JP6051252B2 - ファイバレーザ装置 - Google Patents

Description

本発明は、ファイバレーザ装置に関する。

下記の特許文献１に、誘導ラマン散乱を利用したファイバレーザ加工装置が開示されている。このファイバレーザ加工装置は、増幅用光ファイバと、第１の光フィルタと、誘導ラマン散乱により入射光の波長を変換する波長変換ファイバと、第２の光フィルタと、光ビーム照射部と、を備えている。波長変換ファイバにおいて、入射光に対して波長が長波長側にシフトした誘導ラマン散乱光が得られる。このファイバレーザ加工装置では、波長変換ファイバの前段の第１の光フィルタによって被加工物からの反射光が除去されるため、不要な反射光が増幅用光ファイバに戻ることが抑制される。

特開２０１２−２４３７８９号公報

ところが、上記の特許文献１のように、波長変換ファイバによって誘導ラマン散乱光（ＳＲＳ光）を得る場合、波長変換ファイバへの入射光は、半分程度しかＳＲＳ光に変換されず、変換されなかった光は、光フィルタによって反射される。この光フィルタによって反射された不要な光を除去する場合には、光フィルタの近傍に設けられた金属等の処理部に不要な光を吸収させて、熱として除去する方法が従来から採られていた。一般的に光は拡散しながら空間を伝搬するため、不要な光を確実に除去するためには処理部を光フィルタに近付け、完全に覆う必要がある。この場合、光フィルタ近傍の処理部が高温となるため、光フィルタもしくは光フィルタを含む光ビーム照射部の信頼性が低下するという問題がある。

一方、処理部を光フィルタから遠ざけた場合、不要な光を確実に除去するためには、拡散した光の全てを受光するために処理部が大型化する、または処理部まで伝搬させるためにミラーやレンズ等の光学部品が必要になり、高価で複雑な構成になる、という問題がある。また、光フィルタと処理部との間の空間を不要な光が伝搬する際に、空間中の塵埃等の外乱によって光が散乱され、この散乱光により予期しない箇所で発熱が生じるという問題があり、それを防ぐために密封構造にする、という手間がかかる。

本発明の一つの態様は、上記の課題を解決するためになされたものであって、光フィルタもしくは光フィルタを含む光ビーム照射部の信頼性低下を抑制でき、装置の大型化、複雑化を回避できるファイバレーザ装置を提供することを目的の一つとする。

上記の目的を達成するために、本発明の一つの態様のファイバレーザ装置は、ファイバレーザ装置本体と、入射光のうちの一部の光の波長を変換するラマン波長変換部と、前記ラマン波長変換部から出力された光を伝搬させる出力光伝搬用光ファイバと、前記出力光伝搬用光ファイバに設けられ、前記ラマン波長変換部から出力された光をラマン光と前記ラマン光以外の不要光とに分波する分波素子と、前記分波素子により分波された前記不要光の少なくとも一部が入射し、前記不要光の少なくとも一部を伝搬させる不要光伝搬用光ファイバと、を備えたことを特徴とする。
なお、本明細書における「ラマン波長変換部」は、ラマン波長変換部に入射した光の一部の波長を誘導ラマン散乱によって入射前よりも長波長側にシフトさせる。この長波長側にシフトした光を「ラマン光」と称する。

本発明の一つの態様のファイバレーザ装置は、不要光伝搬用光ファイバを備えているため、不要光が塵埃等の外乱の影響を受けにくく、確実に伝搬される。また、不要光伝搬用光ファイバによって、不要光を分波素子から離れた位置にまで導くことができる。

本発明の一つの態様のファイバレーザ装置において、前記分波素子は、前記出力光伝搬用光ファイバの最も出力側の端部に設けられていてもよい。

上記の構成によれば、分波素子が出力光伝搬用光ファイバの最も出力側の端部に設けられているため、分波素子により分波されたラマン光が出力光伝搬用光ファイバに再度カップリングすることはない。これにより、ラマン光を出力光伝搬用光ファイバに再度カップリングさせることに伴う出力の低下、発熱等の問題を改善することができる。

本発明の一つの態様のファイバレーザ装置は、前記出力光伝搬用光ファイバを介して前記ファイバレーザ装置本体に接続され、前記ラマン光を外部に出力するレーザヘッドをさらに備え、前記ラマン波長変換部は前記ファイバレーザ装置本体の内部に設けられ、前記分波素子は前記レーザヘッドの内部に設けられていてもよい。

本発明の一つの態様のファイバレーザ装置によれば、ラマン波長変換部が装置本体に設けられているため、レーザヘッドの簡素化、小型化が図れる。また、分波素子により分波されたラマン光をレーザヘッドから外部に出力するため、ラマン光を他の光ファイバに再度カップリングさせる必要がない。これにより、ラマン光を他の光ファイバに再度カップリングさせることに伴う出力の低下、発熱等の問題を改善することができる。

本発明の一つの態様のファイバレーザ装置は、前記不要光伝搬用光ファイバにより伝搬される前記不要光の少なくとも一部を処理する不要光処理部をさらに備えていてもよい。

本発明の一つの態様のファイバレーザ装置によれば、不要光伝搬用光ファイバにより伝搬された不要光の少なくとも一部を不要光処理部において処理し、除去することができる。

本発明の一つの態様のファイバレーザ装置において、前記不要光処理部は、前記ファイバレーザ装置本体に設けられていてもよい。

本発明の一つの態様のファイバレーザ装置によれば、不要光処理部がレーザヘッド内部に設けられている場合に比べて、レーザヘッドの小型化、簡素化が図れる。また、例えばファイバレーザ装置本体内に熱容量の大きなヒートシンクなどがある場合、このヒートシンクを不要光処理部に利用することができる。

本発明の一つの態様のファイバレーザ装置において、前記不要光伝搬用光ファイバは、ダブルクラッドファイバで構成されていてもよい。

本発明の一つの態様のファイバレーザ装置によれば、不要光伝搬用光ファイバのコアに結合されなかった不要光をインナークラッドに閉じ込めることができる。これにより、不要光が不要光伝搬用光ファイバの外部に漏出することを抑制できる。不要光伝搬用光ファイバが被覆を有する場合には、不要光が被覆に入射して発熱することを抑制でき、不要光をより確実に処理できる。

本発明の一つの態様のファイバレーザ装置において、前記出力光伝搬用光ファイバは、シングルモードファイバで構成され、前記不要光伝搬用光ファイバは、マルチモードファイバで構成されていてもよい。

本発明の一つの態様のファイバレーザ装置によれば、出力光伝搬用光ファイバをコア径が小さいシングルモードファイバで構成するのに対し、不要光伝搬用光ファイバをコア径が大きいマルチモードファイバで構成することによって、不要光の多くを不要光伝搬用光ファイバに結合させ、また、光ファイバの曲げに起因する光の漏出を抑制しつつ、不要光を確実に伝搬させることができる。

本発明の一つの態様のファイバレーザ装置は、前記不要光伝搬用光ファイバから漏出する前記不要光の一部を検出する不要光検出部をさらに備えていてもよい。

分波素子によって分波された不要光を検出することにより、ラマン波長変換部の変換効率に基づいて、出力されるラマン光のパワーを推定できる。つまり、不要光検出部が出力光パワー検出部として機能する。出力光伝搬用光ファイバに光検出部を設ける場合に比べて、出力光であるラマン光の損失を少なくできる。また、光の損失は熱となるため、不要な発熱を抑制できる点で安全性が高い。また、出力光伝搬用光ファイバを伝搬する光はラマン光と不要光が含まれているため、出力光伝搬用光ファイバから漏出する光ではラマン光のみを正確に検出できない。これに対し、不要光伝搬用光ファイバから漏出する光は不要光のみであるため、より正確な出力光パワーを推定できる。

本発明の一つの態様のファイバレーザ装置において、前記不要光検出部は、前記ファイバレーザ装置本体の内部に設けられていてもよい。

本発明の一つの態様のファイバレーザ装置によれば、不要光検出部を例えばフォトダイオードで構成する場合、フォトダイオードの電気配線や基板をファイバレーザ装置本体の内部に収容できるため、装置の簡素化が図れる。

本発明の一つの態様によれば、光フィルタもしくは光フィルタを含む光ビーム照射部の信頼性低下を抑制でき、装置の大型化、複雑化を回避できるファイバレーザ装置を実現できる。

第１実施形態のファイバレーザ装置の概略構成図である。 不要光伝搬用光ファイバの断面図である。 第２実施形態のファイバレーザ装置の概略構成図である。 第３実施形態のファイバレーザ装置の概略構成図である。 第３実施形態の変形例のファイバレーザ装置の概略構成図である。

［第１実施形態］
以下、本発明の第１実施形態について、図１および図２を用いて説明する。
本実施形態のファイバレーザ装置は、例えばレーザ加工等の用途に用いて好適なものである。ただし、用途はレーザ加工に限るものではない。
図１は、本実施形態のファイバレーザ装置の概略構成図である。
以下の各図面においては各構成要素を見やすくするため、構成要素によって寸法の縮尺を異ならせて示すことがある。

［ファイバレーザ装置の構成］
図１に示すように、ファイバレーザ装置１は、ファイバレーザ装置本体２と、レーザヘッド３と、出力光伝搬用光ファイバ４と、不要光伝搬用光ファイバ５と、を備えている。ファイバレーザ装置本体２から出力されたレーザ光は、出力光伝搬用光ファイバ４を介してレーザヘッド３に伝搬される。レーザヘッド３において、ファイバレーザ装置本体２からの出力光Ｌ１０が分波され、所望の波長のラマン光Ｌ２がレーザヘッド３の外部に出力されるとともに、所望の波長以外の不要光Ｌ１が不要光伝搬用光ファイバ５を介して、後述する不要光処理部１１に伝搬される。

ファイバレーザ装置本体２は、励起用光源７と、光コンバイナ８と、光共振器９と、ラマン波長変換部１０と、不要光処理部１１と、筐体１２と、を備えている。励起用光源７、光コンバイナ８、光共振器９、ラマン波長変換部１０および不要光処理部１１は、筐体１２の内部に収容されている。光共振器９は、増幅用光ファイバ１３で構成される増幅用コイル１４と、第１の反射部１５と、第２の反射部１６と、を備えている。第１の反射部１５は増幅用コイル１４の入力側に設けられ、第２の反射部１６は増幅用コイル１４の出力側に設けられている。第２の反射部１６の反射率は、第１の反射部１５の反射率よりも低い。

励起用光源７は、複数のレーザダイオード１８で構成され、励起光を射出する。レーザダイオード１８としては、例えばＧａＡｓ系半導体を材料とするファブリペロー型半導体レーザが用いられる。レーザダイオード１８は、光ファイバ１９に接続されている。光コンバイナ８は、複数のレーザダイオード１８から射出される複数の励起光を結合し、１つの励起光を生成する。励起光は、希土類元素が添加されたコアを有する増幅用光ファイバ１３を励起させる。レーザ光は、第１の反射部１５と第２の反射部１６との間で共振し、増幅される。第１の反射部１５および第２の反射部１６は、例えばファイバブラッググレーティング（ＦＢＧ）で構成されている。

光共振器９からの出力光は、ラマン波長変換部１０に入射する。ラマン波長変換部１０は、入射した光に対して誘導ラマン散乱を発現する光ファイバ２１で構成されている。光共振器９からの出力光のうち、一部の光は、ラマン波長変換部１０における誘導ラマン散乱により長波長側に波長変換され、ラマン光Ｌ２となる。すなわち、光共振器９から出力された光（波長変換前）の波長をλ１とし、ラマン光Ｌ２の波長をλ２とすると、λ１＜λ２である。ただし、他の一部の光は、ラマン波長変換部１０を通過しても波長変換されず、最終的に出力光として使われない不要光Ｌ１となる。そのため、波長λ２のラマン光Ｌ２と波長λ１の不要光Ｌ１とが混在した光が、ラマン波長変換部１０から出力され、出力光伝搬用光ファイバ４を介してレーザヘッド３に伝搬される。ここで、高出力の場合、波長λ２よりも長波長側に高次のラマン光が発生し、さらに複数の光が混在することもある。

レーザヘッド３は、分波素子２３と、ファイバカップリング部２４と、ヘッド筐体２５と、を備えている。ヘッド筐体２５の内部には空間２６が設けられ、空間２６の内部に分波素子２３が設けられている。本実施形態においては、分波素子２３として、波長λ２のラマン光Ｌ２を透過し、波長λ１の不要光Ｌ１を反射するバンドパスフィルタ（反射型フィルタ）が用いられる。ここで、高次のラマン光が含まれている場合、それらの波長に対してもフィルタの設計値を最適化する必要がある。つまり、高次のラマン光が不要であれば、それらの波長の光を反射するようにフィルタを設計し、高次のラマン光が必要であれば、それらの波長の光を透過するようにフィルタを設計することが望ましい。ファイバカップリング部２４は、入射端が空間２６に面して配置されており、不要光伝搬用光ファイバ５の一端が光学的に結合されている。不要光伝搬用光ファイバ５の他端は、ファイバレーザ装置本体２の内部の不要光処理部１１に光学的に結合されている。

図２は、不要光伝搬用光ファイバ５の断面図である。
不要光伝搬用光ファイバ５は、図２に示すように、ダブルクラッドファイバで構成されている。不要光伝搬用光ファイバ５は、円柱状のコア２８と、コア２８の外側面を覆う円筒状のインナークラッド２９と、インナークラッド２９の外側面を覆う円筒状のアウタークラッド３０と、アウタークラッド３０の外側面を覆う円筒状の外被３１と、を有する。不要光伝搬用光ファイバ５の構成要素のうち、コア２８とインナークラッド２９とは、例えば石英ガラスにより構成されている。アウタークラッド３０と外被３１とは、例えば樹脂により構成されている。屈折率の大小関係については、屈折率が低い方から高い方に向かって、アウタークラッド３０、インナークラッド２９、コア２８の順となっている。この構成により、不要光Ｌ１がコア２８に結合されなかったとしても、その不要光Ｌ１をインナークラッド２９に閉じ込めることができる。
以下、アウタークラッド３０と外被３１とをまとめて、被覆３２と称することもある。

本実施形態において、出力光伝搬用光ファイバ４は、シングルモードファイバで構成されている。一方、不要光伝搬用光ファイバ５は、マルチモードファイバで構成されている。

図１に示すように、ラマン波長変換部１０から出力された光は、出力光伝搬用光ファイバ４の出力端３４を介して分波素子２３に入射する。分波素子２３に入射した出力光Ｌ１０は波長λ２のラマン光Ｌ２と波長λ１の不要光Ｌ１とが混在した光であり、波長λ２のラマン光Ｌ２は、分波素子２３を透過し、ヘッド筐体２５の出力口２５ａから外部空間に出力される。

一方、波長λ１の不要光Ｌ１は、分波素子２３で反射し、ファイバカップリング部２４に入射する。不要光Ｌ１は、ファイバカップリング部２４から不要光伝搬用光ファイバ５を介して不要光処理部１１に出力される。不要光処理部１１は、例えば黒アルマイト処理が施されたアルミニウム、銅などの金属製ブロック、もしくは高屈折率樹脂が充填された容器で構成されている。不要光処理部１１は、不要光伝搬用光ファイバ５により伝搬された不要光Ｌ１が金属製ブロックもしくは高屈折率樹脂に入射するように構成されている。不要光処理部１１は、不要光Ｌ１を金属製ブロックや高屈折率樹脂に吸収させて熱に変換し、この熱を放散させることにより不要光を除去する。例えばファイバレーザ装置本体２の内部に熱容量の大きなヒートシンクなどがある場合、このヒートシンクを不要光処理部１１の一部として利用してもよい。

本実施形態のファイバレーザ装置１においては、レーザヘッド３の内部の分波素子２３で分波された不要光Ｌ１は、不要光伝搬用光ファイバ５によってファイバレーザ装置本体２内の不要光処理部１１に伝搬される。そのため、不要光Ｌ１が塵埃等の外乱の影響を受けにくく、塵埃等の外乱によって光が散乱され、この散乱光により予期しない箇所で発熱が生じる問題を解決することができる。これにより、信頼性の高いファイバレーザ装置１を実現することができる。また、レーザヘッド３内部に不要光処理部１１を配置していないため、レーザヘッド３の小型化、簡素化を図ることができる。

また、仮に分波素子をファイバレーザ装置本体に設けるとすると、分波素子を透過したラマン光をファイバカップリング部に光学的に結合させ、出力光伝搬用光ファイバを介してレーザヘッドに伝搬させる構成が一般的である。ところが、この構成ではファイバレーザ装置の高出力化に伴ってファイバカップリング部が発熱し、出力の低下もしくは不安定、ファイバカップリング部の損傷等の問題が生じる。これに対し、本実施形態のファイバレーザ装置１においては、分波素子２３がレーザヘッド３の内部に設けられ、かつ、出力光伝搬用光ファイバ４の最も出力側の端部に設けられている。そのため、分波素子２３を透過したラマン光Ｌ２は、ファイバカップリング部を経ることなく、レーザヘッド３から外部空間に直接出力される。そのため、ラマン光Ｌ２のファイバカップリングに伴う上記の問題を解決することができる。

また、本実施形態においては、出力光伝搬用光ファイバ４がシングルモードファイバで構成されているのに対し、不要光伝搬用光ファイバ５がコア径の大きなマルチモードファイバで構成されている。これにより、不要光の多くを不要光伝搬用光ファイバ５に容易に結合させることができる。また、光ファイバの曲げによる光の漏出を抑制しつつ、不要光Ｌ１を不要光処理部１１まで確実に伝搬させることができる。さらに、不要光伝搬用光ファイバ５がダブルクラッドファイバで構成されているため、コアに結合されなかった不要光Ｌ１をインナークラッドに閉じ込めることができる。これにより、不要光Ｌ１が不要光伝搬用光ファイバ５から漏出することをさらに抑制できる。また、不要光Ｌ１が被覆３２に入射して発熱することを抑制でき、不要光Ｌ１をより確実に処理できる。

［第２実施形態］
以下、本発明の第２実施形態について、図３を用いて説明する。
第２実施形態のファイバレーザ装置の基本構成は第１実施形態のファイバレーザ装置と同様であるが、不要光処理部の位置が第１実施形態と異なる。
図３において、第１実施形態で用いた図１と共通の構成要素には同一の符号を付し、説明を省略する。

第１実施形態のファイバレーザ装置においては、不要光処理部がファイバレーザ装置本体の内部に設けられていた。これに対し、図３に示すように、第２実施形態のファイバレーザ装置４０においては、不要光処理部４１がファイバレーザ装置本体２の外部に設けられている。その他の構成は第１実施形態と同様である。

本実施形態においても、高い信頼性を有する小型のファイバレーザ装置を実現できる、という第１実施形態と同様の効果が得られる。

また、本実施形態の場合、不要光処理部４１がファイバレーザ装置本体２とは独立して設けられているため、不要光処理部４１の配置や設計の自由度を高めることができる。

［第３実施形態］
以下、本発明の第３実施形態について、図４を用いて説明する。
第３実施形態のファイバレーザ装置の基本構成は第１実施形態のファイバレーザ装置と同様であるが、不要光検出部が設けられた点が第１実施形態と異なる。
図４において、第１実施形態で用いた図１と共通の構成要素には同一の符号を付し、説明を省略する。

図４に示すように、第３実施形態のファイバレーザ装置５０は、ファイバレーザ装置本体２の内部に不要光検出部５１を備えている。不要光検出部５１は、タップカプラ５２と、フォトダイオード５３と、を備えている。タップカプラ５２は、不要光伝搬用光ファイバ５の途中に設けられている。タップカプラ５２の一方の出力ポートは、光ファイバを介して不要光処理部１１に接続されている。タップカプラ５２の他方の出力ポートは、光ファイバを介してフォトダイオード５３に接続されている。

タップカプラ５２は、不要光伝搬用光ファイバ５を伝搬する不要光Ｌ１の一部を所定の分岐比で分岐させ、フォトダイオード５３に導く。本実施形態では、分岐比が例えば３０〜５０ｄＢ程度のタップカプラが用いられる。フォトダイオード５３は、タップカプラ５２で分岐した不要光Ｌ１を検知し、不要光Ｌ１のパワーの測定に用いられる。その他の構成は第１実施形態と同様である。

本実施形態においても、高い信頼性を有する小型のファイバレーザ装置を実現できるといった第１実施形態と同様の効果が得られる。

また、本実施形態の場合、不要光検出部５１が設けられているため、不要光Ｌ１のパワーの測定値とラマン波長変換部１０の変換効率とに基づいて、ラマン光のパワーを推定できる。つまり、不要光検出部５１は、出力光パワー検出部として機能する。この構成によれば、出力光伝搬用光ファイバ４に光検出部を設ける場合に比べて、出力光であるラマン光Ｌ２の損失を少なくできる。また、ラマン光Ｌ２の損失は熱となるため、不要な発熱を抑制できる点で安全性が高い。また、出力光伝搬用光ファイバ４を伝搬する光はラマン光Ｌ２と不要光Ｌ１とが含まれているため、出力光伝搬用光ファイバ４から漏出する光ではラマン光Ｌ２のみを正確に検出できない。これに対し、不要光伝搬用光ファイバ５から漏出する光は不要光Ｌ１のみであるため、出力光パワーをより正確に推定できる。

また、本実施形態の場合、不要光検出部５１がファイバレーザ装置本体２の内部に設けられているため、フォトダイオード５３の電気配線や基板をファイバレーザ装置本体２の内部に収容でき、装置の簡素化が図れる。

なお、第３実施形態においては、タップカプラを用いた不要光検出部の例を示したが、不要光検出部の構成はこれに限るものではない。
例えば図５に示すファイバレーザ装置６０のように、不要光処理部６１の内部に分岐素子６２とフォトダイオード５３とを含む不要光検出部６３が設けられた構成であってもよい。分岐素子６２として、例えば光フィルタ、石英ガラス板等が用いられる。分岐素子６２は、５％未満の光をフォトダイオード側に導く程度の分岐比があればよい。不要光処理部６１に入射した不要光Ｌ１は分岐素子６２によって分岐され、一方の光は不要光処理部６１によって処理され、他方の光はフォトダイオード５３に導かれる。このファイバレーザ装置６０においても、第３実施形態と同様の効果が得られる。

その他、不要光検出部としては、例えば不要光伝搬用光ファイバを曲げる、不要光伝搬用光ファイバの被覆の一部を剥離する等の方法によって不要光の一部を意図的に漏出させ、不要光が漏出する箇所にフォトダイオードを配置する構成を採用してもよい。

なお、本発明の技術範囲は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。
例えば上記実施形態では、分波素子としてバンドパスフィルタ（反射型フィルタ）の例を挙げたが、その他、ＷＤＭカプラ、プリズム等を用いることもできる。

また、上記実施形態では、ファイバレーザ装置本体とは別個にレーザヘッドが設けられた構成のファイバレーザ装置を例示したが、この構成に代えて、ファイバレーザ装置本体とレーザヘッドとが一つの筐体で一体化されたファイバレーザ装置に本発明を適用してもよい。もしくは、レーザヘッドを有しておらず、出力光伝搬用光ファイバの端部（コネクタ等）からラマン光が出力される構成のファイバレーザ装置に本発明を適用してもよい。

その他、ファイバレーザ装置の各構成要素の形状、配置、材料等に関する具体的な記載は、上記実施形態に限らず、適宜変更が可能である。また、本発明は、ＣＷファイバレーザ装置、パルスファイバレーザ装置のいずれにも適用が可能である。

本発明は、例えば材料加工等に用いるファイバレーザ装置に利用が可能である。

１，４０，５０，６０…ファイバレーザ装置、２…ファイバレーザ装置本体、３…レーザヘッド、４…出力光伝搬用光ファイバ、５…不要光伝搬用光ファイバ、１０…ラマン波長変換部、１１，４１，６１…不要光処理部、２３…分波素子、５１，６３…不要光検出部。

Claims (10)

1. ファイバレーザ装置本体と、
   入射光のうちの一部の光の波長を変換するラマン波長変換部と、
   前記ラマン波長変換部から出力された光を伝搬させる出力光伝搬用光ファイバと、
   前記出力光伝搬用光ファイバに設けられ、前記ラマン波長変換部から出力された光をラマン光と前記ラマン光以外の不要光とに分波する分波素子と、
   前記分波素子により分波された前記不要光の少なくとも一部が入射し、前記不要光の少なくとも一部を伝搬させる不要光伝搬用光ファイバと、
   前記出力光伝搬用光ファイバを介して前記ファイバレーザ装置本体に接続され、前記ラマン光を外部に出力するレーザヘッドと、を備え、
   前記分波素子及び前記不要光伝搬用光ファイバの一端は前記レーザヘッドの内部に設けられ、前記不要光伝搬用光ファイバの他端は前記レーザヘッドの外部に設けられている
   ことを特徴とするファイバレーザ装置。
2. 前記不要光伝搬用光ファイバの一端は、前記ラマン波長変換部から出力された光が入射する前記分波素子の入射面と対面しており、
   前記分波素子は、前記ラマン波長変換部から出力された光の光軸に対して前記入射面が角度をつけて配置されており、前記不要光を前記光軸に沿う方向以外の方向に反射させることによって、前記不要光を空間伝搬させて前記不要光伝搬用光ファイバの一端に結合させる
   ことを特徴とする請求項１記載のファイバレーザ装置。
3. 前記分波素子は、前記出力光伝搬用光ファイバの最も出力側の端部に設けられたことを特徴とする請求項１または請求項２に記載のファイバレーザ装置。
4. 前記ラマン波長変換部は、前記ファイバレーザ装置本体の内部に設けられていることを特徴とする請求項１から請求項３までのいずれか一項に記載のファイバレーザ装置。
5. 前記不要光伝搬用光ファイバにより伝搬される前記不要光の少なくとも一部を処理する不要光処理部をさらに備えたことを特徴とする請求項１から請求項４までのいずれか一項に記載のファイバレーザ装置。
6. 前記不要光処理部は、前記ファイバレーザ装置本体に設けられていることを特徴とする請求項５に記載のファイバレーザ装置。
7. 前記不要光伝搬用光ファイバは、ダブルクラッドファイバで構成されていることを特徴とする請求項１から請求項６までのいずれか一項に記載のファイバレーザ装置。
8. 前記出力光伝搬用光ファイバは、シングルモードファイバで構成され、
   前記不要光伝搬用光ファイバは、マルチモードファイバで構成されていることを特徴とする請求項１から請求項７までのいずれか一項に記載のファイバレーザ装置。
9. 前記不要光伝搬用光ファイバから漏出する前記不要光の一部を検出する不要光検出部をさらに備えたことを特徴とする請求項１から請求項８までのいずれか一項に記載のファイバレーザ装置。
10. 前記不要光検出部は、前記ファイバレーザ装置本体の内部に設けられたことを特徴とする請求項９に記載のファイバレーザ装置。

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