WO2015166776A1

WO2015166776A1 - 電子部品装着装置

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Publication number: WO2015166776A1
Application number: PCT/JP2015/061017
Authority: WO
Inventors: 修金井; 国宗駒池; 秀幸鎌須賀
Original assignee: ヤマハ発動機株式会社
Priority date: 2014-04-30
Filing date: 2015-04-08
Publication date: 2015-11-05
Also published as: US20170049013A1; EP3125666A1; CN106233832A; US10420267B2; CN106233832B; JP6199798B2; EP3125666B1; EP3125666A4; JP2015211187A

Abstract

　電子部品装着装置（１）は、前記部品供給ユニット（８）が供給する電子部品を取出して基板に装着する保持具（５）を備え、水平方向に移動する装着ヘッド（６）と、前記装着ヘッドに設けられ、前記部品供給ユニットの供給する部品を取出す部品取出し位置に前記保持具が位置しているときに、前記部品取出し位置を撮像する撮像カメラ（２０）と、前記撮像カメラの撮像した画像に基づいて、前記部品取出し位置と、前記部品供給ユニットにおいて部品が収納された収納部の位置または当該部品の前記収納部における位置との位置ずれを認識する認識部（２８）と、同一の部品供給ユニットの次の部品の取出し前の前記撮像カメラによる撮像によって前記認識部に認識された位置ずれ分だけ、前記部品取出し位置を補正して前記装着ヘッドを移動させるよう制御する制御部（２５）と、を備える。

Description

電子部品装着装置

　本発明は、装着ヘッドに設けられた保持具により電子部品を取出し、これを基板に装着する電子部品装着装置に関する。

　例えば特許文献１には、電子部品の吸着前にその吸着位置に認識カメラを移動させて収納テープの収納部を撮像することにより、吸着ノズル（保持具）による部品吸着位置を補正して部品を取出す技術が開示されている。

　しかし、前記従来技術で用いられているカメラは基板の認識マークを撮像するカメラであり、部品取出し位置（吸着位置）を認識するのは真上からである。従って、カメラが部品取出し位置を撮像して取り出し位置を認識し、装着ヘッドが水平方向にある程度の距離を移動した後に、吸着ノズルを下降させて前記認識された取出し位置より電子部品の吸着が行われる。このため、カメラ撮像の後に吸着ノズルが部品を吸着する位置に装着ヘッドを移動させるために、ある程度の時間を要する。この条件下では、部品吸着回数に対して部品取出し位置の撮像回数を多くすると生産性が下がるため、撮像回数をあまり多くすることはできなかった。

特開２００７－１２８８８号公報

　本発明の目的は、部品装着動作の生産性をなるべく落とすことなく、電子部品の取出しを確実に行えるようにすることにある。

　本発明の一局面に係る電子部品装着装置は、部品供給ユニットが供給する電子部品を基板に装着する電子部品装着装置であって、前記部品供給ユニットが供給する電子部品を取出して基板に装着する保持具を備え、水平方向に移動する装着ヘッドと、前記装着ヘッドに設けられ、前記部品供給ユニットの供給する部品を取出す部品取出し位置に前記保持具が位置しているときに、前記部品取出し位置を撮像する撮像カメラと、前記撮像カメラの撮像した画像に基づいて、前記部品取出し位置と、前記部品供給ユニットにおいて部品が収納された収納部の位置または当該部品の前記収納部における位置との位置ずれを認識する認識部と、同一の部品供給ユニットの次の部品の取出し前の前記撮像カメラによる撮像によって前記認識部に認識された位置ずれ分だけ、前記部品取出し位置を補正して前記装着ヘッドを移動させるよう制御する制御部と、を備える。

　本発明の目的、特徴及び利点は、以下の詳細な説明と添付図面とによって、より明白となる。

図１は、本発明の実施形態に係る電子部品装着装置の平面図である。図２は、前記電子部品装着装置における装着ヘッドの側面図である。図３は、前記装着ヘッドを上方から見た平面図である。図４は、前記電子部品装着装置における、特に電子部品の撮像及び認識処理に係わる制御ブロック図である。図５は、吸着ノズルが部品供給ユニット上にある場合の、撮像カメラによる部品取出し位置の撮像画像を示す図である。図６は、前記装着ヘッドの側面図であって、撮像カメラによる電子部品の撮像が行われている状態を示す図である。図７は、連結テープで連結した収納テープの平面図である。図８は、連結テープで連結した収納テープの側面図である。図９は、部品吸着動作のフローチャートを示す図である。図１０は、継目検出後のフラグ設定のフローチャートを示す図である。図１１は、吸着率によるフラグ設定のフローチャートを示す図である。図１２は、撮像カメラによるプリント基板の部品装着位置の撮像画像を示す図である。

　先ず図１に基づいて、基板としてのプリント基板Ｐ上に電子部品Ｄを装着する電子部品装着装置１について、本発明の実施の形態を説明する。この電子部品装着装置１には、各プリント基板Ｐの搬送を行なう搬送装置２と、電子部品装着装置１の装置本体の手前側と奥側に配設され電子部品Ｄを供給する部品供給装置３Ａ、３Ｂと、駆動源により一方向に移動可能（Ｙ方向に往復移動可能）な一対のビーム４Ａ、４Ｂと、前記各ビーム４Ａ、４Ｂに沿った方向（Ｙ方向と直交するＸ方向）に各駆動源により別個に移動可能な一対の装着ヘッド６とが設けられている。この装着ヘッド６については、図２に基づいて後述する。

　搬送装置２は、プリント基板Ｐを、前記装置本体の略中央の位置決め部に、図示しない位置決め装置により位置決め固定する。

　部品供給装置３Ａ、３Ｂは、搬送装置２の奥側位置と手前側位置に配設され、取付台であるカート台７Ａ、７Ｂのフィーダベース上に多数並設された部品供給ユニット８を有する。部品供給ユニット８は、プリント基板Ｐ上に装着される電子部品Ｄを供給する。各カート台７Ａ、７Ｂは、部品供給ユニット８の部品供給側の先端部がプリント基板Ｐの搬送路に臨むように、前記装置本体に連結具を介して着脱可能に配設されている。各カート台７Ａ、７Ｂが正規に装置本体に取り付けられると、カート台７Ａ、７Ｂに搭載された部品供給ユニット８に電源が供給される。また、前記連結具を解除して図略の把手を引くと、下面に設けられたキャスタによりカート台７Ａ、７Ｂを移動させることができる。

　ビーム４Ａ、４Ｂは、Ｘ方向に長い前後一対の部材である。リニアモータから構成されるＹ方向移動駆動源１５（図４）の駆動により、左右一対の前後に延びた図示しないガイドに沿って前記各ビーム４Ａ、４Ｂに固定された図示しないスライダが摺動することによって、ビーム４Ａ、４Ｂは、それぞれ個別にＹ方向に移動する。

　また、ビーム４Ａ、４Ｂには、水平方向に移動する装着ヘッド６が各々取り付けられている。各装着ヘッド６は、ビーム４Ａ、４Ｂの長手方向（Ｘ方向）に設けられたガイドに沿って、リニアモータから構成されるＸ方向移動駆動源１６（図４）により移動するように、それぞれビーム４Ａ、４Ｂの内側に設けられている。Ｘ方向移動駆動源１６は、各ビーム４Ａ、４Ｂに固定された前後一対の図示しない固定子と、各固定子の間に位置して装着ヘッド６に設けられた図示しない可動子とから構成される。

　一対の装着ヘッド６は、互いに向き合うように各ビーム４Ａ、４Ｂの内側に各々設けられている。奥側の装着ヘッド６は、対応する奥側の部品供給装置３Ａの部品供給ユニット８から電子部品の取出し作業を行い、搬送装置２上のプリント基板Ｐに装着することができる。手前側の装着ヘッド６は、対応する手前側の部品供給装置３Ｂから電子部品を取り出して前記プリント基板Ｐに装着することができる。

　各装着ヘッド６は、固定部としてのヘッド取付体６Ａと、円柱状を呈して平面視円形状の回転体６Ｂとを含み、取付け部材６Ｃを介して前記ビーム４Ａ、４Ｂに移動可能にそれぞれ取り付けられている。回転体６Ｂは、θ軸駆動源１７により鉛直軸を回転中心として回転可能である。回転体６Ｂの周縁部には、部品の保持具としての吸着ノズル５が、前記回転中心を中心とする同心円上において、所定間隔を存して複数本配設されている。吸着ノズル５は、上下軸駆動源１８により上下動可能であり、部品供給ユニット８から電子部品Ｄを真空吸引により取出す動作と、プリント基板Ｐ上に取出した電子部品Ｄを真空吸引の停止により装着する動作との実行が可能である。回転体６Ｂは、装着ヘッド６及び固定部であるヘッド取付体６Ａに対して回転する。

　部品供給ユニット８は、カート台７Ａ、７Ｂに回転自在に載置した図示しない供給リールに巻回された状態から順次繰り出される収納テープＴを、図示しないスプロケットの駆動により所定ピッチずつ送り、所定の部品供給位置（部品取出し位置）に電子部品Ｄを収納する収納部５０を位置決め停止させる（図２参照）。この動作の実行のため、部品供給ユニット８は、収納テープＴを電子部品Ｄの取出し位置まで間欠送りするテープ送り機構と、収納テープＴからカバーテープを引き剥がすカバーテープ剥離機構とを備える。前記テープ送り機構は、収納テープＴに所定間隔で開設された送り孔に嵌合する歯を備えた送りスプロケットを、送りモータにより所定角度回転させることによって、収納テープＴを間欠送りする。収納テープＴは、収納部５０を備えた下方のキャリアテープと、該キャリアテープの上方を覆うカバーテープとを含む。カバーテープ剥離機構は、剥離モータの駆動により供給位置の手前で、前記キャリアテープから前記カバーテープを引き剥がす。キャリアテープの収納部５０は、収納テープＴの送り方向に所定の間隔（前述の所定ピッチ）で開設されている凹部であり、ポケットとも呼ばれる。部品供給ユニット８は、カバーテープ剥離機構によりカバーテープを剥離しつつ、収納部５０に装填された電子部品Ｄを順次部品供給位置へ供給する。

　各部品認識カメラ１０は、各回転体６Ｂに設けられた各吸着ノズル５に吸着保持された電子部品Ｄを、プリント基板Ｐ上に装着する前に下方から一括して撮像する。この撮像は、認識カメラ１０の周囲に設けられた図示しない照明ユニットからの照明を吸着ノズル５が吸着保持する電子部品Ｄに照射して、その反射像を認識カメラ１０に取り込むことにより行われる。この反射像の撮像は、電子部品Ｄのリード等の照明を反射する部位の画像を取り込むものである。従って、背景に照明を反射し易い部分があると誤認識するため、前記撮像の際、背景は暗く映る条件に設定される。例えば、吸着ノズル５の図２における下端面や、背景となる装着ヘッド６の下部（回転体６Ｂの下部表面を含む）は、黒く塗装等されている。

　以下、図２、図３に基づいて、装着ヘッド６について詳細に説明する。前述の通り、装着ヘッド６は、Ｘ方向移動駆動源１６及びＹ方向移動駆動源１５によりＸＹ方向（水平方向）に移動可能である。回転体６Ｂは、ヘッド取付体６Ａにより回転可能に支持されている。回転体６Ｂは、サーボモータであるθ軸駆動源１７により回転駆動される。

　電子部品装着装置１は、部品取り出し位置を撮像する撮像カメラ２０を備える。撮像カメラ２０は、撮像する対象物の画像の大きさを変えることがないテレセントリックレンズ２１と、光電変換素子としての撮像素子２２とを備え、ヘッド取付体６Ａに取付体２３を介して固定されている。

　各装着ヘッド６は、ビーム４Ａ，４Ｂに対して高さ位置を変更することなく移動可能である。各吸着ノズル５は、回転体６Ｂの回転中心に対して同一距離に配置されている。吸着ノズル５は、回転体６Ｂによる所定の回転位置（ビーム４Ａ、４Ｂに最も近い図３の９時の位置：以下取出し回転位置という。）に位置したときに、部品取出しをするために下降する。この取出し回転位置に位置した吸着ノズル５が、装着ヘッド６から下降し、真下に位置する部品供給ユニット８の電子部品Ｄが供給される位置（部品供給位置）に位置決めされた電子部品Ｄを真空吸着して取出す。ここでは、前記取出し回転位置の鉛直下方の部品供給ユニット８の部品供給位置に載置されている電子部品Ｄの水平方向の位置を、部品取出し位置とする。

　本実施形態では、部品供給ユニット８は電子部品ＤをテープＴに収納するものを説明している。これに代えて、平面状のトレイにＸＹ方向に所定のピッチで電子部品が載置された形態の部品供給装置を採用することができる。

　撮像カメラ２０は、前記部品取出し位置を撮像可能に、装着ヘッド６に取り付けられている。前記取出し回転位置の吸着ノズル５が部品供給ユニット８の電子部品Ｄの供給位置の真上に位置するとき（部品取り出し位置に保持具が位置しているとき）に、撮像カメラ２０は、前記部品取出し位置に位置する電子部品Ｄを斜め上方から撮像する。

　部品取出し位置に載置されている電子部品Ｄの上面の高さは、所定の高さを基準としている。部品の厚さ等により上面の高さが変わる場合には、部品取出し位置の基準位置が変更される。電子部品Ｄがプリント基板Ｐに装着されるときに、撮像カメラ２０により装着位置を撮像して認識処理が行われる場合にも、プリント基板Ｐの上面高さが上述の基準の電子部品Ｄの上面の高さと異なるならば、同様に部品の装着位置の平面方向の基準位置が変更されることとなる。尚、部品供給ユニット８において、電子部品Ｄの表面の高さ位置とテープＴの表面の高さ位置とは、撮像カメラ２０で撮像する場合には略同じと扱うことができる。

　撮像カメラ２０の撮像素子２２には、部品取出し位置に位置する電子部品Ｄ及びこの電子部品Ｄを収納する収納部５０からの反射光が入射される。前記反射光は、ミラー５１で反射されて前記テレセントリックレンズ２１を介して撮像素子２２へ導かれ、その受光面を露光する。この露光により、撮像素子２２は電子部品Ｄ及びこの電子部品Ｄを収納する収納部５０の画像を取得する。撮像素子２２としては、ＣＭＯＳセンサまたはＣＣＤセンサが採用され得る。

　撮像カメラ２０の撮像する光を取り込む側面には、照明用のＬＥＤ３０（照明ユニット）が取り付けられている。撮像カメラ２０の撮像時、ＬＥＤ３０の点灯により前記部品取出し位置が照明され、その電子部品Ｄからの反射光が撮像カメラ２０に取り込まれる。ＬＥＤ３０から部品取出し位置、即ち部品供給ユニット８の部品供給位置にある部品までの距離は、概ね１０ｍｍから２０ｍｍ程度であれば、十分に認識処理可能な画像を得るための明るさとすることができる。ＬＥＤ３０は、その正面（図２の撮像カメラ２０の右側の画像取込面）を透明なカバーで覆われている。このカバー部分は、部品認識カメラ１０の照明光が当たると明るくなるため、あまり吸着ノズル５の側に突出させることができない。このため、前記カバー部分の突出頂点は、部品認識カメラ１０による電子部品Ｄの撮像時の背景となる回転体６Ｂより左側に位置している。

　ＬＥＤ３０は装着ヘッド６下面のいずれの位置に設けてもよい。但し、吸着ノズル５の背景を暗くするためには、当該吸着ノズル５の近傍を避けて配置することが望ましい。

　撮像カメラ２０は、撮像素子２２の受光面に垂直でテレセントリックレンズ２１の中心軸を通る軸線（光軸）が、図３に示すように平面視で前記取出し回転位置を通るように配置することが望ましい。さらには、前記軸線と部品供給ユニット８の収納テープＴの送り方向とが同方向となる位置に、撮像カメラ２０を配置することが望ましい。この位置であれば、前記取出し回転位置に位置していない他の吸着ノズル５よりも、取出し回転位置にある一の吸着ノズル５を、撮像カメラ２０に対して最も近い位置に位置させることができる。このことは、前記軸線が吸着ノズル５の鉛直軸となす角度α（図２参照）を最も小さくできることを意味する。従って、上記の撮像カメラ２０の配置によれば、斜め上方から電子部品Ｄを撮像する場合において、もっとも真上に近い位置から撮像することができる。また、画面の中心を部品取出し位置にすることができ、画像を正確に認識することができる。

　但し、部品取出し位置（部品供給ユニット８の部品供給位置）にある収納部５０の中心位置が、必ずしも撮像画面の中心に位置になくても画面内にあれば、収納部５０の位置を認識することはできる。好ましくは、収納部５０の画像が画面内にすべて映っていることがよい。

　吸着ノズル５で吸着する電子部品Ｄは、ある程度の大きさを有する。このため、撮像カメラ２０に部品取出し位置から取り込まれる光線の鉛直方向との角度αは、電子部品Ｄのサイズを考慮した角度に設定する必要がある。従って、撮像カメラ２０は電子部品Ｄを斜め上方から見た画像を撮像することになる。特に大きな電子部品Ｄを吸着したときに干渉しないように、撮像カメラ２０の下部の吸着ノズル５側には段差２４が設けられている。

　撮像カメラ２０は、吸着ノズル５の取出し回転位置が図３に示す９時の位置ではなく他の位置（例えば３時もしくは１２時や６時の位置）にある場合、その取出し回転位置に最も近づくように、ヘッド取付体６Ａへ取り付ければよい。もしくは、取出し回転位置に対して遠くなったとしても、ヘッド取付体６Ａの他の位置に配置し、吸着ノズル５による部品取出し位置を撮像できるようにしてもよい。

　電子部品装着装置１は、基板認識カメラ５５を備える。基板認識カメラ５５は、図１に示すように、装着ヘッド６のヘッド取付体６Ａのビーム４側に設けられている。基板認識カメラ５５は、鉛直下方位置を撮像するもので、プリント基板Ｐの位置決め用のマークを撮像する。

　また、図２に示すように、部品供給ユニット８の後端部には、収納テープＴの継目検出センサ１０２が取り付けられている。この継目検出センサ１０２は、図示しない発光素子と受光素子とを含む。前記発光素子と前記受光素子とは所定間隔を置いて配置され、前記間隔に基づくギャップ部分を収納テープＴが通過するように構成されている。

　即ち、収納テープＴの送り動作に伴って、継目が無い収納テープＴが継目検出センサ１０２を通過するときには、各送り孔Ｃｂ（図７参照）が前記発光素子と受光素子との対向位置を通過する毎に、発光素子からの光が送り孔Ｃｂを介して受光素子により受光される。このため、継目検出センサ１０２により継目の無いことが検出できる。一方、継目が有る収納テープＴにあっては、送り動作に伴い発光素子からの光が送り孔Ｃｂを覆う連結テープ１０８Ａにより遮光される。この場合、前記光は受光素子により受光されない。この非受光を検知することによって、収納テープＴに継目が有ることを検出することができる（図７及び図８参照）。

　なお、連結テープ１０８Ａは、収納テープＴの収納部５０の側部を繋ぐ連結テープ１０８Ｂ及び１０８Ｃと共に、電子部品数が少なくなった古い収納テープＣと新しい収納テープＣとを連結するための連結テープ１０８を構成している。連結テープ１０８が貼付された部分が継目である。

　次に、図４の制御ブロック図に基づいて、電子部品装着装置１の制御構成を説明する。電子部品装着装置１は、電子部品Ｄの装着に係る動作を統括制御する制御装置、種々の判定をする判定装置、種々の比較をする比較装置等として機能する制御装置２５（制御部）を備える。制御装置２５は、電子部品Ｄの装着ステップ番号順（装着順序毎）にプリント基板Ｐ内でのＸ方向、Ｙ方向及び角度位置（θ方向位置）から成る装着座標情報や各部品供給ユニット８の配置番号情報等から成る装着データ、部品供給ユニット８の配置番号毎の部品ＩＤに係る部品配置位置データ、電子部品Ｄ毎の電子部品のサイズデータ、厚さデータ等から成る部品ライブラリデータ等を格納する記憶部を備えている。電子部品装着装置１は、さらに、認識制御回路２８（認識部）及び照明駆動回路２９を備える。

　制御装置２５は、前記記憶部に記憶されたデータに基づき、回転体６Ｂを回転させるθ軸駆動源１７や、装着ヘッド６のＸ方向移動駆動源１６及びＹ方向移動駆動源１５、吸着ノズル５のノズル上下軸駆動源１８等の駆動を制御する。制御装置２５の前記記憶部には、後述するＲＴフラグが設定される。

　また、制御装置２５の前記記憶部には、部品供給ユニット８毎に、電子部品Ｄを取り出すべき部品取出し位置が記憶されている。部品取出し位置は、電子部品Ｄを吸着するために吸着ノズル５が位置すべきＸＹ方向（平面方向）の位置である。制御装置２５は、部品吸着のための装着ヘッド６のＸＹ方向の停止位置を、取出し回転位置の吸着ノズル５が前記部品取出し位置に位置するように制御する。

　認識制御回路２８は、制御装置２５に接続され、撮像カメラ２０が撮像した画像に基づいて、前記部品取出し位置と、部品供給ユニット８の収納部５０の位置または収納部５０に収容された電子部品Ｄの位置との位置ずれを認識する処理を行う。具体的には、認識制御回路２８は、撮像カメラ２０によって前記部品供給位置（吸着ノズル５が部品を取出す位置）に位置決めされた電子部品Ｄ及びこの電子部品Ｄを収納する収納部５０を撮像して得られた画像データを受信したり、制御装置２５の指示に基づいて前記画像データの認識処理を行ったりする。認識制御回路２８はさらに、照明駆動回路２９を制御して撮像カメラ２０による撮像のためにＬＥＤ３０を点灯させる。

　部品供給ユニット８は制御装置２５と接続され、種々のデータの通信をする。部品供給ユニット８に取り付けられている継目検出センサ１０２の検出信号もまた、制御装置２５に伝送される。

　制御装置２５には、吸着ノズル５が電子部品Ｄを吸着しているか及び吸着された電子部品Ｄの姿勢が正常か等を検出する吸着ミス検出センサ４０が接続されている。この検出センサ４０は、例えば、装着ヘッド６の下面に取り付けられ、図２のように上昇位置にある吸着ノズル５の下端に吸着されている電子部品Ｄを横方向から撮像するカメラ、または横方向から光を照射して反対側から電子部品Ｄに遮られた光を受光する光センサ等によって構成される。電子部品Ｄが吸着される都度、直ちに検出センサ４０により電子部品Ｄの有無及び吸着ミスの有無が検出される。

　以下、電子部品Ｄの収納テープＴからの取出し及びプリント基板Ｐへの装着動作について説明する。作業者が図示しない操作部のタッチパネルスイッチの運転開始スイッチ部を押すと、プリント基板Ｐが上流側装置より電子部品装着装置１の位置決め部に搬入され、位置決め機構により位置決め動作が開始される。

　そして、制御装置２５は、その記憶部に格納された当該プリント基板Ｐの装着すべきＸＹ座標位置、鉛直軸線回りへの回転角度位置及び電子部品Ｄを取り出すべき部品供給ユニット８の配置位置を示す配置番号等が指定された装着データ等を取得する。この装着データに従い、制御装置２５は、電子部品装着装置１の各装着ヘッド６の吸着ノズル５が装着すべき電子部品Ｄを、各部品供給ユニット８から吸着して取出すように制御する。電子部品Ｄの吸着動作では、制御装置２５は図９のフローチャートに示されるように各種動作の制御を行う。

　即ち、これから電子部品Ｄを供給する部品供給ユニット８において、電子部品Ｄを部品供給位置へ送るための収納テープＴの送り動作が行われ、電子部品Ｄを収納する収納部５０が部品供給位置に停止し、位置決めされる。これと並行して装着ヘッド６が、ビーム４の移動に伴いＸＹ方向に移動する。装着ヘッド６は、取出し回転位置にある吸着ノズル５が、部品供給ユニット８の部品供給位置に位置している収納部５０の真上（即ち、部品取出し位置）に移動して停止する。

　上記の送り動作において、部品供給ユニット８が供給する電子部品Ｄがその部品供給ユニット８が供給する収納テープＴの最初の電子部品Ｄである場合、１回目の取出しであるため（ステップＳ１でＹＥＳ）、制御装置２５の記憶部に設けられたＲＴ３フラグがＯＮとされる（ステップＳ２）。この取出し回数の検出は、例えば前記記憶部に部品供給ユニット８毎に設けたカウンタが取出し回数毎にカウントされ、収納テープが交換されたときにリセットされる態様にて実現することができる。

　１回目の取出しの場合は、上記のようにＲＴ３フラグがＯＮであるので、制御装置２５は全体としてのＲＴフラグをＯＮと判断する（ステップＳ４でＹＥＳ）。尚、ＲＴフラグは全体としての判断用のフラグであり、前記記憶部に設けられている後述するＲＴ１フラグ、ＲＴ２フラグ、ＲＴ４フラグと前記ＲＴ３フラグのいずれかがＯＮとなっているとき、制御装置２５は全体としてＯＮと判断する。一方、制御装置２５は、ＲＴ１乃至ＲＴ４フラグのすべてがＯＦＦとなっているときに、全体としてＯＦＦと判断する。

　１回目の部品取出しのときには、まだ交換された収納テープＴについて撮像カメラ２０により部品供給ユニット８の部品供給位置に位置決めされた電子部品Ｄあるいは収納部５０が撮像されていない。このため、前記記憶部は、部品取出し位置は設計値として初期的に設定された位置を記憶している。従って、この初期値の部品取出し位置に取出し回転位置の吸着ノズル５が停止するよう、装着ヘッド６の移動が制御される。具体的には、この位置に移動して停止するように、Ｘ方向移動駆動源１６及びＹ方向移動駆動源１５を駆動する駆動波形が制御装置２５により先ず決定され、その後各駆動源に前記駆動波形が指令されることによって、各駆動源が備えるモータ等の駆動が制御される。

　先ず、この部品取出し位置の上に吸着ノズル５が移動して停止する（ステップＳ５）。１回目の部品取出し時は初期的に設定された位置であり、実際にそこに電子部品Ｄが正確に位置決めされているとは限らない。従って、この段階では吸着ノズル５を下降させずに、図６に示すように撮像カメラ２０が部品供給位置の収納部５０を撮像する（ステップＳ６）。

　この時、ＬＥＤ３０が瞬間的に短時間点灯して部品取出し位置が照明される。その反射光が、収納部５０の斜め上方に位置する撮像カメラ２０の撮像素子２２に入射する。これにより撮像素子２２は、図５に示すような収納部５０及び電子部品Ｄの画像を撮像する。

　認識制御回路２８に、撮像された画像の画像データが転送される。前記画像に基づき、部品取出し位置と収納部５０の画像の中心位置との位置ずれが認識される。なお、本実施形態では、電子部品Ｄの上面は基準の高さであり、部品取出し位置は画面の中心に位置するものとして認識制御回路２８が記憶しているものとする。なお、中心位置になくとも、）認識制御回路２８が記憶したいずれかの画面の位置であればよい。収納部５０の画像の中心位置が、実際に吸着ノズル５の中心を位置合わせして吸着させたい理想位置である。理想的に電子部品Ｄを吸着するよう部品取出し位置を修正するためには、認識した位置ずれ分だけ装着ヘッド６をＸＹ方向に補正移動させる必要がある。

　このため、制御装置２５は、吸着ノズル５を下降させる前に部品取出し位置を更新し（ステップＳ６）、更新した部品取出し位置に装着ヘッド６（即ち吸着ノズル５）を移動させる（ステップＳ７）。その後、吸着ノズル５を装着ヘッド６から下降させることにより、収納部５０の中心位置に吸着ノズル５を下降させ、電子部品Ｄのほぼ中心位置を吸着ノズル５で吸着して取出すことができる。電子部品Ｄは、収納部５０の中でその寸法の違いによりいずれかに偏ったりすることがある。しかし、収納部５０の中心に吸着ノズル５が位置合わせされていれば、ほぼ電子部品Ｄの中央を吸着でき、安定した姿勢で電子部品Ｄの取出しが行われる（ステップＳ１１）。吸着ノズル５を下降させるときにも、制御装置２５は、所定の高さ位置に移動して停止するようノズル上下軸駆動源１８を駆動する駆動波形を生成する。その駆動波形は、駆動源１８に指令され、モータ等の駆動が制御される。

　このとき、認識した位置ずれが設定された所定の許容値以上であった場合には（ステップＳ８でＹＥＳ）、制御装置２５はＲＴ４フラグをＯＮとする（ステップＳ１０）。これにより、以降の部品吸着の際において、撮像カメラ２０で撮像した後、認識制御回路２８で算出された位置ずれをその撮像した電子部品Ｄについてリアルタイムで補正吸着できるようになる。認識した位置ずれが設定された所定の許容値以内である場合には（ステップＳ８でＮＯ）、制御装置２５はＲＴ４フラグをＯＦＦとする。

　予定されたすべての吸着ノズル５で電子部品Ｄを取出したのち、装着ヘッド６はプリント基板Ｐの上空へ移動される。夫々の吸着ノズル５で保持された電子部品Ｄは、プリント基板Ｐの装着データで示される位置に装着される。尚、図５に示すのは矩形の電子部品Ｄが収納される例であるが、この場合は収納部５０の穴形状も電子部品Ｄの外形に合わせた長方形である。撮像カメラ２０において、テレセントリックレンズ２１を介した撮像を行っているので画像の横方向の寸法は補正されない。一方、画像の縦方向（収納テープＴの送り方向）の寸法は、斜め方向からの撮像であるため短く撮像されており、前記認識処理において寸法の補正が必要に応じて行われる。

　また、撮像した電子部品Ｄの上面状態を認識しキズや欠けがあると判断された場合には、電子部品Ｄは吸着した後にプリント基板Ｐに装着することなく廃棄される。または、このような電子部品Ｄを吸着することなく、収納テープＴを１ピッチ送って次の収納部５０を部品供給位置に位置させてしまってもよい。電子部品Ｄの認識結果、寸法の違いや部品種を示すマーク、文字により装着データで指定されている電子部品Ｄと異なる電子部品Ｄと判断された場合には、制御装置２５が、異常表示を図示しないモニタに異常表示を行い、装着運転を停止するようにしてもよい。このとき、装着ヘッド６の下面に環状に並んだ複数の吸着ノズル５群の中央部（即ち装着ヘッド６仮面の中央部）に円筒形状等棒状の照明を設置して、部品取出し位置を照明してもよい。

　次に、上述と同一の部品供給ユニット８の次の電子部品Ｄを吸着ノズル５が取出す場合を想定する。この場合、部品取出しは２回目となるため（ステップＳ１でＮＯ）、そのカウンタの値からＲＴ３フラグはＯＦＦとされる（ステップＳ３）。

　次に、ＲＴ１フラグ、ＲＴ２フラグ及びＲＴ４フラグがＯＦＦであれば、制御装置２５は全体のＲＴフラグをＯＦＦと判断する（ステップＳ４でＮＯ）。制御装置２５は、装着ヘッド６が部品取出し位置に停止する前に吸着ノズル５を下降させる駆動波形を生成し、各駆動源にこの駆動波形を与える。このようにするのは、部品取出し位置が正確に部品供給位置に位置決めされた収納部５０の中央位置と、吸着ノズル５との位置ずれは小さい可能性が高いためである。

　具体的には、先ず、装着ヘッド６は部品取出し位置に向かい水平方向に移動を開始する（Ｓステップ１２）。取出し回転位置の吸着ノズル５が部品取出し位置に移動する前に、吸着ノズル５が下降を開始する（ステップＳ１３）。当該吸着ノズル５が、制御装置２５の記憶部に記憶されている部品取出し位置（１回目の部品取出し時の撮像後補正されている。）に位置し、且つ装着ヘッド６が水平移動を停止してから、撮像カメラ２０による撮像が行われる。つまり、吸着ノズル５が部品取出し位置で下降を行っている段階で、制御装置２５は、撮像カメラ２０に前記部品取出し位置の撮像をさせる。この撮像によって取得された画像データに基づいて、制御装置２５は、認識制御回路２８に認識された収納部５０の部品取出し位置に対する位置ずれ分だけ修正して、現在の部品取出し位置を新たな部品取り出し位置に更新する。このようにして部品取出し位置が更新すると、制御装置２５はこれを自身の記憶部に記憶する。収納部５０の位置とは、通常その中心位置である。

　尚、部品取出し位置は、前回の電子部品Ｄの取出し時の認識結果の位置ずれ分を補正したものを制御装置２５の記憶部に記憶させ、その位置に装着ヘッド６を移動するよう制御してもよいが、その他の要因のオフセット位置を加味してもよい。例えば、部品供給ユニット８の収納テープＴが備える送り孔Ｃｂに噛み合う送り歯を周囲に有するスプロケットの回転位置により（送り孔Ｃｂにかみ合う送り歯により）、収納部５０の停止位置が変わる場合がある。この場合、そのオフセット値が回転角度等毎に記憶されているときに、制御装置２５はそのオフセット値を加味して部品取出し位置を決定するようにしてもよい。

　この間に吸着ノズル５は前回の部品取出し位置にて下降して、電子部品Ｄの取出しが行われる。このように、装着ヘッド６が移動停止する前に吸着ノズル５が下降を開始するため、電子部品Ｄを吸着する時間が短縮される。但し、位置ずれがあったとしても吸着ノズル５が電子部品Ｄを吸着する前に装着ヘッド６を補正移動させる時間が短すぎるため、制御装置２５は補正移動を実行しない。もしも、この下降時間の間に補正できると判断できれば、補正移動を実行してもよい。装着ヘッド６を補正移動せずとも、前回の部品取出し位置からの位置ずれは小さいことが予測でき、通常であればこのまま電子部品Ｄを吸着しても吸着動作は問題なく安定した姿勢で行うことができる。

　何らかの事情で、認識した部品取出し位置の収納部５０に対する位置ずれが設定以上となった場合（ステップＳ１５でＹＥＳ）には、制御装置２５はＲＴ４フラグをＯＮにする（Ｓ１６）。ＲＴ４フラグをＯＮにすれば、収納テープＴの状態が悪い等の事情があったときに、次回の電子部品Ｄの取出し時に、その吸着しようとする電子部品Ｄについて位置ずれを修正した上で吸着させることができる。

　また、その後、位置ずれが設定以下となって吸着が安定したときには（ステップＳ１５でＮＯ）、制御装置２５はＲＴ４フラグをＯＦＦにする。これにより、他のＲＴ1乃至ＲＴ３フラグがＯＦＦであることを条件に、部品取出しを高速にする図９のフローチャートのステップＳ１２以降の動作に移行することができる。

　次に、図１０のフローチャートに基づき、収納テープＴの継目検出による認識処理に係る電子部品Ｄの取出しのための補正移動をするかどうかの判断（リアルタイム補正にするかの判定）処理について説明する。この場合には制御装置２５内の記憶部に格納されるＲＴ２フラグがＯＮ又はＯＦＦとされ、このフラグの状態に応じて図９のフローチャートに基づく動作が実行される。

　古い収納テープＴに収納された電子部品Ｄが吸着ノズル５に順次吸着され、古い収納テープＴの部品切れが近づく。このような場合、同一種類の電子部品Ｄを供給する新しい収納テープＴの先端が、作業者により連結テープ１０８を用いて古い収納テープＴの終端に連結される処理が行われる。これにより、部品切れで電子部品装着装置１の生産運転が停止することが回避でき、プリント基板Ｐへの電子部品装着の稼働率を上げることができる。

　しかしながら、連結テープ１０８により新しい収納テープＴを古い収納テープＴに繋げる作業は手作業であるため、時として新しい収納テープＴの収納部５０の位置が古い収納テープＴの収納部５０の配置に対して位置ずれが生ずることがある。この場合には、収納部５０の位置を認識した部品取出し位置に対する位置ずれが大きくなる。このため、前回の認識処理の結果による部品取出し位置での吸着ノズル５の下降をするのでなく、認識処理に係る電子部品Ｄ、即ち認識処理した収納部５０に収納されている電子部品Ｄを取出す時に、認識処理にて得られた位置ずれ分だけ装着ヘッド６を移動させることが良い。このため、継目検出センサ１０２が連結テープ１０８を検出した場合、即ち継目を検出した場合（ステップＳ１９でＹＥＳ）、その後の当該収納テープＴからの電子部品Ｄの吸着ノズル５による吸着（取出し）毎に、制御装置２５は吸着回数をカウントする（ステップＳ２０）。この回数のカウントが所定回数となると（ステップＳ２１）、制御装置２５はＲＴ２フラグをＯＮとする（ステップＳ２２）。

　即ち、次にこのＲＴ２フラグがＯＮとなった部品供給ユニット８から電子部品Ｄが取出される時には、図９のステップＳ５～Ｓ７の制御が行われることとなる。ステップＳ２１での閾値となる所定回数は、例えば継目検出がされた後、連結テープ１０８が繋いでいる範囲の最初の収納部５０より１つ前の収納部５０から電子部品Ｄが取出されたときにカウントされる回数を設定しておけばよい。この設定回数は、制御装置２５の記憶部に記憶されるようにすればよい。

　次に、図９のフローチャートに基づく電子部品Ｄの取出しが実行される。この際、電子部品Ｄの吸着ごとに吸着回数がカウントされ（ステップＳ２３）、所定回数のカウントが行われると（ステップＳ２４でＹＥＳ）、制御装置２５はＲＴ２フラグをＯＦＦにする。これにより、当該部品供給ユニット８の次の部品取出しからは、より高速に取出し動作ができる図９のステップＳ１２～Ｓ１４の動作が実行される。このステップＳ２４の所定回数は、例えば連結テープ１０８が繋いでいる範囲の最後の収納部５０からの部品取出しをカウントしたときとすることができる。

　継目部分の収納部５０を認識処理する場合には、制御装置２５はＲＴ２フラグをＯＮとする。これにより、認識処理の結果として得られた位置ずれ分だけ装着ヘッド６を補正移動させて、吸着ノズル５の下降により電子部品Ｄを吸着させることができる。

　上述するように、電子部品Ｄの吸着回数のカウントによりＲＴ２フラグがＯＮとなる位置が選択されるが、少なくとも繋がれた新しい収納テープＴの最初の収納部５０から電子部品Ｄを取出す場合にはＲＴ２フラグがＯＮとするように、カウント値の閾値（所定設定回数）を設定記憶することが好ましい。これは、前後の収納テープＴを繋ぐ場合にこれらがずれて繋がれた場合には、この収納テープＴ同士の境界部分のずれ（収納テープＴの長手方向またはこれに直行する方向）が大きいからである。また、境界部分の前後の部分も、その位置ずれの影響を受け位置ずれが生じる。この前後部分を含めた、位置ずれの生じる虞がある部分を継目部分と考えることができる。これは、例えば連結テープ１０８が貼り付けられた範囲の部分としてもよいし、それより広い範囲や狭い範囲でもよい。

　次に、図１１のフローチャートに基づき、電子部品Ｄの吸着ミス率による認識処理に係る電子部品Ｄの取出しのための補正移動をするかどうかの判断処理について説明する。

　電子部品Ｄが収納テープＴの収納部５０から取出される時に、電子部品Ｄの「無し」や、電子部品Ｄの吸着姿勢が異常（吸着ノズル５の下面に対する斜め吸着、または部品が立ち上がった状態での吸着）となる吸着ミスが発生することがある。この吸着ミスは、吸着ノズル５が電子部品Ｄの中央等の吸着すべき位置より隔たった位置を吸着する時に起こりやすい。吸着ミスの検出は主に吸着ミス検出センサ４０によって行われるが、部品認識カメラ１０の撮像画面から認識され判断されることもある。

　電子部品Ｄの吸着ノズル５による取出しが実行され、吸着ミス検出センサ４０または部品認識カメラ１０による吸着ミスが検出される毎に、制御装置２５はその回数をカウントする。そして制御装置２５は、吸着ミスが発生していない部品吸着回数も含めた全吸着回数に対する、吸着ミスの回数の比率を、吸着ミス率として算出する（ステップＳ２６）。この算出された吸着ミス率が設定された閾値以上となった場合（ステップＳ２７でＹＥＳ）、制御装置２５は該当する部品供給ユニット８のＲＴ１フラグをＯＮとする（ステップＳ２８）。この全吸着回数は、今回の取出しの直近までの所定の部品取出し回数分について算出されるようにすることが良い。ＲＴ１フラグがＯＮとされた後に当該部品供給ユニット８からの部品取出しが行われる際には、図９のステップＳ５～Ｓ７の制御が行われることとなる。このようにして、部品取出し毎に吸着ミス率が更新され、設定より下回った場合（ステップＳ２７でＮＯ）には、制御装置２５はＲＴ１フラグをＯＦＦにする（ステップＳ２９）。

　尚、吸着ミス率が設定以上でＲＴ１フラグをＯＮとした後において、算出された吸着ミス率がステップＳ２７の判定閾値より小さな吸着ミス率となった場合に、制御装置２５がＲＴ１フラグをＯＦＦとするようにしてもよい。また、撮像カメラ２０が収納部５０を撮像して認識処理が実行された結果、電子部品Ｄが収納部５０に収納されていないと判断した場合には、この吸着ミスの部品取出し回数のカウントはしないことがよい。

　本実施形態では、所定の条件が成立した場合にＯＮになり、認識制御回路２８の認識処理に係る電子部品Ｄの取出し時に認識処理された位置ずれ分だけ補正するよう制御装置２５が制御することを判断するためのＲＴフラグとして、４つの種類を場合に応じて記憶することを説明した。これにＲＴ５フラグを加えて、収納部５０の寸法が電子部品Ｄに対して大きく、収納部５０内での電子部品Ｄの位置が安定しない場合であって、部品認識カメラ１０の撮像による電子部品Ｄの吸着ノズル５に対する位置ずれが大きいときに、制御装置２５が前記ＲＴ５フラグをＯＮ又はＯＦＦするようにしてもよい。

　また、本実施形態では図９のフローチャートに示すように、撮像した収納部５０の位置と部品取出し位置との比較をしている。収納部５０を撮像している場合には、その中の電子部品Ｄも撮像していることから、この電子部品Ｄの画像の位置と部品取出し位置との位置ずれを算出して、図９と同様な制御を行ってもよい。

　同一装着ヘッド６内のすべての吸着ノズル５が保持している電子部品Ｄが正常な電子部品Ｄと判断され、安定して吸着された電子部品Ｄは、装着ヘッド６の水平方向への移動により部品認識カメラ１０の上に移動される。認識カメラ１０により装着ヘッド６の複数の吸着ノズル５に保持されているすべての電子部品Ｄが、一括して撮像され装着ヘッド６に対する水平方向の位置認識がされる。正規の位置に対する位置ずれが存在する場合は、その位置ずれが補正された上で、プリント基板Ｐの装着すべき位置に吸着ノズル５に吸着された電子部品Ｄが順次装着される。

　このとき、取出し回転位置にある吸着ノズル５に吸着された電子部品Ｄについては、装着の時点で撮像カメラ２０がＬＥＤ３０の点灯において当該装着された電子部品Ｄを撮像し、プリント基板Ｐのパターン位置等との位置関係から正確な位置に装着されたかを、制御装置２５が確認することができる。または、装着直前と直後の吸着ノズル５下方の部品取出し位置の撮像により、電子部品Ｄが確実に装着され、吸着ノズル５が電子部品Ｄを装着せずに保持したまま上昇していることがないか等を、制御装置２５が判断することができる。

　また、装着ヘッド６の取出し回転位置にある吸着ノズル５に吸着された電子部品Ｄをプリント基板Ｐに装着する際、前記装着データに示された装着すべきＸＹ方向位置に吸着ノズル５を位置させるよう装着ヘッド６を移動させた後に停止させ、その位置に印刷されたクリーム半田を撮像カメラ２０が撮像し、認識制御回路２８で位置の認識をするようにしてもよい。図１２に示されるような撮像画面の認識結果、クリーム半田の印刷パターン６０の位置（重心位置等）が装着データの装着位置と異なっている場合には、その分装着ヘッド６をＸＹ方向に補正移動させて吸着ノズル５を下降させてクリーム半田の位置に電子部品Ｄを装着するようにできる。このとき、ＸＹ方向への装着ヘッド６の補正移動と、吸着ノズル５の下降とは、並行して行えばよい。または、装着ヘッド６の補正移動をしてから、吸着ノズル５の下降をしてもよい。また、次の電子部品Ｄの装着位置への移動時に、装着ヘッド６を補正移動させるようにしてもよい。さらには、撮像した装着位置での補正移動はせずに、次の装着位置への移動時に認識した位置ずれ分だけ、装着ヘッド６を補正移動させることもできる。

　また、装着ヘッド６の各吸着ノズル５の部品装着は、必ず取出し回転位置に回転して位置決めされてから、上記のように撮像カメラ２０で撮像し、印刷パターン６０の位置への装着ヘッド６の位置補正動作を実行してから部品装着がされるようにするのがよい。このとき、装着ヘッド６の各吸着ノズル５が電子部品Ｄを装着する順番は、回転体６Ｂを順次同一方向に吸着ノズル５の取付間隔分だけ回転させ、隣り合う吸着ノズル５が順番に取出し回転位置に位置決めされ、それぞれ部品装着をするようにすれば効率的である。このようにして、部品装着の生産性を維持して、部品装着時の装着精度を上げることができる。

　また、装着時にクリーム半田の印刷位置を認識するのみでなく、図１２に示されるプリント基板Ｐに形成されている電子部品Ｄの電極が接続されるべき配線パターン６２自体の位置を認識処理して、同様に位置ずれがあった場合には補正して装着されるようにしてもよい。図１２に示す印刷パターン６０と配線パターン６２とは、同じ装着位置に装着される矩形の抵抗やコンデンサ等の２つの電極がある電子部品Ｄの電極に合わせた位置に、一対で形成されている。クリーム半田の位置ずれをベースに補正を行うか、配線パターンの位置ずれをベースに補正を行うかは、設定で変えられるようにするか、或いは部品の種類毎に設定できるようにしてもよい。これは、クリーム半田上に電子部品Ｄを載せて所謂セルフアライメントの効果で電子部品Ｄの電極を配線パターンに接続する場合と、セルフアライメント効果が少なく配線パターンに位置合わせしたほうが確実に配線パターンと接続できる場合とがあるからである。

　尚、装着ヘッド６自体が昇降せずに吸着ノズル５のみが昇降するので、撮像カメラ２０は常に部品取出し位置を撮像することができる。しかし、装着ヘッド６が昇降する場合には、装着ヘッド６の所定の高さ位置にて部品取出し位置を撮像するように、ＬＥＤ３０の点灯及び撮像素子２２の露光タイミングを制御すればよい。

　以上のように本発明の実施態様について説明したが、上述の説明に基づいて当業者にとって種々の代替例、修正又は変形が可能であり、本発明はその趣旨を逸脱しない範囲で前述の種々の代替例、修正又は変形を包含するものである。

　以上説明した本発明によれば、部品装着の生産性をなるべく落とすことなく、電子部品の取出しを確実に行うことができる電子部品装着装置を提供することができる。

Claims

　部品供給ユニット（８）が供給する電子部品を基板に装着する電子部品装着装置（１）であって、
　前記部品供給ユニットが供給する電子部品を取出して基板に装着する保持具（５）を備え、水平方向に移動する装着ヘッド（６）と、
　前記装着ヘッドに設けられ、前記部品供給ユニットの供給する部品を取出す部品取出し位置に前記保持具が位置しているときに、前記部品取出し位置を撮像する撮像カメラ（２０）と、
　前記撮像カメラの撮像した画像に基づいて、前記部品取出し位置と、前記部品供給ユニットにおいて部品が収納された収納部の位置または当該部品の前記収納部における位置との位置ずれを認識する認識部（２８）と、
　同一の部品供給ユニットの次の部品の取出し前の前記撮像カメラによる撮像によって前記認識部に認識された位置ずれ分だけ、前記部品取出し位置を補正して前記装着ヘッドを移動させるよう制御する制御部（２５）と、
を備える電子部品装着装置。
　前記制御部（２５）は、前記認識部（２８）が前記認識の処理に係る部品の取出し時に認識した位置ずれ分だけ補正した位置に、前記装着ヘッド（６）を移動させる制御を行うことを特徴とする請求項１に記載の電子部品装着装置。
　前記保持具（５）は、前記装着ヘッド（６）に対して上下動可能に組み付けられており、
　前記制御部（２５）は、
　　前記保持具（５）が部品取出しのために前記装着ヘッド（６）に対して下降する前に、前記撮像カメラ（２０）に前記部品取出し位置の撮像をさせ、
　　前記認識部（２８）が前記位置ずれ認識する処理を行った後に、前記保持具（５）が下降するよう制御することを特徴とする請求項１または２に記載の電子部品装着装置。
　前記制御部（２５）は、前記認識（２８）に認識された前記位置ずれの補正を前記認識の処理に係る部品の取出し時にしない場合には、前記保持具（５）が前記部品取出し位置で下降を開始している時に、前記撮像カメラ（２０）に前記部品取出し位置の撮像をさせることを特徴とする請求項３に記載の電子部品装着装置。
　所定の条件が成立した場合に、前記認識部（２８）の前記認識の対象とされた部品の取出し時に、前記認識された位置ずれ分だけ補正するよう制御することを判断する判断部（４０）をさらに備えることを特徴とする請求項２乃至４のいずれか１項に記載の電子部品装着装置。
　前記保持具は、電子部品を真空吸着する吸着ノズル（５）であることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載の電子部品装着装置。
　前記撮像カメラの撮像時に部品取出し位置を照明する照明ユニット（３０）をさらに備えることを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載の電子部品装着装置。