CN106063055B - 光纤激光器装置及其异常检测方法 - Google Patents

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Abstract

本发明提供能够通过廉价的构成在较大的范围内检测装置内的光纤的异常的光纤激光器装置。光纤激光器装置(100)具备：多个光纤激光器单元(110)；合束器(120)，其对从光纤激光器单元(110)输出的输出激光进行光学耦合而生成耦合激光；激光射出部(130)，其射出耦合激光；输出激光功率检测部(170)，其检测光纤激光器单元(110)各自的输出激光的功率；耦合激光功率检测部(140)，其检测耦合激光的功率；以及异常检测部(160)，其对检测出的输出激光的功率的和(合计激光功率)与检测出的耦合激光的功率进行比较，在耦合激光功率相对于合计激光功率之比小于规定的阈值T的情况下，判断为光纤激光器单元(110)产生了异常。

Description

光纤激光器装置及其异常检测方法
技术领域
本发明涉及光纤激光器装置及其异常检测方法，特别是涉及对来自多个光纤激光器单元的激光进行光学耦合并射出的光纤激光器装置及其异常检测方法。
背景技术
近年，光纤激光的高输出化发展，开发了设置多个光纤激光器单元且能够对来自各个光纤激光器单元的激光输出进行耦合而得到千瓦级的高输出的光纤激光器装置。在这样的光纤激光器装置中，由于是高输出，所以有时出现与由熔接部处的损耗、光纤的弯曲引起的产生高次模所带来的损耗这种附加损耗量相应的光量增大。因这样的附加损耗，也会使发热量增大，有时附加损耗所带来的发热直接导致光纤的断线等故障。因此，多在这样的高输出的光纤激光器装置设置检测光纤的断线等异常的部件。
例如，专利文献1公开有作为检测这样的光纤激光器装置中的异常的方法，通过拍摄部件(光检测器)检测在不良情况产生时从光纤激光器装置内部的熔接部漏出的激光，由此检测光纤激光器装置内的光学零件的破损的技术。然而，在该方法中，需要预先推断存在产生破损的可能性的部位并针对每个这样的部位配置拍摄部件(光检测器)，在推断出破损的位置以外的位置产生了光纤的断线等情况下，不能够检测那样的异常。因此，在存在产生破损的可能性的部位在较大的范围内存在的情况下，需要许多的拍摄部件，装置的成本增高。
专利文献1：日本特开2010－238709号公报
发明内容
本发明是鉴于这样的以往技术的问题点而完成的，第一目的在于提供能够通过廉价的构成在较大的范围内检测装置内的光纤的异常的光纤激光器装置。
另外，本发明的第二目的在于，提供在具备多个光纤激光器单元的光纤激光器装置中，能够通过廉价的构成在较大的范围内检测装置内的光纤的异常的光纤激光器装置的异常检测方法。
根据本发明的第一方式，提供能够通过廉价的构成在较大的范围内检测装置内的光纤的异常的光纤激光器装置。该光纤激光器装置具备：多个光纤激光器单元，它们具有能够放大激光的放大用光纤、向上述放大用光纤供给激发光的激发光源、以及使上述激光振荡的光谐振器；合束器，其对从上述多个光纤激光器单元输出的输出激光进行光学耦合而生成耦合激光；激光射出部，其射出由上述合束器生成的耦合激光；多个输出激光功率检测部，它们检测从上述多个光纤激光器单元各自的上述光谐振器输出的输出激光的功率；以及耦合激光功率检测部，其检测由上述合束器生成的耦合激光的功率。光纤激光器装置具备：异常检测部，其具有计算对由上述多个光纤激光器单元的输出激光功率检测部检测出的输出激光的功率进行相加得到的合计激光功率的合计部、对由上述合计部计算出的合计激光功率与由上述耦合激光功率检测部检测出的耦合激光的功率进行比较的比较部、以及在上述耦合激光的功率相对于上述合计激光功率之比小于规定的阈值T的情况下，判断为上述多个光纤激光器单元中的至少一台产生了异常的判定部。
根据本发明的第二方式，提供对射出利用合束器对从多个光纤激光器单元输出的输出激光进行光学耦合所得到的耦合激光的光纤激光器装置中的异常进行检测的方法，上述多个光纤激光器单元具有能够放大激光的放大用光纤、向上述放大用光纤供给激发光的激发光源、以及使上述激光振荡的光谐振器。在该方法中，检测从上述多个光纤激光器单元各自的上述光谐振器输出的输出激光的功率，检测上述合束器的下游侧的上述耦合激光的功率，对上述检测出的来自上述多个光纤激光器单元的输出激光的功率进行相加来计算合计激光功率，对上述合计激光功率与上述检测出的耦合激光的功率进行比较，在上述耦合激光的功率相对于上述合计激光功率之比小于规定的阈值T的情况下，判断为上述多个光纤激光器单元中的至少一台产生了异常。
也可以将上述多个光纤激光器单元的台数设为U，上述规定的阈值T被设定为(U－1)/U。此时，上述异常检测部的判定部在上述耦合激光的功率相对于上述合计激光功率之比小于上述规定的阈值T的情况下，判断为多个光纤激光器单元中的一台产生了异常。或者，也可以将上述多个光纤激光器单元的台数设为U，将1以上U以下的整数设为n，上述规定的阈值T被设定为(U－n)/U。此时，上述异常检测部的判定部在上述耦合激光的功率相对于上述合计激光功率之比小于上述规定的阈值T的情况下，判断为上述多个光纤激光器单元中n台产生了异常。
并且，也可以将上述多个光纤激光器单元的台数设为U，将上述输出激光功率检测部中的功率的检测精度设为±α，将上述耦合激光功率检测部中的功率的检测精度设为±β，以满足下述的不等式的方式设定上述规定的阈值T。此时，上述异常检测部的判定部在上述耦合激光的功率相对于上述合计激光功率之比小于上述规定的阈值T的情况下，判断为多个光纤激光器单元中的一台产生了异常。
[式1]
(1+α)·T＜1-β
另外，也可以将上述多个光纤激光器单元的台数设为U，将1以上U以下的整数设为n，将上述输出激光功率检测部中的功率的检测精度设为±α，将上述耦合激光功率检测部中的功率的检测精度设为±β，以满足下述的不等式的方式设定上述规定的阈值T。此时，上述异常检测部的判定部在上述耦合激光的功率相对于上述合计激光功率之比小于上述规定的阈值T的情况下，判断为多个光纤激光器单元中的n台产生了异常。
[式2]
(1+α)·T＜1-β
并且，也可以上述异常检测部具备控制向上述多个光纤激光器单元的激发光源供给的电流而顺序驱动上述多个光纤激光器单元中的至少一台光纤激光器单元的驱动控制部。此时，上述异常检测部的判定部基于由上述合计部计算出的合计激光功率与由上述耦合激光功率检测部检测出的耦合激光的功率的差异，从由上述驱动控制部驱动的至少一台光纤激光器单元确定出产生了异常的光纤激光器单元。
另外，也可以上述耦合激光功率检测部具有接收从设在将上述合束器与上述激光射出部连接起来的光纤的熔接部泄漏的泄漏光的光检测器。在这种情况下，若将该光检测器配置在上述熔接部的下游侧，则能够降低从光纤激光器装置射出的耦合激光被加工物反射而返回来的返回光带来的影响。
根据本发明，通过对由各光纤激光器单元的输出激光功率检测部得到的输出激光的功率的和(合计激光功率)、和由设置在对光纤激光器单元的输出激光进行耦合的合束器的下游的耦合激光功率检测部得到的耦合激光功率进行比较，能够检测在各光纤激光器单元的输出激光功率检测部与处于其下游的耦合激光功率检测部之间是否产生了光纤断线等异常。即，只要在输出激光功率检测部与耦合激光功率检测部之间，则无论在任何的位置产生光纤断线等异常，都能够检测该异常。因此，仅在各光纤激光器单元设置输出激光功率检测部和耦合激光功率检测部这两个检测部，就能够在从输出激光功率检测部到耦合激光功率检测部之间的较大的范围内检测光纤的异常。这样，不需要在各光纤激光器单元设置许多的检测部(光检测器)，所以能够降低光纤激光器装置的成本。
附图说明
图1是示意地表示本发明的一实施方式中的光纤激光器装置的构成的图。
图2是示意地表示图1的光纤激光器装置的光纤激光器单元的一个构成的图。
图3是说明在本发明的一实施方式中用于判定光纤激光器单元产生了异常的阈值的图表。
图4是说明在本发明的一实施方式中用于判定光纤激光器单元产生了异常的阈值的图表。
图5是说明在本发明的一实施方式中用于判定从加工物反射的返回光所引起的异常的阈值的图表。
具体实施方式
以下，参照图1～图5对本发明所涉及的光纤激光器装置的实施方式进行详细说明。此外，在图1～图5中，对相同或者相应的构成要素标注相同的符号并省略重复的说明。
图1是示意地表示本发明的一实施方式中的光纤激光器装置100的构成的图。如图1所示，光纤激光器装置100具备能够输出激光的多个光纤激光器单元110(在图1所示的例子中为七台光纤激光器单元110)、将从光纤激光器单元110各自输出的激光(输出激光)合成的合束器120、以及例如朝向被处理物射出由合束器120进行了耦合的激光的激光射出部130。
图2是示意地表示多个光纤激光器单元110之一的图。如图2所示，光纤激光器单元110具备例如添加了Yb(镱)等稀土类元素的放大用光纤112、与放大用光纤112的第一端部112A侧连接的高反射光纤布拉格光栅(Fiber Bragg Grating(FBG))111、与放大用光纤112的第二端部112B侧连接的低反射FBG 113、从放大用光纤112的第一端部112A向放大用光纤112导入激发光的多个激发光源114A、对来自多个激发光源114A的激发光进行合成的合束器116A、从放大用光纤112的第二端部112B向放大用光纤112导入激发光的多个激发光源114B、以及对来自多个激发光源114B的激发光进行合成的合束器116B。
作为激发光源114A、114B，例如，能够使用波长915nm的高输出多模半导体激光器(LD)。来自激发光源114A的激发光被合束器116A合成，并从高反射FBG 111侧导入放大用光纤112。同样地，来自激发光源114B的激发光被合束器116B合成，并从低反射FBG 113侧导入放大用光纤112。优选放大用光纤112具有具备内包层和折射率比内包层的折射率低的外包层的双包层结构。在合束器116B连接有向光纤激光器单元110的外部延伸的单包层的光纤(传输光纤)118。
这里，高反射FBG 111以及低反射FBG 113构成为反射与激光的波长对应的波长的光，以满足规定的谐振条件的方式配置，利用放大用光纤112、高反射FBG 111、以及低反射FBG 113，构成使放大用光纤112产生的激光振荡的光谐振器119。优选高反射FBG 111的反射率为90％～100％，优选低反射FBG 113的反射率在30％以下。
在这样的构成中，若从激发光源114A、114B向放大用光纤112导入例如915nm的波长的激发光，则放大用光纤112的Yb被激发，产生1000nm波长范围的发射光。该Yb发射光因以满足规定的谐振条件的方式配置的高反射FBG 111以及低反射FBG 113而以1000nm波长范围进行激光振荡。在光谐振器119内产生的激光的一部分被低反射FBG 113反射而返回到放大用光纤112，但其绝大多数透过低反射FBG 113而通过光纤118从光纤激光器单元110作为输出激光输出。如图1所示，从各个光纤激光器单元110输出的输出激光被合束器120合成而成为高功率的耦合激光，该高功率的耦合激光从激光射出部130射出。
如图2所示，在各个光纤激光器单元110设有检测从光谐振器119发出的输出激光的功率的输出激光功率检测部170。该输出激光功率检测部170包含检测从形成于光纤118的熔接部118A泄漏的泄漏光的光检测器172、和将光检测器172的检测信号换算为输出激光的功率的输出激光功率换算部174。来自该输出激光功率换算部174的信号线与后述的异常检测部160的合计部162连接。熔接部118A被折射率比光纤118的包层的折射率高的树脂覆盖，光检测器172配置在该熔接部118A的附近。此外，在本实施方式中，对输出激光功率检测部170设置在光纤激光器单元110的内部的例子进行说明，但输出激光功率检测部170也可以配置在光纤激光器单元110的外部。
如图1所示，光纤激光器装置100具备检测被合束器120进行了耦合的耦合激光的功率的耦合激光功率检测部140。该耦合激光功率检测部140包含检测从形成在将合束器120与激光射出部130连接起来的光纤150的熔接部150A泄漏的泄漏光的光检测器142、和将光检测器142的检测信号换算为耦合激光的功率(以下，称为耦合激光功率)的耦合激光功率换算部144。从该耦合激光功率换算部144引出的信号线与后述的异常检测部160的比较部164连接。熔接部150A被折射率比光纤150的包层的折射率高的树脂覆盖，光检测器142配置在该熔接部150A的附近。
如图1所示，光纤激光器装置100具备将光纤激光器单元110产生了异常检测出来的异常检测部160。该异常检测部160具备计算对从与各个光纤激光器单元110对应的输出激光功率换算部174输入的输出激光的功率进行相加得到的合计激光功率的合计部162、对利用合计部162计算出的合计激光功率与从耦合激光功率换算部144输入的耦合激光功率进行比较的比较部164、储存有为了将光纤激光器单元110产生了异常检测出来而使用的阈值等的存储部166、以及基于比较部164的比较结果判定光纤激光器单元110是否产生了异常的判定部168。
若从各个光纤激光器单元110的输出激光功率检测部170到耦合激光功率检测部140之间的光路没有任何异常，则通过耦合激光功率检测部140得到的耦合激光功率应该与通过各个输出激光功率检测部170得到的输出激光的功率的和几乎相等。然而，在任意一个光纤激光器单元110的输出激光功率检测部170与合束器120之间的光纤118存在某种异常的情况下，从存在异常的部分不向下游供给输出激光，所以通过耦合激光功率检测部140得到的耦合激光功率比通过各个输出激光功率检测部170得到的输出激光的功率的和小。本实施方式中的判定部168利用该现象判定光纤激光器单元110是否产生了异常。
更具体而言，在从各个光纤激光器单元110的输出激光功率检测部170到合束器120之间的光纤118正常的情况下，如图3的●所示，耦合激光功率和合计激光功率表现出几乎相同的值。例如，在任意一台的光纤激光器单元110的输出激光功率检测部170与合束器120之间的光纤118产生了异常(断线)的情况下，耦合激光功率减少了与一台光纤激光器单元110的输出激光的功率相应的量。因此，在本实施方式中，由于光纤激光器单元110有七台，所以判定部168在耦合激光功率相对于合计激光功率之比小于6/7时，判定为光纤激光器单元110中的一台产生了异常。即，在图3所示的例子中，设定6/7作为判定异常的阈值T，在耦合激光功率相对于合计激光功率之比小于该阈值T(在图3中以▲表示)的情况下，判定为光纤激光器单元110中的一台产生了异常。若通过判定部168检测到异常，则停止全部的光纤激光器单元110。
光纤激光器单元110的台数是七台以外的情况下，如以下那样。若将光纤激光器单元110的台数设为U，则在存储部166储存阈值T＝(U－1)/U，在耦合激光功率相对于合计激光功率之比小于储存于该存储部166的阈值T＝(U－1)/U的情况下，判定部168判断为光纤激光器单元110中的一台产生了异常。
这里，如图1所示，异常检测部160具备与各光纤激光器单元110的激发光源114A、114B的电源连接的驱动控制部169，通过该驱动控制部169能够控制向各光纤激光器单元110的激发光源114A、114B供给的电流逐台地顺序驱动光纤激光器单元110。若如上述那样，通过判定部168判定为光纤激光器单元110中的一台产生了异常，则驱动控制部169逐台地顺序驱动光纤激光器单元110。若驱动的光纤激光器单元110的输出激光功率检测部170与合束器120之间没有异常，则耦合激光功率和合计激光功率表现出几乎相同的值。另一方面，若驱动的光纤激光器单元110的输出激光功率检测部170与合束器120之间存在光纤断线等异常，则尽管能够得到合计激光功率，但得不到耦合激光功率。因此，通过利用驱动控制部169逐台地顺序驱动光纤激光器单元110，并比较合计激光功率与耦合激光的功率，能够判断当前驱动的光纤激光器单元110产生了异常。此外，此时，也可以通过驱动控制部169每次驱动多台光纤激光器单元110，并基于合计激光功率与耦合激光的功率的差异，来确定产生了异常的光纤激光器单元110。另外，也能够针对每个光纤激光器单元110，各光纤激光器单元110的输出激光功率被设定为不同的值，并通过确定具有与耦合激光功率降低的量对应的输出激光功率的光纤激光器单元110来辨别产生了异常的光纤激光器单元。
这样，根据本实施方式，通过对由各光纤激光器单元110的输出激光功率检测部170得到的输出激光的功率的和(合计激光功率)、和由设置在对光纤激光器单元110的输出激光进行耦合的合束器120的下游的耦合激光功率检测部140得到的耦合激光功率进行比较，能够检测在各光纤激光器单元110的输出激光功率检测部170与处于其下游的耦合激光功率检测部140之间是否产生光纤断线等异常。即，只要是在输出激光功率检测部170与耦合激光功率检测部140之间，则无论在任何的位置产生光纤断线等异常，均能够检测该异常。因此，仅在各光纤激光器单元110设置输出激光功率检测部170和耦合激光功率检测部140这两个检测部，就能够在从输出激光功率检测部170到耦合激光功率检测部140之间的较大的范围内，检测光纤118、150的异常。这样，不需要在各光纤激光器单元110设置许多的检测部(光检测器)，所以能够降低光纤激光器装置100的成本。
另外，由于对利用各光纤激光器单元110的输出激光功率检测部170得到的输出激光的功率的和(合计激光功率)与利用耦合激光功率检测部140得到的耦合激光的功率进行比较，所以不会受到在输出激光功率检测部170的上游侧产生的异常的影响，而能够检测在输出激光功率检测部170到耦合激光功率检测部140之间产生的异常。例如，在任意一个光纤激光器单元110中，处在输出激光功率检测部170的上游侧的激发光源114A、114B变差而输出降低的情况下，输出激光的功率降低并且耦合激光的功率也随之降低。因此，耦合激光功率相对于合计激光功率之比不发生变化，所以能够不受到激发光源114A、114B变差所带来的影响而检测从输出激光功率检测部170到耦合激光功率检测部140之间产生的异常。
另外，在上述的实施方式中，判定部168判定出光纤激光器单元110中的一台产生了异常，但也能够判定光纤激光器单元110中的多台产生了异常。即，若多台的光纤激光器单元110产生了异常，则耦合激光功率与产生了异常的光纤激光器单元110的台数成正比地降低。因此，若与光纤激光器单元110的台数对应地将多个阈值T储存于存储部166，并对这些阈值T与耦合激光功率相对于合计激光功率之比进行比较，则能够决定产生了异常的光纤激光器单元110的台数。
图4是表示与光纤激光器单元110的台数对应地设定的多个阈值的图表。在图4中，N表示正常的情况下的耦合激光功率与合计激光功率的关系，T1～T6分别表示用于判定一台～六台光纤激光器单元110产生了异常的阈值。T7表示用于判定全部的光纤激光器单元110产生了异常或者在合束器120与耦合激光功率检测部140之间产生了异常的阈值。具体而言，T1＝6/7，T2＝5/7，T3＝4/7，T4＝3/7，T5＝2/7，T6＝1/7。即，若将光纤激光器单元110的台数设为U，则用于判定n台光纤激光器单元110产生了异常的阈值Tn为Tn＝(U－n)/U。此外，根据该式T7＝0，但为了判定从合束器120在下游侧产生了异常，而在图4中，T7被设定为比0大比T6小的值。
在上述的实施方式中，未考虑输出激光功率检测部170中的功率的检测精度和耦合激光功率检测部140中的功率的检测精度，但也能够考虑这些检测精度而设定上述阈值T。即，若将光纤激光器单元110的台数设为U，将输出激光功率检测部170中的功率的检测精度设为±α，并将耦合激光功率检测部140中的功率的检测精度设为±β，则也可以以满足以下的不等式的方式设定阈值T。
[式3]
(1+α)·T＜1-β
例如，若光纤激光器单元110的台数为七台，且取α＝β，则满足上述不等式的阈值T为T＝0.926，检测精度为α＝β＝3.85％。这样通过考虑输出激光功率检测部170以及耦合激光功率检测部140中的检测精度，能够避免异常检测部160中的误判定。
另外，上述不等式是在判断为U台光纤激光器单元110中的一台产生了异常的情况下使用的式子，但在检测U台的光纤激光器单元110中的n台产生了异常的情况下，以满足以下的不等式的方式设定阈值T即可。
[式4]
(1+α)·T＜1-β
在上述的实施方式中，构成为输出激光功率检测部170利用光检测器172接收自熔接部118A泄漏的泄漏光进行检测，耦合激光功率检测部140利用光检测器142接收自熔接部150A泄漏的泄漏光进行检测，但并不限定于此。例如，也可以通过光耦合器取出在光纤118或者150传播的激光的一部分并利用光检测器172或者142进行检测，或者通过弯曲光纤118或者150，使在光纤118或者150传播的激光的一部分从该弯曲部辐射并利用光检测器172或者142进行检测。
另外，为了降低从光纤激光器装置100射出的耦合激光被加工物反射而返回来的返回光的影响，优选将耦合激光功率检测部140的光检测器142配置在熔接部150A的下游侧。或者，若将耦合激光功率检测部140配置在例如熔接部150A的上游侧等能够接收返回光的位置，则也能够在返回光为允许量以上时使光纤激光器装置100停止。即，在存在返回光的情况下，在耦合激光功率检测部140得到的耦合激光功率比正常时的耦合激光功率增大与返回光的功率相应的量。因此，如图5所示，设定比1大的值作为用于判定返回光在允许量以上的阈值R，在耦合激光功率相对于合计激光功率之比在该阈值R以上的情况下，判定为存在允许量以上的返回光，使光纤激光器装置100停止。
在上述的实施方式中，在高反射FBG 111侧和低反射FBG 113侧双方设置激发光源114A、114B和合束器116A、116B，而成为双向激发型光纤激光器装置，但也可以仅在高反射FBG 111侧和低反射FBG 113侧中的任意一方设置激发光源和合束器。
以上对本发明的优选的实施方式进行了说明，但本发明并不限定于上述的实施方式，当然可以在其技术思想的范围内以各种不同的方式实施。
本发明能够合适地使用于将来自多个光纤激光器单元的激光光学地耦合并射出的光纤激光器装置。
附图标记说明
100…光纤激光器装置，110…光纤激光器单元，111…高反射FBG，112…放大用光纤，112A…第一端部，112B…第二端部，113…低反射FBG，114A、114B…激发光源，116A、116B…合束器，118…光纤，118A…熔接部，119…光谐振器，120…合束器，130…激光射出部，140…耦合激光功率检测部，142…光检测器，144…耦合激光功率换算部，150…光纤，150A…熔接部，160…异常检测部，162…合计部，164…比较部，166…存储部，168…判定部，169…驱动控制部，170…输出激光功率检测部，172…光检测器，174…输出激光功率换算部。

Claims (16)

1.一种光纤激光器装置，其特征在于，具备：
多个光纤激光器单元，它们具有能够放大激光的放大用光纤、向上述放大用光纤供给激发光的激发光源、以及使上述激光振荡的光谐振器；
合束器，其对从上述多个光纤激光器单元输出的输出激光进行光学耦合而生成耦合激光；
激光射出部，其射出由上述合束器生成的耦合激光；
多个输出激光功率检测部，它们检测从上述多个光纤激光器单元各自的上述光谐振器输出的输出激光的功率；
耦合激光功率检测部，其检测由上述合束器生成的耦合激光的功率；以及
异常检测部，其具有计算对由上述多个光纤激光器单元的输出激光功率检测部检测出的输出激光的功率进行相加得到的合计激光功率的合计部、对由上述合计部计算出的合计激光功率与由上述耦合激光功率检测部检测出的耦合激光的功率进行比较的比较部、以及在上述耦合激光的功率相对于上述合计激光功率之比小于规定的阈值T的情况下判断为上述多个光纤激光器单元中的至少一台产生了异常的判定部。
2.根据权利要求1所述的光纤激光器装置，其特征在于，
将上述多个光纤激光器单元的台数设为U，上述规定的阈值T被设定为(U－1)/U，
上述异常检测部的判定部在上述耦合激光的功率相对于上述合计激光功率之比小于上述规定的阈值T的情况下，判断为多个光纤激光器单元中的一台产生了异常。
3.根据权利要求1所述的光纤激光器装置，其特征在于，
将上述多个光纤激光器单元的台数设为U，将1以上且小于U的整数设为n，上述规定的阈值T被设定为(U－n)/U，
上述异常检测部的判定部在上述耦合激光的功率相对于上述合计激光功率之比小于上述规定的阈值T的情况下，判断为上述多个光纤激光器单元中n台产生了异常。
4.根据权利要求1所述的光纤激光器装置，其特征在于，
将上述多个光纤激光器单元的台数设为U，将上述输出激光功率检测部中的功率的检测精度设为±α，将上述耦合激光功率检测部中的功率的检测精度设为±β，以满足下述的不等式的方式设定上述规定的阈值T，
上述异常检测部的判定部在上述耦合激光的功率相对于上述合计激光功率之比小于上述规定的阈值T的情况下，判断为多个光纤激光器单元中的一台产生了异常，
[式1]
(1+α)·T＜]-β
5.根据权利要求1所述的光纤激光器装置，其特征在于，
将上述多个光纤激光器单元的台数设为U，将1以上U以下的整数设为n，将上述输出激光功率检测部中的功率的检测精度设为±α，将上述耦合激光功率检测部中的功率的检测精度设为±β，以满足下述的不等式的方式设定上述规定的阈值T，
上述异常检测部的判定部在上述耦合激光的功率相对于上述合计激光功率之比小于上述规定的阈值T的情况下，判断为多个光纤激光器单元中的n台产生了异常，
[式2]
(1+α)·T＜1-β
6.根据权利要求1～5中任意一项所述的光纤激光器装置，其特征在于，
上述异常检测部具备控制向上述多个光纤激光器单元的激发光源供给的电流而顺序驱动上述多个光纤激光器单元中的至少一台光纤激光器单元的驱动控制部，
上述异常检测部的判定部基于由上述合计部计算出的合计激光功率与由上述耦合激光功率检测部检测出的耦合激光的功率的差异，从由上述驱动控制部驱动的至少一台光纤激光器单元中确定出产生了异常的光纤激光器单元。
7.根据权利要求1～5中任意一项所述的光纤激光器装置，其特征在于，
上述耦合激光功率检测部具有接收从设在将上述合束器与上述激光射出部连接起来的光纤的熔接部泄漏的泄漏光、并被配置在该熔接部的下游侧的光检测器。
8.根据权利要求6所述的光纤激光器装置，其特征在于，
上述耦合激光功率检测部具有接收从设在将上述合束器与上述激光射出部连接起来的光纤的熔接部泄漏的泄漏光、并被配置在该熔接部的下游侧的光检测器。
9.一种光纤激光器装置的异常检测方法，是对射出利用合束器对从多个光纤激光器单元输出的输出激光进行光学耦合所得到的耦合激光的光纤激光器装置中的异常进行检测的方法，上述多个光纤激光器单元具有能够放大激光的放大用光纤、向上述放大用光纤供给激发光的激发光源、以及使上述激光振荡的光谐振器，该光纤激光器装置的异常检测方法的特征在于，
检测从上述多个光纤激光器单元各自的上述光谐振器输出的输出激光的功率，
检测上述合束器的下游侧的上述耦合激光的功率，
对上述检测出的来自上述多个光纤激光器单元的输出激光的功率进行相加来计算合计激光功率，
对上述合计激光功率与上述检测出的耦合激光的功率进行比较，
在上述耦合激光的功率相对于上述合计激光功率之比小于规定的阈值T的情况下，判断为上述多个光纤激光器单元中的至少一台产生了异常。
10.根据权利要求9所述的光纤激光器装置的异常检测方法，其特征在于，
将上述多个光纤激光器单元的台数设为U，上述规定的阈值T被设定为(U－1)/U，
在上述耦合激光的功率相对于上述合计激光功率之比小于上述规定的阈值T的情况下，判断为上述多个光纤激光器单元中的一台产生了异常。
11.根据权利要求9所述的光纤激光器装置的异常检测方法，其特征在于，
将上述多个光纤激光器单元的台数设为U，将1以上且小于U的整数设为n，上述规定的阈值T被设定为(U－n)/U，
在上述耦合激光的功率相对于上述合计激光功率之比小于上述规定的阈值T的情况下，判断为上述多个光纤激光器单元中的n台产生了异常。
12.根据权利要求9所述的光纤激光器装置的异常检测方法，其特征在于，
将上述多个光纤激光器单元的台数设为U，将检测上述输出激光的功率时的检测精度设为±α，将检测上述耦合激光的功率时的检测精度设为±β，以满足下述的不等式的方式设定上述规定的阈值T，
在上述耦合激光的功率相对于上述合计激光功率之比小于上述规定的阈值T的情况下，判断为上述多个光纤激光器单元中的一台产生了异常，
[式3]
(1+α)·T＜]-β
13.根据权利要求9所述的光纤激光器装置的异常检测方法，其特征在于，
将上述多个光纤激光器单元的台数设为U，将1以上U以下的整数设为n，将检测上述输出激光的功率时的检测精度设为±α，将检测上述耦合激光的功率时的检测精度设为±β，以满足下述的不等式的方式设定上述规定的阈值T，
在上述耦合激光的功率相对于上述合计激光功率之比小于上述规定的阈值T的情况下，判断为上述多个光纤激光器单元中的n台产生了异常，
[式4]
(1+α).T＜1-β
14.根据权利要求9～13中任意一项所述的光纤激光器装置的异常检测方法，其特征在于，
在判断为上述多个光纤激光器单元中的至少一台产生了异常的情况下，控制向上述多个光纤激光器单元的激发光源供给的电流而顺序驱动上述多个光纤激光器单元中的至少一台光纤激光器单元，
基于上述合计激光功率与上述耦合激光的功率的差异，从上述驱动的至少一台光纤激光器单元中确定出产生了异常的光纤激光器单元。
15.根据权利要求9～13中任意一项所述的光纤激光器装置的异常检测方法，其特征在于，
通过在熔接部的下游侧接收从该熔接部泄漏的泄漏光来进行上述耦合激光的功率的检测，上述熔接部设在上述合束器的下游侧。
16.根据权利要求14所述的光纤激光器装置的异常检测方法，其特征在于，
通过在熔接部的下游侧接收从该熔接部泄漏的泄漏光来进行上述耦合激光的功率的检测，上述熔接部设在上述合束器的下游侧。
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