WO2015137271A1 - 塗布装置および塗布方法 - Google Patents

塗布装置および塗布方法 Download PDF

Info

Publication number
WO2015137271A1
WO2015137271A1 PCT/JP2015/056800 JP2015056800W WO2015137271A1 WO 2015137271 A1 WO2015137271 A1 WO 2015137271A1 JP 2015056800 W JP2015056800 W JP 2015056800W WO 2015137271 A1 WO2015137271 A1 WO 2015137271A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
discharge
discharge ports
line
nozzle arrangement
coating
Prior art date
Application number
PCT/JP2015/056800
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
生島　和正
Original Assignee
武蔵エンジニアリング株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 武蔵エンジニアリング株式会社 filed Critical 武蔵エンジニアリング株式会社
Priority to CN201580013122.7A priority Critical patent/CN106102933B/zh
Priority to US15/122,552 priority patent/US10449565B2/en
Priority to KR1020167022678A priority patent/KR102314565B1/ko
Priority to EP15761373.8A priority patent/EP3117909A4/en
Priority to JP2016507728A priority patent/JP6538649B2/ja
Publication of WO2015137271A1 publication Critical patent/WO2015137271A1/ja

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C5/00—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work
    • B05C5/02—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work the liquid or other fluent material being discharged through an outlet orifice by pressure, e.g. from an outlet device in contact or almost in contact, with the work
    • B05C5/0291—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work the liquid or other fluent material being discharged through an outlet orifice by pressure, e.g. from an outlet device in contact or almost in contact, with the work the material being discharged on the work through discrete orifices as discrete droplets, beads or strips that coalesce on the work or are spread on the work so as to form a continuous coating
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C13/00—Means for manipulating or holding work, e.g. for separate articles
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C5/00—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work
    • B05C5/02—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work the liquid or other fluent material being discharged through an outlet orifice by pressure, e.g. from an outlet device in contact or almost in contact, with the work
    • B05C5/0208—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work the liquid or other fluent material being discharged through an outlet orifice by pressure, e.g. from an outlet device in contact or almost in contact, with the work for applying liquid or other fluent material to separate articles
    • B05C5/0212—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work the liquid or other fluent material being discharged through an outlet orifice by pressure, e.g. from an outlet device in contact or almost in contact, with the work for applying liquid or other fluent material to separate articles only at particular parts of the articles
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C5/00—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work
    • B05C5/02—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work the liquid or other fluent material being discharged through an outlet orifice by pressure, e.g. from an outlet device in contact or almost in contact, with the work
    • B05C5/0225—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work the liquid or other fluent material being discharged through an outlet orifice by pressure, e.g. from an outlet device in contact or almost in contact, with the work characterised by flow controlling means, e.g. valves, located proximate the outlet
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C5/00—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work
    • B05C5/02—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work the liquid or other fluent material being discharged through an outlet orifice by pressure, e.g. from an outlet device in contact or almost in contact, with the work
    • B05C5/0225—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work the liquid or other fluent material being discharged through an outlet orifice by pressure, e.g. from an outlet device in contact or almost in contact, with the work characterised by flow controlling means, e.g. valves, located proximate the outlet
    • B05C5/0237—Fluid actuated valves
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05D—PROCESSES FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05D1/00—Processes for applying liquids or other fluent materials
    • B05D1/26—Processes for applying liquids or other fluent materials performed by applying the liquid or other fluent material from an outlet device in contact with, or almost in contact with, the surface

Definitions

  • the present invention relates to a coating apparatus and a coating method having a plurality of discharge ports arranged along a straight line.
  • a discharge device that discharges a liquid material by a reciprocating plunger is known as a device that distributes a liquid material in a manufacturing process of electronic components and the like. This discharge device is used for, for example, a desired application to a work while being relatively moved in the horizontal direction with respect to the work table.
  • a side surface of a plunger rod is disposed in a non-contact manner in a flow path having a valve seat near an outlet connected to the nozzle.
  • a liquid material is ejected from a nozzle in a droplet state by moving the tip of the jar rod toward the valve seat and coming into contact with the valve seat (Patent Document 1).
  • an ejection nozzle having a plurality of nozzle outlets communicating with the fluid channel outlet, and a valve member movably provided in the fluid channel so as to be selectively contactable with the valve seat.
  • a jetting dispenser that imparts sufficient momentum to the liquid material in the fluid channel outlet to quickly eject a plurality of droplets simultaneously from the plurality of nozzle outlets at the time of contact.
  • Patent Document 4 discloses a nozzle having a plurality of discharge ports, but mainly focuses on the formation of a flux layer, and does not mention any procedure for performing drawing coating. Moreover, it can be said that Patent Document 4 does not provide a technique that contributes to speeding up the drawing application even in the point that the operation speed of the dispenser is slowed to achieve high quality (see paragraph [0007] of the same document).
  • An object of the present invention is to provide a coating apparatus and a coating method capable of increasing the speed of drawing coating.
  • the present invention relating to a coating method is a method of linearly applying a drawing line on a coating object using a coating apparatus, wherein the coating apparatus includes a discharge device, a work table on which the coating target is placed, and a discharge device. And a control device for controlling the operation of the discharge device and the drive device, the discharge device having a plurality of discharge ports for discharging a liquid material, and the plurality A liquid chamber that communicates with the discharge port of the liquid chamber via a plurality of discharge flow paths, and a discharge member that contacts the liquid material in the liquid chamber.
  • the discharge member applies an inertial force to the liquid material in the liquid chamber.
  • the liquid material that has landed along the nozzle arrangement line is applied from the plurality of discharge ports before the plurality of discharged liquid masses have landed on the object to be applied.
  • a linear application is performed by discharging a liquid material so as to be bonded on the object.
  • maintains the said discharge apparatus and the said work table at a fixed speed
  • the discharge timing is constant based on the relative movement speed of the discharge device and the work table so that at least one of the liquid masses is bonded to the liquid material on the application object discharged immediately before to form a drawing line. It is good also as performing linear application
  • this invention which concerns on the said coating method, by adjusting the driving force of the said discharge member, before the said several discharged liquid mass contacts an application
  • the liquid material may be ejected so that the liquid material that has landed is bonded onto the application target.
  • the plurality of discharge flow paths are arranged with an inclination so that each center line of the plurality of discharge flow paths intersects the center line of the nozzle, and the discharge port and the application target The distance h may be adjusted by adjusting the distance h.
  • the plurality of discharge ports include an even number of discharge ports, including two large discharge ports and two small discharge ports, both of which are the nozzle arrangement.
  • the small discharge ports and the large discharge ports are alternately arranged along the nozzle arrangement line, or the plurality of discharge ports are an even number of discharge ports, Including two large discharge ports and two small discharge port groups, both of the large discharge ports are arranged on the nozzle arrangement line, the small discharge port group and the large discharge port
  • the nozzles may be alternately arranged along the nozzle arrangement line, and the small discharge port group may include a plurality of small discharge ports arranged symmetrically with respect to the nozzle arrangement line.
  • the discharge device or the work table may include a rotation mechanism, and the rotation mechanism may cause the nozzle arrangement line to coincide with the drawing direction of the drawing line.
  • the linear coating is performed according to a coating pattern including a linear coating line extending in a first direction and a linear coating line extending in a second direction different from the first direction.
  • the nozzle is detachably fixed to the ejection device, and the ejection device is configured so that the direction of the nozzle arrangement line is constant with respect to the ejection device. It may be characterized by having a positioning mechanism capable of attaching a nozzle.
  • the present invention relating to a coating apparatus includes a discharge device, a work table on which an application target is placed, a drive device that relatively moves the discharge device and the work table, and a control unit that controls the operation of the discharge device and the drive device.
  • the discharge device comprises a nozzle having a plurality of discharge ports for discharging a liquid material, a liquid chamber communicating with the plurality of discharge ports via a plurality of discharge channels, A discharge member that comes into contact with the liquid material, and by applying an inertial force to the liquid material in the liquid chamber by the discharge member and simultaneously discharging from the plurality of discharge ports, a plurality of droplets can be formed on the application target
  • the plurality of discharge ports are arranged on the nozzles along a straight nozzle arrangement line, and the control unit matches the nozzle arrangement line with the drawing direction of the drawing line.
  • the liquid material does not come in contact before the plurality of liquid masses discharged from the discharge ports of the liquid droplets land on the object to be coated, and the liquid material landed along the nozzle arrangement line is combined on the object to be coated. It is characterized by performing linear coating by discharging In this invention which concerns on the said coating device, the said control part hold
  • the discharge timing is constant based on the relative movement speed of the discharge device and the work table so that at least one of the liquid masses is bonded to the liquid material on the application object discharged immediately before to form a drawing line. It is good also as performing linear application
  • the control unit adjusts the driving force of the discharge member so that the discharged plurality of liquid masses do not contact before landing on the application target, and the The liquid material may be ejected so that the liquid material landed along the nozzle arrangement line is combined on the application target.
  • the plurality of discharge channels may be arranged with an inclination so that the center lines of the plurality of discharge channels intersect with the center line of the nozzle. .
  • all of these discharge ports may be arrange
  • the plurality of discharge ports may all have the same shape and be arranged at an equal pitch.
  • the plurality of discharge ports include an even number of discharge ports, including two large discharge ports and two small discharge ports, both of which are the nozzle arrangements. Are arranged on a line, and the small discharge ports and the large discharge ports are alternately arranged along the nozzle arrangement line, or the plurality of discharge ports are an even number of discharge ports, Including two large discharge ports and two small discharge port groups, both of the large discharge ports are arranged on the nozzle arrangement line, the small discharge port group and the large discharge port
  • the nozzles may be alternately arranged along the nozzle arrangement line, and the small discharge port group may include a plurality of small discharge ports arranged symmetrically with respect to the nozzle arrangement line.
  • the said discharge apparatus or the said work table is provided with a rotation mechanism
  • the said control part makes the said nozzle arrangement line correspond with the drawing direction of the said drawing line by the said rotation mechanism. It is good.
  • the said drive device contains the uniaxial drive mechanism which can move the said discharge device and the said work table relatively linearly, and the said nozzle arrangement line is the same as the drive direction of the said uniaxial drive mechanism. It is good also as a feature to arrange.
  • the said nozzle is detachably fixed with respect to the said discharge device
  • the said discharge device is the said nozzle arrangement line so that the direction of the said nozzle arrangement line may become fixed with respect to the said discharge device. It may be characterized by having a positioning mechanism capable of attaching a nozzle.
  • the discharge device has a smaller diameter than the liquid chamber, and a plunger whose tip moves forward and backward in the liquid chamber, a plunger reciprocating device that moves the plunger forward and backward, and A liquid feeding device that supplies a liquid material to the liquid chamber, and the liquid material is obtained by moving the plunger forward and stop moving in a state where the side surface of the tip of the plunger and the inner wall of the liquid chamber are not in contact with each other It is good also as giving an inertial force to and discharging simultaneously from these discharge ports.
  • the present invention it is possible to increase the speed of drawing application.
  • by performing linear application with the discharge timing set at a constant interval Tc it is possible to improve the discharge amount accuracy and the discharge position accuracy.
  • the present invention having a configuration in which the discharge flow path has an inclination, it is possible to adjust the distance between the simultaneously discharged droplets by adjusting the distance between the discharge port and the application target. .
  • FIG. 1st embodiment It is a perspective view which shows the coating device of the example of 1st embodiment. It is principal part side surface sectional drawing of the discharge apparatus of 1st embodiment. It is the (a) bottom view and (b) side sectional view of the nozzle member of the first embodiment. It is a figure which shows the discharge process of 1 time in 1st embodiment, (a) shows the time before the discharged droplet landed on a coating target object, (b) applied the discharged droplet. (C) shows the time when a very short time has elapsed after landing, (d) shows the time when a very short time has elapsed from the time of (c), (e) Indicates the time when a very short time has elapsed from the time of (d).
  • (C) shows the time when the simultaneously ejected liquid mass has landed on the object to be coated. It is the (a) bottom view and (b) side surface sectional view of the nozzle member of the example of a second embodiment. It is a bottom view of the nozzle member of the third embodiment. It is an image figure which looked at a mode that four droplets discharged simultaneously in the example of a 3rd embodiment combined. It is a bottom view of the nozzle member of the fourth embodiment. It is the image figure which looked at a mode that the six droplets discharged simultaneously in the fourth embodiment example couple
  • the coating apparatus 200 includes a discharge device 1, a mount 201, a work table 202 on which a coating target 207 is placed, and the discharge device and the work table in the X direction.
  • X drive device 203 for relative movement
  • Y drive device 204 for relative movement of the discharge device and work table in the Y direction
  • Z drive device 205 for relative movement of the discharge device and work table in the Z direction
  • discharge device 1 And a control device 206 for controlling the operation of the XYZ driving devices (203, 204, 205).
  • the X direction means one direction on the plane
  • the Y direction means a direction orthogonal to the X direction on the plane
  • the Z direction means a direction orthogonal to the plane.
  • the X drive device and the Y drive device are moved in the horizontal direction
  • the Z drive device is moved in the vertical direction.
  • other movement directions may be used. It is.
  • not all of the X drive device, the Y drive device, and the Z drive device are required.
  • the coating pattern is composed of only a straight line in one direction
  • the main body of the discharge device 1 includes a main body upper portion 2 and a main body lower portion 3.
  • the main body upper part 2 has a through hole 21 and a piston chamber (22, 23) penetrating the center, and the plunger 10 is inserted into the through hole 21 and the piston chamber.
  • the plunger 10 is an elongated cylindrical bar and penetrates the piston 11.
  • the piston 11 is a disk-shaped member in which an annular seal member 12 is provided on the side peripheral surface.
  • the piston 11 hermetically divides the cylindrical piston chamber into a lower chamber 22 and an upper chamber 23, and moves up and down while sliding in the piston chamber.
  • the piston 11 is connected to the plunger 10, and the plunger 10 moves up and down as the piston 11 moves up and down.
  • advance movement the case where the plunger 10 moves upward
  • backward movement the case where the plunger 10 moves upward
  • the piston 11 is urged downward by an elastic member 13 disposed in the upper chamber 23.
  • a lower vent 24 that communicates with the electromagnetic switching valve 16 is provided on the side surface of the lower chamber 22, and an annular seal member 26 through which the plunger 10 is inserted is provided on the bottom surface of the lower chamber 22.
  • the electromagnetic switching valve 16 has a first position where the lower vent 24 communicates with the air supply source 19 and a second position where the lower vent 24 communicates with outside air. When the electromagnetic switching valve 16 is in the first position, the pressurized air supplied from the air supply source 19 is supplied to the lower vent 24 via the regulator 18, and the plunger tip surface 103 moves away from the bottom 412 of the liquid chamber. .
  • the advance movement of the plunger 10 may be stopped immediately before the plunger tip surface 103 is seated on the bottom surface 412 of the liquid chamber so that the liquid material in the liquid chamber is ejected with a driving force.
  • a driving force for example, the applicant discloses in WO2008 / 108097 and JP2013-081884A.
  • the configuration in which the plunger 10 is used as a discharge member that applies an inertial force to the liquid material in the liquid chamber is illustrated, but the discharge member is not limited to this.
  • the discharge member of the present invention includes, for example, a movable valve body, an actuator of an electrostatic type, a piezoelectric type, a diaphragm and a forced deformation means (for example, a combination of a hammer, a solenoid, etc. and a rod in a liquid chamber communicating with the discharge port. , A high-pressure fluid), a bubble generating heater, and the like.
  • the tip 101 located below the plunger 10 repeats forward and backward movement in the liquid chamber, so that the liquid material is continuously discharged. While the plunger 10 moves forward and backward, the side surface 102 at the tip of the plunger does not contact the inner wall 411 of the liquid chamber (see FIG. 3B).
  • the plunger tip surface 103 is formed in a hemispherical shape, but the shape of the plunger tip surface 103 is not limited to this.
  • the plunger tip surface 103 is a flat surface or a flat surface with projections concentric with the same number Also good.
  • the retracted position of the plunger 10 is defined by the stopper 14. The position of the stopper 14 can be adjusted by rotating the micrometer 15.
  • the lower body 3 is joined to the lower end of the upper body 2.
  • the lower part 3 of the main body has a through hole 31 penetrating the center, and the plunger 10 is inserted into the through hole 31.
  • the through hole 31 communicates with the liquid chamber 41
  • the annular seal member 32 is provided at the lower end of the through hole 31, so that the liquid material in the liquid chamber does not flow back into the through hole 31.
  • the liquid chamber 41 is a columnar space extending up and down, and communicates with a supply path 33 through which liquid material is supplied in an upper portion.
  • the supply path 33 communicates with the liquid feed path 61 of the liquid feed member 6 via the liquid feed path 42 provided in the mounting member 4.
  • the supply path 33, the liquid feed path 42, and the liquid feed path 61 are configured horizontally, but it is naturally possible to configure them with an angle.
  • the nozzle member 5 has a first discharge port 51 and a second discharge port 52 that are circular and have the same diameter and are provided on a nozzle arrangement line 20 that is a straight line.
  • the diameter D 1 of the first discharge port 51 and the second discharge port 52 is, for example, several ⁇ m to several mm, and preferably several tens ⁇ m to several hundred ⁇ m.
  • the shape of the first discharge port 51 and the second discharge port 52 is not limited to the illustrated circular shape, and for example, it is disclosed that the shape is an ellipse extending along the nozzle arrangement line 20. It is preferable that the shape or arrangement pattern of the plurality of discharge ports is configured to be symmetrical with respect to the nozzle arrangement line 20. This is also applied to the case where the lower end of the nozzle member 5 is not a flat surface but has an uneven shape.
  • a first discharge port 51 (the left end of the distance right and the second discharge port 52 of the first discharge port 51) L 1 closest distance of the second discharge port 52, any case is also set larger than the diameter D 1, for example, it is set to 2 to 10 times D 1. In other words, this is a distance at which the plurality of ejection openings are arranged on the nozzle member along a straight nozzle arrangement line, and the liquid material that has landed on the application target is combined to form an application line.
  • the nozzle arrangement line 20 is arranged so as to coincide with the drawing direction of the drawing line.
  • the work table 202 or the discharge device 1 may be provided with a rotation mechanism that rotates in the ⁇ direction (the rotation direction about the perpendicular to the work table) so that the nozzle arrangement line 20 can dynamically match the drawing direction of the drawing line.
  • the significance of matching the nozzle arrangement line 20 with the drawing direction of the drawing line is, in other words, when the nozzle arrangement line is projected on the drawing line, or the direction of the drawing line and the nozzle arrangement line is matched, or When the nozzle arrangement line 20 and the drawing line are orthogonally projected on a plane perpendicular to the discharge direction of the liquid material, the nozzle arrangement line 20 and the drawing line coincide with each other.
  • the discharge direction of the liquid material in the present embodiment example more accurately means the discharge direction of the liquid material when the relative movement between the work table and the discharge device is stopped and discharged.
  • the line perpendicular to the discharge direction of the liquid material is a line on the horizontal plane.
  • the application pattern is composed of a plurality of straight lines having bending points, it is essential to provide the work table 202 or the Z-axis drive device 205 with a rotation mechanism that rotates in the ⁇ direction.
  • the application pattern is a rectangle and one vertex of the rectangle is an application start point and an application end point, there are three folding points.
  • the rotation mechanism can be configured using, for example, a known servo motor.
  • the application pattern has a straight line portion
  • the object to be applied is arranged on the work table 202 so that the direction of the straight line portion coincides with the X direction or the Y direction, and the nozzle arrangement line 20 is the straight line portion. Arrange them in the same direction. Accordingly, it is possible to drive only one of the X driving device 203 and the Y driving device 204 during application of the linear portion, and it is possible to apply and form a coating line with higher accuracy.
  • the XYZ driving device (203, 204, 205) includes a uniaxial driving device (X driving device or Y driving device) capable of relatively linearly moving the ejection device 1 and the work table 202
  • X driving device or Y driving device a uniaxial driving device
  • the nozzle arrangement line 20 so as to coincide with the driving direction (X direction or Y direction) of the uniaxial driving device. Such an arrangement is particularly effective when the rotation mechanism is not provided.
  • the first discharge port 51 communicates with the liquid chamber 41 via a small-diameter first discharge channel 54 and a large-diameter discharge channel 57.
  • the second discharge port 52 communicates with the liquid chamber 41 via the small-diameter second discharge channel 55 and the large-diameter discharge channel 57.
  • the first discharge flow channel 54 and the second discharge flow channel 55 have the same shape, and both have a central axis in the vertical direction.
  • the first discharge channel 54 and the second discharge channel 55 may be configured to directly communicate with the liquid chamber 41 without providing the large-diameter discharge channel 57.
  • first discharge channel 54 and the second discharge channel 55 that communicate directly with the liquid chamber 41 may be configured by two independent small-diameter channels and large-diameter channels.
  • the first discharge port 51 and the second discharge port 52 provided on the lower end surface of the nozzle member 5 which is a flat surface open downward, and the lower end surface of the nozzle member 5 is horizontal (perpendicular to the discharge direction of the liquid material). The liquid material is dropped from these discharge ports in a state of being arranged in the direction of
  • the nozzle member 5 has a collar portion 58 at the upper end, and is supported by the mounting member 4 with the collar portion 58.
  • the mounting member 4 is detachably fixed to the lower body 3 while being supported by the nozzle member 5 or by a fixing tool such as a screw. Since the nozzle member 5 is detachably attached by the attachment member 4, it is easy to replace a plurality of nozzle members 5 having different discharge port diameters and closest distances depending on the application.
  • the mode for attaching and detaching the nozzle member 5 is not limited, it is preferable to provide a positioning mechanism that can be attached so that the direction and position of the nozzle arrangement line 20 are fixed with respect to the ejection device 1.
  • the positioning mechanism a known positioning mechanism can be used.
  • a part of the member on the nozzle member 5 or the lower body 3 side (for example, a pin, a convex portion, a notch) is fitted to the other member for positioning. And a configuration in which positioning is performed using a separately prepared member (for example, a pin or a screw).
  • a liquid feeding member 6 is fixed on the side surface of the mounting member 4.
  • a liquid storage container 7 is connected to the upper surface of the liquid feeding member 6.
  • the liquid storage container 7 receives supply of pressurized air from an air supply source 9 via an air dispenser 8.
  • the pressurized air supplied from the air supply source 9 may be a gas other than the atmosphere (for example, nitrogen gas).
  • the XYZ driving device (203, 204, 205) is configured with, for example, a known XYZ-axis servo motor and a ball screw, and the discharge port (51, 52) of the discharge device 1 is set at an arbitrary position on the workpiece. It is possible to move at a speed.
  • the operation of the XYZ driving device (203, 204, 205) is controlled by the control device 206.
  • the control device 206 includes a processing device, a storage device that stores a coating program, and an input device.
  • a personal computer or a programmable controller can be used.
  • the control device 206 may be wholly incorporated in the gantry 201 or may be partly installed outside the gantry 201 and connected by wire or wirelessly.
  • the control device 206 receives application control data including an application pattern, an application reference position, a relative movement speed, a discharge timing, and a plunger advance / retreat speed from the input device, and stores them in a storage device.
  • the processing device reads the application control data stored in the storage device, and executes the application operation described below.
  • the coating operation by the coating apparatus 200 performs linear coating (drawing coating) in the X direction, the Y direction, or the oblique direction (the direction that forms an angle with the X direction or the Y direction), and is performed as follows.
  • FIG. 4A shows a point in time before droplets (151, 152) are discharged from the discharge ports (51, 52) of the nozzle member 5 and land on the application target (workpiece). As shown in the figure, in the present invention, it is assumed that the discharged liquid material is in a droplet state on the workpiece.
  • the liquid material discharged from the discharge ports (51, 52) may form droplets after being separated from the discharge ports, or may be separated from the discharge ports after contacting the workpiece, Drops may be formed.
  • the liquid material before being discharged from the discharge port and divided from the discharge port and the liquid material that has been divided after being discharged from the discharge port and before landing on the workpiece are referred to as a “liquid mass”. There is a case.
  • the applicant discloses in WO2008 / 146464 a coating method in which a liquid material is separated from a discharge port after contacting a work and forms droplets on a coating target.
  • the height of the liquid material in a state connected to the discharge port (nozzle) before contact with the workpiece is compared with the height h 0 of the liquid material. It is preferred to perform the discharge operation distance h 1 in less than several times, more to set the distance h 1 between the discharge orifice and the work to less than twice the h 0 (h 0 ⁇ h 1 ⁇ h 0 ⁇ 2) preferable.
  • the conditions for this change depend on the work environment such as the type of liquid material and the configuration of the discharge device, it is necessary to find out from the work of repeating discharge while changing the conditions of each element for each work environment.
  • the main factors to be considered are the distance between the discharge ports, the size of the holes of the discharge ports, the viscosity of the liquid material, the size of the propulsion force of the discharge member (other than these) Naturally it is also possible to adjust the elements.)
  • FIG. 4B shows a time point when the simultaneously ejected liquid mass has landed on the application target.
  • the liquid materials discharged from the two discharge ports (51, 52) are in a non-contact positional relationship with each other at the time of landing.
  • the liquid material discharged from the plurality of discharge ports forms the same number of liquid droplets as the discharge ports and land on the application object without contact with each other.
  • FIG. 4C shows a point in time when a very short time has elapsed after the simultaneously ejected liquid mass has landed on the object to be coated.
  • the droplet landed in a circular shape diffuses on the object to be coated, and the two circles come into contact with each other to start the coupling.
  • FIG. 4D shows a time when a very short time has elapsed from the time of FIG.
  • the coupling between the two contacted circles further progresses, and the dent in the width direction (vertical direction in the figure) becomes shallow. That is, the combination of two droplets on the object to be coated acts to form an elongated shape extending in the direction of the nozzle arrangement line 20 unlike the combination of two droplets during flight (two droplets are Even if they are combined, they do not become circular in top view.)
  • FIG. 4E shows a point in time when a very short time has elapsed from the point in FIG.
  • 4 (a) to 4 (e) show a process of performing linear coating of a predetermined length (minimum unit) by one discharge, and by repeating this process, a coating line having a desired length is shown. Can be formed.
  • FIGS. 5A to 5E show a process of performing linear coating by a plurality of ejections.
  • Fig.5 (a) is the figure which looked at the time immediately after 1st discharge
  • FIG.5 (b) is the figure which looked at the time immediately after the 2nd launch from the side and the upper part. At this point, the two droplets related to the first firing have started to combine on the application target.
  • FIG.5 (c) is the figure which looked at the time immediately after the 3rd launch from the side and the upper part. At this point, the combination of the two droplets related to the first firing has further progressed, and the two droplets related to the second firing have started to combine on the object to be coated.
  • FIG.5 (d) is the figure which looked at the time immediately after 4th discharge
  • the two droplets associated with the first launch are fully combined, the combination of the two droplets associated with the second launch is further advanced, and the two droplets associated with the third launch are Joining has started.
  • FIG.5 (e) is the figure which looked at the time immediately after 5th discharge
  • the droplets related to the first launch and the second launch are completely combined, the combination of the two droplets related to the third launch is further advanced, and the two droplets related to the fourth launch are The bond is starting above.
  • the application line here is not only a linear application line as shown in FIG. 4 (e) having no unevenness in the width direction (longitudinal side edge) of the applied liquid material,
  • corrugation in the width direction disclosed by FIG.4 (d) is also contained.
  • unevenness may remain in the width direction of the coating line, but for example, there is unevenness in the width direction as in the case of application of an adhesive that is crushed during bonding. There are cases where the purpose can be achieved even with a coating line.
  • the application line is not a film formed uniformly on the surface of the object to be applied (work), but a line formed so as to protrude on the surface.
  • the present invention uses a nozzle having a plurality of discharge ports, while the discharge device and the work table is relatively moved at a constant velocity V c, as can be performed linear applying the timing of ejection as constant interval T c It can be said that there is a special effect.
  • the present invention it is possible to perform linear coating while causing the plunger rod to repeat a certain reciprocating motion while relatively moving the discharge device and the work table at a certain speed.
  • the interval Tc is such that at least one of the plurality of liquid masses simultaneously ejected from the plurality of ejection openings is coupled to the liquid material (landing liquid) on the application object that has been ejected immediately before the linear application. It is preferable to set the interval so as to form a pattern.
  • the connection with the liquid material discharged immediately before may be performed at the same time as landing or may be performed after a short time after landing. The former often occurs when the liquid material discharged immediately before is already diffused on the application target.
  • an interval may be set such that V c ⁇ T c is a distance between adjacent discharge ports.
  • the object to be applied is a line B formed by combining a plurality of ejected liquid masses and a line A formed by combining a plurality of liquid masses ejected immediately before.
  • the above combined state can be made the same as the combined state of a plurality of liquid masses constituting the line part A and the combined state of a plurality of liquid masses constituting the line part B, thereby forming a uniform straight line. Because it can be expected.
  • FIG. 13 is an explanatory diagram of a coating method in the case where two droplets that have landed on a coating target do not combine on the coating target.
  • a straight line indicates the position of the discharge port 51 in each discharge. Since the two droplets ejected by the first ejection (shown by solid lines and shaded areas) do not combine, the second ejection causes the two droplets ejected the first time to communicate with each other. It is necessary to discharge two droplets (illustrated by dotted lines and shaded areas).
  • two droplets (solid line) are overlapped so as to overlap with the droplets on the traveling direction side (right side) discharged the second time so that the overlapping state of the discharged droplets is the same in all places.
  • two liquid masses are ejected at the same time to perform linear coating, so compared with the case where linear coating is performed by overlapping one liquid mass.
  • the coating speed can be increased by about twice. This speeding up of the linear application is particularly advantageous when a straight line is applied. For example, when the application pattern is composed of only one or a plurality of straight lines, a remarkable speed-up effect is achieved.
  • the second embodiment is different from the first embodiment in that the nozzle members 5 of the discharge device 1 have three discharge ports arranged at equal pitches, and the other configurations are the same as the first embodiment. is there. In the following, the description of the configuration common to the first embodiment will be omitted, and the description of the different configuration will be given.
  • the nozzle member 5 has a first discharge port 51, a second discharge port 52, and a third discharge port 53 that are circular and have the same diameter provided on the nozzle arrangement line 20 that is a straight line. is doing.
  • the diameter D 1 of the first to third discharge ports (51-53) are the same as in the first embodiment.
  • a second discharge port 52 of the third discharge port 53 closest distance are the same length.
  • L 1 and L 2 are set to be larger than the diameter D 1 in any case, for example, 2 to 10 times as large as D 1 .
  • the nozzle arrangement line 20 is arranged so as to coincide with the direction of a desired drawing line (straight line).
  • the work table 202 or the discharge device 1 may be provided with a rotation mechanism, and the direction of the discharge port may be dynamically adjusted by the rotation mechanism.
  • the first to third discharge ports (51 to 53) include the first discharge channel 54, the second discharge channel 55, the third discharge channel 56, and the large-diameter discharge channel.
  • the fluid chamber 41 communicates with the liquid chamber 41 through 57.
  • the first to third discharge flow paths (54 to 56) have the same shape, and all have the central axis in the vertical direction. That is, the first to third discharge channels (54 to 56) are provided in parallel to the vertical direction.
  • the nozzle member having three discharge ports arranged at equal pitches has been disclosed, but the same effect can be obtained by using a nozzle member having four or more discharge ports having the same shape arranged at equal pitches. .
  • the third embodiment is different from the first and second embodiments in that the nozzle members 5 of the discharge device 1 have four discharge ports arranged at equal pitches, and the other configurations are the first and second. This is the same as the embodiment. In the following, description of configurations common to the first and second embodiments will be omitted, and different configurations will be described.
  • the nozzle member 5 includes a large circular first discharge port 71 and a second discharge port 72 provided on a straight nozzle arrangement line 20, a small circular third discharge port 73 and a fourth discharge port.
  • a discharge port 74 is provided.
  • the diameter D 1 of the first discharge port 71 and second discharge port 72 is, for example, several tens of [mu] m ⁇ Number mm.
  • the diameter D 2 of the third discharge port 73 and fourth discharge port 74 is 1 / 2-1 / 10 of the diameter D 1, for example, several [mu] m ⁇ several hundred [mu] m.
  • the large circular discharge ports and the small circular discharge ports are alternately arranged on the nozzle arrangement line 20 at substantially equal intervals.
  • the third discharge port 73 is disposed (the left end of the distance right and second discharge port 72 of the first discharge port 71) halfway between L 1 closest distance between the first discharge port 71 and the second discharge port 72.
  • a first discharge port 71 closest distance L 2 of the third discharge port 73 any case is set larger than the diameter D 1, for example, it is set to 2 to 10 times D 1.
  • the fourth discharge port 74 is provided symmetrically with the third discharge port 73 with respect to the second discharge port 72. That is, the second discharge port 72 closest distance L 3 of the fourth discharge port 74 is the same as L 2.
  • the nozzle arrangement line 20 is arranged so as to coincide with the direction of a desired drawing line (straight line).
  • the work table 202 or the discharge device 1 may be provided with a rotation mechanism, and the direction of the discharge port may be dynamically adjusted by the rotation mechanism.
  • FIG. 9 is an image diagram showing how four liquid masses discharged simultaneously from the first to fourth discharge ports (71 to 74) land and diffuse on the application target.
  • the four droplets (171 to 174) ejected simultaneously from the first to fourth ejection ports (71 to 74) are circular droplets that are independent from each other at the time of landing, as shown in the upper part of FIG. .
  • the four liquid droplets (171 to 174) diffuse and start to combine.
  • the two auxiliary droplets 173 to 174 act to promote the coupling of the basic droplets 171 to 172.
  • each discharge port is circular, the effect of this invention is show
  • the discharge port is composed of a plurality of holes, it is preferable that at least the largest discharge port is configured to have the same shape and the same size, and more preferably, the discharge ports of the plurality of holes are the same. It is constituted by a combination of discharge port groups having the same size and shape (see FIGS. 8 and 10).
  • the two auxiliary droplets 173 to 174 act to promote the coupling of the basic droplets 171 to 172.
  • the fourth embodiment is different from the first to third embodiments in that the nozzle member 5 of the discharge device 1 has six discharge ports, and the other configurations are the same as those of the first to third embodiments. is there. In the following, the description of the configuration common to the first to third embodiments will be omitted, and the description of the different configuration will be given.
  • the nozzle member 5 is arranged along the nozzle arrangement line with the first and second outlets 81 and 82 having the same diameter and a large circle provided on the nozzle arrangement line 20 which is a straight line.
  • a third discharge port 83, a fourth discharge port 84, a fifth discharge port 85, and a sixth discharge port 86 having the same diameter and small circle are provided.
  • the third discharge port 83 and the fourth discharge port 84 are arranged symmetrically across the nozzle arrangement line 20, and the fifth discharge port 85 and the sixth discharge port 86 are arranged symmetrically across the nozzle arrangement line 20.
  • the first to sixth discharge ports (81 to 86) are arranged symmetrically with respect to the nozzle arrangement line 20.
  • the plurality of discharge ports include a plurality of large circular discharge ports and a plurality of small circular discharge port groups, and all of the large circular discharge ports are disposed on the nozzle arrangement line 20 and are small.
  • the circular discharge port groups and the large circular discharge ports are alternately arranged, and the small circular discharge port group includes a plurality of small circular discharge ports arranged symmetrically with the nozzle arrangement line 20 in between.
  • the diameter D 1 of the first discharge port 81 and second discharge port 82 is, for example, several tens of [mu] m ⁇ Number mm.
  • the third discharge port 83, a fourth discharge port 84, the diameter D 2 of the fifth discharge port 85 and sixth ejection port 86 is 1 / 2-1 / 10 of the diameter D 1, for example, several [mu] m ⁇ several hundred ⁇ m.
  • a third discharge port 83 and a fourth discharge port 84 are arranged.
  • the closest distance L 3 of the straight line and the second discharge port 72 perpendicular to the nozzle arrangement lines 20 fifth discharge port 85 and the sixth discharge port 86 is disposed is the same as L 2.
  • the work table 202 or the discharge device 1 may be provided with a rotation mechanism, and the direction of the discharge port may be dynamically adjusted by the rotation mechanism.
  • each discharge port has a drawing line on a plane including the discharge direction of the liquid material discharged from the large discharge port.
  • the nozzle arrangement line 20 may be made to coincide with the drawing direction of the drawing line.
  • FIG. 11 is an image diagram showing how the six liquid masses discharged simultaneously from the first to sixth discharge ports (81 to 86) land and diffuse on the application target.
  • the six droplets (181 to 186) discharged simultaneously from the first to sixth discharge ports (81 to 86) are circular droplets that are independent of each other when viewed from above, as shown in the upper part of FIG. . As shown in the middle part of FIG. 11, when a very short time elapses after landing, the six droplets (181 to 186) diffuse and start to combine.
  • each discharge port is preferably circular, but is not limited to a circle.
  • the fifth embodiment is different from the first to fourth embodiments in the configuration of the nozzle member 5 of the discharge device 1, and the other configurations are the same as those in the first to fourth embodiments.
  • the description of the configuration common to the first to fourth embodiments will be omitted, and the description of the different configuration will be given.
  • the nozzle member 5 of the fifth embodiment is composed of an upper member indicated by reference numeral 5a and a lower member indicated by reference numeral 5b.
  • a collar portion 58 is provided at the upper end, and the collar portion is supported by the mounting member 4.
  • the lower member 5b is screwed into the lower end of the upper member 5a or is detachably fixed by a fixing tool such as a screw. Since the lower member 5b is detachably attached to the upper member 5a, it is easy to replace a plurality of lower members 5b having different diameters and distances of the discharge ports or different ejection angles of the discharge ports depending on the application.
  • a positioning mechanism for making the direction of the lower member 5b constant with respect to the upper member 5a.
  • a known positioning mechanism can be used as the positioning mechanism.
  • the lower member 5b or a part of the upper member 5a for example, a pin, a convex portion, a notch
  • the structure which positions using the member for example, pin and screw) prepared separately is mentioned.
  • the first discharge port 91 communicates with the liquid chamber 41 via the linear first discharge flow path 93 and the large diameter discharge flow path 95. Further, the second discharge port 92 communicates with the liquid chamber 41 via a linear second discharge channel 94 and a large-diameter discharge channel 95.
  • 12 (b) is an image diagram of the distance of the droplets when the distance between the discharge port and the work are h a a a case and h b (overlapping degree).
  • the distance between the droplets increases as the distance h between the discharge port and the workpiece decreases, and the distance between the droplets decreases as the distance h increases.
  • it is important to set the distance h so that a plurality of droplets ejected simultaneously do not contact or combine before landing.
  • the coating apparatus and the coating method of the fifth embodiment described above it is possible to adjust the distance between two landed droplets or the degree of overlap by adjusting the distance h between the discharge port and the workpiece. It is. Accordingly, it is possible to appropriately cope with a difference in droplet distance or overlapping due to a difference in atmospheric environment such as humidity or room temperature.
  • the number of discharge ports is not limited to the two illustrated, and may be three or more. When the number of discharge ports is an odd number, the discharge ports located at the center are not inclined, and the pair of discharge ports located at the same distance from the center are inclined at an equal angle with respect to the central axis of the nozzle member.
  • the ejection angle of each discharge port is set in a direction (radial) away from the central axis of the nozzle member, and droplets are formed on the workpiece. It is also possible to combine them.
  • the present invention can be applied to industrial grease, solder paste, silver paste, various adhesives (UV curable type, epoxy type, hot melt type, etc.), cream solder, as well as a solvent (about 0.8 cps). It is possible to apply liquid materials ranging from low viscosity materials to high viscosity materials (about 1,000,000 cps).
  • Discharging device 2 Main body upper part 3: Main body lower part 4: Mounting member 5: Nozzle member 6: Liquid feeding member 7: Liquid material storage container 8: Air dispenser 9: Air supply source 10: Plunger, 11: Piston, 12: Seal member, 13: Elastic member, 14: Stopper, 15: Micrometer, 16: Electromagnetic switching valve, 17: Switching valve controller, 18: Pressure reducing valve (regulator), 19 : Air supply source, 20: Nozzle arrangement line, 21: Through hole, 22: Lower chamber, 23: Upper chamber, 24: Lower vent, 25: Upper vent, 31: Through hole, 32: Seal member, 33: Supply path, 41: liquid chamber, 42: liquid feed path, 51: first discharge port, 52: second discharge port, 53: third discharge port, 61: liquid feed channel, 71: first discharge port, 72: Second discharge port 73: Third discharge port 74: Fourth discharge port 81: First discharge port 82: second discharge port, 83: third discharge port, 84: fourth discharge port, 85: fifth

Landscapes

  • Coating Apparatus (AREA)
  • Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)

Abstract

線引き塗布の速度の高速化が可能な塗布装置及び塗布方法を提供するため、塗布装置が、吐出装置と、ワークテーブルと、駆動装置と、制御部とを備え、吐出装置が、吐出部材により液室内の液体材料に慣性力を与えて複数の吐出口から同時に吐出し、塗布対象物上で複数の液滴を形成すること、複数の吐出口が直線であるノズル配置線に沿ってノズルに配置されること、ノズル配置線を描画線の描画方向と一致させること、複数の吐出口から、吐出された複数の液塊が塗布対象物に着弾する前に接触せず、且つ、ノズル配置線に沿って着弾した液体材料が塗布対象物上で結合するように液体材料を吐出して線状塗布を行う塗布装置とする。

Description

塗布装置および塗布方法
　本発明は、直線に沿って並ぶ複数の吐出口を有する塗布装置および塗布方法に関する。
　電子部品等の製造工程において液体材料を分配する装置として、往復移動するプランジャーにより液体材料を吐出する吐出装置（ディスペンサ）が知られている。この吐出装置は、例えば、ワークテーブルと水平方向に相対移動されながら、ワークに所望の塗布する用途に用いられる。
　液体材料をノズルから離間した後にワークに着弾させる従来の吐出装置としては、例えば、ノズルにつながる出口付近に弁座を有する流路内に、プランジャーロッドの側面が非接触に配設され、プランジャーロッドの先端が弁座に向けて移動し弁座に当接することにより、ノズルから液体材料を液滴の状態で吐出させるものがある（特許文献１）。
　また、急速前進するプランジャーを弁座に当接させることなく急激に停止させて液体材料を飛滴させる技術としては、出願人が提言した、先端面が液体材料に密接した液体材料吐出用プランジャーを高速前進させ、次いでプランジャー駆動手段を急激停止させて、液体材料に慣性力を印加して液体材料を吐出させる液体材料の吐出方法および装置がある（特許文献２，３）。
　また、流体チャネル出口と連通した複数のノズル出口を有する噴出ノズルと、弁座に選択的に接触可能に流体チャネル内に可動的に設けられた弁部材とを備え、弁部材が弁座との接触時に、前記複数のノズル出口から複数の液滴を同時に迅速に噴出させるのに十分な運動量を前記流体チャネル出口内の液体材料に与えるジェッティングディスペンサが提案されている（特許文献４）。
特表２００１－５００９６２号公報 特開２００３－１９０８７１号公報 特開２００５－２９６７００号公報 特開２００７－１６７８４４号公報
　電子機器等の製造コストの削減を実現するために、線引き塗布の速度を高速化することが求められている。
　特許文献４に開示されるジェッティングディスペンサは、複数の吐出口を有するノズルを開示するが、主としてフラックス層の形成が念頭に置かれており、線引き塗布を行う手順については何ら言及されていない。また、特許文献４は、ディスペンサの作動速度を遅くして高品質を目指す点（同文献段落［０００７］参照）でも、線引き塗布の高速化に資する技術を提供するものではないといえる。
　本発明は、線引き塗布の速度を高速化することを可能とする塗布装置および塗布方法を提供することを目的とする。
　塗布方法に係る本発明は、塗布装置を用いて塗布対象物上に描画線を線状塗布する方法において、前記塗布装置が、吐出装置と、塗布対象物を載置するワークテーブルと、吐出装置とワークテーブルとを相対移動させる駆動装置と、吐出装置および駆動装置の動作を制御する制御部と、を備え、前記吐出装置が、液体材料を吐出する複数の吐出口を有するノズルと、前記複数の吐出口と複数の吐出流路を介して連通する液室と、前記液室内の液体材料に接触する吐出部材と、を備え、前記吐出部材により前記液室内の液体材料に慣性力を与えて前記複数の吐出口から同時に吐出し、塗布対象物上で複数の液滴を形成すること、前記複数の吐出口が、直線であるノズル配置線に沿って前記ノズルに配置されること、前記ノズル配置線を前記描画線の描画方向と一致させること、前記複数の吐出口から、吐出された複数の液塊が塗布対象物に着弾する前に接触せず、且つ、前記ノズル配置線に沿って着弾した液体材料が塗布対象物上で結合するように液体材料を吐出して線状塗布を行うことを特徴とする。
　上記塗布方法に係る本発明では、前記制御部が、前記吐出装置と前記ワークテーブルとを一定の速度Ｖｃを保持してノズル配置線と同じ方向に相対移動させながら、前記吐出された複数の液塊の少なくとも一つが、直前に吐出された塗布対象物上の液体材料に結合して描画線を形成するように、前記吐出装置と前記ワークテーブルとの相対移動速度に基づき吐出のタイミングを一定の間隔Ｔｃとして線状塗布を行うことを特徴としてもよい。
　上記塗布方法に係る本発明では、前記吐出部材の推進力を調節することにより、前記吐出された複数の液塊が塗布対象物に着弾する前に接触せず、且つ、前記ノズル配置線に沿って着弾した液体材料が塗布対象物上で結合するように液体材料を吐出することを特徴としてもよい。
　上記塗布方法に係る本発明では、前記複数の吐出流路が、前記複数の吐出流路の各中心線が前記ノズルの中心線と交わるように、傾斜をもって配置され、吐出口と塗布対象との距離ｈを調節することにより、液滴間の距離を調節することを特徴としてもよい。
　上記塗布方法に係る本発明では、前記複数の吐出口のいずれもが、前記ノズル配置線上に配置されることを特徴としてもよい。
　上記塗布方法に係る本発明では、前記複数の吐出口がいずれも同一形状であり、等ピッチに配置されることを特徴としてもよい。
　上記塗布方法に係る本発明では、前記複数の吐出口が偶数個の吐出口からなり、二個の大型吐出口と、二個の小型吐出口とを含み、吐出口のいずれもが前記ノズル配置線上に配置されること、並びに、前記小型吐出口と前記大型吐出口とが前記ノズル配置線に沿って交互に配置されること、或いは、前記複数の吐出口が偶数個の吐出口からなり、二個の大型吐出口と、二個の小型吐出口群とを含み、前記大型吐出口のいずれもが前記ノズル配置線上に配置されること、前記小型吐出口群と前記大型吐出口とが前記ノズル配置線に沿って交互に配置されること、並びに、前記小型吐出口群が、前記ノズル配置線に対して対称に配置された複数の小型吐出口から構成されることを特徴としてもよい。
　上記塗布方法に係る本発明では、前記吐出装置または前記ワークテーブルが、回転機構を備え、前記回転機構により、前記ノズル配置線を前記描画線の描画方向と一致させることを特徴としてもよく、ここで好ましくは、前記線状塗布が、第一の方向に延びる直線状の塗布線と第一の方向と異なる第二の方向に延びる直線状の塗布線とを含む塗布パターンに従い行われることを特徴とする。
　上記塗布方法に係る本発明では、前記ノズルが、前記吐出装置に対し着脱自在に固定されており、前記吐出装置が、前記ノズル配置線の方向が前記吐出装置に対して一定になるように前記ノズルを取り付け可能とする位置決め機構を有することを特徴としてもよい。
　塗布装置に係る本発明は、吐出装置と、塗布対象物を載置するワークテーブルと、吐出装置とワークテーブルとを相対移動させる駆動装置と、吐出装置および駆動装置の動作を制御する制御部と、を備える塗布装置において、前記吐出装置が、液体材料を吐出する複数の吐出口を有するノズルと、前記複数の吐出口と複数の吐出流路を介して連通する液室と、前記液室内の液体材料に接触する吐出部材と、を備え、前記吐出部材により前記液室内の液体材料に慣性力を与えて前記複数の吐出口から同時に吐出し、塗布対象物上で複数の液滴を形成可能な吐出装置であって、前記複数の吐出口が、直線であるノズル配置線に沿って前記ノズルに配置されること、前記制御部が、前記ノズル配置線を描画線の描画方向と一致させた状態で、前記複数の吐出口から、吐出された複数の液塊が塗布対象物に着弾する前に接触せず、且つ、前記ノズル配置線に沿って着弾した液体材料が塗布対象物上で結合するように液体材料を吐出して線状塗布を行うことを特徴とする。
　上記塗布装置に係る本発明では、前記制御部が、前記吐出装置と前記ワークテーブルとを一定の速度Ｖｃを保持してノズル配置線と同じ方向に相対移動させながら、前記吐出された複数の液塊の少なくとも一つが、直前に吐出された塗布対象物上の液体材料に結合して描画線を形成するように、前記吐出装置と前記ワークテーブルとの相対移動速度に基づき吐出のタイミングを一定の間隔Ｔｃとして線状塗布を行うことを特徴としてもよい。
　上記塗布装置に係る本発明では、前記制御部が、前記吐出部材の推進力を調節することにより、前記吐出された複数の液塊が塗布対象物に着弾する前に接触せず、且つ、前記ノズル配置線に沿って着弾した液体材料が塗布対象物上で結合するように液体材料を吐出することを特徴としてもよい。
　上記塗布装置に係る本発明では、前記複数の吐出流路が、前記複数の吐出流路の各中心線が前記ノズルの中心線と交わるように、傾斜をもって配置されていることを特徴としてもよい。
　上記塗布装置に係る本発明では、前記複数の吐出口のいずれもが、前記ノズル配置線上に配置されることを特徴としてもよい。
　上記塗布装置に係る本発明では、前記複数の吐出口がいずれも同一形状であり、等ピッチに配置されることを特徴としてもよい。
　上記塗布装置に係る本発明では、前記複数の吐出口が偶数個の吐出口からなり、二個の大型吐出口と、二個の小型吐出口とを含み、吐出口のいずれもが前記ノズル配置線上に配置されること、並びに、前記小型吐出口と前記大型吐出口とが前記ノズル配置線に沿って交互に配置されること、或いは、前記複数の吐出口が偶数個の吐出口からなり、二個の大型吐出口と、二個の小型吐出口群とを含み、前記大型吐出口のいずれもが前記ノズル配置線上に配置されること、前記小型吐出口群と前記大型吐出口とが前記ノズル配置線に沿って交互に配置されること、並びに、前記小型吐出口群が、前記ノズル配置線に対して対称に配置された複数の小型吐出口から構成されることを特徴としてもよい。
　上記塗布装置に係る本発明では、前記吐出装置または前記ワークテーブルが、回転機構を備え、前記制御部が、前記回転機構により、前記ノズル配置線を前記描画線の描画方向と一致させることを特徴としてもよい。
　上記塗布装置に係る本発明では、前記駆動装置が、前記吐出装置と前記ワークテーブルとを相対的に直線移動可能な一軸駆動機構を含み、前記ノズル配置線が前記一軸駆動機構の駆動方向と一致して配置されることを特徴としてもよい。
　上記塗布装置に係る本発明では、前記ノズルが、前記吐出装置に対し着脱自在に固定されており、前記吐出装置が、前記ノズル配置線の方向が前記吐出装置に対して一定になるように前記ノズルを取り付け可能とする位置決め機構を有することを特徴としてもよい。
　上記塗布装置に係る本発明では、前記吐出装置が、前記液室より小径であり、先端部が液室内を進退動するプランジャーと、前記プランジャーを進退動させるプランジャー往復移動装置と、前記液室に液体材料を供給する液送装置と、を備え、前記プランジャーの先端部の側面と前記液室の内側壁が非接触の状態でプランジャーを進出移動および進出停止することで液体材料に慣性力を与えて前記複数の吐出口から同時に吐出することを特徴としてもよい。
　本発明によれば、線引き塗布の速度を高速化することが可能となる。
　また、吐出のタイミングを一定の間隔Ｔｃとして線状塗布を行うことにより、吐出量精度および吐出位置精度を向上させることが可能となる。
　さらに、吐出流路が傾斜を有する構成を備える本発明によれば、吐出口と塗布対象物との距離を調節することにより、同時に吐出された液滴間の距離を調節することが可能となる。
第一実施形態例の塗布装置を示す斜視図である。 第一実施形態例の吐出装置の要部側面断面図である。 第一実施形態例のノズル部材の（ａ）底面図、（ｂ）側面断面図である。 第一実施形態例における一回の吐出工程を示す図であり、（ａ）は吐出された液滴が塗布対象物に着弾する前の時点を示し、（ｂ）は吐出された液滴が塗布対象物に着弾した時点を示し、（ｃ）は着弾後、ごく短い時間が経過した時点を示し、（ｄ）は（ｃ）の時点から、ごく短い時間が経過した時点を示し、（ｅ）は（ｄ）の時点から、ごく短い時間が経過した時点を示している。 第一実施形態例の塗布装置による複数回の吐出工程を示す図であり、（ａ）は第一発射直後の時点を側方から視た図、（ｂ）は第二発射直後の時点を側方および上方から視た図、（ｃ）は第三発射直後の時点を側方および上方から視た図、（ｄ）は第四発射直後の時点を側方および上方から視た図、（ｅ）は第五発射直後の時点を側方および上方から視た図である。 飛翔中に二つの液滴が結合した場合を説明する側面図であり、（ａ）は液塊が吐出された直後の時点を示し、（ｂ）は（ａ）の時点から、ごく短い時間が経過した時点を示し、（ｃ）は同時吐出された液塊が塗布対象物に着弾した時点を示している。 第二実施形態例のノズル部材の（ａ）底面図、（ｂ）側面断面図である。 第三実施形態例のノズル部材の底面図である。 第三実施形態例で同時吐出された四つの液滴が結合する様子を上面視したイメージ図である。 第四実施形態例のノズル部材の底面図である。 第四実施形態例で同時吐出された六つの液滴が結合する様子を上面視したイメージ図である。 第五実施形態例のノズル部材の（ａ）側面断面図および（ｂ）吐出口とワークの距離と液滴間の距離の関係を説明する側面図である。 塗布対象物に着弾した二つの液滴が、塗布対象物上で結合しない場合の塗布方法の説明図であり、（ａ）は一回目の吐出、（ｂ）は二回目の吐出、（ｃ）は三回目の吐出、（ｄ）は四回目の吐出を示している。
　以下では、本発明の実施形態例を図面を参照しながら説明する。
《第一実施形態例》
＜塗布装置＞
　図１に示すように、第一実施形態例の塗布装置２００は、吐出装置１と、架台２０１と、塗布対象物２０７を載置するワークテーブル２０２と、吐出装置とワークテーブルとをＸ方向に相対移動させるＸ駆動装置２０３と、吐出装置とワークテーブルとをＹ方向に相対移動させるＹ駆動装置２０４と、吐出装置とワークテーブルとをＺ方向に相対移動させるＺ駆動装置２０５と、吐出装置１およびＸＹＺ駆動装置（２０３、２０４、２０５）の動作を制御する制御装置２０６とを備えている。
　なお、Ｘ方向は平面における一の方向を、Ｙ方向は平面におけるＸ方向と直交する方向を、Ｚ方向は平面と直交する方向を意味するものとする。
　本実施形態例においては、Ｘ駆動装置およびＹ駆動装置の移動方向が水平方向、Ｚ駆動装置の移動方向が鉛直方向になるように構成しているが、これ以外の移動方向とすることも可能である。また、Ｘ駆動装置、Ｙ駆動装置およびＺ駆動装置の全てを必要とするわけではなく、例えば、塗布パターンが一方向の直線のみからなる場合は、一方向に移動させる駆動装置のみ（Ｘ駆動装置またはＹ駆動装置のみ）を配置することで、本発明の塗布を行うことが可能である。
＜吐出装置＞
　図２に示すように、吐出装置１の本体は、本体上部２と、本体下部３とを備えて構成される。
　本体上部２は中心を貫通する貫通孔２１とピストン室（２２、２３）を有し、貫通孔２１およびピストン室にはプランジャー１０が挿通される。プランジャー１０は細長い円柱棒であり、ピストン１１を貫通している。ピストン１１は側周面に環状のシール部材１２が設けられた円盤状の部材である。ピストン１１は、円柱状のピストン室を下方室２２と上方室２３とに気密に分断し、ピストン室内を摺動しながら上下動する。ピストン１１はプランジャー１０と連結されており、ピストン１１が上下動するのに伴いプランジャー１０も上下動する。以下では、プランジャー１０が下方に移動する場合を進出移動といい、プランジャー１０が上方に移動する場合を後退移動という場合がある。
　ピストン１１は、上方室２３内に配置された弾性部材１３により下方に付勢されている。下方室２２の側面には、電磁切換弁１６と連通する下方通気口２４が設けられて下方室２２の底面には、プランジャー１０が挿通される環状のシール部材２６が設けられている。電磁切換弁１６は、下方通気口２４をエア供給源１９と連通する第一位置と下方通気口２４を外気と連通する第二位置とを有している。電磁切換弁１６が第一位置にあるとき、エア供給源１９から供給された加圧エアがレギュレータ１８を介して下方通気口２４に供給され、プランジャー先端面１０３が液室の底面４１２から遠ざかる。電磁切換弁１６が第二位置にあるとき、ピストン１１は弾性部材１３の付勢力により下方に移動し、ピストン１１が下方に移動するのと共にプランジャー１０が進出移動する。これにより、プランジャー先端面１０３が液室の底面４１２に着座し、プランジャー１０により推進力を与えられた液室内の液体材料が、吐出口（５１、５２）から吐出される。
　なお、プランジャー１０の進出移動を、プランジャー先端面１０３が液室の底面４１２に着座する直前で停止させることで液室内の液体材料に推進力を与えて吐出するよう構成しても良い。プランジャー先端面を着座させずに液滴を吐出する吐出装置としては、例えば、出願人がＷＯ２００８／１０８０９７公報、特開２０１３－０８１８８４で開示するものがある。
　本実施形態例では、液室内の液体材料に慣性力を与える吐出部材としてプランジャー１０を用いる構成を例示したが、吐出部材はこれに限定されない。本発明の吐出部材には、例えば、吐出口と連通する液室内に、可動弁体、静電型、圧電型などのアクチュエータ、ダイヤフラムおよび強制変形手段（例えば、殴打ハンマーおよびソレノイド等とロッドの組み合わせ、高圧流体）、バブル発生用ヒーター、などの圧力を発生させる機構も含まれる。
　プランジャー１０の下方に位置する先端部１０１が、液室内を進退動を繰り返すことで液体材料が連続吐出される。プランジャー１０が進退動をする間、プランジャーの先端部の側面１０２が液室の内側壁４１１に接触することは無い（図３（ｂ）参照）。本実施形態例では、プランジャー先端面１０３を半球状に構成しているが、プランジャー先端面１０３の形状はこれに限定されず、例えば、平面や吐出口と同心かつ同数の突起付き平面としてもよい。
　プランジャー１０の後退位置は、ストッパー１４により規定される。ストッパー１４の位置は、マイクロメータ１５を回転することにより調節することが可能である。
　本体上部２の下端には本体下部３が接合されている。本体下部３は中心を貫通する貫通孔３１を有し、貫通孔３１にはプランジャー１０が挿通される。貫通孔３１は液室４１と連通しているが、貫通孔３１の下端には環状のシール部材３２が設けられているため、液室内の液体材料が貫通孔３１に逆流することは無い。液室４１は上下に延びる円柱状の空間であり、上方部分で液体材料が供給される供給路３３と連通されている。供給路３３は、取付部材４に設けられた液送路４２を介して液送部材６の液送路６１と連通される。本実施形態例では、供給路３３、液送路４２および液送路６１を水平に構成しているが、角度を設けて構成することも当然に可能である。
　図３（ａ）に示すように、ノズル部材５は、直線であるノズル配置線２０上に設けられた同径円形の第１吐出口５１および第２吐出口５２を有している。第１吐出口５１および第２吐出口５２の直径Ｄ１は、例えば、数μｍ～数ｍｍであり、好ましくは数十μｍ～数百μｍである。第１吐出口５１および第２吐出口５２の形状は例示の円形に限定されず、例えば、ノズル配置線２０に沿って伸びる楕円形とすることが開示される。複数の吐出口の形状ないし配置パターンは、ノズル配置線２０を挟んで対称な形状を構成するようにすることが好ましい。これは、ノズル部材５の下端が平面ではなく、凹凸のある形状である場合にも適用される。
　第１吐出口５１と第２吐出口５２の最近接距離（第１吐出口５１の右端と第２吐出口５２の左端の距離）Ｌ１は、如何なる場合も直径Ｄ１よりも大きく設定され、例えば、Ｄ１の２～１０倍に設定される。言い換えれば、複数の吐出口が、直線であるノズル配置線に沿ってノズル部材に配置され、且つ、塗布対象物に着弾した液体材料が結合して塗布線を形成する距離である。
　吐出装置１を塗布装置２００に搭載する際は、ノズル配置線２０が、描画線の描画方向と一致するように配置する。ワークテーブル２０２または吐出装置１にθ方向（ワークテーブルの垂線を中心とした回転方向）に回転する回転機構を設け、ノズル配置線２０を描画線の描画方向と動的に一致可能としてもよい。ここで、ノズル配置線２０を描画線の描画方向と一致させることの意義は、言い換えれば、描画線上にノズル配置線を投写したときに、描線とノズル配置線の方向が一致すること、または、液体材料の吐出方向に対して直角の平面に、ノズル配置線２０と描画線の正射影をした場合に、ノズル配置線２０と描画線の方向が一致することである。さらに言い換えれば、吐出口から吐出される液体材料の吐出方向を含む平面に描画線があることである。これは、塗布対象物の表面が平面でない場合や傾いている場合にも適用可能である。
　ここで、本実施形態例における液体材料の吐出方向とは、より正確には、ワークテーブルと吐出装置との相対移動を停止して吐出した場合における液体材料の吐出方向を意味する。本実施形態例のように、液体材料の吐出方向が鉛直方向と等しい場合は、上記の液体材料の吐出方向に対して直角となる線は、水平面上の線となる。
　他方で、塗布パターンが、折り曲がり地点を有する複数の直線から構成される場合には、ワークテーブル２０２またはＺ軸駆動装置２０５にθ方向に回転する回転機構を設けることが必須となる。例えば、塗布パターンが四角形であり、四角形の一の頂点が塗布開始点および塗布終了点となる場合、折り曲がり地点は３つとなる。回転機構は、例えば、公知のサーボモータを用いて構成することができる。
　また、塗布パターンが、直線部を有する場合には、直線部の方向がＸ方向またはＹ方向に一致するように塗布対象物をワークテーブル２０２に配置し、かつ、ノズル配置線２０が直線部と同方向となるように配置する。これにより、直線部の塗布時にＸ駆動装置２０３またはＹ駆動装置２０４のいずれか一方のみを駆動して塗布することが可能となり、より精度良く塗布線を塗布形成することが可能となる。
　すなわち、ＸＹＺ駆動装置（２０３、２０４、２０５）が、吐出装置１とワークテーブル２０２とを相対的に直線移動することが可能な一軸駆動装置（Ｘ駆動装置またはＹ駆動装置）を含む場合は、ノズル配置線２０が当該一軸駆動装置の駆動方向（Ｘ方向またはＹ方向）と一致するように配置することが好ましい。このような配置は、上記の回転機構を有さない場合に特に有効である。
　図３（ｂ）に示すように、第１吐出口５１は、細径の第１吐出流路５４および大径吐出流路５７を介して液室４１と連通している。また、第２吐出口５２は、細径の第２吐出流路５５および大径吐出流路５７を介して液室４１と連通している。第１吐出流路５４および第２吐出流路５５は同一形状であり、いずれも中心軸が鉛直方向にある。
　第１吐出流路５４および第２吐出流路５５は、大径吐出流路５７を設けず、直接液室４１に連通するように構成してもよい。また、液室４１に直接連通する第１吐出流路５４および第２吐出流路５５を、独立した各２本の細径流路および大径流路により構成してもよい。
　平面であるノズル部材５の下端面に設けられた第１吐出口５１および第２吐出口５２は下方に開口しており、ノズル部材５の下端面が水平（液体材料の吐出方向に対して直角の方向）に配置された状態で、これらの吐出口から液体材料が滴下される。
　ノズル部材５は、上端につば部５８を有しており、このつば部５８で取付部材４に支持される。取付部材４は、ノズル部材５を支持した状態で本体下部３に螺合して或いはネジ等の固定具により着脱自在に固定される。ノズル部材５は、取付部材４により着脱自在に取り付けられるので、吐出口の直径および最近接距離が異なる複数のノズル部材５を用途に応じて交換することも容易である。ノズル部材５を着脱するための態様は限定されないが、ノズル配置線２０の方向および位置を吐出装置１に対して一定となるように取付可能とする位置決め機構を設けることが好ましい。位置決め機構としては公知の位置決め機構を用いることができ、例えば、ノズル部材５または本体下部３側の部材の一部（例えば、ピン、凸部、切り欠き）が他方の部材に嵌合して位置決めされる構成や、別途に用意された部材（例えば、ピンやネジ）を用いて位置決めする構成が挙げられる。
　取付部材４の側面には液送部材６が固設される。液送部材６の上面には、液体貯留容器７が連結されている。液体貯留容器７は、エア式ディスペンサ８を介してエア供給源９から加圧エアの供給を受ける。なお、エア供給源９から供給される加圧エアは、大気以外のガス（例えば、窒素ガス）である場合もある。
＜ＸＹＺ駆動装置＞
　ＸＹＺ駆動装置（２０３、２０４、２０５）は、例えば、公知のＸＹＺ軸サーボモータとボールネジとを備えて構成され、吐出装置１の吐出口（５１、５２）をワークの任意の位置に、任意の速度で移動させることが可能である。ＸＹＺ駆動装置（２０３、２０４、２０５）の動作は、制御装置２０６により制御される。
＜制御装置＞
　制御装置２０６は、処理装置、塗布プログラムを格納した記憶装置および入力装置を備えて構成され、例えば、パーソナルコンピュータやプログラマブルコントローラなどを用いることができる。制御装置２０６は、架台２０１に全部が内蔵される場合もあれば、一部が架台２０１の外部に設置され、有線または無線により接続される場合もある。制御装置２０６は、入力装置から塗布パターン、塗布基準位置、相対移動速度、吐出タイミング、プランジャー進退速度を含む塗布制御データを受信し、記憶装置に記憶する。処理装置は、記憶装置に記憶された塗布制御データを読み出し、次に述べる塗布動作を実行する。
＜塗布動作＞
　塗布装置２００による塗布動作は、Ｘ方向、Ｙ方向または斜め方向（Ｘ方向またはＹ方向と角度を構成する方向）に線状塗布（線引き塗布）を行うものであって、次の如く行われる。
　図４（ａ）は、ノズル部材５の吐出口（５１、５２）から、液滴（１５１、１５２）が吐出され、塗布対象物（ワーク）に着弾する前の時点を示している。同図に示すように、本発明では、吐出された液体材料がワーク上で液滴の状態となることが前提とされる。ここで、吐出口（５１、５２）から吐出された液体材料は、吐出口から分断された後に滴を形成してもよいし、ワークに接触した後に吐出口と分断され、塗布対象物上で滴を形成するのでもよい。本明細書では、吐出口から吐出され、吐出口から分断される前の液体材料と、吐出口から吐出された後に分断され、ワークに着弾する前の液滴を合わせて「液塊」と呼称する場合がある。
　液体材料がワークに接触した後に吐出口と分断され、塗布対象物上で滴を形成する塗布方法については、例えば、出願人がＷＯ２００８／１４６４６４で開示している。液体材料が塗布対象物に接触した後に吐出口と分断されるためには、ワーク接触前の吐出口（ノズル）とつながった状態の液体材料の高さｈ０と比べ、吐出口とワークとの距離ｈ１を数倍未満で吐出動作を行うことが好ましく、吐出口とワークとの距離ｈ１をｈ０の２倍未満（ｈ０＜ｈ１＜ｈ０×２）に設定することがより好ましい。
　塗布対象物上の近接位置に着弾した二つの液滴が速やかに拡散し結合するためには、一定以上の推進力を液滴に付与する必要がある。しかし、実験の結果、従来のジェット式吐出装置で吐出された液滴には、着弾後の速やかな結合を実現するのに充分な推進力が付与されていることが確認された。
　上記に加え重要なことは、同時吐出された複数の液塊が、着弾前に接触または結合しないことである。着弾前に液滴が接触または結合すると液滴が大きくなり、所望の塗布パターンを実現できなくなるからである。すなわち、図６に示すように、飛翔中に二つの液滴が結合してしまうと着弾面が円形となるため、この着弾液に一部重なるように同じ大きさの液滴を着弾させなくては線状塗布を行うことができなくなる（実質的には、一つの吐出口による塗布作業と同じとなる。）。複数の吐出口から同時吐出された複数の液塊が塗布対象物に着弾する前に接触せず、かつ、ノズル配置線２０に沿って着弾した着弾液を塗布対象物上で結合するように吐出するための条件は、液材の種類や吐出装置の構成などの作業環境により異なるため、作業環境ごとに各要素の条件を変更しながら吐出を繰り返す作業から見いだす必要がある。この作業を行うにあたり、考慮すべき主要な要素としては、吐出口間の距離、吐出口の孔の大きさ、液体材料の粘度、吐出部材の推進力の大きさが例示される（これら以外の要素を調節することも当然可能である。）。また、後述の第五実施形態例で説明するように、吐出口と塗布対象物の距離の調節により、条件設定をすることも有効である。
　図４（ｂ）は、同時吐出された液塊が塗布対象物に着弾した時点を示している。同図に示すように、二つの吐出口（５１、５２）から吐出された液体材料は、着弾時には相互に非接触の位置関係にある。別の言い方をすれば、複数の吐出口から吐出された液体材料は吐出口と同数の液滴を形成し、相互に非接触のまま塗布対象物に着弾する。
　図４（ｃ）は、同時吐出された液塊が塗布対象物に着弾後、ごく短い時間が経過した時点を示している。同図に示すように、円形に着弾した液滴は塗布対象物上で拡散し、二つの円が接触し結合を開始する。
　図４（ｄ）は、図４（ｃ）の時点から、ごく短い時間が経過した時点を示している。同図に示すように、接触した二つの円の結合が更に進展し、幅方向（図中上下方向）の凹みが浅くなる。すなわち、塗布対象物上における二つの液滴の結合は、飛翔中における二つの液滴の結合とは異なり、ノズル配置線２０方向に伸びる細長い形状を形成するように作用する（二つの液滴が合体しても上面視円形とならない。）。
　図４（ｅ）は、図４（ｄ）の時点から、ごく短い時間が経過した時点を示している。同図に示すように、二つの円が完全に結合して塗布幅の不均一がなくなり、ノズル配置線２０と同一方向に延びる直線状の細長い塗布パターンが形成される。
　図４（ａ）～（ｅ）は、一回の吐出により所定の長さ（最小単位）の線状塗布を行う工程を示すものであり、この工程を繰り返すことにより所望の長さの塗布線を形成することが可能となる。
　図５（ａ）～（ｅ）は、複数回の吐出により線状塗布を行う工程を示すものである。
　図５（ａ）は、第一発射直後の時点を側方から視た図である。
　図５（ｂ）は、第二発射直後の時点を側方および上方から視た図である。この時点では、第一発射に係る二つの液滴は塗布対象物上で結合を開始している。
　図５（ｃ）は、第三発射直後の時点を側方および上方から視た図である。この時点では、第一発射に係る二つの液滴の結合は更に進展し、第二発射に係る二つの液滴は塗布対象物上で結合を開始している。
　図５（ｄ）は、第四発射直後の時点を側方および上方から視た図である。この時点では、第一発射に係る二つの液滴は完全に結合し、第二発射に係る二つの液滴の結合は更に進展し、第三発射に係る二つの液滴は塗布対象物上で結合を開始している。
　図５（ｅ）は、第五発射直後の時点を側方および上方から視た図である。この時点では、第一発射および第二発射に係る液滴は完全に結合し、第三発射に係る二つの液滴の結合は更に進展し、第四発射に係る二つの液滴は塗布対象物上で結合を開始している。
　このように、本実施形態例では、二つの液塊を同時に吐出するサイクルを繰り返すことで、所望の塗布線を形成することが可能である。ここにいう塗布線には、塗布された液体材料の幅方向（長手方向の側縁）に凹凸が無い図４（ｅ）のような直線状の塗布線だけでなく、図４（ｃ）や図４（ｄ）に開示される幅方向に凸凹がある塗布線も含まれる。液体材料の粘度が相対的に高い場合には、塗布線の幅方向に凸凹が残る場合もあるが、例えば、貼り合わせ時に押しつぶされる接着剤の塗布の場合のように、幅方向に凸凹がある塗布線でも目的を達成できる場合はある。但し、幅方向の凸凹は気泡の原因となるため、凹み量が拡散後の液滴の半径の１／３以下になるように制御することが好ましい。
　なお、塗布線は塗布対象物（ワーク）の表面に一様に形成された膜ではなく、表面に隆起するように形成された線である。
　本発明は、複数の吐出口を有するノズルを用い、吐出装置とワークテーブルとを一定の速度Ｖｃで相対移動させながら、吐出のタイミングを一定の間隔Ｔｃとして線状塗布を行うこと可能としている点に格別の効果があるといえる。別の言い方をすれば、本発明では、吐出装置とワークテーブルとを一定の速度で相対移動させながら、プランジャーロッドに一定の往復動作を繰り返させながら線状塗布を行うこと可能としている。吐出のタイミングを一定の間隔Ｔｃとすることで吐出量が一定となり、吐出量精度や吐出位置精度が向上する。このときの間隔Ｔｃは、複数の吐出口から同時吐出された複数の液塊の少なくとも一つが、直前に吐出された塗布対象物上の液体材料（着弾液）に結合して線状の塗布パターンを形成するような間隔とするのが好ましい。なお、直前に吐出された液体材料との結合は、着弾と同時にされる場合もあれば、着弾後の短い時間を経てなされる場合もある。前者は、直前に吐出された液体材料が塗布対象物上で既に拡散されている場合に生じることが多い。
　好ましい間隔Ｔｃの一例として、Ｖｃ×Ｔｃが、隣り合う吐出口間の距離となるような間隔とすることが挙げられる。このような間隔に設定した場合、吐出された複数の液塊が結合してできた線部Ｂとその直前に吐出された複数の液塊が結合してできた線部Ａとの塗布対象物上での結合状態を、線部Ａを構成する複数の液塊の結合状態および線部Ｂを構成する複数の液塊の結合状態と同一とすることができ、もって均一な直線を形成する効果が期待できるからである。
　図１３は、塗布対象物に着弾した二つの液滴が、塗布対象物上で結合しない場合の塗布方法の説明図である。同図中、直線で示すのが、各回の吐出における吐出口５１の位置である。
　１回目の吐出で吐出された二つの液滴（実線および網掛けで図示）が結合しないため、２回目の吐出では、１回目に吐出された二つの液滴の間が連絡されるように二つの液滴（点線および網掛けで図示）の吐出を行うことが必要となる。３回目の吐出では、吐出された液滴の重なり具合が全ての場所で同じになるように、２回目に吐出された進行方向側（右側）の液滴と重なるように二つの液滴（実線および斜線で図示）の吐出を行うことが必要となる。４回目の吐出では、２回目の吐出と同様、３回目に吐出された二つの液滴の間が連絡されるように二つの液滴（点線および斜線で図示）の吐出を行うことが必要となる。
　このように、図１３の塗布方法では、吐出装置とワークテーブルとを一定の速度で相対移動させた場合、吐出のタイミングを変えなくてはならないという課題が生じる。他方で、吐出装置とワークテーブルとの相対移動の速度を変えると、液滴の着弾位置の制御が難しくなるという課題が生じる。
　以上に説明した第一実施形態例の塗布装置および塗布方法によれば、二つの液塊を同時に吐出して線状塗布を行うので、一つの液塊を重ねて線状塗布を行う場合と比べ、塗布速度を二倍程度高速化することが可能となる。この線状塗布の高速化は直線を塗布するときに特に有利であり、例えば、塗布パターンが一または複数の直線のみから構成される場合に顕著な高速化効果を奏する。
　また、複数の吐出口を有するノズルを用い、吐出装置とワークテーブルとを一定の速度で相対移動させながら、吐出のタイミングを一定の間隔として高精度な線状塗布を行うことが可能となる。
《第二実施形態例》
　第二実施形態例は、吐出装置１のノズル部材５が等ピッチで配置された三つの吐出口を有する点で第一実施形態例と相違し、その他の構成は第一実施形態例と同様である。以下では第一実施形態例と共通する構成については説明を割愛し、異なる構成について説明を行うものとする。
　図７（ａ）に示すように、ノズル部材５は、直線であるノズル配置線２０上に設けられた同径円形の第１吐出口５１、第２吐出口５２および第３吐出口５３を有している。第１～第３吐出口（５１～５３）の直径Ｄ１は、第一実施形態と同様である。第１吐出口５１と第２吐出口５２の最近接距離（第１吐出口５１の右端と第２吐出口５２の左端の距離）Ｌ１と、第２吐出口５２と第３吐出口５３の最近接距離（第２吐出口５２の右端と第３吐出口５３の左端の距離）Ｌ２とは同一長である。Ｌ１およびＬ２は、如何なる場合も直径Ｄ１よりも大きく設定され、例えば、Ｄ１の２～１０倍に設定される。吐出装置１を塗布装置２００に搭載する際は、ノズル配置線２０が所望の描画線（直線）の方向と一致するように配置する。第一実施形態と同様に、ワークテーブル２０２または吐出装置１に回転機構を設け、回転機構により吐出口の方向を動的に調整してもよい。
　図７（ｂ）に示すように、第１～第３吐出口（５１～５３）は、第１吐出流路５４、第２吐出流路５５および第３吐出流路５６並びに大径吐出流路５７を介して液室４１と連通している。第１～第３吐出流路（５４～５６）は同一形状で有り、いずれも中心軸が鉛直方向にある。すなわち、第１～第３吐出流路（５４～５６）は、垂直方向に平行に設けられている。
　第二実施形態例によれば、一度の吐出で３滴分の長さの塗布線を形成することが可能となる。また、本実施形態では等ピッチで配置された三つの吐出口を有するノズル部材を開示したが、四つ以上の同一形状の吐出口を等ピッチで配置したノズル部材でも同様の効果が奏される。
《第三実施形態例》
　第三実施形態例は、吐出装置１のノズル部材５が等ピッチで配置された四つの吐出口を有する点で第一および第二実施形態例と相違し、その他の構成は第一および第二実施形態例と同様である。以下では第一および第二実施形態例と共通する構成については説明を割愛し、異なる構成について説明を行うものとする。
　図８に示すように、ノズル部材５は、直線であるノズル配置線２０上に設けられた大円形の第１吐出口７１および第２吐出口７２、小円形の第３吐出口７３および第４吐出口７４を有している。第１吐出口７１および第２吐出口７２の直径Ｄ１は、例えば、数十μｍ～数ｍｍである。第３吐出口７３および第４吐出口７４の直径Ｄ２は、直径Ｄ１の１／２～１／１０であり、例えば、数μｍ～数百μｍである。大円形の吐出口と小円形の吐出口は、ノズル配置線２０上に交互に、実質的に等間隔に配置されている。
　第１吐出口７１と第２吐出口７２の最近接距離（第１吐出口７１の右端と第２吐出口７２の左端の距離）Ｌ１の中間地点に第３吐出口７３が配置される。第１吐出口７１と第３吐出口７３の最近接距離Ｌ２は、如何なる場合も直径Ｄ１よりも大きく設定され、例えば、Ｄ１の２～１０倍に設定される。第４吐出口７４は、第２吐出口７２に対し、第３吐出口７３と対称に設けられる。すなわち、第２吐出口７２と第４吐出口７４の最近接距離Ｌ３は、Ｌ２と同一である。吐出装置１を塗布装置２００に搭載する際は、ノズル配置線２０が所望の描画線（直線）の方向と一致するように配置する。第一実施形態と同様に、ワークテーブル２０２または吐出装置１に回転機構を設け、回転機構により吐出口の方向を動的に調整してもよい。
　図９は、第１～第４吐出口（７１～７４）から同時に吐出された四つの液塊が、着弾して塗布対象物上で拡散する様子のイメージ図である。第１～第４吐出口（７１～７４）から同時に吐出された四つの液滴（１７１～１７４）は、図９上段に示すように、着弾時は相互に独立した上面視円形の滴である。図９中段に示すように、着弾後ごく短い時間が経過すると、四つの液滴（１７１～１７４）はそれぞれ拡散し、結合を開始する。ここで、二つの補助液滴１７３～１７４は、基本液滴１７１～１７２の結合を促進させるように作用する。最終的には、図９下段に示すように、四つの円が完全に結合して塗布幅の不均一がなくなり、ノズル配置線２０と同一方向に延びる直線状の細長い塗布パターンが形成される。
　なお、各吐出口は円形とすることが好ましいが、本発明の効果は円形以外の形状でも奏される。また、吐出口が複数の大きさの孔から構成される場合、少なくとも最も大きな吐出口は同一形状で同じ大きさに構成することが好ましく、より好ましくは複数の大きさの孔の吐出口を同一形状で同じ大きさの吐出口群の組み合わせ（図８，１０参照）により構成する。
　以上のように、二つの補助液滴１７３～１７４は、基本液滴１７１～１７２の結合を促進させるように作用する。
《第四実施形態例》
　第四実施形態例は、吐出装置１のノズル部材５が六つの吐出口を有する点で第一ないし第三実施形態例と相違し、その他の構成は第一ないし第三実施形態例と同様である。以下では第一ないし第三実施形態例と共通する構成については説明を割愛し、異なる構成について説明を行うものとする。
　図１０に示すように、ノズル部材５は、直線であるノズル配置線２０上に設けられた同径大円形の第１吐出口８１および第２吐出口８２と、ノズル配置線に沿って配置された同径小円形の第３吐出口８３、第４吐出口８４、第５吐出口８５および第６吐出口８６を有している。第３吐出口８３および第４吐出口８４はノズル配置線２０を挟んで対称に配置され、第５吐出口８５および第６吐出口８６はノズル配置線２０を挟んで対称に配置されている。別の言い方をすれば、第１～第６吐出口（８１～８６）は、ノズル配置線２０に対し対称に配置されている。さらに、別の言い方をすれば、複数の吐出口が、複数の大円形吐出口と複数の小円形吐出口群とを含み、大円形吐出口の全てがノズル配置線２０上に配置され、小円形吐出口群と大円形吐出口とが交互に配置され、小円形吐出口群はノズル配置線２０を挟んで対称に配置された複数の小円形吐出口から構成されている。
　第１吐出口８１および第２吐出口８２の直径Ｄ１は、例えば、数十μｍ～数ｍｍである。第３吐出口８３、第４吐出口８４、第５吐出口８５および第６吐出口８６の直径Ｄ２は、直径Ｄ１の１／２～１／１０であり、例えば、数μｍ～数百μｍである。
　第１吐出口８１と第２吐出口８２の最近接距離（第１吐出口８１の右端と第２吐出口８２の左端の距離）Ｌ１の中間地点でノズル配置線２０と直交する直線上に第３吐出口８３および第４吐出口８４が配置される。Ｌ１の中間地点でノズル配置線２０と直交する直線と第１吐出口８１および第２吐出口８２の最近接距離Ｌ２（＝Ｌ１×１／２）は、如何なる場合も直径Ｄ１よりも大きく設定され、例えば、Ｄ１の２～１０倍に設定される。
　第５吐出口８５および第６吐出口８６が配置されるノズル配置線２０と直交する直線と第２吐出口７２の最近接距離Ｌ３は、Ｌ２と同一である。吐出装置１を塗布装置２００に搭載する際は、ノズル配置線２０が所望の描画線（直線）の方向と一致するように配置する。第一実施形態と同様に、ワークテーブル２０２または吐出装置１に回転機構を設け、回転機構により吐出口の方向を動的に調整してもよい。
　なお、本実施形態例のように大型の吐出口と小型の吐出口とを有する場合は、大型の吐出口から吐出される液体材料の吐出方向を含む平面に描画線があるように各吐出口を配置することで、ノズル配置線２０を描画線の描画方向と一致させてもよい。
　同径小円形の第３～第６吐出口（８３～８６）は、第１および第２吐出口（８１、８２）の結合部を滑らかにするための補助的な液体材料を供給するための補助吐出口として機能する。
　図１１は、第１～第６吐出口（８１～８６）から同時に吐出された六つの液塊が、着弾して塗布対象物上で拡散する様子のイメージ図である。第１～第６吐出口（８１～８６）から同時に吐出された六つの液滴（１８１～１８６）は、図１１上段に示すように、着弾時は相互に独立した上面視円形の滴である。図１１中段に示すように、着弾後ごく短い時間が経過すると、六つの液滴（１８１～１８６）はそれぞれ拡散し、結合を開始する。最終的には、図１１下段に示すように、六つの円が完全に結合して塗布幅の不均一がなくなり、ノズル配置線２０と同一方向に延びる直線状の細長い塗布パターンが形成される。
　以上のように、四つの補助液滴１８３～１８６は、基本液滴１８１～１８２の結合時に生じる幅方向の凹みを速やかに解消するように作用する。なお、本実施形態でも各吐出口は円形とすることが好ましいが、円形に限定されない。
《第五実施形態例》
　第五実施形態例は、吐出装置１のノズル部材５の構成が第一ないし第四実施形態例と相違し、その他の構成は第一ないし第四実施形態例と同様である。以下では第一ないし第四実施形態例と共通する構成については説明を割愛し、異なる構成について説明を行うものとする。
　図１２（ａ）に示すように、第五実施形態例のノズル部材５は、符号５ａで示す上方部材と符号５ｂで示す下方部材とから構成される。上端につば部５８を有しており、このつば部で取付部材４に支持される。下方部材５ｂは上方部材５ａの下端に螺合して或いはネジ等の固定具により着脱自在に固定される。下方部材５ｂは、上方部材５ａに着脱自在に取り付けられるので、吐出口の直径および距離、或いは、吐出口の噴出角度が異なる複数の下方部材５ｂを用途に応じて交換することも容易である。下方部材５ｂを上方部材５ａに固定する際に、下方部材５ｂの向きを上方部材５ａに対して一定とするための位置決め機構を設けることが好ましい。位置決め機構としては公知の位置決め機構を用いることができ、例えば、下方部材５ｂまたは上方部材５ａの一部（例えば、ピン、凸部、切り欠き）が他方の部材に嵌合して位置決めされる構成や、別途に用意された部材（例えば、ピンやネジ）を用いて位置決めする構成が挙げられる。
　第１吐出口９１は、直線状の第１吐出流路９３および大径吐出流路９５を介して液室４１と連通している。また、第２吐出口９２は、直線状の第２吐出流路９４および大径吐出流路９５を介して液室４１と連通している。第１吐出流路９３および第２吐出流路９４は同一形状で有り、いずれもノズル部材の中心軸５９に対し等しい角度で傾斜している。第１吐出流路９３の中心軸とノズル部材の中心軸５９とが構成する角度Ａ１と第２吐出流路９４の中心軸とノズル部材の中心軸５９とが構成する角度Ａ２とは等しく、例えば、Ａ１＝Ａ２＜４５°に設定される。
　本実施形態例では、液体材料の吐出方向は中心軸５９の方向として観念される。
　第五実施形態例では、吐出口とワークとの距離ｈをＺ駆動装置２０５で調節することにより、同時吐出された二つの液塊の距離を調節することが可能である。図１２（ｂ）は、吐出口とワークとの距離がｈａである場合とｈｂである場合の液滴の距離（重なり具合）のイメージ図である。同図から分かるように、吐出口とワークとの距離ｈを近づけると液滴間の距離は遠くなり、距離ｈを遠ざけると液滴間の距離は小さくなる。但し、本実施形態例でも、同時吐出された複数の液滴が、着弾前に接触または結合しないように距離ｈを設定することが重要である。
　以上に説明した第五実施形態例の塗布装置および塗布方法によれば、吐出口とワークとの距離ｈを調節することで、着弾した二つの液滴の距離ないし重なり具合を調節することが可能である。従って、湿度や室温などの雰囲気環境の違いによる液滴の距離ないし重なり具合の違いに適切に対応することが可能である。
　吐出口の数は例示の二個に限定されず、三個以上であってもよい。吐出口の数が奇数個の場合は、中心に位置する吐出口には傾斜を設けず、中心から同じ距離に位置する対となる吐出口をノズル部材の中心軸に対し等しい角度で傾斜させる。
　なお、吐出口とワークとの距離ｈを非常に小さい距離に設定する場合には、各吐出口の噴出角度をノズル部材の中心軸から離れる方向（放射状）に設定し、ワーク上で液滴を結合させることも可能である。
　本発明は、工業用グリス、半田ペースト、銀ペースト、各種接着剤（ＵＶ硬化型、エポキシ系、ホットメルト系等）、クリーム半田への適用はもちろんのこと、溶剤（０．８ｃｐｓ程度）のような低粘性材料から高粘性材料（１，０００，０００ｃｐｓ程度）までの液体材料を適用することが可能である。
１：吐出装置、２：本体上部、３：本体下部、４：取付部材、５：ノズル部材、６：液送部材、７：液材貯留容器、８：エア式ディスペンサ、９：エア供給源、１０：プランジャー、１１：ピストン、１２：シール部材、１３：弾性部材、１４：ストッパー、１５：マイクロメータ、１６：電磁切換弁、１７：切換弁制御部、１８：減圧弁（レギュレータ）、１９：エア供給源、２０：ノズル配置線、２１：貫通孔、２２：下方室、２３：上方室、２４：下方通気口、２５：上方通気口、３１：貫通孔、３２：シール部材、３３：供給路、４１：液室、４２：液送路、５１：第１吐出口、５２：第２吐出口、５３：第３吐出口、６１：液送路、７１：第１吐出口、７２：第２吐出口、７３：第３吐出口、７４：第４吐出口、８１：第１吐出口、８２：第２吐出口、８３：第３吐出口、８４：第４吐出口、８５：第５吐出口、８６：第６吐出口、９１：第１吐出口、９２：第２吐出口、１０１：プランジャーの先端部、１０２：プランジャーの先端部の側面、１０３：プランジャー先端面、２００：塗布装置、２０１：架台、２０２：ワークテーブル、２０３：Ｘ駆動装置、２０４：Ｙ駆動装置、２０５：Ｚ駆動装置、２０６：制御装置、２１３：Ｘ方向、２１４：Ｙ方向、２１５：Ｚ方向、２０７：塗布対象物（ワーク）、４１１：液室の内側壁、４１２：液室の底面

Claims (23)

  1. 　塗布装置を用いて塗布対象物上に描画線を線状塗布する方法において、
    前記塗布装置が、
    　吐出装置と、
    　塗布対象物を載置するワークテーブルと、
    　吐出装置とワークテーブルとを相対移動させる駆動装置と、
    　吐出装置および駆動装置の動作を制御する制御部と、
    を備え、
    前記吐出装置が、
    　液体材料を吐出する複数の吐出口を有するノズルと、
    　前記複数の吐出口と複数の吐出流路を介して連通する液室と、
    　前記液室内の液体材料に接触する吐出部材と、
    を備え、
    　前記吐出部材により前記液室内の液体材料に慣性力を与えて前記複数の吐出口から同時に吐出し、塗布対象物上で複数の液滴を形成すること、
    　前記複数の吐出口が、直線であるノズル配置線に沿って前記ノズルに配置されること、
    　前記ノズル配置線を前記描画線の描画方向と一致させること、
    　前記複数の吐出口から、吐出された複数の液塊が塗布対象物に着弾する前に接触せず、且つ、前記ノズル配置線に沿って着弾した液体材料が塗布対象物上で結合するように液体材料を吐出して線状塗布を行うことを特徴とする塗布方法。
  2. 　前記制御部が、前記吐出装置と前記ワークテーブルとを一定の速度Ｖｃを保持してノズル配置線と同じ方向に相対移動させながら、前記吐出された複数の液塊の少なくとも一つが、直前に吐出された塗布対象物上の液体材料に結合して描画線を形成するように、前記吐出装置と前記ワークテーブルとの相対移動速度に基づき吐出のタイミングを一定の間隔Ｔｃとして線状塗布を行うことを特徴とする請求項１に記載の塗布方法。
  3. 　前記吐出部材の推進力を調節することにより、前記吐出された複数の液塊が塗布対象物に着弾する前に接触せず、且つ、前記ノズル配置線に沿って着弾した液体材料が塗布対象物上で結合するように液体材料を吐出することを特徴とする請求項１または２に記載の塗布方法。
  4. 　前記複数の吐出流路が、前記複数の吐出流路の各中心線が前記ノズルの中心線と交わるように、傾斜をもって配置され、
    　吐出口と塗布対象との距離ｈを調節することにより、液滴間の距離を調節することを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の塗布方法。
  5. 　前記複数の吐出口のいずれもが、前記ノズル配置線上に配置されることを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載の塗布方法。
  6. 　前記複数の吐出口がいずれも同一形状であり、等ピッチに配置されることを特徴とする請求項１ないし５のいずれかに記載の塗布方法。
  7. 　前記複数の吐出口が偶数個の吐出口からなり、二個の大型吐出口と、二個の小型吐出口とを含み、吐出口のいずれもが前記ノズル配置線上に配置されること、並びに、
    　前記小型吐出口と前記大型吐出口とが前記ノズル配置線に沿って交互に配置されることを特徴とする請求項１ないし６のいずれかに記載の塗布方法。
  8. 　前記複数の吐出口が偶数個の吐出口からなり、二個の大型吐出口と、二個の小型吐出口群とを含み、前記大型吐出口のいずれもが前記ノズル配置線上に配置されること、
    　前記小型吐出口群と前記大型吐出口とが前記ノズル配置線に沿って交互に配置されること、並びに、
    　前記小型吐出口群が、前記ノズル配置線に対して対称に配置された複数の小型吐出口から構成されることを特徴とする請求項１ないし６のいずれかに記載の塗布方法。
  9. 　前記吐出装置または前記ワークテーブルが、回転機構を備え、
    　前記回転機構により、前記ノズル配置線を前記描画線の描画方向と一致させることを特徴とする請求項１ないし８のいずれかに記載の塗布方法。
  10. 　前記線状塗布が、第一の方向に延びる直線状の塗布線と第一の方向と異なる第二の方向に延びる直線状の塗布線とを含む塗布パターンに従い行われることを特徴とする請求項９に記載の塗布方法。
  11. 　前記ノズルが、前記吐出装置に対し着脱自在に固定されており、
    　前記吐出装置が、前記ノズル配置線の方向が前記吐出装置に対して一定になるように前記ノズルを取り付け可能とする位置決め機構を有することを特徴とする請求項１ないし１０のいずれかに記載の塗布方法。
  12. 　吐出装置と、塗布対象物を載置するワークテーブルと、吐出装置とワークテーブルとを相対移動させる駆動装置と、吐出装置および駆動装置の動作を制御する制御部と、を備える塗布装置において、
    　前記吐出装置が、
    　液体材料を吐出する複数の吐出口を有するノズルと、
    　前記複数の吐出口と複数の吐出流路を介して連通する液室と、
    　前記液室内の液体材料に接触する吐出部材と、を備え、
    　前記吐出部材により前記液室内の液体材料に慣性力を与えて前記複数の吐出口から同時に吐出し、塗布対象物上で複数の液滴を形成可能な吐出装置であって、
    　前記複数の吐出口が、直線であるノズル配置線に沿って前記ノズルに配置されること、
    　前記制御部が、前記ノズル配置線を描画線の描画方向と一致させた状態で、前記複数の吐出口から、吐出された複数の液塊が塗布対象物に着弾する前に接触せず、且つ、前記ノズル配置線に沿って着弾した液体材料が塗布対象物上で結合するように液体材料を吐出して線状塗布を行うことを特徴とする塗布装置。
  13. 　前記制御部が、前記吐出装置と前記ワークテーブルとを一定の速度Ｖｃを保持してノズル配置線と同じ方向に相対移動させながら、前記吐出された複数の液塊の少なくとも一つが、直前に吐出された塗布対象物上の液体材料に結合して描画線を形成するように、前記吐出装置と前記ワークテーブルとの相対移動速度に基づき吐出のタイミングを一定の間隔Ｔｃとして線状塗布を行うことを特徴とする請求項１２に記載の塗布装置。
  14. 　前記制御部が、前記吐出部材の推進力を調節することにより、前記吐出された複数の液塊が塗布対象物に着弾する前に接触せず、且つ、前記ノズル配置線に沿って着弾した液体材料が塗布対象物上で結合するように液体材料を吐出することを特徴とする請求項１２または１３に記載の塗布装置。
  15. 　前記複数の吐出流路が、前記複数の吐出流路の各中心線が前記ノズルの中心線と交わるように、傾斜をもって配置されていることを特徴とする請求項１２ないし１４のいずれかに記載の塗布装置。
  16. 　前記複数の吐出口のいずれもが、前記ノズル配置線上に配置されることを特徴とする請求項１２ないし１５のいずれかに記載の塗布装置。
  17. 　前記複数の吐出口がいずれも同一形状であり、等ピッチに配置されることを特徴とする請求項１２ないし１６のいずれかに記載の塗布装置。
  18. 　前記複数の吐出口が偶数個の吐出口からなり、二個の大型吐出口と、二個の小型吐出口とを含み、吐出口のいずれもが前記ノズル配置線上に配置されること、並びに、
    　前記小型吐出口と前記大型吐出口とが前記ノズル配置線に沿って交互に配置されることを特徴とする請求項１２ないし１７いずれかに記載の塗布装置。
  19. 　前記複数の吐出口が偶数個の吐出口からなり、二個の大型吐出口と、二個の小型吐出口群とを含み、前記大型吐出口のいずれもが前記ノズル配置線上に配置されること、
    　前記小型吐出口群と前記大型吐出口とが前記ノズル配置線に沿って交互に配置されること、並びに、
    　前記小型吐出口群が、前記ノズル配置線に対して対称に配置された複数の小型吐出口から構成されることを特徴とする請求項１２ないし１７いずれかに記載の塗布装置。
  20. 　前記吐出装置または前記ワークテーブルが、回転機構を備え、
    　前記制御部が、前記回転機構により、前記ノズル配置線を前記描画線の描画方向と一致させることを特徴とする請求項１２ないし１９のいずれかに記載の塗布装置。
  21. 　前記駆動装置が、前記吐出装置と前記ワークテーブルとを相対的に直線移動可能な一軸駆動機構を含み、
    　前記ノズル配置線が前記一軸駆動機構の駆動方向と一致して配置されることを特徴とする請求項１２ないし２０のいずれかに記載の塗布装置。
  22. 　前記ノズルが、前記吐出装置に対し着脱自在に固定されており、
    　前記吐出装置が、前記ノズル配置線の方向が前記吐出装置に対して一定になるように前記ノズルを取り付け可能とする位置決め機構を有することを特徴とする請求項１２ないし２１のいずれかに記載の塗布装置。
  23. 　前記吐出装置が、
    　前記液室より小径であり、先端部が液室内を進退動するプランジャーと、
    　前記プランジャーを進退動させるプランジャー往復移動装置と、
    　前記液室に液体材料を供給する液送装置と、を備え、
    　前記プランジャーの先端部の側面と前記液室の内側壁が非接触の状態でプランジャーを進出移動および進出停止することで液体材料に慣性力を与えて前記複数の吐出口から同時に吐出することを特徴とする請求項１２ないし２２のいずれかに記載の塗布装置。
PCT/JP2015/056800 2014-03-10 2015-03-09 塗布装置および塗布方法 WO2015137271A1 (ja)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201580013122.7A CN106102933B (zh) 2014-03-10 2015-03-09 涂布装置及涂布方法
US15/122,552 US10449565B2 (en) 2014-03-10 2015-03-09 Application device and application method
KR1020167022678A KR102314565B1 (ko) 2014-03-10 2015-03-09 도포 장치 및 도포 방법
EP15761373.8A EP3117909A4 (en) 2014-03-10 2015-03-09 Application device and application method
JP2016507728A JP6538649B2 (ja) 2014-03-10 2015-03-09 塗布装置および塗布方法

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2014-046978 2014-03-10
JP2014046978 2014-03-10

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2015137271A1 true WO2015137271A1 (ja) 2015-09-17

Family

ID=54071716

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/JP2015/056800 WO2015137271A1 (ja) 2014-03-10 2015-03-09 塗布装置および塗布方法

Country Status (7)

Country Link
US (1) US10449565B2 (ja)
EP (1) EP3117909A4 (ja)
JP (1) JP6538649B2 (ja)
KR (1) KR102314565B1 (ja)
CN (1) CN106102933B (ja)
TW (2) TWI739365B (ja)
WO (1) WO2015137271A1 (ja)

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2018066660A1 (ja) * 2016-10-07 2018-04-12 武蔵エンジニアリング株式会社 温調装置付き液体材料吐出装置、その塗布装置および塗布方法
WO2018221432A1 (ja) 2017-05-31 2018-12-06 武蔵エンジニアリング株式会社 液体材料塗布方法および当該方法を実施するための装置
WO2019088237A1 (ja) * 2017-11-02 2019-05-09 武蔵エンジニアリング株式会社 液体材料塗布装置および塗布方法
US10749082B2 (en) 2018-02-28 2020-08-18 Nichia Corporation Method of manufacturing light emitting device and light emitting device
JPWO2019069379A1 (ja) * 2017-10-03 2020-10-22 堺ディスプレイプロダクト株式会社 ノズルアダプタ、ノズルアダプタセット、塗布装置および塗布システム
WO2021182146A1 (ja) 2020-03-11 2021-09-16 武蔵エンジニアリング株式会社 面状液膜形成方法および面状液膜形成装置
JP2022503800A (ja) * 2018-09-24 2022-01-12 ノードソン コーポレーション 布地接着のためのノズル及びアプリケータシステム

Families Citing this family (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
ES2864353T3 (es) * 2013-12-06 2021-10-13 Musashi Eng Inc Dispositivo de aplicación de material líquido
JP6452147B2 (ja) * 2015-01-19 2019-01-16 武蔵エンジニアリング株式会社 液体材料吐出装置
CN105710003B (zh) * 2016-01-22 2018-09-11 京东方科技集团股份有限公司 一种物料涂布设备及其控制方法
JP6778426B2 (ja) * 2016-09-20 2020-11-04 武蔵エンジニアリング株式会社 液体材料吐出装置
JP2018192551A (ja) * 2017-05-16 2018-12-06 セイコーエプソン株式会社 制御装置、ロボットおよびロボットシステム
JP7200112B2 (ja) * 2017-08-09 2023-01-06 株式会社 資生堂 吐出容器、該吐出容器を有するカスタマイズ吐出システム、該吐出容器における吐出制御方法
CN107774517A (zh) * 2017-11-29 2018-03-09 苏州特瑞特机器人有限公司 桌面型点胶机器人
EP3769855B1 (en) * 2018-03-20 2024-03-13 Musashi Engineering, Inc. Liquid material ejecting apparatus
CN108906548B (zh) * 2018-07-06 2021-08-24 Tcl华星光电技术有限公司 一种图形化膜层的制备方法、涂布装置
CN109395969A (zh) * 2018-11-26 2019-03-01 深圳市锐德精密科技有限公司 机械式喷射阀
CN114051432A (zh) * 2019-07-03 2022-02-15 诺信公司 具有四个自由度的流体分配器
CN111318420B (zh) * 2020-03-02 2021-05-25 紫光日东科技（深圳）有限公司 一种基于位置控制的喷射点胶方法
CN113019841B (zh) * 2021-03-04 2023-03-17 业成科技（成都）有限公司 水胶涂布方法及其多点压电式喷涂装置
CN113369095B (zh) * 2021-06-18 2023-03-21 业成科技（成都）有限公司 免框胶式胶合结构的制作方法
CN114226164A (zh) * 2021-12-18 2022-03-25 惠州市信宇人科技有限公司 电极材料的涂布方法、精密程控式涂布供料的呑吐阀及其涂布头
WO2024165965A1 (en) * 2023-02-09 2024-08-15 Dolcini Antonella Device for glazing objects such as ceramic slabs and tiles

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11204529A (ja) * 1998-01-19 1999-07-30 Seiko Epson Corp パターン形成方法および基板製造装置
JP2004004803A (ja) * 2000-11-21 2004-01-08 Seiko Epson Corp 材料の吐出方法、及び吐出装置、カラーフィルタの製造方法及び製造装置、液晶装置の製造方法及び製造装置、ｅｌ装置の製造方法及び製造装置、並びに電子機器
JP2008055840A (ja) * 2006-09-01 2008-03-13 Canon Inc 一定方向へのみへプリントするシリアル型インクジェットプリンタ、もしくは、微小液滴配置装置
JP2013224006A (ja) * 2012-03-23 2013-10-31 Riso Kagaku Corp インクジェット印刷装置
JP2014037115A (ja) * 2012-08-20 2014-02-27 Riso Kagaku Corp インクジェット印刷装置

Family Cites Families (31)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6253957B1 (en) 1995-11-16 2001-07-03 Nordson Corporation Method and apparatus for dispensing small amounts of liquid material
US5747102A (en) 1995-11-16 1998-05-05 Nordson Corporation Method and apparatus for dispensing small amounts of liquid material
US6267266B1 (en) 1995-11-16 2001-07-31 Nordson Corporation Non-contact liquid material dispenser having a bellows valve assembly and method for ejecting liquid material onto a substrate
US20030121836A1 (en) 1998-05-01 2003-07-03 Lilie Glenn T. Solids raised screens
US6484885B1 (en) 1998-05-01 2002-11-26 Cpi Sales & Mfg., Inc. Solids raised screens
JP2002221616A (ja) 2000-11-21 2002-08-09 Seiko Epson Corp カラーフィルタの製造方法及び製造装置、液晶装置の製造方法及び製造装置、ｅｌ装置の製造方法及び製造装置、インクジェットヘッドの制御装置、材料の吐出方法及び材料の吐出装置、並びに電子機器
JP2003084125A (ja) * 2001-07-04 2003-03-19 Seiko Epson Corp カラーフィルタの製造方法及び製造装置、液晶表示装置の製造方法及び製造装置、ｅｌ発光層配設基板の製造方法及び製造装置、ｅｌ発光装置の製造方法及び製造装置、成膜方法及び成膜装置、電気光学装置及びその製造方法並びに電子機器
EP1461605A4 (en) * 2001-10-02 2009-10-21 Univ Northwestern PROTEIN AND PEPTIDE NANOARRAYS
ATE556786T1 (de) * 2001-10-17 2012-05-15 Musashi Engineering Inc Ausgabeverfahren für eine flüssigkeit und vorrichtung dafür
JP4225461B2 (ja) 2001-10-17 2009-02-18 武蔵エンジニアリング株式会社 液材の吐出方法およびその装置
EP1467868A4 (en) * 2002-01-02 2009-04-01 Jemtex Ink Jet Printing Ltd INK JET DEVICE
JP2003241208A (ja) * 2002-02-19 2003-08-27 Shibaura Mechatronics Corp 液晶滴下装置及び方法並びに液晶表示パネル製造装置
US7188919B2 (en) * 2002-07-08 2007-03-13 Canon Kabushiki Kaisha Liquid discharge method and apparatus using individually controllable nozzles
EP2095885B1 (en) * 2003-07-14 2017-08-02 Nordson Corporation Apparatus for dispensing discrete amounts of viscous material
JP3891164B2 (ja) * 2003-10-15 2007-03-14 セイコーエプソン株式会社 吐出装置
JP4647229B2 (ja) 2004-04-06 2011-03-09 武蔵エンジニアリング株式会社 液体材料の吐出装置
US20070145164A1 (en) * 2005-12-22 2007-06-28 Nordson Corporation Jetting dispenser with multiple jetting nozzle outlets
JP4356740B2 (ja) * 2006-11-29 2009-11-04 セイコーエプソン株式会社 配線パターン形成方法、デバイスおよび電子機器
KR101499597B1 (ko) * 2007-03-08 2015-03-06 무사시 엔지니어링 가부시키가이샤 액적 토출 장치 및 방법
KR101592443B1 (ko) * 2007-05-18 2016-02-18 무사시 엔지니어링 가부시키가이샤 액체 재료 토출 방법 및 장치
JP2009178627A (ja) * 2008-01-29 2009-08-13 Seiko Epson Corp 薄膜形成方法、カラーフィルタの製造方法
JP5250539B2 (ja) * 2009-02-27 2013-07-31 富士フイルム株式会社 線描画方法
JP5638768B2 (ja) 2009-04-24 2014-12-10 武蔵エンジニアリング株式会社 ノズル回転機構およびそれを備える塗布装置
JP5460172B2 (ja) * 2009-08-11 2014-04-02 富士フイルム株式会社 線描画装置及び線描画方法
JP5599205B2 (ja) * 2010-03-17 2014-10-01 富士フイルム株式会社 インプリントシステム
US8753713B2 (en) * 2010-06-05 2014-06-17 Nordson Corporation Jetting dispenser and method of jetting highly cohesive adhesives
JP5685467B2 (ja) * 2010-09-16 2015-03-18 富士フイルム株式会社 パターン形成方法及びパターン形成装置
JP5779353B2 (ja) * 2011-01-19 2015-09-16 武蔵エンジニアリング株式会社 液体材料の塗布方法、塗布装置およびプログラム
TWI573629B (zh) * 2011-03-01 2017-03-11 斯克林集團公司 基板處理裝置及基板處理方法
JP5806868B2 (ja) * 2011-07-11 2015-11-10 武蔵エンジニアリング株式会社 液滴吐出装置および方法
US9242493B2 (en) * 2013-11-15 2016-01-26 Memjet Technology Ltd. Printer assembly having liftable carriage and external datum arrangement

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11204529A (ja) * 1998-01-19 1999-07-30 Seiko Epson Corp パターン形成方法および基板製造装置
JP2004004803A (ja) * 2000-11-21 2004-01-08 Seiko Epson Corp 材料の吐出方法、及び吐出装置、カラーフィルタの製造方法及び製造装置、液晶装置の製造方法及び製造装置、ｅｌ装置の製造方法及び製造装置、並びに電子機器
JP2008055840A (ja) * 2006-09-01 2008-03-13 Canon Inc 一定方向へのみへプリントするシリアル型インクジェットプリンタ、もしくは、微小液滴配置装置
JP2013224006A (ja) * 2012-03-23 2013-10-31 Riso Kagaku Corp インクジェット印刷装置
JP2014037115A (ja) * 2012-08-20 2014-02-27 Riso Kagaku Corp インクジェット印刷装置

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
See also references of EP3117909A4 *

Cited By (25)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2018066660A1 (ja) * 2016-10-07 2018-04-12 武蔵エンジニアリング株式会社 温調装置付き液体材料吐出装置、その塗布装置および塗布方法
US11426750B2 (en) 2016-10-07 2022-08-30 Musashi Engineering, Inc. Liquid material discharge device with temperature control device, application device for same, and application method
CN109789435B (zh) * 2016-10-07 2022-02-22 武藏工业株式会社 附调温装置的液体材料吐出装置、其涂布装置及涂布方法
CN109789435A (zh) * 2016-10-07 2019-05-21 武藏工业株式会社 附调温装置的液体材料吐出装置、其涂布装置及涂布方法
JPWO2018066660A1 (ja) * 2016-10-07 2019-08-15 武蔵エンジニアリング株式会社 温調装置付き液体材料吐出装置、その塗布装置および塗布方法
JPWO2018221432A1 (ja) * 2017-05-31 2020-04-16 武蔵エンジニアリング株式会社 液体材料塗布方法および当該方法を実施するための装置
US11958072B2 (en) 2017-05-31 2024-04-16 Musashi Engineering, Inc. Liquid material application method and device for implementing said method
KR20200012826A (ko) 2017-05-31 2020-02-05 무사시 엔지니어링 가부시키가이샤 액체 재료 도포 방법 및 그 방법을 실시하기 위한 장치
WO2018221432A1 (ja) 2017-05-31 2018-12-06 武蔵エンジニアリング株式会社 液体材料塗布方法および当該方法を実施するための装置
JP7100373B2 (ja) 2017-05-31 2022-07-13 武蔵エンジニアリング株式会社 液体材料塗布方法および当該方法を実施するための装置
JP7007394B2 (ja) 2017-10-03 2022-01-24 堺ディスプレイプロダクト株式会社 ノズルアダプタ、ノズルアダプタセット、塗布装置および塗布システム
JPWO2019069379A1 (ja) * 2017-10-03 2020-10-22 堺ディスプレイプロダクト株式会社 ノズルアダプタ、ノズルアダプタセット、塗布装置および塗布システム
US11433415B2 (en) 2017-10-03 2022-09-06 Sakai Display Products Corporation Nozzle adapter, nozzle adapter set, application device, and application system
US11001085B2 (en) 2017-11-02 2021-05-11 Musashi Engineering, Inc. Liquid material application device and application method
WO2019088237A1 (ja) * 2017-11-02 2019-05-09 武蔵エンジニアリング株式会社 液体材料塗布装置および塗布方法
JP7098169B2 (ja) 2017-11-02 2022-07-11 武蔵エンジニアリング株式会社 液体材料塗布装置および塗布方法
JPWO2019088237A1 (ja) * 2017-11-02 2020-11-12 武蔵エンジニアリング株式会社 液体材料塗布装置および塗布方法
US11257993B2 (en) 2018-02-28 2022-02-22 Nichia Corporation Method of manufacturing light emitting device and light emitting device
US10749082B2 (en) 2018-02-28 2020-08-18 Nichia Corporation Method of manufacturing light emitting device and light emitting device
JP2022503800A (ja) * 2018-09-24 2022-01-12 ノードソン コーポレーション 布地接着のためのノズル及びアプリケータシステム
JP7410136B2 (ja) 2018-09-24 2024-01-09 ノードソン コーポレーション 布地接着のためのノズル及びアプリケータシステム
WO2021182146A1 (ja) 2020-03-11 2021-09-16 武蔵エンジニアリング株式会社 面状液膜形成方法および面状液膜形成装置
CN115279504A (zh) * 2020-03-11 2022-11-01 武藏工业株式会社 面状液膜形成方法及面状液膜形成装置
KR20220148232A (ko) 2020-03-11 2022-11-04 무사시 엔지니어링 가부시키가이샤 면형 액막 형성 방법 및 면형 액막 형성 장치
CN115279504B (zh) * 2020-03-11 2023-12-01 武藏工业株式会社 面状液膜形成方法及面状液膜形成装置

Also Published As

Publication number Publication date
CN106102933A (zh) 2016-11-09
KR20160132381A (ko) 2016-11-18
TWI739365B (zh) 2021-09-11
CN106102933B (zh) 2021-03-12
EP3117909A1 (en) 2017-01-18
KR102314565B1 (ko) 2021-10-18
TW202031363A (zh) 2020-09-01
TW201544186A (zh) 2015-12-01
JPWO2015137271A1 (ja) 2017-04-06
US20170066005A1 (en) 2017-03-09
US10449565B2 (en) 2019-10-22
JP6538649B2 (ja) 2019-07-03
TWI692379B (zh) 2020-05-01
EP3117909A4 (en) 2017-10-25

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO2015137271A1 (ja) 塗布装置および塗布方法
JP7098169B2 (ja) 液体材料塗布装置および塗布方法
KR100683443B1 (ko) 재료 액적 분배 방법
JP7100373B2 (ja) 液体材料塗布方法および当該方法を実施するための装置
TWI606764B (zh) 材料沉積系統以及用於將材料沉積於基板上的方法
CN110678270B (zh) 液体材料涂布装置及液体材料涂布方法
JP7291117B2 (ja) エネルギ出力装置を伴う噴射装置およびその制御方法
JP7157957B2 (ja) インクジェットヘッド、インクジェット塗布装置、およびインクジェット塗布方法
WO2015186743A1 (ja) 液体材料滴下装置および方法
JP7123398B2 (ja) 流体エジェクタ
JP4415301B2 (ja) 塗工装置
JP6780731B2 (ja) 吐出装置
KR20220148232A (ko) 면형 액막 형성 방법 및 면형 액막 형성 장치
JP2017039232A (ja) 液体吐出ヘッドの製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 15761373

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

DPE1 Request for preliminary examination filed after expiration of 19th month from priority date (pct application filed from 20040101)
ENP Entry into the national phase

Ref document number: 2016507728

Country of ref document: JP

Kind code of ref document: A

ENP Entry into the national phase

Ref document number: 20167022678

Country of ref document: KR

Kind code of ref document: A

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 15122552

Country of ref document: US

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE

REEP Request for entry into the european phase

Ref document number: 2015761373

Country of ref document: EP

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 2015761373

Country of ref document: EP