WO2016039261A1

WO2016039261A1 - 真空処理装置

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Publication number: WO2016039261A1
Application number: PCT/JP2015/075177
Authority: WO
Inventors: 益山　純一; 伸市脇田; 豊司内山
Original assignee: 株式会社アルバック
Priority date: 2014-09-12
Filing date: 2015-09-04
Publication date: 2016-03-17
Also published as: CN106794944B; KR20170041875A; JPWO2016039261A1; JP6322716B2; KR101931039B1; CN106794944A

Abstract

　搭載装置の搬出入を簡単に行うことができる真空処理装置を提供する。　レール装置（１０）の案内部（４８）を、搭載車（４０）に乗せた搭載装置（３０）の走行部（３２）によって挟み、搭載車（４０）を移動させる。昇降部（２３）を降下させ、搭載装置（３０）をレール装置（１０）の槽外部（１６）に懸吊させ、搭載車（４０）を後退させて搭載装置（３０）の真下から、昇降部（２３）及び車台（２２）を抜去し、接続状態の接続部（１４）によって、槽外部（１６）に接続された槽内部（１５）に懸吊させて、搭載装置（３０）を真空槽（８）内部に異動させ、接続部を分離状態にして真空槽（８）を蓋装置（９）によって密閉する。狭い場所で、搭載装置（３０）の搬出入を行うことができる。

Description

真空処理装置

　本願発明は、真空装置の技術分野にかかり、特に、処理対象物を搭載した搭載装置を真空槽の内部に搬出入する技術に関する。

　図２３の符号１０１は、従来技術の真空処理装置を示している。
　この真空処理装置１０１は、真空槽１０８を有しており、真空槽１０８の天井には案内レール１１５が固定され、真空槽１０８の床面上には走行レール１４８が固定されている。

　真空処理装置１０１が真空処理する処理対象物１３０は、搭載装置１３２に複数配置されている。搭載装置１３２の底面には、走行車輪１３５が設けられ、上部には、案内車輪１０３が設けられている。搭載装置１３２は、案内車輪１０３が案内レール１１５に沿って移動することで、移動方向を案内されながら、走行車輪１３５によって、走行レール１４８上を移動するように構成されている。

　搭載装置１３２は、真空槽１０８の内部で複数台が走行レール１４８上に配置されており、真空槽１０８の開口を蓋装置１０９によって密閉し、真空槽１０８の内部を真空排気しながら、処理対象物１３０を真空処理する。

　真空処理が終了すると、図２４、図２５に示すように、蓋装置１０９を移動させて開口を開け、真空槽１０８内の案内レール１１５と、真空槽１０８の外部の案内レール１１３とを、接続用案内レール１１４によって接続し、案内レール１１３～１１５によって移動方向を案内しながら搭載装置１３２を走行レール１４８上で移動させ、真空槽１０８の開口から搬出する。

　このとき、真空槽１０８の開口付近に設けられた昇降機構１４２を上昇させておき、搭載装置１３２を昇降機構１４２に乗せ、昇降機構１４２を降下させると、搭載装置１３２の走行車輪１３５は、床面１０５に接触する。真空槽１０８の外部で、案内レール１１３によって、移動方向を案内しながら搭載装置１３２に走行レール１３８上、又は床上を走行させる。

ＷＯ２００９／０６０８０５号公報特開２００２－１４７０２３号公報特開２００１－３９６６７号公報

　上記従来技術では、走行レール１３８，１４８と案内レール１１３～１１５の両方を設けるため、装置が複雑である。
　また、昇降機構１４２を必要とするためコストが高く、床面１０５上の搭載装置１３２を移動させるために、大きな力を必要とし、搭載装置を乗降させるためには、広い場所を必要とする。
　本発明は、小面積の場所を用いて搭載装置を真空槽内に搬出入できる技術を提供する。
　また真空槽を蓋装置で開閉する際に、搭載装置が走行レールから脱落したり、移動ができなくなるようなことを防止する。

　上記課題を解決するため本発明は、側面に搬出入用開口を有する真空槽と、前記真空槽内で処理する処理対象物が搭載される搭載装置と、水平に配置され、前記搭載装置が懸吊されるレール装置と、を有し、前記レール装置は、前記真空槽の内部に配置された部分である槽内部と、前記真空槽の外部に配置された部分である槽外部と、前記槽内部の一端と前記槽外部の一端との間に配置され回転移動可能に構成された接続部と、を有し、前記接続部は水平面内で回転して、前記接続部の状態は、前記槽外部と前記槽内部とを接続する接続状態と、前記槽外部と前記槽内部との間が分離されて前記槽内部と前記槽外部との間に蓋用隙間が形成される分離状態と、の間で切り替えられるように構成され、前記接続部が前記分離状態にあるときに、前記搬出入用開口は、前記蓋用隙間に配置した蓋装置によって密閉できるように構成され、前記槽内部と前記槽外部と前記接続部とには、前記搭載装置の移動方向を案内する案内部と、前記搭載装置の上部に設けられた走行部が有する懸吊車輪を乗せて前記搭載装置を懸吊するレール部とがそれぞれ設けられ、前記案内部と前記走行部のうち、一方を他方で挟むと、前記搭載装置は、前記案内部によって移動方向が案内された状態で、前記懸吊車輪が前記レール部上で回転して前記搭載装置が前記案内部に沿って移動できるようにされ、前記蓋装置によって密閉され真空排気された前記真空槽の内部で前記槽内部に懸吊された前記搭載装置に搭載された前記処理対象物が真空処理される真空装置であって、前記槽外部は、前記案内部が直線状に伸びる直線部と、前記案内部が湾曲された湾曲部とを有し、水平方向に移動可能な搭載車に設けられた上下移動可能な昇降部上に前記搭載装置を一させて前記昇降部を上昇させることで前記昇降部上の前記搭載装置と前記搭載装置に搭載された前記処理対象物との重量を前記搭載車で支持し、前記直線部の前記案内部と、重量が前記搭載車で支持された前記搭載装置の前記走行部と、のうちの一方を他方で挟んだ状態で、重量が前記搭載車で支持された前記搭載装置の前記懸吊車輪を前記直線部の前記湾曲部に接続された部分とは反対側の端から前記直線部の前記レール部上に移動させる真空処理装置である。
　本発明は、前記搭載車を前記直線部の前記案内部に沿った一定方向に直線移動させることで前記搭載装置を前記一定方向に直線移動させた後、前記昇降部を降下させて前記昇降部上の前記搭載装置を前記直線部の前記レール部に懸吊され、前記搭載装置は前記昇降部から離間される真空処理装置である。
　本発明は、前記搭載装置を前記昇降部から離間させた後、前記昇降部を前記一定方向に移動されると、前記昇降部は前記搭載装置の真下の外側に移動される真空処理装置である。
　本発明は、前記直線部の前記レール部に懸吊された前記搭載装置の前記懸吊車輪が、前記直線部の前記レール部上から、前記湾曲部の前記レール部上と接続状態にある前記接続部の前記レール部上とを転がり移動した後、前記槽内部の前記レール部上に到着すると、前記真空槽の外部に位置した前記搭載装置が、前記真空槽の内部に搬入される真空処理装置である。
　本発明は、前記直線部の前記レール部の前記湾曲部に接続された部分とは反対側の端には、前記直線部に懸吊された前記搭載装置の脱落を防止するストッパ部材が設けられた真空処理装置である。
　本発明は、前記レール装置には、前記接続部が前記分離状態のときには、前記槽内部に懸吊された前記搭載装置の前記走行部と接触して前記搭載装置が前記槽内部から前記蓋用隙間に脱落することを防止する槽内側脱落防止装置と、前記槽外部に懸吊された前記搭載装置の前記走行部と接触して前記搭載装置が前記槽外部から前記蓋用隙間に脱落することを防止する槽外側脱落防止装置とが設けられた真空処理装置である。
　本発明は、前記接続部と前記槽外部のいずれか一方には凸部が設けられ、他方には凹部が設けられ、前記接続部が前記接続状態にあるときは、前記凸部と前記凹部とが嵌合して前記接続状態が維持され、前記接続部が前記接続状態から前記分離状態に変更されるときには、前記凸部と前記凹部との嵌合が解除され、前記接続部が回転できるようになる真空処理装置である。

　本発明の真空処理は、真空乾燥の他、真空焼成、真空アニール、真空表面処理等、種々の真空処理が含まれる。
　また、処理対象物は、食品の他、半導体、ガラス基板、機械部品等、種々の材質、形状の物品が含まれる。

　小面積の場所を用いて搭載装置を真空槽内から搬出入することができる。
　接続レールを回転させて槽内部と槽外部のレールの間に隙間を形成する際に、脱落防止機構が動作して、レール装置から搭載装置が脱落することは無い。

本発明の真空処理装置を説明するための真空槽正面図(１) 本発明の真空処理装置を説明するための真空槽正面図(２) 本発明の真空処理装置を説明するための真空槽正面図(３) 本発明の真空処理装置を説明するための真空槽正面図(４) 本発明の真空処理装置を説明するための真空槽正面図(５) 本発明の真空処理装置を説明するための真空槽正面図(６) 本発明の真空処理装置を説明するための真空槽内部側面図(１) 本発明の真空処理装置を説明するための真空槽内部側面図(２) 本発明の真空処理装置を説明するための平面図(１) 本発明の真空処理装置を説明するための平面図(２) 本発明の真空処理装置を説明するための平面図(３) 本発明の真空処理装置を説明するための平面図(４) 本発明の真空処理装置を説明するための平面図(５) 本発明の真空処理装置を説明するための平面図(６) 槽内側脱落防止装置で落下防止された搭載装置を説明するための図真空槽の内部を説明するための内部平面図(１) 真空槽の内部を説明するための内部平面図(２) 真空槽の内部を説明するための内部平面図(３) (ａ)：接続状態の接続部を説明するための平面図　(ｂ)：分離状態の接続部を説明するための平面図 (ａ)：走行部を説明するための正面図　(ｂ)：その平面図　(ｃ)：レール装置の断面図(ｄ)：走行部の走行を説明するための正面図　(ｅ)：その平面図 (ａ)、(ｂ)：槽内側脱落防止装置の動作を説明するための図整列装置を説明するための図従来技術を説明するための図(１) 従来技術を説明するための図(２) 従来技術を説明するための図(３)

　図１は、本発明の真空処理装置２を示している。
　真空処理装置２は、真空槽８を有しており、真空槽８の側面には、処理対象物を真空槽８の内部に搬出入するための搬出入用開口７が設けられている。符号９は、搬出入用開口７を塞いで真空槽８の内部を密閉する蓋装置であり、真空排気装置２９を動作させ、蓋装置９で密閉した真空槽８の内部を真空排気すると、真空槽８の内部を真空雰囲気にすることができる。ここでは、処理対象物はトレイに乗せられた食品であり、真空槽８の内部で真空乾燥(フリーズドライ)の処理がされる。

　図１は、蓋装置９が開けられた状態であり、その状態の平面図は、図９に示されている。
　真空槽８が配置されたクリーンルームの床面５には、図７に示すような凹状部が形成されており、真空槽８と蓋装置９とは凹状部に配置され、クリーンルームの床面５に真空槽８の底面による凸部が形成されないようになっている。
　真空槽８の天井には、真空槽８の外部から内部に亘って、細長のレール装置１０が設けられている。

　図９を参照し、レール装置１０は、真空槽８の外部に配置された細長の槽外部１６と、真空槽８の内部に配置された細長の槽内部１５とを有している。槽外部１６は、クリーンルームの天井に固定されており、槽内部１５は、真空槽８の天井に固定されている。

　槽内部１５と槽外部１６とは、離間して配置されている。また、レール装置１０は、接続部１４を有しており、槽内部１５と槽外部１６との間は、接続部１４によって接続できるように構成されている。図９では接続されている。

　図２の符号３０は、レール装置１０に懸吊させる搭載装置である。図２では、搭載装置３０は懸吊されておらず、搭載車４０に乗せられて、真空槽８の近傍まで移動された状態である。図１０は、その状態の平面図である。

　搭載装置３０は、筐体３１と、筐体３１の底面に設けられた複数の搭載車輪３５とを有している。
　搭載車４０は、本体２１と、本体２１の筐体に固定された車台２２とを有しており、本体２１の内部には走行用のモータ等の駆動装置が設けられている。

　本体２１は車台２２の一端に位置しており、本体２１の底面と車台２２の本体付近の位置とには、二個以上の後輪２６が取り付けられている。車台２２の本体２１とは反対側には、二個以上の前輪２５が取り付けられている。

　各前輪２５と各後輪２６とをクリーンルームの床面５上に乗せて、本体２１内部の駆動装置を動作させて後輪２６を回転させると、搭載車４０は、クリーンルームの床面５上を走行する。

　各前輪２５は、鉛直で互いに平行な平面内でそれぞれ回転するようにされており、各後輪２６も、鉛直で互いに平行な平面内でそれぞれ回転するようにされている。
　各前輪２５が回転する平面は、車台２２に対して固定されている。

　本体２１には、操作装置５５が設けられている。後輪２６は、操作装置５５によって、互いに平行な状態のまま、車台２２に対する向きを変更できるようにされており、前輪２５は、搭載車４０が直進する際の、進行方向に向けられており、前輪２５の向きは、車台２２に対して固定されている。運転者６が操作装置５５を操作して車台２２に対する後輪２６の向きを変更し、搭載車４０が走行する向きを変える。

　操作装置５５によって、前輪２５が回転する平面と、後輪２６が回転する平面とが平行にされた場合は、車台２２は直線移動し、前輪２５が回転する平面と、後輪２６が回転する平面とが平行ではないようにされると車台２２の移動方向は曲がる。

　本体２１の内部には、モータ等から成る昇降装置が設けられており、その昇降装置には、板状の昇降部２３が、車台２２の上部に、車台２２に対して平行に取り付けられている。
　前輪２５と後輪２６とを床面５上にのせると、車台２２と昇降部２３とは水平になり、昇降装置が動作すると、昇降部２３は、水平な状態を維持しながら、車台２２上で上下方向に移動できるようにされている。

　筺体３１の底面は、搭載車輪３５よりも上部に位置しており、昇降部２３と車台２２との幅は、搭載車輪３５の間隔よりも短くなっている。
　クリーンルームの床面５上に搭載車輪３５が接触している搭載装置３０の筐体３１の底面と床面５の間に、車台２２と昇降部２３とを挿入させ、昇降装置を動作させ、昇降部２３を上昇させると、搭載装置３０の筐体３１の底面は昇降部２３の表面と接触して搭載装置３０が昇降部２３上に乗る。

　このとき、搭載車輪３５は昇降部２３からはみ出しており、更に昇降部２３を上昇させると搭載車輪３５が床面５から離間する。
　この状態では、搭載装置３０は、筐体３１の底面が昇降部２３に乗せられている。昇降装置を動作させると、昇降部２３に乗せられた搭載装置３０は、昇降部２３の上下移動に伴って、上方向にも下方向にも移動させることができる。

　搭載装置３０には、真空処理をする複数の処理対象物３３が配置されており、搭載装置３０が昇降部２３上に乗せられた状態では、搭載装置３０の重量と、搭載装置３０に配置された処理対象物３３の重量とは、搭載車４０の前輪２５と後輪２６とによって支持されている。
　搭載装置３０の筐体３１は、上部に走行部３２が設けられている。

　走行部３２の正面図を図２０(ａ)に示し、平面図を同図(ｂ)に示す。
　走行部３２は、筺体３１の天井部分に固定された底板４４を有しており、底板４４上には、二枚の取付板４１ａ、４１ｂが互いに離間して平行に底板４４の上に固定されており、二枚の取付板４１ａ、４１ｂの互いに対面する側面には、懸吊車輪４２ａ、４２ｂが、それぞれ設けられている。ここでは、一方の取付板４１ａと他方の取付板４１ｂとには、懸吊車輪４２ａ、４２ｂが二個ずつ設けられており、一方の取付板４１ａの懸吊車輪４２ａと他方の取付板４１ｂの懸吊車輪４２ｂとは、互いに対面する位置に配置されている。各懸吊車輪４２ａ、４２ｂは同じ大きさである。

　レール装置１０の槽外部１６と、接続部１４と、槽内部１５とは、断面Ｈ型の金属製レールであり、図２０(ｃ)に示すように、細長の平板状で互いに平行な取付部４６とレール部４７と、細長板状であり、上端が取付部４６の幅方向中央位置に固定され、下端がレール部４７の幅方向中央位置に固定されて鉛直に配置された案内部４８とをそれぞれ有している。レール装置１０は、取付部４６が、真空槽８の天井や、クリーンルームの天井に直接又は間接的に固定されている。

　懸吊車輪４２ａ、４２ｂと底板４４との間には、隙間４９が設けられており、後述するように、隙間４９と、互いに対面する二個の懸吊車輪４２ａ、４２ｂの間に、レール部４７と案内部４８とをそれぞれ挿入した後、走行部３２を降下させると、図２０(ｄ)に示すように、各懸吊車輪４２ａ、４２ｂは、レール部４７上に乗るようにされている。同図(ｅ)は、同図(ｄ)の状態の平面図である。レール部４７は平面状であり、水平にされている。

　各懸吊車輪４２ａ、４２ｂが回転する平面は、鉛直であり、図２０(ｄ)、(ｅ)のように、案内部４８が直線状に伸びている場合は、各懸吊車輪４２ａ、４２ｂが回転する平面は、案内部４８が位置する平面と平行であり、案内部４８が鉛直な状態で湾曲している場合は、各懸吊車輪４２ａ、４２ｂが回転する平面は、案内部４８の湾曲に沿って旋回し、いずれの場合でも、走行部３２と走行部３２が設けられた搭載装置３０は、案内部４８に沿って移動できる。

　図２、図１０の状態では、搭載装置３０は搭載車４０に乗せられており、先ず、搭載車４０上の搭載装置３０をレール装置１０に懸吊する手順について説明する。

　槽外部１６は、図９～１４に示すように、案内部４８が直線状に伸びる直線部１２と、案内部４８が鉛直でレール部４７が水平な状態で、水平面内で湾曲された湾曲部１３とを有している。
　直線部１２の湾曲部に接続された部分とは反対側の端は開放されており、その直線部１２の開放された部分は、隙間４９に挿入できるようにされている。
　直線部１２の開放された部分の近くには、レール部４７上に、レール部４７の表面から突き出されたストッパ部材９０が設けられている。ストッパ部材９０が設けられたレール部４７の表面は、懸吊車輪４２ａ、４２ｂが接触する表面である。

　先ず、昇降装置を動作させ、昇降部２３上の搭載装置３０の懸吊車輪４２ａ、４２ｂの下端が、ストッパ部材９０の上端よりも高い位置になるまで昇降部２３を上昇させる。
　直線部１２の開放された一端には、取付棒１１が取り付けられており、取付棒１１には、複数の案内装置１９₁～１９₃(ここでは３個)が下方に向けて鉛直に設けられている。
　各案内装置１９₁～１９₃は細長い形状であり、直線部１２の案内部４８が位置する平面内に位置するように、直線状に並べられている。

　図２、図１０に示す状態から、運転者６は、搭載装置３０を搭載した搭載車４０の本体２１及び後輪２６を先頭にし、前輪２５を後尾にしてその搭載車４０を走行させる。
　そのとき、運転者６は、案内装置１９₁～１９₃と移動中の走行部３２との位置関係を観察し、案内装置１９₁～１９₃が、対面する懸吊車輪４２ａ、４２ｂの間に位置するように、操作装置５５を操作して搭載車４０の移動方向を修正する。

　各案内装置１９₁～１９₃の幅は、懸吊車輪４２ａ、４２ｂ間の幅よりも狭くされており、中心に位置する案内装置１９₁～１９₃は、懸吊車輪４２ａ、４２ｂの間を通過することができる。図３，図１１は、一つの案内装置１９₂が懸吊車輪４２ａ、４２ｂの間を通過している状態を示している。

　案内装置１９₁～１９₃は、「ひも」や、折れ曲がり可能に取り付けられた「棒」等で構成されており、案内装置１９₁～１９₃が懸吊車輪４２ａ、４２ｂの間を通過できず、走行部３２と衝突した場合には、案内装置１９₁～１９₃は折れ、又は曲がり、案内装置１９₁～１９₃が走行部３２の走行を妨害することなく、搭載車４０は走行する。

　案内装置１９₁～１９₃と走行部３２とが衝突した場合は、次の案内装置１９₂、１９₃やレール装置１０の端部に到達するまでに、搭載車４０の移動方向を修正して、次の案内装置１９₂、１９₃やレール装置１０の端部の案内部４８が、対面する懸吊車輪４２ａ、４２ｂの間を順番に通過するようにしておけばよい。

　運転者６により、複数の案内装置１９₁～１９₃が、対面する懸吊車輪４２ａ、４２ｂの間を順番に通過するように搭載車４０の移動方向が制御されながら、搭載車４０が床面５上を走行すると、搭載車４０の移動方向は、直線部１２の案内部４８が伸びる方向と平行になり、直線部１２の案内部４８を延長させた平面は、対面する懸吊車輪４２ａ、４２ｂの間に位置しており、走行部３２と交差している。

　その状態では、搭載車４０の前輪２５が回転する平面と、後輪２６が回転する平面とは平行になっており、後輪２６を回転させて本体２１及び後輪２６を先頭にして搭載車４０を移動させると、各懸吊車輪４２ａ、４２ｂはストッパ部材９０の上方を通過し、対面する懸吊車輪４２ａ、４２ｂの間に直線部１２の案内部４８が挿入され、案内部４８が走行部３２で挟まれた状態になる。この状態では、懸吊車輪４２ａ、４２ｂは露出するレール部４７上に位置している。

　直線部１２には、複数の整列装置１７₁～１７₃(ここでは３台)が設けられており、整列装置１７₁～１７₃によって、搭載車４０は、直線部１２の案内部４８が対面する懸吊車輪４２ａ、４２ｂの真ん中に位置するように移動される。

　ここでは、整列装置１７₁～１７₃は、図２２に示すように、板状の二枚の整列部材３７ａ、３７ｂを有しており、走行部３２は整列部材３７ａ、３７ｂの間を通過する際に、走行部３２が整列部材３７ａ、３７ｂのいずれか一方に接触すると、接触した整列部材３７ａ、３７ｂから、整列部材３７ａ、３７ｂの中央方向に向かう力を受け、搭載車４０は中央方向に移動する。

　整列部材３７ａ、３７ｂの間隔は、走行部３２が通過する順番に次第に狭くなるようにされており、搭載車４０が各整列装置１７₁～１７₃によって、直線部１２の案内部４８とは垂直な方向に移動されることにより、互いに対面する二個の懸吊車輪４２ａ、４２ｂの中央に、直線部１２の案内部４８が位置するようになる。

　そして、最後の整列装置１７₃を通過させ、次いで、搭載装置３０を直線移動させた後、図４，図１２に示すように、懸吊車輪４２ａ、４２ｂが直線部１２のレール部４７上に位置するときに、昇降部２３を降下させ、懸吊車輪４２ａ、４２ｂを、直線部１２のレール部４７上に乗せる。

　そして、更に昇降部２３を降下させると、図５に示すように、昇降部２３は、搭載装置３０の筐体３１から離間する。このとき、レール装置１０の直線部１２に懸吊された搭載装置３０の搭載車輪３５の下端は、床面５の上方に位置し、搭載車輪３５は床面５とは非接触である。
　従って、処理対象物３３の重量を含むその搭載装置３０の重量は、直線部１２によって懸吊支持されており、搭載装置３０は、レール装置１０に懸吊された状態になっている。

　搭載車４０は搭載装置３０と非接触であり、搭載装置３０を移動させずに、搭載車４０を移動させることができるから、搭載車４０を、直線部１２の案内部４８を対面する懸吊車輪４２ａ、４２ｂの間に位置させながら搭載装置３０を直線移動させたときと同じ方向に移動させると、搭載装置３０は静止しながら、図６、図１３に示すように、本体２１と搭載装置３０との間の距離は大きくなる。
　図６、図１３では、昇降部２３と車台２２とが、搭載装置３０の筐体３１の真下位置の外側に移動するまで搭載車４０を移動させている。

　直線部１２は、湾曲部１３と接続部１４とを介して、槽内部１５に接続されている。湾曲部１３の湾曲は、四分の一円であり、接続部１４と槽内部１５とは直線状であり、直線になるように接続されている。湾曲部１３の一端に接続された直線部１２と、他端に接続された接続部１４とは、互いに直角な方向に伸びるように配置されている。

　槽内部１５は、伸びる方向が、搬出入用開口７とは直角になるように真空槽８の内部に配置されており、従って、昇降部２３と車台２２とを、搭載装置３０の筐体３１の真下位置から外側に移動させる際には、搭載車４０は、搬出入用開口７と平行に移動するので、搭載車４０は真空槽８の内部には入らない。
　直線部１２と、湾曲部１３と、接続部１４と、槽内部１５とのレール部４７は、同じ高さに位置している。

　搭載装置３０については、案内部４８は走行部３２によって挟まれており、各部１２～１６の案内部４８を、走行部３２で挟みながら、搭載装置３０に力を印加して懸吊車輪４２ａ、４２ｂを各部１２～１６のレール部４７上で回転させると、搭載装置３０は、直線部１２と、湾曲部１３と、接続部１４と、槽内部１５との順番で、レール装置１０に沿って移動するので、搭載装置３０は案内部４８に沿って移動する。このとき、案内部４８が走行部３２の中に位置しているが、走行部が案内部の中に位置するように構成してもよい。

　ここでは、運転者６が人力で、搭載装置３０を押圧又は牽引して懸吊車輪４２ａ、４２ｂを回転させながら、搭載装置３０をレール装置１０に沿って移動させており、搭載装置３０が湾曲部１３を走行する際には、湾曲部１３の湾曲形状に従って移動し、接続部１４を通過した後、図１４に示すように、槽内部１５に懸吊された状態で、真空槽８の内部に移動する。真空槽８の内部では、搭載車輪３５は、真空槽８の床面に接触しない。

　以上説明したように、複数の搭載装置３０をそれぞれ搭載車４０に乗せて、レール装置１０に一台ずつ懸吊させ、真空槽８の内部に搬入すると、図７、図１６に示すように、槽内部１５に懸吊させた搭載装置３０を、真空槽８の内部に複数配置することができる。

　図７、図１６は、真空槽８の内部で、所定個数の搭載装置３０が懸吊された状態であり、蓋装置９を閉じて真空排気装置２９によって真空槽８の内部を真空排気するために、先ず、接続部１４を回転させて、搬出入用開口７の前の位置に、図１７に示すように、蓋装置９が位置するための蓋用隙間３８を形成する。蓋用隙間３８は槽内部１５と槽外部１６との間に位置であって、搬出入用開口を貫通する場所に位置している。

　接続部１４とその周囲の部分を拡大した平面図を図１９(ａ)、(ｂ)に示す。
　接続部１４は、槽外部１６に鉛直に設けられた回転軸６４に水平回転可能に取り付けられており、同図(ａ)は、接続部１４によって槽外部１６と槽内部１５とが接続された状態であり、その接続状態では、懸吊された搭載装置３０は、槽外部１６と槽内部１５との間で接続部１４を通過して移動することができる。

　接続部１４は、回転軸６４を中心にして、時計回りと反時計回りの両方に回転できるようにされている。ここでは、接続状態にある接続部１４は、上方から見て反時計回りに回転し、槽内部１５と槽外部１６との間に蓋用隙間３８が形成される分離状態になる。図１９(ｂ)は、分離状態にある接続部１４を示している。

　なお、接続部１４が回転できるように、接続部１４と槽外部１６とが接触する接触面と、接続部１４と槽内部１５が接触する接触面との間の距離である接続部１４の長さは、反時計回りの進行方向の位置ほど大きくなるようにされている。
　接続部１４が接続状態のときには、蓋装置９は、搬出入用開口７の左方、右方、上方のいずれかに配置されており、真空槽８の内部は、搬出入用開口７によって開放された状態になっている。

　接続部１４が分離状態になって図１７に示すように、槽外部１６と槽内部１５との間に蓋用隙間３８が形成されると、蓋装置９が蓋用隙間３８に位置することができるので、蓋装置９がそのように移動されると、図８，図１８に示すように、蓋装置９は搬出入用開口７の正面に位置し、蓋装置９が真空槽８に密着されると、真空槽８は蓋装置９によって密閉される。
　真空槽８が密閉された状態で真空排気装置２９を動作させると、真空槽８の内部を真空排気することができる。

　なお、接続部１４は、槽外部１６に設けられた回転軸６４に取り付けられているので、接続部１４が分離状態にあって真空槽８が蓋装置９で閉じられている場合は、接続部１４は真空槽８の外部に位置するようになっている。
　接続部１４には、図１９の(ｂ)に示された槽外側脱落防止装置６１が設けられている。

　接続部１４が接続状態にあるときは、槽外側脱落防止装置６１はレール装置１０の側方に位置し、レール装置１０に懸吊された搭載装置３０が移動する際には、槽外側脱落防止装置６１は搭載装置３０に接触しないが、分離状態では、槽外側脱落防止装置６１は、接続部１４の回転により、槽外部１６の回転軸６４が設けられた端部近傍に位置するように移動する。

　接続部１４が分離状態にあるときは、槽外側脱落防止装置６１は、槽外部１６に懸吊された搭載装置３０の走行部３２と接触可能な場所に位置しており、槽外部１６の接続部１４と接続される端部に向けて、懸吊された搭載装置３０が移動した場合には、走行部３２が槽外部１６の端部から落下する前に、槽外側脱落防止装置６１が走行部３２と接触し、落下前に走行部３２のレール部４７上の走行を停止させ、落下を防止する。

　また、接続部１４のうちの槽内部１５に接続される部分であるキャップ部６９の端部には、押圧部品５４が設けられており、槽内部１５の接続部１４に接続される位置には、槽内側脱落防止装置５１が設けられている。
　図１９(ａ)、(ｂ)に対応する、槽内部１５の断面の正面図を図２１(ａ)、(ｂ)に示す。

　槽内部１５の取付部４６には、取付装置５２が設けられ、槽内側脱落防止装置５１は、取付装置５２に水平に設けられた回転軸５３に回転可能に取り付けられている。
　押圧部品５４は、接続部１４が接続状態にあるときに、槽内側脱落防止装置５１を押圧する場所に位置するように配置されており、押圧された槽内側脱落防止装置５１は、槽内部１５のレール部４７の外側に位置し、懸吊車輪４２ａ、４２ｂがレール部４７上で回転して、レール装置１０に懸吊された搭載装置３０が槽内部１５と接続部１４との間で移動することに支障が無いようにされている。

　接続部１４が接続状態から分離状態に移行する際に、接続部１４が回転すると、押圧部品５４は槽内側脱落防止装置５１から離間する方向に移動し、押圧部品５４と槽内側脱落防止装置５１とが非接触になると、槽内側脱落防止装置５１は槽内部１５のレール部４７上に位置し、槽内部１５に懸吊された搭載装置３０と接触する場所に位置する。

　槽内部１５に懸吊された搭載装置３０が移動して、槽内部１５の接続部１４に接続される端部から蓋用隙間３８に落下する前に、槽内側脱落防止装置５１が、その搭載装置３０の走行部３２と接触し、搭載装置３０の槽内部１５上の走行を停止させ、落下を防止する。図１５は、槽内側脱落防止装置５１が懸吊車輪４２ａ、４２ｂに接触して落下が防止された搭載装置３０が示されている。

　接続部１４が回転して分離状態から接続状態に移行する際には、押圧部品５４は、槽内側脱落防止装置５１に近づく方向に移動し、押圧部品５４が槽内側脱落防止装置５１に当接し、更に移動すると、押圧部品５４は槽内側脱落防止装置５１を押圧する。
　押圧により、槽内側脱落防止装置５１は回転され、槽内部１５のレール部４７上から除去され、レール部４７上を走行する懸吊車輪４２ａ、４２ｂの移動に支障が無くなる。

　なお、槽外部１６には、係止部材７０が固定されており、係止部材７０と接続部１４のいずれか一方に凹部６５が設けられ、他方に凸部６６が設けられている。凸部６６は、凸部本体６８に取り付けられた状態で、係止部材７０と接続部１４のいずれか一方に設けられており、凸部本体６８内に配置されたバネによって、凸部６６が押圧されると、凸部６６は凸部本体６８の内部方向に移動して埋没されるようになっている。凸部本体６８とキャップ部６９とは、中継部６０で互いに固定されており、中継部６０が回転軸６４に取り付けられている。

　凹部６５は、平坦な平面上に設けられており、接続部１４が分離状態から接続状態になるときに、接続部１４の回転によって、凸部本体６８から飛び出した凸部６６は、凹部６５が設けられた平面によって押圧され、凸部本体６８内に埋没する。そして接続部１４が、槽外部１６と槽内部１５とを接続する位置で静止して接続状態になるとき、埋没した凸部６６と凹部６５とが対面し、対面する部分が平面ではなく凹部６５では凸部６６は押圧されなくなるので、凸部６６は凸部本体６８から飛び出た位置に復帰し、その結果、凸部６６と凹部６５とが嵌合する。
　凸部６６と凹部６５とが嵌合した状態では、接続部１４は回転できず、接続状態が維持される。

　なお、図１９(ａ)、(ｂ)の符号６７ａ、６７ｂは、接続部１４を回転させるためのひもであり、ローラ７１によって伸びる方向が変えられている。運転者６が、接続部１４から離間した場所でこのひもを操作することにより、接続部１４を回転させ、接続状態と分離状態との間で接続部１４の状態を切り替えることができる。

　接続部１４を接続状態から分離状態に変更するために、ひも６７ａを引くと、凸部６６が凸部本体６８の内部に引き込まれ、凸部６６と凹部６５との嵌合が解除され、ひも６７ａを介して接続部１４に印加される牽引力によって接続部１４は回転し、接続状態から分離状態に変更される。分離状態から接続状態へはひも６７ｂを引いて変更する。

　なお、接続部１４は、槽外部１６の湾曲部１３と槽内部１５とを接続させているが、湾曲部１３と接続部１４との間に直線部を設け、直線部と槽内部１５とを接続してもよい。この場合、接続部１４を回転可能に取り付ける回転軸は、直線部に設けられる。

　真空槽８の中の搭載装置３０に搭載された処理対象物３３の真空処理が開始され、終了すると、真空槽８の内部から搭載装置３０を取り出す。例えば、処理対象物３３が食品(及び食品をのせるトレイ)である場合は、真空槽８には、コールドトラップ(不図示)が接続されており、コールドトラップによる真空乾燥である真空処理が終了した後、搭載装置３０を真空槽８から取り出す。

　取り出す際には、先ず、真空槽８の内部を大気圧にすると共に蓋装置９を開け、蓋用隙間３８から蓋装置９を移動させた後、接続部１４を回転させ、接続部１４を分離状態から接続状態に変更する。接続状態になるときは、凸部６６と凹部６５とが嵌合して接続状態が維持される。真空槽８の内部の手前に位置し、搬出入用開口７に一番近い搭載装置３０を、懸吊された状態で、真空槽８の内部から外部に移動させる力を印加し、槽内部１５、接続部１４、槽外部１６の順序で移動させる。ここでは、搭載装置３０は、槽外部１６の直線部１２に到達したときに静止させる。

　搭載車４０は、前輪２５を直線部１２と湾曲部１３とが接続された部分に向け、後輪２６及び本体２１を、その反対側に向け、直線部１２の真下又は、直線部１２の案内部４８を延長した線又は面の真下位置に、予め配置しておく。

　昇降部２３を、レール装置１０(ここでは直線部１２)に懸吊された搭載装置３０の筺体３１の底面よりも低い位置に降下させておき、搭載車４０を、懸吊された搭載装置３０が位置する方向に移動させ、昇降部２３と車台２２の前輪２５側の部分を、直線部１２に懸吊された搭載装置３０の筺体３１の底面と、床面５との間に挿入した後、昇降部２３を上昇させ、懸吊された搭載装置３０を昇降部２３に乗せ、搭載装置３０をレール装置１０から搭載車４０に移載する。

　昇降部２３に搭載した搭載装置３０は、懸吊車輪４２ａ、４２ｂの下端が、ストッパ部材９０の上端よりも高くなるように上昇させて、搭載車４０を、直線部１２の開放端部方向に向け、直線部１２が伸びる方向に沿って移動させると搭載装置３０の、対面する懸吊車輪４２ａ、４２ｂの間、及び、二枚の取付板４１ａ、４１ｂの間から、案内部４８を抜去させる。

　次いで、昇降部２３を降下させ、搭載車輪３５を床面５上に乗せ、更に昇降部２３を降下させて昇降部２３を筺体３１の底面から離間させて、搭載車４０を後輪２６が位置する方向に移動させると、床面５上に乗っている搭載装置３０から、搭載車４０を分離させることができる。

　上記例では、走行部３２によって、案内部４８を挟んで搭載装置３０を、案内部４８に沿って移動するようにしたが、走行部と案内部の構成を変更して、案内部で走行部をはさみ、搭載装置が案内部に沿って移動するように構成してもよい。

　８‥‥真空槽
　９‥‥蓋装置
１０‥‥レール装置
１２‥‥直線部
１３‥‥湾曲部
１４‥‥接続部
１５‥‥槽内部
１６……槽外部
１７₁～１７₃……整列装置
３０‥‥搭載装置
３３‥‥処理対象物
４０‥‥搭載車
２３‥‥昇降部
４６‥‥取付部
４７‥‥レール部
４８‥‥案内部
６５……凹部
６６……凸部

Claims

　側面に搬出入用開口を有する真空槽と、
　前記真空槽内で処理する処理対象物が搭載される搭載装置と、
　水平に配置され、前記搭載装置が懸吊されるレール装置と、
　を有し、
　前記レール装置は、
　　前記真空槽の内部に配置された部分である槽内部と、
　　前記真空槽の外部に配置された部分である槽外部と、
　　前記槽内部の一端と前記槽外部の一端との間に配置され回転移動可能に構成された接続部と、
　を有し、
　前記接続部は水平面内で回転して、前記接続部の状態は、前記槽外部と前記槽内部とを接続する接続状態と、前記槽外部と前記槽内部との間が分離されて前記槽内部と前記槽外部との間に蓋用隙間が形成される分離状態と、の間で切り替えられるように構成され、
　前記接続部が前記分離状態にあるときに、前記搬出入用開口は、前記蓋用隙間に配置した蓋装置によって密閉できるように構成され、
　前記槽内部と前記槽外部と前記接続部とには、前記搭載装置の移動方向を案内する案内部と、前記搭載装置の上部に設けられた走行部が有する懸吊車輪を乗せて前記搭載装置を懸吊するレール部とがそれぞれ設けられ、
　前記案内部と前記走行部のうち、一方を他方で挟むと、前記搭載装置は、前記案内部によって移動方向が案内された状態で、前記懸吊車輪が前記レール部上で回転して前記搭載装置が前記案内部に沿って移動できるようにされ、
　前記蓋装置によって密閉され真空排気された前記真空槽の内部で前記槽内部に懸吊された前記搭載装置に搭載された前記処理対象物が真空処理される真空装置であって、
　前記槽外部は、前記案内部が直線状に伸びる直線部と、前記案内部が湾曲された湾曲部とを有し、
　水平方向に移動可能な搭載車に設けられた上下移動可能な昇降部上に前記搭載装置を一させて前記昇降部を上昇させることで前記昇降部上の前記搭載装置と前記搭載装置に搭載された前記処理対象物との重量を前記搭載車で支持し、
　前記直線部の前記案内部と、重量が前記搭載車で支持された前記搭載装置の前記走行部と、のうちの一方を他方で挟んだ状態で、重量が前記搭載車で支持された前記搭載装置の前記懸吊車輪を前記直線部の前記湾曲部に接続された部分とは反対側の端から前記直線部の前記レール部上に移動させる真空処理装置。
　前記搭載車を前記直線部の前記案内部に沿った一定方向に直線移動させることで前記搭載装置を前記一定方向に直線移動させた後、前記昇降部を降下させて前記昇降部上の前記搭載装置を前記直線部の前記レール部に懸吊され、前記搭載装置は前記昇降部から離間される請求項１記載の真空処理装置。
　前記搭載装置を前記昇降部から離間させた後、前記昇降部を前記一定方向に移動されると、前記昇降部は前記搭載装置の真下の外側に移動される請求項２記載の真空処理装置。
　前記直線部の前記レール部に懸吊された前記搭載装置の前記懸吊車輪は、前記直線部の前記レール部上から、前記湾曲部の前記レール部上と接続状態にある前記接続部の前記レール部上とを転がり移動した後、前記槽内部の前記レール部上に到着すると、前記真空槽の外部に位置した前記搭載装置が、前記真空槽の内部に搬入される請求項２記載の真空処理装置。
　前記直線部の前記レール部の前記湾曲部に接続された部分とは反対側の端には、前記直線部に懸吊された前記搭載装置の脱落を防止するストッパ部材が設けられた請求項１記載の真空処理装置。
　前記レール装置には、前記接続部が前記分離状態のときには、前記槽内部に懸吊された前記搭載装置の前記走行部と接触して前記搭載装置が前記槽内部から前記蓋用隙間に脱落することを防止する槽内側脱落防止装置と、前記槽外部に懸吊された前記搭載装置の前記走行部と接触して前記搭載装置が前記槽外部から前記蓋用隙間に脱落することを防止する槽外側脱落防止装置とが設けられた請求項１記載の真空処理装置。
　前記接続部と前記槽外部のいずれか一方には凸部が設けられ、他方には凹部が設けられ、前記接続部が前記接続状態にあるときは、前記凸部と前記凹部とが嵌合して前記接続状態が維持され、
　前記接続部が前記接続状態から前記分離状態に変更されるときには、前記凸部と前記凹部との嵌合が解除され、前記接続部が回転できるようになる請求項１記載の真空処理装置。