WO2015026211A1 - 기판 검사 장치 - Google Patents

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WO2015026211A1
WO2015026211A1 PCT/KR2014/007877 KR2014007877W WO2015026211A1 WO 2015026211 A1 WO2015026211 A1 WO 2015026211A1 KR 2014007877 W KR2014007877 W KR 2014007877W WO 2015026211 A1 WO2015026211 A1 WO 2015026211A1
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inspection
data processing
unit
substrate
optimization
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PCT/KR2014/007877
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홍덕화
금정주
송승호
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주식회사 고영테크놀러지
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Definitions

  • the present invention relates to a substrate inspection apparatus, and more particularly, to a substrate inspection apparatus for shortening the inspection time for a substrate including a plurality of inspection regions and for user convenience.
  • an inspection process for inspecting whether the printed circuit board is defective before and after the electronic component is mounted is performed. For example, an SPI process that checks the lead coating of the pad area of the printed circuit board before mounting the electronic component on the printed circuit board, and an AOI that checks the mounting state of the electronic component after mounting the electronic component on the printed circuit board. The process proceeds.
  • the inspection process of the printed circuit board is performed through a substrate inspection apparatus including a lighting unit for irradiating light to the substrate and a measuring unit having a camera for capturing an image of the substrate and obtaining image data.
  • a three-dimensional substrate inspection apparatus for acquiring three-dimensional information of a printed circuit board by using an illumination unit for irradiating grating pattern light and thereby improving inspection reliability of the printed circuit board has been developed.
  • the inspection is performed by dividing the printed circuit board into a plurality of inspection regions in order to inspect a large size printed circuit board.
  • the inspection time is increased by performing the inspection while moving the measuring unit to the plurality of inspection regions.
  • the present invention has been made in view of such a problem, and the present invention provides a substrate inspection apparatus capable of shortening the inspection time of a printed circuit board and improving user convenience of the inspection process.
  • a substrate inspection apparatus may include: a measurement unit configured to measure the inspection regions according to a predetermined measurement order with respect to an inspection substrate including a plurality of inspection regions, and to acquire image data for each inspection region, and to transmit from the measurement unit
  • a control unit including a plurality of data processing units performing data processing of the image data of each inspection area, an optimization module configured to set an optimized measurement order of the inspection areas and an optimized data processing order of the data processing units, and And a user interface for displaying optimization related information related to the measurement order and the data processing order to be optimized through the optimization module.
  • the optimization module optimizes the measurement order of the inspection areas and the data processing order of the data processing units in consideration of at least one of the movement time of the measurement unit and the data processing time of the image data for each inspection area.
  • the user interface may include an inspection region sequence chart that displays a data processing order of data processing by the data processing units of the inspection region-specific image data obtained according to the measurement order optimized by the optimization module.
  • the inspection region sequence chart unit indicates the time sequence on the x-axis and the sequence of the data processing units on the y-axis, and displays the data processing sequence of the image data for each inspection region as a bar-shaped inspection region block having a length corresponding to the data processing time. do.
  • the inspection region sequence chart unit may display, at the front end of the inspection region block, a movement time block indicating a movement time of the inspection unit according to a user's selection.
  • the user interface may further include a bar chart unit configured to display the measurement order of the inspection areas in a block form.
  • the user interface may further include a substrate image display configured to display an image of the test substrate on which the test areas are displayed.
  • the substrate image display may highlight the inspection area currently being inspected or directly selected by the user.
  • the user interface includes an algorithm display unit for displaying result data according to the execution of one or more optimization algorithms, a parameter display unit for displaying parameters of hardware, an optimization execution unit for executing path optimization, a simulation execution unit for executing a simulation, and
  • the display apparatus may further include an attribute display unit including at least one of inspection region information display units displaying detailed information on the inspection region selected by the user.
  • the measurement time of the inspection regions and the data processing sequence of the data processing units are optimized in consideration of the movement time of the measurement unit and the data processing time for each inspection region, thereby shortening the inspection time for the inspection substrate. Can be.
  • the user convenience of the inspection process may be improved by providing optimization related information related to the measurement order of the inspection areas and the data processing order of the data processing units optimized through the optimization module.
  • FIG. 1 is a view schematically showing a substrate inspection apparatus according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 is a diagram illustrating a display screen of a user interface according to an exemplary embodiment of the present invention.
  • FIG. 3 is a diagram illustrating an inspection region sequence chart unit illustrated in FIG. 2.
  • FIG. 4 is an enlarged view illustrating an enlarged portion A illustrated in FIG. 3.
  • FIG. 5 is a view illustrating a bar chart part illustrated in FIG. 2.
  • FIG. 6 is a diagram illustrating a substrate image display unit illustrated in FIG. 2.
  • FIG. 7 is a diagram illustrating a highlight function of the substrate image display unit illustrated in FIG. 6.
  • FIG. 8 is a diagram illustrating an attribute display unit illustrated in FIG. 2.
  • first and second may be used to describe various components, but the components should not be limited by the terms. The terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another.
  • the first component may be referred to as the second component, and similarly, the second component may also be referred to as the first component.
  • FIG. 1 is a view schematically showing a substrate inspection apparatus according to an embodiment of the present invention.
  • a substrate inspection apparatus includes a measurement unit 100, a controller 200, and a user interface 300.
  • the measurement unit 100 sequentially measures the inspection regions according to a predetermined measurement order with respect to the inspection substrate 110 including the plurality of inspection regions to obtain image data for each inspection region.
  • the measuring unit 100 may, for example, at least one projecting unit 120 for irradiating grating pattern light onto the test substrate 110 and at least one of photographing a reflection image of the test substrate 110 by the grating pattern light. Camera 130.
  • the projection unit 120 may include a grid pattern light for acquiring three-dimensional information such as height information and visibility information. 110).
  • the projection unit 120 projects a light source for generating light, a grating element for converting light from the light source into grating pattern light, and the grating pattern light converted by the grating element onto the inspection substrate 110.
  • a projection lens for this purpose.
  • the grating element may be transferred n-1 times by 2 / n through a grating transfer mechanism such as a piezo actuator (PZT) for phase shift of the grating pattern light.
  • N is a natural number of 2 or more.
  • the grating element may be formed of a liquid crystal grating that does not require physical transfer.
  • Projection unit 120 having such a configuration may be provided in plurality so as to be spaced apart at a predetermined angle in the circumferential direction with respect to the camera 130 to increase the inspection accuracy.
  • the camera 130 captures an image of the inspection substrate 110 through irradiation of the grid pattern light of the projection unit 120.
  • the camera 130 is installed at an upper portion perpendicular to the test substrate 110.
  • the camera 130 may be a global shutter type camera using a CCD sensor.
  • the global shutter type camera 130 acquires image data at once by taking a snapshot of an image within a viewing range.
  • the camera 130 may be a rolling shutter type camera using a CMOS sensor.
  • the rolling shutter type camera 130 scans two-dimensionally arranged pixels in line units to obtain image data.
  • the measurement unit 100 may further include an illumination unit (not shown) for taking a planar image of the test substrate 110.
  • the lighting unit is an illumination for initial alignment of the inspection substrate 110 or setting an inspection region, and is formed in a circular ring shape to provide one or more monochromatic light to the inspection substrate 110.
  • the lighting unit may include a fluorescent lamp for generating white light, or may include a red light emitting diode, a green light emitting diode, and a blue light emitting diode for generating red, green, and blue light, respectively.
  • the measurement unit 100 having such a configuration irradiates light onto the inspection substrate 110 using the projection unit 120 or the illumination unit, and photographs and mounts the image of the inspection substrate 110 through the camera 130. Image data of the test board 110 on which the component is mounted is obtained.
  • the camera 130 since the camera 130 has a limited field of view (FOV), for a large-sized test substrate 110, the camera 130 is divided into a plurality of inspection regions corresponding to the field of view (FOV) of the camera 130. The test will be divided. Therefore, the measuring unit 100 sequentially measures the plurality of inspection areas according to a predetermined measurement order to obtain image data for each inspection area.
  • FOV field of view
  • the controller 200 may be configured to optimize the measurement order of the plurality of data processing units 210 and the inspection regions of the inspection substrate 110 to perform data processing of the image data for each inspection region transmitted from the measurement unit 100. It includes an optimization module 220 for setting the.
  • the data processing units 210 acquire 3D information or 2D information of the test substrate 110 including height information through data conversion of the test area-specific image data transmitted from the measurement unit 100, and obtained The mounting state of the mounting component is inspected using three-dimensional information or two-dimensional information.
  • the optimization module 220 optimizes the measurement order of the measurement unit 100 for the inspection regions by using a specific algorithm on the inspection substrate 110 including the plurality of inspection regions. In addition, the optimization module 220 optimizes the data processing order using a specific algorithm for the plurality of data processing units 210.
  • the optimization module 220 measures the measurement unit 100 for the inspection areas in consideration of the movement time between the inspection areas of the measurement unit 100 and the data processing time of the image data for each inspection area. Order and / or optimize the data processing order of the data processing units 210. That is, since the moving time of the measuring unit 100 varies according to the separation distance between the test areas, and the amount of data to be processed differs for each test area, and the data processing time is different, the moving time and the test area of the measuring unit 100 are different.
  • the inspection time of the inspection substrate 110 may be shortened by optimizing the measurement order of the inspection areas and the data processing order of the data processing units 210 in consideration of the data processing time.
  • the user interface 300 receives various input information from the user and displays various inspection information to the user throughout the entire process of inspecting the inspection substrate 110 through the measuring unit 100 and the control unit 200. do.
  • the user interface 300 displays optimization related information related to the measurement order of the inspection areas and the data processing order of the data processors 210 that are optimized by the optimization module 220.
  • FIG. 2 is a diagram illustrating a display screen of a user interface according to an exemplary embodiment of the present invention.
  • the user interface 300 may include an inspection region sequence chart unit 310, a bar chart unit 320, a board image display unit 330, and a display unit on a display screen according to a user's request for optimization work.
  • the attribute display unit 340 is displayed.
  • the inspection region sequence chart unit 310 is disposed at the top of the display screen
  • the bar chart unit 320 is disposed below the inspection region sequence chart unit 310
  • the substrate image display unit 330 and the attributes are provided.
  • the display unit 340 is disposed below the bar chart unit 320. Meanwhile, arrangement positions of the inspection area sequence chart unit 310, the bar chart unit 320, the substrate image display unit 330, and the attribute display unit 340 are not limited thereto and may be variously changed by the user's convenience. .
  • FIG. 3 is a diagram illustrating an inspection region sequence chart unit illustrated in FIG. 2, and FIG. 4 is an enlarged view illustrating an enlarged portion A illustrated in FIG. 3.
  • the inspection region sequence chart unit 310 displays a data processing order of the plurality of data processing units 210 as charts. That is, the inspection region sequence chart unit 310 watches the data processing order in which the data processing units 210 process data of the image data for each inspection region sequentially acquired according to the measurement order optimized by the optimization module 220. Sort it thermally and display it to the user.
  • the inspection region sequence chart unit 310 indicates a time sequence on the x-axis and the data processing units 210 on the y-axis, and a bar shape having a length corresponding to the data processing time of the data processing sequence of the image data for each inspection region. Indicated by the inspection area block 312 of the. Since the amount of data to be processed in each inspection area may be different, the data processing time for each inspection area may be different, so the processing time blocks 312 may be displayed to have different lengths corresponding to the data processing time for each inspection area. have.
  • the inspection region sequence chart unit 310 may display a movement time block 314 indicating the movement time of the inspection unit 100 at the front end of the inspection region block 312 according to a user's selection. Since the distances between the inspection areas may not be the same, the movement time of the measuring unit 100 may be displayed to have different lengths corresponding to the movement distances between the inspection areas.
  • the inspection region sequence chart unit 310 may display a grab time block 316 representing a grab time of the measurement unit 100 between the inspection region block 312 and the movement time block 314. .
  • the total work time for each inspection area is the sum of the travel time, grab time and data processing time of the measuring unit 100.
  • the optimization module 220 substantially sets the data processing order of the data processing units 210 in consideration of the total work time for each of the inspection areas. That is, the optimization module 220 sequentially allocates the image data for each inspection area, which are sequentially transmitted from the measurement unit 100, to the plurality of data processing units 210, so that the data processing unit that is not currently performing data processing (
  • the data processing order is set in such a manner as to assign to 210 first. For example, as shown in FIG. 3, in allocating image data for the 11th inspection area, data processing units 3 and 4 are still performing data processing, and thus data processing unit 5 has already been processed. Will be assigned to. As such, by setting the data processing order in consideration of the data processing status of the data processing units 210, the entire board inspection start time can be shortened.
  • FIG. 5 is a view illustrating a bar chart part illustrated in FIG. 2.
  • the bar chart part 320 is displayed in the form of a rounded corner test area block 322 arranged in a line in the order of measurement for all the test areas included in the test substrate 110.
  • the bar chart unit 320 may group and display the plurality of test area blocks 322 for each group. If there is no set group, the bar chart unit 320 may display the entire inspection area blocks 322 as one group. In addition, the bar chart unit 320 may display the inspection area block 322 according to the state. In addition, the bar chart unit 320 may include an inspection area moving function for moving the inspection area block 322 through a context menu method or a drag and drop method.
  • the bar chart unit 320 may include a bookmark button 324 for storing a bookmark state of an arrangement order, grouping, etc. of the current inspection area blocks 322.
  • the bar chart unit 320 may include a loading button 326 for loading the state of the desired inspection area blocks 322 from the stored bookmark.
  • FIG. 6 is a diagram illustrating a substrate image display unit illustrated in FIG. 2
  • FIG. 7 is a diagram illustrating a highlight function of the substrate image display unit illustrated in FIG. 6.
  • the board image display unit 330 displays a board image of the test board 110 that is currently being inspected.
  • the substrate image displayed on the substrate image display unit 330 is displayed according to the size of the region of the substrate image display unit 330 while maintaining the aspect ratio of the actual inspection substrate 110.
  • a plurality of inspection regions 332 which are substantially inspected are displayed together.
  • the inspection area 332 currently being inspected among the plurality of inspection areas 332 may be displayed separately from the other inspection areas 332.
  • the substrate image display unit 330 may highlight and display the inspection area 332a currently being inspected or directly selected by the user. For example, only the specified inspection region 332a may be highlighted by displaying the substrate image region blurringly translucently displayed except for the inspection region 332a currently being inspected or selected by the user. .
  • the substrate image display unit 330 may enlarge / reduce the substrate image and the inspection area 332 by using a mouse control. In addition, the substrate image display unit 330 may move and display the substrate image and the inspection area 332 by using mouse dragging.
  • FIG. 8 is a diagram illustrating an attribute display unit illustrated in FIG. 2.
  • the attribute display unit 340 may include an algorithm display unit 341, a parameter display unit 342, an optimization execution unit 343, a simulation execution unit 344, an inspection region information display unit 345, and the like. have.
  • the algorithm display unit 341 displays the result data according to the execution of one or more optimization algorithms.
  • the result data refers to the total time taken to inspect all the inspection regions for the inspection substrate 110 through one optimization algorithm.
  • the algorithm display unit 341 is deactivated until the path optimization function is performed. After the path optimization function is performed, the algorithm display unit 341 is individually activated and displayed for the item for which the optimization result data is displayed.
  • the algorithm display unit 341 may set and display a value having the smallest time as a final result when the path optimization for all the optimization algorithms is completed.
  • the parameter display unit 342 is an area for setting and displaying hardware parameters related to the measurement unit 100, the data processor 210, and the like. For example, the parameter display unit 342 displays the speed, acceleration and deceleration of the measurement unit 100, the number of the data processing unit 210, and the like.
  • the parameter display unit 342 is activated or deactivated according to the login authority. For example, the parameter display unit 342 is activated and displayed to be editable when the equipment manufacturer is logged in, and is deactivated and displayed to be impossible to edit when the general user is logged in.
  • the optimization execution unit 343 is an area in which a path optimization button is formed to execute path optimization. If the check box of using the actual inspection time is checked in the optimization execution unit 343, the optimization is performed based on the actual inspection time information value.
  • the optimization execution unit 343 clicks the path optimization execution button, path optimization is performed, and an optimization dialog displaying a progress for each algorithm is displayed. At this time, depending on the execution state of the path optimization, it is possible to pause, restart, cancel, close, and the like.
  • the result data is updated and displayed on the algorithm display unit 341, and the value having the smallest time is displayed as the final result value.
  • the test area information of the current module is updated with the selected result data, and the test area sequence chart unit 310 is updated and displayed.
  • the simulation execution unit 344 is an area in which a simulation execution button for performing simulation on path optimization is formed.
  • the simulation execution unit 344 is provided with an input window for setting the simulation time.
  • simulation execution unit 344 When the simulation execution unit 344 inputs a simulation time and clicks a simulation execution button, simulations are performed on the inspection areas in order according to the optimization path currently set. When the simulation is performed, a dialog is displayed that shows the progress of the simulation. At this time, depending on the execution state of the simulation, it can be paused, restarted, canceled, closed and the like. In addition, during the simulation, the inspection area currently being simulated by the inspection area sequence chart unit 310, the bar chart unit 320, and the substrate image display unit 330 may be displayed in a highlight form.
  • the inspection area information display unit 345 displays detailed information about the inspection area selected by the user. For example, when a user selects an inspection region from the inspection region sequence chart unit 310 or the bar chart unit 320, the inspection region information display unit 345 may display an inspection region ID, inspection region coordinates, and imaging for the selected inspection region. Displays information such as time, execution time, and the number of components. In addition, when a user selects an algorithm in the algorithm display unit 341, detailed information about the selected algorithm is displayed. When a plurality of inspection areas are selected by the user, information on the selected inspection areas may be listed in order, and may be scrolled vertically.
  • the user convenience of the inspection process may be improved.

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Abstract

본 발명은 검사 시간을 단축하고 사용자 편의성을 향상시킬 수 있는 기판 검사 장치에 관한 것이다. 본 발명의 일 특징에 따른 기판 검사 장치는, 복수의 검사 영역들을 포함하는 검사 기판에 대하여 정해진 측정 순서에 따라 검사 영역들을 측정하여 검사 영역별 영상 데이터들을 획득하는 측정 유닛, 측정 유닛으로부터 전송된 검사 영역별 영상 데이터들의 데이터 처리를 수행하는 복수의 데이터 처리부들, 및 검사 영역들의 최적화된 측정 순서 및 데이터 처리부들의 최적화된 데이터 처리 순서를 설정하는 최적화 모듈을 포함하는 제어부, 및 최적화 모듈을 통해 최적화되는 측정 순서 및 데이터 처리 순서와 관련된 최적화 관련 정보를 표시하는 유저 인터페이스를 포함한다.

Description

기판 검사 장치
본 발명은 기판 검사 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 복수의 검사 영역들을 포함하는 기판에 대한 검사 시간을 단축시킴과 동시에 사용자 편의를 도모하기 위한 기판 검사 장치에 관한 것이다.
일반적으로, 전자 부품이 실장된 인쇄회로기판의 신뢰성을 검증하기 위하여, 전자 부품의 실장 전후에 인쇄회로기판의 불량 여부를 검사하는 검사 공정이 진행된다. 예를 들어, 전자 부품을 인쇄회로기판에 실장하기 전에 인쇄회로기판의 패드 영역에 대한 납 도포 상태를 검사하는 SPI 공정 및 전자 부품을 인쇄회로기판에 실장한 후 전자 부품의 실장 상태를 검사하는 AOI 공정이 진행된다.
인쇄회로기판의 검사 공정은 기판으로 광을 조사하는 조명부 및 기판의 이미지를 촬영하여 이미지 데이터를 획득하는 카메라를 구비한 측정 유닛을 포함하는 기판 검사 장치를 통해 이루어진다. 최근 들어, 격자 패턴광을 조사하는 조명부를 이용하여 인쇄회로기판의 3차원 정보를 획득하고, 이를 통해 인쇄회로기판의 검사 신뢰성을 향상시킬 수 있는 3차원 기판 검사 장치가 개발되고 있다.
한편, 카메라의 시야 범위(Field Of View : FOV)는 한정되어 있기 때문에, 대형 사이즈의 인쇄회로기판을 검사하기 위해서는 인쇄회로기판을 복수의 검사 영역으로 분할하여 검사를 진행하게 된다. 따라서, 측정 유닛을 복수의 검사 영역들로 이동시키면서 검사를 진행함으로써, 검사 시간이 증가하는 문제가 발생된다.
따라서, 본 발명은 이와 같은 문제점을 감안한 것으로써, 본 발명은 인쇄회로기판의 검사 시간을 단축시키고, 검사 공정의 사용자 편의성을 향상시킬 수 있는 기판 검사 장치를 제공한다.
본 발명의 일 특징에 따른 기판 검사 장치는, 복수의 검사 영역들을 포함하는 검사 기판에 대하여 정해진 측정 순서에 따라 상기 검사 영역들을 측정하여 검사 영역별 영상 데이터들을 획득하는 측정 유닛, 상기 측정 유닛으로부터 전송된 상기 검사 영역별 영상 데이터들의 데이터 처리를 수행하는 복수의 데이터 처리부들, 및 상기 검사 영역들의 최적화된 측정 순서 및 상기 데이터 처리부들의 최적화된 데이터 처리 순서를 설정하는 최적화 모듈을 포함하는 제어부, 및 상기 최적화 모듈을 통해 최적화되는 상기 측정 순서 및 상기 데이터 처리 순서와 관련된 최적화 관련 정보를 표시하는 유저 인터페이스를 포함한다.
상기 최적화 모듈은 상기 측정 유닛의 이동 시간 및 상기 검사 영역별 영상 데이터의 데이처 처리 시간 중 적어도 하나를 고려하여, 상기 검사 영역들에 대한 측정 순서 및 상기 데이터 처리부들의 데이터 처리 순서를 최적화시킨다.
상기 유저 인터페이스는 상기 최적화 모듈을 통해 최적화된 측정 순서에 따라 획득된 상기 검사 영역별 영상 데이터들을 상기 데이터 처리부들에서 데이터 처리하는 데이터 처리 순서를 표시하는 검사영역 시퀀스 챠트부를 포함할 수 있다.
상기 검사영역 시퀀스 챠트부는 x축에 시간, y축에 상기 데이터 처리부들의 순번을 나타내며, 상기 검사 영역별 영상 데이터의 데이터 처리 순서를 데이터 처리 시간에 대응되는 길이를 갖는 바 형태의 검사영역 블록으로 표시한다.
상기 검사영역 시퀀스 챠트부는 사용자의 선택에 따라 상기 검사 유닛의 이동 시간을 나타내는 이동시간 블록을 상기 검사영역 블록의 앞단에 표시할 수 있다.
상기 유저 인터페이스는 상기 검사 영역들의 측정 순서를 블록 형태로 일렬로 정렬하여 표시하는 바 챠트부를 더 포함할 수 있다.
상기 유저 인터페이스는 상기 검사 영역들이 표시된 상기 검사 기판의 이미지를 표시하는 기판 이미지 표시부를 더 포함할 수 있다. 상기 기판 이미지 표시부는 현재 검사가 진행 중이거나 또는 사용자가 직접 선택한 검사 영역을 하이라이트 처리하여 표시할 수 있다.
상기 유저 인터페이스는, 하나 이상의 최적화 알고리즘의 수행에 따른 결과 데이터들을 표시하는 알고리즘 표시부, 하드웨어의 파라미터를 표시하는 파라미터 표시부, 경로 최적화를 실행시키기 위한 최적화 실행부, 시뮬레이션을 실행시키기 위한 시뮬레이션 실행부, 및 사용자에 의해 선택된 검사 영역에 대한 상세 정보를 표시하는 검사영역 정보 표시부 중 적어도 하나를 포함하는 속성 표시부를 더 포함할 수 있다.
이와 같은 기판 검사 장치에 따르면, 측정 유닛의 이동 시간 및 검사 영역별 데이터 처리 시간 등을 고려하여 검사 영역들의 측정 순서 및 데이터 처리부들의 데이터 처리 순서 등을 최적화시킴으로써, 검사 기판에 대한 검사 시간을 단축시킬 수 있다.
또한, 최적화 모듈을 통해 최적화되는 검사 영역들의 측정 순서 및 데이터 처리부들의 데이터 처리 순서 등과 관련된 최적화 관련 정보를 유저 인터페이스를 통해 제공함으로써, 검사 공정의 사용자 편의성을 향상시킬 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 검사장치를 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 유저 인터페이스의 표시 화면을 나타낸 도면이다.
도 3은 도 2에 도시된 검사영역 시퀀스 챠트부를 나타낸 도면이다.
도 4는 도 3에 도시된 A부분을 확대한 확대도이다.
도 5는 도 2에 도시된 바 챠트부를 나타낸 도면이다.
도 6은 도 2에 도시된 기판 이미지 표시부를 나타낸 도면이다.
도 7은 도 6에 도시된 기판 이미지 표시부의 하이라이트 기능을 나타낸 도면이다.
도 8은 도 2에 도시된 속성 표시부를 나타낸 도면이다.
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성 요소는 제2 구성 요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성 요소도 제1 구성 요소로 명명될 수 있다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예들을 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 갖는다.
일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥상 가지는 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여, 본 발명의 바람직한 실시예들을 보다 상세하게 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 검사장치를 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 검사장치는 측정 유닛(100), 제어부(200) 및 유저 인터페이스(300)를 포함한다.
측정 유닛(100)은 복수의 검사 영역들을 포함하는 검사 기판(110)에 대하여 정해진 측정 순서에 따라 검사 영역들을 순차적으로 측정하여 검사 영역별 영상 데이터들을 획득한다.
측정 유닛(100)은 예를 들어, 검사 기판(110)에 격자 패턴광을 조사하기 위한 하나 이상의 투영부(120) 및 상기 격자 패턴광에 의한 검사 기판(110)의 반사 이미지를 촬영하는 적어도 하나의 카메라(130)를 포함한다.
투영부(120)는 검사 기판(110)에 실장된 실장 부품의 실장 상태를 검사하기 위하여, 높이 정보, 비저빌러티(visibility) 정보 등의 3차원 정보를 획득하기 위한 격자 패턴광을 검사 기판(110)에 조사한다. 예를 들어, 투영부(120)는 광을 발생시키는 광원, 상기 광원으로부터의 광을 격자 패턴광으로 변환시키기 위한 격자 소자, 상기 격자 소자에 의해 변환된 격자 패턴광을 검사 기판(110)에 투영하기 위한 투영 렌즈 등을 포함할 수 있다. 상기 격자 소자는 격자 패턴광의 위상천이를 위해 페이조 엑추에이터(piezo actuator : PZT) 등의 격자이송기구를 통해 2/n 만큼씩 n-1번 이송될 수 있다. 여기서, n은 2 이상의 자연수이다. 한편, 격자 소자는 물리적 이송이 필요없는 액정 격자로 형성될 수 있다. 이러한 구성을 갖는 투영부(120)는 검사 정밀도를 높이기 위하여 카메라(130)를 중심으로 원주 방향을 따라 일정한 각도로 이격되도록 복수가 설치될 수 있다.
카메라(130)는 투영부(120)의 격자 패턴광의 조사를 통해 검사 기판(110)의 이미지를 촬영한다. 예를 들어, 카메라(130)는 검사 기판(110)으로부터 수직한 상부에 설치된다. 카메라(130)는 CCD 센서를 이용한 글로벌 셔터(global shutter) 방식의 카메라가 사용될 수 있다. 글로벌 셔터 방식의 카메라(130)는 시야범위 내의 이미지를 스냅샷(snap shot)으로 촬영하여 한 번에 영상 데이터를 획득한다. 이와 달리, 카메라(130)는 CMOS 센서를 이용한 롤링 셔터(rollering shutter) 방식의 카메라가 사용될 수 있다. 롤링 셔터 방식의 카메라(130)는 2차원 배열된 화소들을 라인 단위로 스캔하여 영상 데이터를 획득한다.
한편, 측정 유닛(100)은 검사 기판(110)의 평면적 이미지를 촬영하기 위한 조명부(미도시)를 더 포함할 수 있다. 상기 조명부는 검사 기판(110)의 초기 얼라인 또는 검사 영역 설정 등을 위한 조명으로, 원형의 링 형상으로 형성되어 검사 기판(110)에 하나 이상의 단색광을 제공한다. 예를 들어, 상기 조명부는 백색광을 발생시키는 형광 램프를 포함하거나, 또는 적색, 녹색 및 청색 광을 각각 발생시키는 적색 발광다이오드, 녹색 발광다이오드 및 청색 발광다이오드를 포함할 수 있다.
이와 같은 구성을 갖는 측정 유닛(100)은 투영부(120) 또는 상기 조명부를 이용하여 검사 기판(110)에 광을 조사하고, 카메라(130)를 통해 검사 기판(110)의 이미지를 촬영하여 실장 부품이 실장된 검사 기판(110)의 영상 데이터들을 획득한다.
한편, 카메라(130)는 한정된 시야 범위(FOV : Field of View)를 가지기 때문에, 대형 사이즈의 검사 기판(110)에 대해서는 카메라(130)의 시야 범위(FOV)에 대응하여 복수의 검사 영역들로 분할하여 검사를 진행하게 된다. 따라서, 측정 유닛(100)은 복수의 검사 영역들을 소정의 측정 순서에 따라 순차적으로 측정하여 검사 영역별 영상 데이터들을 획득하게 된다.
제어부(200)는 측정 유닛(100)으로부터 전송되는 상기 검사 영역별 영상 데이터들의 데이터 처리를 수행하는 복수의 데이터 처리부들(210), 및 검사 기판(110)의 검사 영역들에 대한 최적화된 측정 순서를 설정하기 위한 최적화 모듈(220)을 포함한다.
데이터 처리부들(210)은 측정 유닛(100)으로부터 전송되는 상기 검사 영역별 영상 데이터들의 데이터 변환을 통해 높이 정보를 포함하는 검사 기판(110)의 3차원 정보 또는 2차원 정보를 획득하고, 획득된 3차원 정보 또는 2차원 정보를 이용하여 실장 부품의 실장 상태를 검사한다.
최적화 모듈(220)은 복수의 검사 영역들을 포함하는 검사 기판(110)에 대하여 특정 알고리즘을 이용하여 검사 영역들에 대한 측정 유닛(100)의 측정 순서를 최적화시킨다. 또한, 최적화 모듈(220)은 복수의 데이터 처리부들(210)에 대하여 특정 알고리즘을 이용하여 데이터 처리 순서를 최적화시킨다.
예를 들어, 최적화 모듈(220)은 측정 유닛(100)의 검사 영역들간의 이동 시간과 상기 검사 영역별 영상 데이터의 데이터 처리 시간 등을 고려하여, 검사 영역들에 대한 측정 유닛(100)의 측정 순서 및/또는 데이터 처리부들(210)의 데이터 처리 순서를 최적화시킨다. 즉, 검사 영역들간의 이격 거리에 따라 측정 유닛(100)의 이동 시간이 달라지고, 각 검사 영역별로 처리해야할 데이터량이 달라 데이터 처리 시간이 상이함으로, 측정 유닛(100)의 이동 시간 및 검사 영역별 데이터 처리 시간 등을 고려하여 검사 영역들의 측정 순서 및 데이터 처리부들(210)의 데이터 처리 순서 등을 최적화시킴으로써, 검사 기판(110)에 대한 검사 시간을 단축시킬 수 있다.
유저 인터페이스(300)는 측정 유닛(100) 및 제어부(200)를 통해 검사 기판(110)을 검사하는 전 과정에 걸쳐, 사용자로부터 각종 입력 정보를 입력받고 사용자에게 각종 검사 정보를 표시하는 기능을 수행한다. 특히, 유저 인터페이스(300)는 최적화 모듈(220)을 통해 최적화되는 검사 영역들의 측정 순서 및 데이터 처리부들(210)의 데이터 처리 순서 등과 관련된 최적화 관련 정보를 표시한다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 유저 인터페이스의 표시 화면을 나타낸 도면이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 유저 인터페이스(300)는 사용자의 최적화 작업 요청에 따라, 표시 화면 상에 검사영역 시퀀스 챠트부(310), 바 챠트부(320), 기판 이미지 표시부(330) 및 속성 표시부(340) 등을 표시한다. 예를 들어, 검사영역 시퀀스 챠트부(310)는 표시 화면의 상단에 배치되고, 바 챠트부(320)는 검사영역 시퀀스 챠트부(310)의 하부에 배치되고, 기판 이미지 표시부(330) 및 속성 표시부(340)는 바 챠트부(320)의 하부에 배치된다. 한편, 검사영역 시퀀스 챠트부(310), 바 챠트부(320), 기판 이미지 표시부(330) 및 속성 표시부(340)의 배치 위치는 이에 한정되지 않고, 사용자의 편의에 의해 다양하게 변경될 수 있다.
도 3은 도 2에 도시된 검사영역 시퀀스 챠트부를 나타낸 도면이며, 도 4는 도 3에 도시된 A부분을 확대한 확대도이다.
도 3 및 도 4를 참조하면, 검사영역 시퀀스 챠트부(310)는 복수의 데이터 처리부들(210)에 대한 데이터 처리 순서를 챠트로 표시한다. 즉, 검사영역 시퀀스 챠트부(310)는 최적화 모듈(220)을 통해 최적화된 측정 순서에 따라 순차적으로 획득된 상기 검사 영역별 영상 데이터들을 데이터 처리부들(210)에서 데이터 처리하는 데이터 처리 순서를 시계열적으로 정렬하여 사용자에게 표시한다.
검사영역 시퀀스 챠트부(310)는 x축에 시간, y축에 데이터 처리부들(210)의 순번을 나타내며, 상기 검사 영역별 영상 데이터의 데이터 처리 순서를 데이터 처리 시간에 대응되는 길이를 갖는 바 형태의 검사영역 블록(312)으로 표시한다. 각각의 검사 영역에서 처리해야할 데이터량이 달라 각각의 검사 영역에 대한 데이터 처리 시간이 상이할 수 있으므로, 처리시간 블록들(312)은 검사 영역별로 데이터 처리 시간에 대응하여 서로 상이한 길이를 갖도록 표시될 수 있다.
검사영역 시퀀스 챠트부(310)는 사용자의 선택에 따라, 검사 유닛(100)의 이동 시간을 나타내는 이동시간 블록(314)을 검사영역 블록(312)의 앞단에 표시할 수 있다. 검사 영역들 간의 거리가 동일하지 않을 수 있으므로, 측정 유닛(100)의 이동 시간을 검사 영역들 간의 이동 거리에 대응하여 서로 상이한 길이를 갖도록 표시될 수 있다.
또한, 검사영역 시퀀스 챠트부(310)는 측정 유닛(100)의 그랩(grab) 시간을 나타내는 그랩시간 블록(316)을 검사영역 블록(312)과 이동시간 블록(314) 사이에 표시할 수 있다.
따라서, 각각의 검사 영역에 대한 전체 작업 시간은 측정 유닛(100)의 이동 시간, 그랩 시간 및 데이터 처리 시간을 합친 시간이 된다.
최적화 모듈(220)은 실질적으로 상기한 각 검사 영역에 대한 전체 작업 시간을 고려하여, 데이터 처리부들(210)의 데이터 처리 순서를 설정한다. 즉, 최적화 모듈(220)은 측정 유닛(100)으로부터 순차적으로 전송되는 검사영역별 영상데이터를 복수의 데이터 처리부들(210)에 순차적으로 할당함에 있어, 현재 데이터 처리를 진행하고 있지 않은 데이터 처리부(210)에 우선적으로 할당하는 방식으로 데이터 처리 순서를 설정한다. 예를 들어, 도 3에 도시된 바와 같이, 11번째 검사 영역에 대한 영상 데이터를 할당함에 있어, 3번 및 4번 데이터 처리부는 아직 데이터 처리 작업을 수행 중이므로, 이미 데이터 처리가 끝난 5번 데이터 처리부에 할당하게 된다. 이와 같이, 데이터 처리부들(210)의 데이터 처리 현황을 고려하여 데이터 처리 순서를 설정함으로써, 전체적인 기판 검사 시단을 단축할 수 있다.
도 5는 도 2에 도시된 바 챠트부를 나타낸 도면이다.
도 5를 참조하면, 바 챠트부(320)는 검사 기판(110)에 포함된 전체 검사 영역들에 대하여 측정 순서대로 일렬로 정렬된 둥근 모서리 형상의 검사영역 블록(322) 형태로 표시한다.
바 챠트부(320)는 복수의 검사영역 블록들(322)을 설정된 그룹별로 묶어서 표시할 수 있다. 바 챠트부(320)는 설정된 그룹이 없을 경우 전체 검사영역 블록들(322)을 1개의 그룹으로 표시할 수 있다. 또한, 바 챠트부(320)는 검사영역 블록(322)을 상태에 따라서 구분하여 표시할 수 있다. 또한, 바 챠트부(320)는 검사영역 블록(322)을 컨텍스트 메뉴 방식 또는 드래그앤드랍 방식 등을 통해 이동시키는 검사영역 이동 기능을 포함할 수 있다.
바 챠트부(320)는 현재 검사영역 블록들(322)의 정렬 순서, 그룹핑 등의 상태를 북마크 저장하기 위한 북마크 버튼(324)을 포함할 수 있다. 또한, 바 챠트부(320)는 저장된 북마크로부터 원하는 검사영역 블록들(322)의 상태를 로드하기 위한 로딩 버튼(326)을 포함할 수 있다.
도 6은 도 2에 도시된 기판 이미지 표시부를 나타낸 도면이며, 도 7은 도 6에 도시된 기판 이미지 표시부의 하이라이트 기능을 나타낸 도면이다.
도 6 및 도 7을 참조하면, 기판 이미지 표시부(330)는 현재 검사를 진행하고 있는 검사 기판(110)에 대한 기판 이미지를 표시한다. 기판 이미지 표시부(330)에 표시되는 상기 기판 이미지는 실제 검사 기판(110)의 종횡비를 유지하면서, 기판 이미지 표시부(330) 영역의 크기에 맞춰서 표시된다.
기판 이미지 표시부(330)에는 실질적으로 검사가 진행되는 복수의 검사 영역들(332)이 같이 표시된다. 또한, 복수의 검사 영역들(332) 중에서 현재 검사가 진행 중인 검사 영역(332)은 다른 검사 영역들(332)과 구별되어 표시될 수 있다.
기판 이미지 표시부(330)는 도 7에 도시된 바와 같이, 현재 검사가 진행 중이거나 또는 사용자가 직접 선택한 검사 영역(332a)을 하이라이트 처리하여 표시할 수 있다. 예를 들어, 현재 검사가 진행 중이거나 또는 사용자가 직접 선택한 검사 영역(332a)을 제외한 나머지 기판 이미지 영역을 흐릿하게 반투명 처리하여 표시함으로써, 특정된 검사 영역(332a)만을 하이라이트 처리하여 표시할 수 있다.
이 외에도, 기판 이미지 표시부(330)는 마우스 컨트롤을 이용하여 기판 이미지와 검사 영역(332)을 확대/축소하여 표시할 수 있다. 또한, 기판 이미지 표시부(330)는 마우스 드래깅을 이용하여 기판 이미지와 검사 영역(332)을 이동하여 표시할 수 있다.
도 8은 도 2에 도시된 속성 표시부를 나타낸 도면이다.
도 8을 참조하면, 속성 표시부(340)는 알고리즘 표시부(341), 파라미터 표시부(342), 최적화 실행부(343), 시뮬레이션 실행부(344), 검사영역 정보 표시부(345) 등을 포함할 수 있다.
알고리즘 표시부(341)는 하나 이상의 최적화 알고리즘의 수행에 따른 결과 데이터들을 표시한다. 여기서, 상기 결과 데이터는 어느 하나의 최적화 알고리즘을 통해 검사 기판(110)에 대한 모든 검사 영역들을 검사하는데 걸린 총 시간을 의미한다. 알고리즘 표시부(341)는 경로 최적화 기능을 수행하기 전까지는 비활성화 표시되며, 경로 최적화 기능의 수행 후, 최적화 수행 결과 데이터가 나오는 항목에 대해서 개별적으로 활성화되어 표시된다. 알고리즘 표시부(341)는 모든 최적화 알고리즘에 대한 경로 최적화의 수행이 완료되면, 시간이 가장 작은 값을 최종 결과값(Result)으로 설정하여 표시한다.
파라미터 표시부(342)는 측정 유닛(100) 및 데이터 처리부(210) 등과 관련된 하드웨어의 파라미터를 설정 및 표시하는 영역이다. 예를 들어, 파라미터 표시부(342)는 측정 유닛(100)의 속도, 가속도 및 감속도와, 데이터 처리부(210)의 개수 등을 표시한다.
파라미터 표시부(342)는 로그인 권한에 따라 활성화 또는 비활성화되어 표시된다. 예를 들어, 파라미터 표시부(342)는 장비 제조사가 로그인한 경우 편집이 가능하도록 활성화되어 표시되고, 일반 사용자가 로그인한 경우 편집이 불가능하도록 비활성화되어 표시된다.
최적화 실행부(343)는 경로 최적화를 실행시키기 위한 경로 최적화 버튼이 형성된 영역이다. 최적화 실행부(343)에서 실제 검사시간 이용이라는 체크 박스가 체크되어 있으면, 실제 검사 시간 정보값으로 최적화를 수행한다.
최적화 실행부(343)에서 경로 최적화 실행 버튼을 클릭하면 경로 최적화가 수행되며, 알고리즘별로 진행상황을 표시하는 최적화 다이얼로그가 표시된다. 이때, 경로 최적화의 수행 상태에 따라서, 일시중지, 다시시작, 취소, 닫기 등을 할 수 있다. 경로 최적화의 수행이 완료되면, 알고리즘 표시부(341)에 결과 데이터가 업데이트되어 표시되며, 시간이 가장 작은값이 최종 결과값(Result)으로 표시된다. 결과 데이터의 업데이터 후, 사용자가 결과 데이터 중 임의의 값을 선택하면, 선택된 결과 데이터로 현재 모듈의 검사영역 정보가 업데이트되며, 검사영역 시퀀스 챠트부(310)가 업데이트되어 표시된다.
시뮬레이션 실행부(344)는 경로 최적화에 대한 시뮬레이션을 수행하기 위한 시뮬레이션 실행 버튼이 형성된 영역이다. 시뮬레이션 실행부(344)에는 시뮬레이션 시간을 설정하기 위한 입력창이 형성된다.
실뮬레이션 실행부(344)에서 시뮬레이션 시간을 입력하고 시뮬레이션 실행 버튼을 클릭하면, 현재 설정되어 있는 최적화 경로에 따라 순서대로 검사 영역들에 대한 시뮬레이션을 수행한다. 시뮬레이션이 수행되면 시뮬레이션에 대한 진행상황을 표시하는 다이얼로그가 표시된다. 이때, 시뮬레이션의 수행 상태에 따라서, 일시중지, 다시시작, 취소, 닫기 등을 할 수 있다. 또한, 시뮬레이션을 수행하는 중에는, 검사영역 시퀀스 챠트부(310), 바 챠트부(320), 기판 이미지 표시부(330) 등에서 현재 시뮬레이션 작업 중인 검사 영역이 하이라이트 형태로 표시될 수 있다.
검사영역 정보 표시부(345)는 사용자에 의해 선택된 검사 영역에 대한 상세 정보를 표시한다. 예를 들어, 사용자가 검사영역 시퀀스 챠트부(310) 또는 바 챠트부(320)에서 검사 영역을 선택하면, 검사영역 정보 표시부(345)는 선택된 검사 영역에 대한 검사 영역 아이디, 검사 영역 좌표, 촬상 시간, 수행 시간, 컴포넌트 개수 등의 정보를 표시한다. 또한, 사용자가 알고리즘 표시부(341)에서 알고리즘을 선택하면, 선택된 알고리즘에 대한 상세 정보를 표시한다. 사용자에 의해 복수의 검사 영역이 선택되면, 선택된 검사 영역들에 대한 정보가 순서대로 나열되며, 세로로 스크롤될 수 있다.
이와 같이, 최적화 모듈을 통해 최적화되는 검사 영역들의 측정 순서 및 데이터 처리부들의 데이터 처리 순서 등과 관련된 최적화 관련 정보를 유저 인터페이스를 통해 제공함으로써, 검사 공정의 사용자 편의성을 향상시킬 수 있다.
앞서 설명한 본 발명의 상세한 설명에서는 본 발명의 바람직한 실시예들을 참조하여 설명하였지만, 해당 기술분야의 숙련된 당업자 또는 해당 기술분야에 통상의 지식을 갖는 자라면 후술될 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 기술 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

Claims (9)

  1. 복수의 검사 영역들을 포함하는 검사 기판에 대하여 정해진 측정 순서에 따라 상기 검사 영역들을 측정하여 검사 영역별 영상 데이터들을 획득하는 측정 유닛;
    상기 측정 유닛으로부터 전송된 상기 검사 영역별 영상 데이터들의 데이터 처리를 수행하는 복수의 데이터 처리부들, 및 상기 검사 영역들의 최적화된 측정 순서 및 상기 데이터 처리부들의 최적화된 데이터 처리 순서를 설정하는 최적화 모듈을 포함하는 제어부; 및
    상기 최적화 모듈을 통해 최적화되는 상기 측정 순서 및 상기 데이터 처리 순서와 관련된 최적화 관련 정보를 표시하는 유저 인터페이스를 포함하는 기판 검사 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 최적화 모듈은 상기 측정 유닛의 이동 시간 및 상기 검사 영역별 영상 데이터의 데이처 처리 시간 중 적어도 하나를 고려하여, 상기 검사 영역들에 대한 측정 순서 및 상기 데이터 처리부들의 데이터 처리 순서를 최적화시키는 것을 특징으로 하는 기판 검사 장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 유저 인터페이스는 상기 최적화 모듈을 통해 최적화된 측정 순서에 따라 획득된 상기 검사 영역별 영상 데이터들을 상기 데이터 처리부들에서 데이터 처리하는 데이터 처리 순서를 표시하는 검사영역 시퀀스 챠트부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 검사 장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 검사영역 시퀀스 챠트부는 x축에 시간, y축에 상기 데이터 처리부들의 순번을 나타내며, 상기 검사 영역별 영상 데이터의 데이터 처리 순서를 데이터 처리 시간에 대응되는 길이를 갖는 바 형태의 처리시간 블록으로 표시하는 것을 특징으로 하는 기판 검사 장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 검사영역 시퀀스 챠트부는 사용자의 선택에 따라 상기 검사 유닛의 이동 시간을 나타내는 이동시간 블록을 상기 검사영역 블록의 앞단에 표시하는 것을 특징으로 하는 기판 검사 장치.
  6. 제3항에 있어서,
    상기 유저 인터페이스는 상기 검사 기판에 포함된 전체 검사 영역들에 대하여 측정 순서대로 일렬로 정렬된 검사영역 블록 형태로 표시하는 바 챠트부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 검사 장치.
  7. 제3항에 있어서,
    상기 유저 인터페이스는 상기 검사 영역들이 표시된 상기 검사 기판의 이미지를 표시하는 기판 이미지 표시부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 검사 장치.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 기판 이미지 표시부는 사용자의 검사 영역 선택에 따라 선택된 검사 영역을 하이라이트 처리하여 표시하는 것을 특징으로 하는 기판 검사 장치.
  9. 제3항에 있어서,
    상기 유저 인터페이스는, 하나 이상의 최적화 알고리즘의 수행에 따른 결과 데이터들을 표시하는 알고리즘 표시부, 하드웨어의 파라미터를 표시하는 파라미터 표시부, 경로 최적화를 실행시키기 위한 최적화 실행부, 시뮬레이션을 실행시키기 위한 시뮬레이션 실행부, 및 사용자에 의해 선택된 검사 영역에 대한 상세 정보를 표시하는 검사영역 정보 표시부 중 적어도 하나를 포함하는 속성 표시부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 검사 장치.
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