JPH0645791A

JPH0645791A - 部品搭載装置

Info

Publication number: JPH0645791A
Application number: JP4007970A
Authority: JP
Inventors: Shoichi Tsuchiya; 昭一土屋; Touma Yamaguchi; 東馬山口
Original assignee: Tokico Ltd
Current assignee: Tokico Ltd
Priority date: 1992-01-20
Filing date: 1992-01-20
Publication date: 1994-02-18

Abstract

(57)【要約】【構成】記憶装置内の部品取出位置データを読み出し
てノズルヘッドを部品取出位置に移動させ部品をノズル
ヘッドに保持させるコントローラが、その保持状態を検
出するセンサからの検出値に基づいて記憶装置内の部品
取出位置データを補正する。【効果】部品取出位置データの補正により吸着位置ず
れ量が減少し精度よく部品を基板上に搭載することがで
き、部品の排出処理およびリトライ回数を無駄に増加さ
せることがなく、しかも、自動で短時間にこの位置ずれ
を補正することができることになるため、部品搭載率を
向上させることができ、搭載タクト時間および供給装置
交換時のセット時間を短くすることができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、例えば、電子回路基板
の製造工程において半導体チップ等の電子部品の基板へ
の取付工程等に適用される部品搭載装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】電子回路基板の製造工程において半導体
チップ等の電子部品の基板への取付工程等に適用される
部品搭載装置は、部品を供給する供給装置と、この供給
装置により供給される部品を着脱自在に保持するノズル
ヘッドと、このノズルヘッドによる部品の保持状態を検
出するセンサと、ノズルヘッドを移動させる移動手段
と、部品取出位置を記憶する記憶装置を有しこの記憶装
置内の部品取出位置データを読み出してノズルヘッドを
部品取出位置に移動させ部品をこのノズルヘッドに保持
させるコントローラとを有するものが一般に採用されて
いる。

【０００３】この部品搭載装置の上記センサとしては、
ノズルヘッドによる部品の保持状態を視覚により検出す
るＩＴＶカメラ等の視覚認識装置、あるいはノズルヘッ
ドによる部品の保持が真空圧を利用して行なわれる場合
その保持状態をノズルヘッド内の真空状態により検出す
る真空圧センサ等が採用されている。上記視覚認識装置
は、検出したノズルヘッドによる部品の保持状態の信号
をコントローラに出力し、このデータから、コントロー
ラは基板への部品の搭載位置を補正するようになってい
る。また、真空センサは、ノズルヘッドが部品を適正に
保持していない場合に保持部品を排出して再度保持を行
なわせるための信号をコントローラに出力するものであ
る。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ここで、部品搭載装置
においては、例えば搭載するべき部品が供給装置になく
なるとこの供給装置を交換等して供給部品を補充するこ
とになるが、この供給装置の交換時等における該供給装
置の位置ずれ、すなわち供給部品の位置ずれを補正する
機能を上記部品搭載装置は有しておらず、上記のように
供給装置自体が位置ずれを生じているとノズルヘッドに
対して供給部品のほとんどの位置がずれることになり、
これにより保持部品の排出処理および再度保持作動（リ
トライ）を無駄に繰り返すことになり、保持ずれ部品の
排出により部品搭載率が低下し、リトライにより部品搭
載タクト時間が長くなるという問題があった。また、ノ
ズルヘッドの部品保持位置をマニュアルで補正しようと
した場合、適正な保持位置がわからず精度が出しにくい
ため、この作業に多くの時間を必要とするという問題が
あった。

【０００５】したがって、本発明の目的は、供給装置の
交換時等において供給部品に位置ずれを生じることがあ
っても、自動でしかも短時間にこの位置ずれを検出して
データを補正することができ、部品の排出処理およびリ
トライ回数を無駄に増加させることがなく、部品搭載率
を向上させることができしかも搭載タクト時間および供
給装置交換時のセット時間を短くすることができる部品
搭載装置を提供することである。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の部品搭載装置は、部品を供給する供給装置
と、該供給装置により供給される部品を着脱自在に保持
するノズルヘッドと、該ノズルヘッドによる部品の保持
状態を検出するセンサと、前記ノズルヘッドを移動させ
る移動手段と、部品取出位置を記憶する記憶装置と、該
記憶装置内の部品取出位置データを読み出して前記ノズ
ルヘッドを部品取出位置に移動させ部品を該ノズルヘッ
ドに保持させるコントローラとを有するものであって、
前記コントローラは、前記センサからの検出値に基づい
て前記記憶装置内の部品取出位置データを補正すること
を特徴としている。

【０００７】

【作用】本発明の部品搭載装置によれば、コントローラ
が、ノズルヘッドによる部品の保持状態を検出するセン
サからの検出値により、記憶装置内に記憶された部品取
出位置データを補正することになる。したがって、例え
ば供給装置の交換時等において供給部品に位置ずれを生
じることがあっても、自動で短時間にこの位置ずれを検
出して部品取出位置データを補正することができ、部品
の排出処理およびリトライ回数を無駄に増加させること
がない。

【０００８】

【実施例】本発明の第１実施例による部品搭載装置の構
成について図面を参照して以下に説明する。

【０００９】図３は第１実施例（下記第２実施例も同
様）の部品搭載装置を示す斜視図であり、同図中符号１
はその基台、符号２は部品Ｐ（図４および図５参照、以
下同）を真空圧を利用して着脱自在に吸着保持し鉛直軸
（図３に示すＺ軸）回りに回転させるとともに上下方向
（図３に示すＺ方向）に移動させるノズルヘッド、符号
３はノズルヘッド２を前後・左右方向（図３に示すＸＹ
方向）に移動させるＸＹロボット（移動手段）、符号４
はノズルヘッド２・ＸＹロボット３等各部の作動等を制
御するコントローラ、符号５は半導体チップ等の部品Ｐ
を供給するテープフィーダ（供給装置）、符号６はＩＣ
等の部品Ｐを供給するトレイフィーダ（供給装置）をそ
れぞれ示している。また、符号７は部品Ｐが搭載される
基板を搬送するコンベア、符号８はノズルヘッド２内の
真空圧により部品Ｐの吸着保持状態を検出するための真
空圧センサ（センサ）、符号９は視覚認識によりノズル
ヘッド２による部品Ｐの吸着保持状態を検出するための
カメラ（センサ）をそれぞれ示している。

【００１０】上記ＸＹロボット３は、コントローラ４の
指令によるモータの駆動により作動するもので、このモ
ータの回転角度を検出することにより、該ＸＹロボット
３に設けられたノズルヘッド２の位置は検出されるよう
になっている。

【００１１】また、上記真空圧センサ８は図示せぬ真空
源に接続しているノズルヘッド２内の真空圧を検出する
ものである。そして、この真空圧センサ８による真空圧
のデータを受けて、通常、コントローラ４では測定した
真空圧が所定値を越えていれば部品Ｐの吸着が図４に示
すように正常に行なわれていると判定して次の動作に進
み、測定した真空圧が所定値を越えていなければ部品Ｐ
の吸着が図５に示すように異常であると判定して、ＸＹ
ロボット３を移動させて部品Ｐを所定の部品排出位置に
排出し、その後、再度部品Ｐの吸着保持動作を行なわせ
ることになる。

【００１２】上記カメラ９はノズルヘッド２による部品
Ｐの吸着保持状態を視覚認識により検出するものであ
り、ノズルヘッド２により吸着保持された部品Ｐが該カ
メラ９上に移動し静止すると、その画像データをコント
ローラ４に送り、コントローラ４では、この画像データ
を処理して、ノズルヘッド２の吸着保持中心に対する部
品Ｐの吸着位置ずれ量を割り出すようになっている。

【００１３】また、部品搭載装置は、テープフィーダ５
上の供給部品Ｐの部品吸着位置データ（部品取出位置デ
ータ）を部品Ｐの種類等毎に記憶する図示せぬ記憶装置
を有しており、コントローラ４は、通常はこの部品吸着
位置データを読み出してこのデータに応じてＸＹロボッ
ト３を適宜作動させノズルヘッド２を所定の部品吸着位
置（部品取出位置）へ移動させるようになっている。な
お、この部品吸着位置データは、始めはティーチング等
により作成され記憶されるものである。また、吸着保持
した部品Ｐの基板上への部品搭載位置データも記憶装置
に記憶されており、通常はこの部品搭載位置データを読
み出してこのデータに応じてＸＹロボット３を適宜作動
させノズルヘッド２を基板上の所定の部品搭載位置へ移
動させるようになっている。なお、第１実施例の部品搭
載装置においては、上記カメラ９からの画像データによ
りノズルヘッド２の吸着保持中心に対する部品Ｐの吸着
位置ずれ量を割り出し、この吸着位置ずれ量に応じて、
上記記憶装置に記憶させた部品搭載位置データを適宜補
正するようになっている。

【００１４】次に、第１実施例の部品搭載装置のコント
ローラ４による部品吸着位置ずれ等の補正制御について
図１のフローチャートを参照してステップごとに以下に
説明する。ここで、部品吸着位置ずれ等の補正制御は、
例えば、供給部品Ｐが不足して供給装置（テープフィー
ダ５あるいはトレイフィーダ６等）を交換した場合、あ
るいは搭載作業中にノズルヘッド２による部品Ｐの吸着
不良（真空圧センサ８により検出した圧力が所定値以上
にならない場合）が生じた場合等種々の条件のときに行
なうことができるが、この第１実施例は、１つの基板に
部品Ｐを搭載する際にテープフィーダ５を交換した場合
の制御を例にとり説明する。なお、この第１実施例は上
記カメラ９を用いて部品吸着位置ずれ等の補正制御を行
なうものであり、また、以下の説明におけるＸ，Ｙは、
図３に示すＸ，Ｙ方向の座標値をそれぞれ示すものであ
る。

【００１５】〔ステップＡ１〕基板が所定の場所にセッ
トされ、この基板上への部品Ｐの搭載を開始するに当っ
て、搭載する部品番号を表すｉをｉ＝１にセットする。

【００１６】〔ステップＡ２〕ｉ番目の部品のテープフ
ィーダ５上の残り部品数をチェックし、残り部品数が０
である場合には後述の〔ステップＡ９〕に進み、それ以
外の場合は次の〔ステップＡ３〕に進む。なお、交換時
の新たなテープフィーダ５は常に一定数の部品Ｐを有し
ているため、ノズルヘッド２により移載された部品Ｐの
数をカウントすることによりテープフィーダ５上の残り
部品数のチェックは行なわれることになるが、他にテー
プフィーダ５上の部品Ｐを直接センサ等で検出して残り
の部品Ｐがないことをチェックする方法もあり、また、
コントローラ４にこれらの情報を出力するとともに、部
品数がないことを対応する部品の種類を表示しながらア
ラーム表示およびアラーム音の発生等で作業者に知ら
せ、作業者にテープフィーダ５の交換を行なわせること
になる。

【００１７】〔ステップＡ３〕すでに記憶装置に記憶さ
れている、テープフィーダ５上のｉ番目の部品Ｐに対応
するノズルヘッド２の吸着保持中心の座標値を示す部品
吸着位置データＸｔ（ｉ），Ｙｔ（ｉ）を読み出す。

【００１８】〔ステップＡ４〕上記〔ステップＡ３〕で
読み出した部品吸着位置データＸｔ（ｉ），Ｙｔ（ｉ）
にしたがってノズルヘッド２をＸＹロボット３でテープ
フィーダ５上の所定の部品吸着位置に移動させ、該ノズ
ルヘッド２により部品Ｐを吸着させる。

【００１９】〔ステップＡ５〕すでに記憶装置に記憶さ
れている、ｉ番目の部品Ｐの基板上の搭載位置に対する
ノズルヘッド２の吸着保持中心の座標値を示す部品搭載
位置データＸｍ（ｉ）、Ｙｍ（ｉ）を読み出す。

【００２０】〔ステップＡ６〕上記〔ステップＡ５〕で
読み出した部品搭載位置データＸｍ（ｉ）、Ｙｍ（ｉ）
にしたがってノズルヘッド２をＸＹロボット３で基板上
の所定の部品搭載位置に移動させ、該ノズルヘッド２に
より部品Ｐを基板上の所定位置に搭載させる。

【００２１】〔ステップＡ７〕ｉ番目の部品搭載の完了
にともなって、次の部品Ｐを搭載するためにｉ＝ｉ＋１
と設定する。

【００２２】〔ステップＡ８〕この〔ステップＡ８〕に
移行した際の部品数が基板上に搭載すべき部品数Ｎに達
したか否か、すなわち上記〔ステップＡ７〕において設
定されたｉがｉ＞Ｎか否かを判断する。そしてｉ＞Ｎと
なった場合にはこの基板上に搭載するべき部品Ｐがすべ
て搭載されたことになるため終了し、そうでない場合に
は上述した〔ステップＡ２〕に再度進むことになる。な
お、この時点で記憶装置に記憶されている部品吸着位置
データＸｔ（ｉ），Ｙｔ（ｉ）および部品搭載位置デー
タＸｍ（ｉ）、Ｙｍ（ｉ）を、次の基板の部品吸着搭載
開始時のデータとして使用することになる。

【００２３】〔ステップＡ９〕上述した〔ステップＡ
２〕において、テープフィーダ５上の残り部品数が０で
ある場合には、この〔ステップＡ９〕において新たなテ
ープフィーダ５のセットがなされたことを確認する。こ
れは、例えばテープフィーダ５がセットされたことを検
出するセンサ等を設け、このセンサからの信号を受ける
ことにより行なわれるか、新たなテープフィーダ５をセ
ットした時点で作業者が確認ボタンを押すことによりこ
の確認ボタンからの信号を受けて行なわれるか、あるい
はテープフィーダ５上の部品Ｐを直接センサ等により検
出してこのセンサからの信号を受けること等により行な
われることになる。そして、新たなテープフィーダ５の
セットが確認されると次の〔ステップＡ１０〕に進む。

【００２４】〔ステップＡ１０〕すでに記憶装置に記憶
されている、テープフィーダ５上のｉ番目の部品Ｐに対
応するノズルヘッドの吸着保持中心の座標値を示す部品
吸着位置データＸｔ（ｉ），Ｙｔ（ｉ）を読み出す。

【００２５】〔ステップＡ１１〕上記〔ステップＡ１
０〕で読み出した部品吸着位置データＸｔ（ｉ），Ｙｔ
（ｉ）にしたがってノズルヘッド２をＸＹロボット３で
テープフィーダ５上の所定の部品吸着位置に移動させ、
そして、該ノズルヘッド２により部品Ｐを吸着させる。

【００２６】〔ステップＡ１２〕部品Ｐを吸着した状態
のノズルヘッド２をＸＹロボット３によりカメラ９の所
定位置上に移動させ静止させる。

【００２７】〔ステップＡ１３〕カメラ９から、ノズル
ヘッド２に吸着された状態の部品Ｐの画像データを取り
込み、この画像データを適宜変換処理して、ノズルヘッ
ド２の吸着保持中心に対する部品Ｐの例えば中心の位置
ずれ量である吸着位置ずれ量ΔＸ，ΔＹを割り出す。

【００２８】〔ステップＡ１４〕上記〔ステップＡ１
０〕で読み出した部品吸着位置データＸｔ（ｉ），Ｙｔ
（ｉ）を次式にしたがって変更して記憶装置に記憶させ
る。Ｘｔ（ｉ）＝Ｘｔ（ｉ）−ΔＸＹｔ（ｉ）＝Ｙｔ（ｉ）−ΔＹすなわち、上記〔ステップＡ１３〕で割り出された吸着
位置ずれ量ΔＸ，ΔＹ分だけ部品吸着位置データＸｔ
（ｉ），Ｙｔ（ｉ）を補正して記憶させるのである。

【００２９】〔ステップＡ１５〕すでに記憶装置に記憶
されている、ｉ番目の部品Ｐの基板上の搭載位置に対す
るノズルヘッド２の吸着保持中心の座標値を示す部品搭
載位置データＸｍ（ｉ）、Ｙｍ（ｉ）を読み出す。

【００３０】〔ステップＡ１６〕上記〔ステップＡ１
５〕で読み出した部品搭載位置データＸｍ（ｉ），Ｙｍ
（ｉ）を次式にしたがって変更する。Ｘｍ＝Ｘｍ（ｉ）＋ΔＸＹｍ＝Ｙｍ（ｉ）＋ΔＹすなわち、上記〔ステップＡ１３〕で割り出された吸着
位置ずれ量ΔＸ，ΔＹ分だけ部品搭載位置データＸｍ
（ｉ），Ｙｍ（ｉ）を補正するのである。なお、上記式
にしたがって変更された部品搭載位置データＸｍ
（ｉ），Ｙｍ（ｉ）は、記憶装置には記憶されることは
なく、次の〔ステップＡ１７〕においてのみ使用され
る。

【００３１】〔ステップＡ１７〕上記〔ステップＡ１
６〕で変更した部品搭載位置データＸｍ（ｉ）、Ｙｍ
（ｉ）にしたがってノズルヘッド２をＸＹロボット３で
基板上の所定の部品搭載位置に移動させ、該ノズルヘッ
ド２により部品Ｐを基板上の所定位置に搭載させる。こ
れにより、吸着位置がずれた状態の部品Ｐを、その位置
ずれ量を補正した状態で基板上に搭載することができ
る。

【００３２】以上に説明したフローチャートから明らか
なように、この第１実施例の部品搭載装置によれば、テ
ープフィーダ５に部品がなくなり新たなテープフィーダ
５を部品搭載装置にセットしたときには、すでに記憶さ
れている部品吸着位置データにしたがってノズルヘッド
２が所定の部品吸着位置にＸＹロボット３により移動し
て部品Ｐを吸着保持し、この状態でカメラ９上に移動し
てその吸着保持状態を観測してノズルヘッド２の吸着保
持中心に対する部品Ｐの吸着位置ずれ量をコントローラ
４において割り出し、この吸着位置ずれ量分だけ部品吸
着位置データを補正して記憶する。よって、同一の次の
部品Ｐの搭載を行なう場合には、この補正された部品吸
着位置データにしたがって吸着保持を行なうことになる
ため、吸着位置ずれ量が減少しており、カメラ９で再度
観測し部品搭載位置データを補正することなく精度よく
部品Ｐを基板上に搭載することができるので、部品Ｐの
排出処理およびリトライ回数を無駄に増加させることが
ない。しかも、自動で短時間に位置ずれに応じて部品吸
着位置データを補正することができることになる。した
がって、部品搭載率を向上させることができ、搭載タク
ト時間およびテープフィーダ５交換時のセット時間を短
縮することができる。ここで、補正前の部品吸着位置デ
ータにしたがって吸着保持されたテープフィーダ５の交
換時の最初の部品Ｐについては、搭載位置データを補正
して基板上の所定位置に搭載することになる。

【００３３】なお、以上の第１実施例は、テープフィー
ダ５に部品Ｐがなくなり新たなテープフィーダ５を部品
搭載装置にセットした場合を例にとり説明したが、トレ
イフィーダ６等他の供給装置交換時においても同様であ
り、勿論、搭載作業中にノズルヘッド２による部品Ｐの
吸着不良が生じた場合（後述する）等種々の条件のとき
に適用可能である。

【００３４】次に、第２実施例の部品搭載装置について
説明するが、第２実施例の部品搭載装置は、上記第１実
施例の部品搭載装置に対してコントローラ４による部品
吸着位置ずれの補正制御内容が異なるものであり、部品
搭載装置全体の構成は同様であるため、コントローラ４
による上記補正制御についてのみ図２のフローチャート
を参照してステップごとに以下に説明する。ここで、上
記第１実施例と同様に、部品吸着位置ずれの補正制御
は、例えば、テープフィーダ５およびトレイフィーダ６
等の供給装置を交換した場合、あるいは搭載作業中にノ
ズルヘッド２による部品の吸着不良（真空圧センサによ
り検出した圧力が所定値以上にならない場合）が生じた
場合等種々の条件のときに行なうことができるが、この
第２実施例においては、上記補正制御の開始条件を限定
せずに説明する。なお、この第２実施例は、上記真空圧
センサ８を用いて部品吸着位置ずれの補正制御を行なう
ものである。

【００３５】〔ステップＢ１〕テープフィーダ５および
トレイフィーダ６等の供給装置を交換した場合、あるい
は搭載作業中にノズルヘッド２による部品の吸着不良が
生じた場合等、ノズルヘッド２による吸着位置ずれの補
正制御を行なうにあたって、すでに記憶装置に記憶され
ている、補正制御を行なう対称となる部品Ｐに対するノ
ズルヘッド２の吸着保持中心の座標値を示す部品吸着位
置データＸｔ，Ｙｔを読み込み、Ｘｔ＝Ｘ、Ｙｔ＝Ｙと
する。

【００３６】〔ステップＢ２〕上記〔ステップＢ１〕で
読み出した部品吸着位置データＸ，Ｙにしたがってノズ
ルヘッド２をＸＹロボット３で供給装置５，６の所定の
部品吸着位置に移動させ、該ノズルヘッド２により部品
Ｐを吸着させる。

【００３７】〔ステップＢ３〕真空圧センサ８によりノ
ズルヘッド２内の真空圧を測定させる。

【００３８】〔ステップＢ４〕ノズルヘッド２を移動さ
せ、吸着保持した部品Ｐを所定の排出位置に排出させ
る。

【００３９】〔ステップＢ５〕部品吸着位置データＸに
所定の数値ΔＸを加算しこれを新たな部品吸着位置デー
タＸ（Ｘ＝Ｘ＋ΔＸ）として、ノズルヘッド２を部品吸
着位置データＸ，ＹにしたがってＸＹロボット３で供給
装置５，６上の所定の部品吸着位置に移動させ、部品Ｐ
を吸着させる。

【００４０】〔ステップＢ６〕上記〔ステップＢ５〕に
より部品Ｐを吸着保持したノズルヘッド２内の真空圧を
真空圧センサ８により検出させ、この真空圧データを前
回検出の真空圧データと比較する。そして、今回検出の
真空圧が前回検出の真空圧より小（すなわち真空度が減
少）であれば、次の〔ステップＢ７〕に進み、また今回
検出の真空圧が前回検出の真空圧より大（すなわち真空
度が増加）であれば、後述の〔ステップＢ１０〕に進む
ことになり、さらに今回検出の真空圧と前回検出の真空
圧とが同じであれば、上述した〔ステップＢ４〕に進ん
で真空度が減少あるいは増加するまで〔ステップＢ４〕
〜〔ステップＢ６〕間をループする。

【００４１】〔ステップＢ７〕この〔ステップＢ７〕に
移行したときの部品吸着位置データＸをＸａとして記憶
装置に記憶させる。

【００４２】〔ステップＢ８〕ノズルヘッド２をＸＹロ
ボット３により移動させ、吸着保持した部品Ｐを所定の
排出位置に排出させるとともに、この〔ステップＢ８〕
に移行したときの部品吸着位置データＸから所定の数値
ΔＸを減算しこれを新たな部品吸着位置データＸ（Ｘ＝
Ｘ−ΔＸ）として、ノズルヘッド２をこの部品吸着位置
データＸ，ＹにしたがってＸＹロボット３で供給装置
５，６上の所定の部品吸着位置に移動させ、部品を吸着
させる。

【００４３】〔ステップＢ９〕上記〔ステップＢ８〕に
より部品Ｐを吸着保持したノズルヘッド２内の真空圧を
真空圧センサ８により検出させ、この真空圧データを前
回検出の真空圧データと比較する。そして、今回検出の
真空圧が前回検出の真空圧より小（すなわち真空度が減
少）であれば、後述する〔ステップＢ１３〕に進み、ま
た今回検出の真空圧と前回検出の真空圧とが同じであれ
ば、上述した〔ステップＢ８〕に進んで真空度が減少す
るまでこの〔ステップＢ８〕〜〔ステップＢ９〕をルー
プすることになる。

【００４４】ここで、上記〔ステップＢ１〕〜〔ステッ
プＢ９〕では、ノズルヘッド２を所定の方向に段階的に
移動させながら各段階における真空圧を測定し、真空度
が減少した場合に、この真空度が初めに減少する位置
（Ｘａ、部品ＰのＸ方向の一方の端部に対応）を検出し
てその位置を記憶し、ノズルヘッド２を上記と反対方向
に段階的に移動させながら各段階における真空圧を測定
して真空度が再度減少する位置（後述の〔ステップＢ１
３〕に移行する際のＸ、部品ＰのＸ方向の他方の端部に
対応）を検出するのである。

【００４５】〔ステップＢ１０〕上述した〔ステップＢ
６〕において、真空度が増加であれば、この〔ステップ
Ｂ１０〕において、上述の〔ステップＢ１〕で読み出し
た部品吸着位置データＸｔをＸａとして記憶装置に記憶
させる。

【００４６】〔ステップＢ１１〕ノズルヘッド２を移動
させ、吸着保持した部品Ｐを所定の排出位置に排出させ
るとともに、この〔ステップＢ１１〕に移行したときの
部品吸着位置データＸに所定の数値ΔＸを加算しこれを
新たな部品吸着位置データＸ（Ｘ＝Ｘ＋ΔＸ）として、
ノズルヘッド２をこの部品吸着位置データＸ，Ｙにした
がってＸＹロボット３で供給装置５，６上の所定の部品
吸着位置に移動させて、部品Ｐを吸着させる。

【００４７】〔ステップＢ１２〕上記〔ステップＢ１
１〕により部品Ｐを吸着保持したノズルヘッド２内の真
空圧を真空圧センサ８により検出させ、この真空圧を前
回検出の真空圧と比較する。そして、今回検出の真空圧
が前回検出の真空圧より小（すなわち真空度が減少）で
あれば、後述する〔ステップＢ１３〕に進み、また今回
検出の真空圧と前回検出の真空圧とが同じであれば、上
述した〔ステップＢ１１〕に進んで真空度が減少するま
でこの〔ステップＢ１１〕〜〔ステップＢ１２〕をルー
プすることになる。

【００４８】ここで、上記〔ステップＢ７〕〜〔ステッ
プＢ９〕を除く〔ステップＢ１〕〜〔ステップＢ１２〕
では、ノズルヘッド２を所定の方向に段階的移動させな
がら各段階における真空圧を測定し、真空度が増加した
場合に、記憶装置に記憶されていた初期の部品吸着位置
データＸｔの位置をＸａ（部品ＰのＸ方向の一方の端部
に対応）とし、ノズルヘッド２を上記と反対方向に段階
的に移動させながら各段階における真空圧を測定して真
空度が再度減少する位置（後述の〔ステップＢ１３〕に
移行する際のＸ、部品ＰのＸ方向の他方の端部に対応）
を検出するのである。なお、記憶装置に記憶されていた
初期の部品吸着位置データＸｔの位置をＸａとするの
は、ノズルヘッド２の部品吸着位置が部品Ｐからそれほ
ど大きく外れることはないため、Ｘｔの位置で真空圧が
小さければ（すなわちその後移動した際に真空度が増加
すれば）、この位置が部品Ｐの一方の端部に対応すると
判定しても構わないからである。

【００４９】〔ステップＢ１３〕上記〔ステップＢ９〕
から移行した場合は、該〔ステップＢ９〕から移行する
際の部品吸着位置データＸをＸｂとし、上記〔ステップ
Ｂ７〕で記憶された部品吸着位置データＸａを記憶装置
から読み出す。一方、上記〔ステップＢ１２〕から移行
した場合は、該〔ステップＢ１２〕から移行する際の部
品吸着位置データＸをＸｂとし、上記〔ステップＢ１
０〕で記憶された部品吸着位置データＸａを記憶装置か
ら読み出す。そして、演算：Ｘｔ＝（Ｘａ＋Ｘｂ）／２
を行ない、この結果のＸｔを新たな部品吸着位置データ
Ｘｔとして記憶装置に記憶させることになる。すなわ
ち、部品ＰのＸ方向の両端部の位置からこの部品ＰのＸ
方向の中心位置を演算し記憶させるのである。

【００５０】なお、第２実施例の上記説明においては、
部品ＰのＸ方向の中心位置を割り出す際の制御について
説明したが、部品ＰのＹ方向の中心位置の割り出しも上
記と同様に行なうことになる。そして、このようにして
割り出された部品ＰのＸ方向の中心位置とＹ方向の中心
位置とで決まる部品Ｐの中心に、ノズルヘッド２の吸着
保持中心を吸着保持の際移動させるのである。なお、上
記所定の数値ΔＸは、例えば部品Ｐの大きさおよびノズ
ルヘッド２の吸着面積等に応じて適宜設定するものであ
る。

【００５１】以上に説明したフローチャートから明らか
なように、この第２実施例の部品搭載装置によれば、例
えば、テープフィーダ５またはトレイフィーダ６等の供
給装置を交換した場合、あるいは搭載作業中にノズルヘ
ッド２による部品Ｐの吸着不良が生じた場合等に、対称
となる部品のすでに記憶されている部品吸着位置データ
にしたがってノズルヘッド２が所定の部品吸着位置にＸ
Ｙロボット３により移動して部品Ｐの吸着保持および排
出を行ない、その後、ノズルヘッド２の位置を段階的に
所定量ずつずらしながら吸着保持および排出を繰り返し
て真空圧センサ８により部品Ｐの各端部の位置を検出
し、この各端部の位置から部品Ｐの中心位置を演算して
この中心位置にノズルヘッド２の吸着保持中心を移動さ
せるべく部品吸着位置データを補正し記憶する。よっ
て、同一の次の部品Ｐの搭載を行なう場合には、この補
正された部品吸着位置データにしたがって吸着保持を行
なうことになるため、吸着位置ずれ量が減少しており、
精度よく部品Ｐを基板上に搭載することができ、部品Ｐ
の排出処理およびリトライ回数を無駄に増加させること
がない。しかも、自動で短時間にこの位置ずれを補正す
ることができることになる。したがって、部品搭載率を
向上させることができ、搭載タクト時間および供給装置
交換時のセット時間を短くすることができる。なお、こ
の第２実施例の部品搭載装置においてはカメラ９を装備
する必要がないというメリットもある。

【００５２】なお、ここで上述した第１実施例および第
２実施例の部品吸着位置ずれの補正制御の開始条件を同
一部品の吸着ミスが重なった時とする場合の、コントロ
ーラ４による上記補正制御の開始判断までの流れについ
て図６のフローチャートを参照して以下に説明する。

【００５３】〔ステップＣ１〕基板が所定の場所にセッ
トされ、この基板上への部品Ｐの搭載を開始するに当っ
て、搭載する部品番号を表すｉをｉ＝１にセットし、か
つ同一部品に対する吸着ミスの発生回数を示す吸着ミス
カウンタｍをｍ＝０にクリアする。

【００５４】〔ステップＣ２〕すでに記憶装置に記憶さ
れている、テープフィーダ５上のｉ番目の部品Ｐに対応
するノズルヘッド２の吸着保持中心の座標値を示す部品
吸着位置データを読み出す。

【００５５】〔ステップＣ３〕上記〔ステップＣ２〕で
読み出した部品吸着位置データにしたがってノズルヘッ
ド２をＸＹロボット３でテープフィーダ５上の所定の部
品吸着位置に移動させ、該ノズルヘッド２により部品Ｐ
を吸着させる。

【００５６】〔ステップＣ４〕第２実施例のように真空
圧により吸着状態を確認する場合には、真空圧センサ８
によりノズルヘッド２内の真空圧を測定させ、この真空
圧があらかじめ設定された所定値より大きければ吸着が
良好であると判定して次の〔ステップＣ５〕に進み、そ
うでない場合には吸着ミスが発生したものとして後述の
〔ステップＣ９〕に進む。一方、第１実施例のようにカ
メラ９により吸着状態を確認する場合には、部品Ｐを吸
着した状態のノズルヘッド２をＸＹロボット３によりカ
メラ９の所定位置上に移動させ静止させて、カメラ９か
ら、ノズルヘッド２に吸着された状態の部品Ｐの画像デ
ータを取り込み、この画像データを適宜変換処理して、
ノズルヘッド２の吸着保持中心に対する部品Ｐの例えば
中心の位置ずれ量を割り出す。そして、この位置ずれ量
が、あらかじめ設定された所定値より小さければ吸着が
良好であると判定して次の〔ステップＣ５〕に進み、そ
うでない場合には吸着ミスが発生したものとして後述の
〔ステップＣ９〕に進む。

【００５７】〔ステップＣ５〕すでに記憶装置に記憶さ
れている、ｉ番目の部品Ｐの基板上の搭載位置に対する
ノズルヘッド２の吸着保持中心の座標値を示す部品搭載
位置データを読み出す。

【００５８】〔ステップＣ６〕上記〔ステップＣ５〕で
読み出した部品搭載位置データにしたがってノズルヘッ
ド２をＸＹロボット３で基板上の所定の部品搭載位置に
移動させ、該ノズルヘッド２により部品Ｐを基板上の所
定位置に搭載させる。

【００５９】〔ステップＣ７〕ｉ番目の部品搭載の完了
にともなって、次の部品Ｐを搭載するためにｉ＝ｉ＋１
と設定する。また、吸着ミスカウンタｍをｍ＝０にクリ
アする。

【００６０】〔ステップＣ８〕この〔ステップＣ８〕に
移行した際の部品数が基板上に搭載すべき部品数Ｎに達
したか否か、すなわち上記〔ステップＣ７〕において設
定されたｉがｉ＞Ｎか否かを判断する。そしてｉ＞Ｎと
なった場合にはこの基板上に搭載するべき部品Ｐがすべ
て搭載されたことになるため終了し、そうでない場合に
は上述した〔ステップＣ２〕に再度進むことになる。

【００６１】〔ステップＣ９〕吸着ミスした部品を所定
の排出位置に排出させる。

【００６２】〔ステップＣ１０〕吸着ミスカウンタｍを
ｍ＝ｍ＋１とする。

【００６３】〔ステップＣ１１〕吸着ミスカウンタｍ
が、あらかじめ設定された最大吸着ミスカウンタ値Ｍを
超えていない場合には上述した〔ステップＣ２〕に戻
り、最大吸着ミスカウンタ値Ｍを超えた場合には次の
〔ステップＣ１２〕に進む。なお、この最大吸着ミスカ
ウンタ値は、許容できる吸着ミスの回数であり、例えば
Ｍ＝１０と設定されるものである。

【００６４】〔ステップＣ１２〕吸着ミスの回数が設定
値を超えたため自動補正を行なう。すなわち、上記第１
実施例においては、上述した〔ステップＡ１０〕に進ん
で〔ステップＡ１０〕〜〔ステップＡ１７〕を実行した
後、上記〔ステップＣ７〕に進む。また、上記第２実施
例においては、〔ステップＢ１〕〜〔ステップＢ１３〕
を実行した後、上記〔ステップＣ２〕に進む。

【００６５】

【発明の効果】以上詳述したように、本発明の部品搭載
装置によれば、コントローラが、ノズルヘッドによる部
品の保持状態を検出するセンサからの検出値により記憶
装置内に記憶された部品取出位置データを補正すること
になり、同一の次の部品の搭載を行なう場合には、この
補正された部品取出位置データにしたがって保持を行な
うことになるため、保持位置のずれ量が減少しており精
度よく部品を基板上に搭載することができ部品の排出処
理およびリトライ回数を無駄に増加させることがない。
しかも、自動で短時間に位置ずれを検出し部品取出位置
データを補正することができることになる。したがっ
て、部品搭載率を向上させることができ、搭載タクト時
間および供給装置交換時のセット時間を短くすることが
できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施例による部品搭載装置のコン
トローラによる制御内容を示すフローチャートである。

【図２】本発明の第２実施例による部品搭載装置のコン
トローラによる制御内容を示すフローチャートである。

【図３】本発明の第１実施例および第２実施例による部
品搭載装置の全体構成を示す斜視図である。

【図４】本発明の第１実施例および第２実施例による部
品搭載装置のノズルヘッドと部品を示す斜視図であっ
て、部品吸着保持が正常に行なわれている状態を示すも
のである。

【図５】本発明の第１実施例および第２実施例による部
品搭載装置のノズルヘッドと部品を示す斜視図であっ
て、部品吸着保持が正常に行なわれていない状態を示す
ものである。

【図６】本発明の第１実施例および第２実施例による部
品搭載装置の部品吸着位置ずれの補正制御の開始条件を
部品の吸着ミスが重なった時とする場合の、コントロー
ラによる上記補正制御の開始判断までの流れを示すフロ
ーチャートである。

【符号の説明】

２ノズルヘッド（ヘッド）３ＸＹロボット（移動手段）４コントローラ５テープフィーダ（供給装置）６トレイフィーダ（供給装置）８真空圧センサ（センサ）９カメラ（センサ）Ｐ部品

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】部品を供給する供給装置と、該供給装置により供給される部品を着脱自在に保持する
ノズルヘッドと、該ノズルヘッドによる部品の保持状態を検出するセンサ
と、前記ノズルヘッドを移動させる移動手段と、部品取出位置を記憶する記憶装置と、該記憶装置内の部品取出位置データを読み出して前記ノ
ズルヘッドを部品取出位置に移動させ部品を該ノズルヘ
ッドに保持させるコントローラとを有する部品搭載装置
において、前記コントローラは、前記センサからの検出値に基づい
て前記記憶装置内の部品取出位置データを補正すること
を特徴とする部品搭載装置。