KR101931039B1 - 진공 처리 장치 - Google Patents

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신이치 와키타
도요시 우치야마
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    • B65G2812/182—
    • B65G2812/188—

Abstract

탑재 장치의 반출입을 간단하게 실시할 수 있는 진공 처리 장치를 제공한다. 레일 장치 (10) 의 안내부 (48) 를, 탑재차 (40) 에 실은 탑재 장치 (30) 의 주행부 (32) 사이에 두고, 탑재차 (40) 를 이동시킨다. 승강부 (23) 를 강하시켜, 탑재 장치 (30) 를 레일 장치 (10) 의 조 외부 (16) 에 현조하여 탑재차 (40) 를 후퇴시키고, 탑재 장치 (30) 의 바로 아래으로부터, 승강부 (23) 및 차대 (22) 를 빼어, 접속 상태의 접속부 (14) 에 의해, 조 외부 (16) 에 접속된 조 내부 (15) 에 현조시키고, 탑재 장치 (30) 를 진공조 (8) 의 내부로 이동시키고, 접속부를 분리 상태로 하여 진공조 (8) 를 덮개 장치 (9) 에 의해 밀폐한다. 좁은 장소에서, 탑재 장치 (30) 의 반출입을 실시할 수 있다.

Description

진공 처리 장치{VACUUM PROCESSING DEVICE}
본원 발명은, 진공 장치의 기술 분야에 관한 것으로, 특히, 처리 대상물을 탑재한 탑재 장치를 진공조의 내부로 반출입하는 기술에 관한 것이다.
도 23 의 부호 101 은, 종래 기술의 진공 처리 장치를 나타내고 있다.
이 진공 처리 장치 (101) 는, 진공조 (108) 를 가지고 있고, 진공조 (108) 의 천정에는 안내 레일 (115) 이 고정되고, 진공조 (108) 의 플로어면 상에는 주행 레일 (148) 이 고정되어 있다.
진공 처리 장치 (101) 가 진공 처리하는 처리 대상물 (130) 은, 탑재 장치 (132) 에 복수 배치되어 있다. 탑재 장치 (132) 의 바닥면에는 주행 차륜 (135) 이 설치되고, 상부에는 안내 차륜 (103) 이 설치되어 있다. 탑재 장치 (132) 는, 안내 차륜 (103) 이 안내 레일 (115) 을 따라 이동함으로써, 이동 방향이 안내되면서, 주행 차륜 (135) 에 의해, 주행 레일 (148) 상을 이동하도록 구성되어 있다.
탑재 장치 (132) 는, 진공조 (108) 의 내부에서 복수 대가 주행 레일 (148) 상에 배치되어 있고, 진공조 (108) 의 개구를 덮개 장치 (109) 에 의해 밀폐하고, 진공조 (108) 의 내부를 진공 배기하면서, 처리 대상물 (130) 을 진공 처리한다.
진공 처리가 종료되면, 도 24, 도 25 에 나타내는 바와 같이, 덮개 장치 (109) 를 이동시켜 개구를 열고, 진공조 (108) 내의 안내 레일 (115) 과, 진공조 (108) 의 외부의 안내 레일 (113) 을, 접속용 안내 레일 (114) 에 의해 접속하고, 안내 레일 (113 ∼ 115) 에 의해 이동 방향을 안내하면서 탑재 장치 (132) 를 주행 레일 (148) 상에서 이동시켜, 진공조 (108) 의 개구로부터 반출한다.
이 때, 진공조 (108) 의 개구 부근에 설치된 승강 기구 (142) 를 상승시켜 두고, 탑재 장치 (132) 를 승강 기구 (142) 에 싣고 승강 기구 (142) 를 강하시키면, 탑재 장치 (132) 의 주행 차륜 (135) 은, 플로어면 (105) 에 접촉한다. 진공조 (108) 의 외부에서, 안내 레일 (113) 에 의해, 이동 방향을 안내하면서 탑재 장치 (132) 에 주행 레일 (138) 상, 또는 플로어 상을 주행시킨다.
WO2009/060805호 공보 일본 공개특허공보 2002-147023호 일본 공개특허공보 2001-39667호
상기 종래 기술에서는, 주행 레일 (138, 148) 과 안내 레일 (113 ∼ 115) 의 양방을 설치하기 때문에, 장치가 복잡하다.
또, 승강 기구 (142) 를 필요로 하기 때문에 비용이 높고, 플로어면 (105) 상의 탑재 장치 (132) 를 이동시키기 위해서 큰 힘을 필요로 하며, 탑재 장치를 승강시키기 위해서는 넓은 장소를 필요로 한다.
본 발명은, 소면적의 장소를 사용하여 탑재 장치를 진공조 내로 반출입할 수 있는 기술을 제공한다.
또 진공조를 덮개 장치로 개폐할 때에, 탑재 장치가 주행 레일로부터 탈락하거나 이동을 할 수 없게 되는 것을 방지한다.
상기 과제를 해결하기 위해 본 발명은, 측면에 반출입용 개구를 갖는 진공조와, 상기 진공조 내에서 처리하는 처리 대상물이 탑재되는 탑재 장치와, 수평하게 배치되어, 상기 탑재 장치가 현조 (懸吊) 되는 레일 장치를 갖고, 상기 레일 장치는, 상기 진공조의 내부에 배치된 부분인 조 (槽) 내부와, 상기 진공조의 외부에 배치된 부분인 조 외부와, 상기 조 내부의 일단과 상기 조 외부의 일단 사이에 배치되어 회전 이동 가능하게 구성된 접속부를 갖고, 상기 접속부는 수평면 내에서 회전하고, 상기 접속부의 상태는, 상기 조 외부와 상기 조 내부를 접속하는 접속 상태와, 상기 조 외부와 상기 조 내부 사이가 분리되어 상기 조 내부와 상기 조 외부 사이에 덮개용 간극이 형성되는 분리 상태 사이에서 전환되도록 구성되고, 상기 접속부가 상기 분리 상태에 있을 때에, 상기 반출입용 개구는, 상기 덮개용 간극에 배치한 덮개 장치에 의해 밀폐할 수 있도록 구성되고, 상기 조 내부와 상기 조 외부와 상기 접속부에는, 상기 탑재 장치의 이동 방향을 안내하는 안내부와, 상기 탑재 장치의 상부에 설치된 주행부가 갖는 현조 차륜을 실어 상기 탑재 장치를 현조하는 레일부가 각각 형성되고, 상기 안내부와 상기 주행부 중, 일방을 타방 사이에 두면, 상기 탑재 장치는, 상기 안내부에 의해 이동 방향이 안내된 상태에서, 상기 현조 차륜이 상기 레일부 상에서 회전하여 상기 탑재 장치가 상기 안내부를 따라 이동할 수 있도록 되고, 상기 덮개 장치에 의해 밀폐되어 진공 배기된 상기 진공조의 내부에서 상기 조 내부에 현조된 상기 탑재 장치에 탑재된 상기 처리 대상물이 진공 처리되는 진공 장치로서, 상기 조 외부는, 상기 안내부가 직선상으로 신장되는 직선부와, 상기 안내부가 만곡된 만곡부를 갖고, 수평 방향으로 이동 가능한 탑재차에 형성된 상하 이동 가능한 승강부 상에 상기 탑재 장치를 위치시켜 상기 승강부를 상승시킴으로써 상기 승강부 상의 상기 탑재 장치와 상기 탑재 장치에 탑재된 상기 처리 대상물의 중량을 상기 탑재차에 의해 지지하고, 상기 직선부의 상기 안내부와, 중량이 상기 탑재차에 의해 지지된 상기 탑재 장치의 상기 주행부 중의 일방을 타방 사이에 둔 상태에서, 중량이 상기 탑재차에 의해 지지된 상기 탑재 장치의 상기 현조 차륜을 상기 직선부의 상기 만곡부에 접속된 부분과는 반대측의 단 (端) 으로부터 상기 직선부의 상기 레일부 상으로 이동시키는 진공 처리 장치이다.
본 발명은, 상기 탑재차를 상기 직선부의 상기 안내부를 따른 일정 방향으로 직선 이동시킴으로써 상기 탑재 장치를 상기 일정 방향으로 직선 이동시킨 후, 상기 승강부를 강하시켜 상기 승강부 상의 상기 탑재 장치가 상기 직선부의 상기 레일부에 현조되고, 상기 탑재 장치는 상기 승강부로부터 이간되는 진공 처리 장치이다.
본 발명은, 상기 탑재 장치를 상기 승강부로부터 이간시킨 후, 상기 승강부가 상기 일정 방향으로 이동되면, 상기 승강부는 상기 탑재 장치의 바로 아래의 외측으로 이동되는 진공 처리 장치이다.
본 발명은, 상기 직선부의 상기 레일부에 현조된 상기 탑재 장치의 상기 현조 차륜이, 상기 직선부의 상기 레일부 상으로부터, 상기 만곡부의 상기 레일부 상과 접속 상태에 있는 상기 접속부의 상기 레일부 상을 굴러 이동한 후, 상기 조 내부의 상기 레일부 상에 도착하면, 상기 진공조의 외부에 위치한 상기 탑재 장치가, 상기 진공조의 내부로 반입되는 진공 처리 장치이다.
본 발명은, 상기 직선부의 상기 레일부의 상기 만곡부에 접속된 부분과는 반대측의 단에는, 상기 직선부에 현조된 상기 탑재 장치의 탈락을 방지하는 스토퍼 부재가 형성된 진공 처리 장치이다.
본 발명은, 상기 레일 장치에는, 상기 접속부가 상기 분리 상태일 때에는, 상기 조 내부에 현조된 상기 탑재 장치의 상기 주행부와 접촉하여 상기 탑재 장치가 상기 조 내부로부터 상기 덮개용 간극으로 탈락되는 것을 방지하는 조 내측 탈락 방지 장치와, 상기 조 외부에 현조된 상기 탑재 장치의 상기 주행부와 접촉하여 상기 탑재 장치가 상기 조 외부로부터 상기 덮개용 간극으로 탈락되는 것을 방지하는 조 외측 탈락 방지 장치가 설치된 진공 처리 장치이다.
본 발명은, 상기 접속부와 상기 조 외부의 어느 일방에는 볼록부가 형성되고, 타방에는 오목부가 형성되어, 상기 접속부가 상기 접속 상태에 있을 때에는, 상기 볼록부와 상기 오목부가 끼워 맞추어져 상기 접속 상태가 유지되고, 상기 접속부가 상기 접속 상태로부터 상기 분리 상태로 변경될 때에는, 상기 볼록부와 상기 오목부의 끼워 맞춤이 해제되어, 상기 접속부가 회전할 수 있게 되는 진공 처리 장치이다.
본 발명의 진공 처리는, 진공 건조 이외에, 진공 소성, 진공 어닐, 진공 표면 처리 등, 다양한 진공 처리가 포함된다.
또, 처리 대상물은, 식품 이외에, 반도체, 유리 기판, 기계 부품 등, 다양한 재질, 형상의 물품이 포함된다.
소면적의 장소를 사용하여 탑재 장치를 진공조 내로부터 반출입할 수 있다.
접속 레일을 회전시켜 조 내부와 조 외부의 레일 사이에 간극을 형성할 때에, 탈락 방지 기구가 동작하여, 레일 장치로부터 탑재 장치가 탈락하는 경우는 없다.
도 1 은, 본 발명의 진공 처리 장치를 설명하기 위한 진공조 정면도이다 (1).
도 2 는, 본 발명의 진공 처리 장치를 설명하기 위한 진공조 정면도이다 (2).
도 3 은, 본 발명의 진공 처리 장치를 설명하기 위한 진공조 정면도이다 (3).
도 4 는, 본 발명의 진공 처리 장치를 설명하기 위한 진공조 정면도이다 (4).
도 5 는, 본 발명의 진공 처리 장치를 설명하기 위한 진공조 정면도이다 (5).
도 6 은, 본 발명의 진공 처리 장치를 설명하기 위한 진공조 정면도이다 (6).
도 7 은, 본 발명의 진공 처리 장치를 설명하기 위한 진공조 내부 측면도이다 (1).
도 8 은, 본 발명의 진공 처리 장치를 설명하기 위한 진공조 내부 측면도이다 (2).
도 9 는, 본 발명의 진공 처리 장치를 설명하기 위한 평면도이다 (1).
도 10 은, 본 발명의 진공 처리 장치를 설명하기 위한 평면도이다 (2).
도 11 은, 본 발명의 진공 처리 장치를 설명하기 위한 평면도이다 (3).
도 12 는, 본 발명의 진공 처리 장치를 설명하기 위한 평면도이다 (4).
도 13 은, 본 발명의 진공 처리 장치를 설명하기 위한 평면도이다 (5).
도 14 는, 본 발명의 진공 처리 장치를 설명하기 위한 평면도이다 (6).
도 15 는, 조 내측 탈락 방지 장치에 의해 낙하 방지된 탑재 장치를 설명하기 위한 도면이다.
도 16 은, 진공조의 내부를 설명하기 위한 내부 평면도이다 (1).
도 17 은, 진공조의 내부를 설명하기 위한 내부 평면도이다 (2).
도 18 은, 진공조의 내부를 설명하기 위한 내부 평면도이다 (3).
도 19(a) 는, 접속 상태의 접속부를 설명하기 위한 평면도이고, 도 19(b) 는, 분리 상태의 접속부를 설명하기 위한 평면도이다.
도 20(a) 는, 주행부를 설명하기 위한 정면도이고, 도 20(b) 는, 그 평면도이고, 도 20(c) 는, 레일 장치의 단면도이고, 도 20(d) 는, 주행부의 주행을 설명하기 위한 정면도이며, 도 20(e) 는, 그 평면도이다.
도 21(a), 21(b) 는, 조 내측 탈락 방지 장치의 동작을 설명하기 위한 도면이다.
도 22 는, 정렬 장치를 설명하기 위한 도면이다.
도 23 은, 종래 기술을 설명하기 위한 도면이다 (1).
도 24 는, 종래 기술을 설명하기 위한 도면이다 (2).
도 25 는, 종래 기술을 설명하기 위한 도면이다 (3).
도 1 은, 본 발명의 진공 처리 장치 (2) 를 나타내고 있다.
진공 처리 장치 (2) 는, 진공조 (8) 를 가지고 있고, 진공조 (8) 의 측면에는, 처리 대상물을 진공조 (8) 의 내부로 반출입하기 위한 반출입용 개구 (7) 가 형성되어 있다. 부호 9 는, 반출입용 개구 (7) 를 막아 진공조 (8) 의 내부를 밀폐하는 덮개 장치이고, 진공 배기 장치 (29) 를 동작시켜, 덮개 장치 (9) 로 밀폐한 진공조 (8) 의 내부를 진공 배기하면, 진공조 (8) 의 내부를 진공 분위기로 할 수 있다. 여기서는, 처리 대상물은 트레이에 실린 식품이며, 진공조 (8) 의 내부에서 진공 건조 (프리즈 드라이) 의 처리가 이루어진다.
도 1 은, 덮개 장치 (9) 가 열린 상태로, 그 상태의 평면도는, 도 9 에 나타나 있다.
진공조 (8) 가 배치된 클린 룸의 플로어면 (5) 에는, 도 7 에 나타내는 바와 같은 오목 형상부가 형성되어 있고, 진공조 (8) 와 덮개 장치 (9) 는 오목 형상부에 배치되어, 클린 룸의 플로어면 (5) 에 진공조 (8) 의 바닥면에 의한 볼록부가 형성되지 않게 되어 있다.
진공조 (8) 의 천정에는, 진공조 (8) 의 외부로부터 내부에 걸쳐, 폭이 좁고 긴 레일 장치 (10) 가 설치되어 있다.
도 9 를 참조하여, 레일 장치 (10) 는, 진공조 (8) 의 외부에 배치된 폭이 좁고 긴 조 외부 (16) 와, 진공조 (8) 의 내부에 배치된 폭이 좁고 긴 조 내부 (15) 를 가지고 있다. 조 외부 (16) 는, 클린 룸의 천정에 고정되어 있고, 조 내부 (15) 는, 진공조 (8) 의 천정에 고정되어 있다.
조 내부 (15) 와 조 외부 (16) 는 이간되어 배치되어 있다. 또, 레일 장치 (10) 는 접속부 (14) 를 가지고 있고, 조 내부 (15) 와 조 외부 (16) 사이는 접속부 (14) 에 의해 접속할 수 있도록 구성되어 있다. 도 9 에서는 접속되어 있다.
도 2 의 부호 30 은, 레일 장치 (10) 에 현조시키는 탑재 장치이다. 도 2 에서는, 탑재 장치 (30) 는 현조되어 있지 않고, 탑재차 (40) 에 실려, 진공조 (8) 의 근방까지 이동된 상태이다. 도 10 은, 그 상태의 평면도이다.
탑재 장치 (30) 는, 케이싱 (31) 과, 케이싱 (31) 의 바닥면에 설치된 복수의 탑재 차륜 (35) 을 가지고 있다.
탑재차 (40) 는, 본체 (21) 와, 본체 (21) 의 케이싱에 고정된 차대 (22) 를 가지고 있고, 본체 (21) 의 내부에는 주행용의 모터 등의 구동 장치가 설치되어 있다.
본체 (21) 는 차대 (22) 의 일단에 위치하고 있고, 본체 (21) 의 바닥면과 차대 (22) 의 본체 부근의 위치에는, 2 개 이상의 후륜 (26) 이 장착되어 있다. 차대 (22) 의 본체 (21) 와는 반대측에는, 2 개 이상의 전륜 (25) 이 장착되어 있다.
각 전륜 (25) 과 각 후륜 (26) 을 클린 룸의 플로어면 (5) 상에 싣고, 본체 (21) 내부의 구동 장치를 동작시켜 후륜 (26) 을 회전시키면, 탑재차 (40) 는, 클린 룸의 플로어면 (5) 상을 주행한다.
각 전륜 (25) 은, 연직으로 서로 평행한 평면 내에서 각각 회전하도록 되어 있고, 각 후륜 (26) 도, 연직으로 서로 평행한 평면 내에서 각각 회전하도록 되어 있다.
각 전륜 (25) 이 회전하는 평면은, 차대 (22) 에 대해 고정되어 있다.
본체 (21) 에는, 조작 장치 (55) 가 설치되어 있다. 후륜 (26) 은, 조작 장치 (55) 에 의해, 서로 평행한 상태인 채로, 차대 (22) 에 대한 방향을 변경할 수 있도록 되어 있고, 전륜 (25) 은, 탑재차 (40) 가 직진할 때의, 진행 방향을 향하고 있으며, 전륜 (25) 의 방향은, 차대 (22) 에 대해 고정되어 있다. 운전자 (6) 가 조작 장치 (55) 를 조작하여 차대 (22) 에 대한 후륜 (26) 의 방향을 변경하여, 탑재차 (40) 가 주행하는 방향을 바꾼다.
조작 장치 (55) 에 의해, 전륜 (25) 이 회전하는 평면과, 후륜 (26) 이 회전하는 평면이 평행해진 경우에는, 차대 (22) 는 직선 이동하고, 전륜 (25) 이 회전하는 평면과, 후륜 (26) 이 회전하는 평면이 평행하지 않게 되면 차대 (22) 의 이동 방향은 구부러진다.
본체 (21) 의 내부에는, 모터 등으로 이루어지는 승강 장치가 설치되어 있고, 그 승강 장치에는, 판상의 승강부 (23) 가 차대 (22) 의 상부에 차대 (22) 에 대해 평행하게 장착되어 있다.
전륜 (25) 과 후륜 (26) 을 플로어면 (5) 상에 실으면, 차대 (22) 와 승강부 (23) 는 수평해지고, 승강 장치가 동작하면, 승강부 (23) 는, 수평인 상태를 유지하면서, 차대 (22) 상에서 상하 방향으로 이동할 수 있도록 되어 있다.
케이싱 (31) 의 바닥면은, 탑재 차륜 (35) 보다 상부에 위치하고 있고, 승강부 (23) 와 차대 (22) 의 폭은, 탑재 차륜 (35) 의 간격보다 짧게 되어 있다.
클린 룸의 플로어면 (5) 상에 탑재 차륜 (35) 이 접촉하고 있는 탑재 장치 (30) 의 케이싱 (31) 의 바닥면과 플로어면 (5) 사이에, 차대 (22) 와 승강부 (23) 를 삽입시키고, 승강 장치를 동작시켜, 승강부 (23) 를 상승시키면, 탑재 장치 (30) 의 케이싱 (31) 의 바닥면은 승강부 (23) 의 표면과 접촉하여 탑재 장치 (30) 가 승강부 (23) 위에 실린다.
이 때, 탑재 차륜 (35) 은 승강부 (23) 로부터 비어져 나와 있고, 다시 승강부 (23) 를 상승시키면 탑재 차륜 (35) 이 플로어면 (5) 으로부터 이간된다.
이 상태에서는, 탑재 장치 (30) 는, 케이싱 (31) 의 바닥면이 승강부 (23) 에 실려 있다. 승강 장치를 동작시키면, 승강부 (23) 에 실린 탑재 장치 (30) 는, 승강부 (23) 의 상하 이동에 수반하여, 상방향으로도 하방향으로도 이동시킬 수 있다.
탑재 장치 (30) 에는, 진공 처리를 하는 복수의 처리 대상물 (33) 이 배치되어 있고, 탑재 장치 (30) 가 승강부 (23) 상에 실린 상태에서는, 탑재 장치 (30) 의 중량과 탑재 장치 (30) 에 배치된 처리 대상물 (33) 의 중량은, 탑재차 (40) 의 전륜 (25) 과 후륜 (26) 에 의해 지지되어 있다.
탑재 장치 (30) 의 케이싱 (31) 은, 상부에 주행부 (32) 가 형성되어 있다.
주행부 (32) 의 정면도를 도 20(a) 에 나타내고, 평면도를 동 도면 (b) 에 나타낸다.
주행부 (32) 는, 케이싱 (31) 의 천정 부분에 고정된 바닥판 (44) 을 가지고 있고, 바닥판 (44) 상에는, 2 장의 장착판 (41a, 41b) 이 서로 이간되어 평행하게 바닥판 (44) 상에 고정되어 있고, 2 장의 장착판 (41a, 41b) 의 서로 대면하는 측면에는, 현조 차륜 (42a, 42b) 이 각각 설치되어 있다. 여기서는, 일방의 장착판 (41a) 과 타방의 장착판 (41b) 에는, 현조 차륜 (42a, 42b) 이 2 개씩 설치되어 있고, 일방의 장착판 (41a) 의 현조 차륜 (42a) 과 타방의 장착판 (41b) 의 현조 차륜 (42b) 은, 서로 대면하는 위치에 배치되어 있다. 각 현조 차륜 (42a, 42b) 은 동일한 크기이다.
레일 장치 (10) 의 조 외부 (16) 와, 접속부 (14) 와, 조 내부 (15) 는, 단면 H 형의 금속제 레일이며, 도 20(c) 에 나타내는 바와 같이, 폭이 좁고 긴 평판상이며 서로 평행한 장착부 (46) 와 레일부 (47) 와, 폭이 좁고 긴 판상이며 상단이 장착부 (46) 의 폭 방향 중앙 위치에 고정되고, 하단이 레일부 (47) 의 폭 방향 중앙 위치에 고정되어 연직으로 배치된 안내부 (48) 를 각각 가지고 있다. 레일 장치 (10) 는, 장착부 (46) 가, 진공조 (8) 의 천정이나, 클린 룸의 천정에 직접 또는 간접적으로 고정되어 있다.
현조 차륜 (42a, 42b) 과 바닥판 (44) 사이에는, 간극 (49) 이 형성되어 있고, 후술하는 바와 같이, 간극 (49) 과 서로 대면하는 2 개의 현조 차륜 (42a, 42b) 사이에 레일부 (47) 와 안내부 (48) 를 각각 삽입한 후, 주행부 (32) 를 강하시키면, 도 20(d) 에 나타내는 바와 같이, 각 현조 차륜 (42a, 42b) 은 레일부 (47) 상에 실리도록 되어 있다. 동 도면 (e) 는, 동 도면 (d) 상태의 평면도이다. 레일부 (47) 는 평면상이며, 수평하게 되어 있다.
각 현조 차륜 (42a, 42b) 이 회전하는 평면은 연직이며, 도 20(d), (e) 와 같이 안내부 (48) 가 직선상으로 신장되어 있는 경우에는, 각 현조 차륜 (42a, 42b) 이 회전하는 평면은 안내부 (48) 가 위치하는 평면과 평행하며, 안내부 (48) 가 연직인 상태에서 만곡되어 있는 경우에는, 각 현조 차륜 (42a, 42b) 이 회전하는 평면은 안내부 (48) 의 만곡을 따라 선회하여, 어느 경우에도, 주행부 (32) 와 주행부 (32) 가 형성된 탑재 장치 (30) 는, 안내부 (48) 를 따라 이동할 수 있다.
도 2, 도 10 의 상태에서는, 탑재 장치 (30) 는 탑재차 (40) 에 실려 있고, 먼저, 탑재차 (40) 상의 탑재 장치 (30) 를 레일 장치 (10) 에 현조하는 순서에 대해 설명한다.
조 외부 (16) 는, 도 9 ∼ 14 에 나타내는 바와 같이, 안내부 (48) 가 직선상으로 신장되는 직선부 (12) 와, 안내부 (48) 가 연직으로 레일부 (47) 가 수평인 상태에서, 수평면 내에서 만곡된 만곡부 (13) 를 가지고 있다.
직선부 (12) 의 만곡부에 접속된 부분과는 반대측의 단은 개방되어 있고, 그 직선부 (12) 의 개방된 부분은, 간극 (49) 에 삽입할 수 있도록 되어 있다.
직선부 (12) 의 개방된 부분의 근처에는, 레일부 (47) 상에, 레일부 (47) 의 표면으로부터 돌출된 스토퍼 부재 (90) 가 형성되어 있다. 스토퍼 부재 (90) 가 형성된 레일부 (47) 의 표면은, 현조 차륜 (42a, 42b) 이 접촉하는 표면이다.
먼저, 승강 장치를 동작시켜, 승강부 (23) 상의 탑재 장치 (30) 의 현조 차륜 (42a, 42b) 의 하단이, 스토퍼 부재 (90) 의 상단보다 높은 위치가 될 때까지 승강부 (23) 를 상승시킨다.
직선부 (12) 의 개방된 일단에는, 장착봉 (11) 이 장착되어 있고, 장착봉 (11) 에는, 복수의 안내 장치 (191 ∼ 193) (여기서는 3 개) 가 하방을 향하여 연직으로 설치되어 있다.
각 안내 장치 (191 ∼ 193) 는 폭이 좁고 긴 형상이며, 직선부 (12) 의 안내부 (48) 가 위치하는 평면 내에 위치하도록, 직선상으로 나열되어 있다.
도 2, 도 10 에 나타내는 상태로부터, 운전자 (6) 는, 탑재 장치 (30) 를 탑재한 탑재차 (40) 의 본체 (21) 및 후륜 (26) 을 선두로 하고, 전륜 (25) 을 후미로 하여 그 탑재차 (40) 를 주행시킨다.
그 때, 운전자 (6) 는, 안내 장치 (191 ∼ 193) 와 이동 중인 주행부 (32) 의 위치 관계를 관찰하고, 안내 장치 (191 ∼ 193) 가, 대면하는 현조 차륜 (42a, 42b) 사이에 위치하도록, 조작 장치 (55) 를 조작하여 탑재차 (40) 의 이동 방향을 수정한다.
각 안내 장치 (191 ∼ 193) 의 폭은, 현조 차륜 (42a, 42b) 사이의 폭보다 좁게 되어 있고, 중심에 위치하는 안내 장치 (191 ∼ 193) 는, 현조 차륜 (42a, 42b) 사이를 통과할 수 있다. 도 3, 도 11 은, 하나의 안내 장치 (192) 가 현조 차륜 (42a, 42b) 사이를 통과하고 있는 상태를 나타내고 있다.
안내 장치 (191 ∼ 193) 는, 「끈」이나, 절곡 가능하게 장착된「봉」등으로 구성되어 있고, 안내 장치 (191 ∼ 193) 가 현조 차륜 (42a, 42b) 사이를 통과하지 못하고, 주행부 (32) 와 충돌한 경우에는, 안내 장치 (191 ∼ 193) 는 접히거나, 또는 구부러져, 안내 장치 (191 ∼ 193) 가 주행부 (32) 의 주행을 방해하지 않고, 탑재차 (40) 는 주행한다.
안내 장치 (191 ∼ 193) 와 주행부 (32) 가 충돌한 경우에는, 다음의 안내 장치 (192, 193) 나 레일 장치 (10) 의 단부 (端部) 에 도달할 때까지, 탑재차 (40) 의 이동 방향을 수정하여, 다음의 안내 장치 (192, 193) 나 레일 장치 (10) 의 단부의 안내부 (48) 가, 대면하는 현조 차륜 (42a, 42b) 사이를 차례로 통과하도록 해 두면 된다.
운전자 (6) 에 의해, 복수의 안내 장치 (191 ∼ 193) 가, 대면하는 현조 차륜 (42a, 42b) 사이를 차례로 통과하도록 탑재차 (40) 의 이동 방향이 제어되면서, 탑재차 (40) 가 플로어면 (5) 상을 주행하면, 탑재차 (40) 의 이동 방향은 직선부 (12) 의 안내부 (48) 가 신장하는 방향과 평행해지고, 직선부 (12) 의 안내부 (48) 를 연장시킨 평면은, 대면하는 현조 차륜 (42a, 42b) 사이에 위치하고 있고, 주행부 (32) 와 교차하고 있다.
그 상태에서는, 탑재차 (40) 의 전륜 (25) 이 회전하는 평면과, 후륜 (26) 이 회전하는 평면은 평행하게 되어 있어, 후륜 (26) 을 회전시켜 본체 (21) 및 후륜 (26) 을 선두로 하여 탑재차 (40) 를 이동시키면, 각 현조 차륜 (42a, 42b) 은 스토퍼 부재 (90) 의 상방을 통과하고, 대면하는 현조 차륜 (42a, 42b) 사이에 직선부 (12) 의 안내부 (48) 가 삽입되어, 안내부 (48) 가 주행부 (32) 사이에 두어진 상태가 된다. 이 상태에서는, 현조 차륜 (42a, 42b) 은 노출되는 레일부 (47) 상에 위치하고 있다.
직선부 (12) 에는, 복수의 정렬 장치 (171 ∼ 173) (여기서는 3 대) 가 설치되어 있고, 정렬 장치 (171 ∼ 173) 에 의해, 탑재차 (40) 는, 직선부 (12) 의 안내부 (48) 가 대면하는 현조 차륜 (42a, 42b) 의 한가운데에 위치하도록 이동된다.
여기서는, 정렬 장치 (171 ∼ 173) 는, 도 22 에 나타내는 바와 같이, 판상의 2 장의 정렬 부재 (37a, 37b) 를 가지고 있고, 주행부 (32) 는 정렬 부재 (37a, 37b) 사이를 통과할 때에, 주행부 (32) 가 정렬 부재 (37a, 37b) 의 어느 일방에 접촉하면, 접촉한 정렬 부재 (37a, 37b) 로부터, 정렬 부재 (37a, 37b) 의 중앙 방향을 향하는 힘을 받아 탑재차 (40) 는 중앙 방향으로 이동한다.
정렬 부재 (37a, 37b) 의 간격은, 주행부 (32) 가 통과하는 순서로 점차 좁아지도록 되어 있고, 탑재차 (40) 가 각 정렬 장치 (171 ∼ 173) 에 의해, 직선부 (12) 의 안내부 (48) 와는 수직인 방향으로 이동됨으로써, 서로 대면하는 2 개의 현조 차륜 (42a, 42b) 의 중앙에, 직선부 (12) 의 안내부 (48) 가 위치하게 된다.
그리고, 마지막 정렬 장치 (173) 를 통과시키고, 이어서, 탑재 장치 (30) 를 직선 이동시킨 후, 도 4, 도 12 에 나타내는 바와 같이, 현조 차륜 (42a, 42b) 이 직선부 (12) 의 레일부 (47) 상에 위치할 때에 승강부 (23) 를 강하시켜, 현조 차륜 (42a, 42b) 을 직선부 (12) 의 레일부 (47) 상에 싣는다.
그리고, 다시 승강부 (23) 를 강하시키면, 도 5 에 나타내는 바와 같이, 승강부 (23) 는 탑재 장치 (30) 의 케이싱 (31) 으로부터 이간된다. 이 때, 레일 장치 (10) 의 직선부 (12) 에 현조된 탑재 장치 (30) 의 탑재 차륜 (35) 의 하단은 플로어면 (5) 의 상방에 위치하고, 탑재 차륜 (35) 은 플로어면 (5) 과는 비접촉이다.
따라서, 처리 대상물 (33) 의 중량을 포함한 그 탑재 장치 (30) 의 중량은, 직선부 (12) 에 의해 현조 지지되어 있고, 탑재 장치 (30) 는 레일 장치 (10) 에 현조된 상태로 되어 있다.
탑재차 (40) 는 탑재 장치 (30) 와 비접촉이며, 탑재 장치 (30) 를 이동시키지 않고 탑재차 (40) 를 이동시킬 수 있기 때문에, 탑재차 (40) 를, 직선부 (12) 의 안내부 (48) 를 대면하는 현조 차륜 (42a, 42b) 사이에 위치시키면서 탑재 장치 (30) 를 직선 이동시켰을 때와 동일한 방향으로 이동시키면, 탑재 장치 (30) 는 정지되면서, 도 6, 도 13 에 나타내는 바와 같이, 본체 (21) 와 탑재 장치 (30) 사이의 거리는 커진다.
도 6, 도 13 에서는, 승강부 (23) 와 차대 (22) 가, 탑재 장치 (30) 의 케이싱 (31) 의 바로 아래 위치의 외측으로 이동할 때까지 탑재차 (40) 를 이동시키고 있다.
직선부 (12) 는, 만곡부 (13) 와 접속부 (14) 를 통하여, 조 내부 (15) 에 접속되어 있다. 만곡부 (13) 의 만곡은, 4 분의 1 원이고, 접속부 (14) 와 조 내부 (15) 는 직선상으로, 직선이 되도록 접속되어 있다. 만곡부 (13) 의 일단에 접속된 직선부 (12) 와 타단에 접속된 접속부 (14) 는, 서로 직각인 방향으로 신장되도록 배치되어 있다.
조 내부 (15) 는, 신장되는 방향이, 반출입용 개구 (7) 와는 직각이 되도록 진공조 (8) 의 내부에 배치되어 있고, 따라서, 승강부 (23) 와 차대 (22) 를, 탑재 장치 (30) 의 케이싱 (31) 의 바로 아래 위치에서 외측으로 이동시킬 때에는, 탑재차 (40) 는, 반출입용 개구 (7) 와 평행하게 이동하므로, 탑재차 (40) 는 진공조 (8) 의 내부로는 들어가지 않는다.
직선부 (12) 와, 만곡부 (13) 와, 접속부 (14) 와, 조 내부 (15) 의 레일부 (47) 는, 동일한 높이에 위치하고 있다.
탑재 장치 (30) 에 대해서는, 안내부 (48) 는 주행부 (32) 사이에 두어져 있고, 각 부 (12 ∼ 16) 의 안내부 (48) 를, 주행부 (32) 사이에 두면서, 탑재 장치 (30) 에 힘을 인가하여 현조 차륜 (42a, 42b) 을 각 부 (12 ∼ 16) 의 레일부 (47) 상에서 회전시키면, 탑재 장치 (30) 는, 직선부 (12) 와, 만곡부 (13) 와, 접속부 (14) 와, 조 내부 (15) 의 차례로, 레일 장치 (10) 를 따라 이동하므로, 탑재 장치 (30) 는 안내부 (48) 를 따라 이동한다. 이 때, 안내부 (48) 가 주행부 (32) 안에 위치하고 있지만, 주행부가 안내부 안에 위치하도록 구성해도 된다.
여기서는, 운전자 (6) 가 인력으로, 탑재 장치 (30) 를 가압 또는 견인하여 현조 차륜 (42a, 42b) 을 회전시키면서, 탑재 장치 (30) 를 레일 장치 (10) 를 따라 이동시키고 있어, 탑재 장치 (30) 가 만곡부 (13) 를 주행할 때에는, 만곡부 (13) 의 만곡 형상에 따라 이동하고, 접속부 (14) 를 통과한 후, 도 14 에 나타내는 바와 같이, 조 내부 (15) 에 현조된 상태에서, 진공조 (8) 의 내부로 이동한다. 진공조 (8) 의 내부에서는, 탑재 차륜 (35) 은, 진공조 (8) 의 플로어면에 접촉하지 않는다.
이상 설명한 바와 같이, 복수의 탑재 장치 (30) 를 각각 탑재차 (40) 에 싣고, 레일 장치 (10) 에 1 대씩 현조하여 진공조 (8) 의 내부로 반입하면, 도 7, 도 16 에 나타내는 바와 같이, 조 내부 (15) 에 현조시킨 탑재 장치 (30) 를, 진공조 (8) 의 내부에 복수 배치할 수 있다.
도 7, 도 16 은, 진공조 (8) 의 내부에서, 소정 개수의 탑재 장치 (30) 가 현조된 상태이며, 덮개 장치 (9) 를 닫고 진공 배기 장치 (29) 에 의해 진공조 (8) 의 내부를 진공 배기하기 위해서, 먼저, 접속부 (14) 를 회전시켜, 반출입용 개구 (7) 의 앞의 위치에, 도 17 에 나타내는 바와 같이, 덮개 장치 (9) 가 위치하기 위한 덮개용 간극 (38) 을 형성한다. 덮개용 간극 (38) 은 조 내부 (15) 와 조 외부 (16) 사이에 위치로서, 반출입용 개구를 관통하는 장소에 위치하고 있다.
접속부 (14) 와 그 주위의 부분을 확대한 평면도를 도 19(a), (b) 에 나타낸다.
접속부 (14) 는, 조 외부 (16) 에 연직으로 형성된 회전축 (64) 에 수평 회전 가능하게 장착되어 있고, 동 도면 (a) 는, 접속부 (14) 에 의해 조 외부 (16) 와 조 내부 (15) 가 접속된 상태이며, 그 접속 상태에서는, 현조된 탑재 장치 (30) 는, 조 외부 (16) 와 조 내부 (15) 사이에서 접속부 (14) 를 통과하여 이동할 수 있다.
접속부 (14) 는, 회전축 (64) 을 중심으로 하여, 시계 방향과 반시계 방향의 양방으로 회전할 수 있도록 되어 있다. 여기서는, 접속 상태에 있는 접속부 (14) 는, 상방으로부터 보아 반시계 방향으로 회전하고, 조 내부 (15) 와 조 외부 (16) 사이에 덮개용 간극 (38) 이 형성되는 분리 상태가 된다. 도 19(b) 는, 분리 상태에 있는 접속부 (14) 를 나타내고 있다.
또한, 접속부 (14) 를 회전할 수 있도록, 접속부 (14) 와 조 외부 (16) 가 접촉하는 접촉면과, 접속부 (14) 와 조 내부 (15) 가 접촉하는 접촉면 사이의 거리인 접속부 (14) 의 길이는, 반시계 방향의 진행 방향의 위치만큼 커지도록 되어 있다.
접속부 (14) 가 접속 상태일 때에는, 덮개 장치 (9) 는, 반출입용 개구 (7) 의 좌방, 우방, 상방의 어느 것에 배치되어 있고, 진공조 (8) 의 내부는, 반출입용 개구 (7) 에 의해 개방된 상태로 되어 있다.
접속부 (14) 가 분리 상태가 되어 도 17 에 나타내는 바와 같이, 조 외부 (16) 와 조 내부 (15) 사이에 덮개용 간극 (38) 이 형성되면, 덮개 장치 (9) 가 덮개용 간극 (38) 에 위치할 수 있기 때문에, 덮개 장치 (9) 가 그와 같이 이동되면, 도 8, 도 18 에 나타내는 바와 같이, 덮개 장치 (9) 는 반출입용 개구 (7) 의 정면에 위치하고, 덮개 장치 (9) 가 진공조 (8) 에 밀착되면, 진공조 (8) 는 덮개 장치 (9) 에 의해 밀폐된다.
진공조 (8) 가 밀폐된 상태에서 진공 배기 장치 (29) 를 동작시키면, 진공조 (8) 의 내부를 진공 배기할 수 있다.
또한, 접속부 (14) 는, 조 외부 (16) 에 형성된 회전축 (64) 에 장착되어 있으므로, 접속부 (14) 가 분리 상태에 있어 진공조 (8) 가 덮개 장치 (9) 에 의해 닫혀 있는 경우에는, 접속부 (14) 는 진공조 (8) 의 외부에 위치하게 되어 있다.
접속부 (14) 에는, 도 19 의 (b) 에 나타난 조 외측 탈락 방지 장치 (61) 가 설치되어 있다.
접속부 (14) 가 접속 상태에 있을 때에는, 조 외측 탈락 방지 장치 (61) 는 레일 장치 (10) 의 측방에 위치하고, 레일 장치 (10) 에 현조된 탑재 장치 (30) 가 이동할 때에는, 조 외측 탈락 방지 장치 (61) 는 탑재 장치 (30) 에 접촉하지 않지만, 분리 상태에서는, 조 외측 탈락 방지 장치 (61) 는, 접속부 (14) 의 회전에 의해, 조 외부 (16) 의 회전축 (64) 이 형성된 단부 근방에 위치하도록 이동한다.
접속부 (14) 가 분리 상태에 있을 때에는, 조 외측 탈락 방지 장치 (61) 는, 조 외부 (16) 에 현조된 탑재 장치 (30) 의 주행부 (32) 와 접촉 가능한 장소에 위치하고 있고, 조 외부 (16) 의 접속부 (14) 와 접속되는 단부를 향하여, 현조된 탑재 장치 (30) 가 이동한 경우에는, 주행부 (32) 가 조 외부 (16) 의 단부로부터 낙하하기 전에, 조 외측 탈락 방지 장치 (61) 가 주행부 (32) 와 접촉하고, 낙하 전에 주행부 (32) 의 레일부 (47) 상의 주행을 정지시켜, 낙하를 방지한다.
또, 접속부 (14) 중 조 내부 (15) 에 접속되는 부분인 캡부 (69) 의 단부에는, 가압 부품 (54) 이 설치되어 있고, 조 내부 (15) 의 접속부 (14) 에 접속되는 위치에는, 조 내측 탈락 방지 장치 (51) 가 설치되어 있다.
도 19(a), (b) 에 대응하는, 조 내부 (15) 의 단면의 정면도를 도 21(a), (b) 에 나타낸다.
조 내부 (15) 의 장착부 (46) 에는, 장착 장치 (52) 가 설치되고, 조 내측 탈락 방지 장치 (51) 는, 장착 장치 (52) 에 수평하게 형성된 회전축 (53) 에 회전 가능하게 장착되어 있다.
가압 부품 (54) 은, 접속부 (14) 가 접속 상태에 있을 때에, 조 내측 탈락 방지 장치 (51) 를 가압하는 장소에 위치하도록 배치되어 있고, 가압된 조 내측 탈락 방지 장치 (51) 는, 조 내부 (15) 의 레일부 (47) 의 외측에 위치하고, 현조 차륜 (42a, 42b) 이 레일부 (47) 상에서 회전하고, 레일 장치 (10) 에 현조된 탑재 장치 (30) 가 조 내부 (15) 와 접속부 (14) 사이에서 이동하는 것에 지장이 없게 되어 있다.
접속부 (14) 가 접속 상태로부터 분리 상태로 이행할 때에, 접속부 (14) 가 회전하면, 가압 부품 (54) 은 조 내측 탈락 방지 장치 (51) 로부터 이간되는 방향으로 이동하고, 가압 부품 (54) 과 조 내측 탈락 방지 장치 (51) 가 비접촉이 되면, 조 내측 탈락 방지 장치 (51) 는 조 내부 (15) 의 레일부 (47) 상에 위치하고, 조 내부 (15) 에 현조된 탑재 장치 (30) 와 접촉하는 장소에 위치한다.
조 내부 (15) 에 현조된 탑재 장치 (30) 가 이동하여, 조 내부 (15) 의 접속부 (14) 에 접속되는 단부로부터 덮개용 간극 (38) 으로 낙하하기 전에, 조 내측 탈락 방지 장치 (51) 가 그 탑재 장치 (30) 의 주행부 (32) 와 접촉하고, 탑재 장치 (30) 의 조 내부 (15) 상의 주행을 정지시켜, 낙하를 방지한다. 도 15 는, 조 내측 탈락 방지 장치 (51) 가 현조 차륜 (42b) 에 접촉하여 낙하가 방지된 탑재 장치 (30) 가 나타나 있다.
접속부 (14) 가 회전하여 분리 상태로부터 접속 상태로 이행할 때에는, 가압 부품 (54) 은, 조 내측 탈락 방지 장치 (51) 에 가까워지는 방향으로 이동하여, 가압 부품 (54) 이 조 내측 탈락 방지 장치 (51) 에 맞닿고, 더욱 이동하면, 가압 부품 (54) 은 조 내측 탈락 방지 장치 (51) 를 가압한다.
가압에 의해, 조 내측 탈락 방지 장치 (51) 는 회전되어, 조 내부 (15) 의 레일부 (47) 상으로부터 제거되어, 레일부 (47) 상을 주행하는 현조 차륜 (42a, 42b) 의 이동에 지장이 없어진다.
또한, 조 외부 (16) 에는, 걸림 부재 (70) 가 고정되어 있고, 걸림 부재 (70) 와 접속부 (14) 의 어느 일방에 오목부 (65) 가 형성되고, 타방에 볼록부 (66) 가 형성되어 있다. 볼록부 (66) 는, 볼록부 본체 (68) 에 장착된 상태에서, 걸림 부재 (70) 와 접속부 (14) 의 어느 일방에 형성되어 있고, 볼록부 본체 (68) 내에 배치된 스프링에 의해 볼록부 (66) 가 가압되면, 볼록부 (66) 는 볼록부 본체 (68) 의 내부 방향으로 이동하여 매몰되게 되어 있다. 볼록부 본체 (68) 와 캡부 (69) 는, 중계부 (60) 에서 서로 고정되어 있고, 중계부 (60) 가 회전축 (64) 에 장착되어 있다.
오목부 (65) 는, 평탄한 평면 상에 형성되어 있고, 접속부 (14) 가 분리 상태로부터 접속 상태가 될 때, 접속부 (14) 의 회전에 의해, 볼록부 본체 (68) 로부터 튀어나온 볼록부 (66) 는, 오목부 (65) 가 형성된 평면에 의해 가압되어, 볼록부 본체 (68) 내에 매몰된다. 그리고 접속부 (14) 가, 조 외부 (16) 와 조 내부 (15) 를 접속하는 위치에서 정지되어 접속 상태가 될 때, 매몰된 볼록부 (66) 와 오목부 (65) 가 대면하여, 대면하는 부분이 평면이 아닌 오목부 (65) 에서는 볼록부 (66) 는 가압되지 않게 되므로, 볼록부 (66) 는 볼록부 본체 (68) 로부터 튀어나온 위치로 복귀하고, 그 결과, 볼록부 (66) 와 오목부 (65) 가 끼워 맞추어진다.
볼록부 (66) 와 오목부 (65) 가 끼워 맞추어진 상태에서는, 접속부 (14) 는 회전하지 못하여, 접속 상태가 유지된다.
또한, 도 19(a), (b) 의 부호 67a, 67b 는, 접속부 (14) 를 회전시키기 위한 끈으로, 롤러 (71) 에 의해 신장하는 방향이 바뀌어져 있다. 운전자 (6) 가, 접속부 (14) 로부터 이간된 장소에서 이 끈을 조작함으로써, 접속부 (14) 를 회전시켜, 접속 상태와 분리 상태 사이에서 접속부 (14) 상태를 전환할 수 있다.
접속부 (14) 를 접속 상태로부터 분리 상태로 변경하기 위해서, 끈 (67a) 을 당기면, 볼록부 (66) 가 볼록부 본체 (68) 의 내부로 넣어져, 볼록부 (66) 와 오목부 (65) 의 끼워 맞춤이 해제되어, 끈 (67a) 을 통하여 접속부 (14) 에 인가되는 견인력에 의해 접속부 (14) 는 회전하여, 접속 상태로부터 분리 상태로 변경된다. 분리 상태로부터 접속 상태로는 끈 (67b) 을 당겨 변경한다.
또한, 접속부 (14) 는, 조 외부 (16) 의 만곡부 (13) 와 조 내부 (15) 를 접속시키고 있지만, 만곡부 (13) 와 접속부 (14) 사이에 직선부를 형성하여, 직선부와 조 내부 (15) 를 접속해도 된다. 이 경우, 접속부 (14) 를 회전 가능하게 장착하는 회전축은, 직선부에 형성된다.
진공조 (8) 중의 탑재 장치 (30) 에 탑재된 처리 대상물 (33) 의 진공 처리가 개시되고, 종료되면, 진공조 (8) 의 내부로부터 탑재 장치 (30) 를 취출한다. 예를 들어, 처리 대상물 (33) 이 식품 (및 식품을 얹는 트레이) 인 경우에는, 진공조 (8) 에는, 콜드 트랩 (도시 생략) 이 접속되어 있고, 콜드 트랩에 의한 진공 건조된 진공 처리가 종료된 후, 탑재 장치 (30) 를 진공조 (8) 로부터 취출한다.
취출할 때에는, 먼저, 진공조 (8) 의 내부를 대기압으로 함과 함께, 덮개 장치 (9) 를 열고, 덮개용 간극 (38) 으로부터 덮개 장치 (9) 를 이동시킨 후, 접속부 (14) 를 회전시켜, 접속부 (14) 를 분리 상태로부터 접속 상태로 변경한다. 접속 상태가 될 때에는, 볼록부 (66) 와 오목부 (65) 가 끼워 맞추어져 접속 상태가 유지된다. 진공조 (8) 의 내부의 바로 앞에 위치하고, 반출입용 개구 (7) 에서 가장 가까운 탑재 장치 (30) 를, 현조된 상태에서 진공조 (8) 의 내부로부터 외부로 이동시키는 힘을 인가하여, 조 내부 (15), 접속부 (14), 조 외부 (16) 의 순서로 이동시킨다. 여기서는, 탑재 장치 (30) 는, 조 외부 (16) 의 직선부 (12) 에 도달했을 때에 정지시킨다.
탑재차 (40) 는, 전륜 (25) 을 직선부 (12) 와 만곡부 (13) 가 접속된 부분을 향하게 하고, 후륜 (26) 및 본체 (21) 를, 그 반대측을 향하게 하여, 직선부 (12) 의 바로 아래 또는, 직선부 (12) 의 안내부 (48) 를 연장한 선 또는 면의 바로 아래 위치에, 미리 배치해 둔다.
승강부 (23) 를, 레일 장치 (10) (여기에서는 직선부 (12)) 에 현조된 탑재 장치 (30) 의 케이싱 (31) 의 바닥면보다 낮은 위치에 강하시켜 두고, 탑재차 (40) 를, 현조된 탑재 장치 (30) 가 위치하는 방향으로 이동시켜, 승강부 (23) 와 차대 (22) 의 전륜 (25) 측의 부분을, 직선부 (12) 에 현조된 탑재 장치 (30) 의 케이싱 (31) 의 바닥면과 플로어면 (5) 사이에 삽입한 후, 승강부 (23) 를 상승시키고, 현조된 탑재 장치 (30) 를 승강부 (23) 에 싣고, 탑재 장치 (30) 를 레일 장치 (10) 로부터 탑재차 (40) 에 옮겨 탑재한다.
승강부 (23) 에 탑재한 탑재 장치 (30) 는, 현조 차륜 (42a, 42b) 의 하단이, 스토퍼 부재 (90) 의 상단보다 높아지도록 상승시키고, 탑재차 (40) 를, 직선부 (12) 의 개방 단부 방향을 향하게 하고, 직선부 (12) 가 신장되는 방향을 따라 이동시키면 탑재 장치 (30) 의, 대면하는 현조 차륜 (42a, 42b) 사이, 및 2 장의 장착판 (41a, 41b) 사이로부터, 안내부 (48) 를 발거시킨다.
이어서, 승강부 (23) 를 강하시켜, 탑재 차륜 (35) 을 플로어면 (5) 상에 싣고, 다시 승강부 (23) 를 강하시켜 승강부 (23) 를 케이싱 (31) 의 바닥면으로부터 이간시키고, 탑재차 (40) 를 후륜 (26) 이 위치하는 방향으로 이동시키면, 플로어면 (5) 상에 실려 있는 탑재 장치 (30) 로부터, 탑재차 (40) 를 분리시킬 수 있다.
상기 예에서는, 주행부 (32) 에 의해, 안내부 (48) 를 사이에 두고 탑재 장치 (30) 를 안내부 (48) 를 따라 이동하도록 했지만, 주행부와 안내부의 구성을 변경하여, 안내부에 의해 주행부를 사이에 두고, 탑재 장치가 안내부를 따라 이동하도록 구성해도 된다.
8 : 진공조
9 : 덮개 장치
10 : 레일 장치
12 : 직선부
13 : 만곡부
14 : 접속부
15 : 조 내부
16 : 조 외부
171 ∼ 173 : 정렬 장치
30 : 탑재 장치
33 : 처리 대상물
40 : 탑재차
23 : 승강부
46 : 장착부
47 : 레일부
48 : 안내부
65 : 오목부
66 : 볼록부

Claims (7)

  1. 측면에 반출입용 개구를 갖는 진공조와,
    상기 진공조 내에서 처리하는 처리 대상물이 탑재되는 탑재 장치와,
    수평하게 배치되어, 상기 탑재 장치가 현조되는 레일 장치를 갖고,
    상기 레일 장치는,
    상기 진공조의 내부에 배치된 부분인 조 내부와,
    상기 진공조의 외부에 배치된 부분인 조 외부와,
    상기 조 내부의 일단과 상기 조 외부의 일단 사이에 배치되어 회전 이동 가능하게 구성된 접속부를 갖고,
    상기 접속부는 수평면 내에서 회전하여, 상기 접속부의 상태는, 상기 조 외부와 상기 조 내부를 접속하는 접속 상태와, 상기 조 외부와 상기 조 내부 사이가 분리되어 상기 조 내부와 상기 조 외부 사이에 덮개용 간극이 형성되는 분리 상태 사이에서 전환되도록 구성되고,
    상기 접속부가 상기 분리 상태에 있을 때, 상기 반출입용 개구는, 상기 덮개용 간극에 배치한 덮개 장치에 의해 밀폐할 수 있도록 구성되고,
    상기 조 내부와 상기 조 외부와 상기 접속부에는, 상기 탑재 장치의 이동 방향을 안내하는 안내부와, 상기 탑재 장치의 상부에 형성된 주행부가 갖는 현조 차륜을 실어 상기 탑재 장치를 현조하는 레일부가 각각 형성되고,
    상기 안내부와 상기 주행부 중의 어느 일방을 타방 사이에 두면, 상기 탑재 장치는, 상기 안내부에 의해 이동 방향이 안내된 상태에서, 상기 현조 차륜이 상기 레일부 상에서 회전하여 상기 탑재 장치가 상기 안내부를 따라 이동할 수 있도록 되어,
    상기 덮개 장치에 의해 밀폐되어 진공 배기된 상기 진공조의 내부에서 상기 조 내부에 현조된 상기 탑재 장치에 탑재된 상기 처리 대상물이 진공 처리되는 진공 장치로서,
    상기 조 외부는, 상기 안내부가 직선상으로 신장되는 직선부와, 상기 안내부가 만곡된 만곡부를 갖고,
    수평 방향으로 이동 가능한 탑재차에 형성된 상하 이동 가능한 승강부 상에 상기 탑재 장치를 위치시켜 상기 승강부를 상승시킴으로써 상기 승강부 상의 상기 탑재 장치와 상기 탑재 장치에 탑재된 상기 처리 대상물의 중량을 상기 탑재차에 의해 지지하고,
    상기 직선부의 상기 안내부와, 중량이 상기 탑재차에 의해 지지된 상기 탑재 장치의 상기 주행부 중의 어느 일방을 타방 사이에 둔 상태에서, 중량이 상기 탑재차에 의해 지지된 상기 탑재 장치의 상기 현조 차륜을 상기 직선부에 포함되는 부분 중의 상기 만곡부에 접속된 부분과는 반대측의 단의 부분으로부터 상기 직선부의 상기 레일부 상에 싣고,
    상기 탑재차를 상기 직선부의 상기 안내부를 따른 일정 방향으로 직선 이동시킴으로써 상기 탑재 장치를 상기 일정 방향으로 직선 이동시킨 후, 상기 승강부를 강하시켜 상기 승강부 상의 상기 탑재 장치는 상기 직선부의 상기 레일부에 현조되고, 상기 탑재 장치는 상기 승강부로부터 이간되는 진공 처리 장치.
  2. 삭제
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 탑재 장치를 상기 승강부로부터 이간시킨 후, 상기 승강부가 상기 일정 방향으로 이동되면, 상기 승강부는 상기 탑재 장치의 바로 아래의 외측으로 이동되는 진공 처리 장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 직선부의 상기 레일부에 현조된 상기 탑재 장치의 상기 현조 차륜은, 상기 직선부의 상기 레일부 상으로부터, 상기 만곡부의 상기 레일부 상과 접속 상태에 있는 상기 접속부의 상기 레일부 상을 굴러 이동한 후, 상기 조 내부의 상기 레일부 상에 도착하면, 상기 진공조의 외부에 위치한 상기 탑재 장치가, 상기 진공조의 내부로 반입되는 진공 처리 장치.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 직선부의 상기 레일부의 상기 만곡부에 접속된 부분과는 반대측의 단에는, 상기 직선부에 현조된 상기 탑재 장치의 탈락을 방지하는 스토퍼 부재가 형성된 진공 처리 장치.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 레일 장치에는, 상기 접속부가 상기 분리 상태일 때에는, 상기 조 내부에 현조된 상기 탑재 장치의 상기 주행부와 접촉하여 상기 탑재 장치가 상기 조 내부로부터 상기 덮개용 간극으로 탈락되는 것을 방지하는 조 내측 탈락 방지 장치와, 상기 조 외부에 현조된 상기 탑재 장치의 상기 주행부와 접촉하여 상기 탑재 장치가 상기 조 외부로부터 상기 덮개용 간극으로 탈락되는 것을 방지하는 조 외측 탈락 방지 장치가 설치된 진공 처리 장치.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 접속부와 상기 조 외부의 어느 일방에는 볼록부가 형성되고, 타방에는 오목부가 형성되어, 상기 접속부가 상기 접속 상태에 있을 때에는, 상기 볼록부와 상기 오목부가 끼워 맞추어져 상기 접속 상태가 유지되고,
    상기 접속부가 상기 접속 상태로부터 상기 분리 상태로 변경될 때에는, 상기 볼록부와 상기 오목부의 끼워 맞춤이 해제되어, 상기 접속부가 회전할 수 있게 되는 진공 처리 장치.
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