WO2015194267A1

WO2015194267A1 - キャリアの搬送システムと搬送方法

Info

Publication number: WO2015194267A1
Application number: PCT/JP2015/062941
Authority: WO
Inventors: 要高井
Original assignee: 村田機械株式会社
Priority date: 2014-06-19
Filing date: 2015-04-30
Publication date: 2015-12-23
Also published as: TW201604117A; EP3159922A4; JP6206748B2; US9991143B2; EP3159922B1; TWI641549B; JP6206748B6; EP3159922A1; CN106663649A; US20170194182A1; CN106663649B; JPWO2015194267A1

Abstract

ローカル台車に横送り機構を設けずに、一時保管できるキャリアの数を増す。処理装置のロードポート間で、天井走行車とローカル台車とにより、キャリアを搬送する。天井走行車とローカル台車は共にホイストを備え、天井走行車はさらにホイストを横送りする横送り機構を備えている。ロードポートの直上部を通過するように天井走行車の走行レールが配置され、ローカル台車の走行レールが、天井走行車の走行レールの下方でかつロードポートの直上部に設けられている。ローカル台車の走行レールの直下の前進位置と、ローカル台車の走行レールの直下から側方に離れている後退位置との間でスライド自在なスライドバッファが設けられている。キャリアの移載のため、後退位置でスライドバッファの上方が開放されている。

Description

キャリアの搬送システムと搬送方法

　この発明は、半導体ウェハー等を収納するキャリアの搬送に関する。

　半導体処理装置の稼働率を増すため、そのロードポートの近傍に一時保管装置（バッファ）を設けることが要求されている。これに関して出願人は特許文献１（JP2012-111635）で、天井走行車（ＯＨＴ：Overhead Hoist Transport）の走行レールと平行にかつその下方に、ローカル台車の走行レールを設けることを提案した。そしてローカル台車と天井走行車の双方が移載可能なバッファを、ローカル台車の走行レールの下方であってロードポートの直上以外の部分に設けると、例えば４個のバッファを設けることができる。バッファの数が不足する場合、天井走行車とローカル台車とにキャリアの横送り機構を設け、ローカル台車の走行レールの斜め下方にバッファを追加することが考えられる。

JP2012-111635

　しかしながら、ローカル台車にキャリアの横送り機構を設けるとすると、ローカル台車の高さが増す。そこでローカル台車の高さを増さずに、一時保管できるキャリアの数を増す必要がある。この発明の課題は、ローカル台車に横送り機構を設けずに、一時保管できるキャリアの数を増すことにある。

　この発明の搬送システムでは、処理装置のロードポート間でキャリアを搬送し、
　キャリアを昇降させるホイストと、ホイストを横送りする横送り機構とを備える天井走行車と、
　建屋の天井空間に、ロードポートの直上部を通過するように配置されている天井走行車の走行レールと、
　キャリアを昇降させるホイストを備えるローカル台車と、
　天井走行車の走行レールの下方で、かつロードポートの直上部に設けられている、ローカル台車の走行レールと、
　前記ローカル台車の走行レールの直下の前進位置と、前記ローカル台車の走行レールの直下から側方に離れている後退位置との間でスライド自在で、かつキャリアを載置自在なスライドバッファと、
　前記ローカル台車及び前記スライドバッファを制御するバッファコントローラとを備え、
　キャリアの移載のため、前記後退位置では前記スライドバッファの上方が開放されており、
　前記天井走行車は、ロードポート及び前記後退位置にあるスライドバッファとの間でキャリアを移載するようにされ、
　前記ローカル台車は、ロードポート及び前記前進位置にあるスライドバッファとの間でキャリアを移載するようにされ、
　さらに前記ローカル台車の走行レールは、ロードポートの直上部から延長されて直上部から外れるローカル台車の待機位置まで延び、
　前記ローカル台車は前記待機位置で待機するようにされている。

　この発明のキャリアの搬送方法では、処理装置のロードポート間で、天井走行車とローカル台車とを有する搬送システムにより、キャリアを搬送し、
　前記搬送システムは、
　キャリアを昇降させるホイストと、ホイストを横送りする横送り機構とを備える天井走行車と、
　建屋の天井空間に、ロードポートの直上部を通過するように配置されている天井走行車の走行レールと、
　キャリアを昇降させるホイストを備えるローカル台車と、
　天井走行車の走行レールの下方で、かつロードポートの直上部に設けられている、ローカル台車の走行レールと、
　前記ローカル台車の走行レールの直下の前進位置と、前記ローカル台車の走行レールの直下から側方に離れている後退位置との間でスライド自在で、かつキャリアを載置自在なスライドバッファと、
　前記ローカル台車及び前記スライドバッファを制御するバッファコントローラ、とを備え、
　キャリアの移載のため、前記後退位置では前記スライドバッファの上方が開放され、
　に前記ローカル台車の走行レールは、ロードポートの直上部から延長されて直上部から外れるローカル台車の待機位置まで延び、
　前記キャリアの搬送方法では、
　前記天井走行車により、ロードポート及び前記後退位置にあるスライドバッファとの間でキャリアを移載し、
　前記ローカル台車により、ロードポート及び前記前進位置にあるスライドバッファとの間でキャリアを移載し、
　前記ローカル台車は前記待機位置で待機する。

　ローカル台車及び天井走行車は、機上のコントローラのプログラム、あるいは上位のコントローラのプログラムにより、上記のように動作するように構成されている。またこの明細書では、キャリアの搬送システムに関する記載はそのままキャリアの搬送方法にも当てはまり、逆にキャリアの搬送方法に関する記載はそのままキャリアの搬送システムにも当てはまる。またスライドバッファに関して、ローカル台車の走行レールの片側に走行方向に沿って１列に複数個設けることが好ましく、また走行レールの両側に走行方向に沿って２列に各複数個設けることが好ましい。

　この発明では、ローカル台車の高さを増さずに、スライドバッファによりバッファできるキャリアの個数を増すことができる。スライドバッファはロードポートの直上部を前進位置とすることができるので、ローカル台車の走行レールの両端部のみに設ける場合よりも、より多く設けることができる。天井走行車は後退位置に有るスライドバッファとの間でキャリアを移載し、ローカル台車は前進位置にあるスライドバッファとの間でキャリアを移載するので、スライドバッファに対する移載の制御が簡単である。ローカル台車は、ロードポートの直上部から離れた位置で待機するので、仮にローカル台車にトラブルが生じても、ロードポートと天井走行車との移載を妨げない。

　天井走行車は横送り機構を有し、一般に後退位置にあるスライドバッファとも、前進位置にあるスライドバッファとも、キャリアを移載できる。そして天井走行車自体の制御により、あるいは実施例のＯＨＴコントローラ等の上位のコントローラからの指令により、後退位置にあるスライドバッファトの間でキャリアを移載する。これによって、天井走行車とスライドバッファ間の移載は、ローカル台車の走行及びロードポートとの間の移載を妨げなくなる。なおローカル台車は、自己の制御により待機位置へ移動しても、実施例のバッファコントローラ等の上位のコントローラの指令により、待機位置へ移動しても良い。

　好ましくは、前記ローカル台車の走行レールの直下で、かつロードポートの直上部から外れる位置に、前記待機位置の直下を含むように、キャリアを載置自在な固定バッファを設ける。このようにすると、バッファの数をさらに増すことができる。ここで、固定バッファを、スライドバッファよりも、キャリアの１段分低い位置に設けると、固定バッファの上部を前進位置とするように、スライドバッファを設けることができる。　

　好ましくは、スライドバッファとして、ローカル台車の走行レールの一側方にスライド自在なスライドバッファと、他側方にスライド自在なスライドバッファとを備えている。そして天井走行車の横送り機構は、走行レールの両側方にホイストを横送り自在に構成され、ローカル台車の走行レールの一側方のスライドバッファに対しても、他側方のスライドバッファに対しても、天井走行車を後退位置でキャリアを移載する。するとローカル台車の走行レールの両側方にスライドバッファを設けて、天井走行車との間でキャリアを移載できる。

　好ましくは、前記天井走行車の走行レールに沿って、前記天井走行車と前記バッファコントローラとが通信するための端末が設けられ、
　前記ローカル台車の走行レールに沿って、前記ローカル台車と前記バッファコントローラとが通信するための端末が設けられ、
　前記スライドバッファは、前記後退位置に固定のベースと、前記前進位置とベース上との間で進退する可動の台座とから成り、
　さらに前記台座が前記前進位置に有ることを検出するセンサと、前記台座が前記ベース上に有ることを検出するセンサとが設けられ、
　前記ローカル台車は、端末を介して前記バッファコントローラに、
　　ロードポートの直上部への進入に先立って進入許可を求め、
　　前記スライドバッファとの移載に先立って、移載の許可を求めるように構成され、
　前記天井走行車は、端末を介して前記バッファコントローラに、
　　ロードポートとの間の移載に先立ってロードポートとの移載の許可を求めると共に、
　　前記スライドバッファとの間の移載に先立って、前記スライドバッファとの移載の許可を求めるように構成され、
　前記バッファコントローラは、端末を介して前記ローカル台車に対して、
　　前記天井走行車からのロードポートとの移載と競合しない場合は、進入許可を与え、
　　前記スライドバッファが前進位置にある場合は、移載を許可し、
　　端末を介して前記天井走行車に対して、
　　前記ローカル台車の進入と競合しない場合は、ロードポートとの移載を許可し、
　　前記スライドバッファが後退位置にある場合は、前記スライドバッファとの移載を許可するように構成されている。

　このようにすると、ロードポートとの間で天井走行車が移載することと、ローカル台車の走行との間の干渉を、端末を介しての通信により排除できる。従って、天井走行車とローカル台車間の干渉を排除できる。またスライドバッファが前進位置にあるか後退位置にあるかを検出して移載を許可するので、所望の位置にないスライドバッファとの間で天井走行車もしくはローカル台車が移載を試みることがない。

実施例の、キャリアの搬送システムの要部平面図実施例のキャリアの一時保管装置の一部切欠部付き側面図実施例の、キャリアの搬送システムの一部切欠部付き正面図収容能力をより大きくした変形例を模式的に示す要部平面図収容能力をより大きくした変形例を模式的に示す要部側面図小さな処理装置に対応する変形例を模式的に示す要部平面図スライドバッファの平面図ローカル台車の平面図実施例の制御系を示すブロック図実施例のインターロック機構を示すブロック図実施例での、天井走行車による移載アルゴリズムを示す図実施例での、天井走行車とローカル台車との干渉の回避アルゴリズムを示す図キャリアの一時保管装置を支柱により天井から支持する、変形例の一部切欠部付き側面図

　以下に本発明を実施するための最適実施例を示す。この発明の範囲は、特許請求の範囲の記載に基づき、明細書の記載とこの分野での周知技術とを参酌し、当業者の理解に従って定められるべきである。

　図１～図１２に、実施例のキャリアの搬送システムとその変形例とを示す。搬送システムは、天井走行車システムと一時保管装置２とから成り、いずれもクリーンルーム内等に設けられ、クリーンルームの天井から図３に示す天井走行車３０（ＯＨＴ）の走行レール４が支持されている。６は半導体等の処理装置で、処理装置には検査装置を含むものとし、ロードポート１６を１個～複数個備えている。また半導体ウェハー、レチクル等の物品はFOUP（Front-Opening Unified Pod）等のキャリア１８に収納されて、スライドバッファ１２，固定バッファ１４に一時保管されると共に、天井走行車（ＯＨＴ）３０とローカル台車１０とにより搬送される。

　一時保管装置２は、クリーンルーム内の通路７上で、人とは干渉しない高さに配置されている。一時保管装置２の最上部を、一対の走行レール８，８に沿って、ロードポート１６の列の直上部を処理装置６と平行に、ローカル台車１０が走行する。走行レール８，８の間には、キャリア１８が通過できる隙間があり、天井走行車３０とローカル台車１０は走行レール８，８の隙間を通るようにして、キャリア１８を移載する。

　ロードポート１６等と対応する位置に、一時保管装置２のフレーム１３にスライドバッファ１２を支持させる。スライドバッファ１２は、走行レール８，８の直下にある前進位置と、走行レール８，８の下部から離れた後退位置との間で進退自在である。また好ましくは、スライドバッファ１２以外に、固定バッファ１４を走行レール８，８の両端もしくは一端に設ける。そしてロードポート１６の上部と固定バッファ１４の上部とが、ローカル台車１０及び天井走行車３０の停止位置となり、固定バッファ１４の上部はローカル台車１０の待機位置でもある。なお固定バッファ１４の代わりにスライドバッファ１２を設けて、固定バッファ１４を設けないようにしても良い。ロードポート１６の上部を除く位置を、ローカル台車１０の待機位置とするので、ローカル台車１０にトラブルが生じても、ロードポート１６と天井走行車３０との移載は妨げられない。

　ローカル台車１０及び天井走行車３０の停止位置は、ロードポート１６及び固定バッファ１４と１：１に対応し、停止位置毎に図１０に示す端末１００～１０２が設けられて、天井走行車３０の移載作業とローカル台車１０の進入とのインターロックを成立させる。２０は光センサ、２１は反射板で、これらは停止位置毎に設けられている。そして反射板２１との間が遮られたことから、天井走行車３０からの昇降台、昇降台を吊持するベルト、あるいは昇降台に把持されているキャリアを、光センサ２０により検出する。２２はバッファコントローラで、ローカル台車１０の制御とスライドバッファ１２の制御、天井走行車３０とローカル台車１０のインターロック、及び処理装置６との通信を行う。

　図２，図３に示すように、一時保管装置２は門形の架台２４により支持され、架台２４の通路７側の前面２５は、通路７に対して、ロードポート１６の前面２６とほぼ同じ位置まで進出しているか、あるいは前面２６よりも処理装置６寄りの位置にある。このため通路７の幅Ｗはロードポート１６の位置により定まり、一時保管装置２を設けても通路７の幅Ｗは狭くならない。なおほぼ同じとは、前面の差が例えば±100mm以下であること、特に±50mm以下であることであり、好ましくは前面２５，２６はほぼ同じ位置にある。ところで一時保管装置２は、クリーンルームの天井あるいは天井走行車３０の走行レール４から吊り下げても良い。しかし架台２４に一時保管装置２を支持させてクリーンルーム内へ搬入し、位置決めすると、一時保管装置２を容易に設置できる。そして架台２４の前面２５がロードポート１６よりも通路７側に進出しないようにすると、通路７を狭くすることにならない。

　天井走行車３０の構造を図３に示す。走行部３２は走行レール４内を走行すると共に横送り機構３３を支持し、横送り機構３３は、走行レール４に水平面内で直角な方向に、昇降駆動部３４を横送りする。昇降駆動部３４は、ベルト３６等の吊持材を繰り出し及び巻き取り、キャリア１８をチャック及び解放自在な昇降台３５を昇降させる。昇降駆動部３４，昇降台３５，及びベルト３６は、ホイストを構成する。そして前記の光センサ２０はホイスト及びホイストに支持されているキャリアを検出する。３８は、キャリア１８の落下を防止する落下防止カバーで、これらの他に、昇降駆動部３４を鉛直軸回りに回動させる機構を追加しても良い。なお横送り機構３３を備えない天井走行車では、スライドバッファ１２を走行レール８，８の下部へ前進させて移載する。　

　図１～図３の一時保管装置２は、スライドバッファ１２を４個、固定バッファ１４を２個備え、処理装置６のロードポート１６は例えば４個である。これに対して、４個のロードポート１６に対して、キャリア１８の収容能力を最大にした一時保管装置４０を、図４，図５に示す。一時保管装置４０では、固定バッファ１４はスライドバッファ１２よりもキャリアの高さで１段分低い位置に設けられ（図５）、この結果、一時保管装置４０が占める高さが増している。スライドバッファ１２は、走行レール８，８の両側に設けられ、固定バッファ１４の上部にも、ロードポート１６から外れたスライドバッファ１２’が前進するように設けられている。この結果、スライドバッファ１２を８個、ロードポート１６から外れたスライドバッファ１２'を４個、固定バッファ１４を２個設けることができ、固定バッファ１４の上部がローカル台車１０の待機位置である。　

　図６は、小型の処理装置６'に対応し収容能力が小さい一時保管装置６０を示す。処理装置６'はロードポート１６を２個備え、一時保管装置６０は、スライドバッファを４個備え、ロードポート１６から外れたスライドバッファ１２'の上部をローカル台車１０の待機位置とする。なお図５のようにすると、固定バッファ１４を２個追加できるが、一時保管装置６０が占める高さが増す。

　図７はスライドバッファ１２の構造を示し、７０はベースで一時保管装置のフレームに固定され、レール７１，７１に沿って、前進位置と後退位置との間で、台座７２が車輪７３により前後進する。なお前進位置はローカル台車の走行レールの直下、後退位置はそれから離れた位置である。台座７２に設けられている、例えば３個の位置決めピン７４は、キャリア１８の底部を位置決めする。キャリアセンサ７５はキャリア１８の有無を検出し、着座センサ７６はキャリア１８が位置決めピン７４上の正しい位置に着座していることを検出し、ＩＤリーダ７７はキャリアのＩＤを読み取る。なおＩＤリーダ７７は設けなくても良く、センサ７５，７６，ＩＤリーダ７７は固定バッファにも同様に設ける。

　空気圧シリンダ、油圧シリンダ等のシリンダ７８とピストン７９により、あるいは図示しないモータと歯付ベルト等により、リニアガイド８０をレール８１に沿って前後進させる。歯付きベルト８２等から成る倍速機構により、リニアガイド８０の２倍のストロークで、台座７２を前後進させる。なおこの倍速機構はスライドフォークで広く用いられているもので、また台座７２の前後進の機構は任意である。センサ８３はリニアガイド８０が後退位置にあることを検出し、センサ８４は前進位置にあることを検出する。ケーブルガイド８５は電源線と信号線とを屈曲自在にガイドし、センサ７５，７６、ＩＤリーダ７７をベース７０側に接続する。センサ８３，８４の作用は台座７２の位置を検出することで、レール７１に台座の前端位置を検出する光センサと、後端位置を検出する光センサ等を取り付けても良い。

　図８はローカル台車１０の構造を示す。ローカル台車１０は、一対の走行レール８，８に沿って、車輪８６と図示しないモータとにより走行し、昇降駆動部８７と図示しないベルト等により、キャリア１８をチャック／解放自在な昇降台８８を昇降させる。ローカル台車１０はこれ以外に、バッファコントローラ２２との通信装置、及び天井走行車３０とのインターロック用の端末との通信装置、電池等の電源、機上のコントローラを備えている。

　図９は、一時保管装置２とその周囲の制御系を示す。材料管理システム（ＭＣＳ）９０は図示しない上位コントローラ等と通信し、キャリアの搬送に関する要求を受け取り、ＯＨＴコントローラ９２とバッファコントローラ２２とに搬送を指示する。ＯＨＴコントローラ９２は複数台の天井走行車３０に搬送を指示し、バッファコントローラ２２はローカル台車１０に搬送を指示するとともに、スライドバッファ１２の前後進を制御する。バッファコントローラ２２は、
・　光センサ２０，センサ７５，７６，ＩＤリーダ７７，センサ８３，８４、及び後述の端末等により、一時保管装置２の状態（バッファ毎のキャリアの有無とスライドバッファ１２の位置）を検出すると共に、
・　天井走行車３０とローカル台車１０のインターロックを行う。

　図１０は、天井走行車３０とローカル台車１０のインターロック機構を示す。光センサ２０は、天井走行車３０からのベルト、昇降台等のホイストを検出し、あるいは天井走行車３０が昇降させているキャリアを検出する。これによって、天井走行車３０がキャリアの移載を行っていることを、天井走行車３０の停止位置と共に検出できる。

　天井走行車３０は、走行レールの直下のロードポート、固定バッファ、及び走行レールの直下に前進しているスライドバッファとの間で、キャリアを移載する場合、端末１００を介して、バッファコントローラ２２に移載の許可を要求する。ローカル台車１０が、これらの位置との間でキャリアを移載する場合、端末１０１を介して、バッファコントローラ２２に移載の許可を要求する。

　バッファコントローラ２２は、センサ８３，８４の信号によりスライドバッファの位置を検出し、さらにスライドバッファと固定バッファでのキャリアの有無を確認し、移載が可能な場合は要求を許可する。またバッファコントローラ２２は処理装置６と通信し、天井走行車３０及びローカル台車１０と、ロードポートとの間での、キャリアの移載要求を処理装置６に転送し、処理装置６から許可信号を受け取る。バッファコントローラ２２は、上記の処理に基づき、端末１００，１０１から、天井走行車３０とローカル台車１０とに移載の許可を送出する。バッファコントローラ２２からの移載の許可信号は端末１００、１０１にセットされ、天井走行車３０とローカル台車１０は移載の許可を確認した後に、移載を実行する。

　ローカル台車１０と天井走行車３０の移載に関する処理を説明したが、天井走行車３０からの移載は、ローカル台車１０の進入と競合する。そこでローカル台車１０は、進入しようとする停止位置毎に、端末１０１を介して、許可をバッファコントローラ２２に要求する。バッファコントローラ２２は、天井走行車３０の移載と干渉しなければ、ローカル台車１０からの進入要求を停止位置毎に許可し、ローカル台車１０は進入許可信号を端末１０１を介して確認した後に、許可された停止位置へ進入する。

　天井走行車３０は、後退位置（ローカル台車１０の走行レールの下方から離れる位置）に有るスライドバッファとの間で、横送り装置によりキャリアを移載することができる。この移載はローカル台車１０の走行と干渉せず、またローカル台車１０による移載とも干渉しない。この場合、天井走行車１０は移載の許可を端末１０２からバッファコントローラ２２に要求し、バッファコントローラ２２は要求されたスライドバッファが移載可能な状態で有れば、要求を許可する。なお端末１０２を端末１００と一体にしても良い。

　ロードポート及び固定バッファに対する天井走行車３０による移載と、ローカル台車１０の進入（走行）が干渉するが、端末１００，１０１によるインターロックで干渉を回避できる。仮に端末１００を介してのインターロックでは不十分な場合が有るとしても、天井走行車３０からのベルト、昇降台、キャリア等を検出することにより、ローカル台車１０と天井走行車３０との干渉を回避できる。後退位置にあるスライドバッファと天井走行車３０との移載では、端末１０２を介してインターロックを成立させることができる。またバッファコントローラ２２は、センサ８３，８４により、スライドバッファの位置を検出できる。

　これらのインターロックは、バッファコントローラ２２ではなく、他のコントローラにより処理しても良い。またバッファコントローラ２２がローカル台車１０から位置の報告を受けている場合、端末１０１とローカル台車１０が通信する代わりに、バッファコントローラ２２が内蔵するインターロック処理部へローカル台車１０の進入許可を要求して、自ら許可しても良い。

　図１１は、天井走行車による一時保管装置との移載アルゴリズムを示す。スライドバッファとの移載（処理p1）では、横送り装置を天井走行車が備えていれば、スライドバッファを走行レールの下方の位置から後退させ、ローカル台車と干渉しない位置で移載する。横送り装置がない場合は、走行レールの下方へスライドバッファを前進させて移載し、この場合のインターロックはロードポートとの移載と同様である。

　ロードポートとの移載（処理p2）では、スライドバッファを図１の走行レール８，８の直下から後退させて移載する。また固定バッファとの移載（処理p3）で、図５のように、固定バッファ上にスライドバッファがある場合、スライドバッファを固定バッファの上部から後退させて移載する。　

　図１２は、天井走行車とローカル台車との干渉の回避アルゴリズムを示す。天井走行車（ＯＨＴ）は、ローカル台車の走行レールの直下にあるスライドバッファ、ロードポート、固定バッファとの間で、キャリアを移載する場合、事前に端末を介して移載の許可を要求する。またローカル台車は、進入しようとする停止位置毎に進入の許可を要求し、移載する場合は、進入の許可に加えて、移載の許可を要求する。そして同じ停止位置には、天井走行車からの移載要求とローカル台車の進入要求の一方のみを許可することにより、天井走行車とローカル台車との干渉を回避する（処理p5）。

　天井走行車がロードポート等との移載を開始した後にエラーを起こすと、端末に移載中である旨の信号を送出できなくなることがある。この状況では、バッファコントローラは天井走行車が移載中であることを認識できなくなる可能性がある。この問題を、天井走行車が移載中であることを、バッファコントローラが不揮発に記憶することにより解決しても良いが、天井走行車のホイスト、昇降中のキャリア等を、図１の光センサ２０で検出する方が確実である。そこでホイスト等を検出すると、その停止位置へのローカル台車の進入を禁止する（処理p6）。

　ローカル台車には停止位置毎に進入の許可を要求させる。バッファコントローラは、ローカル台車に進入を許可した範囲では、天井走行車によるロードポート等との移載を許可しないようにする（処理p7）。なお図１の走行レール８，８の下方から離れた位置に有るスライドバッファとの移載は、ローカル台車と干渉しない。従って、干渉の回避処理は不要である（処理p8）。

　なお図１３に示すように、クリーンルームの天井４０から、支柱４１と取付部４２とにより、一時保管装置２を支持し、架台２４は省略しても良い。また４３は天井走行車３０の走行レール４の支柱である。

２，４０，６０　一時保管装置（一時保管装置）
４　天井走行車の走行レール　　６　処理装置　　７　通路
８　ローカル台車の走行レール　　１０　ローカル台車
１２　スライドバッファ　　１３　フレーム　　１４　固定バッファ
１６　ロードポート　　１８　キャリア　　２０　光センサ
２１　反射板　　２２　バッファコントローラ（コントローラ）
２４　架台　　２５，２６　前面　　３０　天井走行車（ＯＨＴ）
３２　走行部　　３３　横送り機構　　３４　昇降駆動部
３５　昇降台　　３６　ベルト　　３８　落下防止カバー
４０　天井　　　４１，４３　支柱　　４２　取付部　　
７０　ベース　　７１　レール　　７２　台座　　７３　車輪
７４　位置決めピン　　７５　キャリアセンサ　　７６　着座センサ
７７　ＩＤリーダ　　７８　シリンダ　　７９　ピストン
８０　リニアガイド　　８１　レール　　８２　歯付きベルト
８３，８４　センサ　　８５　ケーブルガイド　　８６　車輪
８７　昇降駆動部　　８８　昇降台
９０　材料管理システム（ＭＣＳ）
９２　ＯＨＴコントローラ　　１００～１０２　端末　　　

Claims

　処理装置のロードポート間でキャリアを搬送する搬送システムであって、
　キャリアを昇降させるホイストと、ホイストを横送りする横送り機構とを備える天井走行車と、
　建屋の天井空間に、ロードポートの直上部を通過するように配置されている天井走行車の走行レールと、
　キャリアを昇降させるホイストを備えるローカル台車と、
　天井走行車の走行レールの下方で、かつロードポートの直上部に設けられている、ローカル台車の走行レールと、
　前記ローカル台車の走行レールの直下の前進位置と、前記ローカル台車の走行レールの直下から側方に離れている後退位置との間でスライド自在で、かつキャリアを載置自在なスライドバッファと、
　前記ローカル台車及び前記スライドバッファを制御するバッファコントローラとを備え、
　キャリアの移載のため、前記後退位置では前記スライドバッファの上方が開放されており、
　前記天井走行車は、ロードポート及び前記後退位置にあるスライドバッファとの間でキャリアを移載するようにされ、
　前記ローカル台車は、ロードポート及び前記前進位置にあるスライドバッファとの間でキャリアを移載するように構成され、
　さらに前記ローカル台車の走行レールは、ロードポートの直上部から延長されて直上部から外れるローカル台車の待機位置まで延び、
　前記ローカル台車は前記待機位置で待機するようにされている、キャリアの搬送システム。
　前記ローカル台車の走行レールの直下で、かつロードポートの直上部から外れる位置に、前記待機位置の直下を含むように、キャリアを載置自在な固定バッファが設けられていることを特徴とする、請求項１のキャリアの搬送システム。
　前記スライドバッファとして、前記ローカル台車の走行レールの一側方にスライド自在なスライドバッファと、他側方にスライド自在なスライドバッファとを備え、
　前記天井走行車の横送り機構は、走行レールの両側方にホイストを横送り自在に構成され、
　前記ローカル台車の走行レールの一側方のスライドバッファに対しても、他側方のスライドバッファに対しても、前記天井走行車は前記後退位置でキャリアを移載するようにされていることを特徴とする、請求項１または２のキャリアの搬送システム。
　前記天井走行車の走行レールに沿って、前記天井走行車と前記バッファコントローラとが通信するための端末が設けられ、
　前記ローカル台車の走行レールに沿って、前記ローカル台車と前記バッファコントローラとが通信するための端末が設けられ、
　前記スライドバッファは、前記後退位置に固定のベースと、前記前進位置とベース上との間で進退する可動の台座とから成り、
　さらに前記台座が前記前進位置に有ることを検出するセンサと、前記台座が前記ベース上に有ることを検出するセンサとが設けられ、
　前記ローカル台車は、端末を介して前記バッファコントローラに、
　　ロードポートの直上部への進入に先立って進入許可を求め、
　　前記スライドバッファとの移載に先立って、移載の許可を求めるように構成され、
　前記天井走行車は、端末を介して前記バッファコントローラに、
　　ロードポートとの間の移載に先立ってロードポートとの移載の許可を求めると共に、
　　前記スライドバッファとの間の移載に先立って、前記スライドバッファとの移載の許可を求めるように構成され、
　前記バッファコントローラは、端末を介して前記ローカル台車に対して、
　　前記天井走行車からのロードポートとの移載と競合しない場合は、進入許可を与え、
　　前記スライドバッファが前進位置にある場合は、移載を許可し、
　　端末を介して前記天井走行車に対して、
　　前記ローカル台車の進入と競合しない場合は、ロードポートとの移載を許可し、
　　前記スライドバッファが後退位置にある場合は、前記スライドバッファとの移載を許可するように構成されていることを特徴とする、請求項１～３のいずれかのキャリアの搬送システム。
　処理装置のロードポート間で、天井走行車とローカル台車とを有する搬送システムにより、キャリアを搬送するキャリアの搬送方法あって、
　前記搬送システムは、
　キャリアを昇降させるホイストと、ホイストを横送りする横送り機構とを備える天井走行車と、
　建屋の天井空間に、ロードポートの直上部を通過するように配置されている天井走行車の走行レールと、
　キャリアを昇降させるホイストを備えるローカル台車と、
　天井走行車の走行レールの下方で、かつロードポートの直上部に設けられている、ローカル台車の走行レールと、
　前記ローカル台車の走行レールの直下の前進位置と、前記ローカル台車の走行レールの直下から側方に離れている後退位置との間でスライド自在で、かつキャリアを載置自在なスライドバッファと、
　前記ローカル台車及び前記スライドバッファを制御するバッファコントローラ、とを備え、
　キャリアの移載のため、前記後退位置では前記スライドバッファの上方が開放され、
　に前記ローカル台車の走行レールは、ロードポートの直上部から延長されて直上部から外れるローカル台車の待機位置まで延び、
　前記キャリアの搬送方法では、
　前記天井走行車により、ロードポート及び前記後退位置にあるスライドバッファとの間でキャリアを移載し、
　前記ローカル台車により、ロードポート及び前記前進位置にあるスライドバッファとの間でキャリアを移載し、
　前記ローカル台車は前記待機位置で待機する、キャリアの搬送方法。
　前記搬送システムは、
　　前記スライドバッファとして、前記ローカル台車の走行レールの一側方にスライド自在なスライドバッファと、他側方にスライド自在なスライドバッファとを備え、
　　前記天井走行車の横送り機構は、走行レールの両側方に対してホイストを横送り自在に構成され、
　前記キャリアの搬送方法では、
　前記ローカル台車の走行レールの一側方のスライドバッファに対しても、他側方のスライドバッファに対しても、前記天井走行車は前記後退位置でキャリアを移載することを特徴とする、請求項５のキャリアの搬送方法。
　前記搬送システムは、
　　前記天井走行車の走行レールに沿って設けられている、前記天井走行車と前記バッファコントローラとが通信するための端末と、
　　前記ローカル台車の走行レールに沿って設けられている、前記ローカル台車と前記バッファコントローラとが通信するための端末とを備え、
　　前記スライドバッファは、前記後退位置に固定のベースと、前記前進位置とベース上との間で進退する可動の台座とから成り、
　前記キャリアの搬送方法ではさらに、
　さらに前記台座が前記前進位置に有ることを第１のセンサにより検出すると共に、前記台座が前記ベース上に有ることを第２のセンサにより検出し、
　前記ローカル台車は、端末を介して前記バッファコントローラに、
　　ロードポートの直上部への進入に先立って進入許可を求め、
　　前記スライドバッファとの移載に先立って、移載の許可を求め、
　前記天井走行車は、端末を介して前記バッファコントローラに、
　　ロードポートとの間の移載に先立ってロードポートとの移載の許可を求めると共に、
　　前記スライドバッファとの間の移載に先立って、前記スライドバッファとの移載の許可を求め、
　前記バッファコントローラは、端末を介して前記ローカル台車に対して、
　　前記天井走行車からのロードポートとの移載と競合しない場合は進入を許可し、
　　前記スライドバッファが前進位置にある場合は移載を許可し、
　　端末を介して前記天井走行車に対して、
　　前記ローカル台車の進入と競合しない場合は、ロードポートとの移載を許可し、
　　前記スライドバッファが後退位置にある場合は、前記スライドバッファとの移載を許可することを特徴とする、請求項５または６のキャリアの搬送方法。