JP5981705B2

JP5981705B2 - 接着シート

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Publication number: JP5981705B2
Application number: JP2011239663A
Authority: JP
Inventors: 芳昭杉下
Original assignee: Lintec Corp
Current assignee: Lintec Corp
Priority date: 2011-10-31
Filing date: 2011-10-31
Publication date: 2016-08-31
Anticipated expiration: 2031-10-31
Also published as: JP2013095841A

Description

本発明は、接着シートに関する。

従来、基材シートに複数の接着剤層が設けられた接着シートが知られている（例えば、特許文献１参照）。
特許文献１に記載の従来の接着シートは、基材フィルムと、当該基材フィルムの一方の面に積層された第１の粘着剤層とを備えたものや、基材フィルムと、当該基材フィルムの一方の面に積層された第１の粘着剤層と、当該第１の粘着剤層上に積層された第２の粘着剤層とを備えたものが開示されている。これら接着シートは、第１の粘着剤層が半導体ウェハ（以下、単にウェハという場合がある）に貼付され、第１の粘着剤層または第２の粘着剤層がリングフレームに貼付されることでウェハとリングフレームとを一体化するように構成されている。

特開２００６−１１１７２７号公報

しかしながら、特許文献１に記載の接着シートにおいて、第１の粘着剤層は、熱可塑性、熱重合性を有する材料で構成されていることから脆性が高い、つまり、外力を受けたときに、あまり変形しないうちに破壊する所謂もろい性質のものが多く採用され、かつダイシング処理後における基材フィルムからのピックアップ性を考慮して、基材フィルムに対する接着力が弱いものが採用される。よって、そのような接着シートにウェハが貼付された状態で搬送やダイシング処理が行われると、第１の粘着剤層が破壊されて基材フィルムから分離してしまうため、ウェハを保持し続けることができず、ウェハがリングフレームから脱落してしまうという不都合がある。

本発明の目的は、被着体を確実に保持できる接着シートを提供することにある。

本発明の接着シートは、基材シートと、前記基材シートの一方の面に設けられ、被着体に貼付される第１接着剤層と、前記基材シートの一方の面に前記第１接着剤層を囲むように設けられ、環状部材に貼付される第２接着剤層とを備え、前記第２接着剤層は、前記第１接着剤層よりも脆性が低い接着剤層からなり、ダイシング処理後ピックアップされる被着体を前記環状部材の内側で保持することを特徴とする。

本発明の接着シートは、基材シートと、前記基材シートの一方の面に設けられ、被着体に貼付される第１接着剤層と、前記基材シートと前記第１接着剤層との間に積層された第２接着剤層とを備え、前記第２接着剤層は、前記第１接着剤層よりも脆性が低い接着剤層からなり、その外縁部が前記第１接着剤層からはみ出る大きさとされて環状部材に貼付され、ダイシング処理後ピックアップされる被着体を前記環状部材の内側で保持することを特徴とする。

本発明の接着シートは、基材シートと、前記基材シートの一方の面に設けられ、被着体に貼付される第１接着剤層と、前記基材シートの他方の面に平面透視で前記第１接着剤層からはみ出る大きさに設けられ、環状部材に貼付される第２接着剤層とを備え、前記第２接着剤層は、前記第１接着剤層よりも脆性が低い接着剤層からなり、ダイシング処理後ピックアップされる被着体を前記環状部材の内側で保持することを特徴とする。

本発明の接着シートは、基材シートと、前記基材シートの一方の面の全領域に設けられ、被着体に貼付される第１接着剤層と、前記基材シートの他方の面の外縁部に環状に設けられ、環状部材に貼付される第２接着剤層とを備え、前記第２接着剤層は、前記第１接着剤層よりも脆性が低い接着剤層からなり、ダイシング処理後ピックアップされる被着体を前記環状部材の内側で保持することを特徴とする。

以上のような本発明によれば、接着シートは、第１接着剤層に比べて脆性が低い、つまり、もろくない第２接着剤層を介して枠体に貼付される。このため、従来例のように、第２接着剤層が破壊されて基材シートから分離してしまうといった不都合を防止することができるので、被着体を確実に保持することができる。なお、脆性とは、破断伸度、破断強度、引裂強度で測定される値のことであり、第２接着剤層は、それらの少なくとも１の測定値によって第１接着剤層に比べて脆性が低いと判断されるものであればよい。

また、第１接着剤層と第２接着剤層との間に中間層を設ければ、各接着剤層が互いに接着されることがないので、一方の接着剤層を剥離する際に、他方の接着剤層が一緒に剥離されてしまうことを防止することができる。

さらに、第１接着剤層および第２接着剤層のうちの少なくとも一方を所定の版により接着剤を所定形状に印刷することで、複雑な形状に接着剤層を積層することができる。

本発明の第１実施形態に係る接着シートの使用例を示す部分断面斜視図。前記第1実施形態のシート製造装置の側面図。本発明の第２実施形態に係る接着シートを示す斜視図。前記第２実施形態のシート製造装置の側面図。本発明の第３実施形態に係る接着シートを示す部分断面斜視図。前記第３実施形態の変形例に係る接着シートの使用例を示す部分断面斜視図。本発明の第４実施形態に係る接着シートを示す部分断面斜視図。他の変形例に係る接着シートの使用例を示す部分断面斜視図。

以下、本発明の各実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、第２〜第４実施形態において、次の第１実施形態で説明する構成部材と同じ構成部材、および同様な機能を有する構成部材には、第１実施形態の構成部材と同じ符号を付し、それらの説明を省略または簡略化する。また、各図においては、本発明の内容を理解しやすくするために各構成の形状や配置状態を誇張して示している。

［第１実施形態］
以下、本発明の第1実施形態を図面に基づいて説明する。
図１において、接着シートＡＳ１は、被着体としてのウェハＷＦと被着体としてのリングフレームＲＦとに貼付されることで、リングフレームＲＦでウェハＷＦを保持させるものである。
接着シートＡＳ１は、円板状の基材シートＢＳと、基材シートＢＳの一方の面の異なる位置にそれぞれ設けられた第１接着剤層ＡＤ１および第２接着剤層ＡＤ２とを備えている。

第１接着剤層ＡＤ１は、ウェハＷＦの形状に合わせた円形に形成され、基材シートＢＳの中央部に設けられている。この第１接着剤層ＡＤ１に用いる接着剤としては、特に限定されることはなく、例えば、ダイアタッチフィルムに使用されるような、熱可塑性、熱重合性等を有するものが例示できる。

第２接着剤層ＡＤ２は、リングフレームＲＦの面内に納まるように環状に形成され、第１接着剤層ＡＤ１に対して同心円状に配置されている。この第２接着剤層ＡＤ２は、第１接着剤層ＡＤ１よりも脆性が低い接着剤層からなる。このような第２接着剤層ＡＤ２に用いる接着剤としては、特に限定されることはなく、例えば、感圧接着性のものが例示できる。

次に、接着シートＡＳ１を製造するシート製造装置１Ａについて説明する。
シート製造装置１Ａは、図２に示すように、帯状の基材シートＢＳを繰り出す繰出手段１０と、基材シートＢＳの一方の面に第１接着剤層ＡＤ１を印刷することにより積層する第１積層手段２０Ａと、基材シートＢＳの一方の面における第１接着剤層ＡＤ１とは異なる位置に第２接着剤層ＡＤ２を印刷することにより積層する第２積層手段２０Ｂと、各接着剤層ＡＤ１，ＡＤ２を硬化させる固化促進手段としての硬化手段３０と、剥離シートＲＬを供給する剥離シート供給手段４０と、各積層手段２０Ａ，２０Ｂによって基材シートＢＳの一方の面に各接着剤層ＡＤ１，ＡＤ２が積層された原接着シートＯＳに剥離シートＲＬを仮着する仮着手段５０と、原接着シートＯＳを第２接着剤層ＡＤ２の外縁部に沿って切断して接着シートＡＳ１を形成する切断手段６０と、接着シートＡＳ１の周囲に形成される不要シートＵＳを回収する回収手段７０と、剥離シートＲＬに複数の接着シートＡＳ１が仮着された第１原反ＲＳ１を巻き取る巻取手段８０とを備えている。

繰出手段１０は、基材シートＢＳをロール状に巻回して支持するとともに駆動機器としての回動モータ１１により回転可能に設けられた支持ローラ１２と、支持ローラ１２から引き出された基材シートＢＳを案内するとともに駆動機器としての回動モータ１３により回転可能に設けられた駆動ローラ１４と、この駆動ローラ１４との間に基材シートＢＳを挟み込むピンチローラ１５とを備えている。

第１積層手段２０Ａは、印刷手段としてのロータリースクリーン印刷機２１Ａを備えて構成される。ロータリースクリーン印刷機２１Ａは、図２中左右方向に搬送される基材シートＢＳの上方において駆動機器としての回動モータ２４Ａにより回転可能に設けられるとともに、円筒状の表面に所定の印刷パターンが形成された版としてのロータリースクリーン２２Ａと、このロータリースクリーン２２Ａの内部に設けられた図示しないスキージと、基材シートＢＳを挟んでロータリースクリーン２２Ａに対向配置され、駆動機器としての回動モータ２５Ａにより回転可能に設けられた圧胴２３Ａとを備えている。このロータリースクリーン印刷機２１Ａは、ロータリースクリーン２２Ａと圧胴２３Ａとを回転させ、ロータリースクリーン２２Ａの内部に貯留された溶融状態の接着剤を、当該ロータリースクリーン２２Ａの表面に形成された図示しない孔を通じてスキージにより押し出すことで、基材シートＢＳの一方の面に第１接着剤層ＡＤ１を印刷することにより積層するように構成されている。

第２積層手段２０Ｂは、第１積層手段２０Ａと同様の構成であり、第１積層手段２０Ａの末尾Ａの記号をＢに置き換えることで説明ができるので、その説明を省略する。

硬化手段３０は、第１積層手段２０Ａに対して基材シートＢＳの搬送方向下流側に設けられ、第１接着剤層ＡＤ１および第２接着剤層ＡＤ２の硬化特性に応じて、例えば、熱風、紫外線、赤外線、マイクロ波、冷風、自然風等の定着化エネルギーを発するものが採用される。

剥離シート供給手段４０は、剥離シートＲＬを巻回して支持するとともに駆動機器としての回動モータ４１により回転可能に設けられた支持ローラ４２を備えている。
仮着手段５０は、駆動機器としての回動モータ５１により回転可能に設けられ、剥離シート供給手段４０から繰り出された剥離シートＲＬを基材シートＢＳの搬送方向に誘導する誘導ローラ５２と、誘導ローラ５２に対向配置されたピンチローラ５３とを備えている。

切断手段６０は、原接着シートＯＳに円形の切り込みＣＵを形成する切込刃６１を備えたダイカットローラ６２と、原接着シートＯＳおよび剥離シートＲＬを挟んでダイカットローラ６２に対向配置されたプラテンローラ６３とを備えている。切込刃６１は、基材シートＢＳ側から剥離シートＲＬを貫通しない深さの切り込みＣＵを形成し、当該切り込みＣＵの内側に円形の接着シートＡＳ１を形成するとともに、切込ＣＵの外側に帯状の不要シートＵＳを形成する。なお、ダイカットローラ６２およびプラテンローラ６３は、それぞれ駆動機器としての回動モータ６４，６５により同期して回転可能に設けられている。また、切込刃６１には、原接着シートＯＳの接着剤が付着しないように、フッ素樹脂コート等の不接着処理を施しておくことが好ましい。

回収手段７０は、不要シートＵＳを剥離シートＲＬから剥離する剥離ローラ７１と、駆動機器としての回動モータ７２により回転可能に設けられ、不要シートＵＳを回収する回収ローラ７３とを備えている。

巻取手段８０は、駆動機器としての回動モータ８１により回転可能に設けられた駆動ローラ８２と、駆動ローラ８２と対向配置されたピンチローラ８３と、駆動機器としての回動モータ８４により回転可能に設けられ、接着剤層ＡＤ１，ＡＤ２を介して接着シートＡＳ１が剥離シートＲＬの一方の面に所定間隔で仮着された第１原反ＲＳ１を巻き取る巻取ローラ８５とを備えている。

以上のシート製造装置１Ａにおいて、第１原反ＲＳ１を製造する手順としては、先ず、図２に示すように、巻き回された基材シートＢＳおよび剥離シートＲＬをそれぞれ支持ローラ１２および支持ローラ４２にセットし、それら基材シートＢＳおよび剥離シートＲＬを図２に示すように通紙する。
この状態で、回動モータ１１，１３、回動モータ２４Ｂ，２５Ｂ，２４Ａ，２５Ａ，４１，５１、６４，６５，７２，８１，８４を駆動して、支持ローラ１２、駆動ローラ１４、ロータリースクリーン２２Ｂ，２２Ａ、圧胴２３Ｂ，２３Ａ、支持ローラ４２、誘導ローラ５２、ダイカットローラ６２、プラテンローラ６３、回収ローラ７３、駆動ローラ８２、巻取ローラ８５を回転させて基材シートＢＳを繰り出す。

各ローラが回転すると、支持ローラ１２から繰り出された基材シートＢＳの一方の面にロータリースクリーン印刷機２１Ｂにより溶融状態の第２接着剤層ＡＤ２が環状に積層され、続いて、ロータリースクリーン印刷機２１Ａにより溶融状態の第１接着剤層ＡＤ１が第２接着剤層ＡＤ２の内側部分に円形形状に積層されて、原接着シートＯＳが形成される。このように、印刷法を用いることで、各接着剤層ＡＤ１，ＡＤ２を容易に、しかも複雑な形状に積層することができる。また、第２接着剤層ＡＤ２を積層しつつ、第１接着剤層ＡＤ１を積層することで、接着シートＡＳ１の製造時間を短縮することができる。

形成された原接着シートＯＳは、硬化手段３０によって、各接着剤層ＡＤ１，ＡＤ２が硬化された後、仮着手段５０により誘導ローラ５２とピンチローラ５３とで挟み込まれ、剥離シート供給手段４０から供給された剥離シートＲＬに仮着される。この後、剥離シートＲＬに仮着された原接着シートＯＳは、切断手段６０により第２接着剤層ＡＤ２の外縁部に切り込みＣＵが形成され、円形形状の接着シートＡＳ１と、不要シートＵＳとが形成される。そして、不要シートＵＳは、剥離シートＲＬから剥離されて回収ローラ７３で回収され、剥離シートＲＬ上に複数の接着シートＡＳ１が仮着された第１原反ＲＳ１は、巻取ローラ８５に巻き取られる。

以上のような第１実施形態によれば、接着シートＡＳ１は、第１接着剤層ＡＤ１に比べて脆性が低い第２接着剤層ＡＤ２を介してリングフレームＲＦに貼付されるので、外力を受けたときに、第２接着剤層ＡＤ２が変形することによってその力を緩衝し、接着シートＡＳ１がリングフレームＲＦから分離してしまうようなことを防止することができ、ウェハＷＦを確実に保持することができる。また、以上のような接着シートＡＳ１の製造方法によれば、ウェハＷＦやリングフレームＲＦの形状に対応して複雑な形状に各接着剤層ＡＤ１，ＡＤ２を積層することができる。その上、各接着剤層ＡＤ１，ＡＤ２の形成にあたって接着剤の使用量を最小限に抑えることができる。なお、シート製造装置１Ａにおいて、切断手段６０および回収手段７０は必ずしも設ける必要はない。この場合、帯状の原接着シートＯＳを第２接着剤層ＡＤ２によってリングフレームＲＦに接着した後、適宜なカッター等の切断手段で基材シートＢＳを切断するようにすればよい。

［第２実施形態］
次に、本発明の第２実施形態を図面に基づいて説明する。
本実施形態の接着シートＡＳ２は、図３に示すように、基材シートＢＳと、基材シートＢＳの一方の面に設けられた円形の第２接着剤層ＡＤ２と、この第２接着剤層ＡＤ２を介して基材シートＢＳ上に積層された円形の第１接着剤層ＡＤ１とを備えている。ここで、各第２接着剤層ＡＤ２は、外縁部が第１接着剤層ＡＤ１からはみ出る大きさとされている。なお、接着シートＡＳ２も、第１実施形態の接着シートＡＳ１と同様に、図示しない剥離シートＲＬ上で、第２接着剤層ＡＤ２の外縁部が基材シートＢＳと共に切断されていてもよい。

次に、接着シートＡＳ２を製造するシート製造装置１Ｂについて説明する。
シート製造装置１Ｂは、切断手段６０および回収手段７０を備えない点で第１実施形態のシート製造装置１Ａと相違する。すなわち、シート製造装置１Ｂは、図４に示すように、繰出手段１０と、第１積層手段２０Ａと、第２積層手段２０Ｂと、硬化手段３０と、剥離シート供給手段４０と、仮着手段５０と、巻取手段８０とを備えている。

このシート製造装置１Ｂにおいて、基材シートＢＳおよび剥離シートＲＬを図４に示すようにセットし、各ローラを回転させて基材シートＢＳを繰り出すと、基材シートＢＳの一方の面にロータリースクリーン印刷機２１Ｂにより溶融状態の第２接着剤層ＡＤ２が円形形状に積層され、続いて、ロータリースクリーン印刷機２１Ａにより溶融状態の第１接着剤層ＡＤ１が第２接着剤層ＡＤ２上に円形形状に積層されて、接着シートＡＳ２が形成される。そして、接着シートＡＳ２は、硬化手段３０により各接着剤層ＡＤ１，ＡＤ２が硬化された後、剥離シート供給手段４０から供給された剥離シートＲＬに仮着され、剥離シートＲＬ上に接着シートＡＳ２が仮着された第２原反ＲＳ２となって巻取ローラ８５に巻き取られる。

このようにして製造された接着シートＡＳ２は、例えば、不図示のシート貼付装置等によりウェハＷＦおよびリングフレームＲＦに貼付された後、第２接着剤層ＡＤ２の外縁部、つまり、リングフレームＲＦの面内で切断される。

以上のような第２実施形態によっても、第１実施形態と同様の効果を得ることができる。
なお、シート製造装置１Ｂに、第１実施形態のシート製造装置１Ａと同様の切断手段６０を設け、剥離シートＲＬ上に複数の接着シートＡＳ２が仮着された原反を形成してもよい。
また、シート製造装置１Ｂにおける第２積層手段２０Ｂを省略し、予め基材シートＢＳの一方の面の全領域または一部領域に第２接着剤層ＡＤ２が積層されたものを繰出手段１０から繰り出し、基材シートＢＳにおける第２接着剤層ＡＤ２の面内に第１接着剤層ＡＤ１を積層するように構成してもよい。このような場合も、シート製造装置１Ｂに第１実施形態のシート製造装置１Ａと同様の切断手段６０を設け、剥離シートＲＬ上に複数の接着シートＡＳ２が仮着された原反を形成してもよいし、例えば、不図示のシート貼付装置等によりウェハＷＦおよびリングフレームＲＦに貼付された後、第２接着剤層ＡＤ２の外縁部、つまり、リングフレームＲＦの面内で切断されるようにしてもよい。

［第３実施形態］
次に、本発明の第３実施形態を図面に基づいて説明する。
本実施形態の接着シートＡＳ３は、図５に示すように、基材シートＢＳと、基材シートＢＳの一方の面に設けられた円形の第１接着剤層ＡＤ１と、基材シートＢＳの他方の面に設けられた環状の第２接着剤層ＡＤ２とを備えている。第１接着剤層ＡＤ１は、基材シートＢＳの中央部に設けられ、第２接着剤層ＡＤ２は、平面透視で第１接着剤層ＡＤ１からはみ出る大きさに設けられている。なお、接着シートＡＳ３も、第１実施形態の接着シートＡＳ１と同様に、図示しない剥離シートＲＬ上で、第２接着剤層ＡＤ２の外縁部が基材シートＢＳと共に切断されていてもよいし、第２実施形態の接着シートＡＳ２と同様に、使用時にリングフレームＲＦの面内で切断されるようにしてもよい。

接着シートＡＳ３のシート製造装置は、繰出手段１０がシート製造装置１Ａとは逆向き、すなわち、基材シートＢＳの一方の面が下側となるように基材シートＢＳを繰り出すようにし、第１積層手段２０Ａが基材シートＢＳの一方の面（図２中下側の面）に第１接着剤層ＡＤ１を印刷するように構成され、それに伴い硬化手段３０が図２中下側にも設けられている点で第１実施形態のシート製造装置１Ａと構成が異なるだけなので、その構成の説明および図示は省略する。そして、ロータリースクリーン印刷機２１Ａが基材シートＢＳの図２中下面に第１接着剤層ＡＤ１を印刷した後、追加した硬化手段３０が基材シートＢＳの図２中下面側から第１接着剤層ＡＤ１を硬化させる点で第１実施形態のシート製造装置１Ａと動作が異なる。このようにして製造された接着シートＡＳ３は、例えば、不図示のシート貼付装置等によりウェハＷＦおよびリングフレームＲＦに貼付された後、第２接着剤層ＡＤ２の外縁部、つまり、リングフレームＲＦの面内で切断される。

以上のような第３実施形態によっても第１実施形態と同様の効果を得ることができる。
なお、接着シートＡＳ３のシート製造装置に、第１実施形態のシート製造装置１Ａと同様の切断手段６０を設け、剥離シートＲＬ上に複数の接着シートＡＳ２が仮着された原反を形成してもよい。
また、図６に示すように、基材シートＢＳの他方の面の全領域に第２接着剤層ＡＤ２を設けた構成としてもよい。このような接着シートＡＳ３も、第１実施形態の接着シートＡＳ１と同様に、図示しない剥離シートＲＬ上で、第２接着剤層ＡＤ２の外縁部が基材シートＢＳと共に切断されていてもよいし、第２実施形態の接着シートＡＳ２と同様に、使用時にリングフレームＲＦの面内で切断されるようにしてもよい。
これらの場合、接着シートＡＳ３のシート製造装置で第２接着剤層ＡＤ２を基材シートＢＳの他方の面の全領域または一部領域に積層するように構成し、平面透視で第２接着剤層ＡＤ２の内側となるように、つまり、平面透視で第２接着剤層ＡＤ２が第１接着剤層ＡＤ１からはみ出るように、当該第１接着剤層ＡＤ１を基材シートＢＳの一方の面に積層するようにすればよい。また、接着シートＡＳ３のシート製造装置における第２積層手段２０Ｂを省略し、予め基材シートＢＳの他方の面の全領域または一部領域に第２接着剤層ＡＤ２が積層されたものを繰出手段１０から繰り出し、平面透視で第２接着剤層ＡＤ２の内側となるように基材シートＢＳの一方の面に第１接着剤層ＡＤ１を積層するように構成してもよい。このようにして製造された接着シートＡＳ３は、例えば、不図示のシート貼付装置等によりウェハＷＦおよびリングフレームＲＦに貼付された後、第２接着剤層ＡＤ２の外縁部、つまり、リングフレームＲＦの面内で切断される。なお、接着シートＡＳ３のシート製造装置に、第１実施形態のシート製造装置１Ａと同様の切断手段６０を設け、剥離シートＲＬ上に複数の接着シートＡＳ２が仮着された原反を形成してもよい。

［第４実施形態］
次に、本発明の第４実施形態を図面に基づいて説明する。
本実施形態の接着シートＡＳ４は、図７に示すように、基材シートＢＳと、基材シートＢＳの一方の面の全領域に設けられた第１接着剤層ＡＤ１と、基材シートＢＳの他方の面の外縁部に環状に設けられた第２接着剤層ＡＤ２とを備えている。なお、接着シートＡＳ４も、第１実施形態の接着シートＡＳ１と同様に、図示しない剥離シートＲＬ上で、第２接着剤層ＡＤ２の外縁部が基材シートＢＳと共に切断されていてもよいし、第２実施形態の接着シートＡＳ２と同様に、使用時にリングフレームＲＦの面内で切断されるようにしてもよい。

接着シートＡＳ４のシート製造装置は、第１実施形態のシート製造装置１Ａと同様の構成なので、その構成の説明および図示は省略する。そして、ロータリースクリーン印刷機２１Ｂが基材シートＢＳの他方の面（図２中上側の面）に第２接着剤層ＡＤ２を環状に印刷した後、ロータリースクリーン印刷機２１Ａが基材シートＢＳの一方の面（図２中下側の面）の全領域または一部領域に第１接着剤層ＡＤ１を印刷する。このようにして製造された接着シートＡＳ４は、例えば、不図示のシート貼付装置等によりウェハＷＦおよびリングフレームＲＦに貼付された後、第２接着剤層ＡＤ２の外縁部、つまり、リングフレームＲＦの面内で切断される。

以上のような第４実施形態によっても第１実施形態と同様の効果を得ることができる。
なお、接着シートＡＳ４のシート製造装置に、第１実施形態のシート製造装置１Ａと同様の切断手段６０を設け、剥離シートＲＬ上に複数の接着シートＡＳ２が仮着された原反を形成してもよい。
また、接着シートＡＳ４のシート製造装置における第１積層手段２０Ａを省略し、予め基材シートＢＳの一方の面の全領域または一部領域に第１接着剤層ＡＤ１が積層されたものを繰出手段１０から繰り出し、基材シートＢＳの他方の面に、平面透視で第１接着剤層ＡＤ１が含まれるように第２接着剤層ＡＤ２を環状に印刷するように構成してもよい。このような接着シートＡＳ４のシート製造装置も、シート製造装置１Ａと同様の切断手段６０を設け、剥離シートＲＬ上に複数の接着シートＡＳ４が仮着された原反を形成してもよい。

以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。

例えば、図８に示すように、接着シートＡＳ２における第２接着剤層ＡＤ２上に中間層ＭＬを積層し、この中間層ＭＬ上に第１接着剤層ＡＤ１を積層して接着シートＡＳ５を形成してもよい。この場合、シート製造装置１Ａ，１Ｂの構成における第１積層手段２０Ａと第２積層手段２０Ｂとの間に、これら第１、第２積層手段２０Ａ、２０Ｂと同等の構成で中間層ＭＬを積層する積層手段を設け、第２積層手段２０Ｂが基材シートＢＳの一方の面の全領域または、円形形状に第２接着剤層ＡＤ２を積層するように構成すればよい。なお、中間層ＭＬは、紙やフィルム等で構成されてもよいので、第１、第２積層手段２０Ａ、２０Ｂと同等の構成のものに変えて、適宜紙やフィルム等を第２接着剤層ＡＤ２上に積層できるものを採用することができる。このように中間層ＭＬを設けた場合、例えば、ダイシングされたウェハＷＦ（チップ）を第１接着剤層ＡＤ１と共にピックアップして基盤等にボンディングするときに、第１接着剤層ＡＤ１に第２接着剤層ＡＤ２が付着した状態でボンディングされることを防止して、確実にボンディングすることができる。

また、前記第１実施形態では、第１接着剤層ＡＤ１および第２接着剤層ＡＤ２を版を用いて印刷することにより積層したが、例えば、所定形状の第２接着剤層ＡＤ２が別の剥離シートの一方の面に仮着されたシート製造用原反を予め準備しておき、当該シート製造用原反から第２接着剤層ＡＤ２を剥離して基材シートＢＳに積層するようにしてもよい。この場合、第２積層手段２０Ｂは、シート製造用原反を巻回して支持するシート製造用原反繰出手段を設ければよい。
また、第１積層手段２０Ａと第２積層手段２０Ｂのいずれか一方を印刷法以外の積層方法で構成してもよい。

前記実施形態では、印刷手段としてのロータリースクリーン印刷機を例示したが、印刷手段としては、例えば、ソルベントコーティング法、グラビア印刷、スクリーン印刷、さらには、凸版印刷、凹版印刷、平版印刷、孔版印刷等あらゆる印刷法を採用することができ、積層する材料を基材シートＢＳに印刷（積層）できる限りにおいて何ら限定されるものではない。
また、前記第１、第３、および第４実施形態では、第２積層手段２０Ｂが第１積層手段２０Ａよりも基材シートＢＳの搬送方向上流側に設けられていたが、第１積層手段２０Ａを第２積層手段２０Ｂよりも上流側に設けてもよい。

前記実施形態では、第２接着剤層ＡＤ２は、その外縁部が周方向に連続して形成されていたが、外縁部を周方向に沿って断続的に形成してもよい。
また、第１接着剤層ＡＤ１は、感圧接着性の接着剤でもよいし、第２接着剤層ＡＤ２は、熱可塑性、熱重合性等を有する接着剤でもよい。

本発明における接着シートＡＳ１〜ＡＳ５の種別や材質などは、特に限定されず、例えば、第１接着剤層ＡＤ１と第２接着剤層ＡＤ２との間に中間層ＭＬ以外の層を有する４層以上のものでもよい。また、接着シートＡＳ１〜ＡＳ５は、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルムなどであってもよい。ウェハは、シリコン半導体ウェハや化合物半導体ウェハ等が例示でき、このようなウェハに貼付する接着シートは、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルムに限らず、その他の任意のシート、フィルム、テープ等、任意の用途、形状の接着シート等が適用できる。さらに、被着体が光ディスクの基板であって、接着シートが記録層を構成する樹脂層を有したものであってもよい。以上のように、被着体としては、ガラス板、鋼板、樹脂板等や、その他の部材のみならず、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。

また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる（実施形態で例示したものと重複するものもある）。

ＡＤ１第１接着剤層
ＡＤ２第２接着剤層
ＢＳ基材シート
ＭＬ中間層
ＡＳ１〜ＡＳ５接着シート
ＷＦウェハ（被着体）

Claims

基材シートと、
前記基材シートの一方の面に設けられ、被着体に貼付される第１接着剤層と、
前記基材シートの一方の面に前記第１接着剤層を囲むように設けられ、環状部材に貼付される第２接着剤層とを備え、
前記第２接着剤層は、前記第１接着剤層よりも脆性が低い接着剤層からなり、
ダイシング処理後ピックアップされる被着体を前記環状部材の内側で保持することを特徴とする接着シート。
基材シートと、
前記基材シートの一方の面に設けられ、被着体に貼付される第１接着剤層と、
前記基材シートと前記第１接着剤層との間に積層された第２接着剤層とを備え、
前記第２接着剤層は、前記第１接着剤層よりも脆性が低い接着剤層からなり、その外縁部が前記第１接着剤層からはみ出る大きさとされて環状部材に貼付され、
ダイシング処理後ピックアップされる被着体を前記環状部材の内側で保持することを特徴とする接着シート。
基材シートと、
前記基材シートの一方の面に設けられ、被着体に貼付される第１接着剤層と、
前記基材シートの他方の面に平面透視で前記第１接着剤層からはみ出る大きさに設けられ、環状部材に貼付される第２接着剤層とを備え、
前記第２接着剤層は、前記第１接着剤層よりも脆性が低い接着剤層からなり、
ダイシング処理後ピックアップされる被着体を前記環状部材の内側で保持することを特徴とする接着シート。
基材シートと、
前記基材シートの一方の面の全領域に設けられ、被着体に貼付される第１接着剤層と、
前記基材シートの他方の面の外縁部に環状に設けられ、環状部材に貼付される第２接着剤層とを備え、
前記第２接着剤層は、前記第１接着剤層よりも脆性が低い接着剤層からなり、
ダイシング処理後ピックアップされる被着体を前記環状部材の内側で保持することを特徴とする接着シート。