装置と規範装置との間の機差に基づいて、それぞれの処理装置の処理レシピを作成し、作成した処理レシピを、それぞれの処理装置に対応付けて処理条件記憶部に格納する機差調整部をさらに備えてもよい。
　また、開示する処理条件管理システムの１つの実施形態において、処理条件提供部は、複数の処理装置のそれぞれから、処理装置の記憶部内にキャッシュしている処理レシピの中に処理対象の処理レシピが存在しない場合に送信される、処理対象の処理レシピに関する情報を含む処理レシピ要求を受信した場合に、受信した処理レシピ要求に含まれる情報で特定される処理レシピを、処理条件記憶部から読み出して要求元の処理装置に提供してもよい。
　また、開示する処理条件管理システムは、１つの実施形態において、処理条件記憶部が記憶する処理条件の編集機能を提供する編集機能部をさらに備えてもよく、編集機能部は、同種の複数の処理装置が有する処理条件の編集機能および操作性と同等の編集機能および操作性を有していてもよい。
　また、開示する処理条件管理システムは、１つの実施形態において、工場情報制御システムから処理条件記憶部が処理装置を識別する装置ＩＤと、プロダクトＩＤまたはロット情報とを指定してレシピを編集するリクエストと変更内容とを受け付けて、装置ＩＤと、プロダクトＩＤまたはロット情報に関連付けられた処理条件を変更して登録する機能を提供するための遠隔編集機能部をさらに備えてもよい。
　また、開示する処理条件管理システムの１つの実施形態において、処理条件記憶部は、処理装置毎に、処理レシピおよび当該処理レシピを識別するレシピＩＤを対応付けて記憶してもよく、処理条件管理システムは、新たな処理レシピが処理条件記憶部に格納された場合、または、処理条件記憶部内の処理レシピに変更が加えられた場合に、当該処理レシピに対して新たにユニークなレシピＩＤを発行するレシピＩＤ発行部をさらに備えてもよい。
　また、開示する処理条件管理システムの１つの実施形態において、処理条件記憶部は、それぞれの処理装置毎に、処理レシピおよび当該処理レシピの完成度を示すステータスを対応付けて記憶してもよく、処理条件管理システムは、それぞれの処理レシピが所定の属性を有するユーザによって確認されたか否かを判定する判定部と、判定部によって、それぞれの処理レシピが所定の属性を有するユーザによって確認されたと判定された場合に、処理レシピのステータスを、処理レシピの確認を行ったユーザの属性に応じた完成度を示すステータスに変更する変更部とをさらに備えてもよい。
　また、開示する生産システムは、１つの実施形態において、工場情報制御システムと、複数の処理装置と、処理条件管理システムとを備える。処理条件管理システムは、処理条件記憶部と、通信部と、処理条件提供部とを有する。処理条件記憶部は、同種の複数の処理装置のそれぞれについて、処理装置が被処理基板に対して処理を行う際に用いられる処理条件を記憶する。通信部は、工場情報制御システムとの間で、処理条件に関する情報を送信および受信する。処理条件提供部は、それぞれの処理装置から処理条件を要求された場合に、要求された処理条件を処理条件記憶部から読み出して要求元の処理装置に提供する。
　以下に、開示する処理条件管理システムおよび生産システムの実施形態について、図面に基づいて詳細に説明する。なお、本実施形態により開示する発明が限定されるものではない。各実施形態は、処理内容を矛盾させない範囲で適宜組み合わせることが可能である。
［生産システム１の全体構成］
　図１は、生産システム１の一例を示すシステム構成図である。生産システム１は、生産計画システム１０、工場情報制御システム（ＦＩＣＳ：Factory　Information　Control　System）１１、処理条件管理システム２０、および複数の処理装置４０－１～４０－ｎを備える。ＦＩＣＳ１１、処理条件管理システム２０、および各処理装置４０は、例えばＥＩ（Equipment　Interface）等を介して通信可能に接続されている。ただし、ＦＩＣＳ１１、処理条件管理システム２０、および各処理装置４０の間の接続方式は、ＥＩ等に限定されず、他の接続方式であってもよい。
　生産計画システム１０は、生産システム１のユーザ等から受け付けた製品毎の生産量や納期に基づいて、製品毎の生産計画を作成し、ＦＩＣＳ１１に提供する。
　ＦＩＣＳ１１は、生産実行システム（ＭＥＳ）１２、Ｆａｃｔｏｒｙ　ＲＭＳ（Recipe　Management　System）１３、ＡＰＣ（Advanced　Process　Control）１４、およびＡＥＣ（Advanced　Equipment　Control）１５を有する。
　ＡＰＣ１４は、各処理装置４０によって処理された後の被処理基板（ウエハ）の測定値から処理レシピに含まれるパラメータ毎の調整値であるＡＰＣ＿ＶＰ（Variable　Parameter）を算出してＭＥＳ１２へ送る。
　ＡＥＣ１５は、各処理装置４０の状態を測定し、測定値から処理レシピに含まれるパラメータ毎の調整値であるＡＥＣ＿ＶＰ（Variable　Parameter）を算出してＭＥＳ１２および処理条件管理システム２０へ送る。
　ＭＥＳ１２は、それぞれの処理装置４０の稼働状況を管理し、生産計画システム１０によって作成された生産計画と、それぞれの処理装置４０の稼働状況とに基づいて、「どの製品」の「どの工程」を「どの処理装置」に実行させるかを決定する。そして、ＭＥＳ１２は、各製品について、製品のロット情報、生産工程の工程ＩＤ、およびその工程を実行する処理装置４０の装置ＩＤを処理条件管理システム２０へ送信する。本実施形態において、ロット情報には、製品を識別する製品ＩＤが含まれている。
　そして、ＭＥＳ１２は、処理条件管理システム２０からレシピＩＤを受信し、受信したレシピＩＤを、その時点までに取得した最新のＡＰＣ＿ＶＰと共に、処理を実行させる処理装置４０へ送る。
　処理装置４０は、被処理基板であるウエハを処理する処理チャンバを有する。処理装置４０は、ＭＥＳ１２からレシピＩＤとＡＰＣ＿ＶＰを受信した場合に、受信したレシピＩＤに対応する処理レシピおよび装置パラメータが、処理装置４０のメモリ内のキャッシュ領域に存在するか否かを判定する。受信したレシピＩＤに対応する処理レシピおよび装置パラメータが、処理装置４０のメモリ内のキャッシュ領域に存在する場合、処理装置４０は、処理レシピおよび装置パラメータと、受信したＡＰＣ＿ＶＰとに基づいて、処理チャンバを用いて、ウエハに対して処理を実行する。なお、上記のキャッシュ領域とその動作では既知のキャッシュテクノロジーが用いられるものとする。
　装置パラメータとは、処理装置４０に特有の項目毎の設定値（例えば、ディップスイッチの状態など）の情報である。本実施形態において、処理レシピは、被処理基板に対する処理の条件を記述した処理条件の一例である。なお、処理条件には、処理レシピの他に、装置パラメータ等が含まれていてもよい。
　一方、ＭＥＳ１２から受信したレシピＩＤに対応する処理レシピおよび装置パラメータがキャッシュ領域に存在しない場合、処理装置４０は、受信したレシピＩＤを含むレシピ要求を処理条件管理システム２０へ送信する。そして、処理装置４０は、処理レシピおよび装置パラメータを処理条件管理システム２０から取得し、取得した処理レシピ等をメモリ内のキャッシュ領域に保存する。そして、処理装置４０は、取得した処理レシピおよび装置パラメータと、ＭＥＳ１２から受信したＡＰＣ＿ＶＰとに基づいて、処理チャンバを用いて、ウエハに対して処理を実行する。
　本実施形態において、それぞれの処理装置４０は、同種の処理装置である。同種の処理装置とは、例えば、製造メーカ、シリーズ、型番などが同一の処理装置である。また、本実施形態において、それぞれの処理装置４０は、１つの処理装置であり、例えば、１つの装置が複数の処理チャンバを有する場合、それぞれの処理チャンバが本実施形態でいうところの処理装置４０に相当する。
　処理条件管理システム２０は、それぞれの製品を識別する製品ＩＤ、それぞれの生産工程を識別する工程ＩＤ、およびそれぞれの処理装置４０を識別する装置ＩＤに対応付けて、処理レシピのレシピＩＤを格納したレシピ検索ＤＢ（データベース）を有する。処理条件管理システム２０は、ＭＥＳ１２からロット情報、工程ＩＤ、および装置ＩＤを受信した場合に、ロット情報から製品ＩＤを抽出し、レシピ検索ＤＢを参照して、製品ＩＤ、工程ＩＤ、および装置ＩＤに対応付けられているレシピＩＤを特定する。そして、処理条件管理システム２０は、特定したレシピＩＤをＭＥＳ１２へ送信する。
　また、処理条件管理システム２０は、レシピＩＤに対応付けて、処理レシピを保持しており、各処理装置４０からレシピＩＤを含むレシピ要求を受信した場合に、レシピＩＤに対応する処理レシピ等を、保持している処理レシピの中から読み出して処理装置４０に提供する。
［処理装置４０の構成］
　図２は、処理装置４０の機能構成の一例を示すブロック図である。処理装置４０は、処理実行部４２、キャッシュ制御部４３、レシピ編集部４４、操作部４５、表示部４６、および記憶部５０を有する。記憶部５０には、レシピ実行領域５１およびキャッシュ領域５４が設けられる。レシピ実行領域５１には、非生産モード用処理レシピ記憶領域５２および生産モード用処理レシピ記憶領域５３が設けられる。
　非生産モード用処理レシピ記憶領域５２には、例えば図３に示すように、テストＩＤ５２１、製品ＩＤ５２２、工程ＩＤ５２３、装置型式５２４、装置ＩＤ５２５、処理レシピ５２６、および装置パラメータ５２７が対応付けて格納される。テストＩＤ５２１は、テスト段階のそれぞれの処理レシピ５２６を識別する情報である。装置型式５２４は、装置ＩＤ５２５で識別される処理装置４０の型式である。処理レシピ５２６には、例えば、各処理ステップについて、設定すべきパラメータ（圧力、温度、継続時間など）毎の設定値を示す情報が格納される。装置パラメータ５２７には、例えば、各処理ステップについて、処理装置４０に特有の項目毎の設定値（例えば、ディップスイッチの状態など）を示す情報が格納される。
　なお、処理レシピ５２６を処理条件管理システム２０に登録する段階では、製品ＩＤ５２２、工程ＩＤ５２３、装置型式５２４、および装置ＩＤ５２５の欄に所定の情報が登録されている必要があるが、処理レシピ５２６のテストを行う段階では、これらの情報は未登録であってもよい。
　生産モード用処理レシピ記憶領域５３には、例えば図４に示すように、レシピＩＤ５３１、処理レシピ５３２、装置パラメータ５３３、およびＡＥＣ＿ＶＰ５３４が対応付けて格納される。レシピＩＤ５３１は、生産用に承認されたそれぞれの処理レシピ５３２を識別する情報である。ＡＥＣ＿ＶＰ５３４には、例えば、処理装置４０の状態の変化に伴って調整される、処理レシピに含まれるパラメータ毎の調整値の情報が格納される。
　キャッシュ領域５４には、例えば図５に示すように、レシピＩＤ５４１、処理レシピ５４２、装置パラメータ５４３、およびＡＥＣ＿ＶＰ５４４が対応付けて格納される。
　図２に戻って説明を続ける。キャッシュ制御部４３は、ＭＥＳ１２から処理の開始を指示された場合に、生産モード用処理レシピ記憶領域５３内のデータ、および、キャッシュ領域５４内のデータを消去する。そして、キャッシュ制御部４３は、ＭＥＳ１２からレシピＩＤおよびＡＰＣ＿ＶＰを受信した場合に、受信したレシピＩＤを含むレシピ要求を処理条件管理システム２０へ送信する。
　そして、キャッシュ制御部４３は、処理条件管理システム２０から提供された処理レシピ、装置パラメータ、およびＡＥＣ＿ＶＰ（以下、処理レシピ等と呼ぶ。）を、ＭＥＳ１２から受信したレシピＩＤに対応付けて、キャッシュ領域５４および生産モード用処理レシピ記憶領域５３にそれぞれ格納する。そして、キャッシュ制御部４３は、ＭＥＳ１２から受信したレシピＩＤおよびＡＰＣ＿ＶＰを処理実行部４２へ送る。
　また、ＭＥＳ１２から、再びレシピＩＤおよびＡＰＣ＿ＶＰを受信した場合、キャッシュ制御部４３は、受信したレシピＩＤに対応する処理レシピ等がキャッシュ領域５４内に存在するか否かを判定する。受信したレシピＩＤに対応する処理レシピ等がキャッシュ領域５４内に存在する場合、キャッシュ制御部４３は、該当する処理レシピ等をキャッシュ領域５４から読み出して、生産モード用処理レシピ記憶領域５３に格納する。そして、キャッシュ制御部４３は、ＭＥＳ１２から受信したレシピＩＤおよびＡＰＣ＿ＶＰを処理実行部４２へ送る。
　一方、処理レシピ等がキャッシュ領域５４内に存在しない場合、キャッシュ制御部４３は、レシピＩＤを含むレシピ要求を処理条件管理システム２０へ送信することにより、処理条件管理システム２０から処理レシピ等を取得する。そして、キャッシュ制御部４３は、処理条件管理システム２０から取得した処理レシピ等を、キャッシュ領域５４および生産モード用処理レシピ記憶領域５３にそれぞれ格納する。そして、キャッシュ制御部４３は、ＭＥＳ１２から受信したレシピＩＤおよびＡＰＣ＿ＶＰを処理実行部４２へ送る。
　処理実行部４２は、キャッシュ制御部４３から、レシピＩＤおよびＡＰＣ＿ＶＰを受け取った場合に、レシピＩＤに対応付けられた処理レシピ、装置パラメータ、およびＡＥＣ＿ＶＰを生産モード用処理レシピ記憶領域５３から読出す。そして、処理実行部４２は、生産モード用処理レシピ記憶領域５３から読み出した処理レシピ、装置パラメータ、およびＡＥＣ＿ＶＰと、キャッシュ制御部４３から受け取ったＡＰＣ＿ＶＰとに基づいて、処理チャンバを用いて、ウエハに対して処理を実行する。ウエハに対する処理が終了した場合、処理実行部４２は、終了した処理に用いた処理レシピ、装置パラメータ、およびＡＥＣ＿ＶＰを生産モード用処理レシピ記憶領域５３から削除する。
　このように、処理レシピ等に基づいたウエハに対する処理の終了後に、処理実行部４２は、処理が終了した処理レシピ等を生産モード用処理レシピ記憶領域５３から削除する。これにより、処理装置４０内に残っている古い処理レシピ等に基づいて、ウエハに対して処理が実行されてしまうことを防止することができる。また、処理条件管理システム２０内に最新の処理レシピ等が保持されていれば、処理装置４０内の処理レシピ等を、処理条件管理システム２０内の最新の処理レシピ等と同期させることができる。
　また、ＭＥＳ１２から指示されたレシピＩＤに対応する処理レシピ等がキャッシュ領域５４内に存在すれば、キャッシュ領域５４内の処理レシピ等を生産モード用処理レシピ記憶領域５３に展開してウエハに対する処理を開始することができるため、処理レシピ等の取得にかかる待ち時間を短縮することができる。
　レシピ編集部４４は、操作部４５を介した処理装置４０のオペレータからの操作に応じて、非生産モード用処理レシピ記憶領域５２内の処理レシピおよび装置パラメータ等を編集する。レシピ編集部４４は、非生産モード用処理レシピ記憶領域５２内の処理レシピおよび装置パラメータ等が編集された場合に、操作部４５を介したオペレータからの操作に応じて、編集された処理レシピおよび装置パラメータ等に対応付けられたテストＩＤを処理実行部４２へ送る。
　処理実行部４２は、レシピ編集部４４から受け取ったテストＩＤに対応付けられた処理レシピおよび装置パラメータを非生産モード用処理レシピ記憶領域５２から読出す。そして、処理実行部４２は、非生産モード用処理レシピ記憶領域５２から読み出した処理レシピおよび装置パラメータに基づいて、処理チャンバを用いて、ウエハに対して処理を実行する。なお、非生産モード用処理レシピ記憶領域５２から読み出した処理レシピおよび装置パラメータに基づく処理を行った後は、処理実行部４２は、終了した処理に対応する処理レシピ等を非生産モード用処理レシピ記憶領域５２から自動的に削除しない。
　また、レシピ編集部４４は、非生産モード用処理レシピ記憶領域５２内のデータを表示したり、編集したりすることはできるが、生産モード用処理レシピ記憶領域５３内のデータについては、表示も編集も行うことができない。これにより、生産モード用として承認された処理レシピ等の持ち出しや、不用意な書き換え等を防止することができる。
　また、レシピ編集部４４は、処理条件管理システム２０に登録する処理レシピ等のテストＩＤをオペレータから指定された場合に、テストＩＤに対応付けられた製品ＩＤ、工程ＩＤ、装置型式、装置ＩＤ、処理レシピ、および装置パラメータを非生産モード用処理レシピ記憶領域５２から読み出す。そして、レシピ編集部４４は、読み出した製品ＩＤ、工程ＩＤ、装置型式、装置ＩＤ、処理レシピ、および装置パラメータを含む登録要求を処理条件管理システム２０へ送信する。
［処理条件管理システム２０の構成］
　図６は、処理条件管理システム２０の機能構成の一例を示すブロック図である。処理条件管理システム２０は、通信部２１、規範処理レシピ生成部２２、機差調整部２３、変更部２４、判定部２５、編集機能部２６、レシピＩＤ発行部２７、処理レシピ登録部２８、処理レシピ提供部２９、および記憶部３０を備える。記憶部３０には、レシピ検索ＤＢ３１、規範処理レシピ記憶領域３２、および複数の処理レシピ記憶領域３３が設けられる。
　レシピ検索ＤＢ３１には、例えば図７に示すように、製品ＩＤ３１０、工程ＩＤ３１１、装置型式３１２、装置ＩＤ３１３、レシピＩＤ３１４、およびステータス３１５が対応付けて格納される。ステータス３１５は、対応する処理レシピの完成度を示す。本実施形態において、ステータス３１５には、例えば、「Certified」、「Checked」、「Verified」、および「Created」の４種類のいずれかが格納される。「Created」は、例えば、処理レシピが作成中または作成済みの状態を示す。「Verified」は、例えば、処理レシピが文法確認済みの状態を示し、機能性試験に移行可能な状態を示す。「Checked」は、例えば、処理レシピが動作確認済みの状態を示し、機能性能が確認された状態を示す。「Certified」は、例えば、処理レシピが使用承認済みの状態であることを示し、生産における使用が許可された状態を示す。
　レシピ検索ＤＢ３１には、記憶部３０内に格納されている全ての処理レシピ（後述する規範処理レシピを含む）のレシピＩＤが格納されている。なお、製品ＩＤ３１０、工程ＩＤ３１１、装置型式３１２、および装置ＩＤ３１３のそれぞれの組み合わせには、複数のレシピＩＤ３１４が対応付けられてもよい。ただし、本実施形態において、製品ＩＤ３１０、工程ＩＤ３１１、装置型式３１２、および装置ＩＤ３１３のそれぞれの組み合わせに対応付けられたレシピＩＤの中で、「Certified」のステータスが対応付けられているレシピＩＤは１つである。
　規範処理レシピ記憶領域３２には、例えば図８に示すように、レシピＩＤ３２１に対応付けて、規範処理レシピ３２２が格納される。規範処理レシピ３２２とは、いずれかの処理装置４０で作成された処理レシピおよび装置パラメータに基づいて生成された、規範となる処理装置４０における処理レシピである。規範となる処理装置４０とは、例えば、設定値に対する出力値が仕様の中心となる、各種処理条件に対する応答が経時変化しない、などの理想的な振る舞いをする仮想的な処理装置４０である。
　処理レシピ記憶領域３３は、処理装置４０毎に１つずつ設けられる。例えば、処理レシピ記憶領域３３－１には、処理装置４０－１に設定される処理レシピ等が格納され、処理レシピ記憶領域３３－２には、処理装置４０－２に設定される処理レシピ等が格納される。それぞれの処理レシピ記憶領域３３には、非生産モード用処理レシピ記憶領域３４および生産モード用処理レシピ記憶領域３５が設けられる。
　非生産モード用処理レシピ記憶領域３４には、例えば図９に示すように、レシピＩＤ３４１、ステータス３４２、処理レシピ３４３、および装置パラメータ３４４が対応付けて格納される。レシピＩＤ３４１は、処理レシピ３４３の識別情報である。ステータス３４２は、処理レシピ３４３の完成度を示す。装置パラメータ３４４は、処理レシピ３４３を適用する際に、対応する処理装置４０に設定される処理装置４０に固有のパラメータである。
　生産モード用処理レシピ記憶領域３５には、例えば図１０に示すように、レシピＩＤ３５１、ステータス３５２、処理レシピ３５３、装置パラメータ３５４、およびＡＥＣ＿ＶＰ３５５が対応付けて格納される。レシピＩＤ３５１は、処理レシピ３５３の識別情報である。ステータス３５２は、処理レシピ３５３の完成度を示す。装置パラメータ３５４は、処理レシピ３５３を適用する際に、対応する処理装置４０に設定される処理装置４０に固有のパラメータである。ＡＥＣ＿ＶＰ３５５は、対応する処理装置４０と、他の処理装置４０との間における装置間の機差を調整するパラメータである。機差とは、処理装置４０間において、処理の条件（例えば処理レシピ）に含まれるパラメータの各設定値に対する出力または作用強度の差である。
　なお、本実施形態において、処理レシピ記憶領域３３等に格納されている処理レシピは、例えば図１１に示すように、処理レシピの一部が他の処理レシピを呼び出す形でリンクしているリンクドレシピの構造を有している。図１１は、処理レシピのフォルダ構造の一例を示す概念図である。
　１つの処理レシピのデータは、例えば、図１１に示すように、１つのフォルダ６０内に格納される。本実施例において、それぞれの処理レシピは、フォルダ６０毎に上位のフォルダ６０が下位のフォルダ６０を参照する階層構造を有している。
　また、本実施形態において、処理条件管理システム２０の記憶部３０に格納されている処理レシピは、処理装置４０の記憶部５０に格納されている処理レシピと、同一の階層構造および同一のフォルダ構造を有する。これにより、フォルダ毎の管理ルール（例えばユーザのアクセス権管理など）を、処理装置４０の記憶部５０内の処理レシピと同一にすることができる。これにより、処理条件管理システム２０においても、処理装置４０内で処理レシピを管理する場合と同様の操作性を実現することができる。
　なお、処理条件管理システム２０の記憶部３０に格納されている段階では、各処理レシピの一部が、他の処理レシピにリンクしている場合があるが、処理装置４０へ送られる場合には、参照先の処理レシピの情報も含む形の１つの処理レシピのデータとして処理装置４０へ送られる。そのため、各処理装置４０では、処理の実行時には、処理条件管理システム２０へアクセスすることなく、処理装置４０の記憶部５０内の情報を用いて処理を行うことができる。
　通信部２１は、ＭＥＳ１２から、ロット情報、工程ＩＤ、および装置ＩＤを受信した場合に、製品ＩＤを含むロット情報から製品ＩＤを抽出する。そして、通信部２１は、記憶部３０内のレシピ検索ＤＢ３１を参照し、製品ＩＤ、工程ＩＤ、および装置ＩＤに対応付けられたレシピＩＤの中で、「Certified」のステータスが対応付けられているレシピＩＤを抽出する。そして、通信部２１は、抽出したレシピＩＤをＭＥＳ１２へ送信する。なお、通信部２１は、抽出したレシピＩＤに対応する処理レシピ等を、抽出したレシピＩＤに代えて、あるいは、抽出したレシピＩＤと共に、ＭＥＳ１２へ送信してもよい。
　レシピＩＤ発行部２７は、機差調整部２３、編集機能部２６、または処理レシピ登録部２８からレシピＩＤの新規発行を依頼された場合に、ユニークなレシピＩＤを新規に発行する。そして、レシピＩＤ発行部２７は、発行したレシピＩＤを依頼元の機差調整部２３、編集機能部２６、または処理レシピ登録部２８へ送る。レシピＩＤ発行部２７は、発行済みのレシピＩＤを管理しており、レシピＩＤの新規発行を依頼された場合に、発行済みのいずれのレシピＩＤとも重複しないレシピＩＤを新規に発行する。これにより、生産システム１に用いられる処理レシピ等に重複したレシピＩＤが割り当てられることを防止することができる。
　処理レシピ登録部２８は、処理装置４０から、製品ＩＤ、工程ＩＤ、装置型式、装置ＩＤ、処理レシピ、および装置パラメータを含む登録要求を受信した場合に、レシピＩＤ発行部２７にレシピＩＤの新規発行を依頼する。そして、処理レシピ登録部２８は、レシピＩＤ発行部２７から発行されたレシピＩＤを、「Created」のステータスと共に、登録要求に含まれる製品ＩＤ、工程ＩＤ、装置型式、および装置ＩＤに対応付けて、レシピ検索ＤＢ３１に登録する。
　また、処理レシピ登録部２８は、レシピＩＤ発行部２７から発行されたレシピＩＤに対応付けて、登録要求に含まれている処理レシピおよび装置パラメータを、「Created」のステータスと共に、登録要求の送信元の処理装置４０に対応する処理レシピ記憶領域３３内の非生産モード用処理レシピ記憶領域３４（図９参照）に登録する。
　処理レシピ提供部２９は、処理装置４０からレシピＩＤを含むレシピ要求を受信した場合に、当該処理装置４０に対応付けられた処理レシピ記憶領域３３内の生産モード用処理レシピ記憶領域３５から、レシピ要求に含まれているレシピＩＤに対応付けられている処理レシピ、装置パラメータ、およびＡＥＣ＿ＶＰを抽出する。そして、処理レシピ提供部２９は、抽出した処理レシピ、装置パラメータ、およびＡＥＣ＿ＶＰを、レシピ要求の送信元の処理装置４０に提供する。
　編集機能部２６は、入力装置２０１を介したユーザからの操作に応じて、処理レシピ記憶領域３３内の非生産モード用処理レシピ記憶領域３４または生産モード用処理レシピ記憶領域３５から処理レシピおよび装置パラメータを読み出して表示装置２００に表示する。そして、編集機能部２６は、ユーザからの操作に応じて、処理レシピ記憶領域３３から読み出した処理レシピおよび装置パラメータを編集する。編集機能部２６は、各処理装置４０が有する処理レシピ等の編集機能と同等の編集機能を提供する。また、編集機能部２６は、各処理装置４０が有する処理レシピ等の編集における操作性と同等の操作性を提供する。
　同等の編集機能および操作性とは、例えば、パラメータの名称、種類、配列、パラメータセットの時系列での表記方法（ステップ記述）などが少なくとも共通であることをいう。また、例えば、各パラメータの設定範囲や混合禁忌などの設定ルールの適用とルール違反設定などへの警告やインターロック等の機能も共通であることが好ましい。また、画面の表示は完全に同一でなくてもよいが、できる限り類似していることが好ましい。これにより、ユーザは、クルーンルームに入って処理装置４０の操作パネルを操作しているのと同様の操作感覚で、入力装置２０１を介して処理レシピ等を編集することができる。
　また、編集機能部２６は、入力装置２０１を介したユーザからの操作に応じて処理レシピ等が変更された場合、レシピＩＤ発行部２７に要求して、変更後の処理レシピ等に対してレシピＩＤの新規発行を依頼する。そして、編集機能部２６は、レシピＩＤ発行部２７によって新規に発行されたレシピＩＤに対応付けて、変更後の処理レシピ等を処理レシピ記憶領域３３内の非生産モード用処理レシピ記憶領域３４または生産モード用処理レシピ記憶領域３５に格納する。
　そして、編集機能部２６は、変更前の処理レシピ等に対応するレシピＩＤに対応付けられている製品ＩＤ、工程ＩＤ、装置型式、装置ＩＤ、およびステータスを、レシピ検索ＤＢ３１から抽出し、抽出したこれらの情報に対応付けて、新規に発行されたレシピＩＤをレシピ検索ＤＢ３１に登録する。
　このように、ユーザからの操作に応じて処理レシピが変更された場合に、変更後の処理レシピが、新規に発行されたレシピＩＤに対応付けて処理レシピ記憶領域３３に格納される。そして、それぞれの処理装置４０からのレシピ要求に応じて、要求された処理レシピ等が、各処理装置４０に自動的に提供される。これにより、処理条件管理システム２０において処理レシピ等に対して行われた作業が自動的に全ての処理装置４０に展開され適用される。そのため、変更後の処理レシピ等が処理装置４０に確実に提供され、提供すべき処理レシピ等を、作業者が間違える等のミスを防止することができる。
　また、ＵＳＢ（Universal　Serial　Bus）メモリ等の記憶媒体経由で処理レシピ等を、処理レシピの編集を行ったコンピュータから処理装置４０に格納させる場合には、処理レシピの持ち運びによるセキュリティの低下および業務効率の低下が懸念される。これに対し、本実施形態では、処理条件管理システム２０において管理されている処理レシピ等が、オンラインで各処理装置４０に提供されるため、セキュリティの低下や業務効率の低下を抑制することができる。
　判定部２５は、処理レシピ等が変更された場合に、変更を行ったユーザの属性を判定し、変更された処理レシピ等のステータスを変更するか否かを判定する。判定部２５は、例えば、ユーザの属性毎に、当該属性のユーザが表示または変更した処理レシピ等に対して割り当てられるステータスを予め保持している。そして、判定部２５は、例えば、変更前の処理レシピ等に割り当てられているステータスと、変更を行ったユーザの属性に対応するステータスとが異なる場合に、変更後の処理レシピ等に割り当てられるステータスを、変更を行ったユーザの属性に対応するステータスに変更すると判定する。
　ここで、変更前の処理レシピ等に割り当てられているステータスが「Certified」であり、変更後の処理レシピ等に割り当てられるステータスが「Certified」となる場合、変更により新規にレシピＩＤが割り当てられることにより、製品ＩＤ、工程ＩＤ、装置型式、および装置ＩＤが同一の組み合わせに対して、「Certified」のステータスが対応付けられているレシピＩＤが複数存在することになる。そのため、新たに発行されたレシピＩＤに対応付けられたステータスが「Certified」である場合、製品ＩＤ、工程ＩＤ、装置型式、および装置ＩＤが同一の組み合わせに対して、「Certified」のステータスが対応付けられている他のレシピＩＤのステータスは、「Certified」以外のステータス（例えば１つ下位のステータスである「Checked」）に変更される。
　また、判定部２５は、編集機能部２６によって表示された処理レシピ等が変更されていない場合であっても、処理レシピ等を表示させたユーザの属性を判定し、処理レシピ等のステータスを変更するか否かを判定する。判定部２５は、例えば、表示された処理レシピ等に割り当てられているステータスが、当該処理レシピ等を表示させたユーザの属性に対応付けられているステータスよりも下位のステータスである場合、表示された処理レシピ等に割り当てられるステータスを、当該処理レシピ等を表示させたユーザの属性に対応付けられているステータスに変更すると判定する。
　例えば、表示された処理レシピ等に割り当てられているステータスが「Created」であり、当該処理レシピ等を表示させたユーザの属性に対応付けられているステータスが「Verified」である場合、判定部２５は、表示された処理レシピ等に割り当てられるステータスを、「Created」から「Verified」に変更すると判定する。例えば、エンジニアが作成して処理条件管理システム２０に登録した「Created」のステータスの処理レシピ等を、上司等の所定の権限を有するユーザが表示させ、文法の確認等を行った場合に、判定部２５は、当該処理レシピ等のステータスを「Created」から「Verified」に変更すると判定する。
　一方、表示された処理レシピ等に割り当てられているステータスが、例えば「Checked」であり、当該処理レシピ等を表示させたユーザの属性に対応するステータスが、例えば「Checked」よりも下位のステータスである「Verified」である場合、判定部２５は、表示された処理レシピ等に割り当てられるステータスを変更不要と判定する。
　変更部２４は、判定部２５によって処理レシピ等のステータスを変更すると判定された場合に、処理レシピ記憶領域３３内の処理レシピ等に対応付けられているステータスを変更する。また、変更部２４は、処理レシピ記憶領域３３内の処理レシピ等のステータスを変更した場合、レシピ検索ＤＢ３１内のステータスも併せて変更する。
　規範処理レシピ生成部２２は、いずれかの処理レシピ記憶領域３３内の非生産モード用処理レシピ記憶領域３４内の処理レシピおよび装置パラメータに対応付けられているステータスを監視する。そして、規範処理レシピ生成部２２は、ステータスが「Certified」に変更になった処理レシピおよび装置パラメータを、非生産モード用処理レシピ記憶領域３４から読み出す。そして、規範処理レシピ生成部２２は、読み出した処理レシピおよび装置パラメータに基づいて、規範装置で同様の処理が実現される場合の処理レシピである規範処理レシピを生成する。なお、非生産モード用処理レシピ記憶領域３４から読み出された装置パラメータは、規範処理レシピに含まれるパラメータの値として、規範処理レシピ内に組み入れられる。
　そして、規範処理レシピ生成部２２は、レシピＩＤ発行部２７に、生成した規範処理レシピに対するレシピＩＤの新規発行を依頼する。そして、規範処理レシピ生成部２２は、レシピＩＤ発行部２７によって新規に発行されたレシピＩＤに対応付けて、生成した規範処理レシピを、規範処理レシピ記憶領域３２に格納する。
　機差調整部２３は、それぞれの処理装置４０について、規範装置との機差を調整する調整値を算出する。そして、機差調整部２３は、処理装置４０毎に、算出した調整値を規範処理レシピに適用することで、処理レシピおよび装置パラメータを算出する。そして、機差調整部２３は、処理装置４０毎に、算出した処理レシピおよび装置パラメータについて、レシピＩＤ発行部２７に、レシピＩＤの新規発行を依頼する。
　また、機差調整部２３は、処理装置４０毎に、その時点での最新のＡＥＣ＿ＶＰをＡＥＣ１５から取得する。そして、機差調整部２３は、処理装置４０毎に、「Certified」のステータス、処理レシピ、装置パラメータ、およびＡＥＣ＿ＶＰを、新規に発行されたレシピＩＤに対応付けて、処理レシピ記憶領域３３内の生産モード用処理レシピ記憶領域３５に格納する。
　また、機差調整部２３は、所定のタイミング毎に、それぞれの処理装置４０について、処理装置４０の状態の変化を示すＡＥＣ＿ＶＰをＡＥＣ１５から取得する。そして、機差調整部２３は、処理装置４０毎に、生産モード用処理レシピ記憶領域３５内のＡＥＣ＿ＶＰの値を、取得したＡＥＣ＿ＶＰの値で更新する。そして、機差調整部２３は、レシピＩＤ発行部２７に要求して、更新したＡＥＣ＿ＶＰに対応付けられているそれぞれのレシピＩＤに対して、新たなレシピＩＤの発行を依頼する。
　そして、機差調整部２３は、生産モード用処理レシピ記憶領域３５内において、更新したＡＥＣ＿ＶＰに対応付けられているそれぞれのレシピＩＤを、レシピＩＤ発行部２７によって新たに発行されたレシピＩＤに置き換える。また、機差調整部２３は、レシピ検索ＤＢ３１内においても、同様にレシピＩＤの置き換えを行う。これにより、処理レシピおよび装置パラメータが同一であっても、ＡＥＣ＿ＶＰの値が変わるたびに、異なるレシピＩＤが割り当てられるため、古いＡＥＣ＿ＶＰの値が対応付けられた処理レシピが使い続けられることを防止することができる。
［処理装置４０による処理レシピの作成処理］
　図１２は、処理装置４０による処理レシピの作成処理の一例を示すフローチャートである。
　まず、レシピ編集部４４は、処理レシピおよび装置パラメータ等を非生産モード用処理レシピ記憶領域５２から読み出す。そして、レシピ編集部４４は、読み出した処理レシピおよび装置パラメータ等を表示部４６に表示し、操作部４５を介した処理装置４０のオペレータからの操作に応じて、読み出した処理レシピおよび装置パラメータ等を編集する（Ｓ１００）。
　次に、レシピ編集部４４は、操作部４５を介したオペレータからの操作に応じて、編集された処理レシピおよび装置パラメータ等に対応付けられたテストＩＤを処理実行部４２へ送る。処理実行部４２は、レシピ編集部４４から受け取ったテストＩＤに対応付けられた処理レシピおよび装置パラメータを非生産モード用処理レシピ記憶領域５２から読出す。そして、処理実行部４２は、非生産モード用処理レシピ記憶領域５２から読み出した処理レシピおよび装置パラメータに基づいて、ウエハに対して処理を実行する（Ｓ１０１）。
　次に、レシピ編集部４４は、操作部４５を介して、テストＩＤと共に、処理レシピ等を処理条件管理システム２０に登録する指示を受け付けたか否かを判定する（Ｓ１０２）。処理レシピ等を処理条件管理システム２０に登録する指示を受け付けていない場合（Ｓ１０２：Ｎｏ）、レシピ編集部４４は、再びステップＳ１００に示した処理を実行する。
　一方、処理レシピ等を処理条件管理システム２０に登録する指示を受け付けた場合（Ｓ１０２：Ｙｅｓ）、レシピ編集部４４は、テストＩＤに対応付けられた製品ＩＤ、工程ＩＤ、装置型式、装置ＩＤ、処理レシピ、および装置パラメータを、非生産モード用処理レシピ記憶領域５２から読み出す。そして、レシピ編集部４４は、読み出した製品ＩＤ、工程ＩＤ、装置型式、装置ＩＤ、処理レシピ、および装置パラメータを含む登録要求を処理条件管理システム２０へ送信する（Ｓ１０３）。そして、処理装置４０は、本フローチャートに示した処理を終了する。
［処理レシピ等に基づいたウエハの処理］
　図１３は、処理レシピ等に基づいたウエハの処理の一例を示すフローチャートである。例えば、ＭＥＳ１２から処理の開始を指示された場合に、処理装置４０は、本フローチャートに示す処理を開始する。
　まず、キャッシュ制御部４３は、生産モード用処理レシピ記憶領域５３内のデータ、および、キャッシュ領域５４内のデータを消去する（Ｓ２００）。そして、キャッシュ制御部４３は、ＭＥＳ１２から、レシピＩＤおよびＡＰＣ＿ＶＰを受信したか否かを判定する（Ｓ２０１）。レシピＩＤおよびＡＰＣ＿ＶＰを受信していない場合（Ｓ２０１：Ｎｏ）、キャッシュ制御部４３は、ＭＥＳ１２から終了指示を受信したか否かを判定する（Ｓ２０９）。終了指示を受信していない場合（Ｓ２０９：Ｎｏ）、キャッシュ制御部４３は、再びステップＳ２０１に示した処理を実行する。一方、終了指示を受信した場合（Ｓ２０９：Ｙｅｓ）、処理装置４０は、本フローチャートに示した処理を終了する。
　レシピＩＤおよびＡＰＣ＿ＶＰを受信した場合（Ｓ２０１：Ｙｅｓ）、キャッシュ制御部４３は、ＭＥＳ１２から受信したレシピＩＤに対応する処理レシピ等がキャッシュ領域５４内に存在するか否かを判定する（Ｓ２０２）。ＭＥＳ１２から受信したレシピＩＤに対応する処理レシピ等がキャッシュ領域５４内に存在する場合（Ｓ２０２：Ｙｅｓ）、キャッシュ制御部４３は、ステップＳ２０６に示す処理を実行する。
　一方、ＭＥＳ１２から受信したレシピＩＤに対応する処理レシピ等がキャッシュ領域５４内に存在しない場合（Ｓ２０２：Ｎｏ）、キャッシュ制御部４３は、ＭＥＳ１２から受信したレシピＩＤを含むレシピ要求を処理条件管理システム２０へ送信する（Ｓ２０３）。そして、キャッシュ制御部４３は、処理条件管理システム２０から処理レシピ等を受信する（Ｓ２０４）。そして、キャッシュ制御部４３は、受信した処理レシピ等を、ＭＥＳ１２から受信したレシピＩＤに対応付けてキャッシュ領域５４に格納する（Ｓ２０５）。
　次に、キャッシュ制御部４３は、ＭＥＳ１２から受信したレシピＩＤに対応する処理レシピ等をキャッシュ領域５４から読み出して生産モード用処理レシピ記憶領域５３に格納する（Ｓ２０６）。そして、キャッシュ制御部４３は、ＭＥＳ１２から受信したレシピＩＤおよびＡＰＣ＿ＶＰを処理実行部４２へ送る。
　処理実行部４２は、キャッシュ制御部４３から受け取ったレシピＩＤに対応する処理レシピ等を、生産モード用処理レシピ記憶領域５３から読み出す。そして、処理実行部４２は、読み出した処理レシピ等と、キャッシュ制御部４３から受け取ったＡＰＣ＿ＶＰとに基づいて、ウエハに対して処理を実行する（Ｓ２０７）。そして、ウエハに対する処理が終了した場合、処理実行部４２は、処理に用いた処理レシピ等を、生産モード用処理レシピ記憶領域５３から削除する（Ｓ２０８）。そして、キャッシュ制御部４３は、再びステップＳ２０１に示した処理を実行する。
［処理レシピ等の登録処理］
　図１４は、処理装置４０で作成された処理レシピ等を処理条件管理システム２０に登録する処理の一例を示すフローチャートである。例えば、処理レシピ登録部２８が、処理装置４０から、製品ＩＤ、工程ＩＤ、装置型式、装置ＩＤ、処理レシピ、および装置パラメータを含む登録要求を受信した場合に、処理条件管理システム２０は、本フローチャートに示す処理を開始する。
　まず、処理レシピ登録部２８は、レシピＩＤ発行部２７に、登録要求に含まれている処理レシピ等に対してレシピＩＤの新規発行を依頼する（Ｓ３００）。そして、処理レシピ登録部２８は、レシピＩＤ発行部２７によって新規に発行されたレシピＩＤに対応付けて、処理レシピ等を、登録要求の送信元の処理装置４０に対応する処理レシピ記憶領域３３内の非生産モード用処理レシピ記憶領域３４に登録する（Ｓ３０１）。
　次に、処理レシピ登録部２８は、非生産モード用処理レシピ記憶領域３４に登録した処理レシピ等に「Created」のステータスを対応付ける（Ｓ３０２）。そして、処理レシピ登録部２８は、レシピＩＤ発行部２７によって新規に発行されたレシピＩＤを、「Created」のステータスと共に、登録要求に含まれる製品ＩＤ、工程ＩＤ、装置型式、および装置ＩＤに対応付けて、レシピ検索ＤＢ３１に登録する（Ｓ３０３）。そして、処理条件管理システム２０は、本フローチャートに示した処理を終了する。
［レシピＩＤの送信処理］
　図１５は、ＭＥＳ１２からの問い合わせに応じて処理条件管理システム２０がレシピＩＤを送信する処理の一例を示すフローチャートである。
　まず、通信部２１は、ＭＥＳ１２から、ロット情報、工程ＩＤ、および装置ＩＤを受信した場合に、ロット情報から製品ＩＤを抽出する（Ｓ４００）。そして、通信部２１は、レシピ検索ＤＢ３１を参照し、製品ＩＤ、工程ＩＤ、および装置ＩＤに対応付けられたレシピＩＤを特定する（Ｓ４０１）。そして、通信部２１は、特定したレシピＩＤをＭＥＳ１２へ送信する（Ｓ４０２）。そして、処理条件管理システム２０は、本フローチャートに示した処理を終了する。
［処理レシピの編集処理］
　図１６は、処理条件管理システム２０による処理レシピの編集処理の一例を示すフローチャートである。
　まず、編集機能部２６は、入力装置２０１を介したユーザからの操作に応じて、ログイン処理を実行し（Ｓ５００）、ユーザを認証する。そして、編集機能部２６は、通信部２１を介してユーザからレシピＩＤを受け付けたか否かを判定する（Ｓ５０１）。ユーザからレシピＩＤを受け付けた場合（Ｓ５０１：Ｙｅｓ）、編集機能部２６は、受け付けたレシピＩＤに対応付けられた処理レシピ等を、処理レシピ記憶領域３３から読み出して表示装置２００に表示する（Ｓ５０２）。
　次に、編集機能部２６は、入力装置２０１を介したユーザからの操作に応じて、読み出した処理レシピ等を編集する（Ｓ５０３）。そして、編集機能部２６は、ユーザから終了指示を受け付けたか否かを判定する（Ｓ５０４）。終了指示を受け付けていない場合（Ｓ５０４：Ｎｏ）、編集機能部２６は、再びステップＳ５０３に示した処理を実行する。
　一方、終了指示を受け付けた場合（Ｓ５０４：Ｙｅｓ）、編集機能部２６は、処理レシピ等が変更されたか否かを判定する（Ｓ５０５）。なお、処理レシピ等の閲覧のみである場合、ユーザは、表示された処理レシピ等を閲覧した後、編集することなく終了指示を入力する。処理レシピ等が変更されていない場合（Ｓ５０５：Ｎｏ）、判定部２５は、ステップＳ５０９に示す処理を実行する。
　一方、処理レシピ等が変更された場合（Ｓ５０５：Ｙｅｓ）、編集機能部２６は、レシピＩＤ発行部２７に、変更後の処理レシピ等に対してレシピＩＤの新規発行を依頼する。レシピＩＤ発行部２７は、編集機能部２６からの依頼に応じて、ユニークなレシピＩＤを新規発行する（Ｓ５０６）。そして、編集機能部２６は、レシピＩＤ発行部２７によって新たに発行されたレシピＩＤに対応付けて、変更後の処理レシピ等を、変更前の処理レシピ等が格納されていた処理レシピ記憶領域３３内に格納する（Ｓ５０７）。
　次に、編集機能部２６は、ステップＳ５０２で受け付けたレシピＩＤに対応付けられている製品ＩＤ、工程ＩＤ、装置型式、装置ＩＤ、およびステータスの情報をレシピ検索ＤＢ３１から抽出する。そして、編集機能部２６は、抽出した製品ＩＤ、工程ＩＤ、装置型式、装置ＩＤ、およびステータスに対応付けて、新たに発行されたレシピＩＤをレシピ検索ＤＢ３１に登録する（Ｓ５０８）。
　次に、判定部２５は、処理レシピ等を表示させたユーザの属性に基づいて、処理レシピ等のステータスを変更するか否かを判定する（Ｓ５０９）。判定部２５がステータスを変更しないと判定した場合（Ｓ５０９：Ｎｏ）、処理条件管理システム２０は、本フローチャートに示した処理を終了する。
　判定部２５がステータスを変更すると判定した場合（Ｓ５０９：Ｙｅｓ）、変更部２４は、ステップＳ５０７で格納した処理レシピ等に対応付けられているステータスを変更する（Ｓ５１０）。この時、レシピ検索ＤＢ３１内のステータスも併せて変更する。そして、処理条件管理システム２０は、本フローチャートに示した処理を終了する。
　図１７は、処理条件管理システム２０による規範処理レシピの生成および処理装置４０毎の処理レシピの作成の処理の一例を示すフローチャートである。
　まず、規範処理レシピ生成部２２は、いずれかの処理レシピ記憶領域３３内の非生産モード用処理レシピ記憶領域３４内に格納された処理レシピ等のステータスが、「Certified」に変更されたか否かを判定する（Ｓ６００）。いずれかの処理レシピ記憶領域３３内の非生産モード用処理レシピ記憶領域３４内に格納された処理レシピ等のステータスが、「Certified」に変更された場合（Ｓ６００：Ｙｅｓ）、規範処理レシピ生成部２２は、非生産モード用処理レシピ記憶領域３４から処理レシピ等を読み出し（Ｓ６０１）、読み出した処理レシピ等を非生産モード用処理レシピ記憶領域３４から削除する（Ｓ６０２）。
　次に、規範処理レシピ生成部２２は、読み出した処理レシピ等に基づいて、規範装置で同様の処理が実現される場合の処理レシピである規範処理レシピを生成し、生成した規範処理レシピを、規範処理レシピ記憶領域３２に格納する（Ｓ６０３）。
　次に、機差調整部２３は、それぞれの処理装置４０について、規範装置との機差を調整する調整値を算出し、算出した調整値を規範処理レシピに適用することにより処理レシピ等を作成する（Ｓ６０４）。そして、機差調整部２３は、レシピＩＤ発行部２７に、作成した処理装置４０毎の処理レシピ等に対して、レシピＩＤの新規発行を依頼する。レシピＩＤ発行部２７は、機差調整部２３からの依頼に応じて、ユニークなレシピＩＤを新規発行する（Ｓ６０５）。
　次に、機差調整部２３は、処理装置４０毎に、生成した処理レシピ等を、その時点での最新のＡＥＣ＿ＶＰと共に、新たに発行されたレシピＩＤに対応付けて、処理レシピ記憶領域３３内の生産モード用処理レシピ記憶領域３５に格納する（Ｓ６０６）。そして、機差調整部２３は、製品ＩＤ、工程ＩＤ、装置型式、装置ＩＤ、レシピＩＤ、およびステータスを、レシピ検索ＤＢ３１に登録する（Ｓ６０７）。そして、規範処理レシピ生成部２２は、再びステップＳ６００に示した処理を実行する。
［ハードウェア］
　処理条件管理システム２０が１台のコンピュータによって実現される場合、当該コンピュータは、例えば図１８に示すような構成であってもよい。図１８は、処理条件管理システム２０の機能を実現するコンピュータ７０の一例を示す図である。コンピュータ７０は、ＣＰＵ（Central　Processing　Unit）７１、ＲＡＭ（Random　Access　Memory）７２、ＲＯＭ（Read　Only　Memory）７３、補助記憶装置７４、通信インターフェイス（Ｉ／Ｆ）７５、入出力インターフェイス（Ｉ／Ｆ）７６、およびメディアインターフェイス（Ｉ／Ｆ）７７を備える。
　ＣＰＵ７１は、ＲＯＭ７３または補助記憶装置７４に格納されたプログラムに基づいて動作し、各部の制御を行う。ＲＯＭ７３は、コンピュータ７０の起動時にＣＰＵ７１によって実行されるブートプログラムや、コンピュータ７０のハードウェアに依存するプログラム等を格納する。
　補助記憶装置７４は、例えばＨＤＤ（Hard　Disk　Drive）またはＳＳＤ（Solid　State　Drive）等であり、補助記憶装置７４によって実行されるプログラムおよび当該プログラムによって使用されるデータ等を格納する。ＣＰＵ７１は、当該プログラムを、例えば補助記憶装置７４から読み出してＲＡＭ７２上にロードし、ロードしたプログラムを実行する。通信Ｉ／Ｆ７５は、ＥＩ等の通信ＮＷ（ネットワーク）を介して他の装置からデータを受信してＣＰＵ７１へ送り、ＣＰＵ７１が生成したデータを、通信ＮＷを介して他の装置へ送信する。
　ＣＰＵ７１は、入出力Ｉ／Ｆ７６を介して、表示装置２００および入力装置２０１を制御する。ＣＰＵ７１は、入出力Ｉ／Ｆ７６を介して、入力装置２０１からデータを取得する。また、ＣＰＵ７１は、生成したデータを、入出力Ｉ／Ｆ７６を介して表示装置２００へ出力する。
　メディアＩ／Ｆ７７は、記録媒体７８に格納されたプログラムまたはデータを読み取り、補助記憶装置７４に格納する。記録媒体７８は、例えばＤＶＤ（Digital　Versatile　Disc）、ＰＤ（Phase　change　rewritable　Disk）等の光学記録媒体、ＭＯ（Magneto-Optical　disk）等の光磁気記録媒体、テープ媒体、磁気記録媒体、または半導体メモリ等である。
　コンピュータ７０のＣＰＵ７１は、ＲＡＭ７２上にロードされたプログラムを実行することにより、通信部２１、規範処理レシピ生成部２２、機差調整部２３、変更部２４、判定部２５、編集機能部２６、レシピＩＤ発行部２７、処理レシピ登録部２８、処理レシピ提供部２９、および記憶部３０の各機能を実現する。また、ＲＯＭ７３または補助記憶装置７４には、記憶部３０内のデータが格納される。
　コンピュータ７０のＣＰＵ７１は、これらのプログラムを、記録媒体７８から読み取って補助記憶装置７４に格納するが、他の例として、他の装置から、通信ＮＷを介してこれらのプログラムを取得して補助記憶装置７４に格納してもよい。
　以上、一実施形態について説明した。本実施形態の生産システム１によれば、ＭＥＳにかかる負担を低減しつつ、処理レシピ等の処理条件を集中管理することが可能となる。
　なお、本発明は、上記した実施形態に限定されるものではなく、その要旨の範囲内で数々の変形が可能である。
　例えば、処理条件管理システム２０の記憶部３０内のレシピ検索ＤＢ３１には、装置ＩＤに対応付けて、プロダクトＩＤまたはロット情報およびレシピＩＤが格納されていてもよい。この場合、通信部２１は、装置ＩＤおよびプロダクトＩＤまたはロット情報をＭＥＳ１２から受信した場合に、受信した装置ＩＤおよびプロダクトＩＤまたはロット情報に対応付けられたレシピＩＤをレシピ検索ＤＢ３１内で特定し、特定したレシピＩＤをＭＥＳ１２へ送信する。
　また、生産計画システム１０、ＦＩＣＳ１１、および処理条件管理システム２０は、１台のコンピュータによって実現されてもよく、それぞれの装置内の機能を、複数のコンピュータに分散配置させ、これらのコンピュータが、通信ＮＷを介して互いに協調動作し、複数のコンピュータが全体としてそれぞれの装置の機能を実現するようにしてもよい。特に、処理条件管理システム２０が有する記憶部３０内のデータは、処理条件管理システム２０の外部の装置内に設けられていてもよい。この場合、処理条件管理システム２０は、通信ＮＷを介して当該外部の装置にアクセスすることにより、当該外部の装置から、記憶部３０内のデータを取得する。
　以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者には明らかである。また、そのような変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。
１１　ＦＩＣＳ
２０　処理条件管理システム
２１　通信部
２９　処理レシピ提供部
３０　記憶部
４０　処理装置

Claims (12)

  1. 　工場情報制御システムと複数の処理装置とを含む生産システムに用いられる処理条件管理システムであって、
    　同種の前記複数の処理装置のそれぞれについて、前記処理装置が被処理基板に対して処理を行う際に用いられる処理条件を記憶する処理条件記憶部と、
    　前記工場情報制御システムとの間で、前記処理条件に関する情報を送信および受信する通信部と、
    　それぞれの前記処理装置から処理条件を要求された場合に、要求された処理条件を前記処理条件記憶部から読み出して要求元の処理装置に提供する処理条件提供部と
    を備えることを特徴とする処理条件管理システム。
  2. 　それぞれの前記処理装置が処理を行う際に用いられる処理条件は、処理レシピであることを特徴とする請求項１に記載の処理条件管理システム。
  3. 　前記通信部は、
    　前記処理条件に関する情報として、それぞれの前記処理レシピを識別するレシピＩＤを、前記工場情報制御システムへ送信することを特徴とする請求項２に記載の処理条件管理システム。
  4. 　前記処理条件記憶部は、
    　前記処理装置毎に、製品群を特定するプロダクトＩＤまたはロット情報、処理レシピ、および当該処理レシピを識別するレシピＩＤを対応付けて記憶し、
    　前記通信部は、
    　前記処理条件に関する情報として、処理装置を識別する装置ＩＤと、プロダクトＩＤまたはロット情報とを前記工場情報制御システムから受信した場合に、受信した装置ＩＤに対応する処理装置について、受信したプロダクトＩＤまたはロット情報に対応付けられたレシピＩＤを前記処理条件記憶部内で特定し、特定したレシピＩＤを前記工場情報制御システムへ送信することを特徴とする請求項２に記載の処理条件管理システム。
  5. 　前記処理条件記憶部は、
    　前記処理装置毎に、製品群を特定するプロダクトＩＤまたはロット情報、処理工程、処理レシピ、および当該処理レシピを識別するレシピＩＤを対応付けて記憶し、
    　前記通信部は、
    　前記処理条件に関する情報として、処理装置を識別する装置ＩＤと、プロダクトＩＤまたはロット情報と、処理工程とを前記工場情報制御システムから受信した場合に、受信した装置ＩＤに対応する処理装置について、受信したプロダクトＩＤまたはロット情報および処理工程に対応付けられている、レシピＩＤおよび処理レシピを前記処理条件記憶部内で特定し、特定したレシピＩＤおよび処理レシピの少なくともいずれかを前記工場情報制御システムへ送信することを特徴とする請求項２に記載の処理条件管理システム。
  6. 　前記処理条件記憶部は、
    　それぞれの前記処理装置について、前記処理装置の記憶部内のフォルダ構造に対応したフォルダ構造で前記処理条件を記憶することを特徴とする請求項２に記載の処理条件管理システム。
  7. 　前記処理条件記憶部は、
    　前記複数の処理装置を代表する規範装置について、当該規範装置が処理を行う際に用いられた処理レシピである規範処理レシピをさらに記憶し、
    　前記処理条件管理システムは、
    　前記規範処理レシピを参照して、それぞれの処理装置と前記規範装置との間の機差に基づいて、それぞれの処理装置の処理レシピを作成し、作成した処理レシピを、それぞれの処理装置に対応付けて前記処理条件記憶部に格納する機差調整部
    をさらに備えることを特徴とする請求項２に記載の処理条件管理システム。
  8. 　前記処理条件提供部は、
    　前記複数の処理装置のそれぞれから、前記処理装置の記憶部内にキャッシュしている処理レシピの中に処理対象の処理レシピが存在しない場合に送信される、処理対象の処理レシピに関する情報を含む処理レシピ要求を受信した場合に、受信した処理レシピ要求に含まれる情報で特定される処理レシピを、前記処理条件記憶部から読み出して要求元の処理装置に提供することを特徴とする請求項２に記載の処理条件管理システム。
  9. 　前記処理条件記憶部が記憶する処理条件の編集機能を提供する編集機能部をさらに備え、
    　前記編集機能部は、
    　同種の前記複数の処理装置が有する処理条件の編集機能および操作性と同等の編集機能および操作性を有することを特徴とする請求項２に記載の処理条件管理システム。
  10. 　前記処理条件記憶部は、
    　前記処理装置毎に、処理レシピおよび当該処理レシピを識別するレシピＩＤを対応付けて記憶し、
    　前記処理条件管理システムは、
    　新たな処理レシピが前記処理条件記憶部に格納された場合、または、前記処理条件記憶部内の処理レシピに変更が加えられた場合に、当該処理レシピに対して新たにユニークなレシピＩＤを発行するレシピＩＤ発行部をさらに備えることを特徴とする請求項２に記載の処理条件管理システム。
  11. 　前記処理条件記憶部は、
    　それぞれの前記処理装置毎に、処理レシピおよび当該処理レシピの完成度を示すステータスを対応付けて記憶し、
    　前記処理条件管理システムは、
    　それぞれの前記処理レシピが所定の属性を有するユーザによって確認されたか否かを判定する判定部と、
    　前記判定部によって、それぞれの前記処理レシピが所定の属性を有するユーザによって確認されたと判定された場合に、前記処理レシピのステータスを、前記処理レシピの確認を行ったユーザの属性に応じた完成度を示すステータスに変更する変更部と
    をさらに備えることを特徴とする請求項２に記載の処理条件管理システム。
  12. 　工場情報制御システムと、
    　複数の処理装置と、
    　処理条件管理システムと
    を備え、
    　前記処理条件管理システムは、
    　同種の前記複数の処理装置のそれぞれについて、前記処理装置が被処理基板に対して処理を行う際に用いられる処理条件を記憶する処理条件記憶部と、
    　前記工場情報制御システムとの間で、前記処理条件に関する情報を送信および受信する通信部と、
    　それぞれの前記処理装置から処理条件を要求された場合に、要求された処理条件を前記処理条件記憶部から読み出して要求元の処理装置に提供する処理条件提供部と
    を有することを特徴とする生産システム。
PCT/JP2015/081786 2014-11-21 2015-11-11 処理条件管理システムおよび生産システム WO2016080268A1 (ja)

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