WO2015186720A1 - 伝送線路部材 - Google Patents

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WO2015186720A1
WO2015186720A1 PCT/JP2015/065984 JP2015065984W WO2015186720A1 WO 2015186720 A1 WO2015186720 A1 WO 2015186720A1 JP 2015065984 W JP2015065984 W JP 2015065984W WO 2015186720 A1 WO2015186720 A1 WO 2015186720A1
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signal conductor
dielectric
ground
dielectric layer
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PCT/JP2015/065984
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馬場貴博
用水邦明
池本伸郎
松田文絵
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株式会社村田製作所
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    • H05K2201/09672Superposed layout, i.e. in different planes

Definitions

  • the present invention relates to a transmission line member in which signal conductors that transmit different high-frequency signals are arranged close to each other.
  • the transmission line member described in Patent Document 1 has a stripline structure.
  • the transmission line member described in Patent Literature 1 includes a long dielectric element body, a signal conductor, and first and second ground conductors.
  • the signal conductor is disposed at an intermediate position in the thickness direction of the dielectric element body.
  • the first ground conductor and the second ground conductor are arranged so as to sandwich the signal conductor in the thickness direction of the dielectric body.
  • the first ground conductor and the second ground conductor are connected by a plurality of via-hole conductors (interlayer connection conductors) arranged along the signal conductor.
  • the transmission line has a stripline structure in which the signal conductor is sandwiched between the first and second ground conductors.
  • an object of the present invention is to provide a small transmission line member in which coupling between a plurality of transmission lines is suppressed.
  • the transmission line member of the present invention includes a flat dielectric body formed by laminating a plurality of dielectric layers, a first signal conductor and a second signal conductor, and a first ground conductor.
  • the first signal conductor and the second signal conductor are disposed inside the dielectric body and have a shape extending along the transmission direction of the high-frequency signal.
  • the first signal conductor and the second signal conductor are spaced apart from each other in the width direction of the dielectric body perpendicular to the transmission direction.
  • the first ground conductor is disposed inside the dielectric element body and is a ground conductor common to the first signal conductor and the second signal conductor.
  • the first ground conductor includes a first signal conductor ground portion, a second signal conductor ground portion, and an intermediate portion.
  • the ground portion for the first signal conductor is a conductor portion that is disposed on one side in the thickness direction of the dielectric body with respect to the first signal conductor and faces the main surface of the first signal conductor.
  • the second signal conductor ground portion is a conductor portion that is disposed on the other side in the thickness direction with respect to the second signal conductor and faces the main surface of the second signal conductor.
  • the intermediate portion is a conductor portion that connects the first signal conductor ground portion and the second signal conductor ground portion.
  • a region between the first signal conductor and the first signal conductor ground portion is defined as a first region along the thickness direction of the dielectric element body, and between the second signal conductor and the second signal conductor ground portion.
  • the region is a second region, and the end of the second region in the thickness direction on the other end side is on the other side in the thickness direction of the dielectric element body with respect to the end of the first region in the thickness direction Has been placed.
  • the first transmission line formed by at least the first signal conductor and the first signal conductor ground portion, and the second transmission line formed by at least the second signal conductor and the second signal conductor ground portion. are adjacent in the width direction in the dielectric body.
  • a predetermined length is provided between the first signal conductor and the second signal conductor in a direction (thickness direction) substantially orthogonal to a direction (width direction) connecting the first signal conductor and the second signal conductor.
  • An intermediate portion of the first ground conductor having Thereby, even if the space
  • the transmission line member of the present invention preferably has the following configuration.
  • the transmission line member further includes a second ground conductor and a third ground conductor.
  • the second ground conductor is disposed on the opposite side of the first signal conductor ground portion with respect to the first signal conductor in the thickness direction of the first region.
  • the third ground conductor is disposed on the opposite side of the second signal conductor ground portion with respect to the second signal conductor in the thickness direction of the second region.
  • the first signal conductor is sandwiched between the first signal conductor ground portion of the first ground conductor and the second ground conductor.
  • the second signal conductor is sandwiched between the second signal conductor ground portion of the first ground conductor and the third ground conductor.
  • the transmission line member of the present invention may have the following configuration.
  • the transmission line member further includes a fourth ground conductor and a third signal conductor.
  • a part of the fourth ground conductor is disposed on the opposite side of the first ground conductor with respect to the second signal conductor in the thickness direction of the dielectric body, and is formed in substantially the entire width direction of the dielectric body.
  • the third signal conductor is disposed on the opposite side of the first signal conductor with respect to the first ground conductor and the fourth ground conductor in the thickness direction of the dielectric body.
  • the portion of the fourth ground conductor that faces the third signal conductor is disposed closer to the first signal conductor than the portion that faces the second signal conductor.
  • three transmission lines can be formed in the dielectric body.
  • the transmission line member of the present invention may have the following configuration.
  • the transmission line member further includes a sixth ground conductor and a fourth signal conductor.
  • the sixth ground conductor is partially disposed on the opposite side of the fourth signal conductor with respect to the third signal conductor in the thickness direction of the dielectric element body, and is formed in substantially the entire width direction of the dielectric element body.
  • the fourth signal conductor is disposed on the opposite side of the second signal conductor with respect to the fourth ground conductor and the sixth ground conductor in the thickness direction of the dielectric body.
  • the portion of the sixth ground conductor that faces the fourth signal conductor is disposed closer to the second signal conductor than the portion that faces the third signal conductor.
  • the manufacturing method of the transmission line member of this invention has a lamination process and a thermocompression bonding process.
  • a first dielectric layer having a width narrower than the width of the dielectric element body and the first signal conductor formed thereon, and a second signal conductor having a width smaller than the width of the dielectric element body are formed.
  • the first dielectric layer, the third dielectric layer, and the third dielectric layer having a width substantially the same as the width of the dielectric body and having the first ground conductor formed along the stacking direction.
  • the dielectric layer and the second dielectric layer are stacked in this order.
  • the thermocompression bonding step the first dielectric layer, the third dielectric layer, and the second dielectric layer are bonded by thermocompression bonding the laminated first dielectric layer, third dielectric layer, and second dielectric layer.
  • a dielectric element body is formed.
  • the first dielectric layer, the third dielectric layer, and the second dielectric layer are stacked, and the first dielectric layer and the second dielectric layer are overlapped when viewed in the stacking direction. It is arranged not to become.
  • the transmission line member having the above configuration can be easily manufactured.
  • FIG. 1 is an external perspective view of a main part of a transmission line member according to the first embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 is a cross-sectional view of the main part of the transmission line member according to the first embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 is a view showing an AA cross section in FIG.
  • FIG. 3 is a plan view showing the configuration of each dielectric layer of the transmission line member according to the first embodiment of the present invention.
  • FIG. 4 is a plan view showing the configuration of each dielectric layer of the transmission line member according to the first embodiment of the present invention.
  • FIG. 3 shows the fifth to seventh layers
  • FIG. 4 shows the first to fourth layers.
  • the transmission line member 10 includes a flat and long dielectric element body 90.
  • the length direction corresponds to the transmission direction of the high frequency signal.
  • the direction parallel to the flat plate surface and perpendicular to the length direction is the width direction.
  • the direction perpendicular to the length direction and the width direction is the thickness direction.
  • the dielectric body 90 shown in FIG. 1 is a main part of the transmission line member 10, and a lead portion (not shown) and an external portion provided in the lead portion are provided at both ends in the length direction of the dielectric body 90.
  • a connection terminal is provided.
  • the dielectric body 90 includes a first signal conductor 211, a second signal conductor 212, a first ground conductor 300, a second ground conductor 410, a third ground conductor 420, and interlayer connection conductors 510 and 520. .
  • the first signal conductor 211 and the second signal conductor 212 are long and film-like conductors extending along the length direction of the dielectric body 90.
  • the first signal conductor 211 and the second signal conductor 212 are arranged in the middle of the dielectric element body 90 in the thickness direction.
  • the first signal conductor 211 and the second signal conductor 212 are arranged at an interval in the width direction of the dielectric body 90.
  • the first ground conductor 300 is a long and film-like conductor extending along the length direction of the dielectric body 90.
  • the first ground conductor 300 includes three parts, that is, a first signal conductor ground part 311, a second signal conductor ground part 312, and an intermediate part 320 in the width direction of the first ground conductor 300.
  • the first signal conductor ground portion 311, the second signal conductor ground portion 312, and the intermediate portion 320 are integrally formed. These parts are arranged along the width direction of the dielectric body 90 from the side surface on the first signal conductor 211 side to the side surface on the second signal conductor 212 side, the first signal conductor ground portion 311, the intermediate portion 320,
  • the second signal conductor ground portions 312 are arranged in this order.
  • the first signal conductor ground portion 311 of the first ground conductor 300 is wider than the first signal conductor 211.
  • the first signal conductor ground portion 311 is disposed on one side (upper surface side in FIG. 2) in the thickness direction of the dielectric element body 90 with respect to the first signal conductor 211. More specifically, the first signal conductor ground portion 311 is disposed in the vicinity of the flat film surface on one end side in the thickness direction of the dielectric body 90.
  • the first signal conductor ground portion 311 is arranged with a gap in the thickness direction of the dielectric body 90 with respect to the first signal conductor 211.
  • the first signal conductor ground portion 311 is disposed so that the film surfaces of the first signal conductor 211 are substantially parallel to each other.
  • the second signal conductor ground portion 312 is wider than the second signal conductor 212.
  • the second signal conductor ground portion 312 is disposed on the other side (the lower surface side in FIG. 2) in the thickness direction of the dielectric element body 90 with respect to the second signal conductor 212. More specifically, the second signal conductor ground portion 312 is disposed in the vicinity of the flat film surface on the other end side in the thickness direction of the dielectric element body 90.
  • the second signal conductor ground portion 312 is arranged with a gap in the thickness direction of the dielectric body 90 with respect to the second signal conductor 212.
  • the second signal conductor ground portion 312 is disposed so that the film surfaces of the second signal conductor 212 are substantially parallel to the second signal conductor 212.
  • the intermediate part 320 is disposed between the first signal conductor 211 and the second signal conductor 212 in the width direction of the dielectric body 90. It is preferable that the film surface of the intermediate portion 320 has a configuration substantially parallel to the thickness direction of the dielectric body 90. In other words, it is preferable that the film surface of the intermediate portion 320 has a configuration that is substantially orthogonal to the direction in which the first signal conductor 211 and the second signal conductor 212 are arranged.
  • the second ground conductor 410 is wider than the first signal conductor 211.
  • the second ground conductor 410 is disposed on the other side (the lower surface side in FIG. 2) in the thickness direction of the dielectric body 90 with respect to the first signal conductor 211. More specifically, the second ground conductor 410 is disposed in the vicinity of the flat film surface on the other end side in the thickness direction of the dielectric body 90.
  • the second ground conductor 410 is arranged at an interval in the thickness direction of the dielectric body 90 with respect to the first signal conductor 211.
  • the second ground conductor 410 is disposed so that the film surfaces thereof are substantially parallel to the first signal conductor 211.
  • the second ground conductor 410 includes long conductors 411 and 412 and a bridge conductor 413.
  • the long conductors 411 and 412 have a shape extending along the length direction of the dielectric body 90.
  • the long conductors 411 and 412 are disposed so as to sandwich the first signal conductor 211 in the width direction of the dielectric body 90. At this time, it is preferable that the long conductors 411 and 412 do not overlap the first signal conductor 211 when the dielectric body 90 is viewed in the thickness direction.
  • a plurality of bridge conductors 413 are provided, and are connected at a predetermined interval along the direction in which the long conductors 411 and 412 extend.
  • the long conductors 411 and 412 are connected to the first signal conductor ground portion 311 of the first ground conductor 300 by a plurality of interlayer connection conductors 510.
  • the third ground conductor 420 is wider than the second signal conductor 212.
  • the third ground conductor 420 is disposed on one side (the upper surface side in FIG. 2) in the thickness direction of the dielectric body 90 with respect to the second signal conductor 212. More specifically, the third ground conductor 420 is disposed in the vicinity of the flat film surface on one end side in the thickness direction of the dielectric body 90.
  • the third ground conductor 420 is disposed with a gap in the thickness direction of the dielectric body 90 with respect to the second signal conductor 212.
  • the third ground conductor 420 is disposed so that the film surfaces thereof are substantially parallel to the second signal conductor 212.
  • the third ground conductor 420 includes long conductors 421 and 422 and a bridge conductor 423.
  • the long conductors 421 and 422 have a shape extending along the length direction of the dielectric body 90.
  • the long conductors 421 and 422 are arranged so as to sandwich the second signal conductor 212 in the width direction of the dielectric body 90. At this time, it is preferable that the long conductors 421 and 422 do not overlap the second signal conductor 212 when the dielectric body 90 is viewed in the thickness direction.
  • a plurality of bridge conductors 423 are provided, and are connected with a predetermined interval along the direction in which the long conductors 421 and 422 extend.
  • the long conductors 421 and 422 are connected to the second signal conductor ground portion 312 of the first ground conductor 300 by a plurality of interlayer connection conductors 520.
  • the first transmission line 101 is a strip in which the first signal conductor 211 is sandwiched between the first signal conductor ground portion 311 of the first ground conductor 300 and the second ground conductor 410 along the thickness direction of the dielectric body 90.
  • the second transmission line 102 is a strip in which the second signal conductor 212 is sandwiched between the second signal conductor ground portion 312 of the first ground conductor 300 and the third ground conductor 420 along the thickness direction of the dielectric body 90. This is a line-type transmission line.
  • the first transmission line 101 and the second transmission line 102 are transmission lines extending along the length direction of the dielectric body 90, and are arranged along the width direction of the dielectric body 90. Between the first transmission line 101 and the second transmission line 102, an intermediate portion 320 of the first ground conductor 300 is disposed.
  • the intermediate portion 320 includes a film surface that is substantially orthogonal to the direction in which the first signal conductor 211 and the second signal conductor 212 are arranged. Thereby, the electromagnetic coupling between the first signal conductor 211 and the second signal conductor 212 can be suppressed.
  • the second signal conductor 212 is connected to the intermediate portion 320 of the first ground conductor 300 and the second signal conductor ground portion 312 from the first signal conductor 211 toward the second signal conductor 212. It is arranged to be surrounded by.
  • the first signal conductor 211 is disposed so as to be surrounded by the intermediate portion 320 of the first ground conductor 300 and the first signal conductor ground portion 311 from the second signal conductor 212 toward the first signal conductor 211.
  • the electromagnetic coupling between the first signal conductor 211 and the second signal conductor 212 can be suppressed, High isolation between the first transmission line 101 and the second transmission line 102 can be ensured.
  • the width of the dielectric body 90 includes the width at which the first transmission line 101 is formed, the width at which the second transmission line 102 is formed, the film thickness of the intermediate portion 320 of the first ground conductor 300, It consists of the thickness of the dielectric layers on both sides sandwiching the intermediate part 320 along the thickness direction of the intermediate part 320. Therefore, the first signal conductor 211 and the second signal conductor 212 are arranged along the width direction of the dielectric body 90, and an interlayer connection conductor is formed between them, or an isolation ground conductor is arranged. Compared with the embodiment, the width of the dielectric body 90 can be reduced. Thereby, the small-sized transmission line member 10 which ensured high isolation of the 1st transmission line 101 and the 2nd transmission line 102 is realizable.
  • the second region Re ⁇ b> 2 between the second signal conductor 212 and the second signal conductor ground portion 312 of the two transmission lines 102 overlaps in the thickness direction of the dielectric body 90. Thereby, the dielectric element body 90 can be reduced in height, and the transmission line member 10 can be formed in a small size.
  • the other end in the thickness direction of the dielectric body 90 in the second region Re2 is opposite to the end Ed1 on the one end side in the thickness direction of the dielectric body 90 in the first region Re1. If the end portion Ed2 on the end side is disposed on the other side in the thickness direction of the dielectric element body 90, the transmission line member 10 can be reduced in size.
  • the impedance of the first transmission line 101 in such a transmission line member 10 is determined as follows.
  • the shape of the first signal conductor 211 and the first signal conductor ground portion 311 of the first ground conductor 300 is determined so that the impedance of the first transmission line 101 is about 55 ⁇ , which is slightly higher than 50 ⁇ .
  • the shape of the second ground conductor 410 is determined by the second ground conductor 410 so that the characteristic impedance of the first transmission line 101 is 50 ⁇ .
  • the interval between the first signal conductor 211 and the first signal conductor ground portion 311 is wider than the interval between the first signal conductor 211 and the second ground conductor 410.
  • the impedance of the second transmission line 102 is determined as follows.
  • the shape of the second signal conductor 212 and the second signal conductor ground portion 312 of the first ground conductor 300 is determined so that the impedance of the second transmission line 102 is about 55 ⁇ , which is slightly higher than 50 ⁇ .
  • the shape of the third ground conductor 420 is determined by the third ground conductor 420 so that the characteristic impedance of the second transmission line 102 is 50 ⁇ .
  • the interval between the second signal conductor 212 and the second signal conductor ground portion 312 is wider than the interval between the second signal conductor 212 and the third ground conductor 420.
  • the transmission line member 10 having such a structure is manufactured as follows, for example.
  • dielectric layers 901, 902, 903, 904, 905, 906, and 907 are prepared.
  • Each of the dielectric layers 901 to 907 can be obtained by forming a predetermined conductor pattern as needed on a dielectric film made of a material mainly composed of a liquid crystal polymer, for example.
  • the dielectric layer 901 is made of a dielectric film on which no conductor is formed.
  • the width W1 of the dielectric layer 901 is substantially the same as the width of the dielectric body 90.
  • the dielectric layer 902 is made of a dielectric film having a conductor (for example, copper (Cu)) attached to one side. As shown in FIG. 4, a second ground conductor 410 is formed on the surface of the dielectric layer 902 by patterning the conductor on the surface of the dielectric layer 902.
  • the width W2 of the dielectric layer 902 is approximately 1 ⁇ 2 of the width of the dielectric body 90 (the width W1 of the dielectric layer 901).
  • the dielectric layer 903 is made of a dielectric film having a conductor (for example, copper (Cu)) attached to one side. As shown in FIG. 4, the first signal conductor 211 is formed on the surface of the dielectric layer 903 by performing a patterning process or the like on the conductor on the surface of the dielectric layer 903.
  • the width W3 of the dielectric layer 903 is approximately 1 ⁇ 2 of the width of the dielectric body 90 (the width W1 of the dielectric layer 901), and is substantially the same as the width W2 of the dielectric layer 902.
  • the dielectric layer 903 is provided with a plurality of through holes penetrating in the thickness direction in a region overlapping with the second ground conductor 410 when overlapped with the dielectric layer 902.
  • an auxiliary via conductor 511 is formed at the position where the through hole is formed.
  • Each through hole is filled with a conductive paste.
  • the conductive paste filled in the through hole constitutes a part of the interlayer connection conductor 510 by thermocompression bonding of the dielectric layers 901-907.
  • the dielectric layer 904 is made of a dielectric film having a conductor (for example, copper (Cu)) attached on one side.
  • the first ground conductor 300 is formed on the surface of the dielectric layer 904 by performing a patterning process or the like on the conductor on the surface of the dielectric layer 904.
  • the width W4 of the dielectric layer 904 is substantially the same as the width of the dielectric body 90 (the width W1 of the dielectric layer 901).
  • the first ground conductor 300 is formed on substantially the entire surface of the dielectric layer 904. It is preferable that the first ground conductor 300 does not reach both end surfaces of the dielectric layer 904 in the width direction. Thereby, it is possible to suppress the first ground conductor 300 from being unnecessarily short-circuited to the external circuit.
  • the dielectric layer 904 is provided with a plurality of through holes penetrating in the thickness direction except for the first ground conductor 300 in a region where the first ground conductor 300 is formed, and a conductive paste is formed in each through hole. Filled.
  • the conductive paste filled in the through hole constitutes a part of the interlayer connection conductor 510 by thermocompression bonding of the dielectric layers 901-907.
  • the dielectric layer 905 is made of a dielectric film having a conductor (for example, copper (Cu)) attached on one side.
  • the second signal conductor 212 is formed on the surface of the dielectric layer 905 by performing a patterning process or the like on the conductor on the surface of the dielectric layer 905.
  • the width W5 of the dielectric layer 905 is approximately 1 ⁇ 2 of the width of the dielectric body 90 (the width W1 of the dielectric layer 901).
  • the dielectric layer 905 is provided with a plurality of through holes penetrating in the thickness direction.
  • a via auxiliary conductor 521 is formed at the position where the through hole is formed.
  • Each through hole is filled with a conductive paste.
  • the conductive paste filled in the through hole constitutes a part of the interlayer connection conductor 520 by thermocompression bonding of the dielectric layers 901-907.
  • the dielectric layer 906 is made of a dielectric film having a conductor (for example, copper (Cu)) attached to one side. As shown in FIG. 3, a third ground conductor 420 is formed on the surface of the dielectric layer 906 by performing a patterning process or the like on the conductor on the surface of the dielectric layer 906.
  • the width W6 of the dielectric layer 906 is approximately 1 ⁇ 2 of the width of the dielectric body 90 (the width W1 of the dielectric layer 901), and is substantially the same as the width W5 of the dielectric layer 905.
  • the dielectric layer 906 is provided with a plurality of through holes penetrating in the thickness direction except for the third ground conductor 420 in a region where the third ground conductor 420 is formed, and a conductive paste is formed in each through hole. Filled.
  • the conductive paste filled in the through hole constitutes a part of the interlayer connection conductor 520 by thermocompression bonding of the dielectric layers 901-907.
  • the dielectric layer 907 is made of a dielectric film in which no conductor is formed.
  • the width W7 of the dielectric layer 907 is substantially the same as the width of the dielectric body 90.
  • FIG. 5 is a cross-sectional view showing a state before the thermocompression bonding of the transmission line member according to the first embodiment of the present invention.
  • dielectric layers 902 and 903 each having a width that is approximately 1 ⁇ 2 of the width of the dielectric body 90 are stacked between the dielectric layer 901 and the dielectric layer 904 having substantially the same width as the dielectric body 90. Is done.
  • dielectric layers 905 and 906 each having a width approximately half the width of the dielectric body 90 are stacked between the dielectric layer 904 and the dielectric layer 907 having substantially the same width as the dielectric body 90. Is done.
  • the dielectric layer 902 and the dielectric layer 903 are stacked so as to overlap each other.
  • the dielectric layer 905 and the dielectric layer 906 are disposed so as to overlap each other.
  • the dielectric layers 902 and 903 and the dielectric layers 905 and 906 are arranged so as not to overlap.
  • the laminated body is sandwiched between molds from both ends in the laminating direction, and is thermocompression bonded under predetermined conditions.
  • the dielectric layer 904 on which the first ground conductor 300 is formed is positioned in the middle of the width direction (more specifically, the region of the dielectric layers 902 and 903 and the dielectric layer when the stacked body is viewed in the stacking direction). Bend at the boundary of the areas 905 and 906.
  • the first ground conductor 300 includes an intermediate portion 320 having a flat film surface substantially parallel to the stacking direction (thickness direction), and the first signal in which the flat film surfaces connected by the intermediate portion 320 are orthogonal to the stacking direction.
  • the conductor ground portion 311 and the second signal conductor ground portion 312 are shaped.
  • the transmission line member 10 described above can be easily manufactured by using the manufacturing method of the present embodiment.
  • the widths of the dielectric layers 902 and 903 and the widths of the dielectric layers 905 and 906 are approximately 1 ⁇ 2 of the width of the dielectric body 90 is shown.
  • the widths of the dielectric layers 902 and 903 and the dielectrics are such that the total width of the dielectric layers 902 and 903 and the widths of the dielectric layers 905 and 906 is equal to or less than the width of the dielectric body 90.
  • the width of the layers 905 and 906 may be determined.
  • the width of the dielectric layer 902 and the width of the dielectric layer 903 are the same, but may be different.
  • the width of the dielectric layer 905 and the width of the dielectric layer 906 may be different.
  • the first and second transmission lines are configured by stripline transmission lines.
  • the first and second transmission lines may be configured by microstrip transmission lines. Good.
  • the second ground conductor 410, the third ground conductor 420, and the interlayer connection conductors 510 and 520 may be omitted.
  • a stripline type transmission line radiation of electromagnetic waves from the first and second transmission lines 101 and 102 to the outside can be suppressed, and the first and second transmission lines 101 and 102 from the external environment. The influence given to can be suppressed.
  • a mode in which the dielectric layers 901 to 907 are laminated in units of 10 transmission line members has been shown.
  • a dielectric film is prepared for each type of dielectric layer.
  • Each dielectric film is provided with a plurality of dielectric layers arranged corresponding to the respective dielectric films.
  • the dielectric film corresponding to each dielectric material layer is laminated
  • a dielectric film in which a plurality of dielectric layers 902 are formed and a dielectric film in which a plurality of dielectric layers 903 are formed in a state where the dielectric films are laminated A through hole or a recess may be provided in a region where the dielectric layers 905 and 906 are arranged in the stacking direction.
  • a dielectric film in which a plurality of dielectric layers 905 are formed and a dielectric film in which a plurality of dielectric layers 906 are formed have a dielectric layer as viewed in the laminating direction in a state where the dielectric films are laminated.
  • a through hole or a recess may be provided also in a portion that becomes the intermediate portion 320 of the first ground conductor 300 when viewed in the lamination direction.
  • FIG. 6 is an external perspective view of a main part of a transmission line member according to the second embodiment of the present invention.
  • the transmission line member 10A according to the present embodiment differs from the transmission line member 10 according to the first embodiment in the structure of the interlayer connection conductors 510A and 520A.
  • a plurality of recesses 990 are formed on a side surface of the dielectric body 90 parallel to the length direction at a predetermined interval.
  • the recess 990 has a shape that is recessed from the side surface parallel to the length direction of the dielectric body 90 toward the center in the width direction.
  • An interlayer connection conductor 510A is formed on the wall surface of the recess 990 formed on the first side surface close to the first signal conductor 211.
  • the interlayer connection conductor 510 ⁇ / b> A connects the first ground conductor 300 and the second ground conductor 410.
  • An interlayer connection conductor 520A is formed on the wall surface of the recess 990 formed on the second side surface close to the second signal conductor 212.
  • the interlayer connection conductor 520 ⁇ / b> A connects the first ground conductor 300 and the third ground conductor 420.
  • the distance between the first signal conductor 211 and the interlayer connection conductor 510A is set to the first signal conductor shown in the first embodiment. It can be made longer than the distance between 211 and the interlayer connection conductor 510. Thereby, the width
  • the distance between the second signal conductor 212 and the interlayer connection conductor 520A is the second value shown in the first embodiment.
  • the design can be made longer than the distance between the signal conductor 212 and the interlayer connection conductor 520. Since the distance between the second signal conductor 212 and the interlayer connection conductor 520A is large, it is possible to increase the width of the second signal conductor 212. In this case, the conductor loss due to the second signal conductor 212 can be reduced. .
  • the interlayer connection conductors 510A and 520A are formed in the recesses 990 formed on the side surfaces of the dielectric body 90. Therefore, the interlayer connection conductors 510A and 520A can be prevented from protruding beyond the side surface of the dielectric body 90. Thereby, the width of the transmission line member 10A can be made the width of the dielectric body 90, and, for example, the inconvenience such as the interlayer connection conductors 510A and 520A being connected to an undesired external conductor is suppressed. Can do.
  • FIG. 7 is a cross-sectional view of the main part of a transmission line member according to the third embodiment of the present invention.
  • FIG. 8 is sectional drawing which shows the state before thermocompression bonding of the transmission line member which concerns on the 3rd Embodiment of this invention.
  • the transmission line member 10 according to the first embodiment includes two transmission lines (the first transmission line 101 and the second transmission line 102), whereas the transmission line member 10B according to the present embodiment includes three transmission line members 10B. There are two transmission lines (first transmission line 101B, second transmission line 102B, and third transmission line 103B).
  • the transmission line member 10B includes a flat and long dielectric body 90B.
  • the dielectric body 90B includes a first signal conductor 211B, a second signal conductor 212B, a third signal conductor 213B, a first ground conductor 301B, a second ground conductor 410B, a fourth ground conductor 302B, a fifth ground conductor 430B, Interlayer connection conductors 510B, 520B, and 530B are disposed.
  • the first signal conductor 211B, the second signal conductor 212B, and the third signal conductor 213B are long and film-like conductors extending along the length direction of the dielectric body 90B.
  • the first signal conductor 211B, the second signal conductor 212B, and the third signal conductor 213B are arranged in the middle of the dielectric element body 90B in the thickness direction.
  • the first signal conductor 211B and the third signal conductor 213B are disposed at substantially the same position in the width direction of the dielectric body 90B.
  • the first signal conductor 211B and the third signal conductor 213B are arranged at an interval in the thickness direction of the dielectric body 90B.
  • the first signal conductor 211B, the third signal conductor 213B, and the second signal conductor 212B are arranged at an interval in the width direction of the dielectric body 90B.
  • the first ground conductor 301B is a long and film-like conductor extending along the length direction of the dielectric body 90B.
  • the first ground conductor 301B is composed of three parts in the width direction of the first ground conductor: a first signal conductor ground portion 301B1, a second signal conductor ground portion 301B2, and an intermediate portion 301B3.
  • the first signal conductor ground portion 301B1, the second signal conductor ground portion 301B2, and the intermediate portion 301B3 are integrally formed.
  • the first signal conductor ground portion 301B1 of the first ground conductor 301B is wider than the first signal conductor 211B.
  • the first signal conductor ground portion 301B1 is disposed on one side (upper surface side in FIG. 7) in the thickness direction of the dielectric body 90B with respect to the first signal conductor 211B.
  • the second signal conductor ground portion 301B2 of the first ground conductor 301B is wider than the second signal conductor 212B.
  • the second signal conductor ground portion 301B2 is disposed on the other side (the lower surface side in FIG. 7) in the thickness direction of the dielectric element body 90B with respect to the second signal conductor 212B.
  • the intermediate portion 301B3 of the first ground conductor 301B is disposed between the first signal conductor 211B and the second signal conductor 212B in the width direction of the dielectric body 90B.
  • the film surface of the intermediate portion 301B3 is more preferable as it has a configuration substantially parallel to the thickness direction of the dielectric body 90B. In other words, it is preferable that the film surface of the intermediate portion 301B3 is configured to be substantially orthogonal to the direction in which the first signal conductor 211B and the second signal conductor 212B are arranged.
  • the second ground conductor 410B is wider than the first signal conductor 211B.
  • the second ground conductor 410B is disposed on the other side (the lower surface side in FIG. 7) in the thickness direction of the dielectric body 90B with respect to the first signal conductor 211B.
  • the second ground conductor 410B includes long conductors 411B and 412B and a bridge conductor 413B.
  • the long conductors 411B and 412B have a shape extending along the length direction of the dielectric body 90B.
  • the long conductors 411B and 412B are arranged so as to sandwich the first signal conductor 211B in the width direction of the dielectric body 90B. At this time, it is preferable that the long conductors 411B and 412B do not overlap the first signal conductor 211B when the dielectric body 90B is viewed in the thickness direction.
  • a plurality of bridge conductors 413B are provided, and are connected at intervals along the direction in which the long conductors 411B and 412B extend.
  • the long conductors 411B and 412B are connected to the first signal conductor ground portion 301B1 of the first ground conductor 301B by a plurality of interlayer connection conductors 510B.
  • the fourth ground conductor 302B is a long and film-like conductor extending along the length direction of the dielectric body 90B.
  • the fourth ground conductor 302B includes three portions of a third signal conductor ground portion 302B1, a second signal conductor ground portion 302B2, and an intermediate portion 302B3 in the width direction of the fourth ground conductor 302B.
  • the third signal conductor ground portion 302B1, the second signal conductor ground portion 302B2, and the intermediate portion 302B3 are integrally formed.
  • the third signal conductor ground portion 302B1 of the fourth ground conductor 302B is wider than the third signal conductor 213B.
  • the third signal conductor ground portion 302B1 is disposed on the other side in the thickness direction of the dielectric body 90B (the lower surface side in FIG. 7) with respect to the third signal conductor 213B.
  • the second signal conductor ground portion 302B2 of the fourth ground conductor 302B is wider than the second signal conductor 212B.
  • the second signal conductor ground portion 302B2 is arranged on one side (the upper surface side in FIG. 7) in the thickness direction of the dielectric element body 90B with respect to the second signal conductor 212B.
  • the second signal conductor ground portion 302B2 and the second signal conductor ground portion 301B2 are connected by an interlayer connection conductor 520B.
  • the intermediate portion 302B3 of the fourth ground conductor 302B is disposed between the third signal conductor 213B and the second signal conductor 212 and B in the width direction of the dielectric body 90B.
  • the film surface of the intermediate portion 302B3 is preferably as it is configured to be substantially parallel to the thickness direction of the dielectric body 90B. In other words, it is preferable that the film surface of the intermediate portion 302B3 is configured to be substantially orthogonal to the direction in which the third signal conductor 213B and the second signal conductor 212B are arranged.
  • the fifth ground conductor 430B is wider than the third signal conductor 213B.
  • the fifth ground conductor 430B is arranged on one side (the upper surface side in FIG. 7) in the thickness direction of the dielectric body 90B with respect to the third signal conductor 213B.
  • the fifth ground conductor 430B includes long conductors 431B and 432B and a bridge conductor 433B.
  • the long conductors 431B and 432B have a shape extending along the length direction of the dielectric body 90B.
  • the long conductors 431B and 432B are arranged so as to sandwich the third signal conductor 213B in the width direction of the dielectric body 90B. At this time, it is preferable that the long conductors 431B and 432B do not overlap the third signal conductor 213B when the dielectric body 90B is viewed in the thickness direction.
  • a plurality of bridge conductors 433B are provided, and are connected at intervals along the direction in which the long conductors 431B and 432B extend.
  • the long conductors 431B and 432B are connected to the third signal conductor ground portion 302B1 of the fourth ground conductor 302B by a plurality of interlayer connection conductors 530B.
  • the first transmission line 101B is a strip in which the first signal conductor 211B is sandwiched between the first signal conductor ground portion 301B1 of the first ground conductor 301B and the second ground conductor 410B along the thickness direction of the dielectric body 90B.
  • This is a line-type transmission line.
  • the second transmission line 102B includes a second signal conductor 212B, a second signal conductor ground portion 301B2 of the first ground conductor 301B, and a second signal of the fourth ground conductor 302B along the thickness direction of the dielectric body 90B.
  • the third signal conductor 213B is sandwiched between the third signal conductor ground portion 302B1 of the fourth ground conductor 302B and the fifth ground conductor 430B along the thickness direction of the dielectric body 90B.
  • the first, second, and third transmission lines 101B, 102B, and 103B are transmission lines that extend along the length direction of the dielectric body 90B.
  • the first transmission line 101B and the second transmission line 102B are arranged along the width direction of the dielectric body 90B.
  • the first transmission line 101B and the third transmission line 103B are arranged along the thickness direction of the dielectric body 90B.
  • the first transmission line 101B and the third transmission line 103B overlap each other when the dielectric body 90B is viewed in plan.
  • An intermediate portion 301B3 of the first ground conductor 301B is disposed between the first transmission line 101B and the second transmission line 102B.
  • the intermediate portion 301B3 includes a film surface that is substantially orthogonal to the direction in which the first signal conductor 211B and the second signal conductor 212B are arranged. Thereby, electromagnetic coupling between the first signal conductor 211B and the second signal conductor 212B can be suppressed.
  • an intermediate portion 302B3 of the fourth ground conductor 302B is disposed between the third transmission line 103B and the second transmission line 102B.
  • the intermediate portion 302B3 includes a film surface that is substantially orthogonal to the direction in which the third signal conductor 213B and the second signal conductor 212B are arranged. Thereby, electromagnetic field coupling between the third signal conductor 213B and the second signal conductor 212B can be suppressed.
  • the first signal conductor ground portion 301B1 of the first ground conductor 301B and the third signal conductor ground portion 302B1 of the fourth ground conductor 302B are arranged. Has been. Thereby, electromagnetic coupling between the first signal conductor 211B and the third signal conductor 213B can be suppressed.
  • the first signal conductor 211B and the second signal conductor 212B are close to each other in the width direction of the dielectric element body 90B, and the first signal conductor 211B and the third signal conductor 213B are the elements of the dielectric element body 90B. Even when they are close to each other in the thickness direction, the electromagnetic coupling between the first signal conductor 211B, the second signal conductor 212B, and the third signal conductor 213B can be suppressed. Therefore, it is possible to ensure high isolation between the first transmission line 101B, the second transmission line 102B, and the third transmission line 103B.
  • the width of the dielectric body 90B can be reduced.
  • the small transmission line member 10B which ensured the mutual isolation of the 1st transmission line 101B, the 2nd transmission line 102B, and the 3rd transmission line 103B highly is realizable.
  • the impedances of the first transmission line 101B and the third transmission line 103B in the transmission line member 10B can be determined in the same manner as the impedances of the first and second transmission lines 101 and 102 shown in the first embodiment. .
  • the second signal conductor ground portions 301B2 and 302B2 sandwiching the second signal conductor 212B are both solid conductors (a conductor having no opening or a conductor having almost no opening). Therefore, the impedance of the second transmission line 102B can be determined similarly to the impedance of a general stripline type transmission line.
  • the distance between the second signal conductor 212B and the second signal conductor ground portion 301B2 and the distance between the second signal conductor 212B and the second signal conductor ground portion 302B2 are the first transmission line 101B and the third transmission line. It is preferable that the distance between the signal conductor and the ground conductor in 103B is longer. Thereby, the capacitive coupling between the second signal conductor 212B and the second signal conductor ground portion 301B2 can be suppressed, and a desired impedance can be easily realized.
  • the first signal conductor ground portion 301B1 of the first ground conductor 301B and the third signal conductor ground portion 302B1 of the fourth ground conductor 302B are in the thickness direction of the dielectric body 90B. , Close.
  • the first signal conductor ground portion 301B1 and the third signal conductor ground portion 302B1 are connected by a plurality of interlayer connection conductors 590. Thereby, the potential difference between the ground conductors can be suppressed.
  • the interlayer connection conductor 590 is disposed at a position overlapping the interlayer connection conductors 510 and 530 when the dielectric body 90B is viewed in plan. Thereby, it is possible to suppress the first signal conductor ground portion 301B1 of the first ground conductor 301B and the third signal conductor ground portion 302B1 of the fourth ground conductor 302B from being deformed when the dielectric body 90B is molded. Thereby, it can suppress that the positional relationship of a signal conductor and a ground conductor changes by shaping
  • the transmission line member 10B having such a structure is manufactured as follows, for example.
  • dielectric layers 901B, 902B, 903B, 904B, 905B, 906B, 907B, 908B, 909B are prepared.
  • Each of the dielectric layers 901B-909B can be obtained, for example, by forming a predetermined conductor pattern on a dielectric film made of a material mainly composed of a liquid crystal polymer, if necessary.
  • the dielectric layer 901B is made of a dielectric film having a conductor (for example, copper (Cu)) attached on one side.
  • a second ground conductor 410B is formed on the surface of the dielectric layer 901B by performing a patterning process or the like on the conductor on the surface of the dielectric layer 901B.
  • the width of the dielectric layer 901B is the same as the width of the dielectric body 90B.
  • the second ground conductor 410B is formed on a half surface on one end side in the width direction of the dielectric layer 901B.
  • the dielectric layer 902B is made of a dielectric film having a conductor (for example, copper (Cu)) attached on one side. As shown in FIG. 8, the first signal conductor 211B and the via auxiliary conductor 511 are formed on the surface of the dielectric layer 902B by patterning the conductor on the surface of the dielectric layer 902B. .
  • the width of the dielectric layer 902B is approximately half (1/2) the width of the dielectric body 90B.
  • the dielectric layer 902B is disposed at a half position on one end side in the width direction of the dielectric body 90B.
  • the via auxiliary conductor 511 is provided in a region overlapping the long conductors 411B and 412B of the second ground conductor 410B when the dielectric layer 902B is overlaid on the dielectric layer 901B.
  • the dielectric layer 902B includes a plurality of layers penetrating in the thickness direction in regions overlapping the long conductors 411B and 412B of the second ground conductor 410B (regions overlapping the via auxiliary conductor 511) when superimposed on the dielectric layer 901B.
  • Through-holes are provided. Each through hole is filled with a conductive paste.
  • the conductive paste filled in the through hole constitutes a part of the interlayer connection conductor 510B together with the via auxiliary conductor 511 by thermocompression bonding of the dielectric layers 901B-909B.
  • the dielectric layer 903B is made of a dielectric film in which a conductor (for example, copper (Cu)) is attached to one side.
  • a first ground conductor 301B is formed on the surface of the dielectric layer 903B by performing a patterning process or the like on the conductor on the surface of the dielectric layer 903B.
  • the width of the dielectric layer 903B is substantially the same as the width of the dielectric body 90B.
  • the first ground conductor 301B is formed on substantially the entire surface of the dielectric layer 903B. It is preferable that the first ground conductor 301B does not reach both end faces in the width direction of the dielectric layer 903B. Thereby, it is possible to suppress the first ground conductor 301B from being unnecessarily short-circuited to the external circuit.
  • the dielectric layer 903B is provided with a plurality of through holes penetrating in the thickness direction except for the first ground conductor 301B in the formation region of the first ground conductor 301B, and a conductive paste is formed in each through hole. Filled.
  • the conductive paste filled in the through hole constitutes a part of the interlayer connection conductor 510B by thermocompression bonding of the dielectric layers 901B-909B.
  • the dielectric layer 904B is made of a dielectric film having a conductor (for example, copper (Cu)) attached to one surface. As shown in FIG. 8, the second signal conductor 212B and the via auxiliary conductor 521 are formed on the surface of the dielectric layer 904B by patterning the conductor on the surface of the dielectric layer 904B. Yes.
  • the width of the dielectric layer 904B is approximately 1 ⁇ 2 of the width of the dielectric body 90B.
  • the dielectric layer 904B is disposed at a half position on the other end side in the width direction of the dielectric body 90B.
  • the via auxiliary conductor 521 is provided so as to sandwich the second signal conductor 212B in the width direction of the dielectric layer 904B.
  • the dielectric layer 904 ⁇ / b> B is provided with a through-hole penetrating in the thickness direction in a region overlapping with the via auxiliary conductor 521.
  • Each through hole is filled with a conductive paste.
  • the conductive paste filled in the through hole constitutes a part of the interlayer connection conductor 520B together with the via auxiliary conductor 521 by thermocompression bonding of the dielectric layers 901B-909B.
  • the dielectric layer 905B is made of a dielectric film having a conductor (for example, copper (Cu)) attached to one side. As shown in FIG. 8, a via auxiliary conductor 521 is formed on the surface of the dielectric layer 905B by performing patterning or the like on the conductor on the surface of the dielectric layer 905B.
  • the width of the dielectric layer 905B is approximately 1 ⁇ 2 of the width of the dielectric body 90B.
  • the dielectric layer 905B is disposed at a half position on the other end side in the width direction of the dielectric body 90B.
  • the via auxiliary conductor 521 is provided at a position overlapping the auxiliary via conductor 521 of the dielectric layer 904B in a state where the dielectric layer 905B is superimposed on the dielectric layer 904B.
  • the dielectric layer 905 ⁇ / b> B is provided with a through hole penetrating in the thickness direction in a region overlapping with the via auxiliary conductor 521. Each through hole is filled with a conductive paste.
  • the conductive paste filled in the through hole constitutes a part of the interlayer connection conductor 520B together with the via auxiliary conductor 521 by thermocompression bonding of the dielectric layers 901B-909B.
  • the dielectric layer 905B is a dielectric layer for adjusting the impedance of the second transmission line 102B by setting the distance between the second signal conductor 212B and the fourth ground conductor 302B to a predetermined value.
  • the dielectric layer 906B is made of a dielectric film having a conductor (for example, copper (Cu)) attached to one surface. As shown in FIG. 8, a patterning process or the like is performed on the conductor on the surface of the dielectric layer 906B to form a fourth ground conductor 302B on the surface of the dielectric layer 906B.
  • the width of the dielectric layer 906B is substantially the same as the width of the dielectric body 90B.
  • the fourth ground conductor 302B is formed on substantially the entire surface of the dielectric layer 906B. It is preferable that the fourth ground conductor 302B does not reach both end faces in the width direction of the dielectric layer 906B. Thereby, it is possible to suppress the fourth ground conductor 302B from being unnecessarily short-circuited to the external circuit.
  • the dielectric layer 906B is provided with a plurality of through holes penetrating in the thickness direction except for the fourth ground conductor 302B in the formation area of the fourth ground conductor 302B.
  • a conductive paste is formed in each through hole. Filled.
  • the conductive paste filled in the through hole formed in the half region on the other end side in the width direction of the dielectric layer 906B constitutes a part of the interlayer connection conductor 520B by thermocompression bonding of the dielectric layers 901B-909B. To do.
  • a conductive paste filled in a through hole formed in a half region on one end side in the width direction of the dielectric layer 906B constitutes a part of the interlayer connection conductor 590 by thermocompression bonding of the dielectric layers 901B-909B. To do.
  • the dielectric layer 907B is made of a dielectric film having a conductor (for example, copper (Cu)) attached on one side. As shown in FIG. 8, the third signal conductor 213B and the via auxiliary conductor 531 are formed on the surface of the dielectric layer 907B by patterning the conductor on the surface of the dielectric layer 907B. Yes.
  • the width of the dielectric layer 907B is approximately 1 ⁇ 2 of the width of the dielectric body 90B.
  • the dielectric layer 907B is disposed at a half position on one end side in the width direction of the dielectric body 90B.
  • the via auxiliary conductor 531 is provided so as to sandwich the third signal conductor 213B in the width direction of the dielectric layer 907B.
  • a through-hole penetrating in the thickness direction is provided in a region overlapping with the via auxiliary conductor 531.
  • Each through hole is filled with a conductive paste.
  • the conductive paste filled in the through hole constitutes a part of the interlayer connection conductor 530B together with the via auxiliary conductor 531 by thermocompression bonding of the dielectric layers 901B-909B.
  • the dielectric layer 908B is made of a dielectric film having a conductor (for example, copper (Cu)) attached to one surface.
  • a fifth ground conductor 430B is formed on the surface of the dielectric layer 908B by performing a patterning process or the like on the conductor on the surface of the dielectric layer 908B.
  • the width of the dielectric layer 908B is the same as the width of the dielectric body 90B.
  • the fifth ground conductor 430B is formed on the half surface on one end side in the width direction of the dielectric layer 908B. No conductor is formed on the other half of the dielectric layer 908B in the width direction. However, by providing this portion, the thickness of the dielectric body 90B can be made uniform.
  • the dielectric layer 909B is made of a dielectric film on which no conductor is formed.
  • the width of the dielectric layer 909B is substantially the same as the width of the dielectric body 90B.
  • the dielectric layers 901B-909B having such a structure are replaced with a dielectric layer 901B, a dielectric layer 902B, a dielectric layer 903B, a dielectric layer 904B, a dielectric layer 905B, and a dielectric layer 906B.
  • the dielectric layer 907B, the dielectric layer 908B, and the dielectric layer 909B are stacked in this order.
  • the stacked body is sandwiched between molds from both ends in the stacking direction, and is thermocompression bonded under predetermined conditions.
  • the dielectric layer 903B on which the first ground conductor 301B is formed is positioned in the middle of the width direction (more specifically, the region of the dielectric layer 902B when the stacked body is viewed in the stacking direction, and the dielectric layers 904B, 904B, Bend at the boundary with the area of 905B.
  • the first ground conductor 301B includes an intermediate portion 301B3 having a flat film surface substantially parallel to the stacking direction (thickness direction), and the first signal in which the flat film surfaces connected by the intermediate portion 301B3 are orthogonal to the stacking direction. It is formed into a conductor ground portion 301B1 and a second signal conductor ground portion 301B2.
  • the dielectric layer 906B on which the fourth ground conductor 302B is formed is positioned in the middle of the width direction (more specifically, the regions of the dielectric layers 904B and 905B when the stacked body is viewed in the stacking direction) and the dielectric layer 908B. Bend at the boundary of the area.
  • the fourth ground conductor 302B includes an intermediate portion 302B3 whose flat film surface is substantially parallel to the stacking direction (thickness direction), and the third signal in which the flat film surfaces connected by the intermediate portion 302B3 are orthogonal to the stacking direction. It is formed into a conductor ground portion 302B1 and a second signal conductor ground portion 302B2.
  • the above-described transmission line member 10B can be easily manufactured.
  • FIG. 9 is a cross-sectional view of the main part of a transmission line member according to the fourth embodiment of the present invention.
  • FIG. 10 is sectional drawing which shows the state before thermocompression bonding of the transmission line member which concerns on the 4th Embodiment of this invention.
  • the transmission line member 10 includes two transmission lines (the first transmission line 101 and the second transmission line 102)
  • the transmission line member 10C according to the present embodiment includes four transmission line members 10C.
  • Two transmission lines (first transmission line 101C, second transmission line 102C, third transmission line 103C, and fourth transmission line 104C) are provided.
  • the transmission line member 10C includes a flat and long dielectric element body 90C.
  • the dielectric body 90C includes a first signal conductor 211C, a second signal conductor 212C, a third signal conductor 213C, a fourth signal conductor 214C, a first ground conductor 301C, a second ground conductor 410C, a fourth ground conductor 302C, A sixth ground conductor 303C, a seventh ground conductor 440C, and interlayer connection conductors 510C, 520C, 530C, and 540C are disposed.
  • the first signal conductor 211C, the second signal conductor 212C, the third signal conductor 213C, and the fourth signal conductor 214C are elongated and film-like conductors extending along the length direction of the dielectric body 90C.
  • the first signal conductor 211C, the second signal conductor 212C, the third signal conductor 213C, and the fourth signal conductor 214C are disposed in the middle of the dielectric element body 90C in the thickness direction.
  • the first signal conductor 211C and the third signal conductor 213C are disposed at substantially the same position in the width direction of the dielectric body 90C.
  • the first signal conductor 211C and the third signal conductor 213C are arranged at an interval in the thickness direction of the dielectric body 90C.
  • the second signal conductor 212C and the fourth signal conductor 214C are disposed at substantially the same position in the width direction of the dielectric body 90C.
  • the second signal conductor 212C and the fourth signal conductor 214C are arranged at an interval in the thickness direction of the dielectric body 90C.
  • the first signal conductor 211C, the third signal conductor 213C, the second signal conductor 212C, and the fourth signal conductor 214C are arranged with an interval in the width direction of the dielectric body 90C.
  • the first ground conductor 301C is a long and film-like conductor extending along the length direction of the dielectric body 90C.
  • the first ground conductor 301C is composed of three parts, that is, a first signal conductor ground portion 301C1, a second signal conductor ground portion 301C2, and an intermediate portion 301C3 in the width direction of the first ground conductor 301C.
  • the first signal conductor ground portion 301C1, the second signal conductor ground portion 301C2, and the intermediate portion 301C3 are integrally formed.
  • the first signal conductor ground portion 301C1 of the first ground conductor 301C is wider than the first signal conductor 211C.
  • the first signal conductor ground portion 301C1 is disposed on one side (the upper surface side in FIG. 9) in the thickness direction of the dielectric body 90C with respect to the first signal conductor 211C.
  • the second signal conductor ground portion 301C2 of the first ground conductor 301C is wider than the second signal conductor 212C.
  • the second signal conductor ground portion 301C2 is disposed on the other side (the lower surface side in FIG. 9) in the thickness direction of the dielectric body 90C with respect to the second signal conductor 212C.
  • the intermediate portion 301C3 of the first ground conductor 301C is disposed between the first signal conductor 211C and the second signal conductor 212C in the width direction of the dielectric body 90C.
  • the film surface of the intermediate portion 301C3 is more preferable as it has a configuration substantially parallel to the thickness direction of the dielectric body 90C. In other words, it is preferable that the film surface of the intermediate portion 301C3 is configured to be substantially orthogonal to the direction in which the first signal conductor 211C and the second signal conductor 212C are arranged.
  • the second ground conductor 410C is wider than the first signal conductor 211C.
  • the second ground conductor 410C is disposed on the other side (the lower surface side in FIG. 9) in the thickness direction of the dielectric body 90C with respect to the first signal conductor 211C.
  • the second ground conductor 410C includes long conductors 411C and 412C and a bridge conductor 413C.
  • the long conductors 411C and 412C have a shape extending along the length direction of the dielectric body 90C.
  • the long conductors 411C and 412C are arranged so as to sandwich the first signal conductor 211C in the width direction of the dielectric body 90C. At this time, it is preferable that the long conductors 411C and 412C do not overlap the first signal conductor 211C when the dielectric body 90C is viewed in the thickness direction.
  • a plurality of bridge conductors 413C are provided and are connected at intervals along the direction in which the long conductors 411C and 412C extend.
  • the long conductors 411C and 412C are connected to the first signal conductor ground portion 301C1 of the first ground conductor 301C by a plurality of interlayer connection conductors 510C.
  • the fourth ground conductor 302C is a long and film-like conductor extending along the length direction of the dielectric body 90C.
  • the fourth ground conductor 302C includes three parts, that is, a third signal conductor ground portion 302C1, a second signal conductor ground portion 302C2, and an intermediate portion 302C3 in the width direction of the fourth ground conductor 302C.
  • the third signal conductor ground portion 302C1, the second signal conductor ground portion 302C2, and the intermediate portion 302C3 are integrally formed.
  • Each of these parts extends from the side surface on the third signal conductor 213C side to the side surface on the second signal conductor 212C side along the width direction of the dielectric body 90C, and the third signal conductor ground portion 302C1, the intermediate portion 302C3, And it arrange
  • the third signal conductor ground portion 302C1 of the fourth ground conductor 302C is wider than the third signal conductor 213C.
  • the third signal conductor ground portion 302C1 is disposed on the other side (the lower surface side in FIG. 9) in the thickness direction of the dielectric body 90C with respect to the third signal conductor 213C.
  • the second signal conductor ground portion 302C2 of the fourth ground conductor 302C is wider than the second signal conductor 212C.
  • the second signal conductor ground portion 302C2 is arranged on one side (the upper surface side in FIG. 9) in the thickness direction of the dielectric body 90C with respect to the second signal conductor 212C.
  • the intermediate portion 302C3 of the fourth ground conductor 302C is disposed between the third signal conductor 213C and the second signal conductor 212 and C in the width direction of the dielectric body 90C.
  • the fourth ground conductor 302C as a whole has a flat shape in a direction perpendicular to the thickness direction of the dielectric body 90C. That is, the third signal conductor ground portion 302C1, the intermediate portion 302C3, and the second signal conductor ground portion 302C3 are disposed at the same position in the thickness direction of the dielectric body 90C.
  • the sixth ground conductor 303C is a long, film-like conductor extending along the length direction of the dielectric body 90C.
  • the sixth ground conductor 303C includes three parts, that is, a third signal conductor ground portion 303C1, a fourth signal conductor ground portion 303C2, and an intermediate portion 303C3 in the width direction of the sixth ground conductor 303C.
  • the third signal conductor ground portion 303C1, the fourth signal conductor ground portion 303C2, and the intermediate portion 303C3 are integrally formed.
  • Each of these parts extends from the side surface on the third signal conductor 213C side to the side surface on the fourth signal conductor 214C side along the width direction of the dielectric body 90C, and the third signal conductor ground portion 303C1, the intermediate portion 303C3, And it arrange
  • the third signal conductor ground portion 303C1 of the sixth ground conductor 303C is wider than the third signal conductor 213C.
  • the third signal conductor ground portion 303C1 is disposed on one side (the upper surface side in FIG. 9) in the thickness direction of the dielectric body 90C with respect to the third signal conductor 213C.
  • the fourth signal conductor ground portion 303C2 of the sixth ground conductor 303C is wider than the fourth signal conductor 214C.
  • the fourth signal conductor ground portion 303C2 is disposed on the other side (the lower surface side in FIG. 9) in the thickness direction of the dielectric body 90C with respect to the fourth signal conductor 214C.
  • the intermediate portion 303C3 of the sixth ground conductor 303C is disposed between the third signal conductor 213C and the fourth signal conductor 214C in the width direction of the dielectric body 90C.
  • the film surface of the intermediate portion 303C3 is more preferable as it is substantially parallel to the thickness direction of the dielectric body 90C. In other words, it is preferable that the film surface of the intermediate portion 303C3 is configured to be substantially orthogonal to the direction in which the third signal conductor 213C and the fourth signal conductor 214C are arranged.
  • the seventh ground conductor 440C is wider than the fourth signal conductor 214C.
  • the seventh ground conductor 440C is arranged on one side (the upper surface side in FIG. 9) in the thickness direction of the dielectric body 90C with respect to the fourth signal conductor 214C.
  • the seventh ground conductor 440C includes long conductors 441C and 442C and a bridge conductor 443C.
  • the long conductors 441C and 442C have a shape extending along the length direction of the dielectric body 90C.
  • the long conductors 441C and 442C are arranged so as to sandwich the fourth signal conductor 214C in the width direction of the dielectric body 90C. At this time, it is preferable that the long conductors 441C and 442C do not overlap the fourth signal conductor 214C when the dielectric body 90C is viewed in the thickness direction.
  • a plurality of bridge conductors 443C are provided, and are connected at intervals along the direction in which the long conductors 441C and 442C extend.
  • the long conductors 441C and 442C are connected to the fourth signal conductor ground portion 303C2 of the sixth ground conductor 303C by a plurality of interlayer connection conductors 540C.
  • the first, second, third, and fourth transmission lines 101C, 102C, 103C, and 104C are configured in the dielectric body 90C.
  • the first transmission line 101C sandwiches the first signal conductor 211C between the first signal conductor ground portion 301C1 of the first ground conductor 301C and the second ground conductor 410C along the thickness direction of the dielectric body 90C.
  • the second transmission line 102C includes the second signal conductor 212C, the second signal conductor ground portion 301C2 of the first ground conductor 301C, and the second ground conductor 302C along the thickness direction of the dielectric body 90C.
  • the third transmission line 103C includes the third signal conductor 213C, the third signal conductor ground portion 302C1 of the fourth ground conductor 302C, and the third ground conductor 303C along the thickness direction of the dielectric body 90C.
  • the fourth signal conductor 214C is sandwiched between the fourth signal conductor ground portion 303C2 of the sixth ground conductor 303C and the seventh ground conductor 440C along the thickness direction of the dielectric body 90C.
  • the first, second, third, and fourth transmission lines 101C, 102C, 103C, and 104C are transmission lines that extend along the length direction of the dielectric body 90C.
  • the first transmission line 101C and the second transmission line 102C are arranged along the width direction of the dielectric body 90C.
  • the first transmission line 101C and the third transmission line 103C are arranged along the thickness direction of the dielectric body 90C.
  • the first transmission line 101C and the third transmission line 103C overlap each other when the dielectric body 90C is viewed in plan.
  • the second transmission line 102C and the fourth transmission line 104C are arranged along the thickness direction of the dielectric body 90C. In plan view of the dielectric body 90C, the second transmission line 102C and the fourth transmission line 104C overlap.
  • the third transmission line 103C and the fourth transmission line 104C are arranged along the width direction of the dielectric body 90C.
  • an intermediate portion 301C3 of the first ground conductor 301C is disposed between the first transmission line 101C and the second transmission line 102C.
  • the intermediate portion 301C3 includes a film surface that is substantially orthogonal to the direction in which the first signal conductor 211C and the second signal conductor 212C are arranged. Thereby, electromagnetic coupling between the first signal conductor 211C and the second signal conductor 212C can be suppressed.
  • an intermediate portion 303C3 of the sixth ground conductor 303C is disposed between the third transmission line 103C and the fourth transmission line 104C.
  • the intermediate portion 303C3 includes a film surface that is substantially orthogonal to the direction in which the third signal conductor 213C and the fourth signal conductor 214C are arranged. Thereby, electromagnetic field coupling between the third signal conductor 213C and the fourth signal conductor 214C can be suppressed.
  • the first signal conductor ground portion 301C1 of the first ground conductor 301C and the third signal conductor ground portion 302C1 of the fourth ground conductor 302C are arranged. Has been. Thereby, the electromagnetic coupling between the first signal conductor 211C and the third signal conductor 213C can be suppressed.
  • the second signal conductor ground portion 302C2 of the fourth ground conductor 302C and the fourth signal conductor ground portion 303C2 of the sixth ground conductor 303C are arranged. Has been. Thereby, the electromagnetic coupling between the second signal conductor 212C and the fourth signal conductor 214C can be suppressed.
  • the first signal conductor 211C and the second signal conductor 212C are close to each other in the width direction of the dielectric element body 90C, and the third signal conductor 213C and the fourth signal conductor 214C are the elements of the dielectric element body 90C.
  • the first signal conductor 211C and the third signal conductor 213C are close to each other in the thickness direction of the dielectric element body 90C, and the second signal conductor 212C and the fourth signal conductor 214C are adjacent to the width direction of the dielectric element body 90C.
  • the electromagnetic coupling between the first signal conductor 211C, the second signal conductor 212C, the third signal conductor 213C, and the fourth signal conductor 214C can be suppressed. Therefore, it is possible to ensure high isolation between the first transmission line 101C, the second transmission line 102C, the third transmission line 103C, and the fourth transmission line 104C.
  • the width of the dielectric body 90C can be reduced. Thereby, it is possible to realize a small transmission line member 10 ⁇ / b> C that ensures high isolation between the first transmission line 101 ⁇ / b> C, the second transmission line 102 ⁇ / b> C, the third transmission line 103 ⁇ / b> C, and the fourth transmission line 104 ⁇ / b> C.
  • the region between the four signal conductor ground portions 303C2 overlaps in the thickness direction of the dielectric body 90C. Thereby, the dielectric element body 90C can be reduced in height, and the transmission line member 10C can be formed in a small size.
  • the impedances of the first transmission line 101C and the third transmission line 103C in the transmission line member 10C can be determined in the same manner as the impedances of the first and second transmission lines 101 and 102 shown in the first embodiment. .
  • the impedance of the second transmission line 102C and the fourth transmission line 104C in the transmission line member 10C can be determined in the same manner as the second transmission line 102B according to the second embodiment.
  • the first signal conductor ground portion 301C1 of the first ground conductor 301C and the third signal conductor ground portion 302C1 of the fourth ground conductor 302C are in the thickness direction of the dielectric body 90C. , Close.
  • the first signal conductor ground portion 301C1 and the third signal conductor ground portion 302C1 are connected by a plurality of interlayer connection conductors 591.
  • the second signal conductor ground portion 302C2 of the fourth ground conductor 302C and the fourth signal conductor ground portion 303C2 of the sixth ground conductor 303C are close to each other in the thickness direction of the dielectric body 90C.
  • the second signal conductor ground portion 302C2 and the fourth signal conductor ground portion 303C2 are connected by a plurality of interlayer connection conductors 592. Thereby, the potential difference between the ground conductors can be suppressed.
  • the interlayer connection conductor 591 is disposed at a position overlapping the interlayer connection conductors 510 and 530 when the dielectric body 90B is viewed in plan. Thereby, it is possible to suppress the first signal conductor ground portion 301C1 of the first ground conductor 301C and the third signal conductor ground portion 302C1 of the fourth ground conductor 302C from being deformed when the dielectric body 90C is molded.
  • the interlayer connection conductor 592 is disposed at a position overlapping the interlayer connection conductors 520 and 540.
  • the transmission line member 10C having such a structure is manufactured as follows, for example.
  • dielectric layers 901C, 902C, 903C, 904C, 905C, 906C, 907C, 908C, 909C, 910C, 911C, 912C, and 913C are prepared.
  • Each dielectric layer 901C-913C can be obtained, for example, by forming a predetermined conductor pattern on a dielectric film made of a material mainly composed of a liquid crystal polymer, if necessary.
  • the dielectric layer 901C is made of a dielectric film on which no conductor is formed.
  • the width of the dielectric layer 901C is substantially the same as the width of the dielectric body 90C.
  • the dielectric layer 902C is made of a dielectric film having a conductor (for example, copper (Cu)) attached to one surface. As shown in FIG. 10, a second ground conductor 410C is formed on the surface of the dielectric layer 902C by patterning the conductor on the surface of the dielectric layer 902C.
  • the width of the dielectric layer 902C is approximately half (1/2) the width of the dielectric body 90C.
  • the dielectric layer 902C is disposed at a half position on one end side in the width direction of the dielectric body 90C.
  • the dielectric layer 903C is made of a dielectric film having a conductor (for example, copper (Cu)) attached to one surface. As shown in FIG. 10, the first signal conductor 211C and the via auxiliary conductor 511 are formed on the surface of the dielectric layer 903C by patterning the conductor on the surface of the dielectric layer 903C. .
  • the width of the dielectric layer 903C is approximately half (1/2) the width of the dielectric body 90C.
  • the dielectric layer 902C is disposed so as to overlap the dielectric layer 902C at a half position on one end side in the width direction of the dielectric body 90C.
  • the via auxiliary conductor 511 is provided in a region overlapping the long conductors 411C and 412C of the second ground conductor 410C when the dielectric layer 902C is superimposed on the dielectric layer 903C.
  • the dielectric layer 903C includes a plurality of layers penetrating in the thickness direction in regions overlapping the long conductors 411C and 412C of the second ground conductor 410C when overlapping with the dielectric layer 902C (regions overlapping the via auxiliary conductor 511).
  • Through-holes are provided. Each through hole is filled with a conductive paste.
  • the conductive paste filled in the through hole constitutes a part of the interlayer connection conductor 510C together with the via auxiliary conductor 511 by thermocompression bonding of the dielectric layers 901C-913C.
  • the dielectric layer 904C is made of a dielectric film having a conductor (for example, copper (Cu)) attached to one surface.
  • a first ground conductor 301C is formed on the surface of the dielectric layer 904C by performing a patterning process or the like on the conductor on the surface of the dielectric layer 904C.
  • the width of the dielectric layer 904C is substantially the same as the width of the dielectric body 90C.
  • the first ground conductor 301C is formed on substantially the entire surface of the dielectric layer 904C. It is preferable that the first ground conductor 301C does not reach both end faces in the width direction of the dielectric layer 904C. Thereby, it is possible to suppress the first ground conductor 301 ⁇ / b> C from being unnecessarily short-circuited to the external circuit.
  • the dielectric layer 904C is provided with a plurality of through holes at positions overlapping the via auxiliary conductors 511 of the dielectric layer 903C in a state of being superimposed on the dielectric layer 903C, and a conductive paste is placed in each through hole. Filled.
  • the conductive paste filled in the through hole constitutes a part of the interlayer connection conductor 510 by thermocompression bonding of the dielectric layers 901C-913C.
  • the dielectric layer 905C is made of a dielectric film having a conductor (for example, copper (Cu)) attached on one side. As shown in FIG. 10, the second signal conductor 212C and the via auxiliary conductor 521 are formed on the surface of the dielectric layer 905C by patterning the conductor on the surface of the dielectric layer 905C. Yes.
  • the width of the dielectric layer 905C is approximately 1 ⁇ 2 of the width of the dielectric body 90C.
  • the dielectric layer 905C is disposed at a half position on the other end side in the width direction of the dielectric body 90C.
  • the via auxiliary conductor 521 is provided so as to sandwich the second signal conductor 212C in the width direction of the dielectric layer 905C.
  • the dielectric layer 905 ⁇ / b> C has a through hole in a region overlapping with the via auxiliary conductor 521. Each through hole is filled with a conductive paste.
  • the conductive paste filled in the through hole constitutes a part of the interlayer connection conductor 520C together with the via auxiliary conductor 521 by thermocompression bonding of the dielectric layers 901C-913C.
  • the dielectric layer 906C is made of a dielectric film having a conductor (for example, copper (Cu)) attached on one side. As shown in FIG. 10, via auxiliary conductors 521 are formed on the surface of the dielectric layer 906 ⁇ / b> C by patterning the conductor on the surface of the dielectric layer 906 ⁇ / b> C.
  • the width of the dielectric layer 906C is approximately 1 ⁇ 2 of the width of the dielectric body 90C.
  • the dielectric layer 906C is disposed at a half position on the other end side in the width direction of the dielectric body 90C.
  • the via auxiliary conductor 521 is provided at a position overlapping the auxiliary via conductor 521 of the dielectric layer 905C in a state where the dielectric layer 906C is overlaid on the dielectric layer 905C.
  • the dielectric layer 906 ⁇ / b> C is provided with a through hole in a region overlapping with the via auxiliary conductor 521. Each through hole is filled with a conductive paste.
  • the conductive paste filled in the through hole constitutes a part of the interlayer connection conductor 520 together with the via auxiliary conductor 521 by thermocompression bonding of the dielectric layers 901C-913C.
  • the dielectric layer 906C is a dielectric layer for adjusting the impedance of the second transmission line 102C by setting the distance between the second signal conductor 212C and the fourth ground conductor 302C to a predetermined value.
  • the dielectric layer 907C is made of a dielectric film having a conductor (for example, copper (Cu)) attached to one surface.
  • a fourth ground conductor 302C is formed on the surface of the dielectric layer 907C by patterning the conductor on the surface of the dielectric layer 907C.
  • the width of the dielectric layer 907C is substantially the same as the width of the dielectric body 90C.
  • the fourth ground conductor 302C is formed on substantially the entire surface of the dielectric layer 907C. It is preferable that the fourth ground conductor 302C does not reach both end faces in the width direction of the dielectric layer 907C. Thereby, it is possible to prevent the fourth ground conductor 302C from being unnecessarily short-circuited to the external circuit.
  • the dielectric layer 907C is provided with a plurality of through holes in a half region on one end side in the width direction, and each through hole is filled with a conductive paste.
  • the conductive paste filled in the through hole formed in the half region on the one end side in the width direction forms the interlayer connection conductor 591 by thermocompression bonding of the dielectric layers 901C-913C.
  • the dielectric layer 908C is made of a dielectric film having a conductor (for example, copper (Cu)) attached on one side. As shown in FIG. 10, the third signal conductor 213C and the via auxiliary conductor 531 are formed on the surface of the dielectric layer 908C by patterning the conductor on the surface of the dielectric layer 908C. Yes.
  • the width of the dielectric layer 908C is approximately 1 ⁇ 2 of the width of the dielectric body 90C.
  • the dielectric layer 908C is disposed at a half position on one end side in the width direction of the dielectric body 90C.
  • the via auxiliary conductor 531 is provided so as to sandwich the third signal conductor 213C in the width direction of the dielectric layer 908C.
  • the dielectric layer 908C is provided with a through hole in a region overlapping with the via auxiliary conductor 531. Each through hole is filled with a conductive paste.
  • the conductive paste filled in the through hole constitutes a part of the interlayer connection conductor 530C together with the via auxiliary conductor 531 by thermocompression bonding of the dielectric layers 901C-913C.
  • the dielectric layer 909C is made of a dielectric film having a conductor (for example, copper (Cu)) attached on one side. As shown in FIG. 10, via auxiliary conductors 531 are formed on the surface of the dielectric layer 909C by performing a patterning process or the like on the conductors on the surface of the dielectric layer 909C.
  • the width of the dielectric layer 909C is approximately 1 ⁇ 2 of the width of the dielectric body 90C.
  • the dielectric layer 909C is disposed at a half position on one end side in the width direction of the dielectric body 90C.
  • the via auxiliary conductor 531 is provided at a position overlapping the auxiliary via conductor 531 of the dielectric layer 908C in a state where the dielectric layer 909C is superimposed on the dielectric layer 908C.
  • the dielectric layer 908C is provided with a through hole in a region overlapping with the via auxiliary conductor 531. Each through hole is filled with a conductive paste.
  • the conductive paste filled in the through hole constitutes a part of the interlayer connection conductor 530C together with the via auxiliary conductor 531 by thermocompression bonding of the dielectric layers 901C-913C.
  • the dielectric layer 909C is a dielectric layer for adjusting the impedance of the third transmission line 103C by setting the distance between the third signal conductor 213C and the sixth ground conductor 303C to a predetermined value.
  • the dielectric layer 910C is made of a dielectric film having a conductor (for example, copper (Cu)) attached on one side.
  • a sixth ground conductor 303C is formed on the surface of the dielectric layer 910C by patterning the conductor on the surface of the dielectric layer 910C.
  • the width of the dielectric layer 910C is substantially the same as the width of the dielectric body 90C.
  • the sixth ground conductor 303C is formed on substantially the entire surface of the dielectric layer 910C. It is preferable that the sixth ground conductor 303C does not reach both end faces in the width direction of the dielectric layer 910C. Thereby, it is possible to suppress the sixth ground conductor 303C from being unnecessarily short-circuited to the external circuit.
  • the dielectric layer 910C is provided with a plurality of through holes in a half region on the other end side in the width direction, and each through hole is filled with a conductive paste.
  • the conductive paste filled in the through-hole formed in the half region on the one end side in the width direction forms the interlayer connection conductor 592 by thermocompression bonding of the dielectric layers 901C-913C.
  • the dielectric layer 911C is made of a dielectric film having a conductor (for example, copper (Cu)) attached on one side. As shown in FIG. 10, the fourth signal conductor 214C and the via auxiliary conductor 541 are formed on the surface of the dielectric layer 911C by patterning the conductor on the surface of the dielectric layer 911C. Yes.
  • the width of the dielectric layer 911C is approximately 1 ⁇ 2 of the width of the dielectric body 90C.
  • the dielectric layer 911C is disposed at a half position on the other end side in the width direction of the dielectric body 90C.
  • the via auxiliary conductor 541 is provided so as to sandwich the fourth signal conductor 214C in the width direction of the dielectric layer 911C.
  • the dielectric layer 911 ⁇ / b> C is provided with a through hole in a region overlapping with the via auxiliary conductor 541.
  • Each through hole is filled with a conductive paste.
  • the conductive paste filled in the through hole constitutes a part of the interlayer connection conductor 540C together with the via auxiliary conductor 541 by thermocompression bonding of the dielectric layers 901C-913C.
  • the dielectric layer 912C is made of a dielectric film having a conductor (for example, copper (Cu)) attached on one side. As shown in FIG. 10, a seventh ground conductor 440C is formed on the surface of the dielectric layer 912C by patterning the conductor on the surface of the dielectric layer 912C.
  • the width of the dielectric layer 912C is approximately half (1/2) the width of the dielectric body 90C.
  • the dielectric layer 912C is disposed at a half position on the other end side in the width direction of the dielectric body 90C.
  • the dielectric layer 913C is made of a dielectric film on which no conductor is formed.
  • the width of the dielectric layer 913C is substantially the same as the width of the dielectric body 90C.
  • the dielectric layer 901C-913C having such a structure is replaced with a dielectric layer 901C, a dielectric layer 902C, a dielectric layer 903C, a dielectric layer 904C, a dielectric layer 905C, and a dielectric layer 906C.
  • the dielectric layer 907C, the dielectric layer 908C, the dielectric layer 909C, the dielectric layer 910C, the dielectric layer 911C, the dielectric layer 912C, and the dielectric layer 913C are stacked in this order.
  • the stacked body is sandwiched between molds from both ends in the stacking direction, and is thermocompression bonded under predetermined conditions.
  • the dielectric layer 904C on which the first ground conductor 301C is formed is positioned in the middle of the width direction (more specifically, the region of the dielectric layer 903C when the stacked body is viewed in the stacking direction and the dielectric layer 905C). Turn at the border with the area.
  • the first ground conductor 301C includes an intermediate portion 301C3 having a flat film surface substantially parallel to the stacking direction (thickness direction), and the first signal in which the flat film surfaces connected by the intermediate portion 301C3 are orthogonal to the stacking direction.
  • the dielectric layer 910C on which the sixth ground conductor 303C is formed is located in the middle of the width direction (more specifically, the region of the dielectric layer 909C and the region of the dielectric layer 911C when the stacked body is viewed in the stacking direction). Turn at the boundary. Accordingly, the sixth ground conductor 303C includes an intermediate portion 303C3 having a flat film surface substantially parallel to the stacking direction (thickness direction), and the third signal in which the flat film surfaces connected by the intermediate portion 303C3 are orthogonal to the stacking direction. The conductor ground portion 303C1 and the fourth signal conductor ground portion 303C2 are formed.
  • the fourth ground conductor 302C is flat because the thickness of the dielectric layer laminated on the half on the one end side in the width direction is the same as the thickness of the dielectric layer laminated on the half on the other end side. .
  • the above-described transmission line member 10C can be easily manufactured.
  • the interlayer connection conductor having the configuration according to the second embodiment can be applied to the interlayer connection conductor having the configuration according to the third and fourth embodiments.
  • 10, 10A, 10B, 10C Transmission line members 90, 90B, 90C: Dielectric body 101, 101B, 101C: First transmission line 102, 102B, 102C: Second transmission line 103B, 103C: Third transmission line 104C : Fourth transmission lines 211, 211B, 211C: first signal conductors 212, 212B, 212C: second signal conductors 213B, 213C: third signal conductor 214C: fourth signal conductors 300, 301B, 301C: first ground conductor 301B1 , 301C1: first signal conductor ground portions 301B2, 301C2: second signal conductor ground portions 301B3, 301C3: intermediate portions 302B, 302C: fourth ground conductors 302B1, 302C1: third signal conductor ground portions 302B2, 302C2: Second signal conductor ground portions 302B3 and 302C3 Intermediate part 303C: sixth ground conductor 303C1: third signal conductor ground part 303C2

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Abstract

伝送線路部材(10)は、誘電体素体(90)内に、第1グランド導体(300)と互いに幅方向に並ぶ第1、第2信号導体(211,212)とを備える。第1グランド導体(300)は、第1信号導体(211)に対して誘電体素体(90)の厚み方向の一方側に配置された第1信号導体用グランド部(311)と、第2信号導体(212)に対して厚み方向の他方側に配置された第2信号導体用グランド部(312)と、第1信号導体用グランド部(311)と第2信号導体用グランド部(312)とをつなぐ中間部(320)と、を備える。第1信号導体(211)および第1信号導体用グランド部(311)を含む第1伝送線路(101)と第2信号導体(212)および第2信号導体用グランド部(312)を含む第2伝送線路(102)との間に中間部(320)が配置される。

Description

伝送線路部材
 本発明は、それぞれに異なる高周波信号を伝送する信号導体が近接して配置される伝送線路部材に関する。
 従来、高周波信号を伝送する各種の伝送線路部材が考案されている。例えば、特許文献1に記載の伝送線路部材は、ストリップライン構造を有している。特許文献1に記載の伝送線路部材は、長尺状の誘電体素体、信号導体、および、第1、第2グランド導体を備える。信号導体は、誘電体素体の厚み方向の途中位置に配置されている。第1グランド導体と第2グランド導体とは、誘電体素体の厚み方向において信号導体を挟むように配置されている。また、第1グランド導体と第2グランド導体とは、信号導体に沿って配列された複数のビアホール導体(層間接続導体)によって接続されている。この構成により、信号導体を第1、第2グランド導体で挟むストリップライン構造の伝送線路になる。
 特許文献1に記載のような構成からなる伝送線路を、通信機器内等に近接させて複数個配置する場合、例えば、1つの誘電体素体に複数の信号導体を配列する態様が考えられる。この態様では、複数の信号導体は、誘電体素体の厚み方向に対して直交する方向に間隔を空けて配置することが考えられる。
 すなわち、特許文献1に示す構造の伝送線路を、誘電体素体の厚み方向に対して直交する方向に沿って並べた構成が考えられる。
特許第4962660号明細書
 しかしながら、この伝送線路部材が装着される電子機器の小型化に伴って、伝送線路部材の小型化が要求されている。一方で、隣り合う信号導体が近接すると、これら信号導体同士が結合する。例えば、上述の構成を用いた場合、伝送線路部材の幅を狭くすると信号導体間の距離が短くなって、これらの信号導体が結合し易くなる。このため、これらの信号導体を有する伝送線路間のアイソレーションが低下してしまう。
 したがって、本発明の目的は、複数の伝送線路間の結合を抑制した小型の伝送線路部材を提供することにある。
 この発明の伝送線路部材は、複数の誘電体層を積層してなる平板状の誘電体素体と、第1信号導体および第2信号導体と、第1グランド導体とを備える。第1信号導体および第2信号導体は、誘電体素体の内部に配置され、高周波信号の伝送方向に沿って延びる形状からなる。第1信号導体および第2信号導体は、伝送方向に直交する誘電体素体の幅方向において離間して配置されている。第1グランド導体は、誘電体素体の内部に配置され、第1信号導体と第2信号導体とに共通のグランド導体である。
 第1グランド導体は、第1信号導体用グランド部、第2信号導体用グランド部、および、中間部を備える。第1信号導体用グランド部は、第1信号導体に対して誘電体素体の厚み方向の一方側に配置され、第1信号導体の主表面に対向する導体部である。第2信号導体用グランド部は、第2信号導体に対して厚み方向の他方側に配置され、第2信号導体の主表面に対向する導体部である。中間部は、第1信号導体用グランド部と第2信号導体用グランド部とをつなぐ導体部である。
 誘電体素体の厚み方向に沿って、第1信号導体と第1信号導体用グランド部との間の領域を第1領域とし、第2信号導体と第2信号導体用グランド部との間の領域を第2領域とし、第2領域の厚み方向の他方端側の端部は、第1領域の厚み方向の一方端側の端部に対して、誘電体素体の厚み方向の他方側に配置されている。
 この構成では、少なくとも第1信号導体と第1信号導体用グランド部とによって形成される第1伝送線路と、少なくとも第2信号導体と第2信号導体用グランド部とによって形成される第2伝送線路とが、誘電体素体内に幅方向に隣り合う。そして、第1信号導体と第2信号導体との間に、これら第1信号導体と第2信号導体とを結ぶ方向(幅方向)に対して略直交する方向(厚み方向)に所定の長さを有する第1グランド導体の中間部が配置される。これにより、第1信号導体と第2信号導体の間隔が狭くても、第1信号導体と第2信号導体との結合が抑制される。
 また、この発明の伝送線路部材は、次の構成であることが好ましい。伝送線路部材は、第2グランド導体と第3グランド導体とをさらに備える。第2グランド導体は、第1領域の厚み方向において、第1信号導体を基準に第1信号導体用グランド部と反対側に配置される。第3グランド導体は、第2領域の前記厚み方向において、第2信号導体を基準にして第2信号導体用グランド部と反対側に配置されている。
 この構成では、第1信号導体が、第1グランド導体の第1信号導体用グランド部と第2グランド導体に挟まれる。第2信号導体が、第1グランド導体の第2信号導体用グランド部と第3グランド導体に挟まれる。これにより、2つのストリップライン型の伝送線路が誘電体素体内に形成される。そして、この構成により、各伝送線路から外部への電磁波の放射を抑制することができ、外部環境から各伝送線路に与えられる影響を抑制することができる。
 また、この発明の伝送線路部材は、次の構成であってもよい。伝送線路部材は、第4グランド導体と第3信号導体とをさらに備える。第4グランド導体は、誘電体素体の厚み方向において、第2信号導体を基準にして第1グランド導体と反対側に一部が配置され、誘電体素体の幅方向の略全域に形成されている。第3信号導体は、誘電体素体の厚み方向において、第1グランド導体と第4グランド導体を基準にして第1信号導体と反対側に配置されている。第4グランド導体における第3信号導体に対向する部分は、第2信号導体に対向する部分よりも、第1信号導体側に配置されている。
 この構成では、誘電体素体内に3つの伝送線路を構成することができる。
 また、この発明の伝送線路部材は、次の構成であってもよい。伝送線路部材は、第6グランド導体と第4信号導体とをさらに備える。第6グランド導体は、誘電体素体の厚み方向において、第3信号導体を基準にして第4グランド導体と反対側に一部が配置され、誘電体素体の幅方向の略全域に形成されている。第4信号導体は、誘電体素体の厚み方向において、第4グランド導体と第6グランド導体を基準にして第2信号導体と反対側に配置されている。第6グランド導体における第4信号導体に対向する部分は、第3信号導体に対向する部分よりも、第2信号導体側に配置されている。
 この構成では、誘電体素体内に4つの伝送線路を構成することができる。
 また、この発明の伝送線路部材の製造方法は、積層工程、および加熱圧着工程を有する。積層工程では、誘電体素体の幅よりも狭い幅からなり第1信号導体が形成された第1誘電体層と、誘電体素体の幅よりも狭い幅からなり第2信号導体が形成された第2誘電体層と、誘電体素体の幅と略同じ幅からなり第1グランド導体が形成された第3誘電体層とを、積層方向に沿って、第1誘電体層、第3誘電体層、第2誘電体層の順で積層する。加熱圧着工程は、積層された第1誘電体層、第3誘電体層、第2誘電体層を加熱圧着することで、第1誘電体層、第3誘電体層、第2誘電体層を含む誘電体素体を形成する。
 そして、積層工程は、第1誘電体層、第3誘電体層、第2誘電体層が積層された状態にて積層方向に視て、第1誘電体層と第2誘電体層とが重ならないように配置されている。
 この製造方法では、上記構成の伝送線路部材を容易に製造することができる。
 この発明によれば、複数の伝送線路間の結合を抑制した小型の伝送線路部材を実現できる。
本発明の第1の実施形態に係る伝送線路部材の主要部の外観斜視図である。 本発明の第1の実施形態に係る伝送線路部材の主要部断面図である。 本発明の第1の実施形態に係る伝送線路部材の各誘電体層の構成を示す平面図である。 本発明の第1の実施形態に係る伝送線路部材の各誘電体層の構成を示す平面図である。 本発明の第1の実施形態に係る伝送線路部材の加熱圧着前の状態を示す断面図である。 本発明の第2の実施形態に係る伝送線路部材の主要部の外観斜視図である。 本発明の第3の実施形態に係る伝送線路部材の主要部断面図である。 本発明の第3の実施形態に係る伝送線路部材の加熱圧着前の状態を示す断面図である。 本発明の第4の実施形態に係る伝送線路部材の主要部断面図である。 本発明の第4の実施形態に係る伝送線路部材の加熱圧着前の状態を示す断面図である。
 本発明の第1の実施形態に係る伝送線路部材および伝送線路部材の製造方法について、図を参照して説明する。図1は、本発明の第1の実施形態に係る伝送線路部材の主要部の外観斜視図である。図2は、本発明の第1の実施形態に係る伝送線路部材の主要部断面図である。図2は図1におけるA-A断面を示す図である。図3は、本発明の第1の実施形態に係る伝送線路部材の各誘電体層の構成を示す平面図である。図4は、本発明の第1の実施形態に係る伝送線路部材の各誘電体層の構成を示す平面図である。図3は、第5層から第7層を示し、図4は第1層から第4層を示す。
 図1に示すように、伝送線路部材10は、平板状で且つ長尺状の誘電体素体90を備える。誘電体素体90において、長さ方向が高周波信号の伝送方向に相当する。誘電体素体90において、平板面に平行で長さ方向に直交する方向が幅方向である。そして、誘電体素体90において、長さ方向および幅方向に直交する方向が厚み方向である。なお、図1に示す誘電体素体90は、伝送線路部材10の主要部であり、誘電体素体90の長さ方向の両端には、図示しない引き出し部および当該引き出し部に設けられた外部接続端子が備えられている。
 誘電体素体90には、第1信号導体211、第2信号導体212、第1グランド導体300、第2グランド導体410、第3グランド導体420、および層間接続導体510,520が配置されている。
 第1信号導体211および第2信号導体212は、誘電体素体90の長さ方向に沿って延びる長尺状で膜状の導体である。第1信号導体211および第2信号導体212は、誘電体素体90の厚み方向の途中位置に配置されている。第1信号導体211と第2信号導体212は、誘電体素体90の幅方向において、間隔を空けて配置されている。
 第1グランド導体300は、誘電体素体90の長さ方向に沿って延びる長尺状で膜状の導体である。第1グランド導体300は、自身の幅方向において、第1信号導体用グランド部311、第2信号導体用グランド部312、および、中間部320の3つの部分からなる。第1信号導体用グランド部311、第2信号導体用グランド部312、および、中間部320は、一体形成されている。これらの各部は、誘電体素体90の幅方向に沿って第1信号導体211側の側面から第2信号導体212側の側面に向かって、第1信号導体用グランド部311、中間部320、および、第2信号導体用グランド部312の順に配置される。
 第1グランド導体300の第1信号導体用グランド部311は、第1信号導体211よりも幅広である。第1信号導体用グランド部311は、第1信号導体211に対して、誘電体素体90の厚み方向の一方側(図2における上面側)に配置されている。より具体的には、第1信号導体用グランド部311は、誘電体素体90の厚み方向における一方端側の平膜面の近傍に配置されている。第1信号導体用グランド部311は、第1信号導体211に対して、誘電体素体90の厚み方向に間隔を空けて配置されている。第1信号導体用グランド部311は、第1信号導体211に対して、互いの膜面が略平行になるように配置されている。
 第2信号導体用グランド部312は、第2信号導体212よりも幅広である。第2信号導体用グランド部312は、第2信号導体212に対して、誘電体素体90の厚み方向の他方側(図2における下面側)に配置されている。より具体的には、第2信号導体用グランド部312は、誘電体素体90の厚み方向における他方端側の平膜面の近傍に配置されている。第2信号導体用グランド部312は、第2信号導体212に対して、誘電体素体90の厚み方向に間隔を空けて配置されている。第2信号導体用グランド部312は、第2信号導体212に対して、互いの膜面が略平行になるように配置されている。
 中間部320は、誘電体素体90の幅方向において、第1信号導体211と第2信号導体212との間に配置されている。中間部320の膜面は、誘電体素体90の厚み方向に対して略平行な構成になっているほど好ましい。言い換えれば、中間部320の膜面は、第1信号導体211と第2信号導体212とが並ぶ方向に対して略直交する構成になっているほど好ましい。
 第2グランド導体410は、第1信号導体211よりも幅広である。第2グランド導体410は、第1信号導体211に対して、誘電体素体90の厚み方向の他方側(図2における下面側)に配置されている。より具体的には、第2グランド導体410は、誘電体素体90の厚み方向における他方端側の平膜面の近傍に配置されている。第2グランド導体410は、第1信号導体211に対して、誘電体素体90の厚み方向に間隔を空けて配置されている。第2グランド導体410は、第1信号導体211に対して、互いの膜面が略平行になるように配置されている。
 第2グランド導体410は、長尺導体411,412およびブリッジ導体413を備える。長尺導体411,412は、誘電体素体90の長さ方向に沿って延びる形状からなる。長尺導体411,412は、誘電体素体90の幅方向において、第1信号導体211を挟むように配置されている。この際、長尺導体411,412は、誘電体素体90を厚み方向に視て、第1信号導体211と重ならないことが好ましい。ブリッジ導体413は、図4に示すように、複数備えられており、長尺導体411,412を延びる方向に沿って、所定の間隔を空けて接続している。長尺導体411,412は、複数の層間接続導体510によって、第1グランド導体300の第1信号導体用グランド部311に接続されている。
 第3グランド導体420は、第2信号導体212よりも幅広である。第3グランド導体420は、第2信号導体212に対して、誘電体素体90の厚み方向の一方側(図2における上面側)に配置されている。より具体的には、第3グランド導体420は、誘電体素体90の厚み方向における一方端側の平膜面の近傍に配置されている。第3グランド導体420は、第2信号導体212に対して、誘電体素体90の厚み方向に間隔を空けて配置されている。第3グランド導体420は、第2信号導体212に対して、互いの膜面が略平行になるように配置されている。
 第3グランド導体420は、長尺導体421,422およびブリッジ導体423を備える。長尺導体421,422は、誘電体素体90の長さ方向に沿って延びる形状からなる。長尺導体421,422は、誘電体素体90の幅方向において、第2信号導体212を挟むように配置されている。この際、長尺導体421,422は、誘電体素体90を厚み方向に視て、第2信号導体212と重ならないことが好ましい。ブリッジ導体423は、図3に示すように、複数備えられており、長尺導体421,422を延びる方向に沿って、所定の間隔を空けて接続している。長尺導体421,422は、複数の層間接続導体520によって、第1グランド導体300の第2信号導体用グランド部312に接続されている。
 このような構成により、図2に示すように、誘電体素体90内には、次の第1、第2伝送線路101,102が構成される。第1伝送線路101は、第1信号導体211を誘電体素体90の厚み方向に沿って、第1グランド導体300の第1信号導体用グランド部311と、第2グランド導体410で挟み込んだストリップライン型の伝送線路である。第2伝送線路102は、第2信号導体212を誘電体素体90の厚み方向に沿って、第1グランド導体300の第2信号導体用グランド部312と、第3グランド導体420で挟み込んだストリップライン型の伝送線路である。
 第1伝送線路101と第2伝送線路102は、誘電体素体90の長さ方向に沿って延びる伝送線路であり、誘電体素体90の幅方向に沿って配列されている。第1伝送線路101と第2伝送線路102との間には、第1グランド導体300の中間部320が配置されている。中間部320は、第1信号導体211と第2信号導体212との並ぶ方向に対して、略直交する膜面を備えている。これにより、第1信号導体211と第2信号導体212との電磁界結合を抑制することができる。
 さらに、本実施形態の構成では、第1信号導体211から第2信号導体212方向に向かって、第2信号導体212が、第1グランド導体300の中間部320および第2信号導体用グランド部312によって囲まれるように配置されている。逆に、第2信号導体212から第1信号導体211方向に向かって、第1信号導体211が、第1グランド導体300の中間部320および第1信号導体用グランド部311によって囲まれるように配置されている。これにより、第1信号導体211と第2信号導体212との電磁界結合をさらに抑制することができる。
 したがって、第1信号導体211と第2信号導体212とが誘電体素体90の幅方向に近接しても、第1信号導体211と第2信号導体212との電磁界結合を抑制でき、第1伝送線路101と第2伝送線路102との間のアイソレーションを高く確保することができる。
 また、誘電体素体90の幅は、第1伝送線路101が形成される幅と、第2伝送線路102が形成される幅と、第1グランド導体300の中間部320の膜厚と、当該中間部320を中間部320の厚さ方向に沿って挟む両側の誘電体層の厚みとからなる。したがって、誘電体素体90の幅方向に沿って第1信号導体211と第2信号導体212とを配列し、その間に層間接続導体を形成したり、アイソレーション用のグランド導体を配置したりする態様と比較して、誘電体素体90の幅を狭くすることができる。これにより、第1伝送線路101と第2伝送線路102とのアイソレーションを高く確保した小型の伝送線路部材10を実現することができる。
 また、本実施形態の構成では、厚み方向に沿った第1伝送線路101の第1信号導体211と第1信号導体用グランド部311との間の第1領域Re1と、厚み方向に沿った第2伝送線路102の第2信号導体212と第2信号導体用グランド部312との間の第2領域Re2とが、誘電体素体90の厚み方向において重なっている。これにより、誘電体素体90を低背化でき、伝送線路部材10を小型に形成することができる。
 なお、図2からも分かるように、第1領域Re1の誘電体素体90の厚み方向における一方端側の端部Ed1に対して、第2領域Re2の誘電体素体90の厚み方向における他方端側の端部Ed2は、誘電体素体90の厚み方向の他方側に配置されていれば、伝送線路部材10を小型にすることが可能である。
 このような伝送線路部材10における第1伝送線路101のインピーダンスは、次のように決定される。第1信号導体211と第1グランド導体300の第1信号導体用グランド部311によって第1伝送線路101のインピーダンスが50Ωよりもやや高めの55Ω程度となるように形状が決定される。そして、第2グランド導体410によって、第1伝送線路101の特性インピーダンスが50Ωとなるように、第2グランド導体410の形状が決定される。この際、第1信号導体211と第1信号導体用グランド部311との間隔を、第1信号導体211と第2グランド導体410との間隔よりも広くすることが好ましい。これにより、導体の対向面積が広い第1信号導体211と第1信号導体用グランド部311との容量性結合を抑制でき、第1伝送線路101に対して所望のインピーダンスを実現し易い。
 また、第2伝送線路102のインピーダンスは、次のように決定される。第2信号導体212と第1グランド導体300の第2信号導体用グランド部312によって第2伝送線路102のインピーダンスが50Ωよりもやや高めの55Ω程度となるように形状が決定される。そして、第3グランド導体420によって、第2伝送線路102の特性インピーダンスが50Ωとなるように、第3グランド導体420の形状が決定される。この際、第2信号導体212と第2信号導体用グランド部312との間隔を、第2信号導体212と第3グランド導体420との間隔よりも広くすることが好ましい。これにより、導体の対向面積が広い第2信号導体212と第2信号導体用グランド部312との容量性結合を抑制でき、第2伝送線路102に対して所望のインピーダンスを実現し易い。
 このような構造の伝送線路部材10は、例えば次に示すように製造される。
 図3、図4に示すように、誘電体層901,902,903,904,905,906,907を用意する。各誘電体層901-907は、例えば、液晶ポリマを主成分とする材料からなる誘電体フィルムに対して、必要に応じて所定の導体パターンを形成することで得られる。
 図4に示すように、誘電体層901は、導体が形成されていない誘電体フィルムからなる。誘電体層901の幅W1は、誘電体素体90の幅と略同じである。
 誘電体層902は、片面に導体(例えば、銅(Cu))が貼り付けられた誘電体フィルムからなる。図4に示すように、誘電体層902の表面の導体に対してパターニング処理等を施すことによって、誘電体層902の表面には、第2グランド導体410が形成される。誘電体層902の幅W2は、誘電体素体90の幅(誘電体層901の幅W1)の略1/2である。
 誘電体層903は、片面に導体(例えば、銅(Cu))が貼り付けられた誘電体フィルムからなる。図4に示すように、誘電体層903の表面の導体に対してパターニング処理等を施すことによって、誘電体層903の表面には、第1信号導体211が形成される。誘電体層903の幅W3は、誘電体素体90の幅(誘電体層901の幅W1)の略1/2であり、誘電体層902の幅W2と略同じである。誘電体層903には、誘電体層902と重ねあわせたときに第2グランド導体410と重なる領域に、厚み方向に貫通する複数の貫通孔が設けられている。誘電体層903における第1信号導体211が形成される面には、貫通孔の形成位置にビア用補助導体511が形成されている。各貫通孔には導電性ペーストが充填されている。この貫通孔に充填された導電性ペーストが、誘電体層901-907の加熱圧着によって、層間接続導体510の一部を構成する。
 誘電体層904は、片面に導体(例えば、銅(Cu))が貼り付けられた誘電体フィルムからなる。図4に示すように、誘電体層904の表面の導体に対してパターニング処理等を施すことによって、誘電体層904の表面には、第1グランド導体300が形成される。誘電体層904の幅W4は、誘電体素体90の幅(誘電体層901の幅W1)と略同じである。第1グランド導体300は、誘電体層904の略全面に形成されている。第1グランド導体300は、誘電体層904の幅方向の両端面に達しない方が好ましい。これにより、第1グランド導体300が外部回路に対して不要に短絡することを抑制できる。
 誘電体層904には、第1グランド導体300の形成領域に、当該第1グランド導体300を除いて厚み方向に貫通する複数の貫通孔が設けられており、各貫通孔には導電性ペーストが充填されている。この貫通孔に充填された導電性ペーストが、誘電体層901-907の加熱圧着によって、層間接続導体510の一部を構成する。
 誘電体層905は、片面に導体(例えば、銅(Cu))が貼り付けられた誘電体フィルムからなる。図3に示すように、誘電体層905の表面の導体に対してパターニング処理等を施すことによって、誘電体層905の表面には、第2信号導体212が形成される。誘電体層905の幅W5は、誘電体素体90の幅(誘電体層901の幅W1)の略1/2である。誘電体層905には、厚み方向に貫通する複数の貫通孔が設けられている。誘電体層905における第2信号導体212が形成される面には、貫通孔の形成位置にビア用補助導体521が形成されている。各貫通孔には導電性ペーストが充填されている。この貫通孔に充填された導電性ペーストが、誘電体層901-907の加熱圧着によって、層間接続導体520の一部を構成する。
 誘電体層906は、片面に導体(例えば、銅(Cu))が貼り付けられた誘電体フィルムからなる。図3に示すように、誘電体層906の表面の導体に対してパターニング処理等を施すことによって、誘電体層906の表面には、第3グランド導体420が形成される。誘電体層906の幅W6は、誘電体素体90の幅(誘電体層901の幅W1)の略1/2であり、誘電体層905の幅W5と略同じである。誘電体層906には、第3グランド導体420の形成領域に、当該第3グランド導体420を除いて厚み方向に貫通する複数の貫通孔が設けられており、各貫通孔には導電性ペーストが充填されている。この貫通孔に充填された導電性ペーストが、誘電体層901-907の加熱圧着によって、層間接続導体520の一部を構成する。
 図3に示すように、誘電体層907は、導体が形成されていない誘電体フィルムからなる。誘電体層907の幅W7は、誘電体素体90の幅と略同じである。
 このような構成からなる誘電体層901-907を、図5に示すように、誘電体層901、誘電体層902、誘電体層903、誘電体層904、誘電体層905、誘電体層906、および誘電体層907の順に積層する。図5は、本発明の第1の実施形態に係る伝送線路部材の加熱圧着前の状態を示す断面図である。
 すなわち、誘電体素体90と略同じ幅の誘電体層901と誘電体層904との間に、誘電体素体90の幅の略1/2の幅からなる誘電体層902,903が積層される。また、誘電体素体90と略同じ幅の誘電体層904と誘電体層907との間に、誘電体素体90の幅の略1/2の幅からなる誘電体層905,906が積層される。
 誘電体層902と誘電体層903は重なるように積層される。誘電体層905と誘電体層906は重なるように配置される。誘電体層902,903と、誘電体層905,906は重ならないように配置される。
 誘電体層901-907が積層されると、この積層体は、積層方向の両端から金型で挟み込まれ、所定の条件で加熱圧着される。これにより、第1グランド導体300が形成された誘電体層904は幅方向の途中位置(より具体的には積層体を積層方向に視たときの誘電体層902,903の領域と誘電体層905,906の領域との境界)で曲がる。これにより、第1グランド導体300は、平膜面が積層方向(厚み方向)と略平行な中間部320と、該中間部320でつなげられたそれぞれ平膜面が積層方向に直交する第1信号導体用グランド部311および第2信号導体用グランド部312とに形づけられる。
 このように、本実施形態の製造方法を用いることで、上述の伝送線路部材10を容易に製造することができる。
 なお、本実施形態の製造方法では、誘電体層902,903の幅と、誘電体層905,906の幅とを、誘電体素体90の幅の略1/2にする例を示した。しかしながら、誘電体層902,903の幅と誘電体層905,906の幅とを合計した幅が、誘電体素体90の幅以下になるように、誘電体層902,903の幅と誘電体層905,906の幅を決定すればよい。また、本実施形態の製造方法では、誘電体層902の幅と誘電体層903の幅は同じであるが、異なっていてもよい。同様に、誘電体層905の幅と誘電体層906の幅も異なっていてもよい。
 また、上述の実施形態では、ストリップライン型の伝送線路によって第1、第2伝送線路を構成する例を示したが、マイクロストリップ型の伝送線路によって第1、第2伝送線路を構成してもよい。この場合、第2グランド導体410、第3グランド導体420、および層間接続導体510,520を省略すればよい。但し、ストリップライン型の伝送線路を用いることで、第1、第2伝送線路101,102から外部への電磁波の放射を抑制することができ、外部環境から第1、第2伝送線路101,102に与えられる影響を抑制することができる。
 また、上述の製造方法では、伝送線路部材10単位で誘電体層901-907を積層する態様を示した。しかしながら、複数の伝送線路部材10を同時に形成することも可能である。この場合、誘電体層の種類毎に誘電体フィルムを用意する。各誘電体フィルムには、それぞれの誘電体フィルムに対応した誘電体層が配列して複数個設けられている。そして、各誘電体層に対応する誘電体フィルムを積層して、加熱圧着する。複数の誘電体フィルムの加熱圧着後に、個別の伝送線路部材に分離する。なお、この製造方法を用いる場合には、誘電体層902が複数形成された誘電体フィルム、および、誘電体層903が複数形成された誘電体フィルムには、誘電体フィルムを積層した状態において、積層方向に視て誘電体層905,906が配置される領域に貫通穴や凹部を設けておけばよい。同様に、誘電体層905が複数形成された誘電体フィルム、および、誘電体層906が複数形成された誘電体フィルムには、誘電体フィルムを積層した状態において、積層方向に視て誘電体層902,903が配置される領域に貫通穴や凹部を設けておけばよい。また、誘電体フィルムを積層した状態において、積層方向に視て第1グランド導体300の中間部320となる部分にも、貫通穴や凹部を設けてもよい。
 次に、本発明の第2の実施形態に係る伝送線路部材について、図を参照して説明する。図6は、本発明の第2の実施形態に係る伝送線路部材の主要部の外観斜視図である。
 本実施形態に係る伝送線路部材10Aは、第1の実施形態に係る伝送線路部材10に対して、層間接続導体510A,520Aの構造が異なる。
 誘電体素体90における長さ方向に平行な側面には、所定の間隔を置いて、複数の凹部990が形成されている。凹部990は、誘電体素体90における長さ方向に平行な側面から幅方向の中央に向かって凹む形状である。
 第1信号導体211に近い第1側面に形成された凹部990の壁面には、層間接続導体510Aが形成されている。層間接続導体510Aは、第1グランド導体300と第2グランド導体410とを接続している。
 第2信号導体212に近い第2側面に形成された凹部990の壁面には、層間接続導体520Aが形成されている。層間接続導体520Aは、第1グランド導体300と第3グランド導体420とを接続している。
 この構成では、層間接続導体510Aが誘電体素体90の側面に形成されているので、第1信号導体211と層間接続導体510Aとの距離を、第1の実施形態に示した第1信号導体211と層間接続導体510との距離よりも長くすることができる。これにより、第1信号導体211の幅を広くすることができ、第1信号導体211による導体損を低減することができる。
 また、この構成では、層間接続導体520Aが誘電体素体90の側面に形成されているので、第2信号導体212と層間接続導体520Aとの距離を、第1の実施形態に示した第2信号導体212と層間接続導体520との距離よりも長く設計しやすくすることができる。第2信号導体212と層間接続導体520Aとの距離が大きいので、第2信号導体212の幅を広くすることも可能になり、その場合、第2信号導体212による導体損を低減することができる。
 また、本実施形態の構成では、層間接続導体510A,520Aは、誘電体素体90の側面に形成された凹部990内に形成されている。したがって、層間接続導体510A,520Aが誘電体素体90の側面よりも突出することを防止できる。これにより、伝送線路部材10Aの幅を誘電体素体90の幅にすることができ、例えば、層間接続導体510A,520Aが不所望な外部の導体に接続してしまう等の不具合を抑制することができる。
 次に、本発明の第3の実施形態に係る伝送線路部材について、図を参照して説明する。図7は、本発明の第3の実施形態に係る伝送線路部材の主要部断面図である。図8は、本発明の第3の実施形態に係る伝送線路部材の加熱圧着前の状態を示す断面図である。
 第1の実施形態に係る伝送線路部材10が2つの伝送線路(第1伝送線路101、第2伝送線路102)を備えているのに対して、本実施形態に係る伝送線路部材10Bは、3つの伝送線路(第1伝送線路101B、第2伝送線路102B、第3伝送線路103B)を備える。
 伝送線路部材10Bは、平板状で且つ長尺状の誘電体素体90Bを備える。
 誘電体素体90Bには、第1信号導体211B、第2信号導体212B、第3信号導体213B、第1グランド導体301B、第2グランド導体410B、第4グランド導体302B、第5グランド導体430B、および層間接続導体510B,520B,530Bが配置されている。
 第1信号導体211B、第2信号導体212Bおよび第3信号導体213Bは、誘電体素体90Bの長さ方向に沿って延びる長尺状で膜状の導体である。第1信号導体211B、第2信号導体212Bおよび第3信号導体213Bは、誘電体素体90Bの厚み方向の途中位置に配置されている。第1信号導体211Bと第3信号導体213Bは、誘電体素体90Bの幅方向において略同じ位置に配置されている。第1信号導体211Bと第3信号導体213Bは、誘電体素体90Bの厚み方向において間隔を空けて配置されている。第1信号導体211Bおよび第3信号導体213Bと第2信号導体212Bは、誘電体素体90Bの幅方向において、間隔を空けて配置されている。
 第1グランド導体301Bは、誘電体素体90Bの長さ方向に沿って延びる長尺状で膜状の導体である。第1グランド導体301Bは、自身の幅方向において、第1信号導体用グランド部301B1、第2信号導体用グランド部301B2、および、中間部301B3の3つの部分からなる。第1信号導体用グランド部301B1、第2信号導体用グランド部301B2、および、中間部301B3は、一体形成されている。これらの各部は、誘電体素体90Bの幅方向に沿って第1信号導体211B側の側面から第2信号導体212B側の側面に向かって、第1信号導体用グランド部301B1、中間部301B3、および、第2信号導体用グランド部301B2の順に配置される。
 第1グランド導体301Bの第1信号導体用グランド部301B1は、第1信号導体211Bよりも幅広である。第1信号導体用グランド部301B1は、第1信号導体211Bに対して、誘電体素体90Bの厚み方向の一方側(図7における上面側)に配置されている。
 第1グランド導体301Bの第2信号導体用グランド部301B2は、第2信号導体212Bよりも幅広である。第2信号導体用グランド部301B2は、第2信号導体212Bに対して、誘電体素体90Bの厚み方向の他方側(図7における下面側)に配置されている。
 第1グランド導体301Bの中間部301B3は、誘電体素体90Bの幅方向において、第1信号導体211Bと第2信号導体212Bとの間に配置されている。中間部301B3の膜面は、誘電体素体90Bの厚み方向に対して略平行な構成になっているほど好ましい。言い換えれば、中間部301B3の膜面は、第1信号導体211Bと第2信号導体212Bとが並ぶ方向に対して略直交する構成になっているほど好ましい。
 第2グランド導体410Bは、第1信号導体211Bよりも幅広である。第2グランド導体410Bは、第1信号導体211Bに対して、誘電体素体90Bの厚み方向の他方側(図7における下面側)に配置されている。
 第2グランド導体410Bは、長尺導体411B,412Bおよびブリッジ導体413Bを備える。長尺導体411B,412Bは、誘電体素体90Bの長さ方向に沿って延びる形状からなる。長尺導体411B,412Bは、誘電体素体90Bの幅方向において、第1信号導体211Bを挟むように配置されている。この際、長尺導体411B,412Bは、誘電体素体90Bを厚み方向に視て、第1信号導体211Bと重ならないことが好ましい。ブリッジ導体413Bは、複数備えられており、長尺導体411B,412Bを延びる方向に沿って間隔を空けて接続している。長尺導体411B,412Bは、複数の層間接続導体510Bによって、第1グランド導体301Bの第1信号導体用グランド部301B1に接続されている。
 第4グランド導体302Bは、誘電体素体90Bの長さ方向に沿って延びる長尺状で膜状の導体である。第4グランド導体302Bは、自身の幅方向において、第3信号導体用グランド部302B1、第2信号導体用グランド部302B2、および、中間部302B3の3つの部分からなる。第3信号導体用グランド部302B1、第2信号導体用グランド部302B2、および、中間部302B3は、一体形成されている。これらの各部は、誘電体素体90Bの幅方向に沿って第1信号導体211B側の側面から第2信号導体212B側の側面に向かって、第3信号導体用グランド部302B1、中間部302B3、および、第2信号導体用グランド部302B2の順に配置される。
 第4グランド導体302Bの第3信号導体用グランド部302B1は、第3信号導体213Bよりも幅広である。第3信号導体用グランド部302B1は、第3信号導体213Bに対して、誘電体素体90Bの厚み方向の他方側(図7における下面側)に配置されている。
 第4グランド導体302Bの第2信号導体用グランド部302B2は、第2信号導体212Bよりも幅広である。第2信号導体用グランド部302B2は、第2信号導体212Bに対して、誘電体素体90Bの厚み方向の一方側(図7における上面側)に配置されている。第2信号導体用グランド部302B2と、第2信号導体用グランド部301B2とは、層間接続導体520Bによって接続されている。
 第4グランド導体302Bの中間部302B3は、誘電体素体90Bの幅方向において、第3信号導体213Bと第2信号導体212とBの間に配置されている。中間部302B3の膜面は、誘電体素体90Bの厚み方向に対して略平行な構成になっているほど好ましい。言い換えれば、中間部302B3の膜面は、第3信号導体213Bと第2信号導体212Bとが並ぶ方向に対して略直交する構成になっているほど好ましい。
 第5グランド導体430Bは、第3信号導体213Bよりも幅広である。第5グランド導体430Bは、第3信号導体213Bに対して、誘電体素体90Bの厚み方向の一方側(図7における上面側)に配置されている。
 第5グランド導体430Bは、長尺導体431B,432Bおよびブリッジ導体433Bを備える。長尺導体431B,432Bは、誘電体素体90Bの長さ方向に沿って延びる形状からなる。長尺導体431B,432Bは、誘電体素体90Bの幅方向において、第3信号導体213Bを挟むように配置されている。この際、長尺導体431B,432Bは、誘電体素体90Bを厚み方向に視て、第3信号導体213Bと重ならないことが好ましい。ブリッジ導体433Bは、複数備えられており、長尺導体431B,432Bを延びる方向に沿って間隔を空けて接続している。長尺導体431B,432Bは、複数の層間接続導体530Bによって、第4グランド導体302Bの第3信号導体用グランド部302B1に接続されている。
 このような構成により、図7に示すように、誘電体素体90B内には、次の第1、第2、第3伝送線路101B,102B,103Bが構成される。第1伝送線路101Bは、誘電体素体90Bの厚み方向に沿って、第1信号導体211Bを第1グランド導体301Bの第1信号導体用グランド部301B1と、第2グランド導体410Bで挟み込んだストリップライン型の伝送線路である。第2伝送線路102Bは、誘電体素体90Bの厚み方向に沿って、第2信号導体212Bを第1グランド導体301Bの第2信号導体用グランド部301B2と、第4グランド導体302Bの第2信号導体用グランド部302B2で挟み込んだストリップライン型の伝送線路である。第3伝送線路103Bは、誘電体素体90Bの厚み方向に沿って、第3信号導体213Bを第4グランド導体302Bの第3信号導体用グランド部302B1と、第5グランド導体430Bで挟みこんだストリップライン型の伝送線路である。
 第1、第2、第3伝送線路101B,102B,103Bは、誘電体素体90Bの長さ方向に沿って延びる伝送線路である。第1伝送線路101Bと第2伝送線路102Bは、誘電体素体90Bの幅方向に沿って配列されている。第1伝送線路101Bと第3伝送線路103Bは、誘電体素体90Bの厚み方向に沿って配列されている。誘電体素体90Bを平面視して、第1伝送線路101Bと第3伝送線路103Bは重なっている。
 第1伝送線路101Bと第2伝送線路102Bとの間には、第1グランド導体301Bの中間部301B3が配置されている。中間部301B3は、第1信号導体211Bと第2信号導体212Bとの並ぶ方向に対して、略直交する膜面を備えている。これにより、第1信号導体211Bと第2信号導体212Bとの電磁界結合を抑制することができる。
 第3伝送線路103Bと第2伝送線路102Bとの間には、第4グランド導体302Bの中間部302B3が配置されている。中間部302B3は、第3信号導体213Bと第2信号導体212Bとの並ぶ方向に対して、略直交する膜面を備えている。これにより、第3信号導体213Bと第2信号導体212Bとの電磁界結合を抑制することができる。
 第1信号導体211Bと第3信号導体213Bとの間には、第1グランド導体301Bの第1信号導体用グランド部301B1と、第4グランド導体302Bの第3信号導体用グランド部302B1とが配置されている。これにより、第1信号導体211Bと第3信号導体213Bとの電磁界結合を抑制することができる。
 このような構成によって、第1信号導体211Bと第2信号導体212Bとが誘電体素体90Bの幅方向に近接し、第1信号導体211Bと第3信号導体213Bとが誘電体素体90Bの厚み方向に近接していても、第1信号導体211B、第2信号導体212B、および第3信号導体213Bの相互の電磁界結合を抑制できる。したがって、第1伝送線路101B、第2伝送線路102B、および第3伝送線路103Bの相互のアイソレーションを高く確保することができる。
 また、第1の実施形態と同様に、誘電体素体90Bの幅を狭くすることができる。これにより、第1伝送線路101B、第2伝送線路102B、および第3伝送線路103Bの相互のアイソレーションを高く確保した小型の伝送線路部材10Bを実現することができる。
 また、本実施形態の構成では、厚み方向に沿った第1伝送線路101Bの第1信号導体211Bと第1信号導体用グランド部301B1との間の領域と、厚み方向に沿った第2伝送線路102Bの第2信号導体212Bと第2信号導体用グランド部301B2との間の領域とが、誘電体素体90Bの厚み方向において重なっている。これにより、誘電体素体90Bを低背化でき、伝送線路部材10Bを小型に形成することができる。
 また、本実施形態の構成では、厚み方向に沿った第3伝送線路103Bの第3信号導体213Bと第3信号導体用グランド部302B1との間の領域と、厚み方向に沿った第2伝送線路102Bの第2信号導体212Bと第2信号導体用グランド部302B2との間の領域とが、誘電体素体90Bの厚み方向において重なっている。これにより、誘電体素体90Bを低背化でき、伝送線路部材10Bを小型に形成することができる。
 このように、誘電体素体90Bに3つの伝送線路を内蔵しても、狭幅で低背な伝送線路部材10Bを実現することができる。
 なお、伝送線路部材10Bにおける第1伝送線路101Bおよび第3伝送線路103Bのインピーダンスは、第1の実施形態に示した第1、第2伝送線路101,102のインピーダンスと同様に決定することができる。
 伝送線路部材10Bでは、第2信号導体212Bを挟む第2信号導体用グランド部301B2,302B2は、ともにベタ導体(開口が無い導体または開口が殆ど無い導体)である。したがって、第2伝送線路102Bのインピーダンスは、一般的なストリップライン型の伝送線路のインピーダンスと同様に決定することができる。この際、第2信号導体212Bと第2信号導体用グランド部301B2との距離、第2信号導体212Bと第2信号導体用グランド部302B2との距離は、第1伝送線路101Bおよび第3伝送線路103Bにおける信号導体とグランド導体との距離よりも長くすることが好ましい。これにより、第2信号導体212Bと第2信号導体用グランド部301B2との間の容量性結合を抑えることができ、所望とするインピーダンスを実現し易い。
 また、伝送線路部材10Bでは、第1グランド導体301Bの第1信号導体用グランド部301B1と、第4グランド導体302Bの第3信号導体用グランド部302B1とは、誘電体素体90Bの厚み方向において、近接している。また、第1信号導体用グランド部301B1と第3信号導体用グランド部302B1は複数の層間接続導体590によって接続されている。これにより、グランド導体間の電位差を抑制できる。
 誘電体素体90Bを平面視して、層間接続導体590は、層間接続導体510,530に重なる位置に配置されている。これにより、第1グランド導体301Bの第1信号導体用グランド部301B1と、第4グランド導体302Bの第3信号導体用グランド部302B1が、誘電体素体90Bの成型時に変形することを抑制できる。これにより、成型によって信号導体とグランド導体との位置関係が変化することを抑制でき、所望とするインピーダンスを実現することができる。
 このような構造の伝送線路部材10Bは、例えば次に示すように製造される。
 図8に示すように、誘電体層901B,902B,903B,904B,905B,906B,907B,908B,909Bを用意する。各誘電体層901B-909Bは、例えば、液晶ポリマを主成分とする材料からなる誘電体フィルムに対して、必要に応じて所定の導体パターンを形成することで得られる。
 誘電体層901Bは、片面に導体(例えば、銅(Cu))が貼り付けられた誘電体フィルムからなる。図8に示すように、誘電体層901Bの表面の導体に対してパターニング処理等を施すことによって、誘電体層901Bの表面には第2グランド導体410Bが形成されている。誘電体層901Bの幅は、誘電体素体90Bの幅と同じである。第2グランド導体410Bは、誘電体層901Bの幅方向における一方端側の半面に形成されている。
 誘電体層902Bは、片面に導体(例えば、銅(Cu))が貼り付けられた誘電体フィルムからなる。図8に示すように、誘電体層902Bの表面の導体に対してパターニング処理等を施すことによって、誘電体層902Bの表面には第1信号導体211Bおよびビア用補助導体511が形成されている。誘電体層902Bの幅は、誘電体素体90Bの幅の略半分(1/2)である。誘電体層902Bは、誘電体素体90Bにおける幅方向の一方端側の半分の位置に配置されている。
 ビア用補助導体511は、誘電体層902Bを誘電体層901Bに重ねあわせたとき、第2グランド導体410Bの長尺導体411B,412Bと重なる領域に設けられている。誘電体層902Bには、誘電体層901Bと重ねあわせたときに第2グランド導体410Bの長尺導体411B,412Bと重なる領域(ビア用補助導体511と重なる領域)に、厚み方向に貫通する複数の貫通孔が設けられている。各貫通孔には導電性ペーストが充填されている。この貫通孔に充填された導電性ペーストが、誘電体層901B-909Bの加熱圧着によって、ビア用補助導体511とともに層間接続導体510Bの一部を構成する。
 誘電体層903Bは、片面に導体(例えば、銅(Cu))が貼り付けられた誘電体フィルムからなる。図8に示すように、誘電体層903Bの表面の導体に対してパターニング処理等を施すことによって、誘電体層903Bの表面には、第1グランド導体301Bが形成される。誘電体層903Bの幅は、誘電体素体90Bの幅と略同じである。第1グランド導体301Bは、誘電体層903Bの略全面に形成されている。第1グランド導体301Bは、誘電体層903Bの幅方向の両端面に達しない方が好ましい。これにより、第1グランド導体301Bが外部回路に対して不要に短絡することを抑制できる。
 誘電体層903Bには、第1グランド導体301Bの形成領域に、当該第1グランド導体301Bを除いて厚み方向に貫通する複数の貫通孔が設けられており、各貫通孔には導電性ペーストが充填されている。この貫通孔に充填された導電性ペーストが、誘電体層901B-909Bの加熱圧着によって、層間接続導体510Bの一部を構成する。
 誘電体層904Bは、片面に導体(例えば、銅(Cu))が貼り付けられた誘電体フィルムからなる。図8に示すように、誘電体層904Bの表面の導体に対してパターニング処理等を施すことによって、誘電体層904Bの表面には、第2信号導体212Bおよびビア用補助導体521が形成されている。誘電体層904Bの幅は、誘電体素体90Bの幅の略1/2である。誘電体層904Bは、誘電体素体90Bにおける幅方向の他方端側の半分の位置に配置されている。ビア用補助導体521は、誘電体層904Bの幅方向において第2信号導体212Bを挟むように設けられている。誘電体層904Bには、ビア用補助導体521と重なる領域に、厚み方向に貫通する貫通孔が設けられている。各貫通孔には導電性ペーストが充填されている。この貫通孔に充填された導電性ペーストが、誘電体層901B-909Bの加熱圧着によって、ビア用補助導体521とともに層間接続導体520Bの一部を構成する。
 誘電体層905Bは、片面に導体(例えば、銅(Cu))が貼り付けられた誘電体フィルムからなる。図8に示すように、誘電体層905Bの表面の導体に対してパターニング処理等を施すことによって、誘電体層905Bの表面には、ビア用補助導体521が形成されている。誘電体層905Bの幅は、誘電体素体90Bの幅の略1/2である。誘電体層905Bは、誘電体素体90Bにおける幅方向の他方端側の半分の位置に配置されている。ビア用補助導体521は、誘電体層905Bを誘電体層904Bに重ねあわせた状態において、誘電体層904Bのビア用補助導体521と重なる位置に設けられている。誘電体層905Bには、ビア用補助導体521と重なる領域に、厚み方向に貫通する貫通孔が設けられている。各貫通孔には導電性ペーストが充填されている。この貫通孔に充填された導電性ペーストが、誘電体層901B-909Bの加熱圧着によって、ビア用補助導体521とともに層間接続導体520Bの一部を構成する。誘電体層905Bは、第2信号導体212Bと第4グランド導体302Bとの距離を所定値にして第2伝送線路102Bのインピーダンスを調整するための誘電体層である。
 誘電体層906Bは、片面に導体(例えば、銅(Cu))が貼り付けられた誘電体フィルムからなる。図8に示すように、誘電体層906Bの表面の導体に対してパターニング処理等を施すことによって、誘電体層906Bの表面には、第4グランド導体302Bが形成される。誘電体層906Bの幅は、誘電体素体90Bの幅と略同じである。第4グランド導体302Bは、誘電体層906Bの略全面に形成されている。第4グランド導体302Bは、誘電体層906Bの幅方向の両端面に達しない方が好ましい。これにより、第4グランド導体302Bが外部回路に対して不要に短絡することを抑制できる。
 誘電体層906Bには、第4グランド導体302Bの形成領域に、当該第4グランド導体302Bを除いて厚み方向に貫通する複数の貫通孔が設けられており、各貫通孔には導電性ペーストが充填されている。誘電体層906Bにおける幅方向の他方端側の半分の領域に形成された貫通孔に充填された導電性ペーストが、誘電体層901B-909Bの加熱圧着によって、層間接続導体520Bの一部を構成する。誘電体層906Bにおける幅方向の一方端側の半分の領域に形成された貫通孔に充填された導電性ペーストが、誘電体層901B-909Bの加熱圧着によって、層間接続導体590の一部を構成する。
 誘電体層907Bは、片面に導体(例えば、銅(Cu))が貼り付けられた誘電体フィルムからなる。図8に示すように、誘電体層907Bの表面の導体に対してパターニング処理等を施すことによって、誘電体層907Bの表面には、第3信号導体213Bおよびビア用補助導体531が形成されている。誘電体層907Bの幅は、誘電体素体90Bの幅の略1/2である。誘電体層907Bは、誘電体素体90Bにおける幅方向の一方端側の半分の位置に配置されている。ビア用補助導体531は、誘電体層907Bの幅方向において第3信号導体213Bを挟むように設けられている。誘電体層907Bには、ビア用補助導体531と重なる領域に、厚み方向に貫通する貫通孔が設けられている。各貫通孔には導電性ペーストが充填されている。この貫通孔に充填された導電性ペーストが、誘電体層901B-909Bの加熱圧着によって、ビア用補助導体531とともに層間接続導体530Bの一部を構成する。
 誘電体層908Bは、片面に導体(例えば、銅(Cu))が貼り付けられた誘電体フィルムからなる。図8に示すように、誘電体層908Bの表面の導体に対してパターニング処理等を施すことによって、誘電体層908Bの表面には第5グランド導体430Bが形成されている。誘電体層908Bの幅は、誘電体素体90Bの幅と同じである。第5グランド導体430Bは、誘電体層908Bの幅方向における一方端側の半面に形成されている。誘電体層908Bの幅方向における他方端側の半分の部分は導体が形成されていない。しかしながら、この部分を設けることによって、誘電体素体90Bの厚みを均一にすることができる。
 誘電体層909Bは、導体が形成されていない誘電体フィルムからなる。誘電体層909Bの幅は、誘電体素体90Bの幅と略同じである。
 このような構成からなる誘電体層901B-909Bを、図8に示すように、誘電体層901B、誘電体層902B、誘電体層903B、誘電体層904B、誘電体層905B、誘電体層906B、誘電体層907B、誘電体層908B、および誘電体層909Bの順に積層する。
 誘電体層901B-909Bが積層されると、この積層体は、積層方向の両端から金型で挟み込まれ、所定の条件で加熱圧着される。これにより、第1グランド導体301Bが形成された誘電体層903Bは幅方向の途中位置(より具体的には積層体を積層方向に視たときの誘電体層902Bの領域と誘電体層904B,905Bの領域との境界)で曲がる。これにより、第1グランド導体301Bは、平膜面が積層方向(厚み方向)と略平行な中間部301B3と、該中間部301B3でつなげられたそれぞれ平膜面が積層方向に直交する第1信号導体用グランド部301B1および第2信号導体用グランド部301B2とに形づけられる。また、第4グランド導体302Bが形成された誘電体層906Bは幅方向の途中位置(より具体的には積層体を積層方向に視たときの誘電体層904B,905Bの領域と誘電体層908Bの領域との境界)で曲がる。これにより、第4グランド導体302Bは、平膜面が積層方向(厚み方向)と略平行な中間部302B3と、該中間部302B3でつなげられたそれぞれ平膜面が積層方向に直交する第3信号導体用グランド部302B1および第2信号導体用グランド部302B2とに形づけられる。
 このように、本実施形態の製造方法を用いることで、上述の伝送線路部材10Bを容易に製造することができる。
 次に、本発明の第4の実施形態に係る伝送線路部材について、図を参照して説明する。図9は、本発明の第4の実施形態に係る伝送線路部材の主要部断面図である。図10は、本発明の第4の実施形態に係る伝送線路部材の加熱圧着前の状態を示す断面図である。
 第1の実施形態に係る伝送線路部材10が2つの伝送線路(第1伝送線路101、第2伝送線路102)を備えているのに対して、本実施形態に係る伝送線路部材10Cは、4つの伝送線路(第1伝送線路101C、第2伝送線路102C、第3伝送線路103C、第4伝送線路104C)を備える。
 伝送線路部材10Cは、平板状で且つ長尺状の誘電体素体90Cを備える。
 誘電体素体90Cには、第1信号導体211C、第2信号導体212C、第3信号導体213C、第4信号導体214C、第1グランド導体301C、第2グランド導体410C、第4グランド導体302C、第6グランド導体303C、第7グランド導体440Cおよび層間接続導体510C,520C,530C,540Cが配置されている。
 第1信号導体211C、第2信号導体212C、第3信号導体213Cおよび第4信号導体214Cは、誘電体素体90Cの長さ方向に沿って延びる長尺状で膜状の導体である。第1信号導体211C、第2信号導体212C、第3信号導体213Cおよび第4信号導体214Cは、誘電体素体90Cの厚み方向の途中位置に配置されている。第1信号導体211Cと第3信号導体213Cは、誘電体素体90Cの幅方向において略同じ位置に配置されている。第1信号導体211Cと第3信号導体213Cは、誘電体素体90Cの厚み方向において間隔を空けて配置されている。第2信号導体212Cと第4信号導体214Cは、誘電体素体90Cの幅方向において略同じ位置に配置されている。第2信号導体212Cと第4信号導体214Cは、誘電体素体90Cの厚み方向において間隔を空けて配置されている。第1信号導体211Cおよび第3信号導体213Cと第2信号導体212Cおよび第4信号導体214Cは、誘電体素体90Cの幅方向において、間隔を空けて配置されている。
 第1グランド導体301Cは、誘電体素体90Cの長さ方向に沿って延びる長尺状で膜状の導体である。第1グランド導体301Cは、自身の幅方向において、第1信号導体用グランド部301C1、第2信号導体用グランド部301C2、および、中間部301C3の3つの部分からなる。第1信号導体用グランド部301C1、第2信号導体用グランド部301C2、および、中間部301C3は、一体形成されている。これらの各部は、誘電体素体90Cの幅方向に沿って第1信号導体211C側の側面から第2信号導体212C側の側面に向かって、第1信号導体用グランド部301C1、中間部301C3、および、第2信号導体用グランド部301C2の順に配置される。
 第1グランド導体301Cの第1信号導体用グランド部301C1は、第1信号導体211Cよりも幅広である。第1信号導体用グランド部301C1は、第1信号導体211Cに対して、誘電体素体90Cの厚み方向の一方側(図9における上面側)に配置されている。
 第1グランド導体301Cの第2信号導体用グランド部301C2は、第2信号導体212Cよりも幅広である。第2信号導体用グランド部301C2は、第2信号導体212Cに対して、誘電体素体90Cの厚み方向の他方側(図9における下面側)に配置されている。
 第1グランド導体301Cの中間部301C3は、誘電体素体90Cの幅方向において、第1信号導体211Cと第2信号導体212Cとの間に配置されている。中間部301C3の膜面は、誘電体素体90Cの厚み方向に対して略平行な構成になっているほど好ましい。言い換えれば、中間部301C3の膜面は、第1信号導体211Cと第2信号導体212Cとが並ぶ方向に対して略直交する構成になっているほど好ましい。
 第2グランド導体410Cは、第1信号導体211Cよりも幅広である。第2グランド導体410Cは、第1信号導体211Cに対して、誘電体素体90Cの厚み方向の他方側(図9における下面側)に配置されている。
 第2グランド導体410Cは、長尺導体411C,412Cおよびブリッジ導体413Cを備える。長尺導体411C,412Cは、誘電体素体90Cの長さ方向に沿って延びる形状からなる。長尺導体411C,412Cは、誘電体素体90Cの幅方向において、第1信号導体211Cを挟むように配置されている。この際、長尺導体411C,412Cは、誘電体素体90Cを厚み方向に視て、第1信号導体211Cと重ならないことが好ましい。ブリッジ導体413Cは、複数備えられており、長尺導体411C,412Cを延びる方向に沿って間隔を空けて接続している。長尺導体411C,412Cは、複数の層間接続導体510Cによって、第1グランド導体301Cの第1信号導体用グランド部301C1に接続されている。
 第4グランド導体302Cは、誘電体素体90Cの長さ方向に沿って延びる長尺状で膜状の導体である。第4グランド導体302Cは、自身の幅方向において、第3信号導体用グランド部302C1、第2信号導体用グランド部302C2、および、中間部302C3の3つの部分からなる。第3信号導体用グランド部302C1、第2信号導体用グランド部302C2、および、中間部302C3は、一体形成されている。これらの各部は、誘電体素体90Cの幅方向に沿って第3信号導体213C側の側面から第2信号導体212C側の側面に向かって、第3信号導体用グランド部302C1、中間部302C3、および、第2信号導体用グランド部302C2の順に配置される。
 第4グランド導体302Cの第3信号導体用グランド部302C1は、第3信号導体213Cよりも幅広である。第3信号導体用グランド部302C1は、第3信号導体213Cに対して、誘電体素体90Cの厚み方向の他方側(図9における下面側)に配置されている。
 第4グランド導体302Cの第2信号導体用グランド部302C2は、第2信号導体212Cよりも幅広である。第2信号導体用グランド部302C2は、第2信号導体212Cに対して、誘電体素体90Cの厚み方向の一方側(図9における上面側)に配置されている。
 第4グランド導体302Cの中間部302C3は、誘電体素体90Cの幅方向において、第3信号導体213Cと第2信号導体212とCの間に配置されている。第4グランド導体302Cは、全体として誘電体素体90Cの厚み方向に直交する方向に平坦な形状である。すなわち、第3信号導体用グランド部302C1、中間部302C3、および、第2信号導体用グランド部302C3は、誘電体素体90Cの厚み方向において同じ位置に配置されている。
 第6グランド導体303Cは、誘電体素体90Cの長さ方向に沿って延びる長尺状で膜状の導体である。第6グランド導体303Cは、自身の幅方向において、第3信号導体用グランド部303C1、第4信号導体用グランド部303C2、および、中間部303C3の3つの部分からなる。第3信号導体用グランド部303C1、第4信号導体用グランド部303C2、および、中間部303C3は、一体形成されている。これらの各部は、誘電体素体90Cの幅方向に沿って第3信号導体213C側の側面から第4信号導体214C側の側面に向かって、第3信号導体用グランド部303C1、中間部303C3、および、第4信号導体用グランド部303C2の順に配置される。
 第6グランド導体303Cの第3信号導体用グランド部303C1は、第3信号導体213Cよりも幅広である。第3信号導体用グランド部303C1は、第3信号導体213Cに対して、誘電体素体90Cの厚み方向の一方側(図9における上面側)に配置されている。
 第6グランド導体303Cの第4信号導体用グランド部303C2は、第4信号導体214Cよりも幅広である。第4信号導体用グランド部303C2は、第4信号導体214Cに対して、誘電体素体90Cの厚み方向の他方側(図9における下面側)に配置されている。
 第6グランド導体303Cの中間部303C3は、誘電体素体90Cの幅方向において、第3信号導体213Cと第4信号導体214Cとの間に配置されている。中間部303C3の膜面は、誘電体素体90Cの厚み方向に対して略平行な構成になっているほど好ましい。言い換えれば、中間部303C3の膜面は、第3信号導体213Cと第4信号導体214Cとが並ぶ方向に対して略直交する構成になっているほど好ましい。
 第7グランド導体440Cは、第4信号導体214Cよりも幅広である。第7グランド導体440Cは、第4信号導体214Cに対して、誘電体素体90Cの厚み方向の一方側(図9における上面側)に配置されている。
 第7グランド導体440Cは、長尺導体441C,442Cおよびブリッジ導体443Cを備える。長尺導体441C,442Cは、誘電体素体90Cの長さ方向に沿って延びる形状からなる。長尺導体441C,442Cは、誘電体素体90Cの幅方向において、第4信号導体214Cを挟むように配置されている。この際、長尺導体441C,442Cは、誘電体素体90Cを厚み方向に視て、第4信号導体214Cと重ならないことが好ましい。ブリッジ導体443Cは、複数備えられており、長尺導体441C,442Cを延びる方向に沿って間隔を空けて接続している。長尺導体441C,442Cは、複数の層間接続導体540Cによって、第6グランド導体303Cの第4信号導体用グランド部303C2に接続されている。
 このような構成により、図9に示すように、誘電体素体90C内には、第1、第2、第3、第4伝送線路101C,102C,103C,104Cが構成される。第1伝送線路101Cは、誘電体素体90Cの厚み方向に沿って、第1信号導体211Cを、第1グランド導体301Cの第1信号導体用グランド部301C1と、第2グランド導体410Cで挟み込んだストリップライン型の伝送線路である。第2伝送線路102Cは、誘電体素体90Cの厚み方向に沿って、第2信号導体212Cを、第1グランド導体301Cの第2信号導体用グランド部301C2と、第4グランド導体302Cの第2信号導体用グランド部302C2で挟み込んだストリップライン型の伝送線路である。第3伝送線路103Cは、誘電体素体90Cの厚み方向に沿って、第3信号導体213Cを、第4グランド導体302Cの第3信号導体用グランド部302C1と、第6グランド導体303Cの第3信号導体用グランド部303C1で挟み込んだストリップライン型の伝送線路である。第4伝送線路104Cは、誘電体素体90Cの厚み方向に沿って、第4信号導体214Cを第6グランド導体303Cの第4信号導体用グランド部303C2と、第7グランド導体440Cで挟みこんだストリップライン型の伝送線路である。
 第1、第2、第3、第4伝送線路101C,102C,103C,104Cは、誘電体素体90Cの長さ方向に沿って延びる伝送線路である。第1伝送線路101Cと第2伝送線路102Cは、誘電体素体90Cの幅方向に沿って配列されている。第1伝送線路101Cと第3伝送線路103Cは、誘電体素体90Cの厚み方向に沿って配列されている。誘電体素体90Cを平面視して、第1伝送線路101Cと第3伝送線路103Cは重なっている。第2伝送線路102Cと第4伝送線路104Cは、誘電体素体90Cの厚み方向に沿って配列されている。誘電体素体90Cを平面視して、第2伝送線路102Cと第4伝送線路104Cは重なっている。第3伝送線路103Cと第4伝送線路104Cは、誘電体素体90Cの幅方向に沿って配列されている。
 第1伝送線路101Cと第2伝送線路102Cとの間には、第1グランド導体301Cの中間部301C3が配置されている。中間部301C3は、第1信号導体211Cと第2信号導体212Cとの並ぶ方向に対して、略直交する膜面を備えている。これにより、第1信号導体211Cと第2信号導体212Cとの電磁界結合を抑制することができる。
 第3伝送線路103Cと第4伝送線路104Cとの間には、第6グランド導体303Cの中間部303C3が配置されている。中間部303C3は、第3信号導体213Cと第4信号導体214Cとの並ぶ方向に対して、略直交する膜面を備えている。これにより、第3信号導体213Cと第4信号導体214Cとの電磁界結合を抑制することができる。
 第1信号導体211Cと第3信号導体213Cとの間には、第1グランド導体301Cの第1信号導体用グランド部301C1と、第4グランド導体302Cの第3信号導体用グランド部302C1とが配置されている。これにより、第1信号導体211Cと第3信号導体213Cとの電磁界結合を抑制することができる。
 第2信号導体212Cと第4信号導体214Cとの間には、第4グランド導体302Cの第2信号導体用グランド部302C2と、第6グランド導体303Cの第4信号導体用グランド部303C2とが配置されている。これにより、第2信号導体212Cと第4信号導体214Cとの電磁界結合を抑制することができる。
 このような構成によって、第1信号導体211Cと第2信号導体212Cとが誘電体素体90Cの幅方向に近接し、第3信号導体213Cと第4信号導体214Cとが誘電体素体90Cの幅方向に近接し、第1信号導体211Cと第3信号導体213Cとが誘電体素体90Cの厚み方向に近接し、第2信号導体212Cと第4信号導体214Cとが誘電体素体90Cの厚み方向に近接していても、第1信号導体211C、第2信号導体212C、第3信号導体213C、および第4信号導体214Cの相互の電磁界結合を抑制できる。したがって、第1伝送線路101C、第2伝送線路102C、第3伝送線路103C、および第4伝送線路104Cの相互のアイソレーションを高く確保することができる。
 また、上述の各実施形態と同様に、誘電体素体90Cの幅を狭くすることができる。これにより、第1伝送線路101C、第2伝送線路102C、第3伝送線路103C、および第4伝送線路104Cの相互のアイソレーションを高く確保した小型の伝送線路部材10Cを実現することができる。
 また、本実施形態の構成では、厚み方向に沿った第1伝送線路101Cの第1信号導体211Cと第1信号導体用グランド部301C1との間の領域と、厚み方向に沿った第2伝送線路102Cの第2信号導体212Cと第2信号導体用グランド部301C2との間の領域とが、誘電体素体90Cの厚み方向において重なっている。厚み方向に沿った第3伝送線路103Cの第3信号導体213Cと第3信号導体用グランド部303C1との間の領域と、厚み方向に沿った第4伝送線路104Cの第4信号導体214Cと第4信号導体用グランド部303C2との間の領域とが、誘電体素体90Cの厚み方向において重なっている。これにより、誘電体素体90Cを低背化でき、伝送線路部材10Cを小型に形成することができる。
 このように、誘電体素体90Cに4つの伝送線路を内蔵しても、狭幅で低背な伝送線路部材10Cを実現することができる。
 なお、伝送線路部材10Cにおける第1伝送線路101Cおよび第3伝送線路103Cのインピーダンスは、第1の実施形態に示した第1、第2伝送線路101,102のインピーダンスと同様に決定することができる。伝送線路部材10Cにおける第2伝送線路102Cおよび第4伝送線路104Cのインピーダンスは、第2の実施形態に係る第2伝送線路102Bと同様に決定することができる。
 また、伝送線路部材10Cでは、第1グランド導体301Cの第1信号導体用グランド部301C1と、第4グランド導体302Cの第3信号導体用グランド部302C1とは、誘電体素体90Cの厚み方向において、近接している。また、第1信号導体用グランド部301C1と第3信号導体用グランド部302C1は複数の層間接続導体591によって接続されている。第4グランド導体302Cの第2信号導体用グランド部302C2と、第6グランド導体303Cの第4信号導体用グランド部303C2とは、誘電体素体90Cの厚み方向において、近接している。また、第2信号導体用グランド部302C2と第4信号導体用グランド部303C2は複数の層間接続導体592によって接続されている。これにより、グランド導体間の電位差を抑制できる。
 誘電体素体90Bを平面視して、層間接続導体591は、層間接続導体510,530に重なる位置に配置されている。これにより、第1グランド導体301Cの第1信号導体用グランド部301C1と、第4グランド導体302Cの第3信号導体用グランド部302C1が、誘電体素体90Cの成型時に変形することを抑制できる。層間接続導体592は、層間接続導体520,540に重なる位置に配置されている。これにより、第4グランド導体302Cの第2信号導体用グランド部302C2と、第6グランド導体303Cの第4信号導体用グランド部303C2が、誘電体素体90Cの成型時に変形することを抑制できる。これにより、成型によって信号導体とグランド導体との位置関係が変化することを抑制でき、所望とするインピーダンスを実現することができる。
 このような構造の伝送線路部材10Cは、例えば次に示すように製造される。
 図10に示すように、誘電体層901C,902C,903C,904C,905C,906C,907C,908C,909C,910C,911C,912C,913Cを用意する。各誘電体層901C-913Cは、例えば、液晶ポリマを主成分とする材料からなる誘電体フィルムに対して、必要に応じて所定の導体パターンを形成することで得られる。
 誘電体層901Cは、導体が形成されていない誘電体フィルムからなる。誘電体層901Cの幅は、誘電体素体90Cの幅と略同じである。
 誘電体層902Cは、片面に導体(例えば、銅(Cu))が貼り付けられた誘電体フィルムからなる。図10に示すように、誘電体層902Cの表面の導体に対してパターニング処理等を施すことによって、誘電体層902Cの表面には第2グランド導体410Cが形成されている。誘電体層902Cの幅は、誘電体素体90Cの幅の略半分(1/2)である。誘電体層902Cは、誘電体素体90Cにおける幅方向の一方端側の半分の位置に配置されている。
 誘電体層903Cは、片面に導体(例えば、銅(Cu))が貼り付けられた誘電体フィルムからなる。図10に示すように、誘電体層903Cの表面の導体に対してパターニング処理等を施すことによって、誘電体層903Cの表面には第1信号導体211Cおよびビア用補助導体511が形成されている。誘電体層903Cの幅は、誘電体素体90Cの幅の略半分(1/2)である。誘電体層902Cは、誘電体素体90Cにおける幅方向の一方端側の半分の位置に、誘電体層902Cに重なるように配置されている。
 ビア用補助導体511は、誘電体層902Cを誘電体層903Cに重ねあわせたとき、第2グランド導体410Cの長尺導体411C,412Cと重なる領域に設けられている。誘電体層903Cには、誘電体層902Cと重ねあわせたときに第2グランド導体410Cの長尺導体411C,412Cと重なる領域(ビア用補助導体511と重なる領域)に、厚み方向に貫通する複数の貫通孔が設けられている。各貫通孔には導電性ペーストが充填されている。この貫通孔に充填された導電性ペーストが、誘電体層901C-913Cの加熱圧着によって、ビア用補助導体511とともに層間接続導体510Cの一部を構成する。
 誘電体層904Cは、片面に導体(例えば、銅(Cu))が貼り付けられた誘電体フィルムからなる。図10に示すように、誘電体層904Cの表面の導体に対してパターニング処理等を施すことによって、誘電体層904Cの表面には、第1グランド導体301Cが形成される。誘電体層904Cの幅は、誘電体素体90Cの幅と略同じである。第1グランド導体301Cは、誘電体層904Cの略全面に形成されている。第1グランド導体301Cは、誘電体層904Cの幅方向の両端面に達しない方が好ましい。これにより、第1グランド導体301Cが外部回路に対して不要に短絡することを抑制できる。
 誘電体層904Cには、誘電体層903Cと重ね合わせた状態で誘電体層903Cのビア用補助導体511と重なり合う位置に複数の貫通孔が設けられており、各貫通孔には導電性ペーストが充填されている。この貫通孔に充填された導電性ペーストが、誘電体層901C-913Cの加熱圧着によって、層間接続導体510の一部を構成する。
 誘電体層905Cは、片面に導体(例えば、銅(Cu))が貼り付けられた誘電体フィルムからなる。図10に示すように、誘電体層905Cの表面の導体に対してパターニング処理等を施すことによって、誘電体層905Cの表面には、第2信号導体212Cおよびビア用補助導体521が形成されている。誘電体層905Cの幅は、誘電体素体90Cの幅の略1/2である。誘電体層905Cは、誘電体素体90Cにおける幅方向の他方端側の半分の位置に配置されている。ビア用補助導体521は、誘電体層905Cの幅方向において第2信号導体212Cを挟むように設けられている。誘電体層905Cには、ビア用補助導体521と重なる領域に貫通孔が設けられている。各貫通孔には導電性ペーストが充填されている。この貫通孔に充填された導電性ペーストが、誘電体層901C-913Cの加熱圧着によって、ビア用補助導体521とともに層間接続導体520Cの一部を構成する。
 誘電体層906Cは、片面に導体(例えば、銅(Cu))が貼り付けられた誘電体フィルムからなる。図10に示すように、誘電体層906Cの表面の導体に対してパターニング処理等を施すことによって、誘電体層906Cの表面には、ビア用補助導体521が形成されている。誘電体層906Cの幅は、誘電体素体90Cの幅の略1/2である。誘電体層906Cは、誘電体素体90Cにおける幅方向の他方端側の半分の位置に配置されている。ビア用補助導体521は、誘電体層906Cを誘電体層905Cに重ねあわせた状態において、誘電体層905Cのビア用補助導体521と重なる位置に設けられている。誘電体層906Cには、ビア用補助導体521と重なる領域に貫通孔が設けられている。各貫通孔には導電性ペーストが充填されている。この貫通孔に充填された導電性ペーストが、誘電体層901C-913Cの加熱圧着によって、ビア用補助導体521とともに層間接続導体520の一部を構成する。誘電体層906Cは、第2信号導体212Cと第4グランド導体302Cとの距離を所定値にして第2伝送線路102Cのインピーダンスを調整するための誘電体層である。
 誘電体層907Cは、片面に導体(例えば、銅(Cu))が貼り付けられた誘電体フィルムからなる。図10に示すように、誘電体層907Cの表面の導体に対してパターニング処理等を施すことによって、誘電体層907Cの表面には、第4グランド導体302Cが形成される。誘電体層907Cの幅は、誘電体素体90Cの幅と略同じである。第4グランド導体302Cは、誘電体層907Cの略全面に形成されている。第4グランド導体302Cは、誘電体層907Cの幅方向の両端面に達しない方が好ましい。これにより、第4グランド導体302Cが外部回路に対して不要に短絡することを抑制できる。
 誘電体層907Cには、幅方向の一方端側の半分の領域に、複数の貫通孔が設けられており、各貫通孔には導電性ペーストが充填されている。幅方向の一方端側の半分の領域に形成された貫通孔に充填された導電性ペーストが、誘電体層901C-913Cの加熱圧着によって、層間接続導体591を構成する。
 誘電体層908Cは、片面に導体(例えば、銅(Cu))が貼り付けられた誘電体フィルムからなる。図10に示すように、誘電体層908Cの表面の導体に対してパターニング処理等を施すことによって、誘電体層908Cの表面には、第3信号導体213Cおよびビア用補助導体531が形成されている。誘電体層908Cの幅は、誘電体素体90Cの幅の略1/2である。誘電体層908Cは、誘電体素体90Cにおける幅方向の一方端側の半分の位置に配置されている。ビア用補助導体531は、誘電体層908Cの幅方向において第3信号導体213Cを挟むように設けられている。誘電体層908Cには、ビア用補助導体531と重なる領域に貫通孔が設けられている。各貫通孔には導電性ペーストが充填されている。この貫通孔に充填された導電性ペーストが、誘電体層901C-913Cの加熱圧着によって、ビア用補助導体531とともに層間接続導体530Cの一部を構成する。
 誘電体層909Cは、片面に導体(例えば、銅(Cu))が貼り付けられた誘電体フィルムからなる。図10に示すように、誘電体層909Cの表面の導体に対してパターニング処理等を施すことによって、誘電体層909Cの表面には、ビア用補助導体531が形成されている。誘電体層909Cの幅は、誘電体素体90Cの幅の略1/2である。誘電体層909Cは、誘電体素体90Cにおける幅方向の一方端側の半分の位置に配置されている。ビア用補助導体531は、誘電体層909Cを誘電体層908Cに重ねあわせた状態において、誘電体層908Cのビア用補助導体531と重なる位置に設けられている。誘電体層908Cには、ビア用補助導体531と重なる領域に貫通孔が設けられている。各貫通孔には導電性ペーストが充填されている。この貫通孔に充填された導電性ペーストが、誘電体層901C-913Cの加熱圧着によって、ビア用補助導体531とともに層間接続導体530Cの一部を構成する。誘電体層909Cは、第3信号導体213Cと第6グランド導体303Cとの距離を所定値にして第3伝送線路103Cのインピーダンスを調整するための誘電体層である。
 誘電体層910Cは、片面に導体(例えば、銅(Cu))が貼り付けられた誘電体フィルムからなる。図10に示すように、誘電体層910Cの表面の導体に対してパターニング処理等を施すことによって、誘電体層910Cの表面には、第6グランド導体303Cが形成される。誘電体層910Cの幅は、誘電体素体90Cの幅と略同じである。第6グランド導体303Cは、誘電体層910Cの略全面に形成されている。第6グランド導体303Cは、誘電体層910Cの幅方向の両端面に達しない方が好ましい。これにより、第6グランド導体303Cが外部回路に対して不要に短絡することを抑制できる。
 誘電体層910Cには、幅方向の他方端側の半分の領域に、複数の貫通孔が設けられており、各貫通孔には導電性ペーストが充填されている。幅方向の一方端側の半分の領域に形成された貫通孔に充填された導電性ペーストが、誘電体層901C-913Cの加熱圧着によって、層間接続導体592を構成する。
 誘電体層911Cは、片面に導体(例えば、銅(Cu))が貼り付けられた誘電体フィルムからなる。図10に示すように、誘電体層911Cの表面の導体に対してパターニング処理等を施すことによって、誘電体層911Cの表面には、第4信号導体214Cおよびビア用補助導体541が形成されている。誘電体層911Cの幅は、誘電体素体90Cの幅の略1/2である。誘電体層911Cは、誘電体素体90Cにおける幅方向の他方端側の半分の位置に配置されている。ビア用補助導体541は、誘電体層911Cの幅方向において第4信号導体214Cを挟むように設けられている。誘電体層911Cには、ビア用補助導体541と重なる領域に貫通孔が設けられている。各貫通孔には導電性ペーストが充填されている。この貫通孔に充填された導電性ペーストが、誘電体層901C-913Cの加熱圧着によって、ビア用補助導体541とともに層間接続導体540Cの一部を構成する。
 誘電体層912Cは、片面に導体(例えば、銅(Cu))が貼り付けられた誘電体フィルムからなる。図10に示すように、誘電体層912Cの表面の導体に対してパターニング処理等を施すことによって、誘電体層912Cの表面には第7グランド導体440Cが形成されている。誘電体層912Cの幅は、誘電体素体90Cの幅の略半分(1/2)である。誘電体層912Cは、誘電体素体90Cにおける幅方向の他方端側の半分の位置に配置されている。
 誘電体層913Cは、導体が形成されていない誘電体フィルムからなる。誘電体層913Cの幅は、誘電体素体90Cの幅と略同じである。
 このような構成からなる誘電体層901C-913Cを、図10に示すように、誘電体層901C、誘電体層902C、誘電体層903C、誘電体層904C、誘電体層905C、誘電体層906C、誘電体層907C、誘電体層908C、誘電体層909C、誘電体層910C、誘電体層911C、誘電体層912C、および誘電体層913Cの順に積層する。
 誘電体層901C-913Cが積層されると、この積層体は、積層方向の両端から金型で挟み込まれ、所定の条件で加熱圧着される。これにより、第1グランド導体301Cが形成された誘電体層904Cは幅方向の途中位置(より具体的には積層体を積層方向に視たときの誘電体層903Cの領域と誘電体層905Cの領域との境界)で曲がる。これにより、第1グランド導体301Cは、平膜面が積層方向(厚み方向)と略平行な中間部301C3と、該中間部301C3でつなげられたそれぞれ平膜面が積層方向に直交する第1信号導体用グランド部301C1および第2信号導体用グランド部301C2とに形づけられる。第6グランド導体303Cが形成された誘電体層910Cは幅方向の途中位置(より具体的には積層体を積層方向に視たときの誘電体層909Cの領域と誘電体層911Cの領域との境界)で曲がる。これにより、第6グランド導体303Cは、平膜面が積層方向(厚み方向)と略平行な中間部303C3と、該中間部303C3でつなげられたそれぞれ平膜面が積層方向に直交する第3信号導体用グランド部303C1および第4信号導体用グランド部303C2とに形づけられる。なお、第4グランド導体302Cは、幅方向の一方端側の半分に積層される誘電体層の厚みと他方端側の半分に積層される誘電体層の厚みが同じであるので、平坦である。
 このように、本実施形態の製造方法を用いることで、上述の伝送線路部材10Cを容易に製造することができる。
 なお、第3、第4の実施形態に係る構成の層間接続導体に対して、第2の実施形態に係る構成の層間接続導体を適用することも可能である。
10,10A,10B,10C:伝送線路部材
90,90B,90C:誘電体素体
101,101B,101C:第1伝送線路
102,102B,102C:第2伝送線路
103B,103C:第3伝送線路
104C:第4伝送線路
211,211B,211C:第1信号導体
212,212B,212C:第2信号導体
213B,213C:第3信号導体
214C:第4信号導体
300,301B,301C:第1グランド導体
301B1,301C1:第1信号導体用グランド部
301B2,301C2:第2信号導体用グランド部
301B3,301C3:中間部
302B,302C:第4グランド導体
302B1,302C1:第3信号導体用グランド部
302B2,302C2:第2信号導体用グランド部
302B3,302C3:中間部
303C:第6グランド導体
303C1:第3信号導体用グランド部
303C2:第4信号導体用グランド部
303C3:中間部
311:第1信号導体用グランド部
312:第2信号導体用グランド部
320:中間部
410,410B,410C:第2グランド導体
411,412,411B,412B,411C,412C:長尺導体
413,413B,413C:ブリッジ導体
420:第3グランド導体
421,422:長尺導体
423:ブリッジ導体
430B:第5グランド導体
431B,432B:長尺導体
433B:ブリッジ導体
440C:第7グランド導体
441C,442C:長尺導体
443C:ブリッジ導体
510,520,530,540,590,591,592,510A,520A,510B,520B,530B,510C,520C,530C,540C:層間接続導体
511,521,531,541:ビア用補助導体
901,902,903,904,905,906,907,901B,902B,903B,904B,905B,906B,907B,908B,909B,901C,902C,903C,904C,905C,906C,907C,908C,909C,910C,911C,912C,913C:誘電体層
990:凹部

Claims (5)

  1.  複数の誘電体層を積層してなる平板状の誘電体素体と、
     前記誘電体素体の内部に配置され、高周波信号の伝送方向に沿って延びる形状からなり、前記伝送方向に直交する前記誘電体素体の幅方向において離間して配置されている第1信号導体および第2信号導体と、
     前記誘電体素体の内部に配置され、前記第1信号導体と前記第2信号導体とに共通の第1グランド導体と、
     を備え、
     前記第1グランド導体は、
     前記第1信号導体に対して前記誘電体素体の厚み方向の一方側に配置され、前記第1信号導体の主表面に対向する第1信号導体用グランド部と、
     前記第2信号導体に対して前記厚み方向の他方側に配置され、前記第2信号導体の主表面に対向する第2信号導体用グランド部と、
     前記第1信号導体用グランド部と前記第2信号導体用グランド部とをつなぐ中間部と、を備え、
     前記誘電体素体の厚み方向に沿って、前記第1信号導体と前記第1信号導体用グランド部との間の領域を第1領域とし、前記第2信号導体と前記第2信号導体用グランド部との間の領域を第2領域とし、
     前記第2領域の前記厚み方向の他方端側の端部は、前記第1領域の前記厚み方向の一方端側の端部に対して、前記誘電体素体の厚み方向の他方側に配置されている、
     伝送線路部材。
  2.  前記厚み方向において、前記第1信号導体を基準に前記第1信号導体用グランド部と反対側に配置された第2グランド導体と、
     前記厚み方向において、前記第2信号導体を基準にして前記第2信号導体用グランド部と反対側に配置された第3グランド導体と、
     をさらに備える、
     請求項1に記載の伝送線路部材。
  3.  前記誘電体素体の厚み方向において、前記第2信号導体を基準にして前記第1グランド導体と反対側に一部が配置され、前記誘電体素体の幅方向の略全域に形成された第4グランド導体と、
     前記誘電体素体の厚み方向において、前記第1グランド導体と前記第4グランド導体を基準にして前記第1信号導体と反対側に配置された第3信号導体と、
     をさらに備え、
     前記第4グランド導体における前記第3信号導体に対向する部分は、前記第2信号導体に対向する部分よりも、前記第1信号導体側に配置されている、
     請求項1に記載の伝送線路部材。
  4.  前記誘電体素体の厚み方向において、前記第3信号導体を基準にして前記第4グランド導体と反対側に一部が配置され、前記誘電体素体の幅方向の略全域に形成された第6グランド導体と、
     前記誘電体素体の厚み方向において、前記第4グランド導体と前記第6グランド導体を基準にして前記第2信号導体と反対側に配置された第4信号導体と、
     をさらに備え、
     前記第6グランド導体における前記第4信号導体に対向する部分は、前記第3信号導体に対向する部分よりも、前記第2信号導体側に配置されている、
     請求項3に記載の伝送線路部材。
  5.  複数の誘電体層を積層してなる平板状の誘電体素体と、
     前記誘電体素体の内部に配置され、高周波信号の伝送方向に沿って延びる形状からなり、前記伝送方向に直交する前記誘電体素体の幅方向において離間して配置されている第1信号導体および第2信号導体と、
     前記誘電体素体の内部に配置され、前記第1信号導体と前記第2信号導体とに共有の第1グランド導体と、
     を備えた伝送線路部材の製造方法であって、
     前記誘電体素体の幅よりも狭い幅からなり前記第1信号導体が形成された第1誘電体層と、前記誘電体素体の幅よりも狭い幅からなり前記第2信号導体が形成された第2誘電体層と、前記誘電体素体の幅と略同じ幅からなり前記第1グランド導体が形成された第3誘電体層とを、積層方向に沿って、前記第1誘電体層、前記第3誘電体層、前記第2誘電体層の順で積層する積層工程と、
     積層された前記第1誘電体層、前記第3誘電体層、前記第2誘電体層を加熱圧着することで、前記第1誘電体層、前記第3誘電体層、前記第2誘電体層を含む誘電体素体を形成する加熱圧着工程と、を有し、
     前記積層工程は、
     前記第1誘電体層、前記第3誘電体層、前記第2誘電体層が積層された状態にて積層方向に視て、前記第1誘電体層と前記第2誘電体層とが重ならないように配置されている、
     伝送線路部材の製造方法。
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