JP2018010883A - 処理条件管理システムおよび生産システム - Google Patents
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Abstract
【課題】MESにかかる負担を低減しつつ、処理レシピ等の処理条件を集中管理する。
【解決手段】FICS11と複数の処理装置40とを含む生産システム1に用いられる処理条件管理システム20であって、記憶部30と、通信部21と、処理レシピ提供部29とを備える。記憶部30は、同種の複数の処理装置40のそれぞれについて、処理装置40が被処理基板に対して処理を行う際に用いられる処理レシピを記憶する。通信部21は、FICS11との間で、処理レシピに関する情報を送信および受信する。処理レシピ提供部29は、それぞれの処理装置40から処理レシピを要求された場合に、要求された処理レシピを記憶部30から読み出して要求元の処理装置40に提供する。
【選択図】図6
【解決手段】FICS11と複数の処理装置40とを含む生産システム1に用いられる処理条件管理システム20であって、記憶部30と、通信部21と、処理レシピ提供部29とを備える。記憶部30は、同種の複数の処理装置40のそれぞれについて、処理装置40が被処理基板に対して処理を行う際に用いられる処理レシピを記憶する。通信部21は、FICS11との間で、処理レシピに関する情報を送信および受信する。処理レシピ提供部29は、それぞれの処理装置40から処理レシピを要求された場合に、要求された処理レシピを記憶部30から読み出して要求元の処理装置40に提供する。
【選択図】図6
Description
本発明の種々の側面及び実施形態は、処理条件管理システムおよび生産システムに関するものである。
ウエハ等を処理する場合、処理装置は、処理方法や処理パラメータ(温度や圧力等)等を指定するデータの集まりである処理レシピに従って、ウエハ等を処理する。処理レシピは、処理装置の処理レシピ作成機能によって作成され、処理装置内の記憶部に格納される。そして、ウエハ等を処理する場合に、処理装置は、記憶部から処理レシピを読み出し、読み出した処理レシピに従って処理を実行する。また、処理レシピは、処理装置とは別のコンピュータ上で作成される場合がある。この場合、処理装置は、ウエハ等を処理する場合に、コンピュータ内に格納された処理レシピを通信ネットワーク経由でダウンロードし、ダウンロードした処理レシピに従って処理を実行する。
また、工場等の生産システムでは、生産実行システム(MES)が生産対象のウエハ等の処理レシピを処理装置に指示する。処理レシピが処理装置の記憶部内に格納されている場合、処理装置は、生産実行システム(MES)から指示された処理レシピを記憶部から読み出して処理を実行する。また、処理レシピが他のコンピュータで作成された場合、MESが他のコンピュータから処理レシピを取得して処理装置に提供する。処理装置は、MESから提供された処理レシピに従って処理を実行する。
ところで、処理装置内の記憶部に処理レシピを予め格納する場合、処理装置のオペレータが処理装置を操作する中で、変更を加えた処理レシピを誤って上書き保存してしまい、処理レシピに意図しない変更が加えられる場合がある。そのような処理レシピが用いられた場合、意図しない処理が実行されることになる。また、処理レシピは、処理工程の数だけ存在し、処理装置毎に異なる場合も多い。また、設定項目の増加に伴い処理レシピのデータサイズも大きくなっている。そのため、処理に必要な全ての処理レシピをMESが処理装置に提供するとすれば、MESにかかる処理負荷が大きい。
開示する処理条件管理システムは、工場情報制御システムと複数の処理装置とを含む生産システムに用いられる処理条件管理システムであって、同種の前記複数の処理装置のそれぞれについて、前記処理装置が被処理基板に対して処理を行う際に用いられる処理条件を記憶する処理条件記憶部と、前記工場情報制御システムとの間で、前記処理条件に関する情報を送信および受信する通信部と、それぞれの前記処理装置から処理条件を要求された場合に、要求された処理条件を前記処理条件記憶部から読み出して要求元の処理装置に提供する処理条件提供部とを備える。
開示する処理条件管理システムの1つの態様によれば、MESにかかる負担を低減しつつ、処理レシピ等の処理条件を集中管理することが可能となる。
開示する処理条件管理システムは、1つの実施形態において、工場情報制御システムと複数の処理装置とを含む生産システムに用いられる処理条件管理システムであって、処理条件記憶部と、通信部と、処理条件提供部とを備える。処理条件記憶部は、同種の複数の処理装置のそれぞれについて、処理装置が被処理基板に対して処理を行う際に用いられる処理条件を記憶する。通信部は、工場情報制御システムとの間で、処理条件に関する情報を送信および受信する。処理条件提供部は、それぞれの処理装置から処理条件を要求された場合に、要求された処理条件を処理条件記憶部から読み出して要求元の処理装置に提供する。
また、開示する処理条件管理システムの1つの実施形態において、それぞれの処理装置が処理を行う際に用いられる処理条件は、処理レシピであってもよい。
また、開示する処理条件管理システムの1つの実施形態において、通信部は、処理条件に関する情報として、それぞれの処理レシピを識別するレシピIDを、工場情報制御システムへ送信してもよい。
また、開示する処理条件管理システムの1つの実施形態において、処理条件記憶部は、処理装置毎に、製品群を特定するロット情報、処理レシピ、および当該処理レシピを識別するレシピIDを対応付けて記憶してもよく、通信部は、処理条件に関する情報として、処理装置を識別する装置IDと、ロット情報とを工場情報制御システムから受信した場合に、受信した装置IDに対応する処理装置について、受信したロット情報に対応付けられたレシピIDを処理条件記憶部内で特定し、特定したレシピIDを工場情報制御システムへ送信してもよい。
また、開示する処理条件管理システムの1つの実施形態において、処理条件記憶部は、処理装置毎に、製品群を特定するロット情報、処理工程、処理レシピ、および当該処理レシピを識別するレシピIDを対応付けて記憶してもよく、通信部は、処理条件に関する情報として、処理装置を識別する装置IDと、ロット情報と、処理工程とを工場情報制御システムから受信した場合に、受信した装置IDに対応する処理装置について、受信したロット情報および処理工程に対応付けられている、レシピIDおよび処理レシピを処理条件記憶部内で特定し、特定したレシピIDおよび処理レシピの少なくともいずれかを工場情報制御システムへ送信してもよい。
また、開示する処理条件管理システムの1つの実施形態において、処理条件記憶部は、それぞれの処理装置について、処理装置の記憶部内のフォルダ構造に対応したフォルダ構造で処理条件を記憶してもよい。
また、開示する処理条件管理システムの1つの実施形態において、処理条件記憶部は、複数の処理装置を代表する規範装置について、当該規範装置が処理を行う際に用いられた処理レシピである規範処理レシピをさらに記憶してもよく、処理条件管理システムは、規範処理レシピを参照して、それぞれの処理装置と規範装置との間の機差に基づいて、それぞれの処理装置の処理レシピを作成し、作成した処理レシピを、それぞれの処理装置に対応付けて処理条件記憶部に格納する機差調整部をさらに備えてもよい。
また、開示する処理条件管理システムの1つの実施形態において、処理条件提供部は、複数の処理装置のそれぞれから、処理装置の記憶部内にキャッシュしている処理レシピの中に処理対象の処理レシピが存在しない場合に送信される、処理対象の処理レシピに関する情報を含む処理レシピ要求を受信した場合に、受信した処理レシピ要求に含まれる情報で特定される処理レシピを、処理条件記憶部から読み出して要求元の処理装置に提供してもよい。
また、開示する処理条件管理システムは、1つの実施形態において、処理条件記憶部が記憶する処理条件の編集機能を提供する編集機能部をさらに備えてもよく、編集機能部は、同種の複数の処理装置が有する処理条件の編集機能および操作性と同等の編集機能および操作性を有していてもよい。
また、開示する処理条件管理システムの1つの実施形態において、処理条件記憶部は、処理装置毎に、処理レシピおよび当該処理レシピを識別するレシピIDを対応付けて記憶してもよく、処理条件管理システムは、新たな処理レシピが処理条件記憶部に格納された場合、または、処理条件記憶部内の処理レシピに変更が加えられた場合に、当該処理レシピに対して新たにユニークなレシピIDを発行するレシピID発行部をさらに備えてもよい。
また、開示する処理条件管理システムの1つの実施形態において、処理条件記憶部は、それぞれの処理装置毎に、処理レシピおよび当該処理レシピの完成度を示すステータスを対応付けて記憶してもよく、処理条件管理システムは、それぞれの処理レシピが所定の属性を有するユーザによって確認されたか否かを判定する判定部と、判定部によって、それぞれの処理レシピが所定の属性を有するユーザによって確認されたと判定された場合に、処理レシピのステータスを、処理レシピの確認を行ったユーザの属性に応じた完成度を示すステータスに変更する変更部とをさらに備えてもよい。
また、開示する生産システムは、1つの実施形態において、工場情報制御システムと、複数の処理装置と、処理条件管理システムとを備える。処理条件管理システムは、処理条件記憶部と、通信部と、処理条件提供部とを有する。処理条件記憶部は、同種の複数の処理装置のそれぞれについて、処理装置が被処理基板に対して処理を行う際に用いられる処理条件を記憶する。通信部は、工場情報制御システムとの間で、処理条件に関する情報を送信および受信する。処理条件提供部は、それぞれの処理装置から処理条件を要求された場合に、要求された処理条件を処理条件記憶部から読み出して要求元の処理装置に提供する。
以下に、開示する処理条件管理システムおよび生産システムの実施形態について、図面に基づいて詳細に説明する。なお、本実施形態により開示する発明が限定されるものではない。各実施形態は、処理内容を矛盾させない範囲で適宜組み合わせることが可能である。
[生産システム1の全体構成]
図1は、生産システム1の一例を示すシステム構成図である。生産システム1は、生産計画システム10、工場情報制御システム(FICS:Factory Information Control System)11、処理条件管理システム20、および複数の処理装置40−1〜40−nを備える。FICS11、処理条件管理システム20、および各処理装置40は、例えばEI(Equipment Interface)等を介して通信可能に接続されている。ただし、FICS11、処理条件管理システム20、および各処理装置40の間の接続方式は、EI等に限定されず、他の接続方式であってもよい。
図1は、生産システム1の一例を示すシステム構成図である。生産システム1は、生産計画システム10、工場情報制御システム(FICS:Factory Information Control System)11、処理条件管理システム20、および複数の処理装置40−1〜40−nを備える。FICS11、処理条件管理システム20、および各処理装置40は、例えばEI(Equipment Interface)等を介して通信可能に接続されている。ただし、FICS11、処理条件管理システム20、および各処理装置40の間の接続方式は、EI等に限定されず、他の接続方式であってもよい。
生産計画システム10は、生産システム1のユーザ等から受け付けた製品毎の生産量や納期に基づいて、製品毎の生産計画を作成し、FICS11に提供する。
FICS11は、生産実行システム(MES)12、Factory RMS(Recipe Management System)13、APC(Advanced Process Control)14、およびAEC(Advanced Equipment Control)15を有する。
APC14は、各処理装置40によって処理された後の被処理基板(ウエハ)の測定値から処理レシピに含まれるパラメータ毎の調整値であるAPC_VP(Variable Parameter)を算出してMES12へ送る。
AEC15は、各処理装置40の状態を測定し、測定値から処理レシピに含まれるパラメータ毎の調整値であるAEC_VP(Variable Parameter)を算出してMES12および処理条件管理システム20へ送る。
MES12は、それぞれの処理装置40の稼働状況を管理し、生産計画システム10によって作成された生産計画と、それぞれの処理装置40の稼働状況とに基づいて、「どの製品」の「どの工程」を「どの処理装置」に実行させるかを決定する。そして、MES12は、各製品について、製品のロット情報、生産工程の工程ID、およびその工程を実行する処理装置40の装置IDを処理条件管理システム20へ送信する。本実施形態において、ロット情報には、製品を識別する製品IDが含まれている。
そして、MES12は、処理条件管理システム20からレシピIDを受信し、受信したレシピIDを、その時点までに取得した最新のAPC_VPと共に、処理を実行させる処理装置40へ送る。
処理装置40は、被処理基板であるウエハを処理する処理チャンバを有する。処理装置40は、MES12からレシピIDとAPC_VPを受信した場合に、受信したレシピIDに対応する処理レシピおよび装置パラメータが、処理装置40のメモリ内のキャッシュ領域に存在するか否かを判定する。受信したレシピIDに対応する処理レシピおよび装置パラメータが、処理装置40のメモリ内のキャッシュ領域に存在する場合、処理装置40は、処理レシピおよび装置パラメータと、受信したAPC_VPとに基づいて、処理チャンバを用いて、ウエハに対して処理を実行する。
装置パラメータとは、処理装置40に特有の項目毎の設定値(例えば、ディップスイッチの状態など)の情報である。本実施形態において、処理レシピは、被処理基板に対する処理の条件を記述した処理条件の一例である。なお、処理条件には、処理レシピの他に、装置パラメータ等が含まれていてもよい。
一方、MES12から受信したレシピIDに対応する処理レシピおよび装置パラメータがキャッシュ領域に存在しない場合、処理装置40は、受信したレシピIDを含むレシピ要求を処理条件管理システム20へ送信する。そして、処理装置40は、処理レシピおよび装置パラメータを処理条件管理システム20から取得し、取得した処理レシピ等をメモリ内のキャッシュ領域に保存する。そして、処理装置40は、取得した処理レシピおよび装置パラメータと、MES12から受信したAPC_VPとに基づいて、処理チャンバを用いて、ウエハに対して処理を実行する。
本実施形態において、それぞれの処理装置40は、同種の処理装置である。同種の処理装置とは、例えば、製造メーカ、シリーズ、型番などが同一の処理装置である。また、本実施形態において、それぞれの処理装置40は、1つの処理装置であり、例えば、1つの装置が複数の処理チャンバを有する場合、それぞれの処理チャンバが本実施形態でいうところの処理装置40に相当する。
処理条件管理システム20は、それぞれの製品を識別する製品ID、それぞれの生産工程を識別する工程ID、およびそれぞれの処理装置40を識別する装置IDに対応付けて、処理レシピのレシピIDを格納したレシピ検索DB(データベース)を有する。処理条件管理システム20は、MES12からロット情報、工程ID、および装置IDを受信した場合に、ロット情報から製品IDを抽出し、レシピ検索DBを参照して、製品ID、工程ID、および装置IDに対応付けられているレシピIDを特定する。そして、処理条件管理システム20は、特定したレシピIDをMES12へ送信する。
また、処理条件管理システム20は、レシピIDに対応付けて、処理レシピを保持しており、各処理装置40からレシピIDを含むレシピ要求を受信した場合に、レシピIDに対応する処理レシピ等を、保持している処理レシピの中から読み出して処理装置40に提供する。
[処理装置40の構成]
図2は、処理装置40の機能構成の一例を示すブロック図である。処理装置40は、処理実行部42、キャッシュ制御部43、レシピ編集部44、操作部45、表示部46、および記憶部50を有する。記憶部50には、レシピ実行領域51およびキャッシュ領域54が設けられる。レシピ実行領域51には、非生産モード用処理レシピ記憶領域52および生産モード用処理レシピ記憶領域53が設けられる。
図2は、処理装置40の機能構成の一例を示すブロック図である。処理装置40は、処理実行部42、キャッシュ制御部43、レシピ編集部44、操作部45、表示部46、および記憶部50を有する。記憶部50には、レシピ実行領域51およびキャッシュ領域54が設けられる。レシピ実行領域51には、非生産モード用処理レシピ記憶領域52および生産モード用処理レシピ記憶領域53が設けられる。
非生産モード用処理レシピ記憶領域52には、例えば図3に示すように、テストID521、製品ID522、工程ID523、装置型式524、装置ID525、処理レシピ526、および装置パラメータ527が対応付けて格納される。テストID521は、テスト段階のそれぞれの処理レシピ526を識別する情報である。装置型式524は、装置ID525で識別される処理装置40の型式である。処理レシピ526には、例えば、各処理ステップについて、設定すべきパラメータ(圧力、温度、継続時間など)毎の設定値を示す情報が格納される。装置パラメータ527には、例えば、各処理ステップについて、処理装置40に特有の項目毎の設定値(例えば、ディップスイッチの状態など)を示す情報が格納される。
なお、処理レシピ526を処理条件管理システム20に登録する段階では、製品ID522、工程ID523、装置型式524、および装置ID525の欄に所定の情報が登録されている必要があるが、処理レシピ526のテストを行う段階では、これらの情報は未登録であってもよい。
生産モード用処理レシピ記憶領域53には、例えば図4に示すように、レシピID531、処理レシピ532、装置パラメータ533、およびAEC_VP534が対応付けて格納される。レシピID531は、生産用に承認されたそれぞれの処理レシピ532を識別する情報である。AEC_VP534には、例えば、処理装置40の状態の変化に伴って調整される、処理レシピに含まれるパラメータ毎の調整値の情報が格納される。
キャッシュ領域54には、例えば図5に示すように、レシピID541、処理レシピ542、装置パラメータ543、およびAEC_VP544が対応付けて格納される。
図2に戻って説明を続ける。キャッシュ制御部43は、MES12から処理の開始を指示された場合に、生産モード用処理レシピ記憶領域53内のデータ、および、キャッシュ領域54内のデータを消去する。そして、キャッシュ制御部43は、MES12からレシピIDおよびAPC_VPを受信した場合に、受信したレシピIDを含むレシピ要求を処理条件管理システム20へ送信する。
そして、キャッシュ制御部43は、処理条件管理システム20から提供された処理レシピ、装置パラメータ、およびAEC_VP(以下、処理レシピ等と呼ぶ。)を、MES12から受信したレシピIDに対応付けて、キャッシュ領域54および生産モード用処理レシピ記憶領域53にそれぞれ格納する。そして、キャッシュ制御部43は、MES12から受信したレシピIDおよびAPC_VPを処理実行部42へ送る。
また、MES12から、再びレシピIDおよびAPC_VPを受信した場合、キャッシュ制御部43は、受信したレシピIDに対応する処理レシピ等がキャッシュ領域54内に存在するか否かを判定する。受信したレシピIDに対応する処理レシピ等がキャッシュ領域54内に存在する場合、キャッシュ制御部43は、該当する処理レシピ等をキャッシュ領域54から読み出して、生産モード用処理レシピ記憶領域53に格納する。そして、キャッシュ制御部43は、MES12から受信したレシピIDおよびAPC_VPを処理実行部42へ送る。
一方、処理レシピ等がキャッシュ領域54内に存在しない場合、キャッシュ制御部43は、レシピIDを含むレシピ要求を処理条件管理システム20へ送信することにより、処理条件管理システム20から処理レシピ等を取得する。そして、キャッシュ制御部43は、処理条件管理システム20から取得した処理レシピ等を、キャッシュ領域54および生産モード用処理レシピ記憶領域53にそれぞれ格納する。そして、キャッシュ制御部43は、MES12から受信したレシピIDおよびAPC_VPを処理実行部42へ送る。
処理実行部42は、キャッシュ制御部43から、レシピIDおよびAPC_VPを受け取った場合に、レシピIDに対応付けられた処理レシピ、装置パラメータ、およびAEC_VPを生産モード用処理レシピ記憶領域53から読出す。そして、処理実行部42は、生産モード用処理レシピ記憶領域53から読み出した処理レシピ、装置パラメータ、およびAEC_VPと、キャッシュ制御部43から受け取ったAPC_VPとに基づいて、処理チャンバを用いて、ウエハに対して処理を実行する。ウエハに対する処理が終了した場合、処理実行部42は、終了した処理に用いた処理レシピ、装置パラメータ、およびAEC_VPを生産モード用処理レシピ記憶領域53から削除する。
このように、処理レシピ等に基づいたウエハに対する処理の終了後に、処理実行部42は、処理が終了した処理レシピ等を生産モード用処理レシピ記憶領域53から削除する。これにより、処理装置40内に残っている古い処理レシピ等に基づいて、ウエハに対して処理が実行されてしまうことを防止することができる。また、処理条件管理システム20内に最新の処理レシピ等が保持されていれば、処理装置40内の処理レシピ等を、処理条件管理システム20内の最新の処理レシピ等と同期させることができる。
また、MES12から指示されたレシピIDに対応する処理レシピ等がキャッシュ領域54内に存在すれば、キャッシュ領域54内の処理レシピ等を生産モード用処理レシピ記憶領域53に展開してウエハに対する処理を開始することができるため、処理レシピ等の取得にかかる待ち時間を短縮することができる。
レシピ編集部44は、操作部45を介した処理装置40のオペレータからの操作に応じて、非生産モード用処理レシピ記憶領域52内の処理レシピおよび装置パラメータ等を編集する。レシピ編集部44は、非生産モード用処理レシピ記憶領域52内の処理レシピおよび装置パラメータ等が編集された場合に、操作部45を介したオペレータからの操作に応じて、編集された処理レシピおよび装置パラメータ等に対応付けられたテストIDを処理実行部42へ送る。
処理実行部42は、レシピ編集部44から受け取ったテストIDに対応付けられた処理レシピおよび装置パラメータを非生産モード用処理レシピ記憶領域52から読出す。そして、処理実行部42は、非生産モード用処理レシピ記憶領域52から読み出した処理レシピおよび装置パラメータに基づいて、処理チャンバを用いて、ウエハに対して処理を実行する。なお、非生産モード用処理レシピ記憶領域52から読み出した処理レシピおよび装置パラメータに基づく処理を行った後は、処理実行部42は、終了した処理に対応する処理レシピ等を非生産モード用処理レシピ記憶領域52から自動的に削除しない。
また、レシピ編集部44は、非生産モード用処理レシピ記憶領域52内のデータを表示したり、編集したりすることはできるが、生産モード用処理レシピ記憶領域53内のデータについては、表示も編集も行うことができない。これにより、生産モード用として承認された処理レシピ等の持ち出しや、不用意な書き換え等を防止することができる。
また、レシピ編集部44は、処理条件管理システム20に登録する処理レシピ等のテストIDをオペレータから指定された場合に、テストIDに対応付けられた製品ID、工程ID、装置型式、装置ID、処理レシピ、および装置パラメータを非生産モード用処理レシピ記憶領域52から読み出す。そして、レシピ編集部44は、読み出した製品ID、工程ID、装置型式、装置ID、処理レシピ、および装置パラメータを含む登録要求を処理条件管理システム20へ送信する。
[処理条件管理システム20の構成]
図6は、処理条件管理システム20の機能構成の一例を示すブロック図である。処理条件管理システム20は、通信部21、規範処理レシピ生成部22、機差調整部23、変更部24、判定部25、編集機能部26、レシピID発行部27、処理レシピ登録部28、処理レシピ提供部29、および記憶部30を備える。記憶部30には、レシピ検索DB31、規範処理レシピ記憶領域32、および複数の処理レシピ記憶領域33が設けられる。
図6は、処理条件管理システム20の機能構成の一例を示すブロック図である。処理条件管理システム20は、通信部21、規範処理レシピ生成部22、機差調整部23、変更部24、判定部25、編集機能部26、レシピID発行部27、処理レシピ登録部28、処理レシピ提供部29、および記憶部30を備える。記憶部30には、レシピ検索DB31、規範処理レシピ記憶領域32、および複数の処理レシピ記憶領域33が設けられる。
レシピ検索DB31には、例えば図7に示すように、製品ID310、工程ID311、装置型式312、装置ID313、レシピID314、およびステータス315が対応付けて格納される。ステータス315は、対応する処理レシピの完成度を示す。本実施形態において、ステータス315には、例えば、「Certified」、「Checked」、「Verified」、および「Created」の4種類のいずれかが格納される。「Created」は、例えば、処理レシピが作成中または作成済みの状態を示す。「Verified」は、例えば、処理レシピが文法確認済みの状態を示し、機能性試験に移行可能な状態を示す。「Checked」は、例えば、処理レシピが動作確認済みの状態を示し、機能性能が確認された状態を示す。「Certified」は、例えば、処理レシピが使用承認済みの状態であることを示し、生産における使用が許可された状態を示す。
レシピ検索DB31には、記憶部30内に格納されている全ての処理レシピ(後述する規範処理レシピを含む)のレシピIDが格納されている。なお、製品ID310、工程ID311、装置型式312、および装置ID313のそれぞれの組み合わせには、複数のレシピID314が対応付けられてもよい。ただし、本実施形態において、製品ID310、工程ID311、装置型式312、および装置ID313のそれぞれの組み合わせに対応付けられたレシピIDの中で、「Certified」のステータスが対応付けられているレシピIDは1つである。
規範処理レシピ記憶領域32には、例えば図8に示すように、レシピID321に対応付けて、規範処理レシピ322が格納される。規範処理レシピ322とは、いずれかの処理装置40で作成された処理レシピおよび装置パラメータに基づいて生成された、規範となる処理装置40における処理レシピである。規範となる処理装置40とは、例えば、設定値に対する出力値が仕様の中心となる、各種処理条件に対する応答が経時変化しない、などの理想的な振る舞いをする仮想的な処理装置40である。
処理レシピ記憶領域33は、処理装置40毎に1つずつ設けられる。例えば、処理レシピ記憶領域33−1には、処理装置40−1に設定される処理レシピ等が格納され、処理レシピ記憶領域33−2には、処理装置40−2に設定される処理レシピ等が格納される。それぞれの処理レシピ記憶領域33には、非生産モード用処理レシピ記憶領域34および生産モード用処理レシピ記憶領域35が設けられる。
非生産モード用処理レシピ記憶領域34には、例えば図9に示すように、レシピID341、ステータス342、処理レシピ343、および装置パラメータ344が対応付けて格納される。レシピID341は、処理レシピ343の識別情報である。ステータス342は、処理レシピ343の完成度を示す。装置パラメータ344は、処理レシピ343を適用する際に、対応する処理装置40に設定される処理装置40に固有のパラメータである。
生産モード用処理レシピ記憶領域35には、例えば図10に示すように、レシピID351、ステータス352、処理レシピ353、装置パラメータ354、およびAEC_VP355が対応付けて格納される。レシピID351は、処理レシピ353の識別情報である。ステータス352は、処理レシピ353の完成度を示す。装置パラメータ354は、処理レシピ353を適用する際に、対応する処理装置40に設定される処理装置40に固有のパラメータである。AEC_VP355は、対応する処理装置40と、他の処理装置40との間における装置間の機差を調整するパラメータである。機差とは、処理装置40間において、処理の条件(例えば処理レシピ)に含まれるパラメータの各設定値に対する出力または作用強度の差である。
なお、本実施形態において、処理レシピ記憶領域33等に格納されている処理レシピは、例えば図11に示すように、処理レシピの一部が他の処理レシピを呼び出す形でリンクしているリンクドレシピの構造を有している。図11は、処理レシピのフォルダ構造の一例を示す概念図である。
1つの処理レシピのデータは、例えば、図11に示すように、1つのフォルダ60内に格納される。本実施例において、それぞれの処理レシピは、フォルダ60毎に上位のフォルダ60が下位のフォルダ60を参照する階層構造を有している。
また、本実施形態において、処理条件管理システム20の記憶部30に格納されている処理レシピは、処理装置40の記憶部50に格納されている処理レシピと、同一の階層構造および同一のフォルダ構造を有する。これにより、フォルダ毎の管理ルール(例えばユーザのアクセス権管理など)を、処理装置40の記憶部50内の処理レシピと同一にすることができる。これにより、処理条件管理システム20においても、処理装置40内で処理レシピを管理する場合と同様の操作性を実現することができる。
なお、処理条件管理システム20の記憶部30に格納されている段階では、各処理レシピの一部が、他の処理レシピにリンクしている場合があるが、処理装置40へ送られる場合には、参照先の処理レシピの情報も含む形の1つの処理レシピのデータとして処理装置40へ送られる。そのため、各処理装置40では、処理の実行時には、処理条件管理システム20へアクセスすることなく、処理装置40の記憶部50内の情報を用いて処理を行うことができる。
通信部21は、MES12から、ロット情報、工程ID、および装置IDを受信した場合に、製品IDを含むロット情報から製品IDを抽出する。そして、通信部21は、記憶部30内のレシピ検索DB31を参照し、製品ID、工程ID、および装置IDに対応付けられたレシピIDの中で、「Certified」のステータスが対応付けられているレシピIDを抽出する。そして、通信部21は、抽出したレシピIDをMES12へ送信する。なお、通信部21は、抽出したレシピIDに対応する処理レシピ等を、抽出したレシピIDに代えて、あるいは、抽出したレシピIDと共に、MES12へ送信してもよい。
レシピID発行部27は、機差調整部23、編集機能部26、または処理レシピ登録部28からレシピIDの新規発行を依頼された場合に、ユニークなレシピIDを新規に発行する。そして、レシピID発行部27は、発行したレシピIDを依頼元の機差調整部23、編集機能部26、または処理レシピ登録部28へ送る。レシピID発行部27は、発行済みのレシピIDを管理しており、レシピIDの新規発行を依頼された場合に、発行済みのいずれのレシピIDとも重複しないレシピIDを新規に発行する。これにより、生産システム1に用いられる処理レシピ等に重複したレシピIDが割り当てられることを防止することができる。
処理レシピ登録部28は、処理装置40から、製品ID、工程ID、装置型式、装置ID、処理レシピ、および装置パラメータを含む登録要求を受信した場合に、レシピID発行部27にレシピIDの新規発行を依頼する。そして、処理レシピ登録部28は、レシピID発行部27から発行されたレシピIDを、「Created」のステータスと共に、登録要求に含まれる製品ID、工程ID、装置型式、および装置IDに対応付けて、レシピ検索DB31に登録する。
また、処理レシピ登録部28は、レシピID発行部27から発行されたレシピIDに対応付けて、登録要求に含まれている処理レシピおよび装置パラメータを、「Created」のステータスと共に、登録要求の送信元の処理装置40に対応する処理レシピ記憶領域33内の非生産モード用処理レシピ記憶領域34(図9参照)に登録する。
処理レシピ提供部29は、処理装置40からレシピIDを含むレシピ要求を受信した場合に、当該処理装置40に対応付けられた処理レシピ記憶領域33内の生産モード用処理レシピ記憶領域35から、レシピ要求に含まれているレシピIDに対応付けられている処理レシピ、装置パラメータ、およびAEC_VPを抽出する。そして、処理レシピ提供部29は、抽出した処理レシピ、装置パラメータ、およびAEC_VPを、レシピ要求の送信元の処理装置40に提供する。
編集機能部26は、入力装置201を介したユーザからの操作に応じて、処理レシピ記憶領域33内の非生産モード用処理レシピ記憶領域34または生産モード用処理レシピ記憶領域35から処理レシピおよび装置パラメータを読み出して表示装置200に表示する。そして、編集機能部26は、ユーザからの操作に応じて、処理レシピ記憶領域33から読み出した処理レシピおよび装置パラメータを編集する。編集機能部26は、各処理装置40が有する処理レシピ等の編集機能と同等の編集機能を提供する。また、編集機能部26は、各処理装置40が有する処理レシピ等の編集における操作性と同等の操作性を提供する。
同等の編集機能および操作性とは、例えば、パラメータの名称、種類、配列、パラメータセットの時系列での表記方法(ステップ記述)などが少なくとも共通であることをいう。また、例えば、各パラメータの設定範囲や混合禁忌などの設定ルールの適用とルール違反設定などへの警告やインターロック等の機能も共通であることが好ましい。また、画面の表示は完全に同一でなくてもよいが、できる限り類似していることが好ましい。これにより、ユーザは、クルーンルームに入って処理装置40の操作パネルを操作しているのと同様の操作感覚で、入力装置201を介して処理レシピ等を編集することができる。
また、編集機能部26は、入力装置201を介したユーザからの操作に応じて処理レシピ等が変更された場合、レシピID発行部27に要求して、変更後の処理レシピ等に対してレシピIDの新規発行を依頼する。そして、編集機能部26は、レシピID発行部27によって新規に発行されたレシピIDに対応付けて、変更後の処理レシピ等を処理レシピ記憶領域33内の非生産モード用処理レシピ記憶領域34または生産モード用処理レシピ記憶領域35に格納する。
そして、編集機能部26は、変更前の処理レシピ等に対応するレシピIDに対応付けられている製品ID、工程ID、装置型式、装置ID、およびステータスを、レシピ検索DB31から抽出し、抽出したこれらの情報に対応付けて、新規に発行されたレシピIDをレシピ検索DB31に登録する。
このように、ユーザからの操作に応じて処理レシピが変更された場合に、変更後の処理レシピが、新規に発行されたレシピIDに対応付けて処理レシピ記憶領域33に格納される。そして、それぞれの処理装置40からのレシピ要求に応じて、要求された処理レシピ等が、各処理装置40に自動的に提供される。これにより、処理条件管理システム20において処理レシピ等に対して行われた作業が自動的に全ての処理装置40に展開され適用される。そのため、変更後の処理レシピ等が処理装置40に確実に提供され、提供すべき処理レシピ等を、作業者が間違える等のミスを防止することができる。
また、USB(Universal Serial Bus)メモリ等の記憶媒体経由で処理レシピ等を、処理レシピの編集を行ったコンピュータから処理装置40に格納させる場合には、処理レシピの持ち運びによるセキュリティの低下および業務効率の低下が懸念される。これに対し、本実施形態では、処理条件管理システム20において管理されている処理レシピ等が、オンラインで各処理装置40に提供されるため、セキュリティの低下や業務効率の低下を抑制することができる。
判定部25は、処理レシピ等が変更された場合に、変更を行ったユーザの属性を判定し、変更された処理レシピ等のステータスを変更するか否かを判定する。判定部25は、例えば、ユーザの属性毎に、当該属性のユーザが表示または変更した処理レシピ等に対して割り当てられるステータスを予め保持している。そして、判定部25は、例えば、変更前の処理レシピ等に割り当てられているステータスと、変更を行ったユーザの属性に対応するステータスとが異なる場合に、変更後の処理レシピ等に割り当てられるステータスを、変更を行ったユーザの属性に対応するステータスに変更すると判定する。
ここで、変更前の処理レシピ等に割り当てられているステータスが「Certified」であり、変更後の処理レシピ等に割り当てられるステータスが「Certified」となる場合、変更により新規にレシピIDが割り当てられることにより、製品ID、工程ID、装置型式、および装置IDが同一の組み合わせに対して、「Certified」のステータスが対応付けられているレシピIDが複数存在することになる。そのため、新たに発行されたレシピIDに対応付けられたステータスが「Certified」である場合、製品ID、工程ID、装置型式、および装置IDが同一の組み合わせに対して、「Certified」のステータスが対応付けられている他のレシピIDのステータスは、「Certified」以外のステータス(例えば1つ下位のステータスである「Checked」)に変更される。
また、判定部25は、編集機能部26によって表示された処理レシピ等が変更されていない場合であっても、処理レシピ等を表示させたユーザの属性を判定し、処理レシピ等のステータスを変更するか否かを判定する。判定部25は、例えば、表示された処理レシピ等に割り当てられているステータスが、当該処理レシピ等を表示させたユーザの属性に対応付けられているステータスよりも下位のステータスである場合、表示された処理レシピ等に割り当てられるステータスを、当該処理レシピ等を表示させたユーザの属性に対応付けられているステータスに変更すると判定する。
例えば、表示された処理レシピ等に割り当てられているステータスが「Created」であり、当該処理レシピ等を表示させたユーザの属性に対応付けられているステータスが「Verified」である場合、判定部25は、表示された処理レシピ等に割り当てられるステータスを、「Created」から「Verified」に変更すると判定する。例えば、エンジニアが作成して処理条件管理システム20に登録した「Created」のステータスの処理レシピ等を、上司等の所定の権限を有するユーザが表示させ、文法の確認等を行った場合に、判定部25は、当該処理レシピ等のステータスを「Created」から「Verified」に変更すると判定する。
一方、表示された処理レシピ等に割り当てられているステータスが、例えば「Checked」であり、当該処理レシピ等を表示させたユーザの属性に対応するステータスが、例えば「Checked」よりも下位のステータスである「Verified」である場合、判定部25は、表示された処理レシピ等に割り当てられるステータスを変更不要と判定する。
変更部24は、判定部25によって処理レシピ等のステータスを変更すると判定された場合に、処理レシピ記憶領域33内の処理レシピ等に対応付けられているステータスを変更する。また、変更部24は、処理レシピ記憶領域33内の処理レシピ等のステータスを変更した場合、レシピ検索DB31内のステータスも併せて変更する。
規範処理レシピ生成部22は、いずれかの処理レシピ記憶領域33内の非生産モード用処理レシピ記憶領域34内の処理レシピおよび装置パラメータに対応付けられているステータスを監視する。そして、規範処理レシピ生成部22は、ステータスが「Certified」に変更になった処理レシピおよび装置パラメータを、非生産モード用処理レシピ記憶領域34から読み出す。そして、規範処理レシピ生成部22は、読み出した処理レシピおよび装置パラメータに基づいて、規範装置で同様の処理が実現される場合の処理レシピである規範処理レシピを生成する。なお、非生産モード用処理レシピ記憶領域34から読み出された装置パラメータは、規範処理レシピに含まれるパラメータの値として、規範処理レシピ内に組み入れられる。
そして、規範処理レシピ生成部22は、レシピID発行部27に、生成した規範処理レシピに対するレシピIDの新規発行を依頼する。そして、規範処理レシピ生成部22は、レシピID発行部27によって新規に発行されたレシピIDに対応付けて、生成した規範処理レシピを、規範処理レシピ記憶領域32に格納する。
機差調整部23は、それぞれの処理装置40について、規範装置との機差を調整する調整値を算出する。そして、機差調整部23は、処理装置40毎に、算出した調整値を規範処理レシピに適用することで、処理レシピおよび装置パラメータを算出する。そして、機差調整部23は、処理装置40毎に、算出した処理レシピおよび装置パラメータについて、レシピID発行部27に、レシピIDの新規発行を依頼する。
また、機差調整部23は、処理装置40毎に、その時点での最新のAEC_VPをAEC15から取得する。そして、機差調整部23は、処理装置40毎に、「Certified」のステータス、処理レシピ、装置パラメータ、およびAEC_VPを、新規に発行されたレシピIDに対応付けて、処理レシピ記憶領域33内の生産モード用処理レシピ記憶領域35に格納する。
また、機差調整部23は、所定のタイミング毎に、それぞれの処理装置40について、処理装置40の状態の変化を示すAEC_VPをAEC15から取得する。そして、機差調整部23は、処理装置40毎に、生産モード用処理レシピ記憶領域35内のAEC_VPの値を、取得したAEC_VPの値で更新する。そして、機差調整部23は、レシピID発行部27に要求して、更新したAEC_VPに対応付けられているそれぞれのレシピIDに対して、新たなレシピIDの発行を依頼する。
そして、機差調整部23は、生産モード用処理レシピ記憶領域35内において、更新したAEC_VPに対応付けられているそれぞれのレシピIDを、レシピID発行部27によって新たに発行されたレシピIDに置き換える。また、機差調整部23は、レシピ検索DB31内においても、同様にレシピIDの置き換えを行う。これにより、処理レシピおよび装置パラメータが同一であっても、AEC_VPの値が変わるたびに、異なるレシピIDが割り当てられるため、古いAEC_VPの値が対応付けられた処理レシピが使い続けられることを防止することができる。
[処理装置40による処理レシピの作成処理]
図12は、処理装置40による処理レシピの作成処理の一例を示すフローチャートである。
図12は、処理装置40による処理レシピの作成処理の一例を示すフローチャートである。
まず、レシピ編集部44は、処理レシピおよび装置パラメータ等を非生産モード用処理レシピ記憶領域52から読み出す。そして、レシピ編集部44は、読み出した処理レシピおよび装置パラメータ等を表示部46に表示し、操作部45を介した処理装置40のオペレータからの操作に応じて、読み出した処理レシピおよび装置パラメータ等を編集する(S100)。
次に、レシピ編集部44は、操作部45を介したオペレータからの操作に応じて、編集された処理レシピおよび装置パラメータ等に対応付けられたテストIDを処理実行部42へ送る。処理実行部42は、レシピ編集部44から受け取ったテストIDに対応付けられた処理レシピおよび装置パラメータを非生産モード用処理レシピ記憶領域52から読出す。そして、処理実行部42は、非生産モード用処理レシピ記憶領域52から読み出した処理レシピおよび装置パラメータに基づいて、ウエハに対して処理を実行する(S101)。
次に、レシピ編集部44は、操作部45を介して、テストIDと共に、処理レシピ等を処理条件管理システム20に登録する指示を受け付けたか否かを判定する(S102)。処理レシピ等を処理条件管理システム20に登録する指示を受け付けていない場合(S102:No)、レシピ編集部44は、再びステップS100に示した処理を実行する。
一方、処理レシピ等を処理条件管理システム20に登録する指示を受け付けた場合(S102:Yes)、レシピ編集部44は、テストIDに対応付けられた製品ID、工程ID、装置型式、装置ID、処理レシピ、および装置パラメータを、非生産モード用処理レシピ記憶領域52から読み出す。そして、レシピ編集部44は、読み出した製品ID、工程ID、装置型式、装置ID、処理レシピ、および装置パラメータを含む登録要求を処理条件管理システム20へ送信する(S103)。そして、処理装置40は、本フローチャートに示した処理を終了する。
[処理レシピ等に基づいたウエハの処理]
図13は、処理レシピ等に基づいたウエハの処理の一例を示すフローチャートである。例えば、MES12から処理の開始を指示された場合に、処理装置40は、本フローチャートに示す処理を開始する。
図13は、処理レシピ等に基づいたウエハの処理の一例を示すフローチャートである。例えば、MES12から処理の開始を指示された場合に、処理装置40は、本フローチャートに示す処理を開始する。
まず、キャッシュ制御部43は、生産モード用処理レシピ記憶領域53内のデータ、および、キャッシュ領域54内のデータを消去する(S200)。そして、キャッシュ制御部43は、MES12から、レシピIDおよびAPC_VPを受信したか否かを判定する(S201)。レシピIDおよびAPC_VPを受信していない場合(S201:No)、キャッシュ制御部43は、MES12から終了指示を受信したか否かを判定する(S209)。終了指示を受信していない場合(S209:No)、キャッシュ制御部43は、再びステップS201に示した処理を実行する。一方、終了指示を受信した場合(S209:Yes)、処理装置40は、本フローチャートに示した処理を終了する。
レシピIDおよびAPC_VPを受信した場合(S201:Yes)、キャッシュ制御部43は、MES12から受信したレシピIDに対応する処理レシピ等がキャッシュ領域54内に存在するか否かを判定する(S202)。MES12から受信したレシピIDに対応する処理レシピ等がキャッシュ領域54内に存在する場合(S202:Yes)、キャッシュ制御部43は、ステップS206に示す処理を実行する。
一方、MES12から受信したレシピIDに対応する処理レシピ等がキャッシュ領域54内に存在しない場合(S202:No)、キャッシュ制御部43は、MES12から受信したレシピIDを含むレシピ要求を処理条件管理システム20へ送信する(S203)。そして、キャッシュ制御部43は、処理条件管理システム20から処理レシピ等を受信する(S204)。そして、キャッシュ制御部43は、受信した処理レシピ等を、MES12から受信したレシピIDに対応付けてキャッシュ領域54に格納する(S205)。
次に、キャッシュ制御部43は、MES12から受信したレシピIDに対応する処理レシピ等をキャッシュ領域54から読み出して生産モード用処理レシピ記憶領域53に格納する(S206)。そして、キャッシュ制御部43は、MES12から受信したレシピIDおよびAPC_VPを処理実行部42へ送る。
処理実行部42は、キャッシュ制御部43から受け取ったレシピIDに対応する処理レシピ等を、生産モード用処理レシピ記憶領域53から読み出す。そして、処理実行部42は、読み出した処理レシピ等と、キャッシュ制御部43から受け取ったAPC_VPとに基づいて、ウエハに対して処理を実行する(S207)。そして、ウエハに対する処理が終了した場合、処理実行部42は、処理に用いた処理レシピ等を、生産モード用処理レシピ記憶領域53から削除する(S208)。そして、キャッシュ制御部43は、再びステップS201に示した処理を実行する。
[処理レシピ等の登録処理]
図14は、処理装置40で作成された処理レシピ等を処理条件管理システム20に登録する処理の一例を示すフローチャートである。例えば、処理レシピ登録部28が、処理装置40から、製品ID、工程ID、装置型式、装置ID、処理レシピ、および装置パラメータを含む登録要求を受信した場合に、処理条件管理システム20は、本フローチャートに示す処理を開始する。
図14は、処理装置40で作成された処理レシピ等を処理条件管理システム20に登録する処理の一例を示すフローチャートである。例えば、処理レシピ登録部28が、処理装置40から、製品ID、工程ID、装置型式、装置ID、処理レシピ、および装置パラメータを含む登録要求を受信した場合に、処理条件管理システム20は、本フローチャートに示す処理を開始する。
まず、処理レシピ登録部28は、レシピID発行部27に、登録要求に含まれている処理レシピ等に対してレシピIDの新規発行を依頼する(S300)。そして、処理レシピ登録部28は、レシピID発行部27によって新規に発行されたレシピIDに対応付けて、処理レシピ等を、登録要求の送信元の処理装置40に対応する処理レシピ記憶領域33内の非生産モード用処理レシピ記憶領域34に登録する(S301)。
次に、処理レシピ登録部28は、非生産モード用処理レシピ記憶領域34に登録した処理レシピ等に「Created」のステータスを対応付ける(S302)。そして、処理レシピ登録部28は、レシピID発行部27によって新規に発行されたレシピIDを、「Created」のステータスと共に、登録要求に含まれる製品ID、工程ID、装置型式、および装置IDに対応付けて、レシピ検索DB31に登録する(S303)。そして、処理条件管理システム20は、本フローチャートに示した処理を終了する。
[レシピIDの送信処理]
図15は、MES12からの問い合わせに応じて処理条件管理システム20がレシピIDを送信する処理の一例を示すフローチャートである。
図15は、MES12からの問い合わせに応じて処理条件管理システム20がレシピIDを送信する処理の一例を示すフローチャートである。
まず、通信部21は、MES12から、ロット情報、工程ID、および装置IDを受信した場合に、ロット情報から製品IDを抽出する(S400)。そして、通信部21は、レシピ検索DB31を参照し、製品ID、工程ID、および装置IDに対応付けられたレシピIDを特定する(S401)。そして、通信部21は、特定したレシピIDをMES12へ送信する(S402)。そして、処理条件管理システム20は、本フローチャートに示した処理を終了する。
[処理レシピの編集処理]
図16は、処理条件管理システム20による処理レシピの編集処理の一例を示すフローチャートである。
図16は、処理条件管理システム20による処理レシピの編集処理の一例を示すフローチャートである。
まず、編集機能部26は、入力装置201を介したユーザからの操作に応じて、ログイン処理を実行し(S500)、ユーザを認証する。そして、編集機能部26は、通信部21を介してユーザからレシピIDを受け付けたか否かを判定する(S501)。ユーザからレシピIDを受け付けた場合(S501:Yes)、編集機能部26は、受け付けたレシピIDに対応付けられた処理レシピ等を、処理レシピ記憶領域33から読み出して表示装置200に表示する(S502)。
次に、編集機能部26は、入力装置201を介したユーザからの操作に応じて、読み出した処理レシピ等を編集する(S503)。そして、編集機能部26は、ユーザから終了指示を受け付けたか否かを判定する(S504)。終了指示を受け付けていない場合(S504:No)、編集機能部26は、再びステップS503に示した処理を実行する。
一方、終了指示を受け付けた場合(S504:Yes)、編集機能部26は、処理レシピ等が変更されたか否かを判定する(S505)。なお、処理レシピ等の閲覧のみである場合、ユーザは、表示された処理レシピ等を閲覧した後、編集することなく終了指示を入力する。処理レシピ等が変更されていない場合(S505:No)、判定部25は、ステップS509に示す処理を実行する。
一方、処理レシピ等が変更された場合(S505:Yes)、編集機能部26は、レシピID発行部27に、変更後の処理レシピ等に対してレシピIDの新規発行を依頼する。レシピID発行部27は、編集機能部26からの依頼に応じて、ユニークなレシピIDを新規発行する(S506)。そして、編集機能部26は、レシピID発行部27によって新たに発行されたレシピIDに対応付けて、変更後の処理レシピ等を、変更前の処理レシピ等が格納されていた処理レシピ記憶領域33内に格納する(S507)。
次に、編集機能部26は、ステップS502で受け付けたレシピIDに対応付けられている製品ID、工程ID、装置型式、装置ID、およびステータスの情報をレシピ検索DB31から抽出する。そして、編集機能部26は、抽出した製品ID、工程ID、装置型式、装置ID、およびステータスに対応付けて、新たに発行されたレシピIDをレシピ検索DB31に登録する(S508)。
次に、判定部25は、処理レシピ等を表示させたユーザの属性に基づいて、処理レシピ等のステータスを変更するか否かを判定する(S509)。判定部25がステータスを変更しないと判定した場合(S509:No)、処理条件管理システム20は、本フローチャートに示した処理を終了する。
判定部25がステータスを変更すると判定した場合(S509:Yes)、変更部24は、ステップS507で格納した処理レシピ等に対応付けられているステータスを変更する(S510)。この時、レシピ検索DB31内のステータスも併せて変更する。そして、処理条件管理システム20は、本フローチャートに示した処理を終了する。
図17は、処理条件管理システム20による規範処理レシピの生成および処理装置40毎の処理レシピの作成の処理の一例を示すフローチャートである。
まず、規範処理レシピ生成部22は、いずれかの処理レシピ記憶領域33内の非生産モード用処理レシピ記憶領域34内に格納された処理レシピ等のステータスが、「Certified」に変更されたか否かを判定する(S600)。いずれかの処理レシピ記憶領域33内の非生産モード用処理レシピ記憶領域34内に格納された処理レシピ等のステータスが、「Certified」に変更された場合(S600:Yes)、規範処理レシピ生成部22は、非生産モード用処理レシピ記憶領域34から処理レシピ等を読み出し(S601)、読み出した処理レシピ等を非生産モード用処理レシピ記憶領域34から削除する(S602)。
次に、規範処理レシピ生成部22は、読み出した処理レシピ等に基づいて、規範装置で同様の処理が実現される場合の処理レシピである規範処理レシピを生成し、生成した規範処理レシピを、規範処理レシピ記憶領域32に格納する(S603)。
次に、機差調整部23は、それぞれの処理装置40について、規範装置との機差を調整する調整値を算出し、算出した調整値を規範処理レシピに適用することにより処理レシピ等を作成する(S604)。そして、機差調整部23は、レシピID発行部27に、作成した処理装置40毎の処理レシピ等に対して、レシピIDの新規発行を依頼する。レシピID発行部27は、機差調整部23からの依頼に応じて、ユニークなレシピIDを新規発行する(S605)。
次に、機差調整部23は、処理装置40毎に、生成した処理レシピ等を、その時点での最新のAEC_VPと共に、新たに発行されたレシピIDに対応付けて、処理レシピ記憶領域33内の生産モード用処理レシピ記憶領域35に格納する(S606)。そして、機差調整部23は、製品ID、工程ID、装置型式、装置ID、レシピID、およびステータスを、レシピ検索DB31に登録する(S607)。そして、規範処理レシピ生成部22は、再びステップS600に示した処理を実行する。
[ハードウェア]
処理条件管理システム20が1台のコンピュータによって実現される場合、当該コンピュータは、例えば図18に示すような構成であってもよい。図18は、処理条件管理システム20の機能を実現するコンピュータ70の一例を示す図である。コンピュータ70は、CPU(Central Processing Unit)71、RAM(Random Access Memory)72、ROM(Read Only Memory)73、補助記憶装置74、通信インターフェイス(I/F)75、入出力インターフェイス(I/F)76、およびメディアインターフェイス(I/F)77を備える。
処理条件管理システム20が1台のコンピュータによって実現される場合、当該コンピュータは、例えば図18に示すような構成であってもよい。図18は、処理条件管理システム20の機能を実現するコンピュータ70の一例を示す図である。コンピュータ70は、CPU(Central Processing Unit)71、RAM(Random Access Memory)72、ROM(Read Only Memory)73、補助記憶装置74、通信インターフェイス(I/F)75、入出力インターフェイス(I/F)76、およびメディアインターフェイス(I/F)77を備える。
CPU71は、ROM73または補助記憶装置74に格納されたプログラムに基づいて動作し、各部の制御を行う。ROM73は、コンピュータ70の起動時にCPU71によって実行されるブートプログラムや、コンピュータ70のハードウェアに依存するプログラム等を格納する。
補助記憶装置74は、例えばHDD(Hard Disk Drive)またはSSD(Solid State Drive)等であり、補助記憶装置74によって実行されるプログラムおよび当該プログラムによって使用されるデータ等を格納する。CPU71は、当該プログラムを、例えば補助記憶装置74から読み出してRAM72上にロードし、ロードしたプログラムを実行する。通信I/F75は、EI等の通信NW(ネットワーク)を介して他の装置からデータを受信してCPU71へ送り、CPU71が生成したデータを、通信NWを介して他の装置へ送信する。
CPU71は、入出力I/F76を介して、表示装置200および入力装置201を制御する。CPU71は、入出力I/F76を介して、入力装置201からデータを取得する。また、CPU71は、生成したデータを、入出力I/F76を介して表示装置200へ出力する。
メディアI/F77は、記録媒体78に格納されたプログラムまたはデータを読み取り、補助記憶装置74に格納する。記録媒体78は、例えばDVD(Digital Versatile Disc)、PD(Phase change rewritable Disk)等の光学記録媒体、MO(Magneto-Optical disk)等の光磁気記録媒体、テープ媒体、磁気記録媒体、または半導体メモリ等である。
コンピュータ70のCPU71は、RAM72上にロードされたプログラムを実行することにより、通信部21、規範処理レシピ生成部22、機差調整部23、変更部24、判定部25、編集機能部26、レシピID発行部27、処理レシピ登録部28、処理レシピ提供部29、および記憶部30の各機能を実現する。また、ROM73または補助記憶装置74には、記憶部30内のデータが格納される。
コンピュータ70のCPU71は、これらのプログラムを、記録媒体78から読み取って補助記憶装置74に格納するが、他の例として、他の装置から、通信NWを介してこれらのプログラムを取得して補助記憶装置74に格納してもよい。
以上、一実施形態について説明した。本実施形態の生産システム1によれば、MESにかかる負担を低減しつつ、処理レシピ等の処理条件を集中管理することが可能となる。
なお、本発明は、上記した実施形態に限定されるものではなく、その要旨の範囲内で数々の変形が可能である。
例えば、処理条件管理システム20の記憶部30内のレシピ検索DB31には、装置IDに対応付けて、ロット情報およびレシピIDが格納されていてもよい。この場合、通信部21は、装置IDおよびロット情報をMES12から受信した場合に、受信した装置IDおよびロット情報に対応付けられたレシピIDをレシピ検索DB31内で特定し、特定したレシピIDをMES12へ送信する。
また、生産計画システム10、FICS11、および処理条件管理システム20は、1台のコンピュータによって実現されてもよく、それぞれの装置内の機能を、複数のコンピュータに分散配置させ、これらのコンピュータが、通信NWを介して互いに協調動作し、複数のコンピュータが全体としてそれぞれの装置の機能を実現するようにしてもよい。特に、処理条件管理システム20が有する記憶部30内のデータは、処理条件管理システム20の外部の装置内に設けられていてもよい。この場合、処理条件管理システム20は、通信NWを介して当該外部の装置にアクセスすることにより、当該外部の装置から、記憶部30内のデータを取得する。
以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者には明らかである。また、そのような変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。
11 FICS
20 処理条件管理システム
21 通信部
29 処理レシピ提供部
30 記憶部
40 処理装置
20 処理条件管理システム
21 通信部
29 処理レシピ提供部
30 記憶部
40 処理装置
Claims (12)
- 工場情報制御システムと複数の処理装置とを含む生産システムに用いられる処理条件管理システムであって、
同種の前記複数の処理装置のそれぞれについて、前記処理装置が被処理基板に対して処理を行う際に用いられる処理条件を記憶する処理条件記憶部と、
前記工場情報制御システムとの間で、前記処理条件に関する情報を送信および受信する通信部と、
それぞれの前記処理装置から処理条件を要求された場合に、要求された処理条件を前記処理条件記憶部から読み出して要求元の処理装置に提供する処理条件提供部と
を備えることを特徴とする処理条件管理システム。 - それぞれの前記処理装置が処理を行う際に用いられる処理条件は、処理レシピであることを特徴とする請求項1に記載の処理条件管理システム。
- 前記通信部は、
前記処理条件に関する情報として、それぞれの前記処理レシピを識別するレシピIDを、前記工場情報制御システムへ送信することを特徴とする請求項2に記載の処理条件管理システム。 - 前記処理条件記憶部は、
前記処理装置毎に、製品群を特定するロット情報、処理レシピ、および当該処理レシピを識別するレシピIDを対応付けて記憶し、
前記通信部は、
前記処理条件に関する情報として、処理装置を識別する装置IDと、ロット情報とを前記工場情報制御システムから受信した場合に、受信した装置IDに対応する処理装置について、受信したロット情報に対応付けられたレシピIDを前記処理条件記憶部内で特定し、特定したレシピIDを前記工場情報制御システムへ送信することを特徴とする請求項2または3に記載の処理条件管理システム。 - 前記処理条件記憶部は、
前記処理装置毎に、製品群を特定するロット情報、処理工程、処理レシピ、および当該処理レシピを識別するレシピIDを対応付けて記憶し、
前記通信部は、
前記処理条件に関する情報として、処理装置を識別する装置IDと、ロット情報と、処理工程とを前記工場情報制御システムから受信した場合に、受信した装置IDに対応する処理装置について、受信したロット情報および処理工程に対応付けられている、レシピIDおよび処理レシピを前記処理条件記憶部内で特定し、特定したレシピIDおよび処理レシピの少なくともいずれかを前記工場情報制御システムへ送信することを特徴とする請求項2に記載の処理条件管理システム。 - 前記処理条件記憶部は、
それぞれの前記処理装置について、前記処理装置の記憶部内のフォルダ構造に対応したフォルダ構造で前記処理条件を記憶することを特徴とする請求項2から5のいずれか一項に記載の処理条件管理システム。 - 前記処理条件記憶部は、
前記複数の処理装置を代表する規範装置について、当該規範装置が処理を行う際に用いられた処理レシピである規範処理レシピをさらに記憶し、
前記処理条件管理システムは、
前記規範処理レシピを参照して、それぞれの処理装置と前記規範装置との間の機差に基づいて、それぞれの処理装置の処理レシピを作成し、作成した処理レシピを、それぞれの処理装置に対応付けて前記処理条件記憶部に格納する機差調整部
をさらに備えることを特徴とする請求項2から6のいずれか一項に記載の処理条件管理システム。 - 前記処理条件提供部は、
前記複数の処理装置のそれぞれから、前記処理装置の記憶部内にキャッシュしている処理レシピの中に処理対象の処理レシピが存在しない場合に送信される、処理対象の処理レシピに関する情報を含む処理レシピ要求を受信した場合に、受信した処理レシピ要求に含まれる情報で特定される処理レシピを、前記処理条件記憶部から読み出して要求元の処理装置に提供することを特徴とする請求項2から7のいずれか一項に記載の処理条件管理システム。 - 前記処理条件記憶部が記憶する処理条件の編集機能を提供する編集機能部をさらに備え、
前記編集機能部は、
同種の前記複数の処理装置が有する処理条件の編集機能および操作性と同等の編集機能および操作性を有することを特徴とする請求項2から8のいずれか一項に記載の処理条件管理システム。 - 前記処理条件記憶部は、
前記処理装置毎に、処理レシピおよび当該処理レシピを識別するレシピIDを対応付けて記憶し、
前記処理条件管理システムは、
新たな処理レシピが前記処理条件記憶部に格納された場合、または、前記処理条件記憶部内の処理レシピに変更が加えられた場合に、当該処理レシピに対して新たにユニークなレシピIDを発行するレシピID発行部をさらに備えることを特徴とする請求項2から9のいずれか一項に記載の処理条件管理システム。 - 前記処理条件記憶部は、
それぞれの前記処理装置毎に、処理レシピおよび当該処理レシピの完成度を示すステータスを対応付けて記憶し、
前記処理条件管理システムは、
それぞれの前記処理レシピが所定の属性を有するユーザによって確認されたか否かを判定する判定部と、
前記判定部によって、それぞれの前記処理レシピが所定の属性を有するユーザによって確認されたと判定された場合に、前記処理レシピのステータスを、前記処理レシピの確認を行ったユーザの属性に応じた完成度を示すステータスに変更する変更部と
をさらに備えることを特徴とする請求項2から10のいずれか一項に記載の処理条件管理システム。 - 工場情報制御システムと、
複数の処理装置と、
処理条件管理システムと
を備え、
前記処理条件管理システムは、
同種の前記複数の処理装置のそれぞれについて、前記処理装置が被処理基板に対して処理を行う際に用いられる処理条件を記憶する処理条件記憶部と、
前記工場情報制御システムとの間で、前記処理条件に関する情報を送信および受信する通信部と、
それぞれの前記処理装置から処理条件を要求された場合に、要求された処理条件を前記処理条件記憶部から読み出して要求元の処理装置に提供する処理条件提供部と
を有することを特徴とする生産システム。
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