WO2014184960A1 - 検査装置、検査方法、および、制御装置 - Google Patents

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WO2014184960A1
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area
fluid
circuit pattern
ejection device
fluid ejection
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PCT/JP2013/063837
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雅登 鈴木
政利 藤田
和裕 杉山
明宏 川尻
謙磁 塚田
良崇 橋本
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富士機械製造株式会社
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    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/21—Ink jet for multi-colour printing
    • B41J2/2132—Print quality control characterised by dot disposition, e.g. for reducing white stripes or banding
    • B41J2/2142—Detection of malfunctioning nozzles
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    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
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    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
    • G01N21/956—Inspecting patterns on the surface of objects
    • G01N21/95607—Inspecting patterns on the surface of objects using a comparative method
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    • G01N21/95684—Patterns showing highly reflecting parts, e.g. metallic elements
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    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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    • H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/10—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern
    • H05K3/12—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern using thick film techniques, e.g. printing techniques to apply the conductive material or similar techniques for applying conductive paste or ink patterns
    • H05K3/1241—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern using thick film techniques, e.g. printing techniques to apply the conductive material or similar techniques for applying conductive paste or ink patterns by ink-jet printing or drawing by dispensing
    • H05K3/125—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern using thick film techniques, e.g. printing techniques to apply the conductive material or similar techniques for applying conductive paste or ink patterns by ink-jet printing or drawing by dispensing by ink-jet printing
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    • H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
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    • H05K2203/01—Tools for processing; Objects used during processing
    • H05K2203/0104—Tools for processing; Objects used during processing for patterning or coating
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    • H05K2203/163—Monitoring a manufacturing process
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    • H05K3/3457—Solder materials or compositions; Methods of application thereof
    • H05K3/3485—Applying solder paste, slurry or powder

Definitions

  • the present invention relates to an inspection device, an inspection method for inspecting printing accuracy by a fluid ejection device that ejects fluid so as to have a target shape on a print medium, and a control device for controlling the operation of the fluid ejection device.
  • a circuit pattern or the like is printed by discharging a fluid onto the print medium by a fluid discharge device.
  • the operation of the fluid ejection device is controlled so that the shape of the circuit pattern or the like becomes the target shape, but the shape of the circuit pattern or the like depends on the printing conditions such as the fluid ejection position and the ejection amount. It may not be.
  • an inspection is performed as to whether or not the shape of a circuit pattern or the like printed on a print medium is a target shape, that is, an inspection of printing accuracy by a fluid ejection device is performed.
  • the following patent document describes an example of an inspection apparatus and an inspection method for inspecting printing accuracy by a fluid ejection device.
  • an inspection apparatus that inspects printing accuracy by a fluid ejection device that ejects a fluid so as to have a target shape on a print medium, and the fluid
  • An image capturing unit that captures an image of the print medium on which the fluid is ejected by the ejection device, and the fluid in the preset setting area of the print medium is not ejected based on the image data of the image captured by the image capturing unit.
  • a calculation unit that calculates the area of the location; and a determination unit that determines whether the fluid ejection device has a printing accuracy by comparing the area calculated by the calculation unit with a preset threshold area.
  • a plurality of the setting areas and a plurality of threshold areas according to the plurality of setting areas are set, and the calculation is performed.
  • the unit calculates, for each of the plurality of setting areas, the area of the setting area where fluid is not ejected based on image data of an image captured by the imaging unit, and the determination unit includes: For each of the plurality of setting regions, the quality of printing accuracy by the fluid ejection device is determined by comparing the area calculated by the calculation unit and the threshold area.
  • the setting area includes at least a first area including at least the entire target shape and at least the entire target shape.
  • the determination unit sets the first region as the setting region.
  • the third area is set as the setting area But If it is constant, when the area that is calculated by the calculation unit is equal to or less than a third the threshold area, characterized in that the printing accuracy of the fluid discharge device is determined to be good.
  • a control device for controlling an operation of a fluid ejection device that ejects a fluid so as to have a target shape on a print medium.
  • an operating condition adjusting unit that adjusts the operating condition of the fluid ejection device based on a determination result by the determining unit of the inspection apparatus.
  • the inspection method according to claim 5 is an inspection method for inspecting printing accuracy by a fluid ejection device that ejects fluid so as to have a target shape on a print medium, and fluid is ejected by the fluid ejection device.
  • the fluid in the preset setting area of the print medium is ejected based on the image data of the print medium from which the fluid is ejected.
  • the area of the missing part is calculated.
  • the quality of printing by the fluid ejection device is determined by comparing the calculated area with a preset threshold area.
  • the area of the setting area where the fluid is not ejected is a predetermined area. That is, by setting a threshold area based on the predetermined area and comparing the threshold area with the area calculated based on the image data, the shape of the fluid discharged onto the print medium approximates the target shape. It is possible to determine whether or not.
  • it is possible to determine whether or not the printing accuracy of the fluid ejection apparatus is good by a simple method.
  • a plurality of setting areas and a plurality of threshold areas corresponding to the plurality of setting areas are set. For each of the plurality of setting areas, the area of the setting area where no fluid is ejected is calculated based on the image data, and the calculated area is compared with the threshold area. That is, the printing accuracy is inspected for each of a plurality of types of regions. Thereby, inspection accuracy improves and it becomes possible to test
  • the area calculated based on the image data is the first threshold area.
  • the first threshold area is set to about the area of the first region excluding the target shape, the area calculated based on the image data is larger than the first threshold area, The occupied area of the fluid discharged to the print medium is considered to be smaller than the occupied area of the target shape, and it is assumed that the printing accuracy is low.
  • the occupied area of the fluid discharged to the print medium is about the occupied area of the target shape, and the printing accuracy is Expected to be high. Thereby, it is possible to appropriately determine the printing accuracy by the fluid ejection device.
  • the area calculated based on the image data is the second area.
  • the threshold area it is determined that the printing accuracy by the fluid ejection device is good. If the second threshold area is set to about the area of the second region, if the area calculated based on the image data is smaller than the second threshold area, the fluid ejected to the print medium is It is considered that the fluid has protruded from the second region, and it is assumed that the printing position of the fluid is greatly deviated from the target position.
  • the area calculated based on the image data is equal to or less than the third threshold area. In this case, it is determined that the printing accuracy by the fluid ejection device is good. If the third threshold area is set to about 0, when the area calculated based on the image data is larger than the third threshold area, the entire third region is fluid discharged to the print medium. It is assumed that there is a gap between the fluid discharged to the print medium. That is, when the area calculated based on the image data is equal to or smaller than the third threshold area, there is no gap between the fluids ejected on the print medium, and it is assumed that the printing accuracy is high. Thereby, it is possible to appropriately determine the printing accuracy by the fluid ejection device.
  • control device is a control device that controls the operation of the fluid ejection device, and the operating condition of the fluid ejection device is adjusted based on the determination result by the inspection device described above. That is, when it is determined that the printing accuracy by the fluid ejection device is low, the operation conditions of the fluid ejection device, that is, the ejection conditions such as the fluid ejection position, the ejection amount, and the ejection pitch are automatically adjusted. Accordingly, it is possible to appropriately adjust printing conditions and maintain high printing accuracy without imposing a burden on the operator.
  • FIG. 1 shows a printing apparatus provided with the test
  • FIG. 1 shows a printing apparatus 10 according to an embodiment of the present invention.
  • the printing apparatus 10 is an apparatus for printing a circuit pattern on a circuit board.
  • the printing apparatus 10 includes a transport device 20, a head moving device 22, and an inkjet head 24.
  • the conveying device 20 includes a pair of conveyor belts 30 extending in the X-axis direction and an electromagnetic motor (see FIG. 2) 32 that rotates the conveyor belt 30.
  • the circuit board 34 is supported by the pair of conveyor belts 30 and is conveyed in the X-axis direction by driving the electromagnetic motor 32.
  • the transfer device 20 includes a substrate holding device (see FIG. 2) 36.
  • the substrate holding device 36 fixedly holds the circuit board 34 supported by the conveyor belt 30 at a predetermined position (a position where the circuit board 34 in FIG. 1 is illustrated).
  • the head moving device 22 includes an X-axis direction slide mechanism 50 and a Y-axis direction slide mechanism 52.
  • the X-axis direction slide mechanism 50 has an X-axis slider 56 provided on the base 54 so as to be movable in the X-axis direction.
  • the X-axis slider 56 is moved to an arbitrary position in the X-axis direction by driving an electromagnetic motor (see FIG. 2) 58.
  • the Y-axis direction slide mechanism 52 has a Y-axis slider 60 provided on the side surface of the X-axis slider 56 so as to be movable in the Y-axis direction.
  • the Y-axis slider 60 is moved to an arbitrary position in the Y-axis direction by driving an electromagnetic motor (see FIG. 2) 62.
  • An inkjet head 24 is attached to the Y-axis slider 60. With such a structure, the inkjet head 24 is moved to an arbitrary position on the base 54 by the head moving device 22.
  • the inkjet head 24 prints a circuit pattern on the circuit board 34 by discharging conductive ink, specifically, silver nanoparticle paste. Specifically, a plurality of nozzle holes (not shown) are formed on the lower surface of the inkjet head 24. Then, in accordance with the electrical signal, the silver nanoparticle paste is discharged from the plurality of nozzle holes of the inkjet head 24 using the piezoelectric element (see FIG. 2) 66 and vapor bubbles caused by heat as a driving source. As a result, a circuit pattern is printed on the circuit board 34.
  • the printing apparatus 10 includes an inspection camera 68 (see FIG. 2).
  • the inspection camera 68 is fixed to the lower surface of the Y-axis slider 60 while facing downward.
  • the Y-axis slider 60 is moved by the head moving device 22 so that an arbitrary position on the circuit board 34 can be imaged.
  • the printing apparatus 10 includes a control device 70 as shown in FIG.
  • the control device 70 includes a controller 72 and a plurality of drive circuits 74.
  • the plurality of drive circuits 74 are connected to the electromagnetic motors 32, 58, 62, the substrate holding device 36, and the piezoelectric element 66.
  • the controller 72 includes a CPU, a ROM, a RAM, and the like, mainly a computer, and is connected to a plurality of drive circuits 74. Thereby, the operation of the transport device 20, the head moving device 22, and the inkjet head 24 is controlled by the controller 72.
  • the controller 72 is connected to the image processing device 76.
  • the image processing device 76 processes image data obtained by the inspection camera 68, and the controller 72 acquires various types of information from the image data obtained by the inspection camera 68.
  • a circuit pattern is formed on the circuit board 34 by ejecting the silver nanoparticle paste to the circuit board 34 held by the transport apparatus 20 by the inkjet head 24 with the above-described configuration.
  • the circuit board 34 is transported to the work position according to a command from the controller 72, and the circuit board 34 is fixedly held by the board holding device 36 at the position.
  • the inkjet head 24 moves above a predetermined position on the circuit board 34 according to a command from the controller 72.
  • the inkjet head 24 ejects a silver nanoparticle paste onto the upper surface of the circuit board 34 according to a command from the controller 72, and a circuit pattern is printed.
  • the circuit pattern is printed by discharging the silver nanoparticle paste from the plurality of nozzle holes formed on the lower surface of the inkjet head 24.
  • the circuit pattern 80 is formed on the circuit board 34 by the silver nanoparticle paste 82 discharged in a plurality of dots.
  • the distance between the silver nanoparticle paste 82 and the silver nanoparticle paste 82 depends on the diameter of the dot-shaped silver nanoparticle paste 82, that is, the discharge amount of the silver nanoparticle paste 82.
  • the circuit pattern 80 may not be a target length, and the electrodes may not be connected.
  • the printing apparatus 10 determines whether or not a circuit pattern is printed in a target shape based on image data obtained by imaging by the inspection camera 68. Specifically, the operation of the head moving device 22 is controlled by a command from the controller 72, the inspection camera 68 is moved above the circuit pattern 80 printed on the circuit board 34, and a predetermined area of the circuit board 34 is detected. Is imaged by the inspection camera 68. As shown in FIG. 4, the predetermined area includes a target shape 86 that is a target of the circuit pattern 80 and an area inside the first rectangle 88 that surrounds the periphery of the target shape 86 (hereinafter, “first area”). May be written). The imaging of the predetermined area by the inspection camera 68 is executed by limiting the imaging range of the inspection camera 68 to the predetermined area.
  • the image data is processed by the image processing device 76. Then, based on the image data, the area of the first region where the silver nanoparticle paste 82 is not discharged, that is, the area between the first rectangle 88 and the outer edge of the circuit pattern 80, Calculated by the controller 72. Specifically, the outer edge of the circuit pattern 80 is recognized based on the image data, and the area inside the outer edge of the circuit pattern 80, that is, the area occupied by the circuit pattern 80 is calculated. On the other hand, the area of the first region is stored in the controller 72. Then, the area occupied by the circuit pattern 80 is subtracted from the area of the first region, whereby the area of the first region where the silver nanoparticle paste 82 is not discharged (hereinafter referred to as “first calculation”). May be described as “area”).
  • the first calculation area When the first calculation area is calculated, it is determined whether or not the first calculation area is equal to or less than a first threshold area set corresponding to the first region.
  • the first threshold area is set to the area of the first region excluding the target shape 86, that is, the area between the first rectangle 88 and the outer edge of the target shape 86. For this reason, when the first calculation area is larger than the first threshold area, it is considered that the occupied area of the circuit pattern 80 is smaller than the occupied area of the target shape 86. That is, it is assumed that the length of the circuit pattern 80 is less than the length of the target shape 86. Therefore, when the first calculation area is larger than the first threshold area, the circuit pattern 80 does not have the target length, and the electrodes may not be connected. Is determined to be low. Incidentally, in the circuit pattern 80 shown in FIG. 4, the first calculation area is equal to or smaller than the first threshold area, and the length of the circuit pattern 80 is determined to be equal to or larger than the length of the target shape 86.
  • the printing apparatus 10 whether the circuit pattern 80 is printed or not is determined for an area different from the first area as well as the first area.
  • an area different from the first area as shown in FIG. 5, there is an area between the second rectangle 90 and the first rectangle 88 (hereinafter sometimes referred to as “second area”). Is set. That is, the second region is a region that does not include the target shape 86 and the periphery of the target shape 86, and the region is imaged by the inspection camera 68.
  • the controller 72 calculates the area of the second region where the silver nanoparticle paste 82 is not discharged. Specifically, the outer edge of the circuit pattern 80 in the second area is recognized based on the image data, and the area occupied by the circuit pattern 80 in the second area is calculated. When the outer edge of the circuit pattern 80 is not recognized in the second region, it is determined that the circuit pattern 80 does not exist in the second region, and the occupied area of the circuit pattern 80 in the second region is 0. On the other hand, the area of the second region is stored in the controller 72.
  • the area the area of the portion of the second region where the silver nanoparticle paste 82 is not discharged (hereinafter referred to as the area) , which may be described as “second calculation area”).
  • the second calculation area When the second calculation area is calculated, it is determined whether or not the second calculation area is equal to or larger than a second threshold area set corresponding to the second region.
  • the second threshold area is set to about the area of the second region. For this reason, when the second calculation area is smaller than the second threshold area, it is considered that the circuit pattern 80 protrudes into the second region. That is, it is assumed that the circuit pattern 80 is printed with a large deviation from the target shape 86. Therefore, when the second calculation area is smaller than the second threshold area, it is determined that the circuit pattern 80 is not printed at the target location and the printing accuracy is low. Incidentally, in the circuit pattern 80 shown in FIG. 5, the circuit pattern 80 does not protrude into the second region, and the second calculation area is equal to or larger than the second threshold area.
  • the printing apparatus 10 determines whether or not the circuit pattern 80 is printed in the same manner as in the first area and the second area for another area.
  • Another area is an area inside the third rectangle 92 set in the target shape 86 (hereinafter may be referred to as “third area”), as shown in FIG. , Within the target shape 86.
  • region is imaged with the inspection camera 68, and the area of the location where the silver nanoparticle paste 82 is not discharged among the 3rd area
  • the outer edge of the circuit pattern 80 in the third region is recognized based on the image data, and the area occupied by the circuit pattern 80 in the third region is calculated.
  • the area of the third region is stored in the controller 72. Then, by subtracting the area occupied by the circuit pattern 80 in the third region from the area of the third region, the area of the third region where the silver nanoparticle paste 82 is not ejected (hereinafter referred to as the area) , May be described as “third calculation area”).
  • the third calculation area it is determined whether or not the third calculation area is equal to or larger than a third threshold area set corresponding to the third region.
  • the third threshold area is set to zero. For this reason, when the third calculation area is larger than the third threshold area, it is considered that the entire third region is not covered with the circuit pattern 80. That is, it is assumed that there are gaps between the plurality of silver nanoparticle pastes 82 forming the circuit pattern 80. Therefore, when the third calculation area is larger than the third threshold area, the circuit pattern 80 may be disconnected due to a gap existing between the plurality of silver nanoparticle pastes 82. Is determined to be low. Incidentally, in the circuit pattern 80 shown in FIG. 6, the third calculation area is equal to or smaller than the third threshold area, and it is determined that there is no gap between the plurality of silver nanoparticle pastes 82.
  • the length of the circuit pattern 80, the printing position of the circuit pattern 80, and the circuit pattern are determined by performing the above determination on all of the first area, the second area, and the third area. 80 disconnection or the like can be inspected, and printing of an appropriate circuit pattern 80 can be ensured.
  • the controller 72 has an imaging unit (see FIG. 2) 100 as a functional unit for imaging the circuit board 34 on which the circuit pattern 80 is printed by the inspection camera 68, and the imaging unit 100 performs processing.
  • the process to be performed is an imaging process.
  • the controller 72 has a calculation unit (see FIG. 2) 102 as a functional unit for calculating the first to third calculation areas based on the image data, and is processed by the calculation unit 102.
  • the process is a calculation process.
  • the controller 72 includes a determination unit (see FIG. 2) as a functional unit for determining the printing accuracy by comparing the first to third calculation areas and the first to third threshold areas.
  • the process processed by the determination unit 104 is a determination process.
  • the printing apparatus 10 if it is determined by the above determination that the circuit pattern printing accuracy is low, the printing conditions are automatically adjusted. Specifically, for example, a case where the above determination is performed on the circuit pattern 110 having the shape shown in FIG. 7 will be described.
  • the area inside the first rectangle 88 that is, the area of the first area where the silver nanoparticle paste 82 is not discharged, that is, the first The calculation area is relatively small and smaller than the first threshold area. For this reason, it is assumed that the length of the circuit pattern 110 is shorter than the length of the target shape 86, and it is determined that the printing accuracy is low.
  • the circuit pattern 110 does not protrude into the area between the first rectangle 88 and the second rectangle 90, that is, the second area. Therefore, the area of the second region where the silver nanoparticle paste 82 is not ejected, that is, the second calculation area is the area of the second region, and is equal to or larger than the second threshold area. Thereby, it is determined that there is no problem in the deviation between the printing position of the circuit pattern 110 and the printing position of the target shape 86.
  • circuit pattern 110 As shown in FIG. 10, there are gaps at both ends of the circuit pattern 80 in the inner region of the third rectangle 92, that is, in the third region.
  • the area of the portion where the silver nanoparticle paste 82 is not discharged, that is, the third calculation area is larger than the third threshold area. For this reason, it is assumed that the circuit pattern 110 is disconnected, and it is determined that the printing accuracy is low.
  • the circuit pattern 110 it is determined that the printing accuracy is low in the determination in the first region and the third region, and the length of the circuit pattern 110 is assumed to be shorter than the length of the target shape 86. In addition, it is assumed that the circuit pattern 110 is disconnected. For this reason, in the controller 72, the discharge pitch of the silver nanoparticle paste 82 by the inkjet head 24 is adjusted so that the distance between the silver nanoparticle pastes 82 becomes long. As a result, the length of the circuit pattern 110 is made appropriate, and the printing accuracy can be improved. Further, the controller 72 adjusts the discharge amount of the silver nanoparticle paste 82 by the inkjet head 24 so that the diameter of the silver nanoparticle paste 82 is increased. As a result, the third region can be covered with the circuit pattern 110, and the printing accuracy can be improved.
  • the silver nanoparticle paste 82 in the region inside the first rectangle 88, that is, the first region is discharged.
  • the area of the missing portion, that is, the first calculation area is relatively large and is equal to or larger than the first threshold area. For this reason, the length of the circuit pattern 112 is assumed to be about the length of the target shape 86.
  • the circuit pattern 112 does not protrude into a region between the first rectangle 88 and the second rectangle 90, that is, the second region. Therefore, the area of the second region where the silver nanoparticle paste 82 is not ejected, that is, the second calculation area is the area of the second region, and is equal to or larger than the second threshold area. Thereby, it is determined that there is no problem in the deviation between the printing position of the circuit pattern 112 and the printing position of the target shape 86.
  • the circuit pattern 112 As shown in FIG. 14, there is a gap between the silver nanoparticle paste 82 in the inner region of the third rectangle 92, that is, the third region, and the third region. Of these, the area where the silver nanoparticle paste 82 is not discharged, that is, the third calculation area is larger than the third threshold area. For this reason, it is assumed that the circuit pattern 112 is disconnected, and it is determined that the printing accuracy is low.
  • the controller 72 adjusts the discharge amount of the silver nanoparticle paste 82 by the inkjet head 24 so that the diameter of the silver nanoparticle paste 82 is increased.
  • the third region can be covered with the circuit pattern 112, and the printing accuracy can be improved.
  • the region inside the first rectangle 88 that is, the silver nanoparticle paste 82 in the first region is discharged.
  • the area of the missing portion that is, the first calculation area is relatively large and is equal to or larger than the first threshold area. For this reason, the length of the circuit pattern 114 is assumed to be about the length of the target shape 86.
  • the circuit pattern 114 protrudes into a region between the first rectangle 88 and the second rectangle 90, that is, the second region. Therefore, the area of the second region where the silver nanoparticle paste 82 is not discharged, that is, the second calculation area is smaller than the second threshold area. As a result, the circuit pattern 114 is not printed at the target location, and it is determined that the printing accuracy is low.
  • the inner region of the third rectangle 92 that is, the third region is covered with the silver nanoparticle paste 82, and silver in the third region is covered.
  • the area of the portion where the nanoparticle paste 82 is not discharged, that is, the third calculation area is 0, which is equal to or less than the third threshold area. For this reason, it is assumed that the circuit pattern 114 is not disconnected.
  • the circuit pattern 114 it is determined that the printing accuracy is low in the determination in the second region, and the circuit pattern 114 is assumed not to be printed at the target location. For this reason, in the controller 72, the operation of the head moving device 22 is adjusted, and the ejection position of the silver nanoparticle paste 82 by the inkjet head 24 is adjusted. As a result, the circuit pattern 114 can be printed at a target location, and the printing accuracy can be improved.
  • the printing condition of the circuit pattern 80 is automatically adjusted according to the area where the printing accuracy is determined to be low. Accordingly, it is possible to appropriately adjust printing conditions and maintain high printing accuracy without imposing a burden on the operator.
  • the controller 72 includes an operation condition adjustment unit (see FIG. 2) 106 as a functional unit for automatically adjusting the printing conditions of the circuit pattern 80 in accordance with an area determined to have low printing accuracy. .
  • the above determination is executed every arbitrary time. Thereby, it is possible to appropriately ensure the print quality by periodically checking the printing accuracy and adjusting the printing conditions.
  • the head moving device 22 and the inkjet head 24 in the above embodiment is an example of a fluid ejection device.
  • the circuit board 34 is an example of a print medium.
  • the control device 70 is an example of an inspection device and a control device.
  • the imaging unit 100 is an example of an imaging unit.
  • the calculation unit 102 is an example of a calculation unit.
  • the determination unit 104 is an example of a determination unit.
  • the operating condition adjusting unit 106 is an example of an operating condition adjusting unit.
  • the image data of a predetermined area by the inspection camera 68 is acquired by limiting the imaging range of the inspection camera 68 to the predetermined area.
  • the inspection camera 68 can capture an area including the predetermined area, and extract image data of the predetermined area from the image data obtained by the imaging.
  • the circuit board 34 is employed as the print medium, but various media such as a lead frame, a resin member, and paper can be employed.
  • the fluid discharged to the printing medium is not limited to the conductive ink such as the silver nanoparticle paste 82, and various fluids such as an adhesive, cream solder, and resin ink can be employed.
  • the device for ejecting the fluid is not limited to the inkjet head 24, and a dispenser head or the like can be employed.
  • the print accuracy of the circuit pattern of the circuit board is inspected using the technique of the present invention, but the print accuracy of various printed materials can be inspected. Specifically, for example, it is possible to inspect the printing accuracy of the dot pattern of the light guide plate.

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Abstract

　流体が吐出された印刷媒体の画像データに基づいて、印刷媒体の予め設定された設定領域のうちの流体が吐出されていない箇所の面積が演算される。そして、演算された面積と予め設定された閾面積との比較により、流体吐出装置による印刷精度の良否が判定される。例えば、目標形状８６内に納まる第３の矩形９２内の領域が、設定領域として設定され、閾面積が０程度に設定されると、画像データに基づいて演算された面積が閾面積以下である場合には、第３の領域全体が、回路パターン８０によって覆われており、印刷精度が高いと想定される。一方、画像データに基づいて演算された面積が閾面積より大きい場合には、第３の領域全体が、回路パターンによって覆われておらず、印刷精度が低いと想定される。これにより、流体吐出装置による印刷精度の良否を容易に判定することが可能となる。

Description

検査装置、検査方法、および、制御装置
　本発明は、印刷媒体に目標形状となるように流体を吐出する流体吐出装置による印刷精度を検査する検査装置、検査方法、および、流体吐出装置の作動を制御する制御装置に関するものである。
　回路基板等の印刷媒体への印刷作業時には、流体吐出装置によって印刷媒体上に流体を吐出することで、回路パターン等が印刷される。この際、回路パターン等の形状が目標の形状となるように、流体吐出装置の作動が制御されるが、流体の吐出位置，吐出量等の印刷条件により、回路パターン等の形状が目標の形状とならない場合がある。このようなことに鑑みて、印刷媒体に印刷された回路パターン等の形状が目標形状となっているか否かの検査、つまり、流体吐出装置による印刷精度の検査が行われる。下記特許文献には、流体吐出装置による印刷精度の検査を行うための検査装置および検査方法の一例が記載されている。
特開２００５－２９７４３８号公報
　上記特許文献に記載の技術によれば、流体吐出装置による印刷精度の検査を行うことは可能である。しかしながら、種々の手法により、印刷精度の検査を行うことで、印刷精度の検査装置等の実用性が向上すると考えられる。本発明は、そのような実情に鑑みてなされたものであり、実用性の高い検査装置等を提供することを課題とする。
　上記課題を解決するために、本願の請求項１に記載の検査装置は、印刷媒体に目標形状となるように流体を吐出する流体吐出装置による印刷精度を検査する検査装置であって、前記流体吐出装置によって流体が吐出された印刷媒体を撮像する撮像部と、前記撮像部により撮像された画像の画像データに基づいて、印刷媒体の予め設定された設定領域のうちの流体が吐出されていない箇所の面積を演算する演算部と、前記演算部により演算された面積と予め設定された閾面積との比較により、前記流体吐出装置による印刷精度の良否を判定する判定部とを備えることを特徴とする。
　また、請求項２に記載の検査装置では、請求項１に記載の検査装置において、複数の前記設定領域と、それら複数の設定領域に応じた複数の閾面積とが設定されており、前記演算部は、前記複数の設定領域毎に、前記撮像部により撮像された画像の画像データに基づいて、前記設定領域のうちの流体が吐出されていない箇所の面積を演算し、前記判定部は、前記複数の設定領域毎に、前記演算部により演算された面積と前記閾面積との比較により、前記流体吐出装置による印刷精度の良否を判定することを特徴とする。
　また、請求項３に記載の検査装置では、請求項１または請求項２に記載の検査装置において、前記設定領域として、少なくとも前記目標形状全体を含む第１の領域と、少なくとも前記目標形状全体を除いた第２の領域と、前記目標形状内に納まる第３の領域とのうちの少なくとも１つが設定されており、前記判定部は、前記設定領域として前記第１の領域が設定されている場合に、前記演算部により演算された面積が第１の前記閾面積以下である際に、前記流体吐出装置による印刷精度が良好であると判定し、前記設定領域として前記第２の領域が設定されている場合に、前記演算部により演算された面積が第２の前記閾面積以上である際に、前記流体吐出装置による印刷精度が良好であると判定し、前記設定領域として前記第３の領域が設定されている場合に、前記演算部により演算された面積が第３の前記閾面積以下である際に、前記流体吐出装置による印刷精度が良好であると判定することを特徴とする。
　また、請求項４に記載の制御装置は、印刷媒体に目標形状となるように流体を吐出する流体吐出装置の作動を制御する制御装置であって、請求項１ないし請求項３のいずれか１つに記載の検査装置の判定部による判定結果に基づいて、前記流体吐出装置の作動条件を調整する作動条件調整部を備えることを特徴とする。
　また、請求項５に記載の検査方法は、印刷媒体に目標形状となるように流体を吐出する流体吐出装置による印刷精度を検査する検査方法であって、前記流体吐出装置によって流体が吐出された印刷媒体を撮像する撮像工程と、前記撮像部により撮像された画像の画像データに基づいて、印刷媒体の予め設定された設定領域のうちの流体が吐出されていない箇所の面積を演算する演算工程と、前記演算部により演算された面積と予め設定された閾面積との比較により、前記流体吐出装置による印刷精度の良否を判定する判定工程とを含むことを特徴とする。
　請求項１に記載の検査装置および、請求項５に記載の検査方法では、流体が吐出された印刷媒体の画像データに基づいて、印刷媒体の予め設定された設定領域のうちの流体が吐出されていない箇所の面積が演算される。そして、演算された面積と予め設定された閾面積との比較により、流体吐出装置による印刷精度の良否が判定される。印刷媒体に吐出された流体の形状が、目標形状となっている場合には、設定領域のうちの流体が吐出されていない箇所の面積は、所定の面積となる。つまり、その所定の面積に基づいて閾面積を設定し、閾面積と、画像データに基づいて演算された面積とを比較することで、印刷媒体に吐出された流体の形状が、目標形状と近似しているか否かを判定することが可能である。このように、請求項１に記載の検査装置および、請求項５に記載の検査方法によれば、簡易な手法により、流体吐出装置による印刷精度の良否を判定することが可能となる。
　また、請求項２に記載の検査装置では、複数の設定領域と、それら複数の設定領域に応じた複数の閾面積とが設定されている。そして、複数の設定領域毎に、画像データに基づいて、設定領域のうちの流体が吐出されていない箇所の面積が演算され、演算された面積と閾面積との比較が行われる。つまり、複数種類の領域毎に、印刷精度の検査が行われる。これにより、検査精度が向上し、流体吐出装置による印刷精度を適切に検査することが可能となる。
　また、請求項３に記載の検査装置では、少なくとも目標形状全体を含む第１の領域が、設定領域として設定されている場合には、画像データに基づいて演算された面積が第１の閾面積以下である際に、流体吐出装置による印刷精度が良好であると判定される。第１の閾面積を、第１の領域のうちの目標形状を除いた箇所の面積程度に設定すれば、画像データに基づいて演算された面積が、第１の閾面積より大きい場合には、印刷媒体に吐出された流体の占有面積が、目標形状の占有面積より小さいと考えられ、印刷精度が低いと想定される。つまり、画像データに基づいて演算された面積が第１の閾面積以下である際には、印刷媒体に吐出された流体の占有面積は、目標形状の占有面積程度となっており、印刷精度は高いと想定される。これにより、流体吐出装置による印刷精度を適切に判定することが可能となる。
　また、請求項３に記載の検査装置では、少なくとも前記目標形状全体を除いた第２の領域が、設定領域として設定されている場合には、画像データに基づいて演算された面積が第２の閾面積以上である際に、流体吐出装置による印刷精度が良好であると判定される。第２の閾面積を、第２の領域の面積程度に設定すれば、画像データに基づいて演算された面積が、第２の閾面積より小さい場合には、印刷媒体に吐出された流体が、第２の領域にはみ出していると考えられ、流体の印刷位置が、目標位置から大きくズレていると想定される。つまり、画像データに基づいて演算された面積が第２の閾面積以上である際には、印刷媒体に吐出された流体が、第２の領域にはみ出しておらず、印刷精度は高いと想定される。これにより、流体吐出装置による印刷精度を適切に判定することが可能となる。
　また、請求項３に記載の検査装置では、目標形状内に納まる第３の領域が、設定領域として設定されている場合には、画像データに基づいて演算された面積が第３の閾面積以下である際に、流体吐出装置による印刷精度が良好であると判定される。第３の閾面積を、０程度に設定すれば、画像データに基づいて演算された面積が、第３の閾面積より大きい場合には、第３の領域全体が、印刷媒体に吐出された流体によって覆われていないと考えられ、印刷媒体に吐出された流体間に隙間が存在すると想定される。つまり、画像データに基づいて演算された面積が第３の閾面積以下である際には、印刷媒体に吐出された流体間に隙間が存在せず、印刷精度は高いと想定される。これにより、流体吐出装置による印刷精度を適切に判定することが可能となる。
　また、請求項４に記載の制御装置は、流体吐出装置の作動を制御する制御装置であって、上述した検査装置による判定結果に基づいて、流体吐出装置の作動条件が調整される。つまり、流体吐出装置による印刷精度が低いと判定された場合には、流体吐出装置の作動条件、つまり、流体の吐出位置，吐出量，吐出ピッチ等の吐出条件が自動で調整される。これにより、作業者に負担をかけることなく、適切に印刷条件を調整し、高い印刷精度を維持することが可能となる。
本発明の実施例である検査装置および制御装置を備える印刷装置を示す図である。 印刷装置が備える制御装置を示すブロック図である。 回路パターンが印刷された回路基板を示す図である。 回路パターンが印刷された回路基板での第１の領域を示す図である。 回路パターンが印刷された回路基板での第２の領域を示す図である。 回路パターンが印刷された回路基板での第３の領域を示す図である。 回路パターンが印刷された回路基板を示す図である。 回路パターンが印刷された回路基板での第１の領域を示す図である。 回路パターンが印刷された回路基板での第２の領域を示す図である。 回路パターンが印刷された回路基板での第３の領域を示す図である。 回路パターンが印刷された回路基板を示す図である。 回路パターンが印刷された回路基板での第１の領域を示す図である。 回路パターンが印刷された回路基板での第２の領域を示す図である。 回路パターンが印刷された回路基板での第３の領域を示す図である。 回路パターンが印刷された回路基板を示す図である。 回路パターンが印刷された回路基板での第１の領域を示す図である。 回路パターンが印刷された回路基板での第２の領域を示す図である。 回路パターンが印刷された回路基板での第３の領域を示す図である。
　以下、本発明を実施するための形態として、本発明の実施例を、図を参照しつつ詳しく説明する。
　＜印刷装置の構成＞
　図１に、本発明の実施例の印刷装置１０を示す。印刷装置１０は、回路基板上に回路パターンを印刷するための装置である。印刷装置１０は、搬送装置２０と、ヘッド移動装置２２と、インクジェットヘッド２４とを備えている。
　搬送装置２０は、Ｘ軸方向に延びる１対のコンベアベルト３０と、コンベアベルト３０を周回させる電磁モータ（図２参照）３２とを有している。回路基板３４は、それら１対のコンベアベルト３０によって支持され、電磁モータ３２の駆動により、Ｘ軸方向に搬送される。また、搬送装置２０は、基板保持装置（図２参照）３６を有している。基板保持装置３６は、コンベアベルト３０によって支持された回路基板３４を、所定の位置（図１での回路基板３４が図示されている位置）において固定的に保持する。
　ヘッド移動装置２２は、Ｘ軸方向スライド機構５０とＹ軸方向スライド機構５２とによって構成されている。Ｘ軸方向スライド機構５０は、Ｘ軸方向に移動可能にベース５４上に設けられたＸ軸スライダ５６を有している。そのＸ軸スライダ５６は、電磁モータ（図２参照）５８の駆動により、Ｘ軸方向の任意の位置に移動する。また、Ｙ軸方向スライド機構５２は、Ｙ軸方向に移動可能にＸ軸スライダ５６の側面に設けられたＹ軸スライダ６０を有している。そのＹ軸スライダ６０は、電磁モータ（図２参照）６２の駆動により、Ｙ軸方向の任意の位置に移動する。そのＹ軸スライダ６０には、インクジェットヘッド２４が取り付けられている。このような構造により、インクジェットヘッド２４は、ヘッド移動装置２２によってベース５４上の任意の位置に移動する。
　インクジェットヘッド２４は、導電性インク、具体的には、銀ナノ粒子ペーストを吐出し、回路基板３４上に回路パターンを印刷する。詳しくは、インクジェットヘッド２４の下面には、複数のノズル穴（図示省略）が形成されている。そして、電気信号に従って、圧電素子（図２参照）６６や熱による蒸気泡を駆動源として、銀ナノ粒子ペーストがインクジェットヘッド２４の複数のノズル穴から吐出される。これにより、回路基板３４上に回路パターンが印刷される。
　また、印刷装置１０は、検査カメラ（図２参照）６８を備えている。検査カメラ６８は、下方を向いた状態でＹ軸スライダ６０の下面に固定されている。これにより、Ｙ軸スライダ６０が、ヘッド移動装置２２によって移動させられることで、回路基板３４上の任意の位置を撮像することが可能である。
　また、印刷装置１０は、図２に示すように、制御装置７０を備えている。制御装置７０は、コントローラ７２と、複数の駆動回路７４とを備えている。複数の駆動回路７４は、上記電磁モータ３２，５８，６２、基板保持装置３６、圧電素子６６に接続されている。コントローラ７２は、ＣＰＵ，ＲＯＭ，ＲＡＭ等を備え、コンピュータを主体とするものであり、複数の駆動回路７４に接続されている。これにより、搬送装置２０、ヘッド移動装置２２、インクジェットヘッド２４の作動が、コントローラ７２によって制御される。また、コントローラ７２は、画像処理装置７６に接続されている。画像処理装置７６は、検査カメラ６８によって得られた画像データを処理するものであり、コントローラ７２は、検査カメラ６８によって得られた画像データから各種情報を取得する。
　＜印刷装置による回路パターンの形成＞
　印刷装置１０では、上述した構成によって、インクジェットヘッド２４が搬送装置２０に保持された回路基板３４に銀ナノ粒子ペーストを吐出することで、回路基板３４に回路パターンが形成される。具体的には、コントローラ７２の指令により、回路基板３４が作業位置まで搬送され、その位置において、回路基板３４が、基板保持装置３６によって固定的に保持される。そして、インクジェットヘッド２４が、コントローラ７２の指令により、回路基板３４の所定の位置の上方に移動する。続いて、インクジェットヘッド２４は、コントローラ７２の指令により、回路基板３４の上面に銀ナノ粒子ペーストを吐出し、回路パターンが印刷される。
　＜回路パターンの印刷精度の検査＞
　印刷装置１０では、上述したように、インクジェットヘッド２４の下面に形成された複数のノズル穴から銀ナノ粒子ペーストを吐出することで、回路パターンが印刷される。このため、図３に示すように、回路パターン８０は、複数のドット状に吐出された銀ナノ粒子ペースト８２によって、回路基板３４上に形成される。このようにして形成された回路パターン８０では、ドット状の銀ナノ粒子ペースト８２の径、つまり、銀ナノ粒子ペースト８２の吐出量等によって、銀ナノ粒子ペースト８２と銀ナノ粒子ペースト８２との間に隙間が生じる場合がある。このような場合には、電極間に形成される回路パターンが断線するため、好ましくない。また、銀ナノ粒子ペースト８２が適切な位置に吐出されない場合等には、回路パターン８０の長さが目標とする長さとならずに、電極と電極とを接続できない虞がある。
　このようなことに鑑みて、印刷装置１０では、目標となる形状に回路パターンが印刷されているか否かが、検査カメラ６８の撮像により得られる画像データに基づいて判定される。具体的には、コントローラ７２の指令により、ヘッド移動装置２２の作動が制御され、検査カメラ６８が、回路基板３４に印刷された回路パターン８０の上方に移動させられ、回路基板３４の所定の領域が、検査カメラ６８によって撮像される。この所定の領域は、図４に示すように、回路パターン８０の目標となる目標形状８６および、目標形状８６の周辺部を囲う第１の矩形８８の内部の領域（以下、「第１の領域」と記載する場合がある）である。なお、検査カメラ６８による所定の領域の撮像は、検査カメラ６８の撮像範囲が所定の領域に限定されることで、実行される。
　第１の領域が撮像されると、その画像データが画像処理装置７６によって処理される。そして、その画像データに基づいて、第１の領域のうちの銀ナノ粒子ペースト８２が吐出されていない箇所の面積、つまり、第１の矩形８８と回路パターン８０の外縁との間の面積が、コントローラ７２によって演算される。詳しくは、画像データに基づいて、回路パターン８０の外縁が認識され、その回路パターン８０の外縁の内部の面積、つまり、回路パターン８０の占有面積が演算される。一方、第１の領域の面積は、コントローラ７２に記憶されている。そして、第１の領域の面積から回路パターン８０の占有面積が減算されることで、第１の領域のうちの銀ナノ粒子ペースト８２が吐出されていない箇所の面積（以下、「第１の演算面積」と記載する場合がある）が演算される。
　第１の演算面積が演算されると、その第１の演算面積が、第１の領域に対応して設定されている第１の閾面積以下であるか否かが、判定される。第１の閾面積は、第１の領域のうちの目標形状８６を除いた箇所の面積、つまり、第１の矩形８８と目標形状８６の外縁との間の面積程度に設定されている。このため、第１の演算面積が、第１の閾面積より大きい場合には、回路パターン８０の占有面積が、目標形状８６の占有面積より小さいと考えられる。つまり、回路パターン８０の長さが、目標形状８６の長さに満たないと想定される。したがって、第１の演算面積が、第１の閾面積より大きい場合には、回路パターン８０の長さが目標とする長さとならずに、電極と電極とを接続できない虞があるため、印刷精度が低いと判定される。ちなみに、図４に示す回路パターン８０では、第１の演算面積は第１の閾面積以下であり、回路パターン８０の長さは目標形状８６の長さ以上であると判定される。
　また、印刷装置１０では、第１の領域と異なる領域に対しても、第１の領域と同様に、回路パターン８０の印刷の良否が判定される。第１の領域と異なる領域としては、図５に示すように、第２の矩形９０と第１の矩形８８との間の領域（以下、「第２の領域」と記載する場合がある）が設定されている。つまり、第２の領域は、目標形状８６および、目標形状８６の周辺部を含まない領域とされており、その領域が検査カメラ６８によって撮像される。
　そして、その画像データに基づいて、第２の領域のうちの銀ナノ粒子ペースト８２が吐出されていない箇所の面積が、コントローラ７２によって演算される。詳しくは、画像データに基づいて、第２の領域内での回路パターン８０の外縁が認識され、第２の領域での回路パターン８０の占有面積が演算される。なお、第２の領域内で回路パターン８０の外縁が認識されない場合には、回路パターン８０が、第２の領域に存在しないと判定され、第２の領域での回路パターン８０の占有面積は、０となる。一方、第２の領域の面積は、コントローラ７２に記憶されている。そして、第２の領域の面積から第２の領域での回路パターン８０の占有面積が減算されることで、第２の領域のうちの銀ナノ粒子ペースト８２が吐出されていない箇所の面積（以下、「第２の演算面積」と記載する場合がある）が演算される。
　第２の演算面積が演算されると、その第２の演算面積が、第２の領域に対応して設定されている第２の閾面積以上であるか否かが、判定される。第２の閾面積は、第２の領域の面積程度に設定されている。このため、第２の演算面積が、第２の閾面積より小さい場合には、回路パターン８０が、第２の領域にはみ出していると考えられる。つまり、回路パターン８０が、目標形状８６から大きくズレて印刷されていると想定される。したがって、第２の演算面積が、第２の閾面積より小さい場合には、回路パターン８０が、目標とする箇所に印刷されておらず、印刷精度が低いと判定される。ちなみに、図５に示す回路パターン８０では、回路パターン８０は第２の領域にはみ出しておらず、第２の演算面積は第２の閾面積以上である。
　さらに、印刷装置１０では、もう１つ別の領域に対しても、第１の領域および、第２の領域と同様に、回路パターン８０の印刷の良否が判定される。もう１つ別の領域は、図６に示すように、目標形状８６内に設定された第３の矩形９２の内部の領域（以下、「第３の領域」と記載する場合がある）であり、目標形状８６内に納まっている。そして、その第３の領域が検査カメラ６８によって撮像され、画像データに基づいて、第３の領域のうちの銀ナノ粒子ペースト８２が吐出されていない箇所の面積が、コントローラ７２によって演算される。詳しくは、画像データに基づいて、第３の領域内での回路パターン８０の外縁が認識され、第３の領域での回路パターン８０の占有面積が演算される。なお、第３の領域内で回路パターン８０の外縁が認識されない場合には、第３の領域が回路パターン８０によって覆われていると判定され、第３の領域での回路パターン８０の占有面積は、第３の領域の面積となる。ちなみに、第３の領域の面積は、コントローラ７２に記憶されている。そして、第３の領域の面積から第３の領域での回路パターン８０の占有面積が減算されることで、第３の領域のうちの銀ナノ粒子ペースト８２が吐出されていない箇所の面積（以下、「第３の演算面積」と記載する場合がある）が演算される。
　第３の演算面積が演算されると、その第３の演算面積が、第３の領域に対応して設定されている第３の閾面積以上であるか否かが、判定される。第３の閾面積は、０に設定されている。このため、第３の演算面積が、第３の閾面積より大きい場合には、第３の領域全体が、回路パターン８０によって覆われていないと考えられる。つまり、回路パターン８０を形成する複数の銀ナノ粒子ペースト８２の間に隙間が存在すると想定される。したがって、第３の演算面積が、第３の閾面積より大きい場合には、複数の銀ナノ粒子ペースト８２の間に存在する隙間により、回路パターン８０が断線している虞があるため、印刷精度が低いと判定される。ちなみに、図６に示す回路パターン８０では、第３の演算面積は第３の閾面積以下であり、複数の銀ナノ粒子ペースト８２の間に隙間は存在しないと判定される。
　このように、第１の領域，第２の領域および、第３の領域の全ての領域に対して、上記判定を行うことで、回路パターン８０の長さ、回路パターン８０の印刷位置、回路パターン８０の断線等を検査することが可能となり、適切な回路パターン８０の印刷を担保することが可能となる。
　なお、コントローラ７２は、検査カメラ６８によって、回路パターン８０が印刷された回路基板３４を撮像するための機能部として、撮像部（図２参照）１００を有しており、その撮像部１００によって処理される工程が撮像工程である。また、コントローラ７２は、画像データに基づいて、第１～第３の演算面積を演算するための機能部として、演算部（図２参照）１０２を有しており、その演算部１０２によって処理される工程が演算工程である。さらに、コントローラ７２は、第１～第３の演算面積と第１～第３の閾面積との比較により、印刷精度を判定するための機能部として、判定部（図２参照）１０４を有しており、その判定部１０４によって処理される工程が判定工程である。
　＜回路パターンの印刷条件の調整＞
　また、印刷装置１０では、上記判定により、回路パターンの印刷精度が低いと判定された場合には、印刷条件が自動で調整される。具体的に、例えば、図７に示す形状の回路パターン１１０に対して、上記判定が行われる場合について説明する。回路パターン１１０では、図８に示すように、第１の矩形８８の内部の領域、つまり、第１の領域のうちの銀ナノ粒子ペースト８２が吐出されていない箇所の面積、つまり、第１の演算面積が、比較的小さく、第１の閾面積より小さい。このため、回路パターン１１０の長さが、目標形状８６の長さより短いと想定され、印刷精度が低いと判定される。
　また、回路パターン１１０は、図９に示すように、第１の矩形８８と第２の矩形９０との間の領域、つまり、第２の領域にはみ出していない。このため、第２の領域のうちの銀ナノ粒子ペースト８２が吐出されていない箇所の面積、つまり、第２の演算面積は、第２の領域の面積となり、第２の閾面積以上となる。これにより、回路パターン１１０の印刷位置と目標形状８６の印刷位置とのズレは、問題ないと判定される。
　また、回路パターン１１０では、図１０に示すように、第３の矩形９２の内部領域、つまり、第３の領域において、回路パターン８０の両端に、隙間が存在しており、第３の領域のうちの銀ナノ粒子ペースト８２が吐出されていない箇所の面積、つまり、第３の演算面積は、第３の閾面積より大きい。このため、回路パターン１１０が断線していると想定され、印刷精度が低いと判定される。
　このように、回路パターン１１０では、第１の領域および、第３の領域での判定において、印刷精度が低いと判定され、回路パターン１１０の長さが、目標形状８６の長さより短いと想定されるとともに、回路パターン１１０が断線していると想定される。このため、コントローラ７２では、銀ナノ粒子ペースト８２間の距離が長くなるように、インクジェットヘッド２４による銀ナノ粒子ペースト８２の吐出ピッチが調整される。これにより、回路パターン１１０の長さが適切化され、印刷精度を向上させることが可能となる。さらに、コントローラ７２では、銀ナノ粒子ペースト８２の径が大きくなるように、インクジェットヘッド２４による銀ナノ粒子ペースト８２の吐出量が調整される。これにより、第３の領域を回路パターン１１０で覆うことが可能となり、印刷精度を向上させることが可能となる。
　また、例えば、図１１に示す形状の回路パターン１１２では、図１２に示すように、第１の矩形８８の内部の領域、つまり、第１の領域のうちの銀ナノ粒子ペースト８２が吐出されていない箇所の面積、つまり、第１の演算面積は、比較的大きく、第１の閾面積以上である。このため、回路パターン１１２の長さは、目標形状８６の長さ程度であると想定される。
　また、回路パターン１１２は、図１３に示すように、第１の矩形８８と第２の矩形９０との間の領域、つまり、第２の領域にはみ出していない。このため、第２の領域のうちの銀ナノ粒子ペースト８２が吐出されていない箇所の面積、つまり、第２の演算面積は、第２の領域の面積となり、第２の閾面積以上となる。これにより、回路パターン１１２の印刷位置と目標形状８６の印刷位置とのズレは、問題ないと判定される。
　また、回路パターン１１２では、図１４に示すように、第３の矩形９２の内部領域、つまり、第３の領域において、銀ナノ粒子ペースト８２の間に隙間が存在しており、第３の領域のうちの銀ナノ粒子ペースト８２が吐出されていない箇所の面積、つまり、第３の演算面積は、第３の閾面積より大きい。このため、回路パターン１１２が断線していると想定され、印刷精度が低いと判定される。
　このように、回路パターン１１２では、第３の領域での判定において、印刷精度が低いと判定され、回路パターン１１２が断線していると想定される。このため、コントローラ７２では、銀ナノ粒子ペースト８２の径が大きくなるように、インクジェットヘッド２４による銀ナノ粒子ペースト８２の吐出量が調整される。これにより、第３の領域を回路パターン１１２で覆うことが可能となり、印刷精度を向上させることが可能となる。
　また、例えば、図１５に示す形状の回路パターン１１４では、図１６に示すように、第１の矩形８８の内部の領域、つまり、第１の領域のうちの銀ナノ粒子ペースト８２が吐出されていない箇所の面積、つまり、第１の演算面積は、比較的大きく、第１の閾面積以上である。このため、回路パターン１１４の長さは、目標形状８６の長さ程度であると想定される。
　また、回路パターン１１４は、図１７に示すように、第１の矩形８８と第２の矩形９０との間の領域、つまり、第２の領域にはみ出している。このため、第２の領域のうちの銀ナノ粒子ペースト８２が吐出されていない箇所の面積、つまり、第２の演算面積は、第２の閾面積より小さい。これにより、回路パターン１１４は、目標とする箇所に印刷されておらず、印刷精度が低いと判定される。
　また、回路パターン１１４では、図１８に示すように、第３の矩形９２の内部領域、つまり、第３の領域は、銀ナノ粒子ペースト８２によって覆われており、第３の領域のうちの銀ナノ粒子ペースト８２が吐出されていない箇所の面積、つまり、第３の演算面積は、０であり、第３の閾面積以下である。このため、回路パターン１１４は断線していないと想定される。
　このように、回路パターン１１４では、第２の領域での判定において、印刷精度が低いと判定され、回路パターン１１４が、目標とする箇所に印刷されていないと想定される。このため、コントローラ７２では、ヘッド移動装置２２の作動が調整され、インクジェットヘッド２４による銀ナノ粒子ペースト８２の吐出位置が調整される。これにより、回路パターン１１４を目標とする箇所に印刷することが可能となり、印刷精度を向上させることが可能となる。
　このように、印刷装置１０では、印刷精度が低いと判定された領域に応じて、回路パターン８０の印刷条件が自動で調整されている。これにより、作業者に負担をかけることなく、適切に印刷条件を調整し、高い印刷精度を維持することが可能となる。なお、印刷精度が低いと判定された領域に応じて、回路パターン８０の印刷条件を自動で調整するための機能部として、コントローラ７２は作動条件調整部（図２参照）１０６を有している。
　また、印刷装置１０では、上記判定が任意の時間毎に実行されている。これにより、印刷精度のチェックおよび、印刷条件の調整が定期的に行われることで、印刷品質を好適に担保することが可能となる。
　ちなみに、上記実施例において、ヘッド移動装置２２とインクジェットヘッド２４とによって構成されるものは、流体吐出装置の一例である。回路基板３４は、印刷媒体の一例である。制御装置７０は、検査装置および制御装置の一例である。撮像部１００は、撮像部の一例である。演算部１０２は、演算部の一例である。判定部１０４は、判定部の一例である。作動条件調整部１０６は、作動条件調整部の一例である。
　なお、本発明は、上記実施例に限定されるものではなく、当業者の知識に基づいて種々の変更、改良を施した種々の態様で実施することが可能である。具体的には、例えば、上記実施例において、検査カメラ６８による所定の領域の画像データは、検査カメラ６８の撮像範囲が所定の領域に限定されることで、取得されるが、検査カメラ６８によって得られた画像データを処理することで、所定の領域の画像データを取得することが可能である。詳しくは、検査カメラ６８によって、所定の領域を含む領域を撮像し、その撮像により得られた画像データから、所定の領域の画像データを抽出することが可能である。
　また、上記実施例では、印刷媒体として、回路基板３４が採用されているが、リードフレーム，樹脂製の部材，紙等の種々の媒体を採用することが可能である。また、印刷媒体に吐出される流体として、銀ナノ粒子ペースト８２等の導電性インクに限られず、接着剤，クリーム半田，樹脂インク等の種々の流体を採用することが可能である。さらに、流体を吐出する装置としては、インクジェットヘッド２４に限られず、ディスペンサヘッド等を採用することが可能である。
　また、上記実施例では、本発明の技術を用いて、回路基板の回路パターンの印刷精度が検査されているが、種々の印刷物の印刷精度を検査することが可能である。具体的には、例えば、導光板のドットパターンの印刷精度を検査することが可能である。
　２２：ヘッド移動装置（流体吐出装置）　　２４：インクジェットヘッド（流体吐出装置）　　３４：回路基板（印刷媒体）　　７０：制御装置（検査装置）　　１００：撮像部　　１０２：演算部　　１０４：判定部　　１０６：作動条件調整部

Claims (5)

  1. 　印刷媒体に目標形状となるように流体を吐出する流体吐出装置による印刷精度を検査する検査装置において、
    　当該検査装置が、
    　前記流体吐出装置によって流体が吐出された印刷媒体を撮像する撮像部と、
    　前記撮像部により撮像された画像の画像データに基づいて、印刷媒体の予め設定された設定領域のうちの流体が吐出されていない箇所の面積を演算する演算部と、
    　前記演算部により演算された面積と予め設定された閾面積との比較により、前記流体吐出装置による印刷精度の良否を判定する判定部と
    　を備えることを特徴とする検査装置。
  2. 　当該検査装置では、複数の前記設定領域と、それら複数の設定領域に応じた複数の閾面積とが設定されており、
    　前記演算部は、
    　前記複数の設定領域毎に、前記撮像部により撮像された画像の画像データに基づいて、前記設定領域のうちの流体が吐出されていない箇所の面積を演算し、
    　前記判定部は、
    　前記複数の設定領域毎に、前記演算部により演算された面積と前記閾面積との比較により、前記流体吐出装置による印刷精度の良否を判定することを特徴とする請求項１に記載の検査装置。
  3. 　前記設定領域として、少なくとも前記目標形状全体を含む第１の領域と、少なくとも前記目標形状全体を除いた第２の領域と、前記目標形状内に納まる第３の領域とのうちの少なくとも１つが設定されており、
    　前記判定部は、
    　前記設定領域として前記第１の領域が設定されている場合に、前記演算部により演算された面積が第１の前記閾面積以下である際に、前記流体吐出装置による印刷精度が良好であると判定し、
    　前記設定領域として前記第２の領域が設定されている場合に、前記演算部により演算された面積が第２の前記閾面積以上である際に、前記流体吐出装置による印刷精度が良好であると判定し、
    　前記設定領域として前記第３の領域が設定されている場合に、前記演算部により演算された面積が第３の前記閾面積以下である際に、前記流体吐出装置による印刷精度が良好であると判定することを特徴とする請求項１または請求項２に記載の検査装置。
  4. 　印刷媒体に目標形状となるように流体を吐出する流体吐出装置の作動を制御する制御装置において、
    　当該制御装置が、
    　請求項１ないし請求項３のいずれか１つに記載の検査装置の判定部による判定結果に基づいて、前記流体吐出装置の作動条件を調整する作動条件調整部を備えることを特徴とする制御装置。
  5. 　印刷媒体に目標形状となるように流体を吐出する流体吐出装置による印刷精度を検査する検査方法において、
    　当該検査方法が、
    　前記流体吐出装置によって流体が吐出された印刷媒体を撮像する撮像工程と、
    　前記撮像部により撮像された画像の画像データに基づいて、印刷媒体の予め設定された設定領域のうちの流体が吐出されていない箇所の面積を演算する演算工程と、
    　前記演算部により演算された面積と予め設定された閾面積との比較により、前記流体吐出装置による印刷精度の良否を判定する判定工程と
    　を含むことを特徴とする検査方法。
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