WO2015129097A1 - ファイバレーザ装置及びその異常検出方法 - Google Patents

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祐司 松岡
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    • H01S3/094—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping using optical pumping by coherent light
    • H01S3/09408—Pump redundancy

Definitions

  • the present invention relates to a fiber laser device and an abnormality detection method thereof, and more particularly to a fiber laser device that optically combines and emits laser beams from a plurality of fiber laser units and an abnormality detection method thereof.
  • a fiber laser device has been developed that can provide a high output of kilowatts by providing a plurality of fiber laser units and combining the laser outputs from each fiber laser unit. ing.
  • the amount of excess loss such as a loss at the fusion part or a loss due to the generation of a higher-order mode due to bending of the fiber may increase.
  • Such excessive loss increases the amount of heat generation, and the heat generation due to the excessive loss may directly lead to a failure such as a fiber breakage.
  • a high-power fiber laser device is often provided with means for detecting an abnormality such as a fiber breakage.
  • Patent Document 1 as a method of detecting an abnormality in such a fiber laser device, a laser beam leaking from a fusion part inside the fiber laser device when a malfunction occurs is detected by an imaging means (photodetector), Thus, a technique for detecting breakage of an optical component in a fiber laser device is disclosed.
  • this method it is necessary to preliminarily estimate a portion where damage is likely to occur and to arrange an imaging means (photodetector) for each portion, and the optical fiber is disconnected at a place other than the place where the damage is estimated. In such a case, such an abnormality cannot be detected. Therefore, when there is a portion where damage is likely to occur over a wide range, a large number of imaging means are required, which increases the cost of the apparatus.
  • the present invention has been made in view of such problems of the prior art, and it is a first object to provide a fiber laser device capable of detecting an optical fiber abnormality in the device over a wide range with an inexpensive configuration. The purpose.
  • the present invention also provides a fiber laser apparatus abnormality detection method capable of detecting an abnormality of an optical fiber in the apparatus over a wide range with a low-cost configuration in a fiber laser apparatus including a plurality of fiber laser units. Is the second purpose.
  • a fiber laser device capable of detecting an optical fiber abnormality in the device over a wide range with an inexpensive configuration.
  • the fiber laser device includes a plurality of fiber laser units each including an amplification optical fiber capable of amplifying laser light, a pumping light source that supplies pumping light to the amplification optical fiber, and an optical resonator that oscillates the laser light.
  • a combiner that optically combines the output laser beams output from the plurality of fiber laser units to generate a combined laser beam, a laser emitting unit that emits the combined laser beam generated by the combiner, and the plurality A plurality of output laser beam power detectors for detecting the power of the output laser beam output from each of the optical resonators of the fiber laser unit, and a coupled laser beam for detecting the power of the coupled laser beam generated by the combiner And a power detection unit.
  • the fiber laser device includes a summing unit that calculates a summed laser beam power obtained by summing the powers of the output laser beams detected by the output laser beam power detecting units of the plurality of fiber laser units, and a summing laser calculated by the summing unit.
  • a comparison unit that compares the optical power with the power of the combined laser beam detected by the combined laser beam power detection unit, and a ratio of the combined laser beam power to the combined laser beam power is below a predetermined threshold T
  • an abnormality detection unit having a determination unit that determines that an abnormality has occurred in at least one of the plurality of fiber laser units.
  • the optical fiber includes an amplification optical fiber capable of amplifying laser light, a pumping light source that supplies pumping light to the amplification optical fiber, and an optical resonator that oscillates the laser light.
  • a method for detecting an abnormality in a fiber laser device that emits a combined laser beam obtained by optically combining output laser beams output from a plurality of fiber laser units by a combiner.
  • the power of the output laser light output from the optical resonator of each of the plurality of fiber laser units is detected, the power of the combined laser light on the downstream side of the combiner is detected, and the detected power is detected.
  • the power of the output laser beams from the plurality of fiber laser units is summed to calculate the total laser beam power, and the total laser beam power is compared with the detected combined laser beam power.
  • a predetermined threshold T it is determined that an abnormality has occurred in at least one of the plurality of fiber laser units.
  • the predetermined threshold T may be set to (U-1) / U, where U is the number of the plurality of fiber laser units. At this time, when the ratio of the combined laser beam power to the combined laser beam power falls below the predetermined threshold T, the determination unit of the abnormality detector detects an abnormality in one of the plurality of fiber laser units. Is determined to have occurred.
  • the predetermined threshold T may be set to (U ⁇ n) / U, where the number of the plurality of fiber laser units is U, and an integer between 1 and U is n. In this case, when the ratio of the combined laser beam power to the combined laser beam power falls below the predetermined threshold T, the determination unit of the abnormality detection unit includes n units of the plurality of fiber laser units. It is determined that an abnormality has occurred.
  • the predetermined threshold value is set such that the number of the plurality of fiber laser units is U, the power detection accuracy in the output laser light power detection unit is ⁇ ⁇ , and the power detection accuracy in the combined laser light power detection unit is ⁇ ⁇ .
  • T may be set so as to satisfy the following inequality.
  • the number of the plurality of fiber laser units is U, an integer between 1 and U is n, the power detection accuracy in the output laser beam power detector is ⁇ ⁇ , and the power detection accuracy in the coupled laser beam power detector. May be set to ⁇ ⁇ , and the predetermined threshold T may be set so as to satisfy the following inequality. At this time, when the ratio of the combined laser beam power to the combined laser beam power falls below the predetermined threshold T, the determination unit of the abnormality detection unit abnormally detects n of the plurality of fiber laser units. Is determined to have occurred.
  • the abnormality detection unit includes a drive control unit that sequentially controls at least one fiber laser unit among the plurality of fiber laser units by controlling a current supplied to an excitation light source of the plurality of fiber laser units. It may be.
  • the determination unit of the abnormality detection unit performs the drive control based on the difference between the combined laser light power calculated by the summation unit and the combined laser light power detected by the combined laser light power detection unit.
  • a fiber laser unit in which an abnormality has occurred is identified from at least one fiber laser unit driven by the unit.
  • the combined laser beam power detector may include a photodetector that receives light leaked from a fused portion provided in an optical fiber connecting the combiner and the laser emitting unit. In this case, if this photodetector is arranged on the downstream side of the fused portion, the influence of the return light that is reflected by the workpiece and returned from the coupled laser beam emitted from the fiber laser device can be reduced. Can do.
  • the total power of the output laser beams (total laser beam power) obtained by the output laser beam power detector of each fiber laser unit and the combiner that combines the output laser beams of the fiber laser unit are installed downstream.
  • the fiber breakage between the output laser beam power detection unit of each fiber laser unit and the coupled laser beam power detection unit downstream thereof It is possible to detect whether or not an abnormality such as the above has occurred. That is, as long as an abnormality such as a fiber breakage occurs at any location between the output laser light power detection unit and the combined laser light power detection unit, the abnormality can be detected.
  • each fiber laser unit with two detection units, ie, an output laser beam power detection unit and a combined laser beam power detection unit, over a wide range from the output laser beam power detection unit to the combined laser beam power detection unit.
  • An optical fiber abnormality can be detected.
  • the cost of the fiber laser device can be reduced.
  • FIG. 1 is a diagram schematically showing a configuration of a fiber laser device according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 is a diagram schematically showing one configuration of the fiber laser unit of the fiber laser apparatus of FIG.
  • FIG. 3 is a graph illustrating a threshold value for determining that an abnormality has occurred in the fiber laser unit in one embodiment of the present invention.
  • FIG. 4 is a graph illustrating a threshold value for determining that an abnormality has occurred in the fiber laser unit in one embodiment of the present invention.
  • FIG. 5 is a graph illustrating threshold values for determining anomalies due to return light reflected from a workpiece in an embodiment of the present invention.
  • FIGS. 1 to 5 the same or corresponding components are denoted by the same reference numerals, and redundant description is omitted.
  • FIG. 1 is a diagram schematically showing a configuration of a fiber laser device 100 according to an embodiment of the present invention.
  • the fiber laser device 100 outputs a plurality of fiber laser units 110 (seven fiber laser units 110 in the example shown in FIG. 1) capable of outputting laser light and the fiber laser units 110.
  • a combiner 120 that combines the laser beams (output laser beams) and a laser emitting unit 130 that emits the laser beams combined by the combiner 120 toward an object to be processed.
  • FIG. 2 is a diagram schematically showing one of the plurality of fiber laser units 110.
  • the fiber laser unit 110 is connected to the amplification optical fiber 112 to which a rare earth element such as Yb (ytterbium) is added and the first end 112A side of the amplification optical fiber 112.
  • a rare earth element such as Yb (ytterbium)
  • FBG fiber Bragg grating
  • a combiner 116A for combining pumping lights from the plurality of pumping light sources 114A, and amplification from the second end 112B of the amplifying optical fiber 112.
  • a plurality of excitation light sources 114B for introducing excitation light into the optical fiber 112 and excitation light from the plurality of excitation light sources 114B. And a wave to combiner 116B.
  • the excitation light sources 114A and 114B for example, a high-power multimode semiconductor laser (LD) having a wavelength of 915 nm can be used.
  • the excitation light from the excitation light source 114A is combined by the combiner 116A and introduced into the amplification optical fiber 112 from the highly reflective FBG 111 side.
  • the excitation light from the excitation light source 114B is combined by the combiner 116B and introduced into the amplification optical fiber 112 from the low reflection FBG 113 side.
  • the amplification optical fiber 112 preferably has a double clad structure including an inner clad and an outer clad lower than the refractive index of the inner clad.
  • a single clad optical fiber (delivery fiber) 118 extending to the outside of the fiber laser unit 110 is connected to the combiner 116B.
  • the high reflection FBG 111 and the low reflection FBG 113 are configured to reflect light having a wavelength corresponding to the wavelength of the laser light, and are arranged so as to satisfy a predetermined resonance condition.
  • the high-reflection FBG 111 and the low-reflection FBG 113 constitute an optical resonator 119 that oscillates the laser light generated in the amplification optical fiber 112.
  • the reflectance of the high reflection FBG 111 is preferably 90% to 100%, and the reflectance of the low reflection FBG 113 is preferably 30% or less.
  • Yb of the amplification optical fiber 112 is excited to emit emission light having a wavelength of 1000 nm band.
  • This Yb emission light is laser-oscillated at a wavelength of 1000 nm band by a high reflection FBG 111 and a low reflection FBG 113 arranged so as to satisfy a predetermined resonance condition.
  • a part of the laser light generated in the optical resonator 119 is reflected by the low reflection FBG 113 and returns to the amplification optical fiber 112, but most of the laser light passes through the low reflection FBG 113 and passes through the optical fiber 118 to be a fiber laser.
  • Output from the unit 110 as output laser light.
  • the output laser beams output from the respective fiber laser units 110 are combined by a combiner 120 to become a high-power coupled laser beam, and this coupled laser beam with this optical power is output from the laser emitting unit 130. Emitted.
  • each fiber laser unit 110 is provided with an output laser light power detector 170 that detects the power of the output laser light emitted from the optical resonator 119.
  • the output laser beam power detection unit 170 detects a leak light from the fused portion 118A formed in the optical fiber 118, and converts the detection signal of the photodetector 172 into the output laser beam power.
  • An output laser light power conversion unit 174 The signal line from the output laser light power conversion unit 174 is connected to a summation unit 162 of an abnormality detection unit 160 described later.
  • the fused portion 118A is covered with a resin having a higher refractive index than the clad of the optical fiber 118, and the photodetector 172 is disposed in the vicinity of the fused portion 118A.
  • the output laser beam power detection unit 170 is installed inside the fiber laser unit 110.
  • the output laser beam power detection unit 170 is arranged outside the fiber laser unit 110. May be.
  • the fiber laser device 100 includes a coupled laser beam power detection unit 140 that detects the power of the coupled laser beam coupled by the combiner 120.
  • the coupled laser beam power detection unit 140 includes a photodetector 142 that detects leakage light from the fused portion 150 ⁇ / b> A formed in the optical fiber 150 that connects the combiner 120 and the laser emitting unit 130, and the photodetector 142.
  • a coupled laser beam power conversion unit 144 that converts the detection signal into the coupled laser beam power (hereinafter referred to as coupled laser beam power).
  • the signal line from the combined laser beam power conversion unit 144 is connected to the comparison unit 164 of the abnormality detection unit 160 described later.
  • the fused portion 150A is covered with a resin having a refractive index higher than that of the clad of the optical fiber 150, and the photodetector 142 is disposed in the vicinity of the fused portion 150A.
  • the fiber laser device 100 includes an abnormality detection unit 160 that detects that an abnormality has occurred in the fiber laser unit 110.
  • the abnormality detection unit 160 includes a summation unit 162 that calculates a total laser light power obtained by summing the powers of the output laser beams input from the output laser beam power conversion units 174 corresponding to the fiber laser units 110, and a summation unit 162. Is used to detect that an abnormality has occurred in the fiber laser unit 110, and a comparison unit 164 that compares the combined laser beam power calculated in step 1 and the combined laser beam power input from the coupled laser beam power conversion unit 144.
  • a storage unit 166 that stores a threshold value and the like, and a determination unit 168 that determines whether an abnormality has occurred in the fiber laser unit 110 based on the comparison result in the comparison unit 164 are provided.
  • the combined laser beam power obtained by the coupled laser beam power detector 140 is The power of the output laser beams obtained by the respective output laser beam power detectors 170 should be approximately equal to the total power. However, if there is any abnormality in the optical fiber 118 between the output laser light power detector 170 and the combiner 120 of any of the fiber laser units 110, the output laser light is supplied downstream from the abnormal part. Therefore, the combined laser beam power obtained by the coupled laser beam power detection unit 140 becomes smaller than the total power of the output laser beams obtained by the respective output laser beam power detection units 170.
  • the determination unit 168 in the present embodiment uses this phenomenon to determine whether or not an abnormality has occurred in the fiber laser unit 110.
  • the optical fiber 118 between the output laser light power detector 170 of each fiber laser unit 110 and the combiner 120 is normal, as shown by ⁇ in FIG.
  • the power and the combined laser beam power are almost the same value.
  • the determination unit 168 determines that the ratio of the combined laser beam power to the combined laser beam power is less than 6/7. It is determined that an abnormality has occurred in one unit. That is, in the example shown in FIG.
  • the threshold T (U ⁇ 1) / U is stored in the storage unit 166, and the ratio of the combined laser beam power to the combined laser beam power is stored in the storage unit 166.
  • the determination unit 168 determines that an abnormality has occurred in one of the fiber laser units 110.
  • the abnormality detection unit 160 includes a drive control unit 169 connected to the power sources of the excitation light sources 114 ⁇ / b> A and 114 ⁇ / b> B of each fiber laser unit 110.
  • the fiber laser units 110 can be sequentially driven one by one by controlling the current supplied to the excitation light sources 114A and 114B of the laser unit 110. If the determination unit 168 determines that an abnormality has occurred in one of the fiber laser units 110 as described above, the drive control unit 169 drives the fiber laser units 110 one by one in order. If there is no abnormality between the output laser light power detector 170 of the driven fiber laser unit 110 and the combiner 120, the combined laser light power and the combined laser light power show substantially the same value.
  • the fiber laser unit 110 is driven by the drive controller 169 one by one in order, and an abnormality occurs in the currently driven fiber laser unit 110 by comparing the combined laser beam power and the combined laser beam power. Can be determined.
  • a plurality of fiber laser units 110 are driven by the drive control unit 169, and the fiber laser unit 110 having an abnormality is identified based on the difference between the combined laser light power and the combined laser light power. Also good.
  • each fiber laser unit 110 is set to a different value for each fiber laser unit 110, and the fiber laser unit 110 having the output laser light power corresponding to the amount of decrease in the combined laser light power is specified. Thus, it is possible to determine the fiber laser unit in which an abnormality has occurred.
  • the total power (total laser light power) of the output laser light obtained by the output laser light power detector 170 of each fiber laser unit 110 and the output laser light of the fiber laser unit 110 are combined.
  • the output laser beam power detector 170 of each fiber laser unit 110 and the downstream thereof It is possible to detect whether or not an abnormality such as a fiber breakage has occurred with the coupled laser beam power detector 140. In other words, as long as an abnormality such as a fiber breakage occurs at any location between the output laser light power detector 170 and the combined laser light power detector 140, the abnormality can be detected.
  • each fiber laser unit 110 with two detection units, that is, an output laser beam power detection unit 170 and a combined laser beam power detection unit 140, the output laser beam power detection unit 170 to the combined laser beam power detection unit 140 are provided. It is possible to detect abnormalities in the optical fibers 118 and 150 over a wide range. Thus, since it is not necessary to provide a large number of detectors (photodetectors) in each fiber laser unit 110, the cost of the fiber laser device 100 can be reduced.
  • the total power of the output laser light obtained by the output laser light power detection unit 170 of each fiber laser unit 110 (total laser light power) and the power of the combined laser light obtained by the combined laser light power detection unit 140 Therefore, the abnormality generated between the output laser light power detector 170 and the combined laser light power detector 140 is not affected by the abnormality generated upstream of the output laser light power detector 170. Can be detected.
  • the output laser beam power decreases and is coupled. The power of the laser beam also decreases accordingly.
  • the output laser beam power detector 170 to the combined laser beam power detector 140 are not affected by the deterioration of the pump light sources 114A and 114B. It is possible to detect abnormalities occurring between the two.
  • the determination unit 168 determines that an abnormality has occurred in one of the fiber laser units 110, but an abnormality has occurred in a plurality of the fiber laser units 110. Can also be determined. That is, when an abnormality occurs in the plurality of fiber laser units 110, the coupled laser beam power is reduced in proportion to the number of fiber laser units 110 in which an abnormality has occurred. Therefore, if a plurality of threshold values T are stored in the storage unit 166 according to the number of the fiber laser units 110 and these threshold values T are compared with the ratio of the combined laser beam power to the combined laser beam power, an abnormality occurs. The number of the fiber laser units 110 can be determined.
  • FIG. 4 shows a plurality of threshold values set according to the number of fiber laser units 110.
  • N indicates the relationship between the combined laser light power and the combined laser light power when normal
  • T 1 to T 6 indicate that an abnormality occurred in one to six fiber laser units 110, respectively. It represents the threshold value for judging this.
  • T 7 0, but in order to determine that an abnormality has occurred on the wake side from the combiner 120, a value greater than 0 and less than T 6 is set in FIG. .
  • the power detection accuracy in the output laser light power detection unit 170 and the power detection accuracy in the combined laser light power detection unit 140 are not considered, but the threshold T is set in consideration of these detection accuracy. It is also possible to set. That is, if the number of the fiber laser units 110 is U, the power detection accuracy in the output laser light power detection unit 170 is ⁇ ⁇ , and the power detection accuracy in the coupled laser light power detection unit 140 is ⁇ ⁇ , the following inequality is satisfied.
  • the threshold value T may be set so as to.
  • the threshold value T may be set so as to satisfy the following inequality.
  • the output laser beam power detector 170 receives and detects the leaked light from the fused portion 118A by the photodetector 172, and the combined laser beam power detector 140 detects the leaked light from the fused portion 150A.
  • the present invention is not limited to this.
  • a part of the laser light propagating through the optical fiber 118 or 150 is extracted by an optical coupler and detected by the photodetector 172 or 142, or the optical fiber 118 or 150 is bent from the bent portion by bending the optical fiber 118 or 150.
  • a part of the laser beam propagating through the laser beam may be emitted and detected by the photodetector 172 or 142.
  • the photodetector 142 of the coupled laser beam power detection unit 140 is fused. It is preferable to arrange on the downstream side of 150A. Alternatively, if the coupled laser beam power detection unit 140 is disposed at a position where the return light can be received, such as the upstream side of the fusion unit 150A, the fiber laser device 100 is stopped when the return light exceeds an allowable amount. Is also possible. That is, when there is return light, the combined laser light power obtained by the combined laser light power detector 140 is larger than the normal combined laser power by the amount of the return light. Therefore, as shown in FIG.
  • a value larger than 1 is set as the threshold value R for determining that the return light is more than the allowable amount, and the ratio of the combined laser beam power to the total laser beam power is equal to or greater than this threshold value R.
  • the excitation light sources 114A and 114B and the combiners 116A and 116B are provided on both the high reflection FBG 111 side and the low reflection FBG 113 side.
  • An excitation light source and a combiner may be installed only on either the FBG 111 side or the low reflection FBG 113 side.
  • the present invention is suitably used for a fiber laser device that optically couples and emits laser beams from a plurality of fiber laser units.
  • Fiber laser device 110 Fiber laser unit 111 High reflection FBG 112 Amplifying optical fiber 112A First end 112B Second end 113 Low reflection FBG 114A, 114B Excitation light sources 116A, 116B Combiner 118 Optical fiber 118A Fusing unit 119 Optical resonator 120 Combiner 130 Laser emitting unit 140 Coupled laser light power detecting unit 142 Photo detector 144 Coupled laser light power converting unit 150 Optical fiber 150A Fusing Unit 160 abnormality detection unit 162 summation unit 164 comparison unit 166 storage unit 168 determination unit 169 drive control unit 170 output laser beam power detection unit 172 photodetector 174 output laser beam power conversion unit

Abstract

　安価な構成により広い範囲にわたって装置内の光ファイバの異常を検出することができるファイバレーザ装置を提供する。ファイバレーザ装置１００は、複数のファイバレーザユニット１１０と、ファイバレーザユニット１１０から出力される出力レーザ光を光学的に結合して結合レーザ光を生成するコンバイナ１２０と、結合レーザ光を出射するレーザ出射部１３０と、ファイバレーザユニット１１０のそれぞれの出力レーザ光のパワーを検出する出力レーザ光パワー検出部１７０と、結合レーザ光のパワーを検出する結合レーザ光パワー検出部１４０と、検出された出力レーザ光のパワーの合計（合算レーザ光パワー）と検出された結合レーザ光のパワーとを比較して、合算レーザ光パワーに対する結合レーザ光のパワーの比が所定の閾値Ｔを下回った場合にファイバレーザユニット１１０に異常が生じたものと判断する異常検出部１６０とを備える。

Description

ファイバレーザ装置及びその異常検出方法
　本発明は、ファイバレーザ装置及びその異常検出方法に係り、特に複数のファイバレーザユニットからのレーザ光を光学的に結合して出射するファイバレーザ装置及びその異常検出方法に関するものである。
　近年、ファイバレーザの高出力化が進んでおり、複数のファイバレーザユニットを設けてそれぞれのファイバレーザユニットからのレーザ出力を結合してキロワット級の高出力を得ることができるファイバレーザ装置が開発されている。このようなファイバレーザ装置では、高出力であるがゆえに、融着部での損失やファイバの曲げによる高次モードの発生による損失といった過剰損失分の光量が大きくなることがある。このような過剰損失によって発熱量も大きくなり、過剰損失による発熱がファイバの断線などの故障に直結してしまうことがある。このため、このような高出力のファイバレーザ装置には、ファイバの断線などの異常を検出する手段が設けられることが多い。
　例えば、特許文献１には、このようなファイバレーザ装置における異常を検出する方法として、ファイバレーザ装置内部の融着部から不具合発生時に漏れ出すレーザ光を撮像手段（光検出器）により検出し、これによりファイバレーザ装置内の光部品の破損を検出する技術が開示されている。しかしながら、この方法では、破損が生じる可能性のある部位を予め推定してその部位ごとに撮像手段（光検出器）を配置する必要があり、破損を推定した箇所以外の箇所で光ファイバの断線などが生じた場合には、そのような異常を検出することができない。したがって、破損が生じる可能性のある部位が広い範囲にわたって存在する場合には、多数の撮像手段が必要となり装置のコストが高くなってしまう。
特開２０１０－２３８７０９号公報
　本発明は、このような従来技術の問題点に鑑みてなされたもので、安価な構成により広い範囲にわたって装置内の光ファイバの異常を検出することができるファイバレーザ装置を提供することを第１の目的とする。
　また、本発明は、複数のファイバレーザユニットを備えたファイバレーザ装置において、安価な構成により広い範囲にわたって装置内の光ファイバの異常を検出することができるファイバレーザ装置の異常検出方法を提供することを第２の目的とする。
　本発明の第１の態様によれば、安価な構成により広い範囲にわたって装置内の光ファイバの異常を検出することができるファイバレーザ装置が提供される。このファイバレーザ装置は、レーザ光を増幅可能な増幅用光ファイバと、上記増幅用光ファイバに励起光を供給する励起光源と、上記レーザ光を発振させる光共振器とを有する複数のファイバレーザユニットと、上記複数のファイバレーザユニットから出力される出力レーザ光を光学的に結合して結合レーザ光を生成するコンバイナと、上記コンバイナにより生成された結合レーザ光を出射するレーザ出射部と、上記複数のファイバレーザユニットのそれぞれの上記光共振器から出力される出力レーザ光のパワーを検出する複数の出力レーザ光パワー検出部と、上記コンバイナにより生成された結合レーザ光のパワーを検出する結合レーザ光パワー検出部とを備えている。ファイバレーザ装置は、上記複数のファイバレーザユニットの出力レーザ光パワー検出部により検出された出力レーザ光のパワーを合計した合算レーザ光パワーを算出する合算部と、上記合算部により算出された合算レーザ光パワーと上記結合レーザ光パワー検出部により検出された結合レーザ光のパワーとを比較する比較部と、上記合算レーザ光パワーに対する上記結合レーザ光のパワーの比が所定の閾値Ｔを下回った場合に、上記複数のファイバレーザユニットのうちの少なくとも１台に異常が生じたものと判断する判定部とを有する異常検出部を備えている。
　本発明の第２の態様によれば、レーザ光を増幅可能な増幅用光ファイバと、上記増幅用光ファイバに励起光を供給する励起光源と、上記レーザ光を発振させる光共振器とを有する複数のファイバレーザユニットから出力される出力レーザ光をコンバイナで光学的に結合した結合レーザ光を出射するファイバレーザ装置における異常を検出する方法が提供される。この方法では、上記複数のファイバレーザユニットのそれぞれの上記光共振器から出力される出力レーザ光のパワーを検出し、上記コンバイナの下流側での上記結合レーザ光のパワーを検出し、上記検出された上記複数のファイバレーザユニットからの出力レーザ光のパワーを合計して合算レーザ光パワーを算出し、上記合算レーザ光パワーと上記検出された結合レーザ光のパワーとを比較し、上記合算レーザ光パワーに対する上記結合レーザ光のパワーの比が所定の閾値Ｔを下回った場合に、上記複数のファイバレーザユニットのうちの少なくとも１台に異常が生じたものと判断する。
　上記複数のファイバレーザユニットの台数をＵとして、上記所定の閾値Ｔを（Ｕ－１）／Ｕに設定してもよい。このとき、上記異常検出部の判定部は、上記合算レーザ光パワーに対する上記結合レーザ光のパワーの比が上記所定の閾値Ｔを下回った場合に、複数のファイバレーザユニットのうちの１台に異常が生じたものと判断する。あるいは、上記複数のファイバレーザユニットの台数をＵ、１以上Ｕ以下の整数をｎとして、上記所定の閾値Ｔを（Ｕ－ｎ）／Ｕに設定してもよい。この場合には、上記異常検出部の判定部は、上記合算レーザ光パワーに対する上記結合レーザ光のパワーの比が上記所定の閾値Ｔを下回った場合に、上記複数のファイバレーザユニットのうちｎ台に異常が生じたものと判断する。
　さらに、上記複数のファイバレーザユニットの台数をＵ、上記出力レーザ光パワー検出部におけるパワーの検出精度を±α、上記結合レーザ光パワー検出部におけるパワーの検出精度を±βとして、上記所定の閾値Ｔを下記の不等式を満足するように設定してもよい。このとき、上記異常検出部の判定部は、上記合算レーザ光パワーに対する上記結合レーザ光のパワーの比が上記所定の閾値Ｔを下回った場合に、複数のファイバレーザユニットのうちの１台に異常が生じたものと判断する。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000005
　また、上記複数のファイバレーザユニットの台数をＵ、１以上Ｕ以下の整数をｎ、上記出力レーザ光パワー検出部におけるパワーの検出精度を±α、上記結合レーザ光パワー検出部におけるパワーの検出精度を±βとして、上記所定の閾値Ｔを下記の不等式を満足するように設定してもよい。このとき、上記異常検出部の判定部は、上記合算レーザ光パワーに対する上記結合レーザ光のパワーの比が上記所定の閾値Ｔを下回った場合に、複数のファイバレーザユニットのうちのｎ台に異常が生じたものと判断する。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000006
　さらに、上記異常検出部は、上記複数のファイバレーザユニットの励起光源に供給する電流を制御して上記複数のファイバレーザユニットのうち少なくとも１台のファイバレーザユニットを順番に駆動させる駆動制御部を備えていてもよい。このとき、上記異常検出部の判定部は、上記合算部により算出された合算レーザ光パワーと上記結合レーザ光パワー検出部により検出された結合レーザ光のパワーとの相違に基づいて、上記駆動制御部により駆動されている少なくとも１台のファイバレーザユニットから異常が生じているファイバレーザユニットを特定する。
　また、上記結合レーザ光パワー検出部は、上記コンバイナと上記レーザ出射部とを接続する光ファイバに設けられた融着部からの漏れ光を受光する光検出器を有していてもよい。この場合において、この光検出器を上記融着部の後流側に配置すれば、ファイバレーザ装置から出射された結合レーザ光が加工物で反射して戻ってくる戻り光の影響を低減することができる。
　本発明によれば、各ファイバレーザユニットの出力レーザ光パワー検出部により得られる出力レーザ光のパワーの合計（合算レーザ光パワー）と、ファイバレーザユニットの出力レーザ光を結合するコンバイナの下流に設置された結合レーザ光パワー検出部により得られる結合レーザ光パワーとを比較することにより、各ファイバレーザユニットの出力レーザ光パワー検出部とその下流にある結合レーザ光パワー検出部との間でファイバ断線などの異常が生じているか否かを検出することができる。すなわち、出力レーザ光パワー検出部と結合レーザ光パワー検出部との間であれば、いずれの箇所でファイバ断線などの異常が生じてもその異常を検出することができる。したがって、出力レーザ光パワー検出部と結合レーザ光パワー検出部という２つの検出部を各ファイバレーザユニットに設けるだけで、出力レーザ光パワー検出部から結合レーザ光パワー検出部までの間の広い範囲にわたって光ファイバの異常を検出することが可能となる。このように、各ファイバレーザユニットに多数の検出部（光検出器）を設ける必要がなくなるため、ファイバレーザ装置のコストを低減することができる。
図１は、本発明の一実施形態におけるファイバレーザ装置の構成を模式的に示す図である。 図２は、図１のファイバレーザ装置のファイバレーザユニットの１つの構成を模式的に示す図である。 図３は、本発明の一実施形態においてファイバレーザユニットに異常が生じたことを判定するための閾値を説明するグラフである。 図４は、本発明の一実施形態においてファイバレーザユニットに異常が生じたことを判定するための閾値を説明するグラフである。 図５は、本発明の一実施形態において加工物から反射した戻り光による異常を判定するための閾値を説明するグラフである。
　以下、本発明に係るファイバレーザ装置の実施形態について図１から図５を参照して詳細に説明する。なお、図１から図５において、同一又は相当する構成要素には、同一の符号を付して重複した説明を省略する。
　図１は、本発明の一実施形態におけるファイバレーザ装置１００の構成を模式的に示す図である。図１に示すように、ファイバレーザ装置１００は、レーザ光を出力可能な複数のファイバレーザユニット１１０（図１に示す例では７台のファイバレーザユニット１１０）と、ファイバレーザユニット１１０のそれぞれから出力されるレーザ光（出力レーザ光）を合波するコンバイナ１２０と、コンバイナ１２０により結合されたレーザ光を例えば被処理物に向けて出射するレーザ出射部１３０とを備えている。
　図２は、複数のファイバレーザユニット１１０のうちの１つを模式的に示す図である。図２に示すように、ファイバレーザユニット１１０は、例えばＹｂ（イッテルビウム）などの希土類元素が添加された増幅用光ファイバ１１２と、増幅用光ファイバ１１２の第１の端部１１２Ａ側に接続された高反射ファイバブラッググレーティング（Fiber Bragg Grating（ＦＢＧ））１１１と、増幅用光ファイバ１１２の第２の端部１１２Ｂ側に接続された低反射ＦＢＧ１１３と、増幅用光ファイバ１１２の第１の端部１１２Ａから増幅用光ファイバ１１２に励起光を導入する複数の励起光源１１４Ａと、複数の励起光源１１４Ａからの励起光を合波するコンバイナ１１６Ａと、増幅用光ファイバ１１２の第２の端部１１２Ｂから増幅用光ファイバ１１２に励起光を導入する複数の励起光源１１４Ｂと、複数の励起光源１１４Ｂからの励起光を合波するコンバイナ１１６Ｂとを備えている。
　励起光源１１４Ａ，１１４Ｂとしては、例えば、波長９１５ｎｍの高出力マルチモード半導体レーザ（ＬＤ）を用いることができる。励起光源１１４Ａからの励起光は、コンバイナ１１６Ａにより合波され、高反射ＦＢＧ１１１側から増幅用光ファイバ１１２に導入される。同様に、励起光源１１４Ｂからの励起光は、コンバイナ１１６Ｂにより合波され、低反射ＦＢＧ１１３側から増幅用光ファイバ１１２に導入される。増幅用光ファイバ１１２は、内部クラッドと、内部クラッドの屈折率よりも低い外部クラッドとを備えたダブルクラッド構造を有することが好ましい。コンバイナ１１６Ｂには、ファイバレーザユニット１１０の外部に延びるシングルクラッドの光ファイバ（デリバリファイバ）１１８が接続されている。
　ここで、高反射ＦＢＧ１１１及び低反射ＦＢＧ１１３は、レーザ光の波長に対応した波長の光を反射するように構成されており、所定の共振条件を満たすように配置されており、増幅用光ファイバ１１２、高反射ＦＢＧ１１１、及び低反射ＦＢＧ１１３により、増幅用光ファイバ１１２に生じたレーザ光を発振させる光共振器１１９が構成されている。高反射ＦＢＧ１１１の反射率は９０％～１００％であることが好ましく、低反射ＦＢＧ１１３の反射率は３０％以下であることが好ましい。
　このような構成において、励起光源１１４Ａ，１１４Ｂから例えば９１５ｎｍの波長の励起光を増幅用光ファイバ１１２に導入すると、増幅用光ファイバ１１２のＹｂが励起され、１０００ｎｍ帯の波長の放出光を発する。このＹｂ放出光は、所定の共振条件を満たすように配置された高反射ＦＢＧ１１１及び低反射ＦＢＧ１１３により１０００ｎｍ帯の波長でレーザ発振する。光共振器１１９内で生じたレーザ光は、その一部が低反射ＦＢＧ１１３で反射して増幅用光ファイバ１１２に戻るが、そのほとんどが低反射ＦＢＧ１１３を透過して光ファイバ１１８を通ってファイバレーザユニット１１０から出力レーザ光として出力される。それぞれのファイバレーザユニット１１０から出力された出力レーザ光は、図１に示すように、コンバイナ１２０により合波されて高パワーの結合レーザ光となり、この光パワーの結合レーザ光がレーザ出射部１３０から出射される。
　図２に示すように、それぞれのファイバレーザユニット１１０には、光共振器１１９から発される出力レーザ光のパワーを検出する出力レーザ光パワー検出部１７０が設けられている。この出力レーザ光パワー検出部１７０は、光ファイバ１１８に形成された融着部１１８Ａからの漏れ光を検出する光検出器１７２と、光検出器１７２の検出信号を出力レーザ光のパワーに換算する出力レーザ光パワー換算部１７４とを含んでいる。この出力レーザ光パワー換算部１７４からの信号線は、後述する異常検出部１６０の合算部１６２に接続される。融着部１１８Ａは光ファイバ１１８のクラッドよりも屈折率の高い樹脂で覆われており、光検出器１７２はこの融着部１１８Ａの近傍に配置される。なお、本実施形態では、出力レーザ光パワー検出部１７０がファイバレーザユニット１１０の内部に設置されている例について説明するが、出力レーザ光パワー検出部１７０はファイバレーザユニット１１０の外部に配置されていてもよい。
　図１に示すように、ファイバレーザ装置１００は、コンバイナ１２０により結合された結合レーザ光のパワーを検出する結合レーザ光パワー検出部１４０を備えている。この結合レーザ光パワー検出部１４０は、コンバイナ１２０とレーザ出射部１３０とを接続する光ファイバ１５０に形成された融着部１５０Ａからの漏れ光を検出する光検出器１４２と、光検出器１４２の検出信号を結合レーザ光のパワー（以下、結合レーザ光パワーという）に換算する結合レーザ光パワー換算部１４４とを含んでいる。この結合レーザ光パワー換算部１４４からの信号線は、後述する異常検出部１６０の比較部１６４に接続される。融着部１５０Ａは光ファイバ１５０のクラッドよりも屈折率の高い樹脂で覆われており、光検出器１４２はこの融着部１５０Ａの近傍に配置される。
　図１に示すように、ファイバレーザ装置１００は、ファイバレーザユニット１１０に異常が生じたことを検出する異常検出部１６０を備えている。この異常検出部１６０は、それぞれのファイバレーザユニット１１０に対応する出力レーザ光パワー換算部１７４から入力される出力レーザ光のパワーを合計した合算レーザ光パワーを算出する合算部１６２と、合算部１６２で算出された合算レーザ光パワーと結合レーザ光パワー換算部１４４から入力される結合レーザ光パワーとを比較する比較部１６４と、ファイバレーザユニット１１０に異常が生じたことを検出するために用いられる閾値などを格納した記憶部１６６と、比較部１６４における比較結果に基づいてファイバレーザユニット１１０に異常が生じたか否かを判定する判定部１６８とを備えている。
　それぞれのファイバレーザユニット１１０の出力レーザ光パワー検出部１７０から結合レーザ光パワー検出部１４０までの間の光路に何も異常がなければ、結合レーザ光パワー検出部１４０により得られる結合レーザ光パワーは、それぞれの出力レーザ光パワー検出部１７０により得られる出力レーザ光のパワーの合計にほぼ等しくなるはずである。しかしながら、いずれかのファイバレーザユニット１１０の出力レーザ光パワー検出部１７０とコンバイナ１２０との間の光ファイバ１１８に何らかの異常がある場合には、異常のある部分から後流に出力レーザ光が供給されなくなるため、結合レーザ光パワー検出部１４０により得られる結合レーザ光パワーが、それぞれの出力レーザ光パワー検出部１７０により得られる出力レーザ光のパワーの合計よりも小さくなる。本実施形態における判定部１６８は、この現象を利用してファイバレーザユニット１１０に異常が生じたか否かを判定している。
　より具体的には、それぞれのファイバレーザユニット１１０の出力レーザ光パワー検出部１７０からコンバイナ１２０までの間の光ファイバ１１８が正常である場合には、図３の●で示すように、結合レーザ光パワーと合算レーザ光パワーはほぼ同じ値を示す。例えば、いずれか１台のファイバレーザユニット１１０の出力レーザ光パワー検出部１７０とコンバイナ１２０との間の光ファイバ１１８に異常（断線）が生じた場合には、結合レーザ光パワーは、ファイバレーザユニット１１０の１台分の出力レーザ光のパワーだけ減少したものとなる。したがって、本実施形態においては、ファイバレーザユニット１１０が７台あるため、判定部１６８は、合算レーザ光パワーに対する結合レーザ光パワーの比が６／７を下回ったときに、ファイバレーザユニット１１０のうち１台に異常が生じたものと判定する。すなわち、図３に示す例では、異常を判定する閾値Ｔとして６／７を設定し、合算レーザ光パワーに対する結合レーザ光パワーの比がこの閾値Ｔ（図３において▲で示す）を下回った場合に、ファイバレーザユニット１１０のうち１台に異常が生じたものと判定する。判定部１６８により異常が検出されると、すべてのファイバレーザユニット１１０が停止される。
　ファイバレーザユニット１１０の台数が７台以外の場合は次のようになる。ファイバレーザユニット１１０の台数をＵとすると、閾値Ｔ＝（Ｕ－１）／Ｕが記憶部１６６に格納され、合算レーザ光パワーに対する結合レーザ光パワーの比が、この記憶部１６６に格納された閾値Ｔ＝（Ｕ－１）／Ｕを下回った場合に、判定部１６８はファイバレーザユニット１１０のうち１台に異常が生じたものと判断する。
　ここで、図１に示すように、異常検出部１６０は、各ファイバレーザユニット１１０の励起光源１１４Ａ，１１４Ｂの電源に接続された駆動制御部１６９を備えており、この駆動制御部１６９によって各ファイバレーザユニット１１０の励起光源１１４Ａ，１１４Ｂに供給する電流を制御してファイバレーザユニット１１０を１台ずつ順番に駆動できるようになっている。上述のようにしてファイバレーザユニット１１０のうち１台に異常が生じたものと判定部１６８により判定されると、駆動制御部１６９は、ファイバレーザユニット１１０を１台ずつ順番に駆動する。駆動しているファイバレーザユニット１１０の出力レーザ光パワー検出部１７０とコンバイナ１２０との間に異常がなければ、結合レーザ光パワーと合算レーザ光パワーはほぼ同じ値を示す。一方、駆動しているファイバレーザユニット１１０の出力レーザ光パワー検出部１７０とコンバイナ１２０との間にファイバ断線などの異常があれば、合算レーザ光パワーは得られるにもかかわらず、結合レーザ光パワーは得られない。したがって、駆動制御部１６９によりファイバレーザユニット１１０を１台ずつ順番に駆動し、合算レーザ光パワーと結合レーザ光のパワーとを比較することにより、現在駆動されているファイバレーザユニット１１０に異常が生じていると判断することができる。なお、このとき、駆動制御部１６９によりファイバレーザユニット１１０を複数台ずつ駆動し、合算レーザ光パワーと結合レーザ光のパワーとの相違に基づいて異常を生じているファイバレーザユニット１１０を特定してもよい。また、各ファイバレーザユニット１１０の出力レーザ光パワーをファイバレーザユニット１１０ごとに異なる値に設定し、結合レーザ光パワーが低下した量に対応する出力レーザ光パワーを有するファイバレーザユニット１１０を特定することにより異常が生じているファイバレーザユニットを判別することもできる。
　このように、本実施形態によれば、各ファイバレーザユニット１１０の出力レーザ光パワー検出部１７０により得られる出力レーザ光のパワーの合計（合算レーザ光パワー）と、ファイバレーザユニット１１０の出力レーザ光を結合するコンバイナ１２０の下流に設置された結合レーザ光パワー検出部１４０により得られる結合レーザ光パワーとを比較することにより、各ファイバレーザユニット１１０の出力レーザ光パワー検出部１７０とその下流にある結合レーザ光パワー検出部１４０との間でファイバ断線などの異常が生じているか否かを検出することができる。すなわち、出力レーザ光パワー検出部１７０と結合レーザ光パワー検出部１４０との間であれば、いずれの箇所でファイバ断線などの異常が生じてもその異常を検出することができる。したがって、出力レーザ光パワー検出部１７０と結合レーザ光パワー検出部１４０という２つの検出部を各ファイバレーザユニット１１０に設けるだけで、出力レーザ光パワー検出部１７０から結合レーザ光パワー検出部１４０までの間の広い範囲にわたって光ファイバ１１８，１５０の異常を検出することが可能となる。このように、各ファイバレーザユニット１１０に多数の検出部（光検出器）を設ける必要がなくなるため、ファイバレーザ装置１００のコストを低減することができる。
　また、各ファイバレーザユニット１１０の出力レーザ光パワー検出部１７０で得られた出力レーザ光のパワーの合計（合算レーザ光パワー）と結合レーザ光パワー検出部１４０で得られた結合レーザ光のパワーとを比較しているため、出力レーザ光パワー検出部１７０の上流側で生じた異常の影響を受けることなく、出力レーザ光パワー検出部１７０から結合レーザ光パワー検出部１４０の間で生じた異常を検出することができる。例えば、いずれかのファイバレーザユニット１１０において、出力レーザ光パワー検出部１７０の上流側にある励起光源１１４Ａ，１１４Ｂが劣化して出力が低下した場合には、出力レーザ光のパワーが低下するとともに結合レーザ光のパワーもそれに伴って低下する。したがって、合算レーザ光パワーに対する結合レーザ光パワーの比は変化することがないので、励起光源１１４Ａ，１１４Ｂの劣化による影響を受けることなく出力レーザ光パワー検出部１７０から結合レーザ光パワー検出部１４０の間で生じた異常を検出することができる。
　また、上述した実施形態では、判定部１６８は、ファイバレーザユニット１１０のうち１台に異常が生じたことを判定するものであったが、ファイバレーザユニット１１０のうち複数台に異常が生じたことを判定することもできる。すなわち、複数台のファイバレーザユニット１１０に異常が生じると、異常が生じたファイバレーザユニット１１０の台数に比例して結合レーザ光パワーが低下する。したがって、ファイバレーザユニット１１０の台数に応じて複数の閾値Ｔを記憶部１６６に格納しておき、これらの閾値Ｔと合算レーザ光パワーに対する結合レーザ光パワーの比とを比較すれば、異常が生じたファイバレーザユニット１１０の台数を決定することができる。
　図４は、ファイバレーザユニット１１０の台数に応じて設定される複数の閾値を示すものである。図４において、Ｎは正常である場合の結合レーザ光パワーと合算レーザ光パワーとの関係を示しており、Ｔ1～Ｔ6はそれぞれ１台～６台のファイバレーザユニット１１０に異常が生じたことを判定するための閾値を表すものである。Ｔ7は、すべてのファイバレーザユニット１１０に異常が生じたこと又はコンバイナ１２０と結合レーザ光パワー検出部１４０との間に異常が生じたことを判定するための閾値を表している。具体的には、Ｔ1＝６／７、Ｔ2＝５／７、Ｔ3＝４／７、Ｔ4＝３／７、Ｔ5＝２／７、Ｔ6＝１／７となっている。すなわち、ファイバレーザユニット１１０の台数をＵとすると、ｎ台のファイバレーザユニット１１０に異常が生じたことを判定するための閾値ＴｎはＴｎ＝（Ｕ－ｎ）／Ｕとなっている。なお、この式によればＴ7＝０となるが、コンバイナ１２０から後流側で異常が生じたことを判定するために、図４においては０より大きくＴ6未満の値に設定されている。
　上述した実施形態では、出力レーザ光パワー検出部１７０におけるパワーの検出精度と結合レーザ光パワー検出部１４０におけるパワーの検出精度を考慮していないが、これらの検出精度を考慮して上記閾値Ｔを設定することも可能である。すなわち、ファイバレーザユニット１１０の台数をＵ、出力レーザ光パワー検出部１７０におけるパワーの検出精度を±α、結合レーザ光パワー検出部１４０におけるパワーの検出精度を±βとすると、以下の不等式を満足するように閾値Ｔを設定してもよい。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000007
　例えば、ファイバレーザユニット１１０の台数が７台、α＝βとすると、上記不等式を満足する閾値ＴはＴ＝０．９２６となり、検出精度はα＝β＝３．８５％となる。このように出力レーザ光パワー検出部１７０及び結合レーザ光パワー検出部１４０における検出精度を考慮することにより、異常検出部１６０における誤判定を回避することができる。
　また、上記不等式は、Ｕ台のファイバレーザユニット１１０のうちの１台に異常が生じたものと判断する場合に用いられるものであるが、Ｕ台のファイバレーザユニット１１０のうちのｎ台に異常が生じたことを検出する場合には、以下の不等式を満足するように閾値Ｔを設定すればよい。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000008
　上述した実施形態では、出力レーザ光パワー検出部１７０は融着部１１８Ａからの漏れ光を光検出器１７２で受光して検出し、結合レーザ光パワー検出部１４０は融着部１５０Ａからの漏れ光を光検出器１４２で受光して検出する構成としているが、これに限られるものではない。例えば、光カプラによって光ファイバ１１８又は１５０を伝搬するレーザ光の一部を取り出して光検出器１７２又は１４２で検出したり、光ファイバ１１８又は１５０を曲げることによってこの湾曲部から光ファイバ１１８又は１５０を伝搬するレーザ光の一部を放射させて光検出器１７２又は１４２で検出したりしてもよい。
　また、ファイバレーザ装置１００から出射された結合レーザ光が加工物で反射して戻ってくる戻り光の影響を低減するためには、結合レーザ光パワー検出部１４０の光検出器１４２を融着部１５０Ａの後流側に配置することが好ましい。あるいは、結合レーザ光パワー検出部１４０を、例えば融着部１５０Ａの上流側など戻り光を受光できる位置に配置すれば、戻り光が許容量以上となったときにファイバレーザ装置１００を停止させることも可能である。すなわち、戻り光がある場合には、結合レーザ光パワー検出部１４０で得られる結合レーザ光パワーが正常時の結合レーザ光パワーよりも戻り光のパワーの分だけ大きくなる。したがって、図５に示すように、戻り光が許容量以上あることを判定するための閾値Ｒとして１よりも大きな値を設定し、合算レーザ光パワーに対する結合レーザ光パワーの比がこの閾値Ｒ以上になった場合に、許容量以上の戻り光があると判定し、ファイバレーザ装置１００を停止させる。
　上述した実施形態では、高反射ＦＢＧ１１１側と低反射ＦＢＧ１１３側の双方に励起光源１１４Ａ，１１４Ｂとコンバイナ１１６Ａ，１１６Ｂが設けられており、双方向励起型のファイバレーザ装置となっているが、高反射ＦＢＧ１１１側と低反射ＦＢＧ１１３側のいずれか一方にのみ励起光源とコンバイナを設置することとしてもよい。
　これまで本発明の好ましい実施形態について説明したが、本発明は上述の実施形態に限定されず、その技術的思想の範囲内において種々異なる形態にて実施されてよいことは言うまでもない。
　本発明は、複数のファイバレーザユニットからのレーザ光を光学的に結合して出射するファイバレーザ装置に好適に用いられる。
１００　　　ファイバレーザ装置
１１０　　　ファイバレーザユニット
１１１　　　高反射ＦＢＧ
１１２　　　増幅用光ファイバ
１１２Ａ　　第１の端部
１１２Ｂ　　第２の端部
１１３　　　低反射ＦＢＧ
１１４Ａ，１１４Ｂ　　励起光源
１１６Ａ，１１６Ｂ　　コンバイナ
１１８　　　光ファイバ
１１８Ａ　　融着部
１１９　　　光共振器
１２０　　　コンバイナ
１３０　　　レーザ出射部
１４０　　　結合レーザ光パワー検出部
１４２　　　光検出器
１４４　　　結合レーザ光パワー換算部
１５０　　　光ファイバ
１５０Ａ　　融着部
１６０　　　異常検出部
１６２　　　合算部
１６４　　　比較部
１６６　　　記憶部
１６８　　　判定部
１６９　　　駆動制御部
１７０　　　出力レーザ光パワー検出部
１７２　　　光検出器
１７４　　　出力レーザ光パワー換算部

Claims (14)

  1. 　レーザ光を増幅可能な増幅用光ファイバと、前記増幅用光ファイバに励起光を供給する励起光源と、前記レーザ光を発振させる光共振器とを有する複数のファイバレーザユニットと、
    　前記複数のファイバレーザユニットから出力される出力レーザ光を光学的に結合して結合レーザ光を生成するコンバイナと、
    　前記コンバイナにより生成された結合レーザ光を出射するレーザ出射部と、
    　前記複数のファイバレーザユニットのそれぞれの前記光共振器から出力される出力レーザ光のパワーを検出する複数の出力レーザ光パワー検出部と、
    　前記コンバイナにより生成された結合レーザ光のパワーを検出する結合レーザ光パワー検出部と、
    　前記複数のファイバレーザユニットの出力レーザ光パワー検出部により検出された出力レーザ光のパワーを合計した合算レーザ光パワーを算出する合算部と、前記合算部により算出された合算レーザ光パワーと前記結合レーザ光パワー検出部により検出された結合レーザ光のパワーとを比較する比較部と、前記合算レーザ光パワーに対する前記結合レーザ光のパワーの比が所定の閾値Ｔを下回った場合に、前記複数のファイバレーザユニットのうちの少なくとも１台に異常が生じたものと判断する判定部とを有する異常検出部と、
    を備えた、ファイバレーザ装置。
  2. 　前記複数のファイバレーザユニットの台数をＵとして、前記所定の閾値Ｔは（Ｕ－１）／Ｕに設定され、
    　前記異常検出部の判定部は、前記合算レーザ光パワーに対する前記結合レーザ光のパワーの比が前記所定の閾値Ｔを下回った場合に、複数のファイバレーザユニットのうちの１台に異常が生じたものと判断する、
    請求項１に記載のファイバレーザ装置。
  3. 　前記複数のファイバレーザユニットの台数をＵ、１以上Ｕ以下の整数をｎとして、前記所定の閾値Ｔは（Ｕ－ｎ）／Ｕに設定され、
    　前記異常検出部の判定部は、前記合算レーザ光パワーに対する前記結合レーザ光のパワーの比が前記所定の閾値Ｔを下回った場合に、前記複数のファイバレーザユニットのうちｎ台に異常が生じたものと判断する、
    請求項１に記載のファイバレーザ装置。
  4. 　前記複数のファイバレーザユニットの台数をＵ、前記出力レーザ光パワー検出部におけるパワーの検出精度を±α、前記結合レーザ光パワー検出部におけるパワーの検出精度を±βとして、前記所定の閾値Ｔは、下記の不等式を満足するように設定され、
    　前記異常検出部の判定部は、前記合算レーザ光パワーに対する前記結合レーザ光のパワーの比が前記所定の閾値Ｔを下回った場合に、複数のファイバレーザユニットのうちの１台に異常が生じたものと判断する、
    請求項１に記載のファイバレーザ装置。
    Figure JPOXMLDOC01-appb-M000001
  5. 　前記複数のファイバレーザユニットの台数をＵ、１以上Ｕ以下の整数をｎ、前記出力レーザ光パワー検出部におけるパワーの検出精度を±α、前記結合レーザ光パワー検出部におけるパワーの検出精度を±βとして、前記所定の閾値Ｔは、下記の不等式を満足するように設定され、
    　前記異常検出部の判定部は、前記合算レーザ光パワーに対する前記結合レーザ光のパワーの比が前記所定の閾値Ｔを下回った場合に、複数のファイバレーザユニットのうちのｎ台に異常が生じたものと判断する、
    請求項１に記載のファイバレーザ装置。
    Figure JPOXMLDOC01-appb-M000002
  6. 　前記異常検出部は、前記複数のファイバレーザユニットの励起光源に供給する電流を制御して前記複数のファイバレーザユニットのうち少なくとも１台のファイバレーザユニットを順番に駆動させる駆動制御部を備え、
    　前記異常検出部の判定部は、前記合算部により算出された合算レーザ光パワーと前記結合レーザ光パワー検出部により検出された結合レーザ光のパワーとの相違に基づいて、前記駆動制御部により駆動されている少なくとも１台のファイバレーザユニットから異常が生じているファイバレーザユニットを特定する、
    請求項１から５のいずれか一項に記載のファイバレーザ装置。
  7. 　前記結合レーザ光パワー検出部は、前記コンバイナと前記レーザ出射部とを接続する光ファイバに設けられた融着部からの漏れ光を受光する光検出器であって、該融着部の後流側に配置された光検出器を有する、請求項１から６のいずれか一項に記載のファイバレーザ装置。
  8. 　レーザ光を増幅可能な増幅用光ファイバと、前記増幅用光ファイバに励起光を供給する励起光源と、前記レーザ光を発振させる光共振器とを有する複数のファイバレーザユニットから出力される出力レーザ光をコンバイナで光学的に結合した結合レーザ光を出射するファイバレーザ装置における異常を検出する方法であって、
    　前記複数のファイバレーザユニットのそれぞれの前記光共振器から出力される出力レーザ光のパワーを検出し、
    　前記コンバイナの下流側での前記結合レーザ光のパワーを検出し、
    　前記検出された前記複数のファイバレーザユニットからの出力レーザ光のパワーを合計して合算レーザ光パワーを算出し、
    　前記合算レーザ光パワーと前記検出された結合レーザ光のパワーとを比較し、
    　前記合算レーザ光パワーに対する前記結合レーザ光のパワーの比が所定の閾値Ｔを下回った場合に、前記複数のファイバレーザユニットのうちの少なくとも１台に異常が生じたものと判断する、
    ファイバレーザ装置の異常検出方法。
  9. 　前記複数のファイバレーザユニットの台数をＵとして、前記所定の閾値Ｔを（Ｕ－１）／Ｕに設定し、
    　前記合算レーザ光パワーに対する前記結合レーザ光のパワーの比が前記所定の閾値Ｔを下回った場合に、前記複数のファイバレーザユニットのうちの１台に異常が生じたものと判断する、
    請求項８に記載のファイバレーザ装置の異常検出方法。
  10. 　前記複数のファイバレーザユニットの台数をＵ、１以上Ｕ以下の整数をｎとして、前記所定の閾値Ｔを（Ｕ－ｎ）／Ｕに設定し、
    　前記合算レーザ光パワーに対する前記結合レーザ光のパワーの比が前記所定の閾値Ｔを下回った場合に、前記複数のファイバレーザユニットのうちｎ台に異常が生じたものと判断する、
    請求項８に記載のファイバレーザ装置の異常検出方法。
  11. 　前記複数のファイバレーザユニットの台数をＵ、前記出力レーザ光のパワーを検出するときの検出精度を±α、前記結合レーザ光のパワーを検出するときの検出精度を±βとして、前記所定の閾値Ｔを下記の不等式を満足するように設定し、
    　前記合算レーザ光パワーに対する前記結合レーザ光のパワーの比が前記所定の閾値Ｔを下回った場合に、前記複数のファイバレーザユニットのうちの１台に異常が生じたものと判断する、
    請求項８に記載のファイバレーザ装置の異常検出方法。
    Figure JPOXMLDOC01-appb-M000003
  12. 　前記複数のファイバレーザユニットの台数をＵ、１以上Ｕ以下の整数をｎ、前記出力レーザ光のパワーを検出するときの検出精度を±α、前記結合レーザ光のパワーを検出するときの検出精度を±βとして、前記所定の閾値Ｔを下記の不等式を満足するように設定し、
    　前記合算レーザ光パワーに対する前記結合レーザ光のパワーの比が前記所定の閾値Ｔを下回った場合に、前記複数のファイバレーザユニットのうちのｎ台に異常が生じたものと判断する、
    請求項８に記載のファイバレーザ装置の異常検出方法。
    Figure JPOXMLDOC01-appb-M000004
  13. 　前記複数のファイバレーザユニットのうちの少なくとも１台に異常が生じたものと判断された場合に、前記複数のファイバレーザユニットの励起光源に供給する電流を制御して前記複数のファイバレーザユニットのうち少なくとも１台のファイバレーザユニットを順番に駆動させ、
    　前記合算レーザ光パワーと前記結合レーザ光のパワーとの相違に基づいて、前記駆動されている少なくとも１台のファイバレーザユニットから異常が生じているファイバレーザユニットを特定する、
    請求項８から１２のいずれか一項に記載のファイバレーザ装置の異常検出方法。
  14. 　前記結合レーザ光のパワーの検出は、前記コンバイナの下流側に設けられた融着部からの漏れ光を該融着部の後流側で受光することにより行われる、請求項８から１３のいずれか一項に記載のファイバレーザ装置の異常検出方法。
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