WO2014175073A1 - シート貼付装置および貼付方法 - Google Patents

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sheet
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adherend
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岡本　光司
渡邉　健一
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リンテック株式会社
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    • H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking
    • H01L21/67282—Marking devices

Definitions

  • the present invention relates to a sheet sticking apparatus and a sticking method for sticking an adhesive sheet to an adherend.
  • a sheet pasting apparatus for pasting an adhesive sheet on a semiconductor wafer (hereinafter sometimes simply referred to as “wafer”) in a semiconductor manufacturing process is known (see, for example, Patent Document 1).
  • the sheet sticking device described in Patent Document 1 includes a sheet feeding unit that feeds an adhesive sheet facing a wafer (adhered body) having a notch (reference part) formed on the outer edge, and a fine cutting that forms a cut in the adhesive sheet.
  • a unit and a press roller for pressing and adhering the adhesive sheet to the wafer are provided, and the adhesive sheet is applied to the wafer with the notch aligned with the notch position.
  • the adherend on which the adhesive sheet is pasted by the conventional sheet pasting apparatus as described in Patent Document 1 is used as a reference by the detection means even after being transported to another apparatus such as a grinding apparatus or a cutting apparatus.
  • the part is detected, and various processes are performed based on the position of the reference part.
  • the detection means of another apparatus misrecognizes the crack or damage as a reference portion, which causes an inconvenience in processing the adherend. .
  • An object of the present invention is to provide a sheet sticking device and a sticking method capable of sticking an adhesive sheet to an adherend so that the reference portion of the adherend can be recognized by another device.
  • the sheet sticking apparatus of the present invention includes a supply means for supplying an adhesive sheet, a pressing means for pressing and sticking the adhesive sheet to an adherend having a reference portion formed at a predetermined position, and the covering on the adhesive sheet.
  • the mark applying unit applies the position recognition mark by causing a chemical change in the constituent of the adhesive sheet.
  • the sheet sticking method of the present invention includes a step of supplying an adhesive sheet, a step of pressing and sticking the adhesive sheet to an adherend having a reference portion formed at a predetermined position, and the adherend in the adhesive sheet. And a step of applying a predetermined position recognition mark having a predetermined regularity with respect to the reference portion to a predetermined position in an area affixed to the base.
  • a predetermined position recognition mark having a predetermined law position with respect to the reference portion is provided at a predetermined position in the region attached to the adherend in the adhesive sheet. Therefore, the adhesive sheet can be attached to the adherend so that the reference portion of the adherend can be recognized by another device.
  • the mark applicator is given a position recognition mark by causing a chemical change in the constituents of the adhesive sheet, the position recognition mark can be prevented from rubbing or disappearing.
  • the side view of the sheet sticking apparatus which concerns on one Embodiment of this invention.
  • the top view which shows the to-be-adhered body by which the position recognition mark was provided to the adhesive sheet.
  • the top view which shows the to-be-adhered body by which the position recognition mark was provided to the adhesive sheet.
  • the top view which shows the to-be-adhered body by which the position recognition mark was provided to the adhesive sheet.
  • the top view which shows the to-be-adhered body by which the position recognition mark was provided to the adhesive sheet.
  • the top view which shows the to-be-adhered body by which the position recognition mark was provided to the adhesive sheet.
  • the top view which shows the to-be-adhered body by which the position recognition mark was provided to the adhesive sheet.
  • the top view which shows the to-be-adhered body by which the position recognition mark was provided to the adhesive sheet.
  • the top view which shows the to-be-adhered body by which the position recognition mark was provided to the adhesive sheet.
  • the X axis, the Y axis, and the Z axis in this specification are orthogonal to each other, the X axis and the Y axis are axes in a horizontal plane, and the Z axis is an axis that is orthogonal to the horizontal plane. Furthermore, in the present embodiment, when viewed from the near side of FIG.
  • a sheet sticking apparatus 1 includes a supply means 2 for supplying a strip-shaped adhesive sheet AS having an adhesive layer AD on one surface of a base sheet BS, and a notch as a reference portion at a predetermined position (outer edge).
  • the supply means 2 places the adhesive sheet AS between a support roller 21 that supports the adhesive sheet AS, a guide roller 22 that guides the adhesive sheet AS, and a drive roller 23 that is driven by a rotation motor 23A as a drive device.
  • a pinch roller 24 that sandwiches the adhesive sheet AS between the driving roller 26 and a driving roller 26 that is rotated by a rotating motor 26A that is supported by a slider 25A of a linear motor 25 that is a driving device.
  • the rollers 21 to 24 are supported by the supply side frame 2A, and the rollers 28 and 29 are supported by the collection side frame 2B.
  • the pressing means 3 includes a linear motor 31 as a driving device supported by the slider 25B of the linear motor 25 and a pressing roller 32 supported by the slider 31A of the linear motor 31.
  • the mark applying means 4 includes a linear motor 41 as a driving device supported by the slider 25C of the linear motor 25 and a printing means 42 supported by the slider 41A of the linear motor 41.
  • the detecting means 5 includes non-contact sensors such as optical sensors and ultrasonic sensors, contact sensors such as limit switches, and imaging means such as cameras.
  • the support means 6 includes an outer table 61 having a recess 62, and an inner table 63 provided in the recess 62 and having a support surface 63A that can be sucked and held by a decompression means (not shown) such as a decompression pump or a vacuum ejector. Yes.
  • a decompression means such as a decompression pump or a vacuum ejector.
  • the transport means 7 includes an articulated robot 71 as a driving device, and a suction tool 72 that is detachably provided at the tip of the articulated robot 71 and that can communicate with decompression means (not shown) such as a decompression pump and a vacuum ejector. ing.
  • decompression means such as a decompression pump and a vacuum ejector.
  • the multi-joint robot 71 is a so-called 6-axis robot that can be displaced at any position and at any angle within the working range.
  • the cutting means 8 includes an articulated robot 71 and a cutter tool 82 that is detachably provided at the tip of the articulated robot 71 and has a cutter blade 81.
  • the transfer means 7 drives the articulated robot 71 and a decompression means (not shown), and the suction tool 72 sucks and holds the wafer WF, and the detection means 5 detects the outer edge of the wafer WF and the notch VN.
  • the transfer means 7 drives the articulated robot 71, and based on the detection result of the detection means 5, the position of the center CP of the wafer WF overlaps the center of the support surface 63A, and the center of the notch VN is the support surface.
  • the wafer WF is placed on the support surface 63A of the inner table 63 so as to be positioned at the right position on a straight line parallel to the X axis passing through the center of 63A.
  • the pressing means 3 drives the linear motor 25 and moves the pressing roller 32 while rolling on the adhesive sheet AS to the position indicated by the two-dot chain line in FIG. 1 to press the adhesive sheet AS against the surface of the wafer WF. And paste it.
  • the cutting means 8 drives the articulated robot 71 to exchange the tool from the suction tool 72 to the cutter tool 82, and moves the cutter blade 81 along the outer edge of the wafer WF, whereby the adhesive sheet AS is removed from the wafer WF. Cut along the outer edge.
  • the mark applying unit 4 drives the linear motor 25 and the printing unit 42 to move the printing unit 42 in the left direction as indicated by the two-dot chain line on the right side in FIG. 1, and the predetermined position of the cut adhesive sheet AS. Is given a straight line as a position recognition mark PM parallel to the X axis.
  • the mark imparting means 4 prints a straight line passing through the center CP of the wafer WF and the center of the notch VN, so that the position is predetermined with respect to the notch VN. It comes to have the law of.
  • the transfer means 7 drives the articulated robot 71 to exchange the tool from the cutter tool 82 to the suction tool 72, and then drives the decompression means (not shown) to attach the wafer WF having the adhesive sheet AS attached thereto to the suction tool 72. Is sucked and held and transported to another device used in another process.
  • the position recognition mark PM has a predetermined regularity with respect to the notch VN. Therefore, if the other device stores the law in advance. By detecting the position recognition mark PM, the position of the notch VN can be indirectly detected, and the wafer WF can be positioned and a predetermined process can be performed.
  • the mark applying means 4 drives the linear motors 25 and 41, moves the printing means 42 in the vicinity of the pressing roller 32 indicated by the two-dot chain line on the left side in FIG. 31 is driven and the pressing roller 32 is raised.
  • the supply means 2 drives the rotation motor 26A and the linear motor 25, and moves the drive roller 26 to the position indicated by the two-dot chain line in FIG. 1 to peel the unnecessary sheet US from the upper surface 61A of the outer table 61. To do.
  • the supply means 2 drives the linear motor 25 and the rotation motors 23A and 29A, and moves the slider 25A to the right in a state where the rotation of the drive roller 26 is stopped, so that the unused portion of the adhesive sheet AS is removed.
  • the unwinding sheet US is wound up by the collection roller 29 while being fed out. Thereafter, the pressing means 3 and the mark applying means 4 drive the linear motors 25, 31, 41 to move the pressing roller 32 and the printing means 42 to the positions indicated by the solid lines in FIG. 1, and thereafter the same operation as described above is repeated. .
  • the predetermined position recognition mark that has the predetermined law with respect to the notch VN at the predetermined position in the region pasted on the wafer WF in the adhesive sheet AS.
  • the notch VN of the wafer WF can be recognized by another apparatus, and the adhesive sheet AS can be attached to the wafer WF.
  • the mark applying means 4 is provided with a printing means 42 on the right side of the supply side frame 2A, and before attaching the adhesive sheet AS to the wafer WF,
  • the position recognition mark PM may be applied to at least one of the adhesive layer AD side.
  • the printing unit 42 can adopt an arbitrary configuration capable of printing the position recognition mark PM on the adhesive sheet AS, such as an ink jet printer, a thermal printer, a relief printing, an intaglio printing, a laser printer, and the like. It may be a combination.
  • the mark applying unit 4 may apply a position recognizing mark PM to the side surface of the adhesive sheet AS, or the position applying mark PM having the same shape as the notch VN detected by the detecting unit 5 may be used as the adhesive sheet. You may give to AS. Further, the mark applying means 4 is replaced with or in addition to the printing means 42, and the surface and the inside of the base sheet BS, the surface and the inside of the adhesive layer AD, or the base sheet BS and the adhesive by laser or ultrasonic waves. The position recognition mark PM may be provided at the boundary with the layer AD. When a laser or ultrasonic wave is used for the mark applying means 4, the base sheet BS or the adhesive layer AD is modified, altered, melted, or burned at the focal position of the output energy.
  • the support means 6 can rotate the inner table 63 and move in both the X and Y axis directions, and after the adhesive sheet AS is cut by the cutting means 8, the detection means 5 detects the outer edge of the wafer WF and The notch VN may be detected, the support unit 6 may move the wafer WF to a predetermined position, and the mark applying unit 4 may apply the position recognition mark PM.
  • the mark applying unit 4 may apply the position recognition mark PM before the cutting unit 8 cuts the adhesive sheet AS.
  • the mark applying means 4 is constituted by an articulated robot 71 and a printing means 42, and the mark applying means 4 is an articulated robot with respect to the wafer WF placed at an arbitrary position (direction) with respect to the inner table 63. 71 may be driven and a position recognition mark PM similar to that described above may be applied based on the detection result of the detection means 5.
  • the position recognition mark PM is not limited to points, circles such as perfect circles and ellipses, crosses, polygons, characters, numbers, figures, and the like. As shown in FIG. 2A, it may be provided at a position displaced by a predetermined angle ⁇ from the position of the notch VN, or as shown in FIG. 2J, not in the vicinity of the outer edge of the adhesive sheet AS but at a position away from the outer edge by a predetermined distance LA.
  • a plurality of positions may be given at positions shifted from the position of the notch VN by a predetermined angle ⁇ 1, ⁇ 2 ( ⁇ 1, ⁇ 2 may not be 90 °) from the position of the notch VN with respect to the notch VN.
  • the position is not particularly limited as long as it is given to the adhesive sheet AS with a predetermined law.
  • the supply means 2 may supply the adhesive sheet by peeling the adhesive sheet from the original fabric in which a plurality of adhesive sheets having a predetermined shape are temporarily attached to the release sheet, or supply a single-layer adhesive sheet on which the release sheet is not temporarily attached. May be.
  • the pressing means 3 may employ a pressing member made of a blade material, rubber, resin, sponge or the like instead of the pressing roller 32, or may be configured to press by air spraying.
  • the cutting means 8 can adopt any configuration capable of cutting the adhesive sheet AS, for example, a laser cutter or a device that can be cut by water pressure or wind pressure, or a rotary cutter that rotates and cuts. Other cutter blades may be employed. Further, the cutting means 8 may be configured independently of the conveying means 7 and independent. Further, the adhesive sheet AS may be cut into a V shape along the notch VN by the cutting means 8.
  • the material, type, shape and the like of the adhesive sheet AS and the adherend in the present invention are not particularly limited.
  • the adhesive sheet AS is not limited to adhesive forms such as pressure-sensitive adhesiveness and heat-sensitive adhesiveness. When a heat-sensitive adhesive is used, an appropriate heating means for heating the adhesive sheet AS. May be provided.
  • the adhesive sheet AS is, for example, a single layer having only the adhesive layer AD, an intermediate layer between the base sheet BS and the adhesive layer AD, and a cover layer on the upper surface of the base sheet BS. 3 or more layers, or a so-called double-sided adhesive sheet that can peel the base sheet BS from the adhesive layer AD. It may have an intermediate layer, or may be a single layer or multiple layers without an intermediate layer.
  • adherend examples include, for example, foods, resin containers, semiconductor wafers such as silicon semiconductor wafers and compound semiconductor wafers, circuit board, information recording substrates such as optical disks, glass plates, steel plates, earthenware, wood plates or resin plates, Arbitrary forms of members and articles can also be targeted.
  • the adhesive sheet AS is replaced with a functional and intended reading, for example, any information label, decorative label, protective sheet, dicing tape, die attach film, die bonding tape, recording layer forming resin sheet, etc.
  • Arbitrary sheets, films, tapes and the like can be attached to any adherend as described above.
  • the reference portion may be an orientation mark such as an orientation flat, a manufacturing number stamped on the wafer WF, a circuit pattern, a kerf, a street, or the like. It will not be limited at all as long as it serves as a mark that allows the position of the adherend to be specified with good characteristics.
  • the means and steps in the present invention are not limited in any way as long as they can perform the operations, functions, or steps described with respect to those means and steps.
  • the process is not limited at all.
  • the mark applying means can apply a predetermined position recognition mark that has a predetermined law with respect to the reference portion at a predetermined position in an area of the adhesive sheet attached to the adherend. If it is a thing, it will not be limited at all in light of the technical common sense at the time of filing, and it is within the technical scope (the description of other means and steps is omitted).
  • the drive device in the embodiment includes an electric device such as a rotation motor, a linear motion motor, a linear motor, a single axis robot, an articulated robot, an actuator such as an air cylinder, a hydraulic cylinder, a rodless cylinder, and a rotary cylinder.
  • an electric device such as a rotation motor, a linear motion motor, a linear motor, a single axis robot, an articulated robot, an actuator such as an air cylinder, a hydraulic cylinder, a rodless cylinder, and a rotary cylinder.
  • an actuator such as an air cylinder, a hydraulic cylinder, a rodless cylinder, and a rotary cylinder.

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Abstract

　シート貼付装置（１）は、接着シート（ＡＳ）を供給する供給手段（２）と、所定の位置に基準部（ＶＮ）が形成された被着体（ＷＦ）に前記接着シート（ＡＳ）を押圧して貼付する押圧手段（３）と、前記接着シート（ＡＳ）における前記被着体（ＷＦ）に貼付された領域内の所定の位置に、前記基準部（ＶＮ）に対して位置的に所定の法則性をもたせた所定の位置認識用マークを付与するマーク付与手段（４）とを備えている。

Description

シート貼付装置および貼付方法
　本発明は、被着体に接着シートを貼付するシート貼付装置および貼付方法に関する。
　従来、半導体製造工程において、半導体ウェハ（以下、単に「ウェハ」という場合がある）に接着シートを貼付するシート貼付装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
　特許文献１に記載のシート貼付装置は、外縁にノッチ（基準部）が形成されたウェハ（被着体）に対向させて接着シートを繰り出すシート繰出ユニットと、接着シートに切り込みを形成する細部切断ユニットと、接着シートをウェハに押圧して貼付するプレスローラとを備え、切り込みをノッチ位置に合わせて接着シートをウェハに貼付するように構成されている。
特開２００７－３０７６５５号公報
　ところで、特許文献１に記載されたような従来のシート貼付装置で接着シートが貼付された被着体は、例えば、研削装置や切断装置といった他の装置に搬送された後も、検出手段で基準部が検出され、当該基準部の位置を基準として各種の処理が行われる。
　しかしながら、被着体に割れや損傷等が発生した場合、他の装置の検出手段がこの割れや損傷等を基準部と誤認識してしまい、被着体の処理に支障をきたすという不都合がある。
　なお、特許文献１のシート貼付装置で貼付された接着シートの切り込みを他の装置の検出手段で検出する方法も考えられるが、接着シートが透明や半透明のものである場合、接着シートの切り込みを検出できないことがあり、上記不都合を完全に払拭できない場合がある。
　本発明の目的は、被着体の基準部を他の装置に認識できるようにして接着シートを被着体に貼付可能なシート貼付装置および貼付方法を提供することにある。
　本発明のシート貼付装置は、接着シートを供給する供給手段と、所定の位置に基準部が形成された被着体に前記接着シートを押圧して貼付する押圧手段と、前記接着シートにおける前記被着体に貼付された領域内の所定の位置に、前記基準部に対して位置的に所定の法則性をもたせた所定の位置認識用マークを付与するマーク付与手段とを備えていることを特徴とする。
　本発明のシート貼付装置において、前記マーク付与手段は、前記接着シートを構成するものに化学変化を起こさせて前記位置認識用マークを付与することが好ましい。
　本発明のシート貼付方法は、接着シートを供給する工程と、所定の位置に基準部が形成された被着体に前記接着シートを押圧して貼付する工程と、前記接着シートにおける前記被着体に貼付された領域内の所定の位置に、前記基準部に対して位置的に所定の法則性をもたせた所定の位置認識用マークを付与する工程とを実施することを特徴とする。
　以上のような本発明によれば、接着シートにおける被着体に貼付された領域内の所定の位置に、基準部に対して位置的に所定の法則性をもたせた所定の位置認識用マークを付与するため、被着体の基準部を他の装置に認識できるようにして接着シートを被着体に貼付可能とすることができる。
　また、マーク付与手段に、接着シートを構成するものに化学変化を起こさせて位置認識用マークを付与させた場合、当該位置認識用マークが擦れたり消えたりすることを防止することができる。
本発明の一実施形態に係るシート貼付装置の側面図。 接着シートに位置認識用マークが付与された被着体を示す平面図。 接着シートに位置認識用マークが付与された被着体を示す平面図。 接着シートに位置認識用マークが付与された被着体を示す平面図。 接着シートに位置認識用マークが付与された被着体を示す平面図。 接着シートに位置認識用マークが付与された被着体を示す平面図。 接着シートに位置認識用マークが付与された被着体を示す平面図。 接着シートに位置認識用マークが付与された被着体を示す平面図。 接着シートに位置認識用マークが付与された被着体を示す平面図。 接着シートに位置認識用マークが付与された被着体を示す平面図。 接着シートに位置認識用マークが付与された被着体を示す平面図。
　以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
　なお、本明細書におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、水平面内の軸とし、Ｚ軸は、水平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な図１の手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸の矢印方向（紙面に直交する手前方向）で「後」がその逆方向とする。
　図１において、シート貼付装置１は、基材シートＢＳの一方の面に接着剤層ＡＤを有する帯状の接着シートＡＳを供給する供給手段２と、所定の位置（外縁）に基準部としてのノッチＶＮが形成された被着体としてのウェハＷＦに接着シートＡＳを押圧して貼付する押圧手段３と、接着シートＡＳにおけるウェハＷＦに貼付された領域内の所定の位置に、ノッチＶＮに対して位置的に所定の法則性をもたせた所定の位置認識用マークＰＭを付与するマーク付与手段４と、ノッチＶＮを検知する検知手段５と、ウェハＷＦを支持する支持手段６と、ウェハＷＦを搬送する搬送手段７と、接着シートＡＳを切断する切断手段８とを備えている。
　供給手段２は、接着シートＡＳを支持する支持ローラ２１と、接着シートＡＳを案内するガイドローラ２２と、駆動機器としての回動モータ２３Ａによって駆動される駆動ローラ２３との間に接着シートＡＳを挟み込むピンチローラ２４と、駆動機器としてのリニアモータ２５のスライダ２５Ａに支持された駆動機器としての回動モータ２６Ａによって回動する駆動ローラ２６と、駆動ローラ２６との間に接着シートＡＳを挟み込むピンチローラ２７と、接着シートＡＳの切断により生じた不要シートＵＳを案内する複数のガイドローラ２８と、駆動機器としての回動モータ２９Ａによって駆動され、不要シートＵＳを回収する回収ローラ２９とを備えている。ローラ２１～２４は、供給側フレーム２Ａに支持され、ローラ２８、２９は、回収側フレーム２Ｂに支持されている。
　押圧手段３は、リニアモータ２５のスライダ２５Ｂに支持された駆動機器としてのリニアモータ３１と、リニアモータ３１のスライダ３１Ａに支持された押圧ローラ３２とを備えている。
　マーク付与手段４は、リニアモータ２５のスライダ２５Ｃに支持された駆動機器としてのリニアモータ４１と、リニアモータ４１のスライダ４１Ａに支持された印刷手段４２とを備えている。
　検知手段５は、光学センサや超音波センサ等の非接触型センサ、リミットスイッチ等の接触型センサ、カメラ等の撮像手段等により構成されている。
　支持手段６は、凹部６２を有する外側テーブル６１と、凹部６２内に設けられ、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によって吸着保持が可能な支持面６３Ａを有する内側テーブル６３とを備えている。
　搬送手段７は、駆動機器としての多関節ロボット７１と、多関節ロボット７１の先端部に着脱可能に設けられ、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段に連通可能な吸着ツール７２とを備えている。多関節ロボット７１は、その作業範囲内において先端部に装着したものを何れの位置、何れの角度にでも変位可能な所謂６軸ロボットである。
　切断手段８は、多関節ロボット７１と、多関節ロボット７１の先端部に着脱自在に設けられ、カッター刃８１を有するカッターツール８２とを備えている。
　以上のシート貼付装置１において、ウェハＷＦに接着シートＡＳを貼付する手順を説明する。
　先ず、接着シートＡＳを図１中実線で示すようにセットする。次に、搬送手段７が多関節ロボット７１および図示しない減圧手段を駆動し、吸着ツール７２でウェハＷＦを吸着保持し、検知手段５で当該ウェハＷＦの外縁およびノッチＶＮを検知させる。次いで、搬送手段７が多関節ロボット７１を駆動し、検知手段５の検知結果を基にして、ウェハＷＦの中心ＣＰの位置が支持面６３Ａの中心と重なり、かつ、ノッチＶＮの中心が支持面６３Ａの中心を通るＸ軸に平行な直線上の右位置となるように、ウェハＷＦを内側テーブル６３の支持面６３Ａ上に載置する。
　次に、押圧手段３がリニアモータ２５を駆動し、押圧ローラ３２を図１中二点鎖線で示す位置まで接着シートＡＳ上を転動させながら移動させ、ウェハＷＦの表面に接着シートＡＳを押圧して貼付する。その後、切断手段８が多関節ロボット７１を駆動し、吸着ツール７２からカッターツール８２にツール交換を行い、ウェハＷＦの外縁に沿ってカッター刃８１を移動させることで、接着シートＡＳをウェハＷＦの外縁に沿って切断する。
　次に、マーク付与手段４がリニアモータ２５および印刷手段４２を駆動し、印刷手段４２を図１中右側の二点鎖線で示すように左方向に移動させ、切断された接着シートＡＳの所定位置にＸ軸に平行な位置認識用マークＰＭとしての直線を付与する。本実施形態の場合、マーク付与手段４は、図２Ａに示すように、ウェハＷＦの中心ＣＰとノッチＶＮの中心を通る直線を印刷することで、当該直線にノッチＶＮに対して位置的に所定の法則性をもたせるようになっている。その後、搬送手段７が多関節ロボット７１を駆動し、カッターツール８２から吸着ツール７２にツール交換を行った後、図示しない減圧手段を駆動し、接着シートＡＳが貼付されたウェハＷＦを吸着ツール７２で吸着保持し、別工程で用いられる他の装置に搬送する。他の装置では、ノッチＶＮが検出できない場合でも、位置認識用マークＰＭがノッチＶＮに対して位置的に所定の法則性をもっているので、当該他の装置にその法則性を予め記憶させておけば、位置認識用マークＰＭを検出することでノッチＶＮの位置を間接的に検出することができ、ウェハＷＦの位置決めを行って所定の処理を行うことができる。
　次に、マーク付与手段４がリニアモータ２５、４１を駆動し、図１中左側の二点鎖線で示す押圧ローラ３２の近傍に印刷手段４２を移動させた後上昇させ、押圧手段３がリニアモータ３１を駆動し、押圧ローラ３２を上昇させる。次いで、供給手段２が回動モータ２６Ａおよびリニアモータ２５を駆動し、駆動ローラ２６を回転させながら図１中二点鎖線で示す位置に移動させ、不要シートＵＳを外側テーブル６１の上面６１Ａから剥離する。そして、供給手段２がリニアモータ２５および回動モータ２３Ａ、２９Ａを駆動し、駆動ローラ２６の回転を停止させた状態でスライダ２５Ａを右方向に移動させることで、接着シートＡＳの未使用部分を繰り出しつつ、回収ローラ２９で不要シートＵＳを巻き取る。その後、押圧手段３およびマーク付与手段４がリニアモータ２５、３１、４１を駆動し、押圧ローラ３２および印刷手段４２を図１中実線で示す位置に移動させ、以降上述と同様の動作が繰り返される。
　以上のような本実施形態によれば、接着シートＡＳにおけるウェハＷＦに貼付された領域内の所定の位置に、ノッチＶＮに対して位置的に所定の法則性をもたせた所定の位置認識用マークＰＭを付与するため、ウェハＷＦのノッチＶＮを他の装置に認識できるようにして接着シートＡＳをウェハＷＦに貼付可能とすることができる。
　以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。
　例えば、マーク付与手段４は、図１中二点鎖線で示すように、供給側フレーム２Ａの直近右側に印刷手段４２を設け、接着シートＡＳをウェハＷＦに貼付する前に基材シートＢＳ側および接着剤層ＡＤ側の少なくとも一方に位置認識用マークＰＭを付与してもよい。
　また、印刷手段４２は、インクジェットプリンタ、サーマルプリンタ、凸版印刷、凹版印刷、レーザプリンタ等、接着シートＡＳに位置認識用マークＰＭを印刷可能な任意の構成を採用することができる上、それらを適宜組み合せたものでもよい。
　さらに、マーク付与手段４は、接着シートＡＳの側面に位置認識用マークＰＭを付与するものであってもよいし、検知手段５が検知したノッチＶＮと同じ形状の位置認識用マークＰＭを接着シートＡＳに付与するものであってもよい。
　また、マーク付与手段４は、印刷手段４２に代えてまたは併設して、レーザや超音波等により基材シートＢＳ表面や内部、接着剤層ＡＤの表面や内部、または基材シートＢＳと接着剤層ＡＤとの境界に位置認識用マークＰＭを付与するものであってもよい。マーク付与手段４にレーザや超音波等を採用した場合には、出力したエネルギーの焦点位置で基材シートＢＳや接着剤層ＡＤを改質させたり、変質させたり、溶融させたり、焦がしたり、発色させたりすることで、接着シートＡＳを構成するものに化学変化を起こさせて位置認識用マークＰＭを付与する構成とすることができる。この場合、印刷と異なり、他の装置等の各種処理に用いられる水や薬品、さらには他の物品の接触等によって、位置認識用マークＰＭが擦れたり消えたりすることを防止することができる。
　さらに、支持手段６が内側テーブル６３を回転可能とするとともに、Ｘ、Ｙ軸方向の両方へ移動可能とし、切断手段８で接着シートＡＳを切断した後、検知手段５で当該ウェハＷＦの外縁およびノッチＶＮを検知し、支持手段６がウェハＷＦを所定の位置に移動させてマーク付与手段４が位置認識用マークＰＭを付与するようにしてもよい。
　また、マーク付与手段４は、切断手段８で接着シートＡＳを切断する前に位置認識用マークＰＭを付与するようにしてもよい。
　さらに、マーク付与手段４を多関節ロボット７１と印刷手段４２とで構成し、内側テーブル６３に対して任意の位置（方向）に載置されたウェハＷＦに対し、マーク付与手段４が多関節ロボット７１を駆動し、検知手段５の検知結果を基にして上述と同様の位置認識用マークＰＭを付与するようにしてもよい。
　また、位置認識用マークＰＭは、図２Ｂ～図２Ｈに示すように、点、真円や楕円等の円、十字、多角形、文字、数字、図等何ら限定されるものではないし、図２Ｉに示すように、ノッチＶＮの位置から所定角度θ変位した位置に付与されたものでもよいし、図２Ｊに示すように、接着シートＡＳの外縁近傍でなく、当該外縁から所定間隔ＬＡ離れた位置であって、ウェハＷＦの中心ＣＰを中心としてノッチＶＮの位置から所定角度θ１、θ２（θ１、θ２は９０°でなくてもよい）変移した位置に複数付与されてもよく、ノッチＶＮに対して位置的に所定の法則性をもって接着シートＡＳに付与されるものであれば何ら限定されるものではない。
　供給手段２は、剥離シートに所定形状の接着シートが複数仮着された原反から接着シートを剥離して供給してもよいし、剥離シートが仮着されていない枚葉の接着シートを供給してもよい。
　押圧手段３は、押圧ローラ３２にかえて、ブレード材、ゴム、樹脂、スポンジ等による押圧部材を採用してもよいし、エア噴き付けにより押圧する構成を採用してもよい。
　切断手段８は、接着シートＡＳを切断可能な任意の構成を採用でき、例えば、レーザカッターや水圧や風圧で切断可能なもの等で構成してもよいし、回転して切断するロータリカッター等の他のカッター刃を採用してもよい。また、切断手段８は、搬送手段７とは別体の独立した構成としてもよい。さらに、切断手段８でノッチＶＮに沿って接着シートＡＳをＶ字状に切断してもよい。
　また、本発明における接着シートＡＳおよび被着体の材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、接着シートＡＳは、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態に限定されることはなく、感熱接着性のものが採用された場合は、当該接着シートＡＳを加熱する適宜な加熱手段を設ければよい。また、接着シートＡＳは、例えば、接着剤層ＡＤだけの単層のもの、基材シートＢＳと接着剤層ＡＤとの間に中間層を有するもの、基材シートＢＳの上面にカバー層を有する等３層以上のもの、さらには、基材シートＢＳを接着剤層ＡＤから剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよく、両面接着シートは、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってよい。また、被着体としては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウェハや化合物半導体ウェハ等の半導体ウェハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂板等、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シートＡＳを機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意の形状の任意のシート、フィルム、テープ等を前述のような任意の被着体に貼付することができる。
　また、基準部は、ウェハＷＦの場合、オリエンテーションフラット等の方位マーク、ウェハＷＦに刻印された製造番号、回路パターン、カーフ、またはストリート等としてもよいし、ウェハＷＦ以外の場合でも、所定の法則性をもって被着体の位置を特定できる目印となるものであれば何ら限定されるものではない。
　本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、マーク付与手段は、接着シートにおける被着体に貼付された領域内の所定の位置に、基準部に対して位置的に所定の法則性をもたせた所定の位置認識用マークを付与可能なものであれば、出願当初の技術常識に照らし合わせ、その技術範囲内のものであればなんら限定されることはない（他の手段および工程についての説明は省略する）。
　また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる（実施形態で例示したものと重複するものもある）。
　　１　　　　シート貼付装置
　　２　　　　供給手段
　　３　　　　押圧手段
　　４　　　　マーク付与手段
　　ＡＳ　　　接着シート
　　ＰＭ　　　位置認識用マーク
　　ＶＮ　　　ノッチ（基準部）
　　ＷＦ　　　ウェハ（被着体）

Claims (3)

  1. 　接着シートを供給する供給手段と、
    　所定の位置に基準部が形成された被着体に前記接着シートを押圧して貼付する押圧手段と、
    　前記接着シートにおける前記被着体に貼付された領域内の所定の位置に、前記基準部に対して位置的に所定の法則性をもたせた所定の位置認識用マークを付与するマーク付与手段とを備えていることを特徴とするシート貼付装置。
  2. 　前記マーク付与手段は、前記接着シートを構成するものに化学変化を起こさせて前記位置認識用マークを付与することを特徴とする請求項１に記載のシート貼付装置。
  3. 　接着シートを供給する工程と、
    　所定の位置に基準部が形成された被着体に前記接着シートを押圧して貼付する工程と、
    　前記接着シートにおける前記被着体に貼付された領域内の所定の位置に、前記基準部に対して位置的に所定の法則性をもたせた所定の位置認識用マークを付与する工程とを実施することを特徴とするシート貼付方法。
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