JP2014234424A - 接着シートおよび接着シートの貼付方法ならびに接着シートの製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
特許文献1に記載の保護テープ(接着シート)は、外縁に結晶方位を示すノッチ(基準部)が形成されたウエハ(被着体)の一方の面に貼付される。
しかしながら、被着体に割れや損傷等が発生した場合、他の装置の検出手段がこの割れや損傷等を基準部と誤認識してしまい、被着体の方位を特定することができなくなり、被着体の処理に支障をきたすという不都合がある。
図1において、接着シートASは、基材シートBSと、基材シートBSの一方の面に積層された接着剤AD層とを備え、被着体としてのウエハWFの形状に合わせた円形形状に形成されている。なお、ウエハWFの外縁には、当該ウエハWFの結晶方位を示す基準部としてのノッチVNが形成されている。
図2において、シート製造装置1は、帯状の基材シートBSを繰り出す基材シート繰出手段2と、基材シートBSの一方の面に第1接着剤AD1層を積層する第1接着剤層積層手段3と、基材シートBSの一方の面に第1接着剤AD1層に隣接した状態で第2接着剤AD2層を積層することで境界CLを形成する第2接着剤層積層手段4と、接着剤AD層を硬化させる硬化手段5と、帯状の剥離シートRLを繰り出す剥離シート繰出手段6と、境界CLに対する所定の位置であって、当該境界CLを内側に収めた状態で少なくとも基材シートBSを貫通する閉ループ状の切込CUを形成し、当該切込CUの内側に接着シートASを形成する切断手段7と、剥離シートRLに接着シートASが仮着された原反RSを回収する回収手段8とを備えている。
先ず、基材シートBSおよび剥離シートRLを図2に示すようにセットする。 次に、基材シート繰出手段2、第1および第2接着剤層積層手段3、4、剥離シート繰出手段6、切断手段7、および回収手段8が各回動モータ21、31、41、61、71、81を同期させて駆動し、基材シートBSおよび剥離シートRLを繰り出す。次いで、第1接着剤層積層手段3が、基材シートBSの一方の面における短寸幅方向の一方側の領域に、当該基材シートBSの繰出方向に沿って溶融状態の第1接着剤AD1を積層する。そして、第2接着剤層積層手段4が、基材シートBSの一方の面における短寸幅方向の他方側の領域に溶融状態の第2接着剤AD2を積層し、原接着シートRASを形成する。これにより、原接着シートRASの接着剤AD層に、基材シートBSの繰出方向に延びる直線状の境界CLを形成することができる。
また、接着剤AD層を構成する材料としては、第1接着剤AD1層と第2接着剤AD2層との特性が異なるものであれば、特に限定されることはなく、感圧接着性や感熱接着性の材料で形成してもよい。
さらに、第1接着剤AD1層および第2接着剤AD2層は、インクジェットプリンタ、凸版印刷、凹版印刷、スクリーン印刷等の印刷装置により印刷されてもよい。このように、印刷法を用いることで、第1接着剤AD1層および第2接着剤AD2層を容易に、しかも任意の形状に形成することができる。
また、例えば、矢印、V字、次第に狭幅する直線等の方位を示す狭幅部を有する平面形状、点、真円や楕円等の円、十字、多角形、文字、数字、図等の任意の平面形状の第1接着剤AD1を囲うように第2接着剤AD2を積層することで、境界を形成してもよい。
また、基準部は、ウエハWFの場合、オリエンテーションフラット等の方位マーク、ウエハWFに刻印された製造番号、回路パターン、カーフ、またはストリート等としてもよいし、ウエハWF以外の場合でも、所定の法則性をもって被着体の位置を特定できる目印となるものであれば何ら限定されるものではない。
また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる(実施形態で例示したものと重複するものもある)。
AD1 第1接着剤
AD2 第2接着剤
AS 接着シート
BS 基材シート
CL 境界
CU 切込
WF ウエハ(被着体)
Claims (3)
- 基材シートと、
前記基材シートの一方の面に積層された接着剤層とを備え、
前記接着剤層は、第1接着剤層と第2接着剤層とが同一面内で隣接した状態で積層されることで、所定の法則性をもって被着体に貼付されたときに、当該被着体の方位を特定することができる境界を有することを特徴とする接着シート。 - 基材シートと、
前記基材シートの一方の面に積層されるとともに、第1接着剤層および第2接着剤層が同一面内で隣接することで境界を有する接着剤層を備えた接着シートを用い、
被着体の方位を特定することができるように、前記境界を所定の法則性をもって被着体に貼付することを特徴とする接着シートの貼付方法。 - 基材シートの一方の面に第1接着剤層と第2接着剤層とを隣接させて設けることで境界を形成する工程と、
前記境界を内側に収めた状態で少なくとも前記基材シートを貫通する閉ループ状の切込を形成する工程とを実施することを特徴とする接着シートの製造方法。
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